特開 2024-177071 搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024177071

(43)【公開日】2024-12-19

(54)【発明の名称】搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20241212BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20241212BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65G49/07 L

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024071442

(22)【出願日】2024-04-25

(31)【優先権主張番号】P 2023094976

(32)【優先日】2023-06-08

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】大和 愛実

(72)【発明者】

【氏名】上村 拓人

(72)【発明者】

【氏名】大河原 聡

(72)【発明者】

【氏名】桧山 正晃

(72)【発明者】

【氏名】斎藤 貴也

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA03

5F131BA52

5F131BB03

5F131CA12

5F131DA02

5F131DA22

5F131DA42

5F131DC05

5F131DD02

5F131DD33

5F131DD35

5F131DD43

5F131JA10

5F131JA16

5F131KA06

5F131KA40

5F131KA43

5F131KA53

(57)【要約】

【課題】ワーク処理装置が設置されるルーム内やルーム内を走行する搬送車のカセット内をパーティクルカウンタにより測定する際に、オペレータによる作業を低減し、かつ、測定位置を柔軟に変更できる搬送システムを提供する事。
【解決手段】搬送システム１において、搬送車１０は、カセットと昇降ユニットとパーティクルカウンタ１５とを有し、制御ユニット４０は、走行路２０の任意の位置でパーティクルカウンタ１５に空気中の微粒子の数を測定させる測定部４１と、パーティクルカウンタ１５で測定した日時と位置と結果と含む測定情報を記録する第１記録部４２と、ワーク処理装置１００の位置と稼働履歴とを含む処理情報を記録する第２記録部４３と、パーティクルカウンタ１５の測定日時と測定日時においてそれぞれのワーク処理装置１００が何を実施していたかを示す稼働履歴とを紐付けるデータ紐付け部４４とを有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワーク処理装置と、
該ワーク処理装置に対して物品を搬出入する搬送車と、
該ワーク処理装置の上方に設置され該搬送車が走行する走行路と、
制御ユニットと、
を備える搬送システムであって、
該搬送車は、
該物品を収容するカセットと、
該カセットを該ワーク処理装置のカセット載置台に対して昇降させる昇降ユニットと、
パーティクルカウンタと、を有し、
該制御ユニットは、
該走行路の任意の位置で該パーティクルカウンタに空気中の微粒子の数を測定させる測定部と、
該パーティクルカウンタで測定した日時と、位置と、結果と、含む測定情報を記録する第１記録部と、
該ワーク処理装置の位置と、稼働履歴と、を含む処理情報を記録する第２記録部と、
該パーティクルカウンタの測定日時と、該測定日時においてそれぞれの該ワーク処理装置が何を実施していたかを示す該稼働履歴と、を紐付けるデータ紐付け部と、
を有する搬送システム。

【請求項2】

該制御ユニットは、該走行路と、該パーティクルカウンタの測定位置と、該ワーク処理装置の位置と、を紐付けて同一のマップ上に表示する請求項１に記載の搬送システム。

【請求項3】

該パーティクルカウンタは、該ワーク処理装置が設置されるルーム内の微粒子の数を測定する請求項１に記載の搬送システム。

【請求項4】

該パーティクルカウンタは、該カセット内の微粒子の数を測定する請求項１に記載の搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、物品をワーク処理装置の上方に設置された走行路を走行する搬送車によって搬送する搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

複数の処理装置に搬送車（自動搬送車）によって、ワークや加工工具、加工に使用する消耗品などの物品を搬送する搬送システムが知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－１６３９２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ワーク処理装置が設置されるルームは、空気中に浮遊する微粒子のサイズや個数が所望する値以下になるように管理することが求められている。従来は、ルーム内にパーティクルカウンタを固定するか、オペレータが任意の場所にハンディパーティクルカウンタを持って測定する等により、空気中に浮遊する微粒子のサイズや個数の監視をしている。しかしながら、パーティクルカウンタを固定した位置しか測定する事ができないという問題があったり、オペレータによる作業が必要となってしまうという問題があったりした。

【0005】

また、搬送車が走行するルームやルーム内における位置によって、搬送車が物品を収容するカセット内に浮遊する微粒子のサイズや個数が変化するので、この微粒子のサイズや個数が所望する値以下になるように管理することが求められている。従来は、オペレータがルーム内の任意の箇所に位置した搬送車のカセット内をハンディパーティクルカウンタで測定したり、特定の場所にパーティクルカウンタを設置しそこに位置付けられた搬送車のカセット内を測定したりする等により、空気中に浮遊する微粒子のサイズや個数の監視をしている。しかしながら、オペレータによる作業が必要となる問題や、パーティクルカウンタを固定した位置に置いてしか測定する事ができないという問題があった。

【0006】

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ワーク処理装置が設置されるルーム内やルーム内を走行する搬送車のカセット内をパーティクルカウンタにより測定する際に、オペレータによる作業を低減し、かつ、測定位置を柔軟に変更できる搬送システムを提供する事である。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の搬送システムは、ワーク処理装置と、該ワーク処理装置に対して物品を搬出入する搬送車と、該ワーク処理装置の上方に設置され該搬送車が走行する走行路と、制御ユニットと、を備える搬送システムであって、該搬送車は、該物品を収容するカセットと、該カセットを該ワーク処理装置のカセット載置台に対して昇降させる昇降ユニットと、パーティクルカウンタと、を有し、該制御ユニットは、該走行路の任意の位置で該パーティクルカウンタに空気中の微粒子の数を測定させる測定部と、該パーティクルカウンタで測定した日時と、位置と、結果と、含む測定情報を記録する第１記録部と、該ワーク処理装置の位置と、稼働履歴と、を含む処理情報を記録する第２記録部と、該パーティクルカウンタの測定日時と、該測定日時においてそれぞれの該ワーク処理装置が何を実施していたかを示す該稼働履歴と、を紐付けるデータ紐付け部と、を有するものである。

【0008】

該制御ユニットは、該走行路と、該パーティクルカウンタの測定位置と、該ワーク処理装置の位置と、を紐付けて同一のマップ上に表示してもよい。

【0009】

該パーティクルカウンタは、該ワーク処理装置が設置されるルーム内の微粒子の数を測定してもよい。

【0010】

該パーティクルカウンタは、該カセット内の微粒子の数を測定してもよい。

【発明の効果】

【0011】

本願発明は、搬送車に設けたパーティクルカウンタにより、走行路上の如何なる場所においても、オペレータの手を介することなく、自動で、空気中の微粒子の数を測定できるため、ワーク処理装置が設置されるルーム内やルーム内を走行する搬送車のカセット内をパーティクルカウンタにより測定する際に、オペレータによる作業を低減し、かつ、測定位置を柔軟に変更できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、実施形態１に係る搬送システムの構成例を示す概略図である。

【図2】図２は、図１の搬送システムの一部を示す斜視図である。

【図3】図３は、図１の搬送システムの一部を示す側断面図である。

【図4】図４は、図１の搬送システムの制御ユニットが取り扱うパーティクル管理情報の一例を示す図である。

【図5】図５は、図１の搬送システムの表示ユニットが表示する表示画面の一例を示す図である。

【図6】図６は、実施形態２に係る搬送システムの構成例を示す側断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0014】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る搬送システム１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る搬送システム１の構成例を示す概略図である。図２及び図３は、それぞれ、図１の搬送システム１の一部を示す斜視図及び側断面図である。搬送システム１は、図１に示すように、ワーク２０１（図２等参照）を処理する複数のワーク処理装置１００と、複数のワーク処理装置１００のそれぞれに対して物品２００（図２等参照）を搬出入する搬送車１０と、ワーク処理装置１００の上方にワーク処理装置１００の間にわたって設置され、搬送車１０が走行する走行路２０と、表示ユニット３０と、制御ユニット４０と、を備える。搬送システム１は、実施形態１では複数台（図１に示す例では３台）の搬送車１０を含むが、本発明ではこれに限定されず、１台や２台でもよく、もちろん４台以上でもよい。なお、図面は、適宜、一部の構成要素を省略したり、一部の構成要素を輪郭のみ等で簡易的に示したりしている。

【0015】

搬送システム１を構成する複数のワーク処理装置１００は、実施形態１では、図１に示すように、いずれも１室のルーム１０００内に設置されている。なお、搬送システム１を構成する複数のワーク処理装置１００は、本発明ではこれに限定されず、複数室のルーム１０００内に分けて設置されてもよく、１台毎に１室のルーム１０００内に設置されてもよい。

