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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024168031
(43)【公開日】2024-12-05
(54)【発明の名称】基板処理システム及び基板処理方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20241128BHJP
B25J 19/06 20060101ALI20241128BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 B
B25J19/06
【審査請求】未請求
【請求項の数】20
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023084415
(22)【出願日】2023-05-23
(71)【出願人】
【識別番号】000219967
【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100088155
【弁理士】
【氏名又は名称】長谷川 芳樹
(74)【代理人】
【識別番号】100113435
【弁理士】
【氏名又は名称】黒木 義樹
(74)【代理人】
【識別番号】100122507
【弁理士】
【氏名又は名称】柏岡 潤二
(74)【代理人】
【識別番号】100171099
【弁理士】
【氏名又は名称】松尾 茂樹
(72)【発明者】
【氏名】村田 啓史
(72)【発明者】
【氏名】八尾 憲治
(72)【発明者】
【氏名】榎本 正志
【テーマコード（参考）】
3C707
5F131
【Ｆターム（参考）】
3C707AS24
3C707BT14
3C707CS04
3C707DS01
3C707HT02
3C707JS02
3C707MS14
3C707MS15
3C707MS24
3C707NS13
5F131AA02
5F131AA03
5F131AA12
5F131AA32
5F131BA12
5F131BA13
5F131BA14
5F131BB02
5F131BB03
5F131CA70
5F131DA33
5F131DA34
5F131DB22
5F131DB54
5F131DB62
5F131DB72
5F131DB92
5F131KA12
5F131KA52
5F131KB12
5F131KB45
(57)【要約】
【課題】フォークを往復運動させるベルトの劣化を検出する基板処理システム及び基板処理方法が提供する。
【解決手段】
基板処理システムは、基板を支持するフォークと、アクチュエータと、アクチュエータの動きを変位方向の動きに変換してフォークに伝達するベルトと、を有する搬送装置と、フォークが基板を支持した状態において、フォークに対する基板の相対位置を検出する相対位置検出部と、フォークが基板の支持を繰り返すのに応じた相対位置の推移に基づいて、ベルトの劣化を検出する劣化検出部と、を備える。
【選択図】図５
【解決手段】
基板処理システムは、基板を支持するフォークと、アクチュエータと、アクチュエータの動きを変位方向の動きに変換してフォークに伝達するベルトと、を有する搬送装置と、フォークが基板を支持した状態において、フォークに対する基板の相対位置を検出する相対位置検出部と、フォークが基板の支持を繰り返すのに応じた相対位置の推移に基づいて、ベルトの劣化を検出する劣化検出部と、を備える。
【選択図】図５
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板を支持するフォークと、
アクチュエータと、
前記アクチュエータの動きを変位方向の動きに変換して前記フォークに伝達するベルトと、
を有する搬送装置と、
前記フォークが前記基板を支持した状態において、前記フォークに対する前記基板の相対位置を検出する相対位置検出部と、
前記フォークが前記基板の支持を繰り返すのに応じた前記相対位置の推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出する劣化検出部と、を備える基板処理システム。
アクチュエータと、
前記アクチュエータの動きを変位方向の動きに変換して前記フォークに伝達するベルトと、
を有する搬送装置と、
前記フォークが前記基板を支持した状態において、前記フォークに対する前記基板の相対位置を検出する相対位置検出部と、
前記フォークが前記基板の支持を繰り返すのに応じた前記相対位置の推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出する劣化検出部と、を備える基板処理システム。
【請求項2】
所定期間における前記相対位置の変化量を算出する算出部を更に備え、
前記劣化検出部は、算出された前記変化量に基づいて劣化を検出する、請求項１に記載の基板処理システム。
前記劣化検出部は、算出された前記変化量に基づいて劣化を検出する、請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項3】
前記算出部は、前記相対位置の変化速度が所定の速度閾値を超えた時点からの前記所定期間における前記変化量を算出する、請求項２に記載の基板処理システム。
【請求項4】
前記算出部は、
第１期間における前記相対位置の第１変化量を算出する第１算出部と、
前記第１期間よりも短い第２期間における前記相対位置の第２変化量を算出する第２算出部と、を有し、
劣化検出部は、前記第１算出部により算出された前記第１変化量と、前記第２算出部により繰り返し算出された複数の前記第２変化量とに基づいて劣化を検出する、請求項２に記載の基板処理システム。
第１期間における前記相対位置の第１変化量を算出する第１算出部と、
前記第１期間よりも短い第２期間における前記相対位置の第２変化量を算出する第２算出部と、を有し、
劣化検出部は、前記第１算出部により算出された前記第１変化量と、前記第２算出部により繰り返し算出された複数の前記第２変化量とに基づいて劣化を検出する、請求項２に記載の基板処理システム。
【請求項5】
前記劣化検出部は、
前記第１算出部により算出された前記第１変化量が第１閾値を超えた場合に前記ベルトの劣化を検出し、
前記第２算出部により連続して算出された２以上の前記第２変化量のそれぞれが、前記第１閾値よりも小さい第２閾値を超えた場合に、前記ベルトの劣化を検出する、請求項４に記載の基板処理システム。
前記第１算出部により算出された前記第１変化量が第１閾値を超えた場合に前記ベルトの劣化を検出し、
前記第２算出部により連続して算出された２以上の前記第２変化量のそれぞれが、前記第１閾値よりも小さい第２閾値を超えた場合に、前記ベルトの劣化を検出する、請求項４に記載の基板処理システム。
【請求項6】
前記劣化検出部は、前記第２算出部による算出の繰り返しに応じて、前記第２算出部による前記第２変化量の算出結果が増加している場合に、前記ベルトの劣化を検出する、請求項４に記載の基板処理システム。
【請求項7】
前記第２算出部により算出された複数の前記第２変化量に基づいて、前記第１期間における前記推移を補正する補正部を更に備え、
前記第１算出部は、補正後の前記推移に基づいて、前記第１期間における前記第１変化量を算出する、請求項４に記載の基板処理システム。
前記第１算出部は、補正後の前記推移に基づいて、前記第１期間における前記第１変化量を算出する、請求項４に記載の基板処理システム。
【請求項8】
前記補正部は、前記第２算出部により算出された複数の前記第２変化量に基づいて、前記相対位置の増減の繰り返しを検出し、前記増減の繰り返しを抑制するフィルタ処理によって前記推移を補正する、請求項７に記載の基板処理システム。
【請求項9】
前記補正部は、前記第２算出部により算出された複数の前記第２変化量に基づいて、前記搬送装置のメンテナンスに起因する前記相対位置のドリフト変動を検出し、前記ドリフト変動を除外するように前記推移を補正する、請求項７又は８に記載の基板処理システム。
【請求項10】
前記補正部は、前記第２算出部により算出された複数の前記第２変化量の少なくともいずれかが所定のドリフト閾値を超えた場合に、前記ドリフト変動を検出する、請求項９に記載の基板処理システム。
【請求項11】
前記搬送装置のメンテナンスの履歴を記録するメンテナンス記録部を更に備え、
前記補正部は、
前記第２変化量が前記ドリフト閾値を超えた期間における前記メンテナンスの履歴が前記メンテナンス記録部にあるか否かに更に基づいて前記ドリフト変動を検出する、請求項１０に記載の基板処理システム。
前記補正部は、
前記第２変化量が前記ドリフト閾値を超えた期間における前記メンテナンスの履歴が前記メンテナンス記録部にあるか否かに更に基づいて前記ドリフト変動を検出する、請求項１０に記載の基板処理システム。
【請求項12】
前記補正部は、前記第２変化量が前記ドリフト閾値を超えた期間の前後の前記相対位置の推移の類似度に更に基づいて前記ドリフト変動を検出する、請求項１０に記載の基板処理システム。
【請求項13】
前記フォークが前記基板の支持を繰り返すのに応じて、前記フォークによる前記基板の受け取り先の識別情報と、前記相対位置の検出結果とを対応付けてデータベースに蓄積するデータ蓄積部と、
前記受け取り先が共通である前記相対位置の検出結果の推移をデータベースから抽出する抽出部と、
を更に備え、
前記劣化検出部は、前記抽出部により抽出された推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出する、請求項１又は２に記載の基板処理システム。
前記受け取り先が共通である前記相対位置の検出結果の推移をデータベースから抽出する抽出部と、
を更に備え、
前記劣化検出部は、前記抽出部により抽出された推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出する、請求項１又は２に記載の基板処理システム。
【請求項14】
前記搬送装置を含む複数の搬送装置のそれぞれにおいて、前記フォークが前記基板の支持を繰り返すのに応じて、前記フォークにより前記基板を支持した搬送装置の識別情報と、前記相対位置の検出結果とを対応付けてデータベースに蓄積するデータ蓄積部と、
共通の搬送装置の前記フォークにおける前記相対位置の検出結果の推移をデータベースから抽出する抽出部と、
を更に備え、
前記劣化検出部は、前記抽出部により抽出された推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出する、請求項１又は２に記載の基板処理システム。
共通の搬送装置の前記フォークにおける前記相対位置の検出結果の推移をデータベースから抽出する抽出部と、
を更に備え、
前記劣化検出部は、前記抽出部により抽出された推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出する、請求項１又は２に記載の基板処理システム。
【請求項15】
前記フォークは、支持対象の前記基板に接した時点における前記相対位置を維持するように前記基板を吸着する吸着部を含む、請求項１又は２に記載の基板処理システム。
【請求項16】
前記搬送装置を含む基板処理装置と、
前記基板処理装置と通信可能なサーバと、
を備え、
前記劣化検出部は前記サーバに設けられている、請求項１又は２に記載の基板処理システム。
前記基板処理装置と通信可能なサーバと、
を備え、
前記劣化検出部は前記サーバに設けられている、請求項１又は２に記載の基板処理システム。
【請求項17】
前記基板に対し処理を行う処理ユニットと、
前記フォークが支持した前記基板を前記搬送装置が前記処理ユニットに搬入する際における前記相対位置の検出結果と、前記フォークが支持した前記基板を前記搬送装置が前記処理ユニットから搬出する際における前記相対位置の検出結果と、の差分に基づいて、前記処理ユニットの異常を検出するユニット異常検出部と、
を更に備える、請求項１又は２に記載の基板処理システム。
