特開 2024-166568 カセット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024166568

(43)【公開日】2024-11-29

(54)【発明の名称】カセット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20241122BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20241122BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20241122BHJP

   B23Q 7/10 20060101ALI20241122BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 V

H01L21/78 N

B65D85/30 500

B23Q7/10

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023082750

(22)【出願日】2023-05-19

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】庄司 啓一

【テーマコード（参考）】

3C033

3E096

5F063

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C033BB04

3C033MM02

3E096AA06

3E096BA16

3E096BB04

3E096CA09

3E096DA01

3E096EA06X

5F063AA25

5F063BA48

5F063DD01

5F063EE22

5F063EE43

5F063EE44

5F063FF01

5F063FF33

5F063FF42

5F063FF43

5F063FF44

5F131AA02

5F131BA52

5F131CA24

5F131DA13

5F131GA03

5F131GA52

5F131GA53

5F131GA63

5F131GA99

(57)【要約】

【課題】被収容物のサイズに応じて、収容空間のサイズを変更可能なカセットを提供する。
【解決手段】それぞれ円盤形状を有する複数の被収容物を収容可能なカセットであって、該カセットの幅方向における該複数の被収容物の移動を規制する一対の側板であり、該複数の被収容物の外周部をそれぞれ支持する複数の支持板が該カセットの高さ方向に沿って各側板の内壁面にそれぞれ配置されている該一対の側板と、該幅方向において該一対の側板が互いに接近又は離隔できる様に該一対の側板が連結された連結部材と、を備えるカセットを提供する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

それぞれ円盤形状を有する複数の被収容物を収容可能なカセットであって、
該カセットの幅方向における該複数の被収容物の移動を規制する一対の側板であり、該複数の被収容物の外周部をそれぞれ支持する複数の支持板が該カセットの高さ方向に沿って各側板の内壁面にそれぞれ配置されている該一対の側板と、
該幅方向において該一対の側板が互いに接近又は離隔できる様に該一対の側板が連結された連結部材と、
を備えることを特徴とするカセット。

【請求項2】

該連結部材は、
それぞれ１つの側板の底部又は頂部に位置し、且つ、それぞれ該１つの側板の移動を案内するための溝部を有する一対の案内領域と、
該幅方向において該一対の案内領域を連結するための連結領域と、
を有することを特徴とする請求項１に記載のカセット。

【請求項3】

該連結部材は、１つのベース板を有し、該１つのベース板は、該一対の案内領域と該連結領域とを有することを特徴とする請求項２に記載のカセット。

【請求項4】

該連結部材は、該カセットの奥行方向で離間して配置された一対のベース板を有し、該一対のベース板は、該一対の案内領域と該連結領域とをそれぞれ有することを特徴とする請求項２に記載のカセット。

【請求項5】

該連結部材は、該カセットの該幅方向及び奥行方向で規定される所定平面上において互いに交差する様に配置された一対のロッドを有し、
該一対のロッドは、該一対のロッドが互いに交差する位置で該高さ方向に沿う回転軸の周りに回転可能に結合されている該連結領域と、該連結領域を挟む様に配置された該一対の案内領域と、をそれぞれ有することを特徴とする請求項２に記載のカセット。

【請求項6】

該一対の側板の各内壁面から突出し、且つ、該高さ方向に沿って配置されており、該カセットの奥行方向と平行な第１方向において各被収容物の移動を規制するための一対の凸部を更に備えることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のカセット。

【請求項7】

該一対の凸部は、該カセットの奥行方向において移動可能であることを特徴とする請求項６に記載のカセット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、それぞれ円盤形状を有する複数の被収容物を収容可能なカセットに関する。

【背景技術】

【0002】

携帯電話、ＰＣ（Personal Computer）等の電子機器にはデバイスチップが搭載されている。デバイスチップは、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）等の複数のデバイスが表面側に形成されているウェーハの裏面側を研削してウェーハを薄化した後、ウェーハを切削してデバイス単位に分割することで形成される。

【0003】

研削装置、切削装置等の加工装置でウェーハを加工する際には、ウェーハが粘着テープを介して環状フレームで支持されたウェーハユニットを作成した上で、複数のウェーハユニットをカセットに収容した状態で加工装置へ搬送する（例えば、特許文献１参照）。

【0004】

ウェーハの径は、例えば、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格で定められている。当該規格で定められているウェーハの径には、６インチ（約１５０ｍｍ）、８インチ（約２００ｍｍ）、１２インチ（約３００ｍｍ）等の複数の種類がある。

【0005】

ウェーハの径に応じて、異なるサイズの環状フレームが用いられる。例えば、６インチのウェーハには、内径１９４ｍｍ、外径２２８ｍｍ、及び、直線部の幅２１２ｍｍを有する環状フレームが用いられる。

【0006】

また、８インチのウェーハには、内径２５０ｍｍ、外径２９６ｍｍ、及び、直線部の幅２７６ｍｍを有する環状フレームが用いられ、１２インチのウェーハには、内径３５０ｍｍ、外径４００ｍｍ、及び、直線部の幅３８０ｍｍを有する環状フレームが用いられる。なお、１つのカセットには、同じサイズのウェーハユニットが収容される。

