特開 2024-179129 搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024179129

(43)【公開日】2024-12-26

(54)【発明の名称】搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/00 20060101AFI20241219BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20241219BHJP

   B66D 1/36 20060101ALI20241219BHJP

【ＦＩ】

B65G1/00 501C

H01L21/68 A

B66D1/36 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023097714

(22)【出願日】2023-06-14

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110004185

【氏名又は名称】インフォート弁理士法人

(74)【代理人】

【識別番号】100121083

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 宏義

(74)【代理人】

【識別番号】100138391

【弁理士】

【氏名又は名称】天田 昌行

(72)【発明者】

【氏名】斎藤 貴也

【テーマコード（参考）】

3F022

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F022BB09

3F022CC02

3F022EE05

3F022LL12

5F131CA18

5F131DB92

5F131DC06

5F131DC26

(57)【要約】

【課題】ベルトの横ずれを防いでリールに巻き取らせることが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】荷物を載せた荷台（１１）を移動させる搬送装置（１０）であって、荷台に一方の端を接続するベルト（１２）と、ベルトの他方の端側を巻き取るリール（１３）と、リールを回転させる駆動部（１４）と、リールと荷台との間に配置しベルトがリールの回転軸方向にずれないようにベルトの幅方向の両端を中央に向かって折り曲げることによって両端を補強しリールに対してベルトをガイドするガイド部（１９）と、を備え、ガイド部によって折り曲げた部分が平坦に戻されたベルトをリールに巻き取らせ荷台を移動させる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

荷物を載せた荷台を移動させる搬送装置であって、
該荷台に一方の端を接続するベルトと、該ベルトの他方の端側を巻き取るリールと、該リールを回転させる駆動部と、該リールと該荷台との間に配置し該ベルトが該リールの回転軸方向にずれないように該ベルトの幅方向の両端を中央に向かって折り曲げることによって該両端を補強し該リールに対して該ベルトをガイドするガイド部と、を備え、
該ガイド部によって折り曲げた部分が平坦に戻された該ベルトを該リールに巻き取らせ該荷台を移動させる、搬送装置。

【請求項2】

該荷台の上方に該リールを配置し、
該リールを正方向に回転させ該ベルトを巻き取ることによって該荷台を上昇させ、
該リールを逆方向に回転させ該ベルトを巻き戻すことによって該荷台を下降させる、
請求項１記載の搬送装置。

【請求項3】

該荷台から上方向に鉛直方向に延在する該ベルトを水平方向に曲げる方向切り換え軸を備え、
水平方向に延在する該ベルトの他方の端側を該リールが巻き取りまたは巻き戻すことによって、該荷台を昇降させる搬送装置であって、
該荷台と該方向切り換え軸との間の鉛直方向に延在する該ベルト、または該方向切り換え軸と該リールとの間の水平方向に延在する該ベルトに対し該ガイド部を配置する、
請求項２記載の搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、荷台を移動させる搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、ベルトが接続されて吊り下げられた荷台を昇降させる搬送装置は、荷台の上方でベルトを巻き取って荷台を上昇させ、巻き取られたベルトを巻き戻して（送り出して）荷台を下降させている。

【0003】

特許文献１、２および３に開示されている搬送装置は、例えば、昇降する荷台（容器）が４本のベルトによって吊り下げられており、４本のベルトを支持する並行する２本のガイド軸と、２本のガイド軸の間に配置されるベルトを巻き取る２つのリールを配置した回転軸と、回転軸を回転させる駆動部と、を備えている。回転軸を正方向に回転させ２つのリールが各２本のベルトを巻き取ることで荷台を上昇させて、回転軸を逆方向に回転させ２つのリールが各２本のベルトを送り出すことで荷台を下降させている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２０－１７８１０８号公報

【特許文献2】特開２０２１－０８２０９１号公報

【特許文献3】特開２０２２－０９３１５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記のようなベルトを介して荷台を移動させる搬送装置では、ベルトの厚みを薄くして軽くすることで、駆動部の負荷を低減し、駆動部を構成するモータの小型化を図ることができる。しかし、ベルトを薄く構成すると、ベルトをリールに巻き取る際に、回転軸の軸方向にベルトが横ずれしやすくなる。

【0006】

したがって、動力伝達部としてベルトを用いる搬送装置は、ベルトの横ずれを防いでリールに巻き取らせる、という課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一態様は、荷物を載せた荷台を移動させる搬送装置であって、該荷台に一方の端を接続するベルトと、該ベルトの他方の端側を巻き取るリールと、該リールを回転させる駆動部と、該リールと該荷台との間に配置し該ベルトが該リールの回転軸方向にずれないように該ベルトの幅方向の両端を中央に向かって折り曲げることによって該両端を補強し該リールに対して該ベルトをガイドするガイド部と、を備え、該ガイド部によって折り曲げた部分が平坦に戻された該ベルトを該リールに巻き取らせ該荷台を移動させる。

【0008】

例えば、該荷台の上方に該リールを配置し、該リールを正方向に回転させ該ベルトを巻き取ることによって該荷台を上昇させ、該リールを逆方向に回転させ該ベルトを巻き戻すことによって該荷台を下降させる構成の搬送装置に適用が可能である。

