特開 2024-164484 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024164484

(43)【公開日】2024-11-27

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   B23Q 17/00 20060101AFI20241120BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20241120BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20241120BHJP

【ＦＩ】

B23Q17/00 E

H01L21/304 622Q

H01L21/304 622L

B24B41/06 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023079988

(22)【出願日】2023-05-15

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】中山 英和

【テーマコード（参考）】

3C029

3C034

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C029FF06

3C034AA08

3C034BB81

5F057AA05

5F057AA20

5F057AA31

5F057BA11

5F057CA14

5F057CA25

5F057DA08

5F057DA11

5F057FA32

5F057FA33

5F057FA34

5F057FA37

5F057FA46

5F057GA27

(57)【要約】

【課題】加工装置における一連の動作中において、特定の部位について重点的に動作を確認できるようにする。
【解決手段】ウェーハ１００を保持する保持機構５と、ウェーハ１００を加工する加工機構３０、３１と、ウェーハ１００を搬送パッド１７１、１７３で保持し搬送する搬送機構１７０、１７２と、洗浄具１５８を移動させウェーハ１００を洗浄する洗浄機構１５６と、タッチパネル６０と、を備え、ウェーハ１００を加工する加工装置１であって、タッチパネル６０に配置され搬送パッド１７１、１７３または洗浄具１５８が移動する所定の範囲で１７１、１７３または洗浄具１５８を往復させる往復ボタン６１４と、所定の範囲を設定する範囲設定部７１と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェーハを保持する保持機構と、ウェーハを加工する加工機構と、ウェーハを搬送パッドで保持し搬送する搬送機構と、洗浄具を移動させウェーハを洗浄する洗浄機構と、タッチパネルと、を備え、ウェーハを加工する加工装置であって、
該タッチパネルに配置され該搬送パッドまたは該洗浄具が移動する所定の範囲で該搬送パッドまたは該洗浄具を往復させる往復ボタンと、該所定の範囲を設定する範囲設定部と、を備える、加工装置。

【請求項2】

該往復ボタンは、一時停止ボタンと、該所定の範囲において一方から他方に順方向に移動させる順方向ボタンと、該所定の範囲において該他方から該一方に逆方向に移動させる逆方向ボタンと、からなる、請求項１記載の加工装置。

【請求項3】

該範囲設定部は、該タッチパネルに該所定の範囲を表示する移動範囲イラストと、該移動範囲イラストの該所定の範囲をドラッグ指定させる指定部と、からなる請求項１記載の加工装置。

【請求項4】

該範囲設定部は、該タッチパネルに配置され該一時停止ボタンで一時停止させたスタート位置を記憶させるスタート位置記憶ボタンと、該タッチパネルに配置され該一時停止ボタンで一時停止させたエンド位置を記憶させるエンド位置記憶ボタンと、からなる請求項２記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハを加工する加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ウェーハを研削する研削装置をはじめとする各種の加工装置では、ウェーハを加工する際にウェーハが装置内を移動する経路（ルート）が設定されている。そして、加工装置内の特定の部位を選択することにより、選択された部位で限定されたルートを構成し、特定の部位に注目してその動作、加工結果等についての確認を可能としている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－１３２１８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、特定の部位の動作を重点的に確認したい場合においても、選択した部位を含む一連の動作を確認しているため、確認に時間がかかるという問題がある。したがって、一連の動作中において、特定の部位について重点的に動作等を確認できるようにするという解決すべき課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本加工装置は、ウェーハを保持する保持機構と、ウェーハを加工する加工機構と、ウェーハを搬送パッドで保持し搬送する搬送機構と、洗浄具を移動させウェーハを洗浄する洗浄機構と、タッチパネルと、を備え、ウェーハを加工する加工装置であって、該タッチパネルに配置され該搬送パッドまたは該洗浄具が移動する所定の範囲で該搬送パッドまたは該洗浄具を往復させる往復ボタンと、該所定の範囲を設定する範囲設定部と、を備える。
該往復ボタンは、一時停止ボタンと、該所定の範囲において一方から他方に順方向に移動させる順方向ボタンと、該所定の範囲において該他方から該一方に逆方向に移動させる逆方向ボタンと、からなるとよい。
該範囲設定部は、該タッチパネルに該所定の範囲を表示する移動範囲イラストと、該移動範囲イラストの該所定の範囲をドラッグ指定させる指定部と、からなるとよい。
該範囲設定部は、該タッチパネルに配置され該一時停止ボタンで一時停止させたスタート位置を記憶させるスタート位置記憶ボタンと、該タッチパネルに配置され該一時停止ボタンで一時停止させたエンド位置を記憶させるエンド位置記憶ボタンと、からなってもよい。

【発明の効果】

【0006】

本加工装置では、往復ボタンをタッチすることにより、搬送パッド又は洗浄具を所定の範囲内において往復移動させることができるため、特定の部位の動作を繰り返し確認することができる。したがって、例えば搬送中にウェーハを破損させるなどのトラブルが発生した際に、ウェーハの破損が発生したことが推測される所定の範囲で搬送パッドを往復移動させることにより、破損した要因を確認しやすくする。また、洗浄具を所定の範囲で往復させることにより、例えば洗浄ノズルが正常に動作しているかを確認しやすくする。
往復ボタンが、一時停止ボタン、順方向ボタン及び逆方向ボタンを備えることにより、オペレータがこれらのボタンをタッチすることにより、搬送パッド又は洗浄具を所定の範囲内で順方向又は逆方向に移動させ、その範囲の任意の位置で動作を止めることができる。したがって、搬送パッド又は洗浄具の動作をより詳細に把握することができる。
範囲設定部が、所定の範囲を表示する移動範囲イラストと、移動範囲イラストの所定の範囲をドラッグ指定する指定部とを備えることにより、搬送パッド又は洗浄具を実際に動作させることなく、タッチパネル上のみで所定の移動範囲を設定することができ、オペレータの負担を軽減することができる。
範囲設定部が、一時停止ボタンで一時停止させた位置を記憶させるスタート位置記憶ボタンと、一時停止ボタンで一時停止させたエンド位置を記憶させるエンド位置記憶ボタンとを備えることにより、搬送パッド又は洗浄具を動作させてオペレータが実際に見ながら所定の範囲を設定することができ、見たいところをよりきめ細かく範囲設定することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】加工装置の例を示す斜視図である。

