特開 2024-22316 印刷装置及び印刷方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024022316

(43)【公開日】2024-02-16

(54)【発明の名称】印刷装置及び印刷方法

(51)【国際特許分類】

   B41F 15/08 20060101AFI20240208BHJP

   B41M 1/12 20060101ALI20240208BHJP

   H05K 3/34 20060101ALI20240208BHJP

【ＦＩ】

B41F15/08 303E

B41M1/12

H05K3/34 505D

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022125810

(22)【出願日】2022-08-05

(71)【出願人】

【識別番号】000190688

【氏名又は名称】新光電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】平田 春樹

【テーマコード（参考）】

2C035

2H113

5E319

【Ｆターム（参考）】

2C035AA06

2C035FA24

2C035FD01

2C035FD19

2H113AA01

2H113AA05

2H113BA10

2H113BB22

2H113CA17

5E319BB05

5E319CD29

5E319GG20

(57)【要約】

【課題】２つのスキージを用いた印刷において、被印刷物の表面に対するダメージを抑制しつつ印刷品質を保つこと。
【解決手段】印刷装置は、印刷部と、測定部と、制御部とを有する。印刷部は、２つのスキージを印刷マスクの上で順次移動させることにより、印刷マスクの開口を介して被印刷物にペーストを印刷する。測定部は、印刷されたペーストの膜厚を測定する。制御部は、各部を制御する。制御部は、測定部による膜厚の測定結果に基づいて、２つのスキージのうち最後に移動する一方のスキージの印圧を制御する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

２つのスキージを印刷マスクの上で順次移動させることにより、前記印刷マスクの開口を介して被印刷物にペーストを印刷する印刷部と、
印刷された前記ペーストの膜厚を測定する測定部と、
各部を制御する制御部と
を有し、
前記制御部は、
前記測定部による前記膜厚の測定結果に基づいて、前記２つのスキージのうち最後に移動する一方のスキージの印圧を制御する制御部と
を有することを特徴とする印刷装置。

【請求項2】

前記膜厚の所定の目標値からの差分ごとに前記印圧の制御量を対応付けて記憶する制御量テーブルを記憶する記憶部をさらに有し、
前記制御部は、
前記制御量テーブルを参照して、前記測定部によって測定された前記膜厚と前記目標値との差分に対応する前記制御量で前記一方のスキージの印圧を制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の印刷装置。

【請求項3】

前記制御部は、
前記測定部によって測定された前記膜厚と前記目標値との差分に対応する前記制御量を現在の前記一方のスキージの印圧に加算した加算印圧を算出し、前記加算印圧が所定の上限値を上回る場合又は所定の下限値を下回る場合、アラートを通知する
ことを特徴とする請求項２に記載の印刷装置。

【請求項4】

前記制御部は、
前記２つのスキージのうち最初に移動する他方のスキージの印圧が前記一方のスキージの印圧よりも低い一定値となるように前記他方のスキージの印圧を制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の印刷装置。

【請求項5】

２つのスキージを印刷マスクの上で順次移動させることにより、前記印刷マスクの開口を介して被印刷物にペーストを印刷し、
印刷された前記ペーストの膜厚を測定し、
前記膜厚の測定結果に基づいて、前記２つのスキージのうち最後に移動する一方のスキージの印圧を制御する
工程を含むことを特徴とする印刷方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、印刷装置及び印刷方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、スクリーン印刷方式を用いて印刷を行う印刷装置がある。かかる印刷装置では、被印刷物の上に印刷マスクを載置し、スキージを印刷マスクの上で移動させることで、印刷マスクの開口を介して被印刷物にペーストを印刷する。