【0009】

また、該荷台から上方向に鉛直方向に延在する該ベルトを水平方向に曲げる方向切り換え軸を備え、水平方向に延在する該ベルトの他方の端側を該リールが巻き取りまたは巻き戻すことによって、該荷台を昇降させる搬送装置において、該荷台と該方向切り換え軸との間の鉛直方向に延在する該ベルト、または該方向切り換え軸と該リールとの間の水平方向に延在する該ベルトに対し該ガイド部を配置してもよい。

【発明の効果】

【0010】

本発明の搬送装置によれば、ベルトがリールの回転軸方向にずれないように、ベルトの幅方向の両端を中央に向かって折り曲げることによって両端を補強した状態でベルトを通過させるガイド部を備えたことによって、ベルトの横ずれを防いでリールに巻き取らせて、安定性に優れた確実な搬送動作を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】第１の実施形態の搬送装置を示す斜視図である。

【図2】第２の実施形態の搬送装置を示す側面図である。

【図3】第３の実施形態の搬送装置を示す側面図である。

【図4】第４の実施形態の搬送装置を示す平面図である。

【図5】第４の実施形態の搬送装置を示す側面図である。

【図6】第４の実施形態の搬送装置を示す斜視図である。

【図7】第４の実施形態の搬送装置の一部を示す斜視図である。

【図8】第５の実施形態の搬送装置を示す平面図である。

【図9】第５の実施形態の搬送装置を示す側面図である。

【図10】搬送装置を備えた搬送車の斜視図である。

【図11】搬送車によって搬送される荷台の側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。各図に示す、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向は、互いに垂直な方向であり、Ｘ軸方向とＹ軸方向が水平方向、Ｚ軸方向が鉛直方向（上下方向）である。

【0013】

図１は、第１の実施形態の搬送装置１０を示している。搬送装置１０は、搬送される対象物（荷物）を収容する荷台１１を昇降させる装置であり、荷台１１に一方の端を接続する帯状のベルト１２と、ベルト１２の他方の端側を巻き取る円筒状のリール１３と、リール１３を回転させる駆動部１４と、を備えている。引き上げる前の荷台１１は、搬送装置１０が備える荷台支持部１５に載置される。リール１３と駆動部１４は、荷台支持部１５から上方に突出する立壁部１６に取り付けられて、荷台支持部１５の上方に配置されている。駆動部１４は、リール１３を回転駆動させる駆動力を発生するモータを備えている。

【0014】

リール１３は、Ｘ軸方向に延在する回転軸１７によって支持されている。回転軸１７は、立壁部１６からＹ軸方向に突出する一対の軸支持部１８に対して回転可能に支持されている。回転軸１７の一方の端は駆動部１４に接続しており、駆動部１４が備えるモータによって回転軸１７が回転され、回転軸１７と共にリール１３が回転する。リール１３が正方向Ｒａに回転すると、ベルト１２がリール１３に巻き取られて、ベルト１２の一方の端が接続している荷台１１が上方に引き上げられる。リール１３が逆方向Ｒｂに回転すると、リール１３に巻き取られたベルト１２が巻き戻されて（送り出されて）、荷台１１が下方に移動する。

【0015】

なお、リール１３を支持する構造の変形例として、回転軸１７を回転しない固定軸とし、この固定軸を挿通する軸穴をリール１３の中心に設け、リール１３の軸穴の内周面が固定軸に対して回転可能に支持されるようにしてもよい。この場合、リール１３にギヤやプーリーなどの回転伝達部を備え、駆動部からリール１３の回転伝達部に回転力を伝達することによって、リール１３を回転させることができる。

【0016】

ベルト１２を介して荷台１１を移動させる搬送装置１０においては、ベルト１２が薄く軽量であるほど、ベルト１２をリール１３に巻き取る際に駆動部１４にかかる負担が少なくなり、駆動部１４を構成するモータを小型なものにすることができる。その一方で、ベルト１２が薄くなると、ベルト１２の進行の安定性や形状の維持性が低くなり、リール１３に巻き取る際やリール１３から送り出す際に、ベルト１２が回転軸１７の軸方向（Ｘ軸方向）に横ずれしやすくなる。すると、ベルト１２がＺ軸方向に直進せずにＸ軸方向に斜行したり、ベルト１２が不規則な形状でリール１３に巻き取られたりして、各リール１３に巻き取られたベルト１２の直径が異なると荷台１１が水平ではなくなり、荷台１１の昇降動作が不安定になるおそれがある。

【0017】

このような問題を防ぐために、搬送装置１０は、ガイド部１９を備えている。ガイド部１９は、Ｚ軸方向においてリール１３と荷台支持部１５との間に設けられており、立壁部１６からＹ軸方向に突出する一対の円柱形状の突起１９１によって構成されている。一対の突起１９１は、Ｘ軸方向に間隔を空けて配置されており、ベルト１２が一対の突起１９１の間を通されている。Ｘ軸方向における一対の突起１９１の間隔Ｗａは、折り曲げられていない平坦な状態のベルト１２の幅Ｗｂよりも小さい。

