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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024165122
(43)【公開日】2024-11-28
(54)【発明の名称】定温液体供給装置
(51)【国際特許分類】
B23Q 11/10 20060101AFI20241121BHJP
B23Q 11/14 20060101ALI20241121BHJP
B24B 49/08 20060101ALI20241121BHJP
B24B 55/02 20060101ALI20241121BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20241121BHJP
【ＦＩ】
B23Q11/10 E
B23Q11/14
B24B49/08
B24B55/02 B
H01L21/304 622R
H01L21/304 622E
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023081005
(22)【出願日】2023-05-16
(71)【出願人】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】松本 正臣
(72)【発明者】
【氏名】斉藤 優
【テーマコード（参考）】
3C011
3C034
3C047
5F057
【Ｆターム（参考）】
3C011EE08
3C011EE09
3C034AA08
3C034BB73
3C034BB94
3C034CA19
3C034CB13
3C034DD10
3C047FF04
3C047GG00
5F057AA48
5F057AA53
5F057BA11
5F057BB03
5F057BB06
5F057BB12
5F057BC03
5F057BC06
5F057BC10
5F057CA14
5F057CA25
5F057DA08
5F057DA11
5F057DA14
5F057DA38
5F057FA13
5F057FA32
5F057FA33
5F057FA34
5F057FA37
5F057FA42
5F057GA07
5F057GA27
(57)【要約】
【課題】消費電力を抑制することができる定温液体供給装置を提供すること。
【解決手段】定温液体供給装置１は、入口４と加工装置１００に出口５との間で液体８を循環させる循環経路１０と、入口４からの液体８を収容するタンク１１と、タンク１１の液体８を送出するポンプ１３と、液体８の温度を調整する温度調整ユニット１５と、液体８の流量を測定する流出量測定部３０と、液体８を循環経路１０へ循環させるかを制御するソレノイドバルブ１７と、コントローラ４０とを備え、コントローラ４０は、流出量測定部３０で測定する流量がゼロであると、加工装置１００に液体８を供給する通常モードからソレノイドバルブ１７を制御することで液体８を循環経路１０で循環させる待機モードへ切り替える第１判定部４２を有し、待機モードでは、ポンプ１３の送出量を通常モードよりも少なくして、ポンプ１３の消費電力を下げる。
【選択図】図１
【解決手段】定温液体供給装置１は、入口４と加工装置１００に出口５との間で液体８を循環させる循環経路１０と、入口４からの液体８を収容するタンク１１と、タンク１１の液体８を送出するポンプ１３と、液体８の温度を調整する温度調整ユニット１５と、液体８の流量を測定する流出量測定部３０と、液体８を循環経路１０へ循環させるかを制御するソレノイドバルブ１７と、コントローラ４０とを備え、コントローラ４０は、流出量測定部３０で測定する流量がゼロであると、加工装置１００に液体８を供給する通常モードからソレノイドバルブ１７を制御することで液体８を循環経路１０で循環させる待機モードへ切り替える第１判定部４２を有し、待機モードでは、ポンプ１３の送出量を通常モードよりも少なくして、ポンプ１３の消費電力を下げる。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
液体供給源からの液体を定温に調整して加工装置へ供給する定温液体供給装置であって、
該液体供給源からの液体を流入させる入口と、
該加工装置に液体を流出させる出口と、
該入口と該出口との間で液体を循環させる循環経路と、
該循環経路に配設され、該入口から流入する液体を収容するタンクと、
該循環経路において該タンクに隣接して配設され、該タンクの液体を送出するポンプと、
該循環経路に配設され、液体の温度を調整する温度調整ユニットと、
該出口から液体が流出する流出量を測定する流出量測定部と、
該循環経路に配設され、液体を該循環経路へ循環させるかを制御する開閉弁と、
少なくとも該ポンプと該温度調整ユニットとを制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、
該流出量測定部で測定する流出量がゼロであると判定した際、該加工装置に液体を供給する通常モードから、該開閉弁を制御することで液体を該循環経路で循環させる待機モードへ切り替えることを判定する第１判定部を有し、
該待機モードでは、該ポンプの送出量を該通常モードよりも少なくして、該ポンプの消費電力を下げることを特徴とする定温液体供給装置。
該液体供給源からの液体を流入させる入口と、
該加工装置に液体を流出させる出口と、
該入口と該出口との間で液体を循環させる循環経路と、
該循環経路に配設され、該入口から流入する液体を収容するタンクと、
該循環経路において該タンクに隣接して配設され、該タンクの液体を送出するポンプと、
該循環経路に配設され、液体の温度を調整する温度調整ユニットと、
該出口から液体が流出する流出量を測定する流出量測定部と、
該循環経路に配設され、液体を該循環経路へ循環させるかを制御する開閉弁と、
少なくとも該ポンプと該温度調整ユニットとを制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、
該流出量測定部で測定する流出量がゼロであると判定した際、該加工装置に液体を供給する通常モードから、該開閉弁を制御することで液体を該循環経路で循環させる待機モードへ切り替えることを判定する第１判定部を有し、