【0016】

ワーク処理装置１００の処理対象であり、なおかつ、実施形態１に係る搬送システム１の搬送対象の物品２００の一例であるワーク２０１を説明する。ワーク２０１は、図２に示すように、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素、ガラスなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。ワーク２０１は、平坦な表面において、交差（実施形態１では、直交）する複数の分割予定ラインで区画された領域にそれぞれチップ状のデバイスが形成されている。なお、ワーク２０１は、本発明ではこれに限定されず、デバイスが形成されていなくてもよい。ワーク２０１は、実施形態１では、裏面に粘着テープが貼着され、粘着テープの外縁部に環状フレームが装着されているが、本発明ではこれに限定されず、環状フレームが装着されていなくても、粘着テープが貼着されていなくてもよい。

【0017】

なお、搬送システム１の搬送対象の物品２００は、ワーク２０１に限定されず、材質、形状、構造、大きさ等に制限はなく、例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等であってもよく、ワーク２０１を加工する加工工具、ワーク２０１の加工に使用する消耗品、ワーク処理装置１００を清掃する清掃用具、ワーク処理装置１００をメンテナンスするメンテナンス部品であってもよい。ワーク２０１を加工する加工工具は、例えば、切削ブレード、研削ホイール等である。ワーク２０１の加工に使用するその他の消耗品は、例えば、ドレッシングボード、プリカットボード、ダミーワーク、ダミーワークピース、粘着テープ、カーボン片等である。清掃用具は加工工具を装着する支持面を清掃する洗浄砥石などの清掃用品等である。また、メンテナンス部品は、その他のワーク処理装置１００に備えられる任意の機構をメンテナンスするためのメンテナンス用具等である。ワーク２０１以外の物品２００についても、実施形態１では、図２に示すように、裏面に粘着テープが貼着され、粘着テープの外縁部に環状フレームが装着されているが、本発明ではこれに限定されず、環状フレームが装着されていなくても、粘着テープが貼着されていなくてもよい。

【0018】

搬送システム１の搬送対象の物品２００は、物品２００の種類を示すバーコードやＩＤ（IDentification）、ＲＦＩＤ（Radio Frequency IDentification）タグなど（ともに不図示）が付与されている。ここで、物品２００（ワーク２０１）の種類は、物品２００の品種、物品２００の仕様、及び、各物品２００を区別する情報のことを指す。物品２００の品種は、例えば、ワーク２０１、基板、切削ブレード、研削ホイール、ドレッシングボード、プリカットボード、ダミーワーク、ダミーワークピース、粘着テープ、カーボン片、清掃用具、メンテナンス用具等である。物品２００の仕様は、例えば物品２００がワーク２０１の場合、直径、厚さ、母材の組成や構成、デバイスの種類や仕様、分割予定ラインの間隔（インデックス幅）や幅や本数、貼着された粘着テープの素材や構成や種類や仕様、環状フレームの素材や構成や種類や仕様、等である。物品２００がワーク２０１以外の場合でも、物品２００の品種に応じて適宜物品２００の仕様項目が決められる。各物品２００を区別する情報は、例えば、物品２００毎に設けられた識別番号である。また、各物品２００を区別する情報は、物品２００がワーク２０１である場合、ワーク２０１のロット番号を含んでいてもよい。

【0019】

搬送システム１のワーク処理装置１００は、図２に示すように、筐体１１０と、カセット載置台１２０と、搬送ユニット１３０と、処理ユニット１４０と、受信機１６０と、送信機１７０と、制御部１８０と、を備える。筐体１１０は、筐体１１０を除くワーク処理装置１００の各構成要素を収容する。筐体１１０の上方の天井１１１には、物品２００（ワーク２０１）を収容する搬送車１０のカセット１３が通過可能な大きさ及び形状の開口１１２が形成されている。

【0020】

カセット載置台１２０は、図２に示すように、載置領域１２１と、ガイド１２２と、を有する。載置領域１２１は、搬送車１０から昇降ユニット１４により降下するカセット１３が着地して載置される領域であり、カセット載置台１２０の上面に、カセット１３の平面視の形状及び大きさと同じ形状及び大きさで設けられている。カセット載置台１２０は、載置領域１２１で、着地して載置されたカセット１３を上方に向けて支持する。

【0021】

ガイド１２２は、カセット載置台１２０に設置されている。ガイド１２２は、載置領域１２１よりも外周側に、カセット載置台１２０の上面から複数（図２に示す例では８個）立設している。ガイド１２２は、内周側に、カセット１３の外周側が嵌め合わせ可能となる位置に配列されている。ガイド１２２は、内周側の面に、下方に向かうに従って内周側に突出する方向に傾斜する傾斜面が形成されている。さらに傾斜面が湾曲して形成されることで、カセット１３がガイド１２２に沿ってなめらかにスライドして位置決めされる。このため、ガイド１２２は、受け渡し領域２２に停止された搬送車１０から昇降されるカセット１３の降下時に、カセット１３の水平方向の位置が載置領域１２１に対してずれていた場合でも、傾斜面によりカセット１３に接触し、カセット１３の水平方向（図２等のＸＹ平面に平行な方向）の位置を修正し、カセット１３を水平方向に位置決めして、カセット１３を正確に載置領域１２１に着地させて載置させる。

【0022】

搬送ユニット１３０は、図２に示すように、カセット載置台１２０に隣接して設置される。搬送ユニット１３０は、カセット載置台１２０の載置領域１２１に着地したカセット１３内に収容された物品２００（ワーク２０１）を搬出して処理ユニット１４０に関する所定の位置に載置し、また、処理ユニット１４０の周囲の所定の位置に載置した物品２００（ワーク２０１）をカセット載置台１２０の載置領域１２１に着地したカセット１３内に搬入する。ここで、処理ユニット１４０に関する所定の位置は、図２に示す実施形態１の例では、処理ユニット１４０－１（切削加工ユニット）及び処理ユニット１４０－３（撮像ユニット、検査ユニット）の周囲にある保持テーブル（チャックテーブル）上、または、処理ユニット１４０－２（洗浄ユニット）のスピンナテーブル上である。

【0023】

搬送ユニット１３０は、実施形態１では、例えば、第１搬送アーム１３１と、第２搬送アーム１３２と、一対のレール１３３と、を備える。第１搬送アーム１３１は、カセット載置台１２０の載置領域１２１に着地したカセット１３内と、一対のレール１３３上と、の間で、物品２００（ワーク２０１）を搬送する。第２搬送アーム１３２は、一対のレール１３３上と、処理ユニット１４０の周囲の所定の位置と、の間で、物品２００（ワーク２０１）を搬送する。一対のレール１３３は、互いに平行な状態を維持しながら接近または離隔でき、一対のレール１３３間で、環状フレームを介して物品２００（ワーク２０１）を保持できる。また、搬送ユニット１３０は、物品２００（ワーク２０１）をカセット１３から搬出及びカセット１３に搬入する際に、物品２００（ワーク２０１）のバーコードやＩＤを読み取ることで、物品２００（ワーク２０１）の種類の情報を取得し、制御部１８０に出力する読み取り機を備えている。

【0024】

処理ユニット１４０は、ワーク２０１を処理する。処理ユニット１４０は、実施形態１では、例えば、ワーク２０１をカセット１３と異なるカセットとの間で入れ替えるなど、ワーク２０１を任意の収容カセットに収容処理する収容ユニット、ワーク２０１に対して加工処理する加工ユニット、ワーク２０１に対して洗浄処理する洗浄ユニット、ワーク２０１に対して検査処理する検査ユニット、ワーク２０１に対して撮像処理する撮像ユニット、ワーク２０１に対して粘着テープなどの支持部材を貼り付けるまたは剥離するマウンタユニット、ワーク２０１に対して膜を形成する膜形成ユニット、走行路２０を洗浄するための洗浄液の補充や走行路２０を洗浄した洗浄液を走行路２０から除去する乾燥ユニット２９（図３参照）の交換を行う走行路洗浄補充ユニット等である。すなわち、収容ユニット及び走行路洗浄補充ユニット以外の処理ユニット１４０を備えるワーク処理装置１００は、ワーク２０１に対して、加工、洗浄、検査、撮像、支持部材の貼り付け、支持部材の剥離、膜の形成の少なくともいずれかを実施することができる。

