特開 2024-155493 治具及び加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024155493

(43)【公開日】2024-10-31

(54)【発明の名称】治具及び加工装置

(51)【国際特許分類】

   B23Q 3/04 20060101AFI20241024BHJP

   B23Q 3/06 20060101ALI20241024BHJP

   B23Q 17/00 20060101ALI20241024BHJP

【ＦＩ】

B23Q3/04

B23Q3/06 301K

B23Q17/00 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023070254

(22)【出願日】2023-04-21

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】秋田 壮一郎

(72)【発明者】

【氏名】仁井 進

(72)【発明者】

【氏名】成田 亮治

(72)【発明者】

【氏名】清川 聡

【テーマコード（参考）】

3C016

3C029

【Ｆターム（参考）】

3C016CA08

3C016CB03

3C016CE01

3C029EE06

(57)【要約】

【課題】アーチ面にそれぞれの深さが概ね等しい複数の溝を形成するように被加工物を加工することを容易にする治具を提供する。
【解決手段】一端から他端まで所定の幅かつ所定の曲率で延在するアーチ面を有する被加工物を加工する際に利用される治具であって、被加工物の幅方向において被加工物を挟持するための挟持部と、挟持部と挟持部によって挟持された被加工物とを幅方向に沿った直線を回転軸として回転させるための回転部と、を有し、挟持部は、アーチ面に含まれ、かつ、幅方向と直交する平面に位置する複数の点のそれぞれと、回転軸と、の間隔が一定になるように被加工物を挟持する治具を提供する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

一端から他端まで所定の幅かつ所定の曲率で延在するアーチ面を有する被加工物を加工する際に利用される治具であって、
該被加工物の幅方向において該被加工物を挟持するための挟持部と、
該挟持部と該挟持部によって挟持された該被加工物とを該幅方向に沿った直線を回転軸として回転させるための回転部と、を有し、
該挟持部は、該アーチ面に含まれ、かつ、該幅方向と直交する平面に位置する複数の点のそれぞれと、該回転軸と、の間隔が一定になるように該被加工物を挟持する治具。

【請求項2】

該挟持部によって該被加工物が挟持されているか否かを検知するための検知部をさらに有する請求項１に記載の治具。

【請求項3】

該挟持部は、該被加工物を挟持する際に該被加工物の一面に接触する一方側挟持片と該一面の裏側に位置する他面に接触する他方側挟持片とを含み、
該一方側挟持片には、その先端面に雌ねじが形成されている凸部が設けられ、
該他方側挟持片には、該雌ねじと螺合する雄ねじが挿入される貫通孔が形成され、
該挟持部は、該一方側挟持片と該他方側挟持片との間に該被加工物が位置付けられた状態で、該貫通孔に挿入された該雄ねじを該雌ねじに螺合させることによって該被加工物を挟持する請求項１又は２に記載の治具。

【請求項4】

該一方側挟持片には、該被加工物の該一面に設けられている嵌合部が嵌合する被嵌合部が設けられている請求項３に記載の治具。

【請求項5】

一端から他端まで所定の幅かつ所定の曲率で延在するアーチ面を有する被加工物を加工するための加工装置であって、
該被加工物を加工する際に利用される治具を支持するテーブルと、
該被加工物を加工するための加工ユニットと、
該テーブルと該加工ユニットとを相対的に移動させるための移動機構と、を備え、
該治具は、
該被加工物の幅方向において該被加工物を挟持するための挟持部と、
該挟持部と該挟持部によって挟持された該被加工物とを該幅方向に沿った直線を回転軸として回転させるための回転部と、を有し、
該挟持部は、該アーチ面に含まれ、かつ、該幅方向と直交する平面に位置する複数の点のそれぞれと、該回転軸と、の間隔が一定になるように該被加工物を挟持する加工装置。

【請求項6】

該テーブルと該治具とが一体化されている請求項５に記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、一端から他端まで所定の幅かつ所定の曲率で延在するアーチ面を有する被加工物を加工する際に利用される治具と、この被加工物を加工するための加工装置と、に関する。

【背景技術】

【0002】

被加工物を加工するための加工装置としては、切削装置又はレーザー加工装置等が挙げられる（例えば、特許文献１及び２参照）。例えば、切削装置においては、円環状の切削ブレードを回転させながら、この切削ブレードを被加工物に接触させることによって被加工物が加工される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－１２３６０号公報

【特許文献1】特開２０２２－１７９０５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような加工装置においては、一般的に、概ね平坦な被加工面を有する板状の被加工物を加工することが想定されている。そして、平坦ではない被加工面を有する被加工物を加工装置において加工することは困難であることが多い。

【0005】

例えば、このような加工装置においては、一端から他端まで所定の幅かつ所定の曲率で延在するアーチ面を被加工面として、このアーチ面を有する被加工物を加工することが想定されていないことが多い。そして、このアーチ面にそれぞれの深さが概ね等しい複数の溝を形成するように被加工物を加工装置において加工することは困難であることが多い。

【0006】

この点に鑑み、本発明の目的は、このようなアーチ面にそれぞれの深さが概ね等しい複数の溝を形成するように被加工物を加工することを容易にする治具と、このように被加工物を加工するための加工装置と、を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一側面によれば、一端から他端まで所定の幅かつ所定の曲率で延在するアーチ面を有する被加工物を加工する際に利用される治具であって、該被加工物の幅方向において該被加工物を挟持するための挟持部と、該挟持部と該挟持部によって挟持された該被加工物とを該幅方向に沿った直線を回転軸として回転させるための回転部と、を有し、該挟持部は、該アーチ面に含まれ、かつ、該幅方向と直交する平面に位置する複数の点のそれぞれと、該回転軸と、の間隔が一定になるように該被加工物を挟持する治具が提供される。