【図2】搬入移動範囲イラストの例を示す説明図である。

【図3】搬出移動範囲イラストの例を示す説明図である。

【図4】洗浄移動範囲イラストの例を示す説明図である。

【図5】往復選択画面の例を示す説明図である。

【図6】搬入往復動作画面の例を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

１ 加工装置の構成
図１に示す加工装置１は、粗研削機構３０及び仕上げ研削機構３１を備え、いずれかのチャックテーブル５上に保持されたウェーハ１００を、粗研削機構３０及び仕上げ研削機構３１により研削する装置である。

【0009】

図１に示すウェーハ１００は、被加工物の一例であり、例えば円形の半導体ウェーハである。ウェーハ１００の表面１０１には、図示しないデバイスが形成されている。ウェーハ１００の表面１０１は、図１においては下方を向いており、保護テープ１０５が貼着されることによって保護されている。ウェーハ１００の裏面１０４は、研削処理が施される被加工面となる。

【0010】

加工装置１は、第１の装置ベース１０と、第１の装置ベース１０の後方（＋Ｙ方向側）に配置された第２の装置ベース１１とを有している。第１の装置ベース１０上は、ウェーハ１００の搬出入等が行われる領域である搬出入領域４０１となっている。第２の装置ベース１１上は、加工領域４０２となっている。この加工領域４０２では、ウェーハ１００を加工する加工機構である粗研削機構３０または仕上げ研削機構３１によって、チャックテーブル５に保持されたウェーハ１００が加工される。

【0011】

第１の装置ベース１０の正面側（－Ｙ方向側）には、第１のカセットステージ１６０及び第２のカセットステージ１６２が設けられている。第１のカセットステージ１６０には、加工前のウェーハ１００が収容される第１のカセット１６１が載置されている。第２のカセットステージ１６２には、加工後のウェーハ１００が収容される第２のカセット１６３が載置されている。

【0012】

第１のカセット１６１及び第２のカセット１６３は、内部に複数の棚を備えており、各棚に一枚ずつウェーハ１００が収容されている。すなわち、第１のカセット１６１及び第２のカセット１６３は、複数のウェーハ１００を棚状に収容する。

【0013】

第１のカセット１６１及び第２のカセット１６３の開口（図示せず）は、＋Ｙ方向側を向いている。これらの開口の＋Ｙ方向側には、搬送機構の一例である搬送ロボット１５５が配設されている。搬送ロボット１５５は、昇降及び水平移動可能なアーム部１５５ａと、アーム部１５５ａの先端に装着されウェーハ１００を保持する保持部１５５ｂとを備えている。搬送ロボット１５５は、保持部１５５ｂが第１のカセット１６１に進入して加工前のウェーハ１００を吸着して取り出し、搬送ロボット１５５に隣接する位置に設けられた仮置き機構１５２の仮置きテーブル１５４に載置する。また、搬送ロボット１５５は、加工後のウェーハ１００を保持部１５５ｂが保持して第２のカセット１６３に進入し、保持部１５５ｂによる保持を解除することにより、加工後のウェーハ１００を第２のカセット１６３に搬入（収納）する。

【0014】

仮置き機構１５２は、第１のカセット１６１から取り出されたウェーハ１００を仮置きするために用いられる。仮置き機構１５２は、仮置きテーブル１５４及び位置合わせ機構１５３を有している。位置合わせ機構１５３は、仮置きテーブル１５４を囲むように外側に配置される複数の位置合わせピンと、位置合わせピンを仮置きテーブル１５４の径方向に移動させるスライダとを備え、位置合わせピンが仮置きテーブル１５４の径方向中央に向かって移動することにより、複数の位置合わせピンを結ぶ円が縮径され、仮置きテーブル１５４に裏面１０４を上にして載置されたウェーハ１００を、所定の位置に位置合わせする。

【0015】

仮置き機構１５２に隣接する位置には、搬送機構の一例である搬入機構１７０が設けられている。搬入機構１７０は、仮置き機構１５２に仮置きされたウェーハ１００を、チャックテーブル５に搬入する。搬入機構１７０は、ウェーハ１００の裏面１０４を吸引保持する吸引面を有する搬送パッド１７１を備えている。搬送パッド１７１は、不図示のモータによって駆動されて回転軸１７１ａを軸として旋回可能となっている。また、このモータ及び回転軸１７１ａは、例えばエアシリンダによって駆動されてＺ軸方向に昇降可能ともなっている。搬入機構１７０は、仮置きテーブル１５４に仮置きされたウェーハ１００を搬送パッド１７１によって吸引保持して、仮置き機構１５２の近傍に位置しているチャックテーブル５へ搬送し、その保持面５０に載置する。

【0016】

チャックテーブル５は、ウェーハ１００を保持する保持機構の一例であり、ウェーハ１００を吸引保持する保持面５０を備えている。保持面５０は、図示しない吸引源に連通し、保護テープ１０５を介してウェーハ１００を吸引保持することが可能である。チャックテーブル５は、保持面５０によってウェーハ１００を吸引保持した状態で、保持面５０の中心を通りＺ軸方向に延在する中心軸を中心として回転可能である。

【0017】

本実施形態では、第２の装置ベース１１上に配設されたターンテーブル６の上面に、３つのチャックテーブル５が、ターンテーブル６の中心を中心とする円上に等間隔に配設されている。ターンテーブル６の中心には、ターンテーブル６を自転させるための図示しない回転軸が配設されている。ターンテーブル６は、この回転軸によって、Ｚ軸方向に延びる軸心を中心に自転することができる。ターンテーブル６が自転することで、３つのチャックテーブル５が公転する。これにより、チャックテーブル５を、仮置き機構１５２の近傍、粗研削機構３０の下方、及び、仕上げ研削機構３１の下方に、順次、位置付けることができる。

【0018】

第２の装置ベース１１上の後方（＋Ｙ方向側）には、第１のコラム１２が立設されている。第１のコラム１２の前面には、ウェーハ１００を粗研削する粗研削機構３０及び粗研削機構３０を研削送りする粗研削送り機構２０が配設されている。粗研削機構３０は、加工具を用いてウェーハ１００を加工する加工機構の一例である。

【0019】

粗研削送り機構２０は、Ｚ軸方向に平行な一対のガイドレール２０１、このガイドレール２０１上をスライドする昇降テーブル２０３、ガイドレール２０１と平行なボールネジ２００、ボールネジ２００を回転駆動するモータ２０２、及び、昇降テーブル２０３の前面（表面）に取り付けられたホルダ２０４を備えている。ホルダ２０４は、粗研削機構３０を保持している。