【0018】

従って、ガイド部１９をベルト１２が通る際には、一対の突起１９１に接触したベルト１２の幅方向の両端が中央に向かって折り曲げられる。このような形状の変化によって、ベルト１２の幅方向の両端が補強され、ガイド部１９によってガイドされたベルト１２は、回転軸１７の軸方向に横ずれせずに上方に進むことができる。ガイド部１９を通過してリール１３に達するまでの間に、ベルト１２は、ガイド部１９によって折り曲げられた形状から平坦な形状に戻る。そして、平坦に戻ったベルト１２がリール１３に巻き取られる。

【0019】

ガイド部１９を構成する一対の突起１９１はＹ軸方向に突出する円柱形状であり、ガイド部１９を通るベルト１２は一対の突起１９１の円筒形状の外周面に沿って湾曲する形で折り曲げられる。従って、ベルト１２に形状回復不能な折りぐせが生じることがなく、ガイド部１９を通過したベルト１２は、ベルト１２自体が備える可撓性によって、元の平坦な形状に戻ることができる。

【0020】

ガイド部１９は、ベルト１２が移動する経路の途中に位置して、ベルト１２を適切な方向に進行させるガイドとして機能する。さらに、ガイド部１９は、単にベルト１２の進行方向を定めるだけではなく、ベルト１２の形状を変化させてベルト１２の幅方向の両端を補強させた状態でガイド部１９を通過させることによって、回転軸１７の軸方向にベルト１２が横ずれすることを抑制させている。

【0021】

例えば、本実施形態のガイド部１９とは異なり、Ｘ軸方向における一対の突起の間隔がベルト１２の幅Ｗｂ以上である構成のガイド部や、ベルト１２を厚み方向であるＹ軸方向に挟み込む構成のガイド部の場合、ベルト１２の幅方向の両端を中央に向かって折り曲げて補強する効果を得られないので、本実施形態のガイド部１９に比べて、回転軸１７の軸方向にベルト１２が横ずれする可能性が高くなる。

【0022】

これに対して、本実施形態のガイド部１９は、ベルト１２の幅方向の両端の形状変更を行い補強しながらベルト１２を通過させて、横ずれを効果的に防いでいる。従って、搬送装置１０は、ガイド部１９を備えることによって、ベルト１２の厚みを薄くして軽くした場合でも、ベルト１２を横ずれさせずにリール１３に巻き取らせることができる。そして、ベルト１２を軽量にすることで、駆動系の負荷が低減され、出力を抑えた小型のモータを備えた駆動部１４の採用が可能になる。

【0023】

なお、ガイド部１９からリール１３までの距離が短すぎると、ベルト１２が、ガイド部１９によって幅方向の両端が折り曲げられた状態から十分に復元せずに、平坦ではない形状のままリール１３に巻き取られてしまう可能性がある。このような状態になることを防止するために、ガイド部１９を通過したベルト１２が平坦な形状に戻ってからリール１３に巻き取られるように、ガイド部１９はリール１３に対して所定の距離をおいて配置されている。

【0024】

図２は、第２の実施形態の搬送装置２０を示している。搬送装置２０は、荷台１１から上方向に鉛直方向（Ｚ軸方向）に延在するベルト１２を、水平方向（Ｙ軸方向）に曲げる方向切り換え軸２１を備えている。方向切り換え軸２１に対してＹ軸方向に離れた位置に、リール２２が配置されている。方向切り換え軸２１によって水平方向に曲げられたベルト１２が、水平方向（Ｙ軸方向）に延在してリール２２に巻き取られる。ベルト１２のうち、荷台１１から方向切り換え軸２１までの鉛直方向に延在する領域を鉛直領域１２１とし、方向切り換え軸２１からリール２２までの水平方向に延在する領域を水平領域１２２とする。

【0025】

リール２２は、モータを備えた駆動部２３によって、Ｘ軸方向に延在する回転軸を中心として回転駆動される。リール２２と方向切り換え軸２１は、搬送装置２０の本体部（図示略）に対して回転可能に支持されている。なお、方向切り換え軸２１は、搬送装置２０の本体部に対して回転せずに固定された固定軸であってもよい。

【0026】

搬送装置２０は、方向切り換え軸２１の下方にガイド部２４を備えている。ガイド部２４は、上記の搬送装置１０におけるガイド部１９と同様の構成であり、搬送装置２０の本体部（図示略）からＹ軸方向に突出する一対の円柱形状の突起２４１を備えている（図２では一対の突起２４１が重なって見えている）。一対の突起２４１は、Ｘ軸方向に間隔を空けて配置されており、一対の突起２４１の間隔は、ベルト１２の幅よりも狭い。

【0027】

一対の突起２４１の間を、ベルト１２の鉛直領域１２１が通されている。ベルト１２の鉛直領域１２１は、一対の突起２４１に接触して、幅方向の両端が中央に向かって折り曲げられる。この変形によって、ベルト１２の幅方向の両端が補強される。ガイド部２４を通過したベルト１２は、ガイド部２４によって幅方向の両端が折り曲げられた形状から平坦な形状に戻り、方向切り換え軸２１によって水平方向（Ｙ軸方向）に曲げられ、水平方向に延在する水平領域１２２がリール２２に巻き取られる。