【0025】

処理ユニット１４０が収容ユニットである場合、搬送システム１の搬送対象の種々の物品２００、すなわち、ワーク２０１、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等、切削ブレードや研削ホイール等のワーク２０１を加工する加工工具、ドレッシングボードやプリカットボード、ダミーワーク、粘着テープ、カーボン片等のワーク２０１の加工に使用する消耗品、ワーク処理装置１００を清掃する清掃用具、ワーク処理装置１００をメンテナンスするメンテナンス部品を収容する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が収容ユニットである場合、処理ユニット１４０内で搬送システム１の搬送対象の種々の物品２００を任意のカセットに収容し、筐体１１０の上方の天井１１１の開口１１２を通じて任意のカセットから搬送車１０に搬出及び搬入するいわゆるストッカーである。図１に示す実施形態１の例では、ワーク処理装置１００－２がストッカーである。

【0026】

処理ユニット１４０は、加工ユニットである場合、例えば、切削ブレードが回転可能に装着されるスピンドルを備え、切削ブレードでワーク２０１を切削加工処理する切削加工ユニットや、研削砥石が配置された研削ホイールが回転可能に装着されるスピンドルを備え、研削砥石でワーク２０１を研削加工処理する研削加工ユニット、ワーク２０１にレーザービームを照射するレーザービーム照射器を備え、レーザービームでワーク２０１をレーザー加工処理するレーザー加工ユニット、ワーク２０１にプラズマ化したガスを供給してエッチングするプラズマ加工ユニット、ワーク２０１に粘着テープ等の保護部材を貼着して保護部材設置加工処理をする貼着加工ユニット、ワーク２０１に紫外線を照射する紫外線照射器を備え、ワーク２０１を紫外線照射加工処理する紫外線加工ユニット、等である。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が加工ユニットである場合、ワーク２０１に対して加工処理する加工装置である。図２に示すワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０－１が切削加工ユニットであり、ワーク２０１に対して切削加工処理を実施することができる。

【0027】

処理ユニット１４０は、洗浄ユニットである場合、ワーク２０１に洗浄液や洗浄用のガス等を供給するノズルを備え、ワーク２０１を洗浄処理する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が洗浄ユニットである場合、ワーク２０１に対して洗浄処理する洗浄装置である。図２に示すワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０－２が洗浄ユニットであり、ワーク２０１に対して洗浄処理を実施することができる。

【0028】

処理ユニット１４０は、検査ユニットである場合、ワーク２０１に検査用のレーザービームを照射するレーザービーム照射器や、ワーク２０１に電磁波を照射する電磁波照射器、ワーク２０１に検査用の紫外線を照射する紫外線照射器、ワーク２０１の検査用画像を撮像する撮像器と、照射や撮像の結果に基づいてワーク２０１の検査判定をする検査判定部とを備え、ワーク２０１を検査処理する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が検査ユニットである場合、ワーク２０１に対して検査処理する検査装置である。図２に示すワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０－３が撮像器としての機能を備え、制御部１８０が検査判定部としての機能を備えるので、実質的に検査ユニットを備え、ワーク２０１に対して切削加工処理が正常な範囲内で実行されたか否かを自動的に確認する所謂カーフチェック等の検査処理を実施することができる。

【0029】

処理ユニット１４０は、撮像ユニットである場合、ワーク２０１を撮像する撮像器と、ワーク２０１を移動させて撮像器に対するワーク２０１の位置や向きを変更及び調整するワーク移動器とを備え、ワーク２０１を撮像処理する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が撮像ユニットである場合、ワーク２０１に対して撮像処理する撮像装置である。図２に示すワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０－３が撮像ユニットであり、ワーク２０１に対して撮像処理を実施することができる。

【0030】

処理ユニット１４０は、マウンタユニットである場合、ワーク２０１に対して粘着テープなどの支持部材を供給する支持部材供給部と、供給された支持部材をワーク２０１に対して貼り付ける貼り付け部と、ワーク２０１に対して貼り付けられた支持部材を剥離する剥離部とを備え、ワーク２０１に対して、支持部材貼り付け処理、もしくは、支持部材剥離処理を実施する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０がマウンタユニットである場合、ワーク２０１に対して支持部材貼り付け処理、もしくは、支持部材剥離処理をするマウンタ装置である。

【0031】

処理ユニット１４０は、膜形成ユニットである場合、ワーク２０１に対して膜を形成する膜形成部を備え、ワーク２０１に対して膜形成処理を実施する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が膜形成ユニットである場合、ワーク２０１に対して膜形成処理をする膜形成装置である。

【0032】

処理ユニット１４０は、ワーク２０１を加工する加工工具や、ワーク２０１の加工に使用する消耗品等といったワーク２０１以外の物品２００を交換する交換処理を実施する。ワーク処理装置１００は、処理ユニット１４０が交換処理を実施する場合、新規な加工工具や消耗品等が開口１１２より搬入され、処理ユニット１４０の使用済みの加工工具や消耗品等を新規な加工工具や消耗品等に交換し、処理ユニット１４０から取り外された加工工具や消耗品等が開口１１２より搬出される。

【0033】

受信機１６０は、搬送システム１の制御ユニット４０と情報通信可能に接続され、制御ユニット４０から送信された情報を受信し、受信した情報を制御部１８０に出力する。受信機１６０は、実施形態１では、制御ユニット４０と無線で情報通信可能に接続されているが、本発明ではこれに限定されず、制御ユニット４０と有線で情報通信可能に接続されてもよい。受信機１６０が制御ユニット４０から受信する情報は、実施形態１では、例えば、ワーク処理装置１００の処理に関する動作の指令情報や、ワーク処理装置１００内のワーク２０１の搬送状況や搬送履歴、処理状況や処理履歴等の情報の送信を促す要求情報等である。

【0034】

送信機１７０は、制御ユニット４０と情報通信可能に接続され、制御部１８０から出力された情報を制御ユニット４０に送信する。送信機１７０は、実施形態１では、制御ユニット４０と無線で情報通信可能に接続されているが、本発明ではこれに限定されず、制御ユニット４０と有線で情報通信可能に接続されてもよい。送信機１７０が制御ユニット４０に送信する情報は、実施形態１では、例えば、ワーク処理装置１００内のワーク２０１の搬送状況や搬送履歴、処理状況や処理履歴等の情報である。

【0035】

制御部１８０は、ワーク処理装置１００の各構成要素の動作を制御して、物品２００（ワーク２０１）に対する各種処理動作をワーク処理装置１００に実施させるものである。制御部１８０は、搬送ユニット１３０を制御して、カセット載置台１２０に載置されたカセット１３と処理ユニット１４０の所定の位置との間の物品２００（ワーク２０１）の搬送を制御するとともに、搬送ユニット１３０より物品２００（ワーク２０１）の搬送状況や搬送履歴、物品２００（ワーク２０１）の位置の情報等を取得する。制御部１８０は、処理ユニット１４０を制御して、処理ユニット１４０による物品２００（ワーク２０１）の処理を制御するとともに、処理ユニット１４０より物品２００（ワーク２０１）の処理状況や処理履歴、物品２００（ワーク２０１）の位置の情報、チェック条件やチェック結果の情報等を取得する。

【0036】

制御部１８０は、このように、搬送ユニット１３０や処理ユニット１４０から、物品２００（ワーク２０１）の搬送状況や搬送履歴、物品２００（ワーク２０１）の位置の情報、物品２００（ワーク２０１）の処理状況や処理履歴、物品２００（ワーク２０１）の位置の情報、チェック条件やチェック結果の情報等の少なくともいずれかを含むワーク処理装置１００の稼働履歴３２２（図４参照）を取得する。制御部１８０は、さらに、ワーク処理装置１００の稼働履歴３２２と、予め登録されたワーク処理装置１００の位置３２１（図４参照）と、を紐づけて、ワーク処理装置１００の位置３２１とワーク処理装置１００の稼働履歴３２２とを含むワーク処理装置１００の処理情報３２０（図４参照）を生成してもよい。なお、ワーク処理装置１００の位置３２１は、図４では、わかりやすさのため、ワーク処理装置１００の種類を表す「Ａ」、「Ｂ」、「Ｃ」、「Ｄ」、「Ｅ」、「Ｆ」等（図１参照）が付されて表されているが、制御部１８０内では、例えば、ワーク処理装置１００が設置されるルーム１０００に備え付けられたルーム座標系（直交座標系であるＸＹＺ座標や円柱座標系であるＲθＺ座標等）による座標等で処理され、図５での表示に使用される。