【0020】

昇降テーブル２０３は、ガイドレール２０１にスライド可能に設置されている。図示しないナット部が、昇降テーブル２０３の後面側（裏面側）に固定されている。このナット部には、ボールネジ２００が螺合されている。モータ２０２は、ボールネジ２００の一端部に連結されている。

【0021】

粗研削送り機構２０では、モータ２０２がボールネジ２００を回転させることにより、昇降テーブル２０３がガイドレール２０１に沿ってＺ軸方向に移動する。これにより、昇降テーブル２０３に取り付けられたホルダ２０４、及び、ホルダ２０４に保持された粗研削機構３０も、昇降テーブル２０３とともにＺ軸方向に移動する。このようにして、粗研削送り機構２０は、粗研削機構３０をＺ軸方向に沿って研削送りする。

【0022】

粗研削機構３０は、ホルダ２０４に固定されたスピンドルハウジング３０１、スピンドルハウジング３０１に回転可能に保持されたスピンドル３００、スピンドル３００を回転駆動するモータ３０２、スピンドル３００の下端に取り付けられたホイールマウント３０３、及び、ホイールマウント３０３の下面に着脱可能に接続された研削ホイール３０４を備えている。

【0023】

スピンドルハウジング３０１は、Ｚ軸方向に延びるようにホルダ２０４に保持されている。スピンドル３００は、チャックテーブル５の保持面５０と直交するようにＺ軸方向に延び、スピンドルハウジング３０１に回転可能に支持されている。

【0024】

モータ３０２は、スピンドル３００の上端側に連結されている。このモータ３０２により、スピンドル３００は、Ｚ軸方向に延びる回転軸を中心として回転する。

【0025】

ホイールマウント３０３は、円板状に形成されており、スピンドル３００の下端（先端）に固定されて、スピンドル３００の回転に応じて回転する。ホイールマウント３０３は、研削ホイール３０４を支持している。

【0026】

研削ホイール３０４は、ホイールマウント３０３と略同径を有するように形成されている。研削ホイール３０４は、アルミニウム合金等の金属材料から形成された円環状のホイール基台（環状基台）３０５を含む。ホイール基台３０５の下面には、全周にわたって、略直方体形状の複数の粗研削砥石３０６が、環状に配置及び固定されている。粗研削砥石３０６は、スピンドル３００の回転に伴い回転し、チャックテーブル５に保持されたウェーハ１００の裏面１０４を研削する。粗研削砥石３０６は、粒径が比較的大きな砥粒を含む砥石である。

【0027】

スピンドル３００の内部には、Ｚ軸方向に延びる研削水流路が形成されており、この研削水流路に図示しない研削水供給機構が連通している（ともに図示せず）。研削水供給機構からスピンドル３００に対して供給される研削水は、研削水流路の下端の開口から粗研削砥石３０６に向かって下方に噴出し、粗研削砥石３０６とウェーハ１００との接触部位に到達する。

【0028】

粗研削機構３０の下方に配置されたチャックテーブル５に隣接する位置には、第１ハイトゲージ５１が配設されている。第１ハイトゲージ５１は、たとえば粗研削中に、ウェーハ１００の厚みを接触式または非接触式にて測定する。

【0029】

第２の装置ベース１１上の後方には、第２のコラム１３が、Ｘ軸方向に沿って第１のコラム１２に隣接するように立設されている。第２のコラム１３の前面には、ウェーハ１００を仕上げ研削する仕上げ研削機構３１、及び、仕上げ研削機構３１を研削送りする仕上げ研削送り機構２１が配設されている。仕上げ研削機構３１は、加工具を用いてウェーハ１００を加工する加工機構の一例である。

【0030】

仕上げ研削送り機構２１は、粗研削送り機構２０と同様の構成を有しており、仕上げ研削機構３１をＺ軸方向に沿って研削送りすることができる。仕上げ研削機構３１は、粗研削砥石３０６に代えて仕上げ研削砥石３０７を備えていることを除いて、粗研削機構３０と同様の構成を有している。仕上げ研削砥石３０７は、粒径が比較的小さな砥粒を含む砥石である。

【0031】

仕上げ研削機構３１の下方に配置されたチャックテーブル５に隣接する位置には、第２ハイトゲージ５２が配設されている。第２ハイトゲージ５２は、たとえば仕上げ研削中に、ウェーハ１００の厚みを接触式または非接触式にて測定する。

【0032】

仕上げ研削後のウェーハ１００は、搬送機構の一例である搬出機構１７２によって搬出される。搬出機構１７２は、チャックテーブル５に保持されたウェーハ１００を洗浄機構１５６に搬送する。

【0033】

搬出機構１７２は、ウェーハ１００の裏面１０４を吸引保持する吸引面を有する搬送パッド１７３を備えている。搬出機構１７２は、チャックテーブル５に載置されている仕上げ研削後のウェーハ１００の裏面１０４を、搬送パッド１７３によって吸引保持する。搬送パッド１７３は、不図示のモータによって駆動されて回転軸１７３ａを軸として旋回可能となっている。また、このモータ及び回転軸１７３ａは、例えばエアシリンダによって駆動されてＺ軸方向に昇降可能となっている。搬出機構１７２は、ウェーハ１００をチャックテーブル５から搬出して、枚葉式の洗浄機構１５６のスピンナテーブル１５７に搬送する。

【0034】

洗浄機構１５６は、ウェーハ１００を洗浄するスピンナ洗浄ユニットである。洗浄機構１５６は、ウェーハ１００を保持するスピンナテーブル１５７、及び、スピンナテーブル１５７に向けて洗浄水及び乾燥エアを噴射する洗浄具である洗浄ノズル１５８を備えている。洗浄ノズル１５８は、不図示のモータによって駆動されてＺ軸方向の回転軸１５８ａを軸として旋回移動可能であり、下部に開口を有する噴射部１５８ｂから洗浄水及び乾燥エアを噴射可能となっている。また、スピンナテーブル１５７の上面は、ウェーハ１００を保持する保持面１５９を構成している。

【0035】

洗浄機構１５６では、ウェーハ１００を保持したスピンナテーブル１５７が回転するとともに、洗浄ノズル１５８の噴射部１５８ｂからウェーハ１００の裏面１０４に向けて洗浄水が噴射されて、裏面１０４がスピンナ洗浄される。その後、ウェーハ１００に対し、洗浄ノズル１５８とは別の図示しないエアノズルから乾燥エアが吹き付けられて、ウェーハ１００が乾燥される。

