特開 2024-25708 サセプターリフトツールのための方法及び装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024025708

(43)【公開日】2024-02-26

(54)【発明の名称】サセプターリフトツールのための方法及び装置

(51)【国際特許分類】

   B66C 1/10 20060101AFI20240216BHJP

   F16B 45/00 20060101ALI20240216BHJP

【ＦＩ】

B66C1/10 Z

F16B45/00 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】20

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2023127878

(22)【出願日】2023-08-04

(31)【優先権主張番号】63/396,667

(32)【優先日】2022-08-10

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】519237203

【氏名又は名称】エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー

(74)【代理人】

【識別番号】100108453

【弁理士】

【氏名又は名称】村山 靖彦

(74)【代理人】

【識別番号】100110364

【弁理士】

【氏名又は名称】実広 信哉

(74)【代理人】

【識別番号】100133400

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 達彦

(72)【発明者】

【氏名】ルチク・バット

(72)【発明者】

【氏名】マシュー・リケッツ

【テーマコード（参考）】

3F004

3J038

【Ｆターム（参考）】

3F004AA08

3F004AB19

3F004AD08

3J038AA01

3J038BA11

3J038BB07

(57)【要約】

【課題】本発明の実施形態は、サセプターの移動を容易にするために使用される、リフトツールを提供する。
【解決手段】リフトツールは、プレート形状の中央領域と、中央領域に接続され、かつ中央領域から外向きに延在する複数のアームを含み、各アームは、スルーホールを含む。リフトツールはまた、それぞれのアームのスルーホールを通って延在する、複数のフックも含む。各フックは、脚と、脚に接続された足とを含んでもよい。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

リフトツールであって、
プレートと、
前記中央プレートに接続され、かつ前記中央プレートから外向きに延在する複数のアームであって、各アームがスルーホールを備える、複数のアームと、
複数のフックであって、各フックが、
それぞれのアームの前記スルーホールを通って延在し、かつ第一の端部及び第二の端部を備える脚と、
前記第二の端部に接続された足とを備える、複数のフックと、を備える、リフトツール。

【請求項2】

前記複数のアームが、少なくとも６つのアームを備える、請求項１に記載のリフトツール。

【請求項3】

各アームが、前記プレートに接続された第一の端部と、第二の端部を備え、かつ前記スルーホールが、前記第二の端部に隣接している、請求項１に記載のリフトツール。

【請求項4】

前記脚が、直線的であり、かつ前記アームに対して垂直である、請求項１に記載のリフトツール。

【請求項5】

前記足が、前記脚に対して垂直である、請求項１に記載のリフトツール。

【請求項6】

前記脚及び足が、Ｌ字型を形成する、請求項１に記載のリフトツール。

【請求項7】

前記フックが、前記アームに対して可動的に結合される、請求項１に記載のリフトツール。

【請求項8】

前記複数のアームからの第一のアーム及び第二のアームに結合された、第一のハンドルと、前記複数のアームからの第三のアーム及び第四のアームに結合された、第二のハンドルと、をさらに備える、請求項１に記載のリフトツール。

【請求項9】

アセンブリであって、
リフトツールであって、
プレートと、
前記中央プレートに接続され、かつ前記中央プレートから外向きに延在する複数のアームであって、各アームがスルーホールを備える、複数のアームと、
複数のフックであって、各フックが、
それぞれのアームの前記スルーホールを通って延在し、かつ第一の端部及び第二の端部を備える脚と、
前記第二の端部に接続された足とを備える、複数のフックと、を備える、リフトツールと、
スタンドであって、
第一の表面及び第二の表面を備える基部と、
第一の複数の支持体であって、各支持体が、前記基部の前記第一の表面に接続された第一の端部、及び前記基部から離れるように延在する第二の端部を備える、第一の複数の支持体と、
第一の表面及び第二の表面を備える支持リングであって、前記第二の表面が、前記第一の複数の支持体の前記第二の端部に接続される、支持リングと、
二次的支持構造であって、スロットを有するディスクと、前記ディスクを前記基部の前記第一の表面に接続する、第二の複数の支持体とを備える、二次的支持構造と、を備えるスタンドと、を備える、アセンブリ。

