特開 2024-179878 ブレード着脱具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024179878

(43)【公開日】2024-12-26

(54)【発明の名称】ブレード着脱具

(51)【国際特許分類】

   B24B 45/00 20060101AFI20241219BHJP

   B23D 61/02 20060101ALI20241219BHJP

【ＦＩ】

B24B45/00 A

B23D61/02 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】1

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023099164

(22)【出願日】2023-06-16

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】古住 浩志

(72)【発明者】

【氏名】平原 直人

【テーマコード（参考）】

3C034

【Ｆターム（参考）】

3C034AA19

3C034BB65

3C034DD20

(57)【要約】

【課題】装着時のワッシャーブレードの破損を抑制することができるブレード着脱具を提供すること。
【解決手段】ブレード着脱具１は、ワッシャーブレードをスピンドル先端に固定されたフランジに着脱するためのものであって、円柱状の本体１０と、本体１０の一方の端面１１の外周には、ワッシャーブレードに対応する位置で円周方向に複数形成され、ワッシャーブレードを吸引保持する吸引孔２５と、気体を供給する供給口２１と、気体を排出する排出口２４と、吸引孔２５に負圧を生成する流路２６と、を少なくとも備え、ワッシャーブレードを本体１０の一方の端面１１に吸引保持する際は、吸引孔２５に発生する負圧によって吸引保持され、ワッシャーブレードの吸引保持を解除する際は、排出口２４を塞ぐことによって気体が吸引孔２５から排出してワッシャーブレードの吸引保持を解除する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワッシャーブレードを切削装置のスピンドル先端に固定されたフランジに着脱するためのブレード着脱具であって、
円柱状の本体と、
該本体の一端面の外周には、該ワッシャーブレードに対応する位置で円周方向に複数形成され、該ワッシャーブレードを吸引保持する吸引孔と、
気体を供給する供給部と、気体を排出する排出部と、該吸引孔に負圧を生成する流路と、を少なくとも備え、
該ワッシャーブレードを該本体の一端面に吸引保持する際は、該吸引孔に発生する負圧によって吸引保持され、
該ワッシャーブレードの吸引保持を解除する際は、該排出部を塞ぐことによって気体が該吸引孔から排出して該ワッシャーブレードの吸引保持を解除する、
ブレード着脱具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワッシャーブレードを着脱するためのブレード着脱具に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが表面に複数形成されたシリコンウエーハは、裏面が研削されて所定の厚みに形成された後、切削装置によって個々のデバイスに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

【0003】

切削装置に使用される切削ブレードの一つとして、公知のメタルブレード、レジンブレード等の環状の切削ブレード（ワッシャーブレード）があげられる。

【0004】

上記ワッシャーブレードは、運搬中の破損を防止するために、ブレードケースに収容されて、慎重に取り扱われている（例えば、特許文献１参照）。

【0005】

そして、ワッシャーブレードは、製造現場にてブレードケースから作業者が切削ブレードを素手で取り、切削装置のスピンドルの先端に装着されたフランジに装着され、固定フランジと固定ナットによって、スピンドルの先端に固定されて使用される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第４４３１０１６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、上記ワッシャーブレードの厚さは、例えば、０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下と薄く、作業者がワッシャーブレードを素手で取り扱うと破損してしまうという問題がある。

【0008】

本発明は、装着時のワッシャーブレードの破損を抑制することができるブレード着脱具を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のブレード着脱具は、ワッシャーブレードを切削装置のスピンドル先端に固定されたフランジに着脱するためのブレード着脱具であって、円柱状の本体と、該本体の一端面の外周には、該ワッシャーブレードに対応する位置で円周方向に複数形成され、該ワッシャーブレードを吸引保持する吸引孔と、気体を供給する供給部と、気体を排出する排出部と、該吸引孔に負圧を生成する流路と、を少なくとも備え、該ワッシャーブレードを該本体の一端面に吸引保持する際は、該吸引孔に発生する負圧によって吸引保持され、該ワッシャーブレードの吸引保持を解除する際は、該排出部を塞ぐことによって気体が該吸引孔から排出して該ワッシャーブレードの吸引保持を解除することを特徴とする。

【発明の効果】

【0010】

本発明は、装着時のワッシャーブレードの破損を抑制することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、実施形態１に係るブレード装着具の構成例を模式的に示す斜視図である。

