特開 2024-150241 回転速センサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024150241

(43)【公開日】2024-10-23

(54)【発明の名称】回転速センサ

(51)【国際特許分類】

   G01P 3/487 20060101AFI20241016BHJP

【ＦＩ】

G01P3/487 L

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023063559

(22)【出願日】2023-04-10

(71)【出願人】

【識別番号】000005083

【氏名又は名称】株式会社プロテリアル

(74)【代理人】

【識別番号】110002066

【氏名又は名称】弁理士法人筒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】冨田 和彦

(57)【要約】

【課題】回転速センサの検出精度が確保しつつ、エアギャップの範囲を大きくする。
【解決手段】一実施形態である回転速センサＲＳＳ１は、磁気検出素子２１，２２を有するセンサ部品２０と、センサ部品２０の下面２０ｂ側に配置される磁石１０と、センサ部品２０の下面２０ｂと磁石１０との間に配置され、磁性体材料からなる磁性板３０と、を備える。磁性板３０には、センサ部品２０、磁性板３０、及び磁石１０の配列方向である第１方向ＡＲ１に貫通する開口部３０Ｈが形成される。開口部３０Ｈの壁面３４は、径が一定の内壁３３、及び、内壁３３よりもセンサ部品２０側に設けられ、径が変化する縁部３１を有する。縁部３１は、第１方向ＡＲ１に沿って下面２０ｂから離間するほど、開口部３０Ｈの中心に接近する。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１面、前記第１面の反対側の第２面、前記第１面と前記第２面との間に配置される第１磁気検出素子、及び前記第１面と前記第２面との間に前記第１磁気検出素子と離間して配置される第２磁気検出素子、を有するセンサ部品と、
前記センサ部品の前記第２面側に配置される磁石と、
前記センサ部品の前記第２面と前記磁石との間に配置される磁性板と、を備え、
前記磁性板には、前記センサ部品、前記磁性板、及び前記磁石の配列方向である第１方向に沿って貫通する開口部が形成され、
前記開口部の壁面は、径が一定の内壁、及び、前記内壁よりも前記センサ部品側に形成され、径が変化する縁部を有し、
前記縁部は、前記第１方向に沿って前記第２面から離間するほど、前記開口部の中心に接近する、回転速センサ。

【請求項2】

請求項１に記載の回転速センサにおいて、
前記縁部は、前記センサ部品と対向する面における前記開口部の端部と、前記縁部と前記内壁とが接続する接続部と、を連結する面であり、
前記開口部の端部の径は、前記接続部の径よりも大きい、回転速センサ。

【請求項3】

請求項１または２に記載の回転速センサにおいて、
前記第２面側における前記磁性板の外縁部は、前記第１方向に沿って前記第２面から離間するほど、前記開口部の中心から離間する、回転速センサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、回転速センサに関する。

【背景技術】

【0002】

回転速センサは、例えば、車輪の回転速度を検出する目的で車両に搭載される。このような目的で車両に搭載される回転速センサは、一般的に「車輪速センサ」と呼ばれる。車輪速センサとしての回転速センサは、車両のブロックを防止するアンチロックブレーキシステム（ＡＢＳシステム）や、車輪のスリップを防止するトラクションコントロールシステム等の構成要素の１つとして車両に搭載される。

【0003】

特許文献１には、車輪と共に回転する歯車の回転による磁界の変動を検知する回転速センサが記載されている。この回転速センサでは、磁気検出素子を用いて、被計測物である歯車等が回転することによる磁界の変動が検出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２１－４３１３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

磁気検出素子を利用した回転速センサの場合、被計測物と回転速センサとの離間距離（エアギャップと呼ぶ）を小さくすることにより、回転速センサの磁気検出素子に検出される磁束密度が大きくなる。この結果、回転速センサの計測精度を向上させることができる。しかし、回転速センサの取り付け作業の容易性、回転速センサの設計の自由度等を考慮すると、エアギャップは大きい方が好ましい。

