特開 2024-179793 カセット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024179793

(43)【公開日】2024-12-26

(54)【発明の名称】カセット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20241219BHJP

   B65D 85/30 20060101ALN20241219BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65D85/30 500

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023098929

(22)【出願日】2023-06-16

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110003524

【氏名又は名称】弁理士法人愛宕綜合特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】秋柴 俊之

【テーマコード（参考）】

3E096

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E096AA06

3E096BA16

3E096BB03

3E096CA01

3E096CB03

3E096DA05

3E096EA02X

3E096EA02Y

3E096FA03

3E096FA23

3E096GA03

3E096GA12

5F131AA02

5F131AA10

5F131BA51

5F131CA09

5F131GA02

5F131GA12

5F131GA63

(57)【要約】

【課題】板状物をカセット内に収容して長時間保管しても、板状物の自重により板状物に割れが生じたり、上方の板状物が、下方の板状物又はテープに接触したりするという問題を解消し、また、板状物の表面や板状物を支持するテープに異物が付着するという問題を解消することができるカセットを提供する。
【解決手段】板状物を収容するカセット１０であって、板状物を支持する支持溝１２が対向して配設され該板状物の搬入及び搬出を許容する開口部１１を形成する一対の側壁１３、１４と、一対の側壁１３、１４の上部を連結する天井部１５と、一対の側壁１３、１４の下部を連結する底部１６と、一対の側壁１３、１４の開口部１１の反対側を連結する背部１７と、を含み、支持溝１２の開口部１１側の端部には、開口部１１に向かって末広がり形状をなすテーパー部１２ａが形成され、支持溝１２の幅は、テーパー部１２ａの狭くなった幅で背部１７に向かって維持され、開口部１１を上にして縦に置くことを可能にする。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状物を収容するカセットであって、
板状物を支持する支持溝が対向して配設され該板状物の搬入及び搬出を許容する開口部を形成する一対の側壁と、
該一対の側壁の上部を連結する天井部と、
該一対の側壁の下部を連結する底部と、
該一対の側壁の該開口部の反対側を連結する背部と、
を含み、
該支持溝の開口部側の端部には、該開口部に向かって末広がり形状をなすテーパー部が形成され、
該支持溝の幅は、該テーパー部の狭くなった幅で該背部に向かって維持され、
該開口部を上にして縦に置くことを可能にするカセット。

【請求項2】

該背部には、該支持溝の幅に対応して板状物を支持する背部支持溝が形成される請求項１に記載のカセット。

【請求項3】

該板状物は、ウエーハを収容する開口を中央に備えたフレームにテープを介してウエーハが支持されているフレームユニットである請求項１に記載のカセット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、板状物を収容するカセットに関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

【0003】

ウエーハは、個々のデバイスチップに分割された後、ウエーハの形態を保った状態でピックアップ工程等の後工程に搬送されるため、ウエーハを収容する開口を中央に備えたフレームにテープを介して支持されてフレームユニットの形態に構成される。

【0004】

また、フレームユニットは、カセットに複数収容されてダイシング装置、レーザー加工装置等に搬送されて設置される（例えば特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１５－８２５８８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、従来のカセットのように、ウエーハを支持するフレームユニットの面を水平方向に一致させてカセット内に収容して長時間保管すると、ウエーハの厚みが薄い場合（例えば２００μｍ以下）には、ウエーハの自重によって中央が沈み、ウエーハに割れが生じたり、上方のウエーハが下方のウエーハやテープに接触したりするという問題が発生すると共に、ウエーハの表面やウエーハを支持するテープに異物（埃、塵等）が付着するという問題が発生する。さらには、ウエーハの面を水平方向に沿う方向で収容する従来のカセットを保管する場合には、少なくともウエーハユニットの大きさを超える面積の保管場所が必要であり、該カセットの保管場所の確保に経費が掛かるという問題がある。このような問題は、ウエーハを収容する開口を中央に備えたフレームにテープを介して支持されたフレームユニットを収容する場合に限定されず、単体のウエーハ、硝子板等を収容するカセットであっても、同様の問題が起こり得る。