【図2】図２は、図１に示されたブレード装着具を模式的に示す断面図である。

【図3】図３は、図１に示されたブレード装着具によりスピンドルの先端にワッシャーブレードが着脱される切削ユニットを分解して示す斜視図である。

【図4】図４は、図１に示されたブレード着脱具がワッシャーブレードを保持する状態を模式的に示す断面図である。

【図5】図５は、図４に示されたブレード着脱具がワッシャーブレードを保持した状態を模式的に示す断面図である。

【図6】図６は、図５に示されたブレード着脱具の一方の端面がスピンドルの先端に固定されたフランジに相対する状態を模式的に示す断面図である。

【図7】図７は、図６に示されたブレード着脱具の侵入凹部内にフランジのボス部を侵入させた状態を模式的に示す断面図である。

【図8】図８は、図７に示されたブレード着脱具がワッシャーブレードをフランジに装着した状態を模式的に示す断面図である。

【図9】図９は、図８に示されたブレード着脱具がフランジから離された状態を模式的に示す断面図である。

【図10】図１０は、実施形態２に係るブレード装着具の構成例を模式的に示す斜視図である。

【図11】図１１は、図１０に示されたブレード装着具を模式的に示す断面図である。

【図12】図１２は、図１０に示されたブレード装着具の一方の端面を模式的に示す斜視図である。

【図13】図１３は、図１０に示されたブレード着脱具の本体がワッシャーブレードを保持する状態を模式的に示す断面図である。

【図14】図１４は、図１３に示されたワッシャーブレードを保持したブレード着脱具の本体の一方の端面がスピンドルの先端に固定されたフランジに相対する状態を模式的に示す断面図である。

【図15】図１５は、図１４に示されたブレード着脱具の本体の侵入凹部内にフランジのボス部を侵入させた状態を模式的に示す断面図である。

【図16】図１６は、図１５に示されたブレード着脱具がワッシャーブレードをフランジに装着した状態を模式的に示す断面図である。

【図17】図１７は、ワッシャーブレードを取り外す際に、図１０に示されたブレード着脱具の本体の侵入凹部内にフランジのボス部を侵入させた状態を模式的に示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0013】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るブレード装着具を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るブレード装着具の構成例を模式的に示す斜視図である。図２は、図１に示されたブレード装着具を模式的に示す断面図である。図３は、図１に示されたブレード装着具によりスピンドルの先端にワッシャーブレードが着脱される切削ユニットを分解して示す斜視図である。

【0014】

（切削ユニット）
図１及び図２に示すブレード着脱具１は、図３に示された切削装置の切削ユニット１００のスピンドル１２０の先端にワッシャーブレード１０１を着脱するものである。ワッシャーブレード１０１は、図３に示すように、リング形状を有する極薄の切削砥石である。ワッシャーブレード１０１は、砥粒がボンドで固定された切り刃１０２を備え、実施形態１では、切り刃１０２のみで構成されている。実施形態１では、ワッシャーブレード１０１は、リング形状に形成され、内周側に円形の装着穴１０３が形成されている。ワッシャーブレード１０１は、図３に示された切削装置の切削ユニット１００のスピンドル１２０に装着されて、半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハ等の被加工物を切削するものである。

【0015】

ワッシャーブレード１０１を装着する切削ユニット１００は、図３に示すように、切削装置のＹ軸移動ユニットにより水平方向と平行なＹ軸方向に移動自在に設けられＺ軸移動ユニットにより鉛直方向と平行なＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング１１０と、スピンドルハウジング１１０にＹ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられかつ図示しないスピンドルモータにより軸心回りに回転されるスピンドル１２０と、スピンドル１２０の先端に固定されるフランジ１３０と、押さえフランジ１４０と、固定ねじ１５０と、ナット１６０と、ブレードカバー１７０と、切削水供給ノズル１８０とを備える。

【0016】

スピンドル１２０は、スピンドルハウジング１１０の先端面から先端が突出して設けられ、先端がスピンドルハウジング１１０に近付くにしたがって徐々に大径となるテーパ状（先細ともいう）に形成されている。また、スピンドル１２０は、先端面にねじ孔１２１が開口している。

【0017】

フランジ１３０は、スピンドル１２０の先端部に固定されて、ワッシャーブレード１０１を支持するものである。フランジ１３０は、Ｙ軸方向に延在する円筒状のボス部１３１と、ボス部１３１のスピンドルハウジング１１０寄りの一端部に設けられた受けフランジ部１３２とを有している。

【0018】

ボス部１３１は、Ｙ軸方向に延在し、外径が全長に亘ってワッシャーブレード１０１の中央の装着穴１０３の内径よりも小径に形成されている。ボス部１３１は、内周側の貫通孔１３３内にスピンドル１２０の先端部が挿入される。ボス部１３１は、貫通孔１３３の外周にＺ軸方向と平行な段差面１３４が形成されている。また、ボス部１３１は、外周面に雄ねじ１３５が形成されている。

【0019】

受けフランジ部１３２は、ボス部１３１のスピンドルハウジング１１０寄りの軸方向後端から径方向に沿って外周方向に突出してボス部１３１の外径よりも大径な円環状に形成されている。受けフランジ部１３２は、外径がワッシャーブレード１０１の内径よりも大きくかつワッシャーブレード１０１の外径よりも小さい。受けフランジ部１３２は、外縁部にＺ軸方向に沿って平坦でかつワッシャーブレード１０１を支持する支持面１３６と、支持面１３６よりも内周側でかつワッシャーブレード１０１の内径と外径が等しいリング状の環状凸部１３７とを備える。環状凸部１３７は、ワッシャーブレード１０１の装着穴１０３内に嵌め込まれて、ワッシャーブレード１０１を位置決めする。ボス部１３１と受けフランジ部１３２とは、同軸に配置されている。

