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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024176043
(43)【公開日】2024-12-19
(54)【発明の名称】ウェーハの形状評価方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/66 20060101AFI20241212BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20241212BHJP
【ＦＩ】
H01L21/66 P
H01L21/304 622R
【審査請求】未請求
【請求項の数】3
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023094247
(22)【出願日】2023-06-07
(71)【出願人】
【識別番号】302006854
【氏名又は名称】株式会社ＳＵＭＣＯ
(74)【代理人】
【識別番号】110000637
【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所
(72)【発明者】
【氏名】勇 公正
【テーマコード（参考）】
4M106
5F057
【Ｆターム（参考）】
4M106AA01
4M106CA47
4M106CA48
4M106DJ12
4M106DJ14
4M106DJ27
4M106DJ28
4M106DJ38
5F057AA19
5F057BA12
5F057BB03
5F057BB07
5F057BB08
5F057DA01
5F057GA16
5F057GB16
(57)【要約】
【課題】ノッチを有するウェーハの形状を適切に評価できるウェーハの形状評価方法を提供すること。
【解決手段】ウェーハの形状評価方法は、ウェーハの外周部における複数の領域の平坦度を測定し、複数の領域のうちノッチを含まない領域の平坦度の平均値または中央値と、ノッチを含む領域の平坦度との差に基づいて、ウェーハの形状を評価する。
【選択図】図２
【解決手段】ウェーハの形状評価方法は、ウェーハの外周部における複数の領域の平坦度を測定し、複数の領域のうちノッチを含まない領域の平坦度の平均値または中央値と、ノッチを含む領域の平坦度との差に基づいて、ウェーハの形状を評価する。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ノッチを有するウェーハの形状評価方法であって、
前記ウェーハの外周部における複数の領域の平坦度を測定し、
前記複数の領域のうち前記ノッチを含まない領域の平坦度の平均値または中央値と、前記ノッチを含む領域の平坦度との差に基づいて、前記ウェーハの形状を評価する、ウェーハの形状評価方法。
前記ウェーハの外周部における複数の領域の平坦度を測定し、
前記複数の領域のうち前記ノッチを含まない領域の平坦度の平均値または中央値と、前記ノッチを含む領域の平坦度との差に基づいて、前記ウェーハの形状を評価する、ウェーハの形状評価方法。
【請求項2】
ノッチを有するウェーハの形状評価方法であって、
前記ウェーハの外周部における複数の領域の平坦度を測定し、
前記複数の領域の平坦度の平均値または中央値と、前記複数の領域のうち前記ノッチを含む領域の平坦度との差に基づいて、前記ウェーハの形状を評価する、ウェーハの形状評価方法。
前記ウェーハの外周部における複数の領域の平坦度を測定し、
前記複数の領域の平坦度の平均値または中央値と、前記複数の領域のうち前記ノッチを含む領域の平坦度との差に基づいて、前記ウェーハの形状を評価する、ウェーハの形状評価方法。
【請求項3】
請求項１または請求項２に記載のウェーハの形状評価方法において、
前記平坦度を表す指標は、ＥＳＦＱＲである、ウェーハの形状評価方法。
