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特開2024-162943基板処理装置

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024162943

(43)【公開日】2024-11-21

(54)【発明の名称】基板処理装置

(51)【国際特許分類】

H01L 21/677 20060101AFI20241114BHJP

B25J 9/06 20060101ALN20241114BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/06 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】40

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2023107159

(22)【出願日】2023-06-29

(31)【優先権主張番号】18/315,256

(32)【優先日】2023-05-10

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第２項適用申請有り２０２２年６月３０日にブルーカーナノインコーポレイテッドにエンドエフェクターを販売することにより公開

(71)【出願人】

【識別番号】522041444

【氏名又は名称】ブルックスオートメーションユーエス、エルエルシー

(74)【代理人】

【識別番号】110001896

【氏名又は名称】弁理士法人朝日奈特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ハンリー、レビッドイー

(72)【発明者】

【氏名】ベトリッチ、グレゴリー、イー

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS05

3C707AS24

3C707BS15

3C707BS23

3C707ES05

3C707ES17

3C707ET08

3C707EU14

3C707HS13

3C707HS14

3C707HS19

3C707HS20

3C707HS26

3C707HS27

3C707NS12

3C707NS13

5F131AA02

5F131BA01

5F131BA02

5F131BA03

5F131BA04

5F131BA13

5F131BA19

5F131BA22

5F131BA23

5F131BA24

5F131BB04

5F131BB05

5F131BB13

5F131CA53

5F131CA54

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA36

5F131DA42

5F131DB02

5F131DB03

5F131DB13

5F131DB14

5F131DB15

5F131DB42

5F131DB45

5F131DB52

5F131DB58

(57)【要約】（修正有）

【課題】電力が失われた場合でも、基板上で能動的なグリップを維持する能動的なグリップエンドエフェクタを有するロボットを提供する。
【解決手段】フレーム３４０Ｆ、３４１Ｆと、フレームに接続された少なくとも１つの基板搬送アーム３９９Ａと、を有する基板処理装置であって、少なくとも１つの基板搬送アームは、第１、第２の基板支持タイン３５０、３５１を備える少なくとも１つのエンドエフェクタ３００と、第１、第２の基板支持タインの間の距離を変化させるたエンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥと、傾斜連結部ＳＣと、を含む。傾斜連結部は、傾斜連結部分ＳＣ１の１つから傾斜連結部分ＳＣ２の別の１つまで実質的に剛性を有し、非関節式に、第１、第２の基板支持タインの各々を互いに連結し、傾斜連結部の各動作軸がエンドエフェクタ駆動セクションの各駆動軸に対して傾斜している傾斜動作軸ＳＡＸを有する、
【選択図】図４Ａ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板処理装置であって、前記基板処理装置が、
フレームと、
前記フレームに接続された少なくとも１つの基板搬送アームと、を備え、前記少なくとも１つの基板搬送アームが、少なくとも１つのエンドエフェクタを有し、各エンドエフェクタが、
それぞれの基板搬送アームと連結するように構成されたベース部分と、
前記ベース部分に取り付けられ、前記ベース部分に従属している、第１および第２の基板支持タインであって、前記第１および第２の基板支持タインの少なくとも１つが前記ベース部分に対して移動可能である、第１および第２の基板支持タインと、
前記第１および第２の基板支持タインの間の距離を変化させるように構成されたエンドエフェクタ駆動セクションと、
傾斜連結部であって、前記傾斜連結部の１つから前記傾斜連結部の別の１つまで実質的に剛性を有し、非関節式に、前記第１および第２の基板支持タインの各々を互いに連結し、前記傾斜連結部の各動作軸が前記エンドエフェクタ駆動セクションの各駆動軸に対して傾斜している傾斜動作軸を有する、傾斜連結部と、
を有する、基板処理装置。

【請求項2】

前記傾斜連結部の各動作軸は、前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部の他の各動作軸に対して傾斜している、請求項１に記載の基板処理装置。

【請求項3】

前記駆動セクションの前記駆動軸に沿った駆動入力を、前記第１および第２の基板支持タインに加えられ、前記第１および第２の基板支持タインを、前記駆動入力に略直交した出力軸に沿って移動させる駆動出力へと変換するように、前記傾斜連結部の各動作軸は、前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部の他の各動作軸に対して所定のピッチで配置される、請求項１に記載の基板処理装置。

【請求項4】

前記出力軸が、前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部の他の各動作軸と実質的に一致する、請求項３に記載の基板処理装置。

【請求項5】

前記第１および第２の基板支持タインが、基板を解放する解放位置および前記第１および第２の基板支持タインが前記基板に接触し、前記基板を支持するように配されている支持位置から、前記出力軸に沿って移動する、請求項３に記載の基板処理装置。

【請求項6】

前記傾斜連結部が、第１および第２の傾斜連結部を含み、前記第１および第２の傾斜連結部の各々が、互いに対して傾斜し、前記第１および第２の基板支持タインを互いに連結し、前記第１および第２の基板支持タインを前記エンドエフェクタ駆動セクションに連結する、請求項１に記載の基板処理装置。

【請求項7】

前記傾斜連結部が、線形スライド式連結部である、請求項１に記載の基板処理装置。

【請求項8】

前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部が、線形スライド式連結部である、請求項１に記載の基板処理装置。

【請求項9】

前記第１および第２の基板支持タインの各々が、それぞれの基板接触部を有し、それぞれの前記基板接触部が、前記エンドエフェクタによって保持された基板に接触し、前記第１および第２の基板支持タインのそれぞれの前記基板接触部の間で前記基板を支持するように構成されている、請求項１に記載の基板処理装置。

【請求項10】

基板処理装置であって、基板処理装置が、
フレームと、
前記フレームに接続された少なくとも１つの基板搬送アームと、を備え、前記少なくとも１つの基板搬送アームが、少なくとも１つのエンドエフェクタを有し、各エンドエフェクタが、
それぞれの基板搬送アームと連結するように構成されたベース部分と、
前記ベース部分に取り付けられ、前記ベース部分に従属している第１および第２の基板支持タインを備える把持部分であって、前記第１および第２の基板支持タインの少なくとも１つが前記ベース部分に対して移動可能である、把持部分と、
前記第１および第２の基板支持タインの間の距離を変化させるように構成されたエンドエフェクタ駆動セクションと、を有し、
前記エンドエフェクタ駆動セクションが、駆動軸に沿った線形駆動入力を生成するアクチュエータを有し、前記アクチュエータが、前記第１および第２の基板支持タインの各々を前記アクチュエータに動作可能に連結する連結部によって前記把持部分に連結され、
前記連結部が、前記アクチュエータの前記線形駆動入力を、前記第１および第２の基板支持タインの各々に加え、前記第１および第２の基板支持タインを前記駆動軸に沿う前記線形駆動入力に略直交する方向に移動させる出力に変換するように構成されている、基板処理装置。

【請求項11】

前記連結部が、前記第１および第２の基板支持タインを互いに接続し、前記第１および第２の基板支持タインを前記アクチュエータに接続する、剛性を有し、非関節式のつなぎ部材を有し、それにより、前記駆動入力が、前記第１および第２の基板支持タインの各々に加えられ、前記第１および第２の基板支持タインの各々を移動させる前記出力に共通となる、請求項１０に記載の基板処理装置。

【請求項12】

前記つなぎ部材は、前記駆動入力が前記つなぎ部材に作用するように、前記アクチュエータに連結された端部を有し、前記つなぎ部材が、前記第１および第２の基板支持タイン間に跨り、前記第１および第２の基板支持タインに移動可能に接続される、請求項１０に記載の基板処理装置。

【請求項13】

前記つなぎ部材が、前記駆動軸に対して、および互いに対して所定のピッチ角で傾けられた、傾けられた線形ガイドによって制限される、請求項１０に記載の基板処理装置。

【請求項14】

前記傾けられた線形ガイドが、前記ベース部分に対する前記第１および第２の基板支持タインの動作をガイドする少なくとも１つの線形ガイドに対する別のピッチ角で傾けられる、請求項１３に記載の基板処理装置。

【請求項15】

前記駆動軸に対する前記傾けられた線形ガイドの前記ピッチ角、および前記第１および第２の基板支持タインをガイドする前記少なくとも１つの線形ガイドに対する、前記傾けられた線形ガイドの前記別のピッチ角が、前記駆動入力から前記第１および第２の基板支持タインに加えられる出力への略直交した変換を決定する、請求項１４に記載の基板処理装置。

【請求項16】

前記第１および第２の基板支持タインが、基板を解放する解放位置および前記第１および第２の基板支持タインが前記基板に接触し、前記基板を支持するように配されている支持位置から、前記ベース部分に対する前記第１および第２の基板支持タインの動作をガイドする前記少なくとも１つの線形ガイドに沿って移動する、請求項１３に記載の基板処理装置。

【請求項17】

前記つなぎ部材および前記傾けられた線形ガイドが、第１および第２の傾斜連結部を含む傾斜連結部を形成し、前記第１および第２の傾斜連結部の各々が、互いに対して傾斜し、前記第１および第２の基板支持タインを互いに連結し、前記第１および第２の基板支持タインを前記エンドエフェクタ駆動セクションに連結する、請求項１３に記載の基板処理装置。

【請求項18】

前記傾斜連結部が、線形スライド式連結部である、請求項１３に記載の基板処理装置。

【請求項19】

前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部が、線形スライド式連結部である、請求項１３に記載の基板処理装置。

【請求項20】

前記第１および第２の基板支持タインの各々が、それぞれの基板接触部を有し、それぞれの前記基板接触部が、前記エンドエフェクタによって保持された基板に接触し、前記第１および第２の基板支持タインのそれぞれの前記基板接触部の間で前記基板を支持するように構成されている、請求項１０に記載の基板処理装置。

【請求項21】

基板を取り扱うための方法であって、前記方法が、
基板処理装置を設ける工程であって、前記基板処理装置が、
フレームと、
前記フレームに接続された少なくとも１つの基板搬送アームであって、前記少なくとも１つの基板搬送アームが、少なくとも１つのエンドエフェクタを有し、各エンドエフェクタが、それぞれの基板搬送アームと連結するように構成されたベース部分を有する、少なくとも１つの基板搬送アームと、
前記ベース部分に取り付けられ、前記ベース部分に従属している、第１および第２の基板支持タインであって、前記第１および第２の基板支持タインの少なくとも１つが前記ベース部分に対して移動可能である、第１および第２の基板支持タインと、を有する、基板処理装置を設ける工程と、
エンドエフェクタ駆動セクションを用いて、前記第１および第２の基板支持タインの間の距離を変化させる工程と、を含み、
前記第１および第２の基板支持タインの各々が、傾斜連結部によって、前記傾斜連結部の１つから前記傾斜連結部の別の１つまで、実質的に剛性を有し、非関節式に、互いに連結され、前記傾斜連結部が、前記傾斜連結部の各動作軸が前記エンドエフェクタ駆動セクションの各駆動軸に対して傾斜している傾斜動作軸を有する、方法。

【請求項22】

前記傾斜連結部の各動作軸が、前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部の他の各動作軸に対して傾斜している、請求項２１に記載の方法。

【請求項23】

前記方法が、駆動出力を前記第１および第２の基板支持タインに加え、前記第１および第２の基板支持タインを駆動入力に略直交する出力軸に沿って移動させる工程をさらに含み、前記傾斜連結部の各動作軸が、前記駆動セクションの前記駆動軸に沿った前記駆動入力を、前記駆動出力に変換するように、前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部の他の各動作軸に対して所定のピッチで配置される、請求項２１に記載の方法。

【請求項24】

前記出力軸が、前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部の他の各動作軸と実質的に一致する、請求項２３に記載の方法。

