(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024135041
(43)【公開日】2024-10-04
(54)【発明の名称】駆動制御装置、駆動制御方法、プログラム及びプローバ
(51)【国際特許分類】
H01L 21/66 20060101AFI20240927BHJP
G01R 31/28 20060101ALI20240927BHJP
G01R 31/26 20200101ALI20240927BHJP
【ＦＩ】
H01L21/66 B
G01R31/28 H
G01R31/26 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023045535
(22)【出願日】2023-03-22
(71)【出願人】
【識別番号】000151494
【氏名又は名称】株式会社東京精密
(74)【代理人】
【識別番号】110003535
【氏名又は名称】スプリング弁理士法人
(72)【発明者】
【氏名】深野 英志
【テーマコード（参考）】
2G003
2G132
4M106
【Ｆターム（参考）】
2G003AA10
2G003AG03
2G003AG04
2G003AG16
2G003AG20
2G003AH01
2G003AH06
2G132AE01
2G132AE04
2G132AE23
2G132AF02
2G132AF06
2G132AL04
4M106AA01
4M106BA01
4M106DD03
4M106DD10
4M106DD23
4M106DJ02
4M106DJ03
4M106DJ27
(57)【要約】
【課題】ウェーハとプローブとがコンタクトする状態におけるウェーハ等の破損が抑制される、駆動制御装置、駆動制御方法、プログラム及びプローバを提供する。
【解決手段】駆動制御装置（４０）は、ウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信部（５２）、動作指令におけるウェーハチャックの位置に対するウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集部（６２）、位置偏差情報を解析する解析部（６４）、及び位置偏差情報の解析結果に基づき、移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定部（６６）を備える。
【選択図】図５
【解決手段】駆動制御装置（４０）は、ウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信部（５２）、動作指令におけるウェーハチャックの位置に対するウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集部（６２）、位置偏差情報を解析する解析部（６４）、及び位置偏差情報の解析結果に基づき、移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定部（６６）を備える。
【選択図】図５
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信部と、
前記動作指令における前記ウェーハチャックの位置に対する前記ウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集部と、
前記位置偏差情報を解析する解析部と、
前記位置偏差情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定部と、
を備えた駆動制御装置。
前記動作指令における前記ウェーハチャックの位置に対する前記ウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集部と、
前記位置偏差情報を解析する解析部と、
前記位置偏差情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定部と、
を備えた駆動制御装置。
【請求項2】
前記判定部は、前記移動機構の停止中であり、前記半導体チップに対して試験信号を供給するプローブと前記ウェーハとがコンタクトする状態において、前記位置偏差が規定の第１しきい値を超える場合に、前記移動機構の異常動作が発生していると判定する請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項3】
前記情報収集部は、前記移動機構の停止中であり、前記半導体チップに対して試験信号を供給するプローブと前記ウェーハとがコンタクトする状態において、時系列の順に複数の前記位置偏差を取得し、
前記解析部は、時系列の順の複数の前記位置偏差を周波数解析し、
前記判定部は、前記位置偏差の周波数が変動する場合に、前記移動機構の異常動作が発生していると判定する請求項１に記載の駆動制御装置。
前記解析部は、時系列の順の複数の前記位置偏差を周波数解析し、
前記判定部は、前記位置偏差の周波数が変動する場合に、前記移動機構の異常動作が発生していると判定する請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項4】
前記情報収集部は、前記動作指令に基づく前記移動機構の動作中において、前記モータの発生トルクの大きさを含むトルク情報を取得し、
前記解析部は、前記トルク情報を解析し、
前記判定部は、前記トルク情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する請求項１に記載の駆動制御装置。
前記解析部は、前記トルク情報を解析し、
前記判定部は、前記トルク情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項5】
前記判定部は、前記モータの発生トルクが規定の第２しきい値を超える場合に、前記移動機構の異常動作が発生していると判定する請求項４に記載の駆動制御装置。
【請求項6】
前記情報収集部は、前記動作指令に基づく前記移動機構の動作中において、前記モータへ供給される駆動電流の大きさを含む駆動電流情報を取得し、
前記解析部は、前記駆動電流情報を解析し、
前記判定部は、前記駆動電流情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する請求項１に記載の駆動制御装置。
前記解析部は、前記駆動電流情報を解析し、
前記判定部は、前記駆動電流情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項7】
前記判定部は、前記駆動電流の大きさが規定の第３しきい値を超える場合に、前記移動機構の異常動作が発生していると判定する請求項６に記載の駆動制御装置。
【請求項8】
前記動作指令送信部は、前記移動機構の異常動作が発生している場合に、前記プローブと前記ウェーハとを離間させる前記動作指令を前記駆動装置へ送信する請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項9】
前記判定部の判定結果を表す表示信号を表示器へ送信する表示制御部を備えた請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項10】
コンピュータが、
複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信工程と、
前記動作指令における前記ウェーハチャックの位置に対する前記ウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集工程と、
前記位置偏差情報を解析する解析工程と、
前記位置偏差情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定工程と、
を実行する駆動制御方法。
複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信工程と、
前記動作指令における前記ウェーハチャックの位置に対する前記ウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集工程と、
前記位置偏差情報を解析する解析工程と、
前記位置偏差情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定工程と、
を実行する駆動制御方法。
【請求項11】
コンピュータに、
複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信機能、
前記動作指令における前記ウェーハチャックの位置に対する前記ウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集機能、
前記位置偏差情報を解析する解析機能、及び
前記位置偏差情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定機能を実現させるプログラム。
複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信機能、
前記動作指令における前記ウェーハチャックの位置に対する前記ウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集機能、
前記位置偏差情報を解析する解析機能、及び
前記位置偏差情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定機能を実現させるプログラム。
【請求項12】
複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックと、
半導体チップに対して試験信号を供給するプローブを具備するテストヘッドと、