【0007】

それゆえ、異なるサイズのウェーハユニットに応じて、適切なサイズのカセット用意する必要があり、その分だけ経済的負担が大きくなる。ウェーハを粘着テープ及び環状フレームを用いて一体化せずに、ウェーハ単独でカセットに収容する際にも、同様の問題がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特開平８－８０９８９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、被収容物のサイズに応じて、収容空間のサイズを変更可能なカセットを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の一態様によれば、それぞれ円盤形状を有する複数の被収容物を収容可能なカセットであって、該カセットの幅方向における該複数の被収容物の移動を規制する一対の側板であり、該複数の被収容物の外周部をそれぞれ支持する複数の支持板が該カセットの高さ方向に沿って各側板の内壁面にそれぞれ配置されている該一対の側板と、該幅方向において該一対の側板が互いに接近又は離隔できる様に該一対の側板が連結された連結部材と、を備えるカセットが提供される。

【0011】

好ましくは、該連結部材は、それぞれ１つの側板の底部又は頂部に位置し、且つ、それぞれ該１つの側板の移動を案内するための溝部を有する一対の案内領域と、該幅方向において該一対の案内領域を連結するための連結領域と、を有する。

【0012】

また、好ましくは、該連結部材は、１つのベース板を有し、該１つのベース板は、該一対の案内領域と該連結領域とを有する。

【0013】

また、好ましくは、該連結部材は、該カセットの奥行方向で離間して配置された一対のベース板を有し、該一対のベース板は、該一対の案内領域と該連結領域とをそれぞれ有する。

【0014】

また、好ましくは、該連結部材は、該カセットの該幅方向及び奥行方向で規定される所定平面上において互いに交差する様に配置された一対のロッドを有し、該一対のロッドは、該一対のロッドが互いに交差する位置で該高さ方向に沿う回転軸の周りに回転可能に結合されている該連結領域と、該連結領域を挟む様に配置された該一対の案内領域と、をそれぞれ有する。

【0015】

また、好ましくは、該一対の側板の各内壁面から突出し、且つ、該高さ方向に沿って配置されており、該カセットの奥行方向と平行な第１方向において各被収容物の移動を規制するための一対の凸部を更に備える。

【0016】

また、好ましくは、該一対の凸部は、該カセットの奥行方向において移動可能である。

【発明の効果】

【0017】

本発明の一態様に係るカセットでは、一対の側板が、カセットの幅方向において互いに接近又は離隔できる様に連結部材に連結されている。カセットの幅方向において一対の側板を移動させることで、側板間の幅を変更できるので、被収容物のサイズに応じて、カセットの収容空間のサイズを変更できる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】第１の実施形態に係るカセットの斜視図である。

【図2】図２（Ａ）は側板及び移動板がベース板に固定されているときのＣ‐Ｃ断面図であり、図２（Ｂ）は側板及び移動板のベース板に対する固定が解除されたときのＣ‐Ｃ断面図である。

【図3】移動板の拡大斜視図である。

【図4】図４（Ａ）は図３のＤ‐Ｄ断面図であり、図４（Ｂ）はピンが位置決め穴から外れたときのＤ‐Ｄ断面図であり、図４（Ｃ）は側板及び移動板を幅方向に沿って移動させた後のＤ‐Ｄ断面図である。

【図5】図５（Ａ）は一対の側板が最も離隔されたときのカセットの平面図であり、図５（Ｂ）は一対の側板が接近したときのカセットの平面図である。

【図6】切削装置の斜視図である。

【図7】図７（Ａ）は第１の幅を有するウェーハユニットを収容したカセットの平面図であり、図７（Ｂ）は第２の幅を有するウェーハユニットを収容したカセットの平面図である。

【図8】図８（Ａ）は第１変形例に係るカセットの平面図であり、図８（Ｂ）は第２変形例に係るカセットの平面図である。

【図9】図９（Ａ）は第２の実施形態に係るカセットの斜視図であり、図９（Ｂ）は一対の側板が接近したときの第２の実施形態に係るカセットの平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、第１の実施形態に係るカセット２の斜視図である。図１にそれぞれ示すカセット２の幅方向Ａ１、奥行方向Ａ２、及び、高さ方向Ａ３は、互いに直交する。

【0020】

カセット２は、それぞれ矩形板状の一対の側板４を有する。一対の側板４は、略同じ形状及び厚さを有する。各側板４の内壁面４ａには、高さ方向Ａ３に沿って６．３５ｍｍ、１０ｍｍ等の所定の間隔で複数の支持板６が配置されている。

【0021】

本実施形態の側板４及び支持板６は、アルミニウム合金等の金属で形成されている。側板４及び支持板６の表面には、アルマイト加工処理が施されていてもよい。なお、側板４及び支持板６は、合成樹脂で形成されてもよい。

【0022】

図１のカセット２では、１つの側板４に１１個の支持板６が設けられているが、支持板６の数は、１１個に限定されない。各支持板６は、長手方向が奥行方向Ａ２に沿って配置されており、側板４の内壁面４ａから幅方向Ａ１に沿って所定長さ（例えば、１０ｍｍ）だけ突出している。