【請求項25】

前記方法が、前記第１および第２の基板支持タインを、前記基板を解放する解放位置および前記第１および第２の基板支持タインが前記基板に接触し、前記基板を支持するように配されている支持位置から、前記出力軸に沿って移動する工程をさらに含む、請求項２３に記載の方法。

【請求項26】

前記傾斜連結部が、第１および第２の傾斜連結部を含み、前記第１および第２の傾斜連結部の各々が、互いに対して傾斜し、前記第１および第２の基板支持タインを互いに連結し、前記第１および第２の基板支持タインを前記エンドエフェクタ駆動セクションに連結する、請求項２１に記載の方法。

【請求項27】

前記傾斜連結部が、線形スライド式連結部である、請求項２１に記載の方法。

【請求項28】

前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部が、線形スライド式連結部である、請求項２１に記載の方法。

【請求項29】

前記方法が、前記第１および第２の基板支持タインの各々のそれぞれの基板接触部を用いて、前記エンドエフェクタによって保持された基板に接触させ、前記第１および第２の基板支持タインのそれぞれの前記基板接触部の間で前記基板を支持する工程をさらに含む、請求項２１に記載の方法。

【請求項30】

基板を取り扱うための方法であって、前記方法が、
基板処理装置を設ける工程であって、前記基板処理装置が、
フレームと、
前記フレームに接続された少なくとも１つの基板搬送アームであって、前記少なくとも１つの基板搬送アームが、少なくとも１つのエンドエフェクタを有し、各エンドエフェクタが、それぞれの基板搬送アームと連結するように構成されたベース部分、および前記ベース部分に取り付けられ、前記ベース部分に従属している第１および第２の基板支持タインを備える把持部分を有し、前記第１および第２の基板支持タインの少なくとも１つが前記ベース部分に対して移動可能である、少なくとも１つの基板搬送アームと、を有する工程と、
エンドエフェクタ駆動セクションを用いて、前記第１および第２の基板支持タインの間の距離を変化させる工程と、
前記エンドエフェクタ駆動セクションのアクチュエータを用いて、駆動軸に沿って線形駆動入力を生成する工程であって、前記アクチュエータが、前記第１および第２の基板支持タインの各々を前記アクチュエータに動作可能に連結する連結部によって前記把持部分に連結される、線形駆動入力を生成する工程と、
前記連結部を用いて、前記アクチュエータの前記線形駆動入力を、前記第１および第２の基板支持タインの各々に加えられ、前記第１および第２の基板支持タインを前記駆動軸に沿う前記線形駆動入力に略直交する方向に移動させる出力へと変換する工程と、を含む方法。

【請求項31】

【請求項32】

前記つなぎ部材は、前記駆動入力が前記つなぎ部材に作用するように、前記アクチュエータに連結された端部を有し、前記つなぎ部材が、前記第１および第２の基板支持タイン間に跨り、前記第１および第２の基板支持タインに移動可能に接続される、請求項３０に記載の方法。

【請求項33】

前記つなぎ部材が、前記駆動軸に対して、および互いに対して所定のピッチ角で傾けられた、傾けられた線形ガイドによって制限される、請求項３０に記載の方法。

【請求項34】

前記傾けられた線形ガイドが、前記ベース部分に対する前記第１および第２の基板支持タインの動作をガイドする少なくとも１つの線形ガイドに対する別のピッチ角で傾けられる、請求項３３に記載の方法。

【請求項35】

前記駆動軸に対する前記傾けられた線形ガイドの前記ピッチ角、および前記第１および第２の基板支持タインをガイドする前記少なくとも１つの線形ガイドに対する、前記傾けられた線形ガイドの前記別のピッチ角が、前記駆動入力から前記第１および第２の基板支持タインに加えられる出力への略直交した変換を決定する、請求項３４に記載の方法。

【請求項36】

前記第１および第２の基板支持タインを、前記基板を解放する解放位置および前記第１および第２の基板支持タインが前記基板に接触し、前記基板を支持するように配されている支持位置から、前記ベース部分に対する前記第１および第２の基板支持タインの動作をガイドする前記少なくとも１つの線形ガイドに沿って移動させる工程をさらに含む、請求項３３に記載の方法。

【請求項37】

前記つなぎ部材および前記傾けられた線形ガイドが、第１および第２の傾斜連結部を含む傾斜連結部を形成し、前記第１および第２の傾斜連結部の各々が、互いに対して傾斜し、前記第１および第２の基板支持タインを互いに連結し、前記第１および第２の基板支持タインを前記エンドエフェクタ駆動セクションに連結する、請求項３３に記載の方法。

【請求項38】

前記傾斜連結部が、線形スライド式連結部である、請求項３３に記載の方法。

【請求項39】

前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部が、線形スライド式連結部である、請求項３３に記載の方法。

【請求項40】

前記方法が、前記第１および第２の基板支持タインの各々のそれぞれの基板接触部を用いて、前記エンドエフェクタによって保持された基板に接触させ、前記第１および第２の基板支持タインのそれぞれの前記基板接触部の間で前記基板を支持する工程をさらに含む、請求項３０に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

例示的な実施形態は、概して、基板処理装置、より具体的には、基板の取り扱いに関する。

【背景技術】

【0002】

集積回路は、シリコンなどの、半導体基板材料のウェーハから製造される。各ウェーハから複数の集積回路が製造される。典型的な製造設備は、高度に自動化されており、基板搬送装置を使用して、部分的に製造された集積回路で構成された基板ウェーハをさまざまな製造ツール間で移送する。

【発明の概要】

【0003】

集積回路の欠陥を最小限に抑えるために、製造はクリーンルームで行われ、そこで、空気から粒子汚染物を除去するために特殊な浄化システムが利用され、そのような汚染物の生成を防ぐために安全装置が使用される。搬送中に基板がずれると、ずれた基板が別の表面に当たったまたはこすった場合に粒子汚染が発生しかねない。ずれた基板に損傷を与えるだけでなく、摩耗によって生じた粒子によって他の基板が汚染されかねない。受動的なエンドエフェクタを備えた基板搬送装置は、位置ずれを防止するためにエンドエフェクタと基板との間の摩擦に依存し、それゆえ、受動的なパッドの材料（たとえば、低温条件用のエラストマー材料、または高温条件用のステンレス鋼、アルミナ、または石英）に関連づけられた静摩擦係数によって制限されたより低い動作速度を有している。基板の移動時に基板の縁部にクランプ力を加える能動的なグリップエンドエフェクタを有する搬送装置によって、より速い速度が得られる。生産スループットを向上させるために、製造施設ではより高い搬送速度が望まれる。

【0004】

半導体基板搬送装置は、多くの場合、不活性ガスまたは真空などの、制御された雰囲気を保持するために隔離されたチャンバ内で動作する。たとえば、従来の基板処理装置は、チャンバと連通することができる１つまたは複数の処理モジュールを備えた真空チャンバ（または隔離された雰囲気を保持することができる他のチャンバ）と、外側の大気環境と接続するための少なくとも１つのロードロックチャンバと、を備え得る。当該装置はさらに、従来から、（１つまたは複数の）ロードロックチャンバと処理モジュールとの間で基板を搬送するための可動アームを備えた基板搬送装置を備え、当該アームは真空チャンバ内にある。上述の理由のために、当該搬送装置に能動的なエッジグリップエンドエフェクタを使用することが望ましい。能動的なグリップエンドエフェクタは、動作するために電力源および制御を利用し得るが、電力の喪失により、能動的なグリップエンドエフェクタによって保持された基板の解放が引き起こされ得、ここで、エンドエフェクタの能動的なグリッパは、電力喪失で把持力を失う。従来の能動的なエッジグリッパは、エンドエフェクタの能動的なグリップを作動させるための複雑なリンク機構も利用し得、ここで、そのようなリンク機構は、作動グリッパ速度の変動、把持力の変動、およびグリッパ作動の遅延または変動を引き起こし得る（このような作動の遅延または変動は、リンク機構が回転するときのリンク機構の動作の損失に起因している）。また、リンク機構間の複数の継ぎ手によって、グリッパ作動に遊びや傾斜をもたらす可能性がある。

【0005】

電力が失われた場合でも、基板上で能動的なグリップを維持する能動的なグリップエンドエフェクタを有することに利点があるだろう。剛性が高く、高速応答性のグリッパアクチュエータを備えた能動的なグリップエンドエフェクタを有することにも利点があるだろう。グリッパ運動での定常状態の速度およびグリッパの動作の全範囲にわたる略一定の把持力を有する能動的なグリップエンドエフェクタを有することにもさらに利点があるだろう。

【0006】

開示された実施形態の前述の態様および他の特徴は、添付の図面に関連して行われた以下の記載において説明される。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1A】開示された実施形態の態様を組み込んだ基板処理装置の概略図である。

【図1B】開示された実施形態の態様を組み込んだ基板処理装置の概略図である。

【図1C】開示された実施形態の態様を組み込んだ基板処理装置の概略図である。

【図1D】開示された実施形態の態様を組み込んだ基板処理装置の概略図である。

【図1E】開示された実施形態の態様を組み込んだ基板処理装置の概略図である。

【図1F】開示された実施形態の態様を組み込んだ基板処理装置の概略図である。

【図1G】開示された実施形態の態様を組み込んだ基板処理装置の概略図である。

【図1H】開示された実施形態の態様を組み込んだ基板処理装置の概略図である。

【図2A】開示された実施形態の態様による、図１Ａ～１Ｈの基板搬送装置の部分の概略図である。

【図2B】開示された実施形態の態様による、図１Ａ～１Ｈの基板搬送装置の部分の概略図である。

【図2C】開示された実施形態の態様による、図１Ａ～１Ｈの基板搬送装置の部分の概略図である。

【図2D】開示された実施形態の態様による、図１Ａ～１Ｈの基板搬送装置の部分の概略図である。

【図2E】開示された実施形態の態様による、図１Ａ～１Ｈの基板搬送装置の部分の概略図である。

【図3】開示された実施形態の態様による、図１Ａ～１Ｈの基板搬送装置の例示的な概略図である。

【図4A】開示された実施形態の態様による、閉じた構成の図１Ａ～３の基板搬送装置の一部の概略図である。

【図4B】開示された実施形態の態様による、開いた構成の図１Ａ～３の基板搬送装置の一部の概略図である。

【図4C】開示された実施形態の態様による、閉じた構成の、上に基板を備えた図４Ａおよび４Ｂの基板搬送装置の一部の概略図である。

【図4D】開示された実施形態の態様による、開いた構成の、上に基板を備えた図４Ａおよび４Ｂの基板搬送装置の一部の概略図である。

【図5A】開示された実施形態の態様による、閉じた構成の図１Ａ～３の基板搬送装置の一部の概略図である。

【図5B】開示された実施形態の態様による、開いた構成の図１Ａ～３の基板搬送装置の一部の概略図である。

【図6A】開示された実施形態の態様による、開いた構成の図１Ａ～３の基板搬送装置の一部の概略図である。

【図6B】開示された実施形態の態様による、開いた構成の図１Ａ～３の基板搬送装置の一部の概略図である。

【図7】開示された実施形態の態様による方法の例示的なフロー図である。

【図8】開示された実施形態の態様による方法の例示的なフロー図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

図１Ａ～１Ｄを参照すると、本明細書でさらに説明されるように、開示された実施形態の態様を組み込んだ基板処理装置またはツールの概略図が示されている。開示された実施形態の態様は、図面を参照して説明されるが、開示された実施形態の態様が、多くの形態で具体化され得ることが理解されるべきである。さらに、任意の適切なサイズ、形状、またはタイプの要素または材料が使用され得る。

