特開 2024-20036 基板搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024020036

(43)【公開日】2024-02-14

(54)【発明の名称】基板搬送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240206BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20240206BHJP

   B65G 47/68 20060101ALI20240206BHJP

   B65G 47/53 20060101ALI20240206BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65G49/07

B65G47/68 A

B65G47/53 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】20

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022122897

(22)【出願日】2022-08-01

(71)【出願人】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】100141139

【弁理士】

【氏名又は名称】及川 周

(74)【代理人】

【識別番号】100134359

【弁理士】

【氏名又は名称】勝俣 智夫

(72)【発明者】

【氏名】西口 昌男

(72)【発明者】

【氏名】岩瀬 大輔

(72)【発明者】

【氏名】湯山 明

(72)【発明者】

【氏名】小泉 和彦

(72)【発明者】

【氏名】倉橋 信次郎

【テーマコード（参考）】

3F016

3F070

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F016AA01

3F016CD03

3F070AA16

3F070BD01

3F070BE06

3F070EA21

3F070EC06

5F131AA03

5F131AA32

5F131AA33

5F131BA03

5F131BA04

5F131CA12

5F131CA39

5F131DA02

5F131DA22

5F131DB12

5F131DC18

(57)【要約】

【課題】搬送芯を維持して、トレイ搬送への影響を低減する。
【解決手段】真空チャンバ内で被処理基板をトレイとともに縦型搬送する基板搬送装置であって、第1方向に沿う第１トラックと交差した第２方向に沿う第２トラックとの間でトレイの搬送方向を変える際に、第１トラックに対して搬送芯を合わせた第１調芯位置と、第２トラックに対して搬送芯を合わせた第２調芯位置と、のそれぞれに、鉛直な回転軸線の周りに回転可能な回転トラックと、回転トラックを回転する回転駆動機構と、第１および第２調芯位置と、第１および第２調芯位置よりも回転軸線に近接する回転可能位置との間で、回転トラックの搬送方向とは交差するトラバース方向に回転トラックを移動するトラバース機構と、を有する。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空チャンバ内で被処理基板をトレイとともに縦型搬送する装置であって、
略水平な第1方向に沿って前記トレイを搬送する第１トラックと、
前記第１方向とは交差する略水平な第２方向に沿って前記トレイを搬送する第２トラックと、
前記第１方向から前記第２方向へと前記トレイの搬送方向を変える際に、
鉛直な回転軸線の周りに回転して、前記第１トラックに対して搬送芯を合わせて前記トレイを連続して搬送可能な第１調芯位置と、前記第２トラックに対して搬送芯を合わせて前記トレイを連続して搬送可能な第２調芯位置と、のそれぞれに対応する回転位置に回転可能な回転トラックと、
前記回転トラックを、前記回転軸線の周りに回転する回転駆動機構と、
前記回転駆動機構による所定の回転位置において、前記第１調芯位置と前記第１調芯位置よりも前記回転軸線に近接する回転可能位置との間、および、前記第２調芯位置と前記第２調芯位置よりも前記回転軸線に近接する前記回転可能位置との間に、前記回転トラックを前記回転トラックの搬送方向とは交差するトラバース方向に移動して前記回転軸線からの離間位置を増減するトラバース機構と、
を有する、
基板搬送装置。

【請求項2】

調芯機構として、
前記回転トラックと前記第１トラックとの搬送芯を合わせる第１調芯機構と、
前記回転トラックと前記第２トラックとの搬送芯を合わせる第２調芯機構と、
を有する、
請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項3】

前記第１調芯機構および前記第２調芯機構が、搬送される前記トレイの下端位置より下方に配置される、
請求項２記載の基板搬送装置。

【請求項4】

前記回転トラックの調芯時に、前記回転トラックを調芯可能にするフローティング機構と、
前記回転駆動機構による回転時に、前記回転トラックをロックするロック機構と、
を有する、
請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項5】

前記フローティング機構および前記ロック機構が、搬送される前記トレイの下端位置より下方に配置される
請求項４記載の基板搬送装置。

【請求項6】

前記トラバース機構によって前記トラバース方向に移動する前記回転トラックが平行に複数本配置される、
請求項２記載の基板搬送装置。

【請求項7】

複数の前記回転トラックは、それぞれ前記第１調芯機構および前記第２調芯機構を有する、
請求項６記載の基板搬送装置。

【請求項8】

前記回転トラックが、前記回転軸線を挟んで両側にそれぞれ配置される、
請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項9】

前記回転トラックに沿って前記トレイを搬送する際に、前記回転トラックと対となり前記トレイの上端を支持する上回転トラックと、
前記上回転トラックを前記回転トラックと同じ前記回転軸線の周りに回転する上回転駆動機構と、
前記回転駆動機構と前記上回転駆動機構とを同時に回転駆動させる制御部と、
を有する、
請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項10】

前記上回転トラックは、対となる前記回転トラックよりも平面視して前記回転軸線に近接して配置される、
請求項９記載の基板搬送装置。

【請求項11】

前記回転トラックに沿って前記トレイを搬送する際に、前記回転トラックと対となり前記トレイの上端を支持する上回転トラックと、
前記上回転トラックを前記回転トラックと同じ前記トラバース方向に移動する上トラバース機構と、
前記トラバース機構と前記上トラバース機構とを同時に駆動させる制御部と、
を有する、
請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項12】

前記上回転トラックは、対となる前記回転トラックよりも平面視して前記回転軸線に近接して配置され、
前記トラバース機構と前記上トラバース機構とは、前記上回転トラックと前記回転トラックとの平面視した位置を維持して前記トラバース方向に移動する、
請求項１１記載の基板搬送装置。

【請求項13】

前記トラバース機構によって前記第１調芯位置または前記第２調芯位置まで前記トラバース方向に移動した前記回転トラックの搬送重量を支持する重量支持部と、
前記第１調芯位置で前記重量支持部の下方に当接して前記回転トラックの搬送重量を支持する第１支持台部と、
前記第２調芯位置で前記重量支持部の下方に当接して前記回転トラックの搬送重量を支持する第２支持台部と、
を有し、
前記第１支持台部および前記第２支持台部が回転時の前記重量支持部の回転範囲よりも径方向外方に固定配置される、
請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項14】

前記回転トラックが、前記トレイを浮上して前記回転トラックと非接触で搬送する浮上駆動部を有し、
前記浮上駆動部が、搬送される前記トレイの下端位置より下方に配置されるとともに、前記回転駆動機構およびトラバース機構によって前記回転トラックと一体に移動する、
請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項15】

前記トレイが前記被処理基板とともに搬送され、あるいは、前記トレイが前記被処理基板の処理に用いられるマスクとともに搬送される、
請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項16】

前記フローティング機構は、
前記回転軸線と平行で前記回転トラックの前記搬送方向で中心のフローティング軸線に対して、前記回転トラックの両端をチルト回転可能とするフローティング軸部と、
前記フローティング軸部を前記トラバース方向に微小並進移動可能とする並進フローティング部と、
を有する、
請求項４記載の基板搬送装置。

【請求項17】

前記第１トラックが、前記回転軸線を挟んで互いに平行に２本配置され、
前記第２トラックが、前記回転軸線を挟んで互いに平行に２本配置され、
前記第１トラックと前記第２トラックとが、互いに直交する、
請求項１記載の基板搬送装置。

【請求項18】

前記調芯機構が、前記回転トラックの前記搬送方向の両端にそれぞれ配置される、
請求項７記載の基板搬送装置。

【請求項19】

真空チャンバ内で被処理基板をトレイとともに縦型搬送する装置であって、
略水平な第1方向に沿って前記トレイを搬送する第１トラックと、
前記第１方向とは交差する略水平な第２方向に沿って前記トレイを搬送する第２トラックと、
前記第１方向から前記第２方向へと前記トレイの搬送方向を変える際に、
鉛直な回転軸線の周りに回転して、前記第１トラックに対して搬送芯を合わせて前記トレイを連続して搬送可能な第１調芯位置と、前記第２トラックに対して搬送芯を合わせて前記トレイを連続して搬送可能な第２調芯位置と、のそれぞれに対応する回転位置に回転可能な回転トラックと、
前記回転トラックを、前記回転軸線の周りに回転する回転駆動機構と、
前記回転駆動機構による所定の回転位置において、前記第１調芯位置と前記第１調芯位置よりも前記回転軸線に近接する回転可能位置との間、および、前記第２調芯位置と前記第２調芯位置よりも前記回転軸線に近接する前記回転可能位置との間に、前記回転トラックを前記回転トラックの搬送方向とは交差するトラバース方向に移動して前記回転軸線からの離間位置を増減するトラバース機構と、
調芯機構として、前記回転トラックと前記第１トラックとの搬送芯を合わせる第１調芯機構と、
前記調芯機構として、前記回転トラックと前記第２トラックとの搬送芯を合わせる第２調芯機構と、
前記回転トラックの調芯時に、前記回転トラックを調芯可能にするフローティング機構と、
前記回転駆動機構による回転時に、前記回転トラックをロックするロック機構と、
を有し、
前記回転駆動機構が、
前記回転軸線の周りに回転可能な回転テーブルと、
前記回転テーブルの回転をガイドする回転ガイドと、
前記回転テーブルを回転する回転駆動源と、
を有し、
前記トラバース機構が、
前記回転トラックを前記回転テーブルの上方で支持するトラバーステーブルと、
前記トラバーステーブルの移動を前記回転テーブルに対して前記トラバース方向にガイドするトラバースガイドと、
前記トラバーステーブルを前記回転テーブルに対して前記トラバース方向に移動するトラバース駆動源と、
を有し、
前記トラバーステーブルが前記回転軸線を挟んで前記トラバース方向に離間して互いに平行に２つ配置され、
前記フローティング機構が、
前記回転トラックが載置されるフローティングテーブルと、
前記回転軸線と平行で前記フローティングテーブルの前記搬送方向で中心のフローティング軸線に対して、前記フローティングテーブルの両端をチルト回転可能とするフローティング軸部と、
前記フローティング軸部を前記トラバース方向に微小並進移動可能とする並進フローティング部と、
前記フローティングテーブルの両端位置を、前記フローティング軸部に対して回転可能に前記トラバーステーブルの上に支持するボール部と、
を有し、
前記ロック機構が、前記搬送方向で前記フローティング軸部と前記ボール部との間で、前記フローティングテーブルの下方に配置され、
前記調芯機構が、
前記フローティングテーブルの両端下方に配置されたＶブロックと、
前記第１トラックおよび前記第２トラックの端部下方に配置されたカムフォロアと、
前記カムフォロアを前記第１トラックおよび前記第２トラックの端部から前記Ｖブロックに向かって進退させる進退駆動部と、
を有し、
前記フローティングテーブルの上方に、それぞれ互いに離間して平行に複数本の回転トラックが配置される、
基板搬送装置。

【請求項20】

前記回転トラックに沿って前記トレイを搬送する際に、前記回転トラックと対となり前記トレイの上端を支持する上回転トラックと、
前記上回転トラックを前記回転トラックと同じ前記回転軸線の周りに回転する上回転駆動機構と、
前記上回転トラックを前記回転トラックと同じ前記トラバース方向に移動する上トラバース機構と、
前記回転駆動機構と前記上回転駆動機構とを同時に回転駆動させるとともに、前記トラバース機構と前記上トラバース機構とを同時に駆動させる制御部と、
を有し、
前記上回転トラックは、対となる前記回転トラックよりも平面視して前記回転軸線に近接して配置され、
前記トラバース機構と前記上トラバース機構とは、前記上回転トラックと前記回転トラックとの平面視した位置を維持して前記トラバース方向に移動する、
請求項１９記載の基板搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は基板搬送装置に関し、特に縦型搬送に用いて好適な技術に関する。

【背景技術】

【0002】

フラットパネルディスプレイ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ ｄｅｖｉｃｅ：ＦＰＤ）などの製造において、ガラス基板が大型化しており、基板をトレイに載置した後、トレイを略垂直に立てて複数のチャンバの内部を通るように搬送する縦型搬送が知られている。特許文献１には、縦型搬送の一例として、トレイを磁気浮上させて非接触状態で搬送する構成が記載される。

【0003】

また、ＦＰＤ等の製造のように、複数の基板上に真空状態に進行する複数の工程が進行する場合、基板を装着して各工程チャンバを移動するキャリアの位置変更及び移動経路が複雑になるほど工程に対応する製造装置のチャンバ数が増え、プロセスに時間がかかる。
製造工程が複雑になるほど製造時間が長くなるとともに製造コストが高くなり、これに応じて複数の工程が進む被処理基板を搬送するためのキャリアの移動経路を減らし、複数の工程を効率的に処理できる方法が重要になっている。

【0004】

このため、ＦＰＤ等の製造装置には、複数のプロセスチャンバにトレイごと基板を出し入れ可能なように搬送方向を変える回転室が設けられる。

【0005】

回転室の一例である姿勢変換機構が特許文献２に記載される。
このように搬送方向を変える場合には、特許文献１に記載されたトラック（搬送レール）である磁気搬送ユニットが分断されて非連続となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第６０９２３４９号公報

【特許文献2】特許第４８８８９１７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかし、被処理基板の大型化にともない、回転径が数ｍと大きくなり、また、基板とトレイの重量が増大したことで、トラックの非連続部分での搬送芯ずれ発生による搬送への影響が大きくなるという問題が発生している。
これは、搬送するトレイと基板との重量が増大したことで、重量支持によって発生したたわみ寸法が大きくなったこと、基板サイズの大型化で装置全体が大きくなり、真空減圧による排気変形に起因する寸法差が増大したこと、回転径の大型化で回転縁でのトラック端移動距離増大による位置あわせの困難性が増大したこと、などに起因すると考えられる。

【0008】

特に、磁気浮上による非接触搬送では、トレイ（キャリア）とトラック（搬送レール）とのギャップが狭く極めて正確な位置制御が必要なため、トラックの分断位置における寸法差や位置あわせの誤差に起因した搬送芯のずれにより、トラック搬送への悪影響が大きくなってしまう可能性があり、ひどいときには、トレイの搬送ができなくなる可能性があった。
このようなトラックの非連続部分での搬送速度の低下、トラック位置あわせによる作業時間の増加などを改善したいという要求が発生している。

【0009】

依然として、チャンバ内での搬送で発生するパーティクルの影響を低減したいという要求は続いている。

【0010】

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。
１．縦型搬送において搬送方向を切り替える回転機構での、トラック分断によるトレイ搬送への影響を低減すること。
２．回転するトラックにおける搬送芯の確実な維持を可能とすること。
３．搬送速度の低下を防止すること。
４．プロセスチャンバへのトレイ出し入れにおける作業時間を短縮すること。

【課題を解決するための手段】

【0011】

（１）本発明の一態様にかかる基板搬送装置は、
真空チャンバ内で被処理基板をトレイとともに縦型搬送する装置であって、
略水平な第1方向に沿って前記トレイを搬送する第１トラックと、
前記第１方向とは交差する略水平な第２方向に沿って前記トレイを搬送する第２トラックと、
前記第１方向から前記第２方向へと前記トレイの搬送方向を変える際に、
鉛直な回転軸線の周りに回転して、前記第１トラックに対して搬送芯を合わせて前記トレイを連続して搬送可能な第１調芯位置と、前記第２トラックに対して搬送芯を合わせて前記トレイを連続して搬送可能な第２調芯位置と、のそれぞれに対応する回転位置に回転可能な回転トラックと、
前記回転トラックを、前記回転軸線の周りに回転する回転駆動機構と、
前記回転駆動機構による所定の回転位置において、前記第１調芯位置と前記第１調芯位置よりも前記回転軸線に近接する回転可能位置との間、および、前記第２調芯位置と前記第２調芯位置よりも前記回転軸線に近接する前記回転可能位置との間に、前記回転トラックを前記回転トラックの搬送方向とは交差するトラバース方向に移動して前記回転軸線からの離間位置を増減するトラバース機構と、
を有する、
ことにより上記課題を解決した。
（２）本発明は、上記（１）において、
調芯機構として、
前記回転トラックと前記第１トラックとの搬送芯を合わせる第１調芯機構と、
前記回転トラックと前記第２トラックとの搬送芯を合わせる第２調芯機構と、
を有する、
ことができる。
（３）本発明は、上記（２）において、
前記第１調芯機構および前記第２調芯機構が、搬送される前記トレイの下端位置より下方に配置される、
ことができる。
（４）本発明は、上記（２）において、
前記回転トラックの調芯時に、前記回転トラックを調芯可能にするフローティング機構と、
前記回転駆動機構による回転時に、前記回転トラックをロックするロック機構と、
を有する、
ことができる。
（５）本発明は、上記（４）において、
前記フローティング機構および前記ロック機構が、搬送される前記トレイの下端位置より下方に配置される
ことができる。
（６）本発明は、上記（２）において、
前記トラバース機構によって前記トラバース方向に移動する前記回転トラックが平行に複数本配置される、
ことができる。
（７）本発明は、上記（６）において、
複数の前記回転トラックは、それぞれ前記第１調芯機構および前記第２調芯機構を有する、
ことができる。
（８）本発明は、上記（１）において、
前記回転トラックが、前記回転軸線を挟んで両側にそれぞれ配置される、
ことができる。
（９）本発明は、上記（１）において、
前記回転トラックに沿って前記トレイを搬送する際に、前記回転トラックと対となり前記トレイの上端を支持する上回転トラックと、
前記上回転トラックを前記回転トラックと同じ前記回転軸線の周りに回転する上回転駆動機構と、
前記回転駆動機構と前記上回転駆動機構とを同時に回転駆動させる制御部と、
を有する、
ことができる。
（１０）本発明は、上記（９）において、
前記上回転トラックは、対となる前記回転トラックよりも平面視して前記回転軸線に近接して配置される、
ことができる。
（１１）本発明は、上記（１）において、
前記回転トラックに沿って前記トレイを搬送する際に、前記回転トラックと対となり前記トレイの上端を支持する上回転トラックと、
前記上回転トラックを前記回転トラックと同じ前記トラバース方向に移動する上トラバース機構と、
前記トラバース機構と前記上トラバース機構とを同時に駆動させる制御部と、
を有する、
ことができる。
（１２）本発明は、上記（１１）において、
前記上回転トラックは、対となる前記回転トラックよりも平面視して前記回転軸線に近接して配置され、
前記トラバース機構と前記上トラバース機構とは、前記上回転トラックと前記回転トラックとの平面視した位置を維持して前記トラバース方向に移動する、
ことができる。
（１３）本発明は、上記（１）において、
前記トラバース機構によって前記第１調芯位置または前記第２調芯位置まで前記トラバース方向に移動した前記回転トラックの搬送重量を支持する重量支持部と、
前記第１調芯位置で前記重量支持部の下方に当接して前記回転トラックの搬送重量を支持する第１支持台部と、
前記第２調芯位置で前記重量支持部の下方に当接して前記回転トラックの搬送重量を支持する第２支持台部と、
を有し、
前記第１支持台部および前記第２支持台部が回転時の前記重量支持部の回転範囲よりも径方向外方に固定配置される、
ことができる。
（１４）本発明は、上記（１）において、
前記回転トラックが、前記トレイを浮上して前記回転トラックと非接触で搬送する浮上駆動部を有し、
前記浮上駆動部が、搬送される前記トレイの下端位置より下方に配置されるとともに、前記回転駆動機構およびトラバース機構によって前記回転トラックと一体に移動する、
ことができる。
（１５）本発明は、上記（１）において、
前記トレイが前記被処理基板とともに搬送され、あるいは、前記トレイが前記被処理基板の処理に用いられるマスクとともに搬送される、
ことができる。
（１６）本発明は、上記（４）において、
前記フローティング機構は、
前記回転軸線と平行で前記回転トラックの前記搬送方向で中心のフローティング軸線に対して、前記回転トラックの両端をチルト回転可能とするフローティング軸部と、
前記フローティング軸部を前記トラバース方向に微小並進移動可能とする並進フローティング部と、
を有する、
ことができる。
（１７）本発明は、上記（１）において、
前記第１トラックが、前記回転軸線を挟んで互いに平行に２本配置され、
前記第２トラックが、前記回転軸線を挟んで互いに平行に２本配置され、
前記第１トラックと前記第２トラックとが、互いに直交する、
ことができる。
（１８）本発明は、上記（７）において、
前記調芯機構が、前記回転トラックの前記搬送方向の両端にそれぞれ配置される、
ことができる。
（１９）本発明の他の態様にかかる基板搬送装置は、
真空チャンバ内で被処理基板をトレイとともに縦型搬送する装置であって、
略水平な第1方向に沿って前記トレイを搬送する第１トラックと、
前記第１方向とは交差する略水平な第２方向に沿って前記トレイを搬送する第２トラックと、
前記第１方向から前記第２方向へと前記トレイの搬送方向を変える際に、
鉛直な回転軸線の周りに回転して、前記第１トラックに対して搬送芯を合わせて前記トレイを連続して搬送可能な第１調芯位置と、前記第２トラックに対して搬送芯を合わせて前記トレイを連続して搬送可能な第２調芯位置と、のそれぞれに対応する回転位置に回転可能な回転トラックと、
前記回転トラックを、前記回転軸線の周りに回転する回転駆動機構と、
前記回転駆動機構による所定の回転位置において、前記第１調芯位置と前記第１調芯位置よりも前記回転軸線に近接する回転可能位置との間、および、前記第２調芯位置と前記第２調芯位置よりも前記回転軸線に近接する前記回転可能位置との間に、前記回転トラックを前記回転トラックの搬送方向とは交差するトラバース方向に移動して前記回転軸線からの離間位置を増減するトラバース機構と、
調芯機構として、前記回転トラックと前記第１トラックとの搬送芯を合わせる第１調芯機構と、
前記調芯機構として、前記回転トラックと前記第２トラックとの搬送芯を合わせる第２調芯機構と、
前記回転トラックの調芯時に、前記回転トラックを調芯可能にするフローティング機構と、
前記回転駆動機構による回転時に、前記回転トラックをロックするロック機構と、
を有し、
前記回転駆動機構が、
前記回転軸線の周りに回転可能な回転テーブルと、
前記回転テーブルの回転をガイドする回転ガイドと、
前記回転テーブルを回転する回転駆動源と、
を有し、
前記トラバース機構が、
前記回転トラックを前記回転テーブルの上方で支持するトラバーステーブルと、
前記トラバーステーブルの移動を前記回転テーブルに対して前記トラバース方向にガイドするトラバースガイドと、
前記トラバーステーブルを前記回転テーブルに対して前記トラバース方向に移動するトラバース駆動源と、
を有し、
前記トラバーステーブルが前記回転軸線を挟んで前記トラバース方向に離間して互いに平行に２つ配置され、
前記フローティング機構が、
前記回転トラックが載置されるフローティングテーブルと、
前記回転軸線と平行で前記フローティングテーブルの前記搬送方向で中心のフローティング軸線に対して、前記フローティングテーブルの両端をチルト回転可能とするフローティング軸部と、
前記フローティング軸部を前記トラバース方向に微小並進移動可能とする並進フローティング部と、
前記フローティングテーブルの両端位置を、前記フローティング軸部に対して回転可能に前記トラバーステーブルの上に支持するボール部と、
を有し、
前記ロック機構が、前記搬送方向で前記フローティング軸部と前記ボール部との間で、前記フローティングテーブルの下方に配置され、
前記調芯機構が、
前記フローティングテーブルの両端下方に配置されたＶブロックと、
前記第１トラックおよび前記第２トラックの端部下方に配置されたカムフォロアと、
前記カムフォロアを前記第１トラックおよび前記第２トラックの端部から前記Ｖブロックに向かって進退させる進退駆動部と、
を有し、
前記フローティングテーブルの上方に、それぞれ互いに離間して平行に複数本の回転トラックが配置される、
ことによる上記課題を解決した。
（２０）本発明は、上記（１９）において、
前記回転トラックに沿って前記トレイを搬送する際に、前記回転トラックと対となり前記トレイの上端を支持する上回転トラックと、
前記上回転トラックを前記回転トラックと同じ前記回転軸線の周りに回転する上回転駆動機構と、
前記上回転トラックを前記回転トラックと同じ前記トラバース方向に移動する上トラバース機構と、
前記回転駆動機構と前記上回転駆動機構とを同時に回転駆動させるとともに、前記トラバース機構と前記上トラバース機構とを同時に駆動させる制御部と、
を有し、
前記上回転トラックは、対となる前記回転トラックよりも平面視して前記回転軸線に近接して配置され、
前記トラバース機構と前記上トラバース機構とは、前記上回転トラックと前記回転トラックとの平面視した位置を維持して前記トラバース方向に移動する、
ことができる。

【0012】

（１）本発明の一態様にかかる基板搬送装置は、
真空チャンバ内で被処理基板をトレイとともに縦型搬送する装置であって、
略水平な第1方向に沿って前記トレイを搬送する第１トラックと、
前記第１方向とは交差する略水平な第２方向に沿って前記トレイを搬送する第２トラックと、
前記第１方向から前記第２方向へと前記トレイの搬送方向を変える際に、
鉛直な回転軸線の周りに回転して、前記第１トラックに対して搬送芯を合わせて前記トレイを連続して搬送可能な第１調芯位置と、前記第２トラックに対して搬送芯を合わせて前記トレイを連続して搬送可能な第２調芯位置と、のそれぞれに対応する回転位置に回転可能な回転トラックと、
前記回転トラックを、前記回転軸線の周りに回転する回転駆動機構と、
前記回転駆動機構による所定の回転位置において、前記第１調芯位置と前記第１調芯位置よりも前記回転軸線に近接する回転可能位置との間、および、前記第２調芯位置と前記第２調芯位置よりも前記回転軸線に近接する前記回転可能位置との間に、前記回転トラックを前記回転トラックの搬送方向とは交差するトラバース方向に移動して前記回転軸線からの離間位置を増減するトラバース機構と、
を有する、
ことにより上記課題を解決した。

【0013】

上記の構成によれば、前記第１方向から前記第２方向へと前記トレイの搬送方向を変える際に、トラバース機構によって第１調芯位置にあった回転トラックを回転可能位置へとトラバースすることで、回転トラックの回転範囲となる半径を小さくした後に、回転駆動機構によって回転トラックを回転し、トラバース機構によって回転可能位置から第２調芯位置へとトラバースする。
同様に、前記第２方向から前記第１方向へと前記トレイの搬送方向を変える際に、トラバース機構によって第２調芯位置にあった回転トラックを回転可能位置へとトラバースすることで、回転トラックの回転範囲となる半径を小さくした後に、回転駆動機構によって回転トラックを回転し、トラバース機構によって回転可能位置から第１調芯位置へとトラバースする。
これにより、回転トラックの端部が第１トラックおよび第２トラックに当接することなく、回転トラックの回転動作をおこなうことができる。また、回転トラックの回転範囲となる半径を小さくことができるので、回転トラックは、それぞれ互いに離間して平行に複数本配置することができる。

【0014】

したがって、回転トラックと第１トラック、および、回転トラックと第２トラックとの間で搬送路の分断された断続区間を短縮することが可能となる。これにより、トラックが分断されていることにより、断続区間での第１，第２トラックと回転トラックとのトラバース方向における位置ずれを抑制して、搬送芯でのズレ発生を抑制できる。さらに、断続区間を通過するトレイに対して、発生するトレイの姿勢変化を抑制するとともに、衝撃を抑制することが可能となる。従って、トレイの搬送速度を低下させることがない。断続区間を通過するトレイに対して、衝撃を抑制することが可能となるため、例えば、衝撃に起因して発生するパーティクルを低減することが可能となり、また、被処理基板がトレイから落下してしまう等の不具合も解消することができる。