【0023】

支持板６の頂面６ａは、ウェーハ１１又はウェーハユニット１７（図６参照）等の被収容物の外周部を支持する（図７（Ａ）、図７（Ｂ）等参照）。一対の支持板６で支持された各被収容物は、一対の側板４の各内壁面４ａにより幅方向Ａ１における移動が規制される。

【0024】

奥行方向Ａ２における支持板６の一端部６ｂは、奥行方向Ａ２における側板４の一端部４ｂと略面一となっている。これに対して、奥行方向Ａ２における支持板６の他端部６ｃは、奥行方向Ａ２における側板４の他端部４ｃにまで達しておらず、奥行方向Ａ２における側板４の半分よりも先で終端している。

【0025】

奥行方向Ａ２において、支持板６の他端部６ｃと側板４の他端部４ｃとの間には、三角柱状の凸部８が設けられている。各凸部８は、各側板４の内壁面４ａから突出している。凸部８の長手方向は、高さ方向Ａ３に沿って配置されている。

【0026】

本実施形態の凸部８は、頂面及び底面が直角三角形であり、平面視において直角三角形の斜辺がカセット２の中心部に面する様に配置されている。なお、凸部８の形状は、三角柱状に限定されず他の形状を有してもよい。

【0027】

一対の凸部８は、カセット２の奥行方向Ａ２と平行な第１方向Ｂ_１（即ち、一端部４ｂから他端部４ｃへ進む方向）において各被収容物の移動を規制する。例えば、第１方向Ｂ_１を重力方向と略平行にしても、各被収容物は、一対の凸部８で支持され、カセット２から脱落しない。

【0028】

また、カセット２に対する被収容物の搬入及び搬出は、奥行方向Ａ２に沿って一対の凸部８とは反対側に位置するカセット２の開口領域を通じて行われる。つまり、被収容物の搬入及び搬出は、奥行方向Ａ２において第１方向Ｂ_１とは逆向きの第２方向Ｂ_２（即ち、他端部４ｃから一端部４ｂへ進む方向）に位置する開口領域を通じて行われる。

【0029】

一対の凸部８は、カセット２の奥行方向Ａ２において移動可能である。各凸部８の高さ方向Ａ３の中央部には、円盤形状の摘み部８ａが固定されている。摘み部８ａには、スライドピン（不図示）の一端部が固定されている。

【0030】

摘み部８ａに固定されているスライドピンは、側板４に形成されているスリット４ｄに挿入されている。スリット４ｄは、複数の支持板６と凸部８との間において、奥行方向Ａ２に沿って形成されている。

【0031】

なお、図１に示す例では、１つの側板４に１つのスリット４ｄが形成されているが、１つの側板４には高さ方向Ａ３に沿って複数のスリット４ｄが形成されてもよい。この場合、各スリット４ｄにスライドピンが挿入される。

【0032】

一端部が摘み部８ａに固定されているスライドピンの他端部は、凸部８に固定されている。より具体的には、スライドピンの他端部は雄ねじを有し、凸部８に形成されている雌ねじ（不図示）に、この雄ねじが締結されることで、摘み部８ａは凸部８に固定されている。

【0033】

スライドピンと凸部８との締結を緩めた状態で摘み部８ａを奥行方向Ａ２に沿って移動させれば、凸部８を奥行方向Ａ２に沿って移動させることができる。また、移動後には、スライドピンの雄ねじを凸部８の雌ねじに締め付けることで、凸部８と摘み部８ａとで側板４を挟み、凸部８を側板４に対して固定できる。

【0034】

各側板４の頂部には、ヒンジ１０を介して把手１２が固定されている。一対の把手１２は、作業者がカセット２を手で持ち運ぶ際に利用される。ヒンジ１０は、図１に示す様に、Ａ１‐Ａ２平面と略平行（即ち、寝た状態）にも、Ａ２‐Ａ３平面と略平行（即ち、立った状態）にも配置される。

【0035】

側板４の底部には、ボルト等の固定部材１４（図３参照）により、矩形板状の移動板１６が固定されている。より具体的には、側板４の底部には、移動板１６の幅方向Ａ１の端部が固定されている。

【0036】

一組の側板４及び移動板１６は、カセット２を平面視した場合に（図５（Ａ）、図５（Ｂ）参照）、奥行方向Ａ２と平行な所定の直線（不図示）に対して線対称に配置されている。また、移動板１６は、側板４の内壁面４ａよりもカセット２の幅方向Ａ１の中央部側に突出する様に配置されている。

【0037】

移動板１６の奥行方向Ａ２の中央部には、１以上のガイドピン１８が固定されている。本実施形態では、２つのガイドピン１８が、幅方向Ａ１に沿って離れる態様で移動板１６の奥行方向Ａ２の中央部に固定されている。

【0038】

ガイドピン１８は、カセット２の底部を構成する矩形板状の１つのベース板（連結部材）２０に形成されたスリット（溝部）２０ａに挿入されている。つまり、ガイドピン１８は、スリット２０ａの奥行方向Ａ２の幅よりも小径の軸部を含み、この軸部がスリット２０ａに挿入されている。

