特開 2024-166781 定温液体供給装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024166781

(43)【公開日】2024-11-29

(54)【発明の名称】定温液体供給装置

(51)【国際特許分類】

   B23Q 11/14 20060101AFI20241122BHJP

   B23Q 11/10 20060101ALI20241122BHJP

   B24B 55/02 20060101ALI20241122BHJP

   B24B 49/14 20060101ALI20241122BHJP

   F24H 1/10 20220101ALI20241122BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20241122BHJP

【ＦＩ】

B23Q11/14

B23Q11/10 E

B24B55/02 Z

B24B49/14

F24H1/10 C

H01L21/304 631

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023083117

(22)【出願日】2023-05-19

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】松本 正臣

(72)【発明者】

【氏名】斉藤 優

【テーマコード（参考）】

3C011

3C034

3C047

3L034

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C011EE08

3C034AA08

3C034BB73

3C034BB87

3C034CA19

3C034CB20

3C034DD07

3C034DD10

3C047FF04

3C047FF17

3C047GG00

3L034BA12

5F057AA39

5F057BA11

5F057CA14

5F057DA11

5F057DA35

5F057FA42

5F057GA04

(57)【要約】

【課題】ヒーターの追加を容易に施せることができる定温液体供給装置を提供すること。
【解決手段】定温液体供給装置１は、液体供給源２からの液体８を定温に調整して加工装置１００へ供給する装置であって、液体供給源２からの液体８を流入させる入口４と、加工装置１００に液体８を流出させる出口５と、入口４と出口５とを連通する連通路１０と、連通路１０に配設され、液体８を加温して温度を調整する加温ユニット２０と、を備え、加温ユニット２０は、液体８を加温する第１ヒーター３０と、第１ヒーター３０および増設する第２ヒーター３９を着脱自在に内蔵する空間２５を有するヒーターケース２１と、を有し、第１ヒーター３０のみでは液体８を加温する能力が足りない際、ヒーターケース２１の空間２５に第２ヒーター３９を容易に増設可能である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体供給源からの液体を定温に調整して加工装置へ供給する定温液体供給装置であって、
該液体供給源からの液体を流入させる入口と、
該加工装置に液体を流出させる出口と、
該入口と該出口とを連通する連通路と、
該連通路に配設され、液体を加温して温度を調整する加温ユニットと、を備え、
該加温ユニットは、
液体を加温する第１ヒーターと、
該第１ヒーターおよび増設する第２ヒーターを着脱自在に内蔵する空間を有するヒーターケースと、を有し、
該第１ヒーターのみでは液体を加温する能力が足りない際、該ヒーターケースの該空間に該第２ヒーターを容易に増設可能であることを特徴とする定温液体供給装置。

【請求項2】

該ヒーターケースは、第１の底壁と、該第１の底壁と対向する第２の底壁と、側壁と、を有して該空間を画成し、
該第１ヒーターは、該空間内に該第１の底壁に連結して配設され、
該第２ヒーターは、該空間内に該第２の底壁に連結して配設されて該第１ヒーターと対向することを特徴とする請求項１に記載の定温液体供給装置。

【請求項3】

該第１の底壁は、該第２の底壁よりも下方に位置することを特徴とする請求項２に記載の定温液体供給装置。

【請求項4】

該ヒーターケースは、該側壁の該第１の底壁側に設けられた液体の流入口と、該側壁の該第２の底壁側に設けられた液体の流出口と、を有することを特徴とする請求項２または請求項３に記載の定温液体供給装置。

【請求項5】

該加温ユニットの下流側の該連通路に配設され、液体の温度を測定する温度計をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の定温液体供給装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液体供給源からの液体を定温に調整して加工装置へ供給する定温液体供給装置に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に研削装置や切削装置等の加工装置では、加工水やスピンドルの冷却水等の水温が一定温度に管理されている。一定温度の加工水や冷却水の供給によって、機械部品の熱膨張及び熱収縮による加工精度の悪化や、スピンドルのかじり等のように部品同士の接触によって装置自体を損傷させることを防止している。

【0003】

従来、加工装置に供給される水を一定温度に保つ定温水供給装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【0004】

特許文献１等に示された定温水供給装置は、工場設備等から供給される水をタンクに貯水し、タンク内の水をポンプで加工装置に送水する流路の途中で温度調整手段によって一定温度に調整して加工装置に水を供給する。温度調整手段は、冷却ユニットと加温ユニットとで形成されている。