該待機モードでは、該ポンプの送出量を該通常モードよりも少なくして、該ポンプの消費電力を下げることを特徴とする定温液体供給装置。
【請求項2】
該コントローラは、
該待機モードでは、該温度調整ユニットの稼動を停止することで、該温度調整ユニットの消費電力を下げることを特徴とする請求項１に記載の定温液体供給装置。
該待機モードでは、該温度調整ユニットの稼動を停止することで、該温度調整ユニットの消費電力を下げることを特徴とする請求項１に記載の定温液体供給装置。
【請求項3】
該コントローラは、タイマーを有し、
該第１判定部は、該流出量測定部で測定する流出量がゼロである継続時間を該タイマーによって測定して該継続時間があらかじめ定められた所定の時間を超えた際、流出量がゼロであると判定して該通常モードから該待機モードへ切り替えることを判定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の定温液体供給装置。
該第１判定部は、該流出量測定部で測定する流出量がゼロである継続時間を該タイマーによって測定して該継続時間があらかじめ定められた所定の時間を超えた際、流出量がゼロであると判定して該通常モードから該待機モードへ切り替えることを判定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の定温液体供給装置。
【請求項4】
該温度調整ユニットの下流に配設され、液体の温度を測定する温度計をさらに備え、
該コントローラは、
該待機モード中に、該温度計で測定した温度があらかじめ定められた所定の閾値を超えた際、該ポンプの送出量を該通常モードの送出量とし、該温度調整ユニットを稼働することを判定する第２判定部を有することを特徴とする請求項２に記載の定温液体供給装置。
該コントローラは、
該待機モード中に、該温度計で測定した温度があらかじめ定められた所定の閾値を超えた際、該ポンプの送出量を該通常モードの送出量とし、該温度調整ユニットを稼働することを判定する第２判定部を有することを特徴とする請求項２に記載の定温液体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、液体供給源からの液体を定温に調整して加工装置へ供給する定温液体供給装置に関する。
【背景技術】
【0002】
一般に研削装置や切削装置等の加工装置では、加工水やスピンドルの冷却水等の水温が一定温度に管理されている。一定温度の加工水や冷却水の供給によって、機械部品の熱膨張及び熱収縮による加工精度の悪化や、スピンドルのかじり等のように部品同士の接触によって装置自体を損傷させることを防止している。
【0003】
従来、加工装置に供給される水を一定温度に保つ定温水供給装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【0004】
特許文献１等に示された定温水供給装置は、工場設備等から供給される水をタンクに貯水し、タンク内の水をポンプで加工装置に送水する流路の途中で温度調整手段によって一定温度に調整して加工装置に水を供給する。また、加工装置側で必要な水の量を適切に供給するため、定温水供給装置の流路を内部で循環できるように配管しておき、循環配管内の水を一定温度に調整する。そして、加工装置側で必要な水の量を循環配管から供給する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０２０－０５１７１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、特許文献１等に示された定温水供給装置は、加工装置が使用されていない時間においてもいつでも一定温度の水が供給できるように、循環配管内の水を一定温度に保ちつつ循環し続けている。このため、特許文献１等に示された定温水供給装置は、ポンプや温度調整手段の稼動によって定温水供給装置の消費電力が高くなるという問題がある。
【0007】
そのため、水を定温に調整して加工装置へ供給する定温水供給装置において、加工装置の稼動が停止している際には、定温水供給装置の消費電力を抑えるべきという課題がある。
【0008】
本発明の目的は、消費電力を抑制することができる定温液体供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の定温液体供給装置は、液体供給源からの液体を定温に調整して加工装置へ供給する定温液体供給装置であって、該液体供給源からの液体を流入させる入口と、該加工装置に液体を流出させる出口と、該入口と該出口との間で液体を循環させる循環経路と、該循環経路に配設され、該入口から流入する液体を収容するタンクと、該循環経路において該タンクに隣接して配設され、該タンクの液体を送出するポンプと、該循環経路に配設され、液体の温度を調整する温度調整ユニットと、該出口から液体が流出する流出量を測定する流出量測定部と、該循環経路に配設され、液体を該循環経路へ循環させるかを制御する開閉弁と、少なくとも該ポンプと該温度調整ユニットとを制御するコントローラと、を備え、該コントローラは、該流出量測定部で測定する流出量がゼロであると判定した際、該加工装置に液体を供給する通常モードから、該開閉弁を制御することで液体を該循環経路で循環させる待機モードへ切り替えることを判定する第１判定部を有し、該待機モードでは、該ポンプの送出量を該通常モードよりも少なくして、該ポンプの消費電力を下げることを特徴とする。
【0010】
前記定温液体供給装置において、該コントローラは、該待機モードでは、該温度調整ユニットの稼動を停止することで、該温度調整ユニットの消費電力を下げても良い。
【0011】
前記定温液体供給装置において、該コントローラは、タイマーを有し、該第１判定部は、該流出量測定部で測定する流出量がゼロである継続時間を該タイマーによって測定して該継続時間があらかじめ定められた所定の時間を超えた際、流出量がゼロであると判定して該通常モードから該待機モードへ切り替えることを判定しても良い。
【0012】
