特開 2024-172600 検査装置、および検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024172600

(43)【公開日】2024-12-12

(54)【発明の名称】検査装置、および検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/28 20060101AFI20241205BHJP

   G01R 31/26 20200101ALI20241205BHJP

   H01L 27/144 20060101ALI20241205BHJP

   H01L 21/66 20060101ALI20241205BHJP

【ＦＩ】

G01R31/28 H

G01R31/26 E

H01L27/144 Z

H01L21/66 W

H01L21/66 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023090424

(22)【出願日】2023-05-31

(71)【出願人】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】小林 将人

(72)【発明者】

【氏名】▲高▼▲瀬▼ 文哉

【テーマコード（参考）】

2G003

2G132

4M106

4M118

【Ｆターム（参考）】

2G003AA06

2G003AB16

2G003AG04

2G003AG06

2G003AH05

2G132AB01

2G132AE04

2G132AF14

2G132AL11

4M106AA01

4M106BA01

4M106BA04

4M106CA17

4M106DD03

4M106DD18

4M106DD23

4M106DH31

4M106DJ02

4M106DJ03

4M118AA10

4M118AB01

4M118BA14

4M118CA02

4M118EA11

4M118FA06

4M118GA02

4M118GC08

4M118GD03

4M118GD04

4M118HA30

(57)【要約】

【課題】撮像デバイスの検査を精度よく実施できる技術を提供する。
【解決手段】検査装置は、配線層と反対側の面から光が入射される撮像デバイスを有する検査体を検査する。検査装置は、前記撮像デバイスの前記配線層の反対側の面と対向する形態で前記検査体を載置する載置面を有し、かつ光を透過可能な載置台と、前記載置台を鉛直方向および水平方向に移動可能な載置台動作部と、前記載置面を通して前記撮像デバイスに検査光を照射する照射装置と、を含む。前記載置台動作部は、前記載置台の移動によって、前記載置面に載置された前記検査体に対する前記照射装置の相対位置を変える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

配線層と反対側の面から光が入射される撮像デバイスを有する検査体の検査装置であって、
前記撮像デバイスの前記配線層の反対側の面と対向する形態で前記検査体を載置する載置面を有し、かつ光を透過可能な載置台と、
前記載置台を鉛直方向および水平方向に移動可能な載置台動作部と、
前記載置面を通して前記撮像デバイスに検査光を照射する照射装置と、を含み、
前記載置台動作部は、前記載置台の移動によって、前記載置面に載置された前記検査体に対する前記照射装置の相対位置を変える、
検査装置。

【請求項2】

前記載置台動作部は、内側において鉛直方向に連なり、前記照射装置を配置可能な照射装置用空間を有する、
請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記載置台動作部は、第１方向に延在する一対の第１レールを有すると共に、前記一対の第１レールに重なると共に前記第１方向と直交する第２方向に延在する一対の第２レールを有する水平移動機構を備え、
前記水平移動機構は、前記一対の第１レールの内側および前記一対の第２レールの内側に前記照射装置用空間を形成する空間を有する、
請求項２に記載の検査装置。

【請求項4】

前記載置台動作部は、前記載置台を軸回りに回転させるθ軸回転機構を有し、
前記θ軸回転機構は、筒状の固定部と、前記固定部に対して相対回転可能な筒状のθ可動部と、を含み、
前記固定部および前記可動部の内側に前記照射装置用空間を形成する空間を有する、
請求項２に記載の検査装置。

【請求項5】

前記載置台動作部は、前記載置台を昇降させるＺ軸移動機構を有し、
前記Ｚ軸移動機構は、駆動源と、前記駆動源の駆動によって昇降するＺ軸可動台と、を含み、
前記Ｚ軸可動台は、前記照射装置用空間を形成する空間を内側に有する、
請求項２に記載の検査装置。

【請求項6】

前記照射装置は、前記検査光を照射する光源モジュールと、前記光源モジュールと前記載置台の間に配置され複数のレンズを有するレンズモジュールと、を含む、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項7】

前記光源モジュールと、前記レンズモジュールとは、相互に独立して移動可能である、
請求項６に記載の検査装置。

【請求項8】

前記載置台動作部および前記照射装置を制御するコントローラを有し、
前記コントローラは、前記載置台動作部の移動により前記載置台を位置決めする間または前記載置台を位置決めした後に、前記照射装置を動作させて前記載置台に近接させる、
請求項７に記載の検査装置。

【請求項9】

前記照射装置を前記載置台に近接させた状態で、前記レンズモジュールと前記載置台との間隔は、前記載置台の厚みよりも小さい、
請求項８に記載の検査装置。

【請求項10】

前記載置台は、前記検査光を透過可能かつ前記載置台を加熱可能なヒータ層、および前記検査光を透過可能かつ前記載置台の温度を検出可能なセンサ層を積層している、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項11】

配線層と反対側の面から光が入射される撮像デバイスを有する検査体を検査装置により検査する検査方法であって、
前記検査装置は、
前記撮像デバイスの前記配線層の反対側の面と対向する形態で前記検査体を載置する載置面を有し、かつ光を透過可能な載置台と、
前記載置台を鉛直方向および水平方向に移動可能な載置台動作部と、
前記載置面を通して前記撮像デバイスに検査光を照射する照射装置と、を含み、
前記検査方法では、
前記載置台動作部による前記載置台の移動によって、前記載置面に載置された前記検査体に対する前記照射装置の相対位置を変える工程と、
前記検査体に対する前記照射装置の相対位置を変える工程の後、前記照射装置により前記検査光を照射して前記撮像デバイスの検査を行う工程と、を有する、
検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、検査装置、および検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ＣＭＯＳイメージセンサ等の撮像デバイスを有する基板（検査体）の検査では、複数のＬＥＤにより形成された発光部から基板に向けて検査光を照射して、撮像デバイスの各画素の欠陥の有無を判定している。また近年はＳ／Ｎ比の向上や消費電力の削減等の理由から、配線層と反対側の面から光が入射される裏面照射型の撮像デバイスが開発され、検査装置もこの撮像デバイスに対応した検査を行う装置の開発が進められている。例えば、特許文献１には、複数の撮像デバイスを有する基板を載置台に載置し、同じ載置台側から検査用の光を照射する光出射部（照射装置）を備えた検査装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０‐６８３２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示は、撮像デバイスの検査を精度よく実施できる技術を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一態様によれば、配線層と反対側の面から光が入射される撮像デバイスを有する検査体の検査装置であって、前記撮像デバイスの前記配線層の反対側の面と対向する形態で前記検査体を載置する載置面を有し、かつ光を透過可能な載置台と、前記載置台を鉛直方向および水平方向に移動可能な載置台動作部と、前記載置面を通して前記撮像デバイスに検査光を照射する照射装置と、を含み、前記載置台動作部は、前記載置台の移動によって、前記載置面に載置された前記検査体に対する前記照射装置の相対位置を変える、検査装置が提供される。

