特開 2024-130015 ワーク加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024130015

(43)【公開日】2024-09-30

(54)【発明の名称】ワーク加工装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240920BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20240920BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20240920BHJP

   B23Q 3/08 20060101ALI20240920BHJP

   B23Q 7/04 20060101ALI20240920BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20240920BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20240920BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B24B41/06 A

B24B27/06 M

B23Q3/08 A

B23Q7/04 K

H01L21/78 Q

B65G49/07 G

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023039481

(22)【出願日】2023-03-14

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100083116

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 憲三

(74)【代理人】

【識別番号】100170069

【弁理士】

【氏名又は名称】大原 一樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128635

【弁理士】

【氏名又は名称】松村 潔

(74)【代理人】

【識別番号】100140992

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 憲政

(72)【発明者】

【氏名】篠原 大也

(72)【発明者】

【氏名】清水 翼

【テーマコード（参考）】

3C016

3C033

3C034

3C158

5F063

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C016DA02

3C033BB03

3C033HH27

3C033HH28

3C033MM02

3C033PP09

3C034AA13

3C034AA19

3C034BB73

3C034BB81

3C034BB87

3C034DD10

3C158AA03

3C158AA14

3C158AA16

3C158AA18

3C158AB03

3C158AB04

3C158CB06

3C158DA17

5F063AA26

5F063AA43

5F063DG40

5F063FF04

5F063FF42

5F063FF52

5F131AA02

5F131AA12

5F131BA37

5F131BA52

5F131BB03

5F131BB13

5F131CA38

5F131DA14

5F131DA22

5F131DA42

5F131DA62

5F131DB22

5F131DB54

5F131DB63

5F131EA05

5F131EA22

5F131EB03

5F131EC33

(57)【要約】

【課題】剛性の低いワークを安定且つ確実に保持して搬送可能な搬送装置を備えたワーク加工装置を提供する。
【解決手段】裏面にダイシングテープ２０４が貼り付けられてなるワーク２００が格納される格納部１２と、ワーク２００が一旦載置される載置部１４と、ワーク２００を加工する加工部１６と、ワーク２００を洗浄する洗浄部１８と、格納部１２と載置部１４と加工部１６と洗浄部１８との間のそれぞれの搬送経路に沿ってワーク２００を搬送する搬送装置２０と、を備え、搬送装置２０は、ワーク２００の表面に当接可能なパッド１３２と、パッド１３２の周囲を除くパッド１３２の中央部に固定されるパッド支持体１３４と、パッド１３２とワーク２００との間に負圧を作用させる吸引ポンプ１３６と、を含む保持装置１０４、１０６、１０８を有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

裏面にテープが貼り付けられてなるワークが格納される格納部と、
前記ワークが一旦載置される載置部と、
前記ワークを加工する加工部と、
前記ワークを洗浄する洗浄部と、
前記格納部と前記載置部と前記加工部と前記洗浄部との間のそれぞれの搬送経路に沿って前記ワークを搬送する搬送装置と、
を備え、
前記搬送装置は、前記ワークを保持し、前記ワークを前記載置部に載置し、収納可能な保持装置を少なくとも有し、
前記保持装置は、
前記ワークの表面に当接可能なパッドと、
前記パッドの周囲を除く前記パッドの中央部に固定され、前記パッドを支持するパッド支持体と、
前記パッドと前記ワークとの間に負圧を作用させる負圧発生部と、
を含む、
ワーク加工装置。

【請求項2】

前記搬送装置は、第１搬送装置と第２搬送装置とを有し、
前記保持装置は、第１保持装置と第２保持装置と第３保持装置とを有し、
前記第１保持装置は、前記第１搬送装置に搭載されて、前記格納部と前記載置部との間の搬送経路で前記ワークを保持し、
前記第２保持装置は、前記第１搬送装置に搭載されて、前記載置部と前記加工部との間の搬送経路、及び前記洗浄部と前記載置部との間の搬送経路で前記ワークを保持し、
前記第３保持装置は、前記第２搬送装置に搭載されて、前記加工部と前記洗浄部との間の搬送経路で前記ワークを保持する、
請求項１に記載のワーク加工装置。

【請求項3】

前記第１保持装置は、前記第１搬送装置にアーム部材を介して揺動自在に連結されて、倒伏位置と起立位置との間で姿勢が変更される、
請求項２に記載のワーク加工装置。

【請求項4】

前記載置部と前記第３保持装置とは、前記第２搬送装置において上部に前記載置部が配置され、下部に前記第３保持装置が配置される、
請求項２又は３に記載のワーク加工装置。

【請求項5】

前記加工部は、前記ワークをダイシング加工するダイシング手段を有する、
請求項１又は２に記載のワーク加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワーク加工装置に係り、特にワークをダイシング加工するダイシング装置等のワーク加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークを個々のチップに分割するダイシング装置においては、スピンドルによって高速に回転されるブレードと、ワークを吸着保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとの相対的位置を変化させるＸ、Ｙ、Ｚ、θ駆動部とを備えている。このダイシング装置では、各駆動部によりブレードとワークとを相対的に移動させながら、ブレードによってワークを切り込むことによりダイシング加工（切削加工）する。

【0003】

ダイシング装置においては、ワークの搬送時にダイシングフレームを吸着保持して搬送することが一般的に行われている（例えば、特許文献１参照）。ダイシングフレームを吸着保持することで、加工後のワークを安定して搬送することが可能となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００３－８６５４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、ダイシングフレームを吸着保持してワークを搬送する方式の場合、ダイシング装置内の加工や搬送を行う空間はダイシングフレームのフレームサイズに合わせて設計する必要がある。そのため、装置内部の空間に対してフレームサイズよりも小さなワークしか加工することができず、装置面積に対する加工可能なワーク面積が小さく生産性が低くなる要因となる。一方、生産性を高めるためにはフレームサイズを大きくする必要があるが、そうすると、更なるコストアップや装置の大型化を招いてしまうことになる。

【0006】

これに対して、ダイシングフレームを使用することなく、ワークを直接保持して搬送（ダイレクト搬送）することにより装置内の空間を最大限に活用可能にすることが考えられる。ダイレクト搬送では、ダイシングフレームを使用しないため、従来と同じ装置でフレームサイズまでワークサイズを拡張することが可能となり、より大きなワークの処理が可能となる。また、大きなワークではチップ取り数が増えるので、チップの低廉化につながるというメリットもある。

【0007】

しかしながら、ダイシングフレームを使用しない場合、ワークの剛性が低くなることから、剛性の低いワークを保持して搬送することは難しいという問題がある。

【0008】

本発明は、このような問題に鑑みて成されたものであり、剛性の低いワークを安定且つ確実に保持して搬送可能な搬送装置を備えたワーク加工装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明のワーク加工装置は、本発明の目的を達成するために、裏面にテープが貼り付けられてなるワークが格納される格納部と、ワークが一旦載置される載置部と、ワークを加工する加工部と、ワークを洗浄する洗浄部と、格納部と載置部と加工部と洗浄部との間のそれぞれの搬送経路に沿ってワークを搬送する搬送装置と、を備え、搬送装置は、ワークを保持し、ワークを載置部に載置し、収納可能な保持装置を少なくとも有し、保持装置は、ワークの表面に当接可能なパッドと、パッドの周囲を除くパッドの中央部に固定され、パッドを支持するパッド支持体と、パッドとワークとの間に負圧を作用させる負圧発生部と、を含む。

【0010】

本発明の一形態は、搬送装置は、第１搬送装置と第２搬送装置とを有し、保持装置は、第１保持装置と第２保持装置と第３保持装置とを有し、第１保持装置は、第１搬送装置に搭載されて、格納部と載置部との間の搬送経路でワークを保持し、第２保持装置は、第１搬送装置に搭載されて、載置部と加工部との間の搬送経路、及び洗浄部と載置部との間の搬送経路でワークを保持し、第３保持装置は、第２搬送装置に搭載されて、加工部と洗浄部との間の搬送経路でワークを保持することが好ましい。

