特開 2024-174722 加工工具の管理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024174722

(43)【公開日】2024-12-17

(54)【発明の名称】加工工具の管理方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 45/00 20060101AFI20241210BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20241210BHJP

   B23Q 3/155 20060101ALI20241210BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20241210BHJP

【ＦＩ】

B24B45/00 A

B24B27/06 J

B23Q3/155 K

B23Q3/155 F

H01L21/78 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023092706

(22)【出願日】2023-06-05

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】女屋 拓土

(72)【発明者】

【氏名】松岡 伸太郎

(72)【発明者】

【氏名】近藤 凌

【テーマコード（参考）】

3C002

3C034

3C158

5F063

【Ｆターム（参考）】

3C002AA04

3C002HH01

3C002KK04

3C002LL08

3C034AA13

3C034AA19

3C034DD10

3C034DD20

3C158AA03

3C158AA14

3C158AA15

3C158AA18

3C158CB03

3C158CB04

3C158DA17

5F063AA23

5F063DD03

(57)【要約】

【課題】ストッカーに保持される加工工具の種類を管理する際のミスを抑制することができる加工工具の管理方法を提供すること。
【解決手段】加工工具の管理方法は、制御ユニットが第１保持部に保持する切削ブレードの種類を記憶する記憶ステップと、読み取りユニットによってコードを読み取る読み取りステップ１０１２と、読み取りステップ１０１２で読み取った切削ブレードの種類と、記憶ステップで記憶した切削ブレードの種類と、が一致するかを判定する判定ステップ１０１３と、一致する場合、搬送アームによって切削ブレードを第１保持部で保持し、一致しない場合、搬送アームによって切削ブレードを対象外の切削ブレードを保持する第２保持部に搬出する移動ステップ１０１４と、を備え、第１保持部に所望する種類の切削ブレードのみが保持されるように管理する。
【選択図】図１４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ストッカーに所定種類の加工工具のみが保持されるように管理する加工工具の管理方法であって、
該ストッカーは、
加工工具を保持する保持部と、
加工工具に形成されたコードまたはＲＦＩＤタグを読み取る読み取り部と、
該保持部に対して該加工工具を搬入及び搬出する搬送アームと、
制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットが該保持部に保持する該加工工具の種類を記憶する記憶ステップと、
該読み取り部によって該コードまたは該ＲＦＩＤタグを読み取る読み取りステップと、
該読み取りステップで読み取られた情報から、該保持部と該保持部に保持される加工工具の種類と、を紐付けた加工工具の保管データを作成する保管データ作成ステップと、
該読み取りステップで読み取った該加工工具の種類と、該記憶ステップで記憶した該加工工具の種類と、が一致するかを判定する判定ステップと、
一致する場合、該搬送アームによって該加工工具を該保持部で保持し、一致しない場合、該搬送アームによって該加工工具を対象外の加工工具を保持する第２保持部に搬出する移動ステップと、を備え、
該保持部に所望する種類の該加工工具のみが保持されるように管理する加工工具の管理方法。

【請求項2】

該移動ステップ後に、該保管データを更新する請求項１に記載の加工工具の管理方法。

【請求項3】

該ストッカーは該加工工具を使用する加工装置に隣接して設置され、
該搬送アームによって該ストッカーと該加工装置との間で該加工工具を搬送する搬送ステップをさらに備える請求項１に記載の加工工具の管理方法。

【請求項4】

該読み取りステップと、該判定ステップと、該移動ステップと、は該搬送ステップが実施されていないタイミングで実施することを特徴とする請求項３に記載の加工工具の管理方法。

【請求項5】

該加工装置は、
被加工物を保持する保持テーブルと、
該加工工具を装着されるマウントと、該マウントを先端に固定するスピンドルと、を有し、
該加工工具は切削ブレードである請求項３又は請求項４に記載の加工工具の管理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加工工具を保持するストッカーを用いた加工工具の管理方法に関する。

【背景技術】

【0002】

複数の加工工具を保持するストッカーを使用する場合（例えば、特許文献１参照）、従来は、保持する加工工具の品種を手入力や加工工具に形成されたコードを読み取るなどして手動登録をしていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２２－１０３８５２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１等に示されたストッカーのように加工工具の品種を手動登録すると、加工工具の登録作業にミスが発生する恐れや工数がかかる問題があった。

【0005】

本発明の目的は、ストッカーに保持される加工工具の種類を管理する際のミスを抑制することができる加工工具の管理方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工工具の管理方法は、ストッカーに所定種類の加工工具のみが保持されるように管理する加工工具の管理方法であって、該ストッカーは、加工工具を保持する保持部と、加工工具に形成されたコードまたはＲＦＩＤタグを読み取る読み取り部と、該保持部に対して該加工工具を搬入及び搬出する搬送アームと、制御ユニットと、を備え、該制御ユニットが該保持部に保持する該加工工具の種類を記憶する記憶ステップと、該読み取り部によって該コードまたは該ＲＦＩＤタグを読み取る読み取りステップと、該読み取りステップで読み取られた情報から、該保持部と該保持部に保持される加工工具の種類と、を紐付けた加工工具の保管データを作成する保管データ作成ステップと、該読み取りステップで読み取った該加工工具の種類と、該記憶ステップで記憶した該加工工具の種類と、が一致するかを判定する判定ステップと、一致する場合、該搬送アームによって該加工工具を該保持部で保持し、一致しない場合、該搬送アームによって該加工工具を対象外の加工工具を保持する第２保持部に搬出する移動ステップと、を備え、該保持部に所望する種類の該加工工具のみが保持されるように管理することを特徴とする。

【0007】

前記加工工具の管理方法では、該移動ステップ後に、該保管データを更新しても良い。

【0008】

前記加工工具の管理方法では、該ストッカーは該加工工具を使用する加工装置に隣接して設置され、該搬送アームによって該ストッカーと該加工装置との間で該加工工具を搬送する搬送ステップをさらに備えても良い。

【0009】

前記加工工具の管理方法では、該読み取りステップと、該判定ステップと、該移動ステップと、は該搬送ステップが実施されていないタイミングで実施しても良い。

【0010】

前記加工工具の管理方法では、該加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該加工工具を装着されるマウントと、該マウントを先端に固定するスピンドルと、を有し、該加工工具は切削ブレードでも良い。

【発明の効果】

【0011】

本発明は、ストッカーに保持される加工工具の種類を管理する際のミスを抑制することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、実施形態１に係る加工工具の管理方法を実施する加工装置および補助装置の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、図１に示された切削装置の加工ユニットを分解して示す斜視図である。

