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特開2024-134746液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置および液体吐出ヘッドの製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024134746
(43)【公開日】2024-10-04
(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置および液体吐出ヘッドの製造方法
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20240927BHJP
B41J 2/16 20060101ALI20240927BHJP
B05C 5/00 20060101ALI20240927BHJP
B05C 11/00 20060101ALI20240927BHJP
B05C 11/10 20060101ALI20240927BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 301
B41J2/14 607
B41J2/14 613
B41J2/16 503
B05C5/00 101
B05C11/00
B05C11/10
【審査請求】未請求
【請求項の数】14
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023045094
(22)【出願日】2023-03-22
(71)【出願人】
【識別番号】000006747
【氏名又は名称】株式会社リコー
(74)【代理人】
【識別番号】100098626
【弁理士】
【氏名又は名称】黒田 壽
(72)【発明者】
【氏名】張 軍
(72)【発明者】
【氏名】川上 翔
(72)【発明者】
【氏名】杉本 泰規
(72)【発明者】
【氏名】金松 俊宏
(72)【発明者】
【氏名】甘利 清志
【テーマコード（参考）】
2C057
4F041
4F042
【Ｆターム（参考）】
2C057AF65
2C057AF93
2C057AG01
2C057AG12
2C057AG29
2C057AG44
2C057AG76
2C057AP12
2C057AP24
2C057BA03
2C057BA07
2C057BA08
4F041AA05
4F041AA07
4F041AA12
4F041AB01
4F041BA01
4F041BA10
4F041BA13
4F041BA17
4F041BA35
4F042AA06
4F042AA09
4F042AA22
4F042AB00
4F042BA06
4F042BA08
4F042BA12
4F042CA01
4F042CB02
4F042CB20
(57)【要約】
【課題】拡散接合によって接合する場合において、ノズル等の位置精度を高める。
【解決手段】
液体を吐出する複数のノズル孔を有するノズル板と、ノズル板を支持し、拡散接合を含む工程によってノズル板と接合されたハウジングを有する吐出ヘッドであって、ノズル板あるいはハウジングのいずれかに形成され、当接することでノズル板とハウジングとを連結し、ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部と、連結部に形成され、ノズル板のノズル孔と連通する流路と、互いに隣接する連結部間に形成された間隙と、を有する。
【選択図】図６
【解決手段】
液体を吐出する複数のノズル孔を有するノズル板と、ノズル板を支持し、拡散接合を含む工程によってノズル板と接合されたハウジングを有する吐出ヘッドであって、ノズル板あるいはハウジングのいずれかに形成され、当接することでノズル板とハウジングとを連結し、ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部と、連結部に形成され、ノズル板のノズル孔と連通する流路と、互いに隣接する連結部間に形成された間隙と、を有する。
【選択図】図６
【特許請求の範囲】
【請求項1】
液体を吐出する複数のノズル孔を有するノズル板と、
当該ノズル板を支持し、拡散接合を含む工程によって前記ノズル板と接合されたハウジングとを有する液体吐出ヘッドであって、
前記ノズル板あるいは前記ハウジングのいずれかに形成され、当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部と、
当該連結部に形成され、前記ノズル板のノズル孔と連通する流路と、
互いに隣接する前記連結部間に形成された間隙と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
当該ノズル板を支持し、拡散接合を含む工程によって前記ノズル板と接合されたハウジングとを有する液体吐出ヘッドであって、
前記ノズル板あるいは前記ハウジングのいずれかに形成され、当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部と、
当該連結部に形成され、前記ノズル板のノズル孔と連通する流路と、
互いに隣接する前記連結部間に形成された間隙と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項2】
前記複数の連結部を前記ハウジングに形成したことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項3】
前記複数の連結部を前記ノズル板に形成したことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項4】
前記ノズル板の外縁部あるいは前記ハウジングの外縁部のいずれかに形成され、当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結する壁部を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項5】
前記連結部における前記ハウジングから前記ノズル板までの距離を高さとしたとき、
前記連結部と、前記連結部と同じ高さの前記壁部で接合支持され、前記壁部の側面に前記ハウジングの外部と連通する孔部は少なくとも１つ以上設けられていることを特徴する請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
前記連結部と、前記連結部と同じ高さの前記壁部で接合支持され、前記壁部の側面に前記ハウジングの外部と連通する孔部は少なくとも１つ以上設けられていることを特徴する請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項6】
前記連結部は前記流路を囲む部位である接合部を有し、
前記接合部の幅は、少なくとも前記ノズル板に付与する圧力が必要する最小板厚以上を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
前記接合部の幅は、少なくとも前記ノズル板に付与する圧力が必要する最小板厚以上を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項7】
前記ノズル板および前記ハウジングは、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系ステンレス合金のいずれかによって形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項8】
前記ノズル板と前記ハウジングとは同じ材質で形成されていることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項9】
前記連結部における前記ハウジングから前記ノズル板までの距離を前記連結部の高さとしたとき、
前記複数の連結部の高さは同じであることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
前記複数の連結部の高さは同じであることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項10】
液体を吐出する複数のノズル孔を有するノズル板と、
当該ノズル板を支持するハウジングと、
前記ノズル板と前記ハウジングとの間に設けられ、前記ノズル板および前記ハウジングのそれぞれと拡散接合を含む工程によって接合される拡散接合用部材と、を有し、
前記拡散接合用部材は、
前記ノズル板および前記ハウジングに当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部と、
当該連結部に形成され、前記ノズル板のノズル孔と連通する流路と、
互いに隣接する前記連結部間に形成された間隙と、
前記ノズル板および前記ハウジングに当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル板の外縁部を沿うように形成された壁部と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。
当該ノズル板を支持するハウジングと、
前記ノズル板と前記ハウジングとの間に設けられ、前記ノズル板および前記ハウジングのそれぞれと拡散接合を含む工程によって接合される拡散接合用部材と、を有し、
前記拡散接合用部材は、
前記ノズル板および前記ハウジングに当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部と、
当該連結部に形成され、前記ノズル板のノズル孔と連通する流路と、
互いに隣接する前記連結部間に形成された間隙と、
前記ノズル板および前記ハウジングに当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル板の外縁部を沿うように形成された壁部と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項11】
前記ノズル板と離接するように移動することで前記ノズル孔を開閉する弁体と、弁体を移動させる移動手段を有する請求項１または１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項12】
前記弁体の先端部が弾性体であることを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項13】
請求項１２に記載の液体吐出ヘッドを有する液体を吐出する装置。
【請求項14】
液体を吐出する複数のノズル孔を有するノズル板と、当該ノズル板を支持するハウジングとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部を前記ノズル板あるいは前記ハウジングのいずれかに形成する工程と、
前記ノズル板のノズル孔と連通する流路を前記連結部に形成する工程と、
互いに隣接する前記連結部間に間隙を形成する工程と、
前記ノズル板と前記ハウジングとが前記連結部とを介して拡散接合によって接合する工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部を前記ノズル板あるいは前記ハウジングのいずれかに形成する工程と、
前記ノズル板のノズル孔と連通する流路を前記連結部に形成する工程と、
互いに隣接する前記連結部間に間隙を形成する工程と、
前記ノズル板と前記ハウジングとが前記連結部とを介して拡散接合によって接合する工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置および液体吐出ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
一般的にノズルからインクといった液滴を吐出し、ノズル（ノズル孔）に配設されたノズル開閉弁（ニードル弁）と、そのノズル開閉弁をノズルに対して離接するノズル開閉駆動手段（圧電素子、アクチュエータ）と、ノズル開閉駆動手段を制御する制御手段を用いてノズルを開閉することによって液体を吐出させる液体吐出ヘッドが知られている。このような液体吐出ヘッドは、吐出する液体をノズルに加圧供給し、その状態でノズル開閉弁をノズルに対して離接することにより、ノズル開閉弁がノズルから離間している間だけ、加圧供給されている液体がノズルから液滴として吐出される。また、ノズルからインクを含む液体を吐出する液体吐出ヘッドは、その内部にある液体流路が、積層状の複数枚の金属プレートとハウジングにより構成されているものがある。ここで、複数枚の金属プレートとハウジングとの接合する方法としては、接着剤による接着や、金属拡散接合が挙げられる。
【0003】
例えば、特許文献１には、液滴を吐出する吐出口が形成される吐出口形成基板、吐出口に連通する圧力室の隔壁を形成する流路形成基板、及び振動板を積層して、圧力室を形成する際、振動板の表面を凹凸構造に形成し、圧力室内に圧力変化を生じさせる圧電体を、振動板表面の凹凸構造上に、エアロゾル法で形成することが開示されている。また、この文献には、ノズルプレート、流路プレート及び振動板を、ガラス溶着接合あるいは金属拡散接合により接合し、各プレートを積層して圧力室を形成する点が開示されている。そして、ガラス溶着の場合には、各プレート表面にガラス溶着用のガラス膜を形成して、これを重ねて加熱炉等内で加熱し、ガラスを溶融させ、これに対し加圧して溶融したガラス同士を接合させている。
