2024-162989 ウェーハの研削方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024162989

(43)【公開日】2024-11-21

(54)【発明の名称】ウェーハの研削方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20241114BHJP

   B24B 7/04 20060101ALI20241114BHJP

   B24B 1/00 20060101ALI20241114BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 631

B24B7/04 A

B24B1/00 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023215967

(22)【出願日】2023-12-21

(31)【優先権主張番号】P 2023078107

(32)【優先日】2023-05-10

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】松澤 稔

(72)【発明者】

【氏名】辻本 浩平

【テーマコード（参考）】

3C043

3C049

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C043BA03

3C043BA09

3C043BA16

3C043CC04

3C043DD05

3C043EE04

3C049AA04

3C049AA12

3C049AB04

3C049AB06

3C049CA01

3C049CB02

5F057AA05

5F057BA15

5F057BB03

5F057BB07

5F057BB09

5F057BB12

5F057CA15

5F057CA24

5F057CA25

5F057DA11

5F057EC15

5F057EC17

(57)【要約】

【課題】ＴＡＩＫＯ研削で形成されるリング状補強部の内周上面角部に形成されるチッピングを抑制できるウェーハの研削方法を提供すること。
【解決手段】ウェーハの研削方法は、ウェーハの裏面に熱圧着シートを固定する熱圧着シート固定ステップ１００１と、チャックテーブルでウェーハの表面側を保持する保持ステップ１００３と、複数の研削砥石で形成される直径がウェーハの半径以下の研削ホイールの研削砥石の回転軌跡をチャックテーブルの保持面の回転軸と重なる位置に位置づけた状態で、研削ホイールとチャックテーブルとを研削ホイールの回転軸方向に相対的に接近させ、熱圧着シートの中央部を削り取るとともにウェーハの裏面側に円形凹部とリング状補強部とを形成する研削ステップ１００４と、リング状補強部の上面に固定される熱圧着シートを剥離する剥離ステップ１００７と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

表面にデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とが形成されたウェーハの裏面を研削し、円形凹部と該円形凹部を囲繞するリング状補強部とを形成するウェーハの研削方法であって、
該ウェーハの裏面に熱圧着シートを固定する熱圧着シート固定ステップと、
保持面に回転軸を有するチャックテーブルで該ウェーハの該表面側を保持する保持ステップと、
環状の基台と該基台の自由端面に設けられた複数の研削砥石とを含み、複数の該研削砥石で形成される直径が該ウェーハの半径以下の研削ホイールを先端に装着したスピンドルを有する研削ユニットの該研削砥石の回転軌跡を該保持面の回転軸と重なる位置に位置づけた状態で、該研削ユニットと該チャックテーブルとを該スピンドルの回転軸方向に相対的に接近させ、該熱圧着シートの中央部を削り取るとともに該ウェーハの裏面側に該円形凹部と該リング状補強部とを形成する研削ステップと、
該リング状補強部の上面に固定される該熱圧着シートを剥離する剥離ステップと、
を備えるウェーハの研削方法。

【請求項2】

該剥離ステップの後、または該研削ステップの後且つ該剥離ステップの前に、
該円形凹部の底面をエッチングするエッチングステップと、
該エッチングステップの後に、該円形凹部の底面に金属膜を形成する金属膜形成ステップと、
を更に備える請求項１記載のウェーハの研削方法。

【請求項3】

該ウェーハの表面に保護部材を配設する保護部材配設ステップと、
を更に備える請求項１または請求項２記載のウェーハの研削方法。

【請求項4】

該熱圧着シートは、フィラーが添加されている、請求項１記載のウェーハの研削方法。

【請求項5】

該熱圧着シートは、フィラーが添加されたフィラー有り層と、フィラーが添加されていないフィラー無し層と、が積層されて形成され、該熱圧着シートの少なくとも一方の面側に該フィラー無し層が積層される、請求項１記載のウェーハの研削方法。

【請求項6】

該熱圧着シート固定ステップでは、該熱圧着シートの該フィラー無し層が積層された側の面を該ウェーハの裏面に向けて、該ウェーハの裏面に該熱圧着シートを固定する、請求項５記載のウェーハの研削方法。

【請求項7】

該熱圧着シート固定ステップでは、該熱圧着シートの該フィラー無し層が積層された側の面を該ウェーハの裏面とは反対側に向けて、該ウェーハの裏面に該熱圧着シートを固定する、請求項５記載のウェーハの研削方法。

【請求項8】

該熱圧着シートは、該熱圧着シートの両面側に該フィラー無し層が積層され、
該熱圧着シート固定ステップでは、該熱圧着シートの該フィラー無し層が積層された一方の面を該ウェーハの裏面に向けて、該熱圧着シートの該フィラー無し層が積層された他方の面を該ウェーハの裏面とは反対側に向けて、該ウェーハの裏面に該熱圧着シートを固定する、請求項５記載のウェーハの研削方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハの研削方法に関する。

【背景技術】

【0002】

複数のデバイスが形成されたデバイス領域を表面に備えるウェーハの裏面の研削において、ウェーハの裏面の外周エッジ部分を残し、外周エッジ部分の内側のデバイス領域に対応するウェーハの裏面の内側部分のみを研削して薄化するＴＡＩＫＯ（登録商標）研削技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

例えば、ＳｉＰ（System in Package）等の普及に伴い、ウェーハを歩留まり良く薄化できる研削技術が要望されており、ウェーハを薄化する研削技術の一つとして、ＴＡＩＫＯ研削技術が知られている。ＴＡＩＫＯ研削技術により、ウェーハの外周エッジ部分に補強部として機能するリング状補強部が形成される。リング状補強部が形成されることにより、ウェーハの内側部分が薄化された後においても、例えば、ウェーハの反り、及び搬送時におけるウェーハの割れ等が抑制される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００７－０１９４６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、ＴＡＩＫＯ研削技術により形成されるリング状補強部の内周上面角部には、ウェーハに研削砥石が食い付く際にウェーハの外周方向に向かってチッピングが発生する恐れがあるという問題があった。また、食い付き後の凹部形成にあたっても研削砥石の側面がリング状補強部の内周側面に接触することによって上記のチッピングは更に増加および増大する恐れがあるという問題があった。リング状補強部の内周上面角部に発生するチッピングは、チッピングによるウェーハ割れや、ウェットエッチング工程でチッピングを通過する薬液の影響によりリング状補強部の上面に凹部(波々形状)が形成されることによって金属膜形成不良、または、ダイシングテープの貼着不良に繋がるという問題があった。

【0006】

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ＴＡＩＫＯ研削で形成されるリング状補強部の内周上面角部に形成されるチッピングを抑制できるウェーハの研削方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のウェーハの研削方法は、表面にデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とが形成されたウェーハの裏面を研削し、円形凹部と該円形凹部を囲繞するリング状補強部とを形成するウェーハの研削方法であって、該ウェーハの裏面に熱圧着シートを固定する熱圧着シート固定ステップと、保持面に回転軸を有するチャックテーブルで該ウェーハの該表面側を保持する保持ステップと、環状の基台と該基台の自由端面に設けられた複数の研削砥石とを含み、複数の該研削砥石で形成される直径が該ウェーハの半径以下の研削ホイールを先端に装着したスピンドルを有する研削ユニットの該研削砥石の回転軌跡を該保持面の回転軸と重なる位置に位置づけた状態で、該研削ユニットと該チャックテーブルとを該スピンドルの回転軸方向に相対的に接近させ、該熱圧着シートの中央部を削り取るとともに該ウェーハの裏面側に該円形凹部と該リング状補強部とを形成する研削ステップと、該リング状補強部の上面に固定される該熱圧着シートを剥離する剥離ステップと、を備えるものである。

