特開 2024-152438 処理システム及び処理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024152438

(43)【公開日】2024-10-25

(54)【発明の名称】処理システム及び処理方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/68 20060101AFI20241018BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】15

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023066629

(22)【出願日】2023-04-14

(71)【出願人】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100122507

【弁理士】

【氏名又は名称】柏岡 潤二

(72)【発明者】

【氏名】東海林 賢斗

(72)【発明者】

【氏名】新藤 健弘

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA32

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA36

5F131DA42

5F131DB02

5F131DB06

5F131DB22

5F131DB25

5F131DB52

5F131DB62

5F131DB76

5F131GA14

5F131KA14

5F131KA22

5F131KB05

5F131KB23

5F131KB33

5F131KB43

5F131KB45

5F131KB53

5F131KB54

5F131KB55

5F131KB56

(57)【要約】

【課題】エンドエフェクタ上での基板の位置ずれを検出する技術を提供する。
【解決手段】開示される処理システムは、アライナと、搬送装置と、記憶部と、制御部と、判定部とを備える。アライナは、基板載置台、及び、基板の位置を測定する測定器を有する。測定器は、アライナ内且つ基板載置台の上方でエンドエフェクタ上に配置されている基板の位置を測定する。アライナは、基板の位置を調整するために用いられる。搬送装置は、エンドエフェクタを有する。搬送装置は、該エンドエフェクタにより基板をアライナに搬送するように構成されている。記憶部は、アライナ内且つ基板載置台の上方でエンドエフェクタ上に配置されている基板の標準位置を記憶する。制御部は、搬送装置により基板をアライナの基板載置台上に搬送するように制御する。判定部は、測定器により測定された該基板の位置と基板の標準位置との間のずれの有無を判定する。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板載置台、及び、基板の位置を測定する測定器を有し、前記基板の位置を調整するために用いられるアライナと、
エンドエフェクタを有し、該エンドエフェクタにより前記基板を前記アライナに搬送するように構成された搬送装置と、
前記アライナ内、前記基板載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の標準位置を記憶する記憶部と、
前記基板を前記アライナの前記基板載置台上に搬送するように前記搬送装置を制御する制御部と、
前記アライナ内、前記基板載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の測定位置であり、前記測定器により測定された該基板の該測定位置と前記アライナ内、前記基板載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記標準位置との間のずれの有無を判定する判定部と、
を備える処理システム。

【請求項2】

前記測定器は、前記アライナ内の前記エンドエフェクタの位置を測定し、
前記記憶部は、前記アライナ内の前記エンドエフェクタの標準位置を記憶し、
前記判定部は、前記測定器により測定された前記アライナ内の前記エンドエフェクタの測定位置と前記アライナ内の前記エンドエフェクタの前記標準位置との間のずれの有無を判定する、請求項１に記載の処理システム。

【請求項3】

前記エンドエフェクタは、該エンドエフェクタ上での前記基板の位置を測定する別の測定器を有し、
前記記憶部は、前記エンドエフェクタ上での前記基板の別の標準位置を記憶し、
前記判定部は、前記別の測定器により測定された前記エンドエフェクタ上での前記基板の測定位置と前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記別の標準位置との間のずれの有無を判定する、請求項１又は２に記載の処理システム。

【請求項4】

前記アライナの前記測定器は、ＣＣＤセンサである、請求項１又は２に記載の処理システム。

【請求項5】

前記制御部は、前記アライナ内、前記載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記測定位置と前記アライナ内、前記載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記標準位置との間のずれがあると前記判定部により判定された場合、該ずれについて報知する、請求項１又は２に記載の処理システム。

【請求項6】

前記制御部は、前記アライナ内、前記載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記測定位置と前記アライナ内、前記載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記標準位置との間のずれがないと前記判定部により判定された場合、前記基板載置台から前記基板を受け取って前記基板の搬送を続行するよう、前記搬送装置を制御する、請求項１又は２に記載の処理システム。

【請求項7】

前記アライナの前記測定器は、前記搬送装置によって前記アライナ内に搬送されて前記基板載置台上に載置された状態の前記基板の位置を測定し、
前記記憶部は、前記基板載置台上での前記基板の標準位置を記憶し、
前記判定部は、前記測定器により測定された前記基板載置台上での前記基板の測定位置と、前記基板載置台上での前記基板の標準位置との間のずれの有無を判定する、請求項１又は２に記載の処理システム。

【請求項8】

前記測定器は、前記搬送装置によって前記アライナ内に搬送されて前記基板載置台上に載置された状態の前記基板の位置を更に測定し、
前記判定部は、前記アライナ内、前記基板載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記測定位置と前記測定器により測定された前記基板載置台上での前記基板の測定位置との間の距離の差と閾値とを比較する、請求項１又は２に記載の処理システム。

【請求項9】

（ａ） 基板の位置を調整するために用いられるアライナの基板載置台上に前記基板を搬送するようにエンドエフェクタを有する搬送装置を制御する工程と、
（ｂ） 前記アライナ内、前記基板載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の位置を前記アライナにおける測定器によって測定する工程と、
（ｃ） 前記アライナ内、前記基板載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の標準位置を記憶する工程と、
（ｄ） 前記（ｂ）において測定された前記基板の測定位置と前記（ｃ）において記憶された前記基板の前記標準位置との間のずれの有無を判定する工程と、
を含む、処理方法。

【請求項10】

（ｅ） 前記アライナ内の前記エンドエフェクタの位置を前記測定器によって測定する工程と、
（ｆ） 前記アライナ内の前記エンドエフェクタの標準位置を記憶する工程と、
（ｇ） 前記（ｅ）において測定された前記アライナ内の前記エンドエフェクタの測定位置と前記（ｆ）において記憶された前記アライナ内の前記エンドエフェクタの前記標準位置との間のずれの有無を判定する工程と、
を更に含む、請求項９に記載の処理方法。

【請求項11】

（ｈ） 前記エンドエフェクタに設けられる別の測定器によって、該エンドエフェクタ上での前記基板の位置を測定する工程と、
（ｉ） 前記エンドエフェクタ上での前記基板の別の標準位置を記憶する工程と、
（ｊ） 前記（ｈ）において測定された前記エンドエフェクタ上での前記基板の測定位置と前記（ｉ）において記憶された前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記別の標準位置との間のずれの有無を判定する、請求項９又は１０に記載の処理方法。

【請求項12】

（ｋ） 前記（ｂ）において測定された前記基板の前記測定位置と前記（ｃ）において記憶された前記基板の前記標準位置との間のずれがあると判定された場合、該ずれについて報知する工程を更に含む、請求項９又は１０に記載の処理方法。

【請求項13】

（ｍ） 前記（ｂ）において測定された前記基板の位置と前記（ｃ）において記憶された前記基板の標準位置との間のずれがないと判定された場合、前記基板載置台から前記基板を受け取って、前記基板の搬送を続行させるように前記搬送装置を制御する工程を更に含む、請求項９又は１０に記載の処理方法。

【請求項14】

（ｎ） 前記搬送装置によって前記アライナ内に搬送されて前記基板載置台上での前記基板の位置を前記測定器によって測定する工程と、
（ｐ） 前記基板載置台上での前記基板の標準位置を記憶する工程と、
（ｑ） 前記（ｎ）において測定された前記基板載置台上での前記基板の測定位置と、前記（ｐ）において記憶された前記基板載置台上での前記基板の標準位置との間のずれの有無を判定する工程を含む、請求項９又は１０に記載の処理方法。

【請求項15】

（ｒ） 前記搬送装置によって前記アライナ内に搬送されて前記載置台上に載置された状態の前記基板の位置を前記測定器によって測定する工程と、
を含み、
（ｓ） 前記（ｂ）において測定された前記基板の測定位置と前記（ｒ）において測定された前記基板載置台上での前記基板の測定位置との間の距離の差が閾値未満か否かを判定する工程を更に含む、請求項９又は１０に記載の処理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示の例示的実施形態は、処理システム及び処理方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

基板搬送装置が、基板を基板載置部上に載置する処理において用いられている。下記の特許文献１に開示された基板搬送装置は、ハンドと、基板検出器と、制御装置とを有する。ハンドは、その上に基板を載置する。基板検出器は、ハンドに設けられ、基板に光を投光する。制御装置は、基板検出器が基板の主面からの反射光を受光したか否かによって、基板の位置ずれが生じているか否かを判定する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－０９１８５５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示は、エンドエフェクタ上での基板の位置ずれを検出する技術を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

一つの例示的実施形態において、処理システムが提供される。処理システムは、アライナと、搬送装置と、記憶部と、制御部と、判定部とを備える。アライナは、基板載置台、及び、基板の位置を測定する測定器を有する。測定器は、アライナ内且つ基板載置台の上方でエンドエフェクタ上に配置されている基板の位置を測定する。アライナは、基板の位置を調整するために用いられる。搬送装置は、エンドエフェクタを有する。搬送装置は、該エンドエフェクタにより基板をアライナに搬送するように構成されている。記憶部は、アライナ内且つ基板載置台の上方でエンドエフェクタ上に配置されている基板の標準位置を記憶する。制御部は、搬送装置により基板をアライナの基板載置台上に搬送するように制御する。判定部は、測定器により測定された該基板の位置と基板の標準位置との間のずれの有無を判定する。

【発明の効果】

【0006】

一つの例示的実施形態によれば、エンドエフェクタ上での基板の位置ずれを検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】一つの例示的実施形態に係る処理システムの一部を示す側面図である。

【図2】一つの例示的実施形態に係る処理システムを示す図である。

【図3】一つの例示的実施形態に係る処理システムの搬送装置を示す上面図である。

【図4】一つの例示的実施形態に係る処理システムの一部を示す側面図である。

【図5】一つの例示的実施形態に係る処理システムによる異常検出方法の流れ図である。

【図6】一つの例示的実施形態に係る処理システムによる他の異常検出方法の流れ図である。

【図7】一つの例示的実施形態に係る処理システムの一部を示す側面図である。

【図8】一つの例示的実施形態に係る処理システムによる他の異常検出方法の流れ図である。

【図9】他の例示的実施形態に係る処理システムの搬送装置を示す上面図である。

【図10】図９のＸ－Ｘ線に沿った搬送装置及び基板の断面図である。

【図11】他の例示的実施形態に係る処理システムによる異常検出方法の流れ図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、図面を参照して種々の例示的実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。

【0009】

〔処理システム〕
図１を参照し、一つの例示的実施形態の処理システムの一例について説明する。図１は、一つの例示的実施形態に係る処理システムの一部を示す側面図である。処理システムＰＳは、搬送ロボットＴＲ３によって基板Ｗを搬送して、基板Ｗを処理するシステムである。処理システムＰＳは、エンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置ずれを検出するように構成されている。