【0003】

ここで、印刷マスクの上で移動するスキージの消耗が印刷品質に影響する。被印刷物に印刷されるペーストの膜厚は、スキージの消耗が大きくなるほど、厚くなる傾向がある。このため、ペーストの膜厚を管理するための種々の手法が提案されている。例えば、スキージを用いてペーストの印刷を行った後に、ペーストの膜厚を測定し、膜厚の測定結果に基づきスキージの印圧を制御する技術が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平５－１３９２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、最近の印刷装置では、２つのスキージを用いて印刷を行うものがある。かかる印刷装置では、２つのスキージを印刷マスクの上で順次移動させることで、印刷マスクの開口を介して被印刷物にペーストを印刷する。このとき、２つのスキージのうち最初に移動するスキージ（以下「第１スキージ」と呼ぶ。）によって、ペーストが印刷マスクの開口から押し出されて被印刷物に比較的に薄く塗布される。一方、２つのスキージのうち最後に移動するスキージ（以下「第２スキージ」と呼ぶ。）によって、ペーストが印刷マスクの開口から押し出されて被印刷物にさらに塗布され、ペーストの膜厚が所望の膜厚に調節される。

【0006】

これらの２つのスキージの印圧が上述したペーストの膜厚の測定結果に基づき一律に制御される場合、被印刷物の表面に対してダメージが付与されるおそれがある。すなわち、２つのスキージを用いた印刷においては、ペーストの膜厚の増加に伴って、第１スキージの印圧が第２スキージの印圧とともに増加する。第１スキージの印圧が増加すると、第１スキージの先端が印刷マスクの開口を通過して未だペーストが塗布されていない被印刷物の表面に当接する。その結果、第１スキージの先端によって被印刷物の表面が傷付けられ、被印刷物の表面に対してダメージが付与される可能性がある。

【0007】

開示の技術は、上記に鑑みてなされたものであって、２つのスキージを用いた印刷において、被印刷物の表面に対するダメージを抑制しつつ印刷品質を保つことができる印刷装置及び印刷方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本願の開示する印刷装置は、一つの態様において、印刷部と、測定部と、制御部とを有する。印刷部は、２つのスキージを印刷マスクの上で順次移動させることにより、印刷マスクの開口を介して被印刷物にペーストを印刷する。測定部は、印刷されたペーストの膜厚を測定する。制御部は、各部を制御する。制御部は、測定部による膜厚の測定結果に基づいて、２つのスキージのうち最後に移動する一方のスキージの印圧を制御する。

【発明の効果】

【0009】

本願の開示する印刷装置の一つの態様によれば、２つのスキージを用いた印刷において、被印刷物の表面に対するダメージを抑制しつつ印刷品質を保つをことができる、という効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、実施形態に係る印刷装置の構成例を示す左側面図である。

【図2】図２は、実施形態に係る印刷部をＸ軸正方向から見た側面図である。

【図3】図３は、実施形態に係る印圧制御量テーブルの一例を示す図である。

【図4】図４は、実施形態に係る印刷装置の処理動作の一例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下に、本願の開示する印刷装置及び印刷方法の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態により開示技術が限定されるものではない。

【0012】

以下参照する各図面では、説明を分かりやすくするために、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向を規定し、Ｚ軸正方向を鉛直上向き方向とする直交座標系を示す。

【0013】

また、ここでは、Ｘ軸負方向を前方とし、Ｘ軸正方向を後方とする前後方向を規定し、Ｙ軸正方向を右方とし、Ｙ軸負方向を左方とする左右方向を規定する。また、Ｚ軸正方向を上方とし、Ｚ軸負方向を下方とする上下方向を規定する。

【0014】

実施形態に係る印刷装置１の構成について図１を参照して説明する。図１は、実施形態に係る印刷装置１の構成例を示す左側面図である。図１に示す印刷装置１は、被印刷物である基板Ｗに対してスクリーン印刷方式でペーストＰの印刷を行う。ペーストＰとしては、例えば、フラックスやはんだペースト等が用いられる。印刷装置１は、印刷部２と、搬送部３と、測定部４とを有する。