【0008】

該剥離ステップの後、または該研削ステップの後且つ該剥離ステップの前に、該円形凹部の底面をエッチングするエッチングステップと、該エッチングステップの後に、該円形凹部の底面に金属膜を形成する金属膜形成ステップと、を更に備えてもよい。

【0009】

該ウェーハの表面に保護部材を配設する保護部材配設ステップと、を更に備えてもよい。

【0010】

該熱圧着シートは、フィラーが添加されていてもよい。

【0011】

該熱圧着シートは、フィラーが添加されたフィラー有り層と、フィラーが添加されていないフィラー無し層と、が積層されて形成され、該熱圧着シートの少なくとも一方の面側に該フィラー無し層が積層されていてもよい。

【0012】

該熱圧着シート固定ステップでは、該熱圧着シートの該フィラー無し層が積層された側の面を該ウェーハの裏面に向けて、該ウェーハの裏面に該熱圧着シートを固定してもよい。

【0013】

該熱圧着シート固定ステップでは、該熱圧着シートの該フィラー無し層が積層された側の面を該ウェーハの裏面とは反対側に向けて、該ウェーハの裏面に該熱圧着シートを固定してもよい。

【0014】

該熱圧着シートは、該熱圧着シートの両面側に該フィラー無し層が積層され、該熱圧着シート固定ステップでは、該熱圧着シートの該フィラー無し層が積層された一方の面を該ウェーハの裏面に向けて、該熱圧着シートの該フィラー無し層が積層された他方の面を該ウェーハの裏面とは反対側に向けて、該ウェーハの裏面に該熱圧着シートを固定してもよい。

【発明の効果】

【0015】

本願発明は、ウェーハの被研削面側である裏面側に熱圧着シートを固定した状態で、熱圧着シートを貫通させてＴＡＩＫＯ研削を実施するので、これによりリング状補強部の上面を熱圧着シートで補強及び保護した状態で研削するので、ＴＡＩＫＯ研削で形成されるリング状補強部の内周上面角部に形成されるチッピングを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】図１は、実施形態１に係るウェーハの研削方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。

【図2】図２は、図１の熱圧着シート固定ステップを説明する斜視図である。

【図3】図３は、図１の熱圧着シート固定ステップを説明する側断面図である。

【図4】図４は、図１の保持ステップ及び研削ステップを説明する斜視図である。

【図5】図５は、図１の保持ステップ及び研削ステップを説明する側断面図である。

【図6】図６は、図１の研削ステップを説明する斜視図である。

【図7】図７は、図１の研削ステップを説明する側断面図である。

【図8】図８は、図１の研削ステップの要部を説明する側断面図である。

【図9】図９は、図１の研削ステップの要部を説明する側断面図である。

【図10】図１０は、図１の金属膜形成ステップを説明する側断面図である。

【図11】図１１は、図１の剥離ステップを説明する斜視図である。

【図12】図１２は、図１の剥離ステップを説明する側断面図である。

【図13】図１３は、比較例に係る研削ステップを説明する斜視図である。

【図14】図１４は、比較例に係る研削ステップを説明する側断面図である。

【図15】図１５は、比較例に係る研削ステップの要部を説明する上面図である。

【図16】図１６は、比較例に係る研削ステップの要部を説明する上面図である。

【図17】図１７は、実施形態２に係るウェーハの研削方法の熱圧着シート固定ステップで熱圧着する熱圧着シートを示す断面図である。

【図18】図１８は、実施形態３及び実施形態４に係るウェーハの研削方法の熱圧着シート固定ステップで熱圧着する熱圧着シートを示す断面図である。

【図19】図１９は、実施形態５に係るウェーハの研削方法の熱圧着シート固定ステップで熱圧着する熱圧着シートを示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0018】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るウェーハの研削方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るウェーハの研削方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。実施形態１に係るウェーハの研削方法は、図１に示すように、熱圧着シート固定ステップ１００１と、保護部材配設ステップ１００２と、保持ステップ１００３と、研削ステップ１００４と、エッチングステップ１００５と、金属膜形成ステップ１００６と、剥離ステップ１００７と、を備える。

【0019】

実施形態１に係るウェーハの研削方法の研削対象であるウェーハ１００は、実施形態１では、図２に示すように、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素などを基板とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等である。ウェーハ１００は、平坦な表面１０１に、互いに交差する複数の分割予定ラインによって区画されたそれぞれの領域にチップ状のデバイスが形成されたデバイス領域１０４と、デバイスが形成されておらず、デバイス領域１０４を囲繞する外周余剰領域１０５と、が形成されている。

【0020】

図２及び図３は、それぞれ、図１の熱圧着シート固定ステップ１００１を説明する斜視図及び側断面図である。熱圧着シート固定ステップ１００１は、図２及び図３に示すように、ウェーハ１００の表面１０１の裏側の裏面１０２に熱圧着シート１１０を熱圧着して固定するステップである。

【0021】

熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に固定する熱圧着シート１１０は、実施形態１では、少なくとも後述する研削ステップ１００４により形成する円形凹部１０７（図６及び図７参照）を平面視で十分に覆うことが可能な形状及び大きさを有する。すなわち、熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に固定する熱圧着シート１１０は、実施形態１では、少なくともデバイス領域１０４に対応するウェーハ１００の裏面１０２の内側部分を平面視で十分に覆うことが可能な形状及び大きさを有する。熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に固定する熱圧着シート１１０は、実施形態１では、図２及び図３に示すように、平面視でウェーハ１００の裏面１０２と同等の形状及び大きさ、すなわち平面視でウェーハ１００の裏面１０２と同等の直径を有する円形に形成される。

【0022】

熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に固定する熱圧着シート１１０は、実施形態１では、粘着剤等の粘着性を有する合成樹脂から構成された層である糊層を有さず、熱可塑性樹脂をシート状に形成した熱可塑性樹脂シートである。熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に固定する熱圧着シート１１０を構成する材料の熱可塑性樹脂は、温度が１０℃以上３０℃以下での貯蔵弾性率は１×１０^６Ｐａ以上１×１０^９Ｐａ以下であり、温度が８０℃以上１００℃以下での貯蔵弾性率は１×１０^６Ｐａ以上１×１０^７Ｐａ以下である。

【0023】

貯蔵弾性率は、損失弾性率（動的損失弾性率）や損失正接とともに動的弾性率測定（Dynamic Mechanical Analysis、ＤＭＡ）によって測定される。具体的には、貯蔵弾性率は、日本工業規格のＪＩＳ Ｋ ７２４４－４（非共振強制振動法）、ＪＩＳ Ｋ ７２４４－５（曲げモード）及びＪＩＳ Ｋ ７２４４－６（せん断モード）のいずれかに従う方法で測定される。なお、日本工業規格によれば、貯蔵弾性率は、０．０１ＧＰａ（１×１０^７Ｐａ）より小さい場合にはＪＩＳ Ｋ ７２４４－６（せん断モード）に従う方法で測定することが好ましく、０．０１ＧＰａ以上５ＧＰａ以下（１×１０^７Ｐａ以上５×１０^９Ｐａ以下）である場合にはＪＩＳ Ｋ ７２４４－４（非共振強制振動法）に従う方法で測定することが好ましく、５ＧＰａ（５×１０^９Ｐａ）より大きい場合にはＪＩＳ Ｋ ７２４４－５（曲げモード）に従う方法で測定することが好ましいとされている。