前記定温液体供給装置において、該温度調整ユニットの下流に配設され、液体の温度を測定する温度計をさらに備え、該コントローラは、該待機モード中に、該温度計で測定した温度があらかじめ定められた所定の閾値を超えた際、該ポンプの送出量を該通常モードの送出量とし、該温度調整ユニットを稼働することを判定する第２判定部を有しても良い。
【発明の効果】
【0013】
本発明は、消費電力を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【発明を実施するための形態】
【0015】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。
【0016】
〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る定温液体供給装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る定温液体供給装置の構成例を模式的に示すブロック図である。図２は、図１に示された定温液体供給装置が用いられる加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図３は、図１に示された定温液体供給装置が待機モードである場合を模式的に示すブロック図である。
本発明の実施形態１に係る定温液体供給装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る定温液体供給装置の構成例を模式的に示すブロック図である。図２は、図１に示された定温液体供給装置が用いられる加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図３は、図１に示された定温液体供給装置が待機モードである場合を模式的に示すブロック図である。
【0017】
（加工装置）
実施形態１に係る図１に示す定温液体供給装置１は、定温の液体８を図２に示す加工装置１００へ供給する装置である。なお、定温液体供給装置１が供給する定温の液体８は、図２に示す加工装置１００が被加工物を加工する際に、被加工物等に供給する液体８であって、実施形態１では、純水であり、スピンドル等の冷却に用いられるものではない。なお、本発明では、液体８は、市水でも良い。また、定温の液体８とは、温度が、所定の下限温度以上でかつ所定の上限温度（下限温度よりも高い温度）以下の液体８をいう。
実施形態１に係る図１に示す定温液体供給装置１は、定温の液体８を図２に示す加工装置１００へ供給する装置である。なお、定温液体供給装置１が供給する定温の液体８は、図２に示す加工装置１００が被加工物を加工する際に、被加工物等に供給する液体８であって、実施形態１では、純水であり、スピンドル等の冷却に用いられるものではない。なお、本発明では、液体８は、市水でも良い。また、定温の液体８とは、温度が、所定の下限温度以上でかつ所定の上限温度（下限温度よりも高い温度）以下の液体８をいう。
【0018】
図２に示された加工装置１００は、被加工物を研削加工（加工に相当）する研削装置である。図２に示された加工装置１００の加工対象である被加工物は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを基板とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。被加工物は、基板の表面に格子状に設定された分割予定ラインによって区画された各領域に図示しないデバイスが形成されている。
【0019】
デバイスは、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）又は半導体メモリ（記憶装置）である。
【0020】
また、実施形態１において、被加工物は、加工装置１００により表面の裏側の裏面が研削加工されて、所定の仕上げ厚みまで薄化された後、分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割される。
【0021】
加工装置１００は、図２に示すように、装置基台１０１と、ターンテーブル１０４と、ターンテーブル１０４上に設置された複数（実施形態１では３つ）の保持テーブル１０５と、粗研削ユニット１１０と、仕上げ研削ユニット１２０と、研削送りユニット１３０と、カセット１０７と、支持ユニットである位置合わせユニット１４０と、搬送ユニット１５０と、洗浄ユニット１６０と、制御ユニット１７０とを備えている。
【0022】
ターンテーブル１０４は、装置基台１０１の上面に設けられた円盤状のテーブルであり、水平面内でＺ軸方向と平行な軸心回りに回転可能に設けられ、所定のタイミングで回転駆動される。なお、Ｚ軸方向は、鉛直方向と平行な方向である。このターンテーブル１０４上には、例えば３つの保持テーブル１０５が、例えば１２０度の位相角で等間隔に配設されている。
【0023】
これら３つの保持テーブル１０５は、図２に示すように、円板状に形成され、上面がポーラスセラミックス等の多孔質材で構成された保持面１０６である。保持テーブル１０５は、保持面１０６が図示しない吸引源と接続した真空チャックを備えた真空チャックテーブル構造のものであり、被加工物の表面側が保持面１０６上に載置されて、保持面１０６が吸引源により吸引されることで、被加工物を保持面１０６に吸引保持する。
【0024】
また、保持テーブル１０５は、研削加工時には、図示しない回転機構によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転駆動される。保持テーブル１０５は、ターンテーブル１０４の回転によって、搬入出領域３０１、粗研削領域３０２、仕上げ研削領域３０３、搬入出領域３０１に順次移動される。
【0025】
なお、搬入出領域３０１は、保持テーブル１０５に被加工物を搬入搬出する領域であり、粗研削領域３０２は、粗研削ユニット１１０で保持テーブル１０５に保持された被加工物を粗研削加工（研削に相当）する領域であり、仕上げ研削領域３０３は、仕上げ研削ユニット１２０で保持テーブル１０５に保持された被加工物を仕上げ研削加工（研削に相当）する領域である。
【0026】
