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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024134768
(43)【公開日】2024-10-04
(54)【発明の名称】ポリエチレン樹脂およびそれよりなる高純度薬品用容器
(51)【国際特許分類】
C08F 10/02 20060101AFI20240927BHJP
B65D 77/00 20060101ALI20240927BHJP
【ＦＩ】
C08F10/02
B65D77/00 C
【審査請求】未請求
【請求項の数】3
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023045122
(22)【出願日】2023-03-22
(71)【出願人】
【識別番号】000003300
【氏名又は名称】東ソー株式会社
(72)【発明者】
【氏名】石原 広崇
(72)【発明者】
【氏名】山野 直樹
【テーマコード（参考）】
3E067
4J100
【Ｆターム（参考）】
3E067AA03
3E067AB96
3E067AC01
3E067BA02A
3E067BB15A
3E067BB25A
3E067CA04
3E067CA12
3E067CA16
3E067FA01
3E067FC01
3E067GD01
4J100AA02P
4J100AA03Q
4J100AA04Q
4J100AA09Q
4J100AA15Q
4J100AA16Q
4J100AA17Q
4J100AA19Q
4J100AA21Q
4J100CA01
4J100CA04
4J100DA01
4J100DA04
4J100DA11
4J100DA14
4J100DA15
4J100DA42
4J100DA43
4J100DA47
4J100FA08
4J100FA09
4J100FA10
4J100FA19
4J100FA28
4J100FA30
4J100FA34
4J100FA35
4J100JA58
(57)【要約】
【課題】 ポリエチレン樹脂を高純度薬品容器、特に２０Ｌ以下の高純度薬品容器として使用した場合に、該樹脂の溶出物や劣化物等の汚染物質の溶出を極力抑え、耐薬品性および表面平滑性に優れたポリエチレン樹脂及びそれよりなる高純度薬品容器用容器の提供を目的とする。
【解決手段】 ＭＦＲが２０～４０ｇ／１０分、密度が０．９６０～０．９７０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体と、ＨＬＭＦＲが０．１０～１０ｇ／１０分、密度が０．９２０～０．９４０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体の２成分を含み、該２成分の重量比が４０：６０～６０：４０であり、特定の性状を有する高純度薬品容器用ポリエチレン樹脂。
【選択図】 なし
【解決手段】 ＭＦＲが２０～４０ｇ／１０分、密度が０．９６０～０．９７０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体と、ＨＬＭＦＲが０．１０～１０ｇ／１０分、密度が０．９２０～０．９４０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体の２成分を含み、該２成分の重量比が４０：６０～６０：４０であり、特定の性状を有する高純度薬品容器用ポリエチレン樹脂。
【選択図】 なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
１９０℃、２．１６ｋｇ荷重のメルトフローレート（ＭＦＲ）が２０～４０ｇ／１０分、密度（ＪＩＳ Ｋ６９２２―１）が０．９６０～０．９７０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体と、１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のメルトフローレート（ＨＬＭＦＲ）が０．１０～１０ｇ／１０分、密度が０．９２０～０．９４０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体の２成分を含み、該２成分の重量比が４０：６０～６０：４０であり、以下の（１）～（９）の性状を有するポリエチレン樹脂。
（１）密度が０．９４５～０．９５５ｇ／ｃｍ３
（２）１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のＨＬＭＦＲが２１～８０ｇ／１０分
（３）１９０℃、２．１６ｋｇ荷重のＭＦＲが０．５～１．５ｇ／１０分
（４）ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求められる重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が５．０～７．９
（５）ＧＰＣを用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１０００以下の成分が０．３０重量％以下
（６）含有金属量がポリエチレン樹脂に対して１５ＰＰＭ以下
（７）耐環境応力亀裂（ＥＳＣＲ）が１００時間以上
（１）密度が０．９４５～０．９５５ｇ／ｃｍ３
（２）１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のＨＬＭＦＲが２１～８０ｇ／１０分
（３）１９０℃、２．１６ｋｇ荷重のＭＦＲが０．５～１．５ｇ／１０分
（４）ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求められる重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が５．０～７．９