前記平坦度を表す指標は、ＥＳＦＱＲである、ウェーハの形状評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ウェーハの形状評価方法に関する。
【背景技術】
【0002】
ノッチが形成されたウェーハに対して、両主面を研磨する両面研磨工程、ノッチの面取り部を鏡面研磨するノッチ鏡面研磨工程、外周の面取り部を鏡面研磨する外周鏡面研磨工程、および、一方の主面を仕上げ研磨する仕上げ研磨工程を行うと、前記一方の主面とノッチのノッチ面取り部との境界部分のエッジロールオフ（以下、「ノッチ部のダレ」と言う場合がある）は、前記一方の主面とウェーハの外周部の外周面取り部との境界部分のエッジロールオフ（以下、「外周部のダレ」と言う場合がある）よりも大きくなりやすい。ノッチ部のダレと外周部のダレとの差が大きい場合、後工程における不良の発生原因になりやすい。
このようなダレの発生状況の評価方法として、特許文献１には、ウェーハのＥＳＦＱＲ（Edge flatness metric, Sector based, Front surface referenced, least sQuares fit reference plane, Range of the data within sector）を測定し、ノッチを含むノッチサイトのＥＳＦＱＲと、ノッチを含まないサイトのＥＳＦＱＲの最大値との差に基づいて、ノッチ面取り部のエッジロールオフ（ダレ）の発生状況を評価する方法が開示されている。
このようなダレの発生状況の評価方法として、特許文献１には、ウェーハのＥＳＦＱＲ（Edge flatness metric, Sector based, Front surface referenced, least sQuares fit reference plane, Range of the data within sector）を測定し、ノッチを含むノッチサイトのＥＳＦＱＲと、ノッチを含まないサイトのＥＳＦＱＲの最大値との差に基づいて、ノッチ面取り部のエッジロールオフ（ダレ）の発生状況を評価する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２０－１０４２１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１に記載のような評価方法では、ノッチ部のダレを適切に評価できないおそれがある。
【0005】
本発明は、ノッチを有するウェーハの形状を適切に評価できるウェーハの形状評価方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明のウェーハの形状評価方法は、ノッチを有するウェーハの形状評価方法であって、前記ウェーハの外周部における複数の領域の平坦度を測定し、前記複数の領域のうち前記ノッチを含まない領域の平坦度の平均値または中央値と、前記ノッチを含む領域の平坦度との差に基づいて、前記ウェーハの形状を評価する。
【0007】
本発明のウェーハの形状評価方法は、ノッチを有するウェーハの形状評価方法であって、前記ウェーハの外周部における複数の領域の平坦度を測定し、前記複数の領域の平坦度の平均値または中央値と、前記複数の領域のうち前記ノッチを含む領域の平坦度との差に基づいて、前記ウェーハの形状を評価する。
【0008】
本発明のウェーハの形状評価方法において、前記平坦度を表す指標は、ＥＳＦＱＲである、ことが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】実施形態に係るウェーハおよびウェーハの形状評価システムを示すブロック図である。
【図2】実施形態に係るウェーハの形状評価方法を示すフローチャートである。
【図3】実施形態に係るＥＳＦＱＲの測定結果の一例を示すグラフである。
【図4】実施例に係る水準Ａ，Ｂのウェーハにおけるノッチ部のダレの形状および外周部の平均的なダレの形状を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