【0004】
ここで、金属拡散接合により接合する場合は、複数枚の金属プレートとハウジングとをこれらの両面から平板状の治具で挟み込み、およそ１０００℃程度の高温で熱しながら、１ＭＰａ以上で加圧することにより接合させているため、接合される金属プレート、あるいはハウジングは大きく変形する可能性がある。これに伴い、金属プレートであるノズルプレート（ノズル板）等は薄くなったり、あるいは長く伸びたりと変形する可能性がある。これによって、ノズルプレートに形成されたノズル（ノズル孔）間の位置、ピッチ距離が変化する可能性があり、ノズルの位置精度が低下する。これを防止するためには、当該変形を抑制する必要がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
そこで、本発明は、拡散接合によって接合する場合において、ノズル等の位置精度を高めることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、液体を吐出する複数のノズル孔を有するノズル板と、当該ノズル板を支持し、拡散接合を含む工程によって前記ノズル板と接合されたハウジングを有する吐出ヘッドであって、前記ノズル板あるいは前記ハウジングのいずれかに形成され、当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部と、当該連結部に形成され、前記ノズル板のノズル孔と連通する流路と、互いに隣接する前記連結部間に形成された間隙と、を有することを特徴するものである。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、拡散接合によって接合する場合において、ノズル等の位置精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本発明に係る吐出ヘッドを示す図。
【図2】吐出ヘッドの主要な構成を示した図。
【図3】ノズルとニードル弁との部位の位置関係を示した図。
【図4】ノズル板とハウジングとの拡散接合について示した図。
【図5】比較例に係る構成を示した図。
【図6】本発明に係る実施形態１（実施例１）を示した図。
【図7】実施例１に係る液体吐出ヘッドのノズル板とハウジングとの接合部分の概略図。
【図8】本発明に係る実施形態における拡散接合を施したノズル板とハウジングとを接合したものの実物写真。
【図9】拡散接合前後でノズルの位置が変位する状態について示した図。
【図10】実施例１と比較例とに係るノズル板に対して拡散接合前後の位置の距離の変位量の違いを計測した結果を示した図。
【図11】実施例１に係る連結部の設定値を説明するための図。
【図12】本発明に係る実施形態２（実施例２）を示した図。
【図13】本発明に係る実施形態３（実施例３）を示した図。
【図14】本発明に係る実施形態４（実施例４）を示した図。
【図15】本発明に係る実施形態５（実施例５）を示した図。
【図16】本発明に係る実施形態６（実施例６）を示した図。
【図17】液体吐出装置の全体概略構成図。
【図18】他の液体吐出装置の全体概略構成図。
【図19】液体吐出装置の自動車に対する配置例を示す斜視図。
【図20】液体吐出装置の自動車に対する他の配置例を示す斜視図。
【図21】液体吐出装置により球面に液体を吐出した場合の説明図。
【図22】実施形態に係る電極の製造方法を実現するための電極の製造装置の一例を示す模式図。
【図23】実施形態に係る電極合材層の製造方法を実現するための電極の製造装置の他の一例を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【0009】
本発明に係る実施形態を、図面を用いて、以下に説明をする。なお、本発明では、液体吐出ヘッドを吐出ヘッドとよぶこともある。
【0010】
また、本発明の実施の形態を説明するための各図面において、同一の機能もしくは形状を有する部材や構成部品等の構成要素については、判別が可能な限り同一符号を付すことにより一度説明した後ではその説明を省略する。
【0011】
図１は、本発明に係る実施形態における吐出ヘッド（液体吐出ヘッド）を示す図である。また、図２は、本発明に係る実施形態における吐出ヘッドの主要な構成を示した図である。また、図３は、本発明に係る実施形態における吐出ヘッドの主要な構成におけるノズルと開閉弁であるニードル弁との部位を拡大し、ノズルとニードル弁との位置関係を示す図である。また、図３は、図２において破線の丸で囲った部分を拡大して示した図でもある。
【0012】
まず、図１を用いて説明する。ここで、図１において、図１の横方向をｙ方向、紙面に対して垂直に向かう方向をｘ方向、そして、図１の縦方向をｚ方向とする。そして、ｚ方向は、ニードル弁の開閉方向（上下方向、圧電素子の長手方向、圧電素子の伸縮方向）であると定義する。そして、これ以降の図もこの方向の定義は、特に断りがない限り同様であるとする。図１から図３に示すとおり、吐出ヘッド１（液体吐出ヘッドの一例）は、インク（液体の一例）が吐出されるノズル１３（ノズル孔の一例、ノズル孔ともよぶ）を有するノズル板３（ノズル板の一例）と、ノズル１３に加圧されたインクを供給する液室１１と、液室１１内に設けられていてノズル１３の孔を開閉するニードル弁５（弁体の一例）と、ニードル弁５を駆動する圧電素子７（移動手段の一例）と、圧電素子７を収容する圧電素子収容空間１２が形成されたハウジング（筐体ともよぶ）１４０と、を備える。この圧電素子７は、温度の変化によって線膨張係数に応じて伸縮する性質も持っている。また、圧電素子７は、常温または一般的な使用温度の範囲で負の線膨張係数を有するため、温度を上げると縮む性質を持つ。そして、液室１１内のニードル弁５とハウジング１４０との間には、封止部材としてのＯリング４が設置されおり、Ｏリング４によって液室１１から圧電素子７へのインクの浸入を防いでいる。
【0013】
ノズル板３は、ハウジング１４０の液室１１を形成する部位に接合される。そして、ノズル板３に形成されたノズル１３とニードル弁５とは、ノズル１３を閉塞するように当接される。ニードル弁５の先端挿入部２には、シール部材９が形成されている。そして、圧電素子７を駆動させることでニードル弁５が変位し、この変位によりシール部材９を押圧することによりノズル１３を閉塞する。シール部材９は、樹脂部材（フッ素樹脂）やゴム部材といった弾性体が挙げられる。
【0014】
また、圧電素子７は、圧電素子保持部材６を介して圧電素子固定部材８とニードル弁５とに連結され、圧電素子固定部材８を介してハウジング１４０に固定される。そして、固定された固定基準を基準点１０として圧電素子７が伸長または収縮し、ニードル弁５を変位させる。上記した構成において、ニードル弁５を圧電素子７の動作によってノズル１３に当接する方向（ｚ軸方向）に離間することによって加圧された液体を吐出することができる。また、図１から３に示すノズル１３、ニードル弁５、圧電素子７を含む吐出構造（ＣＨまたはチャネルとも呼ぶ）を、図１のｙ方向に配列することによって、複数のノズルより吐出する吐出ヘッドとすることができる。図１は、一例として８ＣＨのノズルを有する吐出ヘッドを示すものである。なお、本発明はこれに限らないものとする。そのため、ＣＨ数やノズルの配列方向もこれに限られない。
【0015】
ここで、図３に示すように、ノズル１３とニードル弁５との離接させることができるギャップは数μｍ～数十μｍの隙間であり極めて小さいものである。ここで、本発明においては、ニードル弁５がノズル１３と離接している隙間の距離をリフト量（あるいはギャップ量）とよぶことにする。なお、本実施形態ではノズル１３とニードル弁５とのリフト量を、例えば、５～５０μｍに設定している。
【0016】
また、吐出ヘッド１について、液体を吐出する装置１００に実装する場合に、吐出対象物へ移動するためのキャリッジ（吐出ヘッドを支持するための吐出ヘッド支持部の一例）１０００や、あるいは可動ユニット等に取り付けられ吐出ユニットとなる。そして、キャリッジ１０００への吐出ヘッド１の取付けに際しては、ハウジング１４０に形成されたネジの締結穴１４にネジをキャリッジ取付面１５へ取付けることによって締結する。なお、液体を吐出する装置１００、キャリッジ１０００の詳細な説明については、後述することとする。
【0017】
＜拡散接合について＞
ここで、拡散接合について説明する。なお、以下では、金属拡散接合のことを、単に拡散接合とよぶこととする。まず、拡散接合によって接合する場合には、複数枚の金属板（金属プレート）とハウジングとを両面から平板状の治具で挟み込み、部品の材料に因るが、金属の場合は、一般的に、真空条件下で高温（１０００℃程度）に熱しながら加圧することにより接合する。そして、これによって、金属板同士の界面間、あるいは金属板とハウジングとの接合面において金属原子を相互に拡散させて接合させる。
ここで、拡散接合について説明する。なお、以下では、金属拡散接合のことを、単に拡散接合とよぶこととする。まず、拡散接合によって接合する場合には、複数枚の金属板（金属プレート）とハウジングとを両面から平板状の治具で挟み込み、部品の材料に因るが、金属の場合は、一般的に、真空条件下で高温（１０００℃程度）に熱しながら加圧することにより接合する。そして、これによって、金属板同士の界面間、あるいは金属板とハウジングとの接合面において金属原子を相互に拡散させて接合させる。
【0018】
この拡散接合により接合する場合には、複数枚の金属板、そしてハウジングを一度に接合することができるため、工程を簡素化することが可能になる。また、拡散接合は、有機系の接着剤を用いての接合に対し、耐液性や耐食性にも優れている。そして、拡散接合は、金属の原子レベルで接合することから、有機系の接着剤を使用しての接合と比べて結合する力が強いというメリットも挙げられる。これらの優れた点を有するため、拡散接合での接合は期待が高いものとして、これまでに盛んに研究が行われてきた。
【0019】
そして、この拡散接合は吐出ヘッドに適用する場合においては、主に、ノズル板とハウジングとの接合に用いることが挙げられるが、接着剤等を用いて接合する必要がないため、吐出する液体による接合部の損傷がなくなる。そのため、接着剤等を溶解や腐食させるような液体についても吐出ヘッドによって吐出することが可能となる。また、拡散接合を用いることで、金属の原子レベルで接合ができるため、ノズル板とハウジングとの接合強度を大幅に向上させることができる。これより、液室内の液体の圧力を高めることができるので、吐出ヘッドは粘度の高い液体を吐出することができる。さらに、ノズル板とハウジングとの接合強度を高められるので、ノズル板を押圧するニードル弁といった弁体を用いた方式の液体吐出ヘッドの耐久性を高めることができる。
【0020】
＜ノズル板とハウジングとの拡散接合について＞
次に、ノズル板とハウジングとの拡散接合について説明する。なお、用語の符号についても説明の便宜上、改めて付与している。図４は、ノズル板とハウジングとの拡散接合について示した図である。積層状となる複数枚の金属板（金属プレート）を有するノズル板とハウジングとにより構成されている（液滴を吐出する）吐出ヘッドは、その内部に液体の流路が形成されている。そして、図４（ａ）は吐出ヘッドの簡易的な構造の例を示している。また、図４（ｂ）は、図４（ａ）に係る構成を拡散接合で接合することを示した図である。
次に、ノズル板とハウジングとの拡散接合について説明する。なお、用語の符号についても説明の便宜上、改めて付与している。図４は、ノズル板とハウジングとの拡散接合について示した図である。積層状となる複数枚の金属板（金属プレート）を有するノズル板とハウジングとにより構成されている（液滴を吐出する）吐出ヘッドは、その内部に液体の流路が形成されている。そして、図４（ａ）は吐出ヘッドの簡易的な構造の例を示している。また、図４（ｂ）は、図４（ａ）に係る構成を拡散接合で接合することを示した図である。
【0021】
図４（ａ）に示すように、インクといった液体を吐出する複数のノズル２３１３を有するノズル板２３０３は、２つのノズル板２３０３ａ、２３０３ｂを有し、ノズル２３１３は、ハウジング２３４０の内部に通る共通流路２３０４と連通している。また、ハウジング２３４０は、共通流路２３０４とつながる液体の流入側であるＩｎｌｅｔ２３０５と液体の流出側であるＯｕｔｌｅｔ２３０６とを有している。
【0022】
そして、拡散結合は、図４（ｂ）に示すように、上記図４（ａ）に係る構成において、ノズル板２３０３側とハウジング２３４０側との両端側（図４（ｂ）での上下側）から平面状の治具６００で挟み込み、真空電気炉に入れ、図４（ｂ）の黒い矢印で示す方向（ｚ軸方向）に圧力を付与しながら昇温して実施する。このとき、当該真空電気炉の真空度としては１０－３～１０－４Ｐａ程度である。また、設定温度と付与する圧力としては、材質と内部構造にも因るが、一般的には、温度は約１０００℃程度と、圧力は２０ＭＰａ程度としている。このような条件下で、１枚あるいは複数ノズル板はハウジングと確実に接合され、液体吐出ヘッドの構成として得ることができる。