【0039】

ガイドピン１８は、スリット２０ａの奥行方向Ａ２の幅よりも大径の円盤状の底部を有する。ガイドピン１８の底部は、側板４及び移動板１６がベース板２０から外れることを防止する。

【0040】

移動板１６には、奥行方向Ａ２において２つのガイドピン１８を挟む様に、２つのスリット１６ａが幅方向Ａ１に沿って形成されている。各スリット１６ａ上には、ボルト２２の頭部２２ａ（図２（Ａ）参照）が露出している。

【0041】

ボルト２２の頭部２２ａの径は、各スリット１６ａの幅（即ち、奥行方向Ａ２の長さ）よりも大きい。これに対して、ボルト２２の円筒部２２ｂ及び軸部２２ｃ（図２（Ａ）参照）は、奥行方向Ａ２におけるスリット１６ａの幅よりも僅かに小さい径を有し、スリット１６ａに挿入されている。

【0042】

ここで、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）を参照し、側板４及び移動板１６をベース板２０に固定する場合と、両者の固定を解除する場合と、について説明する。図２（Ａ）は、側板４及び移動板１６がベース板２０に固定されているときのＣ‐Ｃ断面図である。

【0043】

ベース板２０は、アルミニウム合金等の金属で形成されている。ベース板２０の底面側には、円柱状の凸領域２０ｂが設けられており、この凸領域２０ｂには、ねじ穴２０ｃが形成されている。

【0044】

側板４及び移動板１６を互いに固定するときには、ワッシャ２２ｄを頭部２２ａで押圧する様に、ボルト２２の軸部２２ｃを凸領域２０ｂのねじ穴２０ｃに締結する。これにより、側板４、移動板１６及びベース板２０が一体化される。

【0045】

図２（Ｂ）は、側板４及び移動板１６のベース板２０に対する固定が解除されたときのＣ‐Ｃ断面図である。解除時には、軸部２２ｃ及びねじ穴２０ｃの締結を緩める。このとき、例えば、ワッシャ２２ｄの下面が、移動板１６の上面から微小距離δだけ離れる。なお、解除時には、ワッシャ２２ｄの下面が移動板１６の上面に接触したままでもよい。

【0046】

固定を解除すれば、側板４及び移動板１６は、ベース板２０に対して相対的に幅方向Ａ１に沿って移動可能となる。ベース板２０に対する側板４及び移動板１６の位置は、プランジャ２４（図３、図４（Ａ）から図４（Ｃ）参照）を利用して決定可能である。

【0047】

本実施形態のプランジャ２４は、所謂レバータイプのインデックスプランジャであり、レバー２４ａを所定位置に配置すると、ピン２４ｂがばね（不図示）で押し出され（図４（Ａ）及び図４（Ｃ）参照）、レバー２４ａを所定位置から所定角度だけ回転させると、ピン２４ｂの全部又は少なくとも一部が円筒状の本体内に収容される（図４（Ｂ）参照）。

【0048】

レバー２４ａの回転は、例えば、作業者の手作業により行われる。但し、プランジャ２４は、レバータイプに限定されない。また、プランジャ２４は、ボールの進退をばねで付勢するボールプランジャー又は他のメカニズムを有するプランジャであってもよい。

【0049】

ベース板２０の上面側には、一対の側板４の距離（即ち、内壁面４ａ間の距離）が被収容物のサイズに応じた値となる様に、複数の位置決め穴２０ｄ（図３参照）が予め形成されている。

【0050】

図３は、移動板１６の拡大斜視図である。１つのピン２４ｂの先端部が１つの位置決め穴２０ｄに挿入されることで、ベース板２０に対して、側板４及び移動板１６の位置が自動的に決定される。

【0051】

図４（Ａ）は、図３のＤ‐Ｄ断面図である。側板４及び移動板１６の位置を変更する際には、図４（Ｂ）に示す様に、レバー２４ａを所定角度回転させてピン２４ｂを位置決め穴２０ｄから外す。

【0052】

図４（Ｂ）は、ピン２４ｂが位置決め穴２０ｄから外れたときのＤ‐Ｄ断面図である。各ピン２４ｂを位置決め穴２０ｄから抜いた後、側板４及び移動板１６を幅方向Ａ１に沿って移動させる。

【0053】

側板４及び移動板１６が幅方向Ａ１において目標位置に到達したら、レバー２４ａを元の位置に戻して、ピン２４ｂを位置決め穴２０ｄへ挿入する。図４（Ｃ）は、側板４及び移動板１６を幅方向Ａ１に沿って移動させた後のＤ‐Ｄ断面図である。

【0054】

側板４及び移動板１６は、ベース板２０の幅方向Ａ１の中心部側に移動できるし、ベース板２０の幅方向Ａ１の端部側にも移動できる。つまり、ベース板２０には、一対の側板４が、幅方向Ａ１において互いに接近又は離隔できる様に連結されている。