粗研削ユニット１１０は、保持テーブル１０５が保持する被加工物の上方に露出した裏面を粗研削加工する粗研削用の研削砥石を環状に配設した粗研削用の研削ホイール１１１（加工具に相当）を装着して、粗研削領域３０２の保持テーブル１０５の保持面１０６に保持された被加工物の裏面を粗研削加工する加工ユニットである。仕上げ研削ユニット１２０は、保持テーブル１０５が保持する被加工物の裏面を仕上げ研削加工する仕上げ研削用の研削砥石を環状に配設した仕上げ研削用の研削ホイール１２１（加工具に相当）を装着して、仕上げ研削領域３０３の保持テーブル１０５の保持面１０６に保持された被加工物の裏面を仕上げ研削加工する加工ユニットである。
【0027】
研削ユニット１１０，１２０は、研削ホイール１１１，１２１をモータ１１３，１２３によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転されるスピンドルの下端（先端に相当）に装着し、研削ホイール１１１，１２１の研削砥石を保持テーブル１０５の保持面１０６に対向配置する。研削ユニット１１０，１２０は、モータ１１３，１２３によりスピンドル及び研削ホイール１１１，１２１が軸心回りに回転されるとともに定温液体供給装置１から供給される液体８を研削領域３０２，３０３の保持テーブル１０５に保持された被加工物の裏面に供給しながら研削送りユニット１３０により研削ホイール１１１，１２１の研削砥石が保持テーブル１０５に所定の送り速度で近づけられることによって、被加工物の裏面を粗研削加工又は仕上げ研削加工する。
【0028】
研削送りユニット１３０は、研削ユニット１１０，１２０をＺ軸方向に移動させて、研削ユニット１１０，１２０と保持テーブル１０５とを相対的に接近および離間させるものである。実施形態１において、研削送りユニット１３０は、装置基台１０１の水平方向と平行なＹ軸方向の一端部から立設した立設柱１０２に設けられている。研削送りユニット１３０は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及び各研削ユニット１１０，１２０のスピンドルハウジング１１５，１２５をＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。
【0029】
なお、実施形態１において、粗研削ユニット１１０及び仕上げ研削ユニット１２０は、研削ホイール１１１，１２１の回転中心である軸心と、保持テーブル１０５の回転中心である軸心とが、互いに水平方向に間隔をあけて平行に配置され、研削砥石が保持テーブル１０５に保持された被加工物の裏面の中心上を通る。
【0030】
カセット１０７は、複数のスロットを有して、被加工物を複数収容するための収容容器である。カセット１０７は、研削加工前後の被加工物を複数枚収容する。実施形態１では、カセット１０７は、一対設けられ、それぞれカセット載置台１０８に設置される。位置合わせユニット１４０は、カセット１０７から取り出された被加工物が仮置きされて、その中心位置合わせを行うためのテーブルである。
【0031】
搬送ユニット１５０は、被加工物を搬送するものである。搬送ユニット１５０は、搬入ユニット１５１と、搬出ユニット１５２と、搬入出ユニット１５３とを備える。
【0032】
搬入ユニット１５１は、被加工物を吸着する吸着パッドを先端部に有し、基端部を中心として装置基台１０１に揺動自在に設けられたアーム状に形成されている。搬入ユニット１５１は、位置合わせユニット１４０で位置合わせされた研削加工前の被加工物を吸着パッドに吸着保持して搬入出領域３０１に位置する保持テーブル１０５上に搬入する。
【0033】
搬出ユニット１５２は、被加工物を吸着する吸着パッドを先端部に有し、基端部を中心として装置基台１０１に揺動自在に設けられたアーム状に形成されている。搬出ユニット１５２は、搬入出領域３０１に位置する保持テーブル１０５上の研削加工後の被加工物を吸着パッドに吸着保持して洗浄ユニット１６０に搬出する。
【0034】
搬入出ユニット１５３は、研削加工前の被加工物をカセット１０７から取り出して、位置合わせユニット１４０に搬送するとともに、研削加工後の被加工物を洗浄ユニット１６０から取り出して、カセット１０７に搬送する。搬入出ユニット１５３は、例えばＵ字型ハンドを備えるロボットピックであり、Ｕ字型ハンドによって被加工物を吸着保持して搬送する。
【0035】
洗浄ユニット１６０は、研削加工後の被加工物を洗浄し、研削された裏面に付着している研削屑等のコンタミネーションを除去する。
【0036】
制御ユニット１７０は、加工装置１００を構成する上述した各構成ユニットをそれぞれ制御するものである。即ち、制御ユニット１７０は、少なくとも保持テーブル１０５と研削ユニット１１０，１２０の動作を制御して、被加工物に対する加工動作を加工装置１００に実行させるものである。制御ユニット１７０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。
【0037】
制御ユニット１７０の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１００を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１００の上述した構成要素に出力する。また、制御ユニット１７０は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニット及びオペレータに報知する報知ユニットと接続されている。
【0038】
入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。報知ユニットは、音と光とタッチパネル上のメッセージとのうち少なくともいずれかを発して、オペレータに報知する。
【0039】
また、実施形態１において、加工装置１００は、定温液体供給装置１から液体８が供給される供給口に設けられた開閉バルブ１０３を備えている。加工装置１００は、被加工物を研削加工する際に、開閉バルブ１０３が開いて、定温液体供給装置１から液体８が供給され、供給された液体８を研削加工中に研削領域３０２，３０３の保持テーブル１０５に保持された被加工物の裏面に供給する。また、加工装置１００は、被加工物の研削加工の停止時に、開閉バルブ１０３が閉じて、定温液体供給装置１からの液体８の供給が停止される。