前記フォークが支持した前記基板を前記搬送装置が前記処理ユニットに搬入する際における前記相対位置の検出結果と、前記フォークが支持した前記基板を前記搬送装置が前記処理ユニットから搬出する際における前記相対位置の検出結果と、の差分に基づいて、前記処理ユニットの異常を検出するユニット異常検出部と、
を更に備える、請求項１又は２に記載の基板処理システム。
【請求項18】
前記処理ユニットを含む複数の処理ユニットを備え、
前記ユニット異常検出部は、前記複数の処理ユニットに共通する前記差分に基づいて、前記基板処理システムの設置の異常を更に検出する、請求項１７に記載の基板処理システム。
前記ユニット異常検出部は、前記複数の処理ユニットに共通する前記差分に基づいて、前記基板処理システムの設置の異常を更に検出する、請求項１７に記載の基板処理システム。
【請求項19】
前記搬送装置を含む複数の搬送装置と、
前記複数の搬送装置のそれぞれに対する前記劣化検出部による劣化の検出結果を、前記複数の搬送装置がそれぞれ配置される複数のエリアの位置関係に合わせてレイアウトしたマップをモニタに表示させるマップ表示部と、
を更に備える、請求項１又は２に記載の基板処理システム。
前記複数の搬送装置のそれぞれに対する前記劣化検出部による劣化の検出結果を、前記複数の搬送装置がそれぞれ配置される複数のエリアの位置関係に合わせてレイアウトしたマップをモニタに表示させるマップ表示部と、
を更に備える、請求項１又は２に記載の基板処理システム。
【請求項20】
基板処理システムにおいて、搬送装置がベルトにより変位させるフォークが基板を支持する度に、前記フォークに対する前記基板の相対位置を検出することと、
前記相対位置の検出結果の推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出することと、を含む基板処理方法。
前記相対位置の検出結果の推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出することと、を含む基板処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、基板処理システム及び基板処理方法に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、基板を保持する保持アーム（フォーク）を往復運動させる駆動部が開示されている。この駆動部は、プーリと、ベルトと、モータとを有している。この駆動部は、モータによるトルクをプーリに伝える。プーリにかけ渡されたベルトが移動することにより、保持アームが往復運動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２１－１７４８３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本開示は、フォークを往復運動させるベルトの劣化を検出する基板処理システム及び基板処理方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本開示の一態様による基板処理システムは、基板を支持するフォークと、アクチュエータと、前記アクチュエータの動きを変位方向の動きに変換して前記フォークに伝達するベルトと、を有する搬送装置と、前記フォークが前記基板を支持した状態において、前記フォークに対する前記基板の相対位置を検出する相対位置検出部と、前記フォークが前記基板の支持を繰り返すのに応じた前記相対位置の推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出する劣化検出部と、を備える。
【発明の効果】
【0006】
本開示によれば、フォークを往復運動させるベルトの劣化を検出する基板処理システム及び基板処理方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【発明を実施するための形態】
【0008】
以下、図面を参照して一実施形態について説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【0009】
［基板処理システム］
図１に示される基板処理装置１０は、ワークＷに対し、感光性被膜の形成、当該感光性被膜の露光、及び当該感光性被膜の現像を施すシステムである。処理対象のワークＷは、例えば基板、あるいは所定の処理が施されることで膜又は回路等が形成された状態の基板である。ワークＷに含まれる基板は、一例として、シリコンを含むウェハである。ワークＷ（基板）は、円形に形成されていてもよい。処理対象のワークＷは、ガラス基板、マスク基板、ＦＰＤ（Flat Panel Display）などであってもよく、これらの基板等に所定の処理が施されて得られる中間体であってもよい。感光性被膜は、例えばレジスト膜である。
図１に示される基板処理装置１０は、ワークＷに対し、感光性被膜の形成、当該感光性被膜の露光、及び当該感光性被膜の現像を施すシステムである。処理対象のワークＷは、例えば基板、あるいは所定の処理が施されることで膜又は回路等が形成された状態の基板である。ワークＷに含まれる基板は、一例として、シリコンを含むウェハである。ワークＷ（基板）は、円形に形成されていてもよい。処理対象のワークＷは、ガラス基板、マスク基板、ＦＰＤ（Flat Panel Display）などであってもよく、これらの基板等に所定の処理が施されて得られる中間体であってもよい。感光性被膜は、例えばレジスト膜である。
【0010】
基板処理装置１０は、塗布・現像装置２と、露光装置３とを備える。露光装置３は、ワークＷ（基板）に形成されたレジスト膜（感光性被膜）を露光する装置である。具体的には、露光装置３は、液浸露光等の方法によりレジスト膜の露光対象部分にエネルギー線を照射する。塗布・現像装置２は、露光装置３による露光処理前に、ワークＷの表面にレジスト（薬液）を塗布してレジスト膜を形成する処理を行い、露光処理後にレジスト膜の現像処理を行う。
【0011】
以下、基板処理装置１０の一例として、塗布・現像装置２の構成を説明する。図１及び図２に示されるように、塗布・現像装置２は、キャリアブロック４と、処理ブロック５と、インタフェースブロック６と、制御装置１００とを備える。
【0012】
キャリアブロック４は、塗布・現像装置２内へのワークＷの導入及び塗布・現像装置２内からのワークＷの導出を行う。例えばキャリアブロック４は、ワークＷ用の複数のキャリアＣを支持可能であり、受け渡しアームを含む搬送装置Ａ１を内蔵している。キャリアＣは、例えば円形の複数枚のワークＷを収容する。搬送装置Ａ１は、キャリアＣからワークＷを取り出して処理ブロック５に渡し、処理ブロック５からワークＷを受け取ってキャリアＣ内に戻す。処理ブロック５は、処理モジュール１１，１２，１３，１４を有する。
【0013】
処理モジュール１１は、液処理ユニットＵ１と、熱処理ユニットＵ２と、これらのユニットにワークＷを搬送する搬送装置Ａ３とを内蔵している。処理モジュール１１は、液処理ユニットＵ１及び熱処理ユニットＵ２によりワークＷの表面上に下層膜を形成する。液処理ユニットＵ１は、下層膜形成用の処理液をワークＷ上に塗布する。熱処理ユニットＵ２は、下層膜の形成に伴う各種熱処理を行う。
【0014】
処理モジュール１２は、液処理ユニットＵ１と、熱処理ユニットＵ２と、これらのユニットにワークＷを搬送する搬送装置Ａ３とを内蔵している。処理モジュール１２は、液処理ユニットＵ１及び熱処理ユニットＵ２により下層膜上にレジスト膜を形成する。液処理ユニットＵ１は、レジスト膜形成用の処理液（レジスト）を下層膜上に塗布する。熱処理ユニットＵ２は、レジスト膜の形成に伴う各種熱処理を行う。
【0015】
処理モジュール１３は、液処理ユニットＵ１と、熱処理ユニットＵ２と、これらのユニットにワークＷを搬送する搬送装置Ａ３とを内蔵している。処理モジュール１３は、液処理ユニットＵ１及び熱処理ユニットＵ２によりレジスト膜上に上層膜を形成する。液処理ユニットＵ１は、上層膜形成用の処理液をレジスト膜の上に塗布する。熱処理ユニットＵ２は、上層膜の形成に伴う各種熱処理を行う。
【0016】
処理モジュール１４は、液処理ユニットＵ１と、熱処理ユニットＵ２と、これらのユニットにワークＷを搬送する搬送装置Ａ３とを内蔵している。処理モジュール１４は、液処理ユニットＵ１及び熱処理ユニットＵ２により、露光処理が施されたレジスト膜の現像処理及び現像処理に伴う熱処理を行う。液処理ユニットＵ１は、露光済みのワークＷの表面上に現像液を塗布した後、これをリンス液により洗い流すことで、レジスト膜の現像処理を行う。熱処理ユニットＵ２は、現像処理に伴う各種熱処理を行う。熱処理の具体例としては、現像処理前の加熱処理（ＰＥＢ：Post Exposure Bake）、現像処理後の加熱処理（ＰＢ：Post Bake）等が挙げられる。
【0017】
処理ブロック５内におけるキャリアブロック４側には棚ユニットＵ１０が設けられている。棚ユニットＵ１０は、上下方向に並ぶ複数のセルに区画されている。棚ユニットＵ１０の近傍には昇降アームを含む搬送装置Ａ７が設けられている。搬送装置Ａ７は、棚ユニットＵ１０のセル同士の間でワークＷを昇降させる。
【0018】
処理ブロック５内におけるインタフェースブロック６側には棚ユニットＵ１１が設けられている。棚ユニットＵ１１は、上下方向に並ぶ複数のセルに区画されている。棚ユニットＵ１０，Ｕ１１は、ワークＷに次の処理を行うために当該ワークＷを待機させるので（バッファとして機能するので）、これら棚ユニットＵ１０，Ｕ１１もワークＷに対して処理を施す処理ユニットに該当する。
【0019】
インタフェースブロック６は、露光装置３との間でワークＷの受け渡しを行う。例えばインタフェースブロック６は、受け渡しアームを含む搬送装置Ａ８を内蔵しており、露光装置３に接続される。搬送装置Ａ８は、棚ユニットＵ１１に配置されたワークＷを露光装置３に渡す。搬送装置Ａ８は、露光装置３からワークＷを受け取って棚ユニットＵ１１に戻す。
【0020】
制御装置１００は、塗布・現像装置２を制御する。制御装置１００は、少なくとも、搬送装置Ａ３，Ａ７，Ａ８に含まれるフォークにワークＷを保持させた状態で、当該フォークを変位させて、各処理ユニットに対するワークＷの搬入出を行うように搬送装置Ａ３，Ａ７，Ａ８を制御する。
【0021】
次に、図３及び図４を参照して、搬送装置Ａ３の一例について詳細に説明する。搬送装置Ａ３（搬送ユニット）は、各処理モジュール１１～１４内において、ワークＷを保持した状態で当該ワークＷを搬送する。搬送装置Ａ３は、各処理モジュール１１～１４に含まれる複数の処理ユニットの間でワークＷを搬送する。各処理モジュール１１～１４では、複数の液処理ユニットＵ１及び複数の熱処理ユニットＵ２が、水平な一方向に沿って並んで配置されている。以下では、説明の便宜上、複数の液処理ユニットＵ１が並ぶ方向を「方向ＤＲ１」とし、方向ＤＲ１に垂直な方向を「方向ＤＲ２」とし、方向ＤＲ１及び方向ＤＲ２に垂直な方向を「方向ＤＲ３」として説明する。例えば方向ＤＲ２は水平であり、方向ＤＲ３は鉛直である。搬送装置Ａ３は、少なくとも方向ＤＲ２に沿ってワークＷを移動させるように構成されている。
【0022】
搬送装置Ａ３は、フォーク２０を有する。フォーク２０は、ワークＷを保持するように構成されている。フォーク２０は、ワークＷの一方の主面Ｗａが上方を向くように保持する。主面Ｗａは、液処理ユニットＵ１においてレジストの塗布膜が形成される面である。フォーク２０は、ワークＷの周縁を囲み、ワークＷの主面Ｗａとは反対側の主面Ｗｂ（裏面）の周縁部を支持するように形成されていてもよい。搬送装置Ａ３は、ワークＷを保持したフォーク２０を変位させることで液処理ユニットＵ１に対するワークＷの搬入出を行う。つまり、搬送装置Ａ３は、フォーク２０を変位させることで一の液処理ユニットＵ１にワークＷを搬入し、フォーク２０を変位させることで当該液処理ユニットＵ１からワークＷを搬出する。搬送装置Ａ３は、複数の液処理ユニットＵ１に対するワークＷの搬入出を行ってもよい。
