特開 2024-14061 塗布装置、塗布方法及び積層体の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024014061

(43)【公開日】2024-02-01

(54)【発明の名称】塗布装置、塗布方法及び積層体の製造方法

(51)【国際特許分類】

   B05C 1/02 20060101AFI20240125BHJP

   B05C 11/04 20060101ALI20240125BHJP

   B05D 1/28 20060101ALI20240125BHJP

   B05D 3/00 20060101ALI20240125BHJP

   B05D 1/36 20060101ALI20240125BHJP

【ＦＩ】

B05C1/02 102

B05C11/04

B05D1/28

B05D3/00 F

B05D1/36 Z

B05D3/00 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022116625

(22)【出願日】2022-07-21

(71)【出願人】

【識別番号】000190688

【氏名又は名称】新光電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】小須田 賢

【テーマコード（参考）】

4D075

4F040

4F042

【Ｆターム（参考）】

4D075AC53

4D075AC54

4D075AC84

4D075AC88

4D075AC91

4D075AC92

4D075AE01

4D075BB05Z

4D075BB92Y

4D075CA47

4D075CA48

4D075DA04

4D075DA06

4D075DC38

4D075EA05

4D075EA07

4D075EA35

4D075EB51

4F040AA02

4F040AB01

4F040AC01

4F040BA13

4F040CB13

4F042AA02

4F042AB00

4F042DD02

4F042DD07

4F042DD19

(57)【要約】

【課題】塗膜の厚さのばらつきを抑制することができる塗布装置、塗布方法及び積層体の製造方法を提供する。
【解決手段】塗布装置は、トレイと、第１スキージと、第２スキージと、ローラと、前記第１スキージを駆動して、前記トレイに収容された液体から第１膜厚を有する第１液膜を形成し、前記第１液膜の形成の後に、前記第２スキージを駆動して、前記トレイに収容された前記第１液膜から前記第１液膜よりも薄い所定の第２膜厚を有する第２液膜を形成するスキージ駆動部と、前記ローラを駆動して、前記ローラに前記第２液膜を付着させ、前記第２液膜が付着した前記ローラを被塗布部材に押し当てて前記被塗布部材の表面に塗膜を形成するローラ駆動部と、を有する。
【選択図】図１２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

トレイと、
第１スキージと、
第２スキージと、
ローラと、
前記第１スキージを駆動して、前記トレイに収容された液体から第１膜厚を有する第１液膜を形成し、前記第１液膜の形成の後に、前記第２スキージを駆動して、前記トレイに収容された前記第１液膜から前記第１液膜よりも薄い所定の第２膜厚を有する第２液膜を形成するスキージ駆動部と、
前記ローラを駆動して、前記ローラに前記第２液膜を付着させ、前記第２液膜が付着した前記ローラを被塗布部材に押し当てて前記被塗布部材の表面に塗膜を形成するローラ駆動部と、
を有することを特徴とする塗布装置。

【請求項2】

前記ローラ駆動部は、前記ローラに前記第２液膜を付着させる際に、前記液体を収容した前記トレイの底面に前記ローラを押し付けることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。

【請求項3】

前記液体の粘度は１０ｍＰａ・ｓ以上であることを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布装置。

【請求項4】

第１スキージを用いてトレイに収容された液体から第１膜厚を有する第１液膜を形成する工程と、
前記第１液膜の形成の後に、第２スキージを用いて前記トレイに収容された前記第１液膜から前記第１液膜よりも薄い所定の第２膜厚を有する第２液膜を形成する工程と、
ローラに前記第２液膜を付着させる工程と、
前記第２液膜が付着した前記ローラを被塗布部材に押し当てて前記被塗布部材の表面に塗膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする塗布方法。

【請求項5】

前記ローラに前記第２液膜を付着させる工程において、前記第２スキージは、前記液体のうちで前記第２液膜に含まれない部分を前記トレイの内面と前記第２スキージとの間に押しとどめていることを特徴とする請求項４に記載の塗布方法。

