特開 2024-145539 造形ノズル

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024145539

(43)【公開日】2024-10-15

(54)【発明の名称】造形ノズル

(51)【国際特許分類】

   B22F 12/53 20210101AFI20241004BHJP

   B29C 64/153 20170101ALI20241004BHJP

   B29C 64/268 20170101ALI20241004BHJP

   B29C 64/209 20170101ALI20241004BHJP

   B33Y 10/00 20150101ALI20241004BHJP

   B22F 12/40 20210101ALI20241004BHJP

   B22F 10/25 20210101ALI20241004BHJP

【ＦＩ】

B22F12/53

B29C64/153

B29C64/268

B29C64/209

B33Y10/00

B22F12/40

B22F10/25

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023057935

(22)【出願日】2023-03-31

(71)【出願人】

【識別番号】000000239

【氏名又は名称】株式会社荏原製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100106208

【弁理士】

【氏名又は名称】宮前 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100146710

【弁理士】

【氏名又は名称】鐘ヶ江 幸男

(74)【代理人】

【識別番号】100186613

【弁理士】

【氏名又は名称】渡邊 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100163061

【弁理士】

【氏名又は名称】山田 祐樹

(72)【発明者】

【氏名】篠崎 弘行

(72)【発明者】

【氏名】谷田 雄亮

【テーマコード（参考）】

4F213

4K018

【Ｆターム（参考）】

4F213WA25

4F213WB01

4F213WL03

4F213WL13

4F213WL32

4F213WL43

4F213WL74

4F213WL76

4K018CA44

4K018EA51

4K018EA60

(57)【要約】

【課題】粉体の利用率を向上させることができる技術を提供する。
【解決手段】造形ノズル２０は、立体物が造形される造形エリアに立体物の材料となる粉体を供給するとともに、供給された粉体にビームを照射することで当該粉体を溶融させるように構成された、造形ノズル２０であって、ビームが通過するビーム通路２５を有する内筒２３と、内筒２３の外側に配置された外筒２４であって、内筒２３の外面２８と外筒２４の内面２７との間に粉体が通過する粉体通路２６を有する、外筒２４と、を備え、ビーム通路２５の先端２９の内側寸法（Ｄ１）は、外筒２４の先端３０の内側寸法（Ｄ２）よりも大きい。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

立体物が造形される造形エリアに前記立体物の材料となる粉体を供給するとともに、供給された前記粉体にビームを照射することで当該粉体を溶融させるように構成された、造形ノズルであって、
前記ビームが通過するビーム通路を有する内筒と、
前記内筒の外側に配置された外筒であって、前記内筒の外面と前記外筒の内面との間に前記粉体が通過する粉体通路を有する、外筒と、を備え、
前記ビーム通路の先端の内側寸法は、前記外筒の先端の内側寸法よりも大きい、造形ノズル。

【請求項2】

前記ビーム通路の先端は、前記外筒の先端よりも、前記造形ノズルの軸方向で基端側に位置している、請求項１に記載の造形ノズル。

【請求項3】

前記外筒は、前記外筒の先端に近づくほど前記外筒の内側寸法が小さくなるように構成された縮径部位を有し、
前記ビーム通路の先端は、前記外筒の前記縮径部位の内部に位置している、請求項１に記載の造形ノズル。

【請求項4】

前記造形ノズルは、立体物を前記造形エリアに造形するように構成された付加製造装置に適用されている、請求項１に記載の造形ノズル。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、造形ノズルに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、造形エリアに立体物の材料となる粉体を供給するとともに、この供給された粉体にビームを照射することで当該粉体を溶融させるように構成された、造形ノズルが知られている（例えば、特許文献１参照）。具体的には、この特許文献１に例示されいている造形ノズルは、ビームが通過するビーム通路を有する内筒と、内筒の外側に配置された外筒と、を備えている。また、内筒の外面と外筒の内面との間に、粉体が通過する粉体通路が設けられている。そして、内筒におけるビーム通路の先端の内側寸法は、外筒の先端の内側寸法以下になっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第４２９９１５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述したような従来の造形ノズルの場合、ビーム通路の先端の内側寸法が外筒の先端の内側寸法以下であるので、粉体通路を通過して造形エリアに供給される粉体が、造形エリアに照射されるビームよりも外側に広がり易い構造になっている。このため、従来の技術は、造形ノズルから造形エリアに供給される粉体における立体物の造形に実際に寄与する粉体の割合（すなわち、「粉体の利用率」）を向上させるという観点において、改善の余地があった。