【0028】

ガイド部２４から方向切り換え軸２１までの距離が短い場合、ガイド部２４を通過したベルト１２が、幅方向の両端が折り曲げられた形状を残しながら、方向切り換え軸２１に達する可能性がある。この場合、方向切り換え軸２１の周面に沿ってベルト１２が進行すると、ベルト１２が平坦な形状に戻ることが促進される。つまり、方向切り換え軸２１は、ベルト１２を平坦な形状に戻すことをサポートする平坦戻し部として機能させることができる。

【0029】

図３は、第３の実施形態の搬送装置２５を示している。搬送装置２５は、搬送装置２０と同様に、ベルト１２の延在方向を鉛直方向（Ｚ軸方向）から水平方向（Ｙ軸方向）に曲げる方向切り換え軸２１を備えており、方向切り換え軸２１に対してＹ軸方向に離れた位置に設けたリール２２によってベルト１２を巻き取る構造である。

【0030】

搬送装置２５は、Ｙ軸方向におけるリール１３と方向切り換え軸２１との間に、ガイド部２６を備えている。ガイド部２６は、Ｘ軸方向に間隔を空けて、搬送装置２０の本体部（図示略）からＺ軸方向に突出する一対の円柱形状の突起２６１を備えている（図３では一対の突起２６１が重なって見えている）。Ｘ軸方向における一対の突起２６１の間隔は、ベルト１２の幅よりも狭い。

【0031】

一対の突起２６１の間を、ベルト１２の水平領域１２２が通されている。ベルト１２の水平領域１２２は、一対の突起２６１に接触して、幅方向の両端が中央に向かって折り曲げられる。この変形によって、ベルト１２の幅方向の両端が補強される。ガイド部２６を通過したベルト１２は、ガイド部２６によって幅方向の両端が折り曲げられた形状から平坦な形状に戻り、リール２２に巻き取られる。

【0032】

ガイド部２６からリール２２までのＹ軸方向の距離を十分に確保することで、ガイド部２６を通過したベルト１２の水平領域１２２を、リール２２に到達する前に平坦な形状に戻すことができる。従って、ガイド部２６とリール２２との間に、方向切り換え軸２１のような平坦戻し部を備えていなくても、ベルト１２を支障なくリール２２に巻き取らせることができる。

【0033】

図２の搬送装置２０におけるガイド部２４と、図３の搬送装置２５におけるガイド部２６は、上記の搬送装置１０におけるガイド部１９と同様に、リール２２に巻き取られるベルト１２がリール２２の回転軸の軸方向（Ｘ軸方向）に横ずれすることを防ぐ効果を有する。つまり、搬送装置２０のようにベルト１２の鉛直領域１２１に作用するガイド部２４を設ける形態と、搬送装置２５のようにベルト１２の水平領域１２２に作用するガイド部２６を設ける形態は、どちらもベルト１２の横ずれ防止に有用である。なお、１つの搬送装置に、ベルト１２の鉛直領域１２１をガイドするガイド部２４と、ベルト１２の水平領域１２２をガイドするガイド部２６との両方を備えることも可能である。

【0034】

上記の搬送装置１０、２０、２５は、１本のベルト１２によって荷台１１を吊り下げているが、複数本のベルトによって荷台を吊り下げるタイプの搬送装置に本発明を適用することもできる。

【0035】

図４から図７に示す第４の実施形態の搬送装置３０は、荷台３１（図５）を４本のベルト３２、３３、３４、３５によって吊り下げる構成である。各ベルト３２、３３、３４、３５は、Ｘ軸方向に所定の幅を有する帯状のベルトであり、一方の端部が荷台３１の上面に接続している。

【0036】

図６に示すように、搬送装置３０は、Ｘ軸方向に間隔を空けて配置した一対の側板３６、３７と、一対の側板３６、３７を支持するベース板３８と、を備えている。ベース板３８は、水平方向に延在する平板形状であり、Ｘ軸方向に延びる一対の縁部とＹ軸方向に延びる一対の縁部とによって囲まれた矩形状の開口３９を有している。開口３９のうちＹ軸方向に延びる一対の縁部に沿って、ベース板３８から上方向に突出する形状の一対の側板３６、３７が設けられている。

【0037】

Ｘ軸方向に延在する回転軸４０と一対の方向切り換え軸４１、４２とが、一対の側板３６、３７に対して回転可能に支持されている。一対の方向切り換え軸４１、４２は、Ｙ軸方向に離間して設けられており、回転軸４０は、Ｙ軸方向で一対の方向切り換え軸４１、４２の中間に位置している。なお、方向切り換え軸４１、４２は、一対の側板３６、３７に対して回転せずに固定された固定軸であってもよい。

【0038】

回転軸４０には、Ｘ軸方向に離間した位置にリール４３とリール４４が固定されている。リール４３とリール４４はそれぞれ、Ｘ軸方向に延びる軸線を中心とする円柱形状である。図４に示すように、回転軸４０の一端にはプーリー４５が固定されている。モータを内蔵した駆動部４６が側板３６に支持されており、駆動部４６のモータの出力軸４７がＸ軸方向に突出している。出力軸４７の先端にはプーリー４８が固定されている。プーリー４５とプーリー４８には、ループ形状の無端ベルト４９が架け渡されており、モータを駆動して出力軸４７が回転すると、プーリー４５、無端ベルト４９、プーリー４８を介して回転軸４０に回転が伝達される。