（５）ＧＰＣを用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１０００以下の成分が０．３０重量％以下
（６）含有金属量がポリエチレン樹脂に対して１５ＰＰＭ以下
（７）耐環境応力亀裂（ＥＳＣＲ）が１００時間以上
【請求項2】
添加剤を含まない、請求項１に記載のポリエチレン樹脂。
【請求項3】
請求項１または２に記載のポリエチレン樹脂からなる高純度薬品容器。
【請求項4】
容器内面の展開面積比が１．１０以下である、請求項３に記載の高純度薬品用容器。
【請求項5】
容器内面の表面粗さＲｚが１０μｍ以下である、請求項３に記載の高純度薬品用容器。
【請求項6】
容器内面のグロスが４０％以上である、請求項３に記載の高純度薬品用容器。
【請求項7】
未洗浄容器に超純水を充填し、４０℃×３５日間静置保管後の内容液容器から溶出する０．１μｍ以上の微粒子数が１０個／ｍＬ以下である、請求項３に記載の高純度薬品用容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ポリエチレン樹脂およびそれよりなる高純度薬品用容器に関するものである。
【背景技術】
【0002】
近年、電子工業分野の著しい発達に伴って、高純度薬品の需要が高まっている。高純度薬品は、例えば、大規模化、集積化されたＬＳＩ等の電子回路の製造に不可欠の薬品として使用されている。具体的には、ウエハー洗浄・エッチング用、配線・絶縁膜エッチング用、治具洗浄用、現像液、レジスト希釈液、レジスト剥離液、乾燥用等の用途として、硫酸、塩酸、硝酸、フッ化水素酸、フッ化アンモニウム、過酸化水素水、イソプロピルアルコール、キシレン、ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）、メタノール、酢酸、リン酸、アンモニア水、ＰＧＭＥＡ（酢酸プロピレングリコールメチルエーテル）、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、ＮＭＰ（Ｎ－メチル－２－ピロリドン）等が用いられている。これらの高純度薬品の１８Ｌ容器、４Ｌ容器、１Ｌ容器などの２０Ｌ以下の容器材料としては、主にフッ素系樹脂やポリエチレン樹脂が用いられている。半導体回路の集積度の向上とともに、これらの薬品中の不純物や微粒子に対する低減化の要求が一層厳しくなっており、この厳しい要求を満足させるために、これらの薬品を充填する容器に対するクリーン性の要求も年々高まっている。
【0003】
この問題を解決するための方法として、特定のテトラフルオロエチレン系共重合体を用いる方法がある。ただしテトラフルオロエチレン系共重合体は高価という課題がある。（特許文献１参照）
また、ポリエチレン樹脂の炭化水素系溶媒抽出量や低分子成分の含有量を抑え、酸化防止剤、中和剤並びに耐光剤の添加量を極力制限した容器の提案があるが、ポリエチレン樹脂に残存する触媒成分による灰分の影響に対する改良が不十分であり、薬品に溶出する金属不純物濃度に対する対策が未完成である。また、微粒子のレベルが０．２μｍ以上と十分でない（特許文献２、３参照）。
また、ポリエチレン樹脂の炭化水素系溶媒抽出量や低分子成分の含有量を抑え、酸化防止剤、中和剤並びに耐光剤の添加量を極力制限した容器の提案があるが、ポリエチレン樹脂に残存する触媒成分による灰分の影響に対する改良が不十分であり、薬品に溶出する金属不純物濃度に対する対策が未完成である。また、微粒子のレベルが０．２μｍ以上と十分でない（特許文献２、３参照）。
【0004】
また、密度が０．９４０～０．９７０ｇ／ｃｍ３、温度１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のメルトフローレートが２～５０ｇ／１０分、ゲルパーミッーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）より求められる重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が８～１５、ポリエチレン樹脂に含有されている灰分量が５０ＰＰＭ以下であることを特徴とする高純度薬品容器用ポリエチレン及び高純度薬品容器が提案されているが、ポリエチレン樹脂に残存する触媒成分による灰分の影響に対する改良が不十分であり、薬品に溶出する金属不純物濃度に対する対策が未完成である（特許文献４参照）。
【0005】
さらには、密度が０．９４０～０．９７０ｇ／ｃｍ３、温度１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のメルトフローレートが２～８．５ｇ／１０分、ゲルパーミッーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）より求められる重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が８～１５、ＧＰＣを用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１０００以下の成分が０．３０重量％以下、ＥＳＣＲが１３０時間以上である性状を有する超高純度薬品容器用ポリエチレン樹脂及び高純度薬品容器が提案されているが、小型容器とした場合に表面平滑性が不十分であった（特許文献５参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】ＷＯ００／１７０５７号公報
【特許文献2】特開平７－６２１６１号公報
【特許文献3】特開平７－２５７５４０号公報
【特許文献4】特開平１１－８０２５７号公報