【0007】

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、板状物をカセット内に収容して長時間保管しても、板状物の自重により板状物に割れが生じたり、上方の板状物が、下方の板状物又はテープに接触したりするという問題を解消し、また、板状物の表面や板状物を支持するテープに異物が付着するという問題を解消することができるカセットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、板状物を収容するカセットであって、板状物を支持する支持溝が対向して配設され該板状物の搬入及び搬出を許容する開口部を形成する一対の側壁と、該一対の側壁の上部を連結する天井部と、該一対の側壁の下部を連結する底部と、該一対の側壁の該開口部の反対側を連結する背部と、を含み、該支持溝の開口部側の端部には、該開口部に向かって末広がり形状をなすテーパー部が形成され、該支持溝の幅は、該テーパー部の狭くなった幅で該背部に向かって維持され、該開口部を上にして縦に置くことを可能にするカセットが提供される。

【0009】

該背部には、該支持溝の幅に対応して板状物を支持する背部支持溝を形成することが好ましい。また、該板状物は、ウエーハを収容する開口を中央に備えたフレームにテープを介してウエーハが支持されているフレームユニットであることが好ましい。

【発明の効果】

【0010】

本発明のカセットは、板状物を支持する支持溝が対向して配設され該板状物の搬入及び搬出を許容する開口部を形成する一対の側壁と、該一対の側壁の上部を連結する天井部と、該一対の側壁の下部を連結する底部と、該一対の側壁の該開口部の反対側を連結する背部と、を含み、該支持溝の開口部側の端部には、該開口部に向かって末広がり形状をなすテーパー部が形成され、該支持溝の幅は、該テーパー部の狭くなった幅で該背部に向かって維持され、該開口部を上にして縦に置くことを可能にすることから、板状物のバタつきが抑制されて、隣接する板状物同士が接触することなく保管することが可能になり、板状物を収容したカセットを長時間保存しても板状物の自重によって割れることがなく、板状物への異物の付着も防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】２つのカセットを、開口部を上にして縦に置いた状態を示す斜視図である。

【図2】図１に示す１つのカセットを平置きした状態を示す斜視図である。

【図3】図２に示すカセットの分解斜視図である。

【図4】図２に示すカセットにフレームを搬入する態様の一部を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明に基づいて構成されるカセットに係る実施形態について、添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

【0013】

図１には、板状物を複数収容可能に構成された本実施形態のカセット１０、２０が示されている。本実施形態のカセット１０、２０に収容される板状物は、例えば、図示のように、ウエーハＷを収容可能な開口Ｆａを中央に有する環状のフレームＦに、保護テープＴを介して複数のデバイスが表面に形成されたウエーハＷが保持されたウエーハユニットである。図示のように、カセット１０、２０は、該ウエーハユニットの搬入及び搬出を許容する開口部１１、２１を上にして縦に置くことが可能に構成されている。図示のカセット１０とカセット２０は、同一の構成を備えており、以下の説明では、カセット１０に基づいて、その構成について詳細に説明し、カセット２０についての詳細な説明は省略する。なお、カセット１０、２０は、図１に示すように、２つを並べて置くことに限定されず、単独で置くこともできるし、３つ以上を並べて置くこともできる。

【0014】

図２には、上記したカセット１０を平置きした場合の斜視図が示されている。該平置きとは、ウエーハユニットをカセット１０に収容した状態で、ウエーハユニットの上面及び下面が上下方向に向く姿勢で置かれることを言う。以下の説明において、上、下という場合は、この平置きされた状態での上、下を指すものとする。