【0024】

貯蔵弾性率は、一般に測定時の温度及び測定時に加える変形の周波数（速度）によって変化する。熱圧着シート１１０を構成する熱可塑性樹脂は、より詳細には、温度が１０℃以上３０℃以下、及び、変形の周波数が０．０１Ｈｚ以上１０Ｈｚ以下の条件下において測定した貯蔵弾性率が１×１０^６Ｐａ以上１×１０^９Ｐａ以下であり、温度が８０℃以上１００℃以下、及び、変形の周波数が０．０１Ｈｚ以上１０Ｈｚ以下の条件下において測定した貯蔵弾性率は１×１０^６Ｐａ以上１×１０^７Ｐａ以下である。

【0025】

熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に固定する熱圧着シート１１０を構成する材料の熱可塑性樹脂は、上記のような貯蔵弾性率を有し、温度が上昇することにより貯蔵弾性率が低下する性質を有するため、糊層を有さず、かつ、加熱することによりウェーハ１００の裏面１０２に熱圧着して固定することが可能となる。なお、樹脂の貯蔵弾性率が１×１０^６Ｐａ未満である場合、当該樹脂がべたつき、粘着性が強過ぎるため、糊層を形成してしまう。樹脂の貯蔵弾性率が１×１０^９Ｐａより高い場合、当該樹脂が硬すぎて、ウェーハ１００の裏面１０２に固定されない恐れがある。

【0026】

熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に固定する熱圧着シート１１０は、具体的には、ポリオレフィン（Poly Olefine、ＰＯ）系の樹脂化合物をシート状に形成したポリオレフィンシートであり、例えば、ポリエチレン（Poly Ethylene、ＰＥ）をシート状に形成したポリエチレンシート、ポリプロピレン（Poly Propylene、ＰＰ）をシート状に形成したポリプロピレンシート、ポリスチレン（Poly Styrene、ＰＳ）をシート状に形成したポリスチレンシート等である。

【0027】

熱圧着シート固定ステップ１００１では、まず、図２及び図３に示すように、ウェーハ１００より平面視で十分に大きい保持テーブル１０上に、ウェーハ１００の裏面１０２側を上方に向けて露出させて載置し、ウェーハ１００の裏面１０２上に少なくともデバイス領域１０４に対応するウェーハ１００の裏面１０２の内側部分を平面視で十分に覆うように熱圧着シート１１０を載置する。なお、熱圧着シート固定ステップ１００１では、本発明ではこれに限定されず、保持テーブル１０上に熱圧着シート１１０を載置し、熱圧着シート１１０上に、ウェーハ１００を、ウェーハ１００の裏面１０２側を熱圧着シート１１０に向けて載置してもよい。

【0028】

熱圧着シート固定ステップ１００１では、次に、熱圧着シート１１０を所定の温度（実施形態１では例えば５０～１５０℃）で加熱して軟化させながら、ウェーハ１００と熱圧着シート１１０とを厚み方向に沿って互いに接近させる方向に所定の押圧力（実施形態１では例えば０．３ＭＰａ以上）で所定の時間（実施形態１では例えば３０秒以上）押圧することにより、熱圧着シート１１０をウェーハ１００の裏面１０２に熱圧着して固定する。熱圧着シート固定ステップ１００１では、保持テーブル１０の内部もしくは平面視で熱圧着シート１１０を十分に覆う形状及び大きさを有する不図示の押圧部材の内部に備えられた熱源により熱圧着シート１１０を加熱しながら、この押圧部材で押圧して、熱圧着してもよい。また、熱圧着シート固定ステップ１００１では、保持テーブル１０の内部もしくは不図示の押圧ローラの内部に備えられた熱源により熱圧着シート１１０を加熱しながら、不図示の押圧ローラを、熱圧着シート１１０を介してウェーハ１００の裏面１０２上の一端から他端まで回転移動させることにより押圧して、熱圧着してもよい。また、熱圧着シート固定ステップ１００１では、赤外線によって、熱圧着シート１１０、ウェーハ１００及び保持テーブル１０の少なくともいずれかを加熱してもよい。

【0029】

もしくは、熱圧着シート固定ステップ１００１では、不図示のローラを、熱圧着シート１１０を介してウェーハ１００の裏面１０２上の一端から他端まで回転移動させることにより、熱圧着シート１１０をウェーハ１００の裏面１０２上に密着させた後に、熱圧着シート１１０側から工業用ドライヤーで所定の温度（実施形態１では例えば１５０℃以上）の熱風を吹き付けることにより熱圧着シート１１０を加熱して軟化させることで、熱圧着シート１１０をウェーハ１００に向けて押圧することなく、すなわち押圧力が０ＭＰａ下で、軟化した熱圧着シート１１０をウェーハ１００の裏面１０２に熱圧着して固定してもよい。

【0030】

熱圧着シート固定ステップ１００１では、実施形態１では、このように糊層のない熱圧着シート１１０をウェーハ１００の裏面１０２に熱圧着して固定するので、追って実施する研削ステップ１００４において熱圧着シート１１０の中央部１１１を削り取る際に、研削ホイール３２（図４等参照）の研削砥石３４（図４等参照）の研削面に粘着性を有する糊層が付着するといった研削における不具合が発生する恐れがなく、また、追って実施する剥離ステップ１００７において熱圧着シート１１０の外周部１１２（図６及び図７等参照）をリング状補強部１０８の上面から剥離する際に、リング状補強部１０８の上面に粘着性を有する糊層が残ってしまうといった不具合が発生する恐れがない。

【0031】

保護部材配設ステップ１００２は、ウェーハ１００の表面１０１に保護部材を配設するステップである。保護部材配設ステップ１００２でウェーハ１００の表面１０１に配設する保護部材は、実施形態１では、例えば、平面視でウェーハ１００の表面１０１と同等の形状及び大きさ、すなわち平面視でウェーハ１００の表面１０１と同等の直径を有する円形に形成される。

【0032】

保護部材配設ステップ１００２でウェーハ１００の表面１０１に配設する保護部材は、実施形態１では、例えば、基材層と糊層（粘着層）とを有する粘着テープである。ここで、糊層は、粘着剤等の粘着性を有する合成樹脂から構成されており、基材層の一方の面に積層される。基材層は、合成樹脂から構成されている。このような粘着テープである保護部材は、実施形態１では、糊層側がウェーハ１００の表面１０１に貼着される。保護部材配設ステップ１００２でウェーハ１００の表面１０１に配設された保護部材は、ウェーハ１００の表面１０１を保護するものとなる。

【0033】

なお、保護部材配設ステップ１００２でウェーハ１００の表面１０１に配設する保護部材は、本発明では基材層と糊層とを有する形態に限定されず、熱圧着シート１１０と同様に糊層を有さず熱可塑性樹脂をシート状に形成した熱可塑性樹脂シートでもよく、この場合、保護部材配設ステップ１００２では、熱可塑性樹脂シートである保護部材を熱圧着シート固定ステップ１００１と同様の方法でウェーハ１００の表面１０１に熱圧着して固定する。

【0034】

実施形態１に係るウェーハの研削方法では、熱圧着シート固定ステップ１００１の後に保護部材配設ステップ１００２を実施しているが、本発明ではこれに限定されず、熱圧着シート固定ステップ１００１の前に保護部材配設ステップ１００２を実施してもよいし、保護部材配設ステップ１００２を実施せずに省略しても構わない。なお、本願の図面では、保護部材配設ステップ１００２でウェーハ１００の表面１０１に配設した保護部材の図示を省略している。

【0035】

図４及び図５は、それぞれ、図１の保持ステップ１００３及び研削ステップ１００４を説明する斜視図及び側断面図である。保持ステップ１００３は、図４及び図５に示すように、保持面２３に回転軸２５を有するチャックテーブル２０でウェーハ１００の表面１０１側を保持するステップである。