【0009】

以下により詳細に説明されるように、開示された実施形態の態様は、たとえば、半導体基板、分離された半導体デバイス／チップ、レチクル、レチクルキャリア、または任意の他の適切なトレイ（たとえば、ＪｏｉｎｔＥｌｅｃｔｒｏｎＤｅｖｉｃｅＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＣｏｕｎｃｉｌ（ＪＥＤＥＣ）またはＪＥＤＥＣスタイルのトレイ、または分離された半導体デバイス／チップなどの１つまたは複数のアイテムを保持する任意の他のトレイなど）などの（１つまたは複数の）任意の適切なワークピース（本明細書では基板とも呼ばれる）、本明細書ではすべてが総称して「基板」と呼ばれる、半導体製造に使用されるキャリアおよび／またはツールの取り扱いのためのエンドエフェクタを提供する。エンドエフェクタは、エンドエフェクタへの電力の喪失で、エンドエフェクタ３００、３００’、３００”（図４Ａ～６を参照）上で基板Ｓを保持するための、持続的な基板把持力ＴＧＦ（図４Ｃを参照）を維持する能動的なグリップを含む。エンドエフェクタはまた、エンドエフェクタ３００、３００’、３００”の把持部分３５５をエンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥに連結する傾斜連結部ＳＣ（図４Ａ～図６を参照）を含み、ここで、傾斜連結部ＳＣは、把持部分３５５の少なくとも１つの基板支持タイン３５０、３５１へのエンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥの実質的に直接的な連結（図４Ａ～図６を参照）をもたらす。エンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥと少なくとも１つの基板支持タイン３５０、３５１との間のこの実質的に直接的な連結は、少なくとも１つの基板支持タイン３５０、３５１の実質的に一定／定常状態の速度でのタインの移動および基板Ｓを把持するための一定／定常状態の把持力をもたらす。

【0010】

基板およびウェーハという用語は、本明細書で交換可能に使用されることが留意される。また、本明細書で使用されるように、基板保持ステーションという用語は、プロセスモジュール内の基板保持位置、またはたとえば、基板をピックする／基板保持ステーションに配置するための、ロードポート（またはその上に保持された基板カセット）、ロードロック、バッファステーションなどの基板処理装置内の任意の他の適切な基板保持位置である。

【0011】

図１Ａおよび図１Ｂを参照すると、たとえば、半導体ツールステーションまたは処理装置１１０９０などの処理装置が、開示された実施形態の態様に従って示されている。半導体ツール１１０９０が図面に示されているが、本明細書に記載される開示された実施形態の態様は、任意のツールステーションまたはロボットマニピュレータを利用するアプリケーションに適用することができる。本例では、ツール１１０９０はクラスタツールとして示されているが、開示された実施形態の態様は、たとえば、図１Ｃおよび図１Ｄに示され、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、２０１３年３月１９日に発行された「Linearly Distributed Semiconductor Workpiece Processing Tool」と題された米国特許第８，３９８，３５５号明細書に記載されるものなどの、線形ツールステーションなどの任意の適切なツールステーションに適用されてもよい。ツールステーション１１０９０は、概して、大気フロントエンド１１０００、真空ロードロック１１０１０、および真空バックエンド１１０２０を含む。他の態様では、ツールステーションは任意の適切な構成を有し得る。大気フロントエンド１１０００、真空ロードロック１１０１０、および真空バックエンド１１０２０の各々の構成要素は、たとえば、クラスタ化アーキテクチャ制御などの任意の適切な制御アーキテクチャの一部であり得るコントローラ１１０９１に接続され得る。制御システムは、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、２０１１年３月８日に発行された「Scalable Motion Control System」と題される米国特許第７，９０４，１８２号明細書に開示されるものなどの、マスタコントローラ、クラスタコントローラ、および自律リモートコントローラを有する閉ループコントローラであり得る。他の態様では、任意の適切なコントローラおよび／または制御システムが利用されてもよい。コントローラ１１０９１は、本明細書に記載される処理装置を動作させて、本明細書に記載されるような可変サイズを有する基板の取り扱いおよびマッピングを有効にするための非一時的プログラムコードを含む任意の適切なメモリおよび（１つまたは複数の）プロセッサを含む。たとえば、一態様では、コントローラ１１０９１は、埋め込み型の基板位置決めコマンドを含む。一態様では、基板位置決めコマンドは、本明細書に記載されるように、基板と基板搬送装置のエンドエフェクタとの間の距離を判定するための埋め込み型のピック／配置コマンドであり得る。コントローラは、任意の適切な方法で、エンドエフェクタおよび／または基板保持ステーションに対する（１つまたは複数の）基板の位置を判定して、（１つまたは複数の）基板のピックおよび配置を有効にするように構成されている。

【0012】

一態様では、真空フロントエンド１１０００は、概して、ロードポートモジュール１１００５、たとえば、装置フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）などの、ミニエンバイロメント１１０６０を含む。ロードポートモジュール１１００５は、３００ｍｍのロードポート、前面開口または底面開口のボックス／ポッドおよびカセットのためのＳＥＭＩ規格Ｅ１５．１、Ｅ４７．１、Ｅ６２、Ｅ１９．５またはＥ１．９に準拠する開梱機／装荷機－ツール標準（ＢＯＬＴＳ）インターフェース部であり得る。他の態様では、ロードポートモジュールは、２００ｍｍのウェーハまたは４５０ｍｍのウェーハのインターフェース部、または、たとえば、より大きいもしくはより小さいウェーハまたはフラットパネルディスプレイ用のフラットパネルなどの任意の他の適切な基板インターフェース部として構成されてもよい。図１Ａには２つのロードポートモジュール１１００５が示されているが、他の態様では、任意の適切な数のロードポートモジュールが、真空フロントエンド１１０００に組み込まれてもよい。ロードポートモジュール１１００５は、オーバーヘッド搬送システム、無人搬送車、有人搬送車、有軌道式無人搬送車から、または任意の他の適切な搬送方法から、基板キャリアまたはカセット１１０５０を受けるように構成され得る。ロードポートモジュール１１００５は、ロードポート１１０４０を介してミニエンバイロメント１１０６０とインターフェース接続し得る。一態様では、ロードポート１１０４０によって、基板カセット１１０５０とミニエンバイロメント１１０６０との間の基板の通過が可能になる。

【0013】

一態様では、ミニエンバイロメント１１０６０は、概して、本明細書に記載される開示された実施形態の１つまたは複数の態様を組み込む任意の適切な移送ロボット１１０１３を含む。一態様では、ロボット１１０１３は、たとえば、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、米国特許第６，００２，８４０号明細書に記載されるものなどの軌道搭載型ロボットであり得るか、または他の態様では、任意の適切な構成を有する任意の他の適切な搬送ロボットであり得る。ミニエンバイロメント１１０６０は、複数のロードポートモジュール間の基板移送のための制御された清浄な区域を提供し得る。

【0014】

真空ロードロック１１０１０は、ミニエンバイロメント１１０６０と真空バックエンド１１０２０との間に配置され、それらに接続され得る。本明細書で使用されるような真空という用語は、基板が処理される１×１０^-5トール（０．００１３Ｐａ）以下などの高真空を意味し得ることが留意される。真空ロードロック１１０１０は、概して、大気および真空のスロットバルブを含む。スロットバルブは、大気フロントエンドから基板を積載した後にロードロックを排気するために、および窒素などの不活性ガスを用いてロードロックを通気するときに搬送チャンバ内を真空に維持するために利用される環境分離を提供し得る。一態様では、真空ロードロック１１０１０は、処理のための所望の位置に基準の基板を整列させるためのアライナ１１０１１を含む。他の態様では、真空ロードロックは、処理装置の任意の適切な位置に配置され、任意の適切な構成および／または計測機器を有してもよい。

【0015】

真空バックエンド１１０２０は、概して、搬送チャンバ１１０２５、１つまたは複数の処理ステーションまたはモジュール１１０３０、および任意の適切な移送ロボットまたは装置１１０１４を含む。移送ロボット１１０１４は以下で説明され、真空ロードロック１１０１０とさまざまな処理ステーション１１０３０との間で基板を搬送するために、搬送チャンバ１１０２５内に配置され得る。処理ステーション１１０３０は、さまざまな蒸着、エッチング、または他のタイプのプロセスを介して基板上で動作して、基板上に電気回路または他の所望の構造を形成し得る。典型的なプロセスは、限定されないが、プラズマエッチングまたは他のエッチングプロセスなどの真空を使用する薄膜プロセス、化学蒸着（ＣＶＤ）、プラズマ蒸着（ＰＶＤ）、イオン注入などの注入、計測、ラピッドサーマルプロセス（ＲＴＰ）、ドライストリップ原子層蒸着（ＡＬＤ）、酸化／拡散、窒化物の形成、真空リソグラフィー、エピタキシー（ＥＰＩ）、ワイヤボンダおよび蒸発、または真空圧を使用する他の薄膜プロセスを含む。処理ステーション１１０３０は、基板を、搬送チャンバ１１０２５から処理ステーション１１０３０に、またはその逆に通過させることを可能にするために、搬送チャンバ１１０２５に接続される。一態様では、ロードポートモジュール１１００５およびロードポート１１０４０は、ロードポートに取り付けられたカセット１１０５０が、移送チャンバ１１０２５の真空環境および／または処理ステーション１１０３０の処理真空（たとえば、処理真空および／または真空環境は、処理ステーション１１０３０とカセット１１０５０との間に広がり、それらの間で共通である）と実質的に直接インターフェース接続する（たとえば、一態様では、少なくともミニエンバイロメント１１０６０は省略されるが、他の態様では、真空ロードロック１１０１０も省略され、カセット１１０５０が真空ロードロック１１０１０と同様の方法で真空にポンプダウンされる）ように、真空バックエンド１１０２０に実質的に直接連結される。

【0016】

ここで図１Ｃを参照すると、線形基板処理システム２０１０の概略平面図が示され、ここでツールインターフェースセクション２０１２は、概して搬送チャンバ３０１８の長手方向軸Ｘに向かって（たとえば、内側に）面しているが、長手方向軸Ｘからオフセットされるように、搬送チャンバモジュール３０１８に取り付けられている。搬送チャンバモジュール３０１８は、引用により前に本明細書に組み込まれた、米国特許第８，３９８，３５５号明細書に記載されるように、他の搬送チャンバモジュール３０１８Ａ、３０１８Ｉ、３０１８Ｊをインターフェース部２０５０、２０６０、２０７０に取り付けることによって、任意の適切な方向に伸長させられ得る。各搬送チャンバモジュール３０１８、３０１９Ａ、３０１８Ｉ、３０１８Ｊは、任意の適切な基板搬送部２０８０を含み、これは、基板を、処理システム２０１０全体にわたって、たとえば、（一態様では、上記の処理ステーション１１０３０にほぼ類似している）処理モジュールＰＭへとおよび処理モジュールＰＭから搬送するための、本明細書に記載される開示された実施形態の１つまたは複数の態様を含み得る。理解され得るように、各チャンバモジュールは、隔離または制御された雰囲気（たとえば、Ｎ２、清浄な空気、真空）を保持することが可能であり得る。