【発明の効果】

【0006】

一態様によれば、撮像デバイスの検査を精度よく実施できる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】実施形態に係る検査装置の構成を示す概略縦断面図である。

【図2】図２（Ａ）は、実施形態に係る検査装置が検査する検査対象デバイスである撮像デバイスの一部を拡大して示す断面図である。図２（Ｂ）は、比較例に係る撮像デバイスの一部を拡大して示す断面図である。

【図3】撮像デバイスの検査状態を例示する拡大断面図である。

【図4】検査部の全体構成を示す部分側面断面図である。

【図5】図５（Ａ）は、実施形態に係るステージを概略的に示す平面図である。図５（Ｂ）は、第１変形例に係るステージを概略的に示す平面図である。図５（Ｃ）は、第２変形例に係るステージを概略的に示す平面図である。

【図6】ステージの水平移動機構を示す斜視図である。

【図7】図７（Ａ）は、ステージの載置台を概略的に示す平面図である。図７（Ｂ）は、載置台を概略的に示す側面図である。図７（Ｃ）は、図７（Ｂ）のＶＩＩＢ‐ＶＩＩＢ線の積層構造を概略的に示す側面断面図である。図７（Ｄ）は、変形例に係る積層構造を概略的に示す側面断面図である。

【図8】検査装置の検査方法を示すフローチャートである。

【図9】他の実施形態に係る検査部の全体構成を示す部分側面断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、図面を参照して本開示を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。

【0009】

図１は、実施形態に係る検査装置１の構成を示す概略縦断面図である。図１に示すように、検査装置１は、検査対象デバイスを有する検査体である基板に対して検査を行う装置である。検査される基板は、例えば、平面視で正円形状に形成され、複数の検査対象デバイスをマトリックス状に配置している（以下、基板をウエハＷともいう）。なお、検査体は、複数の検査対象デバイスを有するウエハＷに限定されず、検査対象デバイスが配置されたキャリア、チップ単体、電子回路基板等でもよい。

【0010】

図２（Ａ）は、実施形態に係る検査装置１が検査する検査対象デバイスである撮像デバイス１００の一部を拡大して示す断面図である。図２（Ｂ）は、比較例に係る撮像デバイス２００の一部を拡大して示す断面図である。検査装置１が検査する検査対象デバイスは、図２（Ａ）に示すように、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）を用いた固体撮像素子である撮像デバイス１００があげられる。ＣＭＯＳの撮像デバイス１００は、格子状に並んだ画素１１０毎に１つのフォトダイオード１１３と、ＣＭＯＳトランジスタのスイッチ１１４ｓとを含んで構成され、画素１１０毎にスイッチ１１４ｓを切り替えて信号を増幅し、直接読み出しを行う。

【0011】

ただし、撮像デバイス１００は、画素１１０を構成する積層構造の配置によってその性能が変化する。以下では、実施形態の撮像デバイス１００の理解の容易化のため、まず図２（Ｂ）を参照して比較例（従来）の撮像デバイス２００について説明する。

【0012】

比較例に係る撮像デバイス２００の複数の画素２１０は、フォトダイオード２１４の上層に積層されるカラーフィルタ２１２においてレジストする色（例えば、ＲＧＢカラーのいずれか）を検出する。各画素２１０は、オンチップレンズ２１１、カラーフィルタ２１２、配線層２１３およびフォトダイオード２１４を、この順に積層した積層構造に形成されている。

【0013】

すなわち、撮像デバイス２００は、カラーフィルタ２１２とフォトダイオード２１４との間に配線層２１３を配置している。オンチップレンズ２１１から入射した検査光は、カラーフィルタ２１２、配線層２１３を透過してフォトダイオード２１４に入光する。この場合、配線層２１３に接続される図示しないパッドをオンチップレンズ２１１側に配置できるため、検査装置は、撮像デバイス２００に照射する検査光と、各プローブを同じ方向に配置して検査を行うことができる。以下、図２（Ｂ）の積層構造を有する撮像デバイス２００を表面照射型という。

【0014】

ただし、検査光が配線層２１３を透過することで、撮像デバイス２００のフォトダイオード２１４は、大きなロス（損失）が生じた検査光を受光することになる。また、表面照射型の撮像デバイス２００は、オンチップレンズ２１１側にパッドを配置することで、ウエハＷにおけるデットスペースが大きくなる。

【0015】

一方、図２（Ａ）に示すように、撮像デバイス１００の複数の画素１１０は、オンチップレンズ１１１、カラーフィルタ１１２、フォトダイオード１１３、配線層１１４を、この順に積層した積層構造に形成されている。すなわち、撮像デバイス１００は、カラーフィルタ２１２の背面にフォトダイオード１１３を配置しており、オンチップレンズ１１１から入光した光が、カラーフィルタ１１２を透過した直後にフォトダイオード１１３に入光する。

【0016】

この場合、配線層１１４に接続されるパッド１１５（図３参照：電極パッドや半導体バンプ等）をオンチップレンズ１１１の反対側に配置できる。検査装置１は、パッド１１５に接触する各プローブ２２に対して、撮像デバイス１００に照射する検査光の照射装置５０（図３参照）を反対側に配置して検査を行うことになる。以下、図２（Ａ）の積層構造を有する撮像デバイス１００を裏面照射型という。

【0017】

裏面照射型の撮像デバイス１００は、検査光が配線層１１４に邪魔されずにフォトダイオード１１３に取り込めるようになり、検出の感度が大幅に向上する。また、裏面照射型の撮像デバイス１００は、ウエハＷにおけるデットスペースを可及的に低減できる。