【0036】

保持ステップ１００３でウェーハ１００の表面１０１側を保持するチャックテーブル２０は、図４及び図５に示すように、凹部が形成された円盤状の枠体２１と、凹部内に嵌め込まれた円盤形状の吸着部２２と、を備える。チャックテーブル２０の吸着部２２は、多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から形成され、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続されている。チャックテーブル２０の吸着部２２の上面は、載置されたウェーハ１００を下方側から吸引保持する保持面２３である。枠体２１の上面と保持面２３とは、実施形態１では、図５に示すように、チャックテーブル２０の保持面２３の中心２４を頂点とし、外周が僅かに低い円錐面状に形成されている。なお、保持面２３は、本発明ではこれに限定されず、平坦に形成されていてもよい。

【0037】

保持ステップ１００３でウェーハ１００の表面１０１側を保持するチャックテーブル２０は、チャックテーブル２０の枠体２１の下方に接続された不図示の回転駆動源により、保持面２３の中心２４を通り、保持面２３を形成する円錐の底面に直交する回転軸２５回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル２０は、不図示の回転軸調整ユニットにより、回転軸２５が鉛直方向に平行なＺ軸方向に対して所定の範囲内の傾斜角だけ傾斜することができ、これに伴い、保持面２３は、保持面２３を形成する円錐の底面がＸＹ平面に平行な水平面に対して同じ傾斜角だけ傾斜することができる。チャックテーブル２０は、不図示の移動ユニットにより、一定の範囲内で水平方向と平行に移動自在に設けられている。

【0038】

保持ステップ１００３では、まず、熱圧着シート固定ステップ１００１及び保護部材配設ステップ１００２の実施後に、不図示の搬送パッドにより、熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に熱圧着して固定した熱圧着シート１１０の露出面側を上方から吸着保持して、チャックテーブル２０の保持面２３上に搬送し、チャックテーブル２０の保持面２３上で吸着保持を解除することで、図４及び図５に示すように、チャックテーブル２０の保持面２３上に、ウェーハ１００を、ウェーハ１００の表面１０１側を保持面２３側に向けて載置する。保持ステップ１００３では、次に、チャックテーブル２０の保持面２３上に載置したウェーハ１００について、ウェーハ１００の熱圧着シート固定ステップ１００１で熱圧着シート１１０が固定された裏面１０２側を上方に露出させた状態で、チャックテーブル２０の保持面２３でウェーハ１００の表面１０１側を吸引保持する。なお、保持ステップ１００３では、保護部材配設ステップ１００２を実施してウェーハ１００の表面１０１に保護部材を配設している場合には、チャックテーブル２０の保持面２３でウェーハ１００の表面１０１側を、保護部材を介して吸引保持する。

【0039】

図６及び図７は、それぞれ、図１の研削ステップ１００４を説明する斜視図及び側断面図である。研削ステップ１００４は、図４、図５、図６及び図７に示すように、環状の基台３３と基台３３の自由端面に設けられた複数の研削砥石３４とを含み、複数の研削砥石３４で形成される直径３５がウェーハ１００の半径以下の研削ホイール３２を先端に装着したスピンドル３１を有する研削ユニット３０の研削砥石３４の回転軌跡を、チャックテーブル２０の保持面２３の回転軸２５と重なる位置に位置づけた状態で、研削ユニット３０とチャックテーブル２０とをスピンドル３１の回転軸３６の方向に相対的に接近させ、熱圧着シート１１０の中央部１１１を削り取るとともにウェーハ１００の裏面１０２側に円形凹部１０７とリング状補強部１０８とを形成するステップである。

【0040】

研削ステップ１００４を実施する研削ユニット３０は、図４、図５、図６及び図７に示すように、スピンドル３１と、研削ホイール３２と、を備える。スピンドル３１は、鉛直方向（Ｚ軸方向）に平行な回転軸３６回りに回転可能に設けられ、下側に向けられた先端（下端）に着脱可能に装着された研削ホイール３２を鉛直方向に平行な回転軸３６回りに回転可能に支持する。

【0041】

研削ホイール３２は、環状の基台３３と、複数の研削砥石３４と、を含んで構成される。複数の研削砥石３４は、環状の基台３３の下側に向けられた自由端面（下面）に設けられており、研削ホイール３２がスピンドル３１の先端に装着された際の環状の基台３３の回転軸３６を中心とするウェーハ１００の半径以下の直径３５の環状に配置されている。ここで、直径３５は、回転軸３６と、回転軸３６から基台３３の自由端面に沿う方向に最も離れた研削砥石３４の外周側の端との間の距離（長さ）で定められる。複数の研削砥石３４は、研削ホイール３２がスピンドル３１の先端に装着されて回転軸３６回りに回転することで、各研削砥石３４の径方向の幅に概ね相当する幅を有し、外周の直径が直径３５と同等となる円環状の回転軌跡を描く。研削砥石３４は、実施形態１では、例えば、ダイヤモンド、ｃＢＮ（cubic Boron Nitride）等の砥粒を、メタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド等のボンド材（結合材）で固定することによって形成されている。

【0042】

研削ステップ１００４を実施する研削ユニット３０は、スピンドル３１が、チャックテーブル２０の保持面２３に、鉛直方向に対向するように配置されている。チャックテーブル２０の回転軸２５と、研削ユニット３０のスピンドル３１及び研削ホイール３２の回転軸３６とが、水平方向にずれて配設されており、チャックテーブル２０を水平方向と平行に移動させることで、研削ホイール３２の研削砥石３４でウェーハ１００の裏面１０２側を研削する際の研削ホイール３２の研削砥石３４側の研削面及びウェーハ１００の裏面１０２側の被研削面の面内における、回転軸２５と回転軸３６との間の水平方向のずれを調整できる。

【0043】

研削ステップ１００４を実施する研削ユニット３０は、さらに、不図示の研削送りユニットと、不図示の研削流体供給ユニットと、を備える。研削送りユニットは、研削ユニット３０のスピンドル３１及びスピンドル３１に装着された研削ホイール３２をチャックテーブル２０に対して研削送り方向（鉛直方向と平行なＺ軸方向）に沿って相対的に移動させる研削送りをすることにより、スピンドル３１及び研削ホイール３２とチャックテーブル２０とを相対的に研削送り方向に沿って接近および離間させる。

【0044】

研削送りユニットは、モータと、ボールねじと、ガイドと、を有する公知のボールねじ機構である。研削送りユニットは、Ｚ軸の軸心回りに回転自在に設けられたボールねじと、ボールねじを軸心回りに回転させるモータと、スピンドル３１をＺ軸方向に移動自在に支持するガイドと、を有して構成されている。研削送りユニットは、不図示の制御ユニットにより、モータの駆動が制御されることにより、送り速度、及び、送り量等が制御される。ここで、送り速度は、研削送りユニットにより、スピンドル３１及び研削ホイール３２をチャックテーブル２０に対してＺ軸方向に沿って相対的に接近および離間させる速度のことを指す。また、送り量は、研削送りユニットによりスピンドル３１及び研削ホイール３２をチャックテーブル２０に対してＺ軸方向に沿って相対的に接近および離間させた量（高さ）のことを指す。送り速度は、単位時間当たりの送り量となる。