【0008】

この治具は、該挟持部によって該被加工物が挟持されているか否かを検知するための検知部をさらに有することが好ましい。また、該挟持部は、該被加工物を挟持する際に該被加工物の一面に接触する一方側挟持片と該一面の裏側に位置する他面に接触する他方側挟持片とを含み、該一方側挟持片には、その先端面に雌ねじが形成されている凸部が設けられ、該他方側挟持片には、該雌ねじと螺合する雄ねじが挿入される貫通孔が形成され、該挟持部は、該一方側挟持片と該他方側挟持片との間に該被加工物が位置付けられた状態で、該貫通孔に挿入された該雄ねじを該雌ねじに螺合させることによって該被加工物を挟持することが好ましい。さらに、該一方側挟持片には、該被加工物の該一面に設けられている嵌合部が嵌合する被嵌合部が設けられていることが好ましい。

【0009】

本発明の別の側面によれば、一端から他端まで所定の幅かつ所定の曲率で延在するアーチ面を有する被加工物を加工するための加工装置であって、該被加工物を加工する際に利用される治具を支持するテーブルと、該被加工物を加工するための加工ユニットと、該テーブルと該加工ユニットとを相対的に移動させるための移動機構と、を備え、該治具は、該被加工物の幅方向において該被加工物を挟持するための挟持部と、該挟持部と該挟持部によって挟持された該被加工物とを該幅方向に沿った直線を回転軸として回転させるための回転部と、を有し、該挟持部は、該アーチ面に含まれ、かつ、該幅方向と直交する平面に位置する複数の点のそれぞれと、該回転軸と、の間隔が一定になるように該被加工物を挟持する加工装置が提供される。

【0010】

この加工装置においては、該テーブルと該治具とが一体化されていることが好ましい。

【発明の効果】

【0011】

本発明の治具は、一端から他端まで所定の幅かつ所定の曲率で延在するアーチ面を有する被加工物の幅方向において被加工物を挟持するための挟持部と、挟持部と挟持部によって挟持された被加工物とを当該幅方向に沿った直線を回転軸として回転させるための回転部と、を有する。

【0012】

そして、この挟持部は、アーチ面に含まれ、かつ、当該幅方向と直交する平面に位置する複数の点のそれぞれと、当該回転軸と、の間隔が一定になるように被加工物を挟持する。そのため、この治具を利用する場合には、挟持部によって挟持された被加工物を回転させることによって、被加工物の幅方向と直交する平面における特定の座標にアーチ面に含まれる複数の点のいずれかを位置付けることができる。

【0013】

これにより、アーチ面にそれぞれの深さが概ね等しい複数の溝を形成するように被加工物を加工することが容易になる。具体的には、この場合、当該特定の座標に加工点を設定した状態で当該複数の溝を形成することができる。すなわち、この場合には、被加工物の幅方向と直交する平面における加工点の座標を変更することなく当該複数の溝を形成することができる。その結果、当該複数の溝を形成するように被加工物を加工することが容易になる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、被加工物の一例を模式的に示す斜視図である。

【図2】図２は、被加工物を加工する際に利用される治具の一例を模式的に示す斜視図である。

【図3】図３は、挟持部によって被加工物を挟持した状態の治具を模式的に示す斜視図である。

【図4】図４は、被加工物を加工するための加工装置の一例を模式的に示す斜視図である。

【図5】図５は、切削ブレード等を模式的に示す斜視図である。

【図6】図６（Ａ）及び図６（Ｂ）のそれぞれは、それぞれが被加工物の幅方向に沿い、かつ、それぞれの深さが概ね等しい複数の溝をアーチ面に形成するように被加工物を加工する様子を模式的に示す正面図である。

【図7】図７（Ａ）及び図７（Ｂ）のそれぞれは、それぞれが被加工物の幅方向に沿い、かつ、それぞれの深さが概ね等しい複数の溝をアーチ面に形成するように被加工物を加工する様子を模式的に示す正面図である。

【図8】図８（Ａ）及び図８（Ｂ）のそれぞれは、それぞれがアーチ面の前端から後端まで延在し、かつ、それぞれの深さが概ね等しい複数の溝をアーチ面に形成するように被加工物を加工する様子を模式的に示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、被加工物の一例を模式的に示す斜視図である。図１に示される被加工物１は、例えば、各種の光学機器に設けられているシリンドリカルレンズ、又は、人体の超音波（エコー）検査の際に利用される探触子（プローブ）の先端部に設けられている圧電セラミックス等の半円柱状の構造物である。

【0016】

具体的には、被加工物１は、前端（一端）３ａから後端（他端）まで所定の幅かつ所定の曲率で延在するアーチ面３を有する。換言すると、アーチ面３は、それぞれが被加工物１の幅方向に沿って延在し、かつ、互いの長さが等しい前端３ａ及び後端と、それぞれが被加工物１の幅方向と直交するように円弧状に延在し、かつ、互いの曲率が等しい左端３ｂ及び右端３ｃと、を含む。

【0017】

また、被加工物１は、その幅方向にそれぞれが平行になり、かつ、アーチ面３の前端３ａ及び後端からそれぞれ垂下する長方形状の前面５及び後面と、その幅方向にそれぞれが垂直になり、かつ、アーチ面３の左端３ｂ及び右端からそれぞれ垂下する左面（一面）７及び右面（他面）と、を有する。さらに、被加工物１は、その幅方向に平行になり、かつ、その前端、後端、左端及び右端が、前面５の下端、後面の下端、左面７の下端及び右面の下端とそれぞれ重なる底面を有する。

【0018】

加えて、被加工物１の左面７には、後述する治具との位置合わせに利用される嵌合部９が設けられている。具体的には、嵌合部９は、被加工物１の前後方向において離隔し、かつ、互いに概ね等しいサイズを有する一対の円柱状の突起９ａ，９ｂである。なお、各突起９ａ，９ｂは、例えば、被加工物１と一体化されていてもよい。あるいは、各突起９ａ，９ｂは、被加工物１から独立した別の構造物であってもよい。

【0019】

図２は、被加工物１を加工する際に利用される治具の一例を模式的に示す斜視図である。図２に示される治具１１は、例えば、金属材料からなる円盤状の基部１３を有する。この基部１３の側面には、例えば、レーザーマーキング等によって目印（不図示）が形成されている。そして、この目印は、後述する加工装置のテーブルと治具１１との位置合わせに利用される。