【請求項10】

前記脚及び足が、Ｌ字型を形成する、請求項９に記載のアセンブリ。

【請求項11】

前記フックが、前記アームに対して可動的に結合される、請求項９に記載のアセンブリ。

【請求項12】

前記複数のアームが、少なくとも６つのアームを備える、請求項９に記載のアセンブリ。

【請求項13】

前記第一の複数の支持体が、第一の長さを有し、かつ前記第二の複数の支持体が、前記第一の長さよりも小さい第二の長さを有する、請求項９に記載のアセンブリ。

【請求項14】

各脚が、９０～１２０の範囲の長さを有し、各足が、３ｍｍ～６．５ｍｍの範囲の幅を有する、請求項９に記載のアセンブリ。

【請求項15】

リフトツールであって、
金属材料を含むプレートと、
前記中央プレートから放射状に外向きに延在する複数のアームであって、各アームがスルーホールを備える、複数のアームと、
複数のフックであって、各フックが、
それぞれのアームの前記スルーホールを通って延在し、かつねじ付き部分を備える第一の端部と、第二の端部とを備える脚と、
前記第二の端部に接続された足とを備える、複数のフックと、を備える、リフトツール。

【請求項16】

各脚が、９０ｍｍ～１２０ｍｍの範囲の長さを有し、かつ各足が、３ｍｍ～６．５ｍｍの範囲の幅を有する、請求項１５に記載のリフトツール。

【請求項17】

前記フックが、ねじ付き締め具によって、前記第一の端部で、前記アームに回転可能に結合される、請求項１５に記載のリフトツール。

【請求項18】

前記脚及び足が、Ｌ字型を形成する、請求項１５に記載のリフトツール。

【請求項19】

前記プレートの中央に結合された留め具をさらに備える、請求項１５に記載のリフトツール。

【請求項20】

前記脚が、直線的であり、かつ前記アームに対して垂直である、請求項１５に記載のリフトツール。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、概して、サセプターリフトツールのための方法及び装置に関する。より具体的には、本開示は、サセプターを、反応チャンバから、及び／又は反応チャンバへ、持ち上げ、かつ移動させるのを容易にするために使用される、装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造で使用されるサセプターは、反応チャンバ内に配置される。メンテナンスのために、時宜に応じて、サセプターを反応チャンバから取り外す必要がある場合がある。取り外し／設置プロセスは、サセプターを損傷するリスクがあるため困難である可能性があり、適切に行われなければ危険である可能性がある。反応チャンバからサセプターを取り外すために使用される従来のツールでは、嵩張り、及び／又は操作が困難である場合があり、サセプター若しくは他のツールの構成要素を損傷する、より高いリスクが発生する。

【発明の概要】

【課題を解決するための手段】

【0003】

本技術の様々な実施形態は、サセプターの移動を容易にするために使用される、リフトツールを提供しうる。リフトツールは、プレート形状の中央領域と、中央領域に接続され、かつ中央領域から外向きに延在する複数のアームとを含み、各アームは、スルーホールを含む。リフトツールはまた、それぞれのアームのスルーホールを通って延在する、複数のフックも含む。各フックは、脚と、脚に接続された足とを含んでもよい。

【0004】

一態様によれば、リフトツールは、プレートと；中央プレートに接続され、かつ中央プレートから外向きに延在する複数のアームであって、各アームが、スルーホールを備える、複数のアームと；複数のフックであって、各フックが、それぞれのアームのスルーホールを通って延在し、かつ第一の端部及び第二の端部を備える脚と、第二の端部に接続された足とを備える、複数のフックと、を備える。

【0005】

上記リフトツールの一実施形態では、複数のアームは、少なくとも６つのアームを備える。

【0006】

上記リフトツールの一実施形態では、各アームは、プレートに接続された第一の端部と、第二の端部とを備え、またスルーホールは、第二の端部に隣接している。

【0007】

上記リフトツールの一実施形態では、脚は、直線的であり、かつアームに対して垂直である。

【0008】

上記リフトツールの一実施形態では、足は、脚に対して垂直である。

【0009】

上記リフトツールの一実施形態では、脚及び足は、Ｌ字型を形成する。

【0010】

上記リフトツールの一実施形態では、フックは、アームに対して可動的に結合される。

【0011】

上記の一実施形態では、リフトツールは、複数のアームからの第一のアーム及び第二のアームに結合された、第一のハンドル、並びに複数のアームからの第三のアーム及び第四のアームに結合された、第二のハンドルを、さらに備える。