【図3】図３は、図２に示された加工工具である切削ブレードの背面図である。

【図4】図４は、図１に示された補助装置の構成例を示す斜視図である。

【図5】図５は、図１に示された補助装置の構成例を示す他の斜視図である。

【図6】図６は、図４に示された補助装置の保管ユニットの保持部を模式的に示す斜視図である。

【図7】図７は、図４に示された補助装置の交換ユニットの交換ヘッドを模式的に示す斜視図である。

【図8】図８は、図７に示された交換ヘッドのブレード保持部の構成を模式的に示す斜視図である。

【図9】図９は、図７に示された交換ヘッドのナット保持部の構成を模式的に示す斜視図である。

【図10】図１０は、図１に示された加工装置の制御ユニットのデータ生成部が生成し、データ記憶部が記憶する第１加工条件データの一例を示す図である。

【図11】図１１は、図１に示された加工装置の制御ユニットのデータ生成部が生成し、データ記憶部が記憶する第２加工条件データの一例を示す図である。

【図12】図１２は、図１に示された加工装置の制御ユニットのデータ生成部が生成し、データ記憶部が記憶するブレード保管データの一例を示す図である。

【図13】図１３は、実施形態１に係る加工工具の管理方法の一部の流れを示すフローチャートである。

【図14】図１４は、実施形態１に係る加工工具の管理方法の残りの流れを示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0014】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工工具の管理方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工工具の管理方法を実施する加工装置および補助装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された切削装置の加工ユニットを分解して示す斜視図である。図３は、図２に示された加工工具である切削ブレードの背面図である。

【0015】

（加工装置）
実施形態１に係る加工工具の管理方法は、図１に示された加工装置１に隣接して設置されるストッカーである補助装置５が実施する。図１に示す加工装置１は、加工工具である切削ブレード２１を使用して被加工物２００を切削加工する加工装置である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、サファイア、窒化ガリウムやガリウムヒ素などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ラインによって格子状に区画された領域にデバイスが形成されている。

【0016】

デバイスは、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、又はメモリ（半導体記憶装置）である。

【0017】

また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板等でも良い。実施形態１において、被加工物２００は、裏面２０２が外周縁に環状フレーム２０５が装着された粘着テープ２０４に貼着されて、環状フレーム２０５に支持されている。

【0018】

図１に示された加工装置１は、被加工物２００を保持テーブル１０で保持し分割予定ラインに沿って切削ブレード２１で切削加工（加工に相当）して、個々のデバイスに分割する切削装置である。加工装置１は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１で吸引保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０が保持する被加工物２００を切削ブレード２１で切削加工する加工ユニット２０と、保持テーブル１０に保持された被加工物２００を撮像する撮像ユニット３０とを備える。実施形態１に係る加工装置１は、図１に示すように、加工ユニット２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。なお、以下、加工ユニット２０同士を区別する際、一方を第１加工ユニット２０－１と記し、他方を第２加工ユニット２０－２と記す。

【0019】

また、加工装置１は、図１に示すように、保持テーブル１０と加工ユニット２０とを相対的に移動させる移動ユニット４０を備える。移動ユニット４０は、保持テーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動ユニット４１と、加工ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニット４２と、加工ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニット４３と、保持テーブル１０をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転移動ユニット４４とを備える。

【0020】

Ｘ軸移動ユニット４１は、保持テーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と加工ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｘ軸移動ユニット４１は、装置本体２に設置され、保持テーブル を被加工物２００が搬入出される搬入出領域と、被加工物２００が切削加工される加工領域とに亘って移動させる。

【0021】

Ｙ軸移動ユニット４２は、加工ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と加工ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｙ軸移動ユニット４２は、装置本体２から立設した門型の支持フレーム３に設置されている。実施形態１では、Ｙ軸移動ユニット４２は、支持フレーム３の加工領域側の一方の表面に設置されている。

【0022】

Ｚ軸移動ユニット４３は、加工ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と加工ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。Ｚ軸移動ユニット４３は、Ｙ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動される移動フレーム４に設置されている。回転移動ユニット４４は、Ｘ軸移動ユニット４１に支持され、保持テーブル１０を支持して、保持テーブル１０とともにＸ軸方向に移動自在に配設されている。

【0023】

Ｘ軸移動ユニット４１、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及び保持テーブル１０又は加工ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。回転移動ユニット４４は、保持テーブル１０を軸心回りに回転するモータ等を備えている。

【0024】

保持テーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、保持テーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット４１により加工ユニット２０の下方の加工領域と、加工ユニット２０の下方から離間して被加工物２００が搬入出される搬入出領域とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転移動ユニット４４によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。

【0025】

保持テーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、保持テーブル１０は、粘着テープ２０４を介して被加工物２００の裏面２０２側を吸引、保持する。また、保持テーブル１０の周囲には、図１に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。

【0026】

加工ユニット２０は、保持テーブル１０で保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１が着脱自在に装着されるスピンドル２３を有した切削手段である。加工ユニット２０は、それぞれ、保持テーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット４３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

【0027】

加工ユニット２０は、それぞれ、Ｙ軸移動ユニット４２、Ｚ軸移動ユニット４３などを介して、装置本体２から立設した門型の支持フレーム３に設けられている。加工ユニット２０は、それぞれ、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３により、保持テーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。

【0028】

加工ユニット２０は、図１及び図２に示すように、切削ブレード２１と、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転自在に設けられたスピンドル２３と、スピンドル２３を軸心回りに回転する図示しないスピンドルモータと、スピンドル２３の先端部に装着されたマウント２４（図２のみに示す）と、スピンドル２３の先端部に螺合してマウント２４との間に切削ブレード２１を挟み込んで固定するナット２５と、切削ブレード２１等に切削水を供給する切削水供給ノズル２６とを備える。

【0029】

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、被加工物２００を切削する円環状の切り刃２１１と、切り刃２１１を外縁に支持しかつスピンドル２３に着脱自在に装着される円環状の環状基台２１２とを備えている。切り刃２１１は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、本発明では、切削ブレード２１は、切り刃２１１のみからなる所謂ワッシャーブレードでも良い。

【0030】

また、切削ブレード２１は、図３に示すように、環状基台２１２のスピンドル２３に装着されるとスピンドルハウジング２２に対する表面にコード２７が形成されている。実施形態１では、コード２７は、切削ブレード２１の種類を示す情報を格納している。なお、実施形態１では、コード２７は、所謂２次元コードであるが、本発明では、バーコード、文字列、記号、凹凸など、個体を識別できる識別コードや識別マークであれば種類は問わない。

【0031】

スピンドルハウジング２２は、Ｚ軸移動ユニット４３によりＺ軸方向に移動自在に支持され、Ｚ軸移動ユニット４３を介してＹ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動自在に支持されている。スピンドルハウジング２２は、スピンドル２３の先端部を除く部分及び図示しないスピンドルモータ等を収容し、スピンドル２３を軸心回りに回転可能に支持する。