【0020】

フランジ１３０は、貫通孔１３３内にスピンドル１２０の先端部が挿入され、貫通孔１３３を通ってスピンドル１２０の先端面に設けられたねじ孔１２１に固定ねじ１５０が螺合し、固定ねじ１５０の頭１５１が段差面１３４に密着することで、スピンドル１２０の先端に固定される。フランジ１３０は、ボス部１３１がワッシャーブレード１０１の装着穴１０３内に通されて、環状凸部１３７が装着穴１０３内に嵌め込まれて、受けフランジ部１３２の支持面１３６でワッシャーブレード１０１を支持する。

【0021】

押さえフランジ１４０は、中央にフランジ１３０のボス部１３１に装着される装着穴１４１を有した円環状に形成されている。押さえフランジ１４０は、内径がボス部１３１の外径と等しく、外径がワッシャーブレード１０１の外径よりも小径である。押さえフランジ１４０は、装着穴１４１内にフランジ１３０のボス部１３１の先端部を通して、フランジ１３０の支持面１３６との間にワッシャーブレード１０１を挟持する。

【0022】

ナット１６０は、円環状に形成され、ボス部１３１の雄ねじ１３５と螺合する雌ねじ１６１が内周面に形成されている。ナット１６０は、押さえフランジ１４０の装着穴１４１内にスピンドル１２０に固定されたフランジ１３０のボス部１３１が通され、押さえフランジ１４０が支持面１３６との間にワッシャーブレード１０１を挟持した状態でフランジ１３０のボス部１３１の雄ねじ１３５に雌ねじ１６１が螺合して、ボス部１３１に締結する。ナット１６０は、ボス部１３１に締結することで、フランジ１３０と押さえフランジ１４０との間にワッシャーブレード１０１を挟持して、固定する。

【0023】

ブレードカバー１７０は、スピンドルハウジング１１０の先端面に固定されたブレードカバー本体１７１と、ブレードカバー本体１７１に対して水平方向に沿いかつＹ軸方向に対して直交するＸ軸方向にスライド可能なスライドカバー１７２とを備える。ブレードカバー本体１７１は、スピンドル１２０の先端部を露出する構成となっている。

【0024】

スライドカバー１７２は、エアシリンダ１７３を介してブレードカバー本体１７１に連結されており、エアシリンダ１７３に供給される加圧されたエアによりブレードカバー本体１７１に対してＸ軸方向にスライドする。スライドカバー１７２は、図３に実線で示すブレードカバー本体１７１から離れてスピンドル１２０の先端部にフランジ１３０を介してワッシャーブレード１０１を着脱する着脱位置と、図３に破線で示すワッシャーブレード１０１の上方を覆う覆い位置とに亘ってスライドする。

【0025】

切削水供給ノズル１８０は、スライドカバー１７２の下端部に一対固定されている。実施形態１では、切削水供給ノズル１８０は、側方からみて略Ｌ字状に延在し、互いの間にワッシャーブレード１０１の下端部を位置付ける。切削水供給ノズル１８０は、図示しない切削水供給源から切削水（実施形態１では、純水）が供給され、供給された切削水をワッシャーブレード１０１に供給して、ワッシャーブレード１０１を冷却、洗浄する。

【0026】

ワッシャーブレード１０１は、フランジ１３０，１４０で挟持された状態で切削装置の切削ユニット１００のスピンドル１２０に装着される。なお、実施形態１では、ワッシャーブレード１０１は、厚みが一定であり、０．１ｍｍ以上でかつ０．３ｍｍ以下である。

【0027】

（ブレード着脱具）
実施形態１に係るブレード着脱具１は、ワッシャーブレード１０１を切削装置の切削ユニット１００のスピンドル１２０の先端に固定されたフランジ１３０に着脱するための治具である。ブレード着脱具１は、図１及び図２に示すように、円柱状の本体１０と、気体流路２０とを備える。

【0028】

本体１０は、外径がワッシャーブレード１０１の外径よりも小さくかつワッシャーブレード１０１の内径よりも大きな円柱状に形成されている、本体１０は、円形の一方の端面１１（一端面に相当）が軸心に対して直交する方向に平坦に形成され、一方の端面１１にフランジ１３０のボス部１３１が侵入する侵入凹部１２と、ワッシャーブレード１０１の装着穴１０３内に嵌め込まれてワッシャーブレード１０１を位置決めする位置決め凸部１３とを備えている。

【0029】

侵入凹部１２は、一方の端面１１から凹に形成され、内径がボス部１３１の外径よりも大きな平面視が円形の凹みに形成されている。侵入凹部１２の一方の端面１１からの深さは、ボス部１３１の先端の受けフランジ部１３２からの突出量よりも深い。位置決め凸部１３は、一方の端面１１から凸でかつ外径がワッシャーブレード１０１の内径と等しい円環状に形成され、侵入凹部１２と同軸となる位置に配置されている。実施形態１では、位置決め凸部１３の一方の端面１１からの突出量は、ワッシャーブレード１０１の切り刃１０２の厚みと等しい又は若干大きい。