【0018】

以下、裏面照射型の撮像デバイス１００の検査の原理について、図３を参照しながら説明する。図３は、撮像デバイス１００の検査状態を例示する拡大断面図である。

【0019】

検査装置１は、撮像デバイス１００の検査において、オンチップレンズ１１１側の面を載置台３１に向けた状態でウエハＷを載置する一方で、各撮像デバイス１００の配線層１１４のパッド１１５に対して検査装置１のプローブ２２を接触させる。さらに、検査装置１は、ステージ３０側に配置した照射装置５０から色／光量（放射強度）／角度等を制御した検査光をウエハＷに向けて照射する。検査装置１は、この照射時の各撮像デバイス１００の電気信号をテスタ２０において受信し、各撮像デバイス１００の良または不良（欠陥）を判定する。以下、この検査装置１の構成について、具体的に説明していく。

【0020】

図１に戻り、検査装置１は、検査を実際に行う検査部１０と、検査部１０の隣接位置に設置されるローダ１３と、検査部１０の上方に設置されるテスタ２０と、を備える。さらに、検査装置１は、検査部１０、ローダ１３およびテスタ２０の動作を制御するコントローラ９０を有する。

【0021】

検査部１０は、直方体形状の筐体１１を備え、この筐体１１の内部に検査室１２を有する。検査室１２には、ウエハＷを載置して、所望の３次元位置にウエハＷを搬送するステージ３０が収容されている。

【0022】

ローダ１３には、複数のウエハＷを待機させる図示しないＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）がセットされる。ローダ１３は、図示しない搬送装置を備え、搬送装置によりＦＯＵＰからウエハＷを取り出して、検査室１２のステージ３０へウエハＷを受け渡す。また、ローダ１３は、搬送装置により検査済のウエハＷをステージ３０から取り出してＦＯＵＰへ収容する。

【0023】

検査部１０は、インタフェース２３を介してテスタ２０に接続されるプローブカード２１を検査室１２の上方に備える。プローブカード２１は、ウエハＷに対向する位置に複数のプローブ２２を有する。各プローブ２２は、ステージ３０によりウエハＷを移動させた際に、ウエハＷの各被検査デバイスの電極パッドや半田バンプ等に接触する。これにより、テスタ２０は、プローブカード２１およびインタフェース２３を介して被検査デバイスへ電力および各種の信号を出力し、またプローブカード２１およびインタフェース２３を介して被検査デバイスから送信される信号を受信する。

【0024】

テスタ２０は、インタフェース２３に接続されるマザーボード（不図示）を内部に備える。マザーボードは、図示しない複数のテストボードが装着される複数のスロットを有すると共に、コントローラ９０に接続されている。マザーボードは、ウエハＷの被検査デバイスから送信される信号に基づき各被検査デバイスの良否を判断する。テストボードを適宜取り替えることにより、テスタ２０は、複数種類の検査を実施することができる。

【0025】

さらに、検査装置１は、検査室１２の適宜の位置に、ステージ３０上のウエハＷを撮像する検査側カメラ２９を備えてもよい。検査側カメラ２９は、例えば、ステージ３０の傾斜やステージ３０に載置されたウエハＷの位置などを撮像する。またさらに、検査装置１は、プローブカード２１、または各プローブ２２とウエハＷの接触状態等を撮像するステージ側カメラ１９を備えてもよい。

【0026】

以下、検査部１０の具体的な構成について、さらに図４～図７を参照しながら詳述していく。図４は、検査部１０の全体構成を示す部分側面断面図である。図５（Ａ）は、実施形態に係るステージ３０を概略的に示す平面図である。図５（Ｂ）は、第１変形例に係るステージ３０Ａを概略的に示す平面図である。図５（Ｃ）は、第２変形例に係るステージ３０Ｂを概略的に示す平面図である。図６は、ステージ３０の水平移動機構４２を示す斜視図である。図７（Ａ）は、ステージ３０の載置台３１を概略的に示す平面図である。図７（Ｂ）は、載置台３１を概略的に示す側面図である。図７（Ｃ）は、図７（Ｂ）のＶＩＩＢ‐ＶＩＩＢ線の積層構造を概略的に示す側面断面図である。図７（Ｄ）は、変形例に係る積層構造を概略的に示す側面断面図である。

【0027】

図４に示すように、検査部１０の筐体１１は、図示しないパネルの内側に鉛直方向に延在する複数の支柱１１ａを有すると共に、各支柱１１ａに連結されて水平方向に延在する複数の横フレームを有する。複数の横フレームは、例えば、テスタ２０を支持する天井フレーム１１ｂと、ステージ３０を支持する中間フレーム１１ｃと、照射装置５０を支持する床フレーム１１ｄと、を含む。検査部１０の検査室１２は、中間フレーム１１ｃにより鉛直方向に２段の空間に分割されている。ただし、中間フレーム１１ｃは、筐体１１内を周回する方形環状の枠体に形成されており、２段の空間は相互に連通している。

【0028】

ステージ３０は、検査室１２内においてウエハＷを移動させて、プローブカード２１の各プローブ２２に撮像デバイス１００を接触させる。具体的には、ステージ３０は、ウエハＷを載置する載置台３１と、中間フレーム１１ｃに設置されて載置台３１を移動させる載置台動作部４０と、載置台３１の隣接位置に設置されてプローブ２２を研磨する研磨機構部６０と、を含む。

【0029】

載置台動作部４０は、コントローラ９０（図１参照）の指令下に、載置台３１に載置されたウエハＷを検査室１２の目標の３次元位置に移動させる。この載置台動作部４０は、鉛直方向下側から鉛直方向上側に向かって、Ｚ軸移動機構４１と、水平移動機構４２と、θ軸回転機構４５と、を備える。

【0030】

Ｚ軸移動機構４１は、載置台３１を鉛直方向（Ｚ軸方向）に昇降させる。このＺ軸移動機構４１は、中間フレーム１１ｃに設置される複数（実施形態では４つ：図５（Ａ）参照）の駆動源４１１と、駆動源４１１の駆動力を伝達する駆動伝達部４１２と、駆動伝達部４１２に支持されるＺ軸可動台４１３と、を有する。

【0031】

図５（Ａ）に示すように、各駆動源４１１は、平面視で、中間フレーム１１ｃの４つの角部付近にそれぞれ設けられる。各駆動源４１１は、モータ、シリンダ機構等を適用できる。本実施形態では、モータを採用している。例えば、各駆動源４１１は、中間フレーム１１ｃの下面に固定され、駆動軸を鉛直方向上側に突出した姿勢となっている（図４参照）。各駆動源４１１は、図示しない駆動ドライバを介してコントローラ９０（またはコントローラ９０の指令下に移動制御を行う移動制御部）に接続され、当該コントローラ９０により回転タイミングや回転量が調整される。