【0011】

本発明の一形態は、第１保持装置は、第１搬送装置にアーム部材を介して揺動自在に連結されて、倒伏位置と起立位置との間で姿勢が変更されることが好ましい。

【0012】

本発明の一形態は、載置部と第３保持装置とは、第２搬送装置において上部に載置部が配置され、下部に第３保持装置が配置されることが好ましい。

【0013】

本発明の一形態は、加工部は、ワークをダイシング加工するダイシング手段を有することが好ましい。

【発明の効果】

【0014】

本発明によれば、剛性の低いワークを安定且つ確実に保持することが可能な搬送装置を備えたワーク加工装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】実施形態のダイシング装置の要部構成図である。

【図2】加工対象のワークの斜視図である。

【図3】図２に示したワークの断面図である。

【図4】加工部の構成の一例を示した斜視図である。

【図5】ダイシング装置の電気的構成を示した機能ブロック図である。

【図6】第１保持装置が起立位置にある状態を示した斜視図である。

【図7】第１保持装置が倒伏位置にある状態を示した斜視図である。

【図8】第１保持装置を上方から見た斜視図である。

【図9】図８に示した第１保持装置を側方から見た斜視図である。

【図10】保持部材を示した要部斜視図である。

【図11】図１０に示した保持部材の要部断面図である。

【図12】保持部材によってワークが吸着保持された状態を示した概略説明図である。

【図13】保持部材の他の形態を上方から見た斜視図である。

【図14】搬送装置によるワーク搬送動作を経時的に示した説明図である。

【図15】搬送装置によるワーク搬送動作を経時的に示した説明図である。

【図16】搬送装置によるワーク搬送動作を経時的に示した説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、添付図面に従って本発明に係るワーク加工装置の実施形態について説明する。

【0017】

図１は、本発明の実施形態に係るダイシング装置１０の要部構成を示した斜視図である。本例のダイシング装置１０を説明するに当たってはＸ、Ｙ、Ｚの三次元座標系を用いて説明する。なお、ダイシング装置１０は、本発明のワーク加工装置の一例である。

【0018】

図１に示すように、ダイシング装置１０は、ワークが格納される格納部１２と、ワークが一旦載置される載置部１４と、ワークを加工する加工部１６と、ワークを洗浄する洗浄部１８と、を備えている。また、ダイシング装置１０は、後述の保持装置を有する搬送装置２０（本発明の搬送装置の一例）を備えており、この搬送装置２０によってワークが、格納部１２と載置部１４と加工部１６と洗浄部１８との間のそれぞれの搬送経路に沿って搬送される。また、ダイシング装置１０は、ダイシング装置１０の各部材の動作を統括制御する制御部２２を備えている。

【0019】

格納部１２は、一例として箱型に構成されており、上下方向（Ｚ方向）に重なって配置された２つの格納棚２４、２６を有している。例えば、格納棚２４には加工前のワークが格納され、格納棚２６には加工後のワークが格納される。ワークは格納棚２４、２６において複数枚（例えば、１００～１５０枚）積層された状態で格納される。なお、本例のダイシング装置１０は、ダイシングフレームを使用せず、裏面にテープが貼り付けられてなるワークを対象とするものであるが、これに限らず、ダイシングフレームを使用したワークも対象とするものであってもよい。

【0020】

また、格納部１２は、エレベータ２８によって上下方向に移動される。搬送装置２０が格納棚２４からワーク（加工前ワーク）を取り出したり、格納棚２６にワーク（加工後ワーク）を格納したりする動作が行われる場合、搬送装置２０の高さに合わせて格納部１２の高さがエレベータ２８により調整される。なお、格納部１２は、本発明の格納部の一例である。

【0021】

ここで、実施形態のダイシング装置１０によってダイシング加工されるワークについて図２及び図３を参照して説明する。

【0022】

図２は、加工後のワーク２００の斜視図である。また、図３のＩＩＩＡは、図２に示したワーク２００の断面図であり、図３のＩＩＩＢは、図３のＩＩＩＡで示したワーク２００が撓んだ状態（ペラペラの状態）を模式的に示した説明図である。

【0023】

図２に示すように、ワーク２００は、ダイシングフレームを使用せず、ワーク２００の裏面（デバイスが形成される表面とは反対側の面）のみにダイシングテープ２０２が貼り付けられたものである。なお、ワーク２００は、本発明のワークの一例であり、ダイシングテープ２０２は、本発明のテープの一例である。

【0024】

本例のワーク２００は平面視で矩形状に構成されている。このワーク２００には、互いに交差する複数の分割予定ラインに沿って形成された複数の溝２０４が碁盤目状に形成されている。これらの溝２０４は、ダイシング装置１０（図１参照）の後述する加工部１６によって加工されたものであり、図３のＩＩＩＡ及びＩＩＩＢに示すように、ワーク２００を貫通してダイシングテープ２０２まで切り込まれている（いわゆるフルカット加工。）。なお、ワーク２００の形状は矩形状に限定されるものではなく、例えば、円形であってもよい。また、溝２０４の形態は碁盤目状に限定されるものではなく、例えば、複数本の溝が一方向にのみ形成された形態でもよく、また、１本の溝のみが形成された形態であってもよい。また、溝２０４の加工形態は、フルカット加工に限定されるものではなく、例えば、ハーフカット加工或いはセミフルカット加工であってもよい。

【0025】

ダイシングテープ２０２としては、例えばＰＶＣ（polyvinyl chloride：ポリ塩化ビニール）系のテープが使用される。ワーク２００は、例えばＤＡＦ（Die Attach Film）等のフィルム状接着材を介してダイシングテープ２０２に貼り付けられていてもよい。その場合、フィルム状接着材としては、例えばＰＯ（polyolefin：ポリオレフィン）系のものを使用することができる。以上が、ワーク２００の構成である。

【0026】

図１に戻り、載置部１４は、ワーク２００（図２参照）が置かれるテーブル３０を有している。このテーブル３０には、後述するように、格納棚２４から取り出された加工前のワーク２００が加工部１６に搬送される前に一旦置かれ、また、洗浄部１８で洗浄された洗浄後（加工後）のワーク２００が格納棚２６に格納される前に一旦置かれる。すなわち、載置部１４は、ワーク２００の仮置き場として利用される。なお、載置部１４は、本発明の載置部の一例である。

【0027】

図４は、加工部１６の構成の一例を示した斜視図である。図４に示すように、加工部１６は、Ｘテーブル３２を備える。Ｘテーブル３２は、Ｘベース３４に設けられたＸガイド３６、３６によってガイドされ、リニアモータ３８によって矢印Ｘ－Ｘで示すＸ方向に駆動される。また、Ｘテーブル３２の上面にはθ方向に回転する回転テーブル４０が固定され、この回転テーブル４０に、ワーク２００（図２参照）を吸着保持するワークテーブル４２が設けられている。よって、ワークテーブル４２は、Ｘテーブル３２によってＸ方向に移動され、かつ回転テーブル４０によってθ方向に回転される。

【0028】

また、加工部１６は、Ｘベース３４を跨ぐように門型に構成されたＹベース４４を備える。Ｙベース４４の壁面には、Ｙテーブル４６、４６が設けられる。Ｙテーブル４６、４６は、Ｙベース４４の壁面に固定されたＹガイド４８、４８によってガイドされ、図示しないステッピングモータとボールスクリューとからなる駆動装置によって矢印Ｙ－Ｙで示すＹ方向に駆動される。

【0029】

Ｙテーブル４６、４６には、それぞれＺテーブル５０、５０が設けられる。Ｚテーブル５０、５０は、Ｙテーブル４６に設けられた不図示のＺガイドにガイドされ、図示しないステッピングモータとボールスクリューとからなる駆動装置によって矢印Ｚ－Ｚで示すＺ方向に駆動される。Ｚテーブル５０、５０にはスピンドル５２、５２が対向した状態で固定され、スピンドル５２、５２の先端部に装着されたブレード５４、５４が対向配置される。

【0030】

上記の加工部１６の構成により、ブレード５４、５４はＹ方向にインデックス送りされると共にＺ方向に切り込み送りされ、ワークテーブル４２はＸ方向に切削送りされると共にθ方向に回転される。このような加工部１６の動作と回転するブレード５４、５４とによって、ワーク２００（図２参照）の表面に複数の溝２０４が碁盤目状に切削加工される。なお、加工部１６は、本発明の加工部の一例であり、ブレード５４は、本発明のダイシング手段の一例である。