【0032】

スピンドル２３は、切削ブレード２１を先端にマウント２４を介して固定するものである。スピンドル２３は、先端にマウント２４を固定し、図示しないスピンドルモータにより回転されるとともに、先端部がスピンドルハウジング２２の先端面より突出している。スピンドル２３の先端部は、ナット２５が螺合するねじ溝２３１が形成されている。マウント２４は、切削ブレード２１を装着するものである。マウント２４は、円環状に形成され、スピンドル２３の先端部に固定される。ナット２５は、円環状に形成され、内周面にねじ溝２５１に螺合するねじ溝が形成されている。また、ナット２５は、スピンドル２３のねじ溝２３１に螺合してスピンドル２３の先端部に取り付けられると。露出する表面に複数（実施形態１では、４つ）の孔２５２が周方向に間隔をあけて配置されている。切削水供給ノズル２６は、切削加工において切削ブレード２１に切削水を供給する。

【0033】

加工ユニット２０のスピンドル２３及び切削ブレード２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。

【0034】

実施形態１では、撮像ユニット３０は、支持フレーム３の搬入出領域側の他方の表面に設置された第２Ｙ軸移動ユニット４５によりＹ軸方向に移動自在に支持フレーム に支持されている。撮像ユニット３０は、保持テーブル１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮像する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット３０は、保持テーブル１０に保持された被加工物２００を撮像して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。

【0035】

また、加工装置１は、保持テーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、加工ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、加工ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、Ｚ軸移動ユニット４３のモータのパルスで加工ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するものにより構成することができる。

【0036】

Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、保持テーブル１０のＸ軸方向、加工ユニット２０の切削ブレード２１の切り刃２１１の下端のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を検出して、検出結果を制御ユニット１００に出力する。なお、実施形態１では、加工装置１の各構成要素のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置は、予め定められた図示しない基準位置を基準とした位置で定められる。なお、Ｚ軸方向の基準位置は、切削ブレード２１の切り刃２１１の下端が保持面１１と同一平面上に位置する加工ユニット２０の位置である。

【0037】

（補助装置）
次に、補助装置５を説明する。図４は、図１に示された補助装置の構成例を示す斜視図である。図５は、図１に示された補助装置の構成例を示す他の斜視図である。図６は、図４に示された補助装置の保管ユニットの保持部を模式的に示す斜視図である。図７は、図４に示された補助装置の交換ユニットの交換ヘッドを模式的に示す斜視図である。図８は、図７に示された交換ヘッドのブレード保持部の構成を模式的に示す斜視図である。図９は、図７に示された交換ヘッドのナット保持部の構成を模式的に示す斜視図である。

【0038】

補助装置５は、加工ユニット２０の交換用の切削ブレード２１を保管し、加工ユニット２０の切削ブレード２１を交換するとともに、加工ユニット２０から取り外された使用済みの切削ブレード２１を保管する装置である。補助装置５は、切削ブレード２１を使用する加工装置１に隣接して設置され、実施形態１では、加工装置１の加工領域側に設置されている。

【0039】

補助装置５は、図４及び図５に示すように、装置本体６と、保管ユニット５０と、交換ユニット６０と、読み取り部である読み取りユニット７０と、制御ユニット１００と、を備える。装置本体６は、加工装置１の装置本体２の加工領域側に設置される。実施形態１では、平板状のベース板７と、架台状の架台８とを備える。

【0040】

保管ユニット５０は、加工ユニット２０の交換用の切削ブレード２１を保管し、加工ユニット２０から取り外された使用済みの切削ブレード２１を保管するユニットである。保管ユニット５０は、装置本体６のベース板７から立設した支持柱９に設置され、支持柱９の長手方向の中央部に取り付けられたモータ５１によりＹ軸方向と平行な軸心回りに回転される駆動歯車５２と、支持柱９の上端部にＹ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に支持された従動歯車５３と、駆動歯車５２と、従動歯車５３との外周にかけ渡された輪状の無限軌道５４と、無限軌道５４に設置された複数の保持部５５と、を備える。従動歯車５３は、支持柱９の上端部に図示しない昇降手段によりＺ軸方向に昇降自在に支持されている。

【0041】

無限軌道５４は、相互に連結された多数のリンク片（符号省略）から構成されており、駆動歯車５２と従動歯車５３との外周に巻き掛けられている。無限軌道５４は、モータ５１によって駆動歯車５２が回転するのに応じて、駆動歯車５２及び従動歯車５３の外周を循環走行（無端走行ともいう）する。また、無限軌道５４は、リンク片の数が調整されることで、従動歯車５３の昇降によって変化する駆動歯車５２と従動歯車５３との間隔に応じて、長さが調整される。

【0042】

保持部５５は、無限軌道５４の交換ユニット６０とＹ軸方向に沿って対向する表面に無限軌道５４の長手方向に沿って間隔（実施形態１では、等間隔）をあけて複数設けられている。実施形態１では、保持部５５は、無限軌道５４の全周に亘って設けられている。

【0043】

保持部５５は、切削ブレード２１を保持するものである。保持部５５は、図６に示すように、保持部５５は、無限軌道５４に連結された厚手の円盤状の基部５６と、基部５６の端面からＹ軸方向に延びる円柱状の軸部５７とを有する。軸部５７の外径は基部５６の外径よりも小さく、切削ブレード２１の環状基台２１２の中央の孔の内径よりも若干小さく形成されている。

【0044】

保持部５５においては、切削ブレード２１の環状基台２１２の中央の孔に軸部５７が挿入されて、複数（実施形態１では、５個）の切削ブレード２１を軸部５７で保持するようになっている。実施形態１では、図４及び図５を参照することによって理解されるとおり、複数の保持部５５のうち半数の保持部５５は、交換用の切削ブレード２１を保持する。なお、保持部５５同士を区別する場合、交換用の切削ブレード２１を保持する保持部５５を第１保持部５５－１と記し、残りの保持部５５を第２保持部５５－２と記す。また、保持部５５は、図６に示すように、軸部５７の先端側には、軸部５７で支持した切削ブレード２１の飛び出しを防止するための複数のボールプランジャー５８が周方向に間隔をおいて装着されている。

【0045】

また、保持部５５は、図６に示すように、基部５６の内部に流路５９が形成されており、各流路５９の一端部は、無限軌道５４側の基部５６の端面に開口している。各流路５９の他端部は、軸部５７よりも径方向外側の基部５６の切削ブレード２１側の端面に開口している。また、実施形態１では、無限軌道５４の回転に伴う保持部５５の軌道において最下端に位置する保持部５５は、基部５６の流路５９が、支持柱９に設置されかつ高圧エアー供給手段（図示せず）に接続された図示しないエアーノズルの先端と対面する。

