特開 2024-178635 フレームカセット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024178635

(43)【公開日】2024-12-25

(54)【発明の名称】フレームカセット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20241218BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20241218BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65D85/30 500

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023096920

(22)【出願日】2023-06-13

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】安藤 滋

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 佳祐

(72)【発明者】

【氏名】大沼 広希

【テーマコード（参考）】

3E096

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E096AA06

3E096BA16

3E096BB04

3E096CA08

3E096DA02

3E096EA02X

3E096EA02Y

3E096FA09

3E096FA10

3E096FA19

3E096FA23

3E096FA30

3E096GA01

5F131AA10

5F131BA51

5F131CA09

5F131GA03

5F131GA30

5F131GA33

5F131GA63

5F131GA99

(57)【要約】

【課題】複雑な構造を用いることなく、フレームユニットの揺れを抑制する。
【解決手段】フレームカセットの側壁部１１に形成されている収容溝２１が、出入部１４側から背部１５に向かって溝幅が狭くなるように形成されている。このため、出入部１４側からフレームユニット１１０を収容溝２１に収容する際、フレームユニット１１０は、収容溝２１における溝幅の広い部分に挿入される。このため、フレームユニット１１０のフレーム１１１が、収容溝２１の上下に位置する棚部２２の側面に衝突することを抑制することができる。また、背部１５側では、収容溝２１における溝幅の狭い部分にフレーム１１１が収容される。これにより、フレーム１１１の移動が制限される。このため、収容溝２１に収容されたフレームユニット１１０が、フレームユニット１１０の並び方向に揺れることを抑制することができる。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェーハを収容する開口を中央部に有するフレームの該開口に該ウェーハを収容し、該フレームの一方の面に樹脂シートを固定すると共に該ウェーハを固定することによって形成されたフレームユニットを、複数枚収容可能なフレームカセットであって、
溝幅が該フレームの厚み以上に形成される複数の収容溝が対向して配設された一対の側壁部と、
該一対の側壁部の上部を連結する天井部と、
該一対の側壁部の下部を連結する底部と、
該一対の側壁部と該天井部と該底部とで形成された、フレームユニットの出し入れを許容する出入部と、
該出入部の反対側に備えられ、フレームユニットの脱落を防止するための背部と、を含み、
該収容溝は、該出入部側から該背部に向かって溝幅が狭くなるように形成されていることを特徴とする、
フレームカセット。

【請求項2】

該収容溝は、
該出入部側に設けられ、一定の溝幅を有し、フレームを受け入れるフレーム受け入れ部と、
該背部側に設けられ、該フレーム受け入れ部の溝幅よりも狭い一定の溝幅を有し、該フレームの移動を規定するフレーム規定部と、
該フレーム受け入れ部と該フレーム規定部との間に設けられ、該フレーム受け入れ部側から該フレーム規定部側に向かって溝幅が狭くなる傾斜部と、を備え、
該傾斜部は、該フレーム受け入れ部と該フレーム規定部とを接続するように形成されている、
請求項１記載のフレームカセット。

【請求項3】

該収容溝は、溝幅が最も狭い部位に弾性部材を備えており、
該弾性部材は、該フレームが該収容溝に挿入された際に該フレームの移動を抑制する、
請求項１または請求項２記載のフレームカセット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、フレームカセットに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイスの製造プロセスの後工程で使用されるフレームカセットは、複数の収容棚が形成された一対の側板を対向させて、一対の側板の上端同士及び下端同士を、それぞれ上下の連結部材で連結することによって形成される。

【0003】

このようなフレームカセットには、粘着テープを介して環状フレームとウェーハとを一体化させたフレームユニットが収納される。フレームカセットの正面は開口されており、フレームユニットが、この開口を通じて複数の収容棚に収容される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１５－８２５８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記のようなフレームカセットでは、フレームユニットにおける環状フレームの側面がスライド壁に当接することによって、フレームユニットの飛び出しが防止されている。しかしながら、搬送時にフレームカセットが上下方向に揺れることによって、収容棚に収まったフレームユニットがバタついて、ウェーハに衝撃を与えてしまうおそれがある（上下のウェーハ同士が接触することもある）。