【0023】
ここで、ノズル板２３０３とハウジング２３４０とは、金属材料を材質としており、一般的にはステンレス材が選択される。また、ステンレス材としては、具体的にいえば、オーステナイト系、フェライト系あるいはマルテンサイト系が挙げられる。これは、液室内の液体の内圧に耐えることが可能な十分な強度を確保することで、液体吐出ヘッドの強度を保つことができることを考慮したからである。また、ステンレス材は、耐インク性、耐食性を有する。そして、吐出ヘッドの使用環境や使用時の発熱等を考慮し、材料を特化する場合がある。例えば、液体吐出ヘッドに使用する液体に対する耐食性等を重視すれば、オーステナイト系のＳＵＳ３０４やＳＵＳ３１６が挙げられる。また、発熱による熱膨張を抑制したい場合には、線膨張係数の小さいフェライト系、例えば、ＳＵＳ４３０等が挙げられる。
【0024】
また、拡散接合では高温・高圧条件下で接合を行う。このような高温条件を鑑み、液体吐出ヘッドの部品については、熱特性を考慮しなければならない。例えば、ＳＵＳ３０４の線膨張係数は１７．３Ｅ－６／°Ｃであるのに対し、ＳＵＳ４３０の線膨張係数は１０．４Ｅ－６／°Ｃであり、両者には大きな差がある。このことから、両者を混在して使用すると、接合界面で大きな熱応力が生じ、液体吐出ヘッドの寸法を高精度に維持することは困難となるため、ノズル板とハウジングとは、可能な限り、同種のステンレス合金を選定するのが望ましい。
【0025】
金属板の接合面、あるいはハウジングの接合面は、平滑且つ清潔な面であることが望ましい。エッチング用ステンレス材は、均質で平坦度も優れているため、拡散接合を行う際にも用いられることが多い。一方で、ノズルの加工については、一般的に、半抜きプレス工程と研磨工程とを経ることによってノズルを形成する。そして、ノズルの孔の内径が２００μｍよりも大きい場合、直接ドリル加工を行うことが挙げられるが、そのとき発生したバリを除くバリ取り等の研磨工程は少なからず行う必要がある。このような機械加工の工程を経ると、特に薄いノズル板の部品は、機械加工によって変形が容易に生じる。また、その変形としては、例えば、反り、あるいは折れや打痕等といったものや局部的な変形も含まれる。そして、それらが接合界面に存在する場合における形状変形は、拡散接合には望ましくない。なぜならば、拡散接合は接合界面が平坦である必要があるものの、このような変形は、接合面の完全なる接触を阻害し、接合強度不足や液体漏れなどの品質不良をもたらすことにつながるからである。
【0026】
また、拡散接合時に、形状変形の存在により、接合界面で圧力不均一が発生しやすく、ノズル板の寸法精度を大きく低下させる。従って、接合圧力をより均一にし、且つより高い接合品質を得るためには、接合用部品は、極力部品の接合面における形状変形を防止する必要がある。
【0027】
＜比較例について＞
次に、比較対象となる構成（比較例）における拡散接合での課題を説明する。そして、それを踏まえて本発明に至った経緯について説明する。なお、用語の符号についても説明の便宜上、改めて付与している。
次に、比較対象となる構成（比較例）における拡散接合での課題を説明する。そして、それを踏まえて本発明に至った経緯について説明する。なお、用語の符号についても説明の便宜上、改めて付与している。
【0028】
図５には、比較例に係る構成を示した図である。まず、比較例に係る構成におけるノズル板１３０３の材質は、フェライト系ステンレスＳＵＳ４３０（ＪＦＥスチール社製）とし、ハウジング１３４０の材質は、フェライト系ステンレスＳＵＳ４３０（日鉄ステンレス社製）とした。すなわち、共に、フェライト系ステンレスＳＵＳ４３０を用いている。
【0029】
ノズル板１３０３は、板厚０．５ｍｍで、ここでは８つのノズル孔であるノズル１３１３を有する。８つのノズル１３１３は、所定の距離をおいてノズル板１３０３の長手方向（図５のｙ軸方向）に並んで配置されている。また、ノズル板１３０３には、この８つのノズル１３１３の配列方向の両側（図５のｙ軸方向における両側）に接合時に位置決め用の孔となるノズル位置決め孔１３０７が設けられている。また、ノズル１３１３の孔の内径は０．２ｍｍであり、ノズル位置決め孔１３０７の内径は１．０ｍｍとしている。そして、これらの孔は、ドリルによって加工した後に、研磨工程で孔の開口部の周囲にできたバリ等を除去している。そして、この除去する際に、ノズル板１３０３における接合面の粗さＲａを０．５μｍ以下に施している。
【0030】
次に、ハウジング１３４０についてだが、ハウジング１３４０のノズル板１３０３との接合面１３０９は、平面状としている。そして、接合面１３０９は、流路１３１１が８つのノズル１３１３に対応して、所定の距離をおいてハウジング１３４０の長手方向（図５のｙ軸方向）に並んで配置されている。ここで、８つの流路１３１１は、内径が３ｍｍの孔であり、ハウジング１３４０の中央部に設けられた図示しない共通流路と連通して、液体を通す経路を構成する。また、ハウジング１３４０は、この８つの流路１３１１の配列方向の両側（図５のｙ軸方向における両側）に接合時に位置決め用の孔となるハウジング位置決め孔１３０８が設けられている。一方で、ハウジング位置決め孔１３０８の孔は、ハウジング１３４０の中央部に設けられた図示しない共通流路と連通していない。また、液体の流入側はＩｎｌｅｔ１３０５で、液体の流出側はＯｕｔｌｅｔ１３０６となる。
【0031】
そして、このような構成において、ノズル位置決め孔１３０７およびハウジング位置決め孔１３０８を介して位置決めを行った上で、ノズル板１３０３とハウジング１３４０とを一体化して、図４に示すような真空高温炉に入れて、拡散接合を実施した。このときの拡散接合の条件としては、温度を１０００°Ｃ程にして、１５分以上に保温した後、そのまま炉冷した。また、接合面における面圧は１ＭＰａ以上に設定し、真空度は１０－３Ｐａとした。なお、本比較例に係る構成の場合は、接合面積が大きいため、上記面圧力になるように加圧力を調整している。
【0032】
ここで、金属の拡散接合は、高温・高圧の条件下で接合を行うものだが、接合面積が大きければ変形量も大きくなる。そして、比較例に係る構成においては、ノズル板とハウジングとがほぼ全面同士で接合を行うため、接合面積が大きくなる。そのため、ノズル板の変形量が大きいという課題が生じていた。このような課題に対して、拡散接合のプロセス中に発生する変形量に対し、設計時に予め変形量を補正するという対策が挙げられる。しかし、高温・高圧の条件下で、圧力や温度は部品に沿って均一に分布するとは限らない。特に、変形量が大きいほど、寸法の補正を実施しても、吐出ヘッドの形状寸法の精度、ノズル間同士の距離（ピッチ距離）の精度に大きなばらつきが生じる。
【0033】
一方で、このようなばらつきを防止するためには、接合面積を小さくすれば変形量も小さくなり、補正等も可能となる。そこで、本発明は、以下のようにした。これについて説明する。
【0034】
＜実施例１について＞
図６は、本発明に係る実施形態１（実施例１）を示した図である。そして、この図を用いて、本発明に係る実施形態について、以下に説明する。本発明においては、上記した課題に鑑みて、ハウジングのノズル板との接合面に円筒状の連結部を設けた構成とし、その上で、拡散接合によってノズル板とハウジングとを接合する製造方法とした。なお、それ以外の構成については、比較例に係る構成と同じであるものとする。また、用語の符号についても説明の便宜上、改めて付与している。
図６は、本発明に係る実施形態１（実施例１）を示した図である。そして、この図を用いて、本発明に係る実施形態について、以下に説明する。本発明においては、上記した課題に鑑みて、ハウジングのノズル板との接合面に円筒状の連結部を設けた構成とし、その上で、拡散接合によってノズル板とハウジングとを接合する製造方法とした。なお、それ以外の構成については、比較例に係る構成と同じであるものとする。また、用語の符号についても説明の便宜上、改めて付与している。
【0035】
まず、実施例１に係る構成は、比較例に係る構成と大きく異なる点は、ハウジング３４０の接合面３０９上に円筒状の連結部３１０（連結部の一例）を設けた点である。ここでは、連結部３１０の構成を中心に説明していく。なお、実施例１におけるその他のハウジングの構成やノズル板の構成、そして拡散接合での環境条件等は、比較例に係る構成で説明した場合と同じであるとする。
【0036】
本実施形態においては、図６に示すように、ハウジング３４０のノズル板３０３との接合面３０９には、ノズル板３０３のノズル３１３およびノズル位置決め孔３０７の位置に対応して、機械加工により円筒状の連結部３１０が設けられている。この連結部３１０の高さ（図６のｚ軸方向の大きさ）は０．１ｍｍであり、外径は７ｍｍとしている。なお、複数の連結部３１０の当該高さは、全て同じにしている。この理由としては、ノズル板３０３をより平坦にして、ハウジング３４０と接合することができるようにするためである。また、連結部３１０の接合部の接合幅（接合部の幅の一例）は、本実施例１では、２ｍｍとしている。そして、連結部３１０は、本実施形態においては、８つ設けられている。これは、ノズル３１３の数が８つであり、それに対応しているからである。また、隣接する連結部３１０同士は、所定の距離である間隙３１２（間隙の一例）が設けられており、ハウジング３４０の長手方向（図６のｙ軸方向）に並んで配置されている。そして、間隙３１２は、本実施例１では、０．１ｍｍにしている。また、８つの円筒状の連結部３１０は、それぞれに流路３１１（流路の一例）が設けられている。この流路３１１は、内径が３ｍｍの孔であり、ハウジング３４０の中央部に設けられた図示しない共通流路と連通して、液体を通す経路を構成する。このように連結部３１０の内部に流路３１１が形成されることから、ノズル３１３の周辺はすぐ接合部になり、流路３１１内の液体の内圧による変形が避けられる。そのため、ノズル３１３の位置が、より高精度に保つことが可能になり、併せて、高寿命化も実現できる。なお、連結部等の具体的な設計値についての詳細は、後述する。
【0037】
また、ハウジング３４０は、この８つの流路３１１の配列方向の両側（図６のｙ軸方向における両側）に接合時に位置決め用の孔となるハウジング位置決め孔３０８が設けられている。このハウジング位置決め孔３０８は、位置決め精度を向上させるためには、本発明に係る実施形態においては、ノズル３１３と同じ高さ（図６のｚ軸方向の大きさ）の円筒状の連結部としている。なお、ハウジング位置決め孔３０８の外径の大きさは、強度を連結部３１０ほど必要としないため、連結部３１０の外径よりも小さい。また、ハウジング位置決め孔３０８は、その内部には流路が形成されていない。そのため、ハウジング３４０の中央部に設けられた図示しない共通流路と連通していない。また、液体の流入側はＩｎｌｅｔ３０５で、液体の流出側はＯｕｔｌｅｔ３０６となる。
【0038】
そして、このような構成において、ノズル位置決め孔３０７およびハウジング位置決め孔３０８を介して位置決めを行った上で、ノズル板３０３とハウジング３４０とを一体化して、図４に示すような真空高温炉に入れて、拡散接合を実施した。なお、このときの拡散接合の条件としては、比較例のときと同じである。
【0039】
図７は、実施例１に係る液体吐出ヘッドのノズル板とハウジングとの接合部分の概略図である。この図からもわかるように、連結部３１０は、所定の間隔である間隙３１２おいて、ハウジング３４０の長手方向（図７のｙ軸方向）に並んで配置されている。
【0040】
図８は、本発明に係る実施形態における拡散接合を施したノズル板とハウジングとを接合したものの実物写真である。図８からわかるように、ノズル板３０３の上面にはノズル３１３の周辺を囲う輪状のものがみられ、これは、拡散接合時に圧力を受けた連結部３１０の形状が反映されたものである。すなわち、拡散接合された部分は、連結部の部分のみとなる。なお、このハウジング位置決め孔３０８は、本実施形態においては円筒状の連結部とする構成としたが、本発明においては連結部を設けない構成としてもよい。
【0041】
＜実施例１と比較例との変位量の違いについて＞
ここで、実施例１に係るノズル板と比較例に係るノズル板との拡散接合前後のノズルの位置の変位について説明する。そして、その前に、拡散接合前後でのノズルの位置の原理を説明する。
ここで、実施例１に係るノズル板と比較例に係るノズル板との拡散接合前後のノズルの位置の変位について説明する。そして、その前に、拡散接合前後でのノズルの位置の原理を説明する。
【0042】
図９は、拡散接合前後でノズルの位置が変位する状態について示した図である。この図９を用いて、拡散接合後におけるノズルの位置の変位の原理について説明する。なお、この原理については、実施例１に係るノズル板と比較例に係るノズル板とで同じものとする。
【0043】