【0023】
搬送装置Ａ３は、例えば、第１駆動ユニット３０を更に有する。第１駆動ユニット３０は、フォーク２０を少なくとも方向ＤＲ２に沿って移動させるように構成されている。第１駆動ユニット３０は、例えば、図３に示されるように、駆動部３２と、駆動部３１と、基台４８と、天板４９とを有する。
【0024】
駆動部３２は、基台４８上において、モータ等の動力源によって、水平な一方向に沿ってフォーク２０を往復移動させるように構成されたアクチュエータである。駆動部３２は、少なくとも方向ＤＲ２（変位方向）に沿ってフォーク２０を移動させる（往復移動させる）。駆動部３２がフォーク２０を方向ＤＲ２に変位させることにより、フォークに保持されているワークＷが方向ＤＲ２に沿って移動する。
【0025】
駆動部３２は、例えば、図３に示されるように、筐体３４と、スライド部材３６と、プーリ３８ａ，３８ｂと、ベルト４２と、モータ４４とを含む。筐体３４は、駆動部３２に含まれる各要素を収容する。筐体３４の上壁には、開口３４ａが設けられている。スライド部材３６は、筐体３４に対して移動可能に設けられている。スライド部材３６は、例えば、鉛直方向に沿って延びるように形成されている。スライド部材３６の下端部は、筐体３４内においてベルト４２に接続されている。スライド部材３６の上端部は、開口３４ａを通して筐体３４外に突出しており、スライド部材３６の上端部にはフォーク２０の基端部が接続されている。プーリ３８ａ，３８ｂはそれぞれ、方向ＤＲ２における筐体３４内の各端部に配置されている。プーリ３８ａ，３８ｂはそれぞれ、方向ＤＲ１に沿う回転軸まわりに回転可能に筐体３４内に設けられている。
【0026】
ベルト４２は、プーリ３８ａ，３８ｂに架け渡されている。ベルト４２は、例えばタイミングベルトである。モータ４４は、回転トルクを発生させる動力源である。モータ４４は、例えばサーボモータである。モータ４４によるトルク（駆動力）がプーリ３８ａに伝達されると、プーリ３８ａ，３８ｂに架け渡されたベルト４２が、方向Ｄ２に沿って移動する。これにより、スライド部材３６も方向ＤＲ２に移動する（フォーク２０が方向ＤＲ２に変位する）。
【0027】
天板４９は、フォーク２０が支持するワークＷの主面Ｗａに対向するように、フォーク２０の上方において水平に広がり、支柱ＳＰ等によって基台４８又は筐体３４等に固定されている。
【0028】
図４に示されるように、駆動部３１は、モータ等の動力源によって水平な一方向に沿って基台４８を往復移動させるように構成されたアクチュエータである。駆動部３１は、少なくとも方向ＤＲ１（変位方向）に沿って基台４８を駆動部３２及びフォーク２０と共に移動させる（往復移動させる）。駆動部３１がフォーク２０を方向ＤＲ１に変位させることにより、フォーク２０に保持されているワークＷが方向ＤＲ１に沿って移動する。
【0029】
以上のように構成された第１駆動ユニット３０は、ベルト７２を介してモータ７１の動力を基台４８に伝え、方向ＤＲ１における一方に向かってフォーク２０を前進・後退させる。また、第１駆動ユニット３０は、ベルト４２を介してモータ４４の動力をスライド部材３６に伝え、方向ＤＲ２における一方に向かってフォーク２０を前進・後退させる。第１駆動ユニット３０が、方向ＤＲ２においてフォーク２０を最も後退させた状態において、フォーク２０が支持するワークＷは天板４９の下に位置する。
【0030】
図５に示されるように、フォーク２０は、前進方向に延びた一対のフォークティン２０Ａ，２０Ｂを有する。一対のフォークティン２０Ａ，２０Ｂは、互いに同じ高さにて、ＤＲ１に沿って並んでいる。一対のフォークティン２０Ａ，２０Ｂは、上方から見て、互いに同心の円弧状に湾曲していてもよい。以下、上方から見たフォークティン２０Ａ，２０Ｂの湾曲の中心を、「フォーク２０の中心」という。フォーク２０には、複数の保持爪２１Ａ～２１Ｄが形成されている。保持爪２１Ａ，２１Ｂは、フォークティン２０Ａ，２０Ｂの内縁から、フォーク２０の中心に向かって突出している。保持爪２１Ｃ，２１Ｄは、フォークティン２０Ａ，２０Ｂの内縁から、フォーク２０の中心に向かって突出する。複数の保持爪２１Ａ～２１Ｄは、ワークＷの周縁部を支持する。図５の例では、フォーク２０に四つの保持爪２１Ａ～２１Ｄが設けられているが、保持爪２１Ａ～２１Ｄの数は四つに限られない。
【0031】
図５に示されるように、複数の保持爪２１Ａ～２１Ｄのそれぞれには、複数の吸着部２２Ａ～２２Ｄが設けられている。複数の吸着部２２Ａ～２２Ｄは、複数の保持爪２１Ａ～２１ＤがワークＷの周縁部を支持した状態にて、ワークＷの周縁部を真空吸着することによって、ワークＷを複数の保持爪２１Ａ～２１Ｄ上に保持するものである。保持爪２１Ａ～２１ＤのそれぞれがワークＷの周縁部を支持する状態では、ワークＷの中心がフォーク２０の中心の近傍に配置される。フォーク２０はテーパ面等によるワークＷのアラインメント部を有しないので、フォーク２０の中心に対するワークＷの中心のずれは、少なくとも吸着部２２Ａ～２２Ｄによる真空吸着が行われている間は維持されることとなる。
【0032】
搬送装置Ａ３は、複数の光源５１Ａ～５１Ｄと、複数のセンサ５２Ａ～５２Ｄとを更に有する。複数の光源５１Ａ～５１Ｄ及び複数のセンサ５２Ａ～５２Ｄは、フォーク２０がワークＷを保持した状態で後退しているときに、フォーク２０が保持しているワークＷの周縁部の位置を、それぞれ異なる位置で検出する。複数の光源５１Ａ～５１Ｄは、フォーク２０よりも下に位置し、例えば基台４８に固定されている。複数のセンサ５２Ａ～５２Ｄは、フォーク２０よりも上に位置し、例えば天板４９に固定されている。複数の光源５１Ａ～５１Ｄは、方向Ｄ２においてフォーク２０が最も後退した状態にて、フォーク２０の中心を囲むように並んでいる。複数のセンサ５２Ａ～５２Ｄは、方向ＤＲ３において、複数の光源５１Ａ～５１Ｄにそれぞれ対向する。複数の光源５１Ａ～５１Ｄは、例えば発光ダイオードであり、複数のセンサ５２Ａ～５２Ｄに向かって光をそれぞれ照射する。複数のセンサ５２Ａ～５２Ｄは、例えばリニアイメージセンサであり、複数の光源５１Ａ～５１Ｄからの光をそれぞれ受光する。複数の光源５１Ａ～５１Ｄからの光の一部は、フォーク２０が支持するワークＷの周縁部によって妨げられる。複数のセンサ５２Ａ～５２Ｄのそれぞれにおける受光範囲は、フォーク２０に対するワークＷの相対位置によって変わる。このため、複数のセンサ５２Ａ～５２Ｄのそれぞれにおける受光範囲に基づいて、フォーク２０に対するワークＷの相対位置を検出することができる。図５の例では、四つの光源５１Ａ～５１Ｄと、四つのセンサ５２Ａ～５２Ｄとが設けられているが、光源及びセンサの組み合わせ数は四組に限られない。
【0033】
続いて、図６を参照して実施形態に係る基板処理システム１の一例について説明する。基板処理システム１は、前述した基板処理装置１０と、サーバ５０とを備える。基板処理装置１０は、表示部６１を更に有してもよい。サーバ５０は、相対位置検出部５１と、データ蓄積部５２と、データベース５３と、抽出部５４と、ユニット異常検出部５５と、第２算出部５６と、補正部５７と、メンテナンス記録部５８と、第１算出部５９と、劣化検出部６０とを有する。
【0034】
相対位置検出部５１は、複数のセンサ５２Ａ～５２Ｄのそれぞれの受光範囲に基づいて、フォーク２０に対するワークＷの相対位置を検出する。相対位置とは、例えば、フォーク２０の中心を原点とする座標系において、フォーク２０により支持されたワークＷの中心の位置座標により表されてもよい。例えば、相対位置検出部５１は、複数の光源５１Ａ～５１Ｄからの光を受光した画素と受光していない画素との境界の位置に基づいて、上記座標系における周縁部の位置座標を算出してもよい。そして、相対位置検出部５１は、ワークＷの周縁部の位置座標に基づいて、上記座標系におけるワークＷの中心座標を算出してもよい。このように算出されたワークＷの中心座標が相対位置となる。相対位置検出部５１は、相対位置の検出結果をデータ蓄積部５２に出力する。
【0035】
データ蓄積部５２は、相対位置検出部５１から入力された相対位置の検出結果と、搬送装置Ａ３がワークＷを受け取った時刻と、ワークＷの受け取り先の識別情報と、ワークＷを支持した搬送装置Ａ３の識別情報と、を対応付けたレコードをデータベース５３に蓄積する。データ蓄積部５２は、フォーク２０がワークＷの支持を繰り返すのに応じて、言い換えれば、処理ユニットからワークＷを受け取るのに応じて、レコードをデータベース５３に蓄積してもよい。ワークＷの受け取り先とは、例えば、液処理ユニットＵ１、熱処理ユニットＵ２、棚ユニットＵ１０，Ｕ１１のいずれか一つである。受け取り先は、処理ユニットと言い換えることができる。受け取り先の識別情報とは、例えば、受け取り先毎に割り振られたＩＤである。搬送装置Ａ３の識別情報とは、例えば、基板処理装置１０内に複数設けられた搬送装置Ａ３のそれぞれに割り振られたＩＤである。データベース５３には、相対位置の検出結果が受け取り先の識別情報及び搬送装置の識別情報に対応づいた状態において、時系列で蓄積されてもよい。言い換えれば、相対位置の検出結果の推移が蓄積されてもよい。図７は、データ蓄積部５２がデータベース５３に蓄積するデータの一例である。図７の例では、レコードＲＣ１～ＲＣ４が列方向に沿って時系列で並んでいる。
【0036】
抽出部５４は、受け取り先の識別情報及び搬送装置Ａ３の識別情報が共通である相対位置の検出結果の推移を第１抽出データとしてデータベース５３から抽出する。例えば、抽出部５４は、データベース５３に時系列で蓄積されたレコードの中から、受け取り先の識別情報及び搬送装置Ａ３の識別情報が共通であるレコードを第１抽出データとして抽出する。抽出部５４は、フォーク２０がワークＷの支持を繰り返す度に、第１抽出データをデータベース５３から抽出してもよい。レコードは時系列で並んでいることから、第１抽出データから検出結果の推移を把握することができる。図７の例では、レコードＲＣ２及びレコードＲＣ４は、受け取り先がユニットＦＦで共通であり、搬送装置Ａ３が装置ＢＢで共通である。よって、抽出部５４は、レコードＲＣ２及びレコードＲＣ４を第１抽出データとして抽出する。図７の例では、第１抽出データが二つのレコードによって構成されているが、第１抽出データは三つ以上のレコードによって構成されてもよい。抽出部５４は、第１抽出データを、第１算出部５９，第２算出部５６、及び補正部５７に出力する。
【0037】
抽出部５４は、搬送装置Ａ３がワークＷを処理ユニットに搬入する際における相対位置の検出結果と、搬送装置Ａ３がワークＷを処理ユニットから搬出する際における相対位置の検出結果とを、第２抽出データとしてデータベース５３から抽出してもよい。搬入する際における相対位置とは、フォーク２０が支持したワークＷを共通の搬送装置Ａ３が共通の処理ユニットに搬入する際における相対位置であってもよい。搬出する際における相対位置とは、フォーク２０が支持したワークＷを共通の搬送装置Ａ３が共通の処理ユニットから搬出する際における相対位置であってもよい。抽出部５４は、例えば、フォーク２０がワークＷの支持を繰り返す度に、ワークＷを支持した搬送装置Ａ３のレコードの抽出と共に、ワークＷを支持した搬送装置Ａ３による直前のレコードを探索し、抽出したレコード及び直前のレコードを第２抽出データとして抽出してもよい。図７の例では、例えば、搬送装置Ａ３がワークＷをユニットＤＤから搬出した後に、ユニットＥＥに搬入するものとした場合に、共通の処理ユニットをユニットＥＥとする。この場合、レコードＲＣ１における相対位置は、装置ＡＡがユニットＥＥにワークＷを搬入する際における相対位置の検出結果となり、レコードＲＣ３における相対位置は、装置ＡＡがユニットＥＥからワークＷを搬出する際における相対位置の検出結果となる。よって、抽出部５４は、レコードＲＣ１及びレコードＲＣ３を第２抽出データとして抽出する。図７の例では、第２抽出データが二つのレコードによって構成されているが、第２抽出データは三つ以上のレコードによって構成されてもよい。抽出部５４は、第２抽出データをユニット異常検出部５５に出力する。