【0032】

駆動伝達部４１２は、駆動源４１１の種類に応じて適切な機構を採り得る。例えば駆動源４１１がモータである場合には、モータの回転運動を直線運動に変換するボールネジ機構を適用できる。

【0033】

Ｚ軸可動台４１３は、中間フレーム１１ｃよりも鉛直方向上側に設けられ、各駆動源４１１の駆動に伴ってＺ軸方向（鉛直方向）に昇降する。Ｚ軸可動台４１３は、平面視で、中央部に空間４１ｓを有する方形環状に形成され、水平移動機構４２を支持している。空間４１ｓは、平面視で、方形状に形成され、また照射装置５０よりも大きなサイズに設定されている。

【0034】

なお、Ｚ軸移動機構４１の構成は、上記に限らず種々の構成を採用してよい。例えば、Ｚ軸移動機構４１の駆動源４１１の数は、４つに限定されない。図５（Ｂ）に示す第１変形例のように、Ｚ軸移動機構４１Ａは、２つの駆動源４１１を備えた構成でもよい。この場合、Ｚ軸移動機構４１Ａは、各駆動源４１１の駆動軸に主動プーリ４１４を備えると共に、Ｚ軸可動台４１３の各角部に従動プーリ４１５を備え、１つの主動プーリ４１４および２つ従動プーリ４１５を一対の無端状のベルト４１６で連動させる駆動伝達部４１２Ａを適用すればよい。

【0035】

また例えば、図５（Ｃ）に示す第２変形例のように、Ｚ軸移動機構４１Ｂは、１つの駆動源４１１を備えた構成でもよい。この場合、Ｚ軸移動機構４１Ｂは、１つ駆動源４１１の駆動軸に主動プーリ４１４を備えると共に、Ｚ軸可動台４１３の各角部に従動プーリ４１５を備え、主動プーリ４１４および従動プーリ４１５を、１つの無端状のベルト４１７で連動させる駆動伝達部４１２Ｂを適用すればよい。

【0036】

水平移動機構４２は、載置台３１を水平方向（Ｘ軸‐Ｙ軸方向）に移動させる。実施形態に係る水平移動機構４２は、図４および図６に示すように、Ｙ軸移動機構４３およびＸ軸移動機構４４を一体化したフレーム構造体４２１を有している。

【0037】

具体的には、フレーム構造体４２１は、一対（２本）のＹ軸レール４３１を平行に配置すると共に、当該一対のＹ軸レール４３１に対して鉛直方向に重なりかつ直交する一対（２本）のＸ軸レール４４１を配置したクロス形状（井桁形状）を呈している。なお、実施形態に係る水平移動機構４２は、Ｙ軸移動機構４３の上側にＸ軸移動機構４４を配置しているが、この配置は逆であってもよい。

【0038】

Ｙ軸移動機構４３の一対のＹ軸レール４３１は、Ｚ軸可動台４１３の上面に固定されて、Ｙ軸方向に沿って延在している。Ｙ軸移動機構４３は、この一対のＹ軸レール４３１に複数（４つ）のＹ軸可動体４３２を配置している。各Ｙ軸可動体４３２は、Ｙ軸レール４３１に沿って移動自在に搭載される。

【0039】

４つのＹ軸可動体４３２は、１本のＹ軸レール４３１毎に２つずつ設けられる。一のＹ軸レール４３１に搭載した２つのＹ軸可動体４３２のうちの一方は、平行に隣接する他のＹ軸レール４３１に搭載した２つのＹ軸可動体４３２のうちの一方とＸ軸方向に並び、一対のＸ軸レール４４１のうち同じ一のＸ軸レール４４１を保持する。同様に、一のＹ軸レール４３１に搭載した２つのＹ軸可動体４３２のうちの他方は、平行に隣接する他のＹ軸レール４３１に搭載した２つのＹ軸可動体４３２のうちの他方とＸ軸方向に並び、一対のＸ軸レール４４１のうち同じ他のＸ軸レール４４１を保持する。

【0040】

一のＹ軸レール４３１に搭載した２つのＹ軸可動体４３２、および他のＹ軸レール４３１に搭載した２つのＹ軸可動体４３２は、Ｙ軸方向に延びる連結体４３４によりそれぞれ連結されている。これにより、各Ｙ軸レール４３１の２つのＹ軸可動体４３２は、相互の間隔を維持した状態でＹ軸方向に連動してスライドすることが可能となっている。

【0041】

さらに、Ｙ軸移動機構４３は、Ｚ軸可動台４１３に駆動源４３３と、駆動源４３３の駆動力を伝達する図示しない駆動伝達部とを備える。駆動源４３３は、モータ、シリンダ機構等を適用でき、一対のＸ軸レール４４１のうち一方に接続している。Ｙ軸移動機構４３は、コントローラ９０の指令下に駆動源４３３を動作させ、駆動源４３３の駆動力を一のＸ軸レール４４１に伝達することで、一のＸ軸レール４４１をＹ軸方向に進退させる。これにより、一のＸ軸レール４４１を支持している各Ｙ軸可動体４３２が各Ｙ軸レール４３１に沿って移動し、連結体４３４を介して他のＸ軸レール４４１を支持している各Ｙ軸可動体４３２もＹ軸方向に移動させる。結果的に、Ｙ軸移動機構４３は、一対のＸ軸レール４４１の間隔を維持したまま当該一対のＸ軸レール４４１をＹ軸方向にスライドできる。

【0042】

一方、Ｘ軸移動機構４４は、各Ｙ軸可動体４３２において一対のＸ軸レール４４１が移動自在に保持されている。換言すれば、各Ｙ軸可動体４３２は、鉛直方向に搭載されているＹ軸レール４３１およびＸ軸レール４４１に対して移動自在なスライド部４３２ａ、４３２ｂを上下方向（鉛直方向）に有している。スライド部４３２ａ、４３２ｂは、図示しない複数の転動体を内部に備え、転動体の回転に基づきレールを移動できる。

