特開 2024-148213 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024148213

(43)【公開日】2024-10-18

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   B23Q 11/00 20060101AFI20241010BHJP

   B24B 47/26 20060101ALI20241010BHJP

   B24B 7/04 20060101ALI20241010BHJP

   B23Q 1/72 20060101ALI20241010BHJP

   B23B 19/02 20060101ALI20241010BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20241010BHJP

   F16F 15/02 20060101ALI20241010BHJP

【ＦＩ】

B23Q11/00 A

B24B47/26

B24B7/04 A

B23Q1/72 Z

B23B19/02 Z

H01L21/304 631

F16F15/02 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023061136

(22)【出願日】2023-04-05

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 史哲

(72)【発明者】

【氏名】加計 陽介

【テーマコード（参考）】

3C011

3C034

3C043

3C045

3C048

3J048

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C011AA04

3C034AA08

3C034AA13

3C034BB15

3C034BB25

3C034BB73

3C034BB82

3C034CA24

3C034CB11

3C034DD10

3C034DD20

3C043BA04

3C043BA09

3C043CC04

3C043CC12

3C043DD06

3C043DD14

3C043EE01

3C045FD03

3C045FD06

3C045FD20

3C048BC04

3C048DD06

3C048DD16

3C048EE10

3J048AD07

3J048BF07

3J048CB17

3J048CB23

3J048EA07

5F057AA05

5F057AA53

5F057CA14

5F057DA11

5F057FA02

5F057FA13

5F057GA15

(57)【要約】      （修正有）

【課題】加工工具の振動を低減する。
【解決手段】被加工物を加工する加工装置２であって、被加工物１１を保持するチャックテーブル１６と、円柱状のスピンドルと、スピンドルの一部を回転可能に収容するスピンドルハウジング３４と、を有し、スピンドルの下端部には加工工具を装着可能である加工ユニット３２ａ、３２ｂと、スピンドルハウジング３４に固定され、スピンドルの長手方向と交差する方向に沿って配置されている梁部と、梁部の長手方向において梁部に対してスライド可能に装着された錘と、を備え、梁部における錘の位置を調整することによって、スピンドルの回転時に生じる加工ユニットの振動を低減可能である加工装置を提供する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を加工する加工装置であって、
該被加工物を保持するチャックテーブルと、
円柱状のスピンドルと、該スピンドルの一部を回転可能に収容するスピンドルハウジングと、を有し、該スピンドルの下端部には加工工具を装着可能である加工ユニットと、
該スピンドルハウジングに固定され、該スピンドルの長手方向と交差する方向に沿って配置されている梁部と、
該梁部の長手方向において該梁部に対してスライド可能に装着された錘と、
を備え、
該梁部における該錘の位置を調整することによって、該スピンドルの回転時に生じる該加工ユニットの振動を低減可能であることを特徴とする加工装置。

【請求項2】

該梁部及び該錘は、該梁部の該長手方向における該錘の位置を決める位置決め機構を含むことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物を加工する加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

携帯電話、パーソナルコンピュータ（ＰＣ：Personal Computer）等の電子機器には、半導体デバイスチップが搭載されている。半導体デバイスチップは、半導体ウェーハ（以下、単にウェーハ）を加工して製造される。

【0003】

例えば、ウェーハの表面側において互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって区画された各矩形領域にＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイスを形成した後、ウェーハの裏面側を研削装置で研削して薄化し、次いで、各分割予定ラインに沿ってウェーハを切削装置でデバイス単位に分割することで、半導体デバイスチップが製造される。

【0004】

研削装置は、円盤状のチャックテーブルを有する。チャックテーブルの上方には、研削ユニット（即ち、加工ユニット）が配置されている。研削ユニットは、円柱状のスピンドルと、スピンドルを回転可能に収容しているスピンドルハウジングと、を含む。

【0005】

スピンドルは、通常、研削装置の高さ方向に沿って配置されている。スピンドルの下端部には、円盤状のマウントを介して円環状の研削ホイール（即ち、加工工具）が装着されている。研削ホイールは、円環状の基台と、基台の下面側に配置された複数の研削砥石と、を有する。

【0006】

ウェーハを研削する際には、まず、ウェーハの表面側を吸引保持する。そして、チャックテーブル及びスピンドルを所定方向に回転させながら、研削ユニットを下方に移動させることで、研削ホイールでウェーハの裏面側を研削する（例えば、特許文献１参照）。

【0007】

ウェーハの研削時に、スピンドルの回転数が、研削ユニットが持つ固有の共振周波数（即ち、固有振動数）に一致すると、共振が生じる。なお、研削ユニットの固有振動数は、１つの値の周波数だけではなく、複数の値の周波数を含む場合もある。

【0008】

研削ユニットにおいて共振が生じると、一体的に回転するスピンドル及び研削ホイールの振動が増強され、スピンドル及び研削ホイールが、高さ方向に直交する水平面内で比較的激しく振動することになる。

【0009】

この様に、研削ホイールが水平面内で比較的激しく振動すると、研削時に、ウェーハの割れ、被研削面に形成されるチッピングの数の増加、その他の異常等の研削不良が発生する。同様の問題は、他の加工装置でも生じ得る。

【0010】

例えば、スピンドルハウジング、スピンドル、マウント、研磨ホイール（即ち、加工工具）を有する研磨ユニット（即ち、加工ユニット）を備える研磨装置や、スピンドルハウジング、スピンドル、マウント、バイト切削ホイール（即ち、加工工具）を有するバイト切削ユニット（即ち、加工ユニット）を備えるバイト切削装置等においても、同様に、加工工具の平面方向での振動が問題となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】特開２０１１－１４３５１６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、加工工具の振動を低減することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明の一態様によれば、被加工物を加工する加工装置であって、該被加工物を保持するチャックテーブルと、円柱状のスピンドルと、該スピンドルの一部を回転可能に収容するスピンドルハウジングと、を有し、該スピンドルの下端部には加工工具を装着可能である加工ユニットと、該スピンドルハウジングに固定され、該スピンドルの長手方向と交差する方向に沿って配置されている梁部と、該梁部の長手方向において該梁部に対してスライド可能に装着された錘と、を備え、該梁部における該錘の位置を調整することによって、該スピンドルの回転時に生じる該加工ユニットの振動を低減可能である加工装置が提供される。