【0012】

別の態様によれば、アセンブリは、リフトツールを備え、リフトツールは、プレートと、中央プレートに接続され、かつ中央プレートから外向きに延在する複数のアームであって、各アームがスルーホールを備える、複数のアームと、複数のフックであって、各フックが、それぞれのアームのスルーホールを通って延在し、かつ第一の端部及び第二の端部を備える脚と、第二の端部に接続された足とを備える、複数のフックとを備え、並びにアセンブリは、スタンドを備え、スタンドは、第一の表面及び第二の表面を備える基部と、第一の複数の支持体であって、各支持体が、基部の第一の表面に接続された第一の端部と、基部から離れるように延在する第二の端部とを備える、第一の複数の支持体と、第一の表面及び第二の表面を備えるリングであって、第二の表面が、第一の複数の支持体の第二の端部に接続される、リングと、二次的支持構造であって、スロットを有するディスクと、ディスクを基部の第一の表面に接続する、第二の複数の支持体とを備える、二次的支持構造とを備える。

【0013】

上記アセンブリの一実施形態では、脚及び足は、Ｌ字型を形成する。

【0014】

上記アセンブリの一実施形態では、フックは、アームに対して可動的に結合される。

【0015】

上記アセンブリの一実施形態では、複数のアームは、少なくとも６つのアームを備える。

【0016】

上記アセンブリの一実施形態では、第一の複数の支持体は、第一の長さを有し、また第二の複数の支持体は、第一の長さよりも小さい第二の長さを有する。

【0017】

上記アセンブリの一実施形態では、各脚は、９０～１２０の範囲の長さを有し、また各足は、３ｍｍ～６．５ｍｍの範囲の幅を有する。

【0018】

さらに別の実施形態によれば、リフトツールは、金属材料を含むプレートと、中央プレートから放射状に外向きに延在する複数のアームであって、各アームがスルーホールを備える、複数のアームと、複数のフックであって、各フックが、それぞれのアームのスルーホールを通って延在し、かつねじ付き部分を備える第一の端部と、第二の端部とを備える脚と、第二の端部に接続された足とを備える、複数のフックと、を備える。

【0019】

上記リフトツールの一実施形態では、各脚は、９０ｍｍ～１２０ｍｍの範囲の長さを有し、また各足は、３ｍｍ～６．５ｍｍの範囲の幅を有する。

【0020】

上記リフトツールの一実施形態では、フックは、ねじ付き留め具によって、第一の端部で、アームに対して回転可能に結合される。

【0021】

上記リフトツールの一実施形態では、脚及び足は、Ｌ字型を形成する。

【0022】

上記の一実施形態では、リフトツールは、プレートの中心に結合された留め具を、さらに備える。

【0023】

上記リフトツールの一実施形態では、脚は、直線的であり、かつアームに対して垂直である。

【0024】

本明細書で開示される本発明のこれら及び他の特徴、態様、及び利点は、本発明を例示することを意図し、また本発明を限定することを意図しない、特定の実施形態の図面を参照しながら以下で記述される。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】図１は、本技術の一実施形態による、使用中のサセプターリフト及びスタンドを、代表的に図示する。

【図2】図２は、本技術の一実施形態による、使用中のサセプターリフト及びスタンドを、代表的に図示する。

【図3】図３は、本技術の一実施形態による、サセプタースタンドを、代表的に図示する。

【図4】図４は、本技術の一実施形態による、サセプターリフトを、代表的に図示する。

【図5】図５は、本技術の一実施形態による、サセプターリフトの使用方法を、図示する。

【図6】図６は、本技術の一実施形態による、サセプターリフトの上面図を、代表的に図示する。

【図7】図７は、本技術の一実施形態による、リフトの一部分を、代表的に図示する。

【発明を実施するための形態】

【0026】

当然のことながら、図内の要素は、簡潔かつ明瞭のために図示されており、必ずしも縮尺通りに描かれていない。例えば、図内の要素のうちの一部の相対サイズは、本開示の図示された実施形態の理解の向上を助けるために、他の要素に対して相対的に誇張されている場合がある。