【0005】

加温ユニットは、水を加温するためのヒーターと、ヒーターを内蔵し内部を水が流れるヒーターケースと、で構成され、通常、１つのヒーターケース内に１つのヒーターを内蔵する。定温水供給装置における加温能力として、１つのヒーターの容量では目標の仕様を満たさない場合、追加のヒーターを内蔵した新たなヒーターケースを加温ユニットに追加する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１９－１５０９０１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、新たなヒーターケースを流路内の加温ユニットに追加する際、新たにヒーターケースを設置するためのスペースを準備しなければならず、追加の際には、流路内の水抜き作業やヒーターケース同士を繋ぐ流路の増設などの手間がかかり、作業者にとって煩わしいという問題があった。

【0008】

そのため、加工装置へ定温の液体を供給する定温液体供給装置において、加温ユニットとしてのヒーターの追加を容易に施せる定温液体供給装置が提供されるべきという課題がある。

【0009】

本発明の目的は、ヒーターの追加を容易に施せることができる定温液体供給装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の定温液体供給装置は、液体供給源からの液体を定温に調整して加工装置へ供給する定温液体供給装置であって、該液体供給源からの液体を流入させる入口と、該加工装置に液体を流出させる出口と、該入口と該出口とを連通する連通路と、該連通路に配設され、液体を加温して温度を調整する加温ユニットと、を備え、該加温ユニットは、液体を加温する第１ヒーターと、該第１ヒーターおよび増設する第２ヒーターを着脱自在に内蔵する空間を有するヒーターケースと、を有し、該第１ヒーターのみでは液体を加温する能力が足りない際、該ヒーターケースの該空間に該第２ヒーターを容易に増設可能であることを特徴とする。

【0011】

前記定温液体供給装置において、該ヒーターケースは、第１の底壁と、該第１の底壁と対向する第２の底壁と、側壁と、を有して該空間を画成し、該第１ヒーターは、該空間内に該第１の底壁に連結して配設され、該第２ヒーターは、該空間内に該第２の底壁に連結して配設されて該第１ヒーターと対向しても良い。

【0012】

前記定温液体供給装置において、該第１の底壁は、該第２の底壁よりも下方に位置しても良い。

【0013】

前記定温液体供給装置において、該ヒーターケースは、該側壁の該第１の底壁側に設けられた液体の流入口と、該側壁の該第２の底壁側に設けられた液体の流出口と、を有しても良い。

【0014】

前記定温液体供給装置において、該加温ユニットの下流側の該連通路に配設され、液体の温度を測定する温度計をさらに備えても良い。

【発明の効果】

【0015】

本発明は、ヒーターの追加を容易に施せることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】図１は、実施形態１に係る定温液体供給装置の構成例を模式的に示すブロック図である。

【図2】図２は、図１に示された定温液体供給装置が用いられる加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。

【図3】図３は、図１に示された定温液体供給装置の加温ユニットの構成を模式的に一部断面で示す側面図である。

【図4】図４は、図３に示された加温ユニットの第１ヒーター及び第２ヒーターの構成を模式的に一部断面で示す側面図である。

【図5】図５は、図１に示された定温液体供給装置の加温ユニットに第２のヒーターが取り付けられた状態を模式的に示すブロック図である。

【図6】図６は、実施形態１の変形例に係る定温液体供給装置のヒーターケースの構成を模式的に示す断面図である。

【図7】図７は、図６に示されたヒーターケースに第１ヒーター及び第２ヒーターを取り付けた状態を模式的に示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。

【0018】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る定温液体供給装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る定温液体供給装置の構成例を模式的に示すブロック図である。図２は、図１に示された定温液体供給装置が用いられる加工装置の構成例を模式的に示す斜視図である。

【0019】

（加工装置）
実施形態１に係る図１に示す定温液体供給装置１は、定温の液体８を図２に示す加工装置１００へ供給する装置である。なお、定温液体供給装置１が供給する定温の液体８は、図２に示す加工装置１００が被加工物を加工する際に、被加工物等に供給する液体８であって、実施形態１では、純水であり、スピンドル等の冷却に用いられるものではない。なお、本発明では、液体８は、市水でも良い。また、定温の液体８とは、温度が、所定の下限温度以上でかつ所定の上限温度（下限温度よりも高い温度）以下の液体８をいう。