【0006】

そこで、環状フレームの上下のバタツキを防止できる機構として、上下にスライドすることによって開状態／閉状態とを切り替えるフレーム規制部を備えたフレームカセットが知られている。

【0007】

ところが、このような機構を備えるフレームカセットでは、機構が複雑であるため、製造コストが増えるともに、スライド機構の破損が生じやすい。
本発明の目的は、スライド機構のような複雑な構造を用いることなく、フレームユニットの揺れを抑制することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明のフレームカセット（本フレームカセット）は、ウェーハを収容する開口を中央部に有するフレームの該開口に該ウェーハを収容し、該フレームの一方の面に樹脂シートを固定すると共に該ウェーハを固定することによって形成されたフレームユニットを、複数枚収容可能なフレームカセットであって、溝幅が該フレームの厚み以上に形成される複数の収容溝が対向して配設された一対の側壁部と、該一対の側壁部の上部を連結する天井部と、該一対の側壁部の下部を連結する底部と、該一対の側壁部と該天井部と該底部とで形成された、フレームユニットの出し入れを許容する出入部と、該出入部の反対側に備えられ、フレームユニットの脱落を防止するための背部と、を含み、該収容溝は、該出入部側から該背部に向かって溝幅が狭くなるように形成されていることを特徴とする。

【0009】

本フレームカセットでは、該収容溝は、該出入部側に設けられ、一定の溝幅を有し、フレームを受け入れるフレーム受け入れ部と、該背部側に設けられ、該フレーム受け入れ部の溝幅よりも狭い一定の溝幅を有し、該フレームの移動を規定するフレーム規定部と、該フレーム受け入れ部と該フレーム規定部との間に設けられ、該フレーム受け入れ部側から該フレーム規定部側に向かって溝幅が狭くなる傾斜部と、を備えてもよく、該傾斜部は、該フレーム受け入れ部と該フレーム規定部とを接続するように形成されていてもよい。

【0010】

本フレームカセットでは、該収容溝は、溝幅が最も狭い部位に弾性部材を備えていてもよく、該弾性部材は、該フレームが該収容溝に挿入された際に該フレームの移動を抑制してもよい。

【発明の効果】

【0011】

本フレームカセットでは、側壁部に形成されている収容溝が、出入部側から背部に向かって溝幅が狭くなるように形成されている。このため、フレームユニットを出入部側から収容溝に収容する際、フレームユニットは、まず、収容溝における溝幅の広い部分に挿入されることとなる。このため、フレームユニットの搬送誤差に起因して、フレームユニットのフレームが、本フレームカセットにおける収容溝の上下の構成（たとえば棚板）に衝突することを抑制することができる。

【0012】

また、本フレームカセットの背部側では、収容溝における溝幅の狭い部分にフレームが収容される。これにより、この部分によってフレームの移動（動き）が制限される。このため、収容溝に収容されたフレームユニットが揺れることを抑制することができる。したがって、隣接する収容溝に収容されている隣接するフレームユニット同士が接触して、ウェーハに衝撃を与えてしまうことを、抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】切削装置の構成を示す斜視図である。

【図2】フレームカセットの構成を示す斜視図である。

【図3】フレームカセットの構成を別角度から示す斜視図である。

【図4】フレームカセットにおける側壁部の構成を示す斜視図である。

【図5】フレームカセットの構成を示す平面図である。

【図6】側壁部に形成されている収容溝の構成を示す説明図である。

【図7】図７（ａ）および図７（ｂ）は、図６に示した収容溝にフレームユニットが収容される様子を示す説明図である。

【図8】図８（ａ）は、側壁部に形成されている収容溝の他の構成を示す説明図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示した収容溝にフレームユニットが挿入された状態を示す説明図である。

【図9】図９（ａ）および図９（ｂ）は、図８（ａ）に示した収容溝にフレームユニットが収容される様子を示す説明図である。

【図10】弾性部材の配置を示す説明図である。

【図11】図１１（ａ）および図１１（ｂ）は、弾性部材を有する収容溝にフレームユニットが収容される様子を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