【0045】

研削送りユニットは、モータの回転位置を読み取るエンコーダを含み、エンコーダが読み取ったモータの回転位置に基づいて、スピンドル３１のチャックテーブル２０に対するＺ軸方向の相対的な位置を検出し、検出した相対的な位置を不図示の制御ユニットに出力する。また、研削送りユニットは、研削開始前、研削中及び研削終了後に、例えば一定時間毎（例えば、毎秒）に、スピンドル３１のチャックテーブル２０に対するＺ軸方向の相対的な位置を検出することにより、送り速度や送り量を検出し、検出した送り速度や送り量を不図示の制御ユニットに出力する。なお、研削送りユニットは、エンコーダによりスピンドル３１のチャックテーブル２０に対するＺ軸方向の相対的な位置を検出する構成に限定されず、Ｚ軸方向に平行なリニアスケールと、研削送りユニットによりＺ軸方向に移動自在に設けられリニアスケールの目盛を読み取る読み取りヘッドと、により構成してもよい。

【0046】

研削流体供給ユニットは、不図示の研削流体供給源と接続されており、不図示の研削流体供給源から供給される純水等の研削流体（研削水）を、チャックテーブル２０に保持されたウェーハ１００の裏面１０２側に向けて供給する。

【0047】

研削ステップ１００４では、図４、図５、図６及び図７に示すように、まず、チャックテーブル２０を水平方向と平行に移動させることで、研削ホイール３２の研削砥石３４でウェーハ１００の裏面１０２側を研削する際の研削ホイール３２の研削砥石３４側の研削面及びウェーハ１００の裏面１０２側の被研削面の面内における、回転軸２５と回転軸３６との間の水平方向のずれを調整することにより、研削砥石３４の円環状の回転軌跡を、チャックテーブル２０の保持面２３の回転軸２５と重なり、なおかつ、チャックテーブル２０に保持されたウェーハ１００の裏面１０２の外周余剰領域１０５に対応する領域である外周エッジ部分１０６の内周に内接する位置（所定研削位置、と称する。）に位置づける。

【0048】

研削ステップ１００４では、研削砥石３４の回転軌跡を所定研削位置に位置付けた後、次に、研削砥石３４の回転軌跡を所定研削位置に位置付けた状態で、研削ユニット３０のスピンドル３１を鉛直方向に平行な回転軸３６回りに回転駆動することにより、スピンドル３１の下端に装着した研削ホイール３２を鉛直方向に平行な回転軸３６回りに回転させつつ、スピンドル３１に対向配置された、ウェーハ１００を保持するチャックテーブル２０を回転軸２５回りに回転させて、回転させたチャックテーブル２０に保持されたウェーハ１００に対し、研削流体供給ユニットにより研削流体を供給しながら、研削送りユニットにより、回転する研削ホイール３２を研削送り方向に沿って押圧することによって、研削ホイール３２の研削砥石３４でチャックテーブル２０に保持されたウェーハ１００の裏面１０２側を研削する。

【0049】

研削ステップ１００４では、このように研削することにより、ウェーハ１００の裏面１０２側を研削ホイール３２の研削砥石３４の研削面に沿って研削して、ウェーハ１００の裏面１０２側の被研削面を研削面と平行に形成する。研削ステップ１００４では、そして、図６及び図７に示すように、研削ホイール３２の研削砥石３４により、ウェーハ１００の裏面１０２側に熱圧着して固定した熱圧着シート１１０の中央部１１１を削り取り、さらにウェーハ１００のデバイス領域１０４に対応するウェーハ１００の裏面１０２の内側部分のみを研削して薄化することにより、ウェーハ１００の裏面１０２側に円形凹部１０７と円形凹部１０７を囲繞するリング状補強部１０８とを形成する所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）研削を実施する。

【0050】

ここで、熱圧着シート１１０の中央部１１１は、熱圧着シート１１０において、ウェーハ１００の外周エッジ部分１０６の内側のデバイス領域１０４に対応する部分である。また、研削ステップ１００４では、円形凹部１０７は、ウェーハ１００の裏面１０２側において、ウェーハ１００のデバイス領域１０４に対応する平面視での形状及び大きさに形成され、リング状補強部１０８は、ウェーハ１００の裏面１０２側において、ウェーハ１００の外周エッジ部分１０６に対応する平面視での形状及び大きさに形成される。

【0051】

研削ステップ１００４では、研削送りユニットにより送り量を検出しながら研削ホイール３２の研削砥石３４でウェーハ１００の裏面１０２側を研削するので、形成する円形凹部１０７の、リング状補強部１０８の上面を基準とするウェーハ１００の厚み方向の深さを制御できる。なお、送り量を制御しながらの研削では、研削ユニット３０の撓みや研削ホイール３２の消耗等によって円形凹部１０７の深さに誤差が生じる恐れがあるため、別途非接触式の厚み測定器等を使用して、円形凹部１０７の深さを測定することが好ましい。

【0052】

研削ステップ１００４では、図６及び図７に示すように、熱圧着シート１１０の外周エッジ部分１０６に対応する部分である外周部１１２を削り取らないため、熱圧着シート１１０の外周部１１２がリング状補強部１０８の上面に熱圧着されて固定された状態で残存する。

【0053】

図８及び図９は、いずれも、図１の研削ステップ１００４の要部を説明する側断面図である。研削ステップ１００４では、図８に示すように、ウェーハ１００の裏面１０２側に熱圧着して固定した熱圧着シート１１０の中央部１１１を削り取り、ウェーハ１００の裏面１０２に研削ホイール３２の研削砥石３４が食い付く際に、熱圧着シート１１０の外周部１１２が、リング状補強部１０８の上面を補強及び保護することにより、リング状補強部１０８の内周上面角部にウェーハ１００の外周方向に向かってチッピング２００（図１６参照）が発生する恐れを抑制する。

【0054】

また、研削ステップ１００４では、図９に示すように、研削ホイール３２の研削砥石３４がウェーハ１００の裏面１０２側に食い付き後に円形凹部１０７を形成する際に、研削砥石３４の外周側面がリング状補強部１０８の内周側面に接触する際にも、熱圧着シート１１０の外周部１１２が、リング状補強部１０８の上面を補強及び保護しつつ、内周面側で研削砥石３４の外周側面にも接触することにより、リング状補強部１０８の内周上面角部にウェーハ１００の外周方向に向かうチッピング２００が増加及び増大する恐れを抑制する。

【0055】

このように、研削ステップ１００４では、ウェーハ１００の外周方向に向かってチッピング２００が発生する恐れ、並びに、ウェーハ１００の外周方向に向かうチッピング２００が増加及び増大する恐れを抑制するので、チッピング２００によるウェーハ１００の割れを抑制するとともに、追って実施するエッチングステップ１００５においてウェットエッチングする場合にチッピング２００を通過する薬液の影響によりリング状補強部１０８の上面に凹部(波々形状)が形成される恐れを抑制でき、これにより、追って実施する金属膜形成ステップ１００６において形成する金属膜１２０（図１０参照）の形成不良や、ダイシングテープの貼着不良が起きる恐れを抑制できる。

【0056】

エッチングステップ１００５は、研削ステップ１００４で形成した円形凹部１０７の底面１０９をエッチングするステップである。エッチングステップ１００５では、実施形態１では、例えばウェットエッチングを実施して、円形凹部１０７の底面１０９に薬液を供給することにより、薬液により円形凹部１０７の底面１０９をエッチングして、研削ステップ１００４で円形凹部１０７の底面１０９に形成された研削痕を除去するとともに、円形凹部１０７の底面１０９を追って実施する金属膜形成ステップ１００６で金属膜１２０を好適に形成できる表面状態に改質する。なお、エッチングステップ１００５は、本発明では薬液を使用するウェットエッチングに限定されず、例えば、プラズマを使用するプラズマエッチングでもよい。

【0057】

図１０は、図１の金属膜形成ステップ１００６を説明する側断面図である。金属膜形成ステップ１００６は、エッチングステップ１００５の後に、図１０に示すように、円形凹部１０７の底面１０９に金属膜１２０を形成するステップである。金属膜形成ステップ１００６では、実施形態１では、例えば金属蒸着やスパッタリング等により、円形凹部１０７の底面１０９及び側面等に金属膜１２０を形成する。