前記ウェーハチャックを前記プローブに対して相対移動させる移動機構と
前記移動機構を動作させるモータと、
前記モータへ駆動電流を供給する駆動装置と、
前記駆動装置に対して動作指令を送信する駆動制御装置と、
を備えたプローバであって、
前記駆動制御装置は、
複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信部と、
前記動作指令における前記ウェーハチャックの位置に対する前記ウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集部と、
前記位置偏差情報を解析する解析部と、
前記位置偏差情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定部と、
を備えたプローバ。
半導体チップに対して試験信号を供給するプローブを具備するテストヘッドと、
前記ウェーハチャックを前記プローブに対して相対移動させる移動機構と
前記移動機構を動作させるモータと、
前記モータへ駆動電流を供給する駆動装置と、
前記駆動装置に対して動作指令を送信する駆動制御装置と、
を備えたプローバであって、
前記駆動制御装置は、
複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信部と、
前記動作指令における前記ウェーハチャックの位置に対する前記ウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集部と、
前記位置偏差情報を解析する解析部と、
前記位置偏差情報の解析結果に基づき、前記移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定部と、
を備えたプローバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ウェーハに形成された半導体チップの電気的特性の検査に適用される、駆動制御装置、駆動制御方法、プログラム及びプローバに関する。
【背景技術】
【0002】
プローバは、ウェーハへ形成される複数の半導体チップそれぞれの電極パッドに対してプローブを接続させ、プローブから電極パッドへテスト信号を供給し、テストヘッドを用いて電極パッドから出力される信号を測定する。
【0003】
特許文献１は、ウェーハへ形成される半導体チップの電気的特性を測定するプローバが記載される。同文献に記載のプローバは、ウェーハが保持されるウェーハチャックを、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ方向に対して移動自在に支持するアライメント装置が具備される。アライメント装置は、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ方向のそれぞれに対して、適宜、ウェーハチャックを移動させて、ウェーハとプローブとの相対的な位置合わせを行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０２２－１７３２８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、従来技術に係るプローバでは、ウェーハ、又は、プローブが具備されるプローブカードの破損が発見された際に、ウェーハとプローブとを相対移動させる移動機構における異常動作の対策が実施される。すなわち、従来はウェーハがプローブとコンタクトする状態において、駆動軸の発振等の異常動作の把握は困難である。
【0006】
特許文献１には、ウェーハチャックとプローブを相対移動させる移動機構の異常動作に起因するウェーハ等の破損に関する記載はなく、上記した課題を解決する構成要素の開示もない。
【0007】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ウェーハとプローブとがコンタクトする状態におけるウェーハ等の破損が抑制される、駆動制御装置、駆動制御方法、プログラム及びプローバを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本開示の第１態様に係る駆動制御装置は、複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信部と、動作指令におけるウェーハチャックの位置に対するウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集部と、位置偏差情報を解析する解析部と、位置偏差情報の解析結果に基づき、移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定部と、を備えた駆動制御装置である。
【0009】
本開示の第１態様に係る駆動制御装置によれば、ウェーハチャックの位置偏差を含む位置偏差情報の解析結果に基づき、ウェーハチャックの移動機構の異常動作の有無が判定される。これにより、プローブからウェーハを退避させるなどの破損対策を実施し得る。
【0010】
ウェーハチャックの位置偏差は、モータの回転軸に取り付けられたエンコーダの出力信号、及びウェーハチャックの駆動機構に具備されるエンコーダの出力信号から算出されるウェーハチャックの現実の位置を含む位置情報に基づき算出され得る。ウェーハチャックの現実の位置は、リニアスケール等の位置検出器を用いて測定されてもよい。
【0011】
ウェーハチャックの移動機構は、互いに異なる複数の方向について、ウェーハとプローブとを相対移動させてもよい。互いに異なる複数の方向の例として、ウェーハが支持される面における直交座標系の第１方向、第２方向、ウェーハが支持される面に対して直交する第３方向、及び第３方向に対して平行となる方向の回転軸の回りの回転方向である第４方向が挙げられる。
【0012】
判定部は、互いに異なる複数の方向のそれぞれについて、位置偏差情報の解析結果に基づく移動機構の異常動作の有無を判定してもよい。判定部は、互いに異なる複数の方向の少なくともいずれかにおいて、移動機構の異常動作が発生している場合に、移動機構の異常動作が発生していると判定してもよい。
【0013】
第２態様に係る駆動制御装置は、第１態様の駆動制御装置において、判定部は、移動機構の停止中であり、半導体チップに対して試験信号を供給するプローブとウェーハとがコンタクトする状態において、位置偏差が規定の第１しきい値を超える場合に、移動機構の異常動作が発生していると判定してもよい。
【0014】
かかる態様によれば、ウェーハチャックの位置偏差の解析結果に対するしきい値判定の結果に基づき、ウェーハチャックの移動機構の異常動作の発生の有無を判定し得る。
【0015】
第３態様に係る駆動制御装置は、第１態様又は第２態様の駆動制御装置において、移動機構の停止中であり、半導体チップに対して試験信号を供給するプローブとウェーハとがコンタクトする状態において、情報収集部は、時系列の順に複数の位置偏差を取得し、解析部は、時系列の順の複数の位置偏差を周波数解析し、判定部は、位置偏差の周波数が変動する場合に、移動機構の異常動作が発生していると判定してもよい。
【0016】
かかる態様によれば、ウェーハチャックにおける時系列の順の複数の位置偏差について、周波数の変動に基づきウェーハチャック等の機械的破損の有無を判定し得る。
【0017】
第４態様に係る駆動制御装置は、第１態様から第３態様のいずれか一態様の駆動制御装置において、情報収集部は、動作指令に基づく移動機構の動作中において、モータの発生トルクの大きさを含むトルク情報を取得し、解析部は、トルク情報を解析し、判定部は、トルク情報の解析結果に基づき、移動機構の異常動作の発生の有無を判定してもよい。
【0018】
かかる態様によれば、動作指令に基づく動作機構の動作中において、トルク情報の解析結果に基づき、駆動機構の異常動作の発生の有無を判定し得る。
【0019】
第５態様に係る駆動制御装置は、第４態様の駆動制御装置において、判定部は、モータの発生トルクが規定の第２しきい値を超える場合に、移動機構の異常動作が発生していると判定してもよい。
【0020】
かかる態様によれば、モータの発生トルクに対するしきい値判定の結果に基づき、ウェーハチャックの移動機構の異常動作の発生の有無を判定し得る。
【0021】
第６態様に係る駆動制御装置は、第１態様から第４態様のいずれか一態様の駆動制御装置において、情報収集部は、動作指令に基づく移動機構の動作中において、モータへ供給される駆動電流の大きさを含む駆動電流情報を取得し、解析部は、駆動電流情報を解析し、判定部は、駆動電流情報の解析結果に基づき、移動機構の異常動作の発生の有無を判定してもよい。
【0022】
かかる態様によれば、動作指令に基づく動作機構の動作中において、駆動電流情報の解析結果に基づき、移動機構の異常動作の発生の有無を判定し得る。
【0023】
第７態様に係る駆動制御装置は、第６態様の駆動制御装置において、判定部は、駆動電流の大きさが規定の第３しきい値を超える場合に、移動機構の異常動作が発生していると判定してもよい。
【0024】
かかる態様によれば、駆動電流に対するしきい値判定の結果に基づき、ウェーハチャックの移動機構の異常動作の発生の有無を判定し得る。
【0025】
第８態様に係る駆動制御装置は、第１態様から第７態様のいずれか一態様の駆動制御装置において、動作指令送信部は、移動機構の異常動作が発生している場合に、プローブとウェーハとを離間させる動作指令を駆動装置へ送信してもよい。
【0026】
かかる態様によれば、移動機構の異常動作が発生している場合に、ウェーハとプローブとを離間させる。これにより、ウェーハ等の破損を抑制し得る。
【0027】
第９態様に係る駆動制御装置は、第１態様から第８態様のいずれか一態様の駆動制御装置において、判定部の判定結果を表す表示信号を表示器へ送信する表示制御部を備えてもよい。
