特開 2024-33324 ワイヤソーの測定装置及び測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024033324

(43)【公開日】2024-03-13

(54)【発明の名称】ワイヤソーの測定装置及び測定方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 27/06 20060101AFI20240306BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20240306BHJP

   B24B 49/12 20060101ALI20240306BHJP

   B28D 5/04 20060101ALI20240306BHJP

【ＦＩ】

B24B27/06 D

H01L21/304 611W

B24B49/12

B28D5/04 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022136845

(22)【出願日】2022-08-30

(71)【出願人】

【識別番号】302006854

【氏名又は名称】株式会社ＳＵＭＣＯ

(74)【代理人】

【識別番号】100115738

【弁理士】

【氏名又は名称】鷲頭 光宏

(74)【代理人】

【識別番号】100121681

【弁理士】

【氏名又は名称】緒方 和文

(72)【発明者】

【氏名】利根 俊輔

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 一彦

【テーマコード（参考）】

3C034

3C069

3C158

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C034AA13

3C034AA17

3C034BB75

3C034BB93

3C034CA11

3C034CA22

3C034CB11

3C034CB13

3C034DD07

3C034DD10

3C069AA01

3C069BA06

3C069CA04

3C069CB01

3C069EA02

3C158AA05

3C158AA14

3C158AA16

3C158AB04

3C158AC02

3C158AC04

3C158BA07

3C158CA01

3C158CA05

3C158CB01

3C158DA03

5F057AA19

5F057BA01

5F057BB03

5F057CA02

5F057GB02

5F057GB31

(57)【要約】

【課題】カメラの撮影画像を用いてワイヤ列の平行度を簡単かつ高精度に計測してその適否を判断することが可能なワイヤソーの測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】本発明によるワイヤソーの測定装置２０は、ワークをスライスするワイヤ列３Ａの上方に設けられた昇降装置７に取り付けられるベースプレート２１と、ベースプレート２１に取り付けられワイヤ列３Ａを撮影するカメラ２２と、カメラ２２をワイヤ列３Ａと平行な方向にスライド可能に支持するスライド機構２４と、カメラ２２の撮影画像に写り込む位置に設けられ、ワイヤ列３Ａの平行度の基準となる基準線を撮影画像内に定義する基準部材２５とを備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークをスライスするワイヤソーのワイヤ列の平行度を測定するための測定装置であって、
前記ワイヤ列の上方に設けられた昇降装置に取り付けられるベースプレートと、
前記ベースプレートに取り付けられ前記ワイヤ列を撮影するカメラと、
前記カメラを前記ワイヤ列と平行な方向にスライド可能に支持するスライド機構と、
前記カメラの撮影画像に写り込む位置に設けられ、前記ワイヤ列の平行度の基準となる基準線を前記撮影画像内に定義する基準部材とを備えることを特徴とするワイヤソーの測定装置。

【請求項2】

前記カメラは、前記ワイヤ列の一方の端部寄りの第１撮影領域で前記ワイヤ列及び前記基準部材を含む第１画像を撮影すると共に、前記ワイヤ列の他方の端部寄りの第２撮影領域で前記ワイヤ列及び前記基準部材を含む第２画像を撮影する、請求項１に記載のワイヤソーの測定装置。

【請求項3】

前記カメラの撮影画像を処理する画像処理装置をさらに備え、
前記画像処理装置は、
前記第１画像を処理して前記基準線から直近のワイヤまでの第１線間距離を算出し、
前記第２画像を処理して前記基準線から直近のワイヤまでの第２線間距離を算出する、請求項２に記載のワイヤソーの測定装置。

【請求項4】

前記画像処理装置は、
前記第１線間距離と前記第２線間距離との差である線間距離差を前記ワイヤソーの平行度指標として算出する、請求項３に記載のワイヤソーの測定装置。

【請求項5】

前記画像処理装置はディスプレイを含み、
前記ディスプレイは、前記第１画像、前記第２画像、前記第１線間距離の値、前記第２線間距離の値、及び前記線間距離差の値を表示する、請求項４に記載のワイヤソーの測定装置。

【請求項6】

前記基準部材は超硬合金である、請求項１に記載のワイヤソーの測定装置。

【請求項7】

ワークをスライスするワイヤソーのワイヤ列の平行度を測定するための測定方法であって、
前記ワイヤ列の上方に、当該ワイヤ列の平行度の基準となる基準線を定義する基準部材と、前記ワイヤ列を前記基準部材と共に撮影するカメラをそれぞれ設置し、
前記ワイヤ列の一方の端部寄りの第１撮影領域で前記基準部材が写り込んだ第１画像を撮影し、
前記ワイヤ列の他方の端部寄りの第２撮影領域で前記基準部材が写り込んだ第２画像を撮影し、
前記第１画像を処理して前記基準線から直近のワイヤまでの第１線間距離を算出し、
前記第２画像を処理して前記基準線から直近のワイヤまでの第２線間距離を算出し、
前記第１線間距離と前記第２線間距離との差である線間距離差を前記ワイヤソーの平行度指標として求めることを特徴とするワイヤソーの測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワイヤソーのワイヤ列の調整に用いられる測定装置及び測定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

