特開 2024-131531 吸引力チェック装置および吸引力チェック方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024131531

(43)【公開日】2024-09-30

(54)【発明の名称】吸引力チェック装置および吸引力チェック方法

(51)【国際特許分類】

   B23Q 17/00 20060101AFI20240920BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240920BHJP

   B24B 49/08 20060101ALI20240920BHJP

   B24B 47/26 20060101ALI20240920BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20240920BHJP

   B23Q 3/08 20060101ALI20240920BHJP

【ＦＩ】

B23Q17/00 B

H01L21/304 631

B24B49/08

B24B47/26

B24B41/06 L

B23Q3/08 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023041855

(22)【出願日】2023-03-16

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110003524

【氏名又は名称】弁理士法人愛宕綜合特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】藤井 祐介

【テーマコード（参考）】

3C016

3C029

3C034

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C016DA01

3C029EE06

3C034AA08

3C034BB73

3C034BB94

3C034CA30

5F057AA19

5F057AA37

5F057DA11

5F057FA13

5F057GB24

(57)【要約】

【課題】チャックテーブルの吸引力を定量化して、チャックテーブルの保持面の吸引力の低下を確実に知ることができるチャックテーブルの吸引力チェック装置を提供する。
【解決手段】エアーＷを噴射するエアーノズル１３と、エアーノズル１３を摺動可能に支持しチャックテーブル４の保持面に平行であると共に保持面にエアーＷを吹き付ける方向からエアーノズル１３を接近及び離反させるガイドレール１２と、エアーノズル１３の位置を計測する計測部１７と、を少なくとも備え、チャックテーブル４の保持面に吸引保持されたシートＴに対してエアーＷを噴射しながらエアーノズル１３を接近させ、チャックテーブル４保持面からシートＴが剥離した際の計測部１７によって計測されるエアーノズル１３の位置によってチャックテーブル４の吸引力をチェックする。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルの吸引力をチェックする吸引力チェック装置であって、
エアーを噴射するエアーノズルと、該エアーノズルを摺動可能に支持し該保持面に平行であると共に該保持面にエアーを吹き付ける方向から該エアーノズルを接近及び離反させるガイドレールと、
該エアーノズルの位置を計測する計測部と、を少なくとも備え、
該チャックテーブルの保持面に吸引保持されたシートに対してエアーを噴射しながら該エアーノズルを接近させ、該保持面から該シートが剥離した際の該計測部によって計測される該エアーノズルの位置によってチャックテーブルの吸引力をチェックすることができる吸引力チェック装置。

【請求項2】

該保持面から吸引源に至る経路に圧力計が配設され、該圧力計の検出値が上昇した場合に、該チャックテーブルから該シートが剥離したと判断する請求項１に記載の吸引力チェック装置。

【請求項3】

該エアーノズルが噴射するエアーの流量を調整する流量調整手段が配設される請求項１に記載の吸引力チェック装置。

【請求項4】

被加工物を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルの吸引力をチェックする吸引力チェック方法であって、
エアーを噴射するエアーノズルを準備するエアーノズル準備工程と、
該チャックテーブルの保持面にシートを吸引保持するシート保持工程と、
該チャックテーブルの保持面に吸引保持されたシートに対して該保持面に平行であると共に該保持面にエアーを吹き付ける方向に該エアーノズルを位置付けるノズル位置付け工程と、
該エアーノズルからエアーを噴射しながら該チャックテーブルに接近させるノズル接近工程と、
該保持面から該シートが剥離した際の該エアーノズルの位置を計測する計測工程と、
を含み構成される吸引力チェック方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルの吸引力をチェックする吸引力チェック装置、及び被加工物を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルの吸引力をチェックする吸引力チェック方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて薄化された後、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

【0003】

研削装置は、ウエーハを吸引保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削ホイールを回転可能に備えた研削手段と、研削手段をチャックテーブルに接近及び離間する方向に移動する研削送り手段と、を含み構成されていて、ウエーハを所望の厚みに仕上げることができる（例えば特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００９－２４６０９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、研削加工を実施する際に板状の被加工物（例えばウエーハ）を保持するチャックテーブルは、通気性を有する部材、例えばポーラスセラミックスにより構成されていて、被加工物を研削する際に発生する研削屑を含む研削水を保持面の外周側から吸い込み、チャックテーブルの外周領域に研削屑が徐々に詰まって、吸引力が徐々に低下するという問題がある。このように吸引力が低下すると、研削ホイールの回転によって発生する気流と、研削ホイールの回転力によって研削中に被加工物がチャックテーブルから離れて飛散するという問題が発生し、適宜のタイミングでチャックテーブルの研削屑の詰まりを解消する洗浄作業が必要となる。