【0005】

本発明は、上記のことを鑑みてなされたものであり、粉体の利用率を向上させることができる技術を提供することを目的の一つとする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

（態様１）
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る造形ノズルは、立体物が造形される造形エリアに前記立体物の材料となる粉体を供給するとともに、供給された前記粉体にビームを照射することで当該粉体を溶融させるように構成された、造形ノズルであって、前記ビームが通過するビーム通路を有する内筒と、前記内筒の外側に配置された外筒であって、前記内筒の外面と前記外筒の内面との間に前記粉体が通過する粉体通路を有する、外筒と、を備え、前記ビーム通路の先端の内側寸法は、前記外筒の先端の内側寸法よりも大きい。

【0007】

この態様によれば、例えば、ビーム通路の先端の内側寸法が外筒の先端の内側寸法以下の場合に比較して、粉体通路を通過して造形エリアに供給される粉体が、造形エリアに照射されるビームよりも外側に広がることを抑制することができる。これにより、粉体の利用率を向上させることができる。

【0008】

（態様２）
上記の態様１において、前記ビーム通路の先端は、前記外筒の先端よりも、前記造形ノズルの軸方向で基端側に位置していてもよい。

【0009】

（態様３）
上記の態様１又は２において、前記外筒は、前記外筒の先端に近づくほど前記外筒の内側寸法が小さくなるように構成された縮径部位を有し、前記ビーム通路の先端は、前記外筒の前記縮径部位の内部に位置していてもよい。

【0010】

（態様４）
上記の態様１～３のいずれか１態様において、前記造形ノズルは、立体物を前記造形エリアに造形するように構成された付加製造装置に適用されていてもよい。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１（Ａ）及び図１（Ｂ）は、実施形態に係る付加製造装置を説明するための模式図である。

【図2】実施形態に係る造形ノズルの第１部位の模式的な断面図である。

【図3】実施形態に係る造形ノズルの先端部近傍領域（Ａ１部分）を拡大して示す模式的な断面図である。

【図4】実施形態に係る造形ノズルのＢ１－Ｂ１線断面図である。

【図5】比較例に係る造形ノズルの第１部位の模式的な断面図である。

【図6】図６（Ａ）は比較例に係る造形ノズルによって造形された蛇行状の立体物の写真の一例である。図６（Ｂ）は実施例に係る造形ノズルによって造形された蛇行状の立体物の写真の一例である。

【図7】図７（Ａ）は比較例に係る造形ノズルで造形された螺旋状の立体物の写真の一例である。図７（Ｂ）は実施例に係る造形ノズルで造形された螺旋状の立体物の写真の一例である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

（実施形態）
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、図面は、特徴の理解を容易にするために模式的に図示されており、各構成要素の寸法比率等は実際のものと同じであるとは限らない。また、図面には、必要に応じて、Ｘ－Ｙ－Ｚの直交座標が図示されている。この直交座標のうち、Ｚ方向は上方に相当し、－Ｚ方向は下方（重力が作用する方向）に相当する。

【0013】

本実施形態に係る造形ノズル２０は、一例として、材料を積層することによって立体物を造形するように構成された付加製造装置１（Ａｄｉｔｉｖｅ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ装置（「ＡＭ装置」））に適用されている。そこで、まずは、この付加製造装置１の概略について説明し、次いで、造形ノズル２０の詳細について説明する。

【0014】

図１（Ａ）及び図１（Ｂ）は、本実施形態に係る付加製造装置１を説明するための模式図である。具体的には、図１（Ａ）は、付加製造装置１の主要な構成を模式的に示す平面図であり、図１（Ｂ）は、付加製造装置１の造形ノズル２０の周辺構成を模式的に示す正面図である。なお、図１（Ａ）において、後述する材料供給装置６やビーム発生装置７やシールドガス供給装置８の図示は省略されている。