【0037】

制御部１８０は、受信機１６０が制御ユニット４０から受信した情報を取得し、制御ユニット４０に送信する情報を送信機１７０に出力する。制御部１８０は、受信機１６０が制御ユニット４０から受信した指令情報に応じた動作をワーク処理装置１００に実施させる。制御部１８０は、受信機１６０が制御ユニット４０から受信した要求情報に応じて、ワーク処理装置１００の稼働履歴３２２を送信機１７０から制御ユニット４０に送信させる。制御部１８０は、制御ユニット４０からの要求情報を受信していない場合でも、自発的にワーク処理装置１００の稼働履歴３２２を送信機１７０から制御ユニット４０に送信させることもできる。

【0038】

ここで、搬送ユニット１３０より取得する物品２００（ワーク２０１）の搬送状況や搬送履歴、物品２００（ワーク２０１）の位置の情報は、物品２００（ワーク２０１）の種類と、当該種類の物品２００（ワーク２０１）が搬入及び搬出されたワーク処理装置１００の種類が、当該ワーク処理装置１００に搬入及び搬出された日時（時刻）と紐付けられたものである。なお、ワーク処理装置１００の種類は、各ワーク処理装置１００を区別する情報のことを指し、例えば、ワーク処理装置１００の実施する処理の種類や、ワーク処理装置１００毎に設けられた識別番号である。

【0039】

また、ワーク処理装置１００の処理状況は、例えば、処理中のワーク処理装置１００の種類、ワーク処理装置１００の筐体１１０内に搬入した物品２００（ワーク２０１）、ワーク処理装置１００の筐体１１０内にあるワーク２０１の位置情報を含む搬送状況、ワーク２０１に対する処理ユニット１４０による処理状況、処理中の処理ユニット１４０や処理中及び処理後のワーク２０１に発生したエラーに関するエラー状況、ワーク処理装置１００の筐体１１０内にあるワーク２０１を加工する加工工具やワーク２０１の加工に使用する消耗品等の位置情報を含む搬送状況や処理ユニット１４０における交換処理状況などである。

【0040】

また、ワーク処理装置１００の処理履歴は、ワーク処理装置１００で処理した物品２００（ワーク２０１）毎の、処理したワーク処理装置１００の種類、ワーク処理装置１００の筐体１１０内で実施した物品２００（ワーク２０１）の搬送履歴や処理履歴、エラー履歴、交換処理履歴のことであり、具体的には、物品２００（ワーク２０１）毎に、ワーク処理装置１００の筐体１１０内での搬送処理した旨の情報や搬送処理されていた際の位置情報の履歴、処理した旨の情報や処理した際の処理条件や処理の際に得られた処理データの履歴、処理中の処理ユニット１４０や処理中及び処理後のワーク２０１に発生したエラーに関するエラー履歴、交換処理した旨の情報や交換処理した際の交換処理条件や交換処理の際に得られた交換処理データの履歴が、それらの処理が実施された日時（時刻）及び当該物品２００（ワーク２０１）の種類と紐付けられたものである。

【0041】

制御部１８０は、実施形態１では、コンピュータシステムを含む。制御部１８０が含むコンピュータシステムは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御部１８０の演算処理装置は、制御部１８０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、ワーク処理装置１００を制御するための制御信号を、制御部１８０の入出力インターフェース装置を介してワーク処理装置１００の各構成要素に出力する。

【0042】

搬送車１０は、自動搬送車（Automated Guided Vehicle、ＡＧＶ）であり、図３に示すように、フレーム１１と、車輪１２と、カセット１３と、昇降ユニット１４と、パーティクルカウンタ１５と、撮像部１６と、受信機１７と、送信機１８と、制御部１９と、ノズル２７と、タンク２８と、乾燥ユニット２９と、を有する。

【0043】

フレーム１１は、矩形状に形成されており、カセット１３を収容可能で下方側に開放された凹部１１－１が形成されている。車輪１２は、フレーム１１の互いに平行な一対の側面に、それぞれ複数個（図２及び図３に示す例では２個）、この一対の側面に対して直交する軸心周りに互いに独立して回転自在に設けられている。車輪１２は、外周面が走行路２０の通路領域２１または受け渡し領域２２に接触する。車輪１２は、それぞれ不図示のモーター等に接続されており、モーター等により軸心周りの回転動作が加えられて、走行路２０の通路領域２１上または受け渡し領域２２上を走行する。車輪１２は、実施形態１では、例えば、傾斜した樽状（筒状）の複数の回転体が外周面に取り付けられたメカナムホイールが使用される。

【0044】

カセット１３は、矩形状に形成されており、内部に物品２００（ワーク２０１）を収容する。カセット１３は、互いに平行な一対の側面に、物品２００（ワーク２０１）が通過可能な大きさ及び形状の開口が形成されている。カセット１３は、開口から物品２００（ワーク２０１）が取り出され、開口から物品２００（ワーク２０１）が収容される。

【0045】

昇降ユニット１４は、フレーム１１内の凹部１１－１の上方に設けられている。昇降ユニット１４は、図３に示すように、カセット１３及びカセット１３に収容した物品２００（ワーク２０１）を、ワーク処理装置１００のカセット載置台１２０に対して昇降させる。昇降ユニット１４は、カセット１３及びカセット１３に収容した物品２００（ワーク２０１）を、搬送車１０のフレーム１１の凹部１１－１に収容された車内位置と、ワーク処理装置１００の筐体１１０の内部の、カセット載置台１２０の載置領域１２１に着地した着地位置との間で、走行路２０の開口２４及びワーク処理装置１００の開口１１２を通して、昇降移動させる。

【0046】

パーティクルカウンタ１５は、図３に示すように、フレーム１１の上面に設けられており、パーティクルカウンタ１５の周囲の空気中に含まれる微粒子（パーティクル）の数（濃度）を数えて（カウントして）測定して、この測定した内容を制御部１９に出力する。パーティクルカウンタ１５は、実施形態１では、設置された搬送車１０が走行するルーム１０００内における位置の空気中の微粒子の数を測定する。パーティクルカウンタ１５は、実施形態１では、例えば、光散乱方式のものが使用され、インレットノズルから周囲の空気を取り込み、取り込んだ空気にレーザー光線を照射し、空気中に含まれる微粒子に当該レーザー光線が当たって発生する散乱光をフォトダイオードで検出して電気信号に変換し、当該電気信号（電気パルス）の大きさに基づき空気中に含まれる微粒子の大きさを計測するとともに、当該電気信号の数で空気中に含まれる微粒子の数をカウントし、空気中に含まれる微粒子の大きさ及び数をパーティクルカウンタ１５の測定内容として取得する。

【0047】

撮像部１６は、図３に示すように、フレーム１１に、搬送車１０が走行する走行路２０と鉛直方向に沿って対向するように装着されており、搬送車１０の下方を撮像する。撮像部１６は、搬送車１０の下方の走行路２０に複数種類設けられた不図示のマークを撮像して検出することで、搬送車１０の走行路２０上の位置を検出し、検出した搬送車１０の走行路２０上の位置を制御部１９に出力する。

【0048】

撮像部１６は、搬送車１０が受け渡し領域２２に停止する際に、カセット載置台１２０を上方から撮像して、停止位置を決めるための基準となる画像を取得して、制御部１９に出力する。また、撮像部１６は、カセット載置台１２０に対して昇降するカセット１３を、走行路２０の開口２４及びワーク処理装置１００の開口１１２を通して、上方から撮像することで、カセット１３がカセット載置台１２０のガイド１２２によって載置領域１２１に位置決めされる前と後との画像を取得して、制御部１９に出力する。撮像部１６は、上方からカセット１３の全体を撮像視野内に収められる程度に視野角が広いことが好ましい。

【0049】

また、撮像部１６は、搬送車１０の下方の走行路２０の部分を撮像して、走行路２０の当該部分の画像を取得して、制御部１９に出力する。撮像部１６は、このような走行路２０の部分の画像を撮像することにより、走行路２０の当該部分に付着した異物を検出するセンサとしても機能する。