図１に示す切削装置１は、図２に示すウェーハ１００を加工する加工装置の一例である。
図２に示すように、ウェーハ１００は、本実施形態では、円板状の半導体ウェーハであり、表面に格子状の分割予定ライン１０２を有している。分割予定ライン１０２によって区画された各領域には、デバイス１０４が形成されている。

【0015】

本実施形態では、ウェーハ１００は、フレームユニット１１０の状態で取り扱われる。フレームユニット１１０は、中央部に開口１１２を有するリング状のフレーム１１１、ウェーハ１００、および、接着性を有する樹脂シート１１３を含んでいる。そして、フレームユニット１１０は、フレーム１１１の開口１１２にウェーハ１００を収容（配置）し、フレーム１１１の一方の面に樹脂シート１１３を固定すると共にウェーハ１００を固定することによって形成される。すなわち、フレームユニット１１０は、フレーム１１１と、フレーム１１１の開口１１２に収容（配置）されたウェーハ１００とを、樹脂シート１１３によって一体化させることによって形成されている。

【0016】

以下に、図１に示した切削装置１の構成について説明する。

【0017】

図１に示すように、切削装置１は、支持台８を備えている。支持台８の－Ｙ方向側には、複数枚のフレームユニット１１０を収容可能なフレームカセット１０が載置されるカセットステージ２が設けられている。

【0018】

また、支持台８には、フレームユニット１１０を搬送する搬送機構３、フレームユニット１１０のウェーハ１００を切削加工する切削機構４、および、切削加工されたウェーハ１００を洗浄する洗浄機構５が設けられている。

【0019】

搬送機構３は、フレームカセット１０からフレームユニット１１０を取り出すこと、取り出したフレームユニット１１０を、切削機構４および洗浄機構５に向けて搬送すること、および、フレームユニット１１０をフレームカセット１０に収納することが可能なように構成されている。

【0020】

制御部７は、各種の処理を実行し、切削装置１の各構成要素を統括制御する。たとえば、制御部７は、搬送機構３を制御して、フレームユニット１１０の搬送を実施する。また、制御部７は、切削機構４を制御して、ウェーハ１００に対する切削加工を実施する。さらに、制御部７は、洗浄機構５を制御して、ウェーハ１００の洗浄を実施する。

【0021】

ここで、切削装置１において用いられるフレームカセット１０の構成について説明する。
図２および図３に示すように、フレームカセット１０は、一対の側壁部１１と、一対の側壁部１１の上部を連結する略板状の天井部１２と、一対の側壁部１１の下部を連結する略板状の底部１３と、を備えている。天井部１２は、その上部に把手１２１を有している。作業者は、この把手１２１を用いて、フレームカセット１０を保持することができる。

【0022】

また、図４に示すように、側壁部１１は、フレームユニット１１０を収容するための複数の収容溝２１を有している。

【0023】

すなわち、側壁部１１の内壁には、Ｚ軸方向に所定の間隔をあけて、細長い板状の複数の棚部２２が設けられている。そして、２つの隣接する棚部２２どうしの間が、収容溝２１となっている。この収容溝２１の溝幅（すなわち、２つの隣接する棚部２２の間隔）は、フレームユニット１１０のフレーム１１１の厚み以上に形成されている。

【0024】

フレームカセット１０では、図２および図３に示すように、このような収容溝２１を有する一対の側壁部１１が、互いに対向して配設されている。このため、側壁部１１の収容溝２１も、互いに対向して配置されている。したがって、フレームカセット１０では、一対の側壁部１１における対向配置された一対の収容溝２１によって、フレームユニット１１０のフレーム１１１の両端を支持することにより、フレームユニット１１０を収容することが可能となっている。

【0025】

そして、フレームカセット１０は、図２、図３および図５に示すように、＋Ｙ方向側から、側壁部１１の収容溝２１に対して、フレームユニット１１０が収容されるように構成されている。すなわち、フレームカセット１０では、＋Ｙ方向側に、一対の側壁部１１と天井部１２と底部１３とで形成された、フレームユニット１１０の出し入れを許容する出入部１４が形成されている。