【0028】
かかる態様によれば、表示器を用いて判定結果が報知される。これにより、操作者は判定部の判定結果を把握し得る。
【0029】
表示制御部は、移動機構の異常動作が発生していると判定される場合に、その旨を表す表示信号を表示器へ送信してもよい。
【0030】
本開示の第１０態様に係る駆動制御方法は、コンピュータが、複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信工程と、動作指令におけるウェーハチャックの位置に対するウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集工程と、位置偏差情報を解析する解析工程と、位置偏差情報の解析結果に基づき、移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定工程と、を実行する駆動制御方法である。
【0031】
本開示の第１０態様に係る駆動制御方法によれば、本開示の第１態様に係る駆動制御装置と同様の作用効果を得ることが可能である。
【0032】
本開示の第１０態様に係る駆動制御方法において、第２態様から第９態様のいずれか一態様で特定した事項と同様の事項を適宜組み合わせることができる。その場合、駆動制御装置において特定される処理や機能を担う構成要素は、これに対応する処理や機能を担う駆動制御方法の構成要素として把握することができる。
【0033】
本開示の第１１態様に係るプログラムは、コンピュータに、複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信機能、動作指令におけるウェーハチャックの位置に対するウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集機能、位置偏差情報を解析する解析機能、及び位置偏差情報の解析結果に基づき、移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定機能を実現させるプログラムである。
【0034】
本開示の第１１態様に係るプログラムによれば、本開示の第１態様に係る駆動制御装置と同様の作用効果を得ることが可能である。
【0035】
本開示の第１１態様に係るプログラムにおいて、第２態様から第９態様のいずれか一態様で特定した事項と同様の事項を適宜組み合わせることができる。その場合、駆動制御装置において特定される処理や機能を担う構成要素は、これに対応する処理や機能を担うプログラムの構成要素として把握することができる。
【0036】
本開示の第１２態様に係るプローバは、複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックと、半導体チップに対して試験信号を供給するプローブを具備するテストヘッドと、ウェーハチャックをプローブに対して相対移動させる移動機構と、移動機構を動作させるモータと、モータへ駆動電流を供給する駆動装置と、駆動装置に対して動作指令を送信する駆動制御装置と、を備えたプローバであって、駆動制御装置は、複数の半導体チップが形成されたウェーハを保持するウェーハチャックの移動機構を動作させるモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信部と、動作指令におけるウェーハチャックの位置に対するウェーハチャックの現実の位置における位置偏差を含む位置偏差情報を取得する情報収集部と、位置偏差情報を解析する解析部と、位置偏差情報の解析結果に基づき、移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定部と、を備えたプローバである。
【0037】
本開示の第１２態様に係るプローバによれば、本開示の第１態様に係る駆動制御装置と同様の作用効果を得ることが可能である。
【0038】
本開示の第１２態様に係るプローバにおいて、第２態様から第９態様のいずれか一態様で特定した事項と同様の事項を適宜組み合わせることができる。その場合、駆動制御装置において特定される処理や機能を担う構成要素は、これに対応する処理や機能を担うプローバの構成要素として把握することができる。
【発明の効果】
【0039】
本発明によれば、ウェーハチャックの位置偏差を含む位置偏差情報の解析結果に基づき、ウェーハチャックの移動機構の異常動作の有無が判定される。これにより、テストヘッドからウェーハを退避させるなどの破損対策を実施し得る。
【図面の簡単な説明】
【0040】
【図1】第１実施形態に係るプローバの概略構成図である。
【図3】ウェーハの上面図である。
【図4】第１実施形態に係るプローバの電気的構成を示す機能ブロック図である。
【図7】異常状態の一例を示す位置偏差の経時変化を表すグラフである。
【図8】異常状態の他の例を示す位置偏差の経時変化を表すグラフである。
【図9】ウェーハチャックの動作中におけるモータの駆動電流の波形を表すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【0041】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施形態について詳説する。本明細書では、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明については、適宜、省略される。
【0042】
［第１実施形態に係るプローバの構成例］
図１は第１実施形態に係るプローバの概略構成図である。図２は図１に示すプローバの外観斜視図である。図３はウェーハの上面図である。図１及び図２に示すプローバ１０は、ウェーハに形成される複数の半導体チップの電気的特性を検査するウェーハテストシステムに用いられる。プローバ１０を用いて検査されるウェーハＷを図３に示す。
図１は第１実施形態に係るプローバの概略構成図である。図２は図１に示すプローバの外観斜視図である。図３はウェーハの上面図である。図１及び図２に示すプローバ１０は、ウェーハに形成される複数の半導体チップの電気的特性を検査するウェーハテストシステムに用いられる。プローバ１０を用いて検査されるウェーハＷを図３に示す。
【0043】
同図には、ウェーハチャック２０に支持されるウェーハＷの上面が図示される。ウェーハＷは、複数の半導体チップ９が形成される。各半導体チップ９には、複数の電極パッド９ａが形成される。
【0044】
図１及び図２に示すプローバ１０は、図１に示すベース１２、Ｙステージ１３、Ｙ移動部１４、Ｘステージ１５、Ｘ移動部１６、Ｚθステージ１７、Ｚθ移動部１８及びウェーハチャック２０を備える。また、プローバ１０は、図２に示す支柱２３、ヘッドステージ２４、カードホルダ２５及びプローブカード２６を備える。更に、プローバ１０は、図１に示すウェーハ位置合わせカメラ２９、上下ステージ３０、針位置合わせカメラ３１及びクリーニング板３２を備える。なお、プローバ１０の構成は、図１及び図２に示す例に限定されず、適宜、変更等が可能である。
【0045】
ベース１２の上面には、Ｙ移動部１４を用いて、Ｙステージ１３がＹ軸方向に移動自在に支持される。Ｙ移動部１４は、ベース１２の上面においてＹステージ１３をＹ軸方向に移動させる。
【0046】
Ｙ移動部１４は、例えば、ベース１２の上面に配置されるガイドレールであり、Ｙ軸に平行なガイドレール、Ｙステージ１３の下面に配置されるスライダであり、ガイドレールに係合するスライダ、及びＹステージ１３をＹ軸方向に駆動させるＹモータを備える。
【0047】
Ｙステージ１３の上面には、Ｘ移動部１６を用いて、Ｘステージ１５がＸ軸方向に移動自在に支持される。Ｘ移動部１６は、Ｙステージ１３の上面においてＸステージ１５をＸ軸方向に移動させる。
【0048】
Ｘ移動部１６は、例えば、Ｙステージ１３の上面に配置されるガイドレールであり、Ｘ軸に平行なガイドレール、Ｘステージ１５の下面に配置されるスライダであり、ガイドレールに係合するスライダ、及びＸステージ１５をＸ軸方向に駆動させるＸモータを備える。
【0049】
Ｘステージ１５の上面には、Ｚθステージ１７及び上下ステージ３０が配置される。Ｚθステージ１７は、Ｚθ移動部１８を備える。Ｚθステージ１７の上面には、ウェーハチャック２０が支持される。
【0050】
Ｚθ移動部１８は、例えば、Ｚθステージ１７を昇降させる昇降機構及び昇降機構を駆動するＺモータ、Ｚθステージ１７をＺ軸に対して平行となる回転軸の周りに回転させる回転機構、及び回転機構を駆動するθモータを備える。Ｚθ移動部１８は、Ｚθステージ１７の上面に支持されるウェーハチャック２０をＺ軸方向に移動させ、かつ、ウェーハチャック２０をＺ軸に対して平行となる方向の回転軸の周りに回転させる。
【0051】
ウェーハチャック２０は、Ｚθステージ１７等を用いて、ＸＹＺ軸方向に移動自在に支持され、かつ、Ｚ軸に対して平行となる方向の回転軸の周りに回転自在に支持される。上記したＺθステージ１７等は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及び回転方向について、ウェーハチャック２０に支持されるウェーハＷとプローブ針３５とを相対移動させる相対移動部として機能する。なお、Ｘ軸方向は第１方向の一例であり、Ｙ軸方向は第２方向の一例である。Ｚ方向は第３方向の一例であり、θ方向は第４方向の一例である。
【0052】
図２に示す支柱２３は、ベース１２の上面に具備され、Ｙステージ１３、Ｘステージ１５及びＺθステージ１７よりも上方の位置において、ヘッドステージ２４を支持する。すなわち、ヘッドステージ２４は、支柱２３を用いてベース１２の上面に固定される。
【0053】
ヘッドステージ２４の中央部には、カードホルダ２５が具備される。カードホルダ２５は、プローブカード２６の外周を保持する保持穴２５ａが形成される。プローブカード２６は、プローブカード２６の保持穴２５ａへ挿入され、ヘッドステージ２４及びカードホルダ２５を用いて、ウェーハＷに対向する位置に支持される。なお、保持穴２５ａは図１に図示される。
