知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024131047
(43)【公開日】2024-09-30
(54)【発明の名称】超純水製造装置及び超純水製造方法
(51)【国際特許分類】
C02F 1/44 20230101AFI20240920BHJP
C02F 1/32 20230101ALI20240920BHJP
C02F 1/42 20230101ALI20240920BHJP
C02F 1/469 20230101ALI20240920BHJP
B01D 61/44 20060101ALI20240920BHJP
B01D 61/46 20060101ALI20240920BHJP
【ＦＩ】
C02F1/44 J
C02F1/32
C02F1/42 A
C02F1/469
B01D61/44 500
B01D61/44 520
B01D61/46
C02F1/44 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023041069
(22)【出願日】2023-03-15
(71)【出願人】
【識別番号】000001063
【氏名又は名称】栗田工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100086911
【弁理士】
【氏名又は名称】重野 剛
(74)【代理人】
【識別番号】100144967
【弁理士】
【氏名又は名称】重野 隆之
(72)【発明者】
【氏名】後藤 秀樹
【テーマコード（参考）】
4D006
4D025
4D037
4D061
【Ｆターム（参考）】
4D006GA06
4D006GA17
4D006GA32
4D006JA53Z
4D006JA67Z
4D006KA14
4D006KB04
4D006KB11
4D006KE02P
4D006KE03P
4D006KE06P
4D006KE22Q
4D006KE23Q
4D006PA01
4D006PB02
4D006PB62
4D006PB64
4D006PC02
4D025AA04
4D025BB04
4D025CA05
4D025CA10
4D025DA01
4D025DA04
4D025DA05
4D025DA06
4D037AA03
4D037BA18
4D037BB01
4D037BB02
4D037CA03
4D037CA04
4D037CA15
4D061DA01
4D061EA09
4D061EB01
4D061EB37
4D061EB39
4D061FA07
4D061FA08
4D061FA09
4D061GA19
4D061GC19
4D061GC20
(57)【要約】
【課題】リターン水のエネルギーを回収してブースターポンプの消費電力を低減することができる超純水製造装置及び超純水製造方法を提供する。
【解決手段】一次純水システムからの一次純水およびユースポイントで使用されなかった水を貯留するサブタンク１と、該サブタンク１からの水を処理して超純水とする水処理装置と、該サブタンク１の水を該水処理装置に送水するためのサブポンプ２と、該水処理装置で処理された超純水をユースポイント１２に送水する送水配管１１と、ユースポイント１２で使用されなかった未使用超純水をリターン水として前記サブタンク１に送水するリターン配管１３，１４と、該水処理装置に設けられたブースターポンプ８とを有する超純水製造システムにおいて、前記リターン水の圧力を回収し前記ブースターポンプ８に送水される水を昇圧させるエネルギー回収装置７を設置したことを特徴とする超純水製造装置。
【選択図】図１
【解決手段】一次純水システムからの一次純水およびユースポイントで使用されなかった水を貯留するサブタンク１と、該サブタンク１からの水を処理して超純水とする水処理装置と、該サブタンク１の水を該水処理装置に送水するためのサブポンプ２と、該水処理装置で処理された超純水をユースポイント１２に送水する送水配管１１と、ユースポイント１２で使用されなかった未使用超純水をリターン水として前記サブタンク１に送水するリターン配管１３，１４と、該水処理装置に設けられたブースターポンプ８とを有する超純水製造システムにおいて、前記リターン水の圧力を回収し前記ブースターポンプ８に送水される水を昇圧させるエネルギー回収装置７を設置したことを特徴とする超純水製造装置。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