【0036】

洗浄機構１５６によって洗浄されたウェーハ１００は、搬送ロボット１５５により、第２のカセットステージ１６２上の第２のカセット１６３に搬入される。

【0037】

また、加工装置１は、第１の装置ベース１０及び第２の装置ベース１１を覆う筐体１５を備えている。筐体１５の前面にはタッチパネル６０が設置されている。タッチパネル６０には、加工装置１に関する加工条件等の各種情報が表示される。また、タッチパネル６０は、加工条件等の各種情報を設定するためにも用いられる。このように、タッチパネル６０は、情報を入力するための入力機構として機能するとともに、情報を表示するための表示機構としても機能する。

【0038】

加工装置１は、その内部に制御部７０を有している。制御部７０は、制御プログラムに従って演算処理を行うＣＰＵ、及び、メモリ等の記憶媒体等を備えている。制御部７０は、各種の処理を実行し、加工装置１の各構成要素を統括制御する。

【0039】

制御部７０は、搬送ロボット１５５を用いてウェーハ１００を第１のカセット１６１から取り出して仮置き機構１５２に搬送すること、搬入機構１７０を用いてウェーハ１００を仮置き機構１５２からチャックテーブル５に搬入すること、粗研削機構３０及び仕上げ研削機構３１を用いてウェーハ１００を研削加工すること、搬出機構１７２を用いてウェーハ１００をチャックテーブル５から洗浄機構１５６に搬送すること、洗浄機構１５６を用いてウェーハ１００を洗浄すること、及び、搬送ロボット１５５を用いて洗浄後のウェーハ１００を第２のカセット１６３に収納することを、フルオートで制御することができる。

【0040】

加工装置１の内部には、搬送パッド１７１、搬送パッド１７３、洗浄ノズル１５８の移動範囲を設定する範囲設定部７１を備えている。範囲設定部７１は、少なくともメモリ等の記憶媒体を備えている。

【0041】

２ 加工装置の基本動作
加工装置１において、第１のカセット１６１に収容されたウェーハ１００の裏面１０４を研削する場合は、搬送ロボット１５５の保持部１５５ｂによってウェーハ１００の裏面１０４が吸引保持され、仮置きテーブル１５４に搬送される。そして、位置合わせ機構１５３によってウェーハ１００が所定の位置に位置合わせされる。

【0042】

次に、搬入機構１７０の搬送パッド１７１によってウェーハ１００の裏面１０４側が吸引保持され、回転軸１７１ａを軸として搬送パッド１７１が旋回することにより、搬出入領域４０１に近い位置にあるチャックテーブル５にウェーハ１００が搬送され、保持面５０に保護テープ１０５側が載置され、吸引保持される。

【0043】

次に、ターンテーブル６が所定角度回転することにより、ウェーハ１００が粗研削機構３０の下方に移動する。そして、モータ３０２が研削ホイール３０４を回転させるとともに、粗研削送り機構２０が粗研削機構３０を下方に研削送りすることにより、回転する粗研削砥石３０６がウェーハ１００の裏面１０４に接触して粗研削が行われる。粗研削中は第１ハイトゲージ５１によってウェーハ１００の厚みが測定され、その測定値が所定の厚みに達すると、粗研削送り機構２０が粗研削機構３０を上昇させて粗研削を終了する。

【0044】

次に、ターンテーブル６が所定角度回転することにより、ウェーハ１００が仕上げ研削機構３１の下方に移動する。そして、仕上げ研削砥石３０７が回転しながら仕上げ研削送り機構２１が仕上げ研削機構３１を下方に研削送りすることにより、回転する仕上げ研削砥石３０７がウェーハ１００の裏面１０４に接触して仕上げ研削が行われる。仕上げ研削中は第２ハイトゲージ５２によってウェーハ１００の厚みが測定され、その測定値が所定の厚みに達すると、仕上げ研削送り機構２１が仕上げ研削機構３１を上昇させて仕上げ研削を終了する。

【0045】

次に、ターンテーブル６が回転して仕上げ研削後のウェーハ１００を保持したチャックテーブル５が搬出入領域４０１に近い位置に移動する。そして、搬出機構１７２の搬送パッド１７３がウェーハ１００の裏面１０４を吸引保持して回転軸１７３ａを軸として旋回し、ウェーハ１００の表面１０１に貼着された保護テープ１０５側をスピンナテーブル１５７の保持面１５９において吸引保持する。その状態でスピンナテーブル１５７が回転しながら、洗浄ノズル１５８が回転軸１５８ａを軸として旋回して噴射部１５８ｂから高圧水を噴射することにより、ウェーハ１００の裏面１０４が洗浄され、研削屑が除去される。その後、スピンナテーブル１５７が回転するとともに、洗浄ノズル１５８が回転軸１５８ａを軸として旋回しながら噴射部１５８ｂから高圧エアを噴射することにより、ウェーハ１００が乾燥される。

【0046】

ウェーハ１００の洗浄及び乾燥が行われた後は、搬送ロボット１５５の保持部１５５ｂが保護テープ１０５を吸引保持し、ウェーハ１００を第２のカセット１６３に収容する。

【0047】

３ 特定部位の動作確認
加工装置１において以上のようにして行われる一連の動作において、ウェーハ１００の搬送中にウェーハ１００に破損が見られるときや、ウェーハ１００の加工前の搬送に問題がないか否かを確認しておきたい場合など、オペレータが特定の部位の動作を確認したい場合がある。特に、ウェーハ１００の搬送においては、搬送先にウェーハ１００を載置する際にウェーハ１００に衝撃が加わるのを防ぐ必要がある。また、研削屑をウェーハ１００から除去するために、洗浄機構１５６においてウェーハ１００の裏面１０４の全面が万遍なく洗浄される必要がある。そこで、オペレータは、ウェーハ１００の加工前や、ウェーハ１００の加工の合間等、加工が行われていない間に、以下のようにしてタッチパネル６０を操作することにより、加工装置１の特定の部位、特に、搬入機構１７０の搬送パッド１７１、搬出機構１７２の搬送パッド１７３及び洗浄機構１５６の洗浄ノズル１５８を所定の範囲だけ往復動作させ、その部位の動作を繰り返し確認する。