【0014】

好ましくは、該梁部及び該錘は、該梁部の該長手方向における該錘の位置を決める位置決め機構を含む。

【発明の効果】

【0015】

本発明の一態様に係る加工装置は、スピンドルハウジングに固定された梁部と、梁部の長手方向において梁部に対してスライド可能に装着された錘と、を備える。当該加工装置では、梁部における錘の位置を調整することによって、スピンドルの回転時に生じる加工ユニットの振動を低減可能である。それゆえ、加工工具の振動を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】研削装置の斜視図である。

【図2】粗研削ユニットの側面図である。

【図3】図３（Ａ）は梁部及び錘の斜視図であり、図３（Ｂ）は梁部及び錘の一部断面側面図である。

【図4】梁部及び錘の第１変形例を示す斜視図である。

【図5】図５（Ａ）は梁部及び錘の第２変形例を示す斜視図であり、図５（Ｂ）は錘の底面側を示す斜視図である。

【図6】図６（Ａ）は梁部及び錘の第３変形例を示す斜視図であり、図６（Ｂ）は梁部及び錘の正面側の一部断面図である。

【図7】図７（Ａ）は第４変形例に係る梁部及び錘の正面側の一部断面図であり、図７（Ｂ）は、梁部に対する錘の固定が解除された状態を示す正面側の一部断面図である。

【図8】図８（Ａ）は研磨装置を示す側面図であり、図８（Ｂ）はバイト切削装置を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

（第１の実施形態）添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、研削装置（加工装置）２の斜視図である。なお、図１では、構成要素の一部を機能ブロックで示す。図１において、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向（前後方向）、及び、Ｚ軸方向（上下方向、研削送り方向）は互いに直交する。

【0018】

研削装置２は、構成要素を支持する直方体状の基台４を有する。基台４の前方（Ｙ軸方向の一方）側には凹部４ａが形成されており、この凹部４ａには、ウェーハ（被加工物）１１を搬送する搬送ロボット６が設けられている。

【0019】

搬送ロボット６は、多節リンク構造を有する。多節リンクの最上段のリンクの先端部には、エンドエフェクタと呼ばれるフォーク状のハンド部６ａが設けられている。ハンド部６ａは、ウェーハ１１に非接触でウェーハ１１を吸引保持できる。

【0020】

凹部４ａのＸ軸方向の両側には、カセット載置領域８ａ，８ｂが設けられている。カセット載置領域８ａ，８ｂの各々には、研削前の１以上のウェーハ１１を収容しているカセット１０が載置されている。

【0021】

ウェーハ１１は、円盤状の単結晶シリコンを有する。ウェーハ１１の表面１１ａ側には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイス（不図示）が形成されている。研削（加工）時にデバイスへのダメージを低減するために、表面１１ａには樹脂製の保護テープ１３が貼り付けられている。

【0022】

カセット載置領域８ａの後方（Ｙ軸方向の他方）には、搬送ロボット６により搬出されたウェーハ１１を所定の位置に決めるための位置決めユニット１２が設けられている。位置決めユニット１２で、ＸＹ平面での位置が調整されたウェーハ１１は、ローディングアーム１４によりチャックテーブル１６へ搬送される。

【0023】

位置決めユニット１２の後方には、円盤状のターンテーブル１８が設けられている。ターンテーブル１８は、１２０°又はその整数倍の単位で、時計回り又は反時計回りに回転可能である。

【0024】

ターンテーブル１８の上面側は、放射状に設けられた各々直線状の複数の仕切板により、３つの扇状領域に区切られており、各扇状領域には１つのチャックテーブル１６が設けられている。

【0025】

ローディングアーム１４に最も近い扇状領域に配置されるチャックテーブル１６の位置は、ウェーハ１１の搬入又は搬出が行われる搬入搬出位置Ａである。搬入搬出位置Ａから上面視で時計回りに略１２０度進んだ位置は、ウェーハ１１の粗研削が行われる粗研削位置Ｂである。

【0026】

また、搬入搬出位置Ａから上面視で反時計回りに略１２０度進んだ位置は、ウェーハ１１の仕上げ研削が行われる仕上げ研削位置Ｃである。各チャックテーブル１６は、ターンテーブル１８の回転により、搬入搬出位置Ａ、粗研削位置Ｂ及び仕上げ研削位置Ｃのいずれかに選択的に配置される。

【0027】

チャックテーブル１６は、非多孔質の緻密なセラミックスで形成された円盤状の枠体を有する。枠体の上面側には、円盤状の凹部が形成されており、この凹部には多孔質セラミックスで形成された円盤状の多孔質板が固定されている。

【0028】

多孔質板には、枠体に形成されている所定の流路を介して、真空ポンプ等の吸引源（不図示）から負圧が伝達される。枠体及び多孔質板の上面は、略面一となっており、ウェーハ１１を吸引保持する保持面１６ａとして機能する。

【0029】

なお、インフィード研削を行う研削装置２において、保持面１６ａは、中央部が外周部に比べて極僅かに（例えば、２０μｍだけ）突出する円錐形状を有する。チャックテーブル１６は、円錐形状の保持面１６ａの一部がＸＹ平面と略平行になる様に、その中心軸がＺ軸方向から僅かに傾けられている。

【0030】

各チャックテーブル１６は、サーボモータ等の回転駆動源（不図示）から回転の動力が伝達され、所定の回転軸の周りに回転可能である。この所定の回転軸は、上述の中心軸と略一致し、Ｚ軸方向から僅かに傾けられている。

【0031】

ターンテーブル１８の後方には、基台４の上面から突出する態様で、四角柱状の支持構造２０ａ，２０ｂが設けられている。支持構造２０ａ，２０ｂの前面側にはボールねじ式の研削送りユニット２２が設けられている。

【0032】

研削送りユニット２２は、支持構造２０ａ，２０ｂの前面に固定されたＺ軸方向に略平行な一対のＺ軸ガイドレール２４を有する。一対のＺ軸ガイドレール２４には、Ｚ軸移動板２６がスライド可能に取り付けられている。

