特開 2024-160735 カセット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024160735

(43)【公開日】2024-11-15

(54)【発明の名称】カセット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20241108BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20241108BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 V

B65D85/30 500

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023075971

(22)【出願日】2023-05-02

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110003524

【氏名又は名称】弁理士法人愛宕綜合特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】松山 敏文

【テーマコード（参考）】

3E096

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E096AA05

3E096BA16

3E096BB04

3E096CA02

3E096CB03

3E096DA01

3E096DA12

3E096FA09

3E096GA04

5F131AA02

5F131BA32

5F131CA09

5F131CA18

5F131DA13

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA05

5F131GA03

5F131GA63

5F131GA74

5F131GA94

5F131GA99

(57)【要約】

【課題】オペレータの不注意によって、又は加工装置の振動によってカセットが傾いても、該カセットに収容されている板状物のガタツキが抑制され、板状物がカセットの開口部からはみ出したり、カセットから脱落したりする等の問題が解消できるカセットを提供する。
【解決手段】板状物１２を支持する支持溝４ａが複数形成され載置面１００に載置される被載置部３ａを有する第一の側壁４と、第一の側壁４に形成された支持溝４ａに対応する複数の支持溝５ａが形成され、載置面１００に載置される被載置部３ｂを有する第二の側壁５と、第一の側壁４と第二の側壁５とを連結して固定する上固定部６及び下固定部７と、板状物の進入及び退出を許容する開口部８と、開口部８の反対側に形成され板状物１２の脱落を防止する背部９と、を含み構成され、第一の側壁４又は第二の側壁５の被載置部３ａ、３ｂが載置面１００から離間した際、支持溝４ａ、５ａに支持された板状物１２のガタツキを規制するガタツキ規制部２０が支持溝４ａ、５ａに対応して形成される。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状物を収容し載置面に載置されるカセットであって、
板状物を支持する支持溝が複数形成され該載置面に載置される被載置部を有する第一の側壁と、該第一の側壁に形成された該支持溝に対応する複数の支持溝が形成され、該載置面に載置される被載置部を有する第二の側壁と、該第一の側壁と該第二の側壁とを連結して固定する上固定部及び下固定部と、該第一の側壁と該第二の側壁と該上固定部と該下固定部とにより形成された板状物の進入及び退出を許容する開口部と、該開口部の反対側に形成され板状物の脱落を防止する背部と、を含み構成され、
該第一の側壁又は該第二の側壁の被載置部が該載置面から離間した際、該支持溝に支持された板状物のガタツキを規制するガタツキ規制部が該支持溝に対応して形成されるカセット。

【請求項2】

該ガタツキ規制部は、該第一の側壁又は該第二の側壁に沿って該上固定部から該下固定部に至り進退可能に配設されたロッドと、該ロッドの下端部が該被載置部と共に該載置面に接している際は、該支持溝に支持された板状物を開放し、該被載置部が該載置面から離間した際は、該支持溝に支持された板状物を押圧して板状物のガタツキを規制する押圧片が該支持溝に対応して該ロッドに形成されている請求項１に記載のカセット。

【請求項3】

該ロッドの上端には、押圧ばねが配設され、該被載置部が該載置面から離間した際に、該ロッドを強制的に押し下げて該押圧片で該板状物を押圧してガタツキを規制する請求項２に記載のカセット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、板状物を収容し載置面に載置されるカセットに関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに形成された後、切削装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

【0003】

研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削手段と、複数のウエーハを収容したカセットと、該カセットが載置される載置台と、該載置台に載置されたカセットからウエーハを搬出して該チャックテーブルまで搬送する搬送手段と、を含み構成されていて、ウエーハを高精度に所定の厚みに研削することができる（例えば特許文献１を参照）。

【0004】

また、切削装置は、ウエーハが環状のフレームの開口部に位置付けられ粘着テープを介して一体とされた板状物であるウエーハユニットを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削手段と、該ウエーハユニットを複数収容したカセットを載置するカセット載置台と、該カセット載置台に載置されたカセットから該ウエーハユニットを搬出して該チャックテーブルまで搬送する搬送手段と、を含み構成されていて、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる（例えば特許文献２を参照）。

【0005】

なお、レーザー加工装置は、切削装置を構成する切削手段がレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と置き換えられる点を除いて切削装置と略同様に構成される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００６－０２１２６４号公報