【特許文献5】特許第６７０５１５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、ポリエチレン樹脂であって、該ポリエチレン樹脂を高純度薬品容器として使用した場合に、該樹脂の溶出物や劣化物等の汚染物質の溶出を極力抑え、耐薬品性および表面平滑性に優れるポリエチレン樹脂及びそれよりなる高純度薬品容器の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意検討した結果、密度、メルトフローレート、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）により求められる分子量等の特性、金属の含有量、ＥＳＣＲ等が特定の性状を有するポリエチレンを使用することにより、ポリエチレン由来の微粒子や重合触媒成分由来の金属不純物が少なく、耐薬品性および表面平滑性に優れた高純度薬品容器が得られることを見出し、本発明を開発するに至った。
【0009】
即ち、本発明の各態様は以下に示す［１］～［７］である。
［１］温度１９０℃、荷重２．１６ｋｇのメルトフローレート（ＭＦＲ）が２０～４０ｇ／１０分、密度（ＪＩＳ Ｋ６９２２－１）が０．９６０～０．９７０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体と、温度１９０℃、荷重２１．６ｋｇのメルトフローレート（ＨＬＭＦＲ）が０．１０～１０ｇ／１０分、密度が０．９２０～０．９４０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体の２成分を含み、該２成分の重量比が４０：６０～６０：４０であり、以下の（１）～（７）の性状を有するポリエチレン樹脂。
（１）密度が０．９４５～０．９５５ｇ／ｃｍ３
（２）温度１９０℃、荷重２１．６ｋｇにおけるＨＬＭＦＲが２１～８０ｇ／１０分
（３）温度１９０℃、荷重２．１６ｋｇにおけるＭＦＲが０．５～１．５ｇ／１０分
（４）ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求められる重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が５．０～７．９
（５）ＧＰＣを用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１０００以下の成分が０．３０重量％以下
（６）含有金属量がポリエチレン樹脂に対して１５ＰＰＭ以下
（７）耐環境応力亀裂（ＥＳＣＲ）が１００時間以上
［２］ 添加剤を含まない、上記［１］に記載の高純度薬品容器用ポリエチレン樹脂。
［３］ 上記［１］又は［２］に記載のポリエチレン樹脂からなる高純度薬品容器。
［４］ 容器内面の展開面積比が１．１０以下である、上記［３］に記載のポリエチレン樹脂からなる高純度薬品容器。
［５］ 容器内表面の最大粗さＲｚが１０μｍ以下である、上記［３］または［４］に記載のポリエチレン樹脂からなる高純度薬品容器。
［６］ 容器内面のグロスが４０％以上である、上記［３］～［５］のいずれかに記載の高純度薬品用容器。
［７］ 未洗浄容器に超純水を充填し、４０℃×３５日間静置保管後の容器から溶出する０．１μｍ以上の微粒子数が１０個／ｍＬ以下である、上記［３］～［６］のいずれかに記載の高純度薬品用容器。
［１］温度１９０℃、荷重２．１６ｋｇのメルトフローレート（ＭＦＲ）が２０～４０ｇ／１０分、密度（ＪＩＳ Ｋ６９２２－１）が０．９６０～０．９７０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体と、温度１９０℃、荷重２１．６ｋｇのメルトフローレート（ＨＬＭＦＲ）が０．１０～１０ｇ／１０分、密度が０．９２０～０．９４０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体の２成分を含み、該２成分の重量比が４０：６０～６０：４０であり、以下の（１）～（７）の性状を有するポリエチレン樹脂。
（１）密度が０．９４５～０．９５５ｇ／ｃｍ３
（２）温度１９０℃、荷重２１．６ｋｇにおけるＨＬＭＦＲが２１～８０ｇ／１０分
（３）温度１９０℃、荷重２．１６ｋｇにおけるＭＦＲが０．５～１．５ｇ／１０分
（４）ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求められる重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が５．０～７．９
（５）ＧＰＣを用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１０００以下の成分が０．３０重量％以下
（６）含有金属量がポリエチレン樹脂に対して１５ＰＰＭ以下
（７）耐環境応力亀裂（ＥＳＣＲ）が１００時間以上
［２］ 添加剤を含まない、上記［１］に記載の高純度薬品容器用ポリエチレン樹脂。
［３］ 上記［１］又は［２］に記載のポリエチレン樹脂からなる高純度薬品容器。
［４］ 容器内面の展開面積比が１．１０以下である、上記［３］に記載のポリエチレン樹脂からなる高純度薬品容器。
［５］ 容器内表面の最大粗さＲｚが１０μｍ以下である、上記［３］または［４］に記載のポリエチレン樹脂からなる高純度薬品容器。
［６］ 容器内面のグロスが４０％以上である、上記［３］～［５］のいずれかに記載の高純度薬品用容器。
［７］ 未洗浄容器に超純水を充填し、４０℃×３５日間静置保管後の容器から溶出する０．１μｍ以上の微粒子数が１０個／ｍＬ以下である、上記［３］～［６］のいずれかに記載の高純度薬品用容器。
【発明の効果】
【0010】
本発明の一態様である高純度薬品容器用ポリエチレン樹脂を使用した場合、該ポリエチレン樹脂由来の微粒子や重合触媒成分由来の金属不純物が少なく、耐薬品性および表面平滑性に優れた高純度薬品容器を成形することができる。また、特に２０Ｌ以下の小型容器に適し、充填された薬品に対して微粒子成分の溶出量が少なく、長期保管後も微粒子の溶出量が少ない高純度薬品容器を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【0011】