【0020】

また、基部１３の側面近傍の領域には、基部１３の周方向に沿って概ね等しい間隔で複数の貫通孔（不図示）が形成されている。そして、複数の貫通孔のそれぞれには、後述する加工装置のテーブルに治具１１を固定するために利用される雄ねじ（不図示）を挿入可能である。また、この基部１３の上面には、後述する挟持部を回転させるための回転部１５が設けられている。

【0021】

回転部１５は、例えば、金属材料からなり、かつ、その一端側が開放されている角筒状のハウジング１５ａを有する。そして、ハウジング１５ａには、その先端部がハウジング１５ａの一端側から露出されているスピンドル１５ｂの先端部以外の部分が回転可能な態様で収容されている。

【0022】

スピンドル１５ｂは、例えば、金属材料からなり、その基端部にはハウジング１５ａに収容されているモータ（不図示）が接続されている。そして、このモータが動作すると、スピンドル１５ｂが延在する方向に沿った直線を回転軸としてスピンドル１５ｂが回転する。さらに、スピンドル１５ｂの先端部は、平面視において、基部１３の外側に位置し、また、この先端部には被加工物１の幅方向において被加工物１を挟持するための挟持部１７が設けられている。

【0023】

挟持部１７は、例えば、金属材料からなり、かつ、その裏側にスピンドル１５ｂの先端部が接続されている平板状の一方側挟持片１７ａを含む。なお、一方側挟持片１７ａの厚さは、被加工物１の左面７に設けられている各突起９ａ，９ｂの高さよりも大きい。また、一方側挟持片１７ａの表面は、挟持部１７によって被加工物１を挟持する際に被加工物１の左面７と接触する一方側挟持片１７ａの接触面となり、この接触面には嵌合部９と嵌合する被嵌合部１９が設けられている。

【0024】

具体的には、被嵌合部１９は、平面視においてスピンドル１５ｂが延在する方向と直交する方向において離隔して設けられた一対の円柱状の溝１９ａ，１９ｂである。そして、被嵌合部１９、すなわち、一対の溝１９ａ，１９ｂは、被加工物１の左面７に設けられている嵌合部９、すなわち、一対の突起９ａ，９ｂに対応するような形状を有する。

【0025】

具体的には、一対の溝１９ａ，１９ｂの間隔は、一対の突起９ａ，９ｂの間隔と概ね等しいかそれより僅かに小さい。また、各溝１９ａ，１９ｂの内径は、各突起９ａ，９ｂの直径と概ね等しいかそれより僅かに大きい。また、各溝１９ａ，１９ｂの深さは、各突起９ａ，９ｂの高さと概ね等しいかそれより僅かに大きい。

【0026】

また、被嵌合部１９、すなわち、一対の溝１９ａ，１９ｂは、嵌合部９、すなわち、一対の突起９ａ，９ｂが嵌合した時に、被加工物１のアーチ面３が部分的に側面と重なる仮想の円柱の中心軸とスピンドル１５ｂの回転軸とが重なるように設けられている。換言すると、被嵌合部１９、すなわち、一対の溝１９ａ，１９ｂは、この時に、アーチ面３に含まれ、かつ、被加工物１の幅方向と直交する平面に位置する複数の点のそれぞれと、当該回転軸との間隔が一定になるように設けられている。

【0027】

さらに、一方側挟持片１７ａの接触面のうち下側両側端のそれぞれには、それぞれが、例えば、金属材料からなる一対の平板状の凸部２１ａ，２１ｂが設けられている。なお、各凸部２１ａ，２１ｂは、一方側挟持片１７ａと一体化されていてもよい。あるいは、各凸部２１ａ，２１ｂは、一方側挟持片１７ａから独立した別の構造物であってもよい。

【0028】

また、各凸部２１ａ，２１ｂは、例えば、一対の突起９ａ，９ｂを一対の溝１９ａ，１９ｂに嵌合させた時に被加工物１の底面に接触せず、また、その下面が一方側挟持片１７ａの下面と同一平面上に位置するように設けられている。そして、各凸部２１ａ，２１ｂの先端面には、雌ねじ２３ａ，２３ｂが形成されている。加えて、一方側挟持片１７ａ及び一対の凸部２１ａ，２１ｂの平面視における外側には、一対の平板状の支持部材２５ａ，２５ｂがそれぞれ設けられている。

【0029】

各支持部材２５ａ，２５ｂは、その先端部が各凸部２１ａ，２１ｂの先端面よりも一方側挟持片１７ａの接触面から遠くに位置し、また、その下面が一方側挟持片１７ａの下面及び各凸部２１ａ，２１ｂの下面と同一平面上に位置するように設けられている。また、一対の支持部材２５ａ，２５ｂの先端部の間には、他方側挟持片１７ｂが設けられている。

【0030】

他方側挟持片１７ｂは、支持部材２５ａの先端部から支持部材２５ｂの先端部に向かう方向に沿って延在する直線を回転軸として回転可能な態様で一対の支持部材２５ａ，２５ｂに接続されている。そして、この他方側挟持片１７ｂを回転させることで、他方側挟持片１７ｂの一面を、各凸部２１ａ，２１ｂの先端面に接触させ、かつ、それから離隔させることができる。

【0031】

また、他方側挟持片１７ｂの一対の領域のそれぞれには、凸部２１ａ，２１ｂの先端面に形成されている雌ねじ２３ａ，２３ｂと螺合する雄ねじ（図２においては不図示）を挿入可能な貫通孔２７ａ，２７ｂが形成されている。なお、当該一対の領域は、他方側挟持片１７ｂの一面を各凸部２１ａ，２１ｂの先端面に接触させた時に他方側挟持片１７ｂのうち一対の雌ねじ２３ａ，２３ｂと対向する領域である。

【0032】

さらに、他方側挟持片１７ｂのうち支持部材２５ａ，２５ｂの先端部から最も離隔した部分は、他方側挟持片１７ｂの一面を凸部２１ａ，２１ｂの先端面に接触させた時に一方側挟持片１７ａに向かって突出するような凸部になっている。そして、他方側挟持片１７ｂの凸部の先端面は、挟持部１７によって被加工物１を挟持する際に被加工物１の右面に接触する他方側挟持片１７ｂの接触面となる。