【0015】

なお、断続区間を短縮するには、回転トラックの搬送方向長さを増大すると、回転トラックの回転範囲が大きくなるため、第１トラックおよび第２トラックの端部を、回転トラックの回転範囲に向けて伸長することが好ましい。

【0016】

ここで、磁気浮上によるトレイの非接触搬送をおこなうトラックにおいては、断続区間およびその両側近傍では、トレイを磁気浮上させる機構、および、トレイを移動する磁気駆動機構が配置できない。従って、この断続区間およびその両側近傍では、トレイへの浮上力およびトレイの移動力が低下することになる。これが、断続区間を通過する際のトレイへの衝撃として作用する。しかもこれらは、断続区間の両側でトラックの搬送芯が一致している場合でも発生するものであり、断続区間の両側でトラックの搬送芯が一致していない場合には、その衝撃が大きくなるとともに、さらに、トレイといずれかのトラックとが接触してしまうことになるため、搬送芯を一致させる。搬送方向における断続区間の長さが小さくなる、つまり、回転トラックと第１，第１トラックとの分断距離が近くなると、搬送芯を合わせる際の容易性を向上することが可能となる。

【0017】

（２）本発明は、上記（１）において、
調芯機構として、
前記回転トラックと前記第１トラックとの搬送芯を合わせる第１調芯機構と、
前記回転トラックと前記第２トラックとの搬送芯を合わせる第２調芯機構と、
を有する、
ことができる。

【0018】

上記の構成によれば、トラバース機構によって回転可能位置から第１調芯位置へとトラバースした際に、第１調芯機構によって、回転トラックと第１トラックとの搬送芯を合わせることが容易に可能となる。同様に、トラバース機構によって回転可能位置から第２調芯位置へとトラバースした際に、第２調芯機構によって、回転トラックと第２トラックとの搬送芯を合わせることが容易に可能となる。これにより、断続区間での第１，第２トラックと回転トラックとのトラバース方向における位置ずれを防止して、搬送芯でのズレ発生を防止できる。さらに、断続区間を通過するトレイに対して、発生するトレイの姿勢変化を抑制するとともに、衝撃を抑制することが可能となる。従って、トレイの搬送速度を低下させることがない。

【0019】

ここで、磁気浮上によるトレイの非接触搬送をおこなうトラックにおいては、断続区間およびその両側近傍では、トレイへの浮上力およびトレイの移動力が低下することになるが、断続区間の両側でトラックの搬送芯が一致しているために、その衝撃を抑制することが可能となる。さらに、トレイといずれかのトラックとが接触してしまうことを防止できる。

【0020】

（３）本発明は、上記（２）において、
前記第１調芯機構および前記第２調芯機構が、搬送される前記トレイの下端位置より下方に配置される、
ことができる。

【0021】

上記の構成によれば、回転トラックと第１トラックとの搬送芯を合わせるために、調芯機構として互いに接触する位置決め部材を用いた場合に発生するパーティクルが、トレイおよび被処理基板等に付着することを抑制することができる。これにより、被処理基板に対する処理特性の低下発生を抑制することが可能となる。

【0022】

（４）本発明は、上記（２）において、
前記回転トラックの調芯時に、前記回転トラックを調芯可能にするフローティング機構と、
前記回転駆動機構による回転時に、前記回転トラックをロックするロック機構と、
を有する、
ことができる。

【0023】

上記の構成によれば、調芯機構により回転トラックと第１トラックとの搬送芯を合わせる際に、回転トラックがフローティング状態で支持されているため、容易に搬送芯を合わせることが可能となる。また、ロック機構によって回転トラックの回転時、および、調芯後の断続区間を越えたトレイ搬送時に、回転トラックと第１トラックとの搬送芯がずれてしまうことを防止できる。これにより、トレイ搬送の安定性を維持することが可能となる。

【0024】

（５）本発明は、上記（４）において、
前記フローティング機構および前記ロック機構が、搬送される前記トレイの下端位置より下方に配置される
ことができる。

【0025】

上記の構成によれば、フローティング機構およびロック機構の動作時にパーティクルが発生した場合でも、このパーティクルが、トレイおよび被処理基板等に付着することを抑制することができる。これにより、被処理基板に対する処理特性の低下発生を抑制することが可能となる。

【0026】

（６）本発明は、上記（２）において、
前記トラバース機構によって前記トラバース方向に移動する前記回転トラックが平行に複数本配置される、
ことができる。

【0027】

上記の構成によれば、たとえば、第１トラックから搬送されてきたトレイの搬送方向を変えて、第２トラックに対してプロセスチャンバへのトレイの出し入れをおこなう場合に、処理済み基板を搬送するトレイをプロセスチャンバから搬出して１本の回転トラックに載置し、トラバース機構によってトラバースした後に、他の回転トラックから当該プロセスチャンバへと未処理の基板をトレイとともに搬入することが可能となる。これにより、ロボットハンドでの出し入れにおけるいわゆるダブルハンド機能を、この回転トラックを備えた回転室の機構として持たせることが可能となる。これにより、搬送にかかる時間を短縮して、基板処理の作業性を向上することができる。

【0028】

（７）本発明は、上記（６）において、
複数の前記回転トラックは、それぞれ前記第１調芯機構および前記第２調芯機構を有する、
ことができる。

【0029】

上記の構成によれば、複数本の回転トラックを任意に選択して、この回転トラックと第１，第２トラックとの搬送芯を容易に合わせて、悪影響のない状態でトレイ搬送をおこなうことが可能となる。第１調芯位置では、第１調芯機構によって、複数から選択されたうちの１本の回転トラックを調芯することができる。同様に、第２調芯位置では、第２調芯機構によって、複数から選択されたうちの１本の回転トラックを調芯することができる。

【0030】

（８）本発明は、上記（１）において、
前記回転トラックが、前記回転軸線を挟んで両側にそれぞれ配置される、
ことができる。

【0031】

上記の構成によれば、第１方向に複数のプロセスチャンバを並べて複数の処理をおこなう真空処理装置において、所定のプロセスチャンバが、第１トラックに対して第２方向の両側に配置されている場合にも、両方のプロセスチャンバに対して、同時にトレイの入れ替えをおこなうことができる。さらに、トレイが被処理基板とマスクとのいずれかまたは両方を第１，第２方向に搬送するように構成された場合でも、これらに対応してトレイ搬送を容易におこなうことが可能となる。

【0032】

（９）本発明は、上記（１）において、
前記回転トラックに沿って前記トレイを搬送する際に、前記回転トラックと対となり前記トレイの上端を支持する上回転トラックと、
前記上回転トラックを前記回転トラックと同じ前記回転軸線の周りに回転する上回転駆動機構と、
前記回転駆動機構と前記上回転駆動機構とを同時に回転駆動させる制御部と、
を有する、
ことができる。

【0033】

上記の構成によれば、第１，第２トラックから搬送されてきたトレイを、回転トラック上で倒れないように姿勢維持した状態で回転トラックごと回転して搬送方向を変えることが容易にできる。また、回転トラックと上回転トラックとの間となる回転領域には、トレイおよび被処理基板以外が存在しない構成とすることができるので、被処理基板やトレイに対するパーティクル付着の発生が極めて低くなるように抑制することが可能である。さらに、制御部による回転トラックと上回転トラックとの回転制御を、同期ではなく同時に回転駆動させることで、これらの回転動作に際する制御容易性を向上することが可能となる。

【0034】

（１０）本発明は、上記（９）において、
前記上回転トラックは、対となる前記回転トラックよりも平面視して前記回転軸線に近接して配置される、
ことができる。

【0035】

上記の構成によれば、トレイの下端よりも上端が回転軸線に近接するように、トレイと被処理基板とを傾斜した状態で、回転トラック上に載置して回転することができる。これにより、被処理基板の被処理面、つまり、成膜をおこなう基板であれば成膜面を回転軸線に近接する下方に傾斜した位置として、回転トラックでの姿勢を維持することができる。従って、パーティクルが回転トラックの回転範囲で上から降ってきた場合でも、被処理面にパーティクルが付着することを低減できる。

【0036】

（１１）本発明は、上記（１）において、
前記回転トラックに沿って前記トレイを搬送する際に、前記回転トラックと対となり前記トレイの上端を支持する上回転トラックと、
前記上回転トラックを前記回転トラックと同じ前記トラバース方向に移動する上トラバース機構と、
前記トラバース機構と前記上トラバース機構とを同時に駆動させる制御部と、
を有する、
ことができる。

【0037】

上記の構成によれば、第１，第２トラックから搬送されてきたトレイを、回転トラック上で倒れないように姿勢維持した状態で回転トラックごとトラバースして搬送することが容易にできる。また、回転トラックと上回転トラックとの間となるトラバース領域には、トレイおよび被処理基板以外が存在しない構成とすることができるので、被処理基板やトレイに対するパーティクル付着の発生が極めて低くなるように抑制することが可能である。さらに、制御部による回転トラックと上回転トラックとのトラバース制御を、同期ではなく同時にトラバース駆動させることで、これらのトラバース動作に際する制御容易性を向上することが可能となる。

【0038】

（１２）本発明は、上記（１１）において、
前記上回転トラックは、対となる前記回転トラックよりも平面視して前記回転軸線に近接して配置され、
前記トラバース機構と前記上トラバース機構とは、前記上回転トラックと前記回転トラックとの平面視した位置を維持して前記トラバース方向に移動する、
ことができる。

【0039】

上記の構成によれば、トレイの下端よりも上端が回転軸線に近接するように、トレイと被処理基板とを傾斜した状態で、回転トラック上に載置して搬送することができる。これにより、被処理基板の被処理面、つまり、成膜をおこなう基板であれば成膜面を回転軸線に近接する下方に傾斜した位置として、回転トラックでの姿勢を維持することができる。従って、パーティクルが回転トラックの回転範囲で上から降ってきた場合でも、被処理面にパーティクルが付着することを低減できる。

【0040】

（１３）本発明は、上記（１）において、
前記トラバース機構によって前記第１調芯位置または前記第２調芯位置まで前記トラバース方向に移動した前記回転トラックの搬送重量を支持する重量支持部と、
前記第１調芯位置で前記重量支持部の下方に当接して前記回転トラックの搬送重量を支持する第１支持台部と、
前記第２調芯位置で前記重量支持部の下方に当接して前記回転トラックの搬送重量を支持する第２支持台部と、
を有し、
前記第１支持台部および前記第２支持台部が回転時の前記重量支持部の回転範囲よりも径方向外方に固定配置される、
ことができる。

【0041】

上記の構成によれば、回転トラックが回転位置から第１調芯位置へとトラバースした際に、重量支持部が第１支持台部に乗り上げることで、高さ方向における回転トラックの調芯をおこなうことが可能となる。これにより、重量支持部と第１支持台部とで、被処理基板、トレイ、および、回転トラックなどの荷重を支持することができ、大型化した基板および装置における重量によるたわみ、変形等の影響を低減して、合わせた搬送芯がずれてしまうことを防止できる。
しかも、複数の回転トラックのそれぞれにおいて、回転位置から第１調芯位置へとトラバースした際に、重量支持部が第１支持台部に乗り上げることで、いずれの回転トラックも、被処理基板、トレイ、および、回転トラックなどの荷重を支持することができ、大型化した基板および装置における重量によるたわみ、変形等の影響を低減して、合わせた搬送芯がずれてしまうことを防止できる。

【0042】

同時に、回転トラックが回転位置から第２調芯位置へとトラバースした際に、重量支持部が第２支持台部に乗り上げることで、高さ方向における回転トラックの調芯をおこなうことが可能となる。これにより、重量支持部と第２支持台部とで、被処理基板、トレイ、および、回転トラックなどの荷重を支持することができ、大型化した基板および装置における重量によるたわみ、変形等の影響を低減して、合わせた搬送芯がずれてしまうことを防止できる。
しかも、複数の回転トラックのそれぞれにおいて、回転トラックが回転位置から第２調芯位置へとトラバースした際に、重量支持部が第２支持台部に乗り上げることで、いずれの回転トラックも、被処理基板、トレイ、および、回転トラックなどの荷重を支持することができ、大型化した基板および装置における重量によるたわみ、変形等の影響を低減して、合わせた搬送芯がずれてしまうことを防止できる。

【0043】

（１４）本発明は、上記（１）において、
前記回転トラックが、前記トレイを浮上して前記回転トラックと非接触で搬送する浮上駆動部を有し、
前記浮上駆動部が、搬送される前記トレイの下端位置より下方に配置されるとともに、前記回転駆動機構およびトラバース機構によって前記回転トラックと一体に移動する、
ことができる。

【0044】

上記の構成によれば、回転トラックが第１調芯位置から回転位置へとトラバースした際に、回転トラックと一体に移動する浮上駆動部も、第１調芯位置から回転位置へとトラバースする。これにより、浮上駆動部も回転トラックの回転領域に入るため、回転トラックの回転時に、浮上駆動部が第１トラックと接触することがない。同様に、回転トラックが第２調芯位置から回転位置へとトラバースした際に、回転トラックと一体に移動する浮上駆動部も、第２調芯位置から回転位置へとトラバースする。これにより、浮上駆動部も回転トラックの回転領域に入るため、回転トラックの回転時に、浮上駆動部が第２トラックと接触することがない。これにより、回転トラックと第１，第２トラックとの断絶区間の寸法を拡げて浮上駆動部の回転範囲を確保する必要がない。
したがって、浮上駆動部による回転トラックでのトレイの搬送駆動をどの位置に回転しても可能とすることができる。

【0045】

（１５）本発明は、上記（１）において、
前記トレイが前記被処理基板とともに搬送され、あるいは、前記トレイが前記被処理基板の処理に用いられるマスクとともに搬送される、
ことができる。

【0046】

上記の構成によれば、被処理基板とマスクとを同じ輪郭形状とすることで、同じ形状のトレイによって搬送することが可能となる。これにより、基板搬送用とマスク搬送用として、それぞれ第１．第２トラックおよび回転トラックを複数本設ける必要がない。これにより、真空処理装置および基板搬送措置としての真空チャンバの内部空間を減少して、装置の省スペース化を図ることができる。また、搬送芯を合わせることを容易化することが可能となる。

【0047】

（１６）本発明は、上記（４）において、
前記フローティング機構は、
前記回転軸線と平行で前記回転トラックの前記搬送方向で中心のフローティング軸線に対して、前記回転トラックの両端をチルト回転可能とするフローティング軸部と、
前記フローティング軸部を前記トラバース方向に微小並進移動可能とする並進フローティング部と、
を有する、
ことができる。

【0048】

上記の構成によれば、第１，第２調芯機構によって搬送芯を合わせる際に、回転トラックが、容易にチルト回転するとともに微小並進移動することが可能となる。これにより、回転トラックの回転軸線周りの回転動作およびトラバース動作に影響を与えることなく、小さい力で搬送芯を合わせることができる。したがって、調芯機構を真空チャンバ内で小型化することができる。また、回転トラックをチルト回転と微小並進移動との２自由度で支持することで、調芯動作を容易として、調芯にかかる時間を短縮することが可能となる。

【0049】

（１７）本発明は、上記（１）において、
前記第１トラックが、前記回転軸線を挟んで互いに平行に２本配置され、
前記第２トラックが、前記回転軸線を挟んで互いに平行に２本配置され、
前記第１トラックと前記第２トラックとが、互いに直交する、
ことができる。

【0050】

上記の構成によれば、第１トラックでトレイの往復搬送をおこなうことが可能となり、第２トラックでトレイの往復搬送をおこなうことが可能となる。これにより、たとえば第１トラックで処理の段階を踏んでトレイを搬送するとともに、第２トラックでプロセスチャンバへのトレイを出し入れする搬送をおこなうことが可能となる。したがって、搬送とプロセスとの時間短縮を図り、サイクルタイム、タクトタイム、リードタイムを短縮することが容易となる。

【0051】

（１８）本発明は、上記（７）において、
前記調芯機構が、前記回転トラックの前記搬送方向の両端にそれぞれ配置される、
ことができる。

【0052】

上記の構成によれば、調芯時に、調芯機構が回転トラックの搬送方向の両端から押さえる動作によって位置決めをおこなうだけで、回転軸線周りにおける回転トラックの調芯をおこなうことが可能となる。

【0053】

（１９）本発明の他の態様にかかる基板搬送装置は、
真空チャンバ内で被処理基板をトレイとともに縦型搬送する装置であって、
略水平な第1方向に沿って前記トレイを搬送する第１トラックと、
前記第１方向とは交差する略水平な第２方向に沿って前記トレイを搬送する第２トラックと、
前記第１方向から前記第２方向へと前記トレイの搬送方向を変える際に、
鉛直な回転軸線の周りに回転して、前記第１トラックに対して搬送芯を合わせて前記トレイを連続して搬送可能な第１調芯位置と、前記第２トラックに対して搬送芯を合わせて前記トレイを連続して搬送可能な第２調芯位置と、のそれぞれに対応する回転位置に回転可能な回転トラックと、
前記回転トラックを、前記回転軸線の周りに回転する回転駆動機構と、
前記回転駆動機構による所定の回転位置において、前記第１調芯位置と前記第１調芯位置よりも前記回転軸線に近接する回転可能位置との間、および、前記第２調芯位置と前記第２調芯位置よりも前記回転軸線に近接する前記回転可能位置との間に、前記回転トラックを前記回転トラックの搬送方向とは交差するトラバース方向に移動して前記回転軸線からの離間位置を増減するトラバース機構と、
調芯機構として、前記回転トラックと前記第１トラックとの搬送芯を合わせる第１調芯機構と、
前記調芯機構として、前記回転トラックと前記第２トラックとの搬送芯を合わせる第２調芯機構と、
前記回転トラックの調芯時に、前記回転トラックを調芯可能にするフローティング機構と、
前記回転駆動機構による回転時に、前記回転トラックをロックするロック機構と、
を有し、
前記回転駆動機構が、
前記回転軸線の周りに回転可能な回転テーブルと、
前記回転テーブルの回転をガイドする回転ガイドと、
前記回転テーブルを回転する回転駆動源と、
を有し、
前記トラバース機構が、
前記回転トラックを前記回転テーブルの上方で支持するトラバーステーブルと、
前記トラバーステーブルの移動を前記回転テーブルに対して前記トラバース方向にガイドするトラバースガイドと、
前記トラバーステーブルを前記回転テーブルに対して前記トラバース方向に移動するトラバース駆動源と、
を有し、
前記トラバーステーブルが前記回転軸線を挟んで前記トラバース方向に離間して互いに平行に２つ配置され、
前記フローティング機構が、
前記回転トラックが載置されるフローティングテーブルと、
前記回転軸線と平行で前記フローティングテーブルの前記搬送方向で中心のフローティング軸線に対して、前記フローティングテーブルの両端をチルト回転可能とするフローティング軸部と、
前記フローティング軸部を前記トラバース方向に微小並進移動可能とする並進フローティング部と、
前記フローティングテーブルの両端位置を、前記フローティング軸部に対して回転可能に前記トラバーステーブルの上に支持するボール部と、
を有し、
前記ロック機構が、前記搬送方向で前記フローティング軸部と前記ボール部との間で、前記フローティングテーブルの下方に配置され、
前記調芯機構が、
前記フローティングテーブルの両端下方に配置されたＶブロックと、
前記第１トラックおよび前記第２トラックの端部下方に配置されたカムフォロアと、
前記カムフォロアを前記第１トラックおよび前記第２トラックの端部から前記Ｖブロックに向かって進退させる進退駆動部と、
を有し、
前記フローティングテーブルの上方に、それぞれ互いに離間して平行に複数本の回転トラックが配置される、
ことによる上記課題を解決した。

【0054】

上記の構成によれば、断絶区間を短縮し、トレイおよび処理基板への衝撃を低減し、回転トラックの調芯を容易におこない、トレイの搬送方向の変換にかかる時間を短縮して搬送効率を向上し、パーティクル付着の発生を低減することができる。

【0055】

（２０）本発明は、上記（１９）において、
前記回転トラックに沿って前記トレイを搬送する際に、前記回転トラックと対となり前記トレイの上端を支持する上回転トラックと、
前記上回転トラックを前記回転トラックと同じ前記回転軸線の周りに回転する上回転駆動機構と、
前記上回転トラックを前記回転トラックと同じ前記トラバース方向に移動する上トラバース機構と、
前記回転駆動機構と前記上回転駆動機構とを同時に回転駆動させるとともに、前記トラバース機構と前記上トラバース機構とを同時に駆動させる制御部と、
を有し、
前記上回転トラックは、対となる前記回転トラックよりも平面視して前記回転軸線に近接して配置され、
前記トラバース機構と前記上トラバース機構とは、前記上回転トラックと前記回転トラックとの平面視した位置を維持して前記トラバース方向に移動する、
ことができる。

【0056】

上記の構成によれば、搬送容易性を向上し、パーティクル付着の発生を低減し、制御部による制御容易性を向上することが可能となる。

【発明の効果】

【0057】

本発明によれば、トレイおよび処理基板への衝撃を低減し、トラックの調芯性を向上し、トレイの搬送方向の変更にかかる時間を短縮し、トレイの入れ替えにかかる時間を短縮し、トレイの搬送効率を向上し、パーティクル付着の発生を低減し、制御部による動作制御性を向上し、搬送容易性を向上することができるという効果を奏することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0058】

【図1】本発明に係る基板搬送装置の第１実施形態を備えた真空処理装置を示す模式平面図である。

【図2】本発明に係る真空搬送装置の第１実施形態におけるトレイおよび被処理基板を示す模式側面図である。

【図3】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態におけるトラック、浮上駆動部およびトレイを示す模式正面図である。

【図4】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態におけるトラック、浮上駆動部、トレイ、調芯機構を示す模式斜視図である。

【図5】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における磁気回転手段を示す模式斜視図である。

【図6】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置（回転移動ステージ）を示す模式正面図である。

【図7】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置の回転トラック付近を示す模式上面図である。

【図8】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置の回転トラック付近を示す模式正面図である。

【図9】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置の回転トラック付近を示す模式側面図である。

【図10】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置の上回転トラックを示す模式下面図である。

【図11】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図12】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図13】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図14】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図15】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図16】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図17】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図18】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図19】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図20】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図21】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図22】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図23】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図24】本発明に係る真空処理装置の第１実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図25】本発明に係る真空処理装置の第２実施形態における基板搬送装置の上下調芯機構を説明する模式上面図である。

【図26】本発明に係る真空処理装置の第２実施形態における基板搬送装置の上下調芯機構を説明する模式正面図である。

【図27】本発明に係る真空処理装置の第２実施形態における基板搬送装置の上下調芯機構を説明する模式側面図である。

【図28】本発明に係る真空処理装置の第２実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図29】本発明に係る真空処理装置の第２実施形態における基板搬送装置での動作を説明する側面工程図である。

【図30】本発明に係る真空処理装置の第２実施形態における基板搬送装置での動作を説明する上面工程図である。

【図31】本発明に係る真空処理装置の第２実施形態における基板搬送装置での動作を説明する側面工程図である。

【図32】本発明に係る真空処理装置の第３実施形態における基板搬送装置の上下調芯機構を説明する模式正面図である。

【図33】本発明に係る真空処理装置の第３実施形態における基板搬送装置の上下調芯機構を説明する模式側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0059】

以下、本発明に係る基板搬送装置の第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態における基板搬送装置を備えた真空処理装置を示す模式平面図であり、図において、符号ＶＭ１は、真空処理装置である。
以下、水平方向で互いに直交する２方向を第１方向（Ｘ方向）および第２方向（Ｙ方向）といい、基板（被処理基板）Ｓｗの処理面が第１方向（Ｘ方向）または第２方向（Ｙ方向）に向かう位置を第１の位置、例えば、縦位置、垂直位置といい、基板Ｓｗの処理面が第１の方向（Ｘ方向）と第２の方向（Ｙ方向）とが交差して形成されるなされる鉛直方向に向かう位置を第２の位置、例えば水平位置、横位置という。

【0060】

本実施形態に係る真空処理装置ＶＭ１は、図１に示すように、キャリア搬送チャンバＣｃ、第１位置変換チャンバＡｃ１、第２位置変換チャンバＡｃ２、第１ロードロックチャンバＬｃ１、第２ロードロックチャンバＬｃ２、第１ロボットチャンバＲｏ１、第２ロボットチャンバＲｏ２、搬送チャンバＴｃ、第１プロセスチャンバＰｃ１、第２プロセスチャンバＰｃ２、第３プロセスチャンバＰｃ３、第４プロセスチャンバＰｃ４、第５プロセスチャンバＰｃ５、第６プロセスチャンバＰｃ６、マスク収納チャンバＭｃ、ターンバックチャンバＢｃ、回転移動ステージ（基板搬送装置）１００、真空搬送ロボット２、成膜手段３、搬送体搬送手段４、キャリア搬送手段５を備える。

【0061】

真空処理装置ＶＭ１は、第１方向（Ｘ方向）に複数配置される第１プロセスチャンバＰｃ１から第６プロセスチャンバＰｃ６までの各処理チャンバを有する。真空処理装置ＶＭ１は、これらの第１プロセスチャンバＰｃ１から第６プロセスチャンバＰｃ６までの各処理チャンバを通過する複数の基板（ガラス基板）Ｓｗに対して、マスクＭｓを用いて複数の基板Ｓｗの処理面上に所定の薄膜を順次成膜することができる。
基板Ｓｗは、ＦＰＤを製作するための種々の基板であるが、例えば、ガラス、プラスチック、フィルムなどをはじめとする材質により作製される。

【0062】

搬送チャンバＴｃは、第１回転チャンバ（回転チャンバ）Ｔｃ１と、第２回転チャンバ（回転チャンバ）Ｔｃ２と、第３回転チャンバ（回転チャンバ）Ｔｃ３と、を有する。第１回転チャンバ（回転チャンバ）Ｔｃ１と、第２回転チャンバ（回転チャンバ）Ｔｃ２と、第３回転チャンバ（回転チャンバ）Ｔｃ３とは、第１方向（Ｘ方向）に沿って互いに離間するとともに、第１方向（Ｘ方向）に順番に並んでいる。

【0063】

第１回転チャンバ（回転チャンバ）Ｔｃ１と第２回転チャンバ（回転チャンバ）Ｔｃ２は、第１連結通路Ｐｗ１と第２連結通路Ｐｗ２とによって連結される。第２回転チャンバＴｃ２と第３回転チャンバ（回転チャンバ）Ｔｃ３は、第１連結通路Ｐｗ１と第２連結通路Ｐｗ２とによって連結される。
第１連結通路Ｐｗ１と第２連結通路Ｐｗ２とは、いずれも第１方向（Ｘ方向）に沿って延在する。

【0064】

第１連結通路Ｐｗ１は、第２回転チャンバＴｃ２から第１方向（Ｘ方向）に沿った両方向に向かって伸びる。つまり、第１連結通路Ｐｗ１は、第１方向（Ｘ方向）の略同一直線に沿って形成される。同時に、第１連結通路Ｐｗ１は、第１方向（Ｘ方向）の中央が第２回転チャンバＴｃ２によって分断されている。第１連結通路Ｐｗ１は、第１方向（Ｘ方向）の一方の端部が第１回転チャンバＴｃ１に接続されている。第１連結通路Ｐｗ１は、第１方向（Ｘ方向）の他方の端部が第３回転チャンバＴｃ３に接続されている。