【0015】

付加製造装置１は、造形エリア２と、移動軸（第１移動軸３及び第２移動軸４）と、材料供給装置６と、ビーム発生装置７と、造形ノズル２０と、制御装置１０とを備えている。

【0016】

制御装置１０は、付加製造装置１の動作を統合的に制御するための装置である。具体的には、本実施形態に係る制御装置１０は、マイクロコンピュータを備えている。このマイクロコンピュータは、プロセッサ１１や、非一時的な記憶媒体としての記憶装置１２、等
を備えている。制御装置１０においては、プロセッサ１１が、記憶装置１２に記憶されているプログラムの指令に基づいて作動することで、付加製造装置１の動作を制御する。

【0017】

造形エリア２は、立体物１００（この符号は、例えば、後述する図２に例示されている）が造形されるエリアである。本実施形態に係る造形エリア２は、具体的には、所定のテーブル（造形テーブル）の上面に設けられている。この造形エリア２の上に立体物１００が造形される。

【0018】

第１移動軸３は、所定方向（本実施形態ではＸ方向）に延在している。第２移動軸４は、第１移動軸３に垂直な方向（本実施形態ではＹ方向）に延在している。図１（Ｂ）を参照して、第２移動軸４は、脚部材５を介して、第１移動軸３に接続されている。第１移動軸３は、例えばボールねじを有する駆動機構を備えており、この駆動機構によって、脚部材５を介して第１移動軸３に接続された第２移動軸４をＸ方向及び－Ｘ方向に移動させる。

【0019】

材料供給装置６は、立体物１００の材料となる粉体（Ｐｄ）を造形ノズル２０に供給するための装置である。具体的には、材料供給装置６は、造形ノズル２０に接続されており、非溶融状態の粉体を造形ノズル２０の後述する粉体通路２６に供給する。造形ノズル２０に供給された粉体は、造形ノズル２０から造形エリア２に向けて供給される。

【0020】

なお、材料供給装置６は、粉体を効果的に造形ノズル２０の粉体通路２６に流動させるために、粉体のみならず、この粉体を輸送するためのガス（これを「キャリアガス」と称する）も粉体通路２６に供給することが好ましい。実際、本実施形態に係る材料供給装置６は、粉体をキャリアガスとともに粉体通路２６に供給している。このキャリアガスとして、例えば、窒素等の不活性ガスを用いることができる。

【0021】

また、粉体の具体的な材質は特に限定されるものではなく、樹脂や金属等、公知の材質を用いることができる。本実施形態では、粉体の材質の具体例として、金属を用いている。

【0022】

ビーム発生装置７は、ビーム（Ｂｍ）を発生させるための装置である。ビーム発生装置７は、造形ノズル２０と接続されており、ビーム発生装置７が発生したビームは造形ノズル２０から照射される。ビーム発生装置７が発生するビームの具体的な種類は、粉体を溶融できるものであれば特に限定されず、例えば、レーザービームや電子ビーム等を用いることができる。本実施形態に係るビーム発生装置７は、一例として、レーザービームを発生させる。

【0023】

造形ノズル２０は、造形エリア２に立体物１００の材料となる粉体を供給するとともに、この供給された粉体にビームを照射することで当該粉体を溶融させるように構成されている。造形ノズル２０から照射されたビームによって溶融された材料が凝固することで、造形エリア２に立体物１００が造形される。

【0024】

なお、造形ノズル２０は、ビームを照射する際に、材料の酸化を抑制するためのシールドガス（例えば、不活性ガス）を噴射することが好ましい。具体的には、この場合、付加製造装置１は、例えば、図１（Ｂ）に例示するように、シールドガスを造形ノズル２０に供給するためのシールドガス供給装置８（例えば、ガスボンベ等）を備えている。

【0025】

本実施形態に係る造形ノズル２０は、第１部位２１と第２部位２２とを備えている。第１部位２１は、第２部位２２に接続されるとともに、第２部位２２よりも造形ノズル２０の先端側に配置されている。