【0031】

図１に戻り、洗浄部１８は、加工部１６によって加工されたワーク２００を保持する回転テーブル５６を有する。洗浄部１８では、回転テーブル５６に保持されたワーク２００を回転テーブル５６によってスピン回転させながら薬液処理、リンス処理及び乾燥処理等が行われる。なお、洗浄部１８は、本発明の洗浄部の一例である。また、本例のダイシング装置１０では、格納部１２、加工部１６及び洗浄部１８がＹ方向に沿って配置されている。

【0032】

図５は、図１に示したダイシング装置１０の電気的構成を示した機能ブロック図である。図５に示すように、ダイシング装置１０の制御部２２は、システム制御部６０、加工制御部６２、エレベータ制御部６４、搬送制御部６６、起伏制御部６８、保持制御部７０、及びコンピュータ可読媒体７２を備える。

【0033】

システム制御部６０は、制御部２２が備える上記の各種制御部を統括的に制御するものである。また、システム制御部６０は、コンピュータ可読媒体７２へのデータ等の書き込み、及びコンピュータ可読媒体７２からのデータ等の読み出しを制御する。

【0034】

加工制御部６２は、加工部１６及び洗浄部１８の各種駆動部材の動作を制御する。エレベータ制御部６４は、エレベータ２８の動作を制御する。搬送制御部６６は、後述する第１及び第２搬送装置の各搬送駆動部７４の動作を制御する。起伏制御部６８は、後述する起伏駆動部７６の動作を制御する。保持制御部７０は、後述する第１乃至第３保持装置の各電磁弁７８の開閉動作を制御する。なお、加工制御部６２による各種駆動部材の動作制御については公知であるため、詳細な説明を省略する。

【0035】

制御部２２のハードウェアは、コンピュータが適用される。制御部２２として機能するコンピュータは、１つ以上のプロセッサ及び１つ以上のコンピュータ可読媒体７２を備える。コンピュータは、コンピュータ可読媒体７２に記憶される１つ以上の命令を含むプログラムをプロセッサが実行して、制御部２２における各種の機能を実現する。

【0036】

制御部２２においては、１つのプロセッサを用いて１つの処理部又は２つ以上の処理部が実現されてもよいし、複数のプロセッサを用いて１つの処理部が実現されてもよい。プロセッサとして、汎用的な処理デバイスであるＣＰＵ（Central Processing Unit）を備えてもよいし、特定の処理に特化した処理デバイスを備えてもよい。複数のプロセッサは、同一の種類であってもよいし、互いに異なる複数の種類であってもよい。

【0037】

コンピュータ可読媒体７２は、主記憶装置であるメモリ、及び補助記憶装置であるストレージを備える。また、コンピュータ可読媒体７２は、半導体メモリ、ハードディスク装置及びソリッドステートドライブ装置等を使用し得る。更に、コンピュータ可読媒体７２は、複数のデバイスの任意の組み合わせを使用し得る。

【0038】

次に、図１に示すダイシング装置１０に搭載された搬送装置２０の構成とその動作について概説する。

【0039】

図１に示すように、実施形態のダイシング装置１０は、ワーク２００（図２参照）の搬送装置２０として、第１搬送装置１００と、第２搬送装置１０２とを備えている。また、搬送装置２０は、ワーク２００を保持するための保持装置（本発明の保持装置の一例）を備えている。この保持装置は、第１保持装置１０４と、第２保持装置１０６と、第３保持装置１０８とを有している。第１保持装置１０４と第２保持装置１０６は、第１搬送装置１００に搭載され、第３保持装置１０８と載置部１４は、第２搬送装置１０２に搭載されている。なお、第１乃至第３保持装置１０４、１０６、１０８は同一の構成を有している。また、図１では、第１乃至第３保持装置１０４、１０６、１０８の構成を簡略化して示している。

【0040】

まず、実施形態のダイシング装置１０の概略動作について説明する。実施形態のダイシング装置１０では、まず、第１保持装置１０４が第１搬送装置１００と協働して、格納棚２４に格納されている加工前のワーク２００を保持し、このワーク２００を格納棚２４から取り出して載置部１４に一旦載置する。なお、図１では、洗浄部１８の上方位置に載置部１４が配置されているが、上記の動作（加工前のワーク２００を載置部１４に一旦載置する動作）を行う場合、載置部１４は第２搬送装置１０２によって加工部１６の上方位置に予め配置されている。すなわち、加工前のワーク２００は、加工部１６の上方位置に配置されている載置部１４に一旦載置される。なお、加工部１６の上方位置とは、Ｚ方向において厳密な上方位置でなくてもよい。すなわち、載置部１４は加工部１６の上方位置から、例えばＹ方向に若干ずれた位置に配置されていてもよい。以下、同じである。

【0041】

次に、第２保持装置１０６が第１搬送装置１００と協働して、載置部１４に載置されているワーク２００を保持し、このワーク２００を加工部１６に搬送する。なお、この動作（ワーク２００を加工部１６に搬送する動作）を行う場合、載置部１４は第２搬送装置１０２によって、図１に図示した洗浄部１８の上方位置に予め配置される。これにより、ワーク２００は、載置部１４に干渉することなく加工部１６に搬送される。なお、洗浄部１８の上方位置とは、Ｚ方向において厳密な上方位置でなくてもよい。すなわち、載置部１４は洗浄部１８の上方位置から、例えばＹ方向に若干ずれた位置に配置されていてもよい。以下、同じである。

【0042】

次に、第３保持装置１０８が第２搬送装置１０２と協働して、加工部１６で加工された加工後のワーク２００を保持し、このワーク２００を洗浄部１８に搬送する。

【0043】

次に、第２保持装置１０６が第１搬送装置１００と協働して、洗浄部１８で洗浄された洗浄後のワーク２００を保持し、このワーク２００を載置部１４に一旦載置する。なお、この動作（洗浄後のワーク２００を載置部１４に一旦載置する動作）を行う場合、載置部１４は第２搬送装置１０２によって、加工部１６の上方位置に予め配置されている。すなわち、洗浄後のワーク２００は、加工部１６の上方位置に配置されている載置部１４に一旦載置される。

【0044】

そして最後に、第１保持装置１０４が第１搬送装置１００と協働して、載置部１４に載置されている洗浄後のワーク２００を保持し、このワーク２００を格納棚２６に格納する。このような搬送装置２０の動作により、格納棚２４から取り出されたワーク２００は加工部１６で加工され、洗浄部１８で洗浄された後、格納棚２６に格納される。

【0045】

次に、本例の搬送装置２０（第１搬送装置１００及び第２搬送装置１０２）の詳細な構成について説明する。

【0046】

図１に示すように、第１搬送装置１００は、本体１１０と、本体１１０から上方に突設されたアーム１１２と、Ｙレール１１４とを有している。本体１１０は、アーム１１２を介してＹレール１１４に支持されると共に、Ｙレール１１４に沿ってＹ方向に移動自在に設けられている。これにより、Ｙ方向において本体１１０は、後述するように、格納部１２に対するワーク取り出し可能位置（図１４のＸＩＶＡ参照）及びワーク格納可能位置（図１６のＸＶＩＦ参照）と、載置部１４に対するワーク受け渡し可能位置（図１４のＸＩＶＢ参照）及びワーク受け取り可能位置（図１４のＸＩＶＤ及び図１６のＸＶＩＥ参照）と、加工部１６に対するワーク受け渡し可能位置（図１４のＸＩＶＦ参照）と、洗浄部１８に対するワーク受け取り可能位置（図１５のＸＶＦ参照）と、載置部１４に対する洗浄後のワーク受け渡し可能位置（図１６のＸＶＩＢ参照）との間の搬送経路に沿って移動可能となっている。なお、第１搬送装置１００は、本発明の第１搬送装置の一例である。