【0055】

それゆえ、被収容物のサイズに応じて、カセット２の幅方向Ａ１において一対の側板４を移動させることで、側板４間の幅を変更できる。勿論、一対の側板４の移動後にボルト２２を締結すれば、幅方向Ａ１における側板４間の幅を固定できる。この様に、被収容物のサイズに応じて、カセット２の収容空間のサイズを変更できる。

【0056】

図５（Ａ）は、一対の側板４が最も離隔されたときのカセット２の平面図である。これに対して、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）に示す場合に比べて一対の側板４が接近したときのカセット２の平面図である。

【0057】

図５（Ａ）に示す側板４間の距離２６ａは、図５（Ｂ）に示す側板４間の距離２６ｂよりも大きい。図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示す様に、ベース板２０は、矩形板状であり、それぞれ１つの側板４の底部に位置する一対の案内領域２０Ａを有する。

【0058】

１つの案内領域２０Ａは、１つの側板４を支持しており、更に、当該側板４の移動を案内するためのスリット２０ａを有する。本実施形態のカセット２は、一対の側板４を有するので、ベース板２０の幅方向Ａ１の両側部の各々に案内領域２０Ａが形成されている。

【0059】

ベース板２０は、幅方向Ａ１において一対の案内領域２０Ａを連結する連結領域２０Ｂを更に含む。連結領域２０Ｂは、スリット２０ａを有さず、それゆえに側板４を案内しない。また、連結領域２０Ｂは、直接的に何らかの構造物を支持しない。

【0060】

なお、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）では、説明の便宜上、案内領域２０Ａと連結領域２０Ｂとの境界を破線で示す。図１から図５（Ｂ）で説明したカセット２は、切削装置３０（図６参照）、研削装置等の加工装置で使用される。

【0061】

図６は、切削装置３０の斜視図である。図６にそれぞれ示す、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向は互いに直交する。Ｘ軸方向は、加工送りと略平行であり、Ｙ軸方向は、割り出し送り方向と略平行であり、Ｚ軸方向は、重力方向と略平行である。

【0062】

図１に示す様に、切削装置３０は、各構成要素を支持する基台３２を備える。基台３２の前方の角部には、開口３２ａが設けられている。開口３２ａ内には、Ｚ軸方向に沿って昇降可能なエレベータ３４が設けられている。エレベータ３４の上面には、複数の被収容物を収容可能な上述のカセット２が載置される。

【0063】

被収容物は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円盤形状を有するウェーハ１１を含む。ウェーハ１１の表面側は、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイスが形成されている。

【0064】

なお、ウェーハ１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等をウェーハ１１として用いることもできる。同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。ウェーハ１１には、デバイスが形成されていなくてもよい。

【0065】

ウェーハ１１の裏面側には、ウェーハ１１よりも面積の大きい略円形の粘着テープ（即ち、ダイシングテープ）１３が貼り付けられている。粘着テープ１３の外周部分は、環状フレーム１５に固定されている。環状フレーム１５の開口を塞ぐ様に、環状フレーム１５の一面には粘着テープ１３が貼り付けられている。

【0066】

粘着テープ１３は、例えば、紫外線硬化型の樹脂を含む粘着層を有する。この粘着層は、紫外線が照射される前にはウェーハ１１及び環状フレーム１５に対して強力な粘着力を発揮する一方で、紫外線が照射されると硬化して粘着力が低下する。

【0067】

粘着テープ１３を介して環状フレーム１５でウェーハ１１が支持されることで、円盤形状を有するウェーハユニット１７が形成される。ウェーハ１１は、このウェーハユニット１７の状態でカセット２に収容される。

【0068】

つまり、本実施形態の被収容物は、ウェーハユニット１７である。しかし、研削装置（不図示）等の他の加工装置では、ウェーハユニット１７に代えて、表面側にウェーハ１１と略同径の粘着テープ１３が貼り付けられたウェーハ１１が、カセット２に収容されることもある。

【0069】

また、カセット２には、粘着テープ１３すら貼り付けられていないウェーハ１１そのものが収容されることもある。この様に、被収容物としては、ウェーハユニット１７、ウェーハ１１及び粘着テープ１３の積層体、ウェーハ１１単体等があり得る。

【0070】

エレベータ３４の後方には、長手部がＸ軸方向に沿って配置された開口３２ｂが形成されている。開口３２ｂ内には、矩形板状のテーブルカバー３６ａ及びＸ軸方向で伸縮可能な蛇腹状のカバー部材３６ｂが配置されている。

【0071】

テーブルカバー３６ａ及びカバー部材３６ｂの下方には、ボールねじ式のＸ軸方向移動機構３８が配置されている。なお、図６では、Ｘ軸方向移動機構３８の大まかな位置のみを示し、詳細な構造を省略している。テーブルカバー３６ａ上には、円盤形状を有するチャックテーブル４０が設けられている。

【0072】

チャックテーブル４０は、金属製の枠体と、枠体の中央凹部に固定された多孔質セラミックス製のポーラス板と、を有する。ポーラス板には、真空ポンプ等の吸引部（不図示）から負圧が伝達される。枠体及び多孔質板の上面は、Ｘ‐Ｙ平面に対して略平行に配置された略平坦な保持面４０ａを構成している。