ここで、図９（ａ）は、変位量を説明するためのノズル板の構成を示す図である。図９（ａ）に係るノズル板は、２つの位置決め孔とそれらの間に位置する８つのノズル（ノズル孔）がノズル板の長手方向に一列に並ぶように配列している構成となっている。そして、ここでは８つのノズル孔を左側の位置決め孔（図５におけるノズル位置決め孔１３０７や図６におけるノズル位置決め孔３０７に相当）を基準としてＮｏ１、Ｎｏ２、・・・Ｎｏ８とする。
【0044】
次に、図９（ｂ）だが、当該図は上記図９（ａ）で示したＮｏ１のノズルの拡散接合前後の変位を示す図である。まず、図９（ｂ）に示すように、拡散接合前におけるノズル板の左側の位置決め孔からＮｏ１のノズルの位置までの距離をｘとする。そして、拡散接合後におけるノズル板だが、拡散接合によって加圧加熱の環境下にあるため、ノズル板は伸びる。これによって、Ｎｏ１のノズルは、左側の位置決め孔から、拡散接合前の距離であるｘに変位量であるΔｘを加えたｘ＋Δｘの距離離れた位置になる。
【0045】
次に、図９（ｃ）だが、当該図は上記図９（ｃ）で示した複数のノズルの拡散接合前後の変位を示す図である。なお、ここでは、説明のため、Ｎｏ１～Ｎｏ３までのノズルを例にとって説明している。また、各ノズルは、左側の位置決め孔から等間隔で並んで配置されているとする。
【0046】
まず、図９（ｃ）に示すように、拡散接合前におけるノズル板の左側の位置決め孔から各ノズルの位置までの距離をｘ、２ｘ、そして３ｘとする。また、同図に示すように、「位置決め孔－Ｎｏ１ノズル間」での変位量をΔｘ１、「Ｎｏ１ノズル－Ｎｏ２ノズル間」での変位量をΔｘ２、「Ｎｏ２ノズル－Ｎｏ３ノズル間」での変位量をΔｘ３とする。そして、拡散接合後におけるノズル板だが、拡散接合によってノズル板は伸びる。これによって、Ｎｏ１のノズルは、左側の位置決め孔から、拡散接合前の距離であるｘに変位量であるΔｘ１を加えたｘ＋Δｘ１の距離だけ離れた位置になる。また、Ｎｏ２のノズルは、左側の位置決め孔から、拡散接合前の距離である２ｘに変位量であるΔｘ１とΔｘ２とを加えた２ｘ＋Δｘ１＋Δｘ２の距離だけ離れた位置になる。そして、Ｎｏ３のノズルは、左側の位置決め孔から、拡散接合前の距離である３ｘに変位量であるΔｘ１＋Δｘ２＋Δｘ３を加えた３ｘ＋Δｘ１＋Δｘ２＋Δｘ３の距離だけ離れた位置になる。
【0047】
ここで、拡散接合後におけるＮｏ１のノズルの位置は、拡散接合前に比べて位置決め孔から変位量Δｘ１の距離だけ離れている。同様に、拡散接合後におけるＮｏ２のノズルの位置は、拡散接合前に比べて位置決め孔から変位量Δｘ１＋Δｘ２の距離だけ離れており、拡散接合後におけるＮｏ３のノズルの位置は、拡散接合前に比べて位置決め孔から変位量Δｘ１＋Δｘ２＋Δｘ３の距離だけ離れていることがわかる。すなわち、拡散接合後において、ある番号における変位量は、位置決め孔を基準としてその番号のノズルが位置するまでの各ノズル間の変位量の累積値（累積伸び量）となる。そのため、位置決め孔から距離が離れたノズルほど変位量は大きくなる。
【0048】
そして、この原理を前提に、実施例１と比較例とに係るノズル板に対して、拡散接合前後の位置の距離の変位量の違いを計測した結果について以下に説明する。図１０は、実施例１と比較例とに係るノズル板に対して拡散接合前後の位置の距離の変位量の違いを計測した結果を示した図である。まず、拡散接合する前に予め（ノズル板の）位置決め孔を基準に、各々のノズルの位置を計測した。そして、拡散接合後には、再度位置決め孔から各々のノズル位置を計測し、接合前後の変化量を評価した。その評価結果を示したのが図１０である。
【0049】
図１０は、２つの位置決め孔を結んだ直線を基準線とし、この基準線に沿って配列した複数のノズルについて、各ノズル位置の変化量を示したものである。そして、図１０では、実施例１に係るノズル板の変化量および比較例に係るノズル板の変化量の結果を示している。なお、ノズル板については、実施例１および比較例共に、図９で示したような８つのノズルを有するノズル板を用いている。また、拡散接合における環境等の評価条件についても実施例１および比較例共に同じであるとする。
【0050】
そして、図１０に示すように位置決め孔からのノズル位置までの距離が離れるほど変位量は大きくなる。例えば、Ｎｏ３のノズルの変位量の累積値は、Ｎｏ１やＮｏ２に比べて大きくなる。また、位置決め孔から最も離れた位置にあるＮｏ８のノズルは、他のノズルの変位量に比べて最も大きいことがわかる。これは、図９で説明した原理に基づくためである。
【0051】
ここで、実施例１の結果と比較例の結果とを比較したとき、どのノズルについても比較例の変位量に比べて実施例１の変位量は小さいことがわかる。例えば、Ｎｏ３のノズルの変位量についてみると、比較例の変位量に比べて実施例１の変位量は値が小さくなっている。また、別の例を挙げると、位置決め孔から最も離れた位置にあるＮｏ８のノズルの変位量についても、比較例の変位量に比べて実施例１の変位量は値が小さくなっている。
【0052】
このような評価結果となった理由としては、実施例１に係る構成においては、円筒状の連結部を設けており、これによりノズル板とハウジングとが接合する面積が、比較例に係る構成に比べて小さくなっているためである。すなわち、実施例１に係る構成と比較例に係る構成とについて、同じ環境下で拡散接合を行った場合、間隙を有する連結部を設けることで、接合面積が減少し、これによりノズル板に設けられたノズル間の距離の変化量（伸び量）を抑制できることとなる。
【0053】
また、上記した評価を実施例１に係るノズル板と比較例に係るノズル板とでサンプルを１０個ずつ作成し、各サンプルのそれぞれのＮｏ８のノズルの伸び量の変化範囲を測定評価した。そして、各測定値の最小値（ｍｉｎ）と最大値（ｍａｘ）との差（ｍａｘ－ｍｉｎ）を算出し、その算出量を伸び量の変化範囲とした。その評価結果を表１に示す。この表１に示すように、結果としては、実施例１の伸び量の変化範囲も相応して、比較例の伸び量の変化範囲の約６割程度まで減少することが確認された。
【0054】
【表1】
【0055】
＜連結部の具体的な設定値について＞
次に、実施例１の連結部の具体的な設定値について説明する。上記した実施例１に係る構成における連結部３１０は、ノズル板３０３の伸び量（変化量）を抑えることを考慮すると、接合部分の面積は極力小さくすることが望ましいといえる。その一方で、接合面積を減らすことは、接合強度が低下することにもつながる。特に、ノズルの開閉はニードル弁といった弁体により制御されるが、液室内の液体の内圧が非常に高圧の場合、製品安全の観点から一定の接合強度を確保する必要がある。
次に、実施例１の連結部の具体的な設定値について説明する。上記した実施例１に係る構成における連結部３１０は、ノズル板３０３の伸び量（変化量）を抑えることを考慮すると、接合部分の面積は極力小さくすることが望ましいといえる。その一方で、接合面積を減らすことは、接合強度が低下することにもつながる。特に、ノズルの開閉はニードル弁といった弁体により制御されるが、液室内の液体の内圧が非常に高圧の場合、製品安全の観点から一定の接合強度を確保する必要がある。
【0056】
【0057】
まず、図１１（ａ）は、ノズル板と接合した連結部の断面図を示している。そして、ノズル板３０３が連結部３１０と接合すると、連結部３１０と、流路３１１と、ノズル板３０３とがなす形状は、一種の圧力容器の形状に近似できる。そして、図１１（ａ）に示すように、連結部３１０は、円筒状となっているため、ノズル板３０３との接合幅は圧力容器の板厚に相当する。また、圧力容器の板厚の算定式は，ＪＩＳ Ｂ ８２６５「圧力容器の構造－一般事項」１）の附属書１（規定）「圧力容器の胴および鏡板」に示されているものを用いている。
【0058】
ここで、薄肉構造は、直径に比べ厚さが十分小さい場合で、ほとんどのものが該当する。また、設計圧力は３０ＭＰａ未満であり、許容引張応力の基本は引張強さの１／４であり、クリープ領域の許容引張応力設定基準も定めている。すなわち、安全率について４は必要と定められている。実施例１に係る連結部のような円筒状（円筒胴のモデル）の場合において最小板厚ｔは、以下数１（圧力容器の板厚算定式）のようになる。
【0059】
【数1】
【0060】
ここで、Ｐは設計圧力であり、Ｄｉは内径であり、Ｓは材料の許容引張強さであり、ηは継手効率係数であり、そして、Ｃは腐れしろである。
【0061】
そして、実施例１に係る連結部の場合は、ＳＵＳ４３０が材質として用いているが、この場合において引張強さは４２０ＭＰａであり、安全係数を４にすると、許容引張強さＳは１０５ＭＰａになる。また、設計圧力１０ＭＰａにおいて、内径Ｄｉを３ｍｍとし、継手効率係数ηを０．２とし、腐れしろを０とした場合では、最小板厚ｔは０．２ｍｍの計算結果が得られる。すなわち、連結部３１０の接合幅、あるいはノズル板３０３の厚みは０．２ｍｍ以上あれば、安全性が確保できることになる。実施例１に係る連結部３１０の場合は、ノズル板３０３の板厚は０．５ｍｍとし、連結部３１０の接合幅は強度確保の観点から２ｍｍと１０倍にすることで、より確実に拡散接合の接合強度を確保することができた。
【0062】
また、ノズル板３０３の伸び量を低減するためには、間隙３１２を極力大きくすることが望ましい。そこで、次に、実施例１に係る間隙３１２の設定値について説明する。図１１（ｂ）は、実施例１に係る連結部の間隙の設定を説明するための図である。ここで、隣接する連結部３１０の外径端部同士の間隔（間隙３１２の大きさ）をＤ１、流路３１１のノズル３１３に対応する位置の間隔（ノズルピッチ間に対応するところ）をＤ２、連結部３１０の接合部の幅をＤ３、連結部３１０の外径をＤ４、そして、連結部３１０の内径は上記したようにＤｉ＝（Ｄ４－２×Ｄ３）となる。また、ノズル板３０３の伸び量を考慮すると、間隙３１２の大きさを大きくすることが望ましいが、一方で、強度確保の観点から連結部３１０の最小接合幅を考慮する必要がある。そこで、式（Ａ）：「０＜Ｄ１≦Ｄ２－２×最小接合幅－Ｄｉ」を満たすことが想定される。この式（Ａ）を用いることで間隙３１２をどのくらい大きくすればよいか求めることができる。
【0063】
なお、実際には、式（Ａ）をベースとして、ノズル数（累積ピッチ）と、要求される位置精度に応じて、間隙３１２の下限値は適宜設定されることとなる。これを踏まえて、実施例１においては、前述したように間隙３１２を１ｍｍと設定した。そこで、位置精度を高める場合や、あるいはノズル数が多い場合等は、式（Ａ）を満足する範囲で間隙３１２を１ｍｍより大きくすればよい。例えば、位置精度を１／２とする場合には、間隙３１２の大きさを２ｍｍにし、また、ノズル数を２倍に増加させる場合は隙間を２ｍｍにする等が挙げられる。
【0064】
以上のように、ノズル板とハウジングとの接合は、間隙を有する連結部を設ける構成にすることで実施した。ノズル板とハウジングとの接合は、全面ではなく不連続的に区分けすることで、接合される部分の面積を減少させ、金属拡散接合の高温・高圧下でのノズル板の伸び量（変形量）を抑制し、より高精度な寸法を得ることができた。また、連結部の接合幅は、少なくとも使用する設計圧力が必要する最小板厚以上にすることで、確実に接合強度を確保することができた。
【0065】
上記のように本実施形態は、液体を吐出する複数のノズル孔３１３を有するノズル板３０３と、ノズル板３０３を支持し、拡散接合を含む工程によってノズル板３０３と接合されたハウジング３４０とを有する液体吐出ヘッド１であって、ハウジング３４０に形成され、当接することでノズル板３０３とハウジング３４０とを連結し、ノズル孔３１３の配列方向に配置される複数の連結部３１０と、連結部３１０に形成され、ノズル板３０３のノズル孔３１３と連通する流路３１１と、互いに隣接する連結部３１０間に形成された間隙３１２と、を有する。
【0066】
これによって、拡散接合によって接合する場合において、ノズル３１３等の位置精度を高めることができる。
【0067】
さらに、上記のように本実施形態は、連結部３１０は流路３１１を囲む部位である接合部を有し、接合部の幅は、少なくともノズル板３０３に付与する圧力が必要する最小板厚以上を有する。
【0068】
これによって、確実に拡散接合の接合強度を保証し、流路内の液体の内圧への耐久性を向上させ、接合部の剥がれを抑制し、ノズル板を含む液体吐出ヘッドの形状を保つことができる。
【0069】
さらに、上記のように本実施形態は、ノズル板３０３およびハウジング３４０は、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系ステンレス合金のいずれかによって形成されている。
【0070】
これによって、流路内の液体内圧を耐えられる十分な強度をもたらし、液体吐出ヘッドの強度を確保することができる。また、耐インク性や耐食性を得ることができる。
【0071】
さらに、上記のように本実施形態は、ノズル板３０３とハウジング３４０とは同じ材質で形成されている。
【0072】
これによって、接合界面で大きな熱応力が生じることを防止し、液体吐出ヘッドの寸法を高精度に維持することが可能となる。
【0073】