【0006】

特許文献１の回転速センサでは、磁気検出素子と磁石との間に開口部を有する磁性板が配置されることにより、回転速センサの計測精度を確保しつつ、エアギャップを大きくしている。しかしながら、回転速センサの計測精度が確保された状態で、エアギャップをさらに大きくすることが望まれている。

【課題を解決するための手段】

【0007】

一実施の形態による回転速センサは、第１面、前記第１面の反対側の第２面、前記第１面と前記第２面との間に配置される第１磁気検出素子、及び前記第１面と前記第２面との間に前記第１磁気検出素子と離間して配置される第２磁気検出素子、を有するセンサ部品と、前記センサ部品の前記第２面側に配置される磁石と、前記センサ部品の前記第２面と前記磁石との間に配置される磁性板と、を備える。前記磁性板には、前記センサ部品、前記磁性板、及び前記磁石の配列方向である第１方向に沿って貫通する開口部が形成される。前記開口部の壁面は、径が一定の内壁、及び、前記内壁よりも前記センサ部品側に設けられ、径が変化する縁部を有する。前記開口部の縁部は、前記第１方向に沿って前記第２面から離間するほど、前記開口部の中心に接近する。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、回転速センサの検出精度が確保されるエアギャップの範囲を大きくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施の形態の回転速センサの構成を示す図である。

【図2】図１に示されるＡ－Ａ線における回転速センサの断面図である。

【図3】センサヘッドに内蔵される磁石、センサ部品、磁性板及びケーブルの外観図である。

【図4】図３に示されるＢ－Ｂ線における断面図である。

【図5】図４に示されるＣ－Ｃ線における断面図である。

【図6】図５に示されるセンサ部品周辺に形成される磁束線を模式的に示す図である。

【図7】比較例における回線速センサの断面図である。

【図8】実施の形態の回転速センサと比較例の回転速センサとの検出精度を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

【0011】

＜全体構成＞
図１は、実施の形態の回転速センサＲＳＳ１の構成を模式的に示す図である。図２は、図１のＡ－Ａ線における回転速センサＲＳＳ１の断面図である。本実施の形態の回転速センサＲＳＳ１は、センサヘッド２，ケーブル３及びコネクタ４を備える。センサヘッド２は、不図示の車輪と一緒に回転する歯車５の近傍に配置される。センサヘッド２は、歯車５との位置関係が所定の位置関係となるように、車体（ハブ，ナックル，サスペンション等）に固定される。本実施の形態では、センサヘッド２は、センサヘッド２のセンサ保持部２Ｓと歯車５の外周（複数の歯５Ｔが配置される部分）とが互いに対向するように固定されている。歯車５は磁性体からなり、不図示の車輪の回転に応じて、回転軸５ｒを中心に回転する。

【0012】

＜センサヘッド２＞
センサヘッド２は、フランジ部２Ｆと、フランジ部２Ｆの一側に設けられたセンサ保持部２Ｓと、フランジ部２Ｆの他側に設けられたケーブル保持部２Ｃと、を含んでいる。これらフランジ部２Ｆ、センサ保持部２Ｓ及びケーブル保持部２Ｃは、樹脂によって一体成形されている。フランジ部２Ｆ、センサ保持部２Ｓ及びケーブル保持部２Ｃのそれぞれは、射出成形された樹脂成形体の一部である。

【0013】

センサヘッド２内には、磁石１０、センサ部品２０、磁性板３０及びケーブル３の一部が内蔵されている。歯車５が回転すると、センサヘッド２内の磁石１０から歯車５に向かう磁界の向き（ベクトル）や分布が変化する。センサ部品２０は、磁石１０から歯車５に向かう磁界を検出し、その磁界の大きさに応じた電気信号を出力する磁気センサ用ＩＣである。以下で説明する「エアギャップＧ１」とは、回転速センサＲＳＳ１と歯車５との最短距離として定義される。本実施の形態の場合、センサヘッド２に内蔵されるセンサ部品２０と歯車５との間には、センサ保持部２Ｓの筐体の一部が介在するので、エアギャップＧ１は、センサ保持部２Ｓの筐体と、歯車５との最短距離として定義される。