一次純水システムからの一次純水およびユースポイントで使用されなかった水を貯留するサブタンクと、
該サブタンクからの水を処理して超純水とする水処理装置と、
該サブタンクの水を該水処理装置に送水するためのサブポンプと、
該水処理装置で処理された超純水をユースポイントに送水する送水配管と、
ユースポイントで使用されなかった未使用超純水をリターン水として前記サブタンクに送水するリターン配管と、
該水処理装置に設けられたブースターポンプと
を有する超純水製造システムにおいて、
前記リターン水の圧力を回収し前記ブースターポンプに送水される水を昇圧させるエネルギー回収装置を設置したことを特徴とする超純水製造装置。
該サブタンクからの水を処理して超純水とする水処理装置と、
該サブタンクの水を該水処理装置に送水するためのサブポンプと、
該水処理装置で処理された超純水をユースポイントに送水する送水配管と、
ユースポイントで使用されなかった未使用超純水をリターン水として前記サブタンクに送水するリターン配管と、
該水処理装置に設けられたブースターポンプと
を有する超純水製造システムにおいて、
前記リターン水の圧力を回収し前記ブースターポンプに送水される水を昇圧させるエネルギー回収装置を設置したことを特徴とする超純水製造装置。
【請求項2】
前記エネルギー回収装置は、１次側流路及び２次側流路を有し、１次側流路を流れる水の圧力で２次側流路を流れる水を昇圧させる圧力回収装置であり、
該１次側流路に前記リターン水が通水され、前記ブースターポンプに送水される水が該２次側流路に通水される請求項１の超純水製造装置。
該１次側流路に前記リターン水が通水され、前記ブースターポンプに送水される水が該２次側流路に通水される請求項１の超純水製造装置。
【請求項3】
前記圧力回収装置は、インペラ式の圧力回収装置である請求項２の超純水製造装置。
【請求項4】
前記ユースポイントからのリターン水を前記１次側流路に送水する配管（１３）と、
該配管（１３）に設けられた圧力センサ（１３ａ）と、該１次側流路からの水を前記サブタンクに送水する配管（１４）と、
該配管（１４）に設けられた流量調節バルブ（１５）と、
前記ＵＦ装置からユースポイントに送水される超純水の流量を検出する流量センサ（１１ａ）と、
該流量センサ（１１ａ）の検出流量が所定値となるように前記ブースターポンプを制御するブースターポンプ制御器と、
前記圧力センサ（１３ａ）の検出圧力が所定値となるように前記流量調節バルブ（１５）を制御する流量調節バルブ制御器と
を有する請求項２の超純水製造装置。
該配管（１３）に設けられた圧力センサ（１３ａ）と、該１次側流路からの水を前記サブタンクに送水する配管（１４）と、
該配管（１４）に設けられた流量調節バルブ（１５）と、
前記ＵＦ装置からユースポイントに送水される超純水の流量を検出する流量センサ（１１ａ）と、
該流量センサ（１１ａ）の検出流量が所定値となるように前記ブースターポンプを制御するブースターポンプ制御器と、
前記圧力センサ（１３ａ）の検出圧力が所定値となるように前記流量調節バルブ（１５）を制御する流量調節バルブ制御器と
を有する請求項２の超純水製造装置。
【請求項5】
前記水処理装置は、低圧紫外線酸化装置と、該低圧紫外線酸化装置からの流出水が通水される電気脱イオン装置又は混床式イオン交換装置よりなる脱イオン装置と、該脱イオン装置からの水が通水されるＵＦ装置とを有しており、
前記ブースターポンプは、該低圧紫外線酸化装置と脱イオン装置との間、又は該脱イオン装置とＵＦ装置との間に配置されている請求項１の超純水製造装置。
前記ブースターポンプは、該低圧紫外線酸化装置と脱イオン装置との間、又は該脱イオン装置とＵＦ装置との間に配置されている請求項１の超純水製造装置。
【請求項6】