【0027】

ここで、同様の参照番号が本開示対象の類似の構造的特徴又は態様を特定する、図面を参照する。

【0028】

下記に提供される例示的な実施形態の記述は、単に例示的なものであり、また図示の目的のみが意図されており、以下の記述は、本開示の範囲又は特許請求の範囲を限定することを意図しない。さらに、述べられた特徴を有する複数の実施形態の列挙は、追加的な特徴を有する他の実施形態、又は述べられた特徴の異なる組み合わせを組み込む他の実施形態を、除外することを意図しない。

【0029】

本開示は、概して、半導体デバイスのメンテナンス中に使用される、サセプターリフト及びスタンドに関する。

【0030】

様々な実施形態では、及び図１、４、５、及び６を参照すると、装置１００は、サセプター１１５に取り付けられ、そしてサセプター１１５を反応チャンバ５００の外又は内に移動するのを容易にするように構成された、リフトツール１１０を備えてもよい。リフトツール１１０は、中央プレート４００と、中央プレート４００から半径方向外向きに延在する複数のアーム４０５とを、備えてもよい。アーム４０５は、中央プレート４００の周囲で等しく間隔を置いてもよく、例えば、隣接するアーム４０５の間の角度は、全てのアームに対して同一であってもよい。例示的な実施形態では、中央プレート４００は、平坦なディスク（すなわち、プレート）形態を有してもよい。例示的な実施形態では、リフトツール１１０は、第一のアーム４０５（ａ）、第二のアーム４０５（ｂ）、第三のアーム４０５（ｃ）、第四のアーム４０５（ｄ）、第五のアーム４０５（ｅ）、及び第六のアーム４０５（ｆ）などの、６つのアームを備えてもよく、各アームは、第一の端部４３０及び第二の端部４３５を備える。各アーム４０５は、第二の端部４３５に隣接する、スルーホール４４０を備えてもよい。アームは、２インチ～１０インチの範囲の、中央プレート４００の縁部から第二の端部４３５までの長さを有してもよい。例示的な実施形態では、複数のアーム４０５はまた、中央プレート４００と、類似又は同一の平坦な形態を有してもよい。換言すれば、複数のアーム４０５は、中央プレート４００と同じ平面に沿って、中央プレート４００から外向きに延在してもよい。

【0031】

いくつかの実施形態では、リフトツール１１０は、第一のプレート、及び第二のプレートを備えてもよい。第一のプレートは、ねじなどの、任意の適切な留め具で、第二のプレートに固定されてもよい。第一のプレート及び第二のプレートは、同一の形状を有してもよく、具体的には、各々が中央プレート４００及び複数のアーム４０５を有する。第一のプレート及び第二のプレートは、各々のアーム４０５が重なるように、整列されてもよい。第一のプレートは、アルミニウムなどの、連続的な金属材料片から形成されてもよく、第二のプレートは、ポリテトラフルオロエチレンなどの、連続的なプラスチック材料片から形成されてもよい。他の実施形態では、アーム４０５は、溶接によってなど、任意の適切な方法によって、中央プレート４００に結合されてもよい。いくつかの実施形態では、リフトツール１１０は、金属などの、単一の材料から形成されてもよい。

【0032】

様々な実施形態では、リフトツール１１０は、第一のフック４１０（ａ）、第二のフック４１０（ｂ）、第三のフック４１０（ｃ）、第四のフック４１０（ｄ）、第五のフック４１０（ｅ）、及び第六のフック４１０（ｆ）などの、複数のフック４１０をさらに備えてもよい。各フック４１０は、それぞれのアーム４０５のスルーホール４４０内に配置されてもよく、またスルーホール４４０内で回転するように適合されてもよい。例えば、各アーム４０５は、１つのフック４１０と関連付けられる。