【0020】

図２に示された加工装置１００は、被加工物を研削加工（加工に相当）する研削装置である。図２に示された加工装置１００の加工対象である被加工物は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを基板とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。被加工物は、基板の表面に格子状に設定された分割予定ラインによって区画された各領域に図示しないデバイスが形成されている。

【0021】

デバイスは、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）又は半導体メモリ（記憶装置）である。

【0022】

また、実施形態１において、被加工物は、加工装置１００により表面の裏側の裏面が研削加工されて、所定の仕上げ厚みまで薄化された後、分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割される。

【0023】

加工装置１００は、図２に示すように、装置基台１０１と、ターンテーブル１０４と、ターンテーブル１０４上に設置された複数（実施形態１では３つ）の保持テーブル１０５と、粗研削ユニット１１０と、仕上げ研削ユニット１２０と、研削送りユニット１３０と、カセット１０７と、支持ユニットである位置合わせユニット１４０と、搬送ユニット１５０と、洗浄ユニット１６０と、制御ユニット１７０とを備えている。

【0024】

ターンテーブル１０４は、装置基台１０１の上面に設けられた円盤状のテーブルであり、水平面内でＺ軸方向と平行な軸心回りに回転可能に設けられ、所定のタイミングで回転駆動される。なお、Ｚ軸方向は、鉛直方向と平行な方向である。このターンテーブル１０４上には、例えば３つの保持テーブル１０５が、例えば１２０度の位相角で等間隔に配設されている。

【0025】

これら３つの保持テーブル１０５は、図２に示すように、円板状に形成され、上面がポーラスセラミックス等の多孔質材で構成された保持面１０６である。保持テーブル１０５は、保持面１０６が図示しない吸引源と接続した真空チャックを備えた真空チャックテーブル構造のものであり、被加工物の表面側が保持面１０６上に載置されて、保持面１０６が吸引源により吸引されることで、被加工物を保持面１０６に吸引保持する。

【0026】

また、保持テーブル１０５は、研削加工時には、図示しない回転機構によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転駆動される。保持テーブル１０５は、ターンテーブル１０４の回転によって、搬入出領域３０１、粗研削領域３０２、仕上げ研削領域３０３、搬入出領域３０１に順次移動される。

【0027】

なお、搬入出領域３０１は、保持テーブル１０５に被加工物を搬入搬出する領域であり、粗研削領域３０２は、粗研削ユニット１１０で保持テーブル１０５に保持された被加工物を粗研削加工（研削に相当）する領域であり、仕上げ研削領域３０３は、仕上げ研削ユニット１２０で保持テーブル１０５に保持された被加工物を仕上げ研削加工（研削に相当）する領域である。

【0028】

粗研削ユニット１１０は、保持テーブル１０５が保持する被加工物の上方に露出した裏面を粗研削加工する粗研削用の研削砥石を環状に配設した粗研削用の研削ホイール１１１（加工具に相当）を装着して、粗研削領域３０２の保持テーブル１０５の保持面１０６に保持された被加工物の裏面を粗研削加工する加工ユニットである。仕上げ研削ユニット１２０は、保持テーブル１０５が保持する被加工物の裏面を仕上げ研削加工する仕上げ研削用の研削砥石を環状に配設した仕上げ研削用の研削ホイール１２１（加工具に相当）を装着して、仕上げ研削領域３０３の保持テーブル１０５の保持面１０６に保持された被加工物の裏面を仕上げ研削加工する加工ユニットである。

【0029】

研削ユニット１１０，１２０は、研削ホイール１１１，１２１をモータ１１３，１２３によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転されるスピンドルの下端（先端に相当）に装着し、研削ホイール１１１，１２１の研削砥石を保持テーブル１０５の保持面１０６に対向配置する。研削ユニット１１０，１２０は、モータ１１３，１２３によりスピンドル及び研削ホイール１１１，１２１が軸心回りに回転されるとともに定温液体供給装置１から供給される液体８を研削領域３０２，３０３の保持テーブル１０５に保持された被加工物の裏面に供給しながら研削送りユニット１３０により研削ホイール１１１，１２１の研削砥石が保持テーブル１０５に所定の送り速度で近づけられることによって、被加工物の裏面を粗研削加工又は仕上げ研削加工する。