請求項１～５のいずれかの超純水製造装置によって超純水を製造する超純水製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、超純水製造装置及び超純水製造方法に関し、特に、ユースポイントからのリターン水の保有エネルギーを回収するようにした超純水製造装置及び超純水製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体製造プロセス等で用いられている超純水は、前処理システム、一次純水システム及びサブシステムから構成される超純水製造装置で原水（工業用水、市水、井水等）を処理することにより製造されている（例えば特許文献１参照）。
【0003】
凝集、加圧浮上（沈殿）、濾過装置等よりなる前処理システムでは、原水中の懸濁物質やコロイド物質の除去を行う。逆浸透（ＲＯ）膜分離装置、脱気装置及びイオン交換装置（混床式、２床３塔式又は４床５塔式）を備える一次純水システムでは原水中のイオンや有機成分の除去を行う。
【0004】
一次純水はサブタンクを経てサブシステムに供給される。
【0005】
サブシステムは、熱交換器、低圧紫外線（ＵＶ）酸化装置、混床式イオン交換装置又は電気脱イオン装置、限外濾過（ＵＦ）膜分離装置等を備える。低圧ＵＶ酸化装置では、低圧ＵＶランプより出される波長１８５ｎｍの紫外線によりＴＯＣを有機酸さらにはＣＯ２まで分解する。分解された有機酸及びＣＯ２は後段のデミナ―非再生型イオン交換樹脂塔又は電気脱イオン装置で除去される。ＵＦ膜分離装置では、微小粒子が除去されイオン交換樹脂の流出粒子も除去される。
【0006】
サブシステムからの超純水はユースポイントに送水され、ユースポイントで使用されなかった超純水は、リターン配管を介してサブタンクに返送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【特許文献1】特開２０１０－１９６５９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
超純水製造装置のサブシステムでは、サブシステム系内の水質維持のためにユースポイントからのリターン配管に下限リターン水量（ミニマムリターン水量）を設定しており、リターン水量が常にミニマムリターン水量以上となるように制御される。そのため、ユースポイントへの送水量は、ユースポイントでの使用水量にミニマムリターン水量を上乗せした水量とされている。
【0009】
電子産業のユースポイントに於ける超純水の使用圧力は０．３～０．６ＭＰａが一般的である。そのため、リターン配管には圧力調整弁を設置し、その１次側圧力が常にこの超純水使用圧範囲内となるように設計されている。圧力調整弁の２次側は、リターン水がそのままサブタンクに戻るため、圧力解放となる。リターン水のエネルギーは、その水量と圧力との積に比例するが、ほとんどが圧力調整弁により失われ、これまで利活用されることなくサブタンクに戻されていた。
【0010】
ユースポイントでの超純水使用量が少なく、これに伴いリターン水量が多い程、リターン水のエネルギーは多くなる。従来は、超純水の水質維持の観点からユースポイントでの超純水使用量の多少に関わらず、ユースポイントへの送水量は常時一定に管理されているため、サブシステム系内のエネルギー（電力）消費量の無駄が多い。
【0011】
本発明は、リターン水のエネルギーを回収してブースターポンプの消費電力を低減することができる超純水製造装置及び超純水製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0012】
本発明の要旨は次の通りである。
【0013】
［１］ 一次純水システムからの一次純水およびユースポイントで使用されなかった水を貯留するサブタンクと、
該サブタンクからの水を処理して超純水とする水処理装置と、
該サブタンクの水を該水処理装置に送水するためのサブポンプと、
該水処理装置で処理された超純水をユースポイントに送水する送水配管と、
ユースポイントで使用されなかった未使用超純水をリターン水として前記サブタンクに送水するリターン配管と、
該水処理装置に設けられたブースターポンプと
を有する超純水製造システムにおいて、