【0065】

第２連結通路Ｐｗ２は、第１連結通路Ｐｗ１から第２方向（Ｙ方向）に対して離間して配置される。
第２連結通路Ｐｗ２は、第２回転チャンバＴｃ２から第１方向（Ｘ方向）に沿った両方向に向かって伸びる。つまり、第２連結通路Ｐｗ２は、第１方向（Ｘ方向）の略同一直線に沿って形成される。同時に、第２連結通路Ｐｗ２は、第１方向（Ｘ方向）の中央が第２回転チャンバＴｃ２によって分断されている。第２連結通路Ｐｗ２は、第１方向（Ｘ方向）の一方の端部が第１回転チャンバ（回転チャンバ）Ｔｃ１に接続されている。第２連結通路Ｐｗ２は、第１方向（Ｘ方向）の他方の端部が第３回転チャンバＴｃ３に接続されている。

【0066】

第１回転チャンバ（回転チャンバ）Ｔｃ１には、第１方向（Ｘ方向）で第１連結通路Ｐｗ１および第２連結通路Ｐｗ２と逆向きとなる側方には、第３連結通路Ｐｗ３と第４連結通路Ｐｗ４とが接続される。第３連結通路Ｐｗ３は、第１方向（Ｘ方向）に沿って第１連結通路Ｐｗ１と略同一直線上に形成される。第４連結通路Ｐｗ４は、第１方向（Ｘ方向）に沿って第２連結通路Ｐｗ２と略同一直線上に形成される。

【0067】

第３連結通路Ｐｗ３と第４連結通路Ｐｗ４とは、第１回転チャンバＴｃ１から第１方向（Ｘ方向）に沿った一方向に向かって伸びる。第３連結通路Ｐｗ３と第４連結通路Ｐｗ４とは、互いに平行に配置される。第３連結通路Ｐｗ３は、第４連結通路Ｐｗ４から第２方向（Ｙ方向）に対して離間して配置される。
第１回転チャンバＴｃ１は、第３連結通路Ｐｗ３を介して第１位置変換チャンバＡｃ１に接続される。第１回転チャンバＴｃ１は、第４連結通路Ｐｗ４を介して第２位置変換チャンバＡｃ２に接続される。

【0068】

第３回転チャンバ（回転チャンバ）Ｔｃ３には、第１方向（Ｘ方向）で第１連結通路Ｐｗ１および第２連結通路Ｐｗ２と逆向きとなる側方には、第５連結通路Ｐｗ５と第６連結通路Ｐｗ６とが接続される。第５連結通路Ｐｗ５は、第１方向（Ｘ方向）に沿って第１連結通路Ｐｗ１と略同一直線上に形成される。第６連結通路Ｐｗ６は、第１方向（Ｘ方向）に沿って第２連結通路Ｐｗ２と略同一直線上に形成される。

【0069】

第５連結通路Ｐｗ５と第６連結通路Ｐｗ６とは、第３回転チャンバＴｃ３から第１方向（Ｘ方向）に沿った他方向に向かって伸びる。第５連結通路Ｐｗ５と第６連結通路Ｐｗ６とは、互いに平行に配置される。第５連結通路Ｐｗ５は、第６連結通路Ｐｗ６から第２方向（Ｙ方向）に対して離間して配置される。
第３回転チャンバＴｃ３は、第５連結通路Ｐｗ５を介してターンバックチャンバＢｃに接続される。第３回転チャンバＴｃ３は、第６連結通路Ｐｗ６を介してターンバックチャンバＢｃに接続される。

【0070】

第１回転チャンバＴｃ１には、第１連結通路Ｐｗ１と第３連結通路Ｐｗ３とを第１方向（Ｘ方向）に連結するように第１主搬送路（第１メイントラック）Ｍｒ１が配置される。第１回転チャンバＴｃ１には、第２連結通路Ｐｗ２と第４連結通路Ｐｗ４とを第１方向（Ｘ方向）に連結するように第２主搬送路（第２メイントラック）Ｍｒ２が配置される。

【0071】

第２回転チャンバＴｃ２には、第１連結通路Ｐｗ１と第１連結通路Ｐｗ１とを第１方向（Ｘ方向）に連結するように第１主搬送路（第１メイントラック）Ｍｒ１が配置される。第２回転チャンバＴｃ２には、第２連結通路Ｐｗ２と第２連結通路Ｐｗ２とを第１方向（Ｘ方向）に連結するように第２主搬送路（第２メイントラック）Ｍｒ２が配置される。

【0072】

第３回転チャンバＴｃ３には、第１連結通路Ｐｗ１と第５連結通路Ｐｗ５とを第１方向（Ｘ方向）に連結するように第１主搬送路（第１メイントラック）Ｍｒ１が配置される。第３回転チャンバＴｃ３には、第２連結通路Ｐｗ２と第６連結通路Ｐｗ６とを第１方向（Ｘ方向）に連結するように第２主搬送路（第２メイントラック）Ｍｒ２が配置される。
ここで、第１方向（Ｘ方向）に連結するとは、第１方向（Ｘ方向）に基板Ｓｗを搬送できることを意味している。

【0073】

本実施形態に係る真空処理装置ＶＭ１は、図１に示すように、搬送チャンバＴｃとして、３つの回転チャンバＴｃ１～Ｔｃ３を記載しているが、この数は限定されず、素子構造及びタクトタイム等を考慮して、適宜増減することができる。図示していないが、搬送チャンバＴｃには、排気管を介して真空ポンプが接続され、搬送チャンバＴｃの内部を所定圧力の真空雰囲気に維持することができる。

【0074】

真空処理装置ＶＭ１は、第１方向（Ｘ方向）において、第１位置変換チャンバＡｃ１内の第１主搬送路Ｍｒ１の位置を起点位置Ｓｐに設定し、第２位置変換チャンバＡｃ２内の第２主搬送路Ｍｒ２の位置を終点位置Ｅｐに設定することができる。
真空処理装置ＶＭ１では、起点位置Ｓｐから終点位置Ｅｐへと基板Ｓｗが装着されたトレイ（キャリア）Ｃａを搬送することができる。以下、基板Ｓｗが装着されたトレイ（キャリア）Ｃａを、搬送体（搬送トレイ）Ｃｓと称することがある。
起点位置Ｓｐと終点位置Ｅｐとは、基板Ｓｗが装着されたトレイ（キャリア）Ｃａを搬送する際の起点と終点とを意味する。

【0075】

真空処理装置ＶＭ１における搬送トレイＣｓの搬送では、まず、起点位置Ｓｐである第１位置変換チャンバＡｃ１内の第１主搬送路Ｍｒ１から第１方向（Ｘ方向）に沿って搬送トレイＣｓを搬送する。真空処理装置ＶＭ１における搬送トレイＣｓの搬送では、第１主搬送路Ｍｒ１に沿って、第１回転チャンバＴｃ１、第２回転チャンバＴｃ２、第３回転チャンバＴｃ３を順次経過して、ターンバックチャンバＢｃへと到る。

【0076】

真空処理装置ＶＭ１における搬送トレイＣｓの搬送では、ターンバックチャンバＢｃを経た後、第１方向（Ｘ方向）に沿って、かつ、第１主搬送路Ｍｒ１と反対の方向に第２主搬送路Ｍｒ２に沿って、再び第３回転チャンバＴｃ３、第２回転チャンバＴｃ２、第１回転チャンバＴｃ１を順次経過して、第２位置変換チャンバＡｃ２へと到る。真空処理装置ＶＭ１における搬送トレイＣｓの搬送では、第２位置変換チャンバＡｃ２内の第２主搬送路Ｍｒ２の終点位置Ｅｐで搬送トレイＣｓの搬送を終了する。

【0077】

本実施形態の真空処理装置ＶＭ１によれば、第１位置変換チャンバＡｃ１と第２位置変換チャンバＡｃ２との一部は、搬送チャンバＴｃの一部の役割を果たすことができる。真空処理装置ＶＭ１は、これに限定されず、第１位置変換チャンバＡｃ１と第２位置変換チャンバＡｃ２との一部が、搬送チャンバＴｃの一部の役割を果たさなくてもよい。
あるいは、真空処理装置ＶＭ１は、起点位置Ｓｐと終点位置Ｅｐとを含む追加の移送チャンバを含むことができる。また、真空処理装置ＶＭ１において、第１主搬送路Ｍｒ１と第２主搬送路Ｍｒ２とは、副搬送路等の他の搬送路を含み、例えば非接触電力供給により搬送トレイＣｓを磁気浮上させて、第１主搬送路Ｍｒ１と第２主搬送路Ｍｒ２とによって搬送トレイＣｓを搬送することもできる。

【0078】

第１回転チャンバＴｃ１、第２回転チャンバＴｃ２、第３回転チャンバＴｃ３は、いずれもその内部に、第１主搬送路Ｍｒ１および第２主搬送路Ｍｒ２が位置している。第１回転チャンバＴｃ１、第２回転チャンバＴｃ２、第３回転チャンバＴｃ３の内部では、いずれも第１主搬送路Ｍｒ１及び第２主搬送路Ｍｒ２を回転可能な回転移動ステージ（基板搬送装置）１００が設けられる。
第１回転チャンバＴｃ１、第２回転チャンバＴｃ２、第３回転チャンバＴｃ３において、回転移動ステージ１００は、いずれも同じ構成とされることができる。

【0079】

回転移動ステージ（基板搬送装置）１００は、第１方向（Ｘ方向）および第２方向（Ｙ方向）と垂直をなす方向に延びる回転軸線Ｚ０（図６参照）を中心に回転することができる。回転移動ステージ（基板搬送装置）１００は、第１方向（Ｘ方向）および第２方向（Ｙ方向）がなす平面上で第１主搬送路Ｍｒ１および第２主搬送路Ｍｒ２を水平移動可能である。

【0080】

回転移動ステージ１００は、回転軸線Ｚ０を挟んだ両側に第１主搬送路Ｍｒ１および第２主搬送路Ｍｒ２が位置してもよい。回転移動ステージ１００に位置する第１主搬送路Ｍｒ１は、互いに隣接して配置された２つの主搬送トラックＴｒ１１および主搬送トラックＴｒ１２を含むことができる。
回転移動ステージ１００に位置する第２主搬送路Ｍｒ２は、互いに隣接して配置された２つの主搬送トラックＴｒ２１および主搬送トラックＴｒ２２を含むことができる。

【0081】

第１位置変換チャンバＡｃ１および第２位置変換チャンバＡｃ２内には、図示していないが、所定の動作機構が設けられる。この動作機構は、起点位置Ｓｐ及び終点位置Ｅｐにおいて、第１位置（垂直位置）と第２位置（水平位置）との間で、キャリアＣａを位置変更することができる。第１位置変換チャンバＡｃ１および第２位置変換チャンバＡｃ２内では、動作機構により、第１位置（垂直位置）と第２位置（水平位置）との間で基板Ｓｗの姿勢を変更することができる。

【0082】

第１位置変換チャンバＡｃ１および第２位置変換チャンバＡｃ２は、第１主搬送路Ｍｒ１および第２主搬送路Ｍｒ２に対して、互いに第２方向（Ｙ方向）の両側に並んで配置されている。
第１位置変換チャンバＡｃ１の第２方向（Ｙ方向）における外側面には、第１ロボットチャンバＲｏ１が接続されている。第１ロボットチャンバＲｏ１には、内部にフォーク状のロボットハンドを有する真空搬送ロボット２が配置される。第１ロボットチャンバＲｏ１の第２方向（Ｙ方向）におけるさらに外側面には、第１ロードロックチャンバＬｃ１が接続されている。
第２位置変換チャンバＡｃ２の第２方向（Ｙ方向）における外側面には、第２ロボットチャンバＲｏ２が接続されている。第２ロボットチャンバＲｏ２には、内部にフォーク状のロボットハンドを有する真空搬送ロボット２が配置される。第２ロボットチャンバＲｏ２の第２方向（Ｙ方向）におけるさらに外側面には、第２ロードロックチャンバＬｃ２が接続されている。

【0083】

第１ロードロックチャンバＬｃ１には、外部から基板Ｓｗが第２位置（水平位置）に搬入される。搬入された基板Ｓｗは、第１ロードロックチャンバＬｃ１において、第２位置を有する状態で真空搬送ロボット２により第１ロボットチャンバＲｏ１を介して第１位置変換チャンバＡｃ１に搬送される。第１位置変換チャンバＡｃ１では、起点位置Ｓｐで基板Ｓｗが動作機構により第１位置を有するキャリア（トレイ）Ｃａ上に配置される。第１位置変換チャンバＡｃ１において、基板ＳｗがキャリアＣａに装着される。キャリアＣａに基板Ｓｗが装着されることで、基板ＳｗとキャリアＣａとは搬送体（搬送トレイ）Ｃｓを成す。

【0084】

その後、搬送体（搬送トレイ）Ｃｓは、動作機構により第１位置（垂直位置）に位置変更される。このとき、基板Ｓｗの処理面は、基板Ｓｗが第２位置（水平位置）にあるときに上方を向いており、第１位置（垂直位置）にあるとき、第１位置変換チャンバＡｃ１から第２位置変換チャンバＡｃ２に近接する方向に向いていることができる。つまり、搬送チャンバＴｃにおいて、基板Ｓｗの処理面は、回転軸線Ｚ０に近接する方向に向いていることができる。第１位置変換チャンバＡｃ１において、動作機構および第１主搬送路Ｍｒ１は、このように配置することができる。

【0085】

しかしながら、キャリア（トレイ）Ｃａに基板Ｓｗを装着する方法はこれに限定されず、変更可能である。例えば、第１位置変換チャンバＡｃ１における基板Ｓｗの位置のみを第２位置から第１位置に変更し、この状態で、第１位置状態に配置されているキャリアＣａに基板Ｓｗを装着することもできる。

【0086】

第１位置変換チャンバＡｃ１、第２位置変換チャンバＡｃ２、第１ロボットチャンバＲｏ１、第２ロボットチャンバＲｏ２、第１ロードロックチャンバＬｃ１、第２ロードロックチャンバＬｃ２には、図示していないが、いずれも排気機構として真空ポンプに接続された排気管がそれぞれ接続される。排気機構は、第１位置変換チャンバＡｃ１、第２位置変換チャンバＡｃ２、第１ロボットチャンバＲｏ１、第２ロボットチャンバＲｏ２、第１ロードロックチャンバＬｃ１、第２ロードロックチャンバＬｃ２の内部を所定圧力である真空雰囲気に保持することができる。

【0087】

搬送チャンバＴｃの第２方向（Ｙ方向）に対向する外方位置には、基板Ｓｗの処理面に成膜等の複数の処理を進める第１プロセスチャンバ（プロセスチャンバ）Ｐｃ１、第２プロセスチャンバ（プロセスチャンバ）Ｐｃ２、第３プロセスチャンバ（プロセスチャンバ）Ｐｃ３、第４プロセスチャンバ（プロセスチャンバ）Ｐｃ４、第５プロセスチャンバ（プロセスチャンバ）Ｐｃ５、第６プロセスチャンバ（プロセスチャンバ）Ｐｃ６が接続される。

【0088】

具体的には、第１回転チャンバＴｃ１の第２方向（Ｙ方向）の両側には、第１プロセスチャンバＰｃ１と第６プロセスチャンバＰｃ６とが接続される。第２回転チャンバＴｃ２の第２方向（Ｙ方向）の両側には、第２プロセスチャンバＰｃ２と第５プロセスチャンバＰｃ５とが接続される。第３回転チャンバＴｃ３の第２方向（Ｙ方向）の両側には、第３プロセスチャンバＰｃ３と第４プロセスチャンバＰｃ４とが接続される。

【0089】

第１プロセスチャンバＰｃ１、第２プロセスチャンバＰｃ２、第３プロセスチャンバＰｃ３、第４プロセスチャンバＰｃ４、第５プロセスチャンバＰｃ５、第６プロセスチャンバＰｃ６は、それぞれ同じ構造を有する。第１プロセスチャンバＰｃ１、第２プロセスチャンバＰｃ２、第３プロセスチャンバＰｃ３は、第１方向（Ｘ方向）に沿って互いに離間して配置される。第４プロセスチャンバＰｃ４、第５プロセスチャンバＰｃ５、第６プロセスチャンバＰｃ６は、第１方向（Ｘ方向）に沿って互いに離間して配置される。

【0090】

第１プロセスチャンバＰｃ１は、第１回転チャンバＴｃ１から第２方向（Ｙ方向）に延びる第１副搬送路（第１サブトラック）Ｓｒ１と第２副搬送路（第２サブトラック）Ｓｒ２とを含む。第６プロセスチャンバＰｃ６は、第１回転チャンバＴｃ１から第２方向（Ｙ方向）に延びる第１副搬送路Ｓｒ１と第２副搬送路Ｓｒ２とを含む。

【0091】

第２プロセスチャンバＰｃ２は、第２回転チャンバＴｃ２から第２方向（Ｙ方向）に延びる第１副搬送路（第１サブトラック）Ｓｒ１と第２副搬送路（第２サブトラック）Ｓｒ２とを含む。第５プロセスチャンバＰｃ５は、第２回転チャンバＴｃ２から第２方向（Ｙ方向）に延びる第１副搬送路Ｓｒ１と第２副搬送路Ｓｒ２とを含む。

【0092】

第３プロセスチャンバＰｃ３は、第３回転チャンバＴｃ３から第２方向（Ｙ方向）に延びる第１副搬送路（第１サブトラック）Ｓｒ１と第２副搬送路（第２サブトラック）Ｓｒ２とを含む。第４プロセスチャンバＰｃ４は、第３回転チャンバＴｃ３から第２方向（Ｙ方向）に延びる第１副搬送路Ｓｒ１と第２副搬送路Ｓｒ２とを含む。

【0093】

回転移動ステージ１００は、９０度回転することで、第１方向（Ｘ方向）への搬送トレイＣｓの搬送と、第２方向（Ｙ方向）への搬送トレイＣｓの搬送と、を切り替えることができる。回転移動ステージ１００は、搬送トレイＣｓの搬送方向を切り替えることができる。回転移動ステージ１００における搬送方向の切り替えについては後述する。

【0094】

これにより、第１回転チャンバＴｃ１と第１プロセスチャンバＰｃ１および第６プロセスチャンバＰｃ６との間で搬送トレイＣｓをやり取りすることができる。同様に、第２回転チャンバＴｃ２と第２プロセスチャンバＰｃ２および第５プロセスチャンバＰｃ５との間で搬送トレイＣｓをやり取りすることができる。第３回転チャンバＴｃ３と第３プロセスチャンバＰｃ３および第４プロセスチャンバＰｃ４との間で搬送トレイＣｓをやり取りすることができる。このとき、搬送トレイＣｓは基板Ｓｗの処理面が各チャンバの内面に向かう状態を維持する。

【0095】

第１プロセスチャンバＰｃ１、第２プロセスチャンバＰｃ２、第３プロセスチャンバＰｃ３、第４プロセスチャンバＰｃ４、第５プロセスチャンバＰｃ５、第６プロセスチャンバＰｃ６は、第１副搬送路Ｓｒ１、第２副搬送路Ｓｒ２に沿って所定位置に搬送された搬送トレイＣｓに対して、成膜処理を行うことができる。

【0096】

第１プロセスチャンバＰｃ１、第２プロセスチャンバＰｃ２、第３プロセスチャンバＰｃ３、第４プロセスチャンバＰｃ４、第５プロセスチャンバＰｃ５、第６プロセスチャンバＰｃ６は、その内部にそれぞれ処理手段としての成膜手段３が位置することができる。成膜手段３は、スパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法などの成膜方法に応じて、蒸着源、スパッタリングカソード、プロセスガス導入手段などの各種機器を含むことができる。
第１プロセスチャンバＰｃ１、第２プロセスチャンバＰｃ２、第３プロセスチャンバＰｃ３、第４プロセスチャンバＰｃ４、第５プロセスチャンバＰｃ５、第６プロセスチャンバＰｃ６には、その内部の所定位置に例えば、Ｕ字状のガイドレール３１が設けられる。

【0097】

ガイドレール３１は、成膜手段３を搬送トレイＣｓの処理面の全面に沿って移動可能である。ガイドレール３１によって移動した成膜手段３は、搬送された搬送トレイＣｓの処理面の全面にわたって成膜等の工程を進めることができる。成膜手段３およびガイドレール３１のような成膜処理およびそれに必要な装置およびそれを駆動する機構は、特定の形態に限定されず、様々に変更可能である。

【0098】

第１プロセスチャンバＰｃ１、第２プロセスチャンバＰｃ２、第３プロセスチャンバＰｃ３、第４プロセスチャンバＰｃ４、第５プロセスチャンバＰｃ５、第６プロセスチャンバＰｃ６は、いずれも第２方向（Ｙ方向）に沿って搬送チャンバＴｃと向かい合う外側面に、マスク収納チャンバＭｃが接続される。

【0099】

複数設けられたマスク収納チャンバＭｃは、いずれも同じ構造を有しており、図示しないが、真空ポンプに接続された排気管及びベントガスを注入するベントガスラインと接続することができる。
マスク収納チャンバＭｃは、第１副搬送路Ｓｒ１、第２副搬送路Ｓｒ２と第２方向（Ｙ方向）に沿って一列に配置される。マスク収納チャンバＭｃは、マスクＭｓを収納する。

【0100】

マスクＭｓは、シルバー、アルミニウムやステンレスなどの金属製を含むことができ、基板Ｓｗの処理面に成膜しようとするパターンに応じて厚さ方向に貫通するように形成された開口（図示せず）を有することができる。
搬送トレイＣｓの処理面に対してマスクＭｓを介して成膜処理する場合には、電磁石や永久磁石を備えた公知の脱着手段によって、基板Ｓｗの処理面にマスクＭｓを装着することもできる。また、搬送トレイＣｓの処理面に対してマスクＭｓを介して成膜処理する場合には、公知のアライメント機構によって、基板Ｓｗの処理面とマスクＭｓとをアライメントすることもできる。

【0101】

マスク収納チャンバＭｃは、第１プロセスチャンバＰｃ１、第２プロセスチャンバＰｃ２、第３プロセスチャンバＰｃ３、第４プロセスチャンバＰｃ４、第５プロセスチャンバＰｃ５、第６プロセスチャンバＰｃ６のぞれぞれと、ゲートバルブＧｖ１を介して接続することができる。
マスク収納チャンバＭｃ内には、第２方向（Ｙ方向）に延びているマスク搬送路Ｐｒが位置する。マスク搬送路Ｐｒは、マスク収納チャンバＭｃから、第１プロセスチャンバＰｃ１、第２プロセスチャンバＰｃ２、第３プロセスチャンバＰｃ３、第４プロセスチャンバＰｃ４、第５プロセスチャンバＰｃ５、第６プロセスチャンバＰｃ６にわたってそれぞれ延在する。

【0102】

マスク搬送路Ｐｒは、マスク収納チャンバＭｃから、第１プロセスチャンバＰｃ１、第２プロセスチャンバＰｃ２、第３プロセスチャンバＰｃ３、第４プロセスチャンバＰｃ４、第５プロセスチャンバＰｃ５、第６プロセスチャンバＰｃ６にマスクＭｓを搬送する。
マスクＭｓは、第１プロセスチャンバＰｃ１、第２プロセスチャンバＰｃ２、第３プロセスチャンバＰｃ３、第４プロセスチャンバＰｃ４、第５プロセスチャンバＰｃ５、第６プロセスチャンバＰｃ６において、成膜処理を行う搬送トレイＣｓに対して、基板Ｓｗの処理面全面に対応する所定位置に配置されることができる。

【0103】

マスク収納チャンバＭｃの外側には、追加のゲートバルブＧｖ２が設けられる。マスク収納チャンバＭｃでは、ゲートバルブＧｖ１を閉じた状態でマスク収納チャンバＭｃを大気開放し、ゲートバルブＧｖ２を開いてその内部のマスクＭｓを交換することができる。
マスク搬送路Ｐｒは、第１副搬送路Ｓｒ１、第２副搬送路Ｓｒ２に沿って連続してマスクＭｓを搬送することもできる。この場合、マスクＭｓは、基板Ｓｗと同様にキャリアＣａによって搬送することができる。従って、マスク収納チャンバＭｃにはゲートバルブＧｖ２を設けないこともできる。

【0104】

第３回転チャンバＴｃ３の第１方向（Ｘ方向）の一端部には、第５連結通路Ｐｗ５と第６連結通路Ｐｗ６を介して、ターンバックチャンバＢｃが連結される。
ターンバックチャンバＢｃには、キャリア搬送手段である回転ステージ４１が設けられる。回転ステージ４１には第１主搬送路Ｍｒ１および第２主搬送路Ｍｒ２に沿った第１方向（Ｘ方向）に延びているターンバック用搬送路４２が位置する。

【0105】

第３回転チャンバＴｃ３から第１主搬送路Ｍｒ１を介してターンバックチャンバＢｃに搬送された搬送トレイＣｓは、第１位置状態の搬送トレイＣｓを回転ステージ４１上の第１主搬送路Ｍｒ１に受ける。この状態で、回転ステージ４１を回転させると、搬送トレイＣｓが第１位置状態を維持した状態で、第２主搬送路Ｍｒ２に搬送可能な位置に移動する。この状態で、第２主搬送路Ｍｒ２を介して第３回転チャンバＴｃ３とターンバックチャンバＢｃとの間で、搬送トレイＣｓをやり取りすることができる。このとき、搬送トレイＣｓの処理面は各チャンバの内面に向くことができる。

【0106】

第１位置変換チャンバＡｃ１および第２位置変換チャンバＡｃ２は、ゲートバルブＧｖ３を介してキャリア搬送チャンバＣｃに接続される。キャリア搬送チャンバＣｃは、キャリア搬送手段５を含む。キャリア搬送チャンバＣｃは、終点位置Ｅｐと起点位置Ｓｐとの間で真空雰囲気または制御された雰囲気を維持したまま、第１位置状態を有する空のキャリアＣａを搬送することができる。
キャリア搬送チャンバＣｃのキャリア搬送手段５は、回転ステージ５１を含む。回転ステージ５１には、第１主搬送路Ｍｒ１および第２主搬送路Ｍｒ２を有する。回転ステージ５１には、第１方向（Ｘ方向）に延びるキャリアターンバック用搬送路５２が位置する。

【0107】

第２位置変換チャンバＡｃ２では、第２主搬送路Ｍｒ２の終点位置Ｅｐで搬送されてきた空のキャリアＣａを回転ステージ５１に受ける。この状態で、回転ステージ５１を回転させると、第１主搬送路Ｍｒ１の起点位置Ｓｐに空きキャリアＣａを搬送することができる。また、キャリア搬送チャンバＣｃ内には、空のキャリアＣａに対して表面クリーニングや静電気除去等の前処理を行うための前処理手段（図示せず）を設けることができる。このような前処理手段は変更可能であり、その詳細な説明は省略する。

【0108】

真空処理装置ＶＭ１では、第１ロードロックチャンバＬｃ１に処理前一枚の基板Ｓｗが搬入される。第１位置変換チャンバＡｃ１では、真空搬送ロボット２により搬入した基板ＳｗをキャリアＣａにセットして搬送トレイＣｓとする。搬送トレイＣｓは第２位置、すなわち水平位置から第１位置、垂直位置に変更される。第１位置変換チャンバＡｃ１の搬送トレイＣｓを、第１主搬送路Ｍｒ１の起点位置Ｓｐから第３連結通路Ｐｗ３を介して、第１回転チャンバＴｃ１へと搬送する。第１回転チャンバＴｃ１では、搬送トレイＣｓを回転移動ステージ１００の主搬送トラックＴｒ１１または主搬送トラックＴｒ１２に載置する。この状態で回転移動ステージ１００を回転する。