【0046】

保持部５５は、最下側の位置で切削ブレード２１が搬出された場合に、エアーノズルから基部５６の流路５９に高圧エアーが供給されることにより、軸部５７に残された切削ブレード２１を軸部５７の先端側に押し出すことができるようになっている。ただし、ボールプランジャー５８の作用によって切削ブレード２１が軸部５７から落下することはない。

【0047】

交換ユニット６０は、保管ユニット５０に保管された交換用の切削ブレード２１を保持し、加工ユニット２０のスピンドル２３からナット２５及び切削ブレード２１を取り外して、交換用の切削ブレード２１及びナット２５を加工ユニット２０のスピンドル２３に装着し、交換された使用済みの切削ブレード２１を保管ユニット５０に搬送するものである。交換ユニット６０は、架台８上に設置された昇降テーブル６１と、昇降テーブル６１にＹ軸移動ユニット６２によりＹ軸方向に移動支持された枠体６３と、枠体６３に支持された搬送アーム６４と、を備える。

【0048】

昇降テーブル６１は、架台８上等に設置された昇降ユニット６１１によりＺ軸方向に昇降自在に設けられている。また、昇降テーブル６１は、下面の四隅に架台８の四隅に設けられた孔内に挿入された円柱状の脚部６１２が取り付けられている。

【0049】

枠体６３は、平板状でかつＹ軸移動ユニット６２により昇降テーブル６１にＹ軸方向に移動自在に設けられた平板状の底板６３１と、底板６３１の上方に配置された平板状の天井板６３２と、底板６３１の四隅と天井板６３２の四隅とを連結した支柱６３３とを備えている。

【0050】

搬送アーム６４は、保持部５５に対して切削ブレード２１を搬入及び搬出するものである。搬送アーム６４は、ロボットアーム６５と、ロボットアーム６５の先端に設けられた交換ヘッド６６とを備える。

【0051】

ロボットアーム６５は、図５等に示すように、天井板６３２に取り付けられたモータ６５１により基端部がＺ軸方向と平行な軸心回りに回転される第１アーム６５２と、基端部が第１アーム６５２の先端部にＺ軸方向と平行な軸心回りに回転されかつ基端部に取り付けられたモータ６５３により基端部が第１アーム６５２の先端部にＺ軸方向と平行な軸心回りに回転される第２アーム６５４と、第２アーム６５４の先端部に取り付けられた交換ヘッド６６とを備えている。ロボットアーム６５が、モータ６５１，６５３によりアーム６５２，６５４の基端部が軸心回りに回転することで、交換ヘッド６６を任意の位置に位置づけることができる。

【0052】

交換ヘッド６６は、図７に示すように、ケーシング６６１と、ブレード保持部６７と、ナット保持部６８とを備えている。実施形態１において、ケーシング６６１は、正六角形状の天板６６２と、天板６６２の周縁から垂下する矩形板状の６個の側壁６６３とを有する。天板６６２は、上面から軸心がＺ軸方向と平行でかつ第２アーム６５４の先端部に取り付けられたＺ回転軸６６４が突出している。ケーシング６６１は、内部にＺ回転軸６６４を軸心回りに回転するモータ（図示せず）を収容している。

【0053】

ブレード保持部６７は、ケーシング６６１の６個の側壁６６３のうち４個の側壁６６３に装着され、ナット保持部６８は、ケーシング６６１の６個の側壁６６３のうち残りの２個の側壁６６３に装着されており、２個のナット保持部６８は、対向する一対の側壁６６３に設けられている。このように、交換ヘッド６６は、１個のナット保持部６８に対して２個のブレード保持部６７を備えている。

【0054】

ブレード保持部６７は、図８に示すように、軸心が水平方向と平行な円筒状に形成されており、端面６７１に保持部５５の軸部５７およびスピンドル２３の先端部を受け入れ可能な円形の中央開口部６７２と、中央開口部６７２の周囲に周方向に等間隔をおいて配置された複数個の吸引孔６７３とが設けられている。各吸引孔６７３は、吸引手段（図示せず）に接続されている。

【0055】

ブレード保持部６７は、保管ユニット５０に保管されている切削ブレード２１、又はスピンドル２３の先端部に装着された切削ブレード２１の環状基台２１２に端面６７１が接触する位置に位置づけられた状態において、吸引手段によって各吸引孔６７３に吸引力を生成することにより切削ブレード２１を吸引保持するようになっている。

【0056】

ナット保持部６８は、図９に示すように、ケーシング６６１の側壁６６３に固定されかつ軸心が水平方向と平行な円筒状のハウジング６８１と、ハウジング６８１の内側に回転自在に収容された環状の回転体６８２と、回転体６８２を回転させるモータ（図示せず）とを備えている。

【0057】

回転体６８２は、端面６８３の中央にスピンドル２３の先端部を受け入れ可能な中央開口部６８４が形成されている。回転体６８２は、端面６８３の中央開口部６８４の周囲に、複数個の吸引孔６８５と、複数個のピン６８６とが交互に周方向に間隔をおいて設けられている。各吸引孔６８５は、吸引手段（図示せず）に接続されている。ピン６８６は、回転体６８２に内蔵されたバネ（図示せず）によって端面６８３から突出する位置（図９に示す位置）に位置づけられていると共に、回転体６８２の内部に向かって押されると、バネが収縮して回転体６８２の内部に収容される。また、ピン６８６は、ナット２５に形成された孔２５２の位置に対応して配置されている。

【0058】

ナット保持部６８は、吸引手段で各吸引孔６８５に吸引力を生成してナット２５を吸引保持すると共に、ナット２５に形成された孔２５２にピン６８６を挿入した状態において、モータによって回転体６８２を軸心回りに回転させることにより、スピンドル２３に切削ブレード２１を固定するためのナット２５をスピンドルの先端に形成されたねじ溝２３１に螺合および螺脱することができる。

【0059】

ナット保持部６８は、ナット２５をスピンドル２３から螺脱する（取り外す）際に、ピン６８６の位置がナット２５の孔２５２の位置に対してずれている場合でも、スピンドル２３に装着されているナット２５に回転体６８２の端面６８３を位置づけて、ピン６８６を回転体６８２の内部に収容した後に、回転体６８２によってモータを回転させることで、ピン６８６の位置が孔２５２の位置に整合させて、バネによってピン６８６を押し出して孔２５２に挿入して、ナット２５を回転させることができる。