【0030】

研削送りユニット１３０は、研削ユニット１１０，１２０をＺ軸方向に移動させて、研削ユニット１１０，１２０と保持テーブル１０５とを相対的に接近および離間させるものである。実施形態１において、研削送りユニット１３０は、装置基台１０１の水平方向と平行なＹ軸方向の一端部から立設した立設柱１０２に設けられている。研削送りユニット１３０は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及び各研削ユニット１１０，１２０のスピンドルハウジング１１５，１２５をＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

【0031】

なお、実施形態１において、粗研削ユニット１１０及び仕上げ研削ユニット１２０は、研削ホイール１１１，１２１の回転中心である軸心と、保持テーブル１０５の回転中心である軸心とが、互いに水平方向に間隔をあけて平行に配置され、研削砥石が保持テーブル１０５に保持された被加工物の裏面の中心上を通る。

【0032】

カセット１０７は、複数のスロットを有して、被加工物を複数収容するための収容容器である。カセット１０７は、研削加工前後の被加工物を複数枚収容する。実施形態１では、カセット１０７は、一対設けられ、それぞれカセット載置台１０８に設置される。位置合わせユニット１４０は、カセット１０７から取り出された被加工物が仮置きされて、その中心位置合わせを行うためのテーブルである。

【0033】

搬送ユニット１５０は、被加工物を搬送するものである。搬送ユニット１５０は、搬入ユニット１５１と、搬出ユニット１５２と、搬入出ユニット１５３とを備える。

【0034】

搬入ユニット１５１は、被加工物を吸着する吸着パッドを先端部に有し、基端部を中心として装置基台１０１に揺動自在に設けられたアーム状に形成されている。搬入ユニット１５１は、位置合わせユニット１４０で位置合わせされた研削加工前の被加工物を吸着パッドに吸着保持して搬入出領域３０１に位置する保持テーブル１０５上に搬入する。

【0035】

搬出ユニット１５２は、被加工物を吸着する吸着パッドを先端部に有し、基端部を中心として装置基台１０１に揺動自在に設けられたアーム状に形成されている。搬出ユニット１５２は、搬入出領域３０１に位置する保持テーブル１０５上の研削加工後の被加工物を吸着パッドに吸着保持して洗浄ユニット１６０に搬出する。

【0036】

搬入出ユニット１５３は、研削加工前の被加工物をカセット１０７から取り出して、位置合わせユニット１４０に搬送するとともに、研削加工後の被加工物を洗浄ユニット１６０から取り出して、カセット１０７に搬送する。搬入出ユニット１５３は、例えばＵ字型ハンドを備えるロボットピックであり、Ｕ字型ハンドによって被加工物を吸着保持して搬送する。

【0037】

洗浄ユニット１６０は、研削加工後の被加工物を洗浄し、研削された裏面に付着している研削屑等のコンタミネーションを除去する。

【0038】

制御ユニット１７０は、加工装置１００を構成する上述した各構成ユニットをそれぞれ制御するものである。即ち、制御ユニット１７０は、少なくとも保持テーブル１０５と研削ユニット１１０，１２０の動作を制御して、被加工物に対する加工動作を加工装置１００に実行させるものである。制御ユニット１７０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。

【0039】

制御ユニット１７０の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１００を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１００の上述した構成要素に出力する。また、制御ユニット１７０は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニット及びオペレータに報知する報知ユニットと接続されている。

【0040】

入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。報知ユニットは、音と光とタッチパネル上のメッセージとのうち少なくともいずれかを発して、オペレータに報知する。

【0041】

また、実施形態１において、加工装置１００は、定温液体供給装置１から液体８が供給される供給口に設けられた開閉バルブ１０３を備えている。加工装置１００は、被加工物を研削加工する際に、開閉バルブ１０３が開いて、定温液体供給装置１から液体８が供給され、供給された液体８を研削加工中に研削領域３０２，３０３の保持テーブル１０５に保持された被加工物の裏面に供給する。また、加工装置１００は、被加工物の研削加工の停止時に、開閉バルブ１０３が閉じて、定温液体供給装置１からの液体８の供給が停止される。

【0042】

実施形態１において、加工装置１００は、オペレータにより裏面を上向きにして被加工物を収容したカセット１０７が装置基台１０１のカセット載置台１０８に設置され、加工条件が制御ユニット１７０に登録され、オペレータからの加工動作の開始指示を制御ユニット１７０が受け付けると、加工動作を開始する。加工動作では、加工装置１００は、制御ユニット１７０が、各研削ユニット１１０，１２０のスピンドルを加工条件で定められた回転数で軸心回りに回転させ、搬入出ユニット１５３にカセット１０７のいずれかから被加工物を１枚取り出させて、位置合わせユニット１４０へ搬入させて、位置合わせユニット１４０に被加工物の中心位置合わせを行わせ、搬入ユニット１５１に搬入出領域３０１に位置する保持テーブル１０５の保持面１０６に被加工物を支持して搬送させる。