【0043】

また、Ｘ軸移動機構４４は、一対のＸ軸レール４４１をまたがるように環状方形のＸ軸可動台４４２（図４参照）を搭載している。Ｘ軸移動機構４４は、Ｚ軸可動台４１３に駆動源４４３と、駆動源４４３の駆動力を伝達する図示しない駆動伝達部とを備える。駆動源４４３は、モータ、シリンダ機構等を適用でき、Ｘ軸可動台４４２に接続している。Ｘ軸移動機構４４は、コントローラ９０の指令下に駆動源４４３を動作させ、駆動源４４３の駆動力をＸ軸可動台４４２に伝達することで、一対のＸ軸レール４４１と共にＸ軸可動台４４２をＸ軸方向に進退させることができる。

【0044】

以上の水平移動機構４２は、一対のＹ軸レール４３１と、一対のＸ軸レール４４１とで囲われた空間４２ｓを有する。空間４２ｓは、Ｚ軸可動台４１３の空間４１ｓと連通し、また照射装置５０よりも大きなサイズに設定されている。

【0045】

θ軸回転機構４５は、Ｘ軸移動機構４４のＸ軸可動台４４２に設けられ、載置台３１をθ軸（鉛直軸）回りに回転させる。例えば、θ軸回転機構４５は、Ｘ軸可動台４４２に固定される固定部４５１と、固定部４５１の上側に回転可能に搭載されるθ可動部４５２と、を有する。また、θ軸回転機構４５は、図示しない駆動源および駆動伝達部を有し、コントローラ９０の指令下に駆動源を動作させることで、固定部４５１と相対的にθ可動部４５２を回転させる。なお、固定部４５１およびθ可動部４５２は、後記の照射装置５０の上昇を許容するため、それぞれ筒状に形成されており、その内側に空間４５ｓを有している（図７（Ｂ）も参照）。

【0046】

一方、ステージ３０の載置台３１は、θ軸回転機構４５のθ可動部４５２の上面に固定されている。この載置台３１は、ステージ３０の鉛直方向下側に配置される照射装置５０の検査光を透過するために、ガラス（石英）等の材料により透明に形成されている。載置台３１の厚みは、ウエハＷを支持可能な強度と、検査光のロスを低減可能な光路長とのバランスをとって設定される。例えば、載置台３１の厚みは、３ｍｍ～３０ｍｍ程度の範囲に設定するとよい。これにより、載置台３１は、ウエハＷを安定的に支持しながら、照射装置５０の検査光の透過に伴うロス（損失）を低減できる。

【0047】

載置台３１は、図７（Ａ）に示すように、平面視で正方形状に形成され、ウエハＷを載置するための載置面３１ｓを上面に有する。載置面３１ｓには、検査時にウエハＷを吸着するための円環形状の吸引溝３２が形成されている。吸引溝３２は、載置台３１の内部に設けられた図示しない吸引路に連通しており、この吸引路は、吸引ラインを介して検査部１０の外側に設けられた吸引機構１４に接続されている（図１参照）。ステージ３０は、吸引機構１４の吸引動作によって吸引溝３２に吸着圧力を付与することで、ウエハＷを載置面３１ｓに吸着して保持する。

【0048】

吸引溝３２は、ウエハＷの外縁付近を吸着するように形成されている。例えば、検査するウエハＷの直径が３００ｍｍである場合に、吸引溝３２の直径は２８０ｍｍ～２９５ｍｍ程度の範囲に設定される。これにより、載置面３１ｓにおいてウエハＷの各撮像デバイス１００の設置箇所に対向する面部は、凹部を備えない平坦状に延在した形状となり、検査光を乱反射させる等の不都合を抑制して、ウエハＷに検査光を透過させることが可能となる。

【0049】

また図７（Ｃ）に示すように、載置台３１は、載置台３１を加熱するヒータ層３３、および載置面３１ｓの温度を検出するセンサ層３４を有する。例えば、載置台３１は、鉛直方向下側から鉛直方向上側に向かって、ガラス基材層３５、ヒータ層３３、ガラス基材層３５、センサ層３４、ガラス基材層３５を、この順に積層して構成される。ヒータ層３３は、周知の透明パターンを適用でき、図示しないドライバ部を介してコントローラ９０に接続されている。センサ層３４は、銀センサのＲＴＤパターンを適用でき、温度の検出情報をコントローラ９０に送信可能に構成される。このように構成された載置台３１は、検査光のロスを低減しながら当該検査光を透過させ、かつセンサ層３４の検出情報に基づきヒータ層３３（すなわち載置面３１ｓに載置されたウエハＷ）の温度を制御できる。

【0050】

なお、載置台３１の構造は、上記に限らず、例えば図７（Ｄ）に示すように、ヒータ層３３とセンサ層３４とを直接積層し、その上下方向にガラス基材層３５をそれぞれ積層した構成でもよい。

【0051】

図４に戻り、ステージ３０の研磨機構部６０は、Ｘ軸可動台４４２において、θ軸回転機構４５の隣接位置に設置される。研磨機構部６０の上部には、プローブカード２１から下方に突出しているプローブ２２を研磨する研磨体６１が設けられる。研磨機構部６０は、研磨体６１をＺ軸方向に変位させる研磨側Ｚ軸移動機構６２を有する。

【0052】

検査部１０は、上記のように構成されるステージ３０に載置されるウエハＷに対して、同じステージ３０側に照射装置５０を配置することで、ステージ３０側から各撮像デバイス１００のオンチップレンズ１１１に向けて検査光を照射する。この照射装置５０は、検査光の光源である光源モジュール５１と、光源モジュール５１の検査光の照射方向（光軸上）に配置されるレンズモジュール５２と、を含んで構成される。また、照射装置５０は、光源モジュール５１およびレンズモジュール５２を移動させる照射装置動作部５３を有する。

【0053】

光源モジュール５１は、遮光機能を有するケース５１１と、ケース５１１の内部に設けられる図示しない複数のＬＥＤとを備え、コントローラ９０に対して通信可能に接続されている。ケース５１１は、鉛直方向上側に突出する凸部５１２を備え、凸部５１２の上面に開口部５１２ｏを有する。各ＬＥＤは、例えば、水平方向に沿ってマトリックス状に配列され、鉛直方向上側に向かって同じ波長および光強度を有する検査光を出射する。これにより、光源モジュール５１は、開口部５１２ｏから鉛直方向上側に安定した検査光を照射することができる。

【0054】

光源モジュール５１は、撮像デバイス１００において複数の色を検査する場合に、単色（例えば、白色）の検査光を照射する構成でもよく、複数種類の色（例えば、赤、緑、青）毎の検査光を照射する構成でもよい。

