特開2024-23684電子ビーム検査システム及び方法

発明の名称　電子ビーム検査システム及び方法

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 347 位（82件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 280 位（91件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-23684

公報発行日　2024年2月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-23684

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