【0060】

読み取りユニット７０は、切削ブレード２１のコード２７を読み取るユニットである。実施形態１において、読み取りユニット７０は、支持柱９の従動歯車５３の下方に交換ユニット６０に相対して設けられているが、読み取りユニット７０の設置位置は実施形態１の位置に限定されない。実施形態１において、読み取りユニット７０は、交換ユニット６０の交換ヘッド６６のブレード保持部６７に保持された切削ブレード２１のコード２７を撮像するＣＣＤ撮像素子又はＣＭＯＳ撮像素子等の撮像素子を備えた撮像ユニットである。読み取りユニット７０は、撮像したコード２７の画像を制御ユニット１００に出力することで、コード２７を読み取る。

【0061】

（制御ユニット）
次に、制御ユニット１００を説明する。図１０は、図１に示された加工装置の制御ユニットのデータ生成部が生成し、データ記憶部が記憶する第１加工条件データの一例を示す図である。図１１は、図１に示された加工装置の制御ユニットのデータ生成部が生成し、データ記憶部が記憶する第２加工条件データの一例を示す図である。図１２は、図１に示された加工装置の制御ユニットのデータ生成部が生成し、データ記憶部が記憶するブレード保管データの一例を示す図である。

【0062】

制御ユニット１００は、加工装置１及び補助装置５の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作、切削ブレード２１の交換動作を加工装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１及び補助装置５の各構成要素に出力する。

【0063】

制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットと、報知ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。報知ユニットは、音と光の少なくとも一方を発して、オペレータに報知するものである。

【0064】

また、制御ユニット１００は、動作制御部１０１と、データ生成部１０２と、データ記憶部１０３とを備える。動作制御部１０１は、加工装置１の上述した各構成要素を制御して、被加工物２００に対する加工動作、切削ブレード２１の交換動作を加工装置１に実施させるものである。データ生成部１０２は、制御ユニット１００に加工条件が登録されると、図１０に示す第１加工条件データ３０１と、図１１に示す第２加工条件データ３０２と、図１２に示すブレード保管データ３０３（加工工具の保管データに相当）を生成するものである。

【0065】

第１加工条件データ３０１は、各保持部５５のＩＤと、これから加工に使用する切削ブレード２１を保持する保持部１５（即ち、第１保持部１５－１）であるか、これからの加工に使用しない対象外の切削ブレード２１を保持する保持部１５（即ち、第１保持部１５－２）であるかなどを含む各保持部５５の種類と、各第１保持部５５－１が保持する切削ブレード２１の数とを１対１で対応付けたデータである。なお、保持部５５のＩＤは、各保持部５５に付与される情報であって、保持部５５同士を識別するための情報であり、実施形態１では、互いに異なる自然数である。保持部５５の種類は、各保持部５５が前述した第１保持部５５－１であるか第２保持部５５－２であるかを示す。

【0066】

第２加工条件データ３０２は、各加工ユニット２０－１，２０－２と、各加工ユニット２０のスピンドル２３に装着される切削ブレード２１の種類とを１対１で対応付けたデータである。即ち、第２加工条件データ３０２は、各加工ユニット２０のスピンドル２３に装着される切削ブレード２１の種類を示していることで、第１保持部５５－１に保持する切削ブレード２１の種類を示すこととなる。

【0067】

ブレード保管データ３０３は、各保持部５５のＩＤと、各保持部５５の種類と、各第１保持部５５－１が保持する第１切削ブレード２１の種類と、第２切削ブレード２１の種類と、切削ブレード２１の数とを１対１で対応付けたデータである。なお、第１切削ブレード２１とは、各第１保持部５５－１が保持した保持した複数の切削ブレード２１のうち最も交換ユニット６０寄りの切削ブレード２１であり、第２切削ブレード２１とは、各第１保持部５５－１が保持した保持した第１切削ブレード２１を除く複数の切削ブレード２１のうち最も第１切削ブレード２１寄りの切削ブレード２１である。なお、データ生成部１０２が生成したブレード保管データ３０３では、第１切削ブレード２１の種類と第２切削ブレード２１の種類とが空欄である。

【0068】

また、データ生成部１０２は、後述する実施形態１に係る加工工具の管理方法の読み取りステップ１０１２と、判定ステップ１０１３と、移動ステップ１０１４、保管データ作成ステップ１０１５を実施することで、図１２に示すブレード保管データ３０３を更新する。具体的には、データ生成部１０２は、読み取りステップ１０１２と、判定ステップ１０１３と、移動ステップ１０１４と、保管データ作成ステップ１０１５を実施することで、図１２に示すブレード保管データ３０３の各第１保持部５５－１に保持された第１切削ブレード２１と第２切削ブレード２１の種類を特定する。

【0069】

データ記憶部１０３は、第１加工条件データ３０１、第２加工条件データ３０２及びブレード保管データ３０３を記憶するものである。なお、動作制御部１０１及びデータ生成部１０２の機能は、前述した演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現される。データ記憶部１０３の機能は、前述した記憶装置により実現される。

【0070】

（加工工具の管理方法）
次に、実施形態１に係る加工工具の管理方法を説明する。図１３は、実施形態１に係る加工工具の管理方法の一部の流れを示すフローチャートである。図１４は、実施形態１に係る加工工具の管理方法の残りの流れを示すフローチャートである。実施形態１に係る加工工具の管理方法は、被加工物２００を分割予定ラインに沿って切削加工して、被加工物２００を個々のデバイスに分割する加工装置１の加工動作でもある。

【0071】

加工工具の管理方法は、補助装置５の各保持部１５に保持されている切削ブレード２１の種類を特定し、さらにこれから加工に使用される切削ブレード２１を保持する第１保持部５５－１に加工ユニット２０に装着される所定種類の切削ブレード２１のみが保持されるように管理する方法である。加工工具の管理方法は、図１３及び図１４に示すように、記憶ステップ１００１と、読み取りステップ１０１２と、判定ステップ１０１３と、移動ステップ１０１４と、保管データ作成ステップ１０１５と、搬送ステップ１００６とを備える。

【0072】

（記憶ステップ）
記憶ステップ１００１は、制御ユニット１００が、第１保持部５５－１に保持する切削ブレード２１の種類を記憶するステップである、記憶ステップ１００１では、制御ユニット１００は、オペレータ等により加工条件が制御ユニット１００に登録され、切削加工前の被加工物２００が保持テーブル１０の保持面１１に載置され、補助装置５の保管ユニット５０の第１保持部５５－１に切削ブレード２１が複数保持される。制御ユニット１００は、オペレータから加工動作の開始指示を受け付けると動作制御部１０１が被加工物２００の切削加工を開始（ステップ１００２）し、データ生成部１０２は、加工条件データ３０１，３０２及びブレード保管データ３０３を生成して、データ記憶部１０３に記憶する。