【特許文献2】特開２０１５－１７０６８９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

上記した各加工装置に採用されるカセットは、板状物の進入と退出を許容する開口部を備えていて、該カセットをカセット載置台に搬入したり、該カセット載置台から搬出したりする際のオペレータの不注意によって、又は該加工装置の振動によって傾いたりすることがあり、該カセットに収容されている板状物（ウエーハや上記したウエーハユニット）が該カセットの開口部からはみ出したり、脱落したりする等の問題がある。特に、カセット内に収容される板状物が、粘着テープを介して環状のフレームの開口部に保持されたウエーハユニットである場合は、上記したはみ出しや脱落によって該カセット内において隣接して収容されたウエーハユニットの粘着テープが他のウエーハユニットに接触して貼り付き、該貼り付きを解消するのに手間が掛かるという問題も生じる。上記した問題は、デバイスが表面に形成されたウエーハのみならず、その他の板状物であっても生じ得る問題である。

【0008】

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、オペレータの不注意によって、又は加工装置の振動によってカセットが傾いても、該カセットに収容されている板状物のガタツキが抑制され、板状物がカセットの開口部からはみ出したり、カセットから脱落したりする等の問題が解消できるカセットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、板状物を収容し載置面に載置されるカセットであって、板状物を支持する支持溝が複数形成され該載置面に載置される被載置部を有する第一の側壁と、該第一の側壁に形成された該支持溝に対応する複数の支持溝が形成され、該載置面に載置される被載置部を有する第二の側壁と、該第一の側壁と該第二の側壁とを連結して固定する上固定部及び下固定部と、該第一の側壁と該第二の側壁と該上固定部と該下固定部とにより形成された板状物の進入及び退出を許容する開口部と、該開口部の反対側に形成され板状物の脱落を防止する背部と、を含み構成され、該第一の側壁又は該第二の側壁の被載置部が該載置面から離間した際、該支持溝に支持された板状物のガタツキを規制するガタツキ規制部が該支持溝に対応して形成されるカセットが提供される。

【0010】

該ガタツキ規制部は、該第一の側壁又は該第二の側壁に沿って該上固定部から該下固定部に至り進退可能に配設されたロッドと、該ロッドの下端部が該被載置部と共に該載置面に接している際は、該支持溝に支持された板状物を開放し、該被載置部が該載置面から離間した際は、該支持溝に支持された板状物を押圧して板状物のガタツキを規制する押圧片が該支持溝に対応して該ロッドに形成されていることが好ましい。該ロッドの上端には、押圧ばねが配設され、該被載置部が該載置面から離間した際に、該ロッドを強制的に押し下げて該押圧片で該板状物を押圧してガタツキを規制するものであることが好ましい。

【発明の効果】

【0011】

本発明のカセットは、板状物を支持する支持溝が複数形成され載置面に載置される被載置部を有する第一の側壁と、該第一の側壁に形成された該支持溝に対応する複数の支持溝が形成され、該載置面に載置される被載置部を有する第二の側壁と、該第一の側壁と該第二の側壁とを連結して固定する上固定部及び下固定部と、該第一の側壁と該第二の側壁と該上固定部と該下固定部とにより形成された板状物の進入及び退出を許容する開口部と、該開口部の反対側に形成され板状物の脱落を防止する背部と、を含み構成され、該第一の側壁又は該第二の側壁の被載置部が該載置面から離間した際、該支持溝に支持された板状物のガタツキを規制するガタツキ規制部が該支持溝に対応して形成されることから、例えば、カセットを搬出しようとして持ち上げたオペレータの不注意により、又は加工装置の振動等により、載置面から被載置部が離間して、カセットが傾いた場合であっても、カセットに収容されたウエーハユニットのガタツキが規制されて、ウエーハユニットがカセットからはみ出したり、飛び出して脱落したりする等の問題が解消する。特に、上記したウエーハユニットのように、ウエーハが粘着テープを介してフレームの開口部に保持されている場合は、上下に隣接して収容されたウエーハを保持する粘着テープが他のフレームユニットに貼り付くという問題が解消する。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】カセットの全体斜視図である。

【図2】図１に示すカセットに装着されるガタツキ規制部の分解斜視図である。

【図3】（ａ）図２に示すガタツキ規制部が非規制状態にある状態を示す一部拡大断面図、（ｂ）図２に示すガタツキ規制部が規制状態にある状態を示す一部拡大断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明に基づいて構成されるカセットに係る実施形態について、添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