【0055】

レンズモジュール５２は、撮像デバイス１００が搭載されるカメラ等の撮像機器（不図示）のレンズ部分を再現したモジュールであり、瞳モジュール（登録商標）とも称される。検査装置１は、レンズモジュール５２を検査に使用することで、撮像デバイス１００が実際に使われる環境の再現をすることが可能となり、その環境下で決められたスペックを発揮できているかを検査することができる。例えば、スマートフォンに搭載されるカメラの多くは、そのスマートフォンのモデル毎にレンズの枚数や形状が異なるため、レンズモジュール５２は、それぞれのカメラのレンズの仕様に合わせて設計され、検査内容に応じて交換される。

【0056】

レンズモジュール５２は、検査光を透過可能な複数のレンズ５２１と、各レンズ５２１を支持する支持板５２２とを有する。例えば、各レンズ５２１は、凸面が鉛直方向上側を臨むように支持板５２２に支持される。また、各レンズ５２１は、支持板５２２上にマトリックス状に配列されており、当該各レンズ５２１を透過した検査光の光強度の均一性を保つことが可能となっている。

【0057】

支持板５２２は、例えば、円板状に形成されている。支持板５２２が照射装置動作部５３の支持フレーム５３６に固定されることで、各レンズ５２１および支持板５２２は、光源モジュール５１の開口部５１２ｏの対向位置（光源モジュール５１と載置台３１の間）に配置される。各レンズ５２１および支持板５２２は、検査されるウエハＷの平面形状よりも小さく形成されている。すなわち、支持板５２２の直径および面積は、載置面３１ｓまたはウエハＷの直径および面積よりも小さく形成されている。これにより、レンズモジュール５２は、光源モジュール５１から照射される検査光を、各レンズ５２１によってウエハＷの狭い範囲の面内に誘導し、かつ面内において平均的な光強度を持つようにすることができる。

【0058】

照射装置動作部５３は、上記の照射装置５０（光源モジュール５１、レンズモジュール５２）を昇降させる機能を有する。また、照射装置動作部５３は、照射装置５０の水平方向の位置を調整する照射装置水平移動機構５４を備えてもよい。例えば、照射装置動作部５３は、照射装置水平移動機構５４に設けられ、水平方向に延在する基台５３１を有する。照射装置動作部５３は、基台５３１に対し光源モジュール昇降機構５３２、およびレンズモジュール昇降機構５３５を有する。

【0059】

光源モジュール昇降機構５３２は、光源モジュール５１を支持し、コントローラ９０の指令下に光源モジュール５１を昇降させる。例えば、光源モジュール昇降機構５３２は、モータ、シリンダ機構等の駆動源５３３と、駆動源５３３の駆動力を伝達する駆動伝達部５３４とを有する。

【0060】

レンズモジュール昇降機構５３５は、支持フレーム５３６を介してレンズモジュール５２を支持し、コントローラ９０の指令下にレンズモジュール５２を昇降させる。例えば、レンズモジュール昇降機構５３５は、モータ、シリンダ機構等の駆動源５３７と、駆動源５３７の駆動力を伝達する駆動伝達部５３８とを有する。

【0061】

照射装置水平移動機構５４は、例えば、プローブカード２１のプローブ２２の位置やステージ３０の位置に対応して、照射装置５０の水平方向の位置を微調整するために用いられる。図４中において、照射装置水平移動機構５４は、Ｙ軸方向に沿って基台５３１を移動させるように構成されている。この場合、照射装置水平移動機構５４は、例えば、一対のレール５４１と、このレール５４１上をスライドし基台５３１を支持する複数の可動体５４２と、Ｙ軸方向に駆動させる駆動源５４３および駆動伝達部５４４とを有する。なお、照射装置水平移動機構５４は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の両方に移動可能に構成されてもよく、例えば、ステージ３０の水平移動機構４２と同様の構成を採ってもよい。

【0062】

以上のように構成される検査装置１は、ステージ３０の移動によって、照射装置５０と相対的に載置台３１の位置を変位させることができる。さらに、検査装置１は、ステージ３０の載置台３１の裏面（下面）に対して、照射装置５０を可及的に近づけることが可能となる。すなわち、ステージ３０の載置台動作部４０は、鉛直方向に連なり、照射装置５０を移動および配置可能な照射装置用空間４６を形成している。照射装置用空間４６は、Ｚ軸移動機構４１の内側に形成された空間４１ｓと、水平移動機構４２の内側に形成された空間４２ｓと、θ軸回転機構４５の内側に形成された空間４５ｓと、が相互に連通することで構成される。

【0063】

照射装置用空間４６の鉛直方向上側には、載置台３１の裏面が対向している。照射装置用空間４６の鉛直方向下側は、中間フレーム１１ｃの内側の空間（不図示）を介して、中間フレーム１１ｃよりも鉛直方向下側の空間に連通している。このため、照射装置動作部５３により照射装置５０を上昇させると、照射装置５０が他の構成に接触することなく照射装置用空間４６に進入する。特に、照射装置５０のレンズモジュール５２は、照射装置用空間４６を介して載置台３１の裏面に近接する位置に配置できる。したがって、検査装置１は、レンズモジュール５２と撮像デバイス１００と間の距離を可及的に短くすることができ、検査光のロスを効果的に低減できる。

【0064】

本実施形態に係る検査装置１は、基本的には以上のように構成され、以下その動作（検査方法）について図８を参照しながら説明する。図８は、検査装置１の検査方法を示すフローチャートである。

【0065】

検査装置１は、撮像デバイス１００を有するウエハＷの検査において、ローダ１３により載置台３１の載置面３１ｓにウエハＷを載置した後、コントローラ９０の指令に基づき、図８に示すステップＳ１０１～Ｓ１１２の処理フローを順に行う。

【0066】

コントローラ９０は、まずローダ１３から検査部１０内にウエハＷを搬入して、載置台３１の載置面３１ｓにウエハＷを載置および保持する（ステップＳ１０１）。次に、コントローラ９０は、θ軸回転機構４５を動作させて載置台３１をθ軸回りに回転させることにより、プローブカード２１およびウエハＷのアライメントを実施する（ステップＳ１０２）。