【0050】

なお、搬送車１０は、実施形態１では、撮像部１６によって搬送車１０の走行路２０上の位置や走行路２０に付着した異物を検出するが、本発明ではこれに限定されず、例えば、投光部から走行路２０のマークに光を照射して、走行路２０のマークからの反射光を検出する光電センサを更に有し、光電センサにより、反射光を検出することにより走行路２０のマークを検出して搬送車１０の走行路２０上の位置を検出し、マークからの光の反射量の変化により走行路２０に付着した異物を検出してもよい。

【0051】

撮像部１６は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子等の撮像素子を備えている。撮像部１６は、例えば、赤外線カメラや可視光線カメラである。撮像部１６は、本発明では、実施形態１のように１つ備える形態に限定されず、複数備えてもよい。

【0052】

搬送車１０は、最初に搬送システム１の走行路２０上にセットされる際、セットした場所と搬送車１０の種類とが制御部１９や制御ユニット４０に登録される。搬送車１０の種類は、例えば、図４及び図５に示すように、「ａ」、「ｂ」、「ｃ」、「ｄ」、「ｅ」等で表される。搬送車１０は、セットされた後、実施形態１では、上記したように、撮像部１６や光電センサにより、搬送車１０の走行路２０上の位置を検出する。なお、搬送車１０は、本発明ではこの構成に限定されず、例えば、この構成に代えて、ラインセンサによって不図示のマークを検出する構成や、走行路２０上に設置した複数のセンサにより搬送車１０の位置を検出する構成でも良く、搬送車１０をＧＰＳ（Global Positioning System）と無線で情報通信可能に接続し、ＧＰＳを利用して搬送車１０の位置を取得する構成でも良く、どのような形で搬送車１０の位置を取得可能な構成としてもよい。

【0053】

受信機１７は、制御ユニット４０と情報通信可能に接続され、制御ユニット４０から送信された情報を受信し、受信した情報を制御部１９に出力する。受信機１７は、実施形態１では、制御ユニット４０と無線で情報通信可能に接続されているが、本発明ではこれに限定されず、制御ユニット４０と有線で情報通信可能に接続されてもよい。受信機１７が制御ユニット４０から受信する情報は、実施形態１では、例えば、搬送車１０の走行やカセット１３の昇降に関する動作の指令情報や、搬送車１０の位置やカセット１３の位置を含む搬送車１０の搬送状況や搬送履歴、パーティクルカウンタ１５の測定結果３１４、撮像部１６により撮像した画像の送信を促す要求情報等である。

【0054】

送信機１８は、制御ユニット４０と情報通信可能に接続され、制御部１９から出力された情報を制御ユニット４０に送信する。送信機１８は、実施形態１では、制御ユニット４０と無線で情報通信可能に接続されているが、本発明ではこれに限定されず、制御ユニット４０と有線で情報通信可能に接続されてもよい。送信機１８が制御ユニット４０に送信する情報は、実施形態１では、例えば、搬送車１０の搬送状況や搬送履歴の情報、パーティクルカウンタ１５の測定情報３１０、撮像部１６により撮像した画像である。

【0055】

制御部１９は、搬送車１０の各構成要素の動作を制御して、搬送車１０の走行やカセット１３の昇降に関する動作を搬送車１０に実施させるものである。制御部１９は、車輪１２に接続された不図示のモーターや、車輪１２の角度等を制御することで、搬送車１０の走行を制御する。制御部１９は、昇降ユニット１４の不図示のモーターを制御することで、カセット１３の昇降移動を制御する。

【0056】

制御部１９は、パーティクルカウンタ１５を制御して、パーティクルカウンタ１５で空気中の微粒子の数を測定するとともに、パーティクルカウンタ１５の測定内容を取得し、当該測定内容に基づいて、当該測定内容が制御部１９に予め登録された微粒子に関する条件を満たしている場合、微粒子が十分に少ない状態であり良好である旨の「ＯＫ」とのパーティクルカウンタ１５の測定結果３１４（図４参照）を生成して記録し、当該測定内容が制御部１９に予め登録された微粒子に関する条件を満たしていない場合、微粒子が十分に少ない状態ではなく不良である旨の「ＮＧ」とのパーティクルカウンタ１５の測定結果３１４を生成して記録する。ここで、制御部１９に予め登録された微粒子に関する条件は、例えば、所定の範囲内の大きさの微粒子が所定の数以下であるか否かというものである。

【0057】

制御部１９は、撮像部１６を制御して、走行路２０の画像を撮像して取得するとともに、走行路２０の画像に基づいて、搬送車１０の走行路２０上の位置を取得する。制御部１９は、搬送車１０の走行路２０上の位置の情報と、搬送車１０が搬送する物品２００（ワーク２０１）の種類の情報とに基づいて、搬送車１０の搬送状況や搬送履歴の情報を生成する。

【0058】

制御部１９は、また、パーティクルカウンタ１５で空気中の微粒子の数を測定したタイミングで、このパーティクルカウンタ１５が設けられた搬送車１０の撮像部１６で走行路２０の画像を撮像し、この走行路２０の画像に基づいて、パーティクルカウンタ１５で空気中の微粒子の数を測定したときの搬送車１０の走行路２０上の位置を算出し、この算出した位置を、パーティクルカウンタ１５で空気中の微粒子の数を測定したルーム１０００内における測定位置３１２（図４参照）として取得する。制御部１９は、パーティクルカウンタ１５で空気中の微粒子の数を測定した日時（時刻）である測定日時３１１（図４参照）と、上記のようにして取得した、当該測定日時３１１でのパーティクルカウンタ１５で測定した測定位置３１２と、当該測定日時３１１での測定をしたパーティクルカウンタ１５が設けられた搬送車１０の種類３１３（図４参照）と、当該測定日時３１１での測定により得たパーティクルカウンタ１５の測定結果３１４とを互いに紐付けて、パーティクルカウンタ１５の測定情報３１０（図４参照）を取得する。パーティクルカウンタ１５の測定情報３１０は、このように、パーティクルカウンタ１５で空気中の微粒子の数を測定した測定日時３１１と、測定位置３１２と、搬送車１０の種類３１３と、測定結果３１４と、を含む。

【0059】

制御部１９は、受信機１７が制御ユニット４０から受信した情報を取得し、制御ユニット４０に送信する情報を送信機１８に出力する。制御部１９は、受信機１７が制御ユニット４０から受信した指令情報に応じた動作を搬送車１０に実施させる。制御部１９は、受信機１７が制御ユニット４０から受信した要求情報に応じて、搬送車１０の搬送状況や搬送履歴の情報、パーティクルカウンタ１５の測定情報３１０、撮像部１６により撮像した画像を、送信機１８から制御ユニット４０に送信させる。制御部１９は、制御ユニット４０からの要求情報を受信していない場合でも、自発的に搬送車１０の搬送状況や搬送履歴の情報、パーティクルカウンタ１５の測定情報３１０、撮像部１６により撮像した画像を、送信機１８から制御ユニット４０に送信させることもできる。

【0060】

ここで、搬送車１０の搬送状況は、例えば、搬送中の物品２００（ワーク２０１）、搬送中の搬送車１０の種類、当該搬送車１０が搬送中の走行路２０の種類及び当該走行路２０上の位置、搬送速度、搬送中の搬送車１０や搬送中及び搬送後のワーク２０１に発生したエラーに関するエラー状況などである。また、搬送車１０の搬送履歴は、搬送した物品２００（ワーク２０１）毎の、搬送した搬送車１０の種類、当該搬送車１０が搬送した走行路２０の種類の履歴、当該走行路２０上の位置の通過履歴、搬送速度の履歴、搬送中の搬送車１０や搬送中及び搬送後のワーク２０１に発生したエラーに関するエラー履歴が、それらの搬送が実施された時刻及び当該物品２００（ワーク２０１）の種類と関連付けられたものである。

【0061】

制御部１９は、実施形態１では、前述した制御部１８０と同様のコンピュータシステムを含む。制御部１９の演算処理装置は、制御部１９の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、搬送車１０を制御するための制御信号を、制御部１９の入出力インターフェース装置を介して搬送車１０の各構成要素に出力する。

【0062】

ノズル２７は、図３に示すように、フレーム１１に、搬送車１０が走行する走行路２０に向けて装着されており、走行路２０に純水または界面活性材を含む純水からなる洗浄液を供給する。ノズル２７は、タンク２８と接続、連通されており、タンク２８からタンク２８に溜められた洗浄液が供給される。ノズル２７は、制御部１９により制御され、例えば撮像部１６が走行路２０に付着した異物を検出した場合に、制御部１９からの指令に従って、走行路２０の当該異物が検出された位置を含む所定の範囲の領域に、タンク２８から供給された洗浄液を供給する。