【0010】

図１に示すように、処理システムＰＳは、アライナＡＮと、搬送ロボットＴＲ３と、記憶部９１と、制御部９２と、判定部９３とを備える。搬送ロボットＴＲ３は、搬送装置の一例である。処理システムＰＳは、制御装置ＣＵを更に備えていてもよい。例えば、記憶部９１、制御部９２、及び判定部９３は、制御装置ＣＵ内で機能するユニットであってもよい。

【0011】

図２は、一つの例示的実施形態に係る処理システムを示す図である。図２に示すように、処理システムＰＳは、ロードポートＬＰ１～ＬＰ４、ローダモジュールＬＭ、ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２、ストレージＳＲを更に備えていてもよい。処理システムＰＳは、搬送モジュールＴＭ１，ＴＭ２、プロセスモジュールＰＭ１～ＰＭ１２等を更に備えていてもよい。

【0012】

処理システムＰＳにおいて、ローダモジュールＬＭは、ロードポートＬＰ１～ＬＰ４の何れか一つから取り出した基板を大気圧環境下で搬送するように構成されている。ローダモジュールＬＭは、チャンバを含んでいる。ローダモジュールＬＭのチャンバ内の圧力は、大気圧に設定される。ローダモジュールＬＭは、ＦＦＵ（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ）を有していてもよい。ローダモジュールＬＭは、例えばＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）である。ローダモジュールＬＭは、ロードポートＬＰ１～ＬＰ４の各々とロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２の各々との間に配置されている。ロードポートＬＰ１～ＬＰ４は、ローダモジュールＬＭの長手方向に沿った一対の縁部のうち一方に沿って配列されている。ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２は、ローダモジュールＬＭの長手方向に沿った一対の縁部のうち他方に沿って配列されている。ロードポートＬＰ１～ＬＰ４の各々は、その上に載置されるカセットＣＳＴを支持するように構成されている。カセットＣＳＴは、その中に複数の基板を収容する容器である。カセットＣＳＴは、例えばＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ－Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）である。

【0013】

ローダモジュールＬＭは、搬送ロボットＴＲ３を更に含む。搬送ロボットＴＲ３は、ローダモジュールＬＭのチャンバの中に設けられている。搬送ロボットＴＲ３は、例えば、エンドエフェクタＥＥ３１を有する。搬送ロボットＴＲ３は、多関節アームＡＲ３１を有していてもよい。搬送ロボットＴＲ３は、後述する制御装置ＣＵが出力する動作指示に基づいて基板を搬送する。搬送ロボットＴＲ３は、基板Ｗを、ロードポートＬＰ１～ＬＰ４のうち少なくとも一つの上に載置されるカセットＣＳＴ、ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２、アライナＡＮ、及びストレージＳＲのうち何れか二つの間で基板Ｗを搬送する。

【0014】

アライナＡＮは、ローダモジュールＬＭに接続されており、基板Ｗの位置を調整するように構成されている。アライナＡＮは、ローダモジュールＬＭの短手方向に沿った一対の縁部のうち一方の縁部に沿って配置されている。アライナＡＮは、ローダモジュールＬＭの長手方向に沿った縁部に沿って配置されていてもよい。また、アライナＡＮは、ローダモジュールＬＭのチャンバの中に配置されていてもよい。

【0015】

ストレージＳＲは、ローダモジュールＬＭに接続されており、その中に基板を格納するように構成されている。ストレージＳＲは、ローダモジュールＬＭの長手方向に沿った縁部に沿って配置されている。ストレージＳＲは、ローダモジュールＬＭの短手方向に沿った縁部に沿って配置されていてもよい。また、ストレージＳＲは、ローダモジュールＬＭの内部に設けられていてもよい。

【0016】

ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２の各々は、ローダモジュールＬＭに接続されており、予備減圧室を提供する。ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２の各々は、搬送モジュールＴＭ１とローダモジュールＬＭとの間に配置されている。ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２の各々とローダモジュールＬＭは、ゲートバルブＧ３を介して接続されている。ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２の各々と搬送モジュールＴＭ１は、ゲートバルブＧ２を介して接続されている。

【0017】

ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２の各々は、その内部空間に配置されたステージを有する。当該内部空間の圧力は、減圧可能である。当該内部空間の圧力は、基板Ｗが当該内部空間とローダモジュールＬＭとの間で搬送される際には、大気圧に設定される。当該内部空間の圧力は、基板Ｗが当該内部空間と搬送モジュールＴＭ１との間で搬送される際には、例えば真空状態に減圧される。

【0018】

搬送モジュールＴＭ１，ＴＭ２の各々は、チャンバを含んでいる。搬送モジュールＴＭ１，ＴＭ２の各々は、そのチャンバ内の減圧された空間を介して基板を搬送するように構成されている。搬送モジュールＴＭ１のチャンバは、ゲートバルブＧ２を介してロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２の各々と接続されている。搬送モジュールＴＭ１のチャンバには、プロセスモジュールＰＭ１～ＰＭ６がゲートバルブＧ１を介して接続されている。搬送モジュールＴＭ１のチャンバは、搬送モジュールＴＭ２のチャンバに接続されている。搬送モジュールＴＭ２のチャンバには、プロセスモジュールＰＭ７～ＰＭ１２がゲートバルブＧ１を介して接続されている。

【0019】

搬送モジュールＴＭ１は、そのチャンバ内に設けられた搬送ロボットＴＲ１を含んでいる。搬送ロボットＴＲ１は、例えば、エンドエフェクタＥＥ１１，ＥＥ１２及び多関節アームＡＲ１１，ＡＲ１２を有する。エンドエフェクタＥＥ１１は、フォークＦＫ１１を有する。エンドエフェクタＥＥ１２は、フォークＦＫ１２を有する。フォークＦＫ１１は、多関節アームＡＲ１１の先端に取り付けられており、その上に載置される基板を支持するように構成されている。フォークＦＫ１２は、多関節アームＡＲ１２の先端に取り付けられており、その上に載置される基板を支持するように構成されている。搬送ロボットＴＲ１は、後述する制御装置ＣＵが出力する動作指示に基づいて基板を搬送する。搬送ロボットＴＲ１は、フォークＦＫ１１，ＦＫ１２によって基板を保持する。搬送ロボットＴＲ１はロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２、プロセスモジュールＰＭ１～ＰＭ６、搬送モジュールＴＭ１のチャンバ及び搬送モジュールＴＭ１のチャンバと搬送モジュールＴＭ２のチャンバとの間のパスのうち何れか二つの間で基板を搬送する。

【0020】

搬送モジュールＴＭ２は、そのチャンバ内に設けられた搬送ロボットＴＲ２を含んでいる。搬送ロボットＴＲ２は、例えば、エンドエフェクタＥＥ２１，ＥＥ２２及び多関節アームＡＲ２１，ＡＲ２２を有する。エンドエフェクタＥＥ２１は、フォークＦＫ２１を有する。エンドエフェクタＥＥ２２は、フォークＦＫ２２を有する。フォークＦＫ２１は、多関節アームＡＲ２１の先端に取り付けられており、その上に載置される基板を支持するように構成されている。フォークＦＫ２２は、多関節アームＡＲ２２の先端に取り付けられており、その上に載置される基板を支持するように構成されている。搬送ロボットＴＲ２は、後述する制御装置ＣＵが出力する動作指示に基づいて基板を搬送する。搬送ロボットＴＲ２は、フォークＦＫ２１，ＦＫ２２によって基板を保持する。搬送ロボットＴＲ２は、プロセスモジュールＰＭ７～ＰＭ１２及び上記のパスのうち何れか二つの間で基板を搬送する。

【0021】

プロセスモジュールＰＭ１～ＰＭ１２の各々は、基板に対して専用の処理を行うように構成された基板処理装置である。プロセスモジュールＰＭ１～ＰＭ１２のうち少なくとも一つは、プラズマ処理装置であってもよい。搬送モジュールＴＭ１，ＴＭ２とプロセスモジュールＰＭ１～ＰＭ１２とは、開閉自在なゲートバルブＧ１で仕切られている。

【0022】

制御装置ＣＵは、例えばコンピュータである。制御装置ＣＵは、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、補助記憶装置等を備える。ＣＰＵは、ＲＯＭ又は補助記憶装置に格納されたプログラムに基づいて動作し、処理システムＰＳの各部を制御する。例えば、制御装置ＣＵは、動作指示を搬送ロボットＴＲ１，ＴＲ２，ＴＲ３等に出力する。動作指示は、基板の搬送場所に対する、基板を搬送するフォークＦＫ１１，ＦＫ１２，ＦＫ２１，ＦＫ２２，ＦＫ３１の移動の指示を含む。

【0023】

なお、処理システムＰＳは、必ずしも図２に示されるものに限定されない。例えば、処理システムにおけるプロセスモジュールの数及び／又はフォークの数は、図２に示されるものとは異なっていてもよい。また、処理システムは、各々がプロセスモジュールとロードロックモジュールを含む複数のモジュール群をローダモジュールに連結させたシステム（所謂ローダー型システム）であってもよい。また、処理システムは、搬送モジュールの周囲に二つ以上のプロセスモジュールを、該搬送モジュールを取り囲むように並べて連結したシステム（所謂クラスタ型システム）であってもよい。

【0024】

以下、一つの例示的実施形態に係る処理システムの各構成の詳細について説明する。まず、アライナＡＮにおける各構成の詳細について、再び図１を参照しつつ説明する。アライナＡＮには、基板載置台１０及び第１測定器２０が設けられている。

【0025】

アライナＡＮにおいて、基板載置台１０は、載置面１１を有する。基板載置台１０は、載置面１１上に載置される基板Ｗを支持する。なお、載置面１１は、幾つかのパッドにより構成されていてもよい。アライナＡＮの基板載置台１０は、回転可能である。

【0026】

第１測定器２０は、アライナＡＮの測定器の一例である。第１測定器２０は、例えば、ＣＣＤセンサである。第１測定器２０は、アライナＡＮの上部に設けられ、下方の測定領域２１内の対象物を測定するように配置されている。第１測定器２０は、例えば、測定領域２１内に基板載置台１０の載置面１１が含まれないように設けられる。

【0027】

第１測定器２０は、アライナＡＮ内の基板Ｗの中心位置を特定するために用いられる。第１測定器２０は、測定領域２１内の基板Ｗのエッジを検出する。第１測定器２０は、アライナＡＮ内、基板載置台１０の上方、且つエンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗのエッジを検出する。次に、第１測定器２０、又は、制御装置ＣＵの後述の判定部９３は、基板Ｗのエッジの検出結果に基づいて、基板Ｗの第１測定位置として、基板Ｗの中心位置を特定する。第１測定器２０、又は、制御装置ＣＵの後述の判定部９３は、例えば、検出された基板Ｗのエッジ、及び、予め記憶されている基板Ｗの半径に基づいて、基板Ｗの中心位置を特定する。第１測定器２０、又は、制御装置ＣＵの後述の判定部９３は、例えば、検出された基板Ｗの円弧部分の両端のそれぞれから、基板Ｗの半径の長さを有する線分を延在させ、両端のそれぞれから延在する二つの線分が交差する点を中心位置とする。これにより、第１測定器２０は、アライナＡＮ内の基板Ｗの中心位置を取得できる。基板Ｗの中心位置は、測定された基板の位置の一例である。