【0017】

図１Ｄを参照すると、線形搬送チャンバ４１６の長手方向軸Ｘに沿って取られ得るものなどの典型的な処理ツール４１０の概略立面図が示されている。図１Ｄに示される開示された実施形態の態様では、ツールインターフェースセクション１２は、典型的に、搬送チャンバ４１６に接続され得る。本態様では、インターフェースセクション１２は、ツール搬送チャンバ４１６の一端を画定し得る。図１Ｄに見られるように、搬送チャンバ４１６は、たとえば、インターフェースステーション１２と反対の端部に、別のワークピース入口／出口ステーション４１２を有し得る。他の態様では、搬送チャンバからワークピースを挿入する／取り外すための他の入口／出口ステーションが提供されてもよい。一態様では、インターフェースセクション１２および入口／出口ステーション４１２は、ツールからのワークピースの積載および取り出しを可能にし得る。他の態様では、ワークピースは、一端からツールに積載され、他端から取り外され得る。一態様では、搬送チャンバ４１６は、１つまたは複数の移送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉを有し得る。各チャンバモジュールは、隔離または制御された雰囲気（たとえば、Ｎ２、清浄な空気、真空）を保持することが可能であり得る。前に述べたように、図１Ｄに示される搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉ、ロードロックモジュール５６Ａ、５６、および搬送チャンバ４１６を形成するワークピースステーションの構成／配置は、単なる例示であり、他の態様では、搬送チャンバは、任意の所望のモジュール配置で配置されたモジュールを多かれ少なかれ有し得る。示される態様では、ステーション４１２はロードロックであり得る。他の態様では、ロードロックモジュールが、エンド入口／出口ステーション（ステーション４１２と同様）間に配置され得るか、または隣接する搬送チャンバモジュール（モジュール１８ｉと同様）が、ロードロックとして動作するように構成され得る。

【0018】

前にも述べたように、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉには、１つまたは複数の対応する搬送装置２６Ｂ、２６ｉが配置され、当該搬送装置２６Ｂ、２６ｉは、本明細書に記載される開示された実施形態の１つまたは複数の態様を含み得る。それぞれの搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉの搬送装置２６Ｂ、２６ｉは、協働して、搬送チャンバ内に線形に分布されたワークピース搬送システムを提供し得る。本態様では、（図１Ａおよび図１Ｂに例示されるクラスタツールの搬送装置１１０１３、１１０１４にほぼ類似し得る）搬送装置２６Ｂは、一般的なスカラアーム構成を有し得る（ただし、他の態様では、搬送アームは、たとえば、図２Ｂに示されるような直線状にスライドするアーム２１４、または任意の適切なアームリンクリンケージ機構を有する他の適切なアームなどの、任意の他の所望の構造を有し得る）。アームリンクリンケージ機構の適切な例は、たとえば、２００９年８月２５日に発行された米国特許第７，５７８，６４９号明細書、１９９８年８月１８日に発行された米国特許第５，７９４，４８７号明細書、２０１１年５月２４日に発行された米国特許第７，９４６，８００号明細書、２００２年１１月２６日に発行された米国特許第６，４８５，２５０号明細書、２０１１年２月２２日に発行された米国特許第７，８９１，９３５号明細書、２０１３年４月１６日に発行された米国特許第８，４１９，３４１号明細書、２０１１年１１月１０日に出願された「Dual Arm Robot」と題された米国特許出願番号１３／２９３，７１７明細書および２０１３年９月５日に出願された「Linear Vacuum Robot with Z Motion and Articulated Arm」と題された米国特許出願番号１３／８６１，６９３明細書で見られ、これらの開示全体はすべて引用により本明細書に組み込まれる。開示された実施形態の態様では、少なくとも１つの移送アームは、アッパーアーム、バンド駆動フォアアームおよびバンド拘束エンドエフェクタを含む、従来のスカラ（選択的コンプライアント多関節ロボットアーム）タイプの設計から、または伸縮アームもしくは任意の他の適切なアーム設計から導出され得る。移送アームの適切な例は、たとえば、２００８年５月８日に出願された「Substrate Transport Apparatus with Multiple Movable Arms Utilizing a Mechanical Switch Mechanism」と題された米国特許出願番号１２／１１７，４１５明細書および２０１０年１月１９日に発行された米国特許第７，６４８，３２７号明細書に見られ、これらの開示全体は引用により本明細書に組み込まれる。移送アームの操作は、互いに独立し得る（たとえば、各アームの伸縮は他のアームから独立している）か、ロストモーションスイッチを介して行われ得るか、またはアームが少なくとも１つの共通の駆動軸を共有するように任意の適切な方法で動作可能にリンクされ得る。さらに他の態様では、搬送アームは、フロッグレッグアーム２１６（図２Ａ）構成、リープフロッグアーム２１７（図２Ｄ）構成、双方向対称アーム２１８（図２Ｃ）構成などの、任意の他の所望の構造を有し得る。別の態様では、図２Ｅを参照すると、移送アーム２１９は、少なくとも第１および第２の関節式アーム２１９Ａ、２１９Ｂを含み、ここで、各アーム２１９Ａ、２１９Ｂは、少なくとも２つの基板Ｓ１、Ｓ２を共通の移送面で並べて保持するように構成されたエンドエフェクタ２１９Ｅを含み（エンドエフェクタ２１９Ｅの各基板保持位置は、基板Ｓ１、Ｓ２を掴み、配置するための共通の駆動装置を共有する）、ここで、基板Ｓ１、Ｓ２間の間隔ＤＸは、並んだ基板保持位置間の固定間隔に対応している。搬送アームの適切な例は、２００１年５月１５日に発行された米国特許第６，２３１，２９７号明細書、１９９３年１月１９日に発行された米国特許第５，１８０，２７６号明細書、２００２年１０月１５日に発行された米国特許第６，４６４，４４８号明細書、２００１年５月１日に発行された米国特許第６，２２４，３１９号明細書、１９９５年９月５日に発行された米国特許第５，４４７，４０９号明細書、２００９年８月２５日に発行された米国特許第７，５７８，６４９号明細書、１９９８年８月１８日に発行された米国特許第５，７９４，４８７号明細書、２０１１年５月２４日に発行された米国特許第７，９４６，８００号明細書、２００２年１１月２６日に発行された米国特許第６，４８５，２５０号明細書、２０１１年２月２２日に発行された米国特許第７，８９１，９３５号明細書、「Dual Arm Robot」と題され、２０１１年１１月１０日に出願された米国特許出願番号１３／２９３，７１７明細書、および「Coaxial Drive Vacuum Robot」と題され、２０１１年１０月１１日に出願された米国特許出願番号１３／２７０，８４４明細書で見られ、これらの開示全体はすべて引用により本明細書に組み込まれる。開示された実施形態の態様は、一態様では、たとえば、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、米国特許第８，２９３，０６６号明細書および第７，９８８，３９８号明細書に記載されるものなどの、線形搬送シャトルの搬送アームに組み込まれる。

【0019】

図１Ｄに示される開示された実施形態の態様では、搬送装置２６Ｂのアームは、ピック／配置位置からウェーハを迅速に交換する搬送を可能にする迅速交換配置と呼ばれるもの（たとえば、基板保持位置からウェーハをピックし、その後すぐに同じ基板保持位置にウェーハを配置する）を提供するように配置され得る。搬送アーム２６Ｂは、各アームに任意の適切な数の自由度（たとえば、Ｚ軸運動によるショルダおよびエルボ継ぎ手を中心とした独立した回転）を提供するための、任意の適切な駆動セクション（たとえば、同軸に配置された駆動シャフト、並んだ駆動シャフト、水平に隣接するモータ、垂直に積み重ねられたモータなど）を有し得る。図１Ｄに見られるように、本態様では、モジュール５６Ａ、５６、３０ｉは、移送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉ間の隙間に配置され得、適切な（１つまたは複数の）処理モジュール、ロードロックＬＬ、バッファステーション、計測ステーション、または任意の他の所望のステーションを画定し得る。たとえば、ロードロック５６Ａ、５６およびワークピースステーション３０ｉなどの介在モジュールは、各々、搬送アームと協働して、搬送チャンバの直線軸Ｘに沿った搬送チャンバの長さにわたる搬送またはワークピースを有効にし得る固定ワークピース支持部／棚５６Ｓ１、５６Ｓ２、３０Ｓ１、３０Ｓ２を有し得る。例として、（１つまたは複数の）ワークピースは、インターフェースセクション１２によって搬送チャンバ４１６に積載され得る。（１つまたは複数の）ワークピースは、インターフェースセクションの搬送アーム１５でロードロックモジュール５６Ａの（１つまたは複数の）支持部上に位置づけられ得る。ロードロックモジュール５６Ａ内の（１つまたは複数の）ワークピースは、モジュール１８Ｂ内の搬送アーム２６Ｂによってロードロックモジュール５６Ａとロードロックモジュール５６との間で移動させられ得、類似したおよび連続した方法で、（モジュール１８ｉ内の）アーム２６ｉによりロードロック５６とワークピースステーション３０ｉとの間およびモジュール１８ｉ内のアーム２６ｉによりステーション３０ｉとステーション４１２との間で移動させられ得る。このプロセスは、全体的または部分的に逆にされて、（１つまたは複数の）ワークピースを反対方向に移動させ得る。したがって、一態様では、ワークピースは、軸Ｘに沿って任意の方向に、搬送チャンバに沿って任意の位置に移動させられ得、搬送チャンバと通信する任意の所望のモジュール（処理モジュールまたは他のモジュール）に積載され、そこから取り出され得る。他の態様では、静的なワークピース支持部または棚を備えた介在搬送チャンバモジュールは、搬送チャンバモジュール１８Ｂ、１８ｉ間に設けられなくてもよい。そのような態様では、隣接する搬送チャンバモジュールの搬送アームは、ワークピースを、直接エンドエフェクタまたは１つの搬送アームから別の搬送アームのエンドエフェクタに通過させて、ワークピースを搬送チャンバに通して移動させ得る。処理ステーションモジュールは、さまざまな蒸着、エッチング、または他のタイプのプロセスを介して基板上で動作して、基板上に電気回路または他の所望の構造を形成し得る。処理ステーションモジュールは、基板を、搬送チャンバから処理ステーションに、またはその逆に通過させることを可能にするために、搬送チャンバモジュールに接続される。図１Ｄに示される処理装置に類似した一般的な特徴を有する処理ツールの適切な例は、全体が引用により前に組み込まれた、米国特許第８，３９８，３５５号明細書に記載されている。

【0020】

図１Ｅは、上記の半導体ツールステーションに略類似し得る半導体ツールステーション１１０９０Ａの概略図である。ここで、半導体ツールステーション１１０９０Ａは、共通の大気フロントエンド１１０００に接続された別個の／異なるインライン処理セクション１１０３０ＳＡ、１１０３０ＳＢ、１１０３０ＳＣを含む。本態様では、インライン処理セクション１１０３０ＳＡ、１１０３０ＳＢ、１１０３０ＳＣの少なくとも１つは、他のインライン処理セクション１１０３０ＳＡ、１１０３０ＳＢ、１１０３０ＳＣで処理された基板とは異なる所定の特性を有する基板Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を処理するように構成されている。たとえば、所定の特性は基板のサイズであり得る。一態様では、例示目的のみで、インライン処理セクション１１０３０ＳＡは、直径２００ｍｍの基板を処理するように構成され得、インライン処理セクション１１０３０ＳＢは、１５０ｍｍの基板を処理するように構成され得、インライン処理セクション１１０３０ＳＣは、３００ｍｍの基板を処理するように構成され得る。

【0021】

図１Ｆは、半導体ツールステーション１１０９０に実質的に類似した半導体ツールステーション１１０９０Ｂの概略図である。しかし、本態様では、プロセスモジュール１１０３０およびロードポートモジュール１１００５は、半導体ツールステーション１１０９０Ａに関して上記したように、さまざまなサイズを有する基板を処理するように構成されている。本態様では、プロセスモジュール１１０３０は、さまざまなサイズを有する基板を処理するように構成され得るか、または他の態様では、半導体ツールステーション１１０９０Ｂで処理されているさまざまなサイズの基板に対応するプロセスモジュールが設けられてもよい。