【0015】

図２は、実施形態に係る印刷部２をＸ軸正方向から見た側面図である。印刷部２は、図２に示すように、保持台２１と、印刷マスク２２と、第１スキージ２３＿１と、第２スキージ２３＿２と、第１昇降機構２４＿１と、第２昇降機構２４＿２と、移動プレート２５とを有する。なお、以下では、第１スキージ２３＿１及び第２スキージ２３＿２を総称して「スキージ２３」と記載することがある。また、第１昇降機構２４＿１及び第２昇降機構２４＿２を総称して「昇降機構２４」と記載することがある。

【0016】

保持台２１は、基板Ｗを水平に保持する。

【0017】

印刷マスク２２は、例えば金属からなる板状部材である。印刷マスク２２は、スクリーン版とも呼ばれる。印刷マスク２２には、所定のパターンを有する開口（不図示）が形成されている。印刷マスク２２は、基板Ｗに当接する印刷位置と、印刷位置の上方に位置する退避位置との間で移動可能に構成される。

【0018】

２つのスキージ２３は、例えば樹脂製ゴム等からなる弾性部材である。２つのスキージ２３は、左右方向に沿って並べて配置される。２つのスキージ２３は、２つのスキージ２３を昇降させる２つの昇降機構２４にそれぞれ取り付けられる。具体的には、第１スキージ２３＿１は、第１昇降機構２４＿１に取り付けられ、第１昇降機構２４＿１によって上下方向に昇降可能である。また、第２スキージ２３＿２は、第２昇降機構２４＿２に取り付けられ、第２昇降機構２４＿２によって上下方向に昇降可能である。

【0019】

２つの昇降機構２４は、移動プレート２５に取り付けられる。昇降機構２４の下端には、スキージ２３が取り付けられる。昇降機構２４は、スキージ２３を前後方向と平行な軸を中心に回動自在に支持する。昇降機構２４は、スキージ２３を昇降させる。具体的には、昇降機構２４は、アクチュエータを有し、かかるアクチュエータの駆動力によりロッド２４ａを伸縮させてスキージ２３を昇降させる。昇降機構２４は、スキージ２３を昇降させることにより、スキージ２３の印刷マスク２２に対する押圧力（つまり、印圧）を変更することができる。具体的には、昇降機構２４は、ロッド２４ａを伸長させてスキージ２３を降下させることにより、スキージ２３の印圧を増加させることができ、ロッド２４ａを縮退させてスキージ２３を上昇させることにより、スキージ２３の印圧を減少させることができる。なお、昇降機構２４は、ロッド２４ａを伸縮させる駆動力を得るものであれば如何なる機構であってもよく、例えば、空圧や油圧等によってロッド２４ａを伸縮させる駆動力を得る機構であってもよい。