【0026】

また、フレームカセット１０では、図２および図５に示すように、側壁部１１の－Ｙ方向側（出入部１４の反対側）に、収容溝２１からのフレームユニット１１０の脱落を防止するための背部１５が備えられている。すなわち、収容溝２１に収容されたフレームユニット１１０は、フレーム１１１が背部１５に当接することにより、－Ｙ方向側に向けて収容溝２１からはみ出て脱落してしまうことが防止されている。

【0027】

また、図６に示すように、側壁部１１の収容溝２１は、出入部１４側から背部１５に向かって溝幅が狭くなるように形成されている。すなわち、収容溝２１は、背部１５に近いフレーム規定部２５、および、フレーム規定部２５よりも出入部１４側の部分であるフレーム挿入部２６を備えている。

【0028】

フレーム規定部２５は、略一定の溝幅を有する部分である。フレーム規定部２５は、フレームユニット１１０のフレーム１１１よりも僅かに広い溝幅を有するように構成されており、フレーム１１１の移動（動き）を規定（制限）することができる。

【0029】

フレーム挿入部２６は、出入部１４側に設けられた、フレームユニット１１０のフレーム１１１を受け入れる部分（フレーム１１１が挿入される部分）である。ここで、図６に示すように、フレーム挿入部２６における上側の棚部２２は、出入部１４に向かって薄くなるように、棚部２２の下面２２１が加工されている。すなわち、フレーム挿入部２６の上部では、棚部２２の下面２２１が、出入部１４側から背部１５側に向かって下方に傾斜するように形成されている。このため、フレーム挿入部２６の溝幅は、出入部１４側から背部１５に向かって狭くなっている。

【0030】

このような構成を有するフレームカセット１０では、作業者あるいは搬送機構３（図１参照）等によって、図７（ａ）に示すように、フレームユニット１１０が、出入部１４側から側壁部１１の収容溝２１に収容される。この際、フレームユニット１１０のフレーム１１１が、フレーム挿入部２６の上部の棚部２２の傾斜した下面２２１に接触することがある。この場合、フレームユニット１１０は、この下面２２１に案内（誘導）されて、収容溝２１内を背部１５側（－Ｙ方向側）に進む。

【0031】

そして、図７（ｂ）に示すように、フレーム１１１の一部が、側壁部１１のフレーム規定部２５に進入し、フレーム規定部２５に収容される。そして、フレーム規定部２５の－Ｙ方向側に配置されている背部１５にフレーム１１１が当接した段階で、フレームカセット１０（収容溝２１）に対するフレームユニット１１０の収容が完了する。

【0032】

以上のように、本実施形態にかかるフレームカセット１０では、側壁部１１に形成されている収容溝２１が、出入部１４側に形成された比較的に溝幅の広いフレーム挿入部２６、および、背部１５側に形成された比較的に溝幅の狭いフレーム規定部２５を有しており、出入部１４側から背部１５に向かって溝幅が狭くなるように形成されている。

【0033】

このため、本実施形態では、出入部１４側からフレームユニット１１０を収容溝２１に収容する際、フレームユニット１１０は、まず、溝幅の広い部分であるフレーム挿入部２６に挿入されることとなる。このため、フレームユニット１１０の搬送誤差に起因して、フレームユニット１１０のフレーム１１１が、収容溝２１の上下に位置する棚部２２の側面に衝突することを抑制することができる。

【0034】

また、フレームカセット１０の背部１５側では、溝幅の狭い部分であるフレーム規定部２５にフレーム１１１が収容される。これにより、フレーム規定部２５によってフレーム１１１の移動が規定（制限）される。このため、収容溝２１に収容されたフレームユニット１１０が、フレームユニット１１０の並び方向（収容溝２１の延びる方向に直交する方向。図６に示した状態では、Ｚ軸方向）に揺れることを抑制することができる。したがって、隣接する収容溝２１に収容されている隣接するフレームユニット１１０同士が接触して、ウェーハ１００に衝撃を与えてしまうことを、抑制することができる。