【0043】

加工動作では、加工装置１００は、制御ユニット１７０が被加工物を搬入出領域３０１の保持テーブル１０５の保持面１０６に吸引保持させ、ターンテーブル１０４を回転して、搬入出領域３０１で被加工物を保持した保持テーブル１０５を粗研削領域３０２と仕上げ研削領域３０３に順に移動して、保持テーブル１０５を軸心回りに回転しながら液体８を供給して粗研削ユニット１１０と仕上げ研削ユニット１２０により順に被加工物を研削加工する。加工動作では、加工装置１００は、制御ユニット１７０が被加工物を粗研削加工した後、ターンテーブル１０４を回転して、仕上げ研削加工後の被加工物を保持した保持テーブル１０５を搬入出領域３０１に移動させて、搬出ユニット１５２に仕上げ研削加工後の被加工物を搬入出領域３０１の保持テーブル１０５から洗浄ユニット１６０に搬送して、洗浄ユニット１６０で洗浄した後、搬入出ユニット１５３にカセット１０７に収容させる。

【0044】

加工動作において、加工装置１００は、制御ユニット１７０がターンテーブル１０４を１２０度回転する度に、仕上げ研削加工後の被加工物を保持している搬入出領域３０１の保持テーブル１０５から被加工物を洗浄ユニット１６０に搬送し、仕上げ研削加工後の被加工物を保持していない搬入出領域３０１の保持テーブル１０５に研削加工前の被加工物を搬入し、粗研削領域３０２の保持テーブル１０５に保持された研削加工前の被加工物を粗研削加工し、仕上げ研削領域３０３の保持テーブル１０５に保持された粗研削加工後の被加工物を粗研削加工する。こうして、加工装置１００は、制御ユニット１７０がターンテーブル１０４を１２０度回転する度に搬入出領域３０１の保持テーブル１０５に被加工物を搬出、搬入し、保持テーブル１０５の保持面１０６に保持した被加工物を粗研削領域３０２及び仕上げ研削領域３０３に順に位置付けて、粗研削加工及び仕上げ研削加工を順に施す。加工装置１００は、制御ユニット１７０がカセット１０７内の全ての被加工物に粗研削加工、仕上げ研削加工を施すと、加工動作を終了する。

【0045】

（定温液体供給装置）
次に、定温液体供給装置１を説明する。図３は、図１に示された定温液体供給装置の加温ユニットの構成を模式的に一部断面で示す側面図である。図４は、図３に示された加温ユニットの第１ヒーター及び第２ヒーターの構成を模式的に一部断面で示す側面図である。図５は、図１に示された定温液体供給装置の加温ユニットに第２のヒーターが取り付けられた状態を模式的に示すブロック図である。

【0046】

定温液体供給装置１は、図１に示す液体供給源２からの液体８の温度を前述した定温に調整して、加工装置１００へ供給する装置である。定温液体供給装置１は、図１に示すように、筐体３と、筐体３に設けられた入口４と、筐体３に設けられた出口５と、筐体３内に収容された連通路１０と、筐体３内に収容された冷却ユニット１１と、筐体３内に収容された加温ユニット２０と、温度計１２と、コントローラ４０とを備えている。

【0047】

入口４は、液体供給源２からの液体８を流入させるものである。出口５は、加工装置１００に液体８を流出させるものである。出口５は、加工装置１００の開閉バルブ１０３と配管６により接続されている。

【0048】

連通路１０は、入口４と、出口５とを連通する配管である。連通路１０は、入口４から出口５へと液体８を導くものである。冷却ユニット１１は、連通路１０に配設され、連通路１０内を流れる液体８を冷却するものである。冷却ユニット１１は、駆動することで、連通路１０内を流れる液体８を冷却するとともに、停止することで連通路１０内を流れる液体８を冷却しない。実施形態１では、冷却ユニット１１は、周知のチラーである。

【0049】

加温ユニット２０は、連通路１０に配設され、連通路１０内を流れる液体８を加温して温度を調整するものである。実施形態１では、加温ユニット２０は、連通路１０内を流れる液体８の流れる方向の冷却ユニット１１の下流側に配設されている。