【0022】

図１Ｇおよび１Ｈを参照すると、開示された実施形態の態様は、選別機および／またはストッカに組み込まれ得る。一態様では、選別機および／またはストッカは、基板（上記したものなど）を選別または保管するために使用され得る。例として、図１Ｇおよび図１Ｈは、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、２０１０年４月２０日に発行された米国特許第７，６９９，５７３号明細書に記載されるものに略類似した操作デバイス１２０００を例示する。ここで、操作デバイス１２０００は、レチクルなどの基板を操作するように構成され得るが、他の態様では、操作デバイス１２０００は、任意の適切な基板を操作するように構成されてもよい。操作デバイス１２０００は、ハウジング１２２００内の室内環境を清浄に維持するためのハウジング１２２００を有するモジュール式デバイスであり得る。操作デバイス１２０００は、パネル１２６００を含むハウジング１２２００に一体化された搬入／搬出ステーション１２７００を含む。各パネル１２６００は搬入／搬出ユニット１２８００に属し、これもモジュール式である。それぞれのパネル１２６００の開口部１２９００の１つの縁部には、操作デバイス１２０００によって処理される基板の各タイプ（たとえば、レチクル搬送ボックスなど）の外側輪郭に少なくともおよそ対応する輪郭が設けられる。開口部１２９００は、基板が開口部１２９００を介して操作デバイス１２０００に搬入され得る／操作デバイス１２０００から搬出され得るように構成されている。一態様では、操作デバイス１２０００はまた、ステーション１２７００の追加の搬入／搬出ユニット１２８００の構成要素である引き出し１２１７０、１２１６０を含む。引き出し１２１７０、１２１６０は、異なる構造高さを有し得、より大きな搬送ボックス、たとえば、１つを超える基板を収容することができる搬送ボックスを受け入れるために引き出され得、すなわち、より大きな搬送ボックスは、引き出し１２１６０、１２１７０を介して操作デバイス１２０００に導入され得る。操作デバイス１２０００はまた、本明細書に記載されるものに略類似した少なくとも１つの搬送装置１１０１４を含む。少なくとも１つの搬送装置は、選別、保管、または（１つまたは複数の）任意の他の処理操作のために、１つまたは複数の基板を操作デバイス１２０００内に搬送するように構成されている。本明細書に記載される操作デバイス１２０００の構成が例示であり、他の態様では、操作デバイスが、任意の適切な方法で基板を選別および／または保管するための任意の適切な構成を有し得ることが留意される。

【0023】

一態様では、操作デバイス１２０００は、上記の図１Ａ～１Ｆの半導体ツールステーションに含まれ得る。たとえば、一態様では、操作デバイス１２０００は、ロードポートおよび／または大気移送チャンバとして半導体ツールステーション／システム１１０９０、２０１０、１１０９０Ａ、１１０９０Ｂの大気フロントエンド１１０００に組み込まれ得るが、他の態様では、操作デバイスは、プロセスモジュールおよび／または移送チャンバとして半導体ツールステーション／システム１１０９０、２０１０、１１０９０Ａ、１１０９０Ｂの真空バックエンド１１０２０に組み込まれてもよい。一態様では、操作デバイス１２０００は、真空バックエンド１１０２０の代わりに大気フロントエンド１１０００に連結され得る。

【0024】

図３を参照すると、例示的な基板搬送装置３９９が例示されている。基板搬送装置３９９は、スカラアーム構成を有するものとして例示されているが、他の態様では、基板搬送装置３９９は、限定されないが、図１Ａ～図２Ｅに関して本明細書に記載されるものを含む、任意の適切な構成を有してもよい。基板搬送装置３９９は、（上記したものなどの基板処理装置のフレームＳＴＡＦに連結され得る）フレーム３９９Ｆと、フレーム３９９Ｆに連結された少なくとも１つの基板搬送アーム３９９Ａと、を含み、ここで、少なくとも１つの基板搬送アーム３９９Ａは、少なくとも１つのエンドエフェクタ３００、３００’、３００”を有する。少なくとも１つの基板搬送アーム３９９Ａの各々は、アッパーアーム３９８と、フォアアーム３９７と、少なくとも１つのエンドエフェクタ３００、３００’のうちの少なくとも１つと、を含むが、他の態様では、各基板搬送アーム３９９Ａは、任意の適切な数の関節式アームリンクを含む。基板搬送装置３９９は、限定されないが、ショルダ軸を中心にした回転Ｒｚ、Ｚ軸に沿った線形、およびＸ－Ｙ平面内のＲ方向の伸長を含む、任意の適切な数の自由度で基板搬送アーム３９９Ａを移動させるための任意の適切な数の駆動モータ３９９ＤＭを有する任意の適切な駆動セクション３９９Ｄを含む。駆動セクション３９９Ｄは、本明細書でさらに記載されるように、少なくとも１つのエンドエフェクタ３００、３００’、３００”による（１つまたは複数の）基板の把持および解放を有効にするためのエンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥを含む。

【0025】

図４Ａ、図４Ｂ、図４Ｃ、図４Ｄ、図５Ａ、図５Ｂ、および図６を参照すると、少なくとも１つのエンドエフェクタ３００、３００’、３００”は、基板支持タイン３５０、３５１を有する能動的なグリップまたはエッジグリップエンドエフェクタと呼ばれ得る。第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の各々は、それぞれの基板接触部Ｐ１～Ｐ４を有し、それぞれの基板接触部Ｐ１～Ｐ４は、エンドエフェクタ３００、３００’、３００”によって保持された基板Ｓに接触し、（本明細書に記載されるように）第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１のそれぞれの基板接触部Ｐ１～Ｐ４の間で基板Ｓを支持するように構成されている。本明細書に記載されるように、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１は、基板Ｓを解放する解放位置（図４Ｂ、図４Ｄ、図５Ｂ、および図６を参照）および第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１が基板Ｓに接触し、基板Ｓを支持するように配されている支持位置（図４Ａ、図４Ｃ、および図５Ａを参照）から出力軸に沿って（たとえば、軸３１０ＬＡＸに沿ってなど）移動する。第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１は、基板接触部Ｐ１～Ｐ４が基板Ｓの（１つまたは複数の）縁部（を支持するように）に係合し、基板Ｓの縁部を把持するように、任意の適切な電動アクチュエータによって移動させられる。エッジグリップ基板接触部の適切な例は、たとえば、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、（２０１６年９月６日に発行された「Inertial Wafer Centering End Effector and Transport Apparatus」と題された）米国特許第９４３７４６９号明細書および（２０１９年２月１２日に発行された「Substrate Transport Apparatus with Active Edge Gripper」と題された）米国特許第１０２０４８１１号明細書に見られる。基板搬送装置３９９の少なくとも１つのエンドエフェクタ３００は、本明細書に記載されるように、エンドエフェクタ３００、３００’、３００”への電力喪失（タインアクチュエータへの電力喪失など）の場合に基板Ｓに適用される持続的かつ実質的に一定／定常状態の把持（たとえば、把持力ＴＧＦ（図４Ｃを参照））を維持するように構成されている。

【0026】

少なくとも１つのエンドエフェクタ３００、３００’、３００”の各々は、フレームまたはベース部分３０１、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を備えた把持部分３５５、エンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥの少なくとも一部、および傾斜連結部ＳＣを含む。ベース部分３０１は、それぞれの基板搬送アーム３９９Ａと連結するように構成されている。たとえば、ベース部分３０１は、図１Ｃ～図１Ｆ、図１Ｈ、図２Ａ～図２Ｅ、および図３に関して例示および記載される方法などの任意の適切な方法でリスト継ぎ手または軸でそれぞれの基板搬送アーム３９９Ａに連結される。ベース部分３０１は長手方向軸ＬＡＸを有する。ベース部分３０１と固定した定常状態関係を有するように、少なくとも１つのタインガイド支持部３１０およびガイドブロック３２０がベース部分３０１に連結される。

【0027】

第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１は、ベース部分３０１に取り付けられ、ベース部分３０１に従属し（たとえば、支持され）、ここで、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の少なくとも１つは、ベース部分３０１に対して移動可能である。例として、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の１つまたは複数は、少なくとも１つのタインガイド支持部３１０を通行し、基板Ｓの搬送のためにエンドエフェクタ３００、３００’、３００”上の基板Ｓ（図４Ｃおよび図４Ｄを参照）とインターフェース接続して、基板Ｓを支持するように構成されている。第１の基板支持タイン３５０および第２の基板支持タイン３５１の両方が、ベース部分３０１に対して移動可能であるものとして図４Ａ～図５Ｂに例示されているが、他の態様では、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の１つはベース部分３０１に対して固定され得るか、または静止し得、一方で、第１および第２の基板支持タインのもう１つはベース部分３０１に対して移動可能である（たとえば、エンドエフェクタ３００”が固定タイン３５１および可動タイン３５０を含み、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１が開位置で示されている、図６Ａおよび図６Ｂを参照）。

【0028】

少なくとも１つのタインガイド支持部３１０は、タインガイド支持部３１０の長さ方向軸ＬＡＸが、ベース部分３０１の長手方向軸ＬＡＸに略直交して伸長するような任意の適切な方法（たとえば、機械的または化学的留め具など）および配向でベース部分３０１に連結されている任意の適切な線形スライド式連結部または支持部であり得る。長さ方向軸３１０ＬＡＸは、エンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥの出力軸を形成する。１つのタインガイド支持部３１０が図面に例示されているが、本明細書に記載される方法で長手方向軸ＬＡＸを横断する方向３８９への第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１のうちの１つまたは複数の移動をガイドするために他のタインガイド支持部３１０に対して平行に配置された１つを超えるタインガイド支持部３１０が存在してもよい。

【0029】

ガイドブロック３２０は、任意の適切な方法（たとえば、機械的または化学的留め具など）でベース部分３０１に連結され、エンドエフェクタ３００の駆動シャフト３３０が伸長して通るガイド開口３２１を含む。ガイドブロック３２０は、ガイド開口３２１がベース部分３０１の長手方向軸ＬＡＸに実質的に沿って（または略平行に）伸長するように、ベース部分３０１に連結される。ここで、駆動シャフト３３０はまた、ガイド開口との駆動シャフト３３０のインターフェース接続を介して長手方向軸ＬＡＸに実質的に沿って（または略平行に）伸長し、本明細書に記載される方法で第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を開閉するようにガイド開口３２１内で方向３８８に往復運動する（たとえば、駆動シャフト３３０は、ガイド開口を通過し、ガイド開口によって移動が誘導される）。駆動シャフト３３０は、エンドエフェクタ駆動セクション３９９Ｄに連結され、それによって駆動させられる。エンドエフェクタ駆動セクション３９９Ｄは、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１間の距離を変化させるように構成されている。

【0030】

エンドエフェクタ駆動セクション３９９Ｄは、駆動軸３８８ＡＸに沿った（たとえば、方向３８８に）線形駆動入力を生成する任意の適切なアクチュエータまたはドライブ３９０を有し得、アクチュエータ３９０は、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の各々をアクチュエータ３９０に動作可能に連結する傾斜連結部ＳＣによって把持部分３５５に連結される。たとえば、アクチュエータ３９０は、限定されないが、線形アクチュエータ３９０Ｌおよび回転アクチュエータ３９０Ｒの１つまたは複数を含み得る。アクチュエータ３９０は、本明細書に記載される方法で駆動シャフト３３０と（たとえば、直接接続を介して、または任意の適切なトランスミッションによって）連結し、それを駆動させるように、任意の適切な方法でエンドエフェクタ３００のベース部分３０１に連結され得る。アクチュエータ３９０は、任意の適切な電源３９１によって動力を供給される。一態様では、動力源３９１は、限定されないが、空気圧動力源３９１Ｐおよび油圧動力源３９１Ｈの１つまたは複数を含む流体動力源である。他の態様では、動力源３９１は電源３９１Ｅである。動力源は、エンドエフェクタのベース部分３０１上、ロボットの駆動セクション３９９Ｄ内、または基板搬送装置３９９のオンボードもしくはオフボードの任意の他の適切な位置に少なくとも部分的に配され得る。