【0047】

第２搬送装置１０２も同様に、本体１１６と、本体１１６から上方に突設されたアーム１１８と、Ｙレール１２０とを有している。本体１１６は、アーム１１８を介してＹレール１２０に支持されると共に、Ｙレール１２０に沿ってＹ方向に移動自在に設けられている。これにより、Ｙ方向において本体１１６は、後述するように、加工部１６に対するワーク受け取り可能位置（図１５のＸＶＢ参照）と、洗浄部１８に対するワーク受け渡し可能位置（図１５のＸＶＤ参照）との間の搬送経路に沿って移動可能となっている。なお、第２搬送装置１０２は、本発明の第２搬送装置の一例である。

【0048】

また、本体１１０及び本体１１６は、搬送駆動部７４（図５参照）によってＹ方向及びＺ方向に駆動される。搬送駆動部７４としては、例えばステッピングモータとボールスクリューとを有する駆動装置を例示することができる。この場合、Ｙ方向における移動は、Ｙ方向に配置したボールスクリューをステッピングモータで回転させることにより、本体１１０及び本体１１６をそれぞれアーム１１２、１１８と共にＹ方向に移動させる。また、Ｚ方向における移動は、Ｚ方向に配置したボールスクリューをステッピングモータで回転させることにより、本体１１０、１１６をそれぞれアーム１１２、１１８に対してＺ方向に移動させる。なお、上記の駆動装置は一例である。

【0049】

また、第１搬送装置１００及び第２搬送装置１０２は、本体１１０及び本体１１６のＹ方向の移動時において、本体１１０及び本体１１６が互いに干渉することなく互いにすれ違い可能に構成されている。

【0050】

具体的には、Ｙレール１１４はＹレール１２０よりも上方側（Ｚ（＋）側）に配設されている。また、アーム１１２はＬ字状に構成され、Ｙレール１１４から前方側（Ｘ（＋）側）に突出して下方側（Ｚ（－）側）に延設されている。また、アーム１１８はＩ字状に構成され、Ｙレール１２０から下方側（Ｚ（－）側）に延設されている。このような構成により、本体１１０及び本体１１６をＹ方向から見た場合、本体１１０が本体１１６よりも前方側（Ｘ（＋）側）に配置され、且つ、本体１１０とＹレール１２０との間に本体１１６が通過可能な隙間が形成される。このような構成により、本体１１０及び本体１１６は、Ｙ方向の移動時において互いに干渉することなく互いにすれ違うことが可能となる。

【0051】

図６及び図７は、それぞれ第１搬送装置１００の構成を示した斜視図である。図６には、第１保持装置１０４が起立位置に位置している状態が示されており、図７には、第１保持装置１０４が倒伏位置に位置している状態が示されている。なお、図６及び図７においても第１保持装置１０４及び第２保持装置１０６の構成を簡略化して示している。

【0052】

図６及び図７に示すように、第１搬送装置１００には、第１保持装置１０４と、第２保持装置１０６とが搭載されている。また、第１保持装置１０４には、第１保持装置１０４を図６の起立位置と図７の倒伏位置との間で起伏動作するための起伏駆動部７６（図５参照）が搭載されている。

【0053】

起伏駆動部７６は、アーム部材１２２を有している。アーム部材１２２の先端部には第１保持装置１０４が連結され、アーム部材１２２の基端部には軸１２４が連結されている。軸１２４は、Ｘ方向に沿って配置され、本体１１０の下部構成部材１２８に固定された揺動支持部１２６に軸支されている。また、軸１２４は、起伏駆動部７６の駆動源（不図示）に連結されている。なお、アーム部材１２２は、本発明のアーム部材の一例である。

【0054】

このように構成された起伏駆動部７６によれば、起伏駆動部７６の駆動源（不図示）によって軸１２４が正転及び逆転されることにより、アーム部材１２２が軸１２４を揺動支点としてＹ（－）Ｚ平面に沿って揺動される。これによって、第１保持装置１０４が、ワーク２００（図２参照）を保持する際の図７の倒伏位置と、ワーク２００を保持しない際の図６の起立位置との間で姿勢が変更される。第１保持装置１０４が図７の倒伏位置にあることを“展開”、若しくは“展開時”等と称し、図６の起立位置にあることを“収納”、若しくは“収納時”等と称する場合もある。すなわち、第１保持装置１０４は、収納可能である。なお、起伏駆動部７６の構成は、これに限定されるものではなく、第１保持装置１０４を起伏動作可能な構成であればよい。

【0055】

次に、第１保持装置１０４の構成の一例について説明する。なお、第２保持装置１０６と第３保持装置１０８は、第１保持装置１０４と同一の構成を有しているため、本明細書では、第１保持装置１０４の構成を代表して説明し、第２保持装置１０６と第３保持装置１０８の説明は省略する。

【0056】

図８は、第１保持装置１０４を上方から見た斜視図である。図９は、図８に示した第１保持装置１０４を側方から見た斜視図である。なお、第１保持装置１０４は、本発明の第１保持装置の一例である。

【0057】

図８及び図９に示すように、第１保持装置１０４は、複数台（本例では５台）の保持部材１３０（１３０Ａ）を備え、これらの保持部材１３０（１３０Ａ）によって１つのワーク２００を保持するものである。まず、保持部材１３０について説明する。

【0058】

図１０は、保持部材１３０を示した要部斜視図であり、図１１は、図１０に示した保持部材１３０の要部断面図である。図１０及び図１１に示すように、保持部材１３０は、パッド１３２と、パッド支持体１３４と、電磁弁７８（図５参照）と、吸引ポンプ１３６とを備えている。

【0059】

パッド１３２は薄板状に構成されたものであり、一例として平面視で矩形状に形成されている。なお、パッド１３２の形状は矩形状に限定されるものではなく、例えば、円形であってもよい。

【0060】

図１１に示すように、パッド１３２の中央部には、後述する開口部１３８及び吸引路１４０を介して吸引ポンプ１３６に連通する吸引路１４２が形成されている。吸引路１４２には、吸引ポンプ１３６により吸引路１４０及び開口部１３８を介して負圧が付与される。これにより、パッド１３２の吸引孔開口面１４４（図１１において下側の面）は、ワーク２００（図２参照）を負圧によって吸着する吸着面として機能する。吸引ポンプ１３６（吸引路１４２、開口部１３８及び吸引路１４０を含む。以下、同じ。）は、本発明の負圧発生部の一例である。なお、本例では、ワーク２００（図２参照）の表面（ダイシングテープ２０２が貼り付けられる側とは反対側の面）にパッド１３２を接触させた状態でワーク２００が負圧により吸着保持される。

【0061】

また、吸引路１４２と吸引ポンプ１３６との間の管路には、電磁弁７８が設けられている。電磁弁７８は、保持制御部７０（図５参照）から与えられる信号によって開閉動作が行われる。電磁弁７８が開放された場合には、吸引路１４２と吸引ポンプ１３６との間が連通状態となって吸引ポンプ１３６の負圧が吸引路１４２に付与される。電磁弁７８が閉鎖された場合には、吸引路１４２と吸引ポンプ１３６との間が非連通状態となって吸引ポンプ１３６の負圧が吸引路１４２に付与不能になる。

【0062】

図１０及び図１１に示すように、パッド支持体１３４は、支持部本体１４６と、板金１４８とを備えている。支持部本体１４６は、配管１５０に連結される口金部１５２と、口金部１５２の下部に一体に構成された平板状の座部１５４とを有し、例えば剛性の高い金属によって構成されている。座部１５４は、平面視で矩形状に構成される。この座部１５４の板金固定面１５６（板金１４８が配置される側の面）は平面状に構成されている。そして、座部１５４の板金固定面１５６に板金１４８が固定される。口金部１５２及び座部１５４には、配管１５０に連通される吸引路１４０が形成されている。なお、座部１５４の形状は矩形状に限定されるものではなく、例えば円形であってもよい。

【0063】

配管１５０は、一端が口金部１５２に固定され、他端が電磁弁７８を介して吸引ポンプ１３６に接続される。吸引ポンプ１３６は、電磁弁７８、配管１５０、吸引路１４０、及び開口部１３８を介して吸引路１４２に連通されている。これにより、吸引ポンプ１３６の駆動に応じて吸引路１４２には負圧が付与されるので、パッド１３２の吸引孔開口面（吸着面）１４４に対してワーク２００（図２参照）を負圧により吸着保持することが可能となる。