【0020】

移動プレート２５は、左右方向に延びるガイドレール（不図示）に取り付けられ、例えばリニアモータ等の駆動部によってガイドレールに沿って、左右方向に移動可能である。

【0021】

かかる印刷部２は、２つのスキージ２３を印刷マスク２２の上で順次移動させることにより、印刷マスク２２の開口を介して基板ＷにペーストＰを印刷する。

【0022】

すなわち、印刷部２は、印刷部２に搬入された基板Ｗを保持台２１に保持すると、印刷マスク２２を退避位置から印刷位置に移動させて印刷マスク２２を基板Ｗに当接させる。印刷マスク２２の上には、予めペーストＰが載せられる。続いて、印刷部２は、第１昇降機構２４＿１を用いて２つのスキージ２３のうち第１スキージ２３＿１を降下させることにより、第１スキージ２３＿１を印刷マスク２２に押し付ける。続いて、印刷部２は、移動プレート２５を右方向に移動させることによって第１昇降機構２４＿１と共に第１スキージ２３＿１を印刷マスク２２の上で右方向に移動させる。これにより、印刷マスク２２の上に載せられたペーストＰが印刷マスク２２の開口から押し出され、基板Ｗに塗布される。第１スキージ２３＿１の移動を終了すると、印刷部２は、第１昇降機構２４＿１を用いて第１スキージ２３＿１を上昇させる。続いて、印刷部２は、第２昇降機構２４＿２を用いて第２スキージ２３＿２を降下させることにより、第２スキージ２３＿２を印刷マスク２２に押し付ける。続いて、印刷部２は、移動プレート２５を左方向に移動させることによって第２昇降機構２４＿２と共に第２スキージ２３＿２を印刷マスク２２の上で左方向に移動させる。これにより、印刷マスク２２の上に載せられたペーストＰが印刷マスク２２の開口から押し出され、基板Ｗに塗布される。第２スキージ２３＿２の移動を終了すると、印刷部２は、第２昇降機構２４＿２を用いて第２スキージ２３＿２を上昇させる。続いて、印刷部２は、印刷マスク２２を印刷位置から退避位置に移動させ、一つの基板Ｗに対するペーストＰの印刷を完了する。

【0023】

図１の説明に戻る。搬送部３は、印刷部２と測定部４との間に設けられ、内部に基板搬送装置３１を有する。基板搬送装置３１は、基板Ｗを保持する基板保持機構を有する。また、基板搬送装置３１は、前後方向及び鉛直方向への移動が可能であり、基板保持機構を用いて印刷部２と測定部４との間で基板Ｗの搬送を行う。

【0024】

測定部４は、基板Ｗに印刷されたペーストＰの膜厚を測定する。測定部４は、保持台４１と、膜厚センサ４２とを有する。保持台４１は、基板Ｗを水平に保持する。

【0025】

膜厚センサ４２は、基板Ｗに印刷されたペーストＰの膜厚を非接触で測定する。膜厚センサ４２としては、例えば、レーザ光を基板Ｗに照射し、ペーストＰの表裏面で反射する光の干渉状態から膜厚を測定する分光干渉式膜厚センサを用いることができる。

【0026】

かかる測定部４は、印刷部２によってペーストＰが印刷された基板Ｗが搬送部３によって測定部４に搬送されると、該基板Ｗを保持台４１に保持し、膜厚センサ４２を用いてペーストＰの膜厚を測定する。

【0027】

また、印刷装置１は、制御装置５を備える。制御装置５は、たとえばコンピュータであり、制御部５１と記憶部５２とを備える。記憶部５２には、印刷装置１において実行される各種の処理を制御するプログラムが格納される。制御部５１は、記憶部５２に記憶されたプログラムを読み出して実行することによって印刷装置１の動作を制御する。

【0028】

なお、かかるプログラムは、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御装置５の記憶部５２にインストールされたものであってもよい。コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体としては、たとえばハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルディスク（ＭＯ）、メモリカードなどがある。

【0029】

ところで、印刷装置１では、複数の基板Ｗに対する印刷が順次行われると、印刷部２におけるスキージ２３が徐々に消耗して、基板Ｗに印刷されるペーストＰの膜厚が変動する。すなわち、基板Ｗに印刷されるペーストＰの膜厚は、スキージ２３の消耗が大きくなるほど、厚くなる傾向がある。

【0030】

これに対し、ペーストＰの膜厚を管理するための技術として、ペーストＰの膜厚を測定し、膜厚の測定結果に基づき、２つのスキージ２３の印圧を制御することが考えられる。例えば、ペーストＰの膜厚の増加に伴って２つのスキージ２３の印圧を一律に増加させることが考えられる。

【0031】

しかしながら、ペーストＰの膜厚の増加に伴って２つのスキージ２３の印圧を一律に増加させる技術では、２つのスキージ２３のうち最初に移動する第１スキージ２３＿１の先端が印刷マスク２２の開口を通過して未だペーストＰが塗布されていない基板Ｗの表面に当接する。その結果、第１スキージ２３＿１の先端によって基板Ｗの表面が傷付けられ、基板Ｗの表面に対してダメージが付与される可能性がある。