【0014】

図１には、載置面１００に載置された本実施形態のカセット１の全体斜視図が示されており、該カセット１は、所定の寸法の板状物を複数収容することができる。本実施形態においてカセット１に収容される板状物は、例えば、ウエーハＷを収容可能な開口部Ｆａを備えた環状のフレームＦの該開口部Ｆａの中央にウエーハＷが位置付けられ、該ウエーハＷが粘着テープＴを介してフレームＦに保持されて一体とされたウエーハユニット１２である。載置面１００は、例えば、切削装置においてカセット１が載置される載置台である。なお、該載置面１００は、上記した切削装置における載置台であることに限定されず、研削装置やレーザー加工装置においてカセット１が載置される載置台であってよく、さらに言えば、加工装置の載置台に搬送される前に、一時的にカセット１が載置されて保管される保管用のテーブル、棚、床等である場合も含む。

【0015】

カセット１は、上記したウエーハユニット１２を支持する支持溝４ａが複数形成され該載置面１００に載置される被載置部３ａを有する第一の側壁４と、第一の側壁４に形成された該支持溝４ａに対応する複数の支持溝５ａが形成され、載置面１００に載置される被載置部３ｂを有する第二の側壁５と、第一の側壁４と第二の側壁５とを固定する上固定部６及び下固定部７と、を備えると共に、第一の側壁４と第二の側壁５と上固定部６と下固定部７とにより形成されウエーハユニット１２の進入及び退出を許容する開口部８と、該開口部８の反対側に形成されウエーハユニット１２の脱落を防止する背部９と、を含み構成されている。背部９は、例えば、背面側全体を閉塞する板状部材で形成されるが、本発明はこれに限定されず、カセット１に収容されたウエーハＷが背部９側から脱落しないように規制する部材であれば、隙間や開口があってもよい。

【0016】

第一の側壁４に形成される支持溝４ａは第一の側壁４の内側面に形成された上下に隣接する二つの棚部４ｂ、４ｂによって形成され、上下方向に複数形成されており、第二の側壁５の内側面に形成される支持溝５ａもこれと同様に、第二の側壁５の内側面に形成され上下に隣接する二つの棚部５ｂ、５ｂによって形成され、上下方向に複数形成されている。支持溝４ａ、５ａは、水平方向で対応する位置に形成されており、対応する支持溝４ａと支持溝５ａとに上記したウエーハユニット１２を挿入することで、フレームＦの両端が支持されて、ウエーハＷを水平状態で保持する。支持溝４ａ、５ａの上下方向の高さ寸法は、ウエーハユニット１２の進入、退出を阻害しないように、フレームＦの厚みに対して余裕があるように設定され、フレームＦと支持溝４ａ、５ａとの間でガタツキが生じ得る程度の寸法に設定されている。

【0017】

さらに、カセット１には、載置面１００に載置される第一の側壁４の下端近傍を構成する被載置部３ａと、第二の側壁５の下端近傍を構成する被載置部３ｂとが載置面１００から離間した際、支持溝４ａ、５ａに支持されたウエーハユニット１２のガタツキを規制するガタツキ規制部２０が該支持溝４ａ、５ａに対応して形成されている。ガタツキ規制部２０については、追って詳述する。

【0018】

本実施形態のカセット１では、第一の側壁４及び第二の側壁５の外側面に、オペレータがカセット１を移動する際に把持するグリップ１０が形成されている（第一の側壁４の外側面は見えていないが第二の側壁５と同様のグリップ１０が形成されている）。なお、グリップ１０は、本実施形態のように第一の側壁４、第二の側壁５の両方に形成されることに限定されず、例えば、上固定部６の中央に１つ形成されるものであってもよい。

【0019】

図１に加え、図２、３を参照しながら、ガタツキ規制部２０について、より具体的に説明する。

【0020】

図２には、カセット１の第一の側壁４側の一部のみを拡大して、ガタツキ規制部２０を分解した状態を示す斜視図が示されている。図２に示すように、ガタツキ規制部２０は、上固定部６から挿入され第一の側壁４に沿って上下方向に進退可能に配設されるロッド２１（一部を省略している）と、該ロッド２１を押圧する押圧ばね２２と、該押圧ばね２２を収容する押圧ばね保持キャップ２３とを備えている。該ロッド２１は、上固定部６から上記した下固定部７に至る寸法で形成され、上下方向に延びるロッド本体部２１ａと、ロッド本体部２１ａの上端に形成されるロッド上端部２１ｂと、ロッド上端部２１ｂの上部を構成する押圧ばね支持部２１ｃと、ロッド本体部２１ａの下端に形成されるロッド下端部２１ｄと、ロッド本体部２１ａの上下方向に沿って複数形成される押圧片２１ｅと、上下方向で隣接する押圧片２１ｅ、２１ｅによって形成される隙間部２１ｆと、該押圧片２１ｅの下面側に形成され、後述するガタツキ規制を実施する際に、ウエーハユニット１２のフレームＦを押圧する押圧面２１ｇと、を備えている。上記した複数の押圧片２１ｅが配設される間隔は、第一の側壁４に形成された複数の棚部４ｂに対応する間隔で設定される。