さらに、上記のように本実施形態は、連結部３１０におけるハウジング３４０からノズル板３０３までの距離を連結部３１０の高さとしたとき、複数の連結部３１０の高さは同じである。
【0074】
これによって、ノズル板をより平坦にして、ハウジングと接合することができる。
【0075】
＜実施例２について＞
図１２は、本発明に係る実施形態２（実施例２）を示した図である。そして、この図を用いて、本発明に係る実施形態について、以下に説明する。
図１２は、本発明に係る実施形態２（実施例２）を示した図である。そして、この図を用いて、本発明に係る実施形態について、以下に説明する。
【0076】
本実施例においては、ハウジングについて外縁部（周縁部）にノズル板との接合のために壁部を設けた構成とし、その上で、拡散接合によってノズル板とハウジングとを接合する製造方法とした点が実施例１と異なっている。なお、それ以外の構成については、実施例１に係る構成と同じであるものとする。そこで、以下では、主に、実施例１と異なる点について説明する。
【0077】
図１２に示す実施例２に係る構成においては、ハウジング３４０の接合面３０９上であってハウジング３４０の周縁部にノズル板３０３との接合用の壁部（隔壁）３１４を設けている。この点で実施例１に係る構成と大きく異なっている。
【0078】
ここで、実施例２に係る構成は、この壁部３１４（壁部の一例）と、実施例１のときと同様に、ノズル３１３と連通する流路３１１を含む連結部３１０とを有している。壁部３１４は、連結部３１０と同じ高さ（ｚ軸方向の大きさ）を有し、０．１ｍｍとしている。このようにすることで、ノズル板３０３をより平坦にして、ハウジング３４０と接合することができる。また、壁部３１４は、その接合幅としては１ｍｍとしている。さらに、実施例２に係る構成は、壁部３１４の一部に外気に通じる孔である壁部連通部３１５が形成されている。
【0079】
そして、このような構成において、ノズル位置決め孔３０７およびハウジング位置決め孔３０８を介して位置決めを行った上で、ノズル板３０３とハウジング３４０とを一体化して、図４に示すような真空高温炉に入れて、拡散接合を実施した。なお、このときの拡散接合の条件としては、実施例１のときと同じである。
【0080】
そして、ノズル板３０３の周縁部を壁部３１４でハウジング３４０と接合することで、連結部３１０の隣接部の間隙３１２が閉空間にならないように、壁部連通部３１５を通じて、真空を引くようにした。なお、この壁部連通部３１５は、２以上設けてもよい。このように、壁部の側面に外気に通じる孔が、少なくとも１つ以上に設けることで、真空中での拡散接合時に、連結部の隣接部分は間隙を有する空間は閉じた空間（閉空間）にならずに、内部の空気を確実に逃がすことができる。そのため、ノズル板とハウジングとの積層体を加熱したときに連結部の隣接部分の間隙内の空気が膨張することがなく、ノズル板等に接合不良や、積層体の温度分布が不均一になり歪みが生じることを防止することができる。そして、このようなプロセスを経て拡散接合を行ったため、閉じ込められた空気は十分に排気することができ、ノズル板３０３は、連結部３１０に加え、外縁部（周縁部）も壁部３１４で確実にハウジング３４０と接合することができた。
【0081】
このように作成した液体吐出ヘッドにおいて、ノズル板位置決め孔３０７から各々のノズル３１３の距離の伸び量は、実施例１のときとほぼ同じ結果を得ることができた。
【0082】
ここで、ノズル板の外縁部（周縁部）は、ハウジングと接合していない場合だと、ワイピング洗浄時において洗浄工具のブラシやゴムローラ等により容易に巻き込まれて、捲られることがある。
【0083】
そこで、実施例２においては、ハウジングの外縁部（周縁部）に壁部を設けることにより、ノズルの外縁部（周縁部）がハウジングにより接合支持されるため、ワイピング洗浄時に発生するノズル板の捲れも抑えられる。これによって、実施例１の場合に比べて、吐出ヘッドの寿命を大きく延ばすことが可能となる。
【0084】
上記のように本実施形態は、ハウジング３４０の外縁部に形成され、当接することでノズル板３０３とハウジング３４０とを連結する壁部３１４を有する。
【0085】
これによって、ノズルの外縁部（周縁部）がハウジングにより接合支持されるため、ワイピング洗浄時に発生するノズル板の捲れも抑えられる。
【0086】
さらに、上記のように本実施形態は、連結部３１０におけるハウジング３４０からノズル板３０３までの距離を高さとしたとき、連結部３１０と、連結部３１０と同じ高さの壁部３１４で接合支持され、壁部３１４の側面にハウジング３４０の外部と連通する孔部は３１５少なくとも１つ以上に設けられている。
【0087】
これによって、真空中での拡散接合時に、連結部の隣接部分は間隙を有する空間は閉じた空間（閉空間）にならずに、内部の空気を確実に逃がすことができる。そのため、ノズル板とハウジングとの積層体を加熱したときに連結部の隣接部分の間隙内の空気が膨張することがなく、ノズル板等に接合不良や、積層体の温度分布が不均一になり歪みが生じることを防止することができる。
【0088】
＜実施例３について＞
図１３は、本発明に係る実施形態３（実施例３）を示した図である。そして、この図を用いて、本発明に係る実施形態について、以下に説明する。
図１３は、本発明に係る実施形態３（実施例３）を示した図である。そして、この図を用いて、本発明に係る実施形態について、以下に説明する。
【0089】
本実施例においては、拡散接合用の連結部や接合用の壁部について、ハウジング側でなくノズル板側に設けた構成とし、その上で、拡散接合によってノズル板とハウジングとを接合する製造方法とした点が実施例１と異なっている。なお、それ以外の構成については、実施例１に係る構成と同じであるものとする。そこで、以下では、主に、実施例１と異なる点について説明する。なお、用語の符号についても説明の便宜上、改めて付与している。
【0090】
図１３に示す実施例３に係る構成においては、ノズル板３０３ａのノズル３１３ａに対応する位置に円筒状の連結部３１０ａと、ノズル板３１３ａの外縁部（周縁部）にハウジング３４０ａとの接合用の壁部（隔壁）３１４ａを設けた点で実施例１に係る構成と大きく異なっている。そして、連結部３１０ａは、本実施形態においては、８つ設けられている。これは、ノズル３０３ａの数が８つであり、それに対応しているからである。
【0091】
また、隣接する連結部３１０ａ同士は、所定の距離である間隙３１２ａが設けられており、ノズル板３０３の長手方向（図１３のｙ軸方向）に並んで配置されている。そして、壁部３１４ａの一部に外気に通じる孔である壁部連通部３１５ａが形成されている。壁部連通部３１５ａは、拡散接合時に、連結部３１０ａの隣接部の間隙３１２ａが閉空間にならないように、壁部連通部３１５ａを通じて、真空を引くようにできるために設けられている。
【0092】
そして、このような構成において、ノズル位置決め孔３０７ａおよびハウジング位置決め孔３０８ａを介して位置決めを行った上で、ノズル板３０３ａとハウジング３４０ａとを一体化して、図４に示すような真空高温炉に入れて、拡散接合を実施した。なお、このときの拡散接合の条件としては、実施例１等と同じである。
【0093】
このように作成した液体吐出ヘッドにおいて、ノズル板位置決め孔３０７ａから各々のノズル３１３ａの距離の伸び量は、比較例に係る構成と比べて抑えることができた。
【0094】
ここで、ハウジング側に拡散接合用の連結部や壁部を設ける場合は、主に機械加工で最初にハウジング側に作成している。一方で、生産数が多い場合は、全部について機械加工で作り出すのは、非常にコストがかかる。そこで、本実施例（実施例３）のように、ノズル板側に拡散接合用の連結部や壁部を設ける場合は、エッチング手法で実現することが可能となるため、大量に生産でき、且つコストを抑えることが可能となる。
【0095】
上記のように本実施形態は、液体を吐出する複数のノズル３１３ａを有するノズル板３０３ａと、ノズル板３０３ａを支持し、拡散接合を含む工程によってノズル板３０３ａと接合されたハウジング３４０ａとを有する液体吐出ヘッド１０であって、ノズル板３０３ａに形成され、当接することでノズル板３０３ａとハウジング３４０ａとを連結し、ノズル３１３ａの配列方向に配置される複数の連結部３１０ａと、連結部３１０ａに形成され、ノズル板３０３ａのノズル３１３ａと連通する流路３１１ａと、互いに隣接する連結部３１０ａ間に形成された間隙３１２ａと、を有する。
【0096】
これによって、ノズル板側に拡散接合用の連結部や壁部を設ける場合は、エッチング手法で実現することが可能となるため、大量に生産でき、且つコストを抑えることが可能となる。
【0097】
また、上記のように本実施形態は、ノズル板３０３ａの外縁部に形成され、当接することでノズル板３０３ａとハウジング３４０ａとを連結する壁部３１４ａを有する。
【0098】
これによって、ノズルの外縁部（周縁部）がハウジングにより接合支持されるため、ワイピング洗浄時に発生するノズル板の捲れも抑えられる。
【0099】
さらに、上記のように本実施形態は、連結部３１０ａにおけるハウジング３４０ａからノズル板３０３ａまでの距離を高さとしたとき、連結部３１０ａと、連結部３１０ａと同じ高さの壁部３１４ａで接合支持され、壁部３１４ａの側面にハウジング３４０ａの外部と連通する孔部３１５ａは少なくとも１つ以上設けられている。
【0100】
これによって、真空中での拡散接合時に、連結部の隣接部分は間隙を有する空間は閉じた空間（閉空間）にならずに、内部の空気を確実に逃がすことができる。そのため、ノズル板とハウジングとの積層体を加熱したときに連結部の隣接部分の間隙内の空気が膨張することがなく、ノズル板等に接合不良や、積層体の温度分布が不均一になり歪みが生じることを防止することができる。
【0101】
＜実施例４について＞
図１４は、本発明に係る実施形態４（実施例４）を示した図である。そして、この図を用いて、本発明に係る実施形態について、以下に説明する。
図１４は、本発明に係る実施形態４（実施例４）を示した図である。そして、この図を用いて、本発明に係る実施形態について、以下に説明する。
【0102】
本実施例においては、ハウジング側に拡散接合用の連結部や接合用の壁部を設け、さらに連結部と壁部の一部とがつながっている（接続している）構成とし、その上で、拡散接合によってノズル板とハウジングとを接合する製造方法とした点が実施例１と異なっている。なお、それ以外の構成については、実施例１に係る構成と同じであるものとする。そこで、以下では、主に、実施例１と異なる点について説明する。なお、用語の符号についても説明の便宜上、改めて付与している。
【0103】
まず、本実施形態においては、図１４に示すように、ハウジング３４０ｂのノズル板３０３ｂとの連結部形成面３０９ｂには、ノズル板の３０３ｂのノズル３１３ｂおよびノズル板位置決め孔３０７ｂの位置に対応して、矩形の連結部３１０ｂが設けられている。
【0104】
そして、連結部３１０ｂは、本実施形態においては、８つ設けられている。これは、ノズル３０３ｂの数が８つであり、それに対応しているからである。また、隣接する連結部３１０ｂ同士は、所定の距離である間隙３１２ｂが設けられており、ハウジング３４０ｂの長手方向（図１４のｙ軸方向）に並んで配置されている。
【0105】
また、本実施形態においては、ハウジング３４０ｂの連結部形成面３０９ｂ上であってハウジング３０４ｂの周縁部にノズル板３０３との接合用の壁部（隔壁）３１４ｂを設けている。ここで、ノズル孔３１３ｂと連通する流路３１１ｂを含む連結部３１０ｂとを有している。また、壁部３１４ｂは、その一部に外気に通じる孔である壁部連通部３１５ｂが形成されている。
【0106】
そして、矩形の連結部３１０ｂは、その長手方向（図１４のｘ軸方向）の端部で壁部３１４ｂの一部とつながっている。なお、本実施形態においては、このようにつながった構成としているが、本発明は、つながっていない構成についても適用可能である。
【0107】
また、８つの矩形の連結部３１０ｂは、それぞれに流路３１１ｂが設けられている。この流路３１１ｂは、ハウジング３４０ｂの中央部に設けられた図示しない共通流路と連通して、液体を通す経路を構成する。また、ハウジング３４０ｂは、この８つの流路３１１ｂの図１４におけるｙ軸方向における両側に接合時に位置決め用の孔となるハウジング位置決め孔３０８ｂが設けられている。また、ハウジング位置決め孔３０８ｂは、その内部には流路が形成されていない。そのため、ハウジング３４０ｂの中央部に設けられた図示しない共通流路と連通していない。また、液体の流入側はＩｎｌｅｔ３０５ｂで、液体の流出側はＯｕｔｌｅｔ３０６ｂとなる。
【0108】
なお、本実施形態においては、矩形の連結部３１０ｂは、その長手方向（図１４のｘ軸方向）の端部で壁部３１４ｂの一部とつながっているが、少なくとも変形量の大きい連結部３１０ｂの配列方向では間隙３１２ｂが設けられているため、例えば、比較例に係る構成と比べてノズル板３０３ｂの伸び量を抑えることは可能となる。
【0109】