【0032】

そこで、実施形態に係る印刷装置１において、制御部５１は、印刷されたペーストＰの膜厚の測定結果に基づいて第２昇降機構２４＿２を制御することにより、２つのスキージ２３のうち最後に移動する第２スキージ２３＿２の印圧を制御することとした。これにより、第１スキージ２３＿１によって基板Ｗにある程度の膜厚でペーストＰが塗布された後に、基板Ｗの表面がペーストＰによって覆われた状態で第２スキージ２３＿２によってペーストＰの膜厚が所望の膜厚に調節される。このとき、仮に第２スキージ２３＿２の先端が印刷マスク２２の開口を通過する場合でも、基板Ｗの表面が既に塗布されたペーストＰによって保護されるているため、第２スキージ２３＿２の先端によって基板Ｗの表面が傷付けられ難い。結果として、２つのスキージ２３を用いた印刷において、基板Ｗの表面に対するダメージを抑制しつつ印刷品質を保つことができる。

【0033】

また、制御部５１は、図３に示す印圧制御量テーブルを参照して、測定部４による測定膜厚と所定の目標値との差分に対応する制御量で第２スキージ２３＿２の印圧を制御する。図３は、実施形態に係る印圧制御量テーブルの一例を示す図である。図３に示す印圧制御量テーブルは、ペーストＰの膜厚の所定の目標値βからの差分α（μｍ）ごとに第２スキージ２３＿２の印圧制御量ΔＰ（ＭＰａ）を対応付けて記憶するテーブルであり、シミュレーション等によって予め作成され、記憶部５２に記憶される。差分αは、以下の式（１）に従って算出される値である。
α＝（ペーストＰの膜厚）－β ・・・ （１）
ここで、式（１）は、差分αが正の値になる場合、ペーストＰの膜厚が目標値βよりも大きいことを示し、差分αが負の値になる場合、ペーストＰの膜厚が目標値βよりも小さいことを示す。

【0034】

制御部５１は、印圧制御量テーブルを参照し、測定部４による測定膜厚と所定の目標値βとの差分αに対応する印圧制御量ΔＰを決定し、印圧制御量ΔＰで第２昇降機構２４＿２を制御することで第２スキージ２３＿２の印圧を制御する。例えば、差分αが１．５（μｍ）である場合、制御部５１は、第２スキージ２３＿２の印圧を０．０２（ＭＰａ）だけ増加させる。また、例えば、差分αが－２．５（μｍ）である場合、制御部５１は、第２スキージ２３＿２の印圧を０．０３（ＭＰａ）だけ減少させる。

【0035】

制御部５１が差分αに応じて第２スキージ２３＿２の印圧を増加又は減少させることにより、測定部４によって測定されるペーストＰの膜厚の値が目標値βに近づく。すなわち、差分αが正の値になる場合、つまり、ペーストＰの膜厚が目標値βよりも大きい場合、第２スキージ２３＿２の印圧を増加させることにより、ペーストＰの膜厚を目標値βに向けて減少させることができる。また、差分αが負の値になる場合、つまり、ペーストＰの膜厚が目標値βよりも小さい場合、第２スキージ２３＿２の印圧を減少させることにより、ペーストＰの膜厚を目標値βに向けて増加させることができる。

【0036】

このように、制御部５１が印圧制御量テーブルを参照して測定部４による測定膜厚から決定した印圧制御量ΔＰで第２スキージ２３＿２を制御することで、複雑な演算を行うことなくペーストＰの膜厚を目標値βに迅速に近づけることができる。

【0037】

ところで、第２スキージ２３＿２の印圧が過度に増加又は減少して許容範囲から逸脱する場合には、種々の不具合が発生することがある。例えば、第２スキージ２３＿２の印圧が所定の上限値を上回る場合、第２スキージ２３＿２から印刷マスク２２へ付与される負荷が大きくなり、印刷マスク２２が破損してしまうおそれがある。また、例えば、第２スキージ２３＿２の印圧が所定の下限値を下回る場合、第２スキージ２３＿２が印刷マスク２２から離れてしまい、印刷マスク２２の上に載せられたペーストＰが印刷マスク２２の開口から押し出されない印刷不良が発生するおそれがある。