【0050】

加温ユニット２０は、図３に示すように、ヒーターケース２１と、第１ヒーター３０と、蓋体３８とを有する。ヒーターケース２１は、第１の底壁２２と、第１の底壁２２と間隔をあけて対向する第２の底壁２３と、第１の底壁２２と第２の底壁２３とに連なった側壁２４とを備えて、液体８を貯留し、液体８を流す空間２５を内側に画成している。即ち、ヒーターケース２１は、空間２５を有している。また、実施形態１では、ヒーターケース２１は、側壁２４の一端部に第１の底壁２２を設け、側壁２４の他端部に第２の底壁２３を設けている。

【0051】

実施形態１では、第１の底壁２２と、第２の底壁２３とは、それぞれ、円環状に形成されており、中央に貫通孔２６が形成されている。また、実施形態１では、第１の底壁２２は、第２の底壁２３よりも下方に位置する。実施形態１では、側壁２４は、第１の底壁２２と第２の底壁２３の貫通孔２６の外周側に連なって、円筒状に形成されている。底壁２２，２３の外縁は、側壁２４の外周面から外周方向に突出している。

【0052】

また、ヒーターケース２１は、液体８の流入口２７と、液体８の流出口２８とを有する。流入口２７は、側壁２４を貫通しかつ側壁２４の長手方向の中央よりも第１の底壁２２側に設けられている。流入口２７は、連通路１０及び冷却ユニット１１等を介して液体供給源２から液体８をヒーターケース２１内に流入させる。流出口２８は、側壁２４を貫通しかつ側壁２４の長手方向の中央よりも第２の底壁２３側に設けられている。流出口２８は、ヒーターケース２１内から液体８を流出させる。

【0053】

第１ヒーター３０は、ヒーターケース２１に取り付けられて、ヒーターケース２１内の液体８を加温する。第１ヒーター３０は、図３及び図４に示すように、フランジ３１と、ヒーター部３２と、ヒーターキャップ３３とを備えている。フランジ３１は、外径が底壁２２，２３の外径と同径の円板状にされている。

【0054】

実施形態１において、ヒーター部３２は、フランジ３１の一方の表面３４から立設している。実施形態１において、ヒーター部３２は、ステンレス鋼などで構成されたパイプ内に電力が印加されることで発熱するスパイラル状の発熱体を収容し、熱伝導性を有する絶縁物で満たされた所謂シーズヒータである。実施形態１において、ヒーター部３２は、フランジ３１の一方の表面３４から複数立設し、その全長がヒーターケース２１の全長の１／２よりも短い。

【0055】

ヒーターキャップ３３は、ドーム状に形成され、フランジ３１の他方の表面３５上に設けられている。ヒーターキャップ３３は、ヒーター部３２に電力を供給するケーブル３６を通す図示しない孔が設けられている。

【0056】

第１ヒーター３０は、ヒーター部３２が第１の底壁２２の貫通孔２６を通してヒーターケース２１の空間２５内に配設され、フランジ３１の一方の表面３４が第１の底壁２２上に重ねられて、ヒーターケース２１に取り付けられる。実施形態１では、第１ヒーター３０は、フランジ３１が第１の底壁２２に例えば図示しないボルト及びナット等により連結されて、ヒーターケース２１に取り付けられる。このように、第１ヒーター３０は、第１の底壁２２にボルト及びナット等により着脱自在である。

【0057】

蓋体３８は、ヒーターケース２１に取り付けられて、ヒーターケース２１内の空間２５を密閉する。蓋体３８は、外径が底壁２２，２３の外径と同径の円板状にされている。蓋体３８は、第２の底壁２３上に重ねられて、ヒーターケース２１に取り付けられる。実施形態１では、蓋体３８は、第２の底壁２３に例えば図示しないボルト及びナット等により連結されて、ヒーターケース２１に取り付けられる。

【0058】

加温ユニット２０は、第１ヒーター３０がヒーターケース２１の第１の底壁２２に連結して配設され、蓋体３８がヒーターケース２１の第２の底壁２３に連結されて配設されて、空間２５に第１ヒーター３０のヒーター部３２を内蔵する。加温ユニット２０は、ヒーター部３２にケーブル３６を介して電力が印加されることで、流入口２７から流入した液体８を加温して流出口２８から流出し、ヒーター部３２にケーブル３６を介して電力が印加されないことで、流入口２７から流入した液体８を加温せずに流出口２８から流出する。冷却ユニット１１と、加温ユニット２０とは、共同して、連通路１０内を流れる液体８の温度を前述した定温に調整する。なお、実施形態１では、第１ヒーター３０の最大出力は、６Ｗである。