【0033】

なお、挟持部１７においては、一方側挟持片１７ａの接触面と他方側挟持片１７ｂの接触面とを対向させた時に両接触面の間隔が被加工物１の幅と概ね等しいかそれより僅かに小さくなるように、他方側挟持片１７ｂの凸部の高さ及び／又は各支持部材２５ａ，２５ｂの長さ等が設定されている。

【0034】

加えて、治具１１は、挟持部１７によって被加工物１が挟持されているか否かを検知するための検知部（不図示）を有する。この検知部は、例えば、他方側挟持片１７ｂの接触面において開口する連通路２９と連通するエジェクタ等の吸引源と、この連通路２９の圧力を測定する圧力計と、を含む。

【0035】

そして、挟持部１７によって被加工物１が挟持された状態で吸引源が動作すると、他方側挟持片１７ｂの接触面におけるリークが抑制されるため連通路２９の圧力が低下する。他方、挟持部１７によって被加工物１が挟持されていない状態で吸引源が動作すると、他方側挟持片１７ｂの接触面におけるリークが生じるため連通路２９の圧力がほとんど低下しない。

【0036】

そのため、この検知部においては、圧力計で測定される連通路２９の圧力に基づいて挟持部１７によって被加工物１が挟持されているか否かを検知することができる。なお、他方側挟持片１７ｂの内部に形成されている連通路２９は、支持部材２５ａ，２５ｂ、一方側挟持片１７ａ、スピンドル１５ｂ及び基部１３のそれぞれの内部に形成されている連通路を介して吸引源と連通してもよい。

【0037】

図３は、挟持部１７によって被加工物１を挟持した状態の治具１１を模式的に示す斜視図である。挟持部１７によって被加工物１を挟持する際には、まず、被加工物１の嵌合部９を挟持部１７の一方側挟持片１７ａの被嵌合部１９に嵌合させる。これにより、被加工物１の左面７と一方側挟持片１７ａの接触面とが接触する。

【0038】

次いで、挟持部１７の他方側挟持片１７ｂの一面を各凸部２１ａ，２１ｂの先端面に接触させる。これにより、被加工物１の右面と他方側挟持片１７ｂの接触面とが接触する。次いで、他方側挟持片１７ｂに形成されている一対の貫通孔２７ａ，２７ｂに挿入された一対の雄ねじ３１ａ，３１ｂを一対の雌ねじ２３ａ，２３ｂにそれぞれ螺合させる。その結果、被加工物１の幅方向において被加工物１が挟持部１７によって挟持される。

【0039】

図４は、被加工物１を加工するための加工装置、具体的には、切削装置の一例を模式的に示す斜視図である。なお、図４に示されるＸ軸方向及びＹ軸方向は、水平面上において互いに直交する方向であり、Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（鉛直方向）である。

【0040】

図４に示される切削装置２は、各構成要素を支持する基台４を備える。この基台４の上面には、Ｘ軸方向に沿って延在する窪み４ａが形成されている。そして、窪み４ａの内側には、平板状のテーブルカバー６と、テーブルカバー６の移動に伴って伸縮する蛇腹状の防塵防滴カバー８と、が設けられている。

【0041】

また、テーブルカバー６の上方には、挟持部１７によって被加工物１を挟持した状態の治具１１を支持する円盤状のテーブル１０が設けられている。このテーブル１０の側面には、例えば、レーザーマーキング等によって目印（不図示）が形成されている。また、テーブル１０の側面近傍の領域には、治具１１の基部１３の側面近傍の領域に形成されている複数の貫通孔と同数の雌ねじ（不図示）がテーブル１０の周方向に沿って概ね等しい間隔で形成されている。

【0042】

そして、治具１１は、例えば、その基部１３の側面に形成されている目印とテーブル１０の側面に形成されている目印とがＺ軸方向において重なるようにテーブル１０に置かれている。さらに、治具１１の基部１３の側面近傍の領域に形成されている複数の貫通孔には複数の雄ねじ（不図示）がそれぞれ挿入され、複数の雄ねじはテーブル１０の側面近傍の領域に形成されている複数の雌ねじにそれぞれ螺合している。

【0043】

また、テーブル１０の内部には、吸引源に連通する連通路が形成されている。そして、この連通路は、支持部材２５ａ，２５ｂ、一方側挟持片１７ａ、スピンドル１５ｂ及び基部１３のそれぞれの内部に形成されている連通路を介して、治具１１の挟持部１７の他方側挟持片１７ｂの内部に形成されている連通路２９と連通する。すなわち、連通路２９は、テーブル１０の内部に形成されている連通路等を介して吸引源に連通する。

【0044】

また、テーブル１０は、窪み４ａの内側に設けられているＸ軸方向移動機構（不図示）に接続されている。このＸ軸方向移動機構は、例えば、ボールねじと、このボールねじに接続されているモータと、を含む。そして、このＸ軸方向移動機構を動作させると、テーブル１０がＸ軸方向に沿って移動する。さらに、この移動に伴って、テーブルカバー６がＸ軸方向に沿って移動するとともに防塵防滴カバー８が伸縮する。

【0045】

また、テーブル１０は、窪み４ａの内側に設けられている回転駆動源（不図示）に接続されている。この回転駆動源は、例えば、プーリと、このプーリに連結されているモータと、を含む。そして、この回転駆動源を動作させると、テーブル１０の上面の中心を通り、かつ、Ｚ軸方向に沿った直線を回転軸としてテーブル１０が回転する。

【0046】

基台４の上面のうち窪み４ａ近傍の領域には、支持構造１６が設けられている。この支持構造１６は、基台４の上面から立設する立設部１６ａと、窪み４ａを渡るように立設部１６ａの上端部からＹ軸方向に沿って延在する腕部１６ｂと、を有する。そして、腕部１６ｂの前面側には、Ｙ軸方向移動機構１８が設けられている。

【0047】

このＹ軸方向移動機構１８は、腕部１６ｂの前面に固定され、かつ、Ｙ軸方向に沿って延在する一対のＹ軸ガイドレール２０を有する。そして、一対のＹ軸ガイドレール２０の前面側には、一対のＹ軸ガイドレール２０に沿ってスライド可能な態様でＹ軸移動プレート２２が設けられている。