【0035】

なお、作業者が、検査あるいは測定を実施するためにウェーハ１００からフレームユニット１１０を抜き取ることがある。この際、作業者は、フレームカセット１０を縦置きにする場合（収容溝２１が上下方向に延びるような向きに、フレームユニット１１０を置く場合）がある。この場合、樹脂シート１１３がたわみやすいため、従来、フレームユニット１１０同士が接触することがあった。これに関し、本実施形態では、収容溝２１における幅の狭いフレーム規定部２５にフレームユニット１１０のフレーム１１１の一部を収容しているため、フレームカセット１０を縦置きにした場合でも、隣接するフレームユニット１１０同士が接触することを、良好に抑制することができる。

【0036】

なお、本実施形態にかかるフレームカセット１０では、側壁部１１の収容溝２１が、比較的に狭い略一定の溝幅を有するフレーム規定部２５、および、比較的に広い溝幅を有するフレーム挿入部２６を有しており、フレーム挿入部２６の溝幅が、出入部１４側から背部１５側に向かって狭くなっている。

【0037】

これに関し、収容溝２１は、フレーム挿入部２６のような出入部１４から背部１５に向かって狭くなる部分を有していれば、比較的に狭い略一定の溝幅を有する部分であるフレーム規定部２５を有していなくてもよい。この場合でも、収容溝２１における背部１５側の溝幅の狭い部分によって、フレームユニット１１０のフレーム１１１の移動を規制して、フレームユニット１１０の揺れを抑制することができる。

【0038】

また、収容溝２１は、図８（ａ）および図８（ｂ）に示すような構成を有していてもよい。これらの図に示す収容溝２１は、上述のフレーム規定部２５を備えているとともに、フレーム挿入部２６に代えて、フレーム受け入れ部２７および傾斜部２８を有している。

【0039】

図８（ａ）に示すように、フレーム受け入れ部２７は、出入部１４側に設けられ、略一定の溝幅を有し、フレームユニット１１０の側壁部１１を受け入れる部分である。フレーム受け入れ部２７の溝幅は、フレーム規定部２５の溝幅よりも広くなっている。

【0040】

フレーム規定部２５は、フレーム受け入れ部２７の溝幅よりも狭い略一定の溝幅を有し、背部１５側に設けられ、上述したように、フレームユニット１１０におけるフレーム１１１の移動（動き）を規定（制限）する。

【0041】

傾斜部２８は、フレーム受け入れ部２７とフレーム規定部２５との間に設けられ、フレーム受け入れ部２７側からフレーム規定部２５側に向かって溝幅が狭くなる部分である。傾斜部２８は、フレーム受け入れ部２７とフレーム規定部２５とを接続するように形成されている。

【0042】

すなわち、傾斜部２８は、フレーム受け入れ部２７側では、フレーム受け入れ部２７と同じ溝幅を有する一方、フレーム規定部２５側では、フレーム規定部２５と同じ溝幅を有するように構成されている。そして、傾斜部２８の上部では、棚部２２の下面２２１が、フレーム受け入れ部２７側からフレーム規定部２５側に向かって下方に傾斜するように形成されている。このため、フレーム挿入部２６の溝幅は、フレーム受け入れ部２７側からフレーム規定部２５側（出入部１４側から背部１５側）に向かって狭くなっている。

【0043】

このような構成を有するフレームカセット１０では、作業者あるいは搬送機構３（図１参照）等によって、図９（ａ）に示すように、フレームユニット１１０が、出入部１４側から側壁部１１の収容溝２１に収容される。この際、フレームユニット１１０のフレーム１１１が、フレーム受け入れ部２７から進入し、傾斜部２８の上部の棚部２２の傾斜した下面２２１に接触することがある。この場合、フレームユニット１１０は、この下面２２１に案内（誘導）されて、収容溝２１内を背部１５側（－Ｙ方向側）に進む。

【0044】

そして、図９（ｂ）に示すように、フレーム１１１の一部が、側壁部１１のフレーム規定部２５に進入し、フレーム規定部２５に収容される。そして、フレーム規定部２５の－Ｙ方向側に配置されている背部１５にフレーム１１１が当接した段階で、フレームカセット１０（収容溝２１）に対するフレームユニット１１０の収容が完了する。

