特開2024-132466冷却板及び荷電粒子ビーム描画装置

発明の名称　冷却板及び荷電粒子ビーム描画装置

出願人　株式会社ニューフレアテクノロジー　（識別番号 504162958）

　　　　特許公開件数ランキング 558 位（48件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 579 位（38件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-132466

公報発行日　2024年10月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-132466

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