【0048】

また、一対のＹ軸ガイドレール２０の間には、Ｙ軸方向に沿って延在するねじ軸２４が配置されている。このねじ軸２４の一端部には、ねじ軸２４を回転させるためのモータ（不図示）が接続されている。そして、ねじ軸２４の螺旋状の溝が形成された表面には、回転するねじ軸２４の表面を転がる多数のボールを収容するナット（不図示）が設けられ、ボールねじが構成されている。

【0049】

すなわち、ねじ軸２４が回転すると、多数のボールがナット内を循環して、ナットがＹ軸方向に沿って移動する。また、このナットは、Ｙ軸移動プレート２２の後面側に固定されている。そのため、ねじ軸２４の一端部に連結されているモータでねじ軸２４を回転させれば、ナットとともにＹ軸移動プレート２２がＹ軸方向に沿って移動する。

【0050】

Ｙ軸移動プレート２２の前面側には、Ｚ軸方向移動機構２６が設けられている。このＺ軸方向移動機構２６は、Ｙ軸移動プレート２２の前面に固定され、かつ、Ｚ軸方向に沿って延在する一対のＺ軸ガイドレール２８を有する。そして、一対のＺ軸ガイドレール２８の前面側には、一対のＺ軸ガイドレール２８に沿ってスライド可能な態様でＺ軸移動プレート３０が接続されている。

【0051】

また、一対のＺ軸ガイドレール２８の間には、Ｚ軸方向に沿って延在するねじ軸３２が配置されている。このねじ軸３２の一端部（上端部）には、ねじ軸３２を回転させるためのモータ３４が接続されている。そして、ねじ軸３２の螺旋状の溝が形成された表面には、回転するねじ軸３２の表面を転がる多数のボールを収容するナット（不図示）が設けられ、ボールねじが構成されている。

【0052】

すなわち、ねじ軸３２が回転すると、多数のボールがナット内を循環して、ナットがＺ軸方向に沿って移動する。また、このナットは、Ｚ軸移動プレート３０の後面側に固定されている。そのため、モータ３４でねじ軸３２を回転させれば、ナットとともにＺ軸移動プレート３０がＺ軸方向に沿って移動する。

【0053】

Ｚ軸移動プレート３０の下部には、切削ユニット（加工ユニット）３６が固定されている。この切削ユニット３６は、Ｙ軸方向に沿って延在する筒状のスピンドルハウジング３８と、スピンドルハウジング３８から露出した切削ブレード４０と、を有する。図５は、切削ブレード４０等を模式的に示す斜視図である。

【0054】

切削ユニット３６のスピンドルハウジング３８には、Ｙ軸方向に沿って延在する円柱状のスピンドル４２が収容されている。このスピンドル４２は、回転可能な態様でスピンドルハウジング３８によって支持される。そして、スピンドル４２の先端部はスピンドルハウジング３８の外に突出し、この先端部には環状の切削ブレード４０が装着されている。

【0055】

なお、この切削ブレード４０は、例えば、ダイヤモンド又は立方晶窒化ホウ素（ｃＢＮ：ｃｕｂｉｃ Ｂｏｒｏｎ Ｎｉｔｒｉｄｅ）等でなる砥粒がニッケル等の結合材によって固定された電鋳砥石によって構成される切刃を含む。さらに、スピンドル４２の基端部は、スピンドルハウジング３８に内蔵されるモータに接続されている。

【0056】

そして、このモータを動作させると、Ｙ軸方向に沿った直線を回転軸としてスピンドル４２とともに切削ブレード４０が回転する。なお、切削ブレード４０は、スピンドル４２の回転軸が切削ブレード４０の中心を通るようにスピンドル４２に装着されている。

【0057】

また、ねじ軸２４の一端部に接続されているモータを動作させると、切削ユニット３６がＹ軸方向に沿って移動する。また、ねじ軸３２の一端部に接続されているモータ３４を動作させると、切削ユニット３６がＺ軸方向に沿って移動する。

【0058】

また、図４に示されるように、切削ユニット３６の側方には撮像ユニット４４が設けられている。この撮像ユニット４４は、例えば、対物レンズと、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサ又はＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサ等の撮像素子と、を含み、その下方に存在する構造物を撮像する。

【0059】

上述した切削装置２においては、例えば、それぞれが被加工物１の幅方向に沿い、かつ、それぞれの深さが概ね等しい複数（例えば、３つ）の溝をアーチ面３に形成するように被加工物１が加工される。

【0060】

図６（Ａ）及び図６（Ｂ）並びに図７（Ａ）及び図７（Ｂ）のそれぞれは、このように被加工物１を加工する様子を模式的に示す正面図である。なお、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）並びに図７（Ａ）及び図７（Ｂ）においては、便宜上、図３に示される一対の雄ねじ３１ａ，３１ｂが省略されている。

【0061】

このように被加工物１を加工する際には、まず、被加工物１が挟持部１７によって正常に挟持されているか否かを上述した検知部を利用して判定する。具体的には、テーブル１０の内部に形成されている連通路等を介して他方側挟持片１７ｂの内部に形成されている連通路２９と連通する吸引源を動作させる。

【0062】

そして、圧力計によって測定される連通路２９の圧力が所定のしきい値以下であれば被加工物１が挟持部１７によって正常に挟持されていると判定する。このように判定されれば、治具１１の回転部１５のスピンドル１５ｂが延在する方向、すなわち、挟持部１７によって挟持されている被加工物１の幅方向がＸ軸方向と平行になるようにテーブル１０を回転させる。

【0063】

次いで、被加工物１のアーチ面３に含まれる特定の点、例えば、その後端近傍の点（第１点）が挟持部１７の回転軸Ａの直上に位置付けられるように、例えば、時計回りにスピンドル１５ｂを回転させる（図６（Ａ）参照）。これにより、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に平行な平面（ＹＺ平面）における特定の座標（Ｙ_０，Ｚ_０）にアーチ面３の第１点が位置付けられる。