【請求項6】

前記液体の粘度は１０ｍＰａ・ｓ以上であることを特徴とする請求項４又は５に記載の塗布方法。

【請求項7】

第１スキージを用いてトレイに収容された接着成分を含む液体から第１膜厚を有する第１液膜を形成する工程と、
前記第１液膜の形成の後に、第２スキージを用いて前記トレイに収容された前記第１液膜から前記第１液膜よりも薄い所定の第２膜厚を有する第２液膜を形成する工程と、
ローラに前記第２液膜を付着させる工程と、
前記第２液膜が付着した前記ローラを被塗布部材に押し当てて前記被塗布部材の表面に塗膜を形成する工程と、
前記塗膜を介して前記被塗布部材に被接着部材を貼り付ける工程と、
を有することを特徴とする積層体の製造方法。

【請求項8】

前記ローラに前記第２液膜を付着させる工程において、前記第２スキージは、前記液体のうちで前記第２液膜に含まれない部分を前記トレイの内面と前記第２スキージとの間に押しとどめていることを特徴とする請求項７に記載の積層体の製造方法。

【請求項9】

前記液体の粘度は１０ｍＰａ・ｓ以上であることを特徴とする請求項７又は８に記載の積層体の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、塗布装置、塗布方法及び積層体の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

接着剤等の溶液をグリーンシート等の被塗布部材に塗布することがある。この塗布の際には、溶液が入れられたトレイ内でローラを回転させてローラに溶液を付着させ、被塗布部材上でローラを回転させることで被塗布部材の表面に塗膜を形成している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００２－１０２７９０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

従来の塗布方法では、ローラに付着させる溶液の量にばらつきが生じやすい。特に、ローラに付着させる溶液の量が少ない場合にばらつきが顕著となりやすい。このようなばらつきが生じると、被塗布部材内で塗布むらが生じたり、複数の被塗布部材の間で塗膜の厚さにばらつきが生じたりする。

【0005】

本開示は、塗膜の厚さのばらつきを抑制することができる塗布装置、塗布方法及び積層体の製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一形態によれば、トレイと、第１スキージと、第２スキージと、ローラと、前記第１スキージを駆動して、前記トレイに収容された液体から第１膜厚を有する第１液膜を形成し、前記第１液膜の形成の後に、前記第２スキージを駆動して、前記トレイに収容された前記第１液膜から前記第１液膜よりも薄い所定の第２膜厚を有する第２液膜を形成するスキージ駆動部と、前記ローラを駆動して、前記ローラに前記第２液膜を付着させ、前記第２液膜が付着した前記ローラを被塗布部材に押し当てて前記被塗布部材の表面に塗膜を形成するローラ駆動部と、を有する塗布装置が提供される。

【発明の効果】

【0007】

開示の技術によれば、塗膜の厚さのばらつきを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施形態に係る塗布装置を例示する上面図である。

【図2】実施形態に係る塗布装置を例示する正面図である。

【図3】実施形態に係る塗布装置を例示する側面図である。

【図4】Ｚ軸駆動装置及びローラを例示する断面図である。

【図5】液体付着部を例示する上面図である。

【図6】液体付着部を例示する正面図である。

【図7】液体付着部を例示する側面図である。

【図8】実施形態に係る塗布装置を用いた塗布方法を例示するフローチャートである。

【図9】実施形態に係る塗布装置を用いた塗布方法を例示する図（その１）である。

【図10】実施形態に係る塗布装置を用いた塗布方法を例示する図（その２）である。

【図11】実施形態に係る塗布装置を用いた塗布方法を例示する図（その３）である。

【図12】実施形態に係る塗布装置を用いた塗布方法を例示する図（その４）である。

【図13】実施形態に係る塗布装置を用いた塗布方法を例示する図（その５）である。

【図14】実施形態に係る塗布装置を用いた塗布方法を例示する図（その６）である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、実施形態について添付の図面を参照しながら具体的に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省くことがある。また、本開示においては、Ｘ１－Ｘ２方向、Ｙ１－Ｙ２方向、Ｚ１－Ｚ２方向を相互に直交する方向とする。Ｘ１－Ｘ２方向及びＹ１－Ｙ２方向を含む面をＸＹ面と記載し、Ｙ１－Ｙ２方向及びＺ１－Ｚ２方向を含む面をＹＺ面と記載し、Ｚ１－Ｚ２方向及びＸ１－Ｘ２方向を含む面をＺＸ面と記載する。なお、便宜上、Ｚ１－Ｚ２方向を上下方向とし、Ｚ１側を上側、Ｚ２側を下側とする。また、平面視とは、Ｚ１側から対象物を視ることをいい、平面形状とは、対象物をＺ１側から視た形状のことをいう。