そして、このような構成において、ノズル位置決め孔３０７ｂおよびハウジング位置決め孔３０８ｂを介して位置決めを行った上で、ノズル板３０３ｂとハウジング３４０ｂとを一体化して、図４に示すような真空高温炉に入れて、拡散接合を実施した。なお、このときの拡散接合の条件としては、実施例１等と同じである。
【0110】
このように作成した液体吐出ヘッドにおいて、ノズル板位置決め孔３０７ｂから各々のノズル３１３ｂの距離の伸び量は、比較例に係る構成と比べて抑えることができた。
【0111】
＜実施例５について＞
図１５は、本発明に係る実施形態５（実施例５）を示した図である。そして、この図を用いて、本発明に係る実施形態について、以下に説明する。
図１５は、本発明に係る実施形態５（実施例５）を示した図である。そして、この図を用いて、本発明に係る実施形態について、以下に説明する。
【0112】
本実施例においては、ハウジング側に設けた連結部やノズル板のノズルの配列が実施例２と異なっている。なお、それ以外の構成については、実施例２に係る構成と同じであるものとする。そこで、以下では、主に、実施例２と異なる点について説明する。なお、用語の符号についても説明の便宜上、改めて付与している。
【0113】
まず、本実施形態においては、図１５に示すように、図１５におけるハウジング３４０ｃの長手方向（図１５におけるｙ軸方向）に沿って８つの連結部３１０ｃを、上側（図１５におけるｘ軸の－方向側）と下側（図１５におけるｘ軸の＋方向側）とに４つずつ複数列にわたって連結部形成面３０９ｃ上に配置させて、千鳥配置にしている。なお、隣接する連結部３１０ｃ同士は、互いに連続しないように間隙３１２ｃが設けられている。また、ノズル板３０３ｃについても同様に、ノズル３１３ｃが図１５に示すように、図１５におけるノズル板３０３ｃの長手方向（図１５におけるｙ軸方向）に沿って８つのノズル３１３ｃを、上側（図１５におけるｘ軸の－方向側）と下側（図１５におけるｘ軸の＋方向側）とに４つずつ複数列にわたって配置させて、千鳥配置にしている。
【0114】
本発明は、この図１５に示すように、連結部とノズルとを複数列に配置する構成にすることも可能となる。なお、その他については、実施例２で説明した場合と同様になる。そのため、ハウジング３４０ｃは、連結用の壁部３１４ｃやその一部に外気に通じる孔である壁部連通部３１５ｃ等も形成されている。
【0115】
そして、このような構成において、ノズル位置決め孔３０７ｃおよびハウジング位置決め孔３０８ｃを介して位置決めを行った上で、ノズル板３０３ｃとハウジング３４０ｃとを一体化して、図４に示すような真空高温炉に入れて、拡散接合を実施した。なお、このときの拡散接合の条件としては、実施例１、２等と同じである。
【0116】
このように作成した液体吐出ヘッドにおいて、ノズル板位置決め孔３０７ｃから各々のノズル３１３ｃの距離の伸び量は、比較例に係る構成と比べて抑えることができた。
【0117】
＜実施例６について＞
図１６は、本発明に係る実施形態６（実施例６）を示した図である。そして、この図を用いて、本発明に係る実施形態について、以下に説明する。
図１６は、本発明に係る実施形態６（実施例６）を示した図である。そして、この図を用いて、本発明に係る実施形態について、以下に説明する。
【0118】
本実施例においては、拡散接合用の連結部や接合用の壁部について、ハウジングやノズル板とは別の部材で形成し、それを両者の間に位置させる構成にし、その上で、拡散接合によってノズル板とハウジングとを接合する製造方法とした点がこれまでの実施例２と異なっている。なお、それ以外の構成については、実施例２に係る構成と同じであるものとする。そこで、以下では、主に、実施例２と異なる点について説明する。また、用語の符号についても説明の便宜上、改めて付与している。
【0119】
まず、図１６に示すように、本実施形態では、拡散接合用の連結部材であって、且つハウジング３４０ｄやノズル板３０３ｄとは別の部材である連結部別部材３１０Ｐ（拡散接合用部材ともよぶ、拡散接合用部材の一例）を設けている。そして、連結部別部材３１０Ｐは、拡散接合用の連結部３１０ｄ、位置決め孔（別部材位置決め孔）３１６や接合用の壁部３１４ｄを有している。なお、円筒状の連結部３１０ｄは、所定の距離をおいて連結部別部材３１０Ｐの長手方向（図１６のｙ軸方向）に並んで配置されており、隣接する連結部３１０ｄ同士は、互いに連続しないように間隙３１２ｄが設けられている。また、壁部３１４ｄは、その一部に外気に通じる孔である壁部連通部３１５ｄが形成されている。そして、連結部３１０ｄは、連結部別部材３１０Ｐの短手方向（図１６のｘ軸方向）で壁部３１４ｂの一部とつながっている。同様に、連結部別部材３１０Ｐの位置決め孔３１６が形成される部分は、連結部別部材３１０Ｐの長手方向（図１６のｙ軸方向）で壁部３１４ｄの一部とつながっている。
【0120】
そして、連結部別部材３１０Ｐは板状となっており、外形の大きさはノズル板３０３ｄと同じにしている。壁部３１４ｄは、ノズル板３０３ｄの外縁部（周縁部）に沿うように形成されている。また、板の厚み（図１６におけるｚ軸方向の大きさ）は、０．０５ｍｍとし、連結部の接合幅は２ｍｍとし、壁部の接合幅は１ｍｍとした。
【0121】
そして、本実施形態では、図１６に示すように、ハウジング３４０ｄとノズル板３０３ｄとの間に連結部別部材３１０Ｐを２枚重ねて配置し、ノズル位置決め孔３０７ｄ、連結部別部材３１０Ｐの位置決め孔３１６およびハウジング位置決め孔３０８といった位置決め部により位置決めを行う。そして、当該位置決めを行い、ハウジング３４０ｄと、２枚の連結部別部材３１０Ｐと、ノズル板３０３ｄとを拡散接合を行うようにする。このようにして、本実施例は、流路３１１ｄを形成する連結部３１０ｄと、壁部３１４ｄと、そして外部と連通する孔部である壁部連通部３１５ｄとを複数の連結部別部材３１０Ｐの積層させることによって形成した。なお、ここでは、連結部別部材３１０Ｐを２枚重ねた場合を説明したが、本発明は１枚の場合でも、あるいは３枚以上の場合でも適用することは可能である。このように、本実施例は、いいかえると、比較例に係るハウジングとノズル板とに、拡散接合用の別部材（別体）である連結部別部材を用いて連結部や壁部を形成し、拡散接合でハウジングとノズルとを接合する構成ととらえることもできる。
【0122】
そして、本実施例では、このようにすることで、予めハウジング側あるいはノズル側に、拡散接合用の連結部等を設ける必要がなく、これとは別の連結用部材である連結部別部材３１０Ｐを積層する構成にすることにより、複雑な流路を連結部に形成することを可能にすることができる。
【0123】
上記した構成において、ノズル位置決め孔３０７ｄ、連結部別部材３１０Ｐの位置決め孔３１６およびハウジング位置決め孔３０８ｄを介して位置決めを行った上で、ノズル板３０３ｄとハウジング３４０ｄと複数の連結部別部材３１０Ｐとを一体化して、図４に示すような真空高温炉に入れて、拡散接合を実施した。なお、このときの拡散接合の条件としては、実施例１、２等と同じである。
【0124】
このように作成した液体吐出ヘッドにおいて、ノズル板位置決め孔３０７ｄから各々のノズル３１３ｄの距離の伸び量は、比較例に係る構成と比べて抑えることができた。また、実施例１や実施例２等と同等の品質を得ることができた。
【0125】
上記のように本実施形態は、液体を吐出する複数のノズル孔３１３ｄを有するノズル板３０３ｄと、ノズル板３０３ｄを支持するハウジング３４０ｄと、ノズル板３０３ｄとハウジング３４０ｄとの間に設けられ、ノズル板３０３ｄおよびハウジング３４０ｄのそれぞれと拡散接合を含む工程によって接合される拡散接合用部材（連結部別部材）３１０Ｐと、を有し、拡散接合用部材３１０Ｐは、ノズル板３０３ｄおよびハウジング３４０ｄに当接することでノズル板３０３ｄとハウジング３４０ｄとを連結し、ノズル孔３１３ｄの配列方向に配置される複数の連結部３１０ｄと、連結部３１０ｄに形成され、ノズル板３０３ｄのノズル孔３１３ｄと連通する流路３１１ｄと、互いに隣接する連結部３１０ｄ間に形成された間隙３１２ｄと、ノズル板３０３ｄおよびハウジング３４０ｄに当接することでノズル板３０３ｄとハウジング３４０ｄとを連結し、ノズル板３０３ｄの外縁部を沿うように形成された壁部３１４ｄと、を含む。
【0126】
これによって、複雑な流路を連結部に形成することを可能にすることができる。
【0127】
＜液体を吐出する装置の実施例の構成について＞
次に、液体を吐出する装置の実施例の構成について、図を参照して説明する。なお、以下説明する構成は、上記した実施例に係る構成を適用することが可能である。また、本実施例以降の図で示すＸ，Ｙ，Ｘ方向はこれまでの方向の定義と異なるものとする。
次に、液体を吐出する装置の実施例の構成について、図を参照して説明する。なお、以下説明する構成は、上記した実施例に係る構成を適用することが可能である。また、本実施例以降の図で示すＸ，Ｙ，Ｘ方向はこれまでの方向の定義と異なるものとする。
【0128】
図１７は、液体を吐出する装置１００（液体を吐出する装置の一例）の全体概略構成図である。図１７（ａ）は液体を吐出する装置の側面図、図１７（ｂ）は同装置の平面図である。液体を吐出する装置１００は、対象物の一例である液体付与対象５００に対向して設置されている。液体を吐出する装置１００は、Ｘ軸レール１０１と、このＸ軸レール１０１と交差するＹ軸レール１０２と、Ｘ軸レール１０１及びＹ軸レール１０２と交差するＺ軸レール１０３を備える。特に、本実施形態においては、各レール１０１，１０２，１０３は互いに直交する方向に延在する。
【0129】
Ｙ軸レール１０２は、Ｘ軸レール１０１がＹ軸方向に移動可能なようにＸ軸レール１０１を保持する。また、Ｘ軸レール１０１は、Ｚ軸レール１０３がＸ軸方向に移動可能なようにＺ軸レール１０３を保持する。そして、Ｚ軸レール１０３は、キャリッジ１０００（吐出ヘッド支持部の一例）がＺ軸方向に移動可能なようにキャリッジ１０００を保持する。
【0130】
液体を吐出する装置１００は、キャリッジ１０００をＺ軸レール１０３に沿ってＺ軸方向に動かす第１のＺ方向駆動部９２と、Ｚ軸レール１０３をＸ軸レール１０１に沿ってＸ軸方向に動かすＸ方向駆動部７２を備える。また、液体を吐出する装置１００は、Ｘ軸レール１０１をＹ軸レール１０２に沿ってＹ軸方向に動かすＹ方向駆動部８２を備える。さらに、液体を吐出する装置１００は、キャリッジ１０００に対してヘッド保持体７０をＺ軸方向に動かす第２のＺ方向駆動部９３を備える。
【0131】
前述した吐出ヘッドは、吐出ヘッド１のノズル１３が液体付与対象５００に対向するようにヘッド保持体７０に取り付けられる。このように構成された液体を吐出する装置１００は、キャリッジ１０００をＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の方向に動かしながら、ヘッド保持体７０に取り付けられた吐出ヘッド１から液体付与対象５００に向けて液体の一例であるインクを吐出し、液体付与対象５００に描画を行う。
【0132】
次に、液体吐出装置の別の実施例であるインクジェットプリンタ２０１の構成について、図を参照して、以下に説明する。
【0133】
図１８に示されるように、本実施形態に係るインクジェットプリンタ２０１は、プリントヘッド２０２と、Ｘ－Ｙテーブル２０３と、カメラ２０４と、制御部２０９と、駆動部２１１などを備えている。
【0134】
プリントヘッド２０２は、被塗装物Ｍの被塗装面に向けてインク（液体）を吐出するインクジェット方式の液体吐出ヘッドである。なお、ここでいう「インク」には「塗料」も含まれるものとする。プリントヘッド２０２は、複数の弁型ノズルを備え、インクは各弁型ノズルからプリントヘッド２０２の吐出面とは垂直な方向に吐出される。すなわち、プリントヘッド２０２のインクの吐出面は、Ｘ－Ｙテーブル２０３の移動によって形成されるＸＹ平面と平行であり、各弁型ノズルから吐出されるインクドットはＸ－Ｙ平面に対して垂直な方向に吐出される。また、各弁型ノズルから吐出されるインクの吐出方向はそれぞれ平行に吐出される。各弁型ノズルは、それぞれ所定の色のインクタンクと連結されている。また、インクタンクが加圧装置によって加圧されていることにより、各弁型ノズルと被塗装物Ｍのプリント対象面との距離が２０ｃｍ程度であれば、問題なく各弁型ノズルからインクドットをプリント対象面に吐出することができる。
【0135】
Ｘ－Ｙテーブル２０３は、プリントヘッド２０２及びカメラ２０４を互いに直交するＸ方向及びＹ方向に移動させる機構を備えている。具体的に、Ｘ－Ｙテーブル２０３は、プリントヘッド２０２及び後述のカメラ２０４を保持するスライダをＸ方向に移動させるＸ軸移動機構２０５と、Ｘ軸移動機構２０５を２つのアームで保持しつつＹ方向に移動させるＹ軸移動機構２０６とを備えている。また、Ｙ軸移動機構２０６にはシャフト２０７が設けられており、このシャフト２０７をロボットアーム２０８が保持して駆動することにより、プリントヘッド２０２を被塗装物Ｍに対してプリントを行うべき所定位置に自由に配置できる。例えば、被塗装物Ｍが自動車である場合、ロボットアーム２０８は、プリントヘッド２０２を図１９に示されるような自動車の上部あるいは図２０に示されるような 自動車の横位置などに配置できる。なお、ロボットアーム２０８の動作は、予め制御部２０９に格納されたプログラムに基づいて制御される。