【0109】

次いで、第１副搬送路Ｓｒ１および／または第２副搬送路Ｓｒ２を介して、搬送トレイＣｓを第１プロセスチャンバＰｃ１および／または第６プロセスチャンバＰｃ６へと搬送する。第１プロセスチャンバＰｃ１および／または第６プロセスチャンバＰｃ６では、搬送トレイＣｓの基板Ｓｗに成膜処理をおこなう。

【0110】

このとき、第１プロセスチャンバＰｃ１および／または第６プロセスチャンバＰｃ６から処理済みの搬送トレイＣｓを入れ替えて、回転移動ステージ１００の主搬送トラックＴｒ１１または主搬送トラックＴｒ１２に載置する。この状態で回転移動ステージ１００を回転する。次いで、第１回転チャンバＴｃ１から、第１連結通路Ｐｗ１を介して、搬送トレイＣｓを、第２回転チャンバＴｃ２へと搬送する。

【0111】

同様に、第２回転チャンバＴｃ２では、搬送トレイＣｓを回転移動ステージ１００の主搬送トラックＴｒ１１または主搬送トラックＴｒ１２に載置する。この状態で回転移動ステージ１００を回転する。
次いで、第１副搬送路Ｓｒ１および／または第２副搬送路Ｓｒ２を介して、搬送トレイＣｓを第２プロセスチャンバＰｃ２および／または第５プロセスチャンバＰｃ５へと搬送する。第２プロセスチャンバＰｃ２および／または第５プロセスチャンバＰｃ５では、搬送トレイＣｓの基板Ｓｗに成膜処理をおこなう。

【0112】

このとき、第２プロセスチャンバＰｃ２および／または第５プロセスチャンバＰｃ５から処理済みの搬送トレイＣｓを入れ替えて、回転移動ステージ１００の主搬送トラックＴｒ１１または主搬送トラックＴｒ１２に載置する。この状態で回転移動ステージ１００を回転する。次いで、第２回転チャンバＴｃ２から、第１連結通路Ｐｗ１を介して、搬送トレイＣｓを、第３回転チャンバＴｃ３へと搬送する。

【0113】

同様に、第３回転チャンバＴｃ３では、搬送トレイＣｓを回転移動ステージ１００の主搬送トラックＴｒ１１または主搬送トラックＴｒ１２に載置する。この状態で回転移動ステージ１００を回転する。
次いで、第１副搬送路Ｓｒ１および／または第２副搬送路Ｓｒ２を介して、搬送トレイＣｓを第３プロセスチャンバＰｃ３および／または第４プロセスチャンバＰｃ４へと搬送する。第３プロセスチャンバＰｃ３および／または第４プロセスチャンバＰｃ４では、搬送トレイＣｓの基板Ｓｗに成膜処理をおこなう。

【0114】

このとき、第３プロセスチャンバＰｃ３および／または第４プロセスチャンバＰｃ４から処理済みの搬送トレイＣｓを入れ替えて、回転移動ステージ１００の主搬送トラックＴｒ１１または主搬送トラックＴｒ１２に載置する。この状態で回転移動ステージ１００を回転する。次いで、第３回転チャンバＴｃ３から、第５連結通路Ｐｗ５を介して、搬送トレイＣｓを、ターンバックチャンバＢｃへと搬送する。

【0115】

搬送トレイＣｓを、ターンバックチャンバＢｃへと搬送する。ターンバックチャンバＢｃでは、搬送トレイＣｓを、第１主搬送路Ｍｒ１から第２主搬送路Ｍｒ２へと方向転換する。次いで、ターンバックチャンバＢｃから、第６連結通路Ｐｗ６を介して、搬送トレイＣｓを、第３回転チャンバＴｃ３へと搬送する。

【0116】

同様に、第３回転チャンバＴｃ３では、搬送トレイＣｓを回転移動ステージ１００の主搬送トラックＴｒ１１または主搬送トラックＴｒ１２に載置する。この状態で回転移動ステージ１００を回転する。
次いで、第１副搬送路Ｓｒ１および／または第２副搬送路Ｓｒ２を介して、搬送トレイＣｓを第３プロセスチャンバＰｃ３および／または第４プロセスチャンバＰｃ４へと搬送する。第３プロセスチャンバＰｃ３および／または第４プロセスチャンバＰｃ４では、搬送トレイＣｓの基板Ｓｗに成膜処理をおこなう。

【0117】

このとき、第３プロセスチャンバＰｃ３および／または第４プロセスチャンバＰｃ４から処理済みの搬送トレイＣｓを入れ替えて、回転移動ステージ１００の主搬送トラックＴｒ１１または主搬送トラックＴｒ１２に載置する。この状態で回転移動ステージ１００を回転する。次いで、第３回転チャンバＴｃ３から、第２連結通路Ｐｗ２を介して、搬送トレイＣｓを、第２回転チャンバＴｃ２へと搬送する。

【0118】

同様に、第２回転チャンバＴｃ２では、搬送トレイＣｓを回転移動ステージ１００の主搬送トラックＴｒ１１または主搬送トラックＴｒ１２に載置する。この状態で回転移動ステージ１００を回転する。
次いで、第１副搬送路Ｓｒ１および／または第２副搬送路Ｓｒ２を介して、搬送トレイＣｓを第２プロセスチャンバＰｃ２および／または第５プロセスチャンバＰｃ５へと搬送する。第２プロセスチャンバＰｃ２および／または第５プロセスチャンバＰｃ５では、搬送トレイＣｓの基板Ｓｗに成膜処理をおこなう。

【0119】

このとき、第２プロセスチャンバＰｃ２および／または第５プロセスチャンバＰｃ５から処理済みの搬送トレイＣｓを入れ替えて、回転移動ステージ１００の主搬送トラックＴｒ１１または主搬送トラックＴｒ１２に載置する。この状態で回転移動ステージ１００を回転する。次いで、第２回転チャンバＴｃ２から、第２連結通路Ｐｗ２を介して、搬送トレイＣｓを、第１回転チャンバＴｃ１へと搬送する。

【0120】

同様に、第１回転チャンバＴｃ１では、搬送トレイＣｓを回転移動ステージ１００の主搬送トラックＴｒ１１または主搬送トラックＴｒ１２に載置する。この状態で回転移動ステージ１００を回転する。
次いで、第１副搬送路Ｓｒ１および／または第２副搬送路Ｓｒ２を介して、搬送トレイＣｓを第１プロセスチャンバＰｃ１および／または第６プロセスチャンバＰｃ６へと搬送する。第１プロセスチャンバＰｃ１および／または第６プロセスチャンバＰｃ６では、搬送トレイＣｓの基板Ｓｗに成膜処理をおこなう。
このとき、第１プロセスチャンバＰｃ１および／または第６プロセスチャンバＰｃ６から処理済みの搬送トレイＣｓを入れ替えて、回転移動ステージ１００の主搬送トラックＴｒ１１または主搬送トラックＴｒ１２に載置する。この状態で回転移動ステージ１００を回転する。次いで、第１回転チャンバＴｃ１から、第４連結通路Ｐｗ４を介して、搬送トレイＣｓを、第２位置変換チャンバＡｃ２へと搬送する。

【0121】

第２位置変換チャンバＡｃ２では、第２主搬送路Ｍｒ２の終点位置Ｅｐまで搬送トレイＣｓが搬送される。この搬送トレイＣｓは第２位置状態に変更され、真空搬送ロボット２によってキャリアＣａから処理された基板Ｓｗが除去される。そして、処理された基板Ｓｗは、真空搬送ロボット２によって第２の位置状態を維持した第２位置変換チャンバＡｃ２から真空雰囲気の第２ロードロックチャンバＬｃ２に搬送されて回収される。その後、キャリアＣａをキャリア搬送チャンバＣｃに搬送する。

【0122】

これにより、真空処理装置ＶＭ１における基板Ｓｗに対する成膜処理のような各種真空処理を多段階におこなう処理が終了する。

【0123】

以下、真空処理装置ＶＭ１における磁気浮上による搬送トレイＣｓの非接触搬送をおこなう磁気浮上トラック３００について説明する。
図２は、本実施形態における搬送トレイＣｓを示す模式側面図である。図３は、本実施形態における磁気浮上トラック３００を説明する模式正面図である。基板が搬送される方向からみて、図２は側面図であり、図３は正面図である。図４は、本実施形態における真空処理装置の磁気浮上トラック、浮上駆動部、トレイ、調芯機構を示す模式斜視図である。

【0124】

磁気浮上トラック（トラック）３００は、上述した第１主搬送路Ｍｒ１、第２主搬送路Ｍｒ２、第１副搬送路Ｓｒ１、第２副搬送路Ｓｒ２、主搬送トラックＴｒ１１、主搬送トラックＴｒ１２、主搬送トラックＴｒ２１、主搬送トラックＴｒ２２、第１連結通路Ｐｗ１、第２連結通路Ｐｗ２、第３連結通路Ｐｗ３、第４連結通路Ｐｗ４、第５連結通路Ｐｗ５、第６連結通路Ｐｗ６、ターンバック用搬送路４２、キャリアターンバック用搬送路５２、マスク搬送路Ｐｒにおいて、図２に示す搬送トレイＣｓの非接触搬送をおこなう。

【0125】

搬送トレイＣｓは、図２に示すように、基板ＳｗをキャリアＣａに載置して搬送可能状態とする。
磁気浮上トラック（トラック）３００は、図３に示すように、搬送トレイＣｓの下部に設けられて搬送トレイＣｓを磁気浮上させ、磁気力を用いて搬送トレイＣｓを搬送する磁気搬送トラック（磁気搬送ユニット）３１０と、搬送トレイＣｓの上部に設けられて搬送トレイＣｓの搬送をガイドする上ガイドトラック３５０と、を備える。

【0126】

トレイＣａは、中空である矩形の枠状に設けられてそこに基板Ｓｗが取り付けられる。すなわち、トレイＣａは、所定の長さを有する４本の棒が上下左右に所定の間隔を隔てて設けられ、棒の周縁が互いに接触されることにより中空の四角の枠状に製作される。また、トレイＣａには基板Ｓｗが着脱可能なように基板Ｓｗをクランプするクランプが複数設けられる。このとき、基板Ｓｗは、周縁が所定の幅にトレイＣａの四辺に接触され、クランプにより固定される。このようなトレイＣａは、基板Ｓｗを取り付けた搬送トレイＣｓとして垂直または斜めの状態で搬送される。

【0127】

さらに、搬送トレイＣｓの下部には、磁気搬送トラック３１０の一部に対して駆動される搬送基台Ｃｓ１０が設けられる。搬送基台Ｃｓ１０は、搬送トレイＣｓの下部の全体の領域に亘って設けられる。すなわち、搬送基台Ｃｓ１０はトレイＣａの下部と同じ長さに設けられ、トレイＣａの下部と連結されて下側に所定の厚さを有する。このような搬送基台Ｃｓ１０は、搬送トレイＣｓの幅方向の中央位置に配置される第１領域Ｃｓ１１と、搬送トレイＣｓの幅方向で第１領域Ｃｓ１１よりも外方両側に設けられて搬送トレイＣｓの幅よりも狭く設けられた第２領域Ｃｓ１２とを備える。
第１領域Ｃｓ１１および第２領域Ｃｓ１２には、磁気搬送トラック３１０の一部として作用する磁気回路が配置される。搬送基台Ｃｓ１０は、これ以外でも、様々な形状に設けられる。

【0128】

磁気搬送トラック３１０は、搬送トレイＣｓを磁気浮上させて搬送トレイＣｓと非接触状態を維持しながら搬送トレイＣｓを搬送する。搬送トレイＣｓは、複数が連結されたチャンバの間を磁気搬送トラック３１０により搬送される。
磁気搬送トラック３１０は、搬送トレイＣｓを磁気浮上させる磁気浮上部３３０と、磁気浮上部３３０と引力又は斥力が働くようにして磁気浮上部３３０により磁気浮上された搬送トレイＣｓを搬送する磁気搬送部３２０とを備える。

【0129】

磁気浮上部３３０は、搬送基台Ｃｓ１０と一体に設けられる第１磁気浮上手段３３１と、第１磁気浮上手段３３１に磁気的に接触するように第１磁気浮上手段３３１から離れて設けられる第２磁気浮上手段３３２と、搬送基台Ｃｓ１０の搬送ガイドとなる断面コ字状のガイドレール３３３と、を備える。ここで、第２磁気浮上手段３３２は、ガイドレール３３３に設けられる。

【0130】

このとき、第２磁気浮上手段３３２は、搬送トレイＣｓが搬送される複数のチャンバの内壁または回転テーブルに固定され、チャンバの底部から所定の高さに固定される。すなわち、第１磁気浮上手段３３１は搬送トレイＣｓの下部の搬送基台Ｃｓ１０の第２領域Ｃｓ１２の下端面および幅方向の両側面に取り付けられ、第２磁気浮上手段３３２は、搬送トレイＣｓの第１磁気浮上手段３３１に面して対向するガイドレール３３３の内面に設けられる。ガイドレール３３３はチャンバ内壁面、底面、または回転テーブル上に取り付けられる。

【0131】

このような第１磁気浮上手段３３１は、図３に示すように、搬送基台Ｃｓ１０の両側面に固定される第２領域Ｃｓ１２としての第１固定部材３３１ａと、第１固定部材３３１ａの側面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第１マグネット３３１ｂと、第１固定部材３３１ａの下面の所定の領域に設けられる少なくとも一つの第２マグネット３３１ｃと、を備える。

【0132】

すなわち、第１マグネット３３１ｂおよび第２マグネット３３１ｃはそれぞれ一つずつ設けられてもよいが、第１マグネット３３１ｂおよび第２マグネット３３１ｃのうちの少なくともいずれか一方が２以上設けられてもよい。例えば、第１マグネット３３１ｂが一つ設けられ、第２マグネット３３１ｃが２以上設けられてもよい。

【0133】

第１固定部材３３１ａは、所定の高さ及び幅を有する略直方体状として搬送基台Ｃｓ１０の幅方向両側にそれぞれ設けられるが、搬送基台Ｃｓ１０の第１領域Ｃｓ１１の下端両側に沿ってそれぞれ第２領域Ｃｓ１２と同じ長さ、第２領域Ｃｓ１２と同じ幅方向に設けられる。このため、第１磁気浮上手段３３１は、搬送基台Ｃｓ１０と同じ下端面をなす。すなわち、第２領域Ｃｓ１２となる両側の第１固定部材３３１ａがなす幅が、搬送基台Ｃｓ１０の幅と等しい。なお、第２領域Ｃｓ１２の幅は、搬送基台Ｃｓ１０または搬送トレイＣｓの幅よりも広くても狭くてもよい。

【0134】

また、第１マグネット３３１ｂおよび第２マグネット３３１ｃは、第１固定部材３３１ａに所定の深さに埋め込まれる。すなわち、第１マグネット３３１ｂおよび第２マグネット３３１ｃの表面が第１固定部材３３１ａの表面と同じ平面をなすように、第１マグネット３３１ｂおよび第２マグネット３３１ｃは第１固定部材３３１ａに所定の深さに設けられる。一方、第１固定部材３３１ａは、マグネットによる磁力に反応しない金属、セラミック、プラスチックなどの物質により作製されるが、例えば、タングステンにより作製されてもよい。

【0135】

第２磁気浮上手段３３２は、第１磁気浮上手段３３１から所定の間隔を隔てて第１磁気浮上手段３３１に面するように設けられる。すなわち、第２磁気浮上手段３３２はガイドレール３３３の内壁側に設けられ、第１磁気浮上手段３３１から対向する位置に沿って設けられる。このような第２磁気浮上手段３３２は、第１磁気浮上手段３３１の第１固定部材３３１ａに接触するか所定の間隔を隔てて面するスペーサ部材３３２ａと、第１磁気浮上手段３３１の第１マグネット３３１ｂおよび第２マグネット３３１ｃにそれぞれ面する第３マグネット３３２ｂおよび第４マグネット３３２ｃと、を備える。第４マグネット３３２ｃは、ガイドレール３３３の底部から幅方向両側位置に立設された支持部３３２ｄの上端部に設けられてもよい。

【0136】

ここで、第３マグネット３３２ｂおよび第４マグネット３３２ｃは、第１マグネット３３１ｂおよび第２マグネット３３１ｃの数に対応してそれぞれ一つずつ設けられてもよく、第３マグネット３３２ｂおよび第４マグネット３３２ｃのうちの少なくともいずれか一方が２以上設けられてもよい。例えば、第１マグネット３３１ｂが２以上設けられ、第２マグネット３３１ｃが一つ設けられる場合、第３マグネット３３２ｂが一つ設けられ、第４マグネット３３２ｃが一つ設けられてもよい。

【0137】

また、スペーサ部材３３２ａは、ガイドレール３３３の内面と連結されて固定され、搬送トレイＣｓの上下方向と一致する回転軸線を有するガイドローラとすることができる。ガイドレールであるスペーサ部材３３２ａは、ガイドレール３３３の内面に、搬送トレイＣｓの搬送方向に沿って互いに離間して複数配置することができる。

【0138】

第１マグネット３３１ｂと第３マグネット３３２ｂとは互いに異なる極性を有する。したがって、第１マグネット３３１ｂと第３マグネット３３２ｂとの間には幅方向に引力が働く。これに対し、第２マグネット３３１ｃと第４マグネット３３２ｃとは互いに同じ極性を有する。したがって、第２マグネット３３１ｃと第４マグネット３３２ｃとの間には、上下方向に斥力が働く。搬送トレイＣｓは、重力により下方に移動しようとするが、第２マグネット３３１ｃと第４マグネット３３２ｃとの間に上下方向に斥力が働くので、搬送トレイＣｓを磁気浮上させることができる。

【0139】

このとき、第１マグネット３３１ｂと第３マグネット３３２ｂとの間に幅方向の引力が働くので、搬送トレイＣｓの上下動を防ぐことができる。すなわち、第２マグネット３３１ｃと第４マグネット３３２ｃとの間の斥力により搬送トレイＣｓが磁気浮上して上方に移動するが、搬送トレイＣｓが上方への移動が大きくなりすぎた場合には、第１マグネット３３１ｂと第３マグネット３３２ｂとの間に引力が働くので、これを抑えることができる。

【0140】

また、第１マグネット３３１ｂと第３マグネット３３２ｂとの間の引力によって、ガイドレール３３３に対して搬送トレイＣｓが幅方向に移動した場合には、スペーサ部材３３２ａと第１固定部材３３１ａとが当接して、これら第１マグネット３３１ｂと第３マグネット３３２ｂとがくっついてしまうことを防止できる。
スペーサ部材３３２ａは、第１固定部材３３１ａと同様に、マグネットによる磁力に反応しない金属、セラミック、プラスチックなどの物質により作製される。スペーサ部材３３２ａは、例えば、タングステンにより作製される。

【0141】

これらにより、ガイドレール３３３に対する搬送トレイＣｓの搬送時の姿勢安定性が確保できる。

【0142】

ここで、第１磁気浮上手段３３１は、搬送トレイＣｓの長手方向すなわち搬送トレイＣｓの搬送方向で、搬送基台Ｃｓ１０の全体の領域に亘って設けられる。第２磁気浮上手段３３２は、搬送トレイＣｓが移動するガイドレール３３３の全体に亘って設けられる。
すなわち、搬送トレイＣｓが複数のチャンバの内部を通るため、第２磁気浮上手段３３２は第１磁気浮上手段３３１に面するガイドレール３３３のすべての領域内に設けられる。しかしながら、第１磁気浮上手段３３１および第２磁気浮上手段３３２の少なくともいずれか一方は所定の間隔を隔てて複数設けられてもよい。

【0143】

例えば、第２磁気浮上手段３３２がガイドレール３３３の長手方向で全ての領域に亘って設けられ、第１磁気浮上手段３３１が所定の間隔を隔てて搬送基台Ｃｓ１０の全長で複数設けられてもよい。
また、第１磁気浮上手段３３１の第１マグネット３３１ｂおよび第２マグネット３３１ｃが、搬送基台Ｃｓ１０の全長にわたって連続して形成され、第２磁気浮上手段３３２の第３マグネット３３２ｂおよび第４マグネット３３２ｃが、ガイドレール３３３の長手方向に全領域に亘って設けられるとともに、所定の間隔を隔てて複数設けられてもよい。
例えば、第１マグネット３３１ｂおよび第２マグネット３３１ｃが全体の領域に亘って断続して設けられ、第３マグネット３３２ｂおよび第４マグネット３３２ｃがガイドレール３３３の長手方向に所定の間隔を隔てて設けられてもよい。

【0144】

一方、第１磁気浮上手段３３１と第２磁気浮上手段３３２との間にこれらの間の間隔を維持するためのスペーサ部材としてのガイドローラ３３２ａがガイドレール３３３に設けられる。スペーサ部材３３２ａは、ガイドレール３３３の内面両側に対向して配置される。２つのガイドローラ（スペーサ部材）３３２ａが、搬送トレイＣｓの幅方向において離間する距離は、搬送基台Ｃｓ１０の幅方向距離よりも若干大きい。このため、搬送トレイＣｓは、ガイドローラ３３２ａに常時接触しているわけではない。

【0145】

すなわち、互いに面する第１マグネット３３１ｂと第３マグネット３３２ｂとの間には引力が働くので、搬送トレイＣｓが磁気浮上により移動する間に第１磁気浮上手段３３１および第２磁気浮上手段３３２の間隔が狭くなったり、第１マグネット３３１ｂおよび第３マグネット３３２ｂがくっついたりする可能性があるが、スペーサ部材３３２ａが設けられるので、第１磁気浮上手段３３１および第２磁気浮上手段３３２の間隔を維持することができる。

【0146】

このようなスペーサ部材３３２ａは、第１マグネット３３１ｂおよび第３マグネット３３２ｂの下側領域に設けられる。すなわち、スペーサ部材３３２ａは、第１磁気浮上手段３３１の外側面と第２磁気浮上手段３３２の内側面との間に設けられる。なお、スペーサ部材３３２ａは、第１磁気浮上手段３３１および第２磁気浮上手段３３２の間で、ガイドレール３３３の長手方向に全体の領域に亘って所定の間隔を隔てて複数設けられる。

【0147】

磁気搬送部３２０は、図３に示すように、搬送基台Ｃｓ１０の下方に位置するガイドレール３３３の内部に、搬送基台Ｃｓ１０の搬送方向に所定の間隔を隔てて設けられる磁気回転部（磁気ネジ）３２１と、搬送基台Ｃｓ１０の下端に磁気回転部３２１から所定の間隔を隔てて設けられる磁気搬送手段３２２とを備える。
磁気回転部３２１は、搬送基台Ｃｓ１０の下端に沿ったガイドレール３３３の内部に、搬送基台Ｃｓ１０の下端から上下方向に所定の間隔を隔てて設けられる。ここで、磁気回転部３２１は、搬送トレイＣｓの幅よりも狭くなるように設けられるが、搬送トレイＣｓの幅よりも大きいか、同じ幅に設けられてもよい。

【0148】

磁気回転部３２１は、図３，図４に示すように、略水平方向に延在する回転軸線（搬送軸線）Ｈ０まわりに回転する回転軸３２１ａと、回転軸３２１ａの表面に形成される複数の第５マグネット３２１ｂと、回転軸３２１ａをガイドレール３３３の底部に支持する支持部３３２ｄと、回転軸３２１ａを回転する浮上駆動部３２３と、を備える。

【0149】

回転軸３２１ａは、断面略円形の棒状に形成される。回転軸３２１ａは、図３，図４に示すように、回転モータ等の回転駆動源である浮上駆動部３２３に接続される。回転軸３２１ａは、ガイドレール３３３の溝内に配置される。回転軸３２１ａは、ガイドレール３３３の溝内に立設された軸支磁部３２１ｄにより支持される。回転軸３２１ａは、浮上駆動部３２３により正方向及び逆方向に回転駆動される。回転軸３２１ａは、図示しないベベルギア等を用いた駆動方向変換部３２４により浮上駆動部３２３に接続される。浮上駆動部３２３は、回転軸３２１ａの下方に位置する。さらに、浮上駆動部３２３は、ガイドレール３３３の下方に位置する。

【0150】

駆動方向変換部３２４は、ガイドレール３３３の底部を貫通して回転駆動力を回転軸３２１ａに伝達可能である。駆動方向変換部３２４は、略水平方向である回転軸線（搬送軸線）Ｈ０に対して、鉛直方向へ一度回転駆動方向を変換できる。さらに、駆動方向変換部３２４は、略水平方向である回転軸線（搬送軸線）Ｈ０に対して、鉛直方向へさらに、所定の水平方向へ二度回転駆動方向を変換できる。

【0151】

複数の第５マグネット３２１ｂは、回転軸３２１ａの表面を所定の角度で取り囲む形状に設けられる。複数の第５マグネット３２１ｂは、例えば、ねじ山状に形成される。すなわち、複数の第５マグネット３２１ｂは、図５に示すように、回転軸３２１ａの上に、例えば、回転軸線（搬送軸線）Ｈ０に対して４５°の角度で取り囲むように複数設けられる。このとき、複数の第５マグネット３２１ｂは、回転軸３２１ａを例えば、４５°の角度で取り囲みながらＳ極及びＮ極が交互に設けられる。

【0152】

磁気搬送手段３２２は、搬送基台Ｃｓ１０の下側に設けられる。磁気搬送手段３２２は、磁気浮上部３３０の間の搬送基台Ｃｓ１０の第２領域Ｃｓ１２の下端に設けられる。磁気搬送手段３２２としては、互いに異なる極性のマグネットが搬送トレイＣｓの搬送方向に繰り返し配置される。磁気搬送手段３２２は、図５に示すように、搬送基台Ｃｓ１０の第２領域Ｃｓ１２の下端面に設けられる複数の第６マグネット３２２を備える。複数の第６マグネット３２２は、互いに異なる極性、すなわち、Ｓ極及びＮ極が交互に設けられる。磁気搬送手段３２２である複数の第６マグネット３２２は、磁気回転部３２１の複数の第５マグネット３２１ｂと同じ角度、例えば、回転軸線（搬送軸線）Ｈ０に対して４５°の角度を有するように設けられる。

【0153】

磁気回転部３２１の回転によって、第５マグネット３２１ｂの極性と磁気搬送手段３２２の極性とが互いに異なるか、あるいは、互いに同じとなる。このような第５マグネット３２１ｂの極性と磁気搬送手段３２２の極性との違いは、回転軸線（搬送軸線）Ｈ０に沿った搬送トレイＣｓの位置にも影響される。これにより、第５マグネット３２１ｂと磁気搬送手段３２２との間には、引力又は斥力が働くので、磁気回転部３２１の回転にしたがって磁気搬送手段３２２が一方向に移動する。すなわち、磁気回転部３２１の回転運動が磁気搬送手段３２２により直線運動に変換されて磁気浮上された搬送トレイＣｓを移動させる。

【0154】

上ガイドトラック３５０は、搬送トレイＣｓの上部に設けられて搬送トレイＣｓの搬送をガイドする。上ガイドトラック３５０は、図３に示すように、ガイドレール３３３に対応する上方位置にガイドレール３３３と平行に延在する上ガイドレール３５３と、搬送トレイＣｓの上部に取り付けられる第１上ガイドマグネット３６１と、第１上ガイドマグネット３６１から所定の間隔を隔ててチャンバの上側となる上ガイドレール３５３に設けられる第２上ガイドマグネット３６２とを備える。