【0033】

Ｚ軸移動板２６の後方（裏面）側には、ナット部（不図示）が設けられている。ナット部には、一対のＺ軸ガイドレール２４の間においてＺ軸方向に沿って設けられたねじ軸２８が、複数のボール（不図示）を介して回転可能に連結している。

【0034】

ねじ軸２８の上端部には、ステッピングモータ等のモータ３０が連結されている。モータ３０でねじ軸２８を回転させれば、Ｚ軸移動板２６は、Ｚ軸ガイドレール２４に沿ってＺ軸方向に移動する。

【0035】

支持構造２０ａの前方に位置するＺ軸移動板２６の前面には、粗研削ユニット（加工ユニット）３２ａが設けられている。粗研削ユニット３２ａは、Ｚ軸移動板２６に固定された円筒状のスピンドルハウジング３４を有する。

【0036】

スピンドルハウジング３４は、その円筒の高さ方向がＺ軸方向と略平行に配置されている。ここで、図２を参照し、粗研削ユニット３２ａについて説明する。図２は、粗研削ユニット３２ａの側面図である。

【0037】

スピンドルハウジング３４内には、円柱状のスピンドル３６の一部が回転可能に収容されている。スピンドル３６は、その長手方向がＺ軸方向に沿って配置されている。スピンドル３６の上端部近傍には、サーボモータ等の回転駆動源（不図示）が設けられている。

【0038】

スピンドル３６の下端部は、スピンドルハウジング３４の下端部よりも下方に突出しており、この突出部には、円盤状のホイールマウント３８の上面側の中央部が固定されている。

【0039】

ホイールマウント３８の下面側には、ボルト等の固定部材（不図示）を介して、円環状の粗研削ホイール（加工工具）４０ａが装着されている。この様に、粗研削ホイール４０ａは、ホイールマウント３８を介してスピンドル３６の下端部に装着されている。

【0040】

粗研削ホイール４０ａは、アルミニウム合金等の金属材料で形成された円環状のホイール基台４２を有する。ホイール基台４２の上面は、ホイールマウント３８の下面に接している。ホイール基台４２の下面側には、各々ブロック状の複数の粗研削砥石４４が固定されている。

【0041】

複数の粗研削砥石４４は、ホイール基台４２の周方向に沿って略等間隔で環状に配列されている。粗研削砥石４４は、ダイヤモンド、ｃＢＮ（cubic boron nitride）等の砥粒と、砥粒を固定するためのセラミックス、樹脂等の結合材（即ち、ボンド材）と、を有する。

【0042】

粗研削ホイール４０ａの直下には、ウェーハ１１と粗研削砥石４４との接触領域へ研削水（例えば、純水）を供給する研削水供給ノズル（不図示）が設けられている。研削水は、研削により生じた屑、熱等の除去に用いられる。

【0043】

粗研削時には、ウェーハ１１を吸引保持したチャックテーブル１６を所定の回転数（例えば、３００ｒｐｍ）で回転させると共に、スピンドル３６を所定の回転数（例えば、４５００ｒｐｍ）で回転させる。

【0044】

更に、研削水供給ノズルから被研削領域へ所定の流量（例えば、４．０Ｌ／ｍｉｎ）で研削水を供給すると共に、粗研削ユニット３２ａを下方へ所定の速度（例えば、６．０μｍ／ｓ）で研削送りする。

【0045】

粗研削時には、粗研削砥石４４の下面の軌跡で規定される環状の研削面がＸＹ平面に対して略平行に配置されると共に、研削面における円弧状の略１／４の領域で、ウェーハ１１の裏面１１ｂ側を研削する（インフィード研削）。

【0046】

ところで、粗研削時には、加工条件（代表的には、スピンドル３６の回転数）、ウェーハ１１の材質等に応じて、粗研削ホイール４０ａがＸＹ平面内で振動することがある。

【0047】

例えば、高速回転するスピンドル３６がＸＹ平面内で振動する振動数（Ｈｚ）と、スピンドルハウジング３４等を含む粗研削ユニット３２ａの固有振動数と、が一致したとき、共振が生じ、粗研削ホイール４０ａの振動は、特に激しくなる。

【0048】

粗研削ホイール４０ａがＸＹ平面内で比較的激しく振動すると、粗研削時に、ウェーハ１１の割れ、被研削面に形成されるチッピングの数の増加、その他の異常等の研削不良が発生する。

【0049】

そこで、本実施形態では、粗研削ユニット３２ａの固有振動数を変更可能な振動数変更機構５０を、スピンドルハウジング３４の頂部に設ける。振動数変更機構５０は、梁部５２を有する。

【0050】

梁部５２の長手方向は、Ｚ軸方向と直交するＹ軸方向（即ち、スピンドル３６の回転軸方向と交差する方向）に沿って配置されている。梁部５２は、例えば、アルミニウム合金等の金属で形成されている。

【0051】

本実施形態において、Ｙ軸方向に沿う梁部５２の奥行（即ち、梁部５２の長手方向の長さ）は２００ｍｍ、Ｘ軸方向に沿う梁部５２の幅は６０ｍｍ、Ｚ軸方向に沿う梁部５２の高さは３０ｍｍであり、梁部５２の重量は０．２ｋｇである。

【0052】

梁部５２の基端部５２ａは、例えば、スピンドル３６の回転中心３６ａと、スピンドルハウジング３４の外周縁３４ａと、の間に位置している。梁部５２の基端部５２ａは、ボルト、接着剤等により、スピンドルハウジング３４の頂部に固定されている。

【0053】

梁部５２の先端部５２ｂは、スピンドルハウジング３４の径方向においてスピンドルハウジング３４の外周縁３４ａよりも外側に突出している。ここで、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）を参照し、梁部５２及び錘５４について更に説明する。

【0054】

図３（Ａ）は、梁部５２及び錘５４の斜視図であり、図３（Ｂ）は、梁部５２及び錘５４の一部断面側面図である。梁部５２の上面５２ｃには、梁部５２の長手方向に沿って略等間隔でそれぞれ円形の複数の穴５２ｄが設けられている。