【0039】

４本のベルト３２、３３、３４、３５はそれぞれ、荷台３１に接続する一方の端部から上方向に鉛直方向（Ｚ軸方向）に延在し、ベース板３８の開口３９を通って、方向切り換え軸４１、４２に沿って水平方向（Ｙ軸方向）に曲げられる。

【0040】

詳しくは、ベルト３２は、Ｘ軸方向で側板３６寄りの位置に配されており、荷台３１から鉛直領域３２１が上方向に延在し、方向切り換え軸４１によって回転軸４０側に向けて曲げられて、水平領域３２２が水平方向に延びて、他方の端部がリール４３に接続する。

【0041】

ベルト３３は、Ｘ軸方向で側板３６寄りの位置に配されており、荷台３１から鉛直領域３３１が上方向に延在し、方向切り換え軸４２によって回転軸４０側に向けて曲げられて、水平領域３３２が水平方向に延びて、他方の端部がリール４３に接続する。

【0042】

ベルト３４は、Ｘ軸方向で側板３７寄りの位置に配されており、荷台３１から鉛直領域３４１が上方向に延在し、方向切り換え軸４１によって回転軸４０側に向けて曲げられて、水平領域３４２が水平方向に延びて、他方の端部がリール４４に接続する。

【0043】

ベルト３５は、Ｘ軸方向で側板３７寄りの位置に配されており、荷台３１から鉛直領域３５１が上方向に延在し、方向切り換え軸４２によって回転軸４０側に向けて曲げられて、水平領域３５２が水平方向に延びて、他方の端部がリール４４に接続する。

【0044】

このように、リール４３に一対のベルト３２、３３が接続し、リール４４に一対のベルト３４、３５が接続している。図５に示すように、ベルト３２とベルト３３はリール４３に対する接続位置が異なっており、ベルト３２の水平領域３２２が、方向切り換え軸４１からリール４３にかけてＺ軸方向にほとんど傾くことなく水平に延在しているのに対し、ベルト３３の水平領域３３２は、Ｚ軸方向の高さを変えながら方向切り換え軸４２からリール４３の間に延在している。また、ベルト３４とベルト３５はリール４４に対する接続位置が異なっており、ベルト３４の水平領域３４２が、方向切り換え軸４１からリール４４にかけてＺ軸方向にほとんど傾くことなく水平に延在しているのに対し、ベルト３５の水平領域３５２は、Ｚ軸方向の高さを変えながら方向切り換え軸４２からリール４４の間に延在している。

【0045】

本発明において、ベルトが水平方向に延在することは、ベルト３２の水平領域３２２やベルト３４の水平領域３４２のように、鉛直方向（Ｚ軸方向）の位置を一定に保ちながら水平に延在する形態に限定されるものではなく、ベルト３３の水平領域３３２やベルト３５の水平領域３５２のように、鉛直方向（Ｚ軸方向）に位置を多少変化させる傾きを有しつつ概ね水平に延在する形態を含む概念である。

【0046】

駆動部４６が備えるモータの駆動力によって回転軸４０が正方向Ｒａ（図５）に回転すると、ベルト３２とベルト３３がリール４３に巻き取られ、ベルト３４とベルト３５がリール４４に巻き取られ、４本のベルトが接続している荷台３１が上方に引き上げられる。駆動部４６が備えるモータの駆動力によって回転軸４０が逆方向Ｒｂ（図５）に回転すると、リール４３に巻き取られたベルト３２とベルト３３が巻き戻され（送り出され）、リール４４に巻き取られたベルト３４とベルト３５が巻き戻され（送り出され）、４本のベルトが接続している荷台３１が下方に移動する。

【0047】

搬送装置３０は、４本のベルト３２、３３、３４、３５をそれぞれガイドする４箇所のガイド部５０、５１、５２、５３を備えている。ガイド部５０、５１、５２、５３は、上記の各実施形態におけるガイド部１９、２４、２６と同様の役割を持っている。

【0048】

図７は、ガイド部５０とその周辺を拡大して示した図である。図７に示すように、ガイド部５０は、Ｘ軸方向に間隔を空けて配置されてＹ軸方向に延在する一対の円柱形状の突起５０１を備えている。一対の突起５０１は、ベース板３８上に設けたＬ字形状のブラケット５０２により支持されており、ブラケット５０２からＹ軸方向に突出している。Ｘ軸方向における一対の突起５０１の間隔は、ベルト３２の幅よりも小さい。一対の突起５０１の間をベルト３２の鉛直領域３２１が通され、一対の突起５０１に接触してベルト３２（鉛直領域３２１）の幅方向の両端が中央に向かって折り曲げられて、ベルト３２の幅方向の両端が補強される。ガイド部５０を通過したベルト３２は、幅方向の両端が折り曲げられた形状から平坦な形状に戻って、方向切り換え軸４１によって水平方向に曲げられ、水平方向に延在する水平領域３２２がリール４３に巻き取られる。