【0064】

次いで、切削ブレード４０の下端がＹＺ平面において座標（Ｙ_０，Ｚ_０＋α）（αは正数）に位置付けられるように切削ユニット３６のＹ軸方向における位置を調整する。次いで、平面視において、この下端から見てＸ軸方向に被加工物１が位置付けられるようにテーブル１０のＸ軸方向における位置を調整する。

【0065】

次いで、この下端がＹＺ平面において座標（Ｙ_０，Ｚ_０－β）（βは、アーチ面３に形成される予定の溝の深さに対応する距離）に位置付けられるように切削ユニット３６を下降させる。次いで、切削ブレード４０とともにスピンドル４２を回転させる。

【0066】

次いで、切削ブレード４０を回転させたまま、切削ブレード４０の下端が被加工物１のアーチ面３の左端３ｂから右端３ｃまで横断するように、テーブル１０をＸ軸方向に沿って移動させる（図６（Ｂ）参照）。これにより、アーチ面３の第１点を通り、かつ、所望の深さを有する直線状の溝がアーチ面３に形成される。

【0067】

次いで、切削ブレード４０の回転を停止させるとともに、切削ブレード４０の下端がＹＺ平面において座標（Ｙ_０，Ｚ_０＋α）に位置付けられるように切削ユニット３６を上昇させる。

【0068】

次いで、被加工物１のアーチ面３に含まれる第１点とは別の点、例えば、その前端３ａと後端との中間に位置する点（第２点）が挟持部１７の回転軸Ａの直上に位置付けられるように、例えば、反時計回りにスピンドル１５ｂを回転させる。これにより、ＹＺ平面における座標（Ｙ_０，Ｚ_０）にアーチ面３の第２点が位置付けられる。

【0069】

次いで、平面視において、切削ブレード４０の下端から見てＸ軸方向に被加工物１が位置付けられるようにテーブル１０のＸ軸方向における位置を調整する。次いで、この下端がＹＺ平面において座標（Ｙ_０，Ｚ_０－β）に位置付けられるように切削ユニット３６を下降させる。

【0070】

なお、アーチ面３の第１点を通る溝の形成に伴って切削ブレード４０が摩耗していると考えられる場合には、この下端がＹＺ平面において座標（Ｙ_０，Ｚ_０－β－γ）（γは、アーチ面３の第１点を通る溝の形成に伴う切削ブレード４０の外径の減少量の半分の値）に位置付けられるように切削ユニット３６を下降させてもよい。

【0071】

次いで、切削ブレード４０とともにスピンドル４２を回転させる。次いで、切削ブレード４０を回転させたまま、切削ブレード４０の下端が被加工物１のアーチ面３の左端３ｂから右端３ｃまで横断するように、テーブル１０をＸ軸方向に沿って移動させる（図７（Ａ）参照）。これにより、アーチ面３の第２点を通り、かつ、アーチ面３に形成された第１点を通る溝３３ａの深さと概ね同じ深さを有する直線状の溝がアーチ面３に形成される。

【0072】

次いで、切削ブレード４０の回転を停止させるとともに、切削ブレード４０の下端がＹＺ平面において座標（Ｙ_０，Ｚ_０＋α）に位置付けられるように切削ユニット３６を上昇させる。

【0073】

次いで、被加工物１のアーチ面３に含まれる第１点及び第２点とは別の点、例えば、その前端３ａ近傍の点（第３点）が挟持部１７の回転軸Ａの直上に位置付けられるように、例えば、反時計回りにスピンドル１５ｂを回転させる。これにより、ＹＺ平面における座標（Ｙ_０，Ｚ_０）にアーチ面３の第３点が位置付けられる。

【0074】

次いで、平面視において、切削ブレード４０の下端から見てＸ軸方向に被加工物１が位置付けられるようにテーブル１０のＸ軸方向における位置を調整する。次いで、この下端がＹＺ平面において座標（Ｙ_０，Ｚ_０－β）に位置付けられるように切削ユニット３６を下降させる。

【0075】

なお、アーチ面３の第１点を通る溝及び第２点を通る溝の形成に伴って切削ブレード４０が摩耗していると考えられる場合には、この下端がＹＺ平面において座標（Ｙ_０，Ｚ_０－β－δ）（δは、アーチ面３の第１点を通る溝及び第２点を通る溝の形成に伴う切削ブレード４０の外径の減少量の半分の値）に位置付けられるように切削ユニット３６を下降させてもよい。

【0076】

次いで、切削ブレード４０とともにスピンドル４２を回転させる。次いで、切削ブレード４０を回転させたまま、切削ブレード４０の下端が被加工物１のアーチ面３の左端３ｂから右端３ｃまで横断するように、テーブル１０をＸ軸方向に沿って移動させる（図７（Ｂ）参照）。これにより、アーチ面３の第３点を通り、かつ、アーチ面３に形成された第１点を通る溝３３ａ及び第２点を通る溝３３ｂの深さと概ね同じ深さを有する直線状の溝がアーチ面３に形成される。

【0077】

上述した治具１１は、前端３ａから後端まで所定の幅かつ所定の曲率で延在するアーチ面３を有する被加工物１の幅方向（ここでは、Ｘ軸方向）において被加工物１を挟持するための挟持部１７と、挟持部１７と挟持部１７によって挟持された被加工物１とを当該幅方向に沿った直線を回転軸Ａとして回転させるための回転部１５と、を有する。

【0078】

そして、この挟持部１７は、アーチ面３に含まれ、かつ、被加工物１の幅方向と直交する平面（ここでは、ＹＺ平面）に位置する複数の点と、回転軸Ａと、の間隔が一定になるように被加工物１を挟持する。そのため、この治具１１を利用する場合には、挟持部１７によって挟持された被加工物１を回転させることによって、ＹＺ平面における特定の座標（ここでは、（Ｙ_０，Ｚ_０））にアーチ面３に含まれる複数の点のいずれかを位置付けることができる。