【0026】

造形ノズル２０は、前述した第２移動軸４に接続されている。具体的には、本実施形態では、一例として、造形ノズル２０の第２部位２２が第２移動軸４に接続されている。第２移動軸４は、例えばボールねじを有する駆動機構を備えており、この駆動機構によって、造形ノズル２０をＹ方向及び－Ｙ方向に移動させる。前述したように、第２移動軸４がＸ方向及び－Ｘ方向に移動することができるので、本実施形態に係る造形ノズル２０は、Ｘ方向、－Ｘ方向、Ｙ方向、及び、－Ｙ方向に移動することができる。

【0027】

なお、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）においては、１つの第２移動軸４に、１つの造形ノズル２０が配置されているが、この構成に限定されるものではない。１つの第２移動軸４に、複数の造形ノズル２０が配置されていてもよい。また、付加製造装置１は、第２移動軸４、及び、造形ノズル２０を複数組、備えていてもよい。

【0028】

以上のような付加製造装置１は、制御装置１０に記憶された三次元データに基づいて造形ノズル２０がＸ方向、－Ｘ方向、Ｙ方向、及び、－Ｙ方向に移動しながら、造形エリア２に立体物を造形する。

【0029】

なお、付加製造装置１は、造形エリア２、又は、第１移動軸３を昇降させるように構成された昇降軸を備えていてもよい。この場合、造形ノズル２０を造形エリア２に対して昇降させながら（Ｚ方向、又は、－Ｚ方向に変位させながら）、立体物１００を造形することができる。

【0030】

続いて、造形ノズル２０の詳細について説明する。図２は、造形ノズル２０の第１部位２１の模式的な断面図である。図３は、造形ノズル２０の先端部近傍領域（Ａ１部分）を拡大して示す模式的な断面図である。図４は、造形ノズル２０のＢ１－Ｂ１線断面図である。なお、図２及び図３には、造形ノズル２０の中心軸線ＸＬが例示されている。

【0031】

図２、図３及び図４を参照して、造形ノズル２０は、内筒２３と、外筒２４とを備えている。外筒２４は内筒２３の外側に配置されている（換言すると、外筒２４は、造形ノズル２０の径方向で、内筒２３の外周側に配置されている）。なお、外筒２４の中心軸線ＸＬは内筒２３の中心軸線ＸＬと一致している（すなわち、外筒２４は内筒２３と同軸上に配置されている）。

【0032】

図３及び図４を参照して、内筒２３は、その内側に、ビーム（Ｂｍ）が通過するビーム通路２５を有している。具体的には、ビーム通路２５は、前述したビーム発生装置７と接続されており、このビーム発生装置７が発生したビームがビーム通路２５を通過する。本実施形態において、ビーム通路２５の先端２９（ビームの流れ方向で下流端）は、一例として、内筒２３の先端と一致している。すなわち、本実施形態において、ビーム通路２５の先端２９は内筒２３の先端でもある。

【0033】

なお、前述したように、造形ノズル２０がビームとともにシールドガスを噴射する場合、このビーム通路２５には、ビームの他にシールドガスも通過する。また、本実施形態に係るビーム通路２５は、ビーム通路２５を通過したビームが造形エリア２の所定箇所（すなわち、加工点）に集束するように構成されている。

【0034】

内筒２３の外面２８（換言すると、外周面）と外筒２４の内面２７（換言すると、内周面）との間には、粉体（Ｐｄ）が通過するための粉体通路２６が設けられている。具体的には、粉体通路２６は、前述した材料供給装置６と接続されており、材料供給装置６から供給された粉体が粉体通路２６を通過する。

【0035】

図３を参照して、本実施形態において、ビーム通路２５の先端２９の内側寸法（Ｄ１）は、外筒２４の先端３０の内側寸法（Ｄ２）よりも大きい。

【0036】

なお、Ｄ２に対するＤ１の比率（Ｄ１／Ｄ２）の具体的な値は、特に限定されるものではないが、一例を挙げると、Ｄ２に対するＤ１の比率として、１．２以上６．０以下の範囲から選択された任意の値（この場合、Ｄ１はＤ２の１．２倍以上６．０倍以下になる）、又は、１．５以上６．０以下の範囲から選択された任意の値、又は、２．０以上６．０以下の範囲から選択された任意の値を用いることができる。