［実施形態］
＜評価対象のウェーハの構成＞
まず、本発明の実施形態に係るウェーハの形状評価システムにより評価されるウェーハの構成について説明する。
図１は、ウェーハおよびウェーハの形状評価システムを示すブロック図である。
図１に示すように、形状評価システム１により評価されるウェーハＷは、外周の１箇所に形成されたノッチＷｎを備える。ウェーハＷには、形状評価システム１により評価される前に、両面研磨工程、ノッチ鏡面研磨工程、外周鏡面研磨工程、および、仕上げ研磨工程が施されている。なお、両面研磨工程の前に、ウェーハＷの端部を面取りする面取り工程が、ウェーハＷに施される場合がある。
上述の工程が行われたウェーハＷの一方の主面とノッチ面取り部との境界部分、および、一方の主面と外周面取り部との境界部分には、ダレが発生している。ノッチ部のダレは、外周部のダレよりも大きい。
なお、ノッチ鏡面研磨工程は、両面研磨工程の前に行われても良い。
また、ウェーハＷは、シリコン、ゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化ガリウム、リン化インジウムなどの材料で構成されても良い。
＜評価対象のウェーハの構成＞
まず、本発明の実施形態に係るウェーハの形状評価システムにより評価されるウェーハの構成について説明する。
図１は、ウェーハおよびウェーハの形状評価システムを示すブロック図である。
図１に示すように、形状評価システム１により評価されるウェーハＷは、外周の１箇所に形成されたノッチＷｎを備える。ウェーハＷには、形状評価システム１により評価される前に、両面研磨工程、ノッチ鏡面研磨工程、外周鏡面研磨工程、および、仕上げ研磨工程が施されている。なお、両面研磨工程の前に、ウェーハＷの端部を面取りする面取り工程が、ウェーハＷに施される場合がある。
上述の工程が行われたウェーハＷの一方の主面とノッチ面取り部との境界部分、および、一方の主面と外周面取り部との境界部分には、ダレが発生している。ノッチ部のダレは、外周部のダレよりも大きい。
なお、ノッチ鏡面研磨工程は、両面研磨工程の前に行われても良い。
また、ウェーハＷは、シリコン、ゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化ガリウム、リン化インジウムなどの材料で構成されても良い。
【0011】
＜形状評価システムの構成＞
次に、ウェーハＷの形状評価システム１について説明する。
ウェーハの形状評価システム１は、測定装置２と、形状評価装置３と、を備える。
次に、ウェーハＷの形状評価システム１について説明する。
ウェーハの形状評価システム１は、測定装置２と、形状評価装置３と、を備える。
【0012】
測定装置２は、ウェーハＷの外周部の平坦度として、ＥＳＦＱＲを測定する。ＥＳＦＱＲの測定は、ウェーハＷの最外周からウェーハ中心方向に２ｍｍ入った位置と、３２ｍｍ入った位置との間の円環状領域（エッジ最外周２ｍｍを除く、幅が３０ｍｍの円環状領域）を円周方向に７２等分したものを１つのサイトとして、各サイトに対して行われる。
測定装置２は、測定対象のウェーハＷを特定するウェーハ特定情報とともに、ＥＳＦＱＲの測定結果を形状評価装置３へ送信する。
測定装置２は、測定対象のウェーハＷを特定するウェーハ特定情報とともに、ＥＳＦＱＲの測定結果を形状評価装置３へ送信する。
【0013】
形状評価装置３は、測定装置２におけるＥＳＦＱＲの測定結果に基づいて、ウェーハＷの形状を評価する。
形状評価装置３は、入力部３１と、表示部３２と、記憶部３３と、制御部３４と、を備える。
形状評価装置３は、入力部３１と、表示部３２と、記憶部３３と、制御部３４と、を備える。
【0014】
入力部３１は、例えばタッチパネルまたは物理ボタンにより構成されている。入力部３１は、各種情報の入力に用いられ、入力に対応する信号を制御部３４へ出力する。
【0015】
表示部３２は、制御部３４の制御に基づいて、各種情報を表示する。