【0063】

タンク２８は、図３に示すように、フレーム１１に装着されており、洗浄液が溜められ、溜められた洗浄液をノズル２７に供給する。タンク２８は、洗浄液の残量が少なくなった場合等に、ワーク処理装置１００の走行路洗浄補充ユニットから洗浄液が補充される。

【0064】

乾燥ユニット２９は、図３に示すように、フレーム１１に、搬送車１０が走行する走行路２０に向けて装着されている。乾燥ユニット２９は、制御部１９により制御され、例えば撮像部１６が走行路２０に付着した異物を検出した場合に、ノズル２７から洗浄液が供給された後、制御部１９からの指令に従って、ノズル２７から走行路２０に向けて供給された洗浄液を走行路２０から除去する。乾燥ユニット２９は、例えば、不織布やスポンジ等であり、ノズル２７から走行路２０に向けて供給された洗浄液を拭き取る。乾燥ユニット２９は、洗浄液を十分に除去した場合や汚損した場合等に、ワーク処理装置１００の走行路洗浄補充ユニットで交換される。

【0065】

制御部１９は、センサとして機能する撮像部１６によって走行路２０に付着した異物を検出すると、ノズル２７から洗浄液を走行路２０の当該異物が検出された位置を含む所定の範囲の領域に供給し、乾燥ユニット２９により、ノズル２７から走行路２０に向けて供給された洗浄液を走行路２０から除去する。

【0066】

また、制御部１９は、センサとして機能する撮像部１６によって走行路２０に付着した異物を検出した際に、上記のノズル２７及び乾燥ユニット２９による異物の除去に代えて、同様の異物除去（お掃除）機能を持つ異物除去（お掃除）ロボットを、走行路２０の当該異物が検出された位置を含む所定の範囲の領域を走らせることで、当該異物を除去するように促す報知をしてもよい。

【0067】

また、搬送車１０は、ノズル２７、タンク２８及び乾燥ユニット２９に加えてさらに、もしくはノズル２７、タンク２８及び乾燥ユニット２９に代えて、走行路２０に向けて吸引力を発生させるファンと、走行路２０から吸引した異物を回収するフィルタと、異物が回収された後の吸引したエアを排気する排気口と、を備え、制御部１９が、センサとして機能する撮像部１６によって走行路２０に付着した異物を検出した際に、当該ファンにより走行路２０の当該異物が検出された位置を含む所定の範囲の領域に吸引力を発生させ、当該フィルタにより当該異物を回収することにより、当該異物を除去してもよい。なお、搬送車１０は、ノズル２７、タンク２８及び乾燥ユニット２９を含む洗浄機構と、ファン、フィルタ及び排気口を含む掃除機構とを両方備えていてもよい。

【0068】

搬送システム１の走行路２０は、図２に示すように、通路領域２１と、受け渡し領域２２と、ガイド部２３とを備える。通路領域２１は、複数のワーク処理装置１００の筐体１１０の上方に跨って配設されている。受け渡し領域２２は、ワーク処理装置１００ごとに筐体１１０の上方に通路領域２１に隣接して１箇所ずつ配設されている。受け渡し領域２２には、筐体１１０の開口１１２の直上に、搬送車１０のフレーム１１が通過不可能であり、なおかつ、カセット１３が通過可能な大きさ及び形状の開口２４が形成されている。

【0069】

ガイド部２３は、通路領域２１及び受け渡し領域２２の幅方向の両側端に配設されている。ガイド部２３は、搬送車１０の車輪１２よりも高く形成されており、これにより、搬送車１０がガイド部２３を乗り越えて通路領域２１及び受け渡し領域２２から脱落することを防止する。

【0070】

表示ユニット３０は、制御ユニット４０と情報通信可能に接続され、制御ユニット４０からの指令に基づいて、搬送システム１の搬送対象の物品２００（ワーク２０１）に関する履歴情報の画面、例えば、当該物品２００（ワーク２０１）に関するワーク処理装置１００の処理状況や処理履歴、搬送車１０の搬送状況や搬送履歴等の様々な情報の画面や、ワーク処理装置１００の位置３２１とワーク処理装置１００の稼働履歴３２２とを含むワーク処理装置１００の処理情報３２０に関する画面、パーティクルカウンタ１５の測定情報３１０に関する画面等をオペレータに視認可能に表示する。

【0071】

表示ユニット３０は、液晶表示装置等により構成される。表示ユニット３０は、オペレータが搬送システム１の上記の画面の表示に関する情報等を入力する際に使用する入力ユニットが設けられている。表示ユニット３０に設けられた入力ユニットは、表示ユニット３０に設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。なお、表示ユニット３０は、走行路２０の設置領域付近に固定されている形態に限定されず、任意の通信機器に備えられ、任意の通信機器が無線または有線により制御ユニット４０と接続されてもよい。

【0072】

制御ユニット４０は、各ワーク処理装置１００の受信機１６０及び送信機１７０と情報通信可能に接続されており、搬送車１０の受信機１７及び送信機１８と情報通信可能に接続されている。制御ユニット４０は、受信機１６０，１７に指令情報を送信することで、制御部１８０，１９を介して各ワーク処理装置１００及び搬送車１０を遠隔で制御して動作させることができる。また、制御ユニット４０は、送信機１７０から各ワーク処理装置１００の処理状況や処理履歴の情報、ワーク処理装置１００の処理情報３２０を受信して把握することができ、送信機１８から各搬送車１０の搬送状況や搬送履歴の情報、パーティクルカウンタ１５の測定情報３１０を受信して把握することができる。このように、制御ユニット４０は、搬送システム１の構成要素である各ワーク処理装置１００及び搬送車１０を統括的に制御して動作させることができる。また、制御ユニット４０は、各搬送車１０から受信する様々な情報（データ）と、各ワーク処理装置１００から受信する様々な情報（データ）と、をまとめて管理するサーバーとして機能する。

【0073】

図４は、図１の搬送システム１の制御ユニット４０が取り扱うパーティクル管理情報３００の一例を示す図である。制御ユニット４０は、図１に示すように、測定部４１と、第１記録部４２と、第２記録部４３と、データ紐付け部４４と、表示制御部４５と、を有する。測定部４１は、走行路２０を走行中の各搬送車１０の制御部１９を介して、走行路２０の任意の位置で各搬送車１０のパーティクルカウンタ１５に空気中の微粒子の数を測定させて、図４に示すような、各パーティクルカウンタ１５の測定情報３１０を取得する。第１記録部４２は、測定部４１が取得した各パーティクルカウンタ１５の測定情報３１０を記録する。

【0074】

なお、測定部４１及び第１記録部４２は、各搬送車１０の制御部１９の代わりに、各パーティクルカウンタ１５で空気中の微粒子の数を測定した日時（時刻）である測定日時３１１と、当該測定日時３１１での当該パーティクルカウンタ１５で測定したルーム１０００内における測定位置３１２と、当該測定日時３１１での測定をした当該パーティクルカウンタ１５が設けられた搬送車１０の種類３１３と、当該測定日時３１１での測定により得た当該パーティクルカウンタ１５の測定結果３１４とを互いに紐付けて、パーティクルカウンタ１５の測定情報３１０を取得する処理を実行してもよい。

【0075】

第２記録部４３は、各ワーク処理装置１００の制御部１８０を介して、図４に示すような、各ワーク処理装置１００の処理情報３２０を取得して記録する。なお、第２記録部４３は、各ワーク処理装置１００の制御部１８０の代わりに、予め登録された各ワーク処理装置１００の位置３２１と、各ワーク処理装置１００の稼働履歴３２２と、を紐づけて、各ワーク処理装置１００の処理情報３２０を生成する処理を実行してもよい。

【0076】

データ紐付け部４４は、図４に示すように、パーティクルカウンタ１５の測定日時３１１と、測定日時３１１においてそれぞれのワーク処理装置１００が何を実施していたかを示す稼働履歴３２２と、を紐付けるデータ紐付け処理を実施して、図４に示すような、パーティクルカウンタ１５の測定情報３１０とワーク処理装置１００の処理情報３２０とを含むパーティクル管理情報３００を生成して、パーティクル管理情報３００を記録する。