【0033】

例示的な実施形態では、また図７を参照すると、各フック４１０は、脚７００及び足７０５を備える。足７０５は、脚７００に固定して取り付けられてもよく、例えば、足７０５は、脚７００に溶接されてもよい。脚７００は、脚７００の第一の端部７１５に第一の区域７２５（すなわち、上部区域）、ねじ付き領域を備える第二の区域７３０、及び脚７００の第二の端部７２０に第三の区域７３５を備えてもよい。第二の区域７１０は、第一の区域７２５と第三の区域７３５との間に配置されてもよい。足７０５は、第二の端部７２０で、第三の区域７１５に接続されてもよい。例示的な実施形態では、第一の区域７２５は、３ｍｍ～１０ｍｍの範囲の長さを有してもよく、第二の区域７３０は、２８ｍｍ～４０ｍｍの範囲の長さを有してもよく、また第三の区域７３５は、５５ｍｍ～６５ｍｍの範囲の長さを有してもよい。脚７００は、例えば１００ｍｍなど、９０ｍｍ～１２０ｍｍの範囲の、合計長さを有してもよい。脚７００は、鋼合金又は任意の他の適切な金属などの、金属材料から形成されてもよい。第二の区域及び第三の区域、７３０、７３５は、３ｍｍ～８ｍｍの範囲の直径を有する、円筒形状を有してもよい。

【0034】

様々な実施形態では、足７０５は、サセプター１１５の縁部と反応チャンバ５００の壁との間のギャップに入ることを可能にする、寸法を有してもよい。例えば、一実施形態では、足７０５は、６．５ｍｍ（幅）×５ｍｍ（高さ）×１８ｍｍ（長さ）の、およその寸法を有する。他の実施形態では、幅の寸法は、６．５ｍｍ未満、例えば、３ｍｍ～６．５ｍｍの範囲であってもよい。様々な実施形態では、足７０５は、例えば、鋼合金又は任意の他の適切な金属などの、金属材料から形成されてもよく、また脚７００と同じ金属材料であってもよい。

【0035】

各フック４１０は、ボルト及びウィングナットなどのねじ付き留め具４５０で、アーム４０５に結合されてもよい。例えば、脚７００の第二の区域７３０は、脚７００がスルーホール４４０内のｚ軸に沿って移動することを防止するために、ねじ付き留め具と噛み合うように、ねじ付きにされてもよい。

【0036】

様々な実施形態では、リフトツール１１０は、プレート４００の中心に取り付けられた、フック、ループ、又はカラビナなどの中央留め具４１５を、さらに備えてもよい。例えば、アイボルトは、プレート４００の中へとねじ込まれてもよく、また中央留め具４１５は、アイボルトに結合してもよい。リフトツールは、中央留め具４１５に結合されたスナップリンク（図示せず）などの取り外し可能な取り付け具を、さらに備えてもよい。中央留め具４１５は、鋼合金などの金属材料から形成されてもよく、またおよそ２０～５０ポンドの重量の、サセプター１１５の重量を支持するのに適した、強度を有する。

【0037】

様々な実施形態では、リフトツール１１０は、人間の手で掴むのに適した、第一のハンドル４２０（ａ）、及び第二のハンドル４２０（ｂ）などの、複数のハンドル４２０をさらに備えてもよい。例示的な実施形態では、ハンドル４２０は、アルミニウムなどの金属材料から、形成されてもよい。例示的な実施形態では、リフトツール１１０は、リフトツール１１０の対向する側に、かつ互いに平行に配置された２つのハンドルを備えてもよい。各ハンドル４２０は、実質的にＵ字形状であってもよく、また第一の端部４５５、及び第二の端部４６０を備えてもよい。第一の端部４５５は、複数のアームからの１つのアームの上面に取り付けられてもよく、第二の端部は、複数のアームからの異なるアームの上面に取り付けられてもよい。例えば、第一の端部４５５は、第一のアーム４０５（ａ）に取り付けられてもよく、また第二の端部４６０は、第六のアーム４２０（ｆ）に取り付けられてもよい。

【0038】

様々な実施形態では、リフトツール１１０は、使用時にサセプター１１５に直接接触するように構成された、複数のスペーサー４２５を、さらに備えてもよい。様々な実施形態では、複数のスペーサー４２５は、リフトツール１１０の底面に接続され、かつ底面から離れるように延在する。例示的な実施形態では、各スペーサー４２５は、それぞれのアームに沿って、位置付けられる。一実施形態では、スペーサー４２５は円筒形状にされ、そしてポリテトラフルオロエチレンなどのプラスチック材料から形成される。