【0040】
実施形態１において、加工装置１００は、オペレータにより裏面を上向きにして被加工物を収容したカセット１０７が装置基台１０１のカセット載置台１０８に設置され、加工条件が制御ユニット１７０に登録され、オペレータからの加工動作の開始指示を制御ユニット１７０が受け付けると、加工動作を開始する。加工動作では、加工装置１００は、制御ユニット１７０が、各研削ユニット１１０，１２０のスピンドルを加工条件で定められた回転数で軸心回りに回転させ、搬入出ユニット１５３にカセット１０７のいずれかから被加工物を１枚取り出させて、位置合わせユニット１４０へ搬入させて、位置合わせユニット１４０に被加工物の中心位置合わせを行わせ、搬入ユニット１５１に搬入出領域３０１に位置する保持テーブル１０５の保持面１０６に被加工物を支持して搬送させる。
【0041】
加工動作では、加工装置１００は、制御ユニット１７０が被加工物を搬入出領域３０１の保持テーブル１０５の保持面１０６に吸引保持させ、ターンテーブル１０４を回転して、搬入出領域３０１で被加工物を保持した保持テーブル１０５を粗研削領域３０２と仕上げ研削領域３０３に順に移動して、保持テーブル１０５を軸心回りに回転しながら液体８を供給して粗研削ユニット１１０と仕上げ研削ユニット１２０により順に被加工物を研削加工する。加工動作では、加工装置１００は、制御ユニット１７０が被加工物を粗研削加工した後、ターンテーブル１０４を回転して、仕上げ研削加工後の被加工物を保持した保持テーブル１０５を搬入出領域３０１に移動させて、搬出ユニット１５２に仕上げ研削加工後の被加工物を搬入出領域３０１の保持テーブル１０５から洗浄ユニット１６０に搬送して、洗浄ユニット１６０で洗浄した後、搬入出ユニット１５３にカセット１０７に収容させる。
【0042】
加工動作において、加工装置１００は、制御ユニット１７０がターンテーブル１０４を１２０度回転する度に、仕上げ研削加工後の被加工物を保持している搬入出領域３０１の保持テーブル１０５から被加工物を洗浄ユニット１６０に搬送し、仕上げ研削加工後の被加工物を保持していない搬入出領域３０１の保持テーブル１０５に研削加工前の被加工物を搬入し、粗研削領域３０２の保持テーブル１０５に保持された研削加工前の被加工物を粗研削加工し、仕上げ研削領域３０３の保持テーブル１０５に保持された粗研削加工後の被加工物を粗研削加工する。こうして、加工装置１００は、制御ユニット１７０がターンテーブル１０４を１２０度回転する度に搬入出領域３０１の保持テーブル１０５に被加工物を搬出、搬入し、保持テーブル１０５の保持面１０６に保持した被加工物を粗研削領域３０２及び仕上げ研削領域３０３に順に位置付けて、粗研削加工及び仕上げ研削加工を順に施す。加工装置１００は、制御ユニット１７０がカセット１０７内の全ての被加工物に粗研削加工、仕上げ研削加工を施すと、加工動作を終了する。
【0043】
（定温液体供給装置）
次に、定温液体供給装置１を説明する。図４は、図１に示された定温液体供給装置のコントローラが通常モード時に繰り返し実行するフローチャートである。図５は、図１に示された定温液体供給装置のコントローラが待機モード時に繰り返し実行するフローチャートである。図６は、図１に示された定温液体供給装置が変形例の加工装置に液体を供給する時の液体の流れを模式的に示すブロック図である。
次に、定温液体供給装置１を説明する。図４は、図１に示された定温液体供給装置のコントローラが通常モード時に繰り返し実行するフローチャートである。図５は、図１に示された定温液体供給装置のコントローラが待機モード時に繰り返し実行するフローチャートである。図６は、図１に示された定温液体供給装置が変形例の加工装置に液体を供給する時の液体の流れを模式的に示すブロック図である。
【0044】
定温液体供給装置１は、図１に示す液体供給源２からの液体８の温度を前述した定温に調整して、加工装置１００へ供給する装置である。定温液体供給装置１は、図１に示すように、筐体３と、筐体３に設けられた入口４と、筐体３に設けられた出口５と、筐体３内に収容された循環経路１０と、筐体３内に収容された送出経路２０と、流出量測定部３０と、コントローラ４０とを備えている。
【0045】
入口４は、液体供給源２からの液体８を流入させるものである。出口５は、加工装置１００に液体８を流出させるものである。出口５は、加工装置１００の開閉バルブ１０３と配管６により接続されている。また、実施形態１では、出口５には、開閉弁である出口用ソレノイドバルブ７が設けられている。出口用ソレノイドバルブ７は、開くと、液体８を加工装置１００に流出し、閉じると、液体８を加工装置１００に流出することを規制する。
【0046】
循環経路１０は、入口４と出口５との間で、液体８を循環させるものである。循環経路１０は、タンク１１と、供給路１２と、ポンプ１３と、循環路１４と、温度調整ユニット１５と、温度計１６とを備えている。タンク１１は、循環経路１０に配設され、入口４から流入する液体８を収容するものである。タンク１１は、入口４と接続され、入口４を介して液体供給源２から液体８が供給される。タンク１１は、液体供給源２から供給された液体８を一旦貯留する。
【0047】
供給路１２は、一端がタンク１１に接続されており、タンク１１内の液体８が供給される。ポンプ１３は、循環経路１０においてタンク１１に隣接して配設され、タンク１１内の液体８を供給路１２に送出するものである。実施形態１では、ポンプ１３は、６０Ｈｚで駆動することで、供給路１２に第１の流量（実施形態１では、２５Ｌ／ｍｉｎ）で液体８を送出し、３０Ｈｚで駆動することで、供給路１２に第２の流量（第１の流量よりも少なく、実施形態１では、１２．５Ｌ／ｍｉｎ）で液体８を送出する。
【0048】
循環路１４は、一端が供給路１２の他端に接続し、中央で２本の分岐路１４１，１４２に分岐し、それぞれの分岐路１４１，１４２がタンク１１に接続して、供給路１２内の液体８をタンク１１に戻すものである。
【0049】