【0054】
図１に示すプローブカード２６は、検査対象の半導体チップ９の電極パッド９ａの配置等に応じて配置されるプローブ針３５を備える。カードホルダ２５及びプローブカード２６は、半導体チップ９の種類に応じて交換される。
【0055】
プローブカード２６には、プローブ針３５と電気的に接続される接続端子が具備される。接続端子はテスタが接続される。テスタは、プローブカード２６の接続端子及びプローブ針３５を介して、半導体チップ９の電極パッド９ａに対して各種の試験信号を送信し、かつ、電極パッド９ａから出力される信号を受信する。テスタは、電極パッド９ａから出力される信号を解析し、半導体チップ９が正常に動作するか否かをテストする。
【0056】
すなわち、プローブカード２６は、ウェーハＷに形成される半導体チップ９に対して試験信号を供給するテストヘッドとして機能する。テスタの構成及びテスト方法は公知技術を適用し得る。ここでは、テスタの構成等の詳細な説明は省略する。なお、接続端子及びテスタの図示は省略される。
【0057】
ウェーハ位置合わせカメラ２９は、ウェーハチャック２０を用いて支持されるウェーハＷの半導体チップ９を撮影する。ウェーハ位置合わせカメラ２９を用いて撮影される半導体チップ９の撮影画像は、検査対象の半導体チップ９の電極パッド９ａの位置の検出に用いられる。ウェーハ位置合わせカメラ２９が配置される位置及びウェーハ位置合わせカメラ２９の構造等については特に限定されない。
【0058】
上下ステージ３０は、針位置合わせカメラ３１及びクリーニング板３２が具備される。針位置合わせカメラ３１及びクリーニング板３２は、プローブカード２６等と対向する位置に配置される。また、上下ステージ３０は、針位置合わせカメラ３１及びクリーニング板３２をＺ軸方向に移動自在に支持する昇降機構が具備される。上下ステージ３０は、昇降機構を動作させて、針位置合わせカメラ３１及びクリーニング板３２のＺ軸方向の位置の調整を実施し得る。なお、Ｚ軸方向に移動自在な昇降機構の図示は省略される。
【0059】
針位置合わせカメラ３１及びクリーニング板３２は、上下ステージ３０を介して、Ｙステージ１３及びＹ移動部１４を用いてＹ軸方向について移動自在に構成され、かつ、Ｘステージ１５及びＸ移動部１６を用いてＸ軸方向について移動自在に支持される。すなわち、針位置合わせカメラ３１、クリーニング板３２及びプローブ針３５は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向について相対移動が可能に構成される。
【0060】
針位置合わせカメラ３１は、プローブ針３５を撮影する。針位置合わせカメラ３１を用いて撮影されたプローブ針３５の撮影画像は、プローブ針３５の先端位置の検出に用いられる。具体的には、プローブ針３５の先端位置のＸＹ座標は針位置合わせカメラ３１の位置座標に基づき検出され、プローブ針３５の先端位置のＺ座標は針位置合わせカメラ３１の焦点位置に基づき検出される。
【0061】
ウェーハＷの半導体チップ９の検査が実施される際に、プローブカード２６が交換されるごとに、プローブ針３５の先端位置の検出が実施される。規定数の半導体チップ９の検査が実施されるごとに、プローブ針３５の先端位置の検出が実施されてもよい。
【0062】
プローブ針３５の先端位置の検出では、プローブ針３５の先端位置の撮影位置へ針位置合わせカメラ３１を移動させ、針位置合わせカメラ３１を用いて、プローブ針３５の先端位置の撮影が実施され、プローブ針３５の先端位置の撮影画像に基づき、プローブ針３５の先端位置が検出される。
【0063】
また、ウェーハチャック２０を用いて支持される検査対象のウェーハＷにおける、半導体チップ９の電極パッド９ａの位置の検出が実施される。具体的には、ウェーハ位置合わせカメラ２９の撮影位置へ、検査対象のウェーハＷにおける半導体チップ９の電極パッド９ａを移動させ、ウェーハ位置合わせカメラ２９を用いて電極パッド９ａが撮影され、電極パッド９ａの撮影画像に基づき電極パッド９ａの位置が検出される。
【0064】
そして、最初の検査対象の半導体チップ９における電極パッド９ａに対して、プローブ針３５を電気的に接触させ、テスタを用いて、最初の検査対象の半導体チップ９の検査が実施される。
【0065】
以下、検査対象のウェーハＷを移動させ、次の検査対象の半導体チップ９の電極パッド９ａに対してプローブ針３５を電気的に接触させ、検査対象の半導体チップ９の検査が実施される。この手順を繰り返して、検査対象の複数の半導体チップ９についての検査が順に実施される。プローブ針３５の先端は、クリーニング板３２を用いて、適宜、クリーニング及び研磨等が実施される。
【0066】
なお、半導体チップ９の具体的な検査方法は、例えば、特開２０１８－１１７０９５号公報に記載される検査方法など、公知の検査方法を適用し得る。ここでは、半導体チップ９の検査方法の詳細な説明は省略する。
【0067】
［第１実施形態に係るプローバの電気的構成例］
図４は第１実施形態に係るプローバの電気的構成を示す機能ブロック図である。図４には、主として、ウェーハチャック２０の移動制御に関する構成要素が図示され、他の機能に関する構成要素の図示は、適宜、省略される。
図４は第１実施形態に係るプローバの電気的構成を示す機能ブロック図である。図４には、主として、ウェーハチャック２０の移動制御に関する構成要素が図示され、他の機能に関する構成要素の図示は、適宜、省略される。
【0068】
プローバコンピュータ４０は、プローバ１０の各部を統括制御する制御装置として機能する。プローバコンピュータ４０は、プローバ１０の各部の機能に対応する各種のプログラムを実行して、プローバ１０の各部の機能を実現する。プローバコンピュータ４０は、プローバ１０の本体に配置されてもよいし、プローバ１０の外部に配置されてもよい。
【0069】
プローバコンピュータ４０に適用されるコンピュータの形態は、サーバであってもよいし、パーソナルコンピュータであってもよく、ワークステーションであってもよく、また、タブレット端末などであってもよい。プローバコンピュータ４０に適用されるコンピュータの形態は、仮想マシンであってもよい。
【0070】
各種のプログラムは、プローバコンピュータ４０に具備される記憶装置に記憶されてもよいし、プローバコンピュータ４０の外部であり、プローバ１０の内部に具備される記憶装置に記憶されてもよい。プローバコンピュータ４０は、プローバ１０の外部の記憶装置から各種のプログラムを取得してもよい。
【0071】
プローバコンピュータ４０は、各種のプロセッサ（Processor）及びメモリ等から構成される演算回路を備える。各種のプロセッサの例として、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＧＰＵ（Graphics Processing Unit）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、及びプログラマブル論理デバイス等が挙げられる。
【0072】
プログラマブル論理デバイスの例として、ＳＰＬＤ（Simple Programmable Logic Devices）、ＣＰＬＤ（Complex Programmable Logic Device）及びＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Arrays）等が挙げられる。プローバコンピュータ４０の各種機能は、１つのプロセッサを用いて実現されてもよいし、複数のプロセッサを用いて実現されてもよい。複数のプロセッサは、同種の複数のプロセッサであってもよいし、互いに異なる種類の複数のプロセッサであってもよい。
【0073】
プローバコンピュータ４０は、各種の通信インターフェースを備える。プローバコンピュータ４０は、各種の通信インターフェースを介して、ウェーハ位置合わせカメラ２９及び針位置合わせカメラ３１等の周辺機器と通信自在に接続される。通信インターフェースは、ＵＳＢなど、各種の規格を適用し得る。通信インターフェースの通信形態は、有線通信及び無線通信のいずれを適用してもよい。なお、ＵＳＢはUniversal Serial Busの省略語である。また、ＵＳＢは登録商標である。
【0074】
プローバコンピュータ４０は、針位置取得部４４を備える。針位置取得部４４は、針位置合わせカメラ３１から出力されるプローブ針３５の先端位置の撮影画像を取得する。針位置取得部４４は、プローブ針３５の先端位置の撮影画像から、プローブ針３５の先端位置の情報を取得する。情報の取得には、元の情報を処理して所望の情報を生成する概念が含まれ得る。
【0075】
プローバコンピュータ４０は、ウェーハ情報取得部４６を備える。ウェーハ情報取得部４６は、検査対象のウェーハＷの種類を特定する際に参照されるウェーハ情報を取得する。ウェーハ情報は、ウェーハＷに形成される半導体チップ９の種類の情報が含まれる。
【0076】
プローバコンピュータ４０は、表示制御部４８を備える。表示制御部４８は、プローバ１０における各種の情報を表す表示信号を表示器５０へ送信する。表示器５０は、プローバ１０における各種の情報が表示される。表示器５０は、液晶ディスプレイ等の各種のディスプレイが適用される。表示器５０は、タッチパネル方式のディスプレイが適用され、プローバコンピュータ４０に対して各種の情報を入力する際に用いられる入力装置と一体に構成されてもよい。
【0077】
プローバコンピュータ４０は、移動制御部５２を備える。移動制御部５２は、Ｘドライバ５４、Ｙドライバ５６、Ｚドライバ５８及びθドライバ６０に対して動作指令を送信する。すなわち、移動制御部５２は、Ｘドライバ５４等のモータの駆動装置に対して動作指令を送信する動作指令送信部として機能する。移動制御部５２は、動作指令送信工程を実行し、かつ、動作指令送信機能を実現する。