【0073】

なお、加工条件は、各保持部５５がこれから加工に使用する切削ブレード２１を保持する第１保持部５５－１であるか加工に使用しない対象外の切削ブレード２１を保持する第２保持部５５－２であるかを示す情報、各第１保持部５５－１に保持された切削ブレード２１の数を示す情報、各加工ユニット２０のスピンドル２３に装着される切削ブレード２１の種類、即ち、第１保持部５５－１に保持する切削ブレード２１の種類を示す情報を含む。なお、記憶ステップ１００１では、データ生成部１０２が加工条件データ３０１，３０２を生成し、データ記憶部１０３に記憶することで、制御ユニット１００が第１保持部５５－１に保持する切削ブレード２１の種類を記憶する。

【0074】

実施形態１において、切削加工を開始すると、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が保持テーブル１０の保持面１１に粘着テープ２０４を介して裏面２０２側を吸引保持するとともに、クランプ部１２で環状フレーム２０５をクランプする。実施形態１において、切削加工では、制御ユニット１００は、動作制御部１０１がスピンドル２３を軸心回りに回転するとともに、切削水供給ノズル２６から切削水を切削ブレード２１に供給する。実施形態１において、切削加工では、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が移動ユニット４０を制御して保持テーブル１０を加工領域に向かって移動して、撮像ユニット３０が被加工物２００を撮像して、撮像ユニット３０が撮像して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。

【0075】

実施形態１において、切削加工では、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が移動ユニット４０及び加工ユニット２０等を制御して、分割予定ラインに沿って被加工物２００と加工ユニット２０とを相対的に移動させながら、切削ブレード２１を各分割予定ラインに切り込ませて被加工物２００を個々のデバイスに分割する。

【0076】

実施形態１において、切削加工中に、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が所定のタイミングであるか否かを判定する（ステップ１００３）。なお、所定のタイミングは、切削ブレード２１を交換するタイミングであり、例えば、所定枚数の被加工物２００を切削加工する度や、所定数の分割予定ラインを切削加工する度や切削ブレード２１の刃先出し量が所定値を下回った場合や、切削ブレード２１が破損した場合や、加工対象となる被加工物２００が変わり使用する切削ブレードの種類が変更になる場合などである。

【0077】

実施形態１において、切削加工中に、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が所定のタイミングであると判定する（ステップ１００３：Ｙｅｓ）と、切削ブレード２１の交換が可能か否かを判定する（ステップ１００４）。実施形態１において、切削加工中に、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が第２加工条件データ３０２とブレード保管データ３０３とを参照して、切削ブレード２１の交換対象の加工ユニット２０に装着される種類の切削ブレード２１が第１保持部５５－１に保持された第１切削ブレード２１又は第２切削ブレード２１に存在しているか否かを判定して、切削ブレード２１の交換が可能か否かを判定する（ステップ１００４）。

【0078】

実施形態１において、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が第２加工条件データ３０２とブレード保管データ３０３とを参照して、切削ブレード２１の交換対象の加工ユニット２０に装着される種類の切削ブレード２１が第１保持部５５－１に保持された第１切削ブレード又は第２切削ブレードに存在していないと判定すると、切削ブレード２１の交換が不可能であると判定（ステップ１００４：Ｎｏ）して、報知ユニットにオペレータに報知させて、切削加工を停止する（ステップ１００５）。

【0079】

実施形態１において、切削加工中に、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が第２加工条件データ３０２とブレード保管データ３０３とを参照して、交換対象の加工ユニット２０に装着される種類の切削ブレード２１が第１保持部５５－１に保持された第１切削ブレード又は第２切削ブレードに存在していると判定すると、切削ブレード２１の交換が可能であると判定（ステップ１００４：Ｙｅｓ）して、搬送ステップ１００６に進む。

【0080】

（搬送ステップ）
搬送ステップ１００６は、交換ユニット６０の搬送アーム６４等によって、補助装置５の保管ユニット５０と、加工装置１の加工ユニット２０との間で切削ブレード２１を搬送するステップである。搬送ステップ１００６では、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が、切削ブレード２１が交換対象の加工ユニット２０のスピンドル２３の軸心回りの回転を停止し、切削水供給ノズル２６からの切削水の供給を停止する。

【0081】

搬送ステップ１００６では、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が、補助装置５の昇降ユニット６１１、Ｙ軸移動ユニット６２、搬送アーム６４、保管ユニット５０を制御して、交換対象の加工ユニット２０のスピンドル２３に装着される種類の第１保持部５５－１に保持された切削ブレード２１をブレード保持部６７に保持する。搬送ステップ１００６では、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が、補助装置５の昇降ユニット６１１、Ｙ軸移動ユニット６２、搬送アーム６４及び加工装置１のＹ軸移動ユニット４２、Ｚ軸移動ユニット４３等を制御して、ナット保持部６８にナット２５を保持してスピンドル２３から取り外し、ブレード保持部６７でスピンドル２３に装着されている交換対象の切削ブレード２１を保持する。従来は作業者が補助装置５に切削ブレード２１を収容する際に切削ブレード２１の情報を制御ユニット１００の記憶装置に登録し、その後の搬送ステップ１００６において作業者が登録した情報を元に交換ユニット６０が加工条件データ３０１，３０２で指定された種類の切削ブレード２１を補助装置５から取り出し、搬送ステップ１００６の途中に切削ブレード２１の種類に間違いがないかを読み取りユニット７０で切削ブレード２１のコード２７を読み取り確認していた。そのため作業者の登録ミスがあったとしても、搬送ステップ１００６において読み取りユニット７０が読み取るまで判明せず、作業者の登録ミスにより誤った切削ブレード２１が各保持部５５に保持されていると、切削ブレード２１を補助装置５に戻して再度切削ブレード２１を選んで搬送する工数がかかり生産性の悪化に繋がっていた。本発明は、搬送ステップ１００６の前に、交換ユニット６０によって自動で切削ブレード２１の種類を特定し、誤った種類の切削ブレード２１が混入していた場合は、第２保持部５５－２に移動させておくので、搬送ステップ１００６において誤った切削ブレード２１を搬送し処理を中断する恐れがない。