【0064】

板金１４８は、座部１５４の板金固定面１５６に対してネジ等の締結部材によって取り外し可能に固定される。また、板金１４８には、吸引路１４０と連通した開口部１３８が形成されている。本例の開口部１３８と吸引路１４０とによって、吸引路が構成されている。また、板金１４８と座部１５４との間にはＯリング（不図示）が配置されている。このＯリングは、吸引路１４０を囲繞する位置に配置されており、Ｏリングによって吸引路１４０内の空気の漏れが防止されている。

【0065】

図１１に示すように、板金１４８のパッド固定面１５８（座部１５４とは反対側の面）には、パッド１３２が接着剤により固定される。板金１４８のパッド固定面１５８に対するパッド１３２の固定形態は特に限定されるものではないが、後述するようにパッド１３２としてゴム製のものが採用された場合には、ネジ等の締結部材よりも接着剤による固定形態であることが好ましい。なお、上述したように、パッド１３２が固定される板金１４８は座部１５４から取り外し可能（着脱自在）に構成されているので、例えばパッド１３２が摩耗した場合には、パッド１３２は板金１４８と共に座部１５４から取り外されて新たなパッド１３２（板金１４８を含む）に交換することが可能となっている。以下、パッド１３２の構成について詳しく説明する。

【0066】

パッド１３２は、可撓性部材によって構成されている。可撓性部材としては、ゴムを例示することができる。ゴムとしては、クロロプレンゴム及びシリコンゴム等の柔軟性のある軟質ゴムを例示することができる。なお、可撓性部材としては、ゴムに限定されるものではなく、例えば、ＰＶＣ等の柔軟性のある軟質プラスチックを採用してもよい。但し、後述するように、パッド１３２の非固定領域１３２ｂを、ワーク２００（図２参照）の形状に倣って変形させる観点から、軟質プラスチックよりもゴムが好ましい。

【0067】

上記のように可撓性部材により構成されるパッド１３２は、平面視で矩形状に構成される平面領域（パッド領域）のうち、その外縁部（周囲）を除く中央領域（中央部）がパッド支持体１３４に固定される領域であり、その中央領域の周辺領域がパッド支持体１３４に固定されない領域である。すなわち、パッド１３２を構成するパッド領域（平面視矩形状領域）のうち、中央部を含む所定範囲の中央領域がパッド支持体１３４（板金１４８のパッド固定面１５８）に対して固定された固定領域１３２ａとなり、この固定領域１３２ａよりも面外方に位置する周辺領域がパッド支持体１３４（板金１４８のパッド固定面１５８）に対して固定されない非固定領域１３２ｂとなっている。なお、固定領域１３２ａの中央部には吸引路１４２が形成されており、その吸引路１４２には開口部１３８及び吸引路１４０を介して吸引ポンプ１３６が連通されている。

【0068】

次に、保持部材１３０の作用について説明する。図１２は、保持部材１３０によってワーク２００が吸着保持された状態を示した概略説明図である。

【0069】

図１２に示すように、パッド１３２の吸引孔開口面（吸着面）１４４をワーク２００の表面に当接させた状態にする。そして、この状態で電磁弁７８を開放して吸引路１４２に負圧を付与する。これにより、パッド１３２の吸引孔開口面１４４とワーク２００の表面との間に負圧が作用して、パッド１３２に対してワーク２００が負圧により吸着保持された状態となる。

【0070】

このようにしてパッド１３２による吸着保持が行われる際、パッド１３２の中央領域に形成される固定領域１３２ａはパッド支持体１３４（板金１４８のパッド固定面１５８）に対して固定されているため、固定領域１３２ａに接するワーク２００の中央領域は、平坦な状態で維持しながらパッド１３２に対して吸着保持される。一方、パッド１３２の周辺領域に形成される非固定領域１３２ｂはパッド支持体１３４（板金１４８のパッド固定面１５８）に対して固定されずにワーク２００の変形に倣って柔軟に変形可能（可撓変形が可能な領域）となっている。そのため、パッド１３２の非固定領域１３２ｂに接した部分であるワーク２００の周辺部が自重により撓み変形したとしても、その撓み変形に倣ってパッド１３２の非固定領域１３２ｂが追従して変形してワーク２００の周辺部を吸着保持することが可能となる。

【0071】

ここで、パッド１３２による吸着保持が行われる際の吸引ポンプ１３６の吸引量（送風量）について説明する。吸引ポンプ１３６は、パッド１３２に対してワーク２００（図２参照）を吸着保持した場合、図２に示す溝２０４から吸引路１４２を介して吸引路１４０に流入する空気量（外気量）よりも大きな風量を吸引可能な吸引量に設定される。具体的に説明すると、吸引ポンプ１３６のモータの回転数が上記の風量となるように吸引量が設定される。つまり、吸引ポンプ１３６のモータの回転数は、溝２０４を介して吸引路１４０に流入する空気量よりも大きな排気速度で吸引する回転数に設定される。

【0072】

なお、吸引ポンプ１３６による上記の排気速度は、ワーク２００に形成された溝２０４のパッド１３２での管路抵抗の大きさに応じてパッド１３２がワーク２００を吸着可能な速度に設定される。上記の管路抵抗は、溝２０４の幅、深さ、本数、形状等により定められる。また、図１１に示した矢印Ａは、吸引ポンプ１３６が駆動された場合の空気流れ方向を示している。

【0073】

吸引ポンプ１３６のモータの回転数を上記のように設定して吸引ポンプ１３６を駆動し、パッド１３２の吸引孔開口面１４４をワーク２００の表面に当接させた場合、外気は溝２０４からワーク２００とパッド１３２との間に流入（リーク）する。その際、吸引ポンプ１３６は、吸引路１４０に流入する空気量（外気量）よりも大きな風量を吸引する回転数で駆動される。その結果、溝２０４による管路抵抗の作用とも相まって、パッド１３２の吸引孔開口面１４４とワーク２００の表面との間に負圧が発生し、ワーク２００の表面がパッド１３２の吸引孔開口面１４４に負圧により吸着保持される。

【0074】

したがって、本例の保持部材１３０によれば、ワーク２００の表面に当接可能なパッド１３２と、パッド１３２の周囲を除くパッド１３２の中央部に固定されるパッド支持体１３４と、パッド１３２とワーク２００との間に負圧を作用させる吸引ポンプ１３６と、を含む構成を備えているので、剛性が低い、いわゆる「ペラペラの状態」のワーク２００を吸着保持する場合であっても安定且つ確実に保持することが可能となる。

【0075】

また、本例の保持部材１３０によれば、パッド１３２は、ワーク２００を平坦な状態で吸着保持することが可能な固定領域１３２ａを備えたことにより、パッド１３２によりワーク２００を吸着保持する際にワーク２００の変形が全体的に抑制されるので、ワーク２００に形成されるチップ（デバイス）間の接触等の不具合を防止することが可能となる。

【0076】

また、本例の保持部材１３０によれば、従来と同じサイズの装置（例えば、ダイシング装置）において、ワークサイズをフレームサイズまで拡張することが可能となるので、より大きなサイズのワークの処理が可能となる。また、サイズの大きなワークではチップ取り数が増えるので、チップの低廉化につながるというメリットもある。

【0077】

図８及び図９に戻り、第１保持装置１０４について継続して説明する。

【0078】

図８及び図９に示すように、第１保持装置１０４は、５台の保持部材１３０（１３０Ａ）の他、パッド連結ベース１６０と、搬送ベース１６２と、スプリング１６４とを備えている。

【0079】

図８及び図９に示すように、パッド連結ベース１６０は、平面視において略Ｘ字状に構成されている。パッド連結ベース１６０は、４箇所の端部１６０Ａを有し、これらの端部１６０Ａに保持部材１３０がそれぞれ固定されている。また、パッド連結ベース１６０は、中央部１６０Ｂを有し、中央部１６０Ｂに保持部材１３０Ａが取り付けられている。