【0067】

その後、コントローラ９０は、水平移動機構４２により載置台３１を水平方向に移動し、またＺ軸移動機構４１により載置台３１を鉛直方向上側に上昇して、プローブカード２１の直下の目標位置にウエハＷを配置する（ステップＳ１０３）。この目標位置は、プローブカード２１の各プローブ２２に対して撮像デバイス１００が僅かに離れた位置に設定される。また載置台３１の移動時に、コントローラ９０は、照射装置５０の移動を停止した状態としており、ステージ３０は、照射装置５０と相対的に３次元位置を変えることになる。

【0068】

水平移動機構４２による水平方向の移動では、載置台動作部４０の照射装置用空間４６も水平方向に移動することになる。ただし、各プローブ２２にウエハＷが対向および接触する範囲では、載置台３１の水平方向の移動距離が短い。よって水平移動機構４２の空間４２ｓは、水平方向にずれるとしても、照射装置用空間４６に対して鉛直方向に連なる状態を継続的に維持できる。換言すれば、ウエハＷの検査範囲（対向範囲）において載置台３１が水平方向に移動したとしても、照射装置用空間４６は照射装置５０の上昇を妨げる程に変形することがない。したがって、以降のステップＳ１０４において照射装置５０を上昇しても、照射装置５０（レンズモジュール５２）を載置台３１に確実に近接させることができる。

【0069】

次に、コントローラ９０は、照射装置動作部５３により照射装置５０の光源モジュール５１およびレンズモジュール５２を鉛直方向上側に上昇させて、載置台３１の裏面に近接させる（ステップＳ１０４）。この際、コントローラ９０は、ステージ３０の移動を停止した状態としており、照射装置５０は、ステージ３０と相対的に鉛直方向の位置を変えることになる。なお、コントローラ９０は、ステージ３０の上昇時（ステップＳ１０３の実施時）に照射装置５０を合わせて上昇させ、ステージ３０の位置決めに伴う上昇停止後も照射装置５０の上昇を継続することで、照射装置５０を載置台３１の裏面に近接させてもよい。これにより、照射装置５０の上昇を効率的に行うことができ、検査時間の短縮化を促すことができる。

【0070】

照射装置５０のレンズモジュール５２は、載置台３１の裏面に充分に近接した位置に配置される。例えば、載置台３１の裏面とレンズモジュール５２との間隔は、載置台３１の厚みよりも小さく設定されるとよい。これにより、レンズモジュール５２から出力された検査光を、載置台３１を介して撮像デバイス１００に容易に導くことが可能となる。

【0071】

また、照射装置５０の上昇では、レンズモジュール５２を先に上昇させ、その後に光源モジュール５１を上昇させる動作を行ってもよく、光源モジュール５１およびレンズモジュール５２を同時に上昇させる動作を行ってもよい。ただし、撮像デバイス１００の検査において光源モジュール５１とレンズモジュール５２との間の距離は、常に一定に維持されることが好ましい。このため、照射装置動作部５３は、光源モジュール５１とレンズモジュール５２とを別に上昇させた場合に、相互の距離を一定するようにそれぞれの上昇量を調整する制御を行う。

【0072】

その後、コントローラ９０は、Ｚ軸移動機構４１により載置台３１およびウエハＷを短く上昇させて、プローブカード２１とウエハＷとをコンタクトさせる（ステップＳ１０５）。これにより、プローブカード２１の各プローブ２２が、ウエハＷの各撮像デバイス１００のパッド１１５に接触した状態となる。なお、検査装置１は、プローブ２２が撮像デバイス１００に接触した後も、載置台３１を多少上昇させる動作（オーバドライブ動作）を行ってよい。これにより、検査範囲の各撮像デバイス１００に対して各プローブ２２をより確実に接触させることが可能となる。

【0073】

コントローラ９０は、プローブカード２１とウエハＷのコンタクト後に、撮像デバイス１００の検査を行う（ステップＳ１０６）。この検査において、コントローラ９０は、照射装置５０の光源モジュール５１から検査光を照射する。この検査光は、レンズモジュール５２の各レンズ５２１を通過し、さらに載置台３１を透過して撮像デバイス１００のオンチップレンズ１１１に入光する。撮像デバイス１００は、検査光の入光によって適宜の信号をプローブ２２に出力する。テスタ２０は、このプローブ２２を介して取得された信号に基づき、撮像デバイス１００の良または不良を判定できる。

【0074】

その後、コントローラ９０は、Ｚ軸移動機構４１によりウエハＷを下降してステップＳ３の目標位置に戻すことで、プローブカード２１からウエハＷを離間（分離）させる（ステップＳ１０７）。

【0075】

そして、コントローラ９０は、未検査の撮像デバイス１００がない否かを判定する（ステップＳ１０８）。未検査の撮像デバイス１００がある場合（ステップＳ１０８：ＮＯ）、検査装置１は、ウエハＷの未検査の撮像デバイス１００を検査するために、水平移動機構４２によりウエハＷを水平方向に移動（インデックス）させる（ステップＳ１０９）。これにより、未検査の撮像デバイス１００がプローブカード２１の各プローブ２２に対向するようになる。そのため、コントローラ９０は、上記したステップＳ１０５～Ｓ１０８を繰り返すことで、ウエハＷの各撮像デバイス１００を全数検査することができる。

【0076】

一方、未検査の撮像デバイス１００がない場合（ステップＳ１０８：ＹＥＳ）、そのウエハＷの各撮像デバイス１００の検査が終了したことになる。このため、コントローラ９０は、照射装置５０の光源モジュール５１およびレンズモジュール５２を下降して、ステージ３０から離脱させる（ステップＳ１１０）。

【0077】

さらに、コントローラ９０は、Ｚ軸移動機構４１により載置台３１を下降すると共に、水平移動機構４２により載置台３１を水平方向に移動してローダ１３に近接させ、ローダ１３の搬送装置によりウエハＷを搬出する（ステップＳ１１１）。

【0078】

そして、コントローラ９０は、ローダ１３内に収容されている各ウエハＷについて検査が完了した否かを判定する（ステップＳ１１２）。検査が完了していない場合（ステップＳ１１２：ＮＯ）には、ステップＳ１０１に戻り以下同様の処理フローを繰り返す。一方、検査が完了した場合（ステップＳ１１２：ＹＥＳ）には、この検査方法の処理フローを終了する。