前記リターン水の圧力を回収し前記ブースターポンプに送水される水を昇圧させるエネルギー回収装置を設置したことを特徴とする超純水製造装置。
該サブタンクからの水を処理して超純水とする水処理装置と、
該サブタンクの水を該水処理装置に送水するためのサブポンプと、
該水処理装置で処理された超純水をユースポイントに送水する送水配管と、
ユースポイントで使用されなかった未使用超純水をリターン水として前記サブタンクに送水するリターン配管と、
該水処理装置に設けられたブースターポンプと
を有する超純水製造システムにおいて、
前記リターン水の圧力を回収し前記ブースターポンプに送水される水を昇圧させるエネルギー回収装置を設置したことを特徴とする超純水製造装置。
【0014】
［２］ 前記エネルギー回収装置は、１次側流路及び２次側流路を有し、１次側流路を流れる水の圧力で２次側流路を流れる水を昇圧させる圧力回収装置であり、
該１次側流路に前記リターン水が通水され、前記ブースターポンプに送水される水が該２次側流路に通水される［１］の超純水製造装置。
該１次側流路に前記リターン水が通水され、前記ブースターポンプに送水される水が該２次側流路に通水される［１］の超純水製造装置。
【0015】
［３］ 前記圧力回収装置は、インペラ式の圧力回収装置である［２］の超純水製造装置。
【0016】
［４］ 前記ユースポイントからのリターン水を前記１次側流路に送水する配管（１３）と、
該配管（１３）に設けられた圧力センサ（１３ａ）と、該１次側流路からの水を前記サブタンクに送水する配管（１４）と、
該配管（１４）に設けられた流量調節バルブ（１５）と、
前記ＵＦ装置からユースポイントに送水される超純水の流量を検出する流量センサ（１１ａ）と、
該流量センサ（１１ａ）の検出流量が所定値となるように前記ブースターポンプを制御するブースターポンプ制御器と、
前記圧力センサ（１３ａ）の検出圧力が所定値となるように前記流量調節バルブ（１５）を制御する流量調節バルブ制御器と
を有する［２］の超純水製造装置。
該配管（１３）に設けられた圧力センサ（１３ａ）と、該１次側流路からの水を前記サブタンクに送水する配管（１４）と、
該配管（１４）に設けられた流量調節バルブ（１５）と、
前記ＵＦ装置からユースポイントに送水される超純水の流量を検出する流量センサ（１１ａ）と、
該流量センサ（１１ａ）の検出流量が所定値となるように前記ブースターポンプを制御するブースターポンプ制御器と、
前記圧力センサ（１３ａ）の検出圧力が所定値となるように前記流量調節バルブ（１５）を制御する流量調節バルブ制御器と
を有する［２］の超純水製造装置。
【0017】
［５］ 前記水処理装置は、低圧紫外線酸化装置と、該低圧紫外線酸化装置からの流出水が通水される電気脱イオン装置又は混床式イオン交換装置よりなる脱イオン装置と、該脱イオン装置からの水が通水されるＵＦ装置とを有しており、
前記ブースターポンプは、該低圧紫外線酸化装置と脱イオン装置との間、又は該脱イオン装置とＵＦ装置との間に配置されている［１］の超純水製造装置。
前記ブースターポンプは、該低圧紫外線酸化装置と脱イオン装置との間、又は該脱イオン装置とＵＦ装置との間に配置されている［１］の超純水製造装置。
【0018】
［６］ ［１］～［５］のいずれかの超純水製造装置によって超純水を製造する超純水製造方法。
【発明の効果】
【0019】
本発明では、リターン配管にエネルギー回収装置を設け、リターン水の保有エネルギーを利用してブースターポンプに送水される水を昇圧させるので、ブースターポンプの消費電力が低減される。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【発明を実施するための形態】
【0021】
以下、図面を参照して実施の形態について説明する。
【0022】
本実施の形態の超純水製造装置は、前処理システム、一次純水システム及びサブシステムから構成される。なお、超純水製造装置によっては、一次純水システムとサブシステムとの間に、更に１．５次純水システムなどと称する純水システムを設ける場合があるが、本発明においては、１．５次純水システムを含め、サブシステムの前段の純水システムを一次純水システムとして記載する。
【0023】