【0045】

この構成でも、出入部１４側からフレームユニット１１０を収容溝２１に収容する際、フレームユニット１１０は、まず、溝幅の広いフレーム受け入れ部２７に挿入されることとなる。このため、フレームユニット１１０の搬送誤差に起因して、フレームユニット１１０のフレーム１１１が、収容溝２１の上下に位置する棚部２２の側面に衝突することを抑制することができる。

【0046】

また、フレームユニット１１０の背部１５側では、幅の狭いフレーム規定部２５にフレーム１１１の一部を収容している。これにより、フレーム規定部２５によってフレーム１１１の移動が規定（制限）されるため、収容溝２１に収容されたフレームユニット１１０が、その並び方向に揺れることを抑制することができる。したがって、隣接するフレームユニット１１０同士が接触してウェーハ１００に衝撃を与えてしまうことを、抑制することができる。

【0047】

なお、本実施形態では、収容溝２１におけるフレーム規定部２５を長くすることにより、フレームユニット１１０の移動を、より良好に規制することができる。

【0048】

また、収容溝２１は、図１０および図１１（ａ）に示すように、溝幅が最も狭い部位であるフレーム規定部２５に、弾性部材２９を備えていてもよい。この弾性部材２９は、一対の側壁部１１における一方の側壁部１１の収容溝２１だけに備えられていてもよいし、両方の側壁部１１の収容溝２１に備えられていてもよい。弾性部材２９は、フレームユニット１１０のフレーム１１１が収容溝２１に挿入された際に、フレーム１１１の移動を抑制するものである。

【0049】

この構成では、図１１（ｂ）に示すように、弾性部材２９は、フレーム１１１におけるフレーム規定部２５に収容された部分に接触して弾性変形する。これにより、弾性部材２９によって、フレーム１１１の移動を、より堅固に規定することができる。このため、収容溝２１に収容されたフレームユニット１１０が揺れることを、より良好に抑制することができる。したがって、隣接するフレームユニット１１０同士が接触してウェーハ１００に衝撃を与えてしまうことを、より良好に抑制することができる。
なお、この構成では、たとえば、フレームカセット１０の出入部１４側を下方に向けた場合でも、収容されているフレームユニット１１０が出入部１４から落下しない程度に、収容溝２１のフレーム規定部２５および弾性部材２９によってフレーム１１１を堅固に支持することが好ましい。

【0050】

なお、図１１（ａ）では、図８（ａ）に示した収容溝２１（フレーム規定部２５、フレーム受け入れ部２７および傾斜部２８を有する収容溝２１）における最も溝幅の狭い部分であるフレーム規定部２５に弾性部材２９が設けられている例を示している。これに関し、弾性部材２９は、図６に示した収容溝２１（フレーム挿入部２６を有する収容溝２１）における最も溝幅の狭い部分（たとえばフレーム規定部２５）に設けられていてもよい。

【0051】

また、図２等に示したフレームユニット１１０の接着性を有する樹脂シート１１３は、通常の粘着テープであってもよいし、接着層をもたないグルーフリーテープであってもよい。樹脂シート１１３としてグルーフリーテープを用いる場合、たとえば、熱圧着等により、樹脂シート１１３にフレーム１１１およびウェーハ１００を固定することができる。

【符号の説明】

【0052】

１：切削装置、２：カセットステージ、３：搬送機構、４：切削機構、５：洗浄機構、
７：制御部、８：支持台、１０：フレームカセット、１１：側壁部、１２：天井部、
１３：底部、１４：出入部、１５：背部、２１：収容溝、２２：棚部、
２５：フレーム規定部、２６：フレーム挿入部、２７：フレーム受け入れ部、
２８：傾斜部、２９：弾性部材、
１００：ウェーハ、１０２：分割予定ライン、１０４：デバイス、
１１０：フレームユニット、１１１：フレーム、１１２：開口、１１３：樹脂シート、
１２１：把手、２２１：下面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】