【0006】

上記したチャックテーブルにおける研削屑の詰まりは、チャックテーブルの外周領域から徐々に進行するため、チャックテーブル上にウエーハ等を保持していない状態の吸引圧力を検査しても、上記のような研削屑の詰まりによる吸引力の低下を検出することは困難である。

【0007】

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、チャックテーブルの吸引力を定量化して、チャックテーブルの保持面の吸引力の低下を確実に知ることができるチャックテーブルの吸引力チェック装置、及びチャックテーブルの吸引力チェック方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルの吸引力をチェックする吸引力チェック装置であって、エアーを噴射するエアーノズルと、該エアーノズルを摺動可能に支持し該保持面に平行であると共に該保持面にエアーを吹き付ける方向から該エアーノズルを接近及び離反させるガイドレールと、該エアーノズルの位置を計測する計測部と、を少なくとも備え、該チャックテーブルの保持面に吸引保持されたシートに対してエアーを噴射しながら該エアーノズルを接近させ、該保持面から該シートが剥離した際の該計測部によって計測される該エアーノズルの位置によってチャックテーブルの吸引力をチェックすることができる吸引力チェック装置が提供される。

【0009】

該保持面から吸引源に至る経路に圧力計が配設され、該圧力計の検出値が上昇した場合に、該チャックテーブルから該シートが剥離したと判断することができる。また、該エアーノズルが噴射するエアーの流量を調整する流量調整手段が配設されるようにしてもよい。

【0010】

また、上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を吸引保持する保持面を有するチャックテーブルの吸引力をチェックする吸引力チェック方法であって、エアーを噴射するエアーノズルを準備するエアーノズル準備工程と、該チャックテーブルの保持面にシートを吸引保持するシート保持工程と、該チャックテーブルの保持面に吸引保持されたシートに対して該保持面に平行であると共に該保持面にエアーを吹き付ける方向に該エアーノズルを位置付けるノズル位置付け工程と、該エアーノズルからエアーを噴射しながら該チャックテーブルに接近させるノズル接近工程と、該保持面から該シートが剥離した際の該エアーノズルの位置を計測する計測工程と、を含み構成される吸引力チェック方法が提供される。

【発明の効果】

【0011】

本発明の吸引力チェック装置は、エアーを噴射するエアーノズルと、該エアーノズルを摺動可能に支持しチャックテーブルの保持面に平行であると共に該保持面にエアーを吹き付ける方向から該エアーノズルを接近及び離反させるガイドレールと、該エアーノズルの位置を計測する計測部と、を少なくとも備え、該保持面に吸引保持されたシートに対してエアーを噴射しながら該エアーノズルを接近させ、該保持面から該シートが剥離した際の該計測部によって計測される該エアーノズルの位置によってチャックテーブルの吸引力をチェックすることができることから、被加工物を吸引保持するチャックテーブルの吸引力が、チャックテーブルの保持面からシートが剥離した際に計測されるエアーノズルの位置で定量化され、チャックテーブルの保持面の吸引力の低下を確実に判定することができる。

【0012】

また、本発明の吸引力チェック方法は、エアーを噴射するエアーノズルを準備するエアーノズル準備工程と、該チャックテーブルの保持面にシートを吸引保持するシート保持工程と、該チャックテーブルの保持面に吸引保持されたシートに対して該保持面に平行であると共に該保持面にエアーを吹き付ける方向に該エアーノズルを位置付けるノズル位置付け工程と、該エアーノズルからエアーを噴射しながら該チャックテーブルに接近させるノズル接近工程と、該保持面から該シートが剥離した際の該エアーノズルの位置を計測する計測工程と、を含み構成されることから、被加工物を吸引保持するチャックテーブルの吸引力が、チャックテーブルの保持面からシートが剥離した際に計測されるエアーノズルの位置で定量化され、チャックテーブルの保持面の吸引力の低下を確実に判定することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】研削装置の全体斜視図である。