前処理システムでは、原水中の懸濁物質やコロイド物質の除去を行う。一次純水システムでは原水中のイオンや有機成分の除去を行う。なお、一次純水システムのＲＯ膜分離装置では、塩類除去のほかにイオン性、中性、コロイド性のＴＯＣを除去する。
【0024】
このようにして得られた一次純水をサブタンクに導入し、サブシステムで処理して超純水を製造する。図１はこの実施の形態のサブシステムの構成を示している。
【0025】
図１の通り、サブシステム１内の一次純水をサブポンプ２で冷却用熱交換器３、脱気膜装置４、ガス溶解装置５、低圧紫外線（ＵＶ）酸化装置６に順次に通す。脱気膜装置４では、水中の酸素やＣＯ２等が除去される。ガス溶解装置５では、所望のガス、例えば窒素ガスを溶解させる。
【0026】
低圧紫外線酸化装置６から流出した水をエネルギー回収装置７の２次側流路７ｂに通して昇圧させた後、ブースターポンプ８でさらに昇圧させ、デミナ―（非再生型イオン交換樹脂塔）９及びＵＦ膜装置１０に順次に通水し、得られた超純水を配管１１によってユースポイント１２に送る。
【0027】
低圧紫外線酸化装置６では、通常、超純水製造装置に用いられる１８５ｎｍ付近の波長を有するＵＶを照射し、一次純水中のＴＯＣを有機酸に分解する。この有機酸は、その他のイオンと共に、デミナ―９で除去される。なお、デミナ―の代りに電気脱イオン装置を用いてもよい。
【0028】
ＵＦ（限外濾過膜）装置１０は、水中の微粒子を除去するためのものである。なお、ＵＦ膜を透過しなかった水（濃縮水）は、配管１０ａによって一次純水システムに返送される。
【0029】
ＵＦ装置１０からユースポイント１２へ送水する配管１１には流量計１１ａが設けられており、この流量計１１ａの検出流量が所定値となるようにブースターポンプ８がブースターポンプ制御器（図示略）によって制御される。
【0030】
ユースポイント１２で使用されなかった未使用超純水は、リターン配管１３によってエネルギー回収装置７の１次側流路７ａに通水される。このリターン水の保有エネルギーによって２次側流路７ｂを流れる水が昇圧される。リターン配管１３には圧力センサ１３ａが設けられている。１次側流路７ａを通ったリターン水は、配管１４及び流量調節バルブ１５を経てサブシステム１に返送される。流量調節バルブ１５は、圧力センサ１３ａで検出されるリターン配管１３内の圧力が所定値となるようにバルブ制御器（図示略）によって制御される。なお、この実施の形態では、圧力センサ１３ａの検出圧力が０．３～０．６ＭＰａとなるように制御されることが好ましい。
【0031】
エネルギー回収装置７は、１次側流路７ａを流れる水の圧力によって２次側流路７ｂを流れる水を加圧するように構成された圧力回収装置である。
【0032】
圧力回収装置としては、インペラ型の圧力回収装置（米国Ｅｎｅｒｇｙ Ｒｅｃｏｖｅｒｙ社）や、容積形動力回収型の圧力回収装置（米国Ｆｅｄｃｏ社）など各種のものが市販されているが、リターン水の流量は常時変動することが一般的であるので、本発明ではエネルギー回収装置７としてはインペラ型の圧力回収装置が好適である。
【0033】
すなわち、一般にエネルギー回収装置７の１次側流路（エネルギーを与える側）のリターン水流量は変動するが、それを受け取り有効活用する側（２次側流路）の流量は一定となる。
【0034】
容積形動力回収型の圧力回収装置はエネルギー回収効率が高く、それを採用する場合の経済的メリットは大きなものとなるが、両側の流量が常に同じとなる機構となるため、この場合の適用は困難である。そのため、圧力回収装置としては、インペラ式のエネルギー回収装置が好ましい。高水質維持のため、シールはグランドパッキンではなくメカニカルシールが望ましい。エネルギー回収装置内のシール部より数％程度の水がリークしてしまうが、１次側流路７ａと２次側流路７ｂの水質がほぼ同等であるので問題はない。
【0035】
この超純水製造装置にあっては、エネルギー回収装置７によってブースターポンプ８への給水を昇圧させるので、ブースターポンプ８の消費電力を低減することができる。また、上述の通り、エネルギー回収装置７の１次側流路７ａを流れるリターン水と２次側流路７ｂを流れる水（低圧紫外線酸化装置流出水）の水質は、ほぼ同一であるため、両者が混合してもトラブルとはならない。