【0030】

気体流路２０は、気体供給源２から供給された加圧された気体を本体１０内で流して本体１０外に排出する本体１０内に設けられた空間である。気体流路２０は、供給口２１（供給部に相当）と、気体供給通路２２と、絞り部２３と、排出口２４（排出部に相当）と、吸引孔２５と、流路２６とを備えている。

【0031】

供給口２１は、本体１０の外表面に開口して、可撓性を有するパイプ３等を介して気体供給源２に連結している。実施形態１では、供給口２１は、本体１０の円形の他方の端面１４に開口している。供給口２１は、気体供給源２からの気体を本体１０内に供給する。

【0032】

気体供給通路２２は、一端が供給口２１に連結して、供給口２１を介して気体供給源２からの気体を流す本体１０内に設けられた通路である。実施形態１では、気体供給通路２２は、供給口２１に連結した一端から本体１０の軸心に沿って延在し、本体１０の外周面１５に向かって屈曲している。

【0033】

絞り部２３は、一端が気体供給通路２２の他端に連結し、気体供給通路２２から本体１０の外周面１５に向かって延びている。絞り部２３は、気体供給通路２２から離れるのにしたがって徐々に断面における開口面積が減少するように、気体供給通路２２から離れるのにしたがって徐々に細く形成されている。

【0034】

排出口２４は、絞り部２３の他端に連結し、本体１０の外周面１５に開口して、気体を排出するものである。

【0035】

吸引孔２５は、本体１０の一方の端面１１の位置決め凸部１３よりも外周に開口し、本体１０の一方の端面１１の位置決め凸部１３よりも外周に円周方向に間隔をあけて複数形成されて、一方の端面１１にワッシャーブレード１０１を吸引保持するものである。なお、本体１０の一方の端面１１の位置決め凸部１３よりも外周とは、位置決め凸部１３により位置決めされたワッシャーブレード１０１により対応する位置である。実施形態１では、吸引孔２５は、位置決め凸部１３により位置決めされたワッシャーブレード１０１により塞がれる。

【0036】

流路２６は、吸引孔２５に負圧（大気圧よりも低い気圧）を生成するものである。流路２６は、吸引孔連結部２７と、連結流路２８とを備える。吸引孔連結部２７は、各吸引孔２５に連結する孔連結部２７１と、本体１０の内部の中央に設けられ、全ての孔連結部２７１が連結した連結空間２７２とを備える。

【0037】

連結流路２８は、両端が連結空間２７２と絞り部２３の他端に連結しており、連結空間２７２から絞り部２３の他端に向かうにしたがって徐々に絞り部２３及び本体１０の外周面１５に近付く方向に延在して、絞り部２３内の気体の流れる方向の後方側から絞り部２３の他端に連結している。流路２６は、排出口２４が気体供給源２からの気体を排出する状態において、連結流路２８が絞り部２３内を流れる気体により吸引され、連結流路２８が絞り部２３内を流れる気体により吸引されることで、各吸引孔２５に負圧を生成する。

【0038】

次に、前述した構成のブレード着脱具１を用いてワッシャーブレード１０１を切削装置の切削ユニット１００のスピンドル１２０の先端に固定されたフランジ１３０に装着する方法を図面に基づいて説明する。図４は、図１に示されたブレード着脱具がワッシャーブレードを保持する状態を模式的に示す断面図である。図５は、図４に示されたブレード着脱具がワッシャーブレードを保持した状態を模式的に示す断面図である。図６は、図５に示されたブレード着脱具の一方の端面がスピンドルの先端に固定されたフランジに相対する状態を模式的に示す断面図である。図７は、図６に示されたブレード着脱具の侵入凹部内にフランジのボス部を侵入させた状態を模式的に示す断面図である。図８は、図７に示されたブレード着脱具がワッシャーブレードをフランジに装着した状態を模式的に示す断面図である。図９は、図８に示されたブレード着脱具がフランジから離された状態を模式的に示す断面図である。

【0039】

切削装置の切削ユニット１００は、ワッシャーブレード１０１が装着される前には、スピンドル１２０の軸心回りの回転が停止され、スライドカバー１７２が着脱位置に位置付けられ、ナット１６０及び押さえフランジ１４０がボス部１３１から取り外されている。まず、ブレード着脱具１は、気体供給源２から供給口２１に加圧された気体が供給される。すると、気体は、図４に矢印で示すように、供給口２１から気体供給通路２２、絞り部２３内を流れて排出口２４から本体１０外に排出される。

【0040】

また、本体１０に供給された気体は、絞り部２３内を流れる際に流速が加速され、流路２６内を吸引して、吸引孔２５を吸引して、吸引孔２５に負圧を生成する。ブレード着脱具１は、図４に示すように、本体１０の一方の端面１１が図示しないブレードケース内のワッシャーブレード１０１に相対された後、図５に示すように、吸引孔２５によりワッシャーブレード１０１を吸引して一方の端面１１にワッシャーブレード１０１を吸引保持する。このとき、位置決め凸部１３が装着穴１０３内に嵌め込まれて、ブレード着脱具１は、ワッシャーブレード１０１を本体１０の一方の端面１１に位置決めする。