【0016】
記憶部３３は、例えばＨＤＤ（Hard Disk Drive）などの周知の記憶装置により構成されている。記憶部３３は、ＥＳＦＱＲの測定結果およびウェーハＷの評価結果を評価対象のウェーハＷを特定する情報に関連付けて、制御部３４で読み取り可能に記憶する。評価対象のウェーハＷを特定する情報は、測定装置２から取得されても良いし、入力部３１により入力されても良い。
【0017】
制御部３４は、ＣＰＵを備えるコンピュータにより構成され、記憶部３３に格納されたプログラムをＣＰＵが実行することにより各種機能を実現する。制御部３４は、測定結果取得部３４１と、評価部３４２と、を備える。
測定結果取得部３４１は、測定装置２から送信されるウェーハ特定情報およびＥＳＦＱＲの測定結果を取得する。
評価部３４２は、測定結果取得部３４１で取得されたＥＳＦＱＲの測定結果に基づいて、ウェーハＷの形状の評価処理として、ノッチＷｎを含むノッチサイトのダレ評価値（以下、「ノッチダレ量評価値」と言う場合がある）の算出処理を行う。
測定結果取得部３４１は、測定装置２から送信されるウェーハ特定情報およびＥＳＦＱＲの測定結果を取得する。
評価部３４２は、測定結果取得部３４１で取得されたＥＳＦＱＲの測定結果に基づいて、ウェーハＷの形状の評価処理として、ノッチＷｎを含むノッチサイトのダレ評価値（以下、「ノッチダレ量評価値」と言う場合がある）の算出処理を行う。
【0018】
【0019】
図１に示すように、ウェーハの形状評価方法は、ウェーハ準備工程（ステップＳ１）と、外周部平坦度測定工程（ステップＳ２）と、評価工程（ステップＳ３）と、を備える。
【0020】
ステップＳ１のウェーハ準備工程では、作業者は、両面研磨工程、ノッチ鏡面研磨工程、外周鏡面研磨工程、および、仕上げ研磨工程が施された測定対象のウェーハＷを準備して、図１に二点鎖線で示すように、測定装置２にセットする。
【0021】
ステップＳ２の外周部平坦度測定工程では、測定装置２は、測定対象のウェーハＷの外周部の平坦度としてＥＳＦＱＲを測定する。測定装置２は、例えば、図３に示すような測定結果を得る。測定装置２は、ウェーハ特定情報およびＥＳＦＱＲの測定結果を形状評価装置３へ送信する。形状評価装置３を構成する制御部３４の測定結果取得部３４１は、測定装置２から送信されたウェーハ特定情報およびＥＳＦＱＲの測定結果を取得して、当該取得された情報を互いに関連付けて記憶部３３に記憶させる。なお、測定結果取得部３４１は、作業者による入力部３１の操作により入力されたウェーハ特定情報を取得しても良い。
【0022】
ステップＳ３の評価工程では、形状評価装置３を構成する制御部３４の評価部３４２は、ウェーハＷの形状を評価する。
まず、評価部３４２は、ノッチサイト以外のサイトのＥＳＦＱＲの平均値（以下、「第１の外周ＥＳＦＱＲ平均値」を算出する。そして、評価部３４２は、以下の式（１－１）に基づいて、ノッチダレ評価値Ｖを算出する。
Ｖ＝ＥＳＦＱＲ＿Ｎ－ＥＳＦＱＲ＿ｍｅａｎ … （１－１）
ＥＳＦＱＲ＿Ｎ：ノッチサイトのＥＳＦＱＲ（ノッチサイトＥＳＦＱＲ）
ＥＳＦＱＲ＿ｍｅａｎ１：第１の外周ＥＳＦＱＲ平均値
まず、評価部３４２は、ノッチサイト以外のサイトのＥＳＦＱＲの平均値（以下、「第１の外周ＥＳＦＱＲ平均値」を算出する。そして、評価部３４２は、以下の式（１－１）に基づいて、ノッチダレ評価値Ｖを算出する。
Ｖ＝ＥＳＦＱＲ＿Ｎ－ＥＳＦＱＲ＿ｍｅａｎ … （１－１）
ＥＳＦＱＲ＿Ｎ：ノッチサイトのＥＳＦＱＲ（ノッチサイトＥＳＦＱＲ）
ＥＳＦＱＲ＿ｍｅａｎ１：第１の外周ＥＳＦＱＲ平均値
【0023】
評価部３４２は、ノッチダレ評価値Ｖの算出結果を、記憶部３３に記憶されたウェーハ特定情報およびＥＳＦＱＲの測定結果に関連付けて記憶させる。評価部３４２は、ノッチダレ評価値Ｖの算出結果を表示部３２に表示させても良い。
【0024】
＜実施形態の効果＞
形状評価システム１は、ウェーハＷの外周部における複数のサイトの平坦度を測定し、ノッチサイトを含む複数のサイトの平坦度の平均値と、ノッチサイトの平坦度との差に基づいて、ウェーハＷの形状を評価する。