【0028】

以下、図３を参照して、基板載置台１０に基板Ｗを搬送する搬送ロボットＴＲ３について説明する。図３は、一つの例示的実施形態に係る処理システムの搬送装置を示す上面図である。

【0029】

搬送ロボットＴＲ３は、エンドエフェクタＥＥ３１によって支持されている状態の基板ＷをアライナＡＮに搬送するように構成されている。搬送ロボットＴＲ３のエンドエフェクタＥＥ３１は、フォークＦＫ３１及び少なくとも一つの支持部材Ｐを含む。少なくとも一つの支持部材Ｐは、その上に基板Ｗが載置されるように配置されている。フォークＦＫ３１は、基端部３１１と一対の腕部３１２，３１２を有する。一対の腕部３１２，３１２は、互いから離間しており、基端部３１１からそれらの先端まで延在している。すなわち、フォークＦＫ３１は、略Ｕ字形状または馬蹄形状を有する。腕部３１２と腕部３１２との間の間隙の幅は、エンドエフェクタＥＥ３１の上下動の際に一対の腕部３１２，３１２が基板載置台１０に接触しないよう、基板載置台１０の幅よりも大きい。

【0030】

図３に示すように、エンドエフェクタＥＥ３１は、少なくとも一つの支持部材Ｐとして、三つの支持部材Ｐを含んでいてもよい。三つの支持部材Ｐは、フォークＦＫ３１上に設けられる。三つの支持部材Ｐは、例えば、吸着パッドである。三つの支持部材Ｐはそれぞれ、吸気孔Ｖ１を含む。各吸気孔Ｖ１は、各支持部材Ｐを上下方向に貫通している。三つの支持部材Ｐは、それぞれの吸気孔Ｖ１からの吸気により、基板Ｗを吸着するように構成されている。三つの支持部材Ｐそれぞれの吸気孔Ｖ１は、フォークＦＫ３１の中まで延びている。フォークＦＫ３１は、その内部に形成された吸引路Ｖ２を含む。三つの支持部材Ｐそれぞれの吸気孔Ｖ１は、吸引路Ｖ２に繋がっている。

【0031】

処理システムＰＳは、排気管Ｖ３、排気装置Ｖ４及び吸着センサＶ５を更に備えていてもよい。複数の吸気孔Ｖ１は、吸引路Ｖ２及び排気管Ｖ３を介して排気装置Ｖ４に接続されている。排気装置Ｖ４は、バルブ、レギュレータ、真空ポンプ等を含む。排気装置Ｖ４は、吸気孔Ｖ１、吸引路Ｖ２及び排気管Ｖ３の各々における圧力を調整しながら吸気孔Ｖ１、吸引路Ｖ２及び排気管Ｖ３内を吸引する。吸気孔Ｖ１は、吸引路Ｖ２及び排気管Ｖ３を介して吸着センサＶ５にも接続されている。吸着センサＶ５は、排気管Ｖ３内の圧力（以下「吸着力」ともいう。）を検出する。

【0032】

以下、エンドエフェクタＥＥ３１上の基板Ｗの位置と基板Ｗの標準位置との間のずれの有無を判定するまでの処理について、制御装置ＣＵの構成と共に説明する。図１に示すように、制御装置ＣＵは、記憶部９１と、制御部９２と、判定部９３とを備える。

【0033】

記憶部９１は、アライナＡＮ内、基板載置台１０の上方、且つエンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの標準位置である第１標準位置を記憶する。基板Ｗの第１標準位置とは、搬送ロボットＴＲ３のエンドエフェクタＥＥ３１により基板載置台１０に載置される前の基板Ｗの位置として基準となる基板Ｗの位置である。基板Ｗの第１標準位置とは、例えば、基板載置台１０に対応して設定される位置である。基板Ｗの第１標準位置は、例えば、オペレータ等によって記憶部９１に記憶される。

【0034】

制御部９２は、基板ＷをアライナＡＮの基板載置台１０上に搬送するように搬送ロボットＴＲ３を制御する。以下、基板Ｗを搬送ロボットＴＲ３によりエンドエフェクタＥＥ３１から基板載置台１０に受け渡す手順の流れを説明する。制御部９２は、エンドエフェクタＥＥ３１の三つの支持部材Ｐ上に基板Ｗを載置した状態で、アライナＡＮ内且つ基板載置台１０の上方の領域まで基板Ｗを搬送するように、搬送ロボットＴＲ３を制御する。次いで、図１に示すように、制御部９２は、基板載置台１０の載置面１１に対して下方の領域に向かってエンドエフェクタＥＥ３１を下降させるように、搬送ロボットＴＲ３を制御する。図４は、一つの例示的実施形態に係る処理システムの一部を示す側面図である。制御部９２が、エンドエフェクタＥＥ３１を搬送ロボットＴＲ３によって下降させることにより、図４に示すように、基板Ｗが載置面１１に載置され、エンドエフェクタＥＥ３１は、基板Ｗから下方に引き離される。これにより、基板Ｗが搬送ロボットＴＲ３から基板載置台１０に受け渡される。

【0035】

制御部９２は、基板Ｗを基板載置台１０上からエンドエフェクタＥＥ３１に受け渡すよう搬送ロボットＴＲ３を制御してもよい。制御部９２は、基板載置台１０の載置面１１に対して下方の領域から上方へエンドエフェクタＥＥ３１を上昇させるように、搬送ロボットＴＲ３を制御する。これにより、エンドエフェクタＥＥ３１は、基板Ｗを三つの支持部材Ｐ上で支持して、基板載置台１０の載置面１１から持ち上げる。制御部９２は、エンドエフェクタＥＥ３１が基板Ｗを基板載置台１０の載置面１１から持ち上げた後に、基板Ｗを搬送するように搬送ロボットＴＲ３を制御してもよい。

【0036】

制御部９２は、第１測定器２０によりアライナＡＮ内の基板Ｗの位置を検出するように制御する。制御部９２は、アライナＡＮ内、基板載置台１０の上方、且つエンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗのエッジを検出するように、第１測定器２０を制御する。

【0037】

判定部９３は、第１測定位置と第１標準位置との間のずれの有無を判定する。判定部９３は、第１測定器２０から第１測定位置を取得する。具体的には、判定部９３は、第１測定器２０によって測定された基板Ｗのエッジの測定結果に基づいて、基板Ｗの第１測定位置として、基板Ｗの中心位置を特定する。判定部９３は、記憶部９１に記憶された第１標準位置を取得する。判定部９３は、第１測定位置と第１標準位置との間のずれ量を算出する。ずれ量とは、第１測定位置と第１標準位置との間の距離である。ずれ量が第１閾値以下である場合、判定部９３は、第１測定位置と第１標準位置との間のずれがないと判定する。ずれ量が第１閾値より大きい場合、判定部９３は、第１測定位置と第１標準位置との間のずれがあると判定する。第１閾値は、予め設定されており、例えば、記憶部９１に記憶されている。

【0038】

ここで、判定部９３により第１測定位置と第１標準位置との間のずれがないと判定された場合、算出されたずれ量は、第１閾値以下となる。すなわち、搬送ロボットＴＲ３によりアライナＡＮ内且つ基板載置台１０の上方に搬送される基板Ｗの位置が第１標準位置から離れている距離は、第１閾値内に収まる。

【0039】

しかし、少なくとも一つの支持部材Ｐを含むエンドエフェクタＥＥ３１が何らかの要因で汚損されている又は劣化している場合がある。この場合、エンドエフェクタＥＥ３１上に載置される際に基板Ｗが適切に配置されず、基板Ｗが第１標準位置から大きく離れた位置に配置される可能性がある。また、エンドエフェクタＥＥ３１を搬送する搬送ロボットＴＲ３において何らかの要因で動作不良が生じている場合等には、基板Ｗが、搬送ロボットＴＲ３によって、第１標準位置から大きく離れた位置に搬送される可能性がある。よって第１測定位置と第１標準位置との間のずれがある場合には、搬送ロボットＴＲ３が異常であると判定される。搬送ロボットＴＲ３の異常とは、例えば、少なくとも一つの支持部材Ｐの損傷、少なくとも一つの支持部材Ｐにおける吸着の異常、エンドエフェクタＥＥ３１の傾きの異常、多関節アームＡＲ３１の伸縮の異常等を含む。

【0040】

一実施形態において、判定部９３によって第１測定位置と第１標準位置との間のずれがあると判定された場合に、制御部９２は、当該ずれについて報知してもよい。例えば、制御部９２は、不図示のブザーによる音声報知、及び表示部における画面表示等によって、第１測定位置と第１標準位置との間のずれを報知する。制御部９２は、第１測定位置と第１標準位置との間のずれ量に応じて、報知の態様を変更してもよい。例えば、当該ずれ量が第１閾値より大きく第２閾値以下である場合には、エンドエフェクタＥＥ３１上の少なくとも一つの支持部材Ｐの交換、又は、当該少なくとも一つの支持部材Ｐのクリーニングを促す通知を行ってもよい。例えば、ずれ量が第２閾値より大きい場合には、制御部９２は、制御部９２は、搬送ロボットＴＲ３の停止を促す警告を行ってもよい。第２閾値は、予め設定されており、例えば、記憶部９１に記憶されている。

【0041】

一実施形態において、判定部９３によって第１測定位置と第１標準位置との間のずれがないと判定された場合に、基板載置台１０から基板Ｗを受け取って、基板Ｗの搬送を続行するよう、搬送ロボットＴＲ３を制御してもよい。判定部９３によって第１測定位置と第１標準位置との間のずれがあると判定された場合であっても、制御部９２は、第１測定位置と第１標準位置との間のずれ量に応じて、基板Ｗの搬送を継続してもよい。制御部９２は、第１測定位置から特定されるエンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置を、第１標準位置に補正する。例えば、制御部９２は、基板ＷをアライナＡＮの基板載置台１０上に載置した後、再び基板Ｗを受け取る際に、基板載置台１０に対するエンドエフェクタＥＥ３１の位置を搬送ロボットＴＲ３により調整することで上述の補正を行う。

【0042】

次に、図５を参照して一つの例示的実施形態に係る処理システムにおいて行われる異常検出方法について説明する。図５は、一つの例示的実施形態に係る処理システムによる異常検出方法の流れ図である。以下、処理システムＰＳが用いられる場合を例にとって、図５に示す異常検出方法ＭＴ１（以下、「方法ＭＴ１」という）について説明する。方法ＭＴ１は、処理方法の一例である。また、図５を参照しつつ、方法ＭＴ１における制御装置ＣＵによる処理システムＰＳの各構成及び各部の制御について説明する。なお、方法ＭＴ１は、処理システムＰＳ以外の処理システムを用いて行われてもよい。