【0038】

そこで、制御部５１は、測定部４による測定膜厚と所定の目標値βとの差分αに対応する印圧制御量ΔＰを第２スキージ２３＿２の印圧の現在値に加算して加算印圧を算出し、加算印圧が上限値を上回る場合又は下限値を下回る場合、アラートを通知してもよい。アラートは、印刷装置１の管理者などに異常を報知できれば、いずれの方式で通知されてもよい。例えば、制御部５１は、印刷装置１が有する表示装置等のユーザインタフェース（不図示）に異常を報知するメッセージを表示してもよい。

【0039】

これにより、実施形態に係る印刷装置１は、第２スキージ２３＿２の印圧が許容範囲から逸脱したことに伴う印刷装置１の不具合を事前に報知することができる。

【0040】

次に、実施形態に係る印刷装置１の処理動作について図４を参照して説明する。図４は、実施形態に係る印刷装置１の処理動作の一例を示すフローチャートである。図４に示す各処理は、制御部５１による制御に従って実行される。また、図４に示す処理動作は、所定のタイミング、例えば、基板Ｗが印刷部２の保持台２１に保持されたタイミングで開始される。

【0041】

まず、制御部５１は、印刷部２を制御して、２つのスキージ２３を印刷マスク２２の上で順次移動させることにより、印刷マスク２２の開口を介して基板ＷにペーストＰを印刷する（ステップＳ１０１）。具体的には、制御部５１は、第１スキージ２３＿１及び第２スキージ２３＿２を印刷マスクの上でこの順番に移動させることにより、基板ＷにペーストＰを印刷する。基板Ｗに対するペーストＰの印刷を終了すると、制御部５１は、搬送部３を制御して、印刷部２の保持台２１から測定部４の保持台４１に基板Ｗを搬送する。

【0042】

次に、制御部５１は、測定部４を制御して、基板Ｗに印刷されたペーストＰの膜厚を測定する（ステップＳ１０２）。

【0043】

次に、制御部５１は、測定部４による測定膜厚を用いて印圧制御量テーブルを参照し、測定部４による測定膜厚と所定の目標値βとの差分αに対応する印圧制御量ΔＰを決定する（ステップＳ１０３）。そして、制御部５１は、決定した印圧制御量ΔＰを第２スキージ２３＿２の印圧の現在値に加算して加算印圧を算出する（ステップＳ１０４）。

【0044】

次に、制御部５１は、加算印圧が所定の上限値を上回るか否かを判定する（ステップＳ１０５）。加算印圧が所定の上限値を上回らない場合（ステップＳ１０５；Ｎｏ）、制御部５１は、加算印圧が所定の下限値を下回るか否かを判定する（ステップＳ１０６）。

【0045】

加算印圧が所定の下限値を下回らない場合（ステップＳ１０６；Ｎｏ）、制御部５１は、ステップＳ１０３で決定した印圧制御量ΔＰで第２昇降機構２４＿２を制御することにより、第２スキージ２３＿２の印圧を制御する（ステップＳ１０７）。

【0046】

一方、加算印圧が所定の上限値を上回る場合（ステップＳ１０５；Ｙｅｓ）又は所定の下限値を下回る場合（ステップＳ１０６；Ｙｅｓ）、制御部５１は、アラートを通知する（ステップＳ１０８）。

【0047】

ステップＳ１０７，Ｓ１０８の処理を終了したとき、制御部５１は、図示しない搬送部を制御して、測定部４の保持台４１から印刷装置１の外部に基板Ｗを搬出し（ステップＳ１０９）、処理を完了する。