また、循環経路１０は、開閉弁であるソレノイドバルブ１７と、リリーフバルブ１８と、第２流出量測定部１９とを備えている。ソレノイドバルブ１７は、循環経路１０に配設され、液体８を循環経路１０へ循環させるかを制御するものである。実施形態１において、ソレノイドバルブ１７は、２本の分岐路１４１，１４２のうち一方の分岐路１４１に設けられ、開くと一方の分岐路１４１を介して供給路１２からの液体８がタンク１１に戻ることを許容するとともに、閉じると一方の分岐路１４１を介して供給路１２からの液体８がタンク１１に戻ることを規制する。
【0050】
ソレノイドバルブ１７は、一方の分岐路１４１内を開いて供給路１２からの液体８を一方の分岐路１４１を介してタンク１１に戻すことにより、循環経路１０の供給路１２と循環路１４とでタンク１１内の液体８を循環させる。ソレノイドバルブ１７は、一方の分岐路１４１内を閉じて供給路１２からの液体８を一方の分岐路１４１を介してタンク１１に戻すことを規制し、循環経路１０の供給路１２と循環路１４とでタンク１１内の液体８を循環させることを規制する。このように、ソレノイドバルブ１７は、一方の分岐路１４１内を開閉することで、液体８を循環経路１０へ循環させるかを制御する。
【0051】
リリーフバルブ１８は、２本の分岐路１４１，１４２のうち他方の分岐路１４２に配設され、他方の分岐路１４２内の液体８が設定圧以上になると、他方の分岐路１４２を開いて他方の分岐路１４２を介して供給路１２からの液体８がタンク１１に戻ることを許容する。リリーフバルブ１８は、他方の分岐路１４２内の液体８が設定圧未満であると、閉じて、他方の分岐路１４２を介して供給路１２からの液体８がタンク１１に戻ることを規制する。第２流出量測定部１９は、他方の分岐路１４２内を流れる液体８の流量を測定し、測定結果をコントローラ４０に出力する。
【0052】
温度調整ユニット１５は、循環経路１０に配設され、液体８の温度を調整するものである。実施形態１において、温度調整ユニット１５は、循環経路１０の供給路１２に配設され、供給路１２内を流れる液体８の温度を調整するものである。温度調整ユニット１５は、冷却手段１５４と、加温手段１５５とを備える。冷却手段１５４は、駆動することで、供給路１２内を流れる液体８を冷却するとともに、停止することで供給路１２内を流れる液体８を冷却しない。実施形態１では、冷却手段１５４は、冷凍機であり、最大能力が６．２ｋＷである。加温手段１５５は、駆動することで、供給路１２内を流れる液体８を加熱するとともに、停止することで供給路１２内を流れる液体８を加熱しない。実施形態１では、加温手段１５５は、ヒーターであり、最大能力が１２ｋＷである。温度調整ユニット１５は、冷却手段１５４が供給路１２内を流れる液体８を冷却し、加温手段１５５が供給路１２内を流れる液体８を加熱することで、供給路１２内を流れる液体８の温度を前述した定温に調整する。
【0053】
温度計１６は、循環経路１０に配設され、液体８の温度を測定し、測定結果をコントローラ４０に出力するものである。実施形態１において、温度計１６は、循環経路１０の供給路１２の温度調整ユニット１５よりも供給路１２内を液体８が流れる方向の下流に配設され、供給路１２内を流れる液体８の温度を測定し、測定結果をコントローラ４０に出力するものである。
【0054】
送出経路２０は、一端が循環経路１０の供給路１２の他端に接続し、他端が出口５に接続して、出口５を通して液体８を加工装置１００に送出するものである。流出量測定部３０は、出口５から液体８が流出する流出量である流量を測定するものである。実施形態１において、流出量測定部３０は、送出経路２０に設けられ、送出経路２０内を流れる液体８の流量を測定することで、出口５から加工装置１００に流出する液体８の流量を測定し、測定結果をコントローラ４０に出力する。
【0055】
コントローラ４０は、定温液体供給装置１を構成する上述した各構成ユニットをそれぞれ制御するものである。即ち、コントローラ４０は、少なくともポンプ１３と温度調整ユニット１５とソレノイドバルブ１７の動作を制御して、液体８の加工装置１００への供給動作を定温液体供給装置１に実行させるものである。
【0056】
コントローラ４０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。コントローラ４０の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、定温液体供給装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して定温液体供給装置１の上述した構成要素に出力する。
【0057】
また、コントローラ４０は、図１に示すように、タイマー４１と、第１判定部４２と、第２判定部４３とを備える。タイマー４１は、時間を計測するものである。第１判定部４２は、流出量測定部３０で測定する流量がゼロであると判定した際、加工装置１００に液体８を供給する通常モードから、ソレノイドバルブ１７を制御することで液体８を循環経路１０で循環させる待機モードへ切り替えることを判定するものである。
【0058】
なお、通常モードとは、コントローラ４０が、出口用ソレノイドバルブ７で出口５を開き、ポンプ１３を駆動してタンク１１から液体８を第１の流量で供給路１２に送出し、温度計１６の測定結果に応じて温度調整ユニット１５を駆動させて供給路１２内を流れる液体８の温度を前述した定温に調整するとともに、ソレノイドバルブ１７で一方の分岐路１４１内を閉じて、液体８を供給路１２から送出経路２０及び出口５を通して加工装置１００に液体８を供給する定温液体供給装置１の動作モードである。
【0059】
なお、このとき、加工装置１００は、前述した開閉バルブ１０３を開いている。なお、実施形態１では、通常モードでは、定温液体供給装置１は、ポンプ１３が第１の流量として２５Ｌ／ｍｉｎで液体８を供給路１２に送出し、加工装置１００が２５Ｌ／ｍｉｎで液体８を使用するために、図１に太線の矢印で示すように、液体８が液体供給源２、タンク１１、供給路１２、加工装置１００に順に供給される。
【0060】
待機モードとは、ソレノイドバルブ１７を開き、ポンプ１３を制御してポンプ１３の液体８の送出量を通常モードの第１の流量よりも少ない第２の流量とし、温度調整ユニット１５の稼動を停止することで、ポンプ１３及び温度調整ユニット１５の消費電力を通常モードよりも下げて、液体８を供給路１２から循環路１４の一方の分岐路１４１を介してタンク１１に戻す定温液体供給装置１の動作モードである。