【0043】

方法ＭＴ１では、基板Ｗが搬送ロボットＴＲ３によりアライナＡＮ内の基板載置台１０の上方に搬送されるときに、基板Ｗの位置を測定し、測定された基板Ｗの位置と第１標準位置とに基づいて、第１標準位置からの基板Ｗの位置ずれが検出される。

【0044】

方法ＭＴ１は、工程Ｓ１０を含む。工程Ｓ１０では、判定部９３によって、第１標準位置が記憶部９１に記憶されているか否かが判定される。第１標準位置が記憶部９１に記憶されていると判定された場合、処理は、工程Ｓ１２に移る。第１標準位置が記憶部９１に記憶されていないと判定された場合、処理は、工程Ｓ１１に移る。

【0045】

工程Ｓ１１では、記憶部９１によって、第１標準位置が記憶される。第１標準位置は、オペレータ等の入力によって設定される。第１標準位置は、オペレータ等の操作によって記憶される。工程ＳＴ１１の後の処理は、工程Ｓ１２に移る。

【0046】

方法ＭＴ１では、次いで、工程Ｓ１２が行われる。工程Ｓ１２では、搬送ロボットＴＲ３により基板ＷがアライナＡＮ内、且つ、基板載置台１０の上方に搬送される。工程Ｓ１２では、制御部９２は、基板Ｗを載置した状態のエンドエフェクタＥＥ３１をアライナＡＮ内に進入させるよう、搬送ロボットＴＲ３を制御する。制御部９２は、基板Ｗの少なくとも一部が第１測定器２０の測定領域２１に入るように搬送ロボットＴＲ３を制御する。

【0047】

方法ＭＴ１では、次いで、工程Ｓ１３が行われる。工程Ｓ１３では、第１測定器２０により、第１測定位置として基板Ｗの位置が測定される。制御部９２は、アライナＡＮ内、基板載置台１０の上方、且つエンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗのエッジを検出するように、第１測定器２０を制御する。第１測定器２０は、検出された基板Ｗのエッジに基づいて、基板Ｗの中心位置を第１測定位置として検出する。第１測定器２０は、検出された第１測定位置を判定部９３に通知する。

【0048】

方法ＭＴ１では、次いで、工程Ｓ１４が行われる。工程Ｓ１４では、判定部９３によって、第１測定位置と第１標準位置との間のずれの有無が判定される。判定部９３は、工程Ｓ１３において測定された第１測定位置と、記憶部９１に記憶されている第１標準位置との間のずれ量を算出する。第１測定位置と第１標準位置との間のずれ量が第１閾値以下である場合、判定部９３によって、第１測定位置と第１標準位置との間のずれがなく、基板Ｗの位置ずれが生じていないと判定され、処理は、工程Ｓ１５に移る。第１測定位置と第１標準位置との間のずれ量が第１閾値より大きい場合、判定部９３によって、第１測定位置と第１標準位置との間のずれがあり、基板Ｗの位置ずれが生じていると判定され、処理は、工程Ｓ１６に移る。

【0049】

工程Ｓ１５では、搬送ロボットＴＲ３によって、基板Ｗが搬送される。制御部９２は、例えば、アライナＡＮ内の基板載置台１０に基板Ｗを受け渡すため、エンドエフェクタＥＥ３１を下降させるように、搬送ロボットＴＲ３を制御してもよい。制御部９２は、例えば、基板載置台１０から基板Ｗを受け取るため、エンドエフェクタＥＥ３１を上昇させるように、搬送ロボットＴＲ３を制御してもよい。制御部９２は、例えば、基板ＷをアライナＡＮの外部に搬送するように、搬送ロボットＴＲ３を制御してもよい。工程Ｓ１５の後、方法ＭＴ１は終了する。

【0050】

工程Ｓ１６では、判定部９３によって、第１測定位置と第１標準位置との間のずれが大きいか否かが判定される。判定部９３は、工程Ｓ１３において測定された第１測定位置と、記憶部９１に記憶されている第１標準位置との間のずれ量を算出する。第１測定位置と第１標準位置との間のずれ量が第２閾値以下である場合、判定部９３によって、基板Ｗの位置ずれが生じているものの、比較的小さく収まっていると判定され、処理は、工程Ｓ１７に移る。第１測定位置と第１標準位置との間のずれ量が第２閾値より大きいである場合、判定部９３によって、基板Ｗの位置ずれが比較的大きいと判定され、処理は、工程Ｓ１８に移る。

【0051】

工程Ｓ１７では、異常が通知される。制御部９２は、不図示のブザーによる音声報知、及び表示部における画面表示等によって、異常を報知する。工程Ｓ１７の後、方法ＭＴ１は終了する。

【0052】

工程Ｓ１８では、異常について警告される。制御部９２は、不図示のブザーによる音声報知、及び表示部における画面表示等によって、異常について警告する。工程Ｓ１８における警告の態様は、工程Ｓ１７における通知の態様と異なる。例えば、工程Ｓ１８では、工程Ｓ１７に比べて、ブザーによる音声報知において、音量が大きくてもよく、報知時間が長くてもよい。例えば、工程Ｓ１８では、工程Ｓ１７に比べて、表示部の画面表示において、表示要素が大きくてもよく、表示時間が長くてもよい。工程Ｓ１８の後、方法ＭＴ１は終了する。

【0053】

実施形態の処理システムＰＳによれば、第１測定位置及び第１標準位置に基づいて、エンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置ずれを検出できる。第１測定位置及び第１標準位置は、それぞれアライナＡＮ内、基板載置台１０の上方、且つエンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置を表す。したがって、エンドエフェクタＥＥ３１から基板載置台１０に基板Ｗが受け渡される前に、エンドエフェクタＥＥ３１上での基板の位置ずれを検出できる。エンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置ずれが検出されることにより、搬送ロボットＴＲ３の異常の有無を検出できる。

【0054】

また、第１測定位置と第１標準位置との間のずれ量が第１閾値より大きい場合、制御部９２により、工程Ｓ１７における異常の通知、又は、工程Ｓ１８における警告が行われる。これにより、処理システムＰＳは、オペレータ等に対して適切にエンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置ずれを認識させることができる。また、工程Ｓ１８における警告により、処理システムＰＳは、オペレータ等に対して適切にエンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置ずれ、及び、エンドエフェクタＥＥ３１を含む搬送ロボットＴＲ３に異常が発生した可能性を認識させることができる。

【0055】

なお、エンドエフェクタＥＥ３１の支持部材Ｐの数は三つに限定されない。エンドエフェクタＥＥ３１は、一つの支持部材Ｐを有してもよく、二つ又は四つ以上の支持部材Ｐを有してもよい。また、工程Ｓ１７の後に、工程Ｓ１５が実行されてもよい。すなわち、判定部９３によって、基板Ｗの位置ずれが生じていても、第１測定位置と第１標準位置との間のずれ量が第２閾値以下に収まっていると判定された場合には、制御部９２は、搬送ロボットＴＲ３により基板Ｗを搬送させてもよい。

【0056】

第１測定器２０は、アライナＡＮ内の基板Ｗの中心位置を特定する代わりに、アライナＡＮ内の基板Ｗの角度位置を特定してもよい。第１測定器２０は、測定領域２１内の基板Ｗのノッチのようなマーカーを検出することで、基板Ｗの角度位置を測定する。第１測定器２０は、アライナＡＮ内、基板載置台１０の上方、且つエンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗのマーカーを検出する。判定部９３は、基板Ｗのマーカーの検出結果に基づいて、基板Ｗの第１測定位置として、基板Ｗのマーカーの角度位置を特定する。基板Ｗのマーカーの角度位置は、基板の位置の一例である。これにより、第１測定器２０は、基板Ｗの第１測定位置を取得できる。このとき、記憶部９１は、第１標準位置として、基板Ｗの基準となる角度位置を記憶している。なお、制御部９２は、第１測定位置としての基板Ｗの角度位置と、第１標準位置としての基板Ｗの角度位置との間のずれ量を算出する。制御部９２は、算出したずれ量だけ基板載置台１０を回転させる。これにより、制御部９２は、基板Ｗの角度位置を基準角度位置に一致させることができる。

【0057】

処理システムＰＳにおいて、第１測定器２０は、基板Ｗの第１測定位置を測定しなくてもよい。この場合、方法ＭＴ１における工程Ｓ１１の代わりに、記憶部９１は、基板Ｗの第２標準位置として、搬送ロボットＴＲ３によってアライナＡＮ内に搬送されて基板載置台１０上に載置された状態の基板Ｗの標準位置を記憶してもよい。次いで、方法ＭＴ１における工程Ｓ１２の代わりに、制御部９２は、基板ＷをアライナＡＮ内の基板載置台１０上に載置するように、搬送ロボットＴＲ３を制御してもよい。次いで、方法ＭＴ１における工程Ｓ１３の代わりに、第１測定器２０は、基板Ｗの第２測定位置として、搬送ロボットＴＲ３によってアライナＡＮ内に搬送されて基板載置台１０上に載置された状態の基板Ｗの位置を測定してもよい。制御部９２は、第１測定器２０を制御して、基板載置台１０を回転させる前に基板Ｗの第２測定位置を測定する。次いで、方法ＭＴ１における工程Ｓ１４の代わりに、判定部９３は、基板Ｗの第２測定位置と、基板Ｗの第２標準位置との間のずれの有無を判定してもよい。

【0058】

上述の処理システムによれば、第２測定位置及び第２標準位置に基づいて、基板載置台１０上に載置された状態の基板Ｗの位置ずれを検出できる。制御部９２は、基板載置台１０が回転する前の基板Ｗの位置を第２測定位置として測定するように、第１測定器２０を制御する。基板載置台１０上での基板Ｗの位置ずれは、基板載置台１０に基板Ｗを載置したエンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置ずれ、又は、搬送ロボットＴＲ３によるエンドエフェクタＥＥ３１の下降時のずれ等を反映している。基板載置台１０上に載置された状態の基板Ｗの位置ずれが検出されることにより、搬送ロボットＴＲ３の異常の有無を検出できる。