【0055】

各穴５２ｄは、ねじ穴であり、各穴５２ｄの内周側面には雌ねじ（不図示）が形成されている。複数の穴５２ｄは、例えば、１０ｍｍの間隔で１０個設けられているが、穴５２ｄの間隔及び個数は上述の例に限定されない。

【0056】

梁部５２の上面側には、穴５２ｄに締結可能なボルト５６を介して錘５４が、装着されている。錘５４は、例えば、ステンレス鋼等の金属で形成されており、ブロック形状を有する。

【0057】

本実施形態の錘５４は、Ｙ軸方向に沿う奥行が２０ｍｍ、Ｘ軸方向に沿う幅が１００ｍｍ、Ｚ軸方向に沿う高さが４０ｍｍであり、重量が１．０ｋｇである。但し、このサイズ及び重量は一例であり、錘５４のサイズ及び重量は、この数値に限定されるものではない。

【0058】

なお、錘５４は、必ずしも単体のブロックでなくてもよい。錘５４は、Ｚ軸方向に沿って複数の単位ブロック（不図示）を重ねることで構成されてもよい。例えば、Ｚ軸方向に沿って５個の単位ブロックを重ねる場合、錘５４は、Ｚ軸方向に沿う高さが２００ｍｍとなり、重量が５．０ｋｇとなる。

【0059】

Ｘ軸方向及び／又はＹ軸方向に沿って複数の単位ブロックを組み合わせることで、錘５４を構成してもよい。錘５４の好適な形状の一例は、直方体状のブロックであるが、錘５４の形状はこの例に限定されるものではない。

【0060】

錘５４は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の中央部においてＺ軸方向に沿って形成された貫通穴５４ａを有する。貫通穴５４ａは、ボルト５６の頭部を収容可能な大径部５４ａ_１を含む。大径部５４ａ_１の下方には、ボルト５６の頭部よりも小径でありボルト５６の軸部が貫通可能な小径部５４ａ_２が形成されている。

【0061】

梁部５２における複数の穴５２ｄと、錘５４の貫通穴５４ａと、ボルト５６とは、梁部５２の長手方向における錘５４の位置を固定して錘５４の位置を決める位置決め機構５８を構成する。

【0062】

錘５４を梁部５２に固定する場合には、貫通穴５４ａの小径部５４ａ_２と、梁部５２の穴５２ｄと、をＸＹ平面内で位置合わせした上で、ボルト５６を穴５２ｄに締結する。錘５４は、この様にして、梁部５２に装着される。

【0063】

また、錘５４の位置を変える場合には、一旦、ボルト５６を穴５２ｄから取り外した上で、錘５４を移動させる。この様に、錘５４は、梁部５２の長手方向において梁部５２に対してスライド可能である。錘５４の移動後、ボルト５６を穴５２ｄに締結すれば、錘５４を梁部５２に再度固定できる。

【0064】

スピンドル３６の回転時における粗研削ユニット３２ａの振動を低減するためには、例えば、まず、ウェーハ１１の研削時に使用する回転数でスピンドル３６を回転させた上で、錘５４を梁部５２の所定位置に固定し、錘５４の各位置での粗研削ホイール４０ａの振動を測定又は観察する。

【0065】

粗研削ユニット３２ａの固有振動数は、錘５４の固定位置を梁部５２上で変えることにより変更される。そこで、錘５４の固定位置を変えると共に粗研削ホイール４０ａの振動を測定又は観察し、粗研削ホイール４０ａの振動が最小となる錘５４の位置を探索する。

【0066】

この様に、本実施形態では、スピンドル３６の回転時に生じる粗研削ユニット３２ａの振動を低減可能であるので、粗研削ホイール４０ａの振動を低減できる。また、粗研削ホイール４０ａの振動に起因する加工不良も低減できる。

【0067】

図１に戻って、支持構造２０ａと同様に、支持構造２０ｂの前面側にも研削送りユニット２２が設けられている。支持構造２０ｂに設けられた研削送りユニット２２のＺ軸移動板２６の前面には、仕上げ研削ユニット（加工ユニット）３２ｂが設けられている。

【0068】

仕上げ研削ユニット３２ｂも、Ｚ軸移動板２６に固定された円筒状のスピンドルハウジング３４を有する。スピンドルハウジング３４内には円柱状のスピンドル（不図示）の一部が回転可能に収容されている。

【0069】

仕上げ研削ユニット３２ｂにおいても、スピンドル３６の上端部近傍には、サーボモータ等の回転駆動源（不図示）が設けられている。スピンドル３６の下端部は、スピンドルハウジング３４の下端部よりも下方に突出しており、この突出部には、円盤状のホイールマウント３８の上面側の中央部が固定されている。

【0070】

ホイールマウント３８の下面側には、ボルト等の固定部材（不図示）を介して、円環状の仕上げ研削ホイール（加工工具）４０ｂが装着されている。この様に、仕上げ研削ホイール４０ｂは、ホイールマウント３８を介してスピンドル３６の下端部に装着されている。

【0071】

仕上げ研削ホイール４０ｂは、アルミニウム合金等の金属材料で形成された円環状のホイール基台を有する。ホイール基台の上面は、ホイールマウント３８の下面に接している。ホイール基台の下面側には、各々ブロック状の複数の仕上げ研削砥石が固定されている。

【0072】

複数の仕上げ研削砥石は、ホイール基台の周方向に沿って略等間隔で環状に配列されている。仕上げ研削砥石も、砥粒及び結合材を有するが、仕上げ研削砥石を構成する砥粒の平均粒径は、粗研削砥石４４を構成する砥粒の平均粒径に比べて小さい。

【0073】

仕上げ研削ホイール４０ｂの直下にも、研削水供給ノズル（不図示）が設けられている。仕上げ研削時には、ウェーハ１１を吸引保持したチャックテーブル１６を所定の回転数（例えば、３００ｒｐｍ）で回転させると共に、スピンドル３６を所定の回転数（例えば、４０００ｒｐｍ）で回転させる。