【0079】

なお、検査装置１および検査方法は、上記の実施形態に限定されず、種々の変形例をとり得る。

【0080】

図９は、他の実施形態に係る検査部１０Ａの全体構成を示す部分側面断面図である。図９に示すように、検査部１０Ａは、照射装置５０のレンズモジュール昇降機構５３５およびレンズモジュール５２を中間フレーム１１ｃに取り付けた構成としてもよい。これにより、レンズモジュール５２を昇降させる距離を短くすることができ、検査を一層効率的に行うことが可能となる。

【0081】

以上の実施形態で説明した本開示の技術的思想および効果について以下に記載する。

【0082】

本開示の第１の態様は、配線層１１４と反対側の面から光が入射される撮像デバイス１００を有する検査体（ウエハＷ）の検査装置１であって、撮像デバイス１００の配線層１１４の反対側の面と対向する形態で検査体を載置する載置面３１ｓを有し、かつ光を透過可能な載置台３１と、載置台３１鉛直方向および水平方向に移動可能な載置台動作部４０と、載置面３１ｓを通して撮像デバイス１００に検査光を照射する照射装置５０と、を含み、載置台動作部４０は、載置台３１の移動によって、載置面３１ｓに載置された検査体に対する照射装置５０の相対位置を変える。

【0083】

上記によれば、検査装置１は、載置台３１に載置された検査体（ウエハＷ）と照射装置５０の相対位置を変えることができ、検査体の撮像デバイス１００に対して照射装置５０の検査光を良好に入光させることができる。このため、検査装置１は、撮像デバイス１００の検査を精度よく実施できる。

【0084】

また、載置台動作部４０は、内側において鉛直方向に連なり、照射装置５０を配置可能な照射装置用空間４６を有する。これにより、検査装置１は、照射装置５０を載置台３１の裏面に近接する位置に配置でき、載置台３１に載置された撮像デバイス１００に充分な検査光を照射できる。

【0085】

また、載置台動作部４０は、第１方向に延在する一対の第１レール（Ｙ軸レール４３１）を有すると共に、一対の第１レールに重なると共に第１方向と直交する第２方向に延在する一対の第２レール（Ｘ軸レール４４１）を有する水平移動機構４２を備え、水平移動機構４２は、一対の第１レールの内側および一対の第２レールの内側に照射装置用空間４６を形成する空間４２ｓを有する。これにより、検査装置１は、水平移動機構４２を有する構成でも、載置台３１の近接する位置に照射装置５０を配置できる。

【0086】

また、載置台動作部４０は、載置台３１を軸回りに回転させるθ軸回転機構４５を有し、θ軸回転機構４５は、筒状の固定部４５１と、固定部４５１に対して相対回転可能な筒状のθ可動部４５２と、を含み、固定部４５１および可動部４５２の内側に照射装置用空間４６を形成する空間４５ｓを有する。これにより、検査装置１は、軸回りに載置台３１を回転させる構成でも、載置台３１の近接する位置に照射装置５０を配置できる。

【0087】

また、載置台動作部４０は、載置台３１を昇降させるＺ軸移動機構４１を有し、Ｚ軸移動機構４１は、駆動源４１１と、駆動源４１１の駆動によって昇降するＺ軸可動台４１３と、を含み、Ｚ軸可動台４１３は、照射装置用空間４６を形成する空間４１ｓを内側に有する。これにより、検査装置１は、鉛直方向に載置台３１を昇降させる構成でも、載置台３１の近接する位置に照射装置５０を配置できる。

【0088】

また、照射装置５０は、検査光を照射する光源モジュール５１と、光源モジュール５１と載置台３１の間に配置され複数のレンズ５２１を有するレンズモジュール５２と、を含む。光源モジュール５１およびレンズモジュール５２を備えることで、検査装置１は、撮像デバイス１００に対して適切な検査光を照射できる。

【0089】

また、光源モジュール５１と、レンズモジュール５２とは、相互に独立して移動可能である。これにより、検査装置１は、検査において、光源モジュール５１およびレンズモジュール５２を適切な位置に配置できる。

【0090】

また、載置台動作部４０および照射装置５０を制御するコントローラ９０を有し、コントローラ９０は、載置台動作部４０の移動により載置台３１を位置決めする間または載置台３１を位置決めした後に、照射装置５０を動作させて載置台３１に近接させる。これにより、検査装置１は、移動により位置決めした載置台３１に対応する位置に照射装置５０を精度よく配置できる。

【0091】

また、照射装置５０を載置台３１に近接させた状態で、レンズモジュール５２と載置台３１との間隔は、載置台３１の厚みよりも小さい。これにより、検査装置１は、照射装置５０を載置台３１に充分に近づけることができ、検査光のロスをなくすことができる。

【0092】

また、載置台３１は、検査光を透過可能かつ載置台３１を加熱可能なヒータ層３３、および検査光を透過可能かつ載置台３１の温度を検出可能なセンサ層３４を積層している。これにより、検査装置１は、載置台３１の温度を調整して検査を行うことができ、しかも検査光のロスを抑制することが可能となる。

【0093】

また、本開示の第２の態様は、配線層１１４と反対側の面から光が入射される撮像デバイス１００を有する検査体（ウエハＷ）を検査装置１により検査する検査方法であって、検査装置１は、撮像デバイス１００の配線層１１４の反対側の面と対向する形態で検査体を載置する載置面３１ｓを有し、かつ光を透過可能な載置台３１と、載置台３１を鉛直方向および水平方向に移動可能な載置台動作部４０と、載置面３１ｓを通して撮像デバイス１００に検査光を照射する照射装置５０と、を含み、検査方法では、載置台動作部４０による載置台３１の移動によって、載置面３１ｓに載置された検査体に対する照射装置５０の相対位置を変える工程と、検査体に対する照射装置５０の相対位置を変える工程の後、照射装置５０により検査光を照射して撮像デバイス１００の検査を行う工程と、を有する。この場合でも、検査方法は、撮像デバイスの検査を精度よく実施できる。

【0094】

今回開示された実施形態に係る検査装置１および検査方法は、すべての点において例示であって制限的なものではない。実施形態は、添付の請求の範囲およびその主旨を逸脱することなく、様々な形態で変形および改良が可能である。上記複数の実施形態に記載された事項は、矛盾しない範囲で他の構成も取り得ることができ、また、矛盾しない範囲で組み合わせることができる。

【符号の説明】

【0095】

１ 検査装置
３１ 載置台
３１ｓ 載置面
４０ 載置台動作部
５０ 照射装置
１００ 撮像デバイス
１１４ 配線層
Ｗ ウエハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】