【0059】

以下、図６を参照して一つの例示的実施形態に係る処理システムにおいて行われる他の異常検出方法について説明する。図６は、一つの例示的実施形態に係る処理システムによる他の異常検出方法の流れ図である。以下、処理システムＰＳが用いられる場合を例にとって、図６に示す異常検出方法ＭＴ２（以下、「方法ＭＴ２」という）について説明する。方法ＭＴ２は、処理方法の一例である。また、方法ＭＴ２における制御装置ＣＵによる処理システムＰＳの各構成及び各部の制御について説明する。なお、方法ＭＴ２は、処理システムＰＳ以外の処理システムを用いて行われてもよい。図６に示す方法ＭＴ２は、第１測定位置及び第２測定位置を測定し、第１測定位置と第２測定位置との間のずれを検出し、基板Ｗの位置ずれを検出している点で図５に示す方法ＭＴ１と相違する。このとき、処理システムＰＳにおいて、記憶部９１は、第１標準位置及び第２標準位置を記憶しなくてもよい。

【0060】

方法ＭＴ２は、工程Ｓ２０を含む。工程Ｓ２０では、搬送ロボットＴＲ３により基板ＷがアライナＡＮ内、且つ、基板載置台１０の上方に搬送される。工程Ｓ２０は、方法ＭＴ１の工程Ｓ１２と同様に行われる。

【0061】

方法ＭＴ２では、次いで、工程Ｓ２１が行われる。工程Ｓ２１では、第１測定器２０により、第１測定位置として基板Ｗの位置が測定される。第１測定器２０は、検出された第１測定位置を判定部９３に通知する。工程Ｓ２１は、方法ＭＴ１の工程Ｓ１３と同様に行われる。

【0062】

方法ＭＴ２では、次いで、工程Ｓ２２が行われる。工程Ｓ２２では、搬送ロボットＴＲ３により基板ＷがアライナＡＮ内の基板載置台１０上に載置される。工程Ｓ２２では、制御部９２は、基板Ｗは、アライナＡＮ内の基板載置台１０上に載置させるよう、搬送ロボットＴＲ３を制御する。具体的には、制御部９２は、基板載置台１０の載置面１１に対して下方の領域に向かってエンドエフェクタＥＥ３１を下降させるように、搬送ロボットＴＲ３を制御する。これにより、基板Ｗが載置面１１に載置され、エンドエフェクタＥＥ３１は、基板Ｗから下方に引き離される。

【0063】

方法ＭＴ２では、次いで、工程Ｓ２３が行われる。工程Ｓ２３では、第１測定器２０により、第２測定位置として基板Ｗの位置が測定される。制御部９２は、アライナＡＮ内の基板載置台１０上に載置されている基板Ｗのエッジを検出するように、第１測定器２０を制御する。第１測定器２０は、検出された基板Ｗのエッジに基づいて、基板載置台１０上に載置されている基板Ｗの中心位置を第２測定位置として検出する。第１測定器２０は、検出された第１測定位置を判定部９３に通知する。

【0064】

方法ＭＴ２では、次いで、工程ＳＴ２４が行われる。工程Ｓ１４では、判定部９３によって、第１測定位置と第２測定位置との間のずれの有無が判定される。判定部９３は、工程Ｓ２１において測定された第１測定位置と、工程Ｓ２３において測定された第２測定位置との間のずれ量を算出する。第１測定位置と第２測定位置との間のずれ量が第３閾値以下である場合、判定部９３によって、第１測定位置と第２測定位置との間のずれがなく、基板Ｗの位置ずれが生じていないと判定され、処理は、工程Ｓ２５に移る。第１測定位置と第２測定位置との間のずれ量が第３閾値より大きいである場合、判定部９３によって、第１測定位置と第２測定位置との間のずれがあり、基板Ｗの位置ずれが生じていると判定され、処理は、工程Ｓ２６に移る。第３閾値は、予め設定されており、例えば、記憶部９１に記憶されている。

【0065】

工程Ｓ２５では、搬送ロボットＴＲ３によって、基板Ｗが搬送される。制御部９２は、例えば、基板載置台１０から基板Ｗを受け取るため、エンドエフェクタＥＥ３１を上昇させるように、搬送ロボットＴＲ３を制御してもよい。制御部９２は、例えば、基板ＷをアライナＡＮの外部に搬送するように、搬送ロボットＴＲ３を制御してもよい。工程Ｓ２５の後、方法ＭＴ２は終了する。

【0066】

工程Ｓ２６では、判定部９３によって、第１測定位置と第２測定位置との間のずれが大きいか否かが判定される。判定部９３は、工程Ｓ２１において測定された第１測定位置と、工程Ｓ２３において測定された第２測定位置との間のずれ量を算出する。第１測定位置と第２測定位置との間のずれ量が第４閾値以下である場合、判定部９３によって、基板Ｗの位置ずれが生じているものの、小さく収まっていると判定され、処理は、工程Ｓ２７に移る。第１測定位置と第２測定位置との間のずれ量が第４閾値より大きいである場合、判定部９３によって、基板Ｗの位置ずれが大きいと判定され、処理は、工程Ｓ２８に移る。第４閾値は、予め設定されており、例えば、記憶部９１に記憶されている。

【0067】

工程Ｓ２７では、異常が通知される。制御部９２は、不図示のブザーによる音声報知、及び表示部における画面表示等によって、異常を報知する。工程Ｓ２７の後、方法ＭＴ２は終了する。

【0068】

工程Ｓ２８では、異常について警告される。制御部９２は、不図示のブザーによる音声報知、及び表示部における画面表示等によって、異常について警告する。工程Ｓ２８は、方法ＭＴ１の工程Ｓ１３と同様に行われる。工程Ｓ２８の後、方法ＭＴ２は終了する。

【0069】

実施形態の処理システムＰＳの方法ＭＴ２によれば、第１測定位置及び第２測定位置に基づいて、エンドエフェクタＥＥ３１の下降中の基板Ｗの位置ずれを検出できる。第１測定位置は、アライナＡＮ内、基板載置台１０の上方、且つエンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置である。第２測定位置は、アライナＡＮ内の基板載置台１０上に載置されている基板Ｗの位置である。したがって、処理システムＰＳは、エンドエフェクタＥＥ３１から基板載置台１０に基板Ｗが受け渡される前後において、基板の位置ずれを検出できる。方法ＭＴ２において検出される基板Ｗの位置ずれは、例えば、搬送ロボットＴＲ３による下降中の動作不良によって、基板載置台１０に対するエンドエフェクタＥＥ３１上の基板Ｗの位置ずれが生じると考えられる。これにより、例えば、エンドエフェクタＥＥ３１の下降を制御する搬送ロボットＴＲ３の異常の有無を検出できる。

【0070】

以下、図７及び図８を参照して、処理システムＰＳにおける他の異常検出方法について説明する。図７は、他の例示的実施形態に係る処理システムの一部を説明するための側面図である。図８は、一つの例示的実施形態に係る処理システムによる他の異常検出方法の流れ図である。図７は、搬送ロボットＴＲ３によりエンドエフェクタＥＥ３１がアライナＡＮ内の基板載置台１０の上方に移動した状態を示している。図７に示す処理システムＰＳは、エンドエフェクタＥＥ３１上及び基板載置台１０上に基板Ｗが載置されていない。すなわち、図１及び図７に示す処理システムＰＳは、図８に示す異常検出方法にも対応可能である。

【0071】

以下、図７を参照して処理システムＰＳの他の処理例を説明する。処理システムＰＳの第１測定器２０は、アライナＡＮ内のエンドエフェクタＥＥ３１の位置を測定するために用いられる。第１測定器２０は、測定領域２１内のエンドエフェクタＥＥ３１のエッジを検出する。第１測定器２０は、アライナＡＮ内かつ基板載置台１０の上方に配置されているエンドエフェクタＥＥ３１のエッジを検出する。次に、第１測定器２０又は制御装置ＣＵの判定部９３は、エンドエフェクタＥＥ３１のエッジの検出結果に基づいて、エンドエフェクタＥＥ３１の第３測定位置として、エンドエフェクタＥＥ３１の中心位置を特定する。エンドエフェクタＥＥ３１の中心位置とは、エンドエフェクタＥＥ３１上に基板Ｗが載置される場合における基板Ｗの中心位置が位置する箇所である。これにより、第１測定器２０は、第３測定位置を取得できる。第３測定位置は、測定されたアライナＡＮ内のエンドエフェクタＥＥ３１の位置の一例である。

【0072】

制御装置ＣＵの記憶部９１は、アライナＡＮ内のエンドエフェクタＥＥ３１の標準位置の一例である第３標準位置を記憶する。第３標準位置は、アライナＡＮ内かつ基板載置台１０の上方に配置されているエンドエフェクタＥＥ３１の標準位置である。エンドエフェクタＥＥ３１の第３標準位置とは、搬送ロボットＴＲ３のエンドエフェクタＥＥ３１により基板載置台１０に載置される前のエンドエフェクタＥＥ３１の位置として基準となるエンドエフェクタＥＥ３１の位置である。エンドエフェクタＥＥ３１の第３標準位置とは、例えば、基板載置台１０に対応して設定される位置である。エンドエフェクタＥＥ３１の第３標準位置は、例えば、オペレータ等によって記憶部９１に記憶される。

【0073】

制御部９２は、第１測定器２０によりアライナＡＮ内のエンドエフェクタＥＥ３１の位置を検出するように制御する。制御部９２は、アライナＡＮ内且つ基板載置台１０の上方に配置されているエンドエフェクタＥＥ３１のエッジを検出するように、第１測定器２０を制御する。

【0074】

判定部９３は、第３測定位置と第３標準位置との間のずれの有無を判定する。判定部９３は、第１測定器２０から第３測定位置を取得する。具体的には、判定部９３は、第１測定器２０によって測定されたエンドエフェクタＥＥ３１のエッジの測定結果に基づいて、エンドエフェクタＥＥ３１の第３測定位置として、エンドエフェクタＥＥ３１の中心位置を特定する。判定部９３は、記憶部９１に記憶された第３標準位置を取得する。判定部９３は、第３測定位置と第３標準位置との間のずれ量を算出する。ずれ量とは、第３測定位置と第３標準位置との間の距離である。ずれ量が第５閾値以下である場合、判定部９３は、第３測定位置と第３標準位置との間のずれがないと判定する。ずれ量が第５閾値より大きい場合、判定部９３は、第３測定位置と第３標準位置との間のずれがあると判定する。第５閾値は、予め設定されており、例えば、記憶部９１に記憶されている。

【0075】

ここで、判定部９３により第３測定位置と第３標準位置との間のずれがないと判定された場合、算出されたずれ量は、第５閾値以下となる。すなわち、搬送ロボットＴＲ３によりアライナＡＮ内且つ基板載置台１０の上方に配置されるエンドエフェクタＥＥ３１の位置が第３標準位置から離れている距離は、第５閾値内に収まる。

【0076】

しかし、搬送ロボットＴＲ３が何らかの要因で汚損又は劣化している場合には、エンドエフェクタＥＥ３１が適切に配置されず、エンドエフェクタＥＥ３１が第３標準位置から大きく離れた位置に配置される可能性がある。よって第３測定位置と第３標準位置との間のずれがある場合には、搬送ロボットＴＲ３が異常であると判定される。ここでの搬送ロボットＴＲ３の異常とは、例えば、エンドエフェクタＥＥ３１の傾きの異常、多関節アームＡＲ３１の伸縮の異常等を含む。