【0082】

搬送ステップ１００６では、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が、補助装置５の昇降ユニット６１１、Ｙ軸移動ユニット６２、搬送アーム６４及び加工装置１のＹ軸移動ユニット４２、Ｚ軸移動ユニット４３等を制御して、ブレード保持部６７で保持した交換対象の切削ブレード２１をスピンドル２３から取り外し、ブレード保持部６７に保持した交換用の切削ブレード２１をスピンドル２３に装着して、ナット保持部６８に保持したナット２５をスピンドル２３に装着する。搬送ステップ１００６では、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が、補助装置５の昇降ユニット６１１、Ｙ軸移動ユニット６２、搬送アーム６４等を制御して、使用済みの切削ブレード２１を第２保持部５５－２に保持させる。こうして、搬送ステップ１００６では、切削ブレード２１を補助装置５と加工装置１との間で搬送して、加工ユニット２０の切削ブレード２１を交換する。

【0083】

切削ブレード２１の交換後、制御ユニット１００は、動作制御部１０１は、切削ブレード２１が交換された加工ユニット２０のスピンドル２３を軸心回りに回転し、切削水供給ノズル２６から切削ブレード２１に切削水を供給して、ステップ１００２に戻る。なお、切削ブレード２１の交換後、制御ユニット１００は、データ生成部１０２が、ブレード保管データ３０３において加工ユニット２０に搬送されてスピンドル２３に装着された第１切削ブレード２１を保持していた第１保持部５５－１の第２切削ブレード２１の種類を、第１切削ブレード２１の種類とし、第２切削ブレード２１の種類を空欄として、ブレード保管データ３０３を更新する。なお、スピンドル２３が二つある装置の場合、交換ユニット６０で一度に二つの切削ブレード２１を保持する場合がある。そこで読み取りステップ１０１２と判定ステップ１０１３は各保持部１５の手前側にある第１切削ブレード２１と、第１切削ブレード２１に隣接した後方にある第２切削ブレード２１と、に対して実施されている事が好ましい。また、切削ブレード２１の交換後、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が加工ユニット２０に搬送されてスピンドル２３に装着された第１切削ブレード２１を保持していた第１保持部５５－１を最下端に位置付けて、エアーノズルから高圧エアーを供給して、軸部５７に残された切削ブレード２１を軸部５７の先端側に押し出す。

【0084】

実施形態１において、切削加工中に、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が所定のタイミングではないと判定する（ステップ１００３：Ｎｏ）と、切削加工が終了したか否かを判定する（ステップ１００７）。実施形態１において、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が保持テーブル１０に保持した被加工物２００の全ての分割予定ラインを切削加工していないと、切削加工が終了していないと判定（ステップ１００７：Ｎｏ）して、ステップ１００２に戻る。実施形態１において、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が保持テーブル１０に保持した被加工物２００の全ての分割予定ラインを切削加工していると、切削加工が終了したと判定（ステップ１００７：Ｙｅｓ）して、保持テーブル１０を搬入出領域に移動させて、保持テーブル１０の切削加工後の被加工物２００の吸引保持を停止し、クランプ部１２の環状フレーム２０５のクランプを解除して、切削加工を終了する。

【0085】

また、制御ユニット１００は、切削加工中に、図１４に示されたフローチャートを繰り返し実行する。制御ユニット１００は、動作制御部１０１が、搬送ステップ１００６中であるか否かを判定する（ステップ１０１０）。制御ユニット１００は、動作制御部１０１が、搬送ステップ１００６中ではないと判定する（ステップ１０１０：Ｎｏ）と、ブレード保管データ３０３の更新が必要か否かを判定する（ステップ１０１１）。

【0086】

制御ユニット１００は、動作制御部１０１が、ブレード保管データ３０３の生成前、又は最新のブレード保管データ３０３を参照して切削ブレード２１を保持している第１保持部５５－１の第１切削ブレード２１及び第２切削ブレード２１の種類が空欄である即ち特定されていない場合、ブレード保管データ３０３の更新が必要と判定（ステップ１０１１：Ｙｅｓ）して、読み取りステップ１０１２に進む。

【0087】

（読み取りステップ）
読み取りステップ１０１２は、読み取りユニット７０によってコード２７を読み取るステップである。実施形態１において、読み取りステップ１０１２では、制御ユニット１００は、データ生成部１０２が、補助装置５の昇降ユニット６１１、Ｙ軸移動ユニット６２、搬送アーム６４を制御して、切削ブレード２１を保持しかつ第１切削ブレード２１及び第２切削ブレード２１の種類が特定されていない第１保持部５５－１の第１切削ブレード２１及び第２切削ブレード２１をブレード保持部６７に保持する。実施形態１において、読み取りステップ１０１２では、制御ユニット１００は、データ生成部１０２が、補助装置５の昇降ユニット６１１、Ｙ軸移動ユニット６２、搬送アーム６４を制御して、ブレード保持部６７に保持した種類が特定されていない第１切削ブレード２１及び第２切削ブレード２１のコード２７を読み取りユニット７０にＹ軸方向に沿って相対させた後、読み取りユニット７０で読み取って、判定ステップ１０１３に進む。

【0088】

（判定ステップ）
判定ステップ１０１３は、直前の読み取りステップ１０１２で読み取った第１切削ブレード２１及び第２切削ブレード２１の種類と、記憶ステップ１００１で記憶し生成した第２加工条件データ３０２の切削ブレード２１の種類とが一致するかを判定するステップである。実施形態１において、判定ステップ１０１３では、制御ユニット１００は、データ生成部１０２がコード２７を読み取った第１切削ブレード２１及び第２切削ブレード２１の種類を特定して、特定した第１切削ブレード２１及び第２切削ブレード２１の種類が第２加工条件データ３０２に存在しているか否かを判定し、存在していると一致していると判定し、存在していないと一致していないと判定して、移動ステップ１０１４に進む。

【0089】

（移動ステップ）
移動ステップ１０１４は、判定ステップ１０１３において一致すると判定した場合、搬送アーム６４等によって第１切削ブレード２１及び第２切削ブレード２１を元の第１保持部５５－１で保持し、判定ステップ１０１３において一致しないと判定した場合、搬送アーム６４等によって切削ブレード２１を対象外の切削ブレード２１を保持する第２保持部５５－２に搬出するステップである。実施形態１において、移動ステップ１０１４では、制御ユニット１００は、データ生成部１０２が判定ステップ１０１３において一致すると判定した場合、補助装置５の昇降ユニット６１１、Ｙ軸移動ユニット６２、搬送アーム６４を制御して、ブレード保持部６７に保持した第１切削ブレード２１及び第２切削ブレード２１を元の第１保持部５５－１に保持させる。

【0090】

実施形態１において、移動ステップ１０１４では、制御ユニット１００は、データ生成部１０２が判定ステップ１０１３において一致していないと判定した場合、補助装置５の昇降ユニット６１１、Ｙ軸移動ユニット６２、搬送アーム６４を制御して、ブレード保持部６７に保持した切削ブレード２１を第２保持部５５－２に保持させる。