本発明の一態様である高純度薬品用ポリエチレン樹脂は、１９０℃、２．１６ｋｇ荷重のメルトフローレート（ＭＦＲ）が２０～４０ｇ／１０分、密度（ＪＩＳ Ｋ６９２２―１）が０．９６０～０．９７０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体と、１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のメルトフローレート（ＨＬＭＦＲ）が０．１０～１０ｇ／１０分、密度が０．９２０～０．９４０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体の２成分を含み、該２成分の重量比が４０：６０～６０：４０であり、以下の（１）～（７）の性状を有する。
（１）密度が０．９４５～０．９５５ｇ／ｃｍ３
（２）１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のＨＬＭＦＲが２１～８０ｇ／１０分
（３）１９０℃、２．１６ｋｇ荷重のＭＦＲが０．５～１．５ｇ／１０分
（４）ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求められる重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が５．０～７．９
（５）ＧＰＣを用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１０００以下の成分が０．３０重量％以下
（６）含有金属量がポリエチレン樹脂に対して１５ＰＰＭ以下
（７）耐環境応力亀裂（ＥＳＣＲ）が１００時間以上
高純度薬品用ポリエチレン樹脂は、チーグラー系触媒又はメタロセン系触媒等の高活性触媒により製造できる。例えばチタン、ジルコニウム等の遷移金属化合物、マグネシウム化合物及び有機アルミニウム化合物からなる高活性チーグラー系触媒を重合用触媒として用い、エチレンもしくは、エチレンと炭素数３～２０のα－オレフィンを所望の密度となる割合にして共重合することにより、好適に製造することができる。
（１）密度が０．９４５～０．９５５ｇ／ｃｍ３
（２）１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のＨＬＭＦＲが２１～８０ｇ／１０分
（３）１９０℃、２．１６ｋｇ荷重のＭＦＲが０．５～１．５ｇ／１０分
（４）ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求められる重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が５．０～７．９
（５）ＧＰＣを用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１０００以下の成分が０．３０重量％以下
（６）含有金属量がポリエチレン樹脂に対して１５ＰＰＭ以下
（７）耐環境応力亀裂（ＥＳＣＲ）が１００時間以上
高純度薬品用ポリエチレン樹脂は、チーグラー系触媒又はメタロセン系触媒等の高活性触媒により製造できる。例えばチタン、ジルコニウム等の遷移金属化合物、マグネシウム化合物及び有機アルミニウム化合物からなる高活性チーグラー系触媒を重合用触媒として用い、エチレンもしくは、エチレンと炭素数３～２０のα－オレフィンを所望の密度となる割合にして共重合することにより、好適に製造することができる。
【0012】
触媒は、特許第３３１９０５１号に記載の触媒を挙げることができる。
【0013】
炭素数３～２０のα－オレフィンとしては、プロピレン、１－ブテン、４－メチル－１ペンテン、３－メチル－１－ブテン、１－ペンテン、１－ヘキセン、１－ヘプテン、１－オクテン、１－ノネン、１－デセン、１－ウンデセン、１－ドデセン、１－トリデセン、１－テトラデセン、１－ペンタデセン、１－ヘキサデセン、１－ヘプタデセン、１－オクタデセン、１－ノナデセン、１－エイコセンなどを挙げることができる。
【0014】
該ポリエチレン樹脂の製造における重合方法は、薬品に溶出する金属不純物濃度を低く抑え、また、微粒子の発生の原因となる低分子重合体の樹脂への取り込みを制限するため、炭素数が６以上かつ１０以下の重合溶媒、例えば、ノルマルヘキサン、ノルマルヘプタン等を用いるスラリー重合であり、ＭＦＲが２０～４０ｇ／１０分、密度が０．９６０～０．９７０ｇ／ｃｍ３である低分子量エチレン系重合体と、ＨＬＭＦＲが０．１～１０ｇ／１０分、密度が０．９２０～０．９４０ｇ／ｃｍ３である高分子量エチレン系重合体の２成分からなり、該２成分の重量比が４０：６０～６０：４０である。低分子量成分および高分子量成分の２成分は、例えば二段重合法で製造できる。
【0015】
また、該ポリエチレン樹脂は以下に示すように密度、ＨＬＭＦＲ、ＭＦＲ、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）、分子量１０００以下の成分、含有金属量およびＥＳＣＲを特定するものである。
【0016】
すなわち、該ポリエチレン樹脂の密度（ＪＩＳ Ｋ６９２２－１）は０．９４５～０．９５５ｇ／ｃｍ３であり、好ましくは０．９４８～０．９５２ｇ／ｃｍ３である。０．９４５ｇ／ｃｍ３未満では容器内の薬品への溶出ポリマー成分が増加し、微粒子の発生原因となる。また、密度が０．９５５ｇ／ｃｍ３を超えると容器のＥＳＣＲが低下する。
【0017】
該ポリエチレン樹脂のＨＬＭＦＲ（ＪＩＳ Ｋ６９２２－１）は２１～８０ｇ／１０分であり、好ましくは３０～６０ｇ／１０分である。２１ｇ／１０分未満では容器の表面肌が悪化する。また、８０ｇ／１０分を超えるとドローダウンが大きくなり成形性が悪くなる。
【0018】
該ポリエチレン樹脂のＭＦＲ（ＪＩＳ Ｋ６９２２－１）は０．５～１．５ｇ／１０分であり、好ましくは０．７～１．２ｇ／１０分である。０．５ｇ／１０分未満では容器の表面肌が悪化する。また、１．５ｇ／１０分を超えるとドローダウンが大きくなり成形性が悪くなる。