【0073】

開口３２ｂの上方には、カセット２から一対の位置決めレール（不図示）へウェーハユニット１７を搬出するためのプッシュプルアーム４２が設けられている。なお、プッシュプルアーム４２は、切削及び洗浄後のウェーハユニット１７を一対の位置決めレールからカセット２へ搬入する。

【0074】

開口３２ｂに隣接する位置には、片持ち梁状の支持構造４４が配置されている。支持構造４４の表面の上部側には、Ｙ軸Ｚ軸方向移動機構４６が設けられている。Ｙ軸Ｚ軸方向移動機構４６は、Ｙ軸方向に略平行に配置された一対のＹ軸ガイドレール４８を備える。

【0075】

Ｙ軸ガイドレール４８には、Ｙ軸移動板５０がＹ軸方向に沿ってスライド可能に取り付けられている。Ｙ軸移動板５０の裏面側（即ち、支持構造４４側）には、ナット部（不図示）が設けられている。

【0076】

このナット部には、Ｙ軸方向と略平行に配置されたねじ軸５２が回転可能に連結されている。ねじ軸５２の一端部には、ステッピングモータ（不図示）が連結されている。ステッピングモータでねじ軸５２を回転させれば、Ｙ軸移動板５０は、Ｙ軸方向に移動する。

【0077】

Ｙ軸移動板５０の表面側には、Ｚ軸方向に略平行に配置された一対のＺ軸ガイドレール５４が設けられている。一対のＺ軸ガイドレール５４には、Ｚ軸移動板５６がＺ軸方向に沿ってスライド可能に取り付けられている。

【0078】

Ｚ軸移動板５６の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸方向と略平行に配置されたねじ軸５８が回転可能に連結されている。ねじ軸５８の上端部には、ステッピングモータ６０が連結されている。

【0079】

ステッピングモータ６０でねじ軸５８を回転させれば、Ｚ軸移動板５６は、Ｚ軸方向に沿って移動する。Ｚ軸移動板５６の下部には、ウェーハ１１を切削する切削ユニット６２が設けられている。

【0080】

切削ユニット６２は、長手部がＹ軸方向に沿って配置された角筒状のスピンドルハウジング６４を有する。スピンドルハウジング６４には、エアベアリングにより、円柱状のスピンドル（不図示）が回転可能に収容されている。

【0081】

スピンドルは、Ｙ軸方向に沿って配置されており、スピンドルの基端部には、サーボモータ（不図示）が設けられている。スピンドルの先端部には、円環状の切り刃を有する切削ブレード６６が装着されている。

【0082】

スピンドルハウジング６４に隣接する位置には、Ｚ軸移動板５６の下部に固定された顕微鏡カメラユニット６８が設けられている。顕微鏡カメラユニット６８は、ウェーハ１１を撮像する。得られる画像は、アライメント、カーフチェック等に利用される。

【0083】

Ｙ軸方向において開口３２ｂに対して開口３２ａと反対側には、スピンナ洗浄ユニット７０が設けられている。切削後のウェーハ１１は、スピンナ洗浄ユニット７０で洗浄及び乾燥された後、カセット２へ戻される。

【0084】

上述の様に、カセット２の幅方向Ａ１の長さは可変であるので、異なるサイズのウェーハユニット１７をカセット２に収容できる。図７（Ａ）は、第１の幅を有するウェーハユニット１７を収容したカセット２の平面図である。

【0085】

側板４間の距離２６ａは、図５（Ａ）と同じであり、例えば、３８０ｍｍである。３８０ｍｍは、１２インチのウェーハ１１用の環状フレーム１５における直線部の幅に対応する。

【0086】

図７（Ｂ）は、第１の幅よりも小さい第２の幅を有するウェーハユニット１７を収容したカセット２の平面図である。側板４間の距離２６ｂは、図５（Ｂ）と同じであり、例えば、２７６ｍｍである。２７６ｍｍは、８インチのウェーハ１１用の環状フレーム１５における直線部の幅に対応する。

【0087】

なお、図７（Ｂ）では、より小さいサイズのウェーハユニット１７の脱落を防ぐために、図７（Ａ）に比べて支持板６の他端部６ｃに近い位置に、凸部８が配置されている。

【0088】

この様に、被収容物であるウェーハユニット１７（又はウェーハ１１）のサイズに応じて、カセット２の幅方向Ａ１において一対の側板４を移動させることで、側板４間の幅を変更できる。それゆえ、被収容物のサイズに応じて、カセット２の収容空間のサイズを変更できる。

【0089】

これにより、所定の幅をそれぞれ有する複数の被収容物を１つのカセット２に収容することができるし、より小さい所定の幅をそれぞれ有する複数の被収容物を１つのカセット２に収容することもできる。

【0090】

（第１変形例）図８（Ａ）を参照して、第１の実施形態の第１変形例に係るカセット７２について説明する。図８（Ａ）は、第１変形例に係るカセット７２の平面図である。カセット７２は、カセット２と同様に１つのベース板２０を有する。

