特開2024-144101金属含有フォトレジスト用現像液組成物、およびこれを用いた現像段階を含むパターン形成方法

発明の名称　金属含有フォトレジスト用現像液組成物、およびこれを用いた現像段階を含むパターン形成方法

出願人　三星エスディアイ株式会社　（識別番号 590002817）

　　　　特許公開件数ランキング 78 位（339件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 236 位（127件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-144101

公報発行日　2024年10月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-144101

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