【0037】

図２や図３に例示するように、ビーム通路２５の先端２９は、外筒２４の先端３０よりも、造形ノズル２０の軸方向（中心軸線ＸＬに沿った方向）で基端側（先端とは反対側であり、図３ではＺ方向の側）に位置していることが好ましい。この構成によれば、ビーム通路２５の先端２９の内側寸法（Ｄ１）を外筒２４の先端３０の内側寸法（Ｄ２）よりも大きくすることが容易にできる。

【0038】

また、図２や図３に例示するように、外筒２４は、外筒２４の先端３０に近づくほど外筒２４の内側寸法が小さくなるように構成された縮径部位３１を有していてもよい。この場合、内筒２３のビーム通路２５の先端２９は、この縮径部位３１の内部に位置していることが好ましい。この構成によれば、ビーム通路２５の先端２９の内側寸法（Ｄ１）を外筒２４の先端３０の内側寸法（Ｄ２）よりも大きくすることが容易にできる。また、この構成によれば、粉体通路２６を通過した粉体を、ビーム通路２５を通過したビームとともに、造形エリア２の所定箇所（加工点）に効果的に集束させることが容易にできる。

【0039】

なお、前述したように本実施形態に係るビーム通路２５の先端２９は外筒２４の先端３０よりも基端側に位置しているので、ビーム通路２５を通過したビームは、ビーム通路２５の先端２９と外筒２４の先端３０との間の空間ＳＰ１を通過した後に、外筒２４の先端３０から、造形エリア２に向けて照射される。これと同様に、粉体通路２６を通過した粉体は、この空間ＳＰ１を通過した後に、外筒２４の先端３０から、造形エリア２に向けて供給（吐出）される。

【0040】

また、本実施形態において、ビーム通路２５の先端２９の形状は、一例として円形である。また、外筒２４の先端３０の形状も、一例として円形である。この場合、ビーム通路２５の先端２９の内側寸法（Ｄ１）は、ビーム通路２５の先端２９の内径に相当する。同様に、外筒２４の先端３０の内側寸法（Ｄ２）は、外筒２４の先端３０の内径に相当する。

【0041】

但し、ビーム通路２５の先端２９や外筒２４の先端３０の形状は、円形に限定されるものではなく、他の形状でもよい。この一例を挙げると、ビーム通路２５の先端２９の形状は四角形でもよい。これと同様に、外筒２４の先端３０の形状も四角形でもよい。この場合、ビーム通路２５の先端２９の内側寸法（Ｄ１）は、ビーム通路２５の先端２９の四角形の対角線のうち最長の対角線の長さに相当する。同様に、外筒２４の先端３０の内側寸法（Ｄ２）は、外筒２４の先端３０の四角形の対角線のうち最長の対角線の長さに相当する。

【0042】

続いて、上述した実施形態の作用効果について、比較例と比較しつつ説明する。図５は、比較例に係る造形ノズル２００の第１部位２１０の模式的な断面図である。

【0043】

比較例に係る造形ノズル２００は、ビーム通路２５の先端２９の内側寸法（Ｄ１）が外筒２４の先端３０の内側寸法（Ｄ２）以下である点において、前述した実施形態に係る造形ノズル２０（図３）と異なっている。具体的には、図５においては、Ｄ１はＤ２よりも
小さい。また、比較例に係る造形ノズル２００は、ビーム通路２５の先端２９が外筒２４の先端３０に一致している点においても、前述した実施形態に係る造形ノズル２０と異なっている。

【0044】

比較例に係る造形ノズル２００の場合、粉体通路２６を通過して造形エリア２に供給される粉体が、ビーム通路２５を通過して造形エリア２に照射されるビームよりも外側に広がり易い構造になっている。換言すると、造形エリア２に照射される粉体が造形エリア２に照射されるビームよりも外側にはみ出易い構造になっている。この場合、造形ノズル２００から造形エリア２に供給される粉体における立体物１００の造形に実際に寄与する粉体の割合（すなわち、「粉体の利用率」）は高いとはいえない。