【0058】

実施形態１では、研削ステップ１００４の後且つ剥離ステップ１００７の前に、リング状補強部１０８の上面に熱圧着シート１１０の外周部１１２が熱圧着されて固定された状態で、エッチングステップ１００５及び金属膜形成ステップ１００６を実施するため、熱圧着シート１１０の外周部１１２が、リング状補強部１０８の上面を、ウェットエッチングの薬液が供給されない状態、かつ、金属膜１２０が形成されない状態に維持するマスクとして機能できる。ここで、金属膜形成ステップ１００６で金属膜１２０が熱圧着シート１１０の外周部１１２上に形成された場合、熱圧着シート１１０の外周部１１２上に形成された金属膜１２０は、追って実施する剥離ステップ１００７で、熱圧着シート１１０の外周部１１２と共に剥離されるので、熱圧着シート１１０の外周部１１２上において金属膜１２０が所々剥離してしまう状態となってしまう恐れを抑制する。なお、実施形態１では、研削ステップ１００４の後且つ剥離ステップ１００７の前に、エッチングステップ１００５及び金属膜形成ステップ１００６を実施しているが、本発明ではこれに限定されず、剥離ステップ１００７の後に実施しても良い。

【0059】

図１１及び図１２は、それぞれ、図１の剥離ステップ１００７を説明する斜視図及び側断面図である。剥離ステップ１００７は、図１１及び図１２に示すように、リング状補強部１０８の上面に固定される熱圧着シート１１０を剥離するステップである。剥離ステップ１００７では、研削ステップ１００４で残存させたリング状補強部１０８の上面に熱圧着されて固定された熱圧着シート１１０の外周部１１２を、リング状補強部１０８の上面から剥離する。

【0060】

図１３及び図１４は、それぞれ、比較例に係る研削ステップを説明する斜視図及び側断面図である。図１５及び図１６は、いずれも、比較例に係る研削ステップの要部を説明する上面図である。図１５は、比較例に係る研削ステップを実施後のウェーハ１００の裏面１０２側全体を示す上面図であり、図１６は、図１５のＸＶＩに示す部分を拡大した拡大図である。実施形態１をより明確に説明するため、従来技術に基づく比較例について、実施形態１と比較する形で説明する。比較例は、実施形態１において、実施形態１の要部である熱圧着シート固定ステップ１００１及び熱圧着シート固定ステップ１００１に伴って実施する剥離ステップ１００７を省略して、研削ステップ１００４と同様の研削ステップを実施するように変更したものである。このような比較例において、図１３及び図１４に示すように、研削ホイール３２の研削砥石３４で、熱圧着シート１１０が固定されていないウェーハ１００の裏面１０２の内側部分のみを研削して薄化すると、ウェーハ１００の裏面１０２に研削ホイール３２の研削砥石３４が食い付く際に、図１６に示すように、リング状補強部１０８の内周上面角部にウェーハ１００の外周方向に向かってチッピング２００が発生する恐れがあり、研削ホイール３２の研削砥石３４がウェーハ１００の裏面１０２側に食い付き後に円形凹部１０７を形成する際に、研削砥石３４の外周側面がリング状補強部１０８の内周側面に接触する際にも、リング状補強部１０８の内周上面角部に形成されたウェーハ１００の外周方向に向かうチッピング２００が増加及び増大する恐れがあった。

【0061】

このような比較例に対し、実施形態１では、研削ステップ１００４の実施前に熱圧着シート固定ステップ１００１を実施して、研削ステップ１００４において研削ホイール３２の研削砥石３４で研削する側の面であるウェーハ１００の裏面１０２に熱圧着シート１１０を熱圧着して固定する。このため、実施形態１では、ウェーハ１００の裏面１０２に研削ホイール３２の研削砥石３４が食い付く際、及び、研削ホイール３２の研削砥石３４がウェーハ１００の裏面１０２側に食い付き後に円形凹部１０７を形成する際の、研削砥石３４の外周側面がリング状補強部１０８の内周側面に接触する際に、熱圧着シート１１０の外周部１１２が、リング状補強部１０８の上面を補強及び保護すること、及び、さらに内周面側で研削砥石３４の外周側面にも接触することにより、リング状補強部１０８の内周上面角部にウェーハ１００の外周方向に向かってチッピング２００が発生する恐れ、及び、リング状補強部１０８の内周上面角部にウェーハ１００の外周方向に向かうチッピング２００が増加及び増大する恐れを抑制できる。

【0062】

以上のような構成を有する実施形態１に係るウェーハの研削方法は、ウェーハ１００の被研削面側である裏面１０２側に熱圧着シート１１０を固定した状態で、熱圧着シート１１０を貫通させてＴＡＩＫＯ研削を実施するので、これによりリング状補強部１０８の上面を熱圧着シート１１０で補強及び保護した状態で研削するので、ＴＡＩＫＯ研削で形成されるリング状補強部１０８の内周上面角部に形成されるチッピング２００を抑制できるという作用効果を奏する。

【0063】

また、実施形態１に係るウェーハの研削方法は、剥離ステップ１００７の後、または研削ステップ１００４の後且つ剥離ステップ１００７の前に、エッチングステップ１００５と、金属膜形成ステップ１００６と、を更に備える。このため、実施形態１に係るウェーハの研削方法は、さらに、エッチングステップ１００５においてウェットエッチングする場合にチッピング２００を通過する薬液の影響によりリング状補強部１０８の上面に凹部(波々形状)が形成される恐れを抑制でき、これにより、金属膜形成ステップ１００６において形成する金属膜１２０の形成不良が起きる恐れを抑制できる。

【0064】

また、実施形態１に係るウェーハの研削方法は、ウェーハ１００の表面１０１に保護部材を配設する保護部材配設ステップ１００２と、を更に備える。このため、実施形態１に係るウェーハの研削方法は、さらに、保持ステップ１００３以降のステップの実施の際に、ウェーハ１００のチップ状のデバイスが形成された表面１０１を保護することができる。

【0065】

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係るウェーハの研削方法を図面に基づいて説明する。図１７は、実施形態２に係るウェーハの研削方法の熱圧着シート固定ステップ１００１で熱圧着する熱圧着シート１１０－２を示す断面図である。図１７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0066】

実施形態２に係るウェーハの研削方法は、実施形態１において、熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に固定する熱圧着シート１１０を、図１７に示す熱圧着シート１１０－２に変更したものであり、その他の構成は実施形態１と同様である。

【0067】

実施形態２で使用する熱圧着シート１１０－２は、図１７に示すように、実施形態１で使用する熱圧着シート１１０において、さらにフィラー１３０が添加されたものである。具体的には、実施形態２で使用する熱圧着シート１１０－２は、実施形態１で使用する熱圧着シート１１０を構成する熱可塑性樹脂と同様の熱可塑性樹脂にフィラー１３０が添加されたフィラー１３０入りの熱可塑性樹脂をシート状に形成したフィラー１３０入りの熱可塑性樹脂シートである。

【0068】

実施形態２で熱圧着シート１１０－２に添加されるフィラー１３０は、例えば、大きさが０．１ｎｍ以上４００ｎｍ以下である。実施形態２で熱圧着シート１１０－２に添加されるフィラー１３０は、粒状であるが、本発明ではこれに限定されず、繊維のような柱状等の形状を有していてもよい。なお、本明細書では、フィラー１３０の大きさは、フィラー１３０の粒子径で定義される。粒子径の表し方には、幾何学的径、相当径等の既知の手法がある。幾何学的径には、フェレー（Feret）径、定方向最大径（即ち、Krummbein径）、Martin径、ふるい径等があり、相当径には、投影面積円相当径（即ち、Heywood径）、等表面積球相当径、等体積球相当径、ストークス径、光散乱径等がある。フィラー１３０が繊維のような柱状等の形状を有している場合でも、前述のフィラー１３０が粒状である場合と同様の方法で、フィラー１３０の大きさを定義できる。