【0077】

表示制御部４５は、データ紐付け部４４によって記録されたパーティクル管理情報３００を、図４に示すような表にして、表示ユニット３０に表示させることができる。表示制御部４５は、パーティクル管理情報３００の表の横に、パーティクル管理情報３００の表に表示させる項目の条件の入力を受け付ける条件入力部を表示させてもよい。ここで、この条件入力部で入力を受け付ける、パーティクル管理情報３００の表に表示させる項目の条件は、例えば、測定日時３１１の範囲の限定、ルーム１０００内における測定位置３１２の範囲の限定、搬送車１０の種類３１３の限定、測定結果３１４の種類（ＯＫまたはＮＧ）の限定等であり、パーティクルカウンタ１５の測定情報３１０やパーティクル管理情報３００のパーティクルカウンタ１５の測定情報３１０の部分に基づいて、表示制御部４５により生成される。

【0078】

図５は、図１の搬送システム１の表示ユニット３０が表示する表示画面４０１の一例を示す図である。表示制御部４５は、走行路２０と、ルーム１０００内におけるパーティクルカウンタ１５の測定位置３１２と、ワーク処理装置１００の位置３２１と、を紐付けて同一のマップ上に表示する図５に示すような表示画面４０１を生成し、表示画面４０１を表示ユニット３０に表示させる。

【0079】

表示制御部４５は、具体的には、まず、予め記憶された各ワーク処理装置１００を簡易的に表す画像と、走行路２０を簡易的に表す画像と、各ワーク処理装置１００の位置３２１と、走行路２０の設置された位置と、の各情報に基づいて、各ワーク処理装置１００を簡易的に表す画像を各ワーク処理装置１００の位置３２１に対応する画像内の所定の位置に配置し、走行路２０を簡易的に表す画像を走行路２０の設置された位置に対応する画像内の所定の位置に配置して、搬送システム１の基本マップ画像４１１（図５参照）を生成する。

【0080】

表示制御部４５は、次に、搬送システム１の基本マップ画像４１１の横（図５に示す例では左側）に、搬送システム１の基本マップ画像４１１に重ねて表示させる測定結果３１４の条件の入力を受け付ける条件入力部４１２（図５参照）を表示させる。ここで、条件入力部４１２で入力を受け付ける、搬送システム１の基本マップ画像４１１に重ねて表示させる測定結果３１４の条件は、上記のパーティクル管理情報３００の表に表示させる項目の条件と同様であり、例えば、測定日時３１１の範囲の限定、ルーム１０００内における測定位置３１２の範囲の限定、搬送車１０の種類３１３の限定、測定結果３１４の種類（ＯＫまたはＮＧ）の限定等であり、パーティクルカウンタ１５の測定情報３１０やパーティクル管理情報３００のパーティクルカウンタ１５の測定情報３１０の部分に基づいて、表示制御部４５により生成される。

【0081】

表示制御部４５は、搬送システム１の基本マップ画像４１１と条件入力部４１２とを含む画面を表示ユニット３０に表示させた後、オペレータから、この画面の条件入力部４１２からの搬送システム１の基本マップ画像４１１に重ねて表示させる測定結果３１４の条件の入力を受け付けると、オペレータにより入力を受け付けた条件に従うパーティクルカウンタ１５の各測定位置３１２に、当該各測定位置３１２で実施した測定結果３１４の表示を重ねることにより、表示画面４０１を生成して表示ユニット３０に表示させる。

【0082】

表示制御部４５では、例えば、良好である旨の「ＯＫ」である測定結果３１４と、不良である旨の「ＮＧ」である測定結果３１４とを、異なる色彩を付して表示させることにより、オペレータに明瞭に区別して視認可能に表示しているが、本発明ではこれに限定されず、両者が明瞭に区別して視認可能であれば、そのような表示形態でもよい。表示制御部４５では、図５に示す実施形態１の例では、不良である旨の「ＮＧ」である測定結果３１４を、良好である旨の「ＯＫ」である測定結果３１４よりも目立つ鮮やかな色彩を付して表示させる。

【0083】

表示制御部４５は、表示画面４０１において、例えば図５に示すように、ワーク処理装置１００の装置Ｆの付近に不良である旨の「ＮＧ」の測定結果３１４を、多くもしくは偏って表示している場合、この表示により、ワーク処理装置１００の装置Ｆの付近に微粒子が発生する要因が起きている可能性が高い旨をオペレータに好適に認識させることができる。

【0084】

制御ユニット４０は、また、各搬送車１０の制御部１９を制御して、制御部１９の代わりに、センサとして機能する撮像部１６によって走行路２０に付着した異物を検出し、検出した際に、ノズル２７から洗浄液を走行路２０の当該異物が検出された位置を含む所定の範囲の領域に供給し、乾燥ユニット２９により、ノズル２７から走行路２０に向けて供給された洗浄液を走行路２０から除去する処理を実施してもよい。

【0085】

制御ユニット４０は、また、各搬送車１０の制御部１９を制御して、制御部１９の代わりに、センサとして機能する撮像部１６によって走行路２０に付着した異物を検出した際に、上記のノズル２７及び乾燥ユニット２９による異物の除去に代えて、同様の異物除去（お掃除）機能を持つ異物除去（お掃除）ロボットを、走行路２０の当該異物が検出された位置を含む所定の範囲の領域を走らせることで、当該異物を除去するように促す報知をしてもよい。

【0086】

制御ユニット４０は、また、各搬送車１０の制御部１９を制御して、制御部１９の代わりに、センサとして機能する撮像部１６によって走行路２０に付着した異物を検出した際に、ファンにより走行路２０の当該異物が検出された位置を含む所定の範囲の領域に吸引力を発生させ、フィルタにより当該異物を回収することにより、当該異物を除去してもよい。

【0087】

制御ユニット４０は、実施形態１では、制御部１８０，１９と同様のコンピュータシステムを含む。制御ユニット４０の演算処理装置は、制御ユニット４０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、搬送システム１を制御するための制御信号を、制御ユニット４０の入出力インターフェース装置を介して搬送システム１の各構成要素に出力する。

【0088】

測定部４１及び表示制御部４５の各機能は、実施形態１では、制御ユニット４０の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムを実行することにより実現される。第１記録部４２、第２記録部４３及びデータ紐付け部４４の各機能は、実施形態１では、制御ユニット４０の記憶装置により実現される。

【0089】

以上のような構成を有する実施形態１に係る搬送システム１は、搬送車１０に設けたパーティクルカウンタ１５により、搬送車１０が走行路２０を走行中に、搬送車１０が走行する走行路２０上の如何なる場所においても、オペレータの手を介することなく、自動で、パーティクルカウンタ１５が設けられた搬送車１０が走行するルーム１０００内における位置の空気中の微粒子の数を測定できる。このため、実施形態１に係る搬送システム１は、ワーク処理装置１００が設置されるルーム１０００内をパーティクルカウンタ１５により測定する際に、オペレータによる作業を低減し、かつ、測定位置３１２を柔軟に変更できるという作用効果を奏する。

【0090】

また、実施形態１に係る搬送システム１は、制御ユニット４０のデータ紐付け部４４が、ワーク処理装置１００の稼働履歴３２２と、ルーム１０００内におけるパーティクルカウンタ１５の測定位置３１２とを紐付けて記録するので、より容易に、微粒子の発生の原因となるワーク処理装置１００や処理内容を追求できる。

【0091】

実施形態１に係る搬送システム１は、さらに、制御ユニット４０が、パーティクルカウンタ１５による微粒子の測定結果３１４に基づいて、米国連邦規格ＦＥＤ－ＳＴＤ－２０９や国際規格ＩＳＯ１４６４４－１規格で規定されたいわゆるクリーン度を算出できる。このため、実施形態１に係る搬送システム１は、サーバーとして機能する制御ユニット４０が、ワーク処理装置１００が設置されるルーム１０００内のクリーン度を、搬送車１０に設けたパーティクルカウンタ１５に自動で微粒子の測定を行って算出しつつ、オペレータだけでなく管理者にも視覚的に容易に認識可能に表示して速やかに共有するいわゆる見える化をすることにより、クリーン度を容易かつ明瞭に管理することを可能にし、搬送システム１の使用者によるクリーン度に対する高い品質管理の要求に応えることができる。