【0049】

ガイド部５１は、Ｘ軸方向に間隔を空けて配置されてＹ軸方向に延在する一対の円柱形状の突起５１１を備えている。一対の突起５１１は、ベース板３８上に設けたＬ字形状のブラケット５１２により支持されており、ブラケット５１２からＹ軸方向に突出している。Ｘ軸方向における一対の突起５１１の間隔は、ベルト３３の幅よりも小さい。一対の突起５１１の間をベルト３３の鉛直領域３３１が通され、一対の突起５１１に接触してベルト３３（鉛直領域３３１）の幅方向の両端が中央に向かって折り曲げられて、ベルト３３の幅方向の両端が補強される。ガイド部５１を通過したベルト３３は、幅方向の両端が折り曲げられた形状から平坦な形状に戻って、方向切り換え軸４２によって水平方向に曲げられ、水平方向に延在する水平領域３３２がリール４３に巻き取られる。

【0050】

ガイド部５２は、Ｘ軸方向に間隔を空けて配置されてＹ軸方向に延在する一対の円柱形状の突起５２１を備えている。一対の突起５２１は、ベース板３８上に設けたＬ字形状のブラケット５２２により支持されており、ブラケット５２２からＹ軸方向に突出している。Ｘ軸方向における一対の突起５２１の間隔は、ベルト３４の幅よりも小さい。一対の突起５２１の間をベルト３４の鉛直領域３４１が通され、一対の突起５２１に接触してベルト３４（鉛直領域３４１）の幅方向の両端が中央に向かって折り曲げられて、ベルト３４の幅方向の両端が補強される。ガイド部５２を通過したベルト３４は、幅方向の両端が折り曲げられた形状から平坦な形状に戻って、方向切り換え軸４１によって水平方向に曲げられ、水平方向に延在する水平領域３４２がリール４４に巻き取られる。

【0051】

ガイド部５３は、Ｘ軸方向に間隔を空けて配置されてＹ軸方向に延在する一対の円柱形状の突起５３１を備えている。一対の突起５３１は、ベース板３８上に設けたＬ字形状のブラケット５３２により支持されており、ブラケット５３２からＹ軸方向に突出している。Ｘ軸方向における一対の突起５３１の間隔は、ベルト３５の幅よりも小さい。一対の突起５３１の間をベルト３５の鉛直領域３５１が通され、一対の突起５３１に接触してベルト３５（鉛直領域３５１）の幅方向の両端が中央に向かって折り曲げられて、ベルト３５の幅方向の両端が補強される。ガイド部５３を通過したベルト３５は、幅方向の両端が折り曲げられた形状から平坦な形状に戻って、方向切り換え軸４２によって水平方向に曲げられ、水平方向に延在する水平領域３５２がリール４４に巻き取られる。

【0052】

ガイド部５０、５２から方向切り換え軸４１までの距離が短く、ガイド部５０、５２を通過したベルト３２、３４が、幅方向の両端が折り曲げられた形状を残しながら、方向切り換え軸４１に達する場合には、方向切り換え軸４１を、ベルト３２、３４を平坦な形状に戻すことをサポートする平坦戻し部として機能させることができる。

【0053】

同様に、ガイド部５１、５３から方向切り換え軸４２までの距離が短く、ガイド部５１、５３を通過したベルト３３、３５が、幅方向の両端が折り曲げられた形状を残しながら、方向切り換え軸４２に達する場合には、方向切り換え軸４２を、ベルト３３、３５を平坦な形状に戻すことをサポートする平坦戻し部として機能させることができる。

【0054】

以上のように、搬送装置３０では、４本のベルト３２、３３、３４、３５のうち、鉛直方向（Ｚ軸方向）に延在する鉛直領域３２１、３３１、３４１、３５１がそれぞれ、ガイド部５０、５１、５２、５３によって幅方向の両端を補強する形状に変形される。これにより、リール４３に巻き取られる一対のベルト３２、３３と、リール４４に巻き取られる一対のベルト３４、３５とが、回転軸４０の軸方向に横ずれすることを防止できる。

【0055】

図８および図９に示す第５の実施形態の搬送装置６０は、ガイド部の配置を除いて、上記の搬送装置３０と共通しており、荷台３１を４本のベルト３２、３３、３４、３５によって吊り下げている。回転軸４０が正方向Ｒａ（図９）に回転すると、ベルト３２とベルト３３がリール４３に巻き取られ、ベルト３４とベルト３５がリール４４に巻き取られて、荷台３１が上方に引き上げられる。回転軸４０が逆方向Ｒｂ（図９）に回転すると、リール４３に巻き取られたベルト３２とベルト３３が巻き戻され（送り出され）、リール４４に巻き取られたベルト３４とベルト３５が巻き戻され（送り出され）、荷台３１が下方に移動する。