【図2】図１に示す研削装置に適用される吸引力チェック装置の斜視図である。

【図3】本実施形態の吸引力チェック方法におけるシート保持工程の実施態様を示す斜視図である。

【図4】ノズル位置付け工程の実施態様を示す斜視図である。

【図5】（ａ）チャックテーブルの吸引力の低下がない場合のノズル接近工程及び計測工程の実施態様を示す側面図、（ｂ）（ａ）に示すノズル接近工程及び計測工程を実施した場合のエアーノズルの移動距離及び保持面から吸引源に至る経路の圧力値の関係を示す概念図である。

【図6】（ａ）チャックテーブルの吸引力の低下がある場合のノズル接近工程及び計測工程の実施態様を示す側面図、（ｂ）（ａ）に示すノズル接近工程及び計測工程を実施した場合のエアーノズルの移動距離及び保持面から吸引源に至る経路の圧力値の関係を示す概念図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、本発明に基づいて構成されるチャックテーブルの吸引力チェック装置、及び該吸引力チェック装置を使用して実施されるチャックテーブルの吸引力チェック方法に係る実施形態について、添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

【0015】

図１には、本実施形態の吸引力チェック装置、及び吸引力チェック方法が適用される研削装置１の全体斜視図が示されている。

【0016】

研削装置１は、略直方体状の装置ハウジング２を備えている。装置ハウジング２の後端側には、支持壁２１が立設されている。この支持壁２１の内側面には、上下方向（Ｚ軸方向）に延びる案内レール２２、２２が設けられている。案内レール２２、２２には研削手段としての研削ユニット３が上下方向に移動可能に装着されている。

【0017】

研削ユニット３は、ユニットハウジング３１と、ユニットハウジング３１に回転自在に支持された回転軸３２と、回転軸３２の下端に配設されたホイールマウント３３と、ホイールマウント３３に装着され下面に環状に複数の研削砥石３５が配置された研削ホイール３４と、ユニットハウジング３１の上端に装着されホイールマウント３３を回転させる電動モータ３７と、ユニットハウジング３１を、支持部材３６を介して支持する移動基台３８とを備えている。

【0018】

研削装置１は、研削ユニット３を支持する移動基台３８を案内レール２２、２２に沿って昇降させる昇降手段として、パルスモータ３９１及び雄ネジロッド３９２を含む研削送り機構３９を備えている。該研削送り機構３９を作動することで、研削ユニット３をＺ軸方向に移動させることができる。

【0019】

研削ユニット３において、電動モータ３７によって回転させられる回転軸３２には、研削砥石３５と後述するチャックテーブル４に保持される被加工物とに研削水を供給する研削水供給手段（図示は省略する）が接続されている。研削装置１は、上記支持壁２１の前側において装置ハウジング２の上面に配設されたカバーテーブル５の上面に突出するように配設されたチャックテーブル４を備えている。チャックテーブル４は、チャックテーブル４の保持面を構成する通気性を有するポーラスセラミックスで構成された吸着チャック４１と該吸着チャック４１を囲繞する枠体４２によって構成されると共に、図示を省略する回転駆動手段によって回転可能に構成されている。チャックテーブル４には、後述する吸引手段６が接続されており（図３を参照）、吸引手段６を作動することで、吸着チャック４１の上面に負圧を生成することができる。研削装置１は、カバーテーブル５と共にチャックテーブル４を図中Ｙ軸方向に移動させる図示を省略する移動手段を備えており、図１で位置付けられている手前側の被加工物搬出入位置と、研削ユニット３によって研削加工が施される研削加工位置との間で移動させられる。

【0020】

研削装置１は、研削作業を指示したり、加工条件を指定したりするための図示を省略する制御手段を備えている。該制御手段は、制御プログラムに従って演算処理する中央処理装置（ＣＰＵ）と、制御プログラム等を格納するリードオンリーメモリ（ＲＯＭ）と、演算結果等を記憶する記憶手段としての読み書き可能なランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）と、入力インターフェース及び出力インターフェースを備えている(いずれも図示は省略する）。このように構成された制御手段には、被加工物の研削加工を実施するための制御プログラムが記憶されており、上記の研削装置１の各作動部が制御される。