【0021】

該隙間部２１ｆの高さは、カセット１に収容されるフレームＦの厚み寸法に対し、十分に余裕がある寸法で設定される。該隙間部２１ｆを形成する押圧面２１ｇは、該隙間部２１ｆを構成する押圧片２１ｅの上面２１ｈと押圧面２１ｇとにより形成される間隔が、押圧片２１ｅの先端に向かうに従い広がるように傾斜している。

【0022】

なお、押圧片２１ｅの下面側を構成する押圧面２１ｇには、フレームＦを押圧してガタツキを規制する際に、フレームＦが滑って水平方向に移動することをより確実に防止すべく柔軟性のある樹脂製のシート、例えば、ウレタンシート、又はゴムシートが貼付されることが好ましい。

【0023】

上記したロッド２１は、図２では一部のみが示されているカセット１の上固定部６における第一の側壁４の近傍に形成された貫通孔６ａと、第一の側壁４の内側面に形成された全ての棚部４ｂに形成され上下方向で上記貫通孔６ａと一致する位置に形成された複数の貫通孔４ｃと、下固定部７における第一の側壁４の近傍であって、上下方向で上記の貫通孔４ｃと一致する位置に形成された貫通孔７ａ（図３（ａ）、（ｂ）を参照）とに挿入される。図３から理解されるように、ロッド２１は、押圧ばね支持部２１ｃと該押圧ばね２２とを押圧ばね保持キャップ２３の内部に収容すると共に、該押圧ばね保持キャップ２３を上固定部６の上面に固着する。これにより、上記したガタツキ規制部２０を構成するロッド２１は、押圧ばね２２によって、常時下方側に押圧されている。押圧ばね支持部２１ｃは、上固定部６に形成された貫通孔６ａよりも大きな寸法で形成されていることから、該押圧ばね２２によって下方側に押圧されても、上固定部６に押圧ばね支持部２１ｃが当接することで、それ以上、ロッド２１が下方に移動しないように規制される。本実施形態のガタツキ規制部２０は、図１に示すように、第二の側壁５側にも配設され。上記したガタツキ規制部２０と同一の構成で形成されている（詳細な説明は省略する）。

【0024】

本実施形態のカセット１は、概ね上記したとおりの構成を備えており、以下に、その機能、及び作用効果ついて、具体的に説明する。

【0025】

図３（ａ）には、本実施形態のカセット１が載置面１００に載置されている状態であって、カセット１の一部を拡大しガタツキ規制部２０が配設された位置で切った断面図が示されている（図３（ａ）では第一の側壁４側のみが示されている）。図１に基づき説明したように、カセット１には、ウエーハユニット１２が収容され、フレームＦを介して支持溝４ａ、５ａに支持されている。図３（ａ）から理解されるように、カセット１が載置面１００に載置されることにより、被載置部３ａが載置面１００に当接し、ガタツキ規制部２０を構成するロッド２１のロッド下端部２１ｄが載置面１００に当接する。これにより、ロッド２１が載置面１００によって矢印Ｒ１で示す方向に向けて押されて移動し、ロッド２１の上端にある押圧ばね支持部２１ｃが、上固定部６の上面から離間して押圧ばね２２を縮めながら押圧ばね保持キャップ２３内で上方に移動する。このとき、ロッド２１に形成された隙間部２１ｆが、第一の側壁４に形成された支持溝４ａと一致する位置に位置付けられると共に、該隙間部２１ｆを構成する押圧片２１ｅの上面２１ｈと、第一の側壁４の支持溝４ａを構成する棚部４ｂの上面とが上下方向でみて略一致する位置に位置付けられる。これにより、ウエーハＷを支持するフレームＦの角部Ｆｂに対して、ガタツキ規制部２０の押圧面２１ｇが作用せず、カセット１からウエーハＷを進入、退出させることが可能な非規制状態、すなわち、ウエーハユニット１２は、ガタツキがある状態でカセット１に保持される。なお、本実施形態では、上記した非規制状態において、ガタツキ規制部２０のロッド２１に形成された押圧片２１ｅの上面２１ｈと、第一の側壁４の支持溝４ａを構成する棚部４ｂの上面とが上下方向でみて略一致するように形成したが、本発明はこれに限定されず、非規制状態において、該上面２１ｈが、第一の側壁４の支持溝４ａを構成する棚部４ｂの上面よりも低い位置にあってもよい。