【0048】

搬入機構１７０の搬送パッド１７１、搬出機構１７２の搬送パッド１７３及び洗浄機構１５６の洗浄ノズル１５８の移動に関する所定の範囲は、タッチパネル６０からの入力によってオペレータがあらかじめ指定可能であり、タッチパネル６０に表示される図２－図４に示す搬入移動範囲イラスト６２、搬出移動範囲イラスト６３、又は洗浄移動範囲イラスト６４を見ながら設定する方法（以下、「イラスト方式」という。）と、図５に示す搬入往復動作画面６５、不図示の搬出往復動作画面、又は、不図示の洗浄往復動作画面をタッチパネル６０に表示させ、この搬入往復動作画面６５の各ボタンをタッチして搬送パッド１７１、搬送パッド１７３、又は、洗浄ノズル１５８を実際に動かしながら設定する方法（以下、「稼働方式」という。）と、がある。

【0049】

（１）イラスト方式による移動範囲の設定及び動作の確認
ここでは、イラスト方式による搬送パッド１７１、搬送パッド１７３及び洗浄ノズル１５８についての移動に関する所定の範囲の設定と、その設定に基づく動作の確認について説明する。
（ａ）搬入機構
イラスト方式によってオペレータが搬入機構１７０を構成する搬送パッド１７１の往復移動範囲を設定しようとする場合は、タッチパネル６０において所定のボタンをタッチする。そうすると、制御部７０による制御の下で、図１に示す範囲設定部７１が、図２の搬入移動範囲イラスト６２をタッチパネル６０に表示する。図２の例においては、搬入機構１７０を構成する搬送パッド１７１の移動範囲として、仮置きテーブル１５４から搬出入領域４０１側に位置するチャックテーブル５までの移動経路６２１が逆Ｕ字状の太線によって表示されている。すなわち、搬送パッド１７１は、仮置きテーブル１５４に載置されたウェーハ１００を保持してから上昇し、その状態から回転軸１７１ａを軸として旋回してチャックテーブル５の上方まで水平移動し、そこから下降してウェーハ１００をチャックテーブル５に載置する。

【0050】

図２に示された搬送パッド１７１の移動経路６２１のうち、斜線が施された四角形で示された指定部６２２は、搬送パッド１７１を往復動作させることができる範囲である。図２の例では、チャックテーブル５の上面である保持面５０からその数センチメートル上方までが所定の往復範囲として設定されている。制御部７０は、範囲設定部７１における指定部６２２の情報を参照し、搬送パッド１７１を、チャックテーブル５の保持面５０に接する位置である下端６２５と、その数センチメートル上方の位置である上端６２４との間で上下方向に往復移動させることが可能となる。

【0051】

この指定部６２２は、オペレータがタッチパネル６０上で指定部６２２を示す四角形のいずれかの辺をタッチしドラッグすることによって移動範囲を設定可能である。例えば、往復範囲を上方に広げたい場合は、指定部６２２の四角形の上辺で示される上端６２４をタッチした状態で上方にドラッグアンドドロップすればよい。また、往復範囲の下端を上方にずらした場合は、指定部６２２の四角形の下辺で示される下端６２５をタッチした状態で上方にドラッグアンドドロップすればよい。

【0052】

指定部６２２を、移動距離は変えずに、上下方向（Ｚ軸方向）又は水平方向（ＸＹ平面方向）に移動させることも可能である。例えば、指定部６２２を示す四角形の内部を上方向にドラッグすることにより、往復移動の距離を変えずに往復移動範囲を上方向にずらすことができる。

【0053】

搬送パッド１７１を水平方向に所定範囲往復移動させたい場合、すなわち搬送パッド１７１の旋回範囲を指定したい場合は、図２の指定部６２３で示すように、移動経路６２１の上辺上に移動範囲を設定する。指定部６２３では、四角形の左端６２６又は右端６２７を左右方向にドラッグすることにより、水平方向の往復移動範囲を調整することができる。また、指定部６２３の内部を左右方向にドラッグすることにより、往復移動場所を変更することができる。図２の指定部６２３が指定された場合、制御部７０は、範囲設定部７１における指定部６２３の情報を参照し、搬送パッド１７１をチャックテーブル５の中心付近の上方において旋回往復移動させることが可能となる。

【0054】

（Ｂ）搬出機構
イラスト方式によってオペレータが搬出機構１７２を構成する搬送パッド１７３の往復移動範囲を設定しようとする場合は、タッチパネル６０において所定のボタンをタッチする。そうすると、制御部７０による制御の下で、図１に示す範囲設定部７１が、図３の搬出移動範囲イラスト６３をタッチパネル６０に表示する。図３の例においては、搬出機構１７２を構成する搬送パッド１７３の移動範囲として、搬出入領域４０１側に位置するチャックテーブル５からスピンナテーブル１５７までの移動経路６３１が逆Ｕ字状の太線によって表示されている。すなわち、搬送パッド１７３は、チャックテーブル５に載置されたウェーハ１００を保持してから上昇し、その状態からスピンナテーブル１５７の上方まで水平移動し、そこから下降してウェーハ１００をスピンナテーブル１５７の保持面１５９に載置する。

【0055】

図３に示された搬送パッド１７３の移動経路６３１のうち、斜線が施された四角形で示された指定部６３２は、搬送パッド１７３を往復動作させることができる範囲である。図３の例では、スピンナテーブル１５７の上面である保持面１５９からその数センチメートル上方までが所定の往復範囲として設定されている。制御部７０は、範囲設定部７１における指定部６３２の情報を参照し、搬送パッド１７１を、スピンナテーブル１５７の保持面１５９に接する位置である下端６３４と、その数センチメートル上方の位置である上端６３３との間で上下方向に往復移動させることが可能となる。

【0056】

この指定部６３２は、オペレータがタッチパネル６０上で指定部６３２を示す四角形のいずれかの辺をタッチしドラッグすることによって移動範囲を設定可能である。例えば、往復範囲を上方に広げたい場合は、指定部６３２の四角形の上辺で示される上端６３３をタッチした状態で上方にドラッグアンドドロップすればよい。また、往復範囲の下端を上方にずらした場合は、指定部６３２の四角形の下辺で示される下端６３４をタッチした状態で上方にドラッグアンドドロップすればよい。

【0057】

指定部６３２を、移動距離は変えずに、上下方向（Ｚ軸方向）又は水平方向（ＸＹ平面方向）に移動させることも可能である。例えば、指定部６３２を示す四角形の内部を上方向にドラッグすることにより、往復移動の距離を変えずに範囲移動を上方向にずらすことができる。

【0058】

搬送パッド１７３を水平方向に所定範囲往復移動させたい場合、すなわち搬送パッド１７３の旋回範囲を変更したい場合は、図３の状態から四角形の内部をタッチして移動経路６３１の最上部までドラッグし、指定部６３２を示す左辺で示される左端６３５又は右辺で示される右端６３６を水平方向にドラッグすればよい点は、搬入機構１７０と同様である。