【0056】

搬送装置６０は、４本のベルト３２、３３、３４、３５をそれぞれガイドする４箇所のガイド部６１、６２、６３、６４を備えている。

【0057】

ガイド部６１は、Ｘ軸方向に間隔を空けて配置されてＺ軸方向に延在する一対の円柱形状の突起６１１を備えている。一対の突起６１１は、側板３６からＸ軸方向に突出する板形状のブラケット６１２により支持されており、ブラケット６１２から下方向に突出している。Ｘ軸方向における一対の突起６１１の間隔は、ベルト３２の幅よりも小さい。一対の突起６１１の間をベルト３２の水平領域３２２が通され、一対の突起６１１に接触してベルト３２（水平領域３２２）の幅方向の両端が中央に向かって折り曲げられて、ベルト３２の幅方向の両端が補強される。ガイド部６１を通過したベルト３２の水平領域３２２は、幅方向の両端が折り曲げられた形状から平坦な形状に戻って、リール４３に巻き取られる。

【0058】

ガイド部６２は、Ｘ軸方向に間隔を空けて配置されてＺ軸方向に延在する一対の円柱形状の突起６２１を備えている。一対の突起６２１は、側板３６からＸ軸方向に突出する板形状のブラケット６２２により支持されており、ブラケット６２２から下方向に突出している。Ｘ軸方向における一対の突起６２１の間隔は、ベルト３３の幅よりも小さい。一対の突起６２１の間をベルト３３の水平領域３３２が通され、一対の突起６２１に接触してベルト３３（水平領域３３２）の幅方向の両端が中央に向かって折り曲げられて、ベルト３３の幅方向の両端が補強される。ガイド部６２を通過したベルト３３の水平領域３３２は、幅方向の両端が折り曲げられた形状から平坦な形状に戻って、リール４３に巻き取られる。

【0059】

ガイド部６３は、Ｘ軸方向に間隔を空けて配置されてＺ軸方向に延在する一対の円柱形状の突起６３１を備えている。一対の突起６３１は、側板３７からＸ軸方向に突出する板形状のブラケット６３２により支持されており、ブラケット６３２から下方向に突出している。Ｘ軸方向における一対の突起６３１の間隔は、ベルト３４の幅よりも小さい。一対の突起６３１の間をベルト３４の水平領域３４２が通され、一対の突起６３１に接触してベルト３４（水平領域３４２）の幅方向の両端が中央に向かって折り曲げられて、ベルト３４の幅方向の両端が補強される。ガイド部６３を通過したベルト３４の水平領域３４２は、幅方向の両端が折り曲げられた形状から平坦な形状に戻って、リール４４に巻き取られる。

【0060】

ガイド部６４は、Ｘ軸方向に間隔を空けて配置されてＺ軸方向に延在する一対の円柱形状の突起６４１を備えている。一対の突起６４１は、側板３７からＸ軸方向に突出する板形状のブラケット６４２により支持されており、ブラケット６４２から下方向に突出している。Ｘ軸方向における一対の突起６４１の間隔は、ベルト３５の幅よりも小さい。一対の突起６４１の間をベルト３５の水平領域３５２が通され、一対の突起６４１に接触してベルト３５（水平領域３５２）の幅方向の両端が中央に向かって折り曲げられて、ベルト３５の幅方向の両端が補強される。ガイド部６４を通過したベルト３５の水平領域３５２は、幅方向の両端が折り曲げられた形状から平坦な形状に戻って、リール４４に巻き取られる。

【0061】

以上のように構成された搬送装置６０では、４本のベルト３２、３３、３４、３５のうち、水平方向（Ｙ軸方向）に延在する水平領域３２２、３３２、３４２、３５２がそれぞれ、ガイド部６１、６２、６３、６４によって幅方向の両端を補強する形状に変形される。これにより、リール４３に巻き取られる一対のベルト３２、３３と、リール４４に巻き取られる一対のベルト３４、３５とが、回転軸４０の軸方向に横ずれすることを防止できる。

【0062】

図１０は、上記の搬送装置３０または搬送装置６０を搭載した搬送車７０を示している。搬送車７０は、搬送装置３０と搬送装置６０のいずれも搭載可能であり、以下の説明では「搬送装置３０（６０）」と包括的に記載する。搬送車７０において、先に説明した搬送装置３０（６０）の構成要素に対応する箇所については、搬送装置３０（６０）の構成要素と同じ符号で示して説明を省略する。

【0063】

搬送車７０は、荷台７１にウェーハなどの被加工物を収容して、搬送システムにおける搬送路を移動する。詳しくは、搬送車７０は、ローダー・アンローダーから加工前の被加工物を受け取って荷台７１に収容し、搬送路を走行して加工装置へ被加工物を搬送する。また、搬送車７０は、加工装置から加工後の被加工物を受け取って荷台７１に収容し、搬送路を走行して、加工後の被加工物をローダー・アンローダーへ搬送する。

【0064】

搬送車７０は、ベース板３８の下面側に複数の車輪７２を備えている。複数の車輪７２の少なくとも一部は、走行用モータ７３によって回転される動輪であり、走行用モータ７３を駆動することによって車輪７２に動力が伝達されて搬送車７０が走行する。バッテリー７４から走行用モータ７３に電力が供給される。