【0039】

様々な実施形態では、及び図１～３を参照すると、装置１００は、サセプター１１５が反応チャンバ５００から取り外された後、サセプター１１５を支持するように構成されたスタンド１０５を、さらに備えてもよい（図５）。様々な実施形態では、スタンド１０５は、基部１２０、及び支持リング１２５を、備えてもよい。

【0040】

様々な実施形態では、スタンド１０５は、第一の支持体１３０（ａ）、第二の支持体１３０（ｂ）、及び第三の支持体１３０（ｃ）などの、第一の複数の支持体１３０を、さらに備えてもよい。例示的な実施形態では、複数の支持体１３０は、少なくとも３つの支持体１３０を備える。支持体１３０は、基部１２０を、支持リング１２５の底面に接続してもよい。具体的には、支持体１３０は、基部１２０、及び支持リング１２５に対して、垂直であってもよく、また支持リング１２５を、基部１２０から決まった距離だけ分離してもよい。様々な実施形態では、支持体１３０は、鋼合金又は任意の他の適切な金属などの、金属材料から形成されてもよい。支持体１３０は、ねじなどのねじ付き締め具で、基部１２０及び支持リング１２５に、取り付けられてもよい。

【0041】

例示的な実施形態では、支持リング１２５は、真ん中に開口部を有する、円形形状を有してもよい。支持リング１２５の外周は、基部１２０の外周と、同一であってもよい。様々な実施形態では、支持リング１２５は、アルミニウム若しくは任意の他の適切な金属、又は金属合金などの、金属材料から形成されてもよい。

【0042】

様々な実施形態では、支持リング１２５は、支持リング１２５の上面に取り付けられた、複数のアライナー（ａｌｉｇｎｅｒ）３１０を、さらに備えてもよい。

【0043】

スタンド１０５は、スロット３００又はカットアウト（例えば、キーホールスロット）を有する、ディスク１３５を備える、二次的支持構造を、さらに備えてもよい。ディスク１３５は、第一の支持体１４０（ａ）、第二の支持体１４０（ｂ）、及び第三の支持体１４０（ｃ）などの、第二の複数の支持体１４０で、基部１２０によって支持されてもよく、また基部１２０に接続されてもよい。様々な実施形態では、二次的支持構造は、少なくとも３つの支持体１４０を、備えてもよい。支持体１４０は、ねじなどのねじ付き締め具で、基部１２０及びディスク１３５に、取り付けられてもよい。様々な実施形態では、スロット３００は、サセプター１１５のシャフトを収容するように、形状付けられてもよい。ディスク１３５は、ポリテトラフルオロエチレンなどの、プラスチック材料から形成されてもよく、また第二の複数の支持体１４０は、鋼、鋼合金、又は任意の他の適切な金属などの、金属材料から形成されてもよい。

【0044】

様々な実施形態では、リフトツール１１０を使用して、反応チャンバ５００からサセプター１１５を取り外し、そして／又はサセプター１１５を反応チャンバ５００内へ置いてもよい。スタンド１０５は、反応チャンバ５００からサセプター１１５が取り外された後、サセプター１１５を保持するか、又は他の方法で支持するために使用されてもよい。

【0045】

サセプターが反応チャンバ内にある１つの方法では、反応チャンバ５００からサセプター１１５を取り外すために、リフトツール１１０を使用してもよい。最初に、各足７０５は、各足７０５の方向がそれぞれのアーム４０５に対して、実質的に垂直になるように、回転される。この位置では、各足７０５は、サセプター１１５の縁部と反応チャンバ５００の内部壁との間のギャップを、通過することができる。