【0078】
Ｘドライバ５４は、移動制御部５２から送信されるＸ移動部１６に対する動作指令に基づき、Ｘ移動部１６に具備されるＸモータの動作を制御する。Ｙドライバ５６は、移動制御部５２から送信されるＹ移動部１４に対する動作指令に基づき、Ｙ移動部１４に具備されるＹモータの動作を制御する。Ｚドライバ５８は、移動制御部５２から送信されるＺθ移動部１８に具備される昇降機構に対する動作指令に基づき、Ｚθ移動部１８に具備されるＺモータの動作を制御する。
【0079】
θドライバ６０は、移動制御部５２から送信されるＺθ移動部１８に具備される回転機構に対する動作指令に基づき、Ｚθ移動部１８に具備されるθモータの動作を制御する。なお、図４では、Ｘモータ、Ｙモータ、Ｚモータ及びθモータの図示が省略される。Ｘモータ、Ｙモータ、Ｚモータ及びθモータは図５に図示される。
【0080】
移動制御部５２は、ウェーハ位置合わせカメラ２９から送信される検査対象の半導体チップ９の撮影画像から、検査対象の半導体チップ９の位置を取得する。また、移動制御部５２は、針位置取得部４４からプローブ針３５の先端位置の情報を取得する。
【0081】
移動制御部５２は、ウェーハＷの検査を実施する際に、Ｘ移動部１６、Ｙ移動部１４及びＺθ移動部１８の動作を制御して、プローブ針３５に対してウェーハＷを相対移動させ、プローブ針３５に対して検査対象の複数の半導体チップ９を順番に接触させる。
【0082】
プローバコンピュータ４０は、情報収集部６２を備える。情報収集部６２は、ウェーハＷとプローブ針３５とがコンタクトしている状態において、Ｘドライバ５４、Ｙドライバ５６及びＺドライバ５８のそれぞれから、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向におけるウェーハチャック２０の位置偏差を含む位置偏差情報を取得する、また、情報収集部６２は、ウェーハＷとプローブ針３５とがコンタクトしている状態において、θドライバ６０からウェーハチャック２０の回転角度偏差に関する回転角度偏差情報を取得する。なお、回転角度偏差情報は、位置偏差情報として利用し得る。
【0083】
ここで、ウェーハＷとプローブ針３５とがコンタクトしている状態は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向の少なくともいずれか一方向について、動作指令に基づきウェーハチャック２０を移動させ、ウェーハチャック２０が規定の位置に位置決めされ、停止する状態である。ウェーハチャック２０が位置決めされ、停止する状態は、ウェーハＷの検査対象の半導体チップ９とプローブ針３５とが位置決めされた状態であり、例えば、検査対象の半導体チップ９の検査が実施される期間として把握される。情報収集部６２は、情報収集工程を実行し、かつ、情報収集機能を実現する。
【0084】
プローバコンピュータ４０は、解析部６４を備える。解析部６４は、情報収集部６２を用いて取得されるＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向におけるウェーハチャック２０の位置偏差情報を解析する。解析部６４は、情報収集部６２を用いて取得されるθ方向におけるウェーハチャック２０の回転角度偏差情報を解析してもよい。
【0085】
例えば、解析部６４は、時系列の順に取得される位置偏差を、時系列の順に記憶し得る。解析部６４は、時系列の順に取得される方向ごとの位置偏差から、方向ごとの位置偏差履歴を生成してもよい。解析部６４は、解析工程を実行し、かつ、解析機能を実現する。
【0086】
プローバコンピュータ４０は、診断部６６を備える。診断部６６は、Ｘ軸方向におけるウェーハチャック２０の位置偏差情報の解析結果に基づき、ウェーハＷとプローブ針３５とがコンタクトしている状態においてＸ移動部１６の異常動作が発生しているか否かを判定する。
【0087】
診断部６６は、Ｙ軸方向におけるウェーハチャック２０の位置偏差情報の解析結果に基づき、ウェーハＷとプローブ針３５とがコンタクトしている状態においてＹ移動部１４の異常動作が発生しているか否かを判定する。
【0088】
診断部６６は、Ｚ軸方向におけるウェーハチャック２０の位置偏差情報の解析結果に基づき、ウェーハＷとプローブ針３５とがコンタクトしている状態においてＺθ移動部１８の昇降機構の異常動作が発生しているか否かを判定する。
【0089】
診断部６６は、θ方向におけるウェーハチャック２０の回転角度偏差の解析情報に基づき、ウェーハＷとプローブ針３５とがコンタクトしている状態においてＺθ移動部１８の回転機構の異常動作が発生しているか否かを判定する。
【0090】
診断部６６は、Ｘ移動部１６、Ｙ移動部１４、Ｚθ移動部１８の昇降機構及びＺθ移動部１８の回転機構の少なくともいずれかに異常動作が発生していると判定される場合に、判定結果を表す異常判定情報を移動制御部５２へ送信する。
【0091】
移動制御部５２は、異常判定情報が取得される場合に、Ｚθ移動部１８の昇降機構を駆動してウェーハチャック２０を下降させ、ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクトを解消させ、かつ、ウェーハＷ及びプローブカード２６等の破損が発生しない位置へウェーハＷを退避させる。
【0092】
診断部６６は、異常判定情報が取得される場合に、表示制御部４８に対して異常判定情報を表す情報を送信する。表示制御部４８は、表示器５０へ異常判定情報を表示させる。異常判定情報の表示態様は、異常判定情報を表す文字情報を適用し得る。なお、実施形態に記載の診断部６６は、位置偏差情報の解析結果に基づき、移動機構の異常動作の発生の有無を判定する判定部の一例である。診断部６６は、判定工程を実行し、判定機能を実現する。
【0093】
【0094】
図４に示すＸ移動部１６は、図５に示すＸモータ１６Ａ及びＸ位置検出器１６Ｂを備える。Ｙ移動部１４は、Ｙモータ１４Ａ及びＹ位置検出器１４Ｂを備える。Ｚθ移動部１８はＺモータ１８Ａ、Ｚ位置検出器１８Ｂ、θモータ１８Ｃ及びθ角度検出器１８Ｄを備える。
【0095】
Ｘモータ１６Ａの駆動装置であるＸドライバ５４は、移動制御部５２から送信される動作指令に基づき、Ｘモータ１６Ａに対して駆動電流を供給し、Ｘモータ１６Ａの動作を制御する。具体的には、Ｘドライバ５４は、動作指令が表すＸモータ１６Ａの回転角度指令に応じてＸモータ１６Ａを動作させ、図１に示すＸステージ１５の位置決めを実施する。
【0096】
Ｘモータ１６Ａは、Ｘ位置検出器１６Ｂを備える。Ｘ位置検出器１６Ｂは、Ｘモータ１６Ａの回転軸に対して取り付けられるエンコーダが適用される。エンコーダが適用されるＸ位置検出器１６Ｂは、Ｘモータ１６Ａの回転速度に応じた周波数を有するパルス信号であり、Ｘモータ１６Ａの回転角度に応じたパルス数を有するパルス信号を出力する。エンコーダは、位相が半波長ずらされた２相のアナログ信号を出力してもよい。
【0097】
Ｘ位置検出器１６Ｂは、Ｘステージ１５の位置を検出するリニアスケールであってもよい。リニアスケールが適用されるＸ位置検出器１６Ｂは、Ｘステージ１５の位置を表す信号を出力する。位置を表す信号の例として、２ビット以上のビット数を有するデジタル信号が挙げられる。Ｘステージ１５の位置は、Ｘ方向におけるウェーハチャック２０の位置として把握される。
【0098】
Ｘドライバ５４は、Ｘ位置検出器１６Ｂの出力信号を取得し、Ｘ位置検出器１６Ｂの出力信号とＸ軸方向の動作指令とからＸ軸方向におけるＸステージ１５の位置偏差を算出し、Ｘ軸方向におけるＸステージ１５の位置偏差に基づきＸモータ１６Ａの回転角度を制御する。
【0099】
情報収集部６２は、ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクトしている状態において、Ｘドライバ５４から出力されるＸステージ１５の位置偏差を取得する。Ｘステージ１５の位置偏差は、Ｘ方向におけるウェーハチャック２０の位置偏差として把握される。
【0100】
解析部６４は、情報収集部６２を用いて取得されるＸ軸方向におけるＸステージ１５の位置偏差を解析する。診断部６６は、解析部６４の解析結果に基づき、Ｘステージ１５の異常動作の有無を判定する。Ｘステージ１５の異常動作の有無は、Ｘ軸方向におけるウェーハチャック２０の異常動作の有無として把握される。
【0101】
診断部６６は、Ｘステージ１５の異常動作が発生していると判定する場合に、Ｘステージ１５の異常動作の発生を表す信号を移動制御部５２へ送信する。移動制御部５２は、Ｘステージ１５の異常動作の発生を表す信号を取得すると、図１に示すウェーハチャック２０の退避移動を実施する。
【0102】
具体的には、移動制御部５２は、ウェーハチャック２０の退避移動の動作指令として、Ｚドライバ５８に対してウェーハチャック２０を下降させる動作指令を送信する。Ｚドライバ５８は、ウェーハチャック２０を下降させ、ウェーハＷとプローブ針３５とを離間させ、両者のコンタクトを解消させる。
【0103】
診断部６６は、Ｘステージ１５の異常動作が発生していると判定する場合に、Ｘステージ１５の異常動作の発生を表示制御部４８へ通知する。表示制御部４８は、Ｘステージ１５の異常動作の発生を表す情報を表示器５０へ表示させる。
【0104】
Ｙドライバ５６、Ｚドライバ及びθドライバ６０のそれぞれは、移動制御部５２から送信される動作指令に基づき、Ｙモータ１４Ａ、Ｚモータ１８Ａ及びθモータ１８Ｃのそれぞれの動作を制御する。
【0105】