【0155】

上ガイドトラック３５０は、磁気搬送トラック３１０に対応して、磁気搬送トラック３１０の全長と等しい長さに配置される。上ガイドトラック３５０は、磁気搬送トラック３１０の上方に搬送トレイＣｓの高さ寸法に対応する上下方向距離だけ離間して、磁気搬送トラック３１０と平行に配置される。

【0156】

第１上ガイドマグネット３６１および第２上ガイドマグネット３６２は、互いに引力が働くように互いに異なる極性を有していてもよい。あるいは、第１上ガイドマグネット３６１および第２上ガイドマグネット３６２は、互いに斥力が働くように同じ極性を有していることもできる。
第１上ガイドマグネット３６１は、搬送トレイＣｓの上端面に埋め込まれる。第２上ガイドマグネット３６２は、上ガイドレール３５３の下端面に埋め込まれる。第１上ガイドマグネット３６１および第２上ガイドマグネット３６２は、搬送トレイＣｓの搬送方向と直交する幅方向で搬送トレイＣｓの両端位置に対応して配置される。

【0157】

上ガイドレール３５３には、搬送トレイＣｓの幅方向中央に上ガイドローラ３６３が配置される。上ガイドローラ３６３は、搬送トレイＣｓの幅方向となる軸線のまわりに回転可能である。上ガイドローラ３６３は、第１上ガイドマグネット３６１と第２上ガイドマグネット３６２との引力により、搬送トレイＣｓが上ガイドレール３５３に近接した際に、搬送トレイＣｓと上ガイドレール３５３とがくっつかないように回転して、上ガイドレール３５３に対して搬送トレイＣｓの搬送速度が遅くならないようにする。上ガイドローラ３６３は、搬送トレイＣｓの搬送方向に離間して上ガイドレール３５３に複数配置される。

【0158】

なお、第１上ガイドマグネット３６１および第２上ガイドマグネット３６２は、様々な形状に設けられてもよい。例えば、第１上ガイドマグネット３６１および第２上ガイドマグネット３６２が互いに面する直線状に設けられる。あるいは、第１上ガイドマグネット３６１は円形の棒状に設けられ、第２上ガイドマグネット３６２は、第１上ガイドマグネット３６１を上側から取り囲むように、例えば、逆Ｕ字状に折れ曲がった断面を有してもよい。第２上ガイドマグネット３６２は、第１上ガイドマグネット３６１を所定の間隔を隔てて取り囲むように設けられてもよい。このため、搬送トレイＣｓの上端部は、第１上ガイドマグネット３６１の両側面において第２上ガイドマグネット３６２により第１上ガイドマグネット３６１を引張する力が働くので、搬送トレイＣｓが搬送されながら倒れないようにガイドされる。

【0159】

上ガイドレール３５３には、搬送トレイＣｓの搬送方向両外方に、搬送トレイＣｓの上端を側方から支持可能な上倒れ止部３６４が設けられる。上倒れ止部３６４は、上ガイドレール３５３から搬送トレイＣｓの搬送方向に離間して複数配置される。上倒れ止部３６４は、上支持部３６５により上ガイドレール３５３に支持される。上ガイドレール３５３には、第１上ガイドマグネット３６１および第２上ガイドマグネット３６２の引張力が外れた場合に、搬送トレイＣｓが傾くことを防止する。

【0160】

なお、上記のマグネットは、いずれも、コアとコイルが組み合わせられた電磁石を用いるか、永久磁石を用いるか、あるいは、電磁石と永久磁石を組み合わせて用いることができる。

【0161】

以下、回転移動ステージ（基板搬送装置）１００について説明する。

【0162】

図６は、本実施形態における回転移動ステージ（基板搬送装置）の搬送トレイを載置した状態を示す模式正面図である。図７は、本実施形態における回転移動ステージ（基板搬送装置）の回転トラック付近を示す模式上面図である。図８は、本実施形態における回転移動ステージ（基板搬送装置）の回転トラック付近を示す模式正面図である。図９は、本実施形態における回転移動ステージ（基板搬送装置）の回転トラック付近を示す模式側面図である。

【0163】

＜回転移動ステージ（基板搬送装置）１００＞
回転移動ステージ（基板搬送装置）１００は、回転チャンバＴｃ１～Ｔｃ３の内部に配置される。回転移動ステージ（基板搬送装置）１００は、いずれも同じ構造とされるので、ここでは、第１回転チャンバＴｃ１について説明する。
以下、第１回転チャンバＴｃ１における回転移動ステージ（基板搬送装置）１００について説明する。

【0164】

回転移動ステージ（基板搬送装置）１００は、図６～図８に示すように、鉛直の回転軸線Ｚ０のまわりで搬送トレイＣｓを回転して搬送トレイＣｓの搬送方向を変える。このため、基板搬送装置１００としては、搬送トレイＣｓの搬送方向の基準となる周囲の第１主搬送路Ｍｒ１、第２主搬送路Ｍｒ２、第１副搬送路Ｓｒ１、第２副搬送路Ｓｒ２も構成として含まれる。

【0165】

つまり、回転移動ステージ（基板搬送装置）１００は、略水平な第1方向（Ｘ方向）に沿ってトレイを搬送する４本の第１トラック１０１ａ～１０１ｄと、第１方向（Ｘ方向）とは直交する略水平な第２方向（Ｙ方向）に沿ってトレイを搬送する４本の第２トラック１０２ａ～１０２ｄと、回転軸線Ｚ０のまわりで第１方向（Ｘ方向）から第２方向（Ｙ方向）へとトレイの搬送方向を変える４本の回転トラック１０３ａ～１０３ｄと、を有する。

【0166】

第１トラック１０１ａ～１０１ｄと、第２トラック１０２ａ～１０２ｄと、回転トラック１０３ａ～１０３ｄと、は、いずれも搬送トレイＣｓを搬送する前述した磁気搬送トラック３１０としての機構を有する。

【0167】

ここでは、第１トラック１０１ａが、第１主搬送路Ｍｒ１となる第１連結通路Ｐｗ１に対応し、第１トラック１０１ｂが、第２主搬送路Ｍｒ２となる第２連結通路Ｐｗ２に対応し、第１トラック１０１ｃが、第１主搬送路Ｍｒ１となる第３連結通路Ｐｗ３に対応し、第１トラック１０１ｄが、第２主搬送路Ｍｒ２となる第４連結通路Ｐｗ４に対応する（図１参照）。

【0168】

同様に、第２トラック１０２ａが、第１プロセスチャンバＰｃ１に接続する第２副搬送路Ｓｒ２に対応し、第２トラック１０２ｂが、第１プロセスチャンバＰｃ１に接続する第１副搬送路Ｓｒ１に対応し、第２トラック１０２ｃが、第６プロセスチャンバＰｃ６に接続する第２副搬送路Ｓｒ２に対応し、第２トラック１０２ｄが、第６プロセスチャンバＰｃ６に接続する第１副搬送路Ｓｒ１に対応する（図１参照）。

【0169】

第１トラック１０１ａと第１トラック１０１ｃとは、図６～図８に示すように、同一直線上に配置される。第１トラック１０１ｂと第１トラック１０１ｄとは、同一直線上に配置される。第１トラック１０１ａと第１トラック１０１ｃとは、搬送芯が一致する。第１トラック１０１ｂと第１トラック１０１ｄとは、搬送芯が一致する。
ここで、搬送芯が一致するとは、便宜的に磁気搬送トラック３１０における回転軸線（搬送軸線）Ｈ０が一致することを意味する。

【0170】

第１トラック１０１ａと第１トラック１０１ｂとは、回転軸線Ｚ０を挟んだ２本が互いに平行に配置される。第１トラック１０１ａと第１トラック１０１ｂとは、Ｙ方向で回転軸線Ｚ０から互いに等しい距離だけ離間して配置される。第１トラック１０１ｃと第１トラック１０１ｄも同様である。

【0171】

第２トラック１０２ａと第２トラック１０２ｃとは、同一直線上に配置される。第２トラック１０２ｂと第２トラック１０２ｄとは、同一直線上に配置される。第２トラック１０２ａと第２トラック１０２ｃとは、搬送芯が一致する。第２トラック１０２ｂと第２トラック１０２ｄとは、搬送芯が一致する。

【0172】

第２トラック１０２ａと第２トラック１０２ｂとは、回転軸線Ｚ０を挟んだ２本が互いに平行に配置される。第２トラック１０２ａと第２トラック１０２ｂとは、Ｘ方向で回転軸線Ｚ０から互いに等しい距離だけ離間して配置される。第２トラック１０２ｃと第２トラック１０２ｄも同様である。

【0173】

４本の回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、いずれも直線状に形成される。４本の回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、いずれも、互いに平行である。４本の回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、いずれも互いに平行な位置関係を維持する。

【0174】

４本の回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、図７に示す回転状態で、第２トラック１０２ａと第２トラック１０２ｃとに搬送トレイＣｓを搬送可能な回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｂと、第２トラック１０２ｂと第２トラック１０２ｄとに搬送トレイＣｓを搬送可能な回転トラック１０３ｃおよび回転トラック１０３ｄと、を有する。

【0175】

回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｂは、図７に示す回転状態から時計回りに９０°回転することで、第１トラック１０１ｂと第１トラック１０１ｄとに搬送トレイＣｓを搬送可能な状態となる。また、回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｂは、図７に示す回転状態から時計回りに１８０°回転することで、第２トラック１０２ｂと第２トラック１０２ｄとに搬送トレイＣｓを搬送可能な状態となる。回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｂは、図７に示す回転状態から反時計回りに９０°回転することで、第１トラック１０１ａと第１トラック１０１ｃとに搬送トレイＣｓを搬送可能な状態となる。回転トラック１０３ｃおよび回転トラック１０３ｄも同様である。

【0176】

このように、回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、回転軸線Ｚ０の周りに回転して、第１トラック１０１ａ～１０１ｄに対して搬送芯を合わせて搬送トレイＣｓを連続して搬送可能な第１調芯位置と、第２トラック１０２ａ～１０２ｄに対して搬送芯を合わせて搬送トレイＣｓを連続して搬送可能な第２調芯位置と、のそれぞれに対応する回転位置に回転可能である。
ここで、第１調芯位置とは、回転トラック１０３ａ～１０３ｄが第１トラック１０１ａ～１０１ｄに対して搬送芯を合わせた状態を意味する。また、第２調芯位置とは、回転トラック１０３ａ～１０３ｄが第２トラック１０２ａ～１０２ｄに対して搬送芯を合わせた状態を意味する。

【0177】

回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｂとは、互いの距離を変えずに回転軸線Ｚ０のまわりに回転可能である。回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｂとは、互いの距離を変えずに回転軸線Ｚ０からの距離を変えるトラバース移動が可能である。回転トラック１０３ａよりも回転トラック１０３ｂが回転軸線Ｚ０に近接する。
回転トラック１０３ｃおよび回転トラック１０３ｄとは、互いの距離を変えずに回転軸線Ｚ０のまわりに回転可能である。回転トラック１０３ｃおよび回転トラック１０３ｄとは、互いの距離を変えずに回転軸線Ｚ０からの距離を変えるトラバース移動が可能である。回転トラック１０３ｃよりも回転トラック１０３ｄが回転軸線Ｚ０に近接する。

【0178】

回転トラック１０３ａ～１０３ｄにおける回転移動およびトラバース移動を可能とし、かつ搬送トレイＣｓを搬送可能とするために、回転移動ステージ（基板搬送装置）１００は、回転駆動機構１１０と、トラバース機構１２０と、フローティング機構１３０と、ロック機構１４０と、調芯機構１５０と、を有する。

【0179】

ここで、トラバース移動とは、回転トラック１０３ａ～１０３ｄにおける搬送方向に対して直交する方向に移動することである。この場合、回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、回転軸線Ｚ０まわりでの搬送方向は変わらない。つまり、トラバース移動とは、回転軸線Ｚ０まわりで回転トラック１０３ａ～１０３ｄの角度が変化しない水平移動を意味するものとする。
また、トラバース方向とは、回転トラック１０３ａ～１０３ｄにおける搬送方向に対して直交する方向を意味する。従って、回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転にともなって、トラバース方向も回転する。なお、図７において、回転トラック１０３ａ～１０３ｄが左右方向に延在しているので、トラバース方向は上下方向つまりＸ方向となる。

【0180】

＜回転駆動機構１１０＞
回転駆動機構１１０は、回転トラック１０３ａ～１０３ｄを、回転軸線Ｚ０の周りに回転する。回転駆動機構１１０は、回転軸線Ｚ０の周りに回転可能な回転テーブル１１１と、回転テーブル１１１の回転をガイドする回転ガイド１１２と、回転テーブル１１１を回転する回転駆動源１１３と、を有する。

【0181】

回転テーブル１１１は、チャンバの床に対して回転可能に支持される。回転ガイド１１２は、回転テーブル１１１の下方に位置する。回転ガイド１１２は、Ｒガイド等の回転移動を規制可能な構成とされる。回転駆動源１１３は、回転テーブル１１１の下方に配置され、回転テーブル１１１と同軸のギアを介して接続されて、これを駆動するモータ等とされる。回転駆動源１１３は、チャンバの外方に配置される。

【0182】

＜トラバース機構１２０＞
トラバース機構１２０は、回転駆動機構１１０による所定の回転位置において、回転トラック１０３ａ～１０３ｄの搬送方向とは直交するトラバース方向に回転トラック１０３ａ～１０３ｄを移動して、回転軸線Ｚ０から回転トラック１０３ａ～１０３ｄまでの離間位置を増減する。

【0183】

トラバース機構１２０は、回転トラック１０３ａ～１０３ｄを回転テーブル１１１の上方で支持する２つのトラバーステーブル１２１ａ，１２１ｂと、トラバーステーブル１２１ａ，１２１ｂの移動を回転テーブル１１１に対してトラバース方向にガイドするトラバースガイド１２２ａ，１２２ｂと、トラバーステーブル１２１ａ，１２１ｂを回転テーブル１１１に対してトラバース方向に移動するトラバース駆動源１２３ａ，１２３ｂと、を有する。

【0184】

２つのトラバーステーブル１２１ａとトラバーステーブル１２１ｂとは、回転軸線Ｚ０を挟んでトラバース方向に離間して互いに平行に２つ配置される。
トラバーステーブル１２１ａは、２本の回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｂを支持する。トラバーステーブル１２１ａは、トラバースガイド１２２ａによって支持される。トラバースガイド１２２ａは、トラバース方向に延在して回転テーブル１１１に固定される２本の平行なガイドレール１２２ｃ，１２２ｄによって、トラバース方向に移動方向を規制される。トラバーステーブル１２１ａは、トラバース駆動源１２３ａによってトラバース方向に移動可能とされる。トラバース駆動源１２３ａは、モータ等とされ、たとえば、ボールネジを介してトラバーステーブル１２１ａを直線状に移動する。

【0185】

トラバーステーブル１２１ｂは、２本の回転トラック１０３ｃおよび回転トラック１０３ｄを支持する。トラバーステーブル１２１ｂは、トラバースガイド１２２ｂによって支持される。トラバースガイド１２２ｂは、トラバース方向に延在して回転テーブル１１１に固定される２本の平行なガイドレール１２２ｃ，１２２ｄによって、トラバース方向に移動方向を規制される。トラバーステーブル１２１ｂは、トラバース駆動源１２３ｂによってトラバース方向に移動可能とされる。トラバース駆動源１２３ｂは、モータ等とされ、たとえば、ボールネジを介してトラバーステーブル１２１ｂを直線状に移動する。

【0186】

ガイドレール１２２ｃとガイドレール１２２ｄとは、トラバース方向に延在し、互いに離間して平行に配置される。
トラバース駆動源１２３ａとトラバース駆動源１２３ｂとは、ボールネジ等の駆動回転軸線がトラバース方向に延在し、互いに離間して平行に配置される。トラバースガイド１２２ａとトラバースガイド１２２ｂとは、互いにトラバース方向に離間して、ガイドレール１２２ｃとガイドレール１２２ｄとに移動可能に支持される。トラバースガイド１２２ａとトラバースガイド１２２ｂとは、互いにトラバース方向に独立してガイドレール１２２ｃとガイドレール１２２ｄとに対して移動可能である。

【0187】

＜フローティング機構１３０＞
フローティング機構１３０は、回転トラック１０３ａと回転トラック１０３ｂの調芯時、および、回転トラック１０３ａと回転トラック１０３ｂの調芯時に、それぞれの回転トラック１０３ａ～１０３ｄを後述する調芯機構１５０により調芯可能なフローティング状態とする。
フローティング機構１３０が、回転トラック１０３ａ～１０３ｄを搬送される搬送トレイＣｓの下端位置より下方に配置される。

【0188】

フローティング機構１３０は、回転トラック１０３ａと回転トラック１０３ｂとが上面に固定されるフローティングテーブル１３１ａと、回転トラック１０３ｃと回転トラック１０３ｄとが上面に固定されるフローティングテーブル１３１ｂと、を有する。フローティングテーブル１３１ａは、トラバーステーブル１２１ａ上にフローティング状態で支持される。フローティングテーブル１３１ｂは、トラバーステーブル１２１ｂ上にフローティング状態で支持される。

【0189】

回転トラック１０３ａと回転トラック１０３ｂとは、フローティングテーブル１３１ａに対して固定される。つまり、フローティングテーブル１３１ａに対して回転トラック１０３ａと回転トラック１０３ｂとは、位置移動しない。
フローティングテーブル１３１ａとトラバーステーブル１２１ａとは、上面視して、略同一な輪郭形状を有する。なお、下方に位置するトラバーステーブル１２１ａが、フローティングテーブル１３１ａよりも小さい輪郭を有することもできる。なお、フローティングテーブル１３１ａとトラバーステーブル１２１ａとは、いずれも、後述する回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転領域を拡大しないような輪郭形状とされている。

【0190】

回転トラック１０３ｃと回転トラック１０３ｄとは、フローティングテーブル１３１ｂに対して固定される。つまり、フローティングテーブル１３１ｂに対して回転トラック１０３ｃと回転トラック１０３ｄとは、位置移動しない。
フローティングテーブル１３１ｂとトラバーステーブル１２１ｂとは、上面視して、略同一な輪郭形状を有する。なお、下方に位置するトラバーステーブル１２１ｂが、フローティングテーブル１３１ｂよりも小さい輪郭を有することもできる。なお、フローティングテーブル１３１ｂとトラバーステーブル１２１ｂとは、いずれも、後述する回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転領域を拡大しないような輪郭形状とされている。

【0191】

フローティング機構１３０は、トラバーステーブル１２１ａに対して、フローティング軸部１３２ａと、並進フローティング部１３３ａ～１３５ａと、ボール部１３７ａ，１３７ａと、を有する。
フローティング機構１３０は、トラバーステーブル１２１ａに対して、フローティング軸線Ｆ０ａのまわりのチルト回転と、並進フローティング部１３３ａ～１３５ａによるトラバース方向への微小並進との２自由度を呈する。
フローティング軸部１３２ａは、トラバーステーブル１２１ａに対して、フローティングテーブル１３１ａをフローティング状態で支持する。フローティング軸部１３２ａは、回転軸線Ｚ０と平行なフローティング軸線Ｆ０ａのまわりで、フローティングテーブル１３１ａをトラバーステーブル１２１ａに対して、その両端がチルト回転可能とする。

【0192】

フローティング軸部１３２ａは、フローティングテーブル１３１ａの下面を支持する。フローティング軸部１３２ａは、フローティング軸線Ｆ０ａが、フローティングテーブル１３１ａにおいて搬送方向で中心、かつ、トラバース方向の中心に位置するように配置される。フローティング軸部１３２ａは、たとえば、クロスローラリング等とされる。これにより、フローティング軸線Ｆ０ａに対して、回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｂの両端がチルト回転可能となる。

【0193】

フローティング軸部１３２ａは、並進テーブル１３３ａの上面に固定される。並進テーブル１３３ａは、並進ガイド部１３４ａおよび並進ガイドレール１３５ａを介して、トラバーステーブル１２１ａに対して、トラバース方向に移動可能に支持される。並進ガイドレール１３５ａは、搬送方向でフローティング軸部１３２ａの両側に平行に離間して２本配置される。並進ガイド部１３４ａは、２本の並進ガイドレール１３５ａにそれぞれトラバース方向に移動可能に支持される。並進ガイド部１３４ａは、並進テーブル１３３ａの下面を支持する。

【0194】

並進テーブル１３３ａ、並進ガイド部１３４ａ、並進ガイドレール１３５ａは、並進フローティング部を構成する。
ボール部１３７ａおよびボール部１３７ａは、フローティングテーブル１３１ａの下面で、搬送方向の両端付近にそれぞれ配置される。ボール部１３７ａおよびボール部１３７ａは、フローティングテーブル１３１ａをフローティング軸部１３２ａのまわりで回転可能な状態を維持して、フローティングテーブル１３１ａの重量をトラバーステーブル１２１ａに対して支持する。ボール部１３７ａは、トラバーステーブル１２１ａの上面に立設された支持部１３６ａに支持されている。ボール部１３７ａの上面は球面とされて、フローティングテーブル１３１ａの下面に接している。

【0195】

フローティング機構１３０は、トラバーステーブル１２１ｂに対して、フローティング軸部１３２ｂと、並進フローティング部１３３ｂ～１３５ｂと、ボール部１３７ｂ，１３７ｂと、を有する。
フローティング機構１３０は、トラバーステーブル１２１ｂに対して、フローティング軸線Ｆ０ｂのまわりのチルト回転と、並進フローティング部１３３ｂ～１３５ｂによるトラバース方向への微小並進との２自由度を呈する。
フローティング軸部１３２ｂは、トラバーステーブル１２１ｂに対して、フローティングテーブル１３１ｂをフローティング状態で支持する。フローティング軸部１３２ｂは、回転軸線Ｚ０と平行なフローティング軸線Ｆ０ｂのまわりで、フローティングテーブル１３１ｂをトラバーステーブル１２１ｂに対して、その両端がチルト回転可能とする。

【0196】

フローティング軸部１３２ｂは、フローティングテーブル１３１ｂの下面を支持する。フローティング軸部１３２ｂは、フローティング軸線Ｆ０ｂが、フローティングテーブル１３１ｂにおいて搬送方向で中心、かつ、トラバース方向の中心に位置するように配置される。フローティング軸部１３２ｂは、たとえば、クロスローラリング等とされる。これにより、フローティング軸線Ｆ０ｂに対して、回転トラック１０３ｃおよび回転トラック１０３ｄの両端がチルト回転可能となる。

【0197】

フローティング軸部１３２ｂは、並進テーブル１３３ｂの上面に固定される。並進テーブル１３３ｂは、並進ガイド部１３４ｂおよび並進ガイドレール１３５ｂを介して、トラバーステーブル１２１ｂに対して、トラバース方向に移動可能に支持される。並進ガイドレール１３５ｂは、搬送方向でフローティング軸部１３２ｂの両側に平行に離間して２本配置される。並進ガイド部１３４ｂは、２本の並進ガイドレール１３５ｂにそれぞれトラバース方向に移動可能に支持される。並進ガイド部１３４ｂは、並進テーブル１３３ｂの下面を支持する。

【0198】

並進テーブル１３３ｂ、並進ガイド部１３４ｂ、並進ガイドレール１３５ｂは、並進フローティング部を構成する。
ボール部１３７ｂおよびボール部１３７ｂは、フローティングテーブル１３１ｂの下方で、搬送方向の両端付近にそれぞれ配置される。ボール部１３７ｂおよびボール部１３７ｂは、フローティングテーブル１３１ｂをフローティング軸部１３２ｂのまわりで回転可能な状態を維持して、フローティングテーブル１３１ｂの重量をトラバーステーブル１２１ｂに対して支持する。ボール部１３７ｂは、トラバーステーブル１２１ｂの上面に立設された支持部１３６ｂに支持されている。ボール部１３７ｂの上面は球面とされて、フローティングテーブル１３１ｂの下面に接している。

【0199】

＜ロック機構１４０＞
ロック機構１４０は、フローティング機構１３０によってフローティング状態とされたフローティングテーブル１３１ａ，１３１ｂを、それぞれトラバーステーブル１２１ａ，１２１ｂに対してロックする。なお、ロック機構１４０は、後述する調芯機構１５０によって調芯された状態でロック動作をおこなう。あるいは、ロック機構１４０は、回転駆動機構１１０によって回転動作をおこなう前にロック動作をおこなう。

【0200】

ロック機構１４０は、フローティングテーブル１３１ａに対して、搬送方向でフローティング軸部１３２ａとボール部１３７ａとの間となるフローティングテーブル１３１ａの下方に配置されるロック凸部１４１ａと、ロック凸部１４１ａをトラバース方向の両側から挟持する挟持部１４２ａ，１４２ａと、挟持部１４２ａ，１４２ａをそれぞれロック凸部１４１ａに向けてトラバース方向の両側から進退させるロック駆動部１４３ａ，１４３ａと、を有する。
ロック機構１４０は、搬送される搬送トレイＣｓの下端位置より下方に配置される。

【0201】

ロック凸部１４１ａは、フローティングテーブル１３１ａの下面に固定される。ロック凸部１４１ａは、フローティングテーブル１３１ａの下面から下方に突出する。挟持部１４２ａ，１４２ａはそれぞれロック駆動部１４３ａ，１４３ａを介してトラバーステーブル１２１ａの上面に固定される。なお、ロック凸部１４１ａは、トラバーステーブル１２１ａの上面に固定されて、挟持部１４２ａ，１４２ａはそれぞれロック駆動部１４３ａ，１４３ａを介してフローティングテーブル１３１ａの下面に固定される構成とすることもできる。

【0202】

ロック凸部１４１ａが、それぞれロック駆動部１４３ａによって駆動された挟持部１４２ａ，１４２ａによって、トラバース方向の両側から挟持されることで、フローティングテーブル１３１ａは、トラバーステーブル１２１ａに対してロックされる。トラバーステーブル１２１ａに対してロックされたフローティングテーブル１３１ａは、フロ－ティング状態ではなくなり、フローティング軸線Ｆ０ａのまわりにチルト回転可能および微小並進移動可能ではなくなる。同時に、フローティングテーブル１３１ａは、トラバース機構１２０によってトラバース方向の位置が設定されることになる。あるいは、フローティングテーブル１３１ａは、回転駆動機構１１０によって回転軸線Ｚ０の周りに回転させる。

【0203】

なお、ロック凸部１４１ａは、フローティング軸線Ｆ０ａに対して搬送方向の両側に対象に配置されている。ロック凸部１４１ａは、フローティング軸線Ｆ０ａに対して搬送方向の片側のみに設けることもできる。
ロック機構１４０がフローティングテーブル１３１ａをロックすることで、回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｂは、フローティング軸線Ｆ０ａに対してチルト回転およびトラバース方向に微小並進せずにロックされる。

【0204】

ロック機構１４０は、フローティングテーブル１３１ｂに対して、搬送方向でフローティング軸部１３２ｂとボール部１３７ｂとの間となるフローティングテーブル１３１ｂの下方に配置されるロック凸部１４１ｂと、ロック凸部１４１ｂをトラバース方向の両側から挟持する挟持部１４２ｂ，１４２ｂと、挟持部１４２ｂ，１４２ｂをそれぞれロック凸部１４１ｂに向けてトラバース方向の両側から進退させるロック駆動部１４３ｂ，１４３ｂと、を有する。
ロック機構１４０は、搬送される搬送トレイＣｓの下端位置より下方に配置される。

