特開2024-175910窒化ガリウム膜成膜用スパッタリングターゲット

発明の名称　窒化ガリウム膜成膜用スパッタリングターゲット

出願人　東ソー株式会社　（識別番号 3300）

　　　　特許公開件数ランキング 113 位（268件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 94 位（285件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-175910

公報発行日　2024年12月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-175910

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2024-175910「窒化ガリウム膜成膜用スパッタリングターゲット」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録