Ｙモータ１４Ａの駆動装置であるＹドライバ５６及びＺモータ１８Ａの駆動装置であるＺドライバのそれぞれは、Ｙ位置検出器１４Ｂ及びＺ位置検出器１８Ｂのそれぞれから、各方向におけるウェーハチャック２０の位置を取得し、各方向におけるウェーハチャック２０の位置情報に基づき位置偏差を算出し、位置偏差を出力する。ウェーハチャック２０の位置は、座標値であってもよいし、位置ベクトルであってもよい。θモータ１８Ｃの駆動装置であるθドライバ６０は、θ角度検出器１８Ｄからウェーハチャック２０の回転角度を含む角度情報を取得し、角度情報に基づき角度偏差を算出し、角度偏差を出力する。
【0106】
情報収集部６２は、各方向におけるウェーハチャック２０の位置偏差を含む位置偏差情報を取得する。解析部６４は、各方向におけるウェーハチャック２０の位置偏差情報を解析する。診断部６６は、解析部６４の解析結果に基づき、Ｙステージ１３、Ｚθステージ１７の昇降機構及びＺθステージ１７の回転機構の異常動作の有無を判定する。Ｙステージ１３、Ｚθステージ１７の昇降機構及びＺθステージ１７の回転機構の異常動作のそれぞれは、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ軸方向のそれぞれのウェーハチャック２０の異常動作の有無として把握される。
【0107】
診断部６６は、Ｙステージ１３、Ｚθステージ１７の昇降機構及びＺθステージ１７の回転機構の少なくともいずれかにおいての異常動作が発生している場合に、異常動作の発生を表す信号を移動制御部５２へ送信する。移動制御部５２は、異常動作の発生を表す信号を取得すると、ウェーハチャック２０の退避移動を実施する。移動制御部５２は、異常動作の発生を表す信号を取得すると、異常動作の発生を表す情報を表示器５０へ表示させる。
【0108】
図５に示すＸモータ１６Ａ、Ｙモータ１４Ａ、Ｚモータ１８Ａ及びθモータ１８Ｃは、サーボモータが適用される。また、同図に示すＸドライバ５４、Ｙドライバ５６、Ｚドライバ５８及びθドライバ６０は、サーボドライバが適用される。
【0109】
図６は図５に示すドライバの電気的構成を示す機能ブロック図である。図４に示すＸドライバ５４、Ｙドライバ５６、Ｚドライバ５８及びθドライバ６０は同様の構成が適用される。ここでは、Ｘドライバ５４等はドライバ１００として図示される。また、図６ではＸモータ１６Ａ、Ｙモータ１４Ａ、Ｚモータ１８Ａ及びθモータ１８Ｃは、モータＭｏとして図示される。また、モータＭｏの動作に応じて、図１に示すウェーハチャック２０は一方向へ移動する。
【0110】
【0111】
ドライバ１００は、駆動電流指令生成部１０４を備える。駆動電流指令生成部１０４は、動作指令に基づきモータＭｏへ供給される駆動電流の指令信号である駆動電流指令信号を生成する。駆動電流指令信号は、モータＭｏへ供給される駆動電流の大きさ及び駆動電流の供給タイミングが規定される。
【0112】
ドライバ１００は、駆動電流出力部１０６を備える。駆動電流出力部１０６は、モータ電源Ｐｓから電力が供給され、駆動電流指令信号に基づきモータＭｏの各相へ供給される駆動電流を出力する。モータＭｏは駆動電流指令信号に基づき動作する。
【0113】
ドライバ１００は、位置情報取得部１０８を備える。位置情報取得部１０８は、位置検出器Ｐｄから位置情報を取得する。位置検出器Ｐｄは、モータＭｏの回転速度及び回転角度を表すエンコーダ信号を取得し、エンコーダ信号に基づきウェーハチャック２０の位置を算出し、ウェーハチャック２０の位置を表す信号を位置情報として出力してもよい。位置情報取得部１０８は、位置検出器Ｐｄから出力されるエンコーダ信号を取得し、エンコーダ出力信号に基づきウェーハチャック２０の位置を算出してもよい。
【0114】
ドライバ１００は、位置偏差算出部１１０を備える。位置偏差算出部１１０は、位置情報取得部１０８を用いて取得したウェーハチャック２０の現実の位置を含む位置情報と、動作指令取得部１０２を用いて取得される動作指令とから、ウェーハチャック２０の位置偏差を算出する。駆動電流指令生成部１０４は、ウェーハチャック２０の位置偏差に基づき駆動電流指令信号を生成し、駆動電流指令信号を駆動電流出力部１０６へ送信する。駆動電流出力部１０６は、駆動電流指令信号に基づきモータＭｏを動作させ、ウェーハチャック２０の位置決めを実施する。また、位置偏差算出部１１０は、プローバコンピュータ４０の情報収集部６２に対して、ウェーハチャック２０の位置偏差情報を送信する。
【0115】
ドライバ１００は、駆動電流検出部１１２を備える。駆動電流検出部１１２は、駆動電流出力部１０６からモータＭｏに対して出力される駆動電流を検出する。駆動電流検出部１１２は、電流センサを用いてモータＭｏに対して出力される駆動電流を検出してもよいし、電流検出回路等の電気回路を用いてモータＭｏに対して出力される駆動電流を検出してもよい。
【0116】
ドライバ１００は、トルク算出部１１４を備える。トルク算出部１１４は、駆動電流検出部１１２を用いて検出されるモータＭｏの駆動電流に基づき、モータＭｏの発生トルクを算出する。モータＭｏのトルク制御が実施される場合、トルク算出部１１４を用いて算出されるモータＭｏの発生トルクは、モータＭｏへ供給される駆動電流の制御に適用される。
【0117】
［異常動作判定の具体例］
図７は異常状態の一例を示す位置偏差の経時変化を表すグラフである。同図に示す第１グラフＧ１は、ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクトしている状態における、ウェーハチャック２０のＸ軸方向の位置偏差の経時変化を表す。第１グラフＧ１の横軸は時間であり、時間の単位はマイクロ秒である。第１グラフＧ１の縦軸は位置偏差であり、位置偏差の単位はマイクロメートルである。
図７は異常状態の一例を示す位置偏差の経時変化を表すグラフである。同図に示す第１グラフＧ１は、ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクトしている状態における、ウェーハチャック２０のＸ軸方向の位置偏差の経時変化を表す。第１グラフＧ１の横軸は時間であり、時間の単位はマイクロ秒である。第１グラフＧ１の縦軸は位置偏差であり、位置偏差の単位はマイクロメートルである。
【0118】
第１位置偏差波形２００は、正常状態のウェーハチャック２０の位置偏差の経時変化を表す。正常状態のウェーハチャック２０は、規定の位置へ位置決めされたウェーハチャック２０の位置偏差が規定の範囲となる状態である。
【0119】
第２位置偏差波形２０２は、ウェーハチャック２０の位置偏差が規定の第１しきい値Ｔｈ１を超え、かつ、発振している異常状態のウェーハチャック２０の位置偏差の経時変化を表す。図７に図示される第１しきい値Ｔｈ１は、位置偏差の基準値に対して正の位置偏差の側及び負の位置偏差の側に設定される。第１しきい値Ｔｈ１は、正の位置偏差の側と負の位置偏差とを異ならせてもよい。なお、後述する第２しきい値及び第３しきい値Ｔｈ３についても同様である。
【0120】
すなわち、図５に示す解析部６４は、規定のサンプリング周期を適用して、時系列の順に取得される複数の位置偏差を、時系列の順に記憶する。解析部６４は、図７に第１グラフＧ１として図示される位置偏差の履歴を生成してもよい。診断部６６は、解析部６４の解析結果に基づき、位置偏差が規定の第１しきい値Ｔｈ１を超えるか否かを判定する。診断部６６は、ウェーハチャック２０の位置偏差が第１しきい値Ｔｈ１を超える場合に、ウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定する。
【0121】
解析部６４は、複数の位置偏差に対して周波数解析処理を実施してもよい。診断部６６は、位置偏差の時系列変化が有する周波数の変動に基づき、ウェーハチャック２０等の機械的破損の有無を判定し得る。周波数解析処理は、ＦＦＴと称される高速フーリエ変換を適用し得る。なお、ＦＦＴはFast Fourier Transformの省略語である。
【0122】
図８は異常状態の他の例を示す位置偏差の経時変化を表すグラフである。同図に示す第２グラフＧ２は、ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクトしている状態における、ウェーハチャック２０のＸ軸方向の位置偏差の経時変化を表す。第２グラフＧ２の横軸は時間であり、時間の単位はマイクロ秒である。第２グラフＧ２の縦軸は位置偏差であり、位置偏差の単位はマイクロメートルである。図８に示す第１グラフＧ１と同様に、第１位置偏差波形２００は、正常状態のウェーハチャック２０の位置偏差の経時変化を表す。
【0123】
図８に示す第２グラフＧ２における第３位置偏差波形２１２は、ウェーハチャック２０の位置偏差が規定の第１しきい値Ｔｈ１を超える異常状態のウェーハチャック２０の位置偏差の経時変化を表す。第３位置偏差波形２１２は、ウェーハチャック２０の位置偏差が規定の第１しきい値Ｔｈ１を超える波形要素２１４を有する。
【0124】
すなわち、規定のサンプリング周期を適用して取得される複数の位置偏差が、１回以上、規定の第１しきい値Ｔｈ１を超える場合に、ウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定される。
【0125】
図７及図８に示す異常動作判定は、ウェーハチャック２０のＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向のいずれに適用してもよい。ウェーハチャック２０の各方向におけるしきい値は、異常動作判定に対して要求される精度に応じて、適宜、規定される。
【0126】
［第１変形例］
本実施形態では、ウェーハチャック２０における各方向の位置偏差を、各方向のモータＭｏを制御するドライバ１００から取得する態様を例示するが、図５等に示すプローバコンピュータ４０が、図６に示すドライバ１００に具備される位置情報取得部１０８及び位置偏差算出部１１０を備えてもよい。すなわち、プローバコンピュータ４０は、ウェーハチャック２０における各方向の位置情報を取得し、動作指令と位置情報とを用いて、ウェーハチャック２０における各方向の位置偏差を算出し、ウェーハチャック２０における各方向の位置偏差を取得してもよい。