【0205】

ロック凸部１４１ｂは、フローティングテーブル１３１ｂの下面に固定される。ロック凸部１４１ｂは、フローティングテーブル１３１ｂの下面から下方に突出する。挟持部１４２ｂ，１４２ｂはそれぞれロック駆動部１４３ｂ，１４３ｂを介してトラバーステーブル１２１ｂの上面に固定される。なお、ロック凸部１４１ｂは、トラバーステーブル１２１ｂの上面に固定されて、挟持部１４２ｂ，１４２ｂはそれぞれロック駆動部１４３ｂ，１４３ｂを介してフローティングテーブル１３１ｂの下面に固定される構成とすることもできる。

【0206】

ロック凸部１４１ｂが、それぞれロック駆動部１４３ｂによって駆動された挟持部１４２ｂ，１４２ｂによって、トラバース方向の両側から挟持されることで、フローティングテーブル１３１ｂは、トラバーステーブル１２１ｂに対してロックされる。トラバーステーブル１２１ｂに対してロックされたフローティングテーブル１３１ｂは、フロ－ティング状態ではなくなり、フローティング軸線Ｆ０ｂのまわりにチルト回転可能および微小並進移動可能ではなくなる。同時に、フローティングテーブル１３１ｂは、トラバース機構１２０によってトラバース方向の位置が設定されることになる。あるいは、フローティングテーブル１３１ｂは、回転駆動機構１１０によって回転軸線Ｚ０の周りに回転させる。

【0207】

ロック凸部１４１ｂは、フローティング軸線Ｆ０ｂに対して搬送方向の両側に対象に配置されている。ロック凸部１４１ｂは、フローティング軸線Ｆ０ｂに対して搬送方向の片側のみに設けることもできる。
ロック機構１４０がフローティングテーブル１３１ｂをロックすることで、回転トラック１０３ｃおよび回転トラック１０３ｄは、フローティング軸線Ｆ０ｂに対してチルト回転およびトラバース方向に微小並進せずにロックされる。

【0208】

＜調芯機構１５０＞
調芯機構１５０は、それぞれの回転トラック１０３ａ～１０３ｄを個別に調芯することができる。
調芯機構１５０は、それぞれの回転トラック１０３ａ～１０３ｄの両端の下方に設けられたＶブロック１５３ａ～１５３ｄと、第１トラック１０１ａ～１０１ｄの端部の下方に設けられたカムフォロア１５１ａ～１５１ｄと、それぞれのカムフォロア１５１ａ～１５１ｄを進退可能に駆動する調芯駆動部（進退駆動部）１５４ａ～１５４ｄと、第２トラック１０２ａ～１０２ｄの端部の下方に設けられたカムフォロア１５２ａ～１５２ｄと、それぞれのカムフォロア１５２ａ～１５２ｄを進退可能に駆動する調芯駆動部（進退駆動部）１５６ａ～１５６ｄと、を有する。

【0209】

調芯機構１５０は、カムフォロア１５１ａ～１５２ｄがＶブロック１５３ａ～１５３ｄに向かって進出し、Ｖブロック１５３ａ～１５３ｄに当接することで、回転トラック１０３ａ～１０３ｄの端部と、第１トラック１０１ａ～１０１ｄまたは第２トラック１０２ａ～１０２ｄの端部と、の位置決めをおこなって、調芯させる。

【0210】

Ｖブロック１５３ａは、回転トラック１０３ａの両端位置となるフローティングテーブル１３１ａの下方にそれぞれ配置される。Ｖブロック１５３ａは、回転トラック１０３ａの幅方向中央と一致する頂角を有するＶ字凹部１５５ａを有する。カムフォロア１５１ａ～１５２ｄがＶ字凹部１５５ａに当接することで該当のトラックと回転トラック１０３ａとの間で調芯がおこなわれる。
調芯機構１５０によって、両端位置で調芯がおこなわれることで回転トラック１０３ａは、第１方向（Ｘ方向）または第２方向（Ｙ方向）での搬送芯が一致した状態となる。
Ｖブロック１５３ｂは、回転トラック１０３ｂの両端位置となるフローティングテーブル１３１ａの下方にそれぞれ配置される。Ｖブロック１５３ｂは、回転トラック１０３ｂの幅方向中央と一致する頂角を有するＶ字凹部１５５ｂを有する。カムフォロア１５１ａ～１５２ｄがＶ字凹部１５５ｂに当接することで該当のトラックと回転トラック１０３ｂとの間で調芯がおこなわれる。
調芯機構１５０によって、両端位置で調芯がおこなわれることで回転トラック１０３ｂは、第１方向（Ｘ方向）または第２方向（Ｙ方向）での搬送芯が一致した状態となる。

【0211】

Ｖブロック１５３ｃは、回転トラック１０３ｃの両端位置となるフローティングテーブル１３１ｂの下方にそれぞれ配置される。Ｖブロック１５３ｃは、回転トラック１０３ｃの幅方向中央と一致する頂角を有するＶ字凹部１５５ｃを有する。カムフォロア１５１ａ～１５２ｄがＶ字凹部１５５ｃに当接することで該当のトラックと回転トラック１０３ｃとの間で調芯がおこなわれる。
調芯機構１５０によって、両端位置で調芯がおこなわれることで回転トラック１０３ｃは、第１方向（Ｘ方向）または第２方向（Ｙ方向）での搬送芯が一致した状態となる。
Ｖブロック１５３ｄは、回転トラック１０３ｄの両端位置となるフローティングテーブル１３１ｂの下方にそれぞれ配置される。Ｖブロック１５３ｄは、回転トラック１０３ｄの幅方向中央と一致する頂角を有するＶ字凹部１５５ｄを有する。カムフォロア１５１ａ～１５２ｄがＶ字凹部１５５ｄに当接することで該当のトラックと回転トラック１０３ｄとの間で調芯がおこなわれる。
調芯機構１５０によって、両端位置で調芯がおこなわれることで回転トラック１０３ｄは、第１方向（Ｘ方向）または第２方向（Ｙ方向）での搬送芯が一致した状態となる。

【0212】

調芯機構１５０は、回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転状態と、トラバース状態とによって、該当のトラックと調芯する。したがって、Ｖブロック１５３ａ～１５３ｄと、カムフォロア１５１ａ～１５１ｄと、調芯駆動部（進退駆動部）１５４ａ～１５４ｄとは、回転トラック１０３ａ～１０３ｄと第１トラック１０１ａ～１０１ｄとの搬送芯を合わせる第１調芯機構を構成する。
第１調芯機構によって、第１トラック１０１ａ～１０１ｄとの搬送芯を合わせた回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、第１調芯位置にあると定義する。

【0213】

同様に、Ｖブロック１５３ａ～１５３ｄと、カムフォロア１５２ａ～１５２ｄと、調芯駆動部（進退駆動部）１５６ａ～１５６ｄとは、回転トラック１０３ａ～１０３ｄと第２トラック１０２ａ～１０２ｄとの搬送芯を合わせる第２調芯機構を構成する。
第２調芯機構によって、第２トラック１０２ａ～１０２ｄとの搬送芯を合わせた回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、第２調芯位置にあると定義する。

【0214】

これら第１調芯機構および第２調芯機構は、搬送される搬送トレイＣｓの下端位置より下方に配置される。

【0215】

第１調芯位置と第２調芯位置とは、いずれも調芯機構１５０による調芯状態によって定義される。
このため、トラバース機構１２０は、回転駆動機構１１０による所定の回転位置において、第１調芯位置と第１調芯位置よりも回転軸線Ｚ０に近接する回転可能位置との間、および、第２調芯位置と第２調芯位置よりも回転軸線Ｚ０に近接する回転可能位置との間に、回転トラック１０３ａ～１０３ｄの搬送方向とは交差するトラバース方向に回転トラック１０３ａ～１０３ｄを移動して回転軸線Ｚ０からの離間位置を増減する。

【0216】

ここで、回転可能位置は、図７に示された回転トラック１０３ａ～１０３ｄの位置である。回転可能位置においては、回転トラック１０３ａ～１０３ｄの端部は、第１トラック１０１ａ～１０１ｄの端部、あるいは、第２トラック１０２ａ～１０２ｄの端部と近接しておらず、調芯機構１５０は作用しない。なお、回転駆動機構１１０による回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転動作時には、調芯機構１５０のカムフォロア１５１ａ～１５２ｄは、回転トラック１０３ａ～１０３ｄから離間する搬送方向に退避している。

【0217】

カムフォロア１５１ａ～１５２ｄは、平面視してそれぞれ第１トラック１０１ａ～１０１ｄおよび第２トラック１０２ａ～１０２ｄの端部下方に位置する。このとき、図７に示すように、回転軸線Ｚ０から第１トラック１０１ａ～１０１ｄおよび第２トラック１０２ａ～１０２ｄの端部までの半径Ｒ１は、回転軸線Ｚ０から退避位置にあるカムフォロア１５１ａ～１５２ｄまでの半径Ｒ１と等しい。トラバース機構１２０がなく、回転トラック１０３ａ～１０３ｄを回転軸線Ｚ０に近接させることができない場合、回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、回転駆動機構１１０によって回転軸線Ｚ０まわりに回転すると、第１トラック１０１ａ～１０１ｄおよび第２トラック１０２ａ～１０２ｄの端部に当接するおそれがある。そのため、第１トラック１０１ａ～１０１ｄおよび第２トラック１０２ａ～１０２ｄの端部が、搬送方向で回転軸線Ｚ０に向けて後退せざるを得ない。これにより、トラック間における断続区間が長くなり、搬送トレイＣｓの搬送安定性を得ることができない。

【0218】

これに対し、回転可能位置にトラバースされて回転軸線Ｚ０に近接した回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転範囲の半径Ｒ２は、半径Ｒ１よりも小さい。つまり、回転可能位置の回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、回転駆動機構１１０によって回転軸線Ｚ０まわりに回転しても、第１トラック１０１ａ～１０１ｄおよび第２トラック１０２ａ～１０２ｄの端部に当接することがない。

【0219】

本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）１００では、このように、第１トラック１０１ａ～１０１ｄおよび第２トラック１０２ａ～１０２ｄの端部が、搬送方向で回転軸線Ｚ０にむけて延出している。これにより、トラック間における断続区間が短くなり、搬送トレイＣｓの搬送に対する悪影響を低減することができ、搬送トレイＣｓの搬送安定性を向上することが可能となる。

【0220】

＜浮上駆動部３２３ａ～３２３ｄ＞
回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、いずれも磁気搬送部３２０として対応する浮上駆動部３２３ａ～３２３ｄと駆動方向変換部３２４ａ～３２４ｄとを有する。浮上駆動部３２３ａ～３２３ｄは、いずれも上述した浮上駆動部３２３に対応する。駆動方向変換部３２４ａ～３２４ｄは、いずれも上述した駆動方向変換部３２４に対応する。

【0221】

浮上駆動部３２３ａと駆動方向変換部３２４ａとは、回転トラック１０３ａにおいて、搬送トレイＣｓを搬送可能とする。浮上駆動部３２３ｂと駆動方向変換部３２４ｂとは、回転トラック１０３ｂにおいて、搬送トレイＣｓを搬送可能とする。浮上駆動部３２３ｃと駆動方向変換部３２４ｃとは、回転トラック１０３ｃにおいて、搬送トレイＣｓを搬送可能とする。浮上駆動部３２３ｄと駆動方向変換部３２４ｄとは、回転トラック１０３ｄにおいて、搬送トレイＣｓを搬送可能とする。

【0222】

駆動方向変換部３２４ａは、回転トラック１０３ａの底部を下方に貫通し、さらに、フローティングテーブル１３１ａを下方に貫通し、トラバース方向で、回転軸線Ｚ０から離間する方向へと連続して浮上駆動部３２３ａに接続される。駆動方向変換部３２４ａは、２度駆動伝達方向を変換している。浮上駆動部３２３ａは、平面視して、搬送方向でフローティングテーブル１３１ａの中央付近、かつ、トラバース方向で回転軸線Ｚ０から離間する位置に配置される。
浮上駆動部３２３ａは、回転駆動機構１１０およびトラバース機構１２０によって回転トラック１０３ａと一体に移動する。

【0223】

トラバース機構１２０によってトラバーステーブル１２１ａおよびフローティングテーブル１３１ａが回転軸線Ｚ０に近接する回転可能位置にある場合には、浮上駆動部３２３ａが回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転に対して干渉することがない。これは、回転トラック１０３ａ～１０３ｄが回転可能位置にある場合に、浮上駆動部３２３ａは、回転軸線Ｚ０まわりにおける回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転範囲である半径Ｒ２（図７参照）の内側に含まれているためである。

【0224】

これに対して、浮上駆動部３２３ａを駆動する第１調芯位置および第２調芯位置では、回転トラック１０３ａ～１０３ｄを回転する必要がないため、半径Ｒ２よりも外側にはみ出していても悪影響がない。
また、浮上駆動部３２３ａが、フローティングテーブル１３１ａの下方に位置し、搬送される搬送トレイＣｓの下端位置より下方に配置されることで、搬送にともなうパーティクルの影響を抑制することが可能となる。
浮上駆動部３２３ｂ～３２３ｄにおいても同様の作用効果を奏することができる。

【0225】

＜上回転トラック２００＞
回転移動ステージ（基板搬送装置）１００は、第１トラック１０１ａ～１０１ｄと、第２トラック１０２ａ～１０２ｄと、回転トラック１０３ａ～１０３ｄと、のそれぞれに対して、上述した磁気搬送トラック（磁気搬送ユニット）３１０に対する上ガイドトラック３５０と同等の構成を備える。

【0226】

ここで、第１トラック１０１ａ～１０１ｄと第２トラック１０２ａ～１０２ｄとは、チャンバに固定されているため、上述した上ガイドトラック３５０は、所定の手法でチャンバに固定すればよい。しかし、回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、回転軸線Ｚ０のまわりで回転した所定の角度状態でも、搬送トレイＣｓを搬送可能な状態で搬送トレイＣｓの上部をガイドする必要がある。このため、回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、一体として回転するように上回転トラック２００が設けられている。
上回転トラック２００は、磁気的に非接触で搬送トレイＣｓの上部をガイドする構成は、上述した上ガイドトラック３５０と同じである。

【0227】

図１０は、本実施形態における上回転トラックを示す模式下面図である。
上回転トラック２００は、図６，図１０に示すように、略水平な第1方向（Ｘ方向）に沿ってトレイを搬送する４本の第１上トラック２０１ａ～２０１ｄと、第１方向（Ｘ方向）とは直交する略水平な第２方向（Ｙ方向）に沿ってトレイを搬送する４本の第２上トラック２０２ａ～２０２ｄと、回転軸線Ｚ０のまわりで第１方向（Ｘ方向）から第２方向（Ｙ方向）へとトレイの搬送方向を変える４本の上回転トラック２０３ａ～２０３ｄと、を有する。

【0228】

第１上トラック２０１ａ～２０１ｄは、第１トラック１０１ａ～１０１ｄと対となり搬送トレイＣｓの上端を支持する。第２上トラック２０２ａ～２０２ｄは、第２トラック１０２ａ～１０２ｄと対となり搬送トレイＣｓの上端を支持する。第１上トラック２０１ａ～２０１ｄおよび第２上トラック２０２ａ～２０２ｄは、それぞれ第１トラック１０１ａ～１０１ｄおよび第２トラック１０２ａ～１０２ｄの配置に対応する。第１上トラック２０１ａ～２０１ｄおよび第２上トラック２０２ａ～２０２ｄは、それぞれ第１トラック１０１ａ～１０１ｄおよび第２トラック１０２ａ～１０２ｄと平行に配置される。

【0229】

上回転トラック２０３ａ～２０３ｄは、回転トラック１０３ａ～１０３ｄと対となり搬送トレイＣｓの上端を支持する。
なお、回転移動ステージ（基板搬送装置）１００において、搬送トレイＣｓは、上述したように、基板Ｓｗの被処理面が若干下向きとなるように傾斜して縦型搬送される。このため、第１上トラック２０１ａ～２０１ｄおよび第２上トラック２０２ａ～２０２ｄは、上面視した際に、それぞれ第１トラック１０１ａ～１０１ｄおよび第２トラック１０２ａ～１０２ｄから、搬送トレイＣｓの傾斜に対応する寸法だけ水平方向にずれて配置される。上回転トラック２０３ａ～２０３ｄは、対となる回転トラック１０３ａ～１０３ｄよりも平面視して回転軸線Ｚ０に近接して配置される。

【0230】

４本の上回転トラック２０３ａ～２０３ｄは、いずれも直線状に形成される。４本の上回転トラック２０３ａ～２０３ｄは、いずれも、互いに平行である。４本の上回転トラック２０３ａ～２０３ｄは、いずれも互いに平行な位置関係を維持する。

【0231】

４本の上回転トラック２０３ａ～２０３ｄは、図１０に示す回転状態で、第２上トラック２０２ａと第２上トラック２０２ｃとに搬送トレイＣｓを搬送可能な上回転トラック２０３ａおよび上回転トラック２０３ｂと、第２上トラック２０２ｂと第２上トラック２０２ｄとに搬送トレイＣｓを搬送可能な上回転トラック２０３ｃおよび上回転トラック２０３ｄと、を有する。

【0232】

上回転トラック２０３ａおよび上回転トラック２０３ｂは、図１０に示す回転状態から反時計回りに９０°回転することで、第１上トラック２０１ｂと第１上トラック２０１ｄとに搬送トレイＣｓを搬送可能な状態となる。また、上回転トラック２０３ａおよび回転トラック１０３ｂは、図１０に示す回転状態から反時計回りに１８０°回転することで、第２上トラック２０２ｂと第２上トラック２０２ｄとに搬送トレイＣｓを搬送可能な状態となる。上回転トラック２０３ａおよび上回転トラック２０３ｂは、図１０に示す回転状態から時計回りに９０°回転することで、第１上トラック２０１ａと第１上トラック２０１ｃとに搬送トレイＣｓを搬送可能な状態となる。上回転トラック２０３ｃおよび上回転トラック２０３ｄも同様である。

【0233】

このように、上回転トラック２０３ａ～２０３ｄは、回転軸線Ｚ０の周りに回転して、第１上トラック２０１ａ～２０１ｄに対して搬送芯を合わせて搬送トレイＣｓを連続して搬送可能な第１調芯位置と、第２上トラック２０２ａ～２０２ｄに対して搬送芯を合わせて搬送トレイＣｓを連続して搬送可能な第２調芯位置と、のそれぞれに対応する回転位置に回転可能である。
ここで、第１調芯位置とは、上回転トラック２０３ａ～２０３ｄが第１上トラック２０１ａ～２０１ｄに対して搬送芯を合わせた状態を意味する。また、第２調芯位置とは、上回転トラック２０３ａ～２０３ｄが第２上トラック２０２ａ～２０２ｄに対して搬送芯を合わせた状態を意味する。

【0234】

上回転トラック２０３ａおよび上回転トラック２０３ｂとは、互いの距離を変えずに回転軸線Ｚ０のまわりに回転可能である。上回転トラック２０３ａおよび上回転トラック２０３ｂとは、互いの距離を変えずに回転軸線Ｚ０からの距離を変えるトラバース移動が可能である。上回転トラック２０３ａよりも上回転トラック２０３ｂが回転軸線Ｚ０に近接する。
上回転トラック２０３ｃおよび上回転トラック２０３ｄとは、互いの距離を変えずに回転軸線Ｚ０のまわりに回転可能である。上回転トラック２０３ｃおよび上回転トラック２０３ｄとは、互いの距離を変えずに回転軸線Ｚ０からの距離を変えるトラバース移動が可能である。上回転トラック２０３ｃよりも上回転トラック２０３ｄが回転軸線Ｚ０に近接する。

【0235】

上回転トラック２０３ａ～２０３ｄにおける回転移動およびトラバース移動を可能とし、かつ搬送トレイＣｓを搬送可能とするために、回転移動ステージ（基板搬送装置）１００は、上回転駆動機構２１０と、上トラバース機構２２０と、制御部１００Ｃと、を有する。

【0236】

＜上回転駆動機構２１０＞
上回転駆動機構２１０は、上回転トラック２０３ａ～２０３ｄを、回転軸線Ｚ０の周りに回転する。このとき、搬送トレイＣｓの傾斜角度を維持する。上回転駆動機構２１０は、上回転トラック２０３ａ～２０３ｄを回転トラック１０３ａ～１０３ｄと同時に回転軸線Ｚ０の周りに回転する。
上回転駆動機構２１０は、回転軸線Ｚ０の周りに回転可能な上回転テーブル２１１と、上回転テーブル２１１の回転をガイドする上回転ガイド２１２と、上回転テーブル２１１を回転する上回転駆動源２１３と、を有する。

【0237】

上回転テーブル２１１は、チャンバの天井に対して回転可能に支持される。上回転ガイド２１２は、上回転テーブル２１１の上方に位置する。上回転ガイド２１２は、上回転テーブル２１１の回転を規制可能な構成であれば、駆動軸等をそのまま用いるか、省略してもよい。上回転駆動源２１３は、上回転テーブル２１１の上方に配置され、上回転テーブル２１１の中心軸にギア等を介して接続されて、これを駆動するモータ等とされる。上回転駆動源２１３は、チャンバの外方に配置される。

【0238】

＜上トラバース機構２２０＞
上トラバース機構２２０は、上回転駆動機構２１０による所定の回転位置において、上回転トラック２０３ａ～２０３ｄの搬送方向とは直交するトラバース方向に上回転トラック２０３ａ～２０３ｄを移動して、回転軸線Ｚ０から上回転トラック２０３ａ～２０３ｄまでの離間位置を増減する。このとき、搬送トレイＣｓの傾斜角度を維持する。
上トラバース機構２２０は、上回転トラック２０３ａ～２０３ｄを回転トラック１０３ａ～１０３ｄと同じトラバース方向に移動する。

【0239】

上トラバース機構２２０は、上回転トラック２０３ａ～２０３ｄを上回転テーブル２１１の下方で支持する２つの上トラバーステーブル２２１ａ，２２１ｂと、上トラバーステーブル２２１ａ，２２１ｂの移動を上回転テーブル２１１に対してトラバース方向にガイドする上トラバースガイド２２２ａ，２２２ｂと、上トラバーステーブル２２１ａ，２２１ｂを上回転テーブル２１１に対してトラバース方向に移動する上トラバース駆動源２２３ａ，２２３ｂと、を有する。

【0240】

２つの上トラバーステーブル２２１ａと上トラバーステーブル２２１ｂとは、回転軸線Ｚ０を挟んでトラバース方向に離間して互いに平行に２つ配置される。
上トラバーステーブル２２１ａは、２本の上回転トラック２０３ａおよび上回転トラック２０３ｂを支持する。上トラバーステーブル２２１ａは、上トラバースガイド２２２ａによって支持される。上トラバースガイド２２２ａは、トラバース方向に延在して上回転テーブル２１１に固定される２本の平行な上ガイドレール２２２ｃ，２２２ｄによって、トラバース方向に移動方向を規制される。上トラバーステーブル２２１ａは、上トラバース駆動源２２３ａによってトラバース方向に移動可能とされる。上トラバース駆動源２２３ａは、モータ等とされ、たとえば、ボールネジを介して上トラバーステーブル２２１ａを直線状に移動する。

【0241】

上トラバーステーブル２２１ｂは、２本の上回転トラック２０３ｃおよび上回転トラック２０３ｄを支持する。上トラバーステーブル２２１ｂは、上トラバースガイド２２２ｂによって支持される。上トラバースガイド２２２ｂは、トラバース方向に延在して上回転テーブル２１１に固定される２本の平行な上ガイドレール２２２ｃ，２２２ｄによって、トラバース方向に移動方向を規制される。上トラバーステーブル２２１ｂは、上トラバース駆動源２２３ｂによってトラバース方向に移動可能とされる。上トラバース駆動源２２３ｂは、モータ等とされ、たとえば、ボールネジを介して上トラバーステーブル２２１ｂを直線状に移動する。

【0242】

上ガイドレール２２２ｃと上ガイドレール２２２ｄとは、トラバース方向に延在し、互いに離間して平行に配置される。上ガイドレール２２２ｃと上ガイドレール２２２ｄとは、ガイドレール１２２ｃとガイドレール１２２ｄとから離間して平行に配置される。
上トラバース駆動源２２３ａと上トラバース駆動源２２３ｂとは、ボールネジ等の駆動回転軸線がトラバース方向に延在し、互いに離間して平行に配置される。上トラバースガイド２２２ａと上トラバースガイド２２２ｂとは、互いにトラバース方向に離間して、上ガイドレール２２２ｃと上ガイドレール２２２ｄとに移動可能に支持される。上トラバースガイド２２２ａと上トラバースガイド２２２ｂとは、互いにトラバース方向に独立して上ガイドレール２２２ｃと上ガイドレール２２２ｄとに対して移動可能である。

【0243】

上トラバーステーブル２２１ａには、上回転トラック２０３ａと上回転トラック２０３ｂとが下面に固定される。上トラバーステーブル２２１ｂには、上回転トラック２０３ｃと上回転トラック２０３ｄとが上面に固定される。

【0244】

制御部１００Ｃは、回転駆動機構１１０と上回転駆動機構２１０とを同時に回転駆動させるとともに、トラバース機構１２０と上トラバース機構２２０とを同時に駆動させる。
これにより、回転駆動機構１１０と上回転駆動機構２１０との同時駆動によって、回転テーブル１１１と上回転テーブル２１１とが、同時に回転する。したがって、上回転トラック２０３ａ～２０３ｄと回転トラック１０３ａ～１０３ｄとは、同時に回転する。

【0245】

また、トラバース機構１２０と上トラバース機構２２０との同時駆動によって、上トラバーステーブル２２１ａとトラバーステーブル１２１ａとは、平面視した互いの位置を維持してトラバース方向に移動する。あるいは、トラバース機構１２０と上トラバース機構２２０との同時駆動によって、上トラバーステーブル２２１ｂとトラバーステーブル１２１ｂとは、平面視した互いの位置を維持してトラバース方向に移動する。したがって、
上回転トラック２０３ａ～２０３ｄと回転トラック１０３ａ～１０３ｄとは、平面視した互いの位置を維持してトラバース方向に移動する。

【0246】

次に、本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）における搬送動作を説明する。

【0247】

図１１～図２４は、本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）における動作を説明する上面工程図である。なお、以下の説明では、他の図も適宜参照する。
本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）１００で基板Ｓｗを載せた搬送トレイＣｓを搬送するには、まず、図１１に示すように、回転駆動機構１１０によって、回転トラック１０３ａ～１０３ｄを、その搬送方向がＹ方向に沿う角度となるように回転軸線Ｚ０の周りで回転する。

【0248】

同様に、上回転駆動機構２１０によって、上回転トラック２０３ａ～２０３ｄも、その搬送方向がＹ方向に沿う角度となるように回転軸線Ｚ０の周りで回転する。このとき、制御部１００Ｃは、回転駆動機構１１０と上回転駆動機構２１０とにおいて、同時に回転動作を開始させるとともに、同時に回転動作を停止する。この間、搬送トレイＣｓは所定の傾斜角度を維持するように、回転トラック１０３ａ～１０３ｄと上回転トラック２０３ａ～２０３ｄとの位置関係を維持する。