【0036】
また、この超純水製造装置にあっては、サブシステムの流量を一定にするようにサブポンプ２の送水量を制御する運転が行われるので、ユースポイントに送水される超純水の水質が安定したものとなる。
【0037】
上記のサブシステムは、一例であり、一部の機器を省略したり、一部の機器を他の同種の機器に置き換えたり、さらに別の機能を有する機器を設置してもよい。例えば低圧紫外線酸化装置６の後段に触媒式酸化性物質分解装置を設置してもよい。また、ガス溶解装置５を省略してもよい。この場合、低圧紫外線酸化装置の後段に脱気膜装置を設置してもよい。
【0038】
また、エネルギー回収装置７とブースターポンプ８とは、他の箇所、例えばデミナ―（又はそれの代りに設置された電気脱イオン装置）とＵＦ装置１０との間に配置されてもよい。
【実施例0039】
【0040】
図２の超純水製造装置は、エネルギー回収装置７を省略し、低圧紫外線酸化装置６の流出側とブースターポンプ８とを直接的に接続すると共に、ユースポイント１２からのリターン水を配管１３のみを介して直接的にサブタンク１に返送するようにしたものであり、それ以外は図１と同一である。
【0041】
主な運転条件を次の通りとした。
【0042】
サブポンプ送水量 １３２ｍ３／ｈ
脱気膜装置差圧 ０．３ＭＰａ
低圧紫外線酸化装置流出圧 ０．２ＭＰａ
デミナ―流入圧 ０．７ＭＰａ
ＵＦ装置差圧 ０．２ＭＰａ
超純水送水量 １２５ｍ３／ｈ
サブシステム出口圧 ０．５ＭＰａ
リターン水量（実施例１：５５ｍ３／ｈ）
リターン水量（比較例１：２５ｍ３／ｈ）
配管１３ 圧力（実施例１）：０．４ＭＰａ
配管１４ 圧力（実施例１）：０．０５ＭＰａ
配管１３ 圧力（比較例１）：０．４ＭＰａ
ユースポイント超純水使用量：７０ｍ３／ｈ
脱気膜装置差圧 ０．３ＭＰａ
低圧紫外線酸化装置流出圧 ０．２ＭＰａ
デミナ―流入圧 ０．７ＭＰａ
ＵＦ装置差圧 ０．２ＭＰａ
超純水送水量 １２５ｍ３／ｈ
サブシステム出口圧 ０．５ＭＰａ
リターン水量（実施例１：５５ｍ３／ｈ）
リターン水量（比較例１：２５ｍ３／ｈ）
配管１３ 圧力（実施例１）：０．４ＭＰａ
配管１４ 圧力（実施例１）：０．０５ＭＰａ
配管１３ 圧力（比較例１）：０．４ＭＰａ
ユースポイント超純水使用量：７０ｍ３／ｈ
【0043】
＜ブースタ―ポンプ条件＞
流量 ：実施例１及び比較例１ともに１３２ｍ３／ｈ
揚程 ：実施例１では３２．５ｍ、比較例１では５０ｍ
軸動力 ：実施例１では１２ｋＷ、比較例１では１８ｋＷ
定格電力：実施例１及び比較例１ともに３０ｋＷ（５０Ｈｚ）
流量 ：実施例１及び比較例１ともに１３２ｍ３／ｈ
揚程 ：実施例１では３２．５ｍ、比較例１では５０ｍ
軸動力 ：実施例１では１２ｋＷ、比較例１では１８ｋＷ
定格電力：実施例１及び比較例１ともに３０ｋＷ（５０Ｈｚ）
【0044】
＜エネルギー回収装置＞
インペラ型
有効揚程 ：３５ｍ
効率 ：５０％
補助揚程 ：１７．５ｍ
補助軸動力：６．３ｋＷ
インペラ型
有効揚程 ：３５ｍ
効率 ：５０％
補助揚程 ：１７．５ｍ
補助軸動力：６．３ｋＷ
【0045】
［結果］
ブースターポンプの消費電力は、実施例１では１９．５ｋＷであり、比較例１では３０ｋＷであり、実施例１によると、比較例１よりも１０．５ｋＷ低減された。
ブースターポンプの消費電力は、実施例１では１９．５ｋＷであり、比較例１では３０ｋＷであり、実施例１によると、比較例１よりも１０．５ｋＷ低減された。
【符号の説明】
【0046】
１ サブタンク
２ サブポンプ
３ 熱交換器
４ 脱気膜装置
５ ガス溶解装置
６ 低圧紫外線酸化装置
７ エネルギー回収装置
７ａ １次側流路
７ｂ ２次側流路
８ ブースターポンプ
９ デミナー
１０ ＵＦ装置
１１ａ 流量センサ
１３ａ 圧力センサ
１５ 流量調節バルブ
２ サブポンプ
３ 熱交換器
４ 脱気膜装置
５ ガス溶解装置
６ 低圧紫外線酸化装置
７ エネルギー回収装置
７ａ １次側流路
７ｂ ２次側流路
８ ブースターポンプ
９ デミナー
１０ ＵＦ装置
１１ａ 流量センサ
１３ａ 圧力センサ
１５ 流量調節バルブ
【図1】
【図2】