【0077】

一実施形態において、判定部９３によって第３測定位置と第３標準位置との間のずれがあると判定された場合に、制御部９２は、当該ずれについて報知してもよい。例えば、制御部９２は、不図示のブザーによる音声報知、及び表示部における画面表示等によって、第３測定位置と第３標準位置との間のずれを報知する。制御部９２は、第３測定位置と第３標準位置との間のずれ量に応じて、報知の態様を変更してもよい。例えば、当該ずれ量が第５閾値より大きく第６閾値以下である場合には、エンドエフェクタＥＥ３１を含む搬送ロボットＴＲ３の異常の可能性を示唆する通知を行ってもよい。例えば、ずれ量が第６閾値より大きい場合には、制御部９２は、制御部９２は、搬送ロボットＴＲ３の停止を促す警告を行ってもよい。第６閾値は、予め設定されており、例えば、記憶部９１に記憶されている。

【0078】

次に、図８を参照して一つの例示的実施形態に係る処理システムにおいて行われる他の異常検出方法について説明する。以下、処理システムＰＳが用いられる場合を例にとって、図８に示す異常検出方法ＭＴ３（以下、「方法ＭＴ３」という）について説明する。方法ＭＴ３は、処理方法の一例である。また、図８を参照しつつ、方法ＭＴ３における制御装置ＣＵによる処理システムＰＳの各構成及び各部の制御について説明する。なお、方法ＭＴは、処理システムＰＳ以外の処理システムを用いて行われてもよい。図８に示す方法ＭＴ３は、第３測定位置としてエンドエフェクタＥＥ３１の位置を測定し、第１測定位置と第１標準位置との間のずれを検出し、エンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれを検出している点で図５に示す方法ＭＴ１と相違する。

【0079】

方法ＭＴ３は、工程Ｓ３０を含む。工程Ｓ３０では、判定部９３によって、第３標準位置が記憶部９１に記憶されているか否かが判定される。第３標準位置が記憶部９１に記憶されていると判定された場合、処理は、工程Ｓ１２に移る。第３標準位置が記憶部９１に記憶されていないと判定された場合、処理は、工程Ｓ１１に移る。

【0080】

工程Ｓ３１では、記憶部９１によって、第３標準位置が記憶される。第３標準位置は、オペレータ等の入力によって設定される。第３標準位置は、オペレータ等の操作によって記憶される。工程ＳＴ３１の後の処理は、工程Ｓ３２に移る。

【0081】

方法ＭＴ３では、次いで、工程Ｓ３２が行われる。工程Ｓ３２では、搬送ロボットＴＲ３によりエンドエフェクタＥＥ３１がアライナＡＮ内、且つ、基板載置台１０の上方に移動する。工程Ｓ３２では、制御部９２は、基板Ｗを載置していない状態のエンドエフェクタＥＥ３１をアライナＡＮ内に進入させるよう、搬送ロボットＴＲ３を制御する。制御部９２は、エンドエフェクタＥＥ３１の少なくとも一部が第１測定器２０の測定領域２１に入るように搬送ロボットＴＲ３を制御する。

【0082】

方法ＭＴ３では、次いで、工程Ｓ３３が行われる。工程Ｓ３３では、第１測定器２０により、第３測定位置としてエンドエフェクタＥＥ３１の位置が測定される。制御部９２は、アライナＡＮ内且つ基板載置台１０の上方に配置されているエンドエフェクタＥＥ３１のエッジを検出するように、第１測定器２０を制御する。第１測定器２０は、検出されたエンドエフェクタＥＥ３１のエッジに基づいて、エンドエフェクタＥＥ３１の中心位置を第３測定位置として検出する。第１測定器２０は、検出された第３測定位置を判定部９３に通知する。

【0083】

方法ＭＴ３では、次いで、工程ＳＴ３４が行われる。工程Ｓ３４では、判定部９３によって、第３測定位置と第３標準位置との間のずれの有無が判定される。判定部９３は、工程Ｓ３３において測定された第３測定位置と、記憶部９１に記憶されている第３標準位置との間のずれ量を算出する。第３測定位置と第３標準位置との間のずれ量が第５閾値以下である場合、判定部９３によって、第３測定位置と第３標準位置との間のずれがなく、エンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれが生じていないと判定され、方法ＭＴ３は終了する。第３測定位置と第３標準位置との間のずれ量が第５閾値より大きいである場合、判定部９３によって、第３測定位置と第３標準位置との間のずれがあり、エンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれが生じていると判定され、処理は、工程Ｓ３５に移る。

【0084】

工程Ｓ３５では、判定部９３によって、第３測定位置と第３標準位置との間のずれが大きいか否かが判定される。判定部９３は、工程Ｓ３３において測定された第３測定位置と、記憶部９１に記憶されている第３標準位置との間のずれ量を算出する。第３測定位置と第３標準位置との間のずれ量が第６閾値以下である場合、判定部９３によって、エンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれが生じているものの、比較的小さく収まっていると判定され、処理は、工程Ｓ３６に移る。第３測定位置と第３標準位置との間のずれ量が第６閾値より大きいである場合、判定部９３によって、エンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれが比較的大きいと判定され、処理は、工程Ｓ３７に移る。

【0085】

工程Ｓ３６では、異常が通知される。制御部９２は、不図示のブザーによる音声報知、及び表示部における画面表示等によって、異常を報知する。工程Ｓ３６の後、方法ＭＴ３は終了する。

【0086】

工程Ｓ３７では、異常について警告される。制御部９２は、不図示のブザーによる音声報知、及び表示部における画面表示等によって、異常について警告する。工程Ｓ３７は、方法ＭＴ１の工程Ｓ１８と同様の態様で異常について警告する。工程Ｓ３７の後、方法ＭＴ３は終了する。

【0087】

他の例示的実施形態の処理システムＰＳによれば、第３測定位置及び第３標準位置に基づいて、エンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれを検出できる。基板載置台１０に対するエンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれが検出されることにより、エンドエフェクタＥＥ３１及び搬送ロボットＴＲ３の異常の有無を検出できる。

【0088】

また、第３測定位置と第３標準位置との間のずれ量が第５閾値より大きい場合、制御部９２により、工程Ｓ３６における異常の通知、又は、工程Ｓ３７における警告が行われる。これにより、処理システムＰＳは、オペレータ等に対して適切にエンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれを認識させることができる。また、工程Ｓ３７における警告により、処理システムＰＳは、オペレータ等に対してエンドエフェクタＥＥ３１を含む搬送ロボットＴＲ３に異常が発生した可能性を認識させることができる。

【0089】

処理システムＰＳにおいて、第１測定器２０は、エンドエフェクタＥＥ３１の第３測定位置を測定しなくてもよい。この場合、方法ＭＴ３における工程Ｓ３１の代わりに、記憶部９１は、基板Ｗの第４標準位置として、搬送ロボットＴＲ３によってアライナＡＮ内且つ基板載置台１０の下方に移動した状態のエンドエフェクタＥＥ３１の標準位置を記憶してもよい。次いで、方法ＭＴ３における工程Ｓ３２の代わりに、制御部９２は、エンドエフェクタＥＥ３１がアライナＡＮ内且つ基板載置台１０の下方に移動するように、搬送ロボットＴＲ３を制御してもよい。次いで、方法ＭＴ３における工程Ｓ３３の代わりに、第１測定器２０は、基板Ｗの第４測定位置として、搬送ロボットＴＲ３によってアライナＡＮ内且つ基板載置台１０の下方に移動した状態のエンドエフェクタＥＥ３１の位置を測定してもよい。次いで、方法ＭＴ３における工程Ｓ３４の代わりに、判定部９３は、エンドエフェクタＥＥ３１の第４測定位置と、エンドエフェクタＥＥ３１の第４標準位置との間のずれの有無を判定してもよい。

【0090】

上述の処理システムによれば、第４測定位置及び第４標準位置に基づいて、アライナＡＮ内且つ基板載置台１０の下方に移動した状態のエンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれを検出できる。検出されたエンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれは、搬送ロボットＴＲ３によるエンドエフェクタＥＥ３１の下降時のずれ等を反映している。アライナＡＮ内且つ基板載置台１０の下方に移動した状態のエンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれが検出されることにより、搬送ロボットＴＲ３の異常の有無を検出できる。

【0091】

処理システムＰＳにおいて、記憶部９１は、第３標準位置及び第４標準位置を記憶しなくてもよい。このとき、方法ＭＴ２における第１測定位置及び第２測定位置に関する記載を第３測定位置及び第４測定位置に置き換えて、基板Ｗの位置ずれの検出の代わりにエンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれの検出を行う方法を実行してもよい。当該方法では、方法ＭＴ２内の処理と同様の処理が、エンドエフェクタＥＥ３１上に基板Ｗが載置されていない状態で行われる。当該方法では、方法ＭＴ２の処理内の基板Ｗに代わってエンドエフェクタＥＥ３１の位置が第１測定器２０により測定される。当該方法実施形態の処理システムＰＳの当該方法によれば、第３測定位置及び第４測定位置に基づいて、エンドエフェクタＥＥ３１の下降時の位置ずれを検出できる。第３測定位置は、アライナＡＮ内且つ基板載置台１０の上方に配置されているエンドエフェクタＥＥ３１の位置である。第４測定位置は、アライナＡＮ内の基板載置台１０の下方に配置されているエンドエフェクタＥＥ３１の位置である。したがって、処理システムＰＳは、エンドエフェクタＥＥ３１が基板載置台１０に接近して離間する前後において、エンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれを検出できる。当該方法において検出されるエンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれは、例えば、搬送ロボットＴＲ３による下降中の動作不良によって、基板載置台１０に対するエンドエフェクタＥＥ３１の位置ずれが生じると考えられる。これにより、例えば、エンドエフェクタＥＥ３１の下降を制御する搬送ロボットＴＲ３の異常の有無を検出できる。

【0092】

以下、図９及び図１０を参照して、別の処理システムについて説明する。図９は、他の例示的実施形態に係る処理システムの搬送装置を示す上面図である。図１０は、図９のＸ－Ｘ線に沿った搬送装置及び基板の断面図である。図９及び図１０に示す例示的実施形態に係る処理システムＰＳＢは、第２測定器３０と、制御装置ＣＵＢとを備えている点で処理システムＰＳと相違する。処理システムＰＳＢは、例えば、処理システムＰＳにおける第１測定器２０を備えなくてもよい。