【0069】

実施形態２で熱圧着シート１１０－２に添加されるフィラー１３０は、無機充填剤であることが好ましく、具体的には、溶融シリカ、結晶性シリカ、アルミナ、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム、硫酸バリウム、タルク、クレー、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化ベリリウム、酸化鉄、酸化チタン、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、マイカ、ガラス、石英、雲母等が好適に使用される。また、実施形態２で熱圧着シート１１０－２に添加されるフィラー１３０は、上記の２種類以上を混合して使用しても良い。実施形態２で熱圧着シート１１０－２に添加されるフィラー１３０は、上記した無機充填剤のうち、溶融シリカや結晶性シリカ等のシリカ類が使用されることが好ましく、この場合、フィラー１３０のコストを好適に抑制することができる。

【0070】

熱圧着シート１１０－２において、熱可塑性樹脂のうちフィラー１３０の含有割合（混合割合）は、０．０１ｗｔ％～９０ｗｔ％の範囲で変更可能であり、フィラー１３０の含有割合が多い方が、研削砥石３４により研削加工されることで研削砥石３４の砥粒を覆っているボンド材を除去して砥粒を突出させて研削砥石３４を目立てして研削砥石３４の研削加工品質を向上させるドレッシング効果も高くなるが、フィラー１３０の含有割合が多すぎると、熱圧着シート１１０－２がウェーハ１００の裏面１０２に熱圧着しにくくなったり、全体が脆くなったりする可能性があるため、適宜の割合が選択される。

【0071】

実施形態２に係るウェーハの研削方法の研削ステップ１００４は、実施形態１に係るウェーハの研削方法の研削ステップ１００４において、熱圧着シート１１０の中央部１１１を削り取ることに代えて、フィラー１３０が添加された熱圧着シート１１０－２の中央部１１１を削り取るように変更したものである。実施形態２に係るウェーハの研削方法は、研削ステップ１００４において、研削砥石３４でフィラー１３０が添加された熱圧着シート１１０－２の中央部１１１を研削する際に、熱圧着シート１１０－２に添加されて混合されたフィラー１３０により、研削砥石３４をドレッシングするドレッシング効果が得られる。

【0072】

以上のような構成を有する実施形態２に係るウェーハの研削方法は、実施形態１において、熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に固定する熱圧着シート１１０を、さらにフィラー１３０を添加した熱圧着シート１１０－２に変更したものである。このため、実施形態２に係るウェーハの研削方法は、実施形態１と同様の効果を奏するとともに、さらに、研削ステップ１００４において、研削砥石３４でフィラー１３０が添加された熱圧着シート１１０－２の中央部１１１を研削する際に、熱圧着シート１１０－２に添加されて混合されたフィラー１３０により、研削砥石３４をドレッシングすることで、研削砥石３４の研削加工品質の悪化を抑制でき、これにより、ＴＡＩＫＯ研削で形成されるリング状補強部１０８の内周上面角部に形成されるチッピング２００をより好適に抑制できるという作用効果を奏するものとなる。

【0073】

〔実施形態３〕
本発明の実施形態３に係るウェーハの研削方法を図面に基づいて説明する。図１８は、実施形態３及び実施形態４に係るウェーハの研削方法の熱圧着シート固定ステップ１００１で熱圧着する熱圧着シート１１０－３を示す断面図である。図１８は、実施形態１及び実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0074】

実施形態３に係るウェーハの研削方法は、実施形態１，２において、熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に固定する熱圧着シート１１０，１１０－２を、図１８に示す熱圧着シート１１０－３に変更し、熱圧着シート１１０－３のフィラー無し層１３２が積層された側の面をウェーハ１００の裏面１０２に向けて、ウェーハ１００の裏面１０２に熱圧着シート１１０－３を固定するように変更したものであり、その他の構成は実施形態１，２と同様である。

【0075】

実施形態３で使用する熱圧着シート１１０－３は、図１８に示すように、フィラー有り層１３１と、フィラー無し層１３２と、が積層されて形成され、熱圧着シート１１０－３の少なくとも一方の面側にフィラー無し層１３２が積層されたものである。ここで、フィラー有り層１３１は、実施形態２の熱圧着シート１１０－２と同様に、実施形態１で使用する熱圧着シート１１０を構成する熱可塑性樹脂と同様の熱可塑性樹脂にフィラー１３０が添加されたフィラー１３０入りの熱可塑性樹脂がシート状（層状）に形成されたものである。また、フィラー無し層１３２は、実施形態１で使用する熱圧着シート１１０を構成する熱可塑性樹脂と同様の熱可塑性樹脂にフィラー１３０が添加されていないフィラー１３０無しの熱可塑性樹脂がシート状（層状）に形成されたものである。

【0076】

なお、実施形態３で使用する熱圧着シート１１０－３は、図１８に示す例では、フィラー有り層１３１とフィラー無し層１３２とがそれぞれ１枚ずつ積層されているが、本発明ではこれに限定されず、フィラー有り層１３１とフィラー無し層１３２とがそれぞれ少なくとも１枚ずつ積層されており、かつ、熱圧着シート１１０－３の少なくとも一方の面側にフィラー無し層１３２が積層されていれば、フィラー有り層１３１が複数枚積層されていてもよく、フィラー無し層１３２が複数枚積層されていてもよい。

【0077】

実施形態３に係るウェーハの研削方法では、ウェーハ１００の裏面１０２にフィラー有り層１３１が接触しないため、ウェーハ１００の裏面１０２にフィラー１３０が接触しないので、フィラー１３０によってウェーハ１００の裏面１０２側が汚染してしまう恐れを抑制できる。

【0078】

実施形態３に係るウェーハの研削方法の研削ステップ１００４は、実施形態１に係るウェーハの研削方法の研削ステップ１００４において、熱圧着シート１１０の中央部１１１を削り取ることに代えて、熱圧着シート１１０－３のフィラー１３０が添加されたフィラー有り層１３１とフィラー１３０が添加されていないフィラー無し層１３２の中央部１１１を削り取るように変更したものである。実施形態３に係るウェーハの研削方法は、研削ステップ１００４において、研削砥石３４でフィラー１３０が添加されたフィラー有り層１３１の中央部１１１を研削する際に、フィラー有り層１３１に添加されて混合されたフィラー１３０により、研削砥石３４をドレッシングするドレッシング効果が得られる。

【0079】

以上のような構成を有する実施形態３に係るウェーハの研削方法は、実施形態１，２において、熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に固定する熱圧着シート１１０，１１０－２を、さらにフィラー有り層１３１とフィラー無し層１３２とが積層されて形成され、少なくとも一方の面側にフィラー無し層１３２が積層された熱圧着シート１１０－３に変更し、熱圧着シート１１０－３のフィラー無し層１３２が積層された側の面をウェーハ１００の裏面１０２に向けて、ウェーハ１００の裏面１０２に熱圧着シート１１０－３を固定するように変更したものである。このため、実施形態３に係るウェーハの研削方法は、実施形態１，２と同様の効果を奏するとともに、さらに、研削ステップ１００４において研削砥石３４でフィラー有り層１３１を研削する際に研削砥石３４をドレッシングすることで研削砥石３４の研削加工品質の悪化を抑制できることを維持しながら、フィラー無し層１３２によりウェーハ１００の裏面１０２にフィラー１３０が接触することを回避して、フィラー１３０によってウェーハ１００の裏面１０２側が汚染してしまう恐れを抑制できる、という作用効果を奏するものとなる。