【0019】
該ポリエチレン樹脂のＧＰＣにより求められるＭｗとＭｎの比Ｍｗ／Ｍｎは５．０～７．９であり、好ましくは６．０～７．９である。該Ｍｗ／Ｍｎが５．０未満では分子量分布が狭く容器の表面肌が悪化し、また、容器のＥＳＣＲも低下する。該Ｍｗ／Ｍｎが７．９を超えると、分子量分布が拡大して低分子量成分が増加し、容器の微粒子が増加する。
【0020】
該ポリエチレン樹脂のＧＰＣを用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１０００以下の成分は０．３０重量％以下である。分子量１０００以下の成分が０．３０重量％を超えると、低分子量成分が増加し、容器から溶出する微粒子数が増加する。
【0021】
該ポリエチレン樹脂の含有金属量はポリエチレン樹脂に対して１５ＰＰＭ以下である。含有金属量が１５ＰＰＭ以下であれば、高純度薬品への金属溶出量が少ないため、薬品中の金属不純物濃度を抑制することができる。含有金属量は、全樹脂に対する金属分の割合を重量ＰＰＭで示すものである。含有金属量は樹脂を灰化したのちにアルカリ溶融して得られるもので、Ｍｇ、Ａｌ、Ｔｉ等の残存物である。
【0022】
該ポリエチレン樹脂のＥＳＣＲは１００時間以上である。ＥＳＣＲが１００時間未満では、例えば界面活性剤等を充填し、６か月以上放置した場合、容器が環境応力亀裂により破損する場合がある。
【0023】
さらに、該ポリエチレン樹脂は、酸化防止剤、耐光安定剤、及び中和剤等の全ての添加剤が無添加であることが好ましい。ここで、中和剤とはステアリン酸カルシウムやステアリン酸亜鉛に代表される脂肪酸金属塩とハイドロタルサイト類であって、何れも薬品中に溶出して金属汚染物質となるものであり、無添加であることが好ましい。
【0024】
該ポリエチレン樹脂はダイレクトブロー成形、射出成形、および射出ブロー成形等により容器状に成形することにより高純度薬品容器とすることが可能である。特に、クリーンルーム内に設置したダイレクトブロー成形機を使用し、フィルターで微粒子を取り除いたエアーをブローエアーに用いたブロー成形方法はクリーンな容器を製造するのに好ましい。該樹脂を用いて得られた高純度薬品容器の形状は特定しないが、内容物のバリア性や容器の強度を補強するために、該樹脂を内層に使用し、該樹脂以外のポリエチレン樹脂、エチレン－ビニルアルコール共重合体、ポリビニルアルコール樹脂、およびポリアミド樹脂等を中間層に使用したり、該樹脂以外のポリエチレン樹脂およびＦＲＰ等を外層にして補強した容器であってもかまわない。
【0025】
該ポリエチレン樹脂を用いて成形した容器内面の展開面積比は１．１０以下であることが好ましい。展開面積比が１．１０を超える場合、内容液との接液面積が増加し、該ポリエチレン樹脂由来の微粒子増加の原因となる。ここで展開面積比は面積に対する表面積の比（表面積／面積）のことである。
【0026】
該樹脂を用いて得られた高純度薬品容器内表面の最大粗さＲｚは１０μｍ以下であることが好ましい。Ｒｚが１０μｍを超える場合、成形品とした際に外観の劣るものとなる。さらには薬品中の気泡が肌荒れ箇所に留まり、微粒子として検出されるため、微粒子数増加の原因となる。Ｒｚは、基準長さにおける粗さ曲線の中で、最も高い山の高さと最も深い谷の深さの和を求め、表わしたものである。
【0027】
該樹脂を用いて得られた高純度薬品容器内面のグロスは４０％以上であることが好ましい。グロスが４０％以上であれば、光沢感があり、表面平滑性に優れるため、薬品の消泡性に優れ、検出される微粒子数を少なくすることができる。
【0028】
さらに、該ポリエチレン樹脂を用いて成形した未洗浄容器に超純水を充填し、容器から溶出する０．１μｍ以上の微粒子数は、４０℃×３５日保管後にて１０個／ｍＬ以下であることが好ましい。０．１μｍ以上の微粒子数が１０個／ｍＬ以下であれば、小型容器の場合のＬＳＩの微細化に対応できる。
【0029】
該ポリエチレン樹脂を用いて得られる高純度薬品容器としては、内面積が５０００ｃｍ２以下の小型容器に好適に用いられ、例えば、内容量が１０ｍＬ～２０Ｌなどの容器が挙げられる。
【実施例0030】
以下、本発明について実施例により説明するが、これら実施例に限定されるものではない。なお、実施例、比較例で使用する試験方法は、以下の通りである。
【0031】
（１）密度
ＪＩＳ Ｋ６９２２－１に準拠して密度勾配管法で測定した。
ＪＩＳ Ｋ６９２２－１に準拠して密度勾配管法で測定した。
【0032】
（２）ＨＬＭＦＲ
ＪＩＳ Ｋ６９２２－１に準拠して、１９０℃、荷重２１．６ｋｇで測定した。
ＪＩＳ Ｋ６９２２－１に準拠して、１９０℃、荷重２１．６ｋｇで測定した。
【0033】
（３）ＭＦＲ
ＪＩＳ Ｋ６９２２－１に準拠して、１９０℃、荷重２．１６ｋｇで測定した。
ＪＩＳ Ｋ６９２２－１に準拠して、１９０℃、荷重２．１６ｋｇで測定した。
【0034】
（４）Ｍｗ／Ｍｎ
東ソー製ＨＬＣ－８３２１ＧＰＣ／ＨＴ（カラム：東ソー製ＴＳＫｇｅｌ ｇｕａｒｄｃｏｌｕｍｎＨＨＲおよびＴＳＫｇｅｌＧＭＨＨＲ－Ｈ）を使用し、溶離液として１，２，４－トリクロロベンゼンを用いてＧＰＣによって測定した。分子量の検量線は、分子量既知のポリスチレン試料を用いて校正した。
東ソー製ＨＬＣ－８３２１ＧＰＣ／ＨＴ（カラム：東ソー製ＴＳＫｇｅｌ ｇｕａｒｄｃｏｌｕｍｎＨＨＲおよびＴＳＫｇｅｌＧＭＨＨＲ－Ｈ）を使用し、溶離液として１，２，４－トリクロロベンゼンを用いてＧＰＣによって測定した。分子量の検量線は、分子量既知のポリスチレン試料を用いて校正した。
【0035】
（５）分子量１０００以下の成分
ＧＰＣ測定により得られた分子量分布曲線から１０００以下の成分の積分量の割合を算出した。
ＧＰＣ測定により得られた分子量分布曲線から１０００以下の成分の積分量の割合を算出した。
【0036】
（６）含有金属量