【0136】
カメラ２０４は、被塗装物Ｍのプリント対象面を撮影するデジタルカメラなどの撮像手段である。カメラ２０４は、Ｘ軸移動機構２０５及びＹ軸移動機構２０６によってＸ方向及びＹ方向に移動しながら被塗装物Ｍのプリント対象面の所定の範囲を一定の微小な間隔で撮影する。カメラ２０４のレンズ及び解像度などの仕様は、プリント対象面の所定の範囲について複数の細分割画像の撮影が可能なように適宜選択される。カメラ２０４による プリント対象面の複数の細分割画像の撮影は、後述の制御部２０９によって連続的、かつ、自動的に行われる。
【0137】
制御部２０９は、カメラ２０４によって撮影された画像を編集する画像編集ソフトウエアＳと予め設定された制御プログラムに基づいてＸ－Ｙテーブル２０３を動作させてプリントヘッド２０２のプリント動作（インク吐出動作）を制御する。制御部２０９は、いわゆるマイクロコンピュータによって構成され、各種のプログラム及び撮影済みの画像のデータのほかプリントすべき画像のデータなどを記録保存する記憶装置、プログラムに従って各種の処理を実行する中央処理装置、キーボードやマウスなどの入力装置、必要に応じてＤＶＤプレイヤーなどを備えている。さらに、制御部２０９は、モニタ２１０を備えている。モニタ２１０は、制御部２０９への入力情報や制御部２０９による処理結果などを表示する。
【0138】
制御部２０９は、カメラ２０４によって撮影された複数の細分割画像データを、画像処理ソフトを用いて画像処理を行い、被塗装物Ｍの平面でないプリント対象面を平面に投影された合成プリント面として生成する。また、制御部２０９は、既にプリント対象面にプリントされた画像に対して連続するようにプリントされる描画対象画像を、合成プリント面に重ね、描画対象画像がプリント済み画像の縁端部と連続するように編集を行い、描画対象編集画像を生成する。例えば、図２１（ｃ）に示した描画対象画像であるプリント画像２５２ｂについて、隣接するプリント画像２５２ａとの間に非プリント領域２５３が形成されないようにプリント画像２５２ｂを合成プリント面に整合するように編集することにより、描画対象編集画像を生成する。そして、生成された描画対象編集画像に基づいて プリントヘッド２０２からプリント対象面にインクが吐出されることにより、新しい画像がプリント済みの画像との間に隙間を生じることなくプリントされる。なお、カメラ２０４による複数の細分割画像の撮影及びプリントヘッド２０２の各ノズルからのインクの吐出によるプリントの動作は、制御部２０９によって動作制御された駆動部２１１によって行われる。
【0139】
図２１（ａ）においては、球状物の液体付与対象２５１の球面状の表面にインクジェットノズルによって二次元の四角形を形成するような場合に、ノズルヘッド２５０に搭載された各インクジェットノズルから噴射されるインクの吐出方向が図示されている。図２１（ｂ）においては、ノズルヘッド２５０に搭載された各インクジェットノズルから噴射されるインクはノズルヘッド２５０に対して垂直方向に吐出されるので、液体付与対象２５１の表面にプリントされたプリント画像２５２ａが、周辺が歪んだ形状の四角形となることが図示されている。
【0140】
＜電極の製造装置＞
本発明に係る実施形態は、電極および電気化学素子の製造装置を含む。以下、電極の製造装置について説明する。図２２は、本実施形態に係る電極の製造装置の一例を示す模式図である。電極の製造装置は、上記した液体を吐出する装置を用いて液体組成物を吐出することで電極材料を有する層を有する電極を製造する装置である。
本発明に係る実施形態は、電極および電気化学素子の製造装置を含む。以下、電極の製造装置について説明する。図２２は、本実施形態に係る電極の製造装置の一例を示す模式図である。電極の製造装置は、上記した液体を吐出する装置を用いて液体組成物を吐出することで電極材料を有する層を有する電極を製造する装置である。
【0141】
＜電極材料を有する層形成手段、電極材料を有する層形成工程＞
本実施形態における吐出手段は、上記した液体を吐出する装置である。前記吐出により、対象物上に液体組成物を付与して、液体組成物層を形成することができる。前記対象物（以下、「吐出対象物」と称することがある。）としては、電極材料を有する層を形成する対象であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、電極基体（集電体）や活物質層、固体電極材料を有する層などが挙げられる。また、吐出手段及び吐出工程は、吐出対象物に対して電極材料を有する層を形成することが可能であれば、直接液体組成物を吐出することで電極材料を有する層を形成する構成であってもよく、間接的に液体組成物を吐出することで電極材料を有する層を形成する構成であってもよい。
本実施形態における吐出手段は、上記した液体を吐出する装置である。前記吐出により、対象物上に液体組成物を付与して、液体組成物層を形成することができる。前記対象物（以下、「吐出対象物」と称することがある。）としては、電極材料を有する層を形成する対象であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、電極基体（集電体）や活物質層、固体電極材料を有する層などが挙げられる。また、吐出手段及び吐出工程は、吐出対象物に対して電極材料を有する層を形成することが可能であれば、直接液体組成物を吐出することで電極材料を有する層を形成する構成であってもよく、間接的に液体組成物を吐出することで電極材料を有する層を形成する構成であってもよい。
【0142】
＜その他の構成、その他の工程＞
電極合材層の製造装置におけるその他の構成としては、本発明の効果を損なわない限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、加熱手段などが挙げられる。電極合材層の製造方法におけるその他の工程としては、本発明の効果を損なわない限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、加熱工程などが挙げられる。
電極合材層の製造装置におけるその他の構成としては、本発明の効果を損なわない限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、加熱手段などが挙げられる。電極合材層の製造方法におけるその他の工程としては、本発明の効果を損なわない限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、加熱工程などが挙げられる。
【0143】
＜加熱手段、加熱工程＞
前記加熱手段は、前記吐出手段により吐出された液体組成物を加熱する手段である。加熱工程は、前記吐出工程で吐出された液体組成物を加熱する工程である。前記加熱により、前記液体組成物層を乾燥させることができる。
前記加熱手段は、前記吐出手段により吐出された液体組成物を加熱する手段である。加熱工程は、前記吐出工程で吐出された液体組成物を加熱する工程である。前記加熱により、前記液体組成物層を乾燥させることができる。
【0144】
＜直接液体組成物を吐出することで電極材料を有する層を形成する構成＞
ここで、電極の製造装置の一例として、電極基体（集電体）上に活物質を含む電極合材層を形成する電極製造装置を説明する。電極製造装置は、吐出対象物を有する印刷基材７０４上に、液体組成物を付与して液体組成物層を形成する工程を含む吐出工程部１１０と、液体組成物層を加熱して電極合材層を得る加熱工程を含む加熱工程部１３０を備える。電極製造装置は、印刷基材７０４を搬送する搬送部７０５を備え、搬送部７０５は、吐出工程部１１０、加熱工程部１３０の順に印刷基材７０４をあらかじめ設定された速度で搬送する。前記活物質層などの吐出対象物を有する印刷基材７０４の製造方法としては、特に制限はなく、公知の方法を適宜選択することができる。吐出工程部１１０は、印刷基材７０４上に液体組成物を付与する付与工程を実現する本発明の印刷装置２８１ａと、液体組成物を収容する収容容器２８１ｂと、収容容器２８１ｂに貯留された液体組成物を印刷装置２８１ａに供給する供給チューブ２８１ｃを備える。
ここで、電極の製造装置の一例として、電極基体（集電体）上に活物質を含む電極合材層を形成する電極製造装置を説明する。電極製造装置は、吐出対象物を有する印刷基材７０４上に、液体組成物を付与して液体組成物層を形成する工程を含む吐出工程部１１０と、液体組成物層を加熱して電極合材層を得る加熱工程を含む加熱工程部１３０を備える。電極製造装置は、印刷基材７０４を搬送する搬送部７０５を備え、搬送部７０５は、吐出工程部１１０、加熱工程部１３０の順に印刷基材７０４をあらかじめ設定された速度で搬送する。前記活物質層などの吐出対象物を有する印刷基材７０４の製造方法としては、特に制限はなく、公知の方法を適宜選択することができる。吐出工程部１１０は、印刷基材７０４上に液体組成物を付与する付与工程を実現する本発明の印刷装置２８１ａと、液体組成物を収容する収容容器２８１ｂと、収容容器２８１ｂに貯留された液体組成物を印刷装置２８１ａに供給する供給チューブ２８１ｃを備える。
【0145】
収容容器２８１ｂは液体組成物７０７を収容し、吐出工程部１１０は、印刷装置２８１ａから液体組成物７０７を吐出して、印刷基材７０４上に液体組成物７０７を付与して液体組成物層を薄膜状に形成する。なお、収容容器２８１ｂは、電極合材層の製造装置と一体化した構成であってもよいが、電極合材層の製造装置から取り外し可能な構成であってもよい。また、電極合材層の製造装置と一体化した収容容器や電極合材層の製造装置から取り外し可能な収容容器に添加するために用いられる容器であってもよい。
【0146】
収容容器２８１ｂや供給チューブ２８１ｃは、液体組成物７０７を安定して貯蔵及び供給できるものであれば任意に選択可能である。
【0147】
加熱工程部１３０は、図２２に示すように、加熱装置７０３を有し、液体組成物層に残存する溶媒を、加熱装置７０３により加熱して乾燥させて除去する溶媒除去工程を含む。これにより電極合材層を形成することができる。加熱工程部１３０は、溶媒除去工程を減圧下で実施してもよい。
【0148】
加熱装置７０３としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基板加熱、ＩＲヒータ、温風ヒータなどが挙げられ、これらを組み合わせてもよい。また、加熱温度や時間に関しては、液体組成物７０７に含まれる溶媒の沸点や形成膜厚に応じて適宜選択可能である。
【0149】
図２３は、本実施形態に係る電極製造装置（液体を吐出する装置）の他の一例を示す模式図である。液体を吐出する装置１００は、ポンプ８１０と、制御バルブ８１１、８１２を制御することにより、液体組成物が吐出ヘッド１、タンク８０７、チューブ８０８を循環することが可能である。また、液体を吐出する装置１００は、外部タンク８１３が設けられており、タンク８０７内の液体組成物が減少した際に、ポンプ８１０と、制御バルブ８１１、８１２、８１４を制御することにより、外部タンク８１３からタンク８０７に液体組成物を供給することも可能である。本実施形態に係る電極製造装置を用いると、吐出対象物の狙ったところに液体組成物を吐出することができる。前記電極合材層は、例えば、電気化学素子の構成の一部として、好適に用いることができる。前記電気化学素子における前記電極合材層以外の構成としては、特に制限はなく、公知のものを適宜選択することができ、例えば、正極、負極、セパレータなどが挙げられる。
【0150】
以上説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。
【0151】
［第１態様］
第１態様は、液体（例えば、インク）を吐出する複数のノズル孔（例えば、ノズル３１３、３１３ａ、３１３ｂ、３１３ｃ）を有するノズル板（例えば、ノズル板３０３、３０３ａ、３０３ｂ、３０３ｃ）と、当該ノズル板を支持し、拡散接合を含む工程によって前記ノズル板と接合されたハウジング（例えば、ハウジング３４０、３４０ａ、３４０ｂ、３４０ｃ）を有する液体吐出ヘッド（例えば、吐出ヘッド１）であって、前記ノズル板あるいは前記ハウジングのいずれかに形成され、当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部（例えば、連結部３１０、３１０ａ、３１０ｂ、３１０ｃ）と、当該連結部に形成され、前記ノズル板のノズル孔と連通する流路（流路３１１、３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃ）と、互いに隣接する前記連結部間に形成された間隙（間隙３１２、３１２ａ、３１２ｂ、３１２ｃ）と、を有することを特徴としている。
