特開2024-159826伸長ＲＦストラップを有するインピーダンス整合器

発明の名称　伸長ＲＦストラップを有するインピーダンス整合器

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 125 位（242件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 132 位（193件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-159826

公報発行日　2024年11月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-159826

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