【0014】

尚、磁石１０、センサ部品２０及び磁性板３０の詳細については、説明を後述する。

【0015】

＜センサ部品２０の周辺構造＞
図３は、センサヘッド２に内蔵される磁石１０、センサ部品２０、磁性板３０及びケーブル３の外観図である。図４は、図３に示されるＢ－Ｂ線における断面図である。図５は、図４に示されるＣ－Ｃ線における断面図である。尚、図５には、磁石１０、センサ部品２０及び磁性板３０に加えて歯車５が示される。

【0016】

磁石１０、センサ部品２０及び磁性板３０は、センサヘッド２のセンサ保持部２Ｓ内に固定されている。本実施の形態では、歯車５に近い側から順に、センサ部品２０、磁性板３０、磁石１０が配置されている。尚、以下の説明においては、上記のセンサ部品２０、磁性板３０及び磁石１０が配列された配列方向を第１方向ＡＲ１と呼ぶことがある。また、図１から図５において矢印で示される第１方向ＡＲ１の基端側を上方、先端側を下方と呼ぶことがある。また、第１方向ＡＲ１をＺ方向とし、Ｚ方向と直交し図２に示される歯車５の回転軸５ｒに沿う方向をＹ方向とし、Ｙ方向及びＺ方向と直交する方向をＸ方向とする直交座標系を用いて説明することがある。

【0017】

＜ケーブル３＞
センサヘッド２とコネクタ４とは、ケーブル３を介して接続されている。ケーブル３は、複数本の芯線５０を含む多芯ケーブルである。より具体的には、ケーブル３は、詳細を後述するセンサ部品２０に配置された磁気検出素子２１とリード線２４を介して接続される芯線５０と、磁気検出素子２２と他のリード線２４を介して接続される他の芯線５０と、を含む多芯ケーブルである。

【0018】

それぞれの芯線５０は、絶縁体５５によって被覆されている。さらに、絶縁体５５によって被覆されているそれぞれの芯線５０は、互いに撚り合わされた状態でシース５６によって一括被覆されている。つまり、ケーブル３は、撚り合わされた２本の絶縁電線と、それら２本の絶縁電線を一括被覆して一本に纏めるシース５６と、を有する２芯ケーブルである。

【0019】

尚、本実施形態における芯線５０は、錫を含有する複数本の銅合金線からなる撚り線である。また、絶縁体５５は架橋ポリエチレンによって形成されており、シース５６は熱可塑性ウレタンによって形成されている。もっとも、芯線５０，絶縁体５５及びシース５６の材料が上記材料に限定されないことは勿論である。

【0020】

センサヘッド２に内蔵されているセンサ部品２０から出力された電気信号は、ケーブル３を介してコネクタ４に伝送され、コネクタ４の接続先に入力される。コネクタ４は、例えばＡＢＳシステムの制御部や制御装置、ＡＢＳシステムを含む各種システムを統括的に制御する制御部や制御装置等に接続される。

【0021】

＜磁石１０＞
磁石１０は、Ｎ極に着磁された磁極部１０ｎと、Ｓ極に着磁された磁極部１０ｓとを有する。磁石１０は、センサ部品２０に対して下方側、すなわちセンサ部品２０の下面２０ｂ側に配置される。磁石１０のようにＮ極とＳ極とを有する一つの磁石の場合、Ｎ極からＳ極に向かって磁石１０の周囲に複数の磁束線が形成される。

【0022】

＜センサ部品２０＞
センサ部品２０は、歯車５と対向する上方側の面（上面）２０ｔ及び上面２０ｔの反対側の下方側の面（下面）２０ｂを有する封止体２３と、磁気検出素子（第１磁気検出素子）２１と、磁気検出素子（第２磁気検出素子）２２とを有する。磁気検出素子２１，２２は、第１面である上面２０ｔと第２面である下面２０ｂとの間に配置される。すなわち、磁気検出素子２１，２２は、封止体２３内に封止されている。磁気検出素子２１，２２は、互いに離間して配置される。磁気検出素子２１，２２は、封止体２３の内部において、リード線２４と電気的に接続されている。複数のリード線２４のそれぞれは、一部が封止体２３の内部に封止され、他の部分は封止体２３の外部に延びている。