本実施形態では、ウェーハチャック２０における各方向の位置偏差を、各方向のモータＭｏを制御するドライバ１００から取得する態様を例示するが、図５等に示すプローバコンピュータ４０が、図６に示すドライバ１００に具備される位置情報取得部１０８及び位置偏差算出部１１０を備えてもよい。すなわち、プローバコンピュータ４０は、ウェーハチャック２０における各方向の位置情報を取得し、動作指令と位置情報とを用いて、ウェーハチャック２０における各方向の位置偏差を算出し、ウェーハチャック２０における各方向の位置偏差を取得してもよい。
【0127】
［第２変形例］
本実施形態では、ウェーハチャック２０におけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向について、異常動作が発生しているか否かを判定したが、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向のいずれかについて、異常動作判定の対象から除外してもよい。例えば、図６に示す位置検出器Ｐｄを具備せずにオープンループ制御が実施される方向は、異常動作判定の対象から除外されてもよい。
本実施形態では、ウェーハチャック２０におけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向について、異常動作が発生しているか否かを判定したが、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向のいずれかについて、異常動作判定の対象から除外してもよい。例えば、図６に示す位置検出器Ｐｄを具備せずにオープンループ制御が実施される方向は、異常動作判定の対象から除外されてもよい。
【0128】
［第１実施形態の作用効果］
第１実施形態に係るプローバは、以下の作用効果を得ることが可能である。
第１実施形態に係るプローバは、以下の作用効果を得ることが可能である。
【0129】
〔１〕
ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクトしている状態において、ウェーハチャック２０におけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向について、動作指令における位置と、位置情報における実際の位置と偏差である位置偏差を含む位置偏差情報が取得される。位置偏差情報が解析され、位置偏差情報の解析結果に基づきウェーハチャック２０の異常動作の発生の有無が判定される。これにより、ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクトしている状態において、ウェーハチャック２０の異常動作の発生を把握し得る。
ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクトしている状態において、ウェーハチャック２０におけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向について、動作指令における位置と、位置情報における実際の位置と偏差である位置偏差を含む位置偏差情報が取得される。位置偏差情報が解析され、位置偏差情報の解析結果に基づきウェーハチャック２０の異常動作の発生の有無が判定される。これにより、ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクトしている状態において、ウェーハチャック２０の異常動作の発生を把握し得る。
【0130】
〔２〕
ウェーハチャック２０の位置偏差が規定の第１しきい値Ｔｈ１を超える場合に、ウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定される。
ウェーハチャック２０の位置偏差が規定の第１しきい値Ｔｈ１を超える場合に、ウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定される。
【0131】
これにより、ウェーハチャック２０の位置偏差に対するしきい値判定を適用して、ウェーハチャック２０の異常動作の発生を把握し得る。
【0132】
〔３〕
ウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定される場合は、ウェーハチャック２０を下降させ、ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクトを解消させる。これにより、ウェーハチャック２０の異常動作に起因するウェーハＷ及びプローブカード２６等の破損を抑制し得る。
ウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定される場合は、ウェーハチャック２０を下降させ、ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクトを解消させる。これにより、ウェーハチャック２０の異常動作に起因するウェーハＷ及びプローブカード２６等の破損を抑制し得る。
【0133】
〔４〕
ウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定されると、ウェーハチャック２０の異常動作の発生が報知される。これにより、ウェーハチャック２０の異常動作の発生を操作者が認識し、ウェーハＷ及びローブカード２６等の破損への対処を実施し得る。
ウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定されると、ウェーハチャック２０の異常動作の発生が報知される。これにより、ウェーハチャック２０の異常動作の発生を操作者が認識し、ウェーハＷ及びローブカード２６等の破損への対処を実施し得る。
【0134】
〔５〕
規定のサンプリング周期を適用して、時系列の順に複数の位置偏差が取得される。時系列の順の複数の位置偏差に対して周波数解析が実施される。これにより、時系列の順の複数の位置偏差における周波数の変動に基づき、ウェーハチャック２０、ウェーハＷ及びプローブカード２６の機械的異常の発生を操作者が把握し得る。
規定のサンプリング周期を適用して、時系列の順に複数の位置偏差が取得される。時系列の順の複数の位置偏差に対して周波数解析が実施される。これにより、時系列の順の複数の位置偏差における周波数の変動に基づき、ウェーハチャック２０、ウェーハＷ及びプローブカード２６の機械的異常の発生を操作者が把握し得る。
【0135】
［第２実施形態に係るプローバ］
第２実施形態に係るプローバは、第１実施形態に係るプローバに対して、ウェーハチャック２０の動作中における異常動作の検出機能が追加される。すなわち、ウェーハチャック２０の動作中には、ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクト状態と比較して、ウェーハチャック２０の位置偏差が大きくなり、ウェーハチャック２０の位置偏差に基づくウェーハチャック２０の異常動作発生の判定が困難である。また、コンタクト状態において、異常とする位置偏差の値、すなわち、第１しきい値Ｔｈ１を十分に大きくとれない場合もまた、ウェーハチャック２０の位置偏差に基づくウェーハチャック２０の異常動作発生の判定が困難である。
第２実施形態に係るプローバは、第１実施形態に係るプローバに対して、ウェーハチャック２０の動作中における異常動作の検出機能が追加される。すなわち、ウェーハチャック２０の動作中には、ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクト状態と比較して、ウェーハチャック２０の位置偏差が大きくなり、ウェーハチャック２０の位置偏差に基づくウェーハチャック２０の異常動作発生の判定が困難である。また、コンタクト状態において、異常とする位置偏差の値、すなわち、第１しきい値Ｔｈ１を十分に大きくとれない場合もまた、ウェーハチャック２０の位置偏差に基づくウェーハチャック２０の異常動作発生の判定が困難である。
【0136】
そこで、第２実施形態に係るプローバでは、ウェーハチャック２０の動作中において、各方向のモータの発生トルクの大きさを含むトルク情報を取得し、各方向のモータのトルク情報の解析結果に基づき、ウェーハチャック２０の異常動作の発生の有無が判定される。第２実施形態に係るプローバは、図１から図４に示す構成を適用し得る。ここでは、第２実施形態に係るプローバの全体構成についての説明は省略される。
【0137】
【0138】
情報収集部６２は取得したトルク情報を解析部６４へ送信する。解析部６４はトルク情報を解析する。診断部６６は、トルク情報の解析結果に基づき、Ｘモータ１６Ａの発生トルクの大きさが規定の第２しきい値を超える場合に、Ｘ軸方向についてウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定する。Ｘ軸方向についてウェーハチャック２０の異常動作が発生している場合に、移動制御部５２はＺドライバ５８に対してウェーハチャック２０を下降させる動作指令を送信し、ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクト状態を解消させる。
【0139】
図５に示すＹドライバ５６、Ｚドライバ５８及びθドライバ６０についても、Ｘドライバ５４と同様に、各方向のモータの発生トルクの大きさを含むトルク情報を情報収集部６２へ送信する。診断部６６は、各方向のトルク情報の解析結果に基づき、各方向におけるウェーハチャック２０の異常動作の発生の有無を判定する。
【0140】
各方向のいずれかにおいてウェーハチャック２０の異常動作が発生している場合に、移動制御部５２は、Ｚドライバ５８に対してウェーハチャック２０を下降させる動作指令を送信し、ウェーハＷをプローブ針３５の遠方へ移動させる。