【0059】

（Ｃ）洗浄機構
イラスト方式によってオペレータが洗浄機構１５６を構成する洗浄ノズル１５８の往復移動範囲を設定しようとする場合は、タッチパネル６０において所定のボタンをタッチする。そうすると、制御部７０による制御の下で、図１に示す範囲設定部７１が、図４の洗浄移動範囲イラスト６４をタッチパネル６０に表示する。図４の例においては、洗浄機構１５６を構成する洗浄ノズル１５８の噴射部１５８ｂの移動範囲として、移動経路６４１が太線によって表示されている。洗浄ノズル１５８は、図１に示した回転軸１５８ａを軸として旋回可能であるため、洗浄移動範囲イラスト６４では、噴射部１５８ｂの旋回による移動範囲が、正面から見た移動経路６４１として示されている。

【0060】

スピンナテーブル１５７に保持されたウェーハ１００を洗浄する際にはスピンナテーブル１５７が回転するため、洗浄ノズル１５８の噴射部１５８ｂが、スピンナテーブル１５７の中心部の上方と外周部の上方との間を往復して旋回することで、スピンナテーブル１５７に保持されたウェーハ１００を洗浄する。したがって、図４において太線で示した洗浄ノズル１５８の移動経路６４１は、スピンナテーブル１５７の中心部の上方と外周部の上方との間となる。図４の例においては、斜線を施した四角形で示したスピンナテーブル１５７の中心部の上方の第１指定部６４２と、同じく斜線を施した四角形で示したスピンナテーブル１５７の外周部の上方の第２指定部６４３とが設定されている。

【0061】

第１指定部６４２は、噴射部１５８ｂから噴射された洗浄水がスピンナテーブル１５７に保持されたウェーハ１００の中心部に供給されるか否かをチェックするために設定される。このような指定がなされた場合、制御部７０は、範囲設定部７１における第１指定部６４２の情報を参照し、洗浄ノズル１５８を第１指定部６４２において往復旋回させることにより、噴射部１５８ｂを、スピンナテーブル１５７の中心部付近で往復移動させることが可能となる。

【0062】

一方、第２指定部６４３は、噴射部１５８ｂから噴射された洗浄水がスピンナテーブル１５７に保持されたウェーハ１００の外周縁まで供給されるか否かをチェックする際に設定される。このような指定がなされた場合、制御部７０は、範囲設定部７１における第１指定部６４２の情報を参照し、洗浄ノズル１５８を第２指定部６４３において往復旋回させることにより、噴射部１５８ｂを、スピンナテーブル１５７の外周部付近で往復移動させることが可能となる。

【0063】

第１指定部６４２又は第２指定部６４３は、オペレータがタッチパネル６０上で第１指定部６４２又は第２指定部６４３を示す四角形のいずれかの左端又は右端をタッチしドラッグすることによって移動範囲を設定可能である。例えば、第１指定部６４２の往復範囲をもっと外周側まで広げたい場合は、第１指定部６４２の四角形の右辺で示される右端６４４をタッチした状態で右方にドラッグアンドドロップすればよい。

【0064】

また、第１指定部６４２又は第２指定部６４３の往復移動範囲を、噴射部１５８ｂの移動距離は変えずに、水平方向に移動させることも可能である。例えば、第２指定部６４３を示す四角形の内部を左方向にドラッグすることにより、往復移動の距離を変えずに移動範囲を左方向にずらすことができる。

【0065】

（Ｄ）動作確認
上記のようにして図２－図４の各イラストにおいて搬送パッド１７１、搬送パッド１７３及び洗浄ノズル１５８の往復動作範囲が設定されると、オペレータがこれらの各部位の動きを確認したいときに、タッチパネル６０の所定のボタンをタッチすると、制御部７０は、図５に示す往復選択画面６１をタッチパネル６０に表示する。

【0066】

図５に示すように、往復選択画面６１では、搬入機構１７０の搬送パッド１７１、搬出機構１７２の搬送パッド１７３及び洗浄機構１５６の洗浄ノズル１５８を往復移動させる際にタッチする往復ボタン６１４が表示される。往復ボタン６１４は、搬入往復ボタン６１１と、搬出往復ボタン６１２と、洗浄ノズル往復ボタン６１３とを備えている。搬入往復ボタン６１１は、搬入機構１７０の搬送パッド１７１を所定の範囲で往復移動させたいときにタッチするボタンであり、搬出往復ボタン６１２は、搬出機構１７２の搬送パッド１７３を所定の範囲で往復移動させたいときにタッチするボタンであり、洗浄ノズル往復ボタン６１３は、洗浄ノズル１５８を所定の範囲で往復移動させたいときにタッチするボタンである。それぞれの所定の範囲は、図２－図４の各イラスト画面において指定した範囲である。

【0067】

（搬入往復）
図５の往復選択画面６１においてオペレータが搬入往復ボタン６１１をタッチすると、制御部７０は、図６の搬入往復動作画面６５をタッチパネル６０に表示する。この搬入往復動作画面６５は、往復ボタン６５４と、記憶ボタン６５７と、往復開始ボタン６５８と、往復回数入力欄６５９とを備えている。

【0068】

往復ボタン６５４は、順方向ボタン６５１、逆方向ボタン６５２及び一時停止ボタン６５３によって構成される。記憶ボタン６５７は、スタート位置記憶ボタン６５５及びエンド位置記憶ボタン６５６によって構成される。

【0069】

順方向ボタン６５１がタッチされると、制御部７０は、図２の搬入移動範囲イラスト６２で指定した指定部６２２の範囲で、搬送パッド１７１を順方向に移動させる。ここで、順方向とは、ウェーハ１００が搬送される方向であり、仮置きテーブル１５４からチャックテーブル５に向かう方向であり、指定部６２２における順方向は、搬送パッド１７１が上端６２４から下端６２５に向かう方向である。
逆方向ボタン６５２がタッチされると、制御部７０は、図２の搬入移動範囲イラスト６２で指定した指定部６２２の範囲で、搬送パッド１７１を逆方向に移動させる。ここで、逆方向とは、ウェーハ１００が搬送される方向とは逆の方向であり、チャックテーブル５から仮置きテーブル１５４に向かう方向であり、指定部６２２における逆方向は、搬送パッド１７１が下端６２５から上端６２４に向かう方向である。