【0010】

本実施形態は塗布装置に関する。図１は、実施形態に係る塗布装置を例示する上面図である。図２は、実施形態に係る塗布装置を例示する正面図である。図３は、実施形態に係る塗布装置を例示する側面図である。図１は、Ｚ１側から視たときの塗布装置を示し、図２は、Ｙ２側から視たときの塗布装置を示し、図３は、Ｘ１側から視たときの塗布装置を示す。

【0011】

図１～図３に示すように、実施形態に係る塗布装置１は、ステージ１０と、ローラ２０と、ローラ駆動部３０と、液体付着部４０と、固定装置５０とを有する。

【0012】

ローラ駆動部３０は、Ｙ軸駆動装置１１と、Ｘ軸駆動装置１２と、Ｚ軸駆動装置１３とを有する。

【0013】

Ｙ軸駆動装置１１はステージ１０に固定されており、Ｘ軸駆動装置１２をＹ１－Ｙ２方向に移動させる。Ｙ軸駆動装置１１はステージ１０のＺ１側に配置されている。Ｙ軸駆動装置１１は、例えば、レール及びスライダを有する。レールはＹ１－Ｙ２方向に延びるようにしてステージ１０に固定されている。スライダはＹ１－Ｙ２方向に移動可能にレールに取り付けられている。

【0014】

Ｘ軸駆動装置１２はＹ軸駆動装置１１に固定されており、Ｚ軸駆動装置１３をＸ１－Ｘ２方向に移動させる。Ｘ軸駆動装置１２は、例えば、レール及びスライダを有する。レールはＸ１－Ｘ２方向に延びる。スライダはＸ１－Ｘ２方向に移動可能にレールに取り付けられている。

【0015】

Ｚ軸駆動装置１３はＸ軸駆動装置１２に固定されており、ローラ２０をＺ１－Ｚ２方向に移動させる。図４は、Ｚ軸駆動装置１３及びローラ２０を例示する断面図である。

【0016】

ローラ２０はＸ１－Ｘ２方向に延びる円柱状又は円筒状の軸２１と、軸２１の周面に設けられ、液体の吸収及び排出が可能なシート２２とを有する。シート２２は柔軟性を備えることが好ましい。シート２２は、例えばスポンジ等の柔軟性を備えた多孔質体から構成される。

【0017】

Ｚ軸駆動装置１３は、フレーム６１と、ベアリング６２と、エアシリンダ６３と、２つのリニアブッシュ６４と、連結部材６５と、電空レギュレータ６６とを有する。フレーム６１はベアリング６２を介してローラ２０の軸２１の両端を回転可能に保持する。フレーム６１は、ローラ２０のＺ１側に位置してＸ１－Ｘ２方向に延びるＸ軸延在部６１Ａを含む。Ｘ１－Ｘ２方向で、Ｘ軸延在部６１Ａの中心部にエアシリンダ６３が固定され、エアシリンダ６３を間に挟むようにして２つのリニアブッシュ６４がＸ軸延在部６１Ａに固定されている。また、連結部材６５は、Ｚ１－Ｚ２方向でフレーム６１から離れた位置でＸ軸延在部６１Ａ及び２つのリニアブッシュ６４を連結している。電空レギュレータ６６はエアシリンダ６３を駆動する。電空レギュレータ６６によりエアシリンダ６３が駆動されると、２つのリニアブッシュ６４及び連結部材６５によって姿勢を保持されながら、ローラ２０がＺ１－Ｚ２方向に移動する。

【0018】

次に、液体付着部４０について説明する。図５は、液体付着部４０を例示する上面図である。図６は、液体付着部４０を例示する正面図である。図７は、液体付着部４０を例示する側面図である。図５は、Ｚ１側から視たときの液体付着部４０を示し、図６は、Ｙ２側から視たときの液体付着部４０を示し、図７は、Ｘ１側から視たときの液体付着部４０を示す。図５～図７では、一部の構成要素を断面で示し、一部の構成要素を省略してある。