【0074】

更に、研削水供給ノズルから被研削領域へ所定の流量（例えば、４．０Ｌ／ｍｉｎ）で研削水を供給すると共に、仕上げ研削ユニット３２ｂを下方へ所定の速度（例えば、０．５μｍ／ｓ）で研削送りする。

【0075】

仕上げ研削も、粗研削と同様に、研削面における円弧状の略１／４の領域で、ウェーハ１１の裏面１１ｂ側を研削する（インフィード研削）。仕上げ研削時にも仕上げ研削ホイール４０ｂがＸＹ平面内で振動することがある。

【0076】

仕上げ研削ユニット３２ｂを構成するスピンドルハウジング３４の頂部にも、仕上げ研削ユニット３２ｂの固有振動数を変更する振動数変更機構５０が設けられている。錘５４の固定位置を梁部５２上で変えることにより、仕上げ研削ユニット３２ｂの固有振動数を変更できる。

【0077】

研削時と同じ回転数でスピンドル３６を回転させた状態で仕上げ研削ホイール４０ｂの振動が最小となる錘５４の位置を探索することで、スピンドル３６の回転時に生じる仕上げ研削ユニット３２ｂの振動を低減可能である。

【0078】

仕上げ研削が施されたウェーハ１１は、ターンテーブル１８の回転により搬入搬出位置Ａへ戻された後、アンローディングアーム６０によりチャックテーブル１６からスピンナ洗浄装置６２へ搬出される。

【0079】

スピンナ洗浄装置６２で、裏面１１ｂ側が洗浄されたウェーハ１１は、搬送ロボット６により、搬出元のカセット１０へ戻される。研削装置２の各構成要素は、コントローラ６４により制御される。

【0080】

コントローラ６４は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）に代表されるプロセッサ（処理装置）と、メモリ（記憶装置）と、を含むコンピューターによって構成されている。記憶装置は、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含む。

【0081】

補助記憶装置には、所定のソフトウェアが記憶されており、このソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、コントローラ６４の機能が実現される。

【0082】

本実施形態の研削装置２では、梁部５２における錘５４の位置を調整することによって、スピンドル３６の回転時に生じる粗研削ユニット３２ａ及び仕上げ研削ユニット３２ｂの振動を低減可能である。

【0083】

基本的には、振動数変更機構５０により粗研削ユニット３２ａ及び仕上げ研削ユニット３２ｂの固有振動数を変更することで、スピンドル３６の回転時における共振の発生が抑制される。

【0084】

なお、先端部近傍に位置する錘５４により梁部５２が撓んで、スピンドル３６及び研削ホイールの振動を打ち消す様に作用することで、粗研削ユニット３２ａ及び仕上げ研削ユニット３２ｂに反共振が生じ、振動を略ゼロにできることもある。

【0085】

この様に、梁部５２及び錘５４を利用して粗研削ユニット３２ａ及び仕上げ研削ユニット３２ｂでの共振を抑制できるので、粗研削ホイール４０ａ及び仕上げ研削ホイール４０ｂの振動に起因する研削不良を低減できる。

【0086】

（第１変形例）図４は、梁部５２及び錘５４の第１変形例を示す斜視図である。第１変形例の梁部５２は、各側面５２ｅの上面５２ｃ側に、梁部５２の長手方向に沿うガイド溝５２ｆを有する。

【0087】

また、錘５４は、錘５４の下面側において、一対のガイド溝５２ｆに噛み合う一対の爪部５４ｂを有する。一対の爪部５４ｂが一対のガイド溝５２ｆに係合することにより、錘５４は、梁部５２の長手方向（即ち、Ｙ軸方向）にスライド可能である。

【0088】

一対の爪部５４ｂが一対のガイド溝５２ｆに係合することにより、ボルト５６を取り外した状態でも、幅方向（即ち、Ｘ軸方向）及び高さ方向（即ち、Ｚ軸方向）において錘５４を梁部５２に固定できる。加えて、錘５４の移動方向が、梁部５２の長手方向に略限定される。

【0089】

上述の様に、粗研削ホイール４０ａ及び仕上げ研削ホイール４０ｂの振動が最小となる錘５４の位置を探索する際には、スピンドル３６を回転させた状態で、Ｙ軸方向における錘５４の位置を変更する必要がある。

【0090】

第１変形例では、錘５４の移動方向が梁部５２の長手方向に略限定されているので、梁部５２の穴５２ｄと、錘５４の貫通穴５４ａと、の位置合わせが容易になる。それゆえ、錘５４の固定位置を変更する際に、作業者の作業負担が減少する。

【0091】

（第２変形例）図５（Ａ）は、梁部５２及び錘５４の第２変形例を示す斜視図である。第２変形例の梁部５２も、第１変形例と同様にガイド溝５２ｆを有する。但し、第２変形例の梁部５２の上面５２ｃ側は、複数の穴５２ｄを有しない。

【0092】

第２変形例の梁部５２の上面５２ｃ側には、梁部５２の幅方向の略中央部において、梁部５２の基端部５２ａから先端部５２ｂに亘って鋸刃状の周期的な凹凸を有する凹凸領域５２ｇが設けられている。

【0093】

この周期的な凹凸は、梁部５２の長手方向に沿って規則的に配列された複数の三角柱で構成されている。各三角柱における矩形状の側面の長手方向は梁部５２の幅方向と略平行に配置されている。また、各三角柱における二つの矩形状の側面が、上面５２ｃに露出している。

【0094】

図５（Ａ）に示す例では、梁部５２の長手方向の長さ２００ｍｍに対して６０個の三角柱が設けられている。それゆえ、鋸刃状の凹凸のピッチは、約３．３ｍｍである。但し、凹凸のピッチは、この例に限定されるものではない。

【0095】

第２変形例の梁部５２も、梁部５２の長手方向に沿うガイド溝５２ｆを有する。そして、錘５４は、一対のガイド溝５２ｆに噛み合う一対の爪部５４ｂを、その下面側に有する。但し、錘５４は、貫通穴５４ａを有しない。

【0096】

第２変形例の錘５４は、一対の爪部５４ｂよりも錘５４の上面側に位置する錘５４の底面側において、梁部５２の凹凸領域５２ｇと噛み合う凹凸領域５４ｃを有する。図５（Ｂ）は、錘５４の底面側を示す斜視図である。