第１態様は、液体（例えば、インク）を吐出する複数のノズル孔（例えば、ノズル３１３、３１３ａ、３１３ｂ、３１３ｃ）を有するノズル板（例えば、ノズル板３０３、３０３ａ、３０３ｂ、３０３ｃ）と、当該ノズル板を支持し、拡散接合を含む工程によって前記ノズル板と接合されたハウジング（例えば、ハウジング３４０、３４０ａ、３４０ｂ、３４０ｃ）を有する液体吐出ヘッド（例えば、吐出ヘッド１）であって、前記ノズル板あるいは前記ハウジングのいずれかに形成され、当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部（例えば、連結部３１０、３１０ａ、３１０ｂ、３１０ｃ）と、当該連結部に形成され、前記ノズル板のノズル孔と連通する流路（流路３１１、３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃ）と、互いに隣接する前記連結部間に形成された間隙（間隙３１２、３１２ａ、３１２ｂ、３１２ｃ）と、を有することを特徴としている。
【0152】
［第２態様］
第２態様は、第１態様において、前記複数の連結部を前記ハウジングに形成したことを特徴としている。
第２態様は、第１態様において、前記複数の連結部を前記ハウジングに形成したことを特徴としている。
【0153】
［第３態様］
第３態様は、第１態様において、前記複数の連結部を前記ノズル板に形成したことを特徴としている。
第３態様は、第１態様において、前記複数の連結部を前記ノズル板に形成したことを特徴としている。
【0154】
［第４態様］
第４態様は、第１態様乃至第３態様のいずれかにおいて、前記ノズル板の外縁部あるいは前記ハウジングの外縁部のいずれかに形成され、当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結する壁部（例えば、壁部３１４、３１４ａ、３１４ｂ、３１４ｃ）を有することを特徴としている。
第４態様は、第１態様乃至第３態様のいずれかにおいて、前記ノズル板の外縁部あるいは前記ハウジングの外縁部のいずれかに形成され、当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結する壁部（例えば、壁部３１４、３１４ａ、３１４ｂ、３１４ｃ）を有することを特徴としている。
【0155】
［第５態様］
第５態様は、第４態様において、前記連結部における前記ハウジングから前記ノズル板までの距離を高さとしたとき、前記連結部と、前記連結部と同じ高さの前記壁部で接合支持され、前記壁部の側面に前記ハウジングの外部と連通する孔部は少なくとも１つ以上設けられていることを特徴としている。
第５態様は、第４態様において、前記連結部における前記ハウジングから前記ノズル板までの距離を高さとしたとき、前記連結部と、前記連結部と同じ高さの前記壁部で接合支持され、前記壁部の側面に前記ハウジングの外部と連通する孔部は少なくとも１つ以上設けられていることを特徴としている。
【0156】
［第６態様］
第６態様は、第１態様乃至第５態様のいずれかにおいて、前記連結部は前記流路を囲む部位である接合部を有し、前記接合部の幅（例えば、接合幅）は、少なくとも前記ノズル板に付与する圧力が必要する最小板厚以上を有することを特徴としている。
第６態様は、第１態様乃至第５態様のいずれかにおいて、前記連結部は前記流路を囲む部位である接合部を有し、前記接合部の幅（例えば、接合幅）は、少なくとも前記ノズル板に付与する圧力が必要する最小板厚以上を有することを特徴としている。
【0157】
［第７態様］
第７態様は、第１態様乃至第６態様のいずれかにおいて、前記ノズル板および前記ハウジングは、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系ステンレス合金のいずれかによって形成されていることを特徴としている。
第７態様は、第１態様乃至第６態様のいずれかにおいて、前記ノズル板および前記ハウジングは、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系ステンレス合金のいずれかによって形成されていることを特徴としている。
【0158】
［第８態様］
第８態様は、第７態様において、前記ノズル板と前記ハウジングとは同じ材質で形成されていることを特徴としている。
第８態様は、第７態様において、前記ノズル板と前記ハウジングとは同じ材質で形成されていることを特徴としている。
【0159】
［第９態様］
第９態様は、第１態様乃至第８態様のいずれかにおいて、前記連結部における前記ハウジングから前記ノズル板までの距離を前記連結部の高さとしたとき、前記複数の連結部の高さは同じであることを特徴としている。
第９態様は、第１態様乃至第８態様のいずれかにおいて、前記連結部における前記ハウジングから前記ノズル板までの距離を前記連結部の高さとしたとき、前記複数の連結部の高さは同じであることを特徴としている。
【0160】
［第１０態様］
第１０態様は、液体を吐出する複数のノズル孔（例えば、ノズル３１３ｄ）を有するノズル板（例えば、ノズル板３０３ｄ）と、当該ノズル板を支持するハウジング（例えば、ハウジング３４０ｄ）と、前記ノズル板と前記ハウジングとの間に設けられ、前記ノズル板および前記ハウジングのそれぞれと拡散接合を含む工程によって接合される拡散接合用部材（例えば、連結部別部材３１０Ｐ）と、を有し、前記拡散接合用部材は、前記ノズル板および前記ハウジングに当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部（例えば、連結部３１０ｄ）と、当該連結部に形成され、前記ノズル板のノズル孔と連通する流路（例えば、流路３１１ｄ）と、互いに隣接する前記連結部間に形成された間隙（例えば、３１２ｄ）と、前記ノズル板および前記ハウジングに当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル板の外縁部を沿うように形成された壁部（例えば、壁部３１４ｄ）と、を含むことを特徴としている。
第１０態様は、液体を吐出する複数のノズル孔（例えば、ノズル３１３ｄ）を有するノズル板（例えば、ノズル板３０３ｄ）と、当該ノズル板を支持するハウジング（例えば、ハウジング３４０ｄ）と、前記ノズル板と前記ハウジングとの間に設けられ、前記ノズル板および前記ハウジングのそれぞれと拡散接合を含む工程によって接合される拡散接合用部材（例えば、連結部別部材３１０Ｐ）と、を有し、前記拡散接合用部材は、前記ノズル板および前記ハウジングに当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部（例えば、連結部３１０ｄ）と、当該連結部に形成され、前記ノズル板のノズル孔と連通する流路（例えば、流路３１１ｄ）と、互いに隣接する前記連結部間に形成された間隙（例えば、３１２ｄ）と、前記ノズル板および前記ハウジングに当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル板の外縁部を沿うように形成された壁部（例えば、壁部３１４ｄ）と、を含むことを特徴としている。
【0161】
［第１１態様］
第１１態様は、第１態様乃至第１０態様のいずれかにおいて、前記ノズル板と離接するように移動することで前記ノズル孔を開閉する弁体（例えば、ニードル弁５）と、弁体を移動させる移動手段（例えば、圧電素子７）を有することを特徴としている。
第１１態様は、第１態様乃至第１０態様のいずれかにおいて、前記ノズル板と離接するように移動することで前記ノズル孔を開閉する弁体（例えば、ニードル弁５）と、弁体を移動させる移動手段（例えば、圧電素子７）を有することを特徴としている。
【0162】
［第１２態様］
第１２態様は、第１１態様において、前記弁体の先端部が弾性体であることを特徴としている。
第１２態様は、第１１態様において、前記弁体の先端部が弾性体であることを特徴としている。
【0163】
［第１３態様］
第１３態様は、第１態様乃至第１２態様のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを有する液体を吐出する装置（例えば、液体を吐出する装置１００）である。
第１３態様は、第１態様乃至第１２態様のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを有する液体を吐出する装置（例えば、液体を吐出する装置１００）である。
【0164】
［第１４態様］
第１４態様は、液体を吐出する複数のノズル孔を有するノズル板と、当該ノズル板を支持するハウジングとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部を前記ノズル板あるいは前記ハウジングのいずれかに形成する工程と、前記ノズル板のノズル孔と連通する流路を前記連結部に形成する工程と、互いに隣接する前記連結部間に間隙を形成する工程と、前記ノズル板と前記ハウジングとが前記連結部とを介して拡散接合によって接合する工程と、を含むことを特徴としている。
第１４態様は、液体を吐出する複数のノズル孔を有するノズル板と、当該ノズル板を支持するハウジングとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、当接することで前記ノズル板と前記ハウジングとを連結し、前記ノズル孔の配列方向に配置される複数の連結部を前記ノズル板あるいは前記ハウジングのいずれかに形成する工程と、前記ノズル板のノズル孔と連通する流路を前記連結部に形成する工程と、互いに隣接する前記連結部間に間隙を形成する工程と、前記ノズル板と前記ハウジングとが前記連結部とを介して拡散接合によって接合する工程と、を含むことを特徴としている。
【符号の説明】
【0165】
１ 吐出ヘッド（液体吐出ヘッド）
２ 先端挿入部
３ ノズル板
４ Ｏリング
５ ニードル弁
６ 圧電素子保持部材
７ 圧電素子（アクチュエータ）
８ 圧電素子固定部材
９ シール部材
１０ 基準点（固定基準点）
１１ 液室
１２ 圧電素子収容空間
１３ ノズル
１４ 締結穴
１５ キャリッジ取付面
１００ 液体を吐出する装置
１４０ ハウジング（筐体）
３０３、３０３ａ、３０３ｂ、３０３ｃ、３０３ｄ、２３０３、２３０３ａ、２３０３ｂ ノズル板
３０５、３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃ、３０５ｄ、１３０５、２３０５ ＩｎＬｅｔ
３０６、３０６ａ、３０６ｂ、３０６ｃ、３０６ｄ、１３０６、２３０６ ＯｕｔＬｅｔ
３０７、３０７ａ、１３０７ ノズル位置決め孔
３０８、３０８ａ、３０８ｂ、３０８ｃ、３０８ｄ、１３０８ ハウジング位置決め孔
３０９、１３０９ 接合面（ハウジング）
３０９ｂ、３０９ｃ 連結部形成面
３１０、３１０ａ、３１０ｂ、３１０ｃ、３１０ｄ 連結部
３１０Ｐ 連結部別部材（拡散接合用部材）
３１１、３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃ、３１１ｄ、１３１１ 流路（連結部用流路）
３１２、３１２ａ、３１２ｂ、３１２ｃ、３１２ｄ 間隙
３１３、３１３ａ、３１３ｂ、３１３ｃ、３１３ｄ、１３１３ ノズル
３１４、３１４ａ、３１４ｂ、３１４ｃ、３１４ｄ 壁部（隔壁）
３１５、３１５ａ、３１５ｂ、３１５ｂ、３１５ｃ、３１５ｄ 壁部連通部
３１６ 位置決め孔（別部材位置決め孔）
３４０、３４０ａ、３４０ｂ、３４０ｃ、３４０ｄ、１３４０、２３４０ ハウジング
平面加圧治具 ６００
共通流路 ２３０４
２ 先端挿入部
３ ノズル板
４ Ｏリング
５ ニードル弁
６ 圧電素子保持部材
７ 圧電素子（アクチュエータ）
８ 圧電素子固定部材
９ シール部材
１０ 基準点（固定基準点）
１１ 液室
１２ 圧電素子収容空間
１３ ノズル
１４ 締結穴
１５ キャリッジ取付面
１００ 液体を吐出する装置
１４０ ハウジング（筐体）
３０３、３０３ａ、３０３ｂ、３０３ｃ、３０３ｄ、２３０３、２３０３ａ、２３０３ｂ ノズル板
３０５、３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃ、３０５ｄ、１３０５、２３０５ ＩｎＬｅｔ
３０６、３０６ａ、３０６ｂ、３０６ｃ、３０６ｄ、１３０６、２３０６ ＯｕｔＬｅｔ
３０７、３０７ａ、１３０７ ノズル位置決め孔
３０８、３０８ａ、３０８ｂ、３０８ｃ、３０８ｄ、１３０８ ハウジング位置決め孔
３０９、１３０９ 接合面（ハウジング）
３０９ｂ、３０９ｃ 連結部形成面
３１０、３１０ａ、３１０ｂ、３１０ｃ、３１０ｄ 連結部
３１０Ｐ 連結部別部材（拡散接合用部材）
３１１、３１１ａ、３１１ｂ、３１１ｃ、３１１ｄ、１３１１ 流路（連結部用流路）
３１２、３１２ａ、３１２ｂ、３１２ｃ、３１２ｄ 間隙
３１３、３１３ａ、３１３ｂ、３１３ｃ、３１３ｄ、１３１３ ノズル
３１４、３１４ａ、３１４ｂ、３１４ｃ、３１４ｄ 壁部（隔壁）
３１５、３１５ａ、３１５ｂ、３１５ｂ、３１５ｃ、３１５ｄ 壁部連通部
３１６ 位置決め孔（別部材位置決め孔）
３４０、３４０ａ、３４０ｂ、３４０ｃ、３４０ｄ、１３４０、２３４０ ハウジング
平面加圧治具 ６００
共通流路 ２３０４
【先行技術文献】
【特許文献】
【0166】
【特許文献1】特許第３８２０５８９号
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
