特開2024-137544温度制御システム、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム

発明の名称　温度制御システム、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム

出願人　株式会社ＫＯＫＵＳＡＩ　ＥＬＥＣＴＲＩＣ　（識別番号 318009126）

　　　　特許公開件数ランキング 411 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 427 位（55件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-137544

公報発行日　2024年10月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-137544

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