【0026】

上記したように、カセット１が載置面１００に載置されてウエーハユニット１２のフレームＦのガタツキが規制されない非規制状態にある状態から、例えば、図示していないオペレータが、載置面１００からカセット１を搬出すべく、上記のグリップ１０を把持して持ち上げると、図３（ｂ）に示すように、被載置部３ａが矢印Ｒ２で示す方向に浮上して、載置面１００から離間した状態となる。そうすると、上記した押圧ばね２２及びロッド２１の自重の作用によって、矢印Ｒ３で示す方向にロッド２１が押され、下方に向けて移動する。このようにロッド２１が下方に移動すると、ロッド２１のロッド下端部２１ｄが下固定部７から下方に突出すると共に、ロッド２１の隙間部２１ｆも矢印Ｒ３で示す方向に移動する。これにより、該隙間部２１ｆを形成する押圧片２１ｅの押圧面２１ｇが下降して、フレームＦの角部Ｆｂを上方から押圧する。図３では、カセット１の第一の側壁４側を含む一部のみを示しているが、第二の側壁５側でも、同様に第二の側壁５側に配設されたガタツキ規制部２０のロッド２１の押圧面２１ｇによってフレームＦが押圧され、カセット１に収容された全てのウエーハユニット１２のフレームＦが、ガタツキ規制部２０によって押圧されて、フレームＦと支持溝４ａ、５ａとの間にあったガタツキが規制された規制状態となる。なお、上記した実施形態では、押圧ばね２２を備えてロッド２１を上方から押圧して下方に向けて移動させるようにしているが、本発明はこれに限定されず、上記した押圧ばね２２を備えず、ロッド２１の自重のみによって下方に向けて移動させるようにしてもよい。

【0027】

上記した構成を備えていることにより、ガタツキ規制部２０のロッド２１の下端部２１ｄが被載置部３ａ、３ｂと共に載置面１００に接している場合は、ロッド２１の押圧片２１ｅに形成された押圧面２１ｇがフレームＦを押圧しない非規制状態となり、上記した支持溝４ａ、５ａに支持されたウエーハユニット１２を進入、退出させることが可能であり、加工装置に搬入され載置されたカセット１から、ウエーハユニット１２が搬出されてウエーハＷに対する所定の加工が可能であると共に、該所定の加工後のウエーハユニット１２も所定の位置に収容することが可能である。これに対し、例えば、カセット１を搬出しようとして持ち上げたオペレータの不注意により、又は加工装置の振動等により、載置面１００から被載置部３ａ、３ｂが離間して、カセット１が傾いた場合、カセット１に収容されたウエーハユニット１２のガタツキが規制される規制状態となって、ウエーハユニット１２がカセット１からはみ出したり、飛び出して脱落したりする等の問題が解消する。特に、上記したウエーハユニット１２のように、ウエーハＷが粘着テープＴを介してフレームＦの開口部Ｆａに保持されている場合は、上下に隣接して収容されたウエーハＷを保持する粘着テープＴが他のフレームユニット１２に貼り付くという問題が解消する。

【0028】

なお、上記した実施形態では、粘着テープＴを介して環状のフレームＦの開口部ＦａにウエーハＷが保持されたウエーハユニット１２がカセット１に収容された例を示したが、本発明はこれに限定されず、フレームＦに保持されていないウエーハＷが単体でカセット１に収容されたものでも、同様の作用効果を奏することができる。

【符号の説明】

【0029】

１：カセット
３ａ、３ｂ：被載置部
４：第一の側壁
４ａ：支持溝
４ｂ：棚部
４ｃ：貫通孔
５：第二の側壁
５ａ：支持溝
５ｂ：棚部
６：上固定部
６ａ：貫通孔
７：下固定部
７ａ：貫通孔
８：開口部
９：背部
１０：グリップ
１２：ウエーハユニット
２０：ガタツキ規制部
２１：ロッド
２１ａ：ロッド本体部
２１ｂ：ロッド上端
２１ｃ：押圧ばね支持部
２１ｄ：ロッド下端部
２１ｅ：押圧片
２１ｆ：隙間部
２１ｇ：押圧面
２１ｈ：上面
２２：押圧ばね
２３：押圧ばね保持キャップ
１００：載置面
Ｆ：フレーム
Ｔ：粘着テープ
Ｗ：ウエーハ

【図1】

【図2】

【図3】