【0038】
ユニット異常検出部５５は、抽出部５４から入力された第２抽出データに基づいて、搬入する際における相対位置の検出結果と、搬出する際における相対位置の検出結果との差分を算出する。図７の例では、ユニット異常検出部５５は、レコードＲＣ１の相対位置とレコードＲＣ３の相対位置との差分を算出する。ユニット異常検出部５５は、算出した差分に基づいて、処理ユニットの異常を検出する。ユニット異常検出部５５は、複数の処理ユニットに共通する差分に基づいて、基板処理システムの設置の異常を更に検出してもよい。ユニット異常検出部５５は、例えば、共通の処理ユニットをユニットＥＥとした場合の差分と共通の処理ユニットをユニットＦＦとした場合の差分との間において共通する差分を算出する。そして、ユニット異常検出部５５は、共通する差分が共通閾値を超えた場合に基板処理システム１の設置の異常を検出する。ユニット異常検出部５５は、個別の処理ユニットの異常を検出してもよい。ユニット異常検出部５５は、処理ユニット毎に算出した差分が、差分閾値を超えた場合に、その処理ユニットの異常を検出してもよい。
【0039】
第１算出部５９（算出部）及び第２算出部５６（算出部）は、所定期間における相対位置の変化量を算出する。所定期間が開始するタイミングは、相対位置の変化速度が所定の速度閾値を超えた時点であってもよい。第１算出部５９は、抽出部５４から入力された相対位置の推移に基づいて、第１期間における相対位置の第１変化量を算出してもよい。第２算出部５６は、抽出部５４から入力された相対位置の推移（第１抽出データ）に基づいて、第２期間における相対位置の第２変化量を算出してもよい。第２期間は、第１期間よりも短い。第２期間は、第１期間の間に複数回繰り返される。第１変化量が１回算出されるのに対して、第２変化量は複数回繰り返し算出される。第１算出部５９は、算出した第１変化量を劣化検出部６０に出力する。第２算出部５６は、算出した第２変化量を劣化検出部６０に出力すると共に、補正部５７及び表示部６１に出力する。
【0040】
補正部５７は、第２算出部５６から入力された複数の第２変化量に基づいて、特異的な変動が検出された場合は、第１期間における推移を補正する。特異的な変動とは例えば、搬送装置Ａ３のメンテナンスに起因する相対位置のドリフト変動である。補正部５７は、複数の第２変化量の少なくともいずれかが所定のドリフト閾値を超えた場合に、ドリフト変動を検出する。補正部５７は、ドリフト変動を検出するうえで、さらに、第２変化量がドリフト閾値を超えた期間におけるメンテナンスの履歴あるか否か確認してもよい。メンテナンスの履歴は、例えば、メンテナンス記録部５８に記憶されている。確認した結果、メンテナンスの履歴がある場合は、補正部５７は、抽出部５４から入力した相対位置の推移を補正してもよい。補正部５７は、ドリフト変動を検出するうえで、さらに、第２変化量がドリフト閾値を超えた期間の前後の相対位置の推移の類似度に更に基づいてドリフト変動を検出してもよい。相対位置の推移の類似度に基づいた検出とは、例えば、ドリフト変動が発生した期間の前後の推移のデータが予め補正部５７に記録されており、補正部５７が当該データと照合することで、類似度があるかどうか検出する。補正部５７は、ドリフト変動を検出した場合、ドリフト変動を除外するように推移を補正してもよい。例えば、補正部５７は、複数の第２期間のうち、ドリフト変動が発生した期間以降においては、抽出部５４から抽出した相対位置の推移に対して、統計処理することで、補正後の推移パターンを生成してもよい。
【0041】
特異的な変動の別の一例として、複数の第２期間に亘って発生する相対位置の増減の繰り返しがある。補正部５７は、第２算出部５６により算出された複数の第２変化量に基づいて、相対位置の増減の繰り返しを検出してもよい。補正部５７は、増減の繰り返しを抑制するフィルタ処理によって推移を補正してもよい。例えば、補正部５７は、抽出部５４から抽出した相対位置の推移に対して、統計処理することで、相対位置の増減が平滑化された補正後の推移パターンを生成する。
【0042】
第１算出部５９は、補正部５７が特異的な変動に基づいて相対位置の推移を補正した場合、補正後の推移パターンに基づいて、第１期間における第１変化量を算出する。
【0043】
劣化検出部６０は、フォーク２０がワークＷの支持を繰り返すのに応じた相対位置の推移に基づいて、ベルト４２の劣化を検出する。劣化検出部６０は、第１算出部５９（算出部）及び第２算出部５６（算出部）によって算出された変化量に基づいて劣化を検出する。第１算出部５９（算出部）及び第２算出部５６（算出部）が、抽出部５４から相対位置の推移を取得することから、劣化検出部６０は、抽出部５４により抽出された推移に基づいて、ベルト４２の劣化を検出すると言い換えることもできる。
【0044】
劣化検出部６０は、第１算出部５９により算出された第１変化量と、第２算出部５６により繰り返し算出された複数の第２変化量とに基づいて劣化を検出してもよい。例えば劣化検出部６０は、第２算出部５６により連続して算出された２以上の第２変化量のそれぞれが、第２閾値を超えた場合に、ベルト４２の劣化を検出する。劣化検出部６０は、第２算出部５６による算出の繰り返しに応じて、第２算出部５６による第２変化量の算出結果が増加している場合に、ベルト４２の劣化を検出してもよい。劣化検出部６０は、連続して算出された２以上の第２変化量のそれぞれが第２閾値を超え、更に第２変化量の算出結果が増加している場合に、ベルト４２の劣化を検出してもよい。劣化検出部６０は、第１算出部５９により算出された第１変化量が第１閾値を超えた場合にベルト４２の劣化を検出してもよい。第１閾値は、第２閾値よりも大きい。以上のことから、劣化検出部６０は、第１期間における第１変化量と、第１期間よりも短い第２期間にて繰り返し検出された複数の第２変化量との組み合わせに基づくことで、ベルト４２の劣化を検出する。劣化検出部６０は、劣化を検出した結果を表示部６１に出力する。
【0045】
表示部６１は、劣化検出部６０から入力された劣化を検出した結果に基づいて、ユーザに搬送装置Ａ３のベルト４２の状態を通知してもよい。例えば、表示部６１は、複数の搬送装置Ａ３のそれぞれに対する劣化検出部６０による劣化の検出結果を、複数の搬送装置Ａ３がそれぞれ配置される複数のエリアの位置関係に合わせてレイアウトしたマップをモニタに表示させる。
【0046】
［基板処理方法］
続いて、本実施形態における基板処理方法について説明する。まず制御装置１００は、キャリアＣ内のワークＷを棚ユニットＵ１０に搬送するように搬送装置Ａ１を制御し、このワークＷを処理モジュール１１用のセルに配置するように搬送装置Ａ７を制御する。
続いて、本実施形態における基板処理方法について説明する。まず制御装置１００は、キャリアＣ内のワークＷを棚ユニットＵ１０に搬送するように搬送装置Ａ１を制御し、このワークＷを処理モジュール１１用のセルに配置するように搬送装置Ａ７を制御する。
【0047】
次に、制御装置１００は、ワークＷの主面Ｗａ上に下層膜を形成するように処理モジュール１１を制御する。例えば、制御装置１００は、液処理ユニットＵ１にワークＷを搬送するように処理モジュール１１の搬送装置Ａ３を制御する。そして、制御装置１００は、ワークＷの主面Ｗａ上に下層膜形成用の処理液の塗布膜が形成されるように液処理ユニットＵ１を制御する。制御装置１００は、塗布膜が形成されたワークＷを熱処理ユニットＵ２に搬送するように処理モジュール１１の搬送装置Ａ３を制御する。そして、制御装置１００は、ワークＷの主面Ｗａ上に下層膜が形成されるように熱処理ユニットＵ２を制御する。その後制御装置１００は、下層膜が形成された後のワークＷを棚ユニットＵ１０に戻すように処理モジュール１１の搬送装置Ａ３を制御し、このワークＷを処理モジュール１２用のセルに配置するように搬送装置Ａ７を制御する。
【0048】
次に、制御装置１００は、下層膜が形成された後のワークＷの主面Ｗａ上にレジスト膜を形成するように処理モジュール１２を制御する。例えば、制御装置１００は、棚ユニットＵ１０のワークＷを処理モジュール１２内のいずれかの液処理ユニットＵ１に搬送するように処理モジュール１２の搬送装置Ａ３を制御する。そして、制御装置１００は、ワークＷの主面Ｗａ上にレジストの塗布膜が形成されるように液処理ユニットＵ１を制御する。制御装置１００は、レジストの塗布膜が形成されたワークＷを熱処理ユニットＵ２に搬送するように処理モジュール１２の搬送装置Ａ３を制御する。そして、制御装置１００は、ワークＷの主面Ｗａ上にレジスト膜が形成されるように熱処理ユニットＵ２を制御する。その後制御装置１００は、レジスト膜が形成された後のワークＷを棚ユニットＵ１０に戻すように処理モジュール１２の搬送装置Ａ３を制御し、このワークＷを処理モジュール１３用のセルに配置するように搬送装置Ａ７を制御する。
【0049】
次に、制御装置１００は、レジスト膜が形成された後のワークＷの主面Ｗａ上に上層膜を形成するように処理モジュール１３を制御する。例えば、制御装置１００は、液処理ユニットＵ１にワークＷを搬送するように処理モジュール１３の搬送装置Ａ３を制御する。そして、制御装置１００は、ワークＷの主面Ｗａ上に上層膜形成用の処理液の塗布膜が形成されるように液処理ユニットＵ１を制御する。制御装置１００は、塗布膜が形成されたワークＷを熱処理ユニットＵ２に搬送するように処理モジュール１３の搬送装置Ａ３を制御する。そして、制御装置１００は、ワークＷの主面Ｗａ上に上層膜が形成されるように熱処理ユニットＵ２を制御する。その後制御装置１００は、上層膜が形成された後のワークＷを棚ユニットＵ１１に搬送するように処理モジュール１３の搬送装置Ａ３を制御する。
【0050】
次に制御装置１００は、棚ユニットＵ１１のワークＷを露光装置３に送り出すように搬送装置Ａ８を制御する。その後制御装置１００は、露光処理が施されたワークＷを露光装置３から受け入れて、棚ユニットＵ１１における処理モジュール１４用のセルに配置するように搬送装置Ａ８を制御する。
【0051】
次に制御装置１００は、露光処理が施された後のワークＷに現像処理を施すように処理モジュール１４を制御する。例えば、制御装置１００は、熱処理ユニットＵ２にワークＷを搬送するように処理モジュール１４の搬送装置Ａ３を制御した後に、このワークＷのレジスト膜に現像前の熱処理を施すように熱処理ユニットＵ２を制御する。そして、制御装置１００は、現像前の加熱処理が施されたワークＷを液処理ユニットＵ１に搬送するように処理モジュール１４の搬送装置Ａ３を制御した後に、このワークＷのレジスト膜に現像処理を施すように液処理ユニットＵ１を制御する。
【0052】
その後、制御装置１００は、現像処理が施されたワークＷを熱処理ユニットＵ２に搬送するように処理モジュール１４の搬送装置Ａ３を制御した後に、このワークＷのレジスト膜に現像後の熱処理を施すように熱処理ユニットＵ２を制御する。
【0053】
次に、制御装置１００は、現像に伴う熱処理を含む現像処理が施された後のワークＷをキャリアＣ内に戻すように搬送装置Ａ７及び搬送装置Ａ１を制御する。以上で１つのワークＷについての塗布現像処理が完了する。
【0054】
基板処理方法は、相対位置の推移を蓄積する方法ＭＴ１及びベルト４２の劣化を検出する方法ＭＴ２を含む。図８は、相対位置の推移を蓄積する方法ＭＴ１を示すフローチャートである。図９は、ベルト４２の劣化を検出する方法ＭＴ２を示すフローチャートである。基板処理方法において、方法ＭＴ１及び方法ＭＴ２は並行して繰り返し行われる。
【0055】
図８に示される方法ＭＴ１において、データ蓄積部５２は、搬送装置Ａ３が処理ユニットからワークＷを受け取ったかどうか判断する（ステップＳ１１）。搬送装置Ａ３が処理ユニットからワークＷを受け取っていない場合（ステップＳ１１：ＮＯ）、ステップＳ１１が繰り返される。搬送装置Ａ３が処理ユニットからワークＷを受け取った場合（ステップＳ１１：ＹＥＳ）、データ蓄積部５２は、受け取り先の処理ユニットの識別ＩＤを取得する（ステップＳ１２）。続いて、データ蓄積部５２は、ワークＷを受け取った搬送装置Ａ３の識別ＩＤを取得する（ステップＳ１３）。また、この際に、データ蓄積部５２は、搬送装置Ａ３がワークＷを受け取った時刻を取得する。続いて、相対位置検出部５１は、複数のセンサ５２Ａ～５２Ｄから入力されたワークＷの周縁部の位置に基づいて、フォーク２０に対するワークＷの相対位置を検出する（ステップＳ１４）。