【0079】

これにより、アーチ面３にそれぞれの深さが概ね等しい複数の溝３３ａ，３３ｂを形成するように被加工物１を加工することが容易になる。具体的には、この場合、座標（Ｙ_０，Ｚ_０）に加工点を設定した状態で複数の溝３３ａ，３３ｂを形成することができる。すなわち、この場合には、ＹＺ平面における加工点の座標を変更することなく複数の溝３３ａ，３３ｂを形成することができる。その結果、複数の溝３３ａ，３３ｂを形成するように被加工物１を加工することが容易になる。

【0080】

なお、上述した内容は本発明の一態様であって、本発明の内容は上述した内容に限定されない。例えば、治具１１においては、一対の雄ねじ３１ａ，３１ｂを利用することなく、挟持部１７の他方側挟持片１７ｂの一面と各凸部２１ａ，２１ｂの先端面とが接触した状態が維持されてもよい。

【0081】

この場合、各凸部２１ａ，２１の内部には、その先端面において開口するとともに挟持部１７の他方側挟持片１７ｂの一面と各凸部２１ａ，２１ｂの先端面とを接触させることによって密閉され、かつ、吸引源と連通する連通路が形成されてもよい。そして、このような連通路が形成される場合、挟持部１７の他方側挟持片１７ｂの一面と各凸部２１ａ，２１ｂの先端面とを接触させた状態で吸引源を動作させることによって、この状態が維持されてもよい。

【0082】

また、治具１１においては、一対の溝１９ａ，１９ｂと異なる構造を有する被嵌合部１９が一方側挟持片１７ａの接触面に設けられてもよい。例えば、一対の突起９ａ，９ｂに換えて溝１９ａ，１９ｂと同様の一対の溝が嵌合部９として被加工物１の左面７に形成される場合には、一対の突起９ａ，９ｂと同様の一対の突起が被嵌合部１９として一方側挟持片１７ａの接触面に設けられてもよい。

【0083】

また、治具１１においては、挟持部１７によって被加工物１を挟持する際に被加工物１の底面に接触するように各凸部２１ａ，２１ｂが設けられていてもよい。この場合、治具において、被加工物１をより安定して保持することが可能になる。

【0084】

また、治具１１においては、挟持部１７が回転部１５から取り外し可能に設けられてもよい。そして、治具１１においては、挟持部１７に換えて、被加工物１のアーチ面３の曲率と異なる曲率のアーチ面を有する別の被加工物を挟持するための別の挟持部が回転部１５に取り付け可能であってもよい。

【0085】

なお、当該別の挟持部は、当該別の被加工物のアーチ面に含まれる任意の点と回転軸Ａとの間隔が一定になるように被加工物を挟持するための構造物である。この場合、それぞれのアーチ面の曲率が異なる複数の被加工物を上述したように加工することが容易になる。

【0086】

また、治具１１を利用して被加工物１を加工する加工装置は、切削装置２ではなく、レーザー加工装置であってもよい。また、切削装置２においては、複数の雄ねじを利用して治具１１をテーブル１０に取り付けるのではなく、テーブル１０と治具１１とが一体化されていてもよい。

【0087】

また、切削装置２においては、それぞれがアーチ面３の前端３ａから後端まで延在し、かつ、それぞれの深さが概ね等しい複数（例えば、３つ）の溝をアーチ面３に形成するように被加工物１が加工されてもよい。

【0088】

図８（Ａ）及び図８（Ｂ）のそれぞれは、このように被加工物１を加工する様子を模式的に示す側面図である。なお、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）においては、便宜上、図３に示される一対の雄ねじ３１ａ，３１ｂが省略されている。

【0089】

このように被加工物１を加工する際には、まず、上述したように被加工物１が挟持部１７によって正常に挟持されているか否かを判定する。そして、挟持部１７によって正常に挟持されていると判定されれば、治具１１の回転部１５のスピンドル１５ｂが延在する方向、すなわち、挟持部１７によって挟持されている被加工物１の幅方向がＹ軸方向と平行になるようにテーブル１０を回転させる。

【0090】

次いで、切削ブレード４０の下端が挟持部１７の回転軸Ａの直上に位置付けられるようにテーブル１０のＸ軸方向における位置を調整する。これにより、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に平行な平面（ＸＺ平面）における特定の座標（Ｘ_０，Ｚ_０）にアーチ面３に含まれる点が位置付けられる。また、この時、切削ブレード４０の下端は、ＸＺ平面において座標（Ｘ_０，Ｚ_０＋α）に位置付けられている。

【0091】

次いで、被加工物１のアーチ面３に含まれる特定の点、例えば、その左端３ｂ近傍の点（第４点）と切削ブレード４０の下端とがＹ軸方向において同じ位置に位置付けられるように、切削ユニット３６のＹ軸方向における位置を調整する。

【0092】

次いで、挟持部１７の回転軸Ａから見て被加工物１が前方に位置付けられるように、例えば、時計回りにスピンドル１５ｂを回転させる。次いで、切削ブレード４０の下端がＸＺ平面における座標（Ｘ_０，Ｚ_０－ε）（εは、アーチ面３に形成される予定の溝の深さに対応する距離）に位置付けられるように切削ユニット３６を下降させる。

【0093】

次いで、切削ブレード４０とともにスピンドル４２を回転させる（図８（Ａ）参照）。次いで、切削ブレード４０を回転させたまま、切削ブレード４０の下端が被加工物１のアーチ面３の後端から前端３ａまで縦断するように、例えば、反時計回りにスピンドル１５ｂを回転させる（図８（Ｂ）参照）。これにより、アーチ面３の第４点を通り、かつ、所望の深さを有する円弧状の溝がアーチ面３に形成される。

【0094】

次いで、切削ブレード４０の回転を停止させるとともに、切削ブレード４０の下端がＸＺ平面において座標（Ｘ_０，Ｚ_０＋α）に位置付けられるように切削ユニット３６を上昇させる。

【0095】

次いで、被加工物１のアーチ面３に含まれる第４点とは別の点、例えば、その左端３ｂと右端３ｃとの中間に位置する点（第５点）と切削ブレード４０の下端とがＹ軸方向において同じ位置に位置付けられるように、切削ユニット３６のＹ軸方向における位置を調整する。