【0249】

同時に、トラバース機構１２０によって、図１１に示すように、トラバーステーブル１２１ａをトラバース移動し、回転トラック１０３ｂを第２トラック１０２ａおよび第２トラック１０２ｃに対して搬送芯を合わせる。このとき、回転トラック１０３ｂは、第２調芯位置にある。

【0250】

この状態では、回転トラック１０３ｂと第２トラック１０２ａとは、調芯機構１５０のカムフォロア１５２ａをＶブロック１５３ｂのＶ字凹部１５５ｂに当接することによって、搬送芯を合わせる。回転トラック１０３ｂと第２トラック１０２ｃとは、調芯機構１５０のカムフォロア１５２ｃをＶブロック１５３ｂのＶ字凹部１５５ｂに当接することによって、搬送芯を合わせる。
ロック機構１４０では、挟持部１４２ａ，１４２ａがロック凸部１４１ａに当接しておらずロック解除状態である。回転トラック１０３ｂはロックされていないフローティング状態であるが、調芯機構１５０によってその両端の位置決めがなされていることで、チルト回転と微小並進との動きはしない。

【0251】

同時に、上トラバース機構２２０によって、上トラバーステーブル２２１ａをトラバース移動し、上回転トラック２０３ｂを第２上トラック２０２ａおよび第２上トラック２０２ｃに対して搬送可能な位置に合わせる。このとき、上回転トラック２０３ｂは、第２調芯位置に対応する位置にある。

【0252】

同時に、トラバース機構１２０によって、図１１に示すように、トラバーステーブル１２１ｂをトラバース移動し、回転トラック１０３ｄを第２トラック１０２ｂおよび第２トラック１０２ｄに対して搬送芯を合わせる。このとき、回転トラック１０３ｄは、第２調芯位置にある。

【0253】

この状態では、回転トラック１０３ｄと第２トラック１０２ｂは、調芯機構１５０のカムフォロア１５２ｂをＶブロック１５３ｄのＶ字凹部１５５ｄに当接することによって、搬送芯を合わせる。回転トラック１０３ｄと第２トラック１０２ｄとは、調芯機構１５０のカムフォロア１５２ｄをＶブロック１５３ｄのＶ字凹部１５５ｂに当接することによって、搬送芯を合わせる。
ロック機構１４０では、挟持部１４２ｂ，１４２ｂがロック凸部１４１ｂに当接しておらずロック解除状態である。回転トラック１０３ｄはロックされていないフローティング状態であるが、調芯機構１５０によってその両端の位置決めがなされていることで、チルト回転と微小並進との動きはしない。

【0254】

同時に、上トラバース機構２２０によって、上トラバーステーブル２２１ｂをトラバース移動し、上回転トラック２０３ｄを第２上トラック２０２ｂおよび第２上トラック２０２ｄに対して搬送芯を合わせる。このとき、上回転トラック２０３ｄは、第２調芯位置に対応した位置にある。

【0255】

回転トラック１０３ｂと第２トラック１０２ａとの搬送軸線Ｈ０が一致して搬送芯が合っている状態を維持する。この状態で、浮上駆動部３２３による回転駆動を、駆動方向変換部３２４を介して伝達し、第２トラック１０２ａの回転軸３２１ａを回転することで、第２トラック１０２ａに沿って搬送トレイＣｓを搬送する。同時に、浮上駆動部３２３ｂによる回転駆動を、駆動方向変換部３２４ｂを介して伝達し、回転トラック１０３ｂの回転軸３２１ａを回転することで、回転トラック１０３ｂに沿って搬送トレイＣｓを搬送する。
これにより、第２トラック１０２ａから搬送されてきた搬送トレイＣｓを、図１２に示すように、断続区間を越えて回転トラック１０３ｂへと搬送する。本実施形態では断続区間が短いため、搬送トレイＣｓの浮上力が変化しない程度にしか影響がない。

【0256】

同様に、回転トラック１０３ｄと第２トラック１０２ｄとの搬送軸線Ｈ０が一致して搬送芯が合っている状態を維持する。この状態で、浮上駆動部３２３による回転駆動を、駆動方向変換部３２４を介して伝達し、第２トラック１０２ｄの回転軸３２１ａを回転することで、第２トラック１０２ｄに沿って搬送トレイＣｓを搬送する。同時に、浮上駆動部３２３ｄによる回転駆動を、駆動方向変換部３２４ｄを介して伝達し、回転トラック１０３ｄの回転軸３２１ａを回転することで、回転トラック１０３ｄに沿って搬送トレイＣｓを搬送する。
これにより、第２トラック１０２ｄから搬送されてきた搬送トレイＣｓを、図１２に示すように、断続区間を越えて、回転トラック１０３ｄへと搬送する。本実施形態では断続区間が短いため、搬送トレイＣｓの浮上力が変化しない程度にしか影響がない。

【0257】

第２トラック１０２ａとの断続区間を越えて、図１３に示すように、搬送トレイＣｓの両端部が回転トラック１０３ｂの両端部よりもフローティング軸線Ｆ０ａに近接した状態となったら、浮上駆動部３２３ｂの駆動を停止する。これにより、搬送トレイＣｓは回転トラック１０３ｂの上で停止して、搬送トレイＣｓは回転トラック１０３ｂに載置された状態となり、搬送方向へはそれ以上移動しない。このとき、第２トラック１０２ａにおいても、少なくとも回転トラック１０３ｂに近接する範囲で浮上駆動部３２３による回転駆動を停止する。

【0258】

同様に、第２トラック１０２ｄとの断続区間を越えて、図１３に示すように、搬送トレイＣｓの両端部が回転トラック１０３ｄの両端部よりもフローティング軸線Ｆ０ｂに近接した状態となったら、浮上駆動部３２３ｄの駆動を停止する。これにより、搬送トレイＣｓは回転トラック１０３ｄの上で停止して、搬送トレイＣｓは回転トラック１０３ｄに載置された状態となり、搬送方向へはそれ以上移動しない。このとき、第２トラック１０２ｄにおいても、少なくとも回転トラック１０３ｄに近接する範囲で浮上駆動部３２３による回転駆動を停止する。

【0259】

次いで、図１４に示すように、調芯機構１５０のカムフォロア１５２ａをＶブロック１５３ｂのＶ字凹部１５５ｂから離間する。同時に、カムフォロア１５２ｃをＶブロック１５３ｂのＶ字凹部１５５ｂから離間する。
この状態では、回転トラック１０３ｂと第２トラック１０２ａとは、搬送芯は合わせられていない。同様に、回転トラック１０３ｂと第２トラック１０２ｃとは、搬送芯は合わせられていない。また、ロック機構１４０は、フローティングテーブル１３１ａに対してロック解除状態である。
これにより、回転トラック１０３ｂおよびフローティングテーブル１３１ａはロックされていないフローティング状態となる。フローティングテーブル１３１ａは、フローティング軸線Ｆ０ａまわりのチルト回転とＸ方向へ微小並進との動作が可能な状態となる。

【0260】

同様に、図１４に示すように、調芯機構１５０のカムフォロア１５２ｂをＶブロック１５３ｄのＶ字凹部１５５ｄから離間する。同時に、カムフォロア１５２ｄをＶブロック１５３ｄのＶ字凹部１５５ｄから離間する。
この状態では、回転トラック１０３ｄと第２トラック１０２ｂとは、搬送芯は合わせられていない。同様に、回転トラック１０３ｄと第２トラック１０２ｂとは、搬送芯は合わせられていない。また、ロック機構１４０は、フローティングテーブル１３１ｂに対してロック解除状態である。
これにより、回転トラック１０３ｄおよびフローティングテーブル１３１ｂはロックされていないフローティング状態となる。フローティングテーブル１３１ｂは、フローティング軸線Ｆ０ｂまわりのチルト回転とＸ方向への微小並進との動作が可能な状態となる。

【0261】

次いで、図１５に示すように、ロック機構１４０の挟持部１４２ａ，１４２ａをロック凸部１４１ａに当接する。これにより、回転トラック１０３ｂおよびフローティングテーブル１３１ａはロックされる。フローティングテーブル１３１ａは、フローティング軸線Ｆ０ａまわりのチルト回転とＸ方向へ微小並進との動作ができないロック状態となる。

【0262】

同様に、図１５に示すように、ロック機構１４０の挟持部１４２ｂ，１４２ｂをロック凸部１４１ｂに当接する。これにより、回転トラック１０３ｄおよびフローティングテーブル１３１ｂはロックされる。フローティングテーブル１３１ｂは、フローティング軸線Ｆ０ｂまわりのチルト回転とＸ方向へ微小並進との動作ができないロック状態となる。

【0263】

次いで、図１６に示すように、トラバース機構１２０を駆動して、フローティングテーブル１３１ａおよびトラバーステーブル１２１ａをＸ方向にトラバース移動して、回転軸線Ｚ０へと近接する。これにより、フローティングテーブル１３１ａの上の回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｂは、回転可能位置となる。回転可能位置となったフローティングテーブル１３１ａでは、その回転範囲、つまり、回転軸線Ｚ０からもっとも遠いフローティングテーブル１３１ａは、破線で表した領域を回転する。この回転半径は、Ｒ２である。

【0264】

トラバーステーブル１２１ａのＸ方向へのトラバース移動の間、ロック機構１４０がフローティングテーブル１３１ａをフローティング軸線Ｆ０ａまわりのチルト回転とＸ方向へ微小並進との動作ができないロック状態として、これを維持する。
この際、制御部１００Ｃによって、上トラバース機構２２０を駆動して、上トラバーステーブル２２１ａをＸ方向に同時にトラバース移動して、回転軸線Ｚ０へと近接する。これにより、上トラバーステーブル２２１ａの上回転トラック２０３ａおよび上回転トラック２０３ｂは、回転可能位置となる。

【0265】

同時に、上トラバース機構２２０によって、上トラバーステーブル２２１ａをトラバース移動し、上回転トラック２０３ｂを回転可能位置に対応する位置に合わせる。

【0266】

同様に、図１６に示すように、トラバース機構１２０を駆動して、フローティングテーブル１３１ｂおよびトラバーステーブル１２１ｂをＸ方向にトラバース移動して、回転軸線Ｚ０へと近接する。これにより、フローティングテーブル１３１ｂの上の回転トラック１０３ｃおよび回転トラック１０３ｄは、回転可能位置となる。回転可能位置となったフローティングテーブル１３１ｂでは、その回転範囲、つまり、回転軸線Ｚ０からもっとも遠いフローティングテーブル１３１ｂは、破線で表した領域を回転する。この回転半径は、Ｒ２である。

【0267】

トラバーステーブル１２１ｂのＸ方向へのトラバース移動の間、ロック機構１４０が、フローティングテーブル１３１ｂをフローティング軸線Ｆ０ｂまわりのチルト回転とＸ方向へ微小並進との動作ができないロック状態として、これを維持する。
この際、制御部１００Ｃによって、上トラバース機構２２０を駆動して、上トラバーステーブル２２１ｂをＸ方向に同時にトラバース移動して、回転軸線Ｚ０へと近接する。これにより、上トラバーステーブル２２１ｂの上回転トラック２０３ｃおよび上回転トラック２０３ｄは、回転可能位置となる。

【0268】

同時に、上トラバース機構２２０によって、上トラバーステーブル２２１ｂをトラバース移動し、上回転トラック２０３ｄを回転可能位置に対応する位置に合わせる。

【0269】

次いで、図１７に示すように、回転駆動機構１１０を駆動して、回転テーブル１１１を回転軸線Ｚ０のまわりに回転する。さらに、図１８に示すように、回転駆動機構１１０を駆動して、回転テーブル１１１を回転軸線Ｚ０のまわりに回転する。この回転動作中は、ロック機構１４０のロック状態を維持している。
この際、制御部１００Ｃによって、上回転駆動機構２１０も駆動して、上回転テーブル２１１を回転軸線Ｚ０のまわりに同時に回転する。この間、搬送トレイＣｓの傾斜角度を維持する。

【0270】

次いで、図１９に示すように、回転トラック１０３ａ～１０３ｄの搬送方向がＸ方向となる位置で、回転軸線Ｚ０のまわりの回転テーブル１１１の回転を停止する。回転テーブル１１１の回転が停止した時点では、回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、回転可能位置を維持している。回転テーブル１１１の回転が停止した時点では、ロック機構１４０のロック状態を維持している。

【0271】

次いで、図２０に示すように、トラバース機構１２０によって、トラバーステーブル１２１ａをトラバース移動し、回転トラック１０３ｂを第１トラック１０１ｂおよび第１トラック１０１ｄに対して搬送芯を合わせる。このとき、回転トラック１０３ｂは、第１調芯位置にある。トラバース移動動作中は、トラバーステーブル１２１ａに対するロック機構１４０のロック状態を維持している。

【0272】

同時に、上トラバース機構２２０によって、上トラバーステーブル２２１ａをトラバース移動し、上回転トラック２０３ｂを第１上トラック２０１ｂおよび第１上トラック２０１ｄに対して搬送可能な位置に合わせる。このとき、上回転トラック２０３ｂは、第１調芯位置に対応する位置にある。

【0273】

同時に、図２０に示すように、トラバース機構１２０によって、トラバーステーブル１２１ｂをトラバース移動し、回転トラック１０３ｄを第１トラック１０１ａおよび第１トラック１０１ｃに対して搬送芯を合わせる。このとき、回転トラック１０３ｄは、第１調芯位置にある。トラバース移動動作中は、トラバーステーブル１２１ｂに対するロック機構１４０のロック状態を維持している。

【0274】

同時に、上トラバース機構２２０によって、上トラバーステーブル２２１ｂをトラバース移動し、上回転トラック２０３ｄを第１上トラック２０１ａおよび第１上トラック２０１ｃに対して搬送可能な位置に合わせる。このとき、上回転トラック２０３ｄは、第１調芯位置に対応する位置にある。

【0275】

次いで、図２１に示すように、トラバーステーブル１２１ａに対するロック機構１４０のロック状態を解除する。
ロック機構１４０では、挟持部１４２ａ，１４２ａがロック凸部１４１ａから離間してロック解除状態となる。これにより、回転トラック１０３ｂはロックされていないフローティング状態になる。同時に、調芯機構１５０によってその両端の位置決めがなされていないことで、トラバーステーブル１２１ａは、フローティング軸線Ｆ０ａのまわりのチルト回転とＹ方向への微小並進との動きが可能なフローティング状態となる。

【0276】

同時に、図２１に示すように、トラバーステーブル１２１ｂに対するロック機構１４０のロック状態を解除する。
ロック機構１４０では、挟持部１４２ｂ，１４２ｂがロック凸部１４１ｂから離間してロック解除状態となる。これにより、回転トラック１０３ｄはロックされていないフローティング状態になる。同時に、調芯機構１５０によってその両端の位置決めがなされていないことで、トラバーステーブル１２１ｂは、フローティング軸線Ｆ０ｂのまわりのチルト回転とＹ方向への微小並進との動きが可能なフローティング状態となる。

【0277】

次いで、図２２に示すように、回転トラック１０３ｂと第１トラック１０１ｂとは、調芯機構１５０のカムフォロア１５１ｂをＶブロック１５３ｂのＶ字凹部１５５ｂに当接することによって、搬送芯を合わせる。回転トラック１０３ｂと第１トラック１０１ｄとは、調芯機構１５０のカムフォロア１５１ｄをＶブロック１５３ｂのＶ字凹部１５５ｂに当接することによって、搬送芯を合わせる。
この状態では、ロック機構１４０の挟持部１４２ａ，１４２ａがロック凸部１４１ａに当接しておらずロック解除状態である。回転トラック１０３ｂはロックされていないため、フローティング機構１３０によってフローティング軸線Ｆ０ａに対するフローティング状態であるが、調芯機構１５０によってその両端の位置決めがなされていることで、トラバーステーブル１２１ａは、チルト回転と微小並進との動きはしない。したがって、回転トラック１０３ｂと第１トラック１０１ｂとの搬送軸線Ｈ０が一致して、搬送芯を合わせることができる。

【0278】

同時に、図２２に示すように、回転トラック１０３ｄと第１トラック１０１ａは、調芯機構１５０のカムフォロア１５１ａをＶブロック１５３ｄのＶ字凹部１５５ｄに当接することによって、搬送芯を合わせる。回転トラック１０３ｄと第１トラック１０１ｃとは、調芯機構１５０のカムフォロア１５１ｃをＶブロック１５３ｄのＶ字凹部１５５ｂに当接することによって、搬送芯を合わせる。
この状態では、ロック機構１４０の挟持部１４２ｂ，１４２ｂがロック凸部１４１ｂに当接しておらずロック解除状態である。回転トラック１０３ｄはロックされていないため、フローティング機構１３０によってフローティング軸線Ｆ０ｂに対するフローティング状態であるが、調芯機構１５０によってその両端の位置決めがなされていることで、トラバーステーブル１２１ａは、チルト回転と微小並進との動きはしない。したがって、回転トラック１０３ｄと第１トラック１０１ａとの搬送軸線Ｈ０が一致して、搬送芯を合わせることができる。

【0279】

次いで、回転トラック１０３ｂと第１トラック１０１ｂとの搬送軸線Ｈ０が一致して搬送芯が合っている状態を維持して、浮上駆動部３２３ｂによる回転駆動を、駆動方向変換部３２４ｂを介して伝達し、回転トラック１０３ｂの磁気回転部３２１を回転することで、回転トラック１０３ｂに沿って搬送トレイＣｓを搬送する。同時に、浮上駆動部３２３による回転駆動を、駆動方向変換部３２４を介して伝達し、第１トラック１０１ｂの磁気回転部３２１を回転することで、第１トラック１０１ｂに沿って搬送トレイＣｓを搬送する。回転トラック１０３ｂにおける磁気回転部３２１の回転と、第１トラック１０１ｂにおける磁気回転部３２１の回転とは、搬送トレイＣｓの搬送に影響がないように、同期駆動等をおこなうことで、調整される。
これにより、回転トラック１０３ｂに載置されていた搬送トレイＣｓを、図２３に示すように、断続区間を越えて第１トラック１０１ｂへと搬送する。本実施形態では断続区間が短いため、搬送トレイＣｓの浮上力が変化しない程度にしか影響がない。

【0280】

同時に、回転トラック１０３ｄと第１トラック１０１ａとの搬送軸線Ｈ０が一致して搬送芯が合っている状態を維持して、浮上駆動部３２３ｄによる回転駆動を、駆動方向変換部３２４ｄを介して伝達し、回転トラック１０３ｄの磁気回転部３２１を回転することで、回転トラック１０３ｄに沿って搬送トレイＣｓを搬送する。同時に、浮上駆動部３２３による回転駆動を、駆動方向変換部３２４を介して伝達し、第１トラック１０１ａの磁気回転部３２１を回転することで、第１トラック１０１ａに沿って搬送トレイＣｓを搬送する。回転トラック１０３ｄにおける磁気回転部３２１の回転と、第１トラック１０１ａにおける磁気回転部３２１の回転とは、搬送トレイＣｓの搬送に影響がないように、同期駆動等をおこなうことで調整される。
これにより、回転トラック１０３ｄに載置されていた搬送トレイＣｓを、図２３に示すように、断続区間を越えて第１トラック１０１ａへと搬送する。本実施形態では断続区間が短いため、搬送トレイＣｓの浮上力が変化しない程度にしか影響がない。

【0281】

さらに、図２４に示すように、搬送トレイＣｓを第1方向（Ｘ方向）へと搬送する。
これにより、第２方向（Ｙ方向）に搬送されてきた搬送トレイＣｓの搬送方向を、第1方向（Ｘ方向）へと変更することができる。

【0282】

なお、上記の説明では、２枚の搬送トレイＣｓを同時に搬送して回転移動ステージ１００に載置して後、回転して搬送方向を変えたが、１枚ずつ搬送および回転させることもできる。

【0283】

また、回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｃには搬送トレイＣｓを載置しないで回転動作する工程を説明したが、あらかじめ、回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｃにそれぞれ搬送トレイＣｓを載置した状態で、図１１～図１３に示すように、第２トラック１０２ａおよび第２トラック１０２ｄから、回転トラック１０３ｂおよび回転トラック１０３ｄにそれぞれ搬送トレイＣｓを受け入れる動作をおこなうこともできる。

【0284】

この場合、次の動作としては、調芯機構１５０による回転トラック１０３ｂおよび回転トラック１０３ｄの調芯状態を解除して、ロック機構１４０によって回転トラック１０３ｂおよび回転トラック１０３ｄをロックする。そして、トラバース機構１２０によって、回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｃを第２調芯位置にトラバース移動する。

【0285】

次いで、調芯機構１５０によって回転トラック１０３ａと第２トラック１０２ａとの搬送芯を合わせる。同時に、調芯機構１５０によって回転トラック１０３ｃと第２トラック１０２ｄとの搬送芯を合わせる。
次いで、回転トラック１０３ａおよび回転トラック１０３ｃの磁気回転部３２１を駆動して、回転トラック１０３ａから搬送トレイＣｓを第２トラック１０２ａへと搬送する。同時に、回転トラック１０３ｃから搬送トレイＣｓを第２トラック１０２ｄへと搬送することができる。この後の動作は、図１４からに示した動作と同様に、回転動作をおこなうことができる。

【0286】

このように、回転移動ステージ１００が時計方向に９０度回転すると、第１プロセスチャンバＰｃ１の第１副搬送路Ｓｒ１、第１回転チャンバＴｃ１の第２主搬送路Ｍｒ２、および、第６プロセスチャンバＰｃ６の第１副搬送路Ｓｒ１が、第２方向（Ｙ方向）に沿って整列され、第１プロセスチャンバＰｃ１の第２副搬送路Ｓｒ２、第１回転チャンバＴｃ１の第１主搬送路Ｍｒ１及び第６プロセスチャンバＰｃ６の第２副搬送路Ｓｒ２が第２方向（Ｙ方向）に沿って整列される（図１参照）。

【0287】

この状態で、回転移動ステージ１００を第１方向（Ｘ方向）に沿って所定のストローク長さだけ移動させると、第２方向（Ｙ方向）に整列される２つの第１副搬送路Ｓｒ１、第２副搬送路Ｓｒ２は、主搬送トラックＴｒ１１、主搬送トラックＴｒ１２のいずれか、および主搬送トラックＴｒ２１、主搬送トラックＴｒ２２のいずれかと整列することができる。これにより、第１回転チャンバＴｃ１と第１プロセスチャンバＰｃ１と第６プロセスチャンバＰｃ６との間で搬送トレイＣｓをやり取りすることができる。このとき、搬送トレイＣｓは基板Ｓｗの処理面が各チャンバの内面に向かう状態を維持する（図１参照）。

【0288】

上記の説明では、搬送トレイＣｓとしては、被処理基板（基板）Ｓｗとともに搬送するように説明したが、あるいは、搬送トレイＣｓが基板Ｓｗの処理に用いられるマスクＭｓとともに搬送することもできる。

【0289】

本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）１００によれば、第１方向（Ｘ方向）と第２方向（方向）との間で搬送トレイＣｓの搬送方向を変える際に、トラバース機構１２０によって第１調芯位置または第２調芯位置にあった回転トラック１０３ａ～１０３ｄを回転可能位置へとトラバースすることで、第１調芯位置または第２調芯位置にあった回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転範囲に比べて、回転可能位置での回転範囲を半径Ｒ２として小さくすることができる。したがって、第１トラック１０１ａ～１０１ｄおよび第２トラック１０２ａ～１０２ｄを回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転範囲に向けて伸長して、断続区間を短縮することができる。言い換えれば、回転軸線Ｚ０を中心として半径Ｒ２で示される回転可能位置での回転範囲が、第１調芯位置または第２調芯位置にあった回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転範囲を越えなければ、第１トラック１０１ａ～１０１ｄおよび第２トラック１０２ａ～１０２ｄの端部を、当初の位置よりもさらに回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転範囲側に向けて伸長してもよい。

【0290】

このように回転範囲を半径Ｒ２として縮小した後に、回転駆動機構１１０によって回転トラック１０３ａ～１０３ｄを回転し、トラバース機構１２０によって回転可能位置から第１調芯位置または第２調芯位置へとトラバースすることにより、断続区間を短縮しても、回転トラック１０３ａ～１０３ｄの端部が第１トラック１０１ａ～１０１ｄおよび第２トラック１０２ａ～１０２ｄに当接することなく、回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転動作をおこなうことができる。

【0291】

したがって、回転トラック１０３ａ～１０３ｄと第１トラック１０１ａ～１０１ｄ、および、回転トラック１０３ａ～１０３ｄと第２トラック１０２ａ～１０２ｄとの間で搬送路（トラック）の分断された断続区間を、第１調芯位置または第２調芯位置で回転トラック１０３ａ～１０３ｄを回転する場合に比べて、短縮することが可能となる。これにより、搬送路（トラック）が分断されていることにより発生する、断続区間での第１トラック１０１ａ～１０１ｄおよび第２トラック１０２ａ～１０２ｄと、回転トラック１０３ａ～１０３ｄと、のトラバース方向における位置ずれを抑制することができる。

【0292】

これにより、磁気浮上搬送において影響の大きい搬送芯でのズレ発生を抑制できる。さらに、断続区間を通過する搬送トレイＣｓに対して、断続区間で発生する搬送トレイＣｓの姿勢変化を抑制するとともに、断続区間で発生する衝撃を抑制することが可能となる。同時に、搬送トレイＣｓといずれかの搬送路（トラック）とが接触してしまうことを防止できる。

【0293】

従って、搬送トレイＣｓの搬送速度を低下させることがない。このため、タクトタイムを短縮し、基板処理コストを縮小することができる。
回転駆動機構１１０、トラバース機構１２０、フローティング機構１３０、ロック機構１４０、調芯機構１５０がいずれも搬送トレイＣｓの下端位置よりも下方に配置されていることで、基板Ｓｗへのパーティクルの影響を低減することが可能となる。

【0294】

また、回転駆動機構１１０により回転トラック１０３ａ～１０３ｄを回転させる際、および、トラバース機構１２０により回転トラック１０３ａ～１０３ｄをトラバース移動させる際に、ロック機構１４０によって回転トラック１０３ａ～１０３ｄを位置規制することが可能となる。

【0295】

回転トラック１０３ａ～１０３ｄの搬送芯を合わせる際には、フローティング機構１３０によってフローティング状態とした後、調芯機構１５０によって回転トラック１０３ａ～１０３ｄの両端位置でそれぞれ搬送芯を合わせることができ、極めて正確な芯合わせを容易におこなうことができる。このため搬送トレイＣｓの搬送への断続区間の影響を低減することが容易に可能となる。

【0296】

複数の搬送トレイＣｓをそれぞれ回転トラック１０３ａ～１０３ｄに載置して搬送方向を変えることが可能であるため、たとえば、プロセスチャンバへの基板入れ替えに用いることができる。
制御部１００Ｃによる回転駆動機構１１０と上回転駆動機構２１０との同時駆動、および、トラバース機構１２０と上トラバース機構２２０との同期駆動を可能としたことで、これらの回転動作およびトラバース動作に際する制御容易性を向上することが可能となる。

【0297】

浮上駆動部３２３ａ～３２３ｄを回転トラック１０３ａ～１０３ｄと一体に回転可能かつトラバース移動可能としたことで、回転軸線Ｚ０まわりにおける回転トラック１０３ａ～１０３ｄの向きに関係なく、磁気回転部３２１を駆動することが容易となる。また、浮上駆動部３２３ａ～３２３ｄが回転トラック１０３ａ～１０３ｄの回転範囲に影響がない位置に配置することができる。