【0041】

ブレード着脱具１は、図６に示すように、ワッシャーブレード１０１吸引保持した本体１０の一方の端面１１がフランジ１３０のボス部１３１に相対された後、侵入凹部１２内にボス部１３１を侵入させて、図７に示すように、位置決め凸部１３をフランジ１３０の環状凸部１３７に当接される。ブレード着脱具１は、図８に示すように、オペレータの指等により排出口２４が塞がれる。

【0042】

すると、排出口２４から本体１０外に排出されていた気体が、図８に矢印で示すように、絞り部２３の他端から流路２６内に侵入して、吸引孔２５から排出される。すると、ワッシャーブレード１０１が、図８に示すように、フランジ１３０の受けフランジ部１３２に向かって押し出されて、装着穴１０３内に環状凸部１３７が嵌め込まれ、支持面１３６で支持されて、フランジ１３０に装着される。ブレード着脱具１は、図９に示すように、フランジ１３０から離される。

【0043】

こうして、ブレード着脱具１は、ワッシャーブレード１０１を本体１０の一方の端面１１に吸引保持する際は、吸引孔２５に発生する負圧によってワッシャーブレード１０１が吸引保持され、ワッシャーブレード１０１の吸引保持を解除する際は、排出口２４を塞ぐことによって気体が吸引孔２５から排出してワッシャーブレード１０１の吸引保持を解除する。また、ブレード着脱具１は、ワッシャーブレード１０１をフランジ１３０から取り外す際には、ワッシャーブレード１０１を装着する際と逆の動作によりワッシャーブレード１０１をフランジ１３０から取り外す。

【0044】

以上説明したように、実施形態１に係るブレード着脱具１は、本体１０の一方の端面１１の位置決め凸部１３の外周の吸引孔２５と、本体１０内に気体を供給する供給口２１と、気体を排出する排出口２４と、供給口２１から排出口２４まで気体を供給する気体供給通路２２と、絞り部２３の他端に連結しかつ吸引孔２５に連結した流路２６とを備えている。このために、ブレード着脱具１は、排出口２４が開放されると、絞り部２３内を流れる気体により流路２６を介して吸引孔２５が吸引されて、一方の端面１１にワッシャーブレード１０１を吸引保持できる。

【0045】

また、実施形態１に係るブレード着脱具１は、侵入凹部１２内にボス部１３１を侵入させて、排出口２４が塞がれることにより、気体を吸引孔２５から排出して、ワッシャーブレード１０１をフランジ１３０に装着することができる。

【0046】

このために、実施形態１に係るブレード着脱具１は、オペレータ等がワッシャーブレード１０１を触れることなく、一方の端面１１に吸引保持でき、ワッシャーブレード１０１をフランジ１３０に着脱することができる。その結果、実施形態１に係るブレード着脱具１は、オペレータがワッシャーブレード１０１を触れることなく、切削装置のスピンドル１２０の先端に固定されたフランジ１３０に着脱することができ、装着時のワッシャーブレード１０１の破損を抑制することができるという効果を奏する。

【0047】

〔実施形態２〕
実施形態２に係るブレード装着具を図面に基づいて説明する。図１０は、実施形態２に係るブレード装着具の構成例を模式的に示す斜視図である。図１１は、図１０に示されたブレード装着具を模式的に示す断面図である。図１２は、図１０に示されたブレード装着具の一方の端面を模式的に示す斜視図である。なお、図１０、図１１及び図１２は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0048】

実施形態２に係るブレード着脱具１－２は、図１０及び図１１に示すように、ガン本体３０と、本体１０と、気体流路２０－２とを備える。ガン本体３０は、オペレータが把持する把持部３１と、把持部３１に連なった本体部３２とを備える。把持部３１と、本体部３２とはそれぞれ直線状に延在している。本体部３２は、基端が把持部３１の先端に連なり、把持部３１の長手方向に対して交差している。また、実施形態２に係るブレード着脱具１のガン本体３０は、把持部３１と本体部３２とが一体に形成され、互いに間隔をあけて平行に配置された２枚の板部材３３により構成されている。

【0049】

また、ガン本体３０は、２枚の板部材３３の把持部３１の先端に回転自在に支持した操作レバー３４と、本体部３２の先端部に回転自在に支持した切り換えレバー３５と、切り換え機構３６とを備える。レバー３４，３５は、棒状に形成され、２枚の板部材３３間に回転中心が配置されている。操作レバー３４は、一端部が板部材３３に回転自在に支持され、他端部が把持部３１よりも本体部３２の先端側に配置されている。操作レバー３４は、基端部が把持部３１に近付く方向に図示しない付勢手段により付勢されている。

【0050】

切り換えレバー３５は、長手方向の中央部が板部材３３に回転自在に支持されている。

【0051】

切り換え機構３６は、切り換えレバー３５の一端部に回転自在に連結して、切り換えレバー３５が中央部を中心として回転されることで、本体部３２の長手方向に沿ってスライドするスライド部材３７と、板部材３３に固定されかつスライド部材３７を本体部３２の長手方向に沿ってスライドさせる案内部材３８とを備えている。切り換えレバー３５は、一端部が切り換えレバー３５の一端部に回転自在に連結し、一端部よりも他端部が本体部３２の基端即ち把持部３１側に位置している。切り換えレバー３５の他端部には貫通孔３９が貫通している。