【0059】

温度計１２は、連通路１０に配設され、連通路１０内を流れる液体８の温度を測定し、測定結果をコントローラ４０に出力するものである。実施形態１において、温度計１２は、連通路１０内を流れる液体８の流れる方向の加温ユニット２０の下流側に配設されている。

【0060】

コントローラ４０は、定温液体供給装置１を構成する上述した各構成ユニットをそれぞれ制御するものである。即ち、コントローラ４０は、少なくとも冷却ユニット１１と加温ユニット２０の動作を制御して、液体８の加工装置１００への供給動作を定温液体供給装置１に実行させるものである。

【0061】

コントローラ４０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。コントローラ４０の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、定温液体供給装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して定温液体供給装置１の上述した構成要素に出力する。

【0062】

また、実施形態１において、加温ユニット２０は、図５に示すように、第２ヒーター３９を増設可能である。第２ヒーター３９の構成は、第１ヒーター３０の構成と等しいので、第２ヒーター３９の第１ヒーター３０と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0063】

第２ヒーター３９は、蓋体３８がヒーターケース２１の第２の底壁２３から取り外された後、ヒーター部３２が第２の底壁２３の貫通孔２６を通してヒーターケース２１の空間２５内に配設され、フランジ３１の一方の表面３４が第２の底壁２３上に重ねられて、ヒーターケース２１に取り付けられる。実施形態２では、第２ヒーター３９は、フランジ３１が第２の底壁２３に例えば図示しないボルト及びナット等により連結されて、ヒーターケース２１に取り付けられる。このように、第２ヒーター３９は、第２の底壁２３にボルト及びナット等により着脱自在である。

【0064】

第２ヒーター３９は、第１ヒーター３０と同様に、ヒーターケース２１の第２の底壁２３に連結して配設され、空間２５にヒーター部３２が内蔵される。このように、ヒーターケース２１は、第１ヒーター３０及び増設する第２ヒーター３９のヒーター部３２を着脱自在に内蔵する空間２５を有することとなる。また、第２ヒーター３９のヒーター部３２は、空間２５に収容された第１ヒーター３０のヒーター部３２とヒーターケース２１の長手方向に沿って間隔をあけて対向する。

【0065】

第２ヒーター３９は、ヒーター部３２にケーブル３６を介して電力が印加されることで、流入口２７から流入した液体８を加温して流出口２８から流出し、ヒーター部３２にケーブル３６を介して電力が印加されないことで、流入口２７から流入した液体８を加温せずに流出口２８から流出する。なお、実施形態１では、第２ヒーター３９の最大出力は、６Ｗである。

【0066】

加温ユニット２０は、第１ヒーター３０のみでは液体８を加温する能力が足りない際（前述した定温まで液体８を加温できない際）、ヒーターケース２１から蓋体３８を取り外して空間２５に第２ヒーター３９のヒーター部３２を挿入して、ヒーターケース２１の空間２５に第２ヒーター３９を前述したボルト及びナット等により容易に増設可能である。

【0067】

前述した構成の定温液体供給装置１は、図１に示すように、加温ユニット２０のヒーターケース２１に少なくとも第１ヒーター３０が取り付けられ、液体８を加温する温度に応じて、図５に示すように、第２ヒーター３９が取り付けられる。定温液体供給装置１は、入口４から液体供給源２からの液体８が流入し、温度計１２の測定結果及び前述した定温に応じて、コントローラ４０が冷却ユニット１１の駆動状況、ヒーター３０，３９のヒーター部３２に電力を印加して、液体供給源２から流入した液体８の温度を定温に調整して、定温の液体８を加工装置１００に向けて流出する。

【0068】

以上説明したように、実施形態１に係る定温液体供給装置１は、加温ユニット２０が、液体８を加温する第１ヒーターと、第１ヒーター３０および第２ヒーター３９のヒーター部３２を内蔵する空間２５を有するヒーターケース２１と、を有しているので、第１ヒーター３０のみでは液体８を加温する能力が足りない際、蓋体３８が取り外されたヒーターケース２１に第２ヒーター３９を取り付けることで、ヒーターケース２１の空間２５に第２ヒーター３９を容易に増設可能である。