例えば、図３に示すようなＥＳＦＱＲの測定結果が得られた場合、特許文献１に記載の評価方法では、ノッチダレ評価値Ｖｐは、以下の式（２）に基づいて、算出される。
Ｖｐ＝ＥＳＦＱＲ＿Ｎ－ＥＳＦＱＲ＿ｍａｘ … （２）
ＥＳＦＱＲ＿ｍａｘ：ノッチサイト以外のサイトのＥＳＦＱＲの最大値（外周ＥＳＦＱＲ最大値）
このように得られたノッチダレ評価値Ｖｐは、図３に示すように、ノッチサイトと特定の１つのサイトとのＥＳＦＱＲの差を表すため、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差を表すことができない。特に、ノッチダレ評価値Ｖｐがノッチ部と外周部のうち最もダレが大きい部位との差を表すため、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差が、不良の発生原因になるくらい大きい場合でも、ノッチダレ評価値Ｖｐに基づいて、ノッチ部のダレが不良の発生原因にならない大きさであると評価されるおそれがある。
形状評価システム１は、ウェーハＷの外周部における複数のサイトの平坦度を測定し、ノッチサイトを含む複数のサイトの平坦度の平均値と、ノッチサイトの平坦度との差に基づいて、ウェーハＷの形状を評価する。
例えば、図３に示すようなＥＳＦＱＲの測定結果が得られた場合、特許文献１に記載の評価方法では、ノッチダレ評価値Ｖｐは、以下の式（２）に基づいて、算出される。
Ｖｐ＝ＥＳＦＱＲ＿Ｎ－ＥＳＦＱＲ＿ｍａｘ … （２）
ＥＳＦＱＲ＿ｍａｘ：ノッチサイト以外のサイトのＥＳＦＱＲの最大値（外周ＥＳＦＱＲ最大値）
このように得られたノッチダレ評価値Ｖｐは、図３に示すように、ノッチサイトと特定の１つのサイトとのＥＳＦＱＲの差を表すため、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差を表すことができない。特に、ノッチダレ評価値Ｖｐがノッチ部と外周部のうち最もダレが大きい部位との差を表すため、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差が、不良の発生原因になるくらい大きい場合でも、ノッチダレ評価値Ｖｐに基づいて、ノッチ部のダレが不良の発生原因にならない大きさであると評価されるおそれがある。
【0025】
一方、本実施形態における式（１－１）に基づき得られるノッチダレ評価値Ｖは、ノッチサイトＥＳＦＱＲから、外周部全体のダレの傾向を表す第１の外周ＥＳＦＱＲ平均値を減じることにより得られるため、図３に示すように、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差を表すことができる。したがって、例えば、ノッチダレ評価値Ｖが第１の閾値以上の場合、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差が不良の発生原因になるくらい大きいと評価でき、第１の閾値未満の場合、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差が不良の発生原因にならないくらい小さいと評価することができる。あるいは、ノッチダレ評価値Ｖが第２の閾値以上の場合、ウェーハＷの研磨条件または研磨装置に異常が発生している可能性があると評価でき、第２の閾値未満の場合、ウェーハＷの研磨条件または研磨装置に異常が発生している可能性がないと評価できる。
したがって、ノッチダレ評価値Ｖに基づいて、ノッチＷｎを有するウェーハＷの形状を適切に評価できる。
したがって、ノッチダレ評価値Ｖに基づいて、ノッチＷｎを有するウェーハＷの形状を適切に評価できる。
【0026】
［変形例］
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の種々の改良並びに設計の変更などがあっても本発明に含まれる。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の種々の改良並びに設計の変更などがあっても本発明に含まれる。