【0052】

なお、操作レバー３４の回転中心、切り換えレバー３５の回転中心及びスライド部材３７の切り換えレバー３５に対する回転中心は、本体部３２の長手方向に対して直交し、互いに平行である。

【0053】

実施形態２に係るブレード着脱具１の本体１０は、他方の端面１４がガン本体３０の本体部３２の先端に取り付けられて、両端面１１，１４が本体部３２の長手方向に対して直交している。本体１０は、実施形態１と同様に、図１２に示すように、一方の端面１１に侵入凹部１２と、吸引孔２５と、位置決め凸部１３とが形成されている。

【0054】

気体流路２０－２は、図１１に示すように、気体を本体１０内に供給する供給部としての開閉バルブ４１と、開閉バルブ４１に連結した分岐継手４２と、吸引孔２５と、噴出孔４３と、流路２６－２と、第２流路４７とを備えている。

【0055】

開閉バルブ４１は、ガン本体３０の２枚の板部材３３間でかつ把持部３１の基端に配置されて、気体供給源２から加圧された気体が供給される。開閉バルブ４１は、内部に気体を通す流路が形成され、流路を開閉する弁体を収容したバルブ本体４１１と、バルブ本体４１１に回転自在に設けられたリンクレバー４１２と、バルブ本体４１１に突没自在に設けられ、かつリンクレバー４１２の長手方向の中央部と相対する開閉部材４１３とを備える。

【0056】

リンクレバー４１２は、一端部がバルブ本体４１１に回転自在に支持され、他端部が操作レバー３４の他端部の把持部３１側に接触している。リンクレバー４１２は、他端部が操作レバー３４の他端部に向かう方向に図示しない付勢手段により付勢されている。開閉部材４１３は、バルブ本体４１１から突出すると、弁体にバルブ本体４１１内の流路を閉じさせ、バルブ本体４１１に没すると弁体にバルブ本体４１１内の流路を開かせる。

【0057】

開閉バルブ４１は、図１１に示すように操作レバー３４の他端部が把持部３１から離れた状態では開閉部材４１３がバルブ本体４１１から突出して、弁体にバルブ本体４１１内の流路を閉じさせて、気体供給源２からの気体の流路内の流れを遮断する。開閉バルブ４１は、図１１に示す位置から操作レバー３４の他端部が把持部３１に近づけられると、リンクレバー４１２の他端部が操作レバー３４の他端部から押圧されて、リンクレバー４１２の中央部が開閉部材４１３をバルブ本体４１１に向かって押圧して、開閉部材４１３をバルブ本体４１１に没しさせる。すると、開閉バルブ４１は、弁体にバルブ本体４１１内の流路を開かせて、気体供給源２からの気体を流路内に流す。

【0058】

分岐継手４２は、ガン本体３０の２枚の板部材３３間に配置されている。分岐継手４２は、内部に流路が形成され、入口４２１を１つ備え、出口４２２，４２３を２つ備えた管継手である。分岐継手４２は、入口４２１が開閉バルブ４１に連結し、開いた開閉バルブ４１を介して気体供給源２からの気体を分岐して、２つの出口４２２，４２３それぞれから排出する。分岐継手４２は、入口４２１と２つの出口４２２，４２３とが互いに平行である。

【0059】

噴出孔４３は、図１２に示すように、本体１０の一方の端面１１の位置決め凸部１３の先端に面に開口し、本体１０の円周方向に間隔をあけて複数形成されている。

【0060】

流路２６－２は、吸引孔２５に負圧を生成するものであり、本体１０内に形成された吸引孔連結部２７と、連結流路４４とを備えている。吸引孔連結部２７は、実施形態１と同様に、孔連結部２７１と、連結空間２７２とを備える。

【0061】

連結流路４４は、連結空間２７２と分岐継手４２とを連結するものである。連結流路４４は、第２分岐継手４５と、連結管４６とを備える。第２分岐継手４５は、ガン本体３０の２枚の板部材３３間に配置されている。第２分岐継手４５は、内部に流路が形成され、入口４５１を１つ備え、出口４５２，４５３を２つ備えた管継手である。

【0062】

実施形態２では、第２分岐継手４５は、入口４５１と一方の出口４５２とが同一直線状に配置され、他方の出口４５３が入口４５１及び一方の出口４５２と直交している。入口４５１は、分岐継手４２の一方の出口４２２に連結している。第２分岐継手４５の一方の出口４５２は、ガン本体３０の本体部３２外に突出して、気体供給源２から開閉バルブ４１及び分岐継手４２等を介して挟持された気体を排出する排出部である。

【0063】

第２分岐継手４５の一方の出口４５２は、図１１に示すように、切り換えレバー３５の一端部よりも他端部が本体１０側に位置すると、スライド部材３７の貫通孔３９と重なって開放される。また、第２分岐継手４５の一方の出口４５２は、切り換えレバー３５の一端部よりも他端部が把持部３１側に位置すると、スライド部材３７により塞がれる。