【0080】

図１３は、保持部材１３０Ａの斜視図である。保持部材１３０Ａは、パッド１３２Ａ及び座部１５４Ａの形状が平面視において長方形に構成されているが、基本的な構造は保持部材１３０と同一であるので、ここでは説明を省略する。

【0081】

図８及び図９に示した５台の保持部材１３０（１３０Ａ）は、それぞれのパッド１３２（１３２Ａ）の吸引孔開口面１４４が同一の水平面上に位置するようにパッド連結ベース１６０にそれぞれ固定されている。

【0082】

図８及び図９に示すように、搬送ベース１６２は、パッド連結ベース１６０の上方に配置される。すなわち、搬送ベース１６２は、パッド連結ベース１６０に対して５台の保持部材１３０（１３０Ａ）とは反対側に設けられている。搬送ベース１６２は、平面視において略十字状に構成されている。搬送ベース１６２は、４箇所の端部１６２Ａを有している。搬送ベース１６２の下方に配置されたパッド連結ベース１６０は、搬送ベース１６２の各端部１６２Ａに設けられたスプリング１６４を介して搬送ベース１６２に上下動自在（フローティング）に支持されている。すなわち、スプリング１６４は、搬送ベース１６２とパッド連結ベース１６０との間に設けられることで、搬送ベース１６２とパッド連結ベース１６０との距離を変化させる方向に付勢する機能を有している。なお、搬送ベース１６２の上部中央部１６２Ｂに図６及び図７に示したアーム部材１２２の先端部が連結される。

【0083】

上記の如く構成された第１保持装置１０４によれば、搬送ベース１６２とパッド連結ベース１６０との間に配置された複数（本例では４つの）のスプリング１６４を含むフローティング機構を備えているので、このフローティング機構により、パッド連結ベース１６０に連結固定される各保持部材１３０（１３０Ａ）の吸引孔開口面１４４が、搬送ベース１６２に対して可動になっている。これにより、各保持部材１３０（１３０Ａ）の吸引孔開口面１４４をワーク２００の表面に接触させた際の衝撃を緩和することができるので、各保持部材１３０（１３０Ａ）の吸引孔開口面１４４への吸着保持の動作をスムーズに行うことが可能となる。

【0084】

なお、本例では、５台の保持部材１３０（１３０Ａ）を有する第１保持装置１０４を例示したが、これに限定されるものではなく、少なくとも１台の保持部材１３０を有する構成であってもよい。

【0085】

次に、第２保持装置１０６、第３保持装置１０８及び載置部１４について簡単に説明する。

【0086】

図６及び図７に示すように、第２保持装置１０６は、吸引孔開口面１４４（図１１参照）を下側に向けた状態で第１搬送装置１００の下部構成部材１２８に固定される。そして、第２保持装置１０６は、搬送駆動部７４（図５参照）によって本体１１０と共にＹ方向及びＺ方向に移動される。なお、第２保持装置１０６は、本発明の第２保持装置の一例である。

【0087】

図１に示すように、第３保持装置１０８及び載置部１４は、第２搬送装置１０２の本体１１６の下部に固定されている。載置部１４と第３保持装置１０８は、Ｚ方向（鉛直方向）において上部に載置部１４が配置され、下部に第３保持装置１０８が配置されている。なお、第３保持装置１０８は、本発明の第３保持装置の一例である。

【0088】

次に、図１に示した搬送装置２０によるワーク２００の搬送動作の一例について図１４乃至図１６を参照して説明する。

【0089】

図１４乃至図１６には、搬送装置２０（第１乃至第２搬送装置１００、１０２及び第１乃至第３保持装置１０４、１０６、１０８）によって一つのワーク２００を、格納部１２と載置部１４と加工部１６と洗浄部１８との間のそれぞれの搬送経路に沿って搬送する状態が経時的に示されている。また、これらの図中に示される矢印は、搬送装置２０の各部材の移動方向をそれぞれ示している。また、上方向、下方向とは、それぞれ、Ｚ（＋）方向、Ｚ（－）方向を指している。

【0090】

まず、加工前のワーク２００を格納部１２（格納棚２４）から載置部１４に搬送する動作について説明する。

【0091】

図１４のＸＩＶＡには、格納棚２４に格納されている加工前のワーク２００が、第１保持装置１０４（吸引孔開口面１４４（図１１参照）。以下同じ。）によって吸着保持された状態が示されている。第１保持装置１０４は、ワーク２００を吸着保持する前段階では、倒伏位置を維持した状態で格納棚２４に対しＹ（＋）方向側に配置されている。この後、第１搬送装置１００の本体１１０のＹ（－）方向の移動により、Ｙ方向において本体１１０が、格納部１２に対するワーク取り出し可能位置に配置される。この動作によって、第１保持装置１０４が倒伏位置で格納棚２４に挿入されてワーク２００の上方位置に配置される。

【0092】

第１保持装置１０４がワーク２００の上方位置に配置されると、本体１１０が下方向に移動される。これにより、第１保持装置１０４がワーク２００に向けて下方向に移動され、第１保持装置１０４がワーク２００の表面に当接される。この後、第１保持装置１０４の電磁弁７８（図５参照）が開放される。これにより、第１保持装置１０４とワーク２００の表面との間に負圧が発生し、ワーク２００の表面が負圧によって第１保持装置１０４に吸着保持される。

【0093】

ワーク２００が第１保持装置１０４に吸着保持されると、本体１１０が上方向に移動される。これにより、図１４のＸＩＶＡの如く、吸着保持したワーク２００が積層ワーク群２１０から上方向に持ち上げられる。このとき、載置部１４は、第２搬送装置１０２によって予め加工部１６の上方位置に配置されていることが好ましい。なお、以下の説明において、第２搬送装置１０２については本体１１６（図１参照）の図示を省略して説明する。また、第２保持装置１０６の移動とは、本体１１６の移動を指すものとする。

【0094】

図１４のＸＩＶＡ如く、ワーク２００が上方向に持ち上げられると、本体１１０がＹ（＋）方向に移動される。これにより、Ｙ方向において本体１１０が、載置部１４に対するワーク受け渡し可能位置に配置される（図１４のＸＩＶＢ参照）。この動作によって、第１保持装置１０４に吸着保持されたワーク２００が載置部１４の上方位置に配置される。

【0095】

ワーク２００が載置部１４の上方位置に配置されると、本体１１０が下方向に移動される。これにより、第１保持装置１０４が載置部１４に向けて下方向に移動され、図１４のＸＩＶＢの如く、ワーク２００が載置部１４（テーブル３０（図１参照））に受け渡される。

【0096】

ワーク２００が載置部１４に受け渡されると、電磁弁７８（図５参照）が閉鎖される。これにより、第１保持装置１０４に対するワーク２００の吸着保持が解除され、ワーク２００が第１保持装置１０４から切り離されて載置部１４に載置される。以上が、加工前のワーク２００を格納部１２から載置部１４に搬送する動作である。

【0097】

次に、載置部１４に載置されたワーク２００を載置部１４から加工部１６に搬送する動作について説明する。

【0098】

図１４のＸＩＶＢで示したように、ワーク２００が載置部１４に載置されると、本体１１０が上方向に移動され、第１保持装置１０４がワーク２００の上方位置に退避される。この後、起伏駆動部７６（図５参照）が駆動され、第１保持装置１０４の姿勢が図１４のＸＩＶＢの倒伏位置から図１４のＸＩＶＣに示す起立位置に変更される。

【0099】

第１保持装置１０４の姿勢が起立位置に変更されると、本体１１０がＹ（－）方向に移動される。これにより、図１４のＸＩＶＤの如く、Ｙ方向において本体１１０が、載置部１４に対するワーク受け取り可能位置に配置される。この動作によって、第２保持装置１０６が載置部１４の上方位置に配置される。

【0100】

第２保持装置１０６が載置部１４の上方位置に配置されると、本体１１０が下方向に移動される。これにより、第２保持装置１０６が載置部１４に向けて下方向に移動され、図１４のＸＩＶＥの如く、第２保持装置１０６がワーク２００の表面に当接される。

【0101】

第２保持装置１０６がワーク２００に当接されると、第２保持装置１０６の電磁弁７８（図５参照）が開放される。これにより、第２保持装置１０６とワーク２００の表面との間に負圧が発生し、ワーク２００の表面が負圧によって第２保持装置１０６に吸着保持される。