【0070】

オペレータが順方向ボタン６５１をタッチすると、制御部７０は、搬送パッド１７１を指定部６２２の上端６２４に移動させた後、その上端６２４から下端６２５に向けて搬送パッド１７１を下降させる。搬送パッド１７１が下端６２５まで到達すると、制御部７０は、搬送パッド１７１を上昇移動に転じさせる。そして、搬送パッド１７１が上端６２４に到達すると、制御部７０は、搬送パッド１７１を下降移動に転じさせる。このように、順方向ボタン６５１をタッチするだけで、搬送パッド１７１が上昇移動と下降移動とを繰り返す。

【0071】

一方、オペレータが逆方向ボタン６５２をタッチすると、制御部７０は、搬送パッド１７１を指定部６２２の下端６２５に移動させた後、その下端６２５から上端６２４に向けて上昇させる。搬送パッド１７１が上端６２４まで到達すると、制御部７０は、搬送パッド１７１を下降移動に転じさせる。そして、搬送パッド１７１が下端６２５に到達すると、制御部７０は、搬送パッド１７１を上昇移動に転じさせる。このように、逆方向ボタン６５２をタッチするだけで、搬送パッド１７１が下降移動と上昇移動とを繰り返す。

【0072】

順方向ボタン６５１又は逆方向ボタン６５２をタッチすることにより開始された搬送パッド１７１の上昇移動または下降移動を任意の位置で停止させたいときは、一時停止ボタン６５３をタッチする。そうすると、制御部７０は、搬送パッド１７１をその時の位置に停止させる。
なお、搬送パッド１７１の上昇、下降及び停止の制御は、搬入機構１７０に備える不図示のエアシリンダを制御部７０が制御することによって行う。また、搬送パッド１７１の水平方向の旋回移動の制御は、搬入機構１７０に備えるモータを制御部７０が制御することによって行う。

【0073】

また、搬送パッド１７１を一時停止させた状態において、再度順方向ボタン６５１又は逆方向ボタン６５２をタッチすると、搬送パッド１７１の上昇移動又は下降移動が再開される。

【0074】

このように、制御部７０は、図２の搬入移動範囲イラスト６２において設定された指定部６２２の範囲で搬送パッド１７１の往復動作を繰り返す。オペレータは、その動作を繰り返し見ることができ、これにより搬送パッド１７１が指定部６２２において所望の動作をしているか否かを確認することができる。特に、搬送パッド１７１が下降する速度を確認することで、搬送パッド１７１が保持したウェーハ１００をチャックテーブル５に載置する際にウェーハ１００に過度な衝撃が加わって破損するのを防ぐことができる。
また、一時停止ボタン６５３をタッチすることにより、指定部６２２の範囲内で特に見たいところを集中してみることができる。

【0075】

（搬出往復）
図５の往復選択画面６１においてオペレータが搬出往復ボタン６１２をタッチすると、制御部７０は、不図示の搬出往復動作画面をタッチパネル６０に表示する。この搬出往復動作画面は、図６に示した搬入往復動作画面６５と同様のボタンを備えており、搬入往復動作画面６５と同様の操作により、搬出機構１７２の搬送パッド１７３を、図３の搬出移動範囲イラスト６３において設定された指定部６３２の範囲で往復移動させることができる。一時停止などの操作も同様である。
なお、搬送パッド１７３の上昇、加工及び停止の制御は、搬出機構１７２に備える不図示のエアシリンダを制御部７０が制御することによって行う。また、搬送パッド１７３の水平方向の旋回移動の制御は、搬出機構１７２に備えるモータを制御部７０が制御することによって行う。

【0076】

オペレータは、搬送パッド１７３の往復移動を繰り返し見ることができ、これにより搬送パッド１７３が指定部６３２において所望の動作をしているか否かを確認することができる。特に、搬送パッド１７３が下降する速度を確認することで、搬送パッド１７３が保持したウェーハ１００をスピンナテーブル１５７に載置する際にウェーハ１００に過度な衝撃が加わって破損するのを防ぐことができる。

【0077】

（洗浄往復）
図５の往復選択画面６１においてオペレータが洗浄ノズル往復ボタン６１３をタッチすると、制御部７０は、不図示の洗浄往復動作画面をタッチパネル６０に表示する。この洗浄往復動作画面は、図６に示した搬入往復動作画面６５と同様のボタンを備えており、搬入往復動作画面６５と同様の操作により、洗浄機構１５６を構成する洗浄ノズル１５８を旋回させることにより、噴射部１５８ｂを、図４の洗浄移動範囲イラスト６４において設定された第１指定部６４２及び第２指定部６４３の範囲で往復移動させることができる。一時停止などの操作も同様である。
なお、洗浄ノズル１５８の旋回の制御は、洗浄機構１５６に備える不図示のモータを制御部７０が制御することによって行う。

【0078】

オペレータは、洗浄ノズル１５８の往復移動を繰り返し見ることができ、これにより洗浄ノズル１５８が第１指定部６４２及び第２指定部６４３において所望の動作をしているか否かを確認することができる。特に、洗浄ノズル１５８の噴射部１５８ｂがスピンナテーブル１５７の中心部の上方及び外周部の上方を通っているか否かを確認することにより、洗浄ノズル１５８の旋回範囲が十分か否かを確認し、スピンナテーブル１５７に保持されるウェーハ１００の全面を洗浄できるか否かを確認することができる。

【0079】

（２）稼働方式による移動範囲の設定及び動作の確認
ここでは、稼働方式による搬送パッド１７１、搬送パッド１７３及び洗浄ノズル１５８についての移動に関する所定の範囲の設定と、その設定に基づく動作の確認について説明する。
稼働方式による場合は、図６の搬入往復動作画面６５を用いて、搬送パッド１７１の移動範囲を設定する。搬送パッド１７３及び洗浄ノズル１５８の移動範囲についても、搬入往復動作画面６５と同様に構成される不図示の搬出往復動作画面又は洗浄往復動作画面を用いて設定する。

【0080】

搬送パッド１７１の往復動作の範囲を設定しようとするときは、オペレータは、順方向ボタン６５１又は逆方向ボタン６５２をタッチし、搬送パッド１７１の移動を開始させる。かかる移動により、重点的に見たい範囲の一端に搬送パッド１７１が到達すると、一時停止ボタン６５３をタッチしてその位置で搬送パッド１７１を一時停止させる。そして、オペレータは、スタート位置記憶ボタン６５５をタッチする。これにより、一時停止しているその時の搬送パッド１７１の位置が、往復移動の所定の範囲の一方の位置として範囲設定部７１に備える記憶素子に記憶される。