【0027】
例えば、評価部３４２は、ノッチサイト以外のサイトのＥＳＦＱＲの中央値（以下、「第１の外周ＥＳＦＱＲ中央値」と言う場合がある）を算出し、以下の式（１－２）に基づいて、ノッチダレ評価値Ｖを算出しても良い。
Ｖ＝ＥＳＦＱＲ＿Ｎ－ＥＳＦＱＲ＿ｍｅｄｉａｎ１ … （１－２）
ＥＳＦＱＲ＿ｍｅｄｉａｎ１：第１の外周ＥＳＦＱＲ中央値
このような式（１－２）に基づき得られるノッチダレ評価値Ｖは、図３に示すように、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差を表すことができる。したがって、ノッチダレ評価値Ｖに基づいて、ノッチＷｎを有するウェーハＷの形状を適切に評価できる。
Ｖ＝ＥＳＦＱＲ＿Ｎ－ＥＳＦＱＲ＿ｍｅｄｉａｎ１ … （１－２）
ＥＳＦＱＲ＿ｍｅｄｉａｎ１：第１の外周ＥＳＦＱＲ中央値
このような式（１－２）に基づき得られるノッチダレ評価値Ｖは、図３に示すように、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差を表すことができる。したがって、ノッチダレ評価値Ｖに基づいて、ノッチＷｎを有するウェーハＷの形状を適切に評価できる。
【0028】
また、評価部３４２は、全サイトのＥＳＦＱＲの平均値（以下、「第２の外周ＥＳＦＱＲ平均値」と言う場合がある）を算出し、以下の式（１－３）に基づいて、ノッチダレ評価値Ｖを算出しても良い。
Ｖ＝ＥＳＦＱＲ＿Ｎ－ＥＳＦＱＲ＿ｍｅａｎ２ … （１－３）
ＥＳＦＱＲ＿ｍｅａｎ２：第２の外周ＥＳＦＱＲ平均値
また、評価部３４２は、全サイトのＥＳＦＱＲの中央値（以下、「第２の外周ＥＳＦＱＲ中央値」と言う場合がある）を算出し、以下の式（１－４）に基づいて、ノッチダレ評価値Ｖを算出しても良い。
Ｖ＝ＥＳＦＱＲ＿Ｎ－ＥＳＦＱＲ＿ｍｅｄｉａｎ２ … （１－４）
ＥＳＦＱＲ＿ｍｅｄｉａｎ２：第２の外周ＥＳＦＱＲ中央値
Ｖ＝ＥＳＦＱＲ＿Ｎ－ＥＳＦＱＲ＿ｍｅａｎ２ … （１－３）
ＥＳＦＱＲ＿ｍｅａｎ２：第２の外周ＥＳＦＱＲ平均値
また、評価部３４２は、全サイトのＥＳＦＱＲの中央値（以下、「第２の外周ＥＳＦＱＲ中央値」と言う場合がある）を算出し、以下の式（１－４）に基づいて、ノッチダレ評価値Ｖを算出しても良い。
Ｖ＝ＥＳＦＱＲ＿Ｎ－ＥＳＦＱＲ＿ｍｅｄｉａｎ２ … （１－４）
ＥＳＦＱＲ＿ｍｅｄｉａｎ２：第２の外周ＥＳＦＱＲ中央値
【0029】
上述の式（１－１）～（１－４）に基づくノッチダレ評価値の算出処理を、作業者が行っても良い。
平坦度を表す指標として、ＥＳＦＱＲの代わりに、ＥＳＦＱＤ（Edge Site flatness Front reference least sQuare Deviation）、ＺＤＤ（Z-height Double Differentiation）、ＥＳＢＩＤ（Edge Site flatness Back reference Ideal Deviation）、または、ＥＳＢＩＲ（Edge Site flatness Back reference Ideal Range）などを用いても良い。
平坦度を表す指標として、ＥＳＦＱＲの代わりに、ＥＳＦＱＤ（Edge Site flatness Front reference least sQuare Deviation）、ＺＤＤ（Z-height Double Differentiation）、ＥＳＢＩＤ（Edge Site flatness Back reference Ideal Deviation）、または、ＥＳＢＩＲ（Edge Site flatness Back reference Ideal Range）などを用いても良い。
【実施例0030】
次に、本発明の実施例について説明する。なお、本発明は実施例に限定されるものではない。
【0031】