【0019】

図５～図７に示すように、液体付着部４０は、トレイ４３と、ステージ４４と、リニアガイド４５と、Ｙ軸可動部材４６と、ボールねじ４７とを有する。液体付着部４０は、更に、整膜スキージ７１と、ならしスキージ７２と、スキージ支持部材７３及び７４と、エアシリンダ７５及び７６と、リニアガイド７７及び７８とを有する。ならしスキージ７２は第１スキージの一例であり、整膜スキージ７１は第２スキージの一例である。リニアガイド４５と、Ｙ軸可動部材４６と、ボールねじ４７と、スキージ支持部材７３及び７４と、エアシリンダ７５及び７６と、リニアガイド７７及び７８とがスキージ駆動部に含まれる。

【0020】

トレイ４３は、テーブル４１と、枠４２とを有する。テーブル４１は、例えば、平面形状が長方形状の板材であり、外縁に沿って上面の位置が中央部よりも下面側に下がった切り欠き部４１Ａを有する。枠４２は切り欠き部４１Ａの外側面に沿って配置されている。枠４２の上面はテーブル４１の上面よりも上方にあり、枠４２の内側でテーブル４１の上面の上に溶液を溜められるように構成されている。トレイ４３は溶液を収容する。例えば、テーブル４１の上面は水平面である。

【0021】

整膜スキージ７１及びならしスキージ７２はトレイ４３の上方に配置されている。整膜スキージ７１及びならしスキージ７２はＸ１－Ｘ２方向に延び、ＺＸ面に略平行な面を有する。整膜スキージ７１及びならしスキージ７２は、平面視で枠４２の内側に配置されている。スキージ支持部材７３は整膜スキージ７１を支持し、スキージ支持部材７４はならしスキージ７２を支持する。スキージ支持部材７３及び７４はＸ１－Ｘ２方向に延びており、平面視で、スキージ支持部材７３及び７４の両端部はトレイ４３の外側に位置する。

【0022】

トレイ４３の下方にステージ４４が配置されており、トレイ４３はステージ４４に固定されている。また、Ｙ１－Ｙ２方向に延びるようにして２つのリニアガイド４５がステージ４４に固定されている。リニアガイド４５は、例えば、レール及びスライダを有する。レールはＹ１－Ｙ２方向に延びるようにしてステージ４４に固定されている。スライダはＹ１－Ｙ２方向に移動可能にレールに取り付けられている。リニアガイド４５はステージ４４とトレイ４３との間に位置する。Ｙ軸可動部材４６は、基部４６Ａと、２つのリニアガイド固定部４６Ｂと、２つのエアシリンダ保持部４６Ｃとを有する。基部４６ＡはＸ１－Ｘ２方向に延びており、平面視で、基部４６Ａの両端部はトレイ４３の外側に位置する。一方のリニアガイド固定部４６Ｂは、基部４６ＡのＸ１側の端部につながり、ＹＺ面に平行な面をＸ１側に備える。他方のリニアガイド固定部４６Ｂは、基部４６ＡのＸ２側の端部につながり、ＹＺ面に平行な面をＸ２側に備える。一方のエアシリンダ保持部４６Ｃは、Ｘ１側のリニアガイド固定部４６Ｂの下端からＸ１側に延び、ＸＹ面に平行な面をＺ１側に備える。他方のエアシリンダ保持部４６Ｃは、Ｘ２側のリニアガイド固定部４６Ｂの下端からＸ２側に延び、ＸＹ面に平行な面をＺ１側に備える。

【0023】

基部４６Ａは、リニアガイド４５のスライダに固定されている。また、基部４６Ａには、２つのリニアガイド４５の間でＹ１－Ｙ２方向に延びるボールねじ４７が取り付けられている。従って、Ｙ軸可動部材４６は、リニアガイド４５に案内されながら、ボールねじ４７によりＹ１－Ｙ２方向に移動可能である。

【0024】

Ｚ１－Ｚ２方向に延びるようにして、一方の一組のリニアガイド７７及び７８がＸ１側のリニアガイド固定部４６Ｂに固定され、他方の一組のリニアガイド７７及び７８がＸ２側のリニアガイド固定部４６Ｂに固定されている。リニアガイド７７はリニアガイド７８のＹ１側に位置する。リニアガイド７７及び７８は、例えば、レール及びスライダを有する。レールはＸ１－Ｘ２方向に延びるようにしてリニアガイド固定部４６Ｂに固定されている。スライダはＺ１－Ｚ２方向に移動可能にレールに取り付けられている。