【0102】

ワーク２００が第２保持装置１０６に吸着保持されると、本体１１０が上方向に移動される。この後、第２搬送装置１０２がＹ（＋）方向に移動され、図１４のＸＩＶＦの如く、載置部１４が洗浄部１８の上方位置に配置される。これにより、載置部１４によって閉鎖されていた加工部１６の上方空間が開放される。

【0103】

ここで、図１４のＸＩＶＦには、Ｙ方向において本体１１０が、加工部１６に対するワーク受け渡し可能位置に配置された状態が示されている。すなわち、加工部１６の上方位置に、第２保持装置１０６に吸着保持されたワーク２００が配置された状態が示されている。この後、本体１１０が下方向に移動される。これにより、第２保持装置１０６が加工部１６に向けて下方向に移動され、図１５のＸＶＡの如く、ワーク２００が加工部１６（ワークテーブル４２（図１参照））に受け渡される。

【0104】

ワーク２００が加工部１６に受け渡されると、第２保持装置１０６の電磁弁７８（図５参照）が閉鎖される。これにより、第２保持装置１０６に対するワーク２００の吸着保持が解除されて、ワーク２００が第２保持装置１０６から切り離される。以上が、載置部１４に載置されたワーク２００を載置部１４から加工部１６に搬送する動作である。

【0105】

次に、加工部１６で加工された加工後のワーク２００を加工部１６から洗浄部１８に搬送する動作について説明する。

【0106】

ここで、図１５のＸＶＢには、加工部１６によるワーク加工中の状態が示されている。ワーク加工中において、本体１１０の上方向の移動により、第２保持装置１０６は加工部１６の上方位置に退避される。また、第２搬送装置１０２は、Ｙ（－）方向に移動される。これにより、Ｙ方向において第２搬送装置１０２が、加工部１６に対するワーク受け取り可能位置に配置される。この動作によって、第３保持装置１０８が加工部１６の上方位置に配置される。

【0107】

ワーク加工が終了すると、第２搬送装置１０２が下方向に移動される。これにより、第３保持装置１０８が加工部１６に向けて下方向に移動され、図１５のＸＶＣの如く、第３保持装置１０８がワーク２００の表面に当接される。

【0108】

第３保持装置１０８がワーク２００に当接されると、第３保持装置１０８の電磁弁７８（図５参照）が開放される。これにより、第３保持装置１０８とワーク２００の表面との間に負圧が発生し、ワーク２００の表面が負圧によって第３保持装置１０８に吸着保持される。

【0109】

ワーク２００が第３保持装置１０８に吸着保持されると、第２搬送装置１０２が上方向に移動され、加工後のワーク２００が加工部１６から搬出される。この後、第２搬送装置１０２がＹ（＋）方向に移動される。これにより、図１５のＸＶＤの如く、Ｙ方向において第２搬送装置１０２が、洗浄部１８に対するワーク受け渡し可能位置に配置される。この動作によって、第３保持装置１０８に吸着保持されたワーク２００が洗浄部１８の上方位置に配置される。

【0110】

ワーク２００が洗浄部１８の上方位置に配置されると、第２搬送装置１０２が下方向に移動される。これにより、第３保持装置１０８が洗浄部１８に向けて下方向に移動され、図１５のＸＶＥの如く、ワーク２００が洗浄部１８（回転テーブル５６（図１参照））に受け渡される。

【0111】

ワーク２００が洗浄部１８に受け渡されると、第３保持装置１０８の電磁弁７８（図５参照）が閉鎖される。これにより、第３保持装置１０８に対するワーク２００の吸着保持が解除されて、ワーク２００が第３保持装置１０８から切り離される。以上が、加工後のワーク２００を加工部１６から洗浄部１８に搬送する動作である。

【0112】

次に、洗浄部１８で洗浄された洗浄後のワーク２００を洗浄部１８から載置部１４に搬送する動作について説明する。

【0113】

ここで、図１５のＸＶＦには、洗浄部１８によるワーク洗浄中の状態が示されている。ワーク洗浄中において、第２搬送装置１０２のＹ（－）方向の移動により、載置部１４は加工部１６の上方位置に配置される。また、本体１１０は、Ｙ（＋）方向に移動される。これにより、Ｙ方向において本体１１０が、洗浄部１８に対するワーク受け取り可能位置に配置される。この動作によって、第２保持装置１０６が洗浄部１８の上方位置に配置される。

【0114】

ワーク洗浄が終了すると、本体１１０が下方向に移動される。これにより、第２保持装置１０６が洗浄部１８に向けて下方向に移動され、図１６のＸＶＩＡの如く、第２保持装置１０６がワーク２００の表面に当接される。

【0115】

第２保持装置１０６がワーク２００に当接されると、第２保持装置１０６の電磁弁７８（図５参照）が開放される。これにより、第２保持装置１０６とワーク２００の表面との間に負圧が発生し、ワーク２００の表面が負圧によって第２保持装置１０６に吸着保持される。

【0116】

ワーク２００が第２保持装置１０６に吸着保持されると、本体１１０が上方向に移動され、洗浄後のワーク２００が洗浄部１８から搬出される。この後、本体１１０がＹ（－）方向に移動される。これにより、図１６のＸＶＩＢの如く、Ｙ方向において本体１１０が、載置部１４に対するワーク受け渡し可能位置に配置される。この動作によって、第２保持装置１０６に吸着保持されたワーク２００が載置部１４の上方位置に配置される。

【0117】

ワーク２００が載置部１４の上方位置に配置されると、本体１１０が下方向に移動される。これにより、第２保持装置１０６が載置部１４に向けて下方向に移動され、図１６のＸＶＩＣの如く、ワーク２００が載置部１４に受け渡される。

【0118】

ワーク２００が載置部１４に受け渡されると、第２保持装置１０６の電磁弁７８（図５参照）が閉鎖される。これにより、第２保持装置１０６に対するワーク２００の吸着保持が解除され、ワーク２００が第２保持装置１０６から切り離されて載置部１４に載置される。以上が、洗浄された加工後のワーク２００を洗浄部１８から載置部１４に搬送する動作である。

【0119】

そして最後に、洗浄後のワーク２００を載置部１４から格納部１２（格納棚２６）に搬送する動作について説明する。

【0120】

ここで、図１６のＸＶＩＤには、ワーク２００に対する第２保持装置１０６の吸着保持が解除された直後の状態が示されている。吸着保持が解除されると、本体１１０が上方向に移動され、第２保持装置１０６が載置部１４の上方位置に退避される。この後、本体１１０がＹ（＋）方向に移動される。これにより、Ｙ方向において本体１１０が、載置部１４に対するワーク受け取り可能位置に配置される（図１６のＸＶＩＥ参照）。この動作によって、第１保持装置１０４によるワーク２００の吸着保持が可能となる。

【0121】

この後、起伏駆動部７６（図５参照）が駆動される。これにより、第１保持装置１０４が、図１６のＸＶＩＤで示す起立位置から下方向に向けて移動されて倒伏位置に配置される。この動作によって、図１６のＸＶＩＥの如く、第１保持装置１０４がワーク２００の表面に当接される。

【0122】

第１保持装置１０４がワーク２００に当接されると、第１保持装置１０４の電磁弁７８（図５参照）が開放される。これにより、第１保持装置１０４とワーク２００の表面との間に負圧が発生し、ワーク２００の表面が負圧によって第１保持装置１０４に吸着保持される。

【0123】

ワーク２００が第１保持装置１０４に吸着保持されると、本体１１０が上方向に移動され、洗浄後のワーク２００を載置部１４から持ち上げる。そして、この動作に連動して、格納部１２がエレベータ２８によって下方向に移動され、格納棚２６とワーク２００との相対的な上下方向の位置が合わせられる。

【0124】

この後、本体１１０がＹ（－）方向に移動される。これにより、図１６のＸＶＩＦの如く、Ｙ方向において本体１１０が、格納部１２（格納棚２６）に対するワーク受け渡し可能位置に配置される。この動作によって、第１保持装置１０４に吸着保持されたワーク２００が格納棚２６に挿入される。