【0021】

本実施形態の研削装置１において加工される被加工物は、例えば直径が８インチのシリコン（Ｓｉ）のウエーハであり、複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されている。該ウエーハを加工するに際しては、上記した被加工物搬出入位置にチャックテーブル４を移動させると共に、チャックテーブル４の保持面に、表面に保護テープが貼着されたウエーハの保護テープ側を載置して吸引保持して、チャックテーブル４を研削加工位置に移動する。次いで、チャックテーブル４を所定の方向に回転させると共に、研削ユニット３の電動モータ３７を作動して研削ホイール３４を回転して下降させ、研削砥石３５を該ウエーハの裏面に当接させて研削加工を施し、所望の厚みになるまで薄化する（詳細な手順については省略する）。

【0022】

研削装置１によって上記した研削加工を繰り返し実施していると、チャックテーブル４の保持面を構成する吸着チャック４１の外周領域から、研削屑を含む研削水が吸い込まれ、該研削屑によって徐々に吸着チャック４１の詰まりが進行する。そこで、定期的に、又は任意のタイミングで、本発明に基づき構成される吸引力チェック装置１０を使用して、チャックテーブルの吸引力チェック方法を実施し、上記したチャックテーブル４の吸引力が適正であるか、否かについてチェックを行う。図２には、本実施形態の吸引力チェック方法を実施するのに好適な吸引力チェック装置１０の斜視図が示されている。この吸引力チェック装置１０は、図１に示すように、吸引力チェック方法を実施する際にカバーテーブル５上に載置されるものであり、吸引力チェック方法を実施しない場合には、カバーテーブル５上から外して、図示を省略する収納位置に収納される。

【0023】

図２に示すように、吸引力チェック装置１０は、基台１１と、基台１１に保持されるガイドレール１２と、ガイドレール１２の長手方向に摺動可能に支持されるエアーノズル１３とを含み構成される。また、エアーノズル１３には、エアーＷを供給するエアー供給手段１６が接続される。

【0024】

基台１１は、ガイドレール１２を長手方向に沿って保持する凹部１１ａを備えている。また、基台１１には、ガイドレール１２の高さを調整する高さ調整手段１１ｂが配設されている。基台１１の凹部１１ａの内部には、図示を省略するガイドレール１２の昇降機構が配設され、高さ調整手段１１ｂを矢印で示す方向のいずれかに回転させることにより、ガイドレール１２を矢印Ｒ１で示す方向（上下方向）の所望の位置に昇降させることができる。

【0025】

ガイドレール１２は、長手方向に延びる溝部１２ａと、チャックテーブル４の側面４２ａ（図４を参照）に当接する当接部１２ｂと、を備え、該溝部１２ａの内部には、後述するエアーノズル１３を支持する摺動部１３ｄが収容されている。該摺動部１３ｄが溝部１２ａに摺動自在に支持されていることから、エアーノズル１３は、溝部１２ａに沿う矢印Ｒ２で示す方向に移動可能であって、図示を省略する固定機構により所望の位置に固定可能に構成されている。

【0026】

エアーノズル１３は、エアーノズル本体１３ａと、エアーノズル本体１３ａの一端部に形成されたノズル先端部１３ｂと、エアーノズル本体１３ａに形成されてエアーノズル本体１３ａを支持する上記した摺動部１３ｄと、を備えている。エアーノズル本体１３ａとノズル先端部１３ｂの内部には、図示を省略するエアー連通路が形成されており、エアー供給手段１６から供給されるエアーＷは、エアーノズル本体１３ａの後端部１３ｅから導入され、該エアー連通路を介してノズル先端部１３ｂの噴射口１３ｃから水平方向に噴射される。上記した高さ調整手段１１ｂを回転することで、ガイドレール１２と共に、エアーＷを水平方向に噴射する姿勢を維持したままのエアーノズル１３を昇降させることができる。