【0025】

Ｘ１側のエアシリンダ保持部４６Ｃの上に一組のエアシリンダ７５及び７６が保持され、Ｘ２側のエアシリンダ保持部４６Ｃの上に他方の一組のエアシリンダ７５及び７６が保持されている。エアシリンダ７５はエアシリンダ７６のＹ１側に位置する。

【0026】

整膜スキージ７１を支持するスキージ支持部材７３は、リニアガイド７７のスライダに固定されている。また、スキージ支持部材７３にはエアシリンダ７５がつながっている。従って、整膜スキージ７１は、リニアガイド７７に案内されながら、エアシリンダ７５によりＺ１－Ｚ２方向に移動可能である。

【0027】

ならしスキージ７２を支持するスキージ支持部材７４は、リニアガイド７８のスライダに固定されている。また、スキージ支持部材７４にはエアシリンダ７６がつながっている。従って、ならしスキージ７２は、リニアガイド７８に案内されながら、エアシリンダ７６によりＺ１－Ｚ２方向に移動可能である。

【0028】

また、上述のように、ボールねじ４７によりＹ軸可動部材４６をＹ１－Ｙ２方向に移動させることができる。従って、ボールねじ４７によりＹ軸可動部材４６を介して整膜スキージ７１及びならしスキージ７２をＹ１－Ｙ２方向に移動させることも可能である。

【0029】

次に、実施形態に係る塗布装置１を用いた塗布方法について説明する。図８は、実施形態に係る塗布装置１を用いた塗布方法を例示するフローチャートである。図９～図１４は、実施形態に係る塗布装置１を用いた塗布方法を例示する図である。この例では、複数のグリーンシートに溶液として接着剤を塗布する。グリーンシートは被塗布部材の一例であり、接着剤は液体の一例である。

【0030】

まず、ステップＳ１において、図９（ａ）に示すように、トレイ４３内に溶液８０を供給する。溶液８０は、例えばトリアセチン、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）及び非イオン系界面活性剤の混合液である。非イオン系界面活性剤としては、例えばトリトンＸ（商品名）を用いることができる。溶液８０の粘度は限定されないが、グリーンシートの接着剤として用いる溶液８０の粘度は、例えば１０ｍＰａ・ｓ以上である。溶液８０の供給の際には、整膜スキージ７１及びならしスキージ７２は、予め定められた待機位置に位置させておく。待機位置は、例えば、テーブル４１の上面から、Ｚ１側に予め定められた距離だけ離れた位置である。なお、溶液８０の粘度によっては、溶液８０が濡れ広がりにくく、テーブル４１の上面の一部に円頂状に供給されてもよい。

【0031】

次に、ステップＳ２において、トレイ４３に収容された溶液８０から第１液膜を形成する。第１液膜の形成では、まず、図９（ｂ）に示すように、エアシリンダ７６によりならしスキージ７２を下降させる。このとき、ならしスキージ７２の下端は、テーブル４１の上面に接触させず、テーブル４１の上面との間に、形成しようとする第１液膜の厚さと等しい距離を確保する。そして、図１０（ａ）に示すように、ボールねじ４７によりならしスキージ７２をＹ１側に移動させる。この結果、溶液８０の表面がならされ、所定の膜厚を有する第１液膜８１が溶液８０から形成される。ならしスキージ７２のＹ１－Ｙ２方向での１回の移動だけでは所定の膜厚を有する第１液膜８１が形成されない場合には、ならしスキージ７２のＹ１－Ｙ２方向での移動を複数回行ってもよい。なお、整膜スキージ７１はならしスキージ７２と共通のＹ軸可動部材４６に取り付けられているため、ならしスキージ７２の移動に伴って整膜スキージ７１もＹ１－Ｙ２方向に移動する。整膜スキージ７１の下端がならしスキージ７２の下端よりも上方にあれば、整膜スキージ７１が溶液８０に接触してもよい。