【0056】
続いて、データ蓄積部５２は、図７に示されるように、相対位置検出部５１が算出した相対位置と、受け取り先の処理ユニットの識別ＩＤと、搬送装置Ａ３の識別ＩＤと、時刻とを一つのレコードとしてデータベース５３に蓄積する（ステップＳ１５）。図７の例では、レコードＲＣ１～ＲＣ４が列方向に沿って時系列で並んでいる。データ蓄積部５２がレコードをデータベース５３に蓄積した後、方法ＭＴ１では、再びステップＳ１１が開始される。
【0057】
図９に示される方法ＭＴ２において、まず、第２算出部５６は、抽出部５４から入力された相対位置の推移に基づいて、第２期間における相対位置の変化速度を算出する（ステップＳ２１）。ステップＳ２１には、抽出部５４が、フォーク２０がワークＷの支持を繰り返す度に、第１抽出データをデータベース５３から抽出する動作が含まれる。これにより、第２算出部５６に入力される第１抽出データが、繰り返し更新される。変化速度とは、例えば、相対位置の変化量を時刻の差分で除算した値である。図７の例では、レコードＲＣ２及びレコードＲＣ４は、受け取り先がユニットＦＦで共通であり、搬送装置Ａ３が装置ＢＢで共通である。よって、受け取り先の識別情報及び搬送装置Ａ３の識別情報が共通であるレコードとして、ステップＳ２１において抽出される。そして、ステップＳ２１で抽出された複数のレコードのうちいずれか２のレコード（例えばレコードＲＣ４，ＲＣ２）に基づいて、変化速度を算出する。例えば第２算出部５６は、レコードＲＣ４の相対位置とレコードＲＣ２の相対位置との差分（相対位置の変化量）をＲＣ４の時刻とＲＣ２の時刻との差分で除算することで変化速度を算出する。
【0058】
変化速度の算出後、第２算出部５６は、変化速度が速度閾値を超えたかどうか判定する（ステップＳ２２）。変化速度が速度閾値を超えたかどうかが、第２算出部５６が第２変化量を算出するかどうかのトリガとなる。変化速度が閾値を超えていない場合（ステップＳ２２：ＮＯ）、方法ＭＴ２は、ステップＳ２１から再び開始される。変化速度が速度閾値を超えた場合（ステップＳ２２：ＹＥＳ）、第２算出部５６は、基板処理システムを動作させている期間が第２期間Ｔ２を経過したかどうか判定する（ステップＳ２３）。第２期間Ｔ２を経過していない場合（ステップＳ２３：ＮＯ）、第２算出部５６は、第２変化量を算出せずに、ステップＳ２３が繰り返される。第２期間を経過した場合（ステップＳ２３：ＹＥＳ）、第２算出部５６は、相対位置の変化速度が所定の速度閾値を超えた時点から第２期間が経過するまでの間における第２変化量を算出する（ステップＳ２４）。ステップＳ２４には、抽出部５４が、フォーク２０がワークＷの支持を繰り返す度に、第１抽出データをデータベース５３から抽出し、第２算出部５６に出力する動作が含まれる。
【0059】
劣化検出部６０は、第２算出部５６により算出された複数の第２変化量のうち、２以上の連続した第２変化量のそれぞれが、連続して第２閾値Ｔｈ２を超えたかどうか判定する（ステップＳ２５）。２以上の第２変化量のそれぞれが、連続して第２閾値を超えた場合（ステップＳ２５：ＹＥＳ）、劣化検出部６０は、第２算出部５６による算出の繰り返しに応じて、第２算出部５６による第２変化量の算出結果が増加しているかどうか判定する（ステップＳ２６）。第２変化量の算出結果が増加している場合（ステップＳ２６：ＹＥＳ）、劣化検出部６０は、ベルト４２の劣化を検出する（ステップＳ２７）。
【0060】
図１０は、相対位置の推移を例示するグラフである。横軸は期間を表し、縦軸は相対位置を表している。Ｔ２１～Ｔ２８は、複数回繰り返される第２期間を表す。Ｄ２１～Ｄ２８は、第２期間Ｔ２１～Ｔ２８に対応する第２変化量を表す。図１０では、Ｄ２１～Ｄ２３のみを図示している。図１０に示される第１推移パターンＰＴ１では、二回目の第２期間Ｔ２２における第２変化量Ｄ２２が第２閾値Ｔｈ２を超えている。さらに三回目の第２期間Ｔ２３における第２変化量Ｄ２３が第２閾値Ｔｈ２を超えている。つまり、二以上の第２変化量のそれぞれが、連続して第２閾値Ｔｈ２を超えている。図１０に示される第１推移パターンＰＴ１では、三回目の第２期間Ｔ２３における第２変化量Ｄ２３が二回目の第２期間Ｔ２２における第２変化量Ｄ２２よりも増加している。従って、図１０においては、３回目の第２期間Ｔ２３において、ステップＳ２５及びステップＳ２６の両方がＹＥＳ判定となり、ステップＳ２７においてベルト４２の劣化が検出される。
【0061】
図９に戻り、二以上の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８のそれぞれが、連続して第２閾値Ｔｈ２を超えない場合（ステップＳ２５：ＮＯ）、或いは、第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８の算出結果が増加していない場合（ステップＳ２６：ＮＯ）、補正部５７は、第２算出部５６により算出された複数の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８に基づいて、相対位置の増減の繰り返しが発生したかどうか検出する（ステップＳ２８）。相対位置の増減の繰り返しが発生した場合（ステップＳ２８：ＹＥＳ）、補正部５７は、増減の繰り返しを抑制するフィルタ処理によって相対位置の推移を補正する（ステップＳ２９）。ステップＳ２９には、抽出部５４が、フォーク２０がワークＷの支持を繰り返す度に、第１抽出データをデータベース５３から抽出し、補正部５７に出力する動作が含まれる。
【0062】
図１１は、相対位置の別の推移を例示するグラフである。図１１に示される第２推移パターンＰＴ２では、１回目の第２期間Ｔ２１～４回目の第２期間Ｔ２４にかけて相対位置の増減の繰り返しが発生している。これにより、補正部５７は、フィルタ処理によって第２推移パターンＰＴ２を補正し、補正後の第２推移パターンＰＴ２１を生成する。補正方法としては、例えば、第２推移パターンＰＴ２における相対位置に対して統計処理を行う。統計処理とは、例えば、第２推移パターンＰＴ２における相対位置に対して、移動平均値を算出する。従って、図１１においては、１回目の第２期間Ｔ２１～４回目の第２期間Ｔ２４において、ステップＳ２８がＹＥＳ判定となり、ステップＳ２９において、補正部５７がフィルタ処理によって相対位置の推移を補正する。
【0063】
図９に戻り、相対位置の増減の繰り返しが発生しない場合（ステップＳ２８：ＮＯ）、補正部５７は、第２算出部５６により算出された複数の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８の少なくともいずれかが所定のドリフト閾値を超えたかどうか判定する（ステップＳ３０）。複数の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８の少なくともいずれかが所定のドリフト閾値を超えた場合（ステップＳ３０：ＹＥＳ）、ドリフト変動を検出する。具体的には、補正部５７は、第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８がドリフト閾値を超えた期間におけるメンテナンスの履歴がメンテナンス記録部５８にあるか否か判定する（ステップＳ３１）。メンテナンスの履歴がメンテナンス記録部５８にある場合（ステップＳ３１：ＹＥＳ）、補正部５７は、第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８がドリフト閾値を超えた期間の前後の相対位置の推移に対して類似度があるかどうか検出する（ステップＳ３２）。相対位置の推移の類似度が検出された場合（ステップＳ３２：ＹＥＳ）、補正部５７は、ドリフト変動を除外するように相対位置の推移を補正する（ステップＳ３３）。ステップＳ３３には、抽出部５４が、フォーク２０がワークＷの支持を繰り返す度に、第１抽出データをデータベース５３から抽出し、補正部５７に出力する動作が含まれる。
【0064】
図１２は、相対位置の別の推移を例示するグラフである。図１２に示される第３推移パターンＰＴ３では、三回目の第２期間Ｔ２３における第２変化量Ｄ２３がドリフト閾値Ｔｈｄを超えて上昇している。第３推移パターンＰＴ３では、補正部５７は、三回目の第２期間Ｔ２３におけるメンテナンスの履歴がメンテナンス記録部５８にあると判定する。つまり、ステップＳ３１がＹＥＳ判定となる。その後、補正部５７は、第２期間Ｔ２３の前後の相対位置の推移に対して類似度が検出されたと判定する。つまり、ステップＳ３２がＹＥＳ判定となる。そして、補正部５７は、ドリフト変動を除外するように第３推移パターンＰＴ３を補正し、補正後の第３推移パターンＰＴ３１を生成する。例えば、補正部５７は、ドリフト閾値Ｔｈｄを超えた三回目の第２期間Ｔ２３における第２変化量Ｄ２３を除外する。補正部５７は、三回目の第２期間Ｔ２３以降においては、第３推移パターンＰＴ３における相対位置に対して、移動平均値を算出することで、補正後の第３推移パターンＰＴ３１を生成する。
【0065】
図１３は、相対位置の別の推移を例示するグラフである。図１３に示される第４推移パターンＰＴ４では、四回目の第２期間Ｔ２４における第２変化量Ｄ２４がドリフト閾値Ｔｈｄを超えて下降している。ドリフト変動では、相対位置が上昇する場合もあれば、下降する場合もあり得る。第４推移パターンＰＴ４では、補正部５７は、四回目の第２期間Ｔ２４におけるメンテナンスの履歴がメンテナンス記録部５８にあると判定する。つまり、ステップＳ３１がＹＥＳ判定となる。その後、補正部５７は、第２期間Ｔ２４の前後の相対位置の推移に対して類似度が検出されたと判定する。つまり、ステップＳ３２がＹＥＳ判定となる。そして、補正部５７は、ドリフト変動を除外するように第４推移パターンＰＴ４を補正し、補正後の第４推移パターンＰＴ４１を生成する。例えば、補正部５７は、ドリフト閾値Ｔｈｄを超えた四回目の第２期間Ｔ２４における第２変化量Ｄ２４を除外する。補正部５７は、四回目の第２期間Ｔ２４以降においては、第４推移パターンＰＴ４における相対位置に対して、移動平均値を算出することで、補正後の第４推移パターンＰＴ４１を生成する。
【0066】
図９に戻り、複数の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８の少なくともいずれかが所定のドリフト閾値を超えない場合（ステップＳ３０：ＮＯ）、又は、メンテナンスの履歴がメンテナンス記録部５８にない場合（ステップＳ３１：ＮＯ）、又は、相対位置の推移の類似度が検出されない場合（ステップＳ３２：ＮＯ）、第１算出部５９は、基板処理システム１を動作させている期間が第１期間を経過したかどうか判定する（ステップＳ３４）。第１期間を経過した場合（ステップＳ３４：ＹＥＳ）、第１算出部５９は、相対位置の変化速度が所定の速度閾値を超えた時点から第１期間が経過するまでの間における第１変化量を算出する（ステップＳ３５）。ステップＳ３５には、抽出部５４が、フォーク２０がワークＷの支持を繰り返す度に、第１抽出データをデータベース５３から抽出し、第１算出部５９に出力する動作が含まれる。第１変化量の算出後、劣化検出部６０は、第１算出部５９により算出された第１変化量が第１閾値を超えたかどうか判定する（ステップＳ３６）。第１変化量が第１閾値を超えた場合（ステップＳ３６：ＹＥＳ）、劣化検出部６０は、ベルト４２の劣化を検出する（ステップＳ２７）。第１期間を経過していない場合（ステップＳ３４：ＮＯ）、又は、第１変化量が第１閾値を超えた場合（ステップＳ３６：ＮＯ）、方法ＭＴ２では、再びステップＳ２３が開始される。
【0067】