【0023】

磁気検出素子２１，２２には、ホール効果を利用して磁束密度を計測するホール素子や、磁気抵抗効果を利用して磁界（磁束や磁束密度）の大きさを計測する磁気抵抗効果素子（ＭＲ（Magneto Resistive effect）素子）を用いることができる。本実施の形態における磁気検出素子２１，２２のそれぞれは、巨大磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ（Giant Magneto Resistive effect）素子）である。尚、磁気検出素子２１，２２は、異方性磁気抵抗効果素子（ＡＭＲ（Anisotropic Magneto Resistive effect）素子）や、トンネル磁気抵抗効果素子（ＴＭＲ（Tunnel Magneto Resistance effect）素子）であってもよい。磁気検出素子２１，２２は、Ｘ方向に沿って配列される。

【0024】

本実施の形態のように、磁石１０と歯車５との間にセンサ部品２０が配置される回転速センサＲＳＳ１の場合、センサ部品２０の背面側（下面２０ｂ側）から磁力が印加される。このような磁力の印加方式をバックバイアス方式と呼ぶ。回転速センサＲＳＳ１の他の例として、回転体自身に磁石を設ける方式もある。例えば、マグネットエンコーダの外周にＮ極とＳ極とが交互に配列され、そのマグネットエンコーダと対向する位置にセンサ部品が配置される。この場合、車輪の回転に伴ってマグネットエンコーダが回転すると、マグネットエンコーダが備える磁極の位置が変化するので、センサ部品の周辺の磁界が変動する。

【0025】

磁気検出素子２１，２２を有するセンサ部品２０は、水平方向（Ｘ方向とＹ方向とを含むＸＹ平面に沿った方向）の磁界を検出する。磁気検出素子２１，２２は、検出した磁界の大きさに応じた電気抵抗を示す。このため、磁気検出素子２１，２２の周囲の磁界が変化すれば、磁気検出素子２１，２２によって示される抵抗値が変化する。磁気検出素子２１，２２の抵抗値の変化に応じて出力された信号は、上述したリード線２４を介してセンサ部品２０の外部に出力される。上述したように、磁気検出素子２１，２２から出力された信号は、リード線２４を有するケーブル３を介してコネクタ４に伝達され、コネクタ４の接続先に入力される。

【0026】

本実施の形態のバックバイアス方式の場合、磁石１０から歯車５に向かって延びる磁束線が磁石１０と歯車５との間に配置された磁気検出素子２１，２２を貫く程度が変化することにより、回転体の速度や回転方向が検出される。この場合、センサ部品２０により磁気の検出精度を向上させようとすれば、エアギャップＧ１は小さくなる傾向がある。エアギャップＧ１、すなわち歯車５とセンサ保持部２Ｓとのクリアランスが小さくなると、歯車５の近傍にセンサヘッド２を固定する必要が生じる。この場合、センサヘッド２自身、あるいはセンサヘッド２の近くに固定される部品を取り付ける際の作業が煩雑になる。また、センサ部品２０の設計の自由度を考慮すると、エアギャップＧ１は大きい方が好ましい。エアギャップＧ１は、寸法のばらつき、振動による振れ幅等を考慮して必要な値が設定される。

【0027】

＜磁性板３０＞
磁性板３０は、例えば金属材料等の磁性体材料からなる。本実施の形態の場合、磁性板３０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ４３０）からなる。磁性板３０は、磁石１０と歯車５との間、より詳細には、磁石１０とセンサ部品２０との間に配置される。磁性板３０は、板状の部材であり、センサ部品２０の下面２０ｂと対向する上面３０ｔと、上面３０ｔの反対側に位置し、磁石１０と対向する下面３０ｂとを有する。磁性板３０は、上面３０ｔと下面３０ｂとを第１方向ＡＲ１に沿って貫通する開口部３０Ｈを有する。開口部３０Ｈは、ＸＹ平面上において、例えば、第１方向ＡＲ１に沿った中心軸Ｃ１を中心とする円形状に形成される。磁性板３０及び開口部３０Ｈは、板状の材料部材をプレス成形することにより形成される。