ポリエチレン樹脂を灰化したのちにアルカリ溶融を行い、溶液化したものを測定溶液とし、Ｏｐｔｉｍａ ８３００を使用して、ＩＣＰ－ＡＥＳ測定により、試料中の含有金属量を測定した。
ポリエチレン樹脂を灰化したのちにアルカリ溶融を行い、溶液化したものを測定溶液とし、Ｏｐｔｉｍａ ８３００を使用して、ＩＣＰ－ＡＥＳ測定により、試料中の含有金属量を測定した。
【0037】
（７）耐環境応力亀裂（ＥＳＣＲ）
ＪＩＳ Ｋ６９２２－２に準拠し、試験片を温度５０℃のノニオン系海面活性剤（１０ｗｔ％水溶液）に浸漬させ、試験片が５０％の確率で割れる時間（Ｆ５０値）を測定した。
ＪＩＳ Ｋ６９２２－２に準拠し、試験片を温度５０℃のノニオン系海面活性剤（１０ｗｔ％水溶液）に浸漬させ、試験片が５０％の確率で割れる時間（Ｆ５０値）を測定した。
【0038】
（８）ブロー成形
５０ｍｍΦの押出スクリューを有するダイレクトブロー成形機ＭＳＥ－５０Ｅ／５４Ｍ－Ａ（（株）タハラ製）を用いて、シリンダー温度１９０～２００℃、スクリュー回転数１０～１８回転でダイス先端よりパリソンを連続押出し、平均肉厚１ｍｍ、内容積８００ｍＬ（内面積＝５６０ｃｍ２）または５００ｍＬ（内面積＝４２０ｃｍ２）の容器を成形した。
５０ｍｍΦの押出スクリューを有するダイレクトブロー成形機ＭＳＥ－５０Ｅ／５４Ｍ－Ａ（（株）タハラ製）を用いて、シリンダー温度１９０～２００℃、スクリュー回転数１０～１８回転でダイス先端よりパリソンを連続押出し、平均肉厚１ｍｍ、内容積８００ｍＬ（内面積＝５６０ｃｍ２）または５００ｍＬ（内面積＝４２０ｃｍ２）の容器を成形した。
【0039】
（９）容器内面の展開面積比
ポリエチレン樹脂をブロー成形することで得られた内容積８００ｍＬまた５００ｍＬの容器を使用した。容器胴部内面の表面積と面積を形状測定レーザマイクロスコープ（（株）キーエンス製、ＶＫ－Ｘ２００）を使用して測定し、展開面積比（表面積／面積）を算出した。
ポリエチレン樹脂をブロー成形することで得られた内容積８００ｍＬまた５００ｍＬの容器を使用した。容器胴部内面の表面積と面積を形状測定レーザマイクロスコープ（（株）キーエンス製、ＶＫ－Ｘ２００）を使用して測定し、展開面積比（表面積／面積）を算出した。
【0040】
（１０）容器内面の最大粗さＲｚ
容器胴部内表面の最大粗さＲｚ値を形状測定レーザマイクロスコープ（（株）キーエンス製、ＶＫ－Ｘ２００）を使用して測定した。
容器胴部内表面の最大粗さＲｚ値を形状測定レーザマイクロスコープ（（株）キーエンス製、ＶＫ－Ｘ２００）を使用して測定した。
【0041】
（１１）容器内面のグロス
入射角６０°における容器胴部内面のグロスを変角光沢計（ＮＩＰＰＯＮ ＤＥＮＳＹＯＫＵ製、３００Ａ）を使用して測定した。
入射角６０°における容器胴部内面のグロスを変角光沢計（ＮＩＰＰＯＮ ＤＥＮＳＹＯＫＵ製、３００Ａ）を使用して測定した。
【0042】
（１２）微粒子数
２３℃のクリーンルーム内にて未洗浄容器に超純水を内容積の８０％充填し、蓋をして１５回振とうし、設定温度４０℃のクリーンオーブン（ヤマト科学（株）製、ＤＥ４１１）内にて３５日間静置保管後、充填水中の０．１μｍ以上の微粒子数を微粒子カウンター（リオン（株）製、コントローラー：ＫＥ－４０Ｂ１、パーティクルセンサー：ＫＳ－４２Ａ）で測定した。水中の微粒子数は個／ｍＬで示す。
２３℃のクリーンルーム内にて未洗浄容器に超純水を内容積の８０％充填し、蓋をして１５回振とうし、設定温度４０℃のクリーンオーブン（ヤマト科学（株）製、ＤＥ４１１）内にて３５日間静置保管後、充填水中の０．１μｍ以上の微粒子数を微粒子カウンター（リオン（株）製、コントローラー：ＫＥ－４０Ｂ１、パーティクルセンサー：ＫＳ－４２Ａ）で測定した。水中の微粒子数は個／ｍＬで示す。
【0043】
実施例１
〈固体触媒成分の調製〉
撹拌装置を備えた３Ｌガラスフラスコに、金属マグネシウム粉末３０．０ｇ（１．２３ｍｏＬ）およびチタンテトラブトキシド１６８．０ｇ（０．４９４ｍｏＬ）を入れ、ヨウ素１．５ｇを溶解したｎ－ブタノール１９２ｇ（２．５９ｍｏＬ）を９０℃で２時間かけて加え、さらに発生する水素ガスを排除しながら窒素シール下で１４０℃で２時間撹拌した。これを１１０℃とした後に、テトラエトキシシラン２６ｇ（０．１２５ｍｏＬ）とテトラメトキシシラン１９ｇ（０．１２５ｍｏＬ）を加え、さらに１４０℃で２時間撹拌した。次いで、ヘキサン２．１リットルを加えて、均一溶液を得た。
〈固体触媒成分の調製〉
撹拌装置を備えた３Ｌガラスフラスコに、金属マグネシウム粉末３０．０ｇ（１．２３ｍｏＬ）およびチタンテトラブトキシド１６８．０ｇ（０．４９４ｍｏＬ）を入れ、ヨウ素１．５ｇを溶解したｎ－ブタノール１９２ｇ（２．５９ｍｏＬ）を９０℃で２時間かけて加え、さらに発生する水素ガスを排除しながら窒素シール下で１４０℃で２時間撹拌した。これを１１０℃とした後に、テトラエトキシシラン２６ｇ（０．１２５ｍｏＬ）とテトラメトキシシラン１９ｇ（０．１２５ｍｏＬ）を加え、さらに１４０℃で２時間撹拌した。次いで、ヘキサン２．１リットルを加えて、均一溶液を得た。
【0044】
この均一溶液を撹拌装置を備えた１０Ｌのステンレス製オートクレーブに入れ、オートクレーブの内温を４５℃に保ちジエチルアルミニウムクロライド１．０ｍｏＬとｉ－ブチルアルミニウムジクロライド０．５ｍｏＬを含むヘキサン溶液８００ｍＬを１時間かけて加え、さらに６０℃で１時間撹拌し粒子を生成させた。再び４５℃とした後、５０％ヘキサン溶液１．０４ｋｇ（３．３５ｍｏＬ）を２時間かけて加えた。すべてを加えた後、６０℃で１時間撹拌を行い固体触媒成分を得た。得られた固体触媒成分はヘキサンを用いて残存する未反応物および副生成物を除去した後、ヘキサンスラリーとしてポリエチレン樹脂の製造に用いた。
【0045】
〈ポリエチレンＡの製造〉