【0031】

エンドエフェクタ３００は、少なくとも１つのタインガイド支持部３１０に沿って移動し、タインガイド支持部３１０によってガイドされる少なくとも１つのキャリッジ３４０、３４１（たとえば、各可動基板支持タインのためのキャリッジ）を含む。各キャリッジ３４０、３４１は、少なくとも１つのタインガイド支持部３１０とともに、線形スライド、ボールスライド、クロスローラスライド、ダブテールウェイスライド、硬化ウェイスライド、線形ボール支持部スライド、線形ニードルローラスライド、スリーブブッシングスライド、または任意の他の適切なスライドを形成するフレーム３４０Ｆ、３４１Ｆを含む。それぞれの基板支持タイン３５０、３５１が、キャリッジ３４０、３４１から片持ち梁状となるように、それぞれのフレーム３４０Ｆ、３４１Ｆに連結され、フレーム３４０Ｆ、３４１Ｆによって支持される。基板支持タイン３５０、３５１は、限定されないが、任意の適切な機械的、磁気的、または化学的留め具を含む任意の適切な方法で、それぞれのキャリッジ３４０、３４１のフレーム３４０Ｆ、３４１Ｆに連結される。

【0032】

本明細書に記載されるように、連結部３６０は、アクチュエータ３９０の（たとえば、方向３８８Ａでの）線形駆動入力を、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の少なくとも１つまたは各々に加え、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を駆動軸３８８ＡＸに沿う線形駆動入力に略直交する方向（たとえば、方向３８９）に移動させる（たとえば、軸３１０ＬＡＸに沿った）出力に変換するように構成されている。連結部３６０は、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を互いに接続し、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を（本明細書に記載されるように）アクチュエータ３９０に接続する、剛性を有し、非関節式のつなぎ部材３３０Ｃを有し、それにより、駆動入力は、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の各々に加えられ、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を移動させる出力に共通となる。連結部３６０は、つなぎ部材３３０Ｃを介して、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の少なくとも１つが、（たとえば、アクチュエータ３９０の移動に対して移動に遅れが生じることなく）アクチュエータ３９０の移動とともに、実質的に即時に移動するように、アクチュエータ３９０と第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の少なくとも１つとの間の実質的に直接的かつ剛性の連結をもたらす。（連結部３６０によって有効にされる）アクチュエータ３９０と基板支持タイン３５０、３５１との間の直接的な剛連結によって、たとえば基板支持タイン３５０、３５１の移動を駆動させる回転リンクを有する従来の能動的なグリップエンドエフェクタと比較して、基板支持タイン３５０、３５１の移動の制御が向上する。

【0033】

エンドエフェクタ３００、３００’、３００”は、傾斜した動作軸ＳＡＸを有する、少なくとも部分的につなぎ部材３３０Ｃによって形成された、傾斜連結部ＳＣを含む。傾斜連結部ＳＣの各動作軸ＳＡＸは、エンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥの各駆動軸３８８ＡＸ（たとえば、方向３８８によって画定された駆動軸）に対して傾斜している。つなぎ部材３３０Ｃは、（アクチュエータ３９０からの）駆動入力がつなぎ部材３３０Ｃに作用するように、アクチュエータ３９０に連結された端部３３０Ｅを有し、つなぎ部材３３０Ｃは、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１間に跨り、（本明細書に記載されるように）第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１に移動可能に接続される。つなぎ部材３３０Ｃは、任意の適切な線形ガイド３３０ＣＧによって駆動軸３８８ＡＸに沿って線形に移動するように制限される（図４Ｂ、図４Ｄ、および図５Ａ～図６Ｂを参照し、明確にするために線形ガイド３３０ＣＧが図４Ａおよび図４Ｃに示されていないことに留意されたい）。線形ガイド３３０ＣＧに沿ったつなぎ部材３３０Ｃの制限された線形運動は、駆動軸３８８ＡＸに対して、および互いに対して、所定のピッチ角θ１、θ２で傾けられた、少なくとも１つの傾けられた線形ガイド３４０Ｇ、３４１Ｇとのつなぎ部材３３０Ｃの相互作用を介する第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の実質的に等しくかつ反対の移動を有効にする。つなぎ部材３３０Ｃと少なくとも１つの傾けられた線形ガイド３４０Ｇ、３４１Ｇとの間のインターフェース接続は、少なくとも１つの基板支持タイン３５０、３５１の一定速度の移動および一定の基板把持力ＴＧＦの付加をもたらす。

【0034】

本明細書に記載されるように、傾斜連結部ＳＣは、第１および第２の傾斜連結部（本明細書では第１および第２の傾斜連結部分ＳＣ１、ＳＣ２と呼ばれる）を含み、各傾斜連結部分ＳＣ１、ＳＣ２は、互いに対しておよび駆動軸３８８ＡＸに対して傾斜している。第１および第２の傾斜連結部分ＳＣ１、ＳＣ２の各々は、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を互いに連結し、エンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥに連結する。例として、傾斜連結部ＳＣは、傾斜連結部分の一方ＳＣ１から傾斜連結部分の他方ＳＣ２まで実質的に剛性を有し、非関節式に、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の各々を互いに連結する（図４Ａ～５Ｂを参照）。傾斜連結部ＳＣの各動作軸ＳＡＸ（たとえば、それぞれの傾けられた線形ガイド３４０Ｇ、３４１Ｇによって画定された各傾斜連結部分ＳＣ１、ＳＣ２の各動作軸）は、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１をベース部分３０１に連結する互いの連結部（たとえば、それぞれのキャリッジ３４０、３４１と少なくとも１つのタイン支持部３１０との間に形成された連結部）の互いの動作軸（たとえば、軸３１０ＬＡＸ）に対して傾斜している。

【0035】

本明細書に記載されるように、傾けられた線形ガイド３４０Ｇ、３４１Ｇは、ベース部分３０１に対する第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の動作をガイドする少なくとも１つの線形ガイド３１０に対する別のピッチ角θ３で傾けられる。駆動軸３８８ＡＸに対する傾けられた線形ガイド３４０Ｇ、３４１Ｇのピッチ角θ１、θ２、および第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１をガイドする少なくとも１つの線形ガイド３１０に対する傾けられた線形ガイド３４０Ｇ、３４１Ｇの別のピッチ角θ３は、（アクチュエータ３９０からの）駆動入力から第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１に加えられる出力への略直交した変換を決定する。たとえば、傾斜連結部ＳＣの各動作軸ＳＡＸは、エンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥの駆動軸３８８ＡＸに沿った（たとえば、本明細書に記載されるようなエンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥからの）駆動入力を、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１に加えられ、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を、駆動入力（たとえば、軸３８８ＡＸに沿った入力）に略直交した出力軸に沿って（たとえば、軸３１０ＬＡＸに沿って）移動させる駆動出力へと変換するように、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１をベース部分３０１に連結する、他の各連結部（たとえば、それぞれのキャリッジ３４０、３４１と少なくとも１つのタイン支持部３１０との間に形成された連結部）の（たとえば、軸３１０ＬＡＸに沿った）動作軸に対してピッチθ３（たとえば、約６０°、他の態様では約６０°よりも大きいまたは小さい）で配置される。駆動出力は、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１をベース部分３０１に連結する他の連結部（たとえば、それぞれのキャリッジ３４０、３４１と少なくとも１つのタイン支持部３１０との間に形成された連結部）の他の各動作軸（たとえば、軸３１０ＬＡＸ）と実質的に一致している（たとえば、軸３１０ＬＡＸに沿った）出力軸を有する。

【0036】

傾斜連結部ＳＣは、本明細書に記載されるような線形スライド式連結部である。たとえば、各傾斜連結部ＳＣのそれぞれの傾斜連結部分ＳＣ１、ＳＣ２は、本明細書に記載されるように、それぞれの作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇおよびつなぎ部材３３０Ｃによって形成され、それぞれの作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇおよびつなぎ部材３３０Ｃの間に形成される。各フレーム３４０Ｆ、３４１Ｆは、作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇを含み、これは任意の適切な方法で（任意の適切な機械的または化学的留め具などを用いて）各フレーム３４０Ｆ、３４１Ｆに連結されている。作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇは、各作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇが、キャリッジ３４０、３４１の（たとえば、軸３１０ＬＡＸに沿った）動作軸に対するピッチθ３（たとえば、約６０°であるが、他の態様では約６０°より大きいか小さい）を有するように、それぞれのキャリッジ３４０、３４１上に配置される。

【0037】

作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇは、互いに対向して、任意の適切な内角θを形成し、内角θは、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の各々から実質的に等距離にあるように（たとえば、少なくとも第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の両方が閉位置にある状態で）配置された頂点（基板搬送アームのリスト軸の方向を指す図４Ａおよび図４Ｂを参照（図３も参照））を有し、ライン（長手方向軸と略平行であり、各タイン３５０、３５１から実質的に等距離にあり、図４Ａおよび図４Ｂでは、ラインは長手方向軸ＬＡＸと一致しているが、そこからオフセットされてもよい）は、内角θを二等分している（図４Ａを参照）。例示目的のみで、内角θは約６０°であり得る（ここで、内角のそれぞれの側θ１、θ２は約３０°である）が、他の態様では、内角は約６０°より大きくても小さくてもよく、それに対応して、内角のそれぞれの側は約３０°より大きくても小さくてもよい。なお、ピッチ角θ１、θ２は、一定速度の移動および把持力ＴＧＦを変化させるために増大または縮小され得る（たとえば、ピッチ角θ１、θ２がより小さい場合には、一定速度の移動がより低く、把持力ＴＧＦがより高くなり得る一方で、ピッチ角がより大きい場合には、一定速度の移動がより高く、把持力ＴＧＦがより低くなり得る）。

【0038】

作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇは、つなぎ部材３３０Ｃとインターフェース接続する。つなぎ部材３３０Ｃは、駆動シャフト３３０とユニットとして方向３８８に移動するように駆動シャフト３３０に連結される。ここで、つなぎ部材３３０Ｃおよび駆動シャフト３３０は、両方の作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇに共通であるピストン３３０Ｐを形成する。ピストン３３０Ｐの駆動キャリッジ３３０Ｃは、線形スライド、ボールスライド、クロスローラスライド、ダブテールウェイスライド、硬化ウェイスライド、線形ボール支持部スライド、線形ニードルローラスライド、スリーブブッシングスライド、または任意の他の適切なスライドとインターフェース接続し、各作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇとともにそれらを形成する。つなぎ部材３３０Ｃが方向３８８Ａに移動させられると（図４Ａを参照）、つなぎ部材３３０Ｃと作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇの各々との間の相互作用によって、方向３８９への第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の互いに向かう移動がなされる。つなぎ部材３３０Ｃが方向３８８Ｂに移動させられると（図４Ｂ参照）、つなぎ部材３３０Ｃと作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇの各々との間の相互作用によって、方向３８９への基板支持タイン３５０、３５１の互いから離れる移動がなされる。ここで、（両方の作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇに共通の）単一のピストン３３０Ｐは、少なくとも１つのタインガイド支持部３１０に沿ってピストン３３０Ｐの動作（たとえば、線形運動）を各キャリッジ３４０、３４１の略直交した二重動作（たとえば、線形運動）へと変換する二重線形動作を有効にする。