【0027】

ガイドレール１２の上面には、溝部１２ａに沿う長さ寸法を示すメモリが刻まれたスケール１７ａが配設され、エアーノズル１３の摺動部１３ｄには、該スケール１７ａのメモリを指す指針部１７ｂが配設されていて、該スケール１７ａと該指針部１７ｂによって、ガイドレール１２上のエアーノズル１３の位置を計測する計測部１７が構成されている。計測部１７は、上記したエアーノズル１３を、図２に示すように、溝部１２ａに沿って最も後端側に下げた状態で、該指針部１７ｂの先端が該スケール１７ａの原点位置を示すように設定されている。この計測部１７によって、エアーノズル１３を溝部１２ａに沿って移動させた場合のエアーノズル１３の位置が計測され、原点位置からの移動距離が検出される。なお、前記した計測部１７は、上記したスケール１７ａと指針部１７ｂによって構成されることに限定されず、ガイドレール１２上におけるエアーノズル１３の位置を特定可能なその他の計測手段を採用してもよい。例えば、溝部１２ａに沿うエアーノズル１３の移動を、図示を省略するパルスモータとボールネジ機構によって行う構成とし、エアーノズル１３を原点位置から移動させる際のパルスモータのパルス数をカウントし、該パルス数をエアーノズル１３の位置に換算して計測値としてもよい。

【0028】

エアー供給手段１６は、エアーＷを供給するエアー源１６ａと、エアー源１６ａとエアーノズル本体１３ａの後端部１３ｅとを接続するエアー供給路１６ｂと、エアー供給路１６ｂに配設される開閉弁１６ｃとを備えている。エアー源１６ａによって供給されるエアーＷの圧力は、例えば０．５ＭＰａである。

【0029】

上記したエアーノズル１３のエアーノズル本体１３ａには、エアーノズル本体１３ａ内のエアー連通路を流れるエアーＷの流量を表示する流量計１４と、エアーノズル本体１３ａのエアー連通路に導入されるエアーＷの流量を調整する流量調整手段１５が配設されている。上記したエアー源１６ａからエアーノズル１３に導入されるエアーＷの流量は、上記の流量調整手段１５を矢印Ｒ３で示す方向のいずれかに回転させることで調整可能であり、流量計１４によって流量を確認しながら流量調整手段１５を操作して、エアーノズル１３の噴射口１３ｃから噴射されるエアーＷの流量が、所定の一定値になるように調整される。

【0030】

本実施形態の吸引力チェック装置１０は、概ね上記したとおりの構成を備えており、吸引力チェック装置１０を使用して、本発明に基づき構成される吸引力チェック方法を、以下の如く実施することができる。以下に説明する吸引力チェック方法は、定期的なタイミング、又は任意のタイミングで実施することが可能である。

【0031】

本実施形態において実施される吸引力チェック方法は、上記した研削装置１において、被加工物であるウエーハを吸引保持する保持面（吸着チャック４１）の吸引力をチェックするものであり、まず、上記したエアーＷを噴射するエアーノズル１３を準備するエアーノズル準備工程を実施する。本実施形態のエアーノズル１３は、図２に基づき説明した吸引力チェック装置１０に含まれており、上記した吸引力チェック装置１０を準備することで、エアーノズル１３が準備される。

【0032】

エアーノズル準備工程が完了したならば、吸引力のチェック対象である研削装置１のチャックテーブル４の保持面に、シートを吸引保持するシート保持工程を実施する。より具体的には、図３に示すように、チャックテーブル４の吸着チャック４１と同一の寸法で形成された柔軟性のある樹脂の薄膜であるシートＴを用意し、吸着チャック４１上に載置する。次いで、吸着チャック４１上に負圧Ｖを生成する吸引手段６を作動する。吸引手段６は、吸引源６１と、チャックテーブル４の吸着チャック４１から吸引源６１に至る経路として配設される連通路６２と、連通路６２に配設される開閉弁６３とを備え、吸着チャック４１から吸引源６１に至る連通路６２には、該連通路６２の圧力を検出する圧力計６４が設置されている。該開閉弁６３を開として吸引源６１を作動することにより、吸着チャック４１の上面に負圧Ｖが形成されて、シートＴが吸引保持されて、シート保持工程が完了する。なお、上記した実施形態では、エアーノズル準備工程の後にシート保持工程を実施するように説明したが、本発明はこれに限定されず、シート保持工程を先に実施してもよい。