【0048】

なお、制御部５１は、図４に示す処理動作を行う間、第１昇降機構２４＿１を制御して、２つのスキージ２３のうち第１スキージ２３＿１の印圧が第２スキージ２３＿２の印圧よりも低い一定値となるように第１スキージ２３＿１の印圧を制御してもよい。

【0049】

（その他の変形例）
上記実施形態では、測定部４による膜厚の測定結果に基づき、第２スキージ２３＿２の印圧を制御する場合を例に説明したが、印圧以外の他の印刷パラメータが制御されてもよい。例えば、制御部５１は、測定部４による膜厚の測定結果に基づき、第２スキージ２３＿２の移動速度又は角度を制御してもよい。また、例えば、制御部５１は、測定部４による膜厚の測定結果に基づき、第２スキージ２３＿２の印圧、移動速度及び角度の少なくとも一つを制御してもよい。

【0050】

以上のように、実施形態に係る印刷装置（例えば、印刷装置１）は、印刷部（例えば、印刷部２）と、測定部（例えば、測定部４）と、制御部（例えば、制御部５１）とを有する。印刷部は、２つのスキージ（例えば、第１スキージ２３＿１及び第２スキージ２３＿２）を印刷マスク（例えば、印刷マスク２２）の上で順次移動させることにより、印刷マスクの開口を介して被印刷物（例えば、基板Ｗ）にペーストを印刷する。測定部は、印刷されたペーストの膜厚を測定する。制御部は、各部を制御する。制御部は、測定部による膜厚の測定結果に基づいて、２つのスキージのうち最後に移動する一方のスキージ（例えば、第２スキージ２３＿２）の印圧を制御する。これにより、実施形態に係る印刷装置によれば、２つのスキージを用いた印刷において、被印刷物の表面に対するダメージを抑制しつつ印刷品質を保つことができる。

【0051】

また、実施形態に係る印刷装置は、膜厚の所定の目標値（例えば、目標値β）からの差分（例えば、差分α）ごとに印圧の制御量（例えば、印圧制御量ΔＰ）を対応付けて記憶する制御量テーブル（例えば、印圧制御量テーブル）を記憶する記憶部（例えば、記憶部５２）をさらに有してもよい。制御部は、制御量テーブルを参照して、測定部によって測定された膜厚と目標値との差分に対応する制御量で一方のスキージの印圧を制御してもよい。これにより、実施形態に係る印刷装置によれば、複雑な演算を行うことなくペーストの膜厚を目標値に迅速に近づけることができる。

【0052】

また、制御部は、測定部によって測定された膜厚と目標値との差分に対応する制御量を現在の一方のスキージの印圧に加算した加算印圧を算出し、加算印圧が所定の上限値を上回る場合又は所定の下限値を下回る場合、アラートを通知してもよい。これにより、実施形態に係る印刷装置によれば、一方のスキージの印圧が許容範囲から逸脱したことに伴う印刷装置の不具合を事前に報知することができる。

【0053】

また、制御部は、２つのスキージのうち最初に移動する他方のスキージ（例えば、第１スキージ２３＿１）の印圧が一方のスキージの印圧よりも低い一定値となるように他方のスキージの印圧を制御してもよい。これにより、実施形態に係る印刷装置によれば、２つのスキージを用いた印刷において、被印刷物の表面に対するダメージを抑制しつつ印刷品質を保つことができる。

【符号の説明】

【0054】

１ 印刷装置
２ 印刷部
３ 搬送部
４ 測定部
５ 制御装置
２１ 保持台
２２ 印刷マスク
２３＿１ 第１スキージ
２３＿２ 第２スキージ
２３ スキージ
２４＿１ 第１昇降機構
２４＿２ 第２昇降機構
２４ 昇降機構
２４ａ ロッド
２５ 移動プレート
３１ 基板搬送装置
４１ 保持台
４２ 膜厚センサ
５１ 制御部
５２ 記憶部
Ｗ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】