【0298】

同時に、駆動方向変換部３２４ａ～３２４ｄによって回転伝達方向を２度折り曲げて、フローティングテーブル１３１ａおよびフローティングテーブル１３１ｂから側方に突出するように浮上駆動部３２３ａ～３２３ｄを配置したことで、回転移動ステージ１００の高さ方向寸法を小さくし、回転チャンバＴｃ１～Ｔｃ３の省スペース化を図ることができる。

【0299】

以下、本発明に係る基板搬送装置の第２実施形態を、図面に基づいて説明する。

【0300】

図２５は、本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）における上下調芯機構を説明する模式上面図である。図２６は、本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）における上下調芯機構を説明する模式正面図である。図２７は、本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）における上下調芯機構を説明する模式側面図である。
本実施形態において、上述した第１実施形態と異なるのは、上下調芯機構に関する点であり、これ以外の上述した第１実施形態と対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。なお、図２５～図２７において、図６～図９で記載した符号を省略したものものある。

【0301】

＜上下調芯機構１６０＞
本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）１００は、さらに、上下調芯機構１６０を有することができる。

【0302】

上下調芯機構１６０は、図２５～図２７に示すように、回転トラック１０３ａ～１０３ｄと、第１トラック１０１ａ～１０１ｄまたは第２トラック１０２ａ～１０２ｄとの間で搬送トレイＣｓの搬送をおこなう第１調芯位置または第２調芯位置において、回転トラック１０３ａ～１０３ｄの高さ位置（Ｚ方向位置）を規定する。

【0303】

具体的には、上下調芯機構１６０は、トラバース機構１２０によって第１調芯位置または第２調芯位置までトラバース方向に移動した回転トラック１０３ａ～１０３ｄの搬送重量を支持する重量支持部１６１ａ～１６１ｄと、第１調芯位置で重量支持部１６１ａ～１６１ｄに下方から当接して回転トラック１０３ａ～１０３ｄの搬送重量を支持する第１支持台部１６２ａ～１６２ｄと、第２調芯位置で重量支持部１６１ａ～１６１ｄに下方から当接して回転トラック１０３ａ～１０３ｄの搬送重量を支持する第２支持台部１６３ａ～１６３ｄと、を有する。

【0304】

重量支持部１６１ａ～１６１ｄは、いずれも、トラバーステーブル１２１ａ，１２１ｂの下側に回転可能に配置された転動体である。
重量支持部１６１ａと重量支持部１６１ｂとは、トラバーステーブル１２１ａの搬送方向の両端付近にそれぞれ配置される。重量支持部１６１ａと重量支持部１６１ｂとは、いずれもトラバーステーブル１２１ａのトラバース方向の中央付近にそれぞれ配置される。重量支持部１６１ａと重量支持部１６１ｂとは、トラバーステーブル１２１ａの下面から同じＺ方向寸法だけ下方に突出している。

【0305】

重量支持部１６１ｃと重量支持部１６１ｄとは、トラバーステーブル１２１ｂの搬送方向の両端付近にそれぞれ配置される。重量支持部１６１ｃと重量支持部１６１ｄとは、いずれもトラバーステーブル１２１ｂのトラバース方向の中央付近にそれぞれ配置される。重量支持部１６１ｃと重量支持部１６１ｄとは、トラバーステーブル１２１ｂの下面から同じＺ方向寸法だけ下方に突出している。

【0306】

第１支持台部１６２ａ～１６２ｄと第２支持台部１６３ａ～１６３ｄとは、いずれも、チャンバ床部等に固定配置される。第１支持台部１６２ａ～１６２ｄと第２支持台部１６３ａ～１６３ｄとは、その上端に、いずれも同じ高さ位置である平面を有する。第１支持台部１６２ａ～１６２ｄと第２支持台部１６３ａ～１６３ｄとは、その上面に重量支持部１６１ａ～１６１ｄが当接することで、その上面からトラバーステーブル１２１ａおよびトラバーステーブル１２１ｂまでの高さを規定することができる。

【0307】

第１支持台部１６２ａ～１６２ｄと第２支持台部１６３ａ～１６３ｄとは、回転位置のトラバーステーブル１２１ａ，１２１ｂが回転する際に、重量支持部１６１ａ～１６１ｄの回転範囲よりも径方向外方に固定配置される。ここで、重量支持部１６１ａ～１６１ｄの回転範囲を示す回転半径Ｒ３を図２５に示す。平面視して、第１支持台部１６２ａ～１６２ｄと第２支持台部１６３ａ～１６３ｄとは、この半径Ｒ３の円内に入っていないことがわかる。

【0308】

第１支持台部１６２ａは、平面視して第１トラック１０１ａの近傍に配置される。第１支持台部１６２ｂは、平面視して第１トラック１０１ｂの近傍に配置される。第１支持台部１６２ｃは、平面視して第１トラック１０１ｃの近傍に配置される。第１支持台部１６２ｄは、平面視して第１トラック１０１ｄの近傍に配置される。

【0309】

ここで、第１支持台部１６２ａおよび第１支持台部１６２ｃは、第１トラック１０１ａおよび第１トラック１０１ｃと、回転トラック１０３ａ～１０３ｄのいずれかを第１調芯位置とする場合に用いる。

【0310】

たとえば、回転トラック１０３ａまたは回転トラック１０３ｂを第１トラック１０１ａおよび第１トラック１０１ｃに対して第１調芯位置とする場合には、回転駆動機構１１０によってこれらのトラック搬送方向を合わせ、トラバース機構１２０によってトラバーステーブル１２１ａをトラバース方向に移動する。すると、重量支持部１６１ａが第１支持台部１６２ａに乗り上げるとともに、重量支持部１６１ｂが第１支持台部１６２ｃに乗り上げる。これにより、トラバーステーブル１２１ａが第１支持台部１６２ａと第１支持台部１６２ｃとに対して所定の高さとなる。したがって、第１調芯位置において回転トラック１０３ａまたは回転トラック１０３ｂが、第１トラック１０１ａおよび第１トラック１０１ｃに対して搬送芯高さを合わせた状態とすることができる。

【0311】

同様に、回転トラック１０３ｃまたは回転トラック１０３ｄを第１トラック１０１ａおよび第１トラック１０１ｃに対して第１調芯位置とする場合には、回転駆動機構１１０によってこれらのトラック搬送方向を合わせ、トラバース機構１２０によって、トラバーステーブル１２１ｂをトラバース方向に移動する。すると、重量支持部１６１ｄが第１支持台部１６２ａに乗り上げるとともに、重量支持部１６１ｃが第１支持台部１６２ｃに乗り上げる。これにより、トラバーステーブル１２１ｂが第１支持台部１６２ａと第１支持台部１６２ｃとに対して所定の高さとなる。したがって、第１調芯位置において回転トラック１０３ｃまたは回転トラック１０３ｄが、第１トラック１０１ａおよび第１トラック１０１ｃに対して搬送芯高さを合わせた状態とすることができる。

【0312】

同様に、第１支持台部１６２ｂおよび第１支持台部１６２ｄは、第１トラック１０１ｂおよび第１トラック１０１ｄと、回転トラック１０３ａ～１０３ｄのいずれかを第１調芯位置とする場合に用いる。

【0313】

回転トラック１０３ａまたは回転トラック１０３ｂを第１トラック１０１ｂおよび第１トラック１０１ｄに対して第１調芯位置とする場合には、回転駆動機構１１０によってこれらのトラック搬送方向を合わせ、トラバース機構１２０によって、トラバーステーブル１２１ａをトラバース方向に移動する。すると、重量支持部１６１ｂが第１支持台部１６２ｂに乗り上げるとともに、重量支持部１６１ａが第１支持台部１６２ｄに乗り上げる。これにより、トラバーステーブル１２１ａが第１支持台部１６２ｂと第１支持台部１６２ｄとに対して所定の高さとなる。したがって、第１調芯位置において回転トラック１０３ａまたは回転トラック１０３ｂが、第１トラック１０１ｂおよび第１トラック１０１ｄに対して搬送芯高さを合わせた状態とすることができる。

【0314】

回転トラック１０３ｃまたは回転トラック１０３ｄを第１トラック１０１ｂおよび第１トラック１０１ｄに対して第１調芯位置とする場合には、回転駆動機構１１０によってこれらのトラック搬送方向を合わせ、トラバース機構１２０によって、トラバーステーブル１２１ｂをトラバース方向に移動する。すると、重量支持部１６１ｄが第１支持台部１６２ｄに乗り上げるとともに、重量支持部１６１ｃが第１支持台部１６２ｂに乗り上げる。これにより、トラバーステーブル１２１ｂが第１支持台部１６２ｂと第１支持台部１６２ｄとに対して所定の高さとなる。したがって、第１調芯位置において回転トラック１０３ｃまたは回転トラック１０３ｄが、第１トラック１０１ｂおよび第１トラック１０１ｄに対して搬送芯高さを合わせた状態とすることができる。

【0315】

第２支持台部１６３ａは、平面視して第２トラック１０２ａの近傍に配置される。第２支持台部１６３ｂは、平面視して第２トラック１０２ｂの近傍に配置される。第２支持台部１６３ｃは、平面視して第２トラック１０２ｃの近傍に配置される。第２支持台部１６３ｄは、平面視して第２トラック１０２ｄの近傍に配置される。

【0316】

ここで、第２支持台部１６３ａおよび第２支持台部１６３ｃは、第２トラック１０２ａおよび第２トラック１０２ｃと、回転トラック１０３ａ～１０３ｄのいずれかを第２調芯位置とする場合に用いる。

【0317】

たとえば、回転トラック１０３ａまたは回転トラック１０３ｂを第２トラック１０２ａおよび第２トラック１０２ｃに対して第２調芯位置とする場合には、回転駆動機構１１０によってこれらのトラック搬送方向を合わせ、トラバース機構１２０によって、トラバーステーブル１２１ａをトラバース方向に移動する。すると、重量支持部１６１ａが第２支持台部１６３ｃに乗り上げるとともに、重量支持部１６１ｂが第２支持台部１６３ａに乗り上げる。これにより、トラバーステーブル１２１ａが第２支持台部１６３ｃと第２支持台部１６３ａとに対して所定の高さとなる。したがって、第２調芯位置において回転トラック１０３ａまたは回転トラック１０３ｂが、第２トラック１０２ａおよび第２トラック１０２ｃに対して搬送芯高さを合わせた状態とすることができる。

【0318】

同様に、回転トラック１０３ｃまたは回転トラック１０３ｄを第２トラック１０２ａおよび第２トラック１０２ｃに対して第２調芯位置とする場合には、回転駆動機構１１０によってこれらのトラック搬送方向を合わせ、トラバース機構１２０によって、トラバーステーブル１２１ｂをトラバース方向に移動する。すると、重量支持部１６１ｄが第２支持台部１６３ｃに乗り上げるとともに、重量支持部１６１ｃが第２支持台部１６３ａに乗り上げる。これにより、トラバーステーブル１２１ｂが第２支持台部１６３ａと第２支持台部１６３ｃとに対して所定の高さとなる。したがって、第２調芯位置において回転トラック１０３ｃまたは回転トラック１０３ｄが、第２トラック１０２ａおよび第２トラック１０２ｃに対して搬送芯高さを合わせた状態とすることができる。

【0319】

同様に、第２支持台部１６３ｂおよび第２支持台部１６３ｄは、第２トラック１０２ｂおよび第２トラック１０２ｄと、回転トラック１０３ａ～１０３ｄのいずれかと、を第２調芯位置とする場合に用いる。

【0320】

回転トラック１０３ａまたは回転トラック１０３ｂを第２トラック１０２ｂおよび第２トラック１０２ｄに対して第２調芯位置とする場合には、回転駆動機構１１０によってこれらのトラック搬送方向を合わせ、トラバース機構１２０によって、トラバーステーブル１２１ａをトラバース方向に移動する。すると、重量支持部１６１ｂが第２支持台部１６３ｄに乗り上げるとともに、重量支持部１６１ａが第２支持台部１６３ｂに乗り上げる。これにより、トラバーステーブル１２１ａが第２支持台部１６３ｄと第２支持台部１６３ｂとに対して所定の高さとなる。したがって、第２調芯位置において回転トラック１０３ａまたは回転トラック１０３ｂが、第２トラック１０２ｂおよび第２トラック１０２ｄに対して搬送芯高さを合わせた状態とすることができる。

【0321】

回転トラック１０３ｃまたは回転トラック１０３ｄを第２トラック１０２ｂおよび第２トラック１０２ｄに対して第２調芯位置とする場合には、回転駆動機構１１０によってこれらのトラック搬送方向を合わせ、トラバース機構１２０によって、トラバーステーブル１２１ｂをトラバース方向に移動する。すると、重量支持部１６１ｄが第２支持台部１６３ｂに乗り上げるとともに、重量支持部１６１ｃが第２支持台部１６３ｄに乗り上げる。これにより、トラバーステーブル１２１ｂが第２支持台部１６３ｂと第２支持台部１６３ｄとに対して所定の高さとなる。したがって、第２調芯位置において回転トラック１０３ｃまたは回転トラック１０３ｄが、第２トラック１０２ｂおよび第２トラック１０２ｄに対して搬送芯高さを合わせた状態とすることができる。

【0322】

なお、上下調芯機構１６０の重量支持部１６１ａ～１６１ｄと第１支持台部１６２ａ～１６２ｄと第２支持台部１６３ａ～１６３ｄとは、第１調芯位置または第２調芯位置で回転トラック１０３ａ～１０３ｄの搬送重量を支持するという意味で、トラバース機構１２０を構成すると表現してもよい。

【0323】

第１トラック１０１ａ～１０１ｄと、第２トラック１０２ａ～１０２ｄと、回転トラック１０３ａ～１０３ｄとは、いずれも搬送トレイＣｓを搬送可能なように、前述した磁気搬送トラック３１０として磁気浮上部３３０と磁気搬送部３２０とを有する。

【0324】

ここで、第１トラック１０１ａ～１０１ｄと第２トラック１０２ａ～１０２ｄとは、チャンバに固定されているため、磁気搬送部３２０の駆動は所定の手法でおこなうことが容易である。しかし、回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、回転軸線Ｚ０のまわりで回転した所定の角度状態でも磁気搬送部３２０の駆動を可能とする必要がある。このため、回転トラック１０３ａ～１０３ｄは、一体として回転するように磁気搬送部３２０が設けられている。

【0325】

図２８は、本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）における動作を説明する上面工程図である。図２９は、本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）における動作を説明する側面工程図である。図３０は、本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）における動作を説明する上面工程図である。図３１は、本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）における動作を説明する側面工程図である。なお、これらの図において、記載を省略している構成もある。

【0326】

ここでは、回転駆動機構１１０によって、回転トラック１０３ａ～１０３ｄがＹ方向に延在する状態における上下調芯機構１６０について説明する。

【0327】

本実施形態において、まず、図２５に示すように、回転トラック１０３ａ～１０３ｄが回転可能位置にある場合を説明する。
この場合、上下調芯機構１６０では、フローティングテーブル１３１ａおよびトラバーステーブル１２１ａの重量支持部１６１ａおよび重量支持部１６１ｂが、第１支持台部１６２ａ～１６２ｄおよび第２支持台部１６３ａ～１６３ｄのすべてに接していない。重量支持部１６１ａおよび重量支持部１６１ｂは、すべての第１支持台部１６２ａ～１６２ｄおよび第２支持台部１６３ａ～１６３ｄよりも平面視して回転軸線Ｚ０に近接した位置にある。

【0328】

同様に、フローティングテーブル１３１ｂおよびトラバーステーブル１２１ｂの重量支持部１６１ｃおよび重量支持部１６１ｄが、第１支持台部１６２ａ～１６２ｄおよび第２支持台部１６３ａ～１６３ｄのすべてに接していない。重量支持部１６１ｃおよび重量支持部１６１ｄは、すべての第１支持台部１６２ａ～１６２ｄおよび第２支持台部１６３ａ～１６３ｄよりも平面視して回転軸線Ｚ０に近接した位置にある。

【0329】

次に、トラバース機構１２０によって、回転トラック１０３ａ～１０３ｄが第２調芯位置までトラバース移動された状態における上下調芯機構１６０について説明する。

【0330】

ここでは、図２８，図２９に示すように、回転トラック１０３ａが第２トラック１０２ａおよび第２トラック１０２ｃに対して第２調芯位置にある。
この場合、上下調芯機構１６０では、フローティングテーブル１３１ａおよびトラバーステーブル１２１ａの重量支持部１６１ａが、第２支持台部１６３ｃに乗り上げている。フローティングテーブル１３１ａおよびトラバーステーブル１２１ａの重量支持部１６１ｂが、第２支持台部１６３ａに乗り上げている。これにより、フローティングテーブル１３１ａ上の回転トラック１０３ａが、第２トラック１０２ａおよび第２トラック１０２ｃに対してＺ方向において、搬送芯を合わせて調芯される。この状態で、調芯機構１５０を動作することで、回転トラック１０３ａが、第２トラック１０２ａおよび第２トラック１０２ｃに対して搬送芯を合わせて調芯される。

【0331】

同様に、図２８，図２９に示すように、回転トラック１０３ｃが第２トラック１０２ｂおよび第２トラック１０２ｄに対して第２調芯位置にある。
この場合、上下調芯機構１６０では、フローティングテーブル１３１ｂおよびトラバーステーブル１２１ｂの重量支持部１６１ｃが、第２支持台部１６３ｄに乗り上げている。フローティングテーブル１３１ｂおよびトラバーステーブル１２１ｂの重量支持部１６１ｄが、第２支持台部１６３ｂに乗り上げている。これにより、フローティングテーブル１３１ｂ上の回転トラック１０３ｃが、第２トラック１０２ｄおよび第２トラック１０２ｂに対してＺ方向において、搬送芯を合わせて調芯される。この状態で、調芯機構１５０を動作することで、回転トラック１０３ｃが、第２トラック１０２ｄおよび第２トラック１０２ｂに対して搬送芯を合わせて調芯される。

【0332】

次に、トラバース機構１２０によって、回転トラック１０３ａ～１０３ｄがさらにトラバース移動された状態における上下調芯機構１６０について説明する。

【0333】

ここでは、図３０，図３１に示すように、回転トラック１０３ｂが第２トラック１０２ａおよび第２トラック１０２ｃに対して第２調芯位置にある。
この場合、上下調芯機構１６０では、フローティングテーブル１３１ａおよびトラバーステーブル１２１ａの重量支持部１６１ａが、第２支持台部１６３ｃに乗り上げている状態は変わらない。第２支持台部１６３ｃに対して、Ｘ方向における重量支持部１６１ａの位置が変化している。

【0334】

フローティングテーブル１３１ａおよびトラバーステーブル１２１ａの重量支持部１６１ｂが、第２支持台部１６３ａに乗り上げている状態は変わらない。第２支持台部１６３ａに対して、Ｘ方向における重量支持部１６１ｂの位置が変化している。
重量支持部１６１ａおよび重量支持部１６１ｂの高さ位置は変化していない。これにより、フローティングテーブル１３１ａ上の回転トラック１０３ｂが、第２トラック１０２ａおよび第２トラック１０２ｃに対してＺ方向において、搬送芯を合わせて調芯される。この状態で、調芯機構１５０を動作することで、回転トラック１０３ｂが、第２トラック１０２ａおよび第２トラック１０２ｃに対して搬送芯を合わせて調芯される。

【0335】

同様に、図３０，図３１に示すように、回転トラック１０３ｄが第２トラック１０２ｂおよび第２トラック１０２ｄに対して第２調芯位置にある。
この場合、上下調芯機構１６０では、フローティングテーブル１３１ｂおよびトラバーステーブル１２１ｂの重量支持部１６１ｃが、第２支持台部１６３ｄに乗り上げている状態は変わらない。第２支持台部１６３ｄに対して、Ｘ方向における重量支持部１６１ｃの位置が変化している。

【0336】

フローティングテーブル１３１ｂおよびトラバーステーブル１２１ｂの重量支持部１６１ｄが、第２支持台部１６３ｂに乗り上げている状態は変わらない。第２支持台部１６３ｂに対して、Ｘ方向における重量支持部１６１ｄの位置が変化している。
重量支持部１６１ｃおよび重量支持部１６１ｄの高さ位置は変化していない。これにより、フローティングテーブル１３１ｂ上の回転トラック１０３ｄが、第２トラック１０２ｄおよび第２トラック１０２ｂに対してＺ方向において、搬送芯を合わせて調芯される。この状態で、調芯機構１５０を動作することで、回転トラック１０３ｄが、第２トラック１０２ｄおよび第２トラック１０２ｂに対して搬送芯を合わせて調芯される。

【0337】

本実施形態においては、上下調芯機構１６０によって、回転トラック１０３ａ～１０３ｄの調芯をより正確におこなうことができる。

【0338】

本実施形態においては、上述した実施形態と同等の効果を奏することができる。

【0339】

以下、本発明に係る基板搬送装置の第３実施形態を、図面に基づいて説明する。

【0340】

図３２は、本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）における上下調芯機構を説明する模式上面図である。図３３は、本実施形態の回転移動ステージ（基板搬送装置）における上下調芯機構を説明する模式側面図である。
本実施形態において、上述した第２実施形態と異なるのは、上下調芯機構に関する点であり、これ以外の上述した第２実施形態と対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。なお、図３２，図３３において、図２５～図３１で記載した符号を省略したものものある。

【0341】

＜上下調芯機構１６０＞
本実施形態においては、第１支持台部１６２ａ～１６２ｄが、Ｙ方向に分割されている。

【0342】

つまり、図３２，図３３に示すように、Ｙ方向に２分割された第１支持台部１６２ａ１および第１支持台部１６２ａ２が第１トラック１０１ａの近傍に配置される。第１支持台部１６２ａ１は、Ｙ方向で第１支持台部１６２ａ２よりも回転軸線Ｚ０に近接する。同様に、Ｙ方向に２分割された第１支持台部１６２ｂ１および第１支持台部１６２ｂ２が第１トラック１０１ｂの近傍に配置される。第１支持台部１６２ｂ１は、Ｙ方向で第１支持台部１６２ｂ２よりも回転軸線Ｚ０に近接する。

【0343】

Ｙ方向に２分割された第１支持台部１６２ｃ１および第１支持台部１６２ｃ２が第１トラック１０１ｃの近傍に配置される。第１支持台部１６２ｃ１は、Ｙ方向で第１支持台部１６２ｃ２よりも回転軸線Ｚ０に近接する。同様に、Ｙ方向に２分割された第１支持台部１６２ｄ１および第１支持台部１６２ｄ２が第１トラック１０１ｄの近傍に配置される。第１支持台部１６２ｄ１は、Ｙ方向で第１支持台部１６２ｄ２よりも回転軸線Ｚ０に近接する。

【0344】

同様に、本実施形態においては、第２支持台部１６３ａ～１６３ｄＸ方向に分割されている。

【0345】

図３２，図３３に示すように、Ｘ方向に２分割された第２支持台部１６３ａ１および第２支持台部１６３ａ２が第２トラック１０２ａの近傍に配置される。第２支持台部１６３ａ１は、Ｘ方向で第２支持台部１６３ａ２よりも回転軸線Ｚ０に近接する。同様に、Ｘ方向に２分割された第２支持台部１６３ｂ１および第２支持台部１６３ｂ２が第２トラック１０２ｂの近傍に配置される。第２支持台部１６３ｂ１は、Ｘ方向で第２支持台部１６３ｂ２よりも回転軸線Ｚ０に近接する。

【0346】

Ｘ方向に２分割された第２支持台部１６３ｃ１および第２支持台部１６３ｃ２が第２トラック１０２ｃの近傍に配置される。第２支持台部１６３ｃ１は、Ｘ方向で第２支持台部１６３ｃ２よりも回転軸線Ｚ０に近接する。同様に、Ｘ方向に２分割された第２支持台部１６３ｄ１および第２支持台部１６３ｄ２が第２トラック１０２ｄの近傍に配置される。第２支持台部１６３ｄ１は、Ｙ方向で第２支持台部１６３ｄ２よりも回転軸線Ｚ０に近接する。

【0347】

本実施形態においては、同じ符号を付した支持台部のうち、回転軸線Ｚ０に近接する符号の下一桁に１を付した支持台部は、フローティングテーブル１３１ａの外側つまり回転軸線Ｚ０から離間した回転トラック１０３ａの調芯位置において、重量支持部１６１ａおよび重量支持部１６１ｂが乗り上げ、フローティングテーブル１３１ｂの外側つまり回転軸線Ｚ０から離間した回転トラック１０３ｄの調芯位置において、重量支持部１６１ｃおよび１６１ｄが乗り上げる。

【0348】

同様に、同じ符号を付した支持台部のうち、回転軸線Ｚ０から離間する符号の下一桁に２を付した支持台部は、フローティングテーブル１３１ａの内側つまり回転軸線Ｚ０に近接する回転トラック１０３ｂの調芯位置において、重量支持部１６１ａおよび重量支持部１６１ｂが乗り上げ、フローティングテーブル１３１ｂの内側つまり回転軸線Ｚ０に近接する回転トラック１０３ｃの調芯位置において、重量支持部１６１ｃおよび重量支持部１６１ｄが乗り上げる。

【0349】

このように、支持台部をトラバース方向に分割したことで、トラバーステーブル１２１ａをトラバース方向に移動して、平行に並ぶ回転トラック１０３ａと回転トラック１０３ｂとを切り替えた場合でも、それぞれのトラックにおける調芯位置をより精密に調整することができる。同様に、トラバーステーブル１２１ｂをトラバース方向に移動して、平行に並ぶ回転トラック１０３ｃと回転トラック１０３ｄとを切り替えた場合でも、それぞれのトラックにおける調芯位置をより精密に調整することができる。

【符号の説明】

【0350】

１００…基板搬送装置（回転移動ステージ）
１００Ｃ…制御部
１０１ａ～１０１ｄ…第１トラック
１０２ａ～１０２ｄ…第２トラック
１０３ａ～１０３ｄ…回転トラック
１１０…回転駆動機構
１２０…トラバース機構
１２１ａ，１２１ｂ…トラバーステーブル
１３０…フローティング機構
１３１ａ，１３１ｂ…フローティングテーブル
１４０…ロック機構
１５０…調芯機構
１６０…上下調芯機構
２００…上回転トラック
３００…磁気浮上トラック（トラック）
３１０…磁気搬送トラック（磁気搬送ユニット）
３２１…磁気回転部（磁気ネジ）
３２３…浮上駆動部
３２４…駆動方向変換部
３３０…磁気浮上部
３３３…ガイドレール
３５０…上ガイドトラック
ＶＭ１…真空処理装置
Ｃｓ…搬送体（搬送トレイ）
Ｆ０ａ，Ｆ０ｂ…フローティング軸線
Ｈ０…回転軸線（搬送軸線）
Ｍｒ１…第１主搬送路（第１メイントラック）
Ｍｒ２…第２主搬送路（第２メイントラック）
Ｍｓ…マスク
Ｓｒ１…第１副搬送路（第１サブトラック）
Ｓｒ２…第２副搬送路（第２サブトラック）
Ｓｗ…基板（被処理基板）
Ｔｃ１～Ｔｃ３…回転チャンバ
Ｐｃ１～Ｐｃ６…プロセスチャンバ
Ｚ０…回転軸線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】