【0096】

次いで、挟持部１７の回転軸Ａから見て被加工物１が前方に位置付けられるように、例えば、時計回りにスピンドル１５ｂを回転させる。次いで、切削ブレード４０の下端がＸＺ平面における座標（Ｘ_０，Ｚ_０－ε）に位置付けられるように切削ユニット３６を下降させる。

【0097】

なお、アーチ面３の第４点を通る溝の形成に伴って切削ブレード４０が摩耗していると考えられる場合には、この下端がＸＺ平面において座標（Ｘ_０，Ｚ_０－ε－ζ）（ζは、アーチ面３の第４点を通る溝の形成に伴う切削ブレード４０の外径の減少量の半分の値）に位置付けられるように切削ユニット３６を下降させてもよい。

【0098】

次いで、切削ブレード４０とともにスピンドル４２を回転させる（図８（Ａ）参照）。次いで、切削ブレード４０を回転させたまま、切削ブレード４０の下端が被加工物１のアーチ面３の後端から前端３ａまで縦断するように、例えば、反時計回りにスピンドル１５ｂを回転させる（図８（Ｂ）参照）。これにより、アーチ面３の第５点を通り、かつ、アーチ面３に形成された第４点を通る溝の深さと概ね同じ深さを有する円弧状の溝がアーチ面３に形成される。

【0099】

次いで、切削ブレード４０の回転を停止させるとともに、切削ブレード４０の下端がＸＺ平面において座標（Ｘ_０，Ｚ_０＋α）に位置付けられるように切削ユニット３６を上昇させる。

【0100】

次いで、被加工物１のアーチ面３に含まれる第４点及び第５点とは別の点、例えば、その右端３ｃ近傍の点（第６点）と切削ブレード４０の下端とがＹ軸方向において同じ位置に位置付けられるように、切削ユニット３６のＹ軸方向における位置を調整する。

【0101】

次いで、挟持部１７の回転軸Ａから見て被加工物１が前方に位置付けられるように、例えば、時計回りにスピンドル１５ｂを回転させる。次いで、切削ブレード４０の下端がＸＺ平面における座標（Ｘ_０，Ｚ_０－ε）に位置付けられるように切削ユニット３６を下降させる。

【0102】

なお、アーチ面３の第４点を通る溝及び第５点を通る溝の形成に伴って切削ブレード４０が摩耗していると考えられる場合には、この下端がＸＺ平面において座標（Ｘ_０，Ｚ_０－ε－η）（ηは、アーチ面３の第４点を通る溝及び第５点を通る溝の形成に伴う切削ブレード４０の外径の減少量の半分の値）に位置付けられるように切削ユニット３６を下降させてもよい。

【0103】

次いで、切削ブレード４０とともにスピンドル４２を回転させる（図８（Ａ）参照）。次いで、切削ブレード４０を回転させたまま、切削ブレード４０の下端が被加工物１のアーチ面３の後端から前端３ａまで縦断するように、例えば、反時計回りにスピンドル１５ｂを回転させる（図８（Ｂ）参照）。これにより、アーチ面３の第６点を通り、かつ、アーチ面３に形成された第４点を通る溝及び第５点を通る溝の深さと概ね同じ深さを有する円弧状の溝がアーチ面３に形成される。

【0104】

上述した治具１１は、前端３ａから後端まで所定の幅かつ所定の曲率で延在するアーチ面３を有する被加工物１の幅方向（ここでは、Ｙ軸方向）において被加工物１を挟持するための挟持部１７と、挟持部１７と挟持部１７によって挟持された被加工物１とを当該幅方向に沿った直線を回転軸Ａとして回転させるための回転部１５と、を有する。

【0105】

そして、この挟持部１７は、アーチ面３に含まれ、かつ、被加工物１の幅方向と直交する平面（ここでは、ＸＺ平面）に位置する複数の点と、回転軸Ａと、の間隔が一定になるように被加工物１を挟持する。そのため、この治具１１を利用する場合には、挟持部１７によって挟持された被加工物１を回転させることによって、ＸＺ平面における特定の座標（ここでは、（Ｘ_０，Ｚ_０））にアーチ面３に含まれる複数の点のいずれかを位置付けることができる。

【0106】

これにより、アーチ面３にそれぞれの深さが概ね等しい複数の溝を形成するように被加工物１を加工することが容易になる。具体的には、この場合、座標（Ｘ_０，Ｚ_０）に加工点を設定した状態で当該複数の溝を形成することができる。すなわち、この場合には、ＸＺ平面における加工点の座標を変更することなく当該複数の溝を形成することができる。その結果、当該複数の溝を形成するように被加工物１を加工することが容易になる。

【0107】

その他、上述した実施形態にかかる構造及び方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0108】

１ ：被加工物
２ ：切削装置
３ ：アーチ面（３ａ：前端、３ｂ：左端、３ｃ：右端）
４ ：基台（４ａ：窪み）
５ ：前面
６ ：テーブルカバー
７ ：左面（一面）
８ ：防塵防滴カバー
９ ：嵌合部（９ａ，９ｂ：突起）
１０：テーブル
１１：治具
１３：基部
１５：回転部（１５ａ：ハウジング、１５ｂ：スピンドル）
１６：支持構造（１６ａ：立設部、１６ｂ：腕部）
１７：挟持部（１７ａ：一方側挟持片、１７ｂ：他方側挟持片）
１８：Ｙ軸方向移動機構
１９：被嵌合部（１９ａ，１９ｂ：溝）
２０：Ｙ軸ガイドレール
２１ａ，２１ｂ：凸部
２２：Ｙ軸移動プレート
２３ａ，２３ｂ：雌ねじ
２４：ねじ軸
２５ａ，２５ｂ：支持部材
２６：Ｚ軸方向移動機構
２７ａ，２７ｂ：貫通孔
２８：Ｚ軸ガイドレール
２９：連通路
３０：Ｚ軸移動プレート
３１ａ，３１ｂ：雄ねじ
３２：ねじ軸
３４：モータ
３６：切削ユニット（加工ユニット）
３８：スピンドルハウジング
４０：切削ブレード
４２：スピンドル
４４：撮像ユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】