【0141】
ウェーハチャック２０の動作中において、機械的な摩擦等の増加に起因して各方向のモータに対する負荷が増加すると、各方向のモータの発生トルクが増加する。各方向のモータにおける発生トルクが規定の範囲を超える場合は、各方向のモータの異常動作であり、ウェーハチャック２０の異常動作の発生として把握される。モータの発生トルクの増加は、モータの駆動電流の増加として把握される。すなわち、図６に示すトルク算出部１１４を備えていないドライバ１００がモータＭｏの制御に適用される場合であっても、モータＭｏの駆動電流に基づきウェーハチャック２０の異常動作の発生を把握し得る。
【0142】
図９はウェーハチャックの動作中におけるモータの駆動電流の波形を表すグラフである。同図に示す第３グラフＧ３は、モータＭｏの駆動電流の経時変化を表す。第３グラフＧ３の横軸は時間であり、時間の単位はマイクロ秒である。第３グラフＧ３の縦軸は駆動電流であり、駆動電流の単位はアンペアである。ここで、モータＭｏに具備される複数の相には、位相がずらされた同一の電流波形を有する駆動電流が流れるので、図９に波形を示すモータＭｏの駆動電流は、任意の１相に流れる駆動電流としてもよい。なお、ここでいう同一の電流波形は、ドライバ１００及びモータＭｏにおける各相の電気的特性に起因するばらつきが存在していてもよい。
【0143】
第３グラフＧ３における第１電流波形３００は、ウェーハチャック２０が正常に動作している場合のモータＭｏの駆動電流を表す。一方、第２電流波形３０２はモータＭｏの駆動電流が規定の第３しきい値Ｔｈ３を超える期間が存在する。
【0144】
図５に示す情報収集部６２は、規定のサンプリング周期を適用して、時系列の順に複数の駆動電流情報を取得する。駆動電流情報は、図６に示す駆動電流検出部１１２を用いて検出されるモータＭｏの駆動電流の大きさが含まれる。
【0145】
解析部６４は、時系列の順に取得される駆動電流情報を解析する。診断部６６は、駆動電流情報の解析結果に基づき、駆動電流の大きさが規定の第３しきい値Ｔｈ３を超える場合にウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定する。
【0146】
移動制御部５２は、ウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定される場合に、ウェーハチャック２０の動作を停止させ、かつ、ウェーハチャック２０を下降させて、ウェーハＷとプローブ針３５とのコンタクト状態を解消させる。
【0147】
［第２実施形態の作用効果］
第２実施形態に係るプローバは、以下の作用効果を得ることが可能である。
第２実施形態に係るプローバは、以下の作用効果を得ることが可能である。
【0148】
〔１〕
ウェーハチャック２０の動作中において、ウェーハチャック２０の各方向について、モータＭｏの発生トルクの大きさを含むトルク情報が取得され、トルク情報の解析結果に基づきウェーハチャック２０の異常動作が発生しているか否かが判定される。
ウェーハチャック２０の動作中において、ウェーハチャック２０の各方向について、モータＭｏの発生トルクの大きさを含むトルク情報が取得され、トルク情報の解析結果に基づきウェーハチャック２０の異常動作が発生しているか否かが判定される。
【0149】
これにより、ウェーハチャック２０の動作中におけるウェーハチャック２０の異常動作の発生を把握し得る。
【0150】
〔２〕
モータＭｏの発生トルクが規定のしきい値を超える場合は、ウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定される。これにより、モータＭｏの発生トルクの大きさに対するしきい値判定を適用して、ウェーハチャック２０の動作中におけるウェーハチャック２０の異常動作の発生が把握される。
モータＭｏの発生トルクが規定のしきい値を超える場合は、ウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定される。これにより、モータＭｏの発生トルクの大きさに対するしきい値判定を適用して、ウェーハチャック２０の動作中におけるウェーハチャック２０の異常動作の発生が把握される。
【0151】
〔３〕
ウェーハチャック２０の動作中において、ウェーハチャック２０の各方向のモータＭｏの駆動電流の大きさを含む駆動電流情報が取得され、駆動電流情報の解析結果に基づきウェーハチャック２０の異常動作が発生しているか否かが判定される。
ウェーハチャック２０の動作中において、ウェーハチャック２０の各方向のモータＭｏの駆動電流の大きさを含む駆動電流情報が取得され、駆動電流情報の解析結果に基づきウェーハチャック２０の異常動作が発生しているか否かが判定される。
【0152】
これにより、ウェーハチャック２０の動作中におけるウェーハチャック２０の異常動作の発生を把握し得る。
【0153】
〔４〕
モータＭｏの駆動電流の大きさが規定のしきい値を超える場合は、ウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定される。これにより、モータＭｏの駆動電流の大きさに対するしきい値判定を適用して、ウェーハチャック２０の動作中におけるウェーハチャック２０の異常動作の発生が把握される。
モータＭｏの駆動電流の大きさが規定のしきい値を超える場合は、ウェーハチャック２０の異常動作が発生していると判定される。これにより、モータＭｏの駆動電流の大きさに対するしきい値判定を適用して、ウェーハチャック２０の動作中におけるウェーハチャック２０の異常動作の発生が把握される。
【0154】
〔５〕
ウェーハチャック２０の動作中における、ウェーハチャック２０の異常動作が発生したと判定されると、移動制御部５２はウェーハチャック２０を下降させるＺモータ１８Ａの制御を実施し、ウェーハＷをプローブ針３５の遠方へ移動させる。これにより、ウェーハチャック２０の異常動作の発生に起因する、ウェーハＷ及びプローブカード２６等の破損を抑制し得る。
ウェーハチャック２０の動作中における、ウェーハチャック２０の異常動作が発生したと判定されると、移動制御部５２はウェーハチャック２０を下降させるＺモータ１８Ａの制御を実施し、ウェーハＷをプローブ針３５の遠方へ移動させる。これにより、ウェーハチャック２０の異常動作の発生に起因する、ウェーハＷ及びプローブカード２６等の破損を抑制し得る。
【0155】
［プローバの駆動制御装置及び駆動制御方法への適用例］
図４及び図５に示すプローバコンピュータ４０は、プローバ１０の駆動制御装置として機能する。また、プローバコンピュータ４０に適用されるウェーハチャック２０の異常動作発生の判定手順は、プローバ１０の駆動制御方法として実行される。
図４及び図５に示すプローバコンピュータ４０は、プローバ１０の駆動制御装置として機能する。また、プローバコンピュータ４０に適用されるウェーハチャック２０の異常動作発生の判定手順は、プローバ１０の駆動制御方法として実行される。
【0156】
［プローバの変形例］
上記した第１実施形態及び第２実施形態では、ウェーハＷを吸着支持するウェーハチャック２０を含む測定ステージを１つ備えるプローバを例示したが、第１実施形態に係る駆動制御及び第２実施形態に係る駆動制御は、複数の測定ステージを備えるプローバにも適用可能である。
上記した第１実施形態及び第２実施形態では、ウェーハＷを吸着支持するウェーハチャック２０を含む測定ステージを１つ備えるプローバを例示したが、第１実施形態に係る駆動制御及び第２実施形態に係る駆動制御は、複数の測定ステージを備えるプローバにも適用可能である。
【0157】
以上説明した本発明の実施形態は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜構成要件を変更、追加、削除することが可能である。本発明は以上説明した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で当該分野の通常の知識を有する者により、多くの変形が可能である。また、実施形態、変形例及び応用例は適宜組み合わせて実施してもよい。
【符号の説明】
【0158】
９…半導体チップ，９ａ…電極パッド，１０…プローバ，１２…ベース，１３…Ｙステージ，１４…Ｙ移動部，１４Ａ…Ｙモータ，１４Ｂ…Ｙ位置検出器，１５…Ｘステージ，１６…Ｘ移動部，１６Ａ…Ｘモータ，１６Ｂ…Ｘ位置検出器，１７…Ｚθステージ，１８…Ｚθ移動部、１８Ａ…Ｚモータ，１８Ｂ…Ｚ位置検出器，１８Ｃ…θモータ，１８Ｄ…θ角度検出器、２０…ウェーハチャック，２３…支柱，２４…ヘッドステージ，２５…カードホルダ，２５ａ…保持穴，２６…プローブカード，２９…ウェーハ位置合わせカメラ，３０…上下ステージ，３１…針位置合わせカメラ，３２…クリーニング板，３５…プローブ針，４０…プローバコンピュータ，４４…針位置取得部，４６…ウェーハ情報取得部，４８…表示制御部，５０…表示器，５２…移動制御部，５４…Ｘドライバ，５６…Ｙドライバ，５８…Ｚドライバ，６０…θドライバ，６２…情報収集部，６４…解析部，６６…診断部，１００…ドライバ，１０２…動作指令取得部，１０４…駆動電流指令生成部，１０６…駆動電流出力部，１０８…位置情報取得部，１１０…位置偏差算出部，１１２…駆動電流検出部，１１４…トルク算出部，２００…第１位置偏差波形，２０２…第２位置偏差波形，２１２…第３位置偏差波形，２１４…波形要素，３００…第１電流波形，３０２…第２電流波形，Ｇ１…第１グラフ，Ｇ２…第２グラフ，Ｇ３…第３グラフ，Ｍｏ…モータ，Ｐｓ…モータ電源，Ｐｄ…位置検出器，Ｔｈ１…第１しきい値，Ｔｈ３…第３しきい値，Ｗ…ウェーハ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】