［実施例１］
まず、水準Ａのウェーハと水準Ｂのウェーハをそれぞれ１枚ずつ準備した。水準Ａ，Ｂのウェーハには、両面研磨工程、ノッチ鏡面研磨工程、外周鏡面研磨工程、および、仕上げ研磨工程が、当該順序で施されている。水準Ａ，ＢのウェーハＷにおけるノッチ部のダレの形状および外周部の平均的なダレの形状の模式図を図４に示す。図４に示すように、水準Ａ，Ｂのウェーハにおけるノッチ部のダレの形状は、互いに異なっている。また、水準Ａ，Ｂのウェーハにおける外周部の平均的なダレの形状も、互いに異なっている。
平坦度測定器Ｗａｆｅｒｓｉｇｈｔ２（ＫＬＡ－Ｔｅｎｃｏｒ社製）を用いて、水準Ａ，Ｂのウェーハの外周部のＥＳＦＱＲを測定した。
水準Ａ，ＢのウェーハにおけるノッチサイトＥＳＦＱＲ、外周ＥＳＦＱＲ最大値および第１の外周ＥＳＦＱＲ平均値を表１に示す。
まず、水準Ａのウェーハと水準Ｂのウェーハをそれぞれ１枚ずつ準備した。水準Ａ，Ｂのウェーハには、両面研磨工程、ノッチ鏡面研磨工程、外周鏡面研磨工程、および、仕上げ研磨工程が、当該順序で施されている。水準Ａ，ＢのウェーハＷにおけるノッチ部のダレの形状および外周部の平均的なダレの形状の模式図を図４に示す。図４に示すように、水準Ａ，Ｂのウェーハにおけるノッチ部のダレの形状は、互いに異なっている。また、水準Ａ，Ｂのウェーハにおける外周部の平均的なダレの形状も、互いに異なっている。
平坦度測定器Ｗａｆｅｒｓｉｇｈｔ２（ＫＬＡ－Ｔｅｎｃｏｒ社製）を用いて、水準Ａ，Ｂのウェーハの外周部のＥＳＦＱＲを測定した。
水準Ａ，ＢのウェーハにおけるノッチサイトＥＳＦＱＲ、外周ＥＳＦＱＲ最大値および第１の外周ＥＳＦＱＲ平均値を表１に示す。
【0032】
【表1】
【0033】
次に、水準Ａ，ＢのウェーハにおけるノッチサイトＥＳＦＱＲを、比較例１－１のノッチダレ評価値とした。
また、上記式（２）に基づいて、比較例１－２のノッチダレ評価値を算出した。
また、上記式（１－１）に基づいて、実施例１のノッチダレ評価値を算出した。
比較例１－１，１－２および実施例１のノッチダレ評価値の算出結果を表２に示す。
また、上記式（２）に基づいて、比較例１－２のノッチダレ評価値を算出した。
また、上記式（１－１）に基づいて、実施例１のノッチダレ評価値を算出した。
比較例１－１，１－２および実施例１のノッチダレ評価値の算出結果を表２に示す。
【0034】
【表2】
【0035】
ここで、表１および図４に示すように、ノッチ部のダレは、水準Ｂのウェーハの方が水準Ａのウェーハよりも大きかったが、外周部の平均的なダレも、水準Ｂのウェーハの方が水準Ａのウェーハよりも大きかった。この場合、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差は、水準Ａのウェーハと水準Ｂのウェーハでほとんど同じであると考えることが好ましい。
【0036】
表２に示すように、比較例１－１のノッチダレ評価値は、水準Ａのウェーハよりも水準Ｂのウェーハの方が大きかった。比較例１－１のノッチサイトのダレ量評価値はノッチサイトＥＳＦＱＲであるため、比較例１－１のノッチサイトのダレ量評価値に基づいて、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差を表すことができない。
また、比較例１－２のノッチダレ評価値も、比較例１－１のノッチダレ評価値と同様に、水準Ａのウェーハよりも水準Ｂのウェーハの方が大きかった。比較例１－２のノッチダレ評価値は、ノッチサイトと特定の１つのサイトとのＥＳＦＱＲの差を表すため、比較例１－２のノッチサイトのダレ量評価値に基づいて、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差を表すことができない。
一方、実施例１のノッチダレ評価値は、水準Ａのウェーハと水準Ｂのウェーハで同じであった。