内容積３７０Ｌの連続式重合器の第１段目に脱水精製したヘキサンを１１０Ｌ／時間、有機アルミニウム化合物としてトリブチルアルミニウムを１１０ｍｍｏＬ、固体触媒成分を０．４ｇ／時間、エチレンを２５．４ｋｇ／時間、水素を対エチレン濃度比０．４５ｍｏＬ／ｍｏＬとなるようにそれぞれを供給しながら、温度８５℃、全圧３０ｋｇ／ｃｍ２、平均滞留時間３．４時間の条件下で連続的に第１段目のエチレン重合（低分子量成分）を行った。低分子量成分のＭＦＲは３５ｇ／１０分、密度は０．９６８ｇ／ｃｍ３であった。
内容積３７０Ｌの連続式重合器の第１段目に脱水精製したヘキサンを１１０Ｌ／時間、有機アルミニウム化合物としてトリブチルアルミニウムを１１０ｍｍｏＬ、固体触媒成分を０．４ｇ／時間、エチレンを２５．４ｋｇ／時間、水素を対エチレン濃度比０．４５ｍｏＬ／ｍｏＬとなるようにそれぞれを供給しながら、温度８５℃、全圧３０ｋｇ／ｃｍ２、平均滞留時間３．４時間の条件下で連続的に第１段目のエチレン重合（低分子量成分）を行った。低分子量成分のＭＦＲは３５ｇ／１０分、密度は０．９６８ｇ／ｃｍ３であった。
【0046】
第１段目の重合体を含むヘキサンスラリーは、フラッシュタンクにて未反応の水素およびエチレンを除去した後、内容積５４５Ｌの第２段目重合器に導入した。この重合器に追加のヘキサンを４５Ｌ／時間供給しながら、エチレンを２１．５ｋｇ／時間、１－ブテンを１．９ｋｇ／時間、水素を対エチレン濃度比０．０１６ｍｏＬ／ｍｏＬとなるようにそれぞれを供給しながら、温度８０℃、全圧２０ｋＰａ／ｃｍ２、平均滞留時間３．３時間の条件下でエチレン重合（高分子量成分）を行った。高分子量成分のＨＬＭＦＲは２．２ｇ／１０分、密度は０．９３０ｇ／ｃｍ３であった。第２段目重合器から排出物はフラッシュタンクにて、未反応の水素、エチレン、１－ブテンを除去し、５０Ｌ／時間のヘキサンにて洗浄した後、乾燥工程を経てエチレン系共重合体の混合物パウダーを得た。低分子量成分の割合は５５重量％、高分子量成分の割合は４５重量％とした。上記の製造プロセスで２段重合したパウダーを添加剤無添加によりペレット化し、ポリエチレンＡを得た。物性測定結果を表１に示す。
【0047】
ポリエチレンＡを使用し、８００ｍＬ容器を成形し、得られた容器を用いて上記した容器内面の評価および微粒子測定を行った。結果を表１に示す。
【0048】
実施例２
実施例１と同じポリエチレンＡを使用し、５００ｍＬ容器を成形し、得られた容器を用いて上記した容器内面の評価および微粒子測定を行った。結果を表１に示す。
実施例１と同じポリエチレンＡを使用し、５００ｍＬ容器を成形し、得られた容器を用いて上記した容器内面の評価および微粒子測定を行った。結果を表１に示す。
【0049】
実施例３
〈ポリエチレンＢの製造〉
第１段目重合器の水素を対エチレン濃度比０．４０ｍｏＬ／ｍｏＬ、第２段目重合器の１－ブテンを２．５ｋｇ／時間、水素を対エチレン濃度比０．０２０ｍｏＬ／ｍｏＬとして供給した以外は、実施例１と同様に、ヘキサン中でエチレンとブテン－１を共重合して、二段重合法により重合パウダーを得た。第１段目重合器の低分子量成分のＭＦＲは２７ｇ／１０分、密度は０．９６７ｇ／ｃｍ３、第２段目重合器の高分子量成分のＨＬＭＦＲは３．２ｇ／１０分、密度は０．９２８ｇ／ｃｍ３であった。２段重合したパウダーを添加剤無添加によりペレット化し、ポリエチレンＢを得た。物性測定結果を表１に示す。
〈ポリエチレンＢの製造〉
第１段目重合器の水素を対エチレン濃度比０．４０ｍｏＬ／ｍｏＬ、第２段目重合器の１－ブテンを２．５ｋｇ／時間、水素を対エチレン濃度比０．０２０ｍｏＬ／ｍｏＬとして供給した以外は、実施例１と同様に、ヘキサン中でエチレンとブテン－１を共重合して、二段重合法により重合パウダーを得た。第１段目重合器の低分子量成分のＭＦＲは２７ｇ／１０分、密度は０．９６７ｇ／ｃｍ３、第２段目重合器の高分子量成分のＨＬＭＦＲは３．２ｇ／１０分、密度は０．９２８ｇ／ｃｍ３であった。２段重合したパウダーを添加剤無添加によりペレット化し、ポリエチレンＢを得た。物性測定結果を表１に示す。
【0050】
ポリエチレンＢを使用し、８００ｍＬ容器を成形し、得られた容器を用いて上記した容器内面の評価および微粒子測定を行った。結果を表１に示す。
【0051】
比較例１
〈ポリエチレンＣの製造〉
第１段目重合器の水素を対エチレン濃度比０．２５ｍｏＬ／ｍｏＬ、第２段目重合器の水素を対エチレン濃度比０．０５０ｍｏＬ／ｍｏＬとして供給した以外は、実施例１と同様に、ヘキサン中でエチレンとブテン－１を共重合して、二段重合法により重合パウダーを得た。
〈ポリエチレンＣの製造〉
第１段目重合器の水素を対エチレン濃度比０．２５ｍｏＬ／ｍｏＬ、第２段目重合器の水素を対エチレン濃度比０．０５０ｍｏＬ／ｍｏＬとして供給した以外は、実施例１と同様に、ヘキサン中でエチレンとブテン－１を共重合して、二段重合法により重合パウダーを得た。
【0052】
第１段目重合器の低分子量成分のＭＦＲは１８ｇ／１０分、密度は０．９６７ｇ／ｃｍ３、第２段目重合器の高分子量成分のＨＬＭＦＲは８．５ｇ／１０分、密度は０．９３２ｇ／ｃｍ３であった。２段重合したパウダーを添加剤無添加によりペレット化し、ポリエチレンＣを得た。物性測定結果を表１に示す。
【0053】
ポリエチレンＣを使用し、８００ｍＬ容器を成形し、得られた容器を用いて上記した容器内面の評価および微粒子測定を行った。結果を表１に示す。
比較例２
〈ポリエチレンＤの製造〉
第１段目重合器の水素を対エチレン濃度比０．７０ｍｏＬ／ｍｏＬ、第２段目重合器の水素を対エチレン濃度比０．０１０ｍｏＬ／ｍｏＬとして供給した以外は、実施例１と同様に、ヘキサン中でエチレンとブテン－１を共重合して、二段重合法により重合パウダーを得た。
比較例２
〈ポリエチレンＤの製造〉
第１段目重合器の水素を対エチレン濃度比０．７０ｍｏＬ／ｍｏＬ、第２段目重合器の水素を対エチレン濃度比０．０１０ｍｏＬ／ｍｏＬとして供給した以外は、実施例１と同様に、ヘキサン中でエチレンとブテン－１を共重合して、二段重合法により重合パウダーを得た。
【0054】
