特開2024-29058ガス分配器および流量検証器

発明の名称　ガス分配器および流量検証器

出願人　ラム　リサーチ　コーポレーション　（識別番号 592010081）

　　　　特許公開件数ランキング 126 位（253件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 136 位（202件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-29058

公報発行日　2024年3月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-29058

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