図１４は、相対位置の別の推移を例示するグラフである。Ｔ１は、第１期間を表す。Ｄ１は、第１期間Ｔ１に対応する第１変化量を表す。図１４に示される第５推移パターンＰＴ５では、基板処理システムを動作させている期間が第１期間Ｔ１を経過している。図１４の例では、６回目の第２期間Ｔ２６の終了のタイミングが、第１期間Ｔ１の終了のタイミングに一致している。且つ、第１変化量Ｄ１が第１閾値Ｔｈ１を超えている。従って、図１４においては、ステップＳ３４及びステップＳ３６がＹＥＳ判定となることから、ステップＳ２７において、ベルト４２の劣化と判定される。
【0068】
図９に戻り、相対位置の増減の繰り返しが発生した場合（ステップＳ２８：ＹＥＳ）では、補正された相対位置の推移に基づいて、第１算出部５９は、基板処理システム１を動作させている期間が第１期間Ｔ１を経過したかどうか判定する（ステップＳ３４）。図１１に示される補正後の第２推移パターンＰＴ２１では、基板処理システムを動作させている期間が第１期間Ｔ１を経過している。図１１の例では、６回目の第２期間Ｔ２６の終了のタイミングが、第１期間Ｔ１の終了のタイミングに一致している。且つ、第１変化量Ｄ１が第１閾値Ｔｈ１を超えている。従って、補正後の第２推移パターンＰＴ２１は、ステップＳ３４及びステップＳ３６がＹＥＳ判定となることから、ステップＳ２７において、ベルト４２の劣化と判定される。
【0069】
図９に戻り、相対位置の推移の類似度が検出された場合（ステップＳ３２：ＹＥＳ）では、補正された相対位置の推移に基づいて、第１算出部５９は、基板処理システム１を動作させている期間が第１期間Ｔ１を経過したかどうか判定する（ステップＳ３４）。図１２に示される補正後の第３推移パターンＰＴ３１では、基板処理システムを動作させている期間が第１期間Ｔ１を経過している。図１２の例では、４回目の第２期間Ｔ２４の終了のタイミングが、第１期間Ｔ１の終了のタイミングに一致している。且つ、第１変化量Ｄ１が第１閾値Ｔｈ１を超えている。従って、補正後の第３推移パターンＰＴ３１は、ステップＳ３４及びステップＳ３６がＹＥＳ判定となることから、ステップＳ２７において、ベルト４２の劣化と判定される。同様に、図１３に示される補正後の第４推移パターンＰＴ４１では、基板処理システムを動作させている期間が第１期間Ｔ１を経過している。図１３の例では、７回目の第２期間Ｔ２７の終了のタイミングが、第１期間Ｔ１の終了のタイミングに一致している。且つ、第１変化量Ｄ１が第１閾値Ｔｈ１を超えている。従って、補正後の第４推移パターンＰＴ４１は、ステップＳ３４及びステップＳ３６がＹＥＳ判定となることから、ステップＳ２７において、ベルト４２の劣化と判定される。
【0070】
図９に戻り、劣化検出部６０は、ベルト４２の劣化を検出した後、検出結果を表示部６１に出力する。表示部６１は、劣化を検出した結果に基づいてマップを更新する（ステップＳ３７）。表示部６１は、図１５に示されるように、複数の搬送装置Ａ３のそれぞれに対する劣化の検出結果を、複数の搬送装置Ａ３がそれぞれ配置される複数のエリアの位置関係に合わせてレイアウトしたマップＭＰをモニタに表示させる。複数のエリアとは、例えば、処理ユニット或いは処理モジュールである。図１５の例では、処理モジュール（受け取り先）として図示している。表示部６１は、例えば、ベルト４２の劣化と判定された回数、或いは、劣化と判定されてから経過した時間に応じて、ＳＴＡＧＥＩ～ＳＴＡＧＥＩＶにレベル分けして表示してもよい。表示部６１は、ＳＴＡＧＥが上がるにつれて、ユーザへの警告レベルが上昇していることを表してもよい。
【0071】
基板処理方法は、方法ＭＴ３を更に含んでもよい。ユニット異常検出部５５が、処理ユニットの異常を検出する方法ＭＴ３について説明する。図１６に示されるように、まず、ユニット異常検出部５５は、処理ユニットの異常検出のタイミングかどうか判定する（ステップＳ４１）。ここで異常検出のタイミングとは、例えば、ワークＷが共通の処理ユニットに搬入される際の相対位置の検出結果と、ワークＷが共通の処理ユニットから搬出される際の相対位置の検出結果と、の差分をユニット異常検出部５５が算出できるタイミングである。つまり、抽出部５４から第２抽出データが入力されたタイミングである。処理ユニットの異常検出のタイミングでない場合（ステップＳ４１：ＮＯ）、方法ＭＴ３では、ステップＳ４１が繰り返される。処理ユニットの異常検出のタイミングである場合（ステップＳ４１：ＹＥＳ）、ユニット異常検出部５５は、処理ユニット別に相対位置の抽出を行い（ステップＳ４２）、相対位置の搬入時と搬出時の差分の算出を行う（ステップＳ４３）。図１７に例示したように、ユニット異常検出部５５は、例えば、ユニットＤＤ、ユニットＥＥ、及びユニットＦＦのそれぞれにおいて、差分の算出を行う。図１７の横軸は時刻を表し、縦軸は差分の大きさを表す。図１７では、ユニットＤＤ、ユニットＥＥ、及びユニットＦＦのそれぞれの差分が時系列で表示されている。
【0072】
続いて、ユニット異常検出部５５は、共通成分ＣＥを算出する（ステップＳ４４）。共通成分ＣＥとは、各処理ユニットに共通する差分である。共通成分ＣＥは、例えば、ユニット異常検出部５５が算出した複数の差分のうちの最小値である。図１７の例では、例えば、ユニットＤＤの一つ目の差分のデータが共通成分ＣＥとなる。ユニット異常検出部５５は、算出した共通成分ＣＥが共通閾値ＴｈＣＥを超えたか否か判定する（ステップＳ４５）。共通成分ＣＥが共通閾値ＴｈＣＥを超えた場合（ステップＳ４５：ＹＥＳ）、ユニット異常検出部５５は、基板処理システム１の設置の異常を検出する（ステップＳ４６）。基板処理システム１の設置の異常とは、処理ユニット単体の異常ではなく、基板処理システム１全体の異常であることを示す。例えば、基板処理装置１０が適切に設置されていないことに起因する異常である。図１７の例では、算出した共通成分ＣＥが共通閾値ＴｈＣＥを超えているため、ユニット異常検出部５５は、基板処理システム１の設置の異常を検出する。
【0073】
共通成分ＣＥが共通閾値ＴｈＣＥを超えない場合（ステップＳ４５：ＮＯ）、ユニット異常検出部５５は、算出した差分が差分閾値Ｔｈｄｆを超えたか否か判定する（ステップＳ４７）。差分が差分閾値Ｔｈｄｆを超えない場合（ステップＳ４７：ＮＯ）、方法ＭＴ３は、再びステップＳ４１から開始される。差分が差分閾値Ｔｈｄｆを超えた場合（ステップＳ４７：ＹＥＳ）、ユニット異常検出部５５は、処理ユニットの異常を検出する（ステップＳ４８）。図１７の例では、例えば、ユニットＤＤの三つ目の差分のデータが差分閾値Ｔｈｄｆを超えている。図１７の例では、差分閾値Ｔｈｄｆが共通閾値ＴｈＣＥよりも大きいが、差分閾値Ｔｈｄｆは、共通閾値ＴｈＣＥと同じ値でもよいし、共通閾値ＴｈＣＥよりも小さくてもよい。
【0074】
［実施形態の効果］
以上説明した基板処理システム１及び方法ＭＴ２では、フォーク２０を変位方向（方向Ｄ２）に変位させるベルト４２には、経年により伸びなどの劣化が生じ得る。基板処理システム１によれば、フォーク２０に対するワークＷの相対位置の検出結果を利用して、ベルト４２の劣化を検出することができる。従って、簡素な装置構成にてベルト４２の劣化を検出することができる。
以上説明した基板処理システム１及び方法ＭＴ２では、フォーク２０を変位方向（方向Ｄ２）に変位させるベルト４２には、経年により伸びなどの劣化が生じ得る。基板処理システム１によれば、フォーク２０に対するワークＷの相対位置の検出結果を利用して、ベルト４２の劣化を検出することができる。従って、簡素な装置構成にてベルト４２の劣化を検出することができる。
【0075】
基板処理システム１は、所定期間（第１期間Ｔ１、第２期間Ｔ２１～Ｔ２８）における相対位置の変化量（第１変化量Ｄ１、第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８）を算出する算出部（第１算出部５９、第２算出部５６）を更に備え、劣化検出部６０は、算出された変化量に基づいて劣化を検出する。このような構成とすることで、所定期間を経て累積した変化量に基づくことで、劣化を高い信頼性で検出することができる。
【0076】
算出部（第１算出部５９、第２算出部５６）は、相対位置の変化速度が所定の速度閾値を超えた時点からの所定期間（第１期間Ｔ１、第２期間Ｔ２１～Ｔ２８）における変化量（第１変化量Ｄ１、第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８）を算出する。このような構成により、相対位置の変化速度が速度閾値を超えた時点で直ちに所定期間を開始させることで、変化量に基づく劣化の検出の遅れを抑制することができる。
【0077】
算出部は、第１期間Ｔ１における相対位置の第１変化量Ｄ１を算出する第１算出部５９と、第１期間Ｔ１よりも短い第２期間Ｔ２１～Ｔ２８における相対位置の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８を算出する第２算出部５６と、を有し、劣化検出部６０は、第１算出部５９により算出された第１変化量Ｄ１と、第２算出部５６により繰り返し算出された複数の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８とに基づいて劣化を検出する。このような構成により、第１期間Ｔ１を経て累積した相対位置の変化を表す第１変化量Ｄ１に基づくことで、劣化を高い信頼性で検出することが可能となるが、第１期間Ｔ１の経過前に生じ得る急速な劣化の検出が遅れる可能性がある。一方で、第１期間Ｔ１を単に短くすると、ベルト４２の伸びとは別要因による変動等によってベルト４２の劣化を誤検出する可能性が高くなる。これに対し、第１期間Ｔ１における第１変化量Ｄ１と、第１期間Ｔ１よりも短い第２期間Ｔ２１～Ｔ２８にて繰り返し検出された複数の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８との組み合わせに基づくことで、劣化検出の信頼性と、遅れ抑制との両立を図ることができる。
【0078】
劣化検出部６０は、第１算出部５９により算出された第１変化量Ｄ１が第１閾値Ｔｈ１を超えた場合にベルト４２の劣化を検出し、第２算出部５６により連続して算出された２以上の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８のそれぞれが、第１閾値Ｔｈ１よりも小さい第２閾値Ｔｈ２を超えた場合に、ベルト４２の劣化を検出する。このような構成により、連続して検出した２以上の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８が第２閾値Ｔｈ２を超えることを条件とすることで、誤検出を抑制しつつ、第２期間Ｔ２１～Ｔ２８における第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８を第１期間Ｔ１における第１変化量Ｄ１と併用し、第１期間Ｔ１の経過を待つことによる遅れを抑制することができる。
【0079】
劣化検出部６０は、第２算出部５６による算出の繰り返しに応じて、第２算出部５６による第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８の算出結果が増加している場合に、ベルト４２の劣化を検出する。第２算出部５６による第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８の算出結果の増加を条件とすることで、誤検出を抑制しつつ、第２期間Ｔ２１～Ｔ２８における変化量を第１期間Ｔ１における変化量と併用し、第１期間Ｔ１の経過を待つことによる遅れを抑制することができる。
【0080】
基板処理システム１は、第２算出部５６により算出された複数の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８に基づいて、第１期間Ｔ１における推移を補正する補正部５７を更に備え、第１算出部５９は、補正後の推移に基づいて、第１期間Ｔ１における第１変化量Ｄ１を算出する。このような構成により、第２算出部５６により算出された複数の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８を、第１算出部５９により第１変化量Ｄ１を算出するための推移の補正に用いることで、劣化検出の信頼性を向上させることができる。