【0081】

次に、オペレータは、順方向ボタン６５１又は逆方向ボタン６５２をタッチし、記憶させたスタート位置から搬送パッド１７１の移動を再開させる。かかる移動により、搬送パッド１７１が重点的に見たい範囲の他端に到達すると、一時停止ボタン６５３をタッチしてその位置で搬送パッド１７１を一時停止させる。そして、オペレータは、エンド位置記憶ボタン６５６をタッチする。これにより、一時停止しているその時の搬送パッド１７１の位置が、往復移動の所定の範囲の他方の位置として範囲設定部７１に備える記憶素子に記憶される。
また、オペレータは、搬入往復動作画面６５において往復回数入力欄６５９をタッチし、この欄に往復回数を入力して、往復回数を範囲設定部７１の記憶素子に記憶させる。

【0082】

上記のようにしてスタート位置及びエンド位置と往復回数とが範囲設定部７１の記憶素子に記憶された後、オペレータは、往復開始ボタン６５８をタッチする。そうすると、搬送パッド１７１は、スタート位置記憶ボタン６５５をタッチして指定したスタート位置に移動した後、エンド位置との往復移動を開始する。そして、搬送パッド１７１は、往復回数入力欄６５９に入力した回数だけ往復移動した後、停止する。往復移動の途中において一時停止ボタン６５３をタッチして任意の位置で搬送パッド１７１を停止させることもできる。

【0083】

なお、搬出機構１７２を構成する搬送パッド１７３又は洗浄機構１５６を構成する洗浄ノズル１５８を往復移動させる場合も、図６の搬入往復動作画面６５と同様に構成される不図示の搬出往復動作画面又は洗浄往復動作画面を用いて、同様に、移動範囲の設定及び実際に移動させる操作を行う。

【0084】

このように、動作範囲を設定し、繰返し往復動作が開始されると、動作を見たいところを何度も確認することができる。また、往復動作の任意の位置において動作を一時停止させることにより、特に見たい部分を重点的に確認することができる。

【0085】

なお、上記イラスト方式又は稼働方式を用いた移動に関する所定の範囲の設定及びその設定に基づく動作の確認は、図１に示した搬送ロボット１５５に適用することもできる。すなわち、搬送ロボット１５５の保持部１５５ｂの移動範囲をイラスト方式又は稼働方式によってあらかじめ指定し、その範囲において動作を繰り返し確認することができる。例えば、第１のカセット１６１の内部において上下動する際の移動範囲を指定しておくことにより、保持部１５５ｂが第１のカセット１６１の内部において加工前のウェーハ１００を保持する際の衝撃を確認することができる。また、第２のカセット１６３の内部において上下動する際の移動範囲を指定しておくことにより、保持部１５５ｂが第２のカセット１６３の内部において加工及び洗浄後のウェーハ１００を収納する際の衝撃を確認することができる。さらに、仮置きテーブル１５４の上面からその上方までを移動範囲として指定しておくことにより、保持部１５５ｂが加工前のウェーハ１００を仮置きテーブル１５４に載置する際の衝撃を確認することができる。

【0086】

範囲設定部７１が、搬入機構１７０の搬送パッド１７１、搬出機構１７２の搬送パッド１７３、洗浄機構１５６の洗浄ノズル１５８、又は、搬送ロボット１５５の保持部１５５ｂの移動範囲を指定する際には、イラスト方式又は稼働方式のほか、タッチパネル６０から数値を入力する方式としてもよい。この場合、旋回移動する部分についてはモータの回転角度の値、昇降する部分については高さの値を入力する。モータの回転角度及び高さの値を入力するにあたっては、どこを基準とするかを範囲設定部７１にあらかじめ設定しておき、そこを基準とする相対値を入力するようにすればよい。

【符号の説明】

【0087】

１：加工装置
５：チャックテーブル ５０：保持面
５１：第１ハイトゲージ ５２：第２ハイトゲージ
６：ターンテーブル
１０：第１の装置ベース １１：第２の装置ベース
１２：第１のコラム １３：第２のコラム １５：筐体
１５２：仮置き機構 １５３：位置合わせ機構 １５４：仮置きテーブル
１５５：搬送ロボット １５５ａ：アーム部 １５５ｂ：保持部
１５６：洗浄機構 １５７：スピンナテーブル １５８：洗浄ノズル
１５８ａ：回転軸 １５８ｂ：噴射部 １５９：保持面
１６０：第１のカセットステージ １６１：第１のカセット
１６２：第２のカセットステージ １６３：第２のカセット
１７０：搬入機構 １７１：搬送パッド １７１ａ：回転軸
１７２：搬出機構 １７３：搬送パッド １７３ａ：回転軸
２０：粗研削送り機構
２００：ボールネジ ２０１：ガイドレール ２０２：モータ ２０３：昇降テーブル
２０４：ホルダ
２１：仕上げ研削送り機構
３０：粗研削機構
３００：スピンドル
３０１：スピンドルハウジング ３０２：モータ ３０３：ホイールマウント
３０４：研削ホイール ３０５：ホイール基台 ３０６：粗研削砥石
３１：仕上げ研削機構 ３０７：仕上げ研削砥石
４０１：搬出入領域 ４０２：加工領域
６０：タッチパネル
６１：往復選択画面
６１１：搬入往復ボタン ６１２：搬出往復ボタン
６１３：洗浄ノズル往復ボタン ６１４：往復ボタン
６２：搬入移動範囲イラスト
６２１：移動経路 ６２２：指定部 ６２３：指定部 ６２４：上端 ６２５：下端
６２６：左端 ６２７：右端
６３：搬出移動範囲イラスト
６３１：移動経路 ６３２：指定部 ６３３：上端 ６３４：下端 ６３５：左端
６３６：右端
６４：洗浄移動範囲イラスト
６４１：移動経路 ６４２：第１指定部 ６４３：第２指定部 ６４４：右端
６５：搬入往復動作画面
６５１：順方向ボタン ６５２：逆方向ボタン ６５３：一時停止ボタン
６５４：往復ボタン ６５５：スタート位置記憶ボタン ６５６：エンド位置記憶ボタン
６５７：記憶ボタン ６５８：往復開始ボタン ６５９：往復回数入力欄
７０：制御部 ７１：範囲設定部
１００：ウェーハ １０１：表面 １０４：裏面 １０５：保護テープ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】