【0091】

但し、第１変形例のベース板２０は、平面視において矩形形状ではなく、略Ｈ字形状を有する。つまり、連結領域２０Ｂの奥行方向Ａ２の幅が、案内領域２０Ａの奥行方向Ａ２の幅に比べて狭い。

【0092】

係る点において、カセット７２のベース板２０は、カセット２のベース板２０と異なる。しかし、他の構成は同じであるので、図８（Ａ）では、カセット２と同じ構成については同じ符号を付している。

【0093】

（第２変形例）次に、図８（Ｂ）を参照して、第１の実施形態の第２変形例に係るカセット７４について説明する。図８（Ｂ）は、第２変形例に係るカセット７４の平面図である。カセット７４は、一対のベース板２０－１，２０－２（連結部材）を有する。

【0094】

一対のベース板２０－１，２０－２は、長手方向が幅方向Ａ１に沿う様に配置された同じサイズの横長形状を有する。一対のベース板２０－１，２０－２は、奥行方向Ａ２で離間する様に配置されている。

【0095】

一対のベース板２０－１，２０－２は、カセット２を平面視した場合に、幅方向Ａ１と平行な所定の直線（不図示）に対して線対称に配置されている。一対のベース板２０－１，２０－２は、一対の案内領域２０Ａと、連結領域２０Ｂと、をそれぞれ有する。

【0096】

また、ベース板２０－１は、各案内領域２０Ａにガイドピン１８用のスリット２０ａ_１を有する。同様に、ベース板２０－２も、各案内領域２０Ａにガイドピン１８用のスリット２０ａ_２を有する。

【0097】

第１変形例及び第２変形例においても、被収容物のサイズに応じて、カセット７２，７４の幅方向Ａ１において一対の側板４を移動させることで、側板４間の幅を変更できるので、被収容物のサイズに応じて、カセット７２，７４の収容空間のサイズを変更できる。

【0098】

（第２の実施形態）次に、図９（Ａ）及び図９（Ｂ）を参照して、第２の実施形態に係るカセット７６について説明する。なお、図９（Ａ）及び図９（Ｂ）において、カセット２と同じ構成については同じ符号を付している。

【0099】

図９（Ａ）は、第２の実施形態に係るカセット７６の斜視図である。カセット７６は、ベース板２０又は一対のベース板２０－１，２０－２を有さない。代わりに、カセット７６は、一対のロッド７８－１，７８－２（連結部材）を、カセット７６の頂部に有する。

【0100】

一対のロッド７８－１，７８－２は、細長い平板形状を有し、アルミニウム合金等の金属で形成されている。一対のロッド７８－１，７８－２は、Ａ１‐Ａ２平面（即ち、幅方向Ａ１及び奥行方向Ａ２で規定される所定平面）上において、互いに交差する様に配置されている。

【0101】

一対のロッド７８－１，７８－２の各々には、その長手方向の中心部に円形の貫通孔（不図示）が形成されている。一対のロッド７８－１，７８－２は、各貫通孔が重なる様に互いに交差して配置されている。

【0102】

各ロッド７８－１，７８－２の貫通孔は、内周面に雌ねじが形成されていない所謂通し穴である。貫通孔は、高さ方向Ａ３に沿って配置されており、貫通孔には、高さ方向Ａ３に沿う様にボルト８０が挿入されている。

【0103】

ボルト８０の軸部には、ナット（不図示）が固定されている。ボルト８０及びナットにより高さ方向Ａ３で一対のロッド７８－１，７８－２を挟み込むと、一対のロッド７８－１，７８－２は互いに固定される。

【0104】

これに対して、ボルト８０及びナットの締結を緩めると、一対のロッド７８－１，７８－２を、ボルト８０の周りで比較的弱い力で回転させることができる。この様に、一対のロッド７８－１，７８－２は、互いに交差する位置で、ボルト８０を回転軸としてその周りに回転可能に結合されている。

【0105】

図９（Ａ）の平面視において、一対のロッド７８－１，７８－２は角度αを成す。しかし、ボルト８０の周りでの回転により、一対のロッド７８－１，７８－２が成す角度は、変更可能である。

【0106】

各ロッド７８－１，７８－２の長手方向の中心部は、一対のロッド７８－１，７８－２の連結領域７８Ｂとして機能する。ロッド７８－１の長手方向の両端部には、所定長さのスリット（溝部）８２が形成されている。

【0107】

スリット８２の長さは、例えば、１つの側板４の移動距離に応じて予め定められている。各スリット８２には、１つのボルト８４の軸部（不図示）が挿入されている。ボルト８４の軸部は、側板４の頂部に形成されているねじ穴（不図示）に締結されている。

【0108】

側板４の頂部には、このねじ穴が２つ形成されている。２つのねじ穴は、奥行方向Ａ２において把手１２を挟むように配置されている。ボルト８４は、第１の実施形態において移動板１６及びベース板２０を固定可能なボルト２２（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）参照）と同様の機能を有する。