【0033】

上記したように、エアーノズル準備工程、シート保持工程を実施したならば、チャックテーブル４の保持面、すなわち吸着チャック４１に吸引保持されたシートＴに対して、チャックテーブル４の吸着チャック４１の上面に平行であると共に吸着チャック４１の上面にエアーＷを吹き付ける方向にエアーノズル１３を位置付けるノズル位置付け工程を実施する。より具体的には、図４に示すように、予め準備したエアーノズル１３を含む吸引力チェック装置１０を、カバーテーブル５上に配置し、チャックテーブル４の枠体４２の側面４２ａに、吸引力チェック装置１０のガイドレール１２の当接部１２ｂを突き当てる。図２に示すように、当接部１２ｂは、先端面が平面視で円弧状になっており、該円弧状の曲率は、チャックテーブル４の側面４２ａの曲率と一致する曲率で形成され、吸引力チェック装置１のエアーノズル１３の方向が安定する。なお、ガイドレール１２の当接部１２ｂの形状は、上記した形態に限定されない。円弧状で形成する場合、その曲率は、チャックテーブル４の側面４２ａの曲率と一致することに限定されず、該側面４２ａの曲率と異なっていても良い。その場合は、チャックテーブル４の側面４２ａの曲率よりも小さいことが好ましい。また、該当接部１２ｂを円弧状で形成することに限定されない。当接部１２ｂが円弧状でない場合であっても、離間した２点でチャックテーブル４の側面４２ａに当接する形状であれば、エアーノズル１３の方向を安定させることができる。

【0034】

ここで、吸引力チェック装置１０の基台１１に配設されている上記の高さ調整手段１１ｂを回転して、図５（ａ）に示すように、エアーノズル１３の高さを矢印Ｒ１で示す上下方向で調整し、エアーノズル１３の噴射口１３ｃから噴射されるエアーＷの位置が、チャックテーブル４の保持面と略一致するように調整して、チャックテーブル４に吸引保持されたシートＴに対して側方からエアーＷが噴射されるようにする。このとき、エアーノズル１３は、ガイドレール１２の溝部１２ａにおいて後端位置とされ、計測部１７によって計測される位置が、図中Ｚ０で示す原点位置になるように位置付けられる。

【0035】

上記したように、ノズル位置付け工程を実施したならば、上記したエアー供給手段１６を作動して、エアーノズル１３のエアーノズル本体１３ａにエアー供給路１６ｂを介してエアーＷを導入して、噴射口１３ｃからエアーＷを噴射する。次いで、上記したエアーノズル１３を、溝部１２ａに沿って矢印Ｒ４で示す方向に移動して、チャックテーブル４に徐々に接近させるノズル接近工程を実施する。

【0036】

ここで、図５（ｂ）は、エアーノズル１３をチャックテーブル４に接近させる際の原点位置（０ｍｍ）からの移動距離（ｍｍ）を横軸に示し、該移動距離に対応して吸引手段６の圧力計６４によって検出される圧力値（ＭＰａ）を縦軸に示している。上記したように、エアーノズル１３の噴射口１３ｃから噴射されるエアーＷの流量は一定になるように調整されており、該移動距離が延びて、エアーノズル１３がチャックテーブル４に接近し、エアーノズル１３の噴射口１３ｃがシートＴの外周縁Ｔａに近づくに従い、該外周縁Ｔａをチャックテーブル４の保持面から引き剥がそうとする力が増大する。シートＴがチャックテーブル４の保持面から剥離されない状態では、圧力計６４によって検出される圧力値は、大気圧（≒０．１ＭＰａ）よりも十分に低い所定の圧力（≒０．０２ＭＰａ）で維持される。そして、エアーノズル１３がチャックテーブル４にさらに接近して、該外周縁Ｔａをチャックテーブル４の保持面から引き剥がそうとする力が、チャックテーブル４の保持面においてシートＴを吸引する吸引力を上回った時点で、シートＴがチャックテーブル４から剥離する。チャックテーブル４の保持面からシートＴが剥離すると、チャックテーブル４の保持面から大気が吸引手段６の連通路６２に導入されて、図５（ｂ）に示すように、圧力計６４によって検出される圧力が一気に上昇する。これにより、チャックテーブル４の保持面からシートＴが剥離したことが検知され、この時のエアーノズル１３の位置を計測部１７によって計測することができる。本実施形態では、このようにして、上記したノズル接近工程を実施すると共に、チャックテーブル４の保持面からシートＴが剥離する際のエアーノズル１３の位置、すなわちエアーノズル１３の原点位置からの移動距離を計測する計測工程を実施する。