【0032】

次に、ステップＳ３において、第１液膜８１よりも薄い第２液膜を第１液膜８１から形成する。第２液膜の形成では、まず、図１０（ｂ）に示すように、エアシリンダ７６によりならしスキージ７２を上昇させ、かつエアシリンダ７５により整膜スキージ７１を下降させる。このとき、整膜スキージ７１の下端は、テーブル４１の上面に接触させず、テーブル４１の上面との間に、形成しようとする第２液膜の厚さと等しい距離を確保する。

【0033】

そして、図１１（ａ）に示すように、ボールねじ４７により整膜スキージ７１をＹ２側に移動させる。この結果、所定の膜厚を有する第２液膜８２が第１液膜８１から形成される。なお、ならしスキージ７２は整膜スキージ７１と共通のＹ軸可動部材４６に取り付けられているため、整膜スキージ７１の移動に伴ってならしスキージ７２もＹ１－Ｙ２方向に移動する。第２液膜８２の厚さは、例えば数十μｍ程度である。

【0034】

なお、整膜スキージ７１がテーブル４１の上面に接触していなくても、整膜スキージ７１により堰き止められ、整膜スキージ７１とＹ２側の枠４２との間に溜まった溶液８０は第２液膜８２に向けて流れ出しにくい。特に、溶液８０の粘度が１０ｍＰａ・ｓ以上であれば、溶液８０は第２液膜８２に向けて流れ出しにくい。

【0035】

次に、ステップＳ４において、ローラ２０に第２液膜８２（溶液８０）を付着させる。ローラ２０への付着では、まず、電空レギュレータ６６によってエアシリンダ６３を駆動し、図１１（ｂ）に示すように、ローラ２０を下降させてテーブル４１の上面に、荷重Ｆ１１で押し付ける。この結果、ローラ２０のシート２２が第２液膜８２に接触する。ローラ２０に第２液膜８２（溶液８０）を付着させる間、整膜スキージ７１は、溶液８０のうちで第２液膜８２に含まれない部分をトレイ４３の内面と整膜スキージ７１との間に押しとどめていることが好ましい。

【0036】

次に、図１２（ａ）に示すように、ローラ２０をテーブル４１の上面に荷重Ｆ１１で押し付けながら、Ｙ軸駆動装置１１によりローラ２０をＹ２側に予め定められた距離だけ移動させる。移動の際にローラ２０が回転し、ローラ２０の周面に第２液膜８２が付着する。例えば、スポンジ製のシート２２に第２液膜８２が吸収される。ローラ２０の移動距離は限定されないが、例えばローラ２０の１回転分とする。荷重Ｆ１１は、ローラ２０の周面に第２液膜８２が付着しやすい程度の荷重とする。

【0037】

そして、ローラ２０を移動させた後には、電空レギュレータ６６によってエアシリンダ６３を駆動し、図１２（ｂ）に示すように、ローラ２０を上昇させて第２液膜８２から離す。

【0038】

次に、ステップＳ５において、グリーンシートに塗膜を形成する。塗膜の形成では、まず、図１３（ａ）に示すように、固定装置５０にグリーンシート５１を固定させる。例えば、固定装置５０は静電吸着によりグリーンシート５１を固定する。また、Ｙ軸駆動装置１１によりローラ２０を液体付着部４０の上方から固定装置５０の上方まで移動させる。そして、電空レギュレータ６６によってエアシリンダ６３を駆動し、ローラ２０を下降させてグリーンシート５１の上面に荷重Ｆ２１で押し付ける。

【0039】

次に、図１３（ｂ）に示すように、ローラ２０をグリーンシート５１の上面に荷重Ｆ２１で押し付けながら、Ｙ軸駆動装置１１によりローラ２０をＹ２側に移動させる。移動の際にローラ２０が回転し、ローラ２０の周面に付着していた第２液膜８２の少なくとも一部がグリーンシート５１の上面に付着し、塗膜５２が形成される。荷重Ｆ２１は、ローラ２０の周面から第２液膜８２がグリーンシート５１の上面に移動しやすい程度の荷重とする。荷重Ｆ２１が荷重Ｆ１１と相違していてもよい。例えば、荷重Ｆ２１が荷重Ｆ１１より大きくてもよい。