【0093】

エンドエフェクタＥＥ３１は、エンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置を測定する少なくとも一つの第２測定器３０を有する。少なくとも一つの第２測定器３０は、別の測定器の一例である。第２測定器３０は、例えば、ＣＣＤセンサである。第２測定器３０は、上方の測定領域３１内の対象物を測定するように配置されている。第２測定器３０は、少なくとも一つの支持部材Ｐ上に設けられた基板Ｗが測定領域３１内に含まれるように設けられる。

【0094】

エンドエフェクタＥＥ３１は、少なくとも一つの第２測定器３０として、第２測定器３０ａ，３０ｂ，３０ｃを有する。第２測定器３０ａ，３０ｂ，３０ｃは、エンドエフェクタＥＥ３１上の基板Ｗの中心位置を特定するために用いられる。第２測定器３０ａ，３０ｂ，３０ｃは、ＣＣＤセンサのうち、長尺のラインセンサである。第２測定器３０ａ，３０ｂ，３０ｃは、互いに交差するように設けられる。第２測定器３０ａ，３０ｂ，３０ｃの長手方向は、エンドエフェクタＥＥ３１上に載置される基板Ｗの中心が設けられる方向に延びている。第２測定器３０ａ，３０ｂ，３０ｃは、各測定領域３１において、基板Ｗにおいて遮蔽された部分の長さを測定する。判定部９３は、第２測定器３０ａ，３０ｂ，３０ｃが延びている方向と、当該遮蔽された部分の長さとに基づいて、基板Ｗの第５測定位置として、基板Ｗの中心位置を特定する。これにより、第２測定器３０は、エンドエフェクタＥＥ３１上の基板Ｗの中心位置を取得できる。基板Ｗの中心位置は、測定された基板の位置の一例である。

【0095】

制御装置ＣＵＢは、例えば、コンピュータである。制御装置ＣＵＢのハード構成は、制御装置ＣＵと同一であってもよい。制御装置ＣＵＢは、記憶部９１Ｂ、制御部９２Ｂ、及び、判定部９３Ｂを有する。

【0096】

記憶部９１Ｂは、エンドエフェクタＥＥ３１上に配置されている基板Ｗの標準位置である第５標準位置を記憶する。基板Ｗの第５標準位置とは、搬送ロボットＴＲ３のエンドエフェクタＥＥ３１により搬送されている基板Ｗの位置として基準となる基板Ｗの位置である。基板Ｗの第５標準位置とは、例えば、エンドエフェクタＥＥ３１に対応して設定される位置である。基板Ｗの第５標準位置は、例えば、オペレータ等によって記憶部９１に記憶される。

【0097】

制御部９２Ｂは、搬送ロボットＴＲ３により基板Ｗを搬送するように制御する。制御部９２Ｂは、搬送ロボットＴＲ３により基板ＷをアライナＡＮの基板載置台１０上に搬送するように制御してもよい。

【0098】

制御部９２Ｂは、第２測定器３０ＢによりエンドエフェクタＥＥ３１上の基板Ｗの位置を検出するように制御する。制御部９２Ｂは、エンドエフェクタＥＥ３１上に配置されている基板Ｗのエッジを検出するように、第２測定器３０を制御する。

【0099】

判定部９３Ｂは、第５測定位置と第５標準位置との間のずれの有無を判定する。判定部９３Ｂは、第２測定器３０から第５測定位置を取得する。具体的には、判定部９３Ｂは、第２測定器３０ａ，３０ｂ，３０ｃが延びている方向と、第２測定器３０ａ，３０ｂ，３０ｃがそれぞれ基板Ｗにより遮蔽された部分の長さとに基づいて、基板Ｗの第５測定位置として、基板Ｗの中心位置を特定する。判定部９３Ｂは、記憶部９１Ｂに記憶された第５標準位置を取得する。判定部９３Ｂは、第５測定位置と第５標準位置との間のずれ量を算出する。ずれ量とは、第５測定位置と第５標準位置との間の距離である。ずれ量が第７閾値以下である場合、判定部９３Ｂは、第５測定位置と第５標準位置との間のずれがないと判定する。ずれ量が第７閾値より大きい場合、判定部９３Ｂは、第５測定位置と第５標準位置との間のずれがあると判定する。第７閾値は、予め設定されており、例えば、記憶部９１Ｂに記憶されている。

【0100】

ここで、判定部９３Ｂにより第５測定位置と第５標準位置との間のずれがないと判定された場合、算出されたずれ量は、第７閾値以下となる。すなわち、エンドエフェクタＥＥ３１上の基板Ｗの位置が第５標準位置から離れている距離は、第７閾値内に収まる。

【0101】

しかし、少なくとも一つの支持部材Ｐを含むエンドエフェクタＥＥ３１が何らかの要因で汚損されている又は劣化している場合がある。この場合、エンドエフェクタＥＥ３１上に載置される際に基板Ｗが適切に配置されず、基板Ｗが第５標準位置から大きく離れた位置に配置される可能性がある。よって第５測定位置と第５標準位置との間のずれがある場合には、搬送ロボットＴＲ３が異常であると判定される。搬送ロボットＴＲ３の異常とは、例えば、少なくとも一つの支持部材Ｐの損傷、少なくとも一つの支持部材Ｐにおける吸着の異常、エンドエフェクタＥＥ３１の傾きの異常等を含む。

【0102】

一実施形態において、判定部９３Ｂによって第５測定位置と第５標準位置との間のずれがあると判定された場合に、制御部９２Ｂは、当該ずれについて報知してもよい。例えば、制御部９２Ｂは、不図示のブザーによる音声報知、及び表示部における画面表示等によって、第５測定位置と第５標準位置との間のずれを報知する。制御部９２Ｂは、第５測定位置と第５標準位置との間のずれ量に応じて、報知の態様を変更してもよい。例えば、当該ずれ量が第７閾値より大きく第８閾値以下である場合には、エンドエフェクタＥＥ３１上の少なくとも一つの支持部材Ｐの交換、又は、当該少なくとも一つの支持部材Ｐのクリーニングを促す通知を行ってもよい。例えば、ずれ量が第８閾値より大きい場合には、制御部９２Ｂは、制御部９２Ｂは、搬送ロボットＴＲ３の停止を促す警告を行ってもよい。第８閾値は、予め設定されており、例えば、記憶部９１Ｂに記憶されている。

【0103】

一実施形態において、判定部９３Ｂによって第５測定位置と第５標準位置との間のずれがないと判定された場合に、基板Ｗの搬送を続行するよう、搬送ロボットＴＲ３を制御してもよい。判定部９３Ｂによって第５測定位置と第５標準位置との間のずれがあると判定された場合であっても、制御部９２Ｂは、第５測定位置と第５標準位置との間のずれ量に応じて、基板Ｗの搬送を継続してもよい。

【0104】

次に、図１１を参照して一つの例示的実施形態に係る処理システムにおいて行われる異常検出方法について説明する。図１１は、他の例示的実施形態に係る処理システムによる異常検出方法の流れ図である。以下、処理システムＰＳＢが用いられる場合を例にとって、図１１に示す異常検出方法ＭＴ４（以下、「方法ＭＴ４」という）について説明する。方法ＭＴ４は、処理方法の一例である。また、図１１を参照しつつ、方法ＭＴ４における制御装置ＣＵＢによる処理システムＰＳＢの各構成及び各部の制御について説明する。なお、方法ＭＴ４は、処理システムＰＳＢ以外の処理システムを用いて行われてもよい。

【0105】

方法ＭＴ４では、基板Ｗが搬送ロボットＴＲ３により搬送されるときに、基板Ｗの位置を測定し、測定された基板Ｗの位置と第５標準位置とに基づいて、第５標準位置からの基板Ｗの位置ずれが検出される。

【0106】

方法ＭＴ４は、工程Ｓ４０を含む。工程Ｓ４０では、判定部９３Ｂによって、第５標準位置が記憶部９１Ｂに記憶されているか否かが判定される。第５標準位置が記憶部９１Ｂに記憶されていると判定された場合、処理は、工程Ｓ４２に移る。第５標準位置が記憶部９１Ｂに記憶されていないと判定された場合、処理は、工程Ｓ４１に移る。

【0107】

工程Ｓ４１では、記憶部９１Ｂによって、第５標準位置が記憶される。第５標準位置は、オペレータ等の入力によって設定される。第５標準位置は、オペレータ等の操作によって記憶される。工程ＳＴ４１の後の処理は、工程Ｓ４２に移る。

【0108】

方法ＭＴ４では、次いで、工程Ｓ４２が行われる。工程Ｓ４２では、第２測定器３０ａ，３０ｂ，３０ｃにより、第５測定位置として基板Ｗの位置が測定される。制御部９２Ｂは、エンドエフェクタＥＥ３１上に配置されている基板Ｗにより測定領域３１が遮蔽されている部分の長さを測定するように、第２測定器３０ａ，３０ｂ，３０ｃを制御する。第２測定器３０ａ，３０ｂ，３０ｃは、当該遮蔽されている部分の長さと、第２測定器３０ａ，３０ｂ，３０ｃの延びている方向とに基づいて、基板Ｗの中心位置を第５測定位置として検出する。第２測定器３０は、検出された第５測定位置を判定部９３Ｂに通知する。

【0109】

方法ＭＴ４では、次いで、工程Ｓ４３が行われる。工程Ｓ４３では、判定部９３Ｂによって、第５測定位置と第５標準位置との間のずれの有無が判定される。判定部９３Ｂは、工程Ｓ４２において測定された第５測定位置と、記憶部９１Ｂに記憶されている第５標準位置との間のずれ量を算出する。第５測定位置と第５標準位置との間のずれ量が第５閾値以下である場合、判定部９３Ｂによって、第５測定位置と第５標準位置との間のずれがなく、基板Ｗの位置ずれが生じていないと判定され、処理は、工程Ｓ４４に移る。第５測定位置と第５標準位置との間のずれ量が第７閾値より大きい場合、判定部９３Ｂによって、第５測定位置と第５標準位置との間のずれがあり、基板Ｗの位置ずれが生じていると判定され、処理は、工程Ｓ４５に移る。

【0110】

工程Ｓ４４では、搬送ロボットＴＲ３によって、基板Ｗが搬送される。工程Ｓ４４は、方法ＭＴ１の工程Ｓ１５と同様に行われる。工程Ｓ４４の後、方法ＭＴ４は終了する。

【0111】

工程Ｓ４５では、判定部９３Ｂによって、第５測定位置と第５標準位置との間のずれが大きいか否かが判定される。判定部９３Ｂは、工程Ｓ４２において測定された第５測定位置と、記憶部９１Ｂに記憶されている第５標準位置との間のずれ量を算出する。第５測定位置と第５標準位置との間のずれ量が第８閾値以下である場合、判定部９３Ｂによって、基板Ｗの位置ずれが生じているものの、比較的小さく収まっていると判定され、処理は、工程Ｓ４６に移る。第５測定位置と第５標準位置との間のずれ量が第８閾値より大きいである場合、判定部９３Ｂによって、基板Ｗの位置ずれが比較的大きいと判定され、処理は、工程Ｓ４８に移る。