【0061】
なお、このとき、加工装置１００は、前述した開閉バルブ１０３を閉じている。なお、実施形態１では、待機モードでは、定温液体供給装置１は、液体８を図３に太線の矢印で示すように、タンク１１、供給路１２、循環路１４の一方の分岐路１４１に順に循環し、循環経路１０内で循環させる。
【0062】
また、実施形態１において、第１判定部４２は、流出量測定部３０で測定する流量がゼロである継続時間をタイマーによって測定して継続時間があらかじめ定められた所定の時間を超えた際、流量がゼロであると判定して、通常モードから待機モードへ切り替えることを判定する。
【0063】
第２判定部４３は、待機モード中に、温度計１６で測定した液体８の温度があらかじめ定められた所定の閾値を超えた際、ポンプ１３の送出量を通常モードの送出量とし、温度調整ユニット１５を稼働することを判定するものである。なお、所定の閾値とは、液体８の温度が所定の下限温度以上でかつ下限温度よりも高い上限温度以下であることをいい、所定の閾値を超えたとは、液体８の温度が所定の下限温度未満又は上限温度を超えたことをいう。実施形態１では、液体８の定温が２５℃であり、所定の閾値の下限温度が、２０℃であり、所定の閾値の上限温度が、３０℃である。なお、所定の閾値の下限温度は、前述した定温の液体８の下限温度と同じでも異なっていても良く、所定の閾値の上限温度は、前述した定温の液体８の上限温度と同じでも異なっていても良い。
【0064】
なお、タイマー４１、第１判定部４２及び第２判定部４３の機能は、コントローラ４０の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現されても良く、単一回路、複合回路、プログラム化したプロセッサー、又は並列プログラム化したプロセッサー等の専用の処理回路（ハードウェア）により実現されても良い。
【0065】
（定温液体供給装置の液体の供給動作）
次に、実施形態１に係る定温液体供給装置１の液体８の供給動作を説明する。図４は、図１に示された定温液体供給装置のコントローラが通常モードにおいて繰り返し実行するフローチャートである。図５は、図１に示された定温液体供給装置のコントローラが待機モードにおいて繰り返し実行するフローチャートである。
次に、実施形態１に係る定温液体供給装置１の液体８の供給動作を説明する。図４は、図１に示された定温液体供給装置のコントローラが通常モードにおいて繰り返し実行するフローチャートである。図５は、図１に示された定温液体供給装置のコントローラが待機モードにおいて繰り返し実行するフローチャートである。
【0066】
定温液体供給装置１は、出口用ソレノイドバルブ７を開き、ソレノイドバルブ１７を閉じるとともに、ポンプ１３及び温度調整ユニット１５を駆動して、図１に示すように、液体供給源２から供給された液体８を第１の流量即ち通常モードで加工時の加工装置１００に供給する。通常モードにおいて、コントローラ４０は、図４に示すフローチャートを繰り返し実行する。通常モードにおいて、加工装置１００の加工中には、加工装置１００が開閉バルブ１０３を開いて液体８を使用し、送出経路２０内を流れる液体８の流量即ち出口５から加工装置１００に供給される液体８の流量が、加工装置１００が使用する液体８の流量と同等となる。
【0067】
通常モードにおいて、定温液体供給装置１は、図４に示すように、コントローラ４０の第１判定部４２が、流出量測定部３０の測定結果に基づいて、送出経路２０内を流れる液体８の流量即ち出口５から加工装置１００に供給される液体８の流量がゼロか否かを判定する（ステップ４０１）。通常モードにおいて、定温液体供給装置１は、コントローラ４０の第１判定部４２が、送出経路２０内を流れる液体８の流量即ち出口５から加工装置１００に供給される液体８の流量がゼロではないと判定する（ステップ４０１：Ｎｏ）と、ステップ４０１を繰り返す。
【0068】
通常モードにおいて、加工装置１００の研削加工が停止するなど稼働を停止すると、加工装置１００が液体８の使用を停止し、開閉バルブ１０３を閉じる。この場合、液体８が送出経路２０内に溜まり、送出経路２０内の液体８の流れが停止する。すると、定温液体供給装置１は、コントローラ４０の第１判定部４２が、送出経路２０内を流れる液体８の流量即ち出口５から加工装置１００に供給される液体８の流量がゼロであると判定（ステップ４０１：Ｙｅｓ）し、コントローラ４０の第１判定部４２が、流出量測定部３０で測定する流量がゼロである継続時間をタイマー４１によって測定し、継続時間が予め定められた所定の時間を超えたか否かを判定する（ステップ４０２）。
【0069】
定温液体供給装置１は、コントローラ４０の第１判定部４２が、流出量測定部３０で測定する流量がゼロである継続時間が予め定められた所定の時間を超えていないと判定する（ステップ４０２：Ｎｏ）と、ステップ４０１に戻る。定温液体供給装置１は、コントローラ４０の第１判定部４２が、流出量測定部３０で測定する流量がゼロである継続時間が予め定められた所定の時間を超えたと判定する（ステップ４０２：Ｙｅｓ）と、待機モードに移行して、実施形態１では、ポンプ１３の液体８の送出量を第１の流量よりも減少させて第２の流量とし、温度調整ユニット１５の稼働を停止し、ソレノイドバルブ１７を開く（ステップ４０３）。
【0070】
待機モードにおいて、コントローラ４０は、図５に示すフローチャートを繰り返し実行する。待機モードでは、定温液体供給装置１は、図５に示すように、コントローラ４０の第１判定部４２が、流出量測定部３０の測定結果に基づいて、送出経路２０内を流れる液体８の流量即ち出口５から加工装置１００に供給される液体８の流量がゼロか否かを判定する（ステップ５０１）。加工装置１００の液体８の使用が再開されるなどして送出経路２０を通って液体８が加工装置１００に供給されると、定温液体供給装置１は、コントローラ４０の第１判定部４２が、送出経路２０内を流れる液体８の流量即ち出口５から加工装置１００に供給される液体８の流量がゼロではないと判定し（ステップ５０１：Ｎｏ）、通常モードに移行する。実施形態１では、コントローラ４０は、ポンプ１３の液体８の送出量を第２の流量よりも増加させて第１の流量とし、温度調整ユニット１５を稼働（ステップ５０２）し、ソレノイドバルブ１７を閉じて、通常モードに移行して、ステップ４０１に戻る。