【0040】

その後、図１４（ａ）に示すように、ローラ２０をグリーンシート５１の上面に荷重Ｆ２２で押し付けながら、Ｙ軸駆動装置１１によりローラ２０をＹ１－Ｙ２方向で往復移動させる。往復移動の際にローラ２０が回転し、ローラ２０の周面に付着していた第２液膜８２がグリーンシート５１の上面に更に付着し、塗膜５２が厚くなる。荷重Ｆ２２は、ローラ２０の周面から第２液膜８２がグリーンシート５１の上面に更に移動しやすい程度の荷重とする。荷重Ｆ２２が荷重Ｆ２１及びＦ２１と相違していてもよい。例えば、荷重Ｆ２２が荷重Ｆ１１及びＦ２１より小さくてもよい。第２液膜８２の全部がグリーンシート５１の上面に移動することが好ましいが、第２液膜８２の一部がローラ２０の周面に残存してもよい。往復移動の回数は、例えば、第２液膜８２のグリーンシート５１の上面への移動が実質的に生じなくなる程度とする。往復移動の回数を予め定めておいてもよい。

【0041】

そして、ローラ２０を往復移動させた後には、電空レギュレータ６６によってエアシリンダ６３を駆動し、図１４（ｂ）に示すように、ローラ２０を上昇させて塗膜５２から離す。

【0042】

次に、ステップＳ６において、所定数の処理、すなわち所定数のグリーンシート５１への塗膜５２の形成が完了したか判断する。所定数の処理が完了していれば、そのまま終了する。

【0043】

一方、所定数の処理が完了していなければ、トレイ４３内の溶液８０の残量が所定値以上であるか判断する。すなわち、塗膜５２の形成毎にトレイ４３内の溶液８０の量が減少するため、続けて処理を実行できる程度の溶液８０が残っているか判断する。そして、トレイ４３内の溶液８０の残量が所定値以上であれば、ステップＳ２に戻り、トレイ４３内に残存している溶液８０から第１液膜８１を形成し、その後にステップＳ３以降の処理を行う。また、トレイ４３内の溶液８０の残量が所定値未満であれば、ステップＳ１に戻り、溶液８０を供給し、その後にステップＳ２以降の処理を行う。

【0044】

このような塗布装置１を用いた塗布方法によれば、ローラ２０に付着させる第２液膜８２の厚さを一定にすることができるため、ステップＳ４でローラ２０を移動させる距離を一定にすることで、ローラ２０に付着させる溶液８０の量が少ない場合であっても、ローラ２０に付着させる溶液８０の量の変動を抑制することができる。このため、グリーンシート５１内での塗膜５２の厚さの均一性を向上して塗布むらを抑制することができ、また、複数のグリーンシート５１の間での塗膜５２の厚さの均一性を向上することができる。

【0045】

また、塗布装置１においては、電空レギュレータ６６を用いてエアシリンダ６３を制御しており、ローラ２０をテーブル４１又はグリーンシート５１の上面に押し付ける際の荷重が可変である。従って、ローラ２０に第２液膜８２（溶液８０）を付着させやすくしながら、ローラ２０からグリーンシート５１へと第２液膜８２（溶液８０）を移動させやすくすることができる。このため、塗膜５２の厚さに優れた均一性を得ることができる。なお、ローラ２０をテーブル４１又はグリーンシート５１の上面に押し付ける際の荷重は、モータ駆動等により可変としてもよい。

【0046】

被塗布部材はグリーンシート５１に限定されず、他の部材が用いられてもよい。また、溶液８０に代えて他の液体が被塗布部材に塗布されてもよい。

【0047】

塗布装置１は積層体の製造方法に用いることができる。例えば、接着成分を含む溶液８０を用いてグリーンシート５１の上に塗膜５２を形成し、塗膜５２を介してグリーンシート５１に他のグリーンシートを貼り付けることで積層体を製造することができる。例えば、積層体として静電チャック等のセラミック積層体を製造することができる。

【0048】

以上、好ましい実施の形態等について詳説したが、上述した実施の形態等に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態等に種々の変形及び置換を加えることができる。

【符号の説明】

【0049】

１ 塗布装置
２０ ローラ
２１ 軸
２２ シート
３０ ローラ駆動部
４０ 液体付着部
４３ トレイ
５０ 固定装置
５１ グリーンシート
５２ 塗膜
７１ 整膜スキージ
７２ ならしスキージ
８０ 溶液

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】