【0097】

凹凸領域５４ｃは、錘５４の幅方向の略中央部において、錘５４の奥行方向の一端部から他端部に亘って鋸刃状の周期的な凹凸を有する。この周期的な凹凸は、錘５４の奥行方向に沿って規則的に配列された複数の三角柱で構成されている。

【0098】

各三角柱における矩形状の側面の長手方向は錘５４の幅方向と略平行に配置されており、各三角柱における二つの矩形状の側面は錘５４の下面側に露出している。錘５４の一対の爪部５４ｂが梁部５２のガイド溝５２ｆに係合した状態で、錘５４の凹凸領域５４ｃは、梁部５２の凹凸領域５２ｇと噛み合う。

【0099】

梁部５２における凹凸領域５２ｇ及び一対のガイド溝５２ｆと、錘５４の凹凸領域５４ｃ及び一対の爪部５４ｂとは、梁部５２の長手方向における錘５４の位置を固定して錘５４の位置を決める位置決め機構５８を構成する。

【0100】

但し、梁部５２のガイド溝５２ｆと、錘５４の一対の爪部５４ｂとは、高さ方向において僅かに遊びがある。それゆえ、作業者が手で錘５４を梁部５２の長手方向に沿って移動させると、錘５４が僅かに上昇すると共に、梁部５２の凹凸領域５２ｇと、錘５４の凹凸領域５４ｃと、の噛み合い位置を変更できる。

【0101】

第２変形例では、ボルト５６（図４参照）を回転させて取り外すことが不要になるので、第１変形例に比べて錘５４の位置を調整する際に作業者の作業負担を低減できる。また、隣接する凹部５４ｄ（図４参照）の間隔に比べて、凹凸領域５２ｇ，５４ｃの凹凸の間隔が狭いので、錘５４の位置をより細かく設定できる。

【0102】

（第３変形例）図６（Ａ）は、梁部５２及び錘５４の第３変形例を示す斜視図であり、図６（Ｂ）は、梁部５２及び錘５４の正面側の一部断面図である。第３変形例の梁部５２は、第１変形例と略同様に、ガイド溝５２ｆと、複数の穴５２ｈと、を有する。

【0103】

但し、第３変形例の穴５２ｈは、第１変形例に示す穴５２ｄの様なねじ穴ではなく、比較的浅く窪んだ穴であり、穴５２ｈの底面は、凹球形状を有する。

【0104】

第３変形例の錘５４は、幅方向及び奥行方向の中央部に、有頂円筒状の凹部５４ｄを有する。この凹部５４ｄには、図６（Ｂ）に示す様に、プランジャ６６が設けられている。プランジャ６６は、梁部５２における１つの穴５２ｈと略同径の円柱状のピン６６ａを有する。

【0105】

ピン６６ａは、凹部５４ｄの円筒と略同じ外径を有し、錘５４の高さ方向に沿って凹部５４ｄ内を移動可能である。ピン６６ａの先端部は、穴５２ｈと嵌合する半球形状を有する。ピン６６ａの基端部には、コイルばね６６ｂの一端部が固定されている。

【0106】

また、コイルばね６６ｂの他端部は、凹部５４ｄの頂面（即ち、凹部５４ｄにおいて最も上面に近い面）に固定されている。コイルばね６６ｂは、ピン６６ａの先端部が穴５２ｈに嵌合する様にピン６６ａを付勢している。

【0107】

梁部５２における複数の穴５２ｈ及び一対のガイド溝５２ｆと、錘５４の凹部５４ｄ及び一対の爪部５４ｂと、プランジャ６６とは、梁部５２の長手方向における錘５４の位置を固定して錘５４の位置を決める位置決め機構５８を構成する。

【0108】

作業者が長手方向に沿う力を錘５４に印加して錘５４を梁部５２の長手方向に沿って移動させると、コイルばね６６ｂが縮むと共に、ピン６６ａの先端部が一の穴５２ｈから出て梁部５２の上面５２ｃと同じ高さ位置となる。

【0109】

そして、錘５４を梁部５２の長手方向に沿って更に移動させると、ピン６６ａの先端部が他の穴５２ｈに嵌合すると共に、コイルばね６６ｂは図６（Ｂ）に示す長さに戻る。この様にして、梁部５２に対する錘５４の位置を変更できる。

【0110】

第３変形例でも、ボルト５６（図４参照）を回転させて取り外すことが不要になるので、第１変形例に比べて錘５４の位置を調整する際に作業者の作業負担が減少する。

【0111】

なお、穴５２ｈ及びピン６６ａの形状は、上述の例に限定されない。例えば、穴５２ｈが円筒状の穴である場合、ピン６６ａの先端部の形状は、穴５２ｈと嵌合する円柱形状を採用できる。

【0112】

（第４変形例）図７（Ａ）は、第４変形例に係る梁部５２及び錘５４の正面側の一部断面図であり、錘５４が梁部５２に固定された状態を示す。図７（Ｂ）は、梁部５２に対する錘５４の固定が解除された状態を示す正面側の一部断面図である。

【0113】

第４変形例の梁部５２も、第１変形例と略同様に、ガイド溝５２ｆと、複数の穴５２ｉと、を有する。なお、第４変形例の穴５２ｉは、雌ねじが形成されていない円筒状の穴である。

【0114】

第４変形例の錘５４は、幅方向及び奥行方向の中央部において、上面から下面まで繋がった貫通孔６８を有する。貫通孔６８は、錘５４の上面側に位置する小径部６８ａと、小径部６８ａよりも下面側に位置し小径部６８ａと同心状に配置された大径部６８ｂと、を有する。

【0115】

錘５４の貫通孔６８には、プランジャ７０が設けられている。プランジャ７０は、ボルト７０ａ、ナット７０ｂ及び圧縮コイルばね７０ｃを有する。ボルト７０ａの頭部は、錘５４の上面よりも突出する様に配置されており、ボルト７０ａの軸部は、貫通孔６８内に配置されている。