【0080】

〔実施形態４〕
本発明の実施形態４に係るウェーハの研削方法を図面に基づいて説明する。実施形態４に係るウェーハの研削方法は、実施形態３において、熱圧着シート固定ステップ１００１で熱圧着シート１１０－３のフィラー無し層１３２側をウェーハ１００の裏面１０２に向けて固定することに代えて、熱圧着シート１１０－３のフィラー無し層１３２側をウェーハ１００の裏面１０２とは反対側の面に向けて、ウェーハ１００の裏面１０２に熱圧着シート１１０－３を固定するように変更したものであり、その他の構成は実施形態３と同様である。

【0081】

実施形態４に係るウェーハの研削方法では、保持ステップ１００３で、搬送パッドにより、熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に熱圧着して固定した熱圧着シート１１０－４のフィラー無し層１３２側を上方から吸着保持して、チャックテーブル２０の保持面２３上に搬送するので、搬送パッドにフィラー有り層１３１が接触しないため、搬送パッドにフィラー１３０が接触しないので、フィラー１３０によって搬送パッドが汚染してしまう恐れを抑制できる。

【0082】

実施形態４に係るウェーハの研削方法は、実施形態３に係るウェーハの研削方法と同様に、研削ステップ１００４において、研削砥石３４でフィラー１３０が添加された熱圧着シート１１０－３のフィラー有り層１３１の中央部１１１を研削する際に、フィラー有り層１３１に添加されて混合されたフィラー１３０により、研削砥石３４をドレッシングするドレッシング効果が得られる。

【0083】

以上のような構成を有する実施形態４に係るウェーハの研削方法は、実施形態３において、熱圧着シート固定ステップ１００１で熱圧着シート１１０－３のフィラー無し層１３２側をウェーハ１００の裏面１０２に向けて固定することに代えて、熱圧着シート１１０－３のフィラー無し層１３２側をウェーハ１００の裏面１０２とは反対側の面に向けて、ウェーハ１００の裏面１０２に熱圧着シート１１０－３を固定するように変更したものである。このため、実施形態４に係るウェーハの研削方法は、実施形態１，２と同様の効果を奏するとともに、さらに、研削ステップ１００４において研削砥石３４でフィラー有り層１３１を研削する際に研削砥石３４をドレッシングすることで研削砥石３４の研削加工品質の悪化を抑制できることを維持しながら、フィラー無し層１３２によりウェーハ１００の裏面１０２とは反対側の露出側を上方から吸着保持する搬送パッドにフィラー１３０が接触することを回避して、フィラー１３０によって搬送パッドが汚染してしまう恐れを抑制できる、という作用効果を奏するものとなる。

【0084】

〔実施形態５〕
本発明の実施形態５に係るウェーハの研削方法を図面に基づいて説明する。図１９は、実施形態５に係るウェーハの研削方法の熱圧着シート固定ステップ１００１で熱圧着する熱圧着シート１１０－４を示す断面図である。図１９は、実施形態１、実施形態２、実施形態３及び実施形態４と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0085】

実施形態５に係るウェーハの研削方法は、実施形態１，２，３，４において、熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に固定する熱圧着シート１１０，１１０－２，１１０－３を、図１９に示す熱圧着シート１１０－４に変更したものであり、その他の構成は実施形態１，２，３，４と同様である。

【0086】

実施形態５で使用する熱圧着シート１１０－４は、図１９に示すように、フィラー有り層１３１と、フィラー無し層１３２と、が積層されて形成され、熱圧着シート１１０－４の両面側にフィラー無し層１３２が積層されたものである。なお、実施形態５で使用する熱圧着シート１１０－４は、図１９に示す例では、フィラー有り層１３１が１枚とフィラー無し層１３２が２枚とが積層されているが、本発明ではこれに限定されず、フィラー有り層１３１が少なくとも１枚積層されており、かつ、熱圧着シート１１０－４の両面側にフィラー無し層１３２が積層されていれば、フィラー有り層１３１が複数枚積層されていてもよく、フィラー無し層１３２が３枚以上積層されていてもよい。

【0087】

実施形態５に係るウェーハの研削方法では、実施形態３と同様に、ウェーハ１００の裏面１０２にフィラー有り層１３１が接触しないため、ウェーハ１００の裏面１０２にフィラー１３０が接触しないので、フィラー１３０によってウェーハ１００の裏面１０２側が汚染してしまう恐れを抑制できる。また、実施形態５に係るウェーハの研削方法では、実施形態４と同様に、保持ステップ１００３で、搬送パッドにより、熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に熱圧着して固定した熱圧着シート１１０－４のフィラー無し層１３２側を上方から吸着保持して、チャックテーブル２０の保持面２３上に搬送するので、搬送パッドにフィラー有り層１３１が接触しないため、搬送パッドにフィラー１３０が接触しないので、フィラー１３０によって搬送パッドが汚染してしまう恐れを抑制できる。

【0088】

実施形態５に係るウェーハの研削方法は、実施形態３，４に係るウェーハの研削方法と同様に、研削ステップ１００４において、研削砥石３４でフィラー１３０が添加された熱圧着シート１１０－４のフィラー有り層１３１の中央部１１１を研削する際に、フィラー有り層１３１に添加されて混合されたフィラー１３０により、研削砥石３４をドレッシングするドレッシング効果が得られる。

【0089】

以上のような構成を有する実施形態５に係るウェーハの研削方法は、実施形態１，２，３，４において、熱圧着シート固定ステップ１００１でウェーハ１００の裏面１０２に固定する熱圧着シート１１０，１１０－２，１１０－３を熱圧着シート１１０－４に変更したものである。このため、実施形態５に係るウェーハの研削方法は、実施形態１，２と同様の効果を奏するとともに、さらに、研削ステップ１００４において研削砥石３４でフィラー有り層１３１を研削する際に研削砥石３４をドレッシングすることで研削砥石３４の研削加工品質の悪化を抑制できることを維持しながら、実施形態３と同様に、フィラー無し層１３２によりウェーハ１００の裏面１０２にフィラー１３０が接触することを回避して、フィラー１３０によってウェーハ１００の裏面１０２側が汚染してしまう恐れを抑制できるとともに、実施形態４と同様に、フィラー無し層１３２によりウェーハ１００の裏面１０２とは反対側の露出側を上方から吸着保持する搬送パッドにフィラー１３０が接触することを回避して、フィラー１３０によって搬送パッドが汚染してしまう恐れを抑制できる、という作用効果を奏するものとなる。

【0090】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0091】

２０ チャックテーブル
２３ 保持面
２５ 回転軸
３０ 研削ユニット
３１ スピンドル
３２ 研削ホイール
３３ 基台
３４ 研削砥石
３５ 直径
３６ 回転軸
１００ ウェーハ
１０１ 表面
１０２ 裏面
１０４ デバイス領域
１０５ 外周余剰領域
１０７ 円形凹部
１０８ リング状補強部
１０９ 底面
１１０，１１０－２，１１０－３，１１０－４ 熱圧着シート
１１１ 中央部
１２０ 金属膜
１３０ フィラー
１３１ フィラー有り層
１３２ フィラー無し層
１００１ 熱圧着シート固定ステップ
１００２ 保護部材配設ステップ
１００３ 保持ステップ
１００４ 研削ステップ
１００５ エッチングステップ
１００６ 金属膜形成ステップ
１００７ 剥離ステップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】