【0071】
定温液体供給装置１は、コントローラ４０の第１判定部４２が、送出経路２０内を流れる液体８の流量即ち出口５から加工装置１００に供給される液体８の流量がゼロであると判定する（ステップ５０１：Ｙｅｓ）と、コントローラ４０の第２判定部４３が、待機モード中に温度計１６で測定した温度があらかじめ定められた所定の閾値を超えたか否かを判定する（ステップ５０３）。定温液体供給装置１は、コントローラ４０の第２判定部４３が、待機モード中に温度計１６で測定した温度が所定の閾値を超えていないと判定する（ステップ５０３：Ｎｏ）と、ステップ５０１に戻る。
【0072】
定温液体供給装置１は、コントローラ４０の第２判定部４３が、待機モード中に温度計１６で測定した温度が所定の閾値を超えたと判定する（ステップ５０３：Ｙｅｓ）と、ソレノイドバルブ１７を開いたまま、ポンプ１３の液体８の送出量を通常モードの送出量である第１の流量とし、温度調整ユニット１５を稼働（ステップ５０４）する。
【0073】
以上説明したように、実施形態１に係る定温液体供給装置１は、コントローラ４０が流出量測定部３０で測定する流量がゼロであると判定した際、加工装置１００に液体８を供給する通常モードからソレノイドバルブ１７を制御して液体８を循環経路１０で循環させる待機モードへ切り替えることを判定する第１判定部４２を有し、待機モードではポンプ１３の送出量を通常モードよりも少なくし、かつ温度調整ユニット１５の稼動を停止して、ポンプ１３および温度調整ユニット１５の消費電力を下げる。
【0074】
その結果、定温液体供給装置１は、加工装置１００の稼動が停止していると判定した際にポンプ１３および温度調整ユニット１５の稼働を抑えることで、消費電力を抑制することができるという効果を奏する。実施形態１に係る定温液体供給装置１は、冷却手段１５４の最大能力が６．２ｋＷでかつ加温手段１５５の最大能力が１２ｋＷである場合、待機モードにおいて、ポンプ１３が第２の流量で液体８を送出しかつ温度調整ユニット１５の冷却手段１５４と加温手段１５５との双方の稼働を停止すると、ポンプ１３が第１の流量で液体８を送出しかつ温度調整ユニット１５の冷却手段１５４と加温手段１５５との双方を稼働する場合よりも消費電力を約３７％抑制（５４７５Ｗｈから２０７３Ｗｈへと低減）できることが明らかとなった。
【0075】
また、実施形態１に係る定温液体供給装置１は、第１判定部４２が流出量測定部３０で測定する流量がゼロである継続時間があらかじめ定められた所定の時間を超えた際、流量がゼロであると判定して通常モードから待機モードへ切り替えることを判定するので、通常モードから誤って待機モードに切り替えることを抑制することができる。
【0076】
また、実施形態１に係る定温液体供給装置１は、コントローラが待機モード中に温度計１６で測定した温度があらかじめ定められた所定の閾値を超えた際、ポンプ１３の送出量を通常モードの送出量である第１の流量とし、温度調整ユニット１５を稼働することを判定する第２判定部４３を有している。このために、実施形態１に係る定温液体供給装置１は、待機モードであっても液体供給源２から供給された液体８の温度を所定の閾値に維持することができ、通常モードに移行しても定温の液体８を加工装置１００に速やかに供給することができる。
【0077】
また、実施形態１に係る定温液体供給装置１は、通常モードにおいて、図６に示すように、加工装置１００の液体８の使用量よりも加工装置１００に送出する液体８の流量が多くてもよい。なお、図６は、図１に示された定温液体供給装置の液体８の送出量よりも加工装置の液体８の使用量が少ない場合を模式的に示す図である。なお、図６は、図１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【0078】
なお、図６に示す場合、加工装置１００は、前述した開閉バルブ１０３を開き、１５Ｌ／ｍｉｎの流量で液体８を使用する。この場合、定温液体供給装置１は、ポンプ１３が第１の流量である２５Ｌ／ｍｉｎで液体８を供給路１２に送出し、ソレノイドバルブ１７が閉じている。このために、定温液体供給装置１は、図６の太線の矢印で示すように、供給路１２からの液体８の一部が送出経路２０を介して加工装置１００に送出されるとともに、供給路１２からの液体８の残りの一部の圧力により循環経路１０の他方の分岐路１４２に配設されたリリーフバルブ１８が開いて、この液体８の残りの一部が循環路１４、他方の分岐路１４２を介してタンク１１に戻される。
【0079】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本発明では、第１判定部４２が流出量測定部３０で測定する流量がゼロであると判定した際に、直ちに、待機モードに移行しても良い。また、本発明では、待機モードでは、温度調整ユニット１５の稼働を停止させることなく、ポンプ１３の送出量を通常モードの第１の流量よりも少ない第２の流量に減少させるのみでも良い。
【0080】
また、本発明では、加工装置１００は、被加工物に定温液体供給装置１から供給された定温の液体８を供給しながら研削加工する研削装置に限らず、被加工物に定温液体供給装置１から供給された定温の液体８を供給しながら切削加工する切削装置であっても良い。
【符号の説明】
【0081】
１ 定温液体供給装置
２ 液体供給源
４ 入口
５ 出口
８ 液体
１０ 循環経路
１１ タンク
１３ ポンプ
１５ 温度調整ユニット
１７ ソレノイドバルブ（開閉弁）
３０ 流出量測定部
４０ コントローラ
４１ タイマー
４２ 第１判定部
４３ 第２判定部
１００ 加工装置
２ 液体供給源
４ 入口
５ 出口
８ 液体
１０ 循環経路
１１ タンク
１３ ポンプ
１５ 温度調整ユニット
１７ ソレノイドバルブ（開閉弁）
３０ 流出量測定部
４０ コントローラ
４１ タイマー
４２ 第１判定部
４３ 第２判定部
１００ 加工装置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】