【0015】

本実施形態のカセット１０は、上記したウエーハユニットを支持する支持溝１２が対向して配設されウエーハユニットの搬入及び搬出を許容する開口部１１を形成する一対の側壁１３、１４と、該一対の側壁１３、１４の上部を連結する天井部１５と、該一対の側壁１３、１４の下部を連結する底部１６と、該一対の側壁１３、１４の該開口部１１の反対側を連結する背部１７とを備えている。側壁１３、１４に形成された対向する支持溝１２、１２の間隔は、フレームユニットの外形寸法に対応して形成されている。

【0016】

図３には、上記したカセット１０の分解斜視図が示されている。上記したように、一対の側壁１３、１４の内壁面には、上記したウエーハユニットを支持する複数の支持溝１２が対向して形成されており（側壁１４の支持溝１２は一部のみ見えている。）、図３の左下側には、側壁１３において支持溝１２が形成された図中Ａで示す領域を拡大した拡大図を示している。

【0017】

図３に示す領域Ａの拡大図により理解されるように、支持溝１２の開口部１１側の端部には、溝幅が一定となる直線部１２ｃが形成されると共に、該開口部１１に向かって支持溝１２を形成する溝の幅が徐々に大きくなる、いわゆる末広がり形状をなすテーパー部１２ａが形成されている。また、該支持溝１２は、上記したテーパー部１２ａに加え、該テーパー部１２ａの狭くなった幅が背部１７に向かって維持された細溝部１２ｂを備えている。なお、上記した直線部１２ｃは必ずしも必須の構成ではなく、末広がり形状をなすテーパー部１２ａを維持して省略してもよい。また、細溝部１２ｂは、必ずしも背部１７に達する位置まで形成される必要はなく、収容するフレームユニットのフレームＦの形状が図１に示すように環状であることから、支持される領域に応じて、図３に示すように背部１７に達する前に終了してもよい。側壁１４にも、上記した側壁１３に形成された支持溝１２と同一形状の支持溝１２が対向して複数形成されている。

【0018】

また、図３に示すように、本実施形態のカセット１０では、背部１７の内壁面に、複数の背部支持溝１９が形成されている。該背部支持溝１９は、側壁１３、１４に形成された支持溝１２に対応して形成されており、上記したウエーハユニットのフレームＦを支持すべく、該支持溝１２に対応する幅で形成される。背部支持溝１９は、背部１７の内壁面に形成された支持溝形成部１８に形成されている。図３の右方側には、この背部支持溝１９が形成された図中Ｂで示す領域を拡大した拡大図が示されている。

【0019】

図３に示す領域Ｂの拡大図により理解されるように、背部支持溝１９の開口部１１側の端部には、溝幅が一定となる直線部１９ｃが形成されると共に、該開口部１１の方向に向かって末広がり形状をなすテーパー部１９ａが形成されている。また、該背部支持溝１９の幅は、該テーパー部１９ａの狭くなった幅で背部１７に向かって維持された細溝部１９ｂが形成されている。

【0020】

図４に、カセット１０の側壁１３に形成された支持溝１２と背部１７に形成された背部支持溝１９を側方から見た側面図とを示すと共に（説明の都合上一部のみ示している）、開口部１１側から矢印Ｒ１で示す方向に搬入されるウエーハユニットのフレームＦを示している。

【0021】

フレームＦの厚みをＬとした場合、支持溝１２の開口部１１側端部における幅Ｐ１は、３Ｌ～５Ｌ程度で設定されることが好ましく、より好ましくは、４Ｌ程度で設定される。よって、例えばフレームＦの厚みＬが１ｍｍの場合は、支持溝１２の開口部１１側端部における幅Ｐ１は３～５ｍｍ、より好ましくは４ｍｍで設定される。

【0022】

また、テーパー部１２ａの狭くなった幅が背部１７に向かって維持された細溝部１２ｂの溝幅Ｐ２は、フレームＦの厚みをＬとした場合、１．２～１．５Ｌに設定されることが好ましい。よって、例えばフレームＦの厚みＬが１ｍｍの場合の該細溝部１２ｂの溝幅Ｐ２は、１．２ｍｍ～１．５ｍｍで設定される。