【0109】

つまり、一対の側板４が互いに接近又は離隔する際には、図２（Ｂ）のボルト２２と同様に、ボルト８４の締結を緩めることで、例えば、ワッシャ（不図示）の下面を各ロッド７８－１，７８－２の上面から微小距離だけ離す。

【0110】

これに対して、一対の側板４と、一対のロッド７８－１，７８－２と、を固定するときには、ボルト８４の頭部８４ａでワッシャを押圧する様に、ボルト８４を側板４のねじ穴に締結する。

【0111】

連結領域７８Ｂを挟むロッド７８－１の両側部は、側板４の移動を案内するための案内領域７８Ａとして機能する。一対の案内領域７８Ａは、それぞれ１つの側板４の頂部に位置し、当該１つの側板４を吊り下げる機能を有する。ロッド７８－２も、同様に、連結領域７８Ｂを挟む一対の案内領域７８Ａを有し、ロッド７８－１と同じ機能を有する。

【0112】

図９（Ｂ）は、図９（Ａ）に比べて一対の側板４が接近したときの第２の実施形態に係るカセット７６の平面図である。一対の側板４を接近させるときには、各ボルト８４の締結を緩めた後、一対の側板４を作業者が手で近づける。

【0113】

なお、一対の側板４の距離が近づくことで、平面視において一対のロッド７８－１，７８－２が成す角度βは、角度αよりも大きくなる。一対の側板４を距離２６ｂまで近づけた後、各ボルト８４を再度締結する。また、一対の側板４の距離２６ｂに応じて、奥行方向Ａ２における凸部８の位置も適宜修正する。

【0114】

第２の実施形態においても、被収容物のサイズに応じて、カセット７６の幅方向Ａ１において一対の側板４を移動させることで、側板４間の幅を変更できるので、被収容物のサイズに応じて、カセット７６の収容空間のサイズを変更できる。

【0115】

その他、上述の実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。ベース板２０、一対のベース板２０－１，２０－２、一対の側板４の底面には、カセット２，７２，７４，７６の足として機能する突起、レベリングエレメント等（いずれも不図示）が設けられてもよい。

【0116】

第１の実施形態及び変形例では、ベース板２０、一対のベース板２０－１，２０－２を側板４の底部に配置したが、側板４の頂部に配置してもよい。また、第２の実施形態では、ロッド７８－１，７８－２を側板４の頂部に配置したが、側板４の底部に配置してもよい。

【0117】

上述の実施形態及び変形例では、ヒンジ１０を介して把手１２を側板４に固定したが、ヒンジ１０を省略して把手１２がＡ２‐Ａ３平面と略平行に配置された状態（即ち、立った状態）で固定してもよい。

【0118】

ところで、上述のカセット２，７２，７４，７６は、切削装置３０、研削装置等の加工装置において、テスト加工後における１つ又は複数のウェーハユニット１７を取り出すためのインスペクションカセットとして利用することもできる。

【符号の説明】

【0119】

２，７２，７４，７６：カセット
４：側板、４ａ：内壁面、４ｂ：一端部、４ｃ：他端部、４ｄ：スリット
６：支持板、６ａ：頂面、６ｂ：一端部、６ｃ：他端部
８：凸部、８ａ：摘み部
１０：ヒンジ、１２：把手、１４：固定部材
１１：ウェーハ、１３：粘着テープ、１５：環状フレーム、１７：ウェーハユニット
１６：移動板、１６ａ：スリット、１８：ガイドピン
２０，２０－１，２０－２：ベース板（連結部材）
２０Ａ：案内領域
２０Ｂ：連結領域
２０ａ，２０ａ_１，２０ａ_２：スリット（溝部）
２０ｂ：凸領域、２０ｃ：ねじ穴、２０ｄ：位置決め穴
２２：ボルト、２２ａ：頭部、２２ｂ：円筒部、２２ｃ：軸部、２２ｄ：ワッシャ
２４：プランジャ、２４ａ：レバー、２４ｂ：ピン
２６ａ，２６ｂ：距離
３０：切削装置、３２：基台、３２ａ，３２ｂ：開口、３４：エレベータ
３６ａ：テーブルカバー、３６ｂ：カバー部材、３８：Ｘ軸方向移動機構
４０：チャックテーブル、４０ａ：保持面、４２：プッシュプルアーム
４４：支持構造、４６：Ｙ軸Ｚ軸方向移動機構、４８：Ｙ軸ガイドレール
５０：Ｙ軸移動板、５２：ねじ軸
５４：Ｚ軸ガイドレール、５６：Ｚ軸移動板、５８：ねじ軸、６０：ステッピングモータ
６２：切削ユニット、６４：スピンドルハウジング、６６：切削ブレード
６８：顕微鏡カメラユニット、７０：スピンナ洗浄ユニット
７８－１，７８－２：ロッド（連結部材）
７８Ａ：案内領域、７８Ｂ：連結領域
８０：ボルト、８２：スリット（溝部）
８４：ボルト、８４ａ：頭部
Ａ１：幅方向、Ａ２：奥行方向、Ａ３：高さ方向、Ｂ_１：第１方向、Ｂ_２：第２方向
α，β：角度、δ：微小距離

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】