【0028】

永久磁石の近傍に磁性体が配置されている場合、永久磁石のＮ極から延びる磁束線は、磁性体の方向に向かって延び、磁性体を貫く。上述したように、磁石１０のＮ極からＳ極に向かって、磁石１０の周囲に複数の磁束線が形成される。したがって、センサ部品２０と磁石１０との間に磁性板３０を配置することで、磁石１０の磁極部１０ｎからセンサ部品２０に向かう磁界の磁束密度を増大させることができる。

【0029】

開口部３０Ｈは、センサ部品２０、磁性板３０、及び磁石１０の配列方向であるＺ方向（第１方向ＡＲ１）に見た場合において、磁気検出素子２１の中心と磁気検出素子２２の中心とを結んだ線分と重なる位置に形成される。これにより、磁性板３０に開口部３０Ｈが形成されない場合と比較して、開口部３０Ｈ内において磁界の向きがＺ方向へ矯正され難くなる。すなわち、開口部３０Ｈにおいて、歯車５の回転に対応して、Ｚ方向と交差するＸ方向の磁界の成分が増大する。磁気検出素子２１，２２の近傍で、Ｘ方向の磁界の成分が増大すると、磁気検出素子２１，２２を貫く磁界の磁束密度を増大させることができる。

【0030】

上述したように、磁性板３０と開口部３０Ｈとは材料部材をプレス成形することにより形成される。このため、磁性板３０の上面３０ｔと下面３０ｂとのうちの一方の面の外縁部にはダレが生じ、他方の面の外縁部にはバリが生じる。同様に、開口部３０Ｈの上面３０ｔと下面３０ｂとのうちの一方の面の縁部にはダレが生じ、他方の面の縁部にはバリが生じる。本実施の形態では、磁性板３０の外縁部及び開口部３０Ｈの縁部にダレが生じている側の面がセンサ部品２０の下面２０ｂと対向し、磁性板３０の外縁部及び開口部３０Ｈの縁部にバリが生じている側の面を磁石１０と対向した状態で磁性板３０が配置される。すなわち、磁性板３０の上面３０ｔの外縁部３２及び開口部３０Ｈの縁部３１にダレが生じ、磁性板３０の下面３０ｂの外縁部及び開口部３０Ｈの縁部にバリが生じている。

【0031】

上面３０ｔにおける開口部３０Ｈの縁部３１は、上述したダレが生じているため、Ｚ方向と平行な平面における断面がＲ形状の面となる。具体的には、開口部３０Ｈの壁面３４は、径が変化する縁部３１と、径が一定の内壁３３とを有する。縁部３１は、内壁３３と接続し、内壁３３よりもセンサ部品２０側（上方側）に設けられる。縁部３１は、開口部３０Ｈの端部３１Ａと、開口部３０Ｈの接続部３１Ｂとを連結する面である。端部３１Ａは、センサ部品２０と対向する上面３０ｔにおける開口部３０Ｈの開口端部である。また、接続部３１Ｂにおいて、縁部３１と内壁３３とが接続している。

【0032】

縁部３１は、第１方向ＡＲ１に沿ってセンサ部品２０の下面２０ｂから離間するほど、開口部３０Ｈの中心である中心軸Ｃ１に向けて接近する形状を有する。より特定的には、端部３１Ａの径Ｄ１は、接続部３１Ｂの径Ｄ２よりも大きい。

【0033】

上面３０ｔにおける外縁部３２も、上述したダレが生じているため、Ｚ方向と平行な平面における断面がＲ形状の面となる。具体的には、外縁部３２は、第１方向ＡＲ１に沿ってセンサ部品２０の下面２０ｂから離間するほど、開口部３０Ｈの中心から離間する形状を有する。