【0092】

また、実施形態１に係る搬送システム１は、制御ユニット４０の表示制御部４５が、走行路２０と、ルーム１０００内におけるパーティクルカウンタ１５の測定位置３１２と、ワーク処理装置１００の位置３２１と、を紐付けて同一のマップ上に表示するので、オペレータにとってより視覚的にわかりやすく、微粒子の発生の原因となるワーク処理装置１００や処理内容を追求できる。

【0093】

また、実施形態１に係る搬送システム１は、パーティクルカウンタ１５が、各搬送車１０のフレーム１１の上面に設けられており、ワーク処理装置１００が設置されるルーム１０００内の空気中の微粒子の数を測定する。これにより、実施形態１に係る搬送システム１は、より具体的に、ワーク処理装置１００が設置されるルーム１０００内をパーティクルカウンタ１５により測定する際に、オペレータによる作業を低減し、かつ、測定位置３１２を柔軟に変更できることを実現できるものとなる。

【0094】

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る搬送システム１－２を図面に基づいて説明する。図６は、実施形態２に係る搬送システム１－２の構成例を示す側断面図である。図６は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0095】

実施形態２に係る搬送システム１－２は、図６に示すように、実施形態１に係る搬送システム１の各搬送車１０において、パーティクルカウンタ１５に代えて、パーティクルカウンタ１５－２を備えるように変更したものであり、その他の構成は実施形態１と同様である。

【0096】

パーティクルカウンタ１５－２は、各搬送車１０のカセット１３内に設けられている。実施形態２のパーティクルカウンタ１５－２は、実施形態１のパーティクルカウンタ１５において、設けられている場所を変更したものであり、その他の構成は実施形態１のパーティクルカウンタ１５と同様である。実施形態１のパーティクルカウンタ１５が、設置された搬送車１０が走行するルーム１０００内における位置の空気中の微粒子の数を測定するのに対し、実施形態２のパーティクルカウンタ１５－２は、設置された搬送車１０のカセット１３内の空気中の微粒子の数を測定する。

【0097】

実施形態２では、制御部１９は、パーティクルカウンタ１５－２で空気中の微粒子の数を測定したタイミングで、このパーティクルカウンタ１５－２が設けられた搬送車１０の撮像部１６で走行路２０の画像を撮像し、この走行路２０の画像に基づいて、パーティクルカウンタ１５－２で空気中の微粒子の数を測定したときの搬送車１０の走行路２０上の位置を算出し、この算出した位置を、パーティクルカウンタ１５－２でこのパーティクルカウンタ１５－２が設けられた搬送車１０のカセット１３内の空気中の微粒子の数を測定した測定位置３１２として取得する。測定位置３１２は、実施形態１では、パーティクルカウンタ１５で空気中の微粒子の数を測定したルーム１０００内における位置であるのに対し、実施形態２では、パーティクルカウンタ１５－２でこのパーティクルカウンタ１５－２が設けられた搬送車１０のカセット１３内の空気中の微粒子の数を測定した位置に変更される。

【0098】

実施形態２の測定位置３１２は、実施形態１と同様の処理が行われて、実施形態１と同様に、表示制御部４５により、データ紐付け部４４によって記録されたパーティクル管理情報３００を、図４に示すような表にして、表示ユニット３０に表示させることに使用される。また、実施形態２の測定位置３１２は、実施形態１と同様の処理が行われて、走行路２０と、ワーク処理装置１００の位置３２１と、が紐付けられて同一のマップ上に表示する図５に示すような表示画面４０１の生成、及び、表示画面４０１を表示ユニット３０に表示させることに使用される。

【0099】

以上のような構成を有する実施形態２に係る搬送システム１－２は、搬送車１０に設けたパーティクルカウンタ１５－２により、搬送車１０が走行路２０を走行中に、搬送車１０が走行する走行路２０上の如何なる場所においても、オペレータの手を介することなく、自動で、パーティクルカウンタ１５－２が設けられた搬送車１０のカセット１３内の空気中の微粒子の数を測定できる。このため、実施形態２に係る搬送システム１－２は、ワーク処理装置１００が設置されるルーム１０００内を走行する搬送車１０のカセット１３内をパーティクルカウンタ１５－２により測定する際に、オペレータによる作業を低減し、かつ、測定位置３１２を柔軟に変更できるという作用効果を奏する。

【0100】

また、実施形態２に係る搬送システム１－２は、パーティクルカウンタ１５－２が、各搬送車１０のカセット１３内に設けられており、ワーク処理装置１００が設置されるルーム１０００内を走行する搬送車１０のカセット１３内の空気中の微粒子の数を測定する。これにより、実施形態２に係る搬送システム１－２は、より具体的に、ワーク処理装置１００が設置されるルーム１０００内を走行する搬送車１０のカセット１３内をパーティクルカウンタ１５－２により測定する際に、オペレータによる作業を低減し、かつ、測定位置３１２を柔軟に変更できることを実現できるものとなる。

【0101】

なお、本発明に係る搬送システムは、上記の実施形態１，２に係る搬送システム１，１－２に限定されず、実施形態１，２に係る搬送システム１，１－２のそれぞれにおいて、複数台の搬送車１０を、実施形態１のパーティクルカウンタ１５が設置された搬送車１０と、実施形態２のパーティクルカウンタ１５－２が設置された搬送車１０と、を含むように変更し、実施形態１のパーティクルカウンタ１５が設置された搬送車１０により、ワーク処理装置１００が設置されるルーム１０００内の空気中の微粒子の数を測定し、実施形態２のパーティクルカウンタ１５－２が設置された搬送車１０により、ワーク処理装置１００が設置されるルーム１０００内を走行する搬送車１０のカセット１３内の空気中の微粒子の数を測定してもよい。

【0102】

なお、前述した実施形態に係るワーク処理装置によれば、以下のワーク処理装置が得られる。
（付記１）
ワーク処理装置と、
該ワーク処理装置に対して物品を搬出入する搬送車と、
該ワーク処理装置の上方に設置され該搬送車が走行する走行路と、
制御ユニットと、
を備える搬送システムであって、
該搬送車は、
該物品を収容するカセットと、
該カセットを該ワーク処理装置のカセット載置台に対して昇降させる昇降ユニットと、
パーティクルカウンタと、を有し、
該制御ユニットは、
該走行路の任意の位置で該パーティクルカウンタに空気中の微粒子の数を測定させる測定部と、
該パーティクルカウンタで測定した日時と、位置と、結果と、含む測定情報を記録する第１記録部と、
該ワーク処理装置の位置と、稼働履歴と、を含む処理情報を記録する第２記録部と、
該パーティクルカウンタの測定日時と、該測定日時においてそれぞれの該ワーク処理装置が何を実施していたかを示す該稼働履歴と、を紐付けるデータ紐付け部と、
を有し、
該搬送車は、
該走行路に付着した異物を検出するセンサと、
洗浄液を該走行路に供給するノズルと、
該洗浄液を該走行路から除去する乾燥ユニットと、をさらに含み、
該制御ユニットは、該センサによって異物を検出すると、該ノズルから該洗浄液を該走行路に供給する事を特徴とする搬送システム。

【0103】

上記の搬送システムは、上記の実施形態に係る搬送システム１，１－２の作用効果と同様の作用効果を奏するとともに、さらに、搬送車１０に設けたセンサ（撮像部１６もしくは光電センサ）により、搬送車１０が走行路２０を走行中に、搬送車１０が走行する走行路２０上の如何なる場所においても、オペレータの手を介することなく、自動で、走行路２０に付着した異物を検出でき、異物を検出した場合に、ノズル２７により洗浄液を走行路２０に供給して、乾燥ユニット２９により洗浄液を走行路２０から除去することができるので、これにより、走行路２０を清浄な状態に維持することができるという作用効果を奏する。

【0104】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0105】

１，１－２ 搬送システム
１０ 搬送車
１３ カセット
１４ 昇降ユニット
１５，１５－２ パーティクルカウンタ
２０ 走行路
３０ 表示ユニット
４０ 制御ユニット
４１ 測定部
４２ 第１記録部
４３ 第２記録部
４４ データ紐付け部
１００，１００－２ ワーク処理装置
１２０ カセット載置台
２００ 物品
２０１ ワーク
３１０ 測定情報
３１１ 測定日時
３１２ 測定位置
３１４ 測定結果
３２０ 処理情報
３２１ 位置
３２２ 稼働履歴
１０００ ルーム

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】