【0064】

連結管４６は、内部に流路が形成された配管である。連結管４６は、一端が第２分岐継手４５の他方の出口４５３に連結し、他端が連結空間２７２に連結している。流路２６－２は、排出部である第２分岐継手４５の一方の出口４５２が気体供給源２からの気体を排出する状態において、連結管４６が第２分岐継手４５の入口４５１から一方の出口４５２に向かって流れる気体により吸引され、連結管４６が第２分岐継手４５の入口４５１から一方の出口４５２に向かって流れる気体により吸引されることで、各吸引孔２５に負圧を生成する。

【0065】

第２流路４７は、本体１０内に形成された噴出孔連結部４８と、第２連結流路４９とを備えている。噴出孔連結部４８は、各噴出孔４３に連結する孔連結部４８１と、本体１０の内部の中央に設けられ、全ての孔連結部４８１が連結しかつ連結空間２７２とは独立した（即ち非連通の）第２連結空間４８２とを備える。

【0066】

第２連結流路４９は、第２連結空間４８２と分岐継手４２とを連結するものである。第２連結流路４９は、内部に流路が形成された配管である。第２連結流路４９は、一端が分岐継手４２の他方の出口４２３に連結し、他端が第２連結空間４８２に連結している。第２流路４７は、分岐継手４２及び開閉バルブ４１を介して気体供給源２から供給される気体を噴出孔４３から噴出させる。

【0067】

また、実施形態２において、本体１０は、図１２に示すように、位置決め凸部１３の先端面に噴出孔４３同士を連通する環状の連結溝１６と、連結溝１６即ち噴出孔４３と位置決め凸部１３の外周面とに開口した排出溝１７とが形成されている。このために、実施形態２では、噴出孔４３は、連結溝１６の底に開口している。排出溝１７は、位置決め凸部１３の周方向に間隔（実施形態２では、等間隔）をあけて複数形成されている。

【0068】

次に、前述した構成のブレード着脱具１－２を用いてワッシャーブレード１０１を切削装置のスピンドル１２０の先端に固定されたフランジ１３０に装着する方法を図面に基づいて説明する。図１３は、図１０に示されたブレード着脱具の本体がワッシャーブレードを保持する状態を模式的に示す断面図である。図１４は、図１３に示されたワッシャーブレードを保持したブレード着脱具の本体の一方の端面がスピンドルの先端に固定されたフランジに相対する状態を模式的に示す断面図である。図１５は、図１４に示されたブレード着脱具の本体の侵入凹部内にフランジのボス部を侵入させた状態を模式的に示す断面図である。図１６は、図１５に示されたブレード着脱具がワッシャーブレードをフランジに装着した状態を模式的に示す断面図である。図１７は、ワッシャーブレードを取り外す際に、図１０に示されたブレード着脱具の本体の侵入凹部内にフランジのボス部を侵入させた状態を模式的に示す断面図である。

【0069】

まず、ブレード着脱具１－２は、気体供給源２から供給口２１に加圧された気体が供給されて、気体が開閉バルブ４１に供給され、切り換えレバー３５の一端部よりも他端部が本体１０側に位置付けられる。ブレード着脱具１－２は、付勢手段の付勢力に抗して、操作レバー３４の他端部が把持部３１に近付く方向に操作レバー３４が一端部を中心に回転されると、操作レバー３４によりリンクレバー４１２及び開閉部材４１３等が押圧されて、開閉バルブ４１が開く。

【0070】

すると、ブレード着脱具１－２は、開閉バルブ４１、分岐継手４２を介して気体供給源２から供給された気体が第２分岐継手４５の一方の出口４５２から排出され、他方の出口４５３及び連結管４６等を介して吸引孔２５が吸引されて、吸引孔２５に負圧を生成する。ブレード着脱具１－２は、図１３に示すように、本体１０の一方の端面１１が図示しないブレードケース内のワッシャーブレード１０１に相対された後、吸引孔２５によりワッシャーブレード１０１を吸引して一方の端面１１にワッシャーブレード１０１を吸引保持する。

【0071】

このとき、位置決め凸部１３が装着穴１０３内に嵌め込まれて、ブレード着脱具１－２は、ワッシャーブレード１０１を本体１０の一方の端面１１に位置決めする。また、ブレード着脱具１－２は、開閉バルブ４１、分岐継手４２を介して気体供給源２から供給された気体が、第２流路４７を介して噴出孔４３から噴出している。

【0072】

ブレード着脱具１－２は、図１４に示すように、ワッシャーブレード１０１吸引保持した本体１０の一方の端面１１がフランジ１３０のボス部１３１に相対された後、侵入凹部１２内にボス部１３１を侵入させて、図１５に示すように、位置決め凸部１３をフランジ１３０の環状凸部１３７に当接される。すると、ブレード着脱具１－２は、噴出孔４３から噴出される気体が連結溝１６を通って排出溝１７から排出されているので、排出溝１７から排出される気体の流れによりベルヌーイ効果を生じて、一方の端面１１に吸引保持したワッシャーブレード１０１上等が負圧になり、本体１０即ちワッシャーブレード１０１とフランジ１３０とが互いに同軸となるように調芯される。