【0065】

ベース板３８の下面側には、複数の車輪７２の設置箇所に囲まれる領域に、荷台７１を格納可能な格納空間７５が形成されている。搬送装置３０（６０）において４本のベルト３２、３３、３４、３５を巻き取ると、荷台７１が上昇して格納空間７５に格納される。格納空間７５に格納された荷台７１の下面は、車輪７２の接地面よりも上方に位置しており、格納された荷台７１は搬送車７０の走行を妨げない。搬送装置３０（６０）において４本のベルト３２、３３、３４、３５を巻き戻す（送り出す）と、荷台７１が格納空間７５から下方へ下降する。図１０は、荷台７１を下降させて載置面７６に載置した状態を示している。載置面７６は、例えば、ローダー・アンローダーの載置台の上面である。

【0066】

荷台７１は、内部に被加工物を収容する収容室７７を有している。収容室７７の一つの側面には開口７８が形成されており、開口７８を通して被加工物を収容室７７に出し入れすることができる。図１１に示すように、収容室７７には、大きさが異なる２つの被加工物７９、８０を収容可能である。

【0067】

搬送車７０のベース板３８上には、Ｘ軸方向に間隔を空けて配置した一対の側板３６、３７と、Ｙ軸方向に間隔を空けて配置した一対の側板８１、８２と、ベース板３８の開口３９（図６）の上方を覆う天板８３と、が設けられている。４つの側板３６、３７、８１、８２と天板８３とによって、図４から図９に示す搬送装置３０（６０）の構成要素が覆われている。

【0068】

搬送車７０は、走行用モータ７３を駆動させて搬送路を走行するので、バッテリー７４の電力消費を抑制して効率的に運用するためには、できるだけ小型で軽量な構成にすることが望ましい。上記のように、本発明を適用した搬送装置３０（６０）は、４本のベルト３２、３３、３４、３５を薄く軽量にしながら回転軸に沿う方向の横ずれを防ぐことができるので、搬送車７０に搭載する荷台昇降用ユニットとして非常に好適である。

【0069】

上記の各実施形態では、荷台を支持するベルトを１本または４本としたが、ベルトの数はこれに限定されない。例えば、３本のベルトによって荷台を吊り下げる構成でもよい。

【0070】

また、上記の各実施形態では、荷台を鉛直方向に昇降させているが、これに限定するものではない。例えば、車輪を配置した荷台を斜面に沿って昇降させるときに利用してもよい。また、荷台を水平方向に移動させるときに利用してもよい。

【0071】

上記の各実施形態では、搬送装置のガイド部が、ベルトの幅方向に間隔を空けて配置した一対の円柱形状の突起を備えている。ガイド部の突起を円柱形状にすると、ベルトの幅方向の両端が突起に接触したときに形状回復不能な折りぐせを生じさせず、ガイド部を通過した後にベルトをスムーズに平坦な形状に戻すことができる。また、円柱形状の突起は、製造しやすく、強度を確保しやすいという利点がある。

【0072】

しかし、ガイド部を構成する突起は円柱形状に限定されるものではない。例えば、ベルトが接触する領域が滑らかな円筒面で、それ以外の領域が非円形形状（一例として、平面）である一対の突起によってガイド部を構成してもよい。

【0073】

上記の各実施形態では、搬送装置のガイド部が、ベルトの幅方向に離間した一対の突起を備えている。この構成によれば、一対の突起は先端側で接続せずに互いの間が開放されているので、搬送装置の組み立て時に一対の突起の間にベルトを通す作業や、搬送装置のメンテナンス時に一対の突起の間からベルトを離脱させる作業を行いやすい。しかし、ガイド部は当該構成に限定されるものではなく、例えば、一対の突起が先端側で接続している（先端側が開放せずに閉じている）Ｕ字構造のガイド部などを適用することも可能である。

【0074】

別の変形例として、一対の突起ではなく、溝形状のガイド部を採用し、溝の両側面によってベルトの幅方向の両端を狭めるように変形させてもよい。

【0075】

なお、本発明の実施の形態は上記の実施形態や変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。従って、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。

【産業上の利用可能性】

【0076】

以上に説明したように、本発明の搬送装置は、ベルトを薄くして軽量化した場合でも、ベルトの横ずれを防いでリールに巻き取らせることができ、搬送装置における駆動系の軽量化の要求が高い搬送システムなどにおいて非常に有用である。

【符号の説明】

【0077】

１０ ：搬送装置
１１ ：荷台
１２ ：ベルト
１３ ：リール
１４ ：駆動部
１７ ：回転軸
１９ ：ガイド部
１９１ ：突起
２０ ：搬送装置
２１ ：方向切り換え軸
２２ ：リール
２３ ：駆動部
２４ ：ガイド部
２４１ ：突起
２５ ：搬送装置
２６ ：ガイド部
２６１ ：突起
３０ ：搬送装置
３１ ：荷台
３２～３５ ：ベルト
３９ ：開口
４０ ：回転軸
４１、４２ ：方向切り換え軸
４３、４４ ：リール
４６ ：駆動部
５０～５３ ：ガイド部
５０１ ：突起
５１１ ：突起
５２１ ：突起
５３１ ：突起
６０ ：搬送装置
６１～６４ ：ガイド部
６１１ ：突起
６２１ ：突起
６３１ ：突起
６４１ ：突起
７０ ：搬送車
７１ ：荷台

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】