【0116】

また、ボルト７０ａの軸部の所定位置には、ナット７０ｂが係合している。このナット７０ｂと、小径部６８ａ及び大径部６８ｂの境界に位置する環状の段差部と、の間には、圧縮コイルばね７０ｃが配置されている。この圧縮コイルばね７０ｃの内径を規定する円筒状の空洞部には、ボルト７０ａの軸部が挿入されている。

【0117】

梁部５２における複数の穴５２ｉ及び一対のガイド溝５２ｆと、錘５４の貫通孔６８ｄ及び一対の爪部５４ｂと、プランジャ７０とは、梁部５２の長手方向における錘５４の位置を固定して錘５４の位置を決める位置決め機構５８を構成する。

【0118】

図７（Ａ）に示す様に、圧縮コイルばね７０ｃに付勢された状態でボルト７０ａの軸部の下端部が梁部５２の穴５２ｉに嵌合することで、錘５４は梁部５２に対して位置決めされる。

【0119】

梁部５２に対して錘５４を移動させる場合には、まず、ボルト７０ａの下端部が穴５２ｉから抜ける様に、作業者が手でボルト７０ａを少し持ち上げる（図７（Ｂ）参照）。そして、作業者が手で錘５４を梁部５２の長手方向に沿って移動させる。長手方向に沿って移動させるときには、ボルト７０ａからは、手を放してもよい。

【0120】

ボルト７０ａが他の穴５２ｉの直上に移動し、付勢力でボルト７０ａの下端部が当該他の穴５２ｉに嵌ると、錘５４の位置が固定される（図７（Ａ）参照）。この様にして、梁部５２に対する錘５４の位置を変更できる。

【0121】

第４変形例でも、ボルト５６（図４参照）を回転させて取り外すことが不要になるので、第１変形例に比べて錘５４の位置を調整する際に作業者の作業負担が減少する。

【0122】

（第２の実施形態）図８（Ａ）は、第２の実施形態に係る加工装置としての研磨装置７２を示す側面図である。研磨装置７２は、円筒状のスピンドルハウジング７４を有する。スピンドルハウジング７４は、ボールねじ式の移動機構（不図示）によりＺ軸方向に沿って移動可能に構成されている。

【0123】

スピンドルハウジング７４内には、円柱状のスピンドル７６の一部が回転可能に収容されている。スピンドル７６の上端部近傍には、サーボモータ等の回転駆動源（不図示）が設けられている。スピンドル７６は、その長手方向がＺ軸方向に沿って配置されている。

【0124】

スピンドル７６の下端部は、スピンドルハウジング７４の下端部よりも下方に突出している。スピンドル７６の下端部には、金属製で円盤状のホイールマウント７８の上面側の中央部が固定されている。ホイールマウント７８の下面側には、ボルト等の固定部材（不図示）を介して、円環状の研磨ホイール（加工工具）８０が装着されている。

【0125】

この様に、研磨ホイール８０は、ホイールマウント７８を介してスピンドル７６の下端部に装着されている。研磨ホイール８０は、硬質樹脂で形成されホイールマウント７８と略同径の円環状のプラテン８０ａを有する。プラテン８０ａの上面は、ホイールマウント７８の下面に接している。

【0126】

プラテン８０ａの下面側には、円環状の研磨パッド８０ｂが固定されている。研磨パッド８０ｂは、発泡ポリウレタン樹脂で形成された本体部と、本体部に固定された砥粒と、を含む。スピンドルハウジング７４、スピンドル７６、ホイールマウント７８、研磨ホイール８０等は、研磨ユニット（加工ユニット）８２を構成する。

【0127】

スピンドルハウジング７４の頂部には、研磨ユニット８２の固有振動数を変更する振動数変更機構５０が設けられている。振動数変更機構５０は、第１の実施形態、第１から第４の変形例のいずれを適用してもよい。

【0128】

高速回転時においてスピンドル７６がＸＹ平面内で振動する振動数（Ｈｚ）と、研磨ユニット８２の固有振動数と、が一致したとき、研磨ユニット８２に共振が生じ、スピンドル７６及び研磨ホイール８０が特に激しく振動する。

【0129】

しかし、振動数変更機構５０で研磨ユニット８２の固有振動数を変更することで、研磨時に使用するスピンドル７６の回転数に対して、研磨ホイール８０の振動が最小となる錘５４の位置を探索し、スピンドル７６の回転時に生じる研磨ユニット８２の振動を低減可能である。

【0130】

研磨ユニット８２の下方には、円盤状のチャックテーブル８４が設けられている。チャックテーブル８４は、金属製で円盤状の枠体を有する。枠体の上面側には円盤状の凹部が形成されており、この凹部には、多孔質セラミックスで形成された多孔質板（不図示）が固定されている。

【0131】

多孔質板には、枠体に形成されている流路を介して、真空ポンプ等の吸引源（負圧）から負圧が伝達される。枠体の上面と、多孔質板の上面とは、略面一となっており、略平坦な保持面８４ａを形成する。チャックテーブル８４は、保持面８４ａでウェーハ１１を吸引保持できる。

【0132】

チャックテーブル８４は、サーボモータ等の駆動源（不図示）から動力が伝達されることで、回転軸８４ｂの周りに回転可能である。ウェーハ１１を研磨する際には、例えば、まず、表面１１ａ側を保持面８４ａで吸引保持する。

【0133】

次いで、スピンドル７６及びチャックテーブル８４を所定の方向に回転させると共に、裏面１１ｂにスラリー（不図示）を供給しながら研磨パッド８０ｂを裏面１１ｂに押し当てる。これにより、裏面１１ｂ側が研磨される。

【0134】

（第３の実施形態）図８（Ｂ）は、第３の実施形態に係る加工装置としてのバイト切削装置９２を示す側面図である。バイト切削装置９２は、円筒状のスピンドルハウジング９４を有する。スピンドルハウジング９４は、ボールねじ式の移動機構（不図示）によりＺ軸方向に沿って移動可能に構成されている。

【0135】

スピンドルハウジング９４内には、円柱状のスピンドル９６の一部が回転可能に収容されている。スピンドル９６は、その長手方向がＺ軸方向に沿って配置されている。スピンドル９６の上端部近傍には、サーボモータ等の回転駆動源（不図示）が設けられている。

