発明の名称 パルスPVD電力の波形形状係数
出願人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (識別番号 390040660)
特許公開件数ランキング 41 位(525件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 34 位(513件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2024-170385
公報発行日 2024年12月10
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-170385
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