【0034】

図６は、磁石１０から磁性板３０を介してセンサ部品２０を貫く磁束線を模式的に示す図である。図６では、磁束線が二点鎖線にて示される。複数の磁束線のうちの一部は、磁性板３０の内側の側面から開口部３０Ｈに向かって延びている。また、縁部３１及び外縁部３２がＺ方向と平行な平面上でＲ形状の断面を有しているため、磁束線の一部は、このＲ形状の断面を介して磁気検出素子２１，２２の方向に向かって延びる。この場合、開口部３０Ｈと磁気検出素子２１，２２との位置関係を調整することにより、磁気検出素子２１，２２の近傍の磁束密度を大きくすることができる。この結果、エアギャップＧ１を小さくしなくても、磁気検出素子２１，２２の検出精度を向上させることが可能となる。換言すると、磁気検出素子２１，２２による検出精度を確保した状態で、エアギャップＧ１の範囲を大きくすることができる。

【0035】

図７は、比較例としての回転速センサＲＳＳ１Ａにおける磁石１０、センサ部品２０及び磁性板３０の断面図である。この比較例では、磁性板３０の縁部３１及び外縁部３２にダレが生じた面が磁石１０と対向し、磁性板３０の縁部及び外縁部にバリが生じた面がセンサ部品２０と対向している。すなわち、上述した実施の形態における磁性板３０の上面３０ｔと下面３０ｂとが反転した状態で磁性板３０が配置されている。その他の構成は実施の形態の回転速センサＲＳＳ１と同様である。

【0036】

図８は、上述した実施の形態の回転速センサＲＳＳ１及び比較例の回転速センサＲＳＳ１Ａの検出精度を計測した結果の一例を示す図である。図８においては、歯車５と磁気検出素子２１，２２の上方側の面までの距離（クリスタルギャップ）を異ならせた場合ごとの回転速センサＲＳＳ１，ＲＳＳ１Ａの出力のばらつき程度（Ｄｕｔｙ比）が示されている。図８に示されるグラフＬ１は実施の形態の回転速センサＲＳＳ１の出力のばらつき程度であり、グラフＬ２は比較例の回転速センサＲＳＳ１Ａの出力のばらつき程度である。図８においては、縦軸がＤｕｔｙ比の値（［±％］）を示し、横軸がクリスタルギャップの値（［ｍｍ］）を示す。尚、計測には、４８個の歯５Ｔを有する歯車５が用いられている。回転速センサＲＳＳ１，ＲＳＳ１Ａから出力が得られる状態とは、歯車５の回転に応じて、歯車５が有する４８個の歯５Ｔのそれぞれに対応した波形（パルス波形）、すなわち４８個の波形が得られる状態のことである。

【0037】

図８に示されるように、比較例の回転速センサＲＳＳ１ＡのＤｕｔｙ比は、±２パーセントから±２７パーセントの範囲となっている。そして、クリスタルギャップが２．３ｍｍよりも大きくなると、回転速センサＲＳＳ１Ａによる出力が得られなくなる。すなわち、回転速センサＲＳＳ１Ａから出力される波形の個数が４８個に満たなくなる。

【0038】

これに対して、実施の形態の回転速センサＲＳＳ１のＤｕｔｙ比は、±２パーセントから±１０パーセントの範囲となっている。そして、クリスタルギャップが３．８ｍｍの場合であっても、回転速センサＲＳＳ１のＤｕｔｙ比が上記の範囲に収まっている。すなわち、比較例の回転速センサＲＳＳ１Ａでは出力が得られないクリスタルギャップが２．３ｍｍよりも大きい場合でも、回転速センサＲＳＳ１による出力が得られる。

【0039】

これにより、実施の形態の回転速センサＲＳＳ１は、比較例の回転速センサＲＳＳ１Ａよりもクリスタルギャップを増大させてエアギャップＧ１の範囲を大きくした場合であっても、出力のばらつき程度を抑制した状態で出力を得ることができる。換言すると、実施の形態の回転速センサＲＳＳ１では、磁気検出素子２１，２２による検出精度を確保するとともに、出力を得ることが可能なエアギャップＧ１の範囲を大きくすることができる。