【0073】

ブレード着脱具１－２は、切り換えレバー３５の他端部が一端部よりも把持部３１に近付く方向に切り換えレバー３５が中央部を中心に回転されると、切り換えレバー３５によりスライド部材３７がスライド移動して、スライド部材３７により排出口である第２分岐継手４５の一方の出口４５２が塞がれる。すると、ブレード着脱具１－２は、第２分岐継手４５の一方の出口４５２から排出されていた気体が、他方の出口４５３、連結管４６等を介して吸引孔２５から排出される。すると、ワッシャーブレード１０１が、図１６に示すように、フランジ１３０の受けフランジ部１３２に向かって押し出されて、装着穴１０３内に環状凸部１３７が嵌め込まれ、支持面１３６で支持されて、フランジ１３０に装着される。

【0074】

こうして、ブレード着脱具１－２は、ワッシャーブレード１０１をフランジ１３０に装着する際に用いられる。また、ブレード着脱具１－２は、ワッシャーブレード１０１をフランジ１３０から取り外す際には、ワッシャーブレード１０１を装着する際と逆の動作によりワッシャーブレード１０１をフランジ１３０から取り外す。

【0075】

なお、ワッシャーブレード１０１をフランジ１３０から取り外す際に、ブレード着脱具１－２は、切り換えレバー３５の一端部よりも他端部が本体１０側に位置付けられて吸引孔２５に負圧を発生させた状態で、侵入凹部１２内にボス部１３１を侵入させて、位置決め凸部１３をフランジ１３０の環状凸部１３７に当接させる。すると、ブレード着脱具１－２は、噴出孔４３から噴出し、連結溝１６を通って排出溝１７から排出される気体の流れで生じるベルヌーイ効果即ち負圧により、図１７に示すように、装着穴１０３に位置決め凸部１３が嵌め込まれるようにワッシャーブレード１０１を一方の端面１１にひきつける。その後、ブレード着脱具１は、吸引孔２５からワッシャーブレード１０１を吸引して、一方の端面１１にワッシャーブレード１０１を吸引保持する。

【0076】

実施形態２に係るブレード着脱具１－２は、本体１０の一方の端面１１の位置決め凸部１３の外周の吸引孔２５と、気体を供給する開閉バルブ４１と、気体を排出する排出部である第２分岐継手４５の一方の出口４５２と、開閉バルブ４１から排出部である一方の出口４５２まで気体を供給する分岐継手４２と、第２分岐継手４５の他方の出口４５３と吸引孔２５に連結した連結管４６とを備えている。このために、ブレード着脱具１－２は、排出部である一方の出口４５２が開放されると、第２分岐継手４５内を流れる気体により連結管４６を介して吸引孔２５が吸引されて、一方の端面１１にワッシャーブレード１０１を吸引保持できる。

【0077】

また、実施形態２に係るブレード着脱具１－２は、侵入凹部１２内にボス部１３１を侵入させて、排出部である一方の出口４５２が塞がれることにより、気体を吸引孔２５から排出して、ワッシャーブレード１０１をフランジ１３０に装着することができる。

【0078】

その結果、実施形態２に係るブレード着脱具１－２は、実施形態１と同様に、オペレータがワッシャーブレード１０１を触れることなく、切削装置のスピンドル１２０の先端に固定されたフランジ１３０に着脱することができ、装着時のワッシャーブレード１０１の破損を抑制することができるという効果を奏する。

【0079】

また、実施形態２に係るブレード着脱具１－２は、吸引孔２５に負圧を発生させる状態と、吸引孔２５から気体を排出する状態とを切り換える切り換えレバー３５と切り換え機構３６とを備える。このために、実施形態２に係るブレード着脱具１は、本体１０の一方の端面１１にワッシャーブレード１０１を確実に保持でき、ワッシャーブレード１０１をフランジ１３０に確実に装着することができる。

【0080】

また、実施形態２に係るブレード着脱具１－２は、本体１０の位置決め凸部１３に形成された連結溝１６の底に開口した噴出孔４３から気体を噴出し、連結溝１６と位置決め凸部１３の外周面とに排出溝１７が開口している。このために、実施形態２に係るブレード着脱具１－２は、フランジ１３０に装着される際に、排出溝１７から噴出させる気体が生じるベルヌーイ効果により本体１０をフランジ１３０に対して調芯することができる。また、実施形態２に係るブレード着脱具１－２は、フランジ１３０からワッシャーブレード１０１を取り外す際に、排出溝１７から噴出させる気体が生じるベルヌーイ効果により本体１０の一方の端面１１にワッシャーブレード１０１を引き寄せることができる。

【0081】

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0082】

１，１－２ ブレード着脱具
１０ 本体
１１ 一方の端面（一端面）
２１ 供給口（供給部）
２４ 排出口（排出部）
２５ 吸引孔
２６，２６－２ 流路
４１ 開閉バルブ（供給部）
１０１ ワッシャーブレード
１２０ スピンドル
１３０ フランジ
４５２ 一方の出口（排出部）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】