【0091】

（保管データ作成ステップ）
保管データ作成ステップ１０１５は、読み取りステップ１０１２で読み取られた情報から、保持部１５と保持部１５に保持される切削ブレード２１の種類とを紐付けたブレード保管データ３０３を作成、更新するステップである。実施形態１において、保管データ作成ステップ１０１５では、制御ユニット１００は、データ生成部１０２が判定ステップ１０１３において一致すると判定した場合、判定ステップ１０１３において特定した切削ブレード２１の種類を、移動ステップ１０１４において切削ブレード２１が戻された第１保持部５５－１の第１切削ブレード２１及び第２切削ブレード２１の種類として、ブレード保管データ３０３を生成又は更新して、ステップ１０１０に戻る。

【0092】

こうして、保管データ作成ステップ１０１５において、データ生成部１０２が判定ステップ１０１３において一致すると判定した場合、判定ステップ１０１３において特定した切削ブレード２１の種類を、移動ステップ１０１４において切削ブレード２１が戻された第１保持部５５－１の第１切削ブレード２１及び第２切削ブレード２１の種類として、ブレード保管データ３０３を生成又は更新することで、読み取りステップ１０１２で読み取られた情報から、保持部１５と保持部１５に保持される切削ブレード２１の種類とを紐付けたブレード保管データ３０３を作成、更新する。また、保管データ作成ステップ１０１５において、データ生成部１０２がブレード保管データ３０３を作成、更新することで、移動ステップ１０１４後に、ブレード保管データ３０３を更新する。

【0093】

また、実施形態１において、制御ユニット１００は、動作制御部１０１が、加工装置１に切削ブレード２１を搬送する搬送ステップ１００６中であると判定した場合（ステップ１０１０：Ｙｅｓ）、及びブレード保管データ３０３の更新が必要ではないと判定した場合（ステップ１０１１：Ｎｏ）、ステップ１０１０に戻る。制御ユニット１００は、動作制御部１０１が、最新のブレード保管データ３０３を参照して切削ブレード２１を保持している第１保持部５５－１の第１切削ブレード２１及び第２切削ブレード２１の種類が特定されている場合、ブレード保管データ３０３の更新が必要ではないと判定（ステップ１０１１：Ｎｏ）する。こうして、実施形態１に係る加工工具の管理方法は、読み取りステップ１０１２と、判定ステップ１０１３と、移動ステップ１０１４とは、搬送ステップ１００６が実施されておらず交換ユニット６０が使用されていないタイミングを活用して実施し、第１保持部５５－１に所望する種類の切削ブレード２１のみが保持されるように管理する。そのため作業者が切削ブレード２１の識別コードを読み込んで登録する工数を削減でき、さらに作業者の登録ミスによる搬送ステップ１００６の中断を防止することができる。

【0094】

このように、実施形態１に係る加工工具の管理方法では、ブレード保管データ３０３は、切削ブレード２１が交換される度に、更新されることとなる。

【0095】

以上説明したように、実施形態１に係る加工工具の管理方法は、記憶ステップ１００１において第１保持部５５－１に保持する切削ブレード２１の種類即ち加工ユニット２０のスピンドル２３に装着される切削ブレード２１の種類を記憶し、読み取りステップ１０１２において第１保持部５５－１に保持された切削ブレード２１の種類を読み取って、判定ステップ１０１３において記憶ステップ１００１で記憶した切削ブレード２１の種類と読み取りステップ１０１２で読み取った切削ブレード２１の種類とが一致するか否かを判定する。このために、実施形態１に係る加工工具の管理方法は、第１保持部５５－１に保持させた切削ブレード２１の種類が加工ユニット２０のスピンドル２３に装着される種類であるか否かを判定できる。

【0096】

また、実施形態１に係る加工工具の管理方法は、判定ステップ１０１３で一致すると判定した場合、移動ステップ１０１４において種類が一致した切削ブレード２１を第１保持部５５－１に保持させるので、第１保持部５５－１に保持された切削ブレード２１を加工ユニット２０の切削ブレード２１の交換に用いることができる。

【0097】

このように、実施形態１に係る加工工具の管理方法は、第１保持部５５－１に種々の種類の切削ブレード２１を保持させても、読み取りステップ１０１２、判定ステップ１０１３及び移動ステップ１０１４を繰り返すことで、第１保持部５５－１には加工ユニット２０のスピンドル２３に装着される所望する種類の切削ブレード２１のみが保持されることとなる。その結果、実施形態１に係る加工工具の管理方法は、補助装置５の第１保持部５５－１に保持される切削ブレード２１の種類を入力する必要がなくなり、補助装置５の第１保持部５５－１に保持される切削ブレード２１の種類を管理する際のミスを抑制することができるという効果を奏する。

【0098】

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本発明では、加工工具は、切削ブレード２１に限定されることなく、例えば、ドレッサーボード、加工痕を確認するためのワークピー又はマウント２４の清掃用具などの加工装置１が使用する各種の消耗品やメンテナンス品であっても良い。

【0099】

また、本発明では、対象外の切削ブレード２１を保持する第２保持部５５－２が、加工装置１で使用されない種類の切削ブレード２１の他、コード２７に汚れやコード２７にはげなどの異常が発生して、コード２７が読み取れない切削ブレード２１を保持しても良い。

【0100】

また、実施形態１では、第２保持部５５－２が、保管ユニット５０に設置されているが、本発明では、保管ユニット５０とは別の場所に設置されても良い（例えば、読み取りユニット７０の下方に、第２保持部５５－２として利用するシャフトを設置しても良い）。

【0101】

また、本発明では、切削ブレード２１等の加工工具にコード２７に限らず、種類を示す情報を記憶したＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification）タグを設置し、読み取りユニット７０がＲＦＩＤタグの情報を読み取るリーダーであっても良い。要するに、本発明では、コード２７やＲＦＩＤタグに限らず、切削ブレード２１に種類を示すものを設け、読み取りユニット７０を切削ブレード２１に用いられたものに応じて適宜変更されても良い。

【符号の説明】

【0102】

１ 加工装置
５ 補助装置（ストッカー）
１０ 保持テーブル
２１ 切削ブレード（加工工具）
２３ スピンドル
２４ マウント
２７ コード
５５ 保持部
５５－１ 第１保持部（保持部）
５５－２ 第２保持部
６４ 搬送アーム
７０ 読み取りユニット（読み取り部）
１００ 制御ユニット
３０３ ブレード保管データ（保管データ）
１００１ 記憶ステップ
１００６ 搬送ステップ
１０１２ 読み取りステップ
１０１３ 判定ステップ
１０１４ 移動ステップ
１０１５ 保管データ作成ステップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】