【0069】

その結果、実施形態１に係る定温液体供給装置１は、第２ヒーター３９を追加する際、第１ヒーター３０とは干渉せずに、第２ヒーター３９を追加することができるため、ヒーターの追加を容易に施せることができるという効果を奏する。

【0070】

また、実施形態１に係る定温液体供給装置１は、ヒーターケース２１から蓋体３８を取り外して、ヒーターケース２１の第２の底壁２３に第２ヒーター３９を連結することができるために、ヒーターケース２１内等の液体８を抜き取ることなく第２ヒーター３９を増設可能であるので、第２ヒーター３９の増設にかかる煩雑さを抑制することができる。

【0071】

また、実施形態１に係る定温液体供給装置１は、ヒーターケース２１から蓋体３８を取り外して、ヒーターケース２１の第２の底壁２３に第２ヒーター３９を連結することができるために、第２ヒーター３９を第１ヒーター３０が配設された連通路１０に増設することができる。このために、実施形態１に係る定温液体供給装置１は、連通路１０を増設することなく、第２ヒーター３９を増設できるので、連通路１０内の温度変化を低減することができ、液体８の温度応答性を向上することができる。

【0072】

〔変形例〕
実施形態１の変形例に係る定温液体供給装置を図面に基づいて説明する。図６は、実施形態１の変形例に係る定温液体供給装置のヒーターケースの構成を模式的に示す断面図である。図７は、図６に示されたヒーターケースに第１ヒーター及び第２ヒーターを取り付けた状態を模式的に示す断面図である。なお、図５及び図６は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0073】

変形例に係る定温液体供給装置１は、加温ユニット２０のヒーターケース２１－１が実施形態１と異なること以外、実施形態１と同じである。変形例に係る定温液体供給装置１は、ヒーターケース２１－１が、図６に示すように、第１の底壁２２と、第２の底壁２３とが同一平面上に配置され、側壁２４の一方の開口が底壁２２，２３に塞がれ、他方の開口が壁２９により塞がれて構成されている。

【0074】

変形例に係る定温液体供給装置１は、実施形態１と同様に、加温ユニット２０が、第１ヒーター３０のフランジ３１が第１の底壁２２に例えば図示しないボルト及びナット等により連結されてヒーターケース２１－１に取り付けられ、第２ヒーター３９のフランジ３１が第２の底壁２３に例えば図示しないボルト及びナット等により連結されてヒーターケース２１－１に取り付けられて、図７に示すように、ヒーター３０，３９のヒーター部３２がヒーターケース２１－１の空間２５内に内蔵される。変形例に係る定温液体供給装置１は、ヒーターケース２１－１の空間２５内にヒーター３０，３９のヒーター部３２を互いに平行な状態で内蔵する。

【0075】

変形例に係る定温液体供給装置１は、実施形態１と同様に、入口４から液体供給源２からの液体８が流入し、温度計１２の測定結果及び前述した定温に応じて、コントローラ４０が冷却ユニット１１の駆動状況、ヒーター３０，３９のヒーター部３２に電力を印加して、液体供給源２から流入した液体８の温度を定温に調整して、定温の液体８を加工装置１００に向けて流出する。

【0076】

変形例に係る定温液体供給装置１は、加温ユニット２０が、液体８を加温する第１ヒーターと、第１ヒーター３０および第２ヒーター３９のヒーター部３２を内蔵する空間２５を有するヒーターケース２１－１と、を有しているので、実施形態１と同様に、第２ヒーター３９を追加する際、第１ヒーター３０とは干渉せずに、第２ヒーター３９を追加することができるため、ヒーターの追加を容易に施せることができるという効果を奏する。

【0077】

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。本発明では、加工装置１００は、被加工物に定温液体供給装置１から供給された定温の液体８を供給しながら研削加工する研削装置に限らず、被加工物に定温液体供給装置１から供給された定温の液体８を供給しながら切削加工する切削装置であっても良い。

【符号の説明】

【0078】

１ 定温液体供給装置
２ 液体供給源
４ 入口
５ 出口
８ 液体
１０ 連通路
１１ 冷却ユニット
１２ 温度計
２０ 加温ユニット
２１ ヒーターケース
２２ 第１の底壁
２３ 第２の底壁
２４ 側壁
２５ 空間
２７ 流入口
２８ 流出口
３０ 第１ヒーター
３９ 第２ヒーター
１００ 加工装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】