実施例１のノッチダレ評価値は、ノッチサイトのＥＳＦＱＲとノッチサイト以外のサイトのＥＳＦＱＲの平均値との差を表すため、実施例１のノッチサイトのダレ量評価値に基づいて、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差を表すことができる。
以上のことから、本発明のノッチダレ評価値に基づいて、ノッチを有するウェーハの形状を適切に評価できることを確認できた。
また、比較例１－２のノッチダレ評価値も、比較例１－１のノッチダレ評価値と同様に、水準Ａのウェーハよりも水準Ｂのウェーハの方が大きかった。比較例１－２のノッチダレ評価値は、ノッチサイトと特定の１つのサイトとのＥＳＦＱＲの差を表すため、比較例１－２のノッチサイトのダレ量評価値に基づいて、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差を表すことができない。
一方、実施例１のノッチダレ評価値は、水準Ａのウェーハと水準Ｂのウェーハで同じであった。
実施例１のノッチダレ評価値は、ノッチサイトのＥＳＦＱＲとノッチサイト以外のサイトのＥＳＦＱＲの平均値との差を表すため、実施例１のノッチサイトのダレ量評価値に基づいて、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差を表すことができる。
以上のことから、本発明のノッチダレ評価値に基づいて、ノッチを有するウェーハの形状を適切に評価できることを確認できた。
【0037】
［実施例２］
まず、水準Ｃのウェーハと水準Ｄのウェーハをそれぞれ１枚ずつ準備した。水準Ｃ，Ｄのウェーハには、水準Ａのウェーハと同じ研磨工程が施されている。
上述の平坦度測定器Ｗａｆｅｒｓｉｇｈｔ２を用いて、水準Ｃ，Ｄのウェーハの外周部のＥＳＦＱＲを測定した。そして、上記式（１－１）に基づいて、ノッチダレ評価値を算出した。
水準Ｃ，ＤのウェーハにおけるノッチサイトＥＳＦＱＲ、第１の外周ＥＳＦＱＲ平均値およびノッチダレ評価値を表３に示す。
まず、水準Ｃのウェーハと水準Ｄのウェーハをそれぞれ１枚ずつ準備した。水準Ｃ，Ｄのウェーハには、水準Ａのウェーハと同じ研磨工程が施されている。
上述の平坦度測定器Ｗａｆｅｒｓｉｇｈｔ２を用いて、水準Ｃ，Ｄのウェーハの外周部のＥＳＦＱＲを測定した。そして、上記式（１－１）に基づいて、ノッチダレ評価値を算出した。
水準Ｃ，ＤのウェーハにおけるノッチサイトＥＳＦＱＲ、第１の外周ＥＳＦＱＲ平均値およびノッチダレ評価値を表３に示す。
【0038】
【表3】
【0039】
表３に示すように、ノッチ部のダレは、水準Ｃのウェーハと水準Ｄのウェーハで同じであったが、外周部の平均的な形状のダレは、水準Ｃのウェーハの方が水準Ｄのウェーハよりも大きかった。この場合、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差は、水準Ｄのウェーハの方が水準Ｃのウェーハよりも大きいと考えることが好ましい。
水準Ｄのノッチダレ評価値は、水準Ｃのノッチダレ評価値よりも大きかった。
したがって、本発明のノッチダレ評価値に基づいて、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差が不良の発生原因になるくらい大きいか否か、あるいは、ウェーハの研磨条件または研磨装置に異常が発生している可能性があるか否かを評価することができ、ノッチを有するウェーハの形状を適切に評価できることを確認できた。
水準Ｄのノッチダレ評価値は、水準Ｃのノッチダレ評価値よりも大きかった。
したがって、本発明のノッチダレ評価値に基づいて、ノッチ部のダレと外周部全体のダレの傾向との差が不良の発生原因になるくらい大きいか否か、あるいは、ウェーハの研磨条件または研磨装置に異常が発生している可能性があるか否かを評価することができ、ノッチを有するウェーハの形状を適切に評価できることを確認できた。
【符号の説明】
【0040】
Ｗ…ウェーハ、Ｗｎ…ノッチ。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】