【0081】
補正部５７は、第２算出部５６により算出された複数の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８に基づいて、相対位置の増減の繰り返しを検出し、増減の繰り返しを抑制するフィルタ処理によって推移を補正する。このような構成により、増減の繰り返しを抑制することで、相対位置の推移の傾向を抽出し、第１期間Ｔ１における第１変化量Ｄ１に基づく劣化検出の信頼性を向上させることができる。
【0082】
補正部５７は、第２算出部５６により算出された複数の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８に基づいて、搬送装置Ａ３のメンテナンスに起因する相対位置のドリフト変動を検出し、ドリフト変動を除外するように推移を補正する。このような構成により、劣化とは明らかに別要因によるドリフト変動を推移から除外することで、第１期間Ｔ１における第１変化量Ｄ１に基づく劣化検出の信頼性を向上させることができる。
【0083】
補正部５７は、第２算出部５６により算出された複数の第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８の少なくともいずれかが所定のドリフト閾値Ｔｈｄを超えた場合に、ドリフト変動を検出する。このような構成により、ドリフト閾値Ｔｈｄとの比較によって、ドリフト変動を容易に検出することができる。
【0084】
基板処理システム１は、搬送装置Ａ３のメンテナンスの履歴を記録するメンテナンス記録部５８を更に備え、補正部５７は、第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８がドリフト閾値Ｔｈｄを超えた期間におけるメンテナンスの履歴がメンテナンス記録部５８にあるか否かに更に基づいてドリフト変動を検出する。このような構成により、ドリフト変動をより高い信頼性で検出することができる。
【0085】
補正部５７は、第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８がドリフト閾値Ｔｈｄを超えた期間の前後の相対位置の推移の類似度に更に基づいてドリフト変動を検出する。このような構成により、メンテナンスによってもベルト４２自体の性質は変わらないので、ドリフト変動の前後においては、推移が類似する傾向がある。このため、第２変化量Ｄ２１～Ｄ２８がドリフト閾値Ｔｈｄを超えた第２期間の前後の推移の類似度に更に基づくことで、ドリフト変動をより高い信頼性で検出することができる。
【0086】
基板処理システム１は、フォーク２０がワークＷの支持を繰り返すのに応じて、フォーク２０によるワークＷの受け取り先（処理ユニット）の識別情報と、相対位置の検出結果とを対応付けてデータベース５３に蓄積するデータ蓄積部５２と、受け取り先が共通である相対位置の検出結果の推移をデータベース５３から抽出する抽出部５４と、を更に備え、劣化検出部６０は、抽出部５４により抽出された推移に基づいて、ベルト４２の劣化を検出する。このような構成により、受け取り先が共通である相対位置の検出結果の推移に基づくことで、受け取り先の違いによる相対位置の検出結果のばらつきを除外し、より高い信頼性で劣化を検出することができる。
【0087】
基板処理システム１は、搬送装置Ａ３を含む複数の搬送装置Ａ３のそれぞれにおいて、フォーク２０がワークＷの支持を繰り返すのに応じて、フォーク２０によりワークＷを支持した搬送装置Ａ３の識別情報と、相対位置の検出結果とを対応付けてデータベース５３に蓄積するデータ蓄積部５２と、共通の搬送装置Ａ３のフォーク２０における相対位置の検出結果の推移をデータベース５３から抽出する抽出部５４と、を更に備え、劣化検出部６０は、抽出部５４により抽出された推移に基づいて、ベルト４２の劣化を検出する。このような構成により、共通の搬送装置Ａ３のフォーク２０における相対位置の検出結果の推移に基づくことで、搬送装置Ａ３の個体差による相対位置の検出結果のばらつきを除外し、より高い信頼性で劣化を検出することができる。
【0088】
フォーク２０は、支持対象のワークＷに接した時点における相対位置を維持するようにワークＷを吸着する吸着部２２Ａ～２２Ｄを含む。このような構成により、搬送装置Ａ３の劣化による影響を含んだ相対位置が維持されることとなるので、相対位置の推移に基づく搬送装置Ａ３の劣化検出の信頼性が向上する。
【0089】
基板処理システム１は、搬送装置Ａ３を含む基板処理装置１０と、基板処理装置１０と通信可能なサーバ５０と、を備え、劣化検出部６０はサーバ５０に設けられている。このような構成により、基板処理装置１０の外部のハードウェアリソースを搬送装置Ａ３の劣化検出に活用することができる。
【0090】
基板処理システム１は、ワークＷに対し処理を行う処理ユニットと、フォーク２０が支持したワークＷを搬送装置Ａ３が処理ユニットに搬入する際における相対位置の検出結果と、フォーク２０が支持したワークＷを搬送装置Ａ３が処理ユニットから搬出する際における相対位置の検出結果と、の差分に基づいて、処理ユニットの異常を検出するユニット異常検出部５５と、を更に備える。このような構成により、相対位置の検出結果を、搬送装置Ａ３の劣化の検出に加えて、処理ユニットの異常の検出に利用することができる。
【0091】
基板処理システム１は、複数の処理ユニット（液処理ユニットＵ１、熱処理ユニットＵ２）を備え、ユニット異常検出部５５は、複数の処理ユニットに共通する差分（共通成分ＣＥ）に基づいて、基板処理システム１の設置の異常を更に検出する。このような構成により、相対位置の検出結果を、基板処理システム１の設置の異常の検出に更に利用することができる。
【0092】
基板処理システム１は、搬送装置Ａ３を含む複数の搬送装置Ａ３と、複数の搬送装置Ａ３のそれぞれに対する劣化検出部６０による劣化の検出結果を、複数の搬送装置Ａ３がそれぞれ配置される複数のエリアの位置関係に合わせてレイアウトしたマップＭＰをモニタに表示させる表示部６１と、を更に備える。このような構成により、複数の搬送装置Ａ３における劣化の分布をユーザに迅速に把握させることができる。
【0093】
［変形例］
以上、本開示に係る実施形態について詳細に説明したが、本開示の要旨の範囲内で種々の変形を上記の実施形態に加えてもよい。
以上、本開示に係る実施形態について詳細に説明したが、本開示の要旨の範囲内で種々の変形を上記の実施形態に加えてもよい。
【0094】
上述した基板処理システム１は、ベルト４２の劣化を検出することに加え、ベルト７２の劣化を検出することに適用されてもよい。フォーク２０を変位方向（方向Ｄ１）に変位させるベルト７２には、経年により伸びなどの劣化が生じ得る。基板処理システム１によれば、フォーク２０に対するワークＷの相対位置の検出結果を利用して、ベルト７２の劣化を検出することができる。
【0095】
図１８を参照して変形例に係る基板処理システム１Ａの動作の一例について説明する。サーバ５０は、モータ制御部６２を更に有してもよい。モータ制御部６２は、第２算出部５６によるベルト４２の劣化レベルの評価結果を受けて、搬送装置Ａ３のモータ４４の回転数を調整してもよい。例えば、モータ制御部６２は、劣化レベルの大きさに応じてモータ４４の回転数を下げることによって、ベルト４２の移動量を減少させてもよい。図１８の例では、モータ制御部６２は、サーバ５０に含まれているが、基板処理装置１０に含まれてもよい。
【0096】
図１８に示されるように、サーバ５０は、劣化検出部６０によるベルト４２の劣化の検出結果を基板処理システム１のサービス窓口担当Ｓ１に送信してもよい。サービス窓口担当Ｓ１は、基板処理システム１の修理担当Ｓ２に修理を依頼してもよい。サービス窓口担当Ｓ１は、顧客Ｃ１に異常状況の確認及び修理の指示をしてもよい。サーバ５０は、劣化検出部６０によるベルト４２の劣化の検出結果を受けて、ベルト４２の交換要請をベルト４２の保管倉庫Ｗ１に送信してもよい。保管倉庫Ｗ１は、交換要請に従い、顧客Ｃ１に新規のベルト４２を配達する。
【0097】
本開示の要旨は、以下の［１］～［２２］のとおりである。
［１］基板を支持するフォークと、アクチュエータと、前記アクチュエータの動きを変位方向の動きに変換して前記フォークに伝達するベルトと、を有する搬送装置と、前記フォークが前記基板を支持した状態において、前記フォークに対する前記基板の相対位置を検出する相対位置検出部と、前記フォークが前記基板の支持を繰り返すのに応じた前記相対位置の推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出する劣化検出部と、を備える基板処理システム。
［２］所定期間における前記相対位置の変化量を算出する算出部を更に備え、前記劣化検出部は、算出された前記変化量に基づいて劣化を検出する、［１］に記載の基板処理システム。
［３］前記算出部は、前記相対位置の変化速度が所定の速度閾値を超えた時点からの前記所定期間における前記変化量を算出する、［２］に記載の基板処理システム。
［４］前記算出部は、第１期間における前記相対位置の第１変化量を算出する第１算出部と、前記第１期間よりも短い第２期間における前記相対位置の第２変化量を算出する第２算出部と、を有し、劣化検出部は、前記第１算出部により算出された前記第１変化量と、前記第２算出部により繰り返し算出された複数の前記第２変化量とに基づいて劣化を検出する、［２］に記載の基板処理システム。
［５］前記劣化検出部は、前記第１算出部により算出された前記第１変化量が第１閾値を超えた場合に前記ベルトの劣化を検出し、前記第２算出部により連続して算出された２以上の前記第２変化量のそれぞれが、前記第１閾値よりも小さい第２閾値を超えた場合に、前記ベルトの劣化を検出する、［４］に記載の基板処理システム。
［６］前記劣化検出部は、前記第２算出部による算出の繰り返しに応じて、前記第２算出部による前記第２変化量の算出結果が増加している場合に、前記ベルトの劣化を検出する、［４］に記載の基板処理システム。
［７］前記第２算出部により算出された前記複数の第２変化量に基づいて、前記第１期間における前記推移を補正する補正部を更に備え、前記第１算出部は、補正後の前記推移に基づいて、前記第１期間における前記第１変化量を算出する、［４］に記載の基板処理システム。
［８］前記補正部は、前記第２算出部により算出された前記複数の第２変化量に基づいて、前記相対位置の増減の繰り返しを検出し、前記増減の繰り返しを抑制するフィルタ処理によって前記推移を補正する、［７］に記載の基板処理システム。
［９］前記補正部は、前記第２算出部により算出された前記複数の第２変化量に基づいて、前記搬送装置のメンテナンスに起因する前記相対位置のドリフト変動を検出し、前記ドリフト変動を除外するように前記推移を補正する、［７］又は［８］に記載の基板処理システム。
［１０］前記補正部は、前記第２算出部により算出された前記複数の第２変化量の少なくともいずれかが所定のドリフト閾値を超えた場合に、前記ドリフト変動を検出する、［９］に記載の基板処理システム。
［１１］前記搬送装置のメンテナンスの履歴を記録するメンテナンス記録部を更に備え、前記補正部は、前記第２変化量が前記ドリフト閾値を超えた期間における前記メンテナンスの履歴が前記メンテナンス記録部にあるか否かに更に基づいて前記ドリフト変動を検出する、［１０］に記載の基板処理システム。
［１２］前記補正部は、前記第２変化量が前記ドリフト閾値を超えた期間の前後の前記相対位置の推移の類似度に更に基づいて前記ドリフト変動を検出する、［１０］に記載の基板処理システム。