【0046】

リフトツール１１０は、スペーサー４２５がサセプター１１５の上面に直接接触するように、サセプター１１５の上面上に置かれてもよい。全てのスペーサー４２５がサセプター１１５と接触すると、各フック４１０は、回転され、これにより各足７０５は中央プレート４００に向かって内向きに面し、そしてそれぞれのアーム４０５と平行になる。内向きに回転すると、各足７０５は、サセプター１１５の底面の下方に、位置付けられる。全ての足７０５が内向きに回転した後、ねじ付き締め具４５０を回転させて足７０５を上昇し、そして足７０５をサセプター１１５の底面と接触させる。換言すれば、ねじ付き締め具４５０を回転すると、足７０５がサセプター１１５の底面と直接接触するように、脚７００及び足７０５は上向きに動き、そして足７０５は、サセプター１１５に直接圧力をかける。その他すべての残りのねじ付き締め具４５０は、同じ様態で締められる。

【0047】

全てのねじ付き締め具４５０が締められると、サセプター１１５は、ハンドル４２０（ａ）、４２０（ｂ）、及び／又は中央留め具４１５を介して、反応チャンバ５００の外へと持ち上げられてもよい。反応チャンバ５００から取り外されると、サセプター１１５は、一時的な保存、及び／又はメンテナンスのために、スタンド１０５上に置かれてもよい。

【0048】

上述のプロセスは、サセプター１１５を反応チャンバ５００内に戻して置くために、逆順序で実施することができる。

【0049】

前述の記述では、技術は、特定の例示的な実施形態を参照しながら記述されている。示され、かつ記述された特定の実施は、本技術及びその最良の形態の例示であり、本技術の範囲を、いかなるやり方でも、他の方法で限定することを意図しない。実際、簡潔のために、従来の製造、接続、調製、並びに方法及びシステムの他の機能的態様は、詳細に記述していない場合がある。さらに、様々な図に示される接続線は、様々な要素間の、例示的な機能的関係、及び／又はステップを表すことを、意図する。多くの代替的若しくは追加の機能的関係、又は物理的接続が、実際のシステムに存在してもよい。

【0050】

本技術は、特定の例示的な実施形態を参照しながら、記述されている。しかしながら、様々な修正及び変更が、本技術の範囲から逸脱することなく、行われてもよい。記述及び図面は、制限的なものではなく、例示の様態にあると見なされ、全てのそのような修正は、本技術の範囲内に含まれることが意図される。したがって、技術の範囲は、単に、上述した特定の例のみではなく、記述される一般的な実施形態、及びその法的均等物によって、決定されるべきである。例えば、任意の方法、又はプロセスの実施形態に列挙されたステップは、別段の明示的な指定がない限り、任意の順序で実行されてもよく、また特定の実施例に提示される明示的な順序に限定されない。さらに、任意の装置の実施形態に列挙された構成要素及び／又は要素は、本技術と実質的に同じ結果を生成するために、様々な順列で組み立てられてもよく、または他の方法で動作可能に構成されてもよく、したがって、特定の実施例に列挙された特定の構成に限定されない。

【0051】

恩恵、他の利点、及び問題に対する解決策が、具体的な実施形態に関して、本明細書に記述される。何らかの恩恵、利点、問題に対する解決策、又は何らかの特定の恩恵、利点、又は解決策を引き起こす場合がある何らかの要素を生じさせる、若しくはより顕著にさせる何らかの要素は、しかしながら、重要な、必要とされる、又は必須の特徴若しくは構成要素としては、解釈されない。

【0052】

「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ）」、「備えている（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」という用語、又はその何らかの他の変形は、要素のリストを備えるプロセス、方法、物品、構成要素、又は装置が、列挙されたそれらの要素のみを含むのではなく、明示的に列挙されていない、又はそのようなプロセス、方法、物品、構成要素、若しくは装置に固有の、他の要素も含んでもよいように、非限定的包含を参照することを意図している。具体的に列挙されていないものに加えて、本技術の実践において使用される上述の構造、配置、用途、割合、要素、材料、又は構成要素の、その他の組み合わせ及び／又は修正は、特定の環境、製造仕様、設計パラメータ、又はその他の動作要件に、それらの一般原理から逸脱することなく、変更されてもよく、又は他の方法で具体的に適合されてもよい。

【0053】

本技術は、例示的な実施形態を参照しながら、上述されている。しかしながら、本技術の範囲から逸脱することなく、例示的な実施形態に、変更及び修正を加えてもよい。これらの、及びその他の変更又は修正は、以下の特許請求の範囲に表されるように、本技術の範囲内に含まれることが意図される。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【外国語明細書】