【0037】

チャックテーブル４の保持面を構成する吸着チャック４１に詰まりが無い場合、シートＴの全域に適切に負圧Ｖが作用して吸引力が適正に発揮される。したがって、図５（ｂ）に示すように、エアーノズル１３の計測部１７によって計測される移動距離が３０ｍｍを越えても、シートＴの外周縁Ｔａがチャックテーブル４の保持面から剥離せず、吸引手段６の圧力計６４によって計測される圧力は、大気圧（≒０．１ＭＰａ）よりも十分に低い圧力（≒０．０２ＭＰａ）で維持される。そして、図５に示す実施形態では、シートＴの外周縁ＴａがエアーＷの噴射によって剥離されるエアーノズル１３の移動距離が、本実施形態において設定される判定基準（例えば３０ｍｍ）を十分に越えており、チャックテーブル４の保持面におけるシートＴに対する吸引力が適正に維持されていると判定される。

【0038】

これに対し、研削加工を繰り返し実施して、チャックテーブル４の保持面の外周領域において、研削屑による目詰まりが進行している場合は、チャックテーブル４の保持面の外周領域におけるシートＴの外周縁Ｔａに対する吸引力が低下する。このような状況において、上記したノズル接近工程を実施すると共に、上記の計測工程を実施すると、図６（ａ）に示すように、エアーノズル１３の計測部１７によって計測される原点位置Ｚ０からの移動距離が短い位置（図中Ｚ１で示す）で、シートＴの外周縁Ｔａが、エアーＷの噴射によってチャックテーブル４の保持面から剥離される。上記したように、シートＴの外周縁Ｔａがチャックテーブル４の保持面から剥離することにより、大気が吸引手段６の連通路６２に導入されて、図６（ｂ）に示すように、圧力計６４によって検出される圧力が一気に上昇する。そして、計測部１７によって、その時点でのエアーノズル１３の位置Ｚ１が計測される（図示の実施形態では２５ｍｍ）。このように、計測工程によって、圧力計６４によって検出される圧力が一気に上昇した際のエアーノズル１３の位置が、上記した判定基準未満であることが計測されることによって、チャックテーブル４の保持面を構成する吸着チャック４１の詰まりがあると判定され、吸着チャック４１に対し、適宜の洗浄工程が実施される。

【0039】

上記した吸引力チェック装置１０、及び吸引力チェック方法によれば、被加工物を吸引保持するチャックテーブル４の吸引力が、チャックテーブル４の保持面からシートＴが剥離した際のエアーノズル１３の位置で定量化され、チャックテーブル４の保持面の吸引力の低下を確実に判定することができる。

【0040】

なお、チャックテーブル４の保持面に詰まりがあると判断するエアーノズル１３の位置の判定基準（上記の実施形態では３０ｍｍ）は、予め実験により設定されるものであり、チャックテーブル４の保持面に作用する吸引手段６の負圧Ｖ、及びエアーノズル１３から噴射されるエアーＷの流量に応じて適宜設定される。

【0041】

なお、上記した実施形態では、本発明に基づき構成される吸引力チェック方法、及び吸引力チェック装置を研削装置１のチャックテーブル４に適用した例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、図示を省略する研磨装置のチャックテーブルに適用されてもよい。

【符号の説明】

【0042】

１：研削装置
２：装置ハウジング
２１：支持壁
２２：ガイドレール
３：研削ユニット
３１：ユニットハウジング
３２：回転軸
３３：ホイールマウント
３４：研削ホイール
３５：研削砥石
３６：支持部材
３７：電動モータ
３８：移動基台
３９：研削送り機構
４：チャックテーブル
４１：吸着チャック
４２：枠体
４２ａ：側面
６：吸引手段
６１：吸引源
６２：連通路
６３：開閉弁
６４：圧力計
１０：吸引力チェック装置
１１：基台
１１ａ：凹部
１１ｂ：高さ調整手段
１２：ガイドレール
１２ａ：溝部
１２ｂ：当接部
１３：エアーノズル
１３ａ：エアーノズル本体
１３ｂ：ノズル先端部
１３ｃ：噴射口
１３ｄ：摺動部
１３ｅ：後端部
１４：流量計
１５：流量調整手段
１６：エアー供給手段
１６ａ：エアー源
１６ｂ：エアー供給路
１６ｃ：開閉弁
１７：計測部
１７ａ：スケール
１７ｂ：指針部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】