［１３］前記フォークが前記基板の支持を繰り返すのに応じて、前記フォークによる前記基板の受け取り先の識別情報と、前記相対位置の検出結果とを対応付けてデータベースに蓄積するデータ蓄積部と、前記受け取り先が共通である前記相対位置の検出結果の推移をデータベースから抽出する抽出部と、を更に備え、前記劣化検出部は、前記抽出部により抽出された推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出する、［１］～［１２］のいずれか一つに記載の基板処理システム。
［１４］前記搬送装置を含む複数の搬送装置のそれぞれにおいて、前記フォークが前記基板の支持を繰り返すのに応じて、前記フォークにより前記基板を支持した搬送装置の識別情報と、前記相対位置の検出結果とを対応付けてデータベースに蓄積するデータ蓄積部と、共通の搬送装置の前記フォークにおける前記相対位置の検出結果の推移をデータベースから抽出する抽出部と、を更に備え、前記劣化検出部は、前記抽出部により抽出された推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出する、［１］～［１３］のいずれか一つに記載の基板処理システム。
［１５］前記フォークは、支持対象の前記基板に接した時点における前記相対位置を維持するように前記基板を吸着する吸着部を含む、［１］～［１４］のいずれか一つに記載の基板処理システム。
［１６］前記搬送装置を含む基板処理装置と、前記基板処理装置と通信可能なサーバと、を備え、前記劣化検出部は前記サーバに設けられている、［１］～［１５］のいずれか一つに記載の基板処理システム。
［１７］前記基板に対し処理を行う処理ユニットと、前記フォークが支持した前記基板を前記搬送装置が前記処理ユニットに搬入する際における前記相対位置の検出結果と、前記フォークが支持した前記基板を前記搬送装置が前記処理ユニットから搬出する際における前記相対位置の検出結果と、の差分に基づいて、前記処理ユニットの異常を検出するユニット異常検出部と、を更に備える、［１］～［１６］のいずれか一つに記載の基板処理システム。
［１８］前記処理ユニットを含む複数の処理ユニットを備え、前記ユニット異常検出部は、前記複数の処理ユニットに共通する前記差分に基づいて、前記基板処理システムの設置の異常を更に検出する、［１７］に記載の基板処理システム。
［１９］前記搬送装置を含む複数の搬送装置と、前記複数の搬送装置のそれぞれに対する前記劣化検出部による劣化の検出結果を、前記複数の搬送装置がそれぞれ配置される複数のエリアの位置関係に合わせてレイアウトしたマップをモニタに表示させるマップ表示部と、を更に備える、［１］～［１７］のいずれか一つに記載の基板処理システム。
［２０］基板処理システムにおいて、搬送装置がベルトにより変位させるフォークが基板を支持する度に、前記フォークに対する前記基板の相対位置を検出することと、前記相対位置の検出結果の推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出することと、を含む基板処理方法。
［２１］基板処理システムにおいて、搬送装置がベルトにより変位させるフォークが基板を支持する度に、前記フォークに対する前記基板の相対位置を検出することと、前記相対位置の検出結果の推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出することと、をコンピュータに実行させる、基板処理プログラム。
［２２］基板処理システムにおいて、搬送装置がベルトにより変位させるフォークが基板を支持する度に、前記フォークに対する前記基板の相対位置を検出することと、前記相対位置の検出結果の推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出することと、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記憶した、記憶媒体。
［１］基板を支持するフォークと、アクチュエータと、前記アクチュエータの動きを変位方向の動きに変換して前記フォークに伝達するベルトと、を有する搬送装置と、前記フォークが前記基板を支持した状態において、前記フォークに対する前記基板の相対位置を検出する相対位置検出部と、前記フォークが前記基板の支持を繰り返すのに応じた前記相対位置の推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出する劣化検出部と、を備える基板処理システム。
［２］所定期間における前記相対位置の変化量を算出する算出部を更に備え、前記劣化検出部は、算出された前記変化量に基づいて劣化を検出する、［１］に記載の基板処理システム。
［３］前記算出部は、前記相対位置の変化速度が所定の速度閾値を超えた時点からの前記所定期間における前記変化量を算出する、［２］に記載の基板処理システム。
［４］前記算出部は、第１期間における前記相対位置の第１変化量を算出する第１算出部と、前記第１期間よりも短い第２期間における前記相対位置の第２変化量を算出する第２算出部と、を有し、劣化検出部は、前記第１算出部により算出された前記第１変化量と、前記第２算出部により繰り返し算出された複数の前記第２変化量とに基づいて劣化を検出する、［２］に記載の基板処理システム。
［５］前記劣化検出部は、前記第１算出部により算出された前記第１変化量が第１閾値を超えた場合に前記ベルトの劣化を検出し、前記第２算出部により連続して算出された２以上の前記第２変化量のそれぞれが、前記第１閾値よりも小さい第２閾値を超えた場合に、前記ベルトの劣化を検出する、［４］に記載の基板処理システム。
［６］前記劣化検出部は、前記第２算出部による算出の繰り返しに応じて、前記第２算出部による前記第２変化量の算出結果が増加している場合に、前記ベルトの劣化を検出する、［４］に記載の基板処理システム。
［７］前記第２算出部により算出された前記複数の第２変化量に基づいて、前記第１期間における前記推移を補正する補正部を更に備え、前記第１算出部は、補正後の前記推移に基づいて、前記第１期間における前記第１変化量を算出する、［４］に記載の基板処理システム。
［８］前記補正部は、前記第２算出部により算出された前記複数の第２変化量に基づいて、前記相対位置の増減の繰り返しを検出し、前記増減の繰り返しを抑制するフィルタ処理によって前記推移を補正する、［７］に記載の基板処理システム。
［９］前記補正部は、前記第２算出部により算出された前記複数の第２変化量に基づいて、前記搬送装置のメンテナンスに起因する前記相対位置のドリフト変動を検出し、前記ドリフト変動を除外するように前記推移を補正する、［７］又は［８］に記載の基板処理システム。
［１０］前記補正部は、前記第２算出部により算出された前記複数の第２変化量の少なくともいずれかが所定のドリフト閾値を超えた場合に、前記ドリフト変動を検出する、［９］に記載の基板処理システム。
［１１］前記搬送装置のメンテナンスの履歴を記録するメンテナンス記録部を更に備え、前記補正部は、前記第２変化量が前記ドリフト閾値を超えた期間における前記メンテナンスの履歴が前記メンテナンス記録部にあるか否かに更に基づいて前記ドリフト変動を検出する、［１０］に記載の基板処理システム。
［１２］前記補正部は、前記第２変化量が前記ドリフト閾値を超えた期間の前後の前記相対位置の推移の類似度に更に基づいて前記ドリフト変動を検出する、［１０］に記載の基板処理システム。
［１３］前記フォークが前記基板の支持を繰り返すのに応じて、前記フォークによる前記基板の受け取り先の識別情報と、前記相対位置の検出結果とを対応付けてデータベースに蓄積するデータ蓄積部と、前記受け取り先が共通である前記相対位置の検出結果の推移をデータベースから抽出する抽出部と、を更に備え、前記劣化検出部は、前記抽出部により抽出された推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出する、［１］～［１２］のいずれか一つに記載の基板処理システム。
［１４］前記搬送装置を含む複数の搬送装置のそれぞれにおいて、前記フォークが前記基板の支持を繰り返すのに応じて、前記フォークにより前記基板を支持した搬送装置の識別情報と、前記相対位置の検出結果とを対応付けてデータベースに蓄積するデータ蓄積部と、共通の搬送装置の前記フォークにおける前記相対位置の検出結果の推移をデータベースから抽出する抽出部と、を更に備え、前記劣化検出部は、前記抽出部により抽出された推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出する、［１］～［１３］のいずれか一つに記載の基板処理システム。
［１５］前記フォークは、支持対象の前記基板に接した時点における前記相対位置を維持するように前記基板を吸着する吸着部を含む、［１］～［１４］のいずれか一つに記載の基板処理システム。
［１６］前記搬送装置を含む基板処理装置と、前記基板処理装置と通信可能なサーバと、を備え、前記劣化検出部は前記サーバに設けられている、［１］～［１５］のいずれか一つに記載の基板処理システム。
［１７］前記基板に対し処理を行う処理ユニットと、前記フォークが支持した前記基板を前記搬送装置が前記処理ユニットに搬入する際における前記相対位置の検出結果と、前記フォークが支持した前記基板を前記搬送装置が前記処理ユニットから搬出する際における前記相対位置の検出結果と、の差分に基づいて、前記処理ユニットの異常を検出するユニット異常検出部と、を更に備える、［１］～［１６］のいずれか一つに記載の基板処理システム。
［１８］前記処理ユニットを含む複数の処理ユニットを備え、前記ユニット異常検出部は、前記複数の処理ユニットに共通する前記差分に基づいて、前記基板処理システムの設置の異常を更に検出する、［１７］に記載の基板処理システム。
［１９］前記搬送装置を含む複数の搬送装置と、前記複数の搬送装置のそれぞれに対する前記劣化検出部による劣化の検出結果を、前記複数の搬送装置がそれぞれ配置される複数のエリアの位置関係に合わせてレイアウトしたマップをモニタに表示させるマップ表示部と、を更に備える、［１］～［１７］のいずれか一つに記載の基板処理システム。
［２０］基板処理システムにおいて、搬送装置がベルトにより変位させるフォークが基板を支持する度に、前記フォークに対する前記基板の相対位置を検出することと、前記相対位置の検出結果の推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出することと、を含む基板処理方法。
［２１］基板処理システムにおいて、搬送装置がベルトにより変位させるフォークが基板を支持する度に、前記フォークに対する前記基板の相対位置を検出することと、前記相対位置の検出結果の推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出することと、をコンピュータに実行させる、基板処理プログラム。
［２２］基板処理システムにおいて、搬送装置がベルトにより変位させるフォークが基板を支持する度に、前記フォークに対する前記基板の相対位置を検出することと、前記相対位置の検出結果の推移に基づいて、前記ベルトの劣化を検出することと、をコンピュータに実行させるためのプログラムを記憶した、記憶媒体。
【符号の説明】
【0098】
１，１Ａ…基板処理システム、１０…基板処理装置、２０…フォーク、２２Ａ～２２Ｄ…吸着部、４２，６２…ベルト、５０…サーバ、５１…相対位置検出部、５２…データ蓄積部、５３…データベース、５４…抽出部、５５…ユニット異常検出部、５６…第２算出部（算出部）、５７…補正部、５８…メンテナンス記録部、５９…第１算出部（算出部）、５９…算出部、６０…劣化検出部、Ａ３…搬送装置、Ｄ１…第１変化量、ＤＲ１…第１方向（変位方向）、ＤＲ２…第２方向（変位方向）、Ｄ２１～Ｄ２８…第２変化量、ＭＰ…マップ、Ｔ１…第１期間、Ｔ２１～Ｔ２８…第２期間、Ｔｈ１…第１閾値、Ｔｈ２…第２閾値、Ｔｈｄ…ドリフト閾値、Ｗ…ワーク（基板）。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】