【0136】

スピンドル９６の下端部は、スピンドルハウジング９４の下端部よりも下方に突出している。スピンドル９６の下端部には、金属製で円盤状のホイールマウント９８の上面側の中央部が固定されている。ホイールマウント９８の下面側には、ボルト等の固定部材（不図示）を介して、円環状のバイト切削ホイール（加工工具）１００が装着されている。

【0137】

この様に、バイト切削ホイール１００は、ホイールマウント９８を介してスピンドル９６の下端部に装着されている。バイト切削ホイール１００は、ホイールマウント９８と略同径の円環状の基台１００ａを有する。基台１００ａの上面は、ホイールマウント９８の下面に接している。基台１００ａの下面側には、バイト工具１００ｂが固定されている。

【0138】

バイト工具１００ｂは、ダイヤモンド等で形成された切り刃と、この切り刃を基台１００ａに対して固定するためのフォルダと、を含む。スピンドルハウジング９４、スピンドル９６、ホイールマウント９８、バイト切削ホイール１００等は、バイト切削ユニット（加工ユニット）１０２を構成する。

【0139】

スピンドルハウジング９４の頂部には、バイト切削ユニット１０２の固有振動数を変更する振動数変更機構５０が設けられている。振動数変更機構５０は、第１の実施形態、第１から第４の変形例のいずれを適用してもよい。

【0140】

高速回転時においてスピンドル９６がＸＹ平面内で振動する振動数（Ｈｚ）と、バイト切削ユニット１０２の固有振動数と、が一致したとき、バイト切削ユニット１０２に共振が生じ、スピンドル９６及びバイト切削ホイール１００が特に激しく振動する。

【0141】

しかし、振動数変更機構５０でバイト切削ユニット１０２の固有振動数を変更することで、バイト切削時に使用するスピンドル９６の回転数に対して、バイト切削ホイール１００の振動が最小となる錘５４の位置を探索して、スピンドル９６の回転時に生じるバイト切削ユニット１０２の振動を低減可能である。

【0142】

バイト切削ユニット１０２の下方には、円盤状のチャックテーブル１０４が設けられている。チャックテーブル１０４は、チャックテーブル８４と略同じ形状及び構造を有するので、詳細な説明を省略する。

【0143】

チャックテーブル１０４の下方には、Ｚ軸方向に直交する所定方向（例えば、Ｘ軸方向）に沿ってチャックテーブル１０４を移動させるためのボールねじ式の移動機構（不図示）が設けられている。

【0144】

ウェーハ１１に対してバイト切削を施す際には、例えば、まず、ウェーハ１１の表面１１ａ側を保持面１０４ａで吸引保持する。次いで、バイト工具１００ｂの下端部の高さ位置を、ウェーハ１１の裏面１１ｂよりも僅かに下方に配置する。

【0145】

この状態で、スピンドル９６を所定の方向に回転させると共に、裏面１１ｂに純水等の液体を供給しながら、ウェーハ１１がバイト切削ホイール１００の直下を通過する様に、上述の移動機構でチャックテーブル１０４を移動させる。これにより、裏面１１ｂ側にバイト切削が施される。

【0146】

その他、上述の実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。上述の振動数変更機構５０は、スピンドルハウジング、スピンドル等（加工ユニット）を有し、スピンドルの先端部に円環状の切り刃を有する切削ブレード（加工工具）が装着される切削装置（加工装置）に適用してもよい。

【符号の説明】

【0147】

２：研削装置（加工装置）
４：基台、４ａ：凹部
６：搬送ロボット、６ａ：ハンド部
８ａ，８ｂ：カセット載置領域、１０：カセット
１１：ウェーハ（被加工物）、１１ａ：表面、１１ｂ：裏面
１３：保護テープ
１２：位置決めユニット
１４：ローディングアーム
１６：チャックテーブル、１６ａ：保持面
１８：ターンテーブル
２０ａ，２０ｂ：支持構造
２２：研削送りユニット、２４：Ｚ軸ガイドレール、２６：Ｚ軸移動板
２８：ねじ軸、３０：モータ
３２ａ：粗研削ユニット（加工ユニット）
３２ｂ：仕上げ研削ユニット（加工ユニット）
３４：スピンドルハウジング、３４ａ：外周縁
３６：スピンドル、３６ａ：回転中心
３８：ホイールマウント
４０ａ：粗研削ホイール（加工工具）
４０ｂ：仕上げ研削ホイール（加工工具）
４２：ホイール基台、４４：粗研削砥石
５０：振動数変更機構
５２：梁部
５２ａ：基端部、５２ｂ：先端部、５２ｃ：上面、５２ｄ，５２ｈ，５２ｉ：穴
５２ｅ：側面、５２ｆ：ガイド溝、５２ｇ：凹凸領域
５４：錘
５４ａ：貫通穴、５４ａ_１：大径部、５４ａ_２：小径部、５４ｂ：爪部
５４ｃ：凹凸領域、５４ｄ：凹部
５６：ボルト
５８：位置決め機構
６０：アンローディングアーム
６２：スピンナ洗浄装置
６４：コントローラ
６６：プランジャ、６６ａ：ピン、６６ｂ：コイルばね
６８：貫通孔、６８ａ：小径部、６８ｂ：大径部
７０：プランジャ、７０ａ：ボルト、７０ｂ：ナット、７０ｃ：圧縮コイルばね
７２：研磨装置（加工装置）
７４：スピンドルハウジング、７６：スピンドル
７８：ホイールマウント
８０：研磨ホイール（加工工具）、８０ａ：プラテン、８０ｂ：研磨パッド
８２：研磨ユニット（加工ユニット）
８４：チャックテーブル、８４ａ：保持面、８４ｂ：回転軸
９２：バイト切削装置（加工装置）
９４：スピンドルハウジング、９６：スピンドル
９８：ホイールマウント
１００：バイト切削ホイール（加工工具）
１００ａ：基台、１００ｂ：バイト工具
１０２：バイト切削ユニット（加工ユニット）
１０４：チャックテーブル、１０４ａ：保持面
Ａ：搬入搬出位置、Ｂ：粗研削位置、Ｃ：仕上げ研削位置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】