【0112】

工程Ｓ４６では、異常が通知される。工程Ｓ４６は、方法ＭＴ１の工程Ｓ１７と同様に行われる。工程Ｓ４６の後、方法ＭＴ４は終了する。

【0113】

工程Ｓ４７では、異常について警告される。工程Ｓ４７は、方法ＭＴ１の工程Ｓ１８と同様に行われる。工程Ｓ４７の後、方法ＭＴ４は終了する。

【0114】

他の例示的実施形態の処理システムＰＳによれば、第５測定位置及び第５標準位置に基づいて、エンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置ずれを検出できる。第５測定位置及び第５標準位置は、それぞれエンドエフェクタＥＥ３１上に配置されているエンドエフェクタＥＥ３１に対する基板Ｗの位置を表す。したがって、搬送ロボットＴＲ３による基板Ｗの搬送中に、エンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置ずれを検出できる。エンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置ずれが検出されることにより、搬送ロボットＴＲ３の異常の有無を検出できる。

【0115】

また、第５測定位置と第５標準位置との間のずれ量が第７閾値より大きい場合、制御部９２Ｂにより、工程Ｓ４６における異常の通知、又は、工程Ｓ４７における警告が行われる。これにより、処理システムＰＳＢは、オペレータ等に対して適切にエンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置ずれを認識させることができる。また、工程Ｓ４７における警告により、処理システムＰＳＢは、オペレータ等に対して適切にエンドエフェクタＥＥ３１上での基板Ｗの位置ずれ、及び、エンドエフェクタＥＥ３１を含む搬送ロボットＴＲ３に異常が発生した可能性を認識させることができる。

【0116】

なお、方法ＭＴ１，ＭＴ２，ＭＴ３，ＭＴ４は、一つの処理システムによって実行することができる。方法ＭＴ１，ＭＴ２，ＭＴ４は、組み合わせて同時に実行されてもよい。また、方法ＭＴ１，ＭＴ２，ＭＴ４において、基板Ｗを基板載置台１０に載置した後に方法ＭＴ３が実行されてもよい。これらの場合、複数の方法によって基板Ｗの位置ずれを検出することができるので、適切に搬送ロボットＴＲ３の異常を検出できる。

【0117】

以上、種々の例示的実施形態について説明してきたが、上述した例示的実施形態に限定されることなく、様々な追加、省略、置換、及び変更がなされてもよい。また、異なる実施形態における要素を組み合わせて他の実施形態を形成することが可能である。

【0118】

ここで、本開示に含まれる種々の例示的実施形態を、以下の［Ｅ１］～［Ｅ１５］に記載する。

【0119】

［Ｅ１］
基板載置台、及び、基板の位置を測定する測定器を有し、前記基板の位置を調整するために用いられるアライナと、
エンドエフェクタを有し、該エンドエフェクタにより前記基板を前記アライナに搬送するように構成された搬送装置と、
前記アライナ内、前記基板載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の標準位置を記憶する記憶部と、
前記基板を前記アライナの前記基板載置台上に搬送するように前記搬送装置を制御する制御部と、
前記アライナ内、前記基板載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の測定位置であり、前記測定器により測定された該基板の該測定位置と前記アライナ内、前記基板載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記標準位置との間のずれの有無を判定する判定部と、
を備える処理システム。

【0120】

［Ｅ２］
前記測定器は、前記アライナ内の前記エンドエフェクタの位置を測定し、
前記記憶部は、前記アライナ内の前記エンドエフェクタの標準位置を記憶し、
前記判定部は、前記測定器により測定された前記アライナ内の前記エンドエフェクタの測定位置と前記アライナ内の前記エンドエフェクタの前記標準位置との間のずれの有無を判定する、［Ｅ１］に記載の処理システム。

【0121】

［Ｅ３］
前記エンドエフェクタは、該エンドエフェクタ上での前記基板の位置を測定する別の測定器を有し、
前記記憶部は、前記エンドエフェクタ上での前記基板の別の標準位置を記憶し、
前記判定部は、前記別の測定器により測定された前記エンドエフェクタ上での前記基板の測定位置と前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記別の標準位置との間のずれの有無を判定する、［Ｅ１］又は［Ｅ２］に記載の処理システム。

【0122】

［Ｅ４］
前記アライナの前記測定器は、ＣＣＤセンサである、［Ｅ１］～［Ｅ３］の何れか一項に記載の処理システム。

【0123】

［Ｅ５］
前記制御部は、前記アライナ内、前記載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記測定位置と前記アライナ内、前記載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記標準位置との間のずれがあると前記判定部により判定された場合、該ずれについて報知する、［Ｅ１］～［Ｅ４］の何れか一項に記載の処理システム。

【0124】

［Ｅ６］
前記制御部は、前記アライナ内、前記載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記測定位置と前記アライナ内、前記載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記標準位置との間のずれがないと前記判定部により判定された場合、前記基板載置台から前記基板を受け取って前記基板の搬送を続行するよう、前記搬送装置を制御する、［Ｅ１］～［Ｅ４］の何れか一項に記載の処理システム。

【0125】

［Ｅ７］
前記アライナの前記測定器は、前記搬送装置によって前記アライナ内に搬送されて前記基板載置台上に載置された状態の前記基板の位置を測定し、
前記記憶部は、前記基板載置台上での前記基板の標準位置を記憶し、
前記判定部は、前記測定器により測定された前記基板載置台上での前記基板の測定位置と、前記基板載置台上での前記基板の標準位置との間のずれの有無を判定する、［Ｅ１］～［Ｅ６］の何れか一項に記載の処理システム。

【0126】

［Ｅ８］
前記測定器は、前記搬送装置によって前記アライナ内に搬送されて前記基板載置台上に載置された状態の前記基板の位置を更に測定し、
前記判定部は、前記アライナ内、前記基板載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記測定位置と前記測定器により測定された前記基板載置台上での前記基板の測定位置との間の距離の差と閾値とを比較する、［Ｅ１］～［Ｅ７］の何れか一項に記載の処理システム。

【0127】

［Ｅ９］
（ａ） 基板の位置を調整するために用いられるアライナの基板載置台上に前記基板を搬送するようにエンドエフェクタを有する搬送装置を制御する工程と、
（ｂ） 前記アライナ内、前記基板載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の位置を前記アライナにおける測定器によって測定する工程と、
（ｃ） 前記アライナ内、前記基板載置台の上方、且つ前記エンドエフェクタ上での前記基板の標準位置を記憶する工程と、
（ｄ） 前記（ｂ）において測定された前記基板の測定位置と前記（ｃ）において記憶された前記基板の前記標準位置との間のずれの有無を判定する工程と、
を含む、処理方法。

【0128】

［Ｅ１０］
（ｅ） 前記アライナ内の前記エンドエフェクタの位置を前記測定器によって測定する工程と、
（ｆ） 前記アライナ内の前記エンドエフェクタの標準位置を記憶する工程と、
（ｇ） 前記（ｅ）において測定された前記アライナ内の前記エンドエフェクタの測定位置と前記（ｆ）において記憶された前記アライナ内の前記エンドエフェクタの前記標準位置との間のずれの有無を判定する工程と、
を更に含む、［Ｅ９］に記載の処理方法。

【0129】

［Ｅ１１］
（ｈ） 前記エンドエフェクタに設けられる別の測定器によって、該エンドエフェクタ上での前記基板の位置を測定する工程と、
（ｉ） 前記エンドエフェクタ上での前記基板の別の標準位置を記憶する工程と、
（ｊ） 前記（ｈ）において測定された前記エンドエフェクタ上での前記基板の測定位置と前記（ｉ）において記憶された前記エンドエフェクタ上での前記基板の前記別の標準位置との間のずれの有無を判定する、［Ｅ９］又は［Ｅ１０］に記載の処理方法。

【0130】

［Ｅ１２］
（ｋ） 前記（ｂ）において測定された前記基板の前記測定位置と前記（ｃ）において記憶された前記基板の前記標準位置との間のずれがあると判定された場合、該ずれについて報知する工程を更に含む、［Ｅ９］～［Ｅ１１］の何れか一項に記載の処理方法。

【0131】

［Ｅ１３］
（ｍ） 前記（ｂ）において測定された前記基板の位置と前記（ｃ）において記憶された前記基板の標準位置との間のずれがないと判定された場合、前記基板載置台から前記基板を受け取って、前記基板の搬送を続行させるように前記搬送装置を制御する工程を更に含む、［Ｅ９］～［Ｅ１１］の何れか一項に記載の処理方法。

【0132】

［Ｅ１４］
（ｎ） 前記搬送装置によって前記アライナ内に搬送されて前記基板載置台上での前記基板の位置を前記測定器によって測定する工程と、
（ｐ） 前記基板載置台上での前記基板の標準位置を記憶する工程と、
（ｑ） 前記（ｎ）において測定された前記基板載置台上での前記基板の測定位置と、前記（ｐ）において記憶された前記基板載置台上での前記基板の標準位置との間のずれの有無を判定する工程を含む、［Ｅ９］～［Ｅ１３］の何れか一項に記載の処理方法。

【0133】

［Ｅ１５］
（ｒ） 前記搬送装置によって前記アライナ内に搬送されて前記載置台上に載置された状態の前記基板の位置を前記測定器によって測定する工程と、
を含み、
（ｓ） 前記（ｂ）において測定された前記基板の測定位置と前記（ｒ）において測定された前記基板載置台上での前記基板の測定位置との間の距離の差が閾値未満か否かを判定する工程を更に含む、［Ｅ９］～［Ｅ１４］の何れか一項に記載の処理方法。

【0134】

以上の説明から、本開示の種々の実施形態は、説明の目的で本明細書で説明されており、本開示の範囲及び主旨から逸脱することなく種々の変更をなし得ることが、理解されるであろう。したがって、本明細書に開示した種々の実施形態は限定することを意図しておらず、真の範囲と主旨は、添付の特許請求の範囲によって示される。

【符号の説明】

【0135】

１０…基板載置台、１１…載置面、２０…第１測定器、３０…第２測定器、９１，９１Ｂ…記憶部、９２，９２Ｂ…制御部、９３，９３Ｂ…判定部、ＡＮ…アライナ、ＣＵ…制御装置、ＥＥ１１，ＥＥ１２，ＥＥ２１，ＥＥ２２，ＥＥ３１…エンドエフェクタ、ＦＫ１１，ＦＫ１２，ＦＫ２１，ＦＫ２２，ＦＫ３１…フォーク、ＭＴ１，ＭＴ２，ＭＴ３，ＭＴ４…異常検出方法、Ｐ…支持部材、ＰＳ，ＰＳＢ…処理システム、ＴＲ１，ＴＲ２，ＴＲ３…搬送ロボット、Ｗ…基板。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】