【0039】

図４Ａおよび図４Ｃを参照すると、つなぎ部材３３０Ｃは、任意の適切な弾性部材３７０によって方向３８８Ａに付勢される。弾性部材３７０は、弾性部材３７０の圧縮に抵抗するように構成され、限定されないが、圧縮バネ、ねじりバネ、板バネを含む、任意の適切な弾性部材であり得る。弾性部材３７０は、例示目的のみで、駆動シャフト３３０によって捕捉され（たとえば、駆動シャフトが圧縮バネを通過する）、つなぎ部材を方向３８８Ａに付勢するようにつなぎ部材３３０Ｃの端部３３０Ｅでのそれぞれの接合面３３０Ｓおよびガイドブロック３２０の接合面３２０Ｓに突き当てられた（たとえば、インターフェース接続されたか、または連結された）圧縮バネとして図面に例示されているが、他の態様では、弾性部材３７０は、つなぎ部材３３０Ｃを方向３８８Ａに付勢するためにつなぎ部材３３０Ｃおよび／またはガイドブロック３２０との任意の適切な空間関係を有してもよい。つなぎ部材３３０Ｃの方向３８８Ａへの付勢は、方向３８９への第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の互いに向かう付勢動作を引き起こす（第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１が閉位置で付勢されている図４Ａを参照）。ここで、図４Ｃも参照すると、エンドエフェクタ３００が基板Ｓを保持している状態で、基板支持タイン３５０、３５１は、アクチュエータ３９０への動力の喪失（たとえば、空気圧の喪失、油圧の喪失、または電気の喪失）の事象において持続的な基板把持力ＴＧＦ（図４Ｃを参照）をエンドエフェクタ３００上に保持された基板Ｓ上に維持するように、互いに向かう（たとえば、閉位置での）移動方向に付勢される。持続的な基板把持力ＴＧＦを維持することによって、アクチュエータ３９０への動力の喪失の事象においてエンドエフェクタ３００からの基板Ｓの意図しない解放（たとえば、落下またはそうでなければ誤った取り扱い）が実質的に防止され得る。

【0040】

図４Ｂおよび図４Ｄを参照すると、アクチュエータ３９０は、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を閉位置から開位置に移動させるために（たとえば、閉位置に対応する距離Ｄ１（図４Ａを参照）から開位置に対応する距離Ｄ２へと、第１および第２の基板支持タイン間の距離を増加させるために）利用される。図４Ａ～図４Ｄに例示される例では、アクチュエータ３９０の作動によって、動力源３９１を用いて、弾性部材３７０の付勢力ＢＦに抗して駆動シャフト３３０（およびそれに連結されたつなぎ部材３３０Ｃ）を方向３８８Ｂに駆動させる。方向３８８Ｂへのつなぎ部材３３０Ｃの移動によって、つなぎ部材３３０Ｃがキャリッジ３４０、３４１を互いに離して広げるかまたは押すように、つなぎ部材３３０Ｃを作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇによって形成された内角θの頂点に向かって移動させる。つなぎ部材３３０Ｃは、作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇによって形成された内角の、頂点に向かうつなぎ部材３３０Ｃの移動、およびつなぎ部材３３０Ｃと作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇの各々との間のスライド相互作用によって、キャリッジ３４０、３４１（およびそれらに連結された第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１）を方向３８９に互いに離して駆動させて、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を開位置に移動させるような、実質的に剛性の部材である。

【0041】

理解され得るように、アクチュエータの作動解除、またはつなぎ部材３３０Ｃを方向３８８Ａに（弾性部材３７０の付勢力ＢＦに抗することなく、付勢力ＢＦと同じ方向に）移動させるようにアクチュエータに動力を供給することによって、閉位置への第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の互いに向かう移動がなされる。たとえば、作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇによって形成された内角の、頂点から離れる（たとえば、弾性部材３７０単独でのまたはアクチュエータ３９０と組み合わせた推進力下での）方向３８８Ａへのつなぎ部材３３０Ｃの移動、およびつなぎ部材３３０Ｃと作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇの各々との間のスライド相互作用によって、キャリッジ３４０、３４１（およびそれらに連結された第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１）を方向３８９に互いに向かって駆動させるか、または引いて、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を開位置に移動させる。

【0042】

開示された実施形態によれば、図４Ｄは、基板接触部Ｐ１～Ｐ４がエンドエフェクタ３００によって保持された基板Ｓを（基板搬送装置３００が基板Ｓをピックまたは配置するかに応じて）受け入れるまたは解放するように配置されている開位置にあるエンドエフェクタ３００の第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を例示している。図４Ｃは、エンドエフェクタ３００によって保持された基板を（基板接触部Ｐ１～Ｐ４がそれと接触した状態で）能動的に把持している閉位置にあるエンドエフェクタ３００の第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を例示している。本明細書に記載されるように、持続的な基板把持力ＴＧＦは、弾性部材３７０単独によって、またはアクチュエータ３９０と組み合わせて適用され、（たとえば、アクチュエータに対する動力が存在する場合などにアクチュエータ３９０によって、またはアクチュエータに対する動力が存在しない場合などに手動でなど）つなぎ部材３３０Ｃが内角θの頂点に向かって移動させられて弾性部材３７０の付勢力に打ち勝つまで持続する。

【0043】

図４Ａ～図４Ｄに関して、方向３８８Ｂへのピストン３３０Ｐの移動とともに、第１および第２の基板支持タインの開口部について説明されているが、他の態様では、方向３８８Ａへのピストン３３９Ｐの移動が第１および第２の基板支持タインの開口を有効にし得る。たとえば、図５Ａおよび図５Ｂを参照すると、エンドエフェクタ３００’はエンドエフェクタ３００に実質的に類似しているが、本態様では、作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇによって形成された内角θの頂点は、図４Ａ～図４Ｄに例示されるように、基板搬送アーム３９９のリスト軸に向かう（図３も参照）のではなく、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の片持ち梁式先端に向かう方向を指している（図５Ａおよび図５Ｂを参照）。ここで、弾性部材３７０は、弾性部材３７０の伸長に抵抗するように構成され、限定されないが、伸長バネ、ねじりバネ、板バネを含む、任意の適切な弾性部材であり得る。弾性部材３７０は、例示目的のみで、駆動シャフト３３０によって捕捉された（たとえば、駆動シャフト３３０は伸長バネを通過する）、およびつなぎ部材を方向３８８Ｂに（付勢力ＢＦを介して）付勢するようにつなぎ部材３３０Ｃおよびガイドブロック３２０のそれぞれの接合面３３０Ｓ、３２０Ｓに連結された伸長バネとして図面に例示されているが、他の態様では、弾性部材３７０は、つなぎ部材３３０Ｃを方向３８８Ｂに付勢するためにつなぎ部材３３０Ｃおよび／またはガイドブロック３２０との任意の適切な空間関係を有してもよい。つなぎ部材３３０Ｃの方向３８８Ｂへの付勢は、持続的な基板把持力ＴＧＦをもたらす（図４Ｃを参照）ように、方向３８９への第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の互いに向かう付勢動作を引き起こす（図４Ａを参照）。

【0044】

図５Ａおよび図５Ｂに例示される例では、アクチュエータ３９０は、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を閉位置（図５Ａ）から開位置に移動させるために（図５Ｂ、たとえば、閉位置に対応する距離Ｄ１から開位置に対応する距離Ｄ２へと、第１および第２の基板支持タイン間の距離を増加させるために）利用される。アクチュエータ３９０の作動によって、動力源３９１を用いて、弾性部材３７０の付勢力ＢＦに抗して駆動シャフト３３０（およびそれに連結されたつなぎ部材３３０Ｃ）を方向３８８Ａに駆動させる。方向３８８Ａへのつなぎ部材３３０Ｃの移動によって、つなぎ部材３３０Ｃを作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇによって形成された内角θの頂点に向かって移動させる。作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇによって形成された内角の頂点に向かうつなぎ部材３３０Ｃの移動、およびつなぎ部材３３０Ｃと作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇの各々との間のスライド相互作用によって、上記した方法に類似した方法で、キャリッジ３４０、３４１（およびそれらに連結された第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１）を方向３８９に互いに離して駆動させて、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を開位置（図５Ｂ）に移動させる。

【0045】

理解され得るように、アクチュエータの作動解除、または方向３８８Ｂに（図５Ａ）（弾性部材３７０の付勢力ＢＦに抗することなく、付勢力ＢＦと同じ方向に）移動させるようにアクチュエータに動力を供給することによって、閉位置への第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の互いに向かう移動がなされる。たとえば、つなぎ部材３３０Ｃは、作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇによって形成された内角の頂点から離れる（たとえば、弾性部材３７０単独でのまたはアクチュエータ３９０と組み合わせた推進力下での）方向３８８Ｂへのつなぎ部材３３０Ｃの移動、およびつなぎ部材３３０Ｃと作動ガイド支持部３４０Ｇ、３４１Ｇの各々との間のスライド相互作用によって、上記した方法に類似した方法で、キャリッジ３４０、３４１（およびそれらに連結された第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１）を方向３８９に互いに向かって駆動させて、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を閉位置（図５Ａ）に移動させる。

【0046】

図３～図６および図７を参照すると、基板を取り扱うための例示的な方法が記載される。当該方法によれば、基板処理装置（図１Ａ～図１Ｈに関して上記したものなど）が設けられ（図７、ブロック７００）、ここで、基板処理装置は、フレームＳＴＡＦとフレームＳＴＡＦに接続された少なくとも１つの基板搬送アーム３９９Ａとを含む。本明細書に記載されるように、少なくとも１つの基板搬送アーム３９９Ａは、少なくとも１つのエンドエフェクタ３００、３００’、３００”を有し、ここで、各エンドエフェクタ３００、３００’、３００”は、それぞれの基板搬送アーム３９９Ａと連結するように構成されたベース部分３０１と、ベース部分３０１に取り付けられ、ベース部分３０１に従属している、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１であって、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の少なくとも１つがベース部分３０１に対して移動可能である、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１と、を有する。第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１間の距離は、エンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥによって変化させられる（図７、ブロック７１０）。１つまたは複数の態様では、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の各々は、傾斜連結部ＳＣによって、傾斜連結部分ＳＣ１の１つから傾斜連結部分ＳＣ２の別の１つまで実質的に剛性を有し、非関節式に互いに連結され、ここで、傾斜連結部は傾斜動作軸ＳＡＸを有し、ここで、傾斜連結部ＳＣの各動作軸ＳＡＸは、エンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥの各駆動軸３８８ＡＸ（たとえば、方向３８８によって画定された駆動軸）に対して傾斜している。他の態様では、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の少なくとも１つは、剛性を有し、非関節式の傾斜連結部ＳＣに連結され、ここで、傾斜連結部は傾斜動作軸ＳＡＸを有し、ここで、傾斜連結部ＳＣの各動作軸ＳＡＸは、エンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥの各駆動軸３８８ＡＸ（たとえば、方向３８８によって画定された駆動軸）に対して傾斜している。

【0047】

図３～図６および図８を参照すると、基板を取り扱うための例示的な方法が記載される。当該方法によれば、基板処理装置（図１Ａ～図１Ｈに関して上記したものなど）が設けられ（図８、ブロック８００）、ここで、基板処理装置は、フレームＳＴＡＦとフレームＳＴＡＦに接続された少なくとも１つの基板搬送アーム３９９Ａとを含む。本明細書に記載されるように、少なくとも１つの基板搬送アーム３９９Ａは、少なくとも１つのエンドエフェクタ３００、３００’、３００”を有し、ここで、各エンドエフェクタ３００、３００’、３００”は、それぞれの基板搬送アーム３９９Ａと連結するように構成されたベース部分３０１と、ベース部分３０１に取り付けられ、ベース部分３０１に従属している、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１を備える把持部分３５５であって、ここで、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の少なくとも１つがベース部分３０１に対して移動可能である、把持部分３５５と、を有する。第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の間の距離は、エンドエフェクタ駆動セクション３９９ＤＥによって変化させられる（図８、ブロック８１０）。駆動軸に沿った線形駆動入力が、エンドエフェクタのアクチュエータ３９０によって生成され（図８、ブロック８２０）、ここで、アクチュエータ３９０は、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の少なくとも１つまたは各々をアクチュエータ３９９ＤＥに動作可能に連結する傾斜連結部ＳＣによって把持部分３５５に連結される。アクチュエータ３９９ＤＥの線形駆動入力は、傾斜連結部ＳＣによって、第１および第２の基板支持タイン３５０、３５１の少なくとも１つまたは各々に加えられ、および駆動軸３８８ＡＸに沿った線形駆動入力に略直交した方向３８９にベース部分３０１を移動させる出力へと変換する（図８、ブロック８３０）。