【0125】

ワーク２００が格納棚２６に挿入されると、第１保持装置１０４の電磁弁７８（図５参照）が閉鎖される。これにより、第１保持装置１０４に対するワーク２００の吸着保持が解除され、ワーク２００が第１保持装置１０４から切り離されて格納棚２６に格納される。以上が、洗浄後のワーク２００を載置部１４から格納部１２に搬送する動作である。

【0126】

このように、本例の搬送装置２０によれば、保持装置（第１乃至第３保持装置１０４、１０６、１０８）として、ワーク２００の表面に当接可能なパッド１３２と、パッド１３２の周囲を除くパッド１３２の中央部に固定されるパッド支持体１３４と、パッド１３２とワーク２００との間に負圧を作用させる吸引ポンプ１３６と、を含む構成を採用したので、剛性が低い、いわゆる「ペラペラの状態」のワーク２００を吸着保持する場合であっても安定且つ確実に保持することが可能となる。

【0127】

したがって、本例の搬送装置２０を備える実施形態のダイシング装置１０によれば、格納部１２と載置部１４と加工部１６と洗浄部１８との間のそれぞれの搬送経路において、剛性の低いワークを安定且つ確実に搬送することが可能となる。

【0128】

以下、本例の搬送装置２０が有する幾つかの効果について説明する。

【0129】

本例の搬送装置２０は、第１搬送装置１００に第１保持装置１０４と第２保持装置１０６を搭載し、且つ、仮置き場として機能する載置部１４を搬送経路の途中に備えた構成を採用したので、以下に説明するように、ダイシング装置１０の小型化を図ることができる。

【0130】

例えば、第１搬送装置１００に対し、倒伏位置で固定された第１保持装置１０４のみを搭載し、第１保持装置１０４のみでワーク２００を保持して搬送する構成を採用した場合、本体１１０のＹ方向における搬送経路が長くなる。

【0131】

具体的には、洗浄部１８で洗浄後のワーク２００を第１保持装置１０４で吸着保持するために、本体１１０のＹ方向における搬送経路を、図１４のＸＩＶＡで示した位置（格納棚２４に対するワーク受け取り可能位置）から、図１５のＸＶＦで示した位置（洗浄部１８に対するワーク受け取り可能位置）を超えて更にアーム部材１２２の長さ分だけＹ（＋）方向側に延設させる必要がある。このため、Ｙ方向における本体１１０の搬送経路が長くなるので、ダイシング装置が大型化する傾向にある。

【0132】

これに対し、本例の搬送装置２０は、第１搬送装置１００に第１保持装置１０４と第２保持装置１０６を搭載し、洗浄部１８で洗浄後のワーク２００を第２保持装置１０６で吸着保持して載置部１４に一旦載置し、このワーク２００を第１保持装置１０４で吸着保持する構成を採用したので、Ｙ方向における本体１１０の搬送経路を短縮することができ、よって、ダイシング装置１０の小型化を図ることができる。

【0133】

更に、本例の搬送装置２０は、上記の構成に加えて、第１保持装置１０４を本体１１０にアーム部材１２２を介して揺動自在に連結し、載置部１４に載置されたワーク２００を第２保持装置１０６で保持する際（図１４のＸＩＶＣ参照）に第１保持装置１０４を起立させる構成を採用したので、Ｙ方向における格納部１２と加工部１６との間の距離を短縮することができ、よって、ダイシング装置１０の更なる小型化を図ることができる。

【0134】

また、本例の搬送装置２０では、第２搬送装置１０２に第３保持装置１０８を搭載した構成を採用したので、以下に説明するように、ワーク２００に対する切削屑の再付着を防止することができる。

【0135】

例えば、１つの保持装置のみでワーク２００を保持して搬送する構成と比較した場合、加工部１６で加工後のワーク２００は、その表面に切削屑等が付着していることから、加工後のワーク２００を吸着保持したときに保持装置に切削屑が付着する場合がある。そして、その保持装置によって、洗浄部１８で洗浄されたクリア（清潔）なワーク２００を吸着保持したときに、その保持装置に付着していた切削屑がクリアなワーク２００に再付着する場合がある。

【0136】

これに対し、本例の搬送装置２０は、加工部１６で加工後のワーク２００（切削屑が付着されているワーク２００）を、加工部１６と洗浄部１８との間の搬送経路のみで保持する専用の第３保持装置１０８を備え、この第３保持装置１０８を第２搬送装置１０２によって独立して移動させる構成を採用している。これにより、洗浄部１８で洗浄されたクリアなワーク２００を、同じくクリアな状態で保持されている第２保持装置１０６及び第１保持装置１０４を利用して洗浄部１８から載置部１４を介して格納棚２６に格納することができる。つまり、本例の構成を採用することにより、ワーク２００に対する切削屑の再付着を防止することができる。

【0137】

なお、本発明においては、１つの搬送装置に１つの保持装置を搭載し、１つの保持装置のみでワーク２００を保持して搬送するシンプルな構成の搬送装置でも採用可能である。但し、上記の如く、ワーク２００に対する切削屑の再付着を防止する観点から、本例の構成を採用することが好ましい。

【0138】

また、本例の搬送装置２０では、第２搬送装置１０２に載置部１４を搭載して、載置部１４を第２搬送装置１０２によって移動する構成を採用したが、これに限定されるものではない。例えば、載置部専用の移動装置を設け、この移動装置によって載置部１４を独立して移動させてもよい。但し、装置構成を簡素化する観点から、載置部１４の移動装置として、第３保持装置１０８を移動させるための第２搬送装置１０２を兼用することが好ましい。

【0139】

実施形態では、本発明に係るワーク加工装置を、ブレード５４を有するダイシング装置に適用した例を挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、ダイシング手段としてレーザー光を使用するダイシング装置にも適用可能である。また、ダイシング装置に限定されるものではなく、格納部、加工部、洗浄部等を備えた、他のワーク加工装置にも適用可能である。

【0140】

以上、本発明に係る加工装置の一例について説明したが、本発明の技術は実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、いくつかの改良又は変形を行ってもよい。

【符号の説明】

【0141】

１０…ダイシング装置、１２…格納部、１４…載置部、１６…加工部、１８…洗浄部、２０…搬送装置、２２…制御部、２４…格納棚、２６…格納棚、２８…エレベータ、３０…テーブル、３２…Ｘテーブル、３４…Ｘベース、３６…Ｘガイド、３８…リニアモータ、４０…回転テーブル、４２…ワークテーブル、４４…Ｙベース、４６…Ｙテーブル、４８…Ｙガイド、５０…Ｚテーブル、５２…スピンドル、５４…ブレード、５６…回転テーブル、６０…システム制御部、６２…加工制御部、６４…エレベータ制御部、６６…搬送制御部、６８…起伏制御部、７０…保持制御部、７２…コンピュータ可読媒体、７４…搬送駆動部、７６…起伏駆動部、７８…電磁弁、１００…第１搬送装置、１０２…第２搬送装置、１０４…第１保持装置、１０６…第２保持装置、１０８…第３保持装置、１１０…本体、１１２…アーム、１１４…Ｙレール、１１６…本体、１１８…アーム、１２０…Ｙレール、１２２…アーム部材、１２４…軸、１２６…揺動支持部、１２８…下部構成部材、１３０…保持部材、１３０Ａ…保持部材、１３２…パッド、１３２ａ…固定領域、１３２Ａ…パッド、１３２ｂ…非固定領域、１３４…パッド支持体、１３６…吸引ポンプ、１３８…開口部、１４０…吸引路、１４２…吸引路、１４４…吸引孔開口面（吸着面）、１４６…支持部本体、１４８…板金、１５０…配管、１５２…口金部、１５４…座部、１５４Ａ…座部、１５６…板金固定面、１５８…パッド固定面、１６０…パッド連結ベース、１６０Ａ…端部、１６０Ｂ…中央部、１６２…搬送ベース、１６２Ａ…端部、１６２Ｂ…上部中央部、１６４…スプリング、２００…ワーク、２０２…ダイシングテープ、２０４…溝、２１０…積層ワーク群

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】