【0040】

以上で説明した実施の形態によれば、以下の作用効果の少なくとも一つが得られる。

【0041】

（１）センサ部品２０の第２面である下面２０ｂ側における磁性板３０の開口部３０Ｈの縁部３１は、第１方向ＡＲ１に沿って下面２０ｂから離間するほど、開口部３０Ｈの中心である中心軸Ｃ１に向けて接近する。これにより、磁石１０の周囲に形成される磁束線の一部は、縁部３１を介して磁気検出素子２１，２２に向かって延び、磁気検出素子２１，２２の近傍の磁束密度が大きくなる。この結果、エアギャップＧ１を小さくしなくても、磁気検出素子２１，２２の検出精度を向上させることができる。換言すると、磁気検出素子２１，２２による検出精度を確保しつつ、回転速センサＲＳＳ１の出力を得ることが可能なエアギャップＧ１の範囲を大きくすることができ、回転速センサＲＳＳ１の取り付け作業の容易性及び設計の自由度の向上に寄与する。

【0042】

（２）縁部３１は、上面３０ｔにおける開口部３０Ｈの端部３１Ａと、内壁３３と接続する位置における接続部３１Ｂとを連結する面である。端部３１Ａの径Ｄ１は、接続部３１Ｂの径Ｄ２よりも大きい。これにより、Ｚ方向と平行な平面上でＲ形状の断面を有する縁部３１を形成することが可能となる。

【0043】

（３）センサ部品２０の下面２０ｂ側における磁性板３０の外縁部３２は、第１方向ＡＲ１に沿って下面２０ｂから離間するほど、開口部３０Ｈの中心である中心軸Ｃ１から離間する。これにより、磁気検出素子２１，２２の近傍の磁束密度が大きくなるので、エアギャップＧ１を小さくしなくても、磁気検出素子２１，２２の検出精度を向上させることができる。従って、磁気検出素子２１，２２による検出精度を確保しつつ、回転速センサＲＳＳ１の出力を得ることが可能なエアギャップＧ１の範囲を大きくすることができ、回転速センサＲＳＳ１の取り付け作業の容易性及び設計の自由度の向上に寄与する。

【0044】

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。

【0045】

実施の形態においては、縁部３１及び外縁部３２は、Ｚ方向と平行な平面上でＲ形状の断面を有していたが、この例に限定されない。少なくとも開口部３０Ｈの縁部３１がＺ方向と平行な平面上でＲ形状の断面を有していればよい。すなわち、縁部３１が、センサ部品２０の下面２０ｂから離間するほど中心軸Ｃ１に接近していればよい。これにより、実施の形態により得られる作用効果（１）及び（２）の少なくとも一方と同様の作用効果が得られる。

【0046】

また、磁性板３０をプレス成形によって形成するものに代えて、鋳造等により形成されてもよい。この場合、磁性板３０の縁部３１及び外縁部３２のうち少なくとも縁部３１が、センサ部品２０の下面２０ｂから離間するほど中心軸Ｃ１に接近する形状を有するように鋳型が製作される。これにより、実施の形態により得られる作用効果（１），（２）及び（３）の少なくとも一つと同様の作用効果が得られる。

【符号の説明】

【0047】

２ センサヘッド、２Ｃ ケーブル保持部、２Ｆ フランジ部、２Ｓ センサ保持部、３ ケーブル、４ コネクタ、５ 歯車、５ｒ 回転軸、５Ｔ 歯、１０ 磁石、１０ｎ，１０ｓ 磁極部、２０ センサ部品、２０ｂ 下面（第２面）、２０ｔ 上面（第１面）、２１ 磁気検出素子（第１磁気検出素子）、２２ 磁気検出素子（第２磁気検出素子）、２３ 封止体、２４ リード線、２５ コンデンサ、３０ 磁性板、３０ｂ 下面、３０ｔ 上面、３０Ｈ 開口部、３１ 縁部、３１Ａ 端部、３１Ｂ 接続部、３２ 外縁部、３３ 内壁、３４ 壁面、５０ 芯線、５５ 絶縁体、５６ シース、ＡＲ１ 第１方向、Ｃ１ 中心軸、Ｄ１，Ｄ２ 径、Ｇ１ エアギャップ、ＲＳＳ１，ＲＳＳ１Ａ 回転速センサ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】