【0048】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、基板処理装置であって、前記基板処理装置が、フレームと、前記フレームに接続された少なくとも１つの基板搬送アームと、を備え、前記少なくとも１つの基板搬送アームが、少なくとも１つのエンドエフェクタを有し、各エンドエフェクタが、それぞれの基板搬送アームと連結するように構成されたベース部分と、前記ベース部分に取り付けられ、前記ベース部分に従属している、第１および第２の基板支持タインであって、前記第１および第２の基板支持タインの少なくとも１つが前記ベース部分に対して移動可能である、第１および第２の基板支持タインと、前記第１および第２の基板支持タインの間の距離を変化させるように構成されたエンドエフェクタ駆動セクションと、傾斜連結部であって、前記傾斜連結部の１つから前記傾斜連結部の別の１つまで実質的に剛性を有し、非関節式に、前記第１および第２の基板支持タインの各々を互いに連結し、前記傾斜連結部の各動作軸が前記エンドエフェクタ駆動セクションの各駆動軸に対して傾斜している傾斜動作軸を有する、傾斜連結部と、を有する。

【0049】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記傾斜連結部の各動作軸は、前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部の他の各動作軸に対して傾斜している。

【0050】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記駆動セクションの前記駆動軸に沿った駆動入力を、前記第１および第２の基板支持タインに加えられ、前記第１および第２の基板支持タインを、前記駆動入力に略直交した出力軸に沿って移動させる駆動出力へと変換するように、前記傾斜連結部の各動作軸は、前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部の他の各動作軸に対して所定のピッチで配置される。

【0051】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記出力軸が、前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部の他の各動作軸と実質的に一致する。

【0052】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記第１および第２の基板支持タインが、基板を解放する解放位置および前記第１および第２の基板支持タインが前記基板に接触し、前記基板を支持するように配されている支持位置から、前記出力軸に沿って移動する。

【0053】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記傾斜連結部が、第１および第２の傾斜連結部を含み、前記第１および第２の傾斜連結部の各々が、互いに対して傾斜し、前記第１および第２の基板支持タインを互いに連結し、前記第１および第２の基板支持タインを前記エンドエフェクタ駆動セクションに連結する。

【0054】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、傾斜連結部は線形スライド式連結部である。

【0055】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部が、線形スライド式連結部である。

【0056】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記第１および第２の基板支持タインの各々が、それぞれの基板接触部を有し、それぞれの前記基板接触部が、前記エンドエフェクタによって保持された基板に接触し、前記第１および第２の基板支持タインのそれぞれの前記基板接触部の間で前記基板を支持するように構成されている。

【0057】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、基板処理装置であって、基板処理装置が、フレームと、前記フレームに接続された少なくとも１つの基板搬送アームと、を含み、前記少なくとも１つの基板搬送アームが、少なくとも１つのエンドエフェクタを有し、各エンドエフェクタが、それぞれの基板搬送アームと連結するように構成されたベース部分と、前記ベース部分に取り付けられ、前記ベース部分に従属している第１および第２の基板支持タインを備える把持部分であって、前記第１および第２の基板支持タインの少なくとも１つが前記ベース部分に対して移動可能である、把持部分と、前記第１および第２の基板支持タインの間の距離を変化させるように構成されたエンドエフェクタ駆動セクションと、を有し、前記エンドエフェクタ駆動セクションが、駆動軸に沿った線形駆動入力を生成するアクチュエータを有し、前記アクチュエータが、前記第１および第２の基板支持タインの各々を前記アクチュエータに動作可能に連結する連結部によって前記把持部分に連結され、前記連結部が、前記アクチュエータの前記線形駆動入力を、前記第１および第２の基板支持タインの各々に加え、前記第１および第２の基板支持タインを前記駆動軸に沿う前記線形駆動入力に略直交する方向に移動させる出力に変換するように構成されている。

【0058】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記連結部が、前記第１および第２の基板支持タインを互いに接続し、前記第１および第２の基板支持タインを前記アクチュエータに接続する、剛性を有し、非関節式のつなぎ部材を有し、それにより、前記駆動入力が、前記第１および第２の基板支持タインの各々に加えられ、前記第１および第２の基板支持タインの各々を移動させる前記出力に共通となる。

【0059】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記つなぎ部材は、前記駆動入力が前記つなぎ部材に作用するように、前記アクチュエータに連結された端部を有し、前記つなぎ部材が、前記第１および第２の基板支持タイン間に跨り、前記第１および第２の基板支持タインに移動可能に接続される。

【0060】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記つなぎ部材が、前記駆動軸に対して、および互いに対して所定のピッチ角で傾けられた、傾けられた線形ガイドによって制限される。

【0061】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記傾けられた線形ガイドが、前記ベース部分に対する前記第１および第２の基板支持タインの動作をガイドする少なくとも１つの線形ガイドに対する別のピッチ角で傾けられる。

【0062】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記駆動軸に対する前記傾けられた線形ガイドの前記ピッチ角、および前記第１および第２の基板支持タインをガイドする前記少なくとも１つの線形ガイドに対する、前記傾けられた線形ガイドの前記別のピッチ角が、前記駆動入力から前記第１および第２の基板支持タインに加えられる出力への略直交した変換を決定する。

【0063】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記第１および第２の基板支持タインが、基板を解放する解放位置および前記第１および第２の基板支持タインが前記基板に接触し、前記基板を支持するように配されている支持位置から、前記ベース部分に対する前記第１および第２の基板支持タインの動作をガイドする前記少なくとも１つの線形ガイドに沿って移動する。

【0064】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記つなぎ部材および前記傾けられた線形ガイドが、第１および第２の傾斜連結部を含む傾斜連結部を形成し、前記第１および第２の傾斜連結部の各々が、互いに対して傾斜し、前記第１および第２の基板支持タインを互いに連結し、前記第１および第２の基板支持タインを前記エンドエフェクタ駆動セクションに連結する。

【0065】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、傾斜連結部は線形スライド式連結部である。

【0066】

【0067】

【0068】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、基板を取り扱うための方法が提供される。当該方法は、基板処理装置を設ける工程であって、前記基板処理装置が、フレームと、前記フレームに接続された少なくとも１つの基板搬送アームであって、前記少なくとも１つの基板搬送アームが、少なくとも１つのエンドエフェクタを有し、各エンドエフェクタが、それぞれの基板搬送アームと連結するように構成されたベース部分を有する、少なくとも１つの基板搬送アームと、前記ベース部分に取り付けられ、前記ベース部分に従属している、第１および第２の基板支持タインであって、前記第１および第２の基板支持タインの少なくとも１つが前記ベース部分に対して移動可能である、第１および第２の基板支持タインと、を有する、基板処理装置を設ける工程と、エンドエフェクタ駆動セクションを用いて、前記第１および第２の基板支持タインの間の距離を変化させる工程と、を含み、前記第１および第２の基板支持タインの各々が、傾斜連結部によって、前記傾斜連結部の１つから前記傾斜連結部の別の１つまで、実質的に剛性を有し、非関節式に、互いに連結され、前記傾斜連結部が、前記傾斜連結部の各動作軸が前記エンドエフェクタ駆動セクションの各駆動軸に対して傾斜している傾斜動作軸を有する。

【0069】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記傾斜連結部の各動作軸が、前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部の他の各動作軸に対して傾斜している。

【0070】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記方法が、駆動出力を前記第１および第２の基板支持タインに加え、前記第１および第２の基板支持タインを駆動入力に略直交する出力軸に沿って移動させる工程をさらに含み、前記傾斜連結部の各動作軸が、前記駆動セクションの前記駆動軸に沿った前記駆動入力を、前記駆動出力に変換するように、前記第１および第２の基板支持タインを前記ベース部分に連結する他の各連結部の他の各動作軸に対して所定のピッチで配置される。

【0071】

【0072】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記方法が、前記第１および第２の基板支持タインを、前記基板を解放する解放位置および前記第１および第２の基板支持タインが前記基板に接触し、前記基板を支持するように配されている支持位置から、前記出力軸に沿って移動する工程をさらに含む。

【0073】

【0074】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、傾斜連結部は線形スライド式連結部である。

【0075】

【0076】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、前記方法が、前記第１および第２の基板支持タインの各々のそれぞれの基板接触部を用いて、前記エンドエフェクタによって保持された基板に接触させ、前記第１および第２の基板支持タインのそれぞれの前記基板接触部の間で前記基板を支持する工程をさらに含む。

【0077】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、基板を取り扱うための方法が提供される。当該方法は、基板処理装置を設ける工程であって、前記基板処理装置が、フレームと、前記フレームに接続された少なくとも１つの基板搬送アームであって、前記少なくとも１つの基板搬送アームが、少なくとも１つのエンドエフェクタを有し、各エンドエフェクタが、それぞれの基板搬送アームと連結するように構成されたベース部分、および前記ベース部分に取り付けられ、前記ベース部分に従属している第１および第２の基板支持タインを備える把持部分を有し、前記第１および第２の基板支持タインの少なくとも１つが前記ベース部分に対して移動可能である、少なくとも１つの基板搬送アームと、を有する工程と、エンドエフェクタ駆動セクションを用いて、前記第１および第２の基板支持タインの間の距離を変化させる工程と、前記エンドエフェクタ駆動セクションのアクチュエータを用いて、駆動軸に沿って線形駆動入力を生成する工程であって、前記アクチュエータが、前記第１および第２の基板支持タインの各々を前記アクチュエータに動作可能に連結する連結部によって前記把持部分に連結される、線形駆動入力を生成する工程と、
前記連結部を用いて、前記アクチュエータの前記線形駆動入力を、前記第１および第２の基板支持タインの各々に加えられ、前記第１および第２の基板支持タインを前記駆動軸に沿う前記線形駆動入力に略直交する方向に移動させる出力へと変換する工程と、を含む。

【0078】

【0079】

【0080】

【0081】

【0082】

【0083】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、前記第１および第２の基板支持タインを、前記基板を解放する解放位置および前記第１および第２の基板支持タインが前記基板に接触し、前記基板を支持するように配されている支持位置から、前記ベース部分に対する前記第１および第２の基板支持タインの動作をガイドする前記少なくとも１つの線形ガイドに沿って移動させる工程をさらに含む。

【0084】

【0085】

開示された実施形態の１つまたは複数の態様によれば、傾斜連結部は線形スライド式連結部である。

【0086】

【0087】

【0088】

前述の説明が、開示された実施形態の態様の例示にすぎないことを理解されたい。開示された実施形態の態様から逸脱することなく、当業者によってさまざまな代替および修正が企図され得る。したがって、開示された実施形態の態様は、添付された請求項の範囲内にあるすべてのそのような代替、修正、および変形を包含することを意図している。さらに、異なる特徴が相互に異なる従属請求項または独立請求項に記載されているという単なる事実は、これらの特徴の組み合わせが利点を有して使用することができず、そのような組み合わせが本発明の態様の範囲内にとどまることを示すものではない。

【図1A】