【0023】

背部支持溝１９の開口部１１側端部における幅Ｑ１も、上記した支持溝１２と同様に、３Ｌ～５Ｌ程度で設定されることが好ましく、より好ましくは、４Ｌ程度で設定される。よって、例えばフレームＦの厚みＬが１ｍｍの場合は、支持溝１２の開口部１１側端部における幅Ｑ１は３～５ｍｍ、より好ましくは４ｍｍで設定される。

【0024】

また、テーパー部１９ａの狭くなった幅が背部１７に向かって維持された細溝部１９ｂの溝幅Ｑ２は、上記した支持溝１２と同様に、フレームＦの厚みをＬとした場合、１．２～１．５Ｌに設定されることが好ましい。よって、例えばフレームＦの厚みＬが１ｍｍの場合の該細溝部１９ｂの溝幅Ｑ２は、１．２～１．５ｍｍで設定される。なお、支持溝形成部１８に形成する背部支持溝１９については、上記したテーパー部１９ａを設けず、細溝部１９ｂのみを形成するようにしてもよい。開口部１１側端部から搬入されるフレームユニットを構成するフレームＦは、側壁１３、１４の支持溝１２、１２のテーパー部１２ａ、１２ａによってガイドされながら挿入されて、側壁１３、１４の細溝部１２ｂ、１２ｂに導かれ、大幅に位置がずれることがなく背部支持溝１９に到達する。特にカセット１０を縦置きにした状態でフレームＦを搬入する場合には、仮にテーパー部１９ａが無かったとしても細溝部１９ｂに適切に到達させることができる。

【0025】

上記したカセット１０の一対の側壁１３、１４、天井部１５、底部１６、及び背部１７は、金属プレートに対してタレットパンチプレス等による切断・打ち抜き加工、ベンダー等による曲げ加工等による板金加工を施すことによって安価に製作することができる。また、該金属プレートとしてステンレス板を採用してカセット１０を形成することで、錆びにくく、クリーンな状態を長期間、維持することが可能になる。

【0026】

上記した実施形態によれば、フレームユニットを側壁１３、１４に形成した支持溝１２、１２に沿って収容することで、フレームユニットのバタつきが抑制されて、隣接するフレームユニット同士が接触することなくカセット１０の開口部１１を上にして縦置きし保管することが可能になり、フレームユニットを収容したカセット１０を比較的長時間保存しても、ウエーハＷの厚みが例えば２００μｍと薄い場合であってもウエーハＷの自重によって割れることがなく、ウエーハＷの表面や保護テープＴへの異物の付着を防止することができる。

【0027】

また、上記した支持溝１２の形態によって、縦置きするのに適したカセット１０、２０を構成することができ、保管場所を狭くすることが可能になり、保管場所に係る経費を抑えることも可能になる。さらには、カセット１０、２０を縦に置くことで、カセット１０、２０に収容されたフレームユニットの飛び出しを防止することもできる。

【0028】

なお、上記した実施形態では、カセット１０、２０に収容される板状物が、ウエーハＷを収容可能な開口Ｆａを中央に有する環状のフレームＦに、保護テープＴを介してウエーハＷが保持されたウエーハユニットである例を説明したが、本発明はこれに限定されず、単体のウエーハ、或いは硝子板であってもよい。

【符号の説明】

【0029】

１０：カセット
１１：開口部
１２：支持溝
１２ａ：テーパー部
１２ｂ：細溝部
１２ｃ：直線部
１３：側壁
１４：側壁
１５：天井部
１６：底部
１７：背部
１８：支持溝形成部
１９：背部支持溝
１９ａ：テーパー部
１９ｂ：細溝部
１９ｃ：直線部
２０：カセット
２１：開口部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】