【0045】

これに対して本実施形態によれば、前述したように、ビーム通路２５の先端２９の内側寸法（Ｄ１）が外筒２４の先端３０の内側寸法（Ｄ２）よりも大きいので、粉体通路２６を通過して造形エリア２に供給される粉体が、造形エリア２に照射されるビームよりも外側に広がることを抑制することができる。すなわち、造形ノズル２０から造形エリア２に供給される粉体の「集束率」を向上させることができる。これにより、粉体の利用率を向上させることができる。この結果、少量の粉体供給量で立体物１００を造形することができる。

【0046】

また、本実施形態によれば、上述したように造形ノズル２０から造形エリア２に供給される粉体の集束率を向上させることができるので、造形される立体物１００の形状を容易に制御することができる。

【0047】

また、本実施形態によれば、上述したように造形ノズル２０から造形エリア２に供給される粉体の集束率を向上させることができるので、粉体通路２６を通過する粉体の流速を予め設定された基準値よりも遅くしても、立体物１００を容易に造形することができる。これにより、本実施形態によれば、粉体通路２６の粉体の流速が速過ぎることに起因して造形エリア２の粉体が吹き飛ばされることを抑制することができる。この点においても、本実施形態によれば、造形される立体物１００の形状を容易に制御することができる。

【0048】

（実施例）
上述した実施形態の効果（特に、立体物１００の形状の制御性）に関して、実験によって確認した。これについて、以下に説明する。図６（Ａ）は比較例に係る造形ノズル２００によって造形された蛇行状の立体物１００の写真の一例である。図６（Ｂ）は実施例に係る造形ノズル２０によって造形された蛇行状の立体物１００の写真の一例である。具体的には、図６（Ａ）に係る立体物１００は、図５に例示した比較例に係る造形ノズル２００を用いて造形されたものであり、図６（Ｂ）に係る立体物１００は、図３に例示した実施形態に係る造形ノズル２０を用いて造形されたものである。図６（Ａ）の場合も図６（Ｂ）の場合も、使用した造形ノズルが違う点以外は、同じ条件下で立体物１００を造形した。

【0049】

図６（Ｂ）に係る実施例を図６（Ａ）に係る比較例と比較すると分かるように、実施例の方が比較例よりも、立体物１００の揺らぎが抑制されており、立体物１００の外縁（すなわち、造形ビートの外縁）がシャープになっている。この実験結果からも、実施例に係る造形ノズル２０の方が比較例に係る造形ノズル２００よりも立体物１００の形状を制御し易いことが分かる。

【0050】

図７（Ａ）は比較例に係る造形ノズル２００で造形された螺旋状の立体物１００の写真の一例である。図７（Ｂ）は実施例に係る造形ノズル２０で造形された螺旋状の立体物１００の写真の一例である。なお、図７（Ａ）に係る立体物１００は、図５に例示した比較
例に係る造形ノズル２００を用いて造形されたものであり、図７（Ｂ）に係る立体物１００は、図３に例示した実施形態に係る造形ノズル２０を用いて造形されたものである。図７（Ａ）の場合も図７（Ｂ）の場合も、使用した造形ノズルが違う点以外は、同じ条件下で立体物１００を造形した。

【0051】

図７（Ｂ）を図７（Ａ）と比較すると分かるように、実施例の方が比較例よりも、立体物１００の揺らぎが抑制されており、立体物１００の外縁（すなわち、造形ビートの外縁）がシャープになっている。この実験結果からも、実施例に係る造形ノズル２０の方が比較例に係る造形ノズル２００よりも立体物１００の形状を制御し易いことが分かる。

【0052】

以上、本発明の実施形態等について詳述したが、本発明はかかる特定の実施形態等に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

【符号の説明】

【0053】

１ 付加製造装置
２ 造形エリア
２０ 造形ノズル
２３ 内筒
２４ 外筒
２５ ビーム通路
２６ 粉体通路
２７ 外筒の内面
２８ 内筒の外面
２９ ビーム通路の先端
３０ 外筒の先端
３１ 縮径部位
１００ 立体物
Ｂｍ ビーム
Ｐｄ 粉体
Ｄ１ ビーム通路の先端の内側寸法
Ｄ２ 外筒の先端の内側寸法

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】