第１段目重合器の低分子量成分のＭＦＲは５０ｇ／１０分、密度は０．９６９ｇ／ｃｍ３、第２段目重合器の高分子量成分のＨＬＭＦＲは１．４ｇ／１０分、密度は０．９２７ｇ／ｃｍ３であった。２段重合したパウダーを添加剤無添加によりペレット化し、ポリエチレンＤを得た。物性測定結果を表１に示す。
【0055】
ポリエチレンＤを使用し、８００ｍＬ容器を成形し、得られた容器を用いて上記した容器内面の評価および微粒子測定を行った。結果を表１に示す。
【0056】
比較例３
比較例２と同じポリエチレンＤを使用し、５００ｍＬ容器を成形し、得られた容器を用いて上記した容器内面の評価および微粒子測定を行った。結果を表１に示す。
比較例２と同じポリエチレンＤを使用し、５００ｍＬ容器を成形し、得られた容器を用いて上記した容器内面の評価および微粒子測定を行った。結果を表１に示す。
【0057】
比較例４
ポリエチレンＥとして、下記市販の高密度ポリエチレンを使用した。
ポリエチレンＥとして、下記市販の高密度ポリエチレンを使用した。
【0058】
東ソー（株）製、（商品名）ニポロンハード ８０２２（ＭＦＲ＝０．３５ｇ／１０分、密度＝０．９５８ｇ／ｃｍ３、添加剤無添加）
ポリエチレンＥを使用し、８００ｍＬ容器を成形し、上記した容器内面の評価および微粒子数測定を行った。樹脂の物性と容器の評価結果を表１に示す。
ポリエチレンＥを使用し、８００ｍＬ容器を成形し、上記した容器内面の評価および微粒子数測定を行った。樹脂の物性と容器の評価結果を表１に示す。
【0059】
比較例５
ポリエチレンＦとして、下記市販の高密度ポリエチレンを使用した。
ポリエチレンＦとして、下記市販の高密度ポリエチレンを使用した。
【0060】
東ソー（株）製、（商品名）ニポロンハード ５１１０（ＭＦＲ＝０．９ｇ／１０分、密度＝０．９６１ｇ／ｃｍ３、添加剤有）
ポリエチレンＦを使用し、８００ｍＬ容器を成形し、上記した容器内面の評価および微粒子数測定を行った。樹脂の物性と容器の評価結果を表１に示す。
ポリエチレンＦを使用し、８００ｍＬ容器を成形し、上記した容器内面の評価および微粒子数測定を行った。樹脂の物性と容器の評価結果を表１に示す。
【0061】
比較例６
ポリエチレンＧとして、下記市販高密度ポリエチレンを使用した。
ポリエチレンＧとして、下記市販高密度ポリエチレンを使用した。
【0062】
東ソー（株）製、（商品名）ニポロンハード ８Ｄ０１Ａ（ＭＦＲ＝０．０５ｇ／１０分、密度＝０．９５７ｇ／ｃｍ３、添加剤無添加）
ポリエチレンＧを使用し、８００ｍＬ容器を成形し、上記した容器内面の評価および微粒子数測定を行った。樹脂の物性と容器の評価結果を表１に示す。
ポリエチレンＧを使用し、８００ｍＬ容器を成形し、上記した容器内面の評価および微粒子数測定を行った。樹脂の物性と容器の評価結果を表１に示す。
【0063】
【表1】
【手続補正書】
【提出日】2023-12-15
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
１９０℃、２．１６ｋｇ荷重のメルトフローレート（ＭＦＲ）が２０～４０ｇ／１０分
、密度（ＪＩＳ Ｋ６９２２―１）が０．９６０～０．９７０ｇ／ｃｍ３であるエチレン
系重合体と、１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のメルトフローレート（ＨＬＭＦＲ）が０．１
０～１０ｇ／１０分、密度が０．９２０～０．９４０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体
の２成分を含み、該２成分の重量比が４０：６０～６０：４０であり、以下の（１）～（
９）の性状を有するポリエチレン樹脂。
（１）密度が０．９４５～０．９５５ｇ／ｃｍ３
（２）１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のＨＬＭＦＲが２１～８０ｇ／１０分
（３）１９０℃、２．１６ｋｇ荷重のＭＦＲが０．５～１．５ｇ／１０分
（４）ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求められる重量平均
分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が５．０～７．９
（５）ＧＰＣを用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１０００以下の成分が０
．３０重量％以下
（６）含有金属量がポリエチレン樹脂に対して１５ＰＰＭ以下
（７）耐環境応力亀裂（ＥＳＣＲ）が１００時間以上
、密度（ＪＩＳ Ｋ６９２２―１）が０．９６０～０．９７０ｇ／ｃｍ３であるエチレン
系重合体と、１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のメルトフローレート（ＨＬＭＦＲ）が０．１
０～１０ｇ／１０分、密度が０．９２０～０．９４０ｇ／ｃｍ３であるエチレン系重合体
の２成分を含み、該２成分の重量比が４０：６０～６０：４０であり、以下の（１）～（
９）の性状を有するポリエチレン樹脂。
（１）密度が０．９４５～０．９５５ｇ／ｃｍ３
（２）１９０℃、２１．６ｋｇ荷重のＨＬＭＦＲが２１～８０ｇ／１０分
（３）１９０℃、２．１６ｋｇ荷重のＭＦＲが０．５～１．５ｇ／１０分
（４）ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィ（ＧＰＣ）により求められる重量平均
分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が５．０～７．９
（５）ＧＰＣを用いて得られる分子量分布曲線において、分子量１０００以下の成分が０
．３０重量％以下
（６）含有金属量がポリエチレン樹脂に対して１５ＰＰＭ以下
（７）耐環境応力亀裂（ＥＳＣＲ）が１００時間以上
【請求項2】
添加剤を含まない、請求項１に記載のポリエチレン樹脂。
【請求項3】
請求項１または２に記載のポリエチレン樹脂からなる高純度薬品容器。