シリコンウェーハは、チョクラルスキー法によって融液から引き上げられた単結晶インゴットを円柱状に加工した後、スライス、ラッピング、ポリシング等の各工程を経ることで完成する。単結晶インゴットのスライス工程では、インゴットの円周面にスライス台を接着し、スライス台の上面にワークプレートを接着する。そしてインゴットはワークプレートを介してワイヤソーに取り付けられ、スライス台と一緒にスライスされる。

【0003】

単結晶インゴットの結晶方位には多少のばらつきがあり、インゴットの中心軸線と必ずしも一致しない。そのため、インゴットの中心軸線の向きに合わせてワークプレートを接着し、ワイヤソーに取り付けてスライスすると、インゴットから切り出されたウェーハの切断面は結晶格子面と一致せず、これによりウェーハの特性がばらつくという問題がある。この問題を解消する方法の一つとして、ワイヤソーへの単結晶インゴットの装着前に、結晶方位を調整する外段取り方式が一般的である（特許文献１参照）。外段取り方式は、インゴットをワークプレートへスライス台を介して接着固定する際に、スライス台上でインゴットをインゴットの中心軸回りに回転させて結晶方位を調整し、次いでインゴットのワークプレートへの貼り付け角度を変えることで結晶方位を調整する方法である。

【0004】

ワイヤソーにおけるワイヤの位置調整方法に関し、例えば特許文献２には、ワイヤの左右両側の位置に距離センサを設け、距離センサによってワイヤ間隔やワークに対するワイヤ全体の相対変位を直接検出し、ワイヤ間隔を適正に保つようにガイドローラを調節することが記載されている。

【0005】

また特許文献３には、ワーク支持部にクランプ金具を介してワーク用治具を着脱可能な構成を有するワイヤソーにおいて、ワーク用治具に代えて測定用治具を設けることが記載されている。測定用治具にはワイヤソーのメインローラ間のワイヤの位置を検出するためのカメラが設けられ、カメラによるワイヤの位置に基づいてワーク支持部の位置を調節し、これによりクランプ金具がワイヤに対して所定位置に設定される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１７－２４１４５号公報

【特許文献2】特開平９－１０９１４３号公報

【特許文献3】特開２０１２－１８３６１５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献３に記載の従来の測定用治具は、カメラの撮影画像からワイヤの位置を検出することができるが、ワイヤ列の平行度を簡単かつ高精度に計測してその適否を判断することが難しかった。

【0008】

したがって、本発明の目的は、カメラの撮影画像を用いてワイヤ列の平行度を簡単かつ高精度に計測してその適否を判断することが可能なワイヤソーの測定装置及び測定方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記課題を解決するため、本発明によるワイヤソーの測定装置は、ワークをスライスするワイヤ列の上方に設けられた昇降装置に取り付けられるベースプレートと、前記ベースプレート上に設けられ、前記ワイヤ列を撮影するカメラと、前記カメラを前記ワイヤ列と平行な方向にスライド可能に支持するスライド機構と、前記カメラの撮影画像に写り込む位置に設けられ、前記ワイヤ列の平行度の基準となる基準線を前記撮影画像内に定義する基準部材とを備えることを特徴とする。

【0010】

本発明によれば、カメラの撮影画像に写る基準部材とワイヤとの位置関係からワイヤ列の平行度を簡単かつ高精度に計測してその適否を判断することができる。

【0011】

本発明において、前記カメラは、前記ワイヤ列の一方の端部寄りの第１撮影領域で前記ワイヤ列及び前記基準部材を含む第１画像を撮影すると共に、前記ワイヤ列の他方の端部寄りの第２撮影領域で前記ワイヤ列及び前記基準部材を含む第２画像を撮影することが好ましい。これにより、ワイヤ列の平行度を簡単かつ高精度に計測して平行度の適否を判断することができる。

【0012】

本発明によるワイヤソーの測定装置は、前記カメラの撮影画像を処理する画像処理装置をさらに備え、前記画像処理装置は、前記第１画像を処理して前記基準線から直近のワイヤまでの第１線間距離を算出し、前記第２画像を処理して前記基準線から直近のワイヤまでの第２線間距離を算出することが好ましい。第１及び第２線間距離を求めることにより、ワイヤ列の平行度を簡単かつ高精度に求めることができる。

【0013】

前記画像処理装置は、前記第１線間距離と前記第２線間距離との差である線間距離差を前記ワイヤソーの平行度指標として算出することが好ましい。線間距離差を前記ワイヤソーの平行度指標として求めることにより、ワイヤ列の平行度を簡単かつ高精度に求めることができる。

【0014】

前記画像処理装置は、ディスプレイを含み、前記ディスプレイは、前記第１画像、前記第２画像、前記第１線間距離の値、前記第２線間距離の値、及び前記線間距離差の値を表示することが好ましい。これにより、ワイヤ列の平行度の適否を簡単に評価することができる。

【0015】

前記基準部材は超硬合金であることが好ましい。これにより、ワイヤ列に対する基準線の信頼性を高めることができる。

【0016】

また、本発明によるワイヤソーの測定方法は、ワークをスライスするワイヤソーのワイヤ列の上方に、当該ワイヤ列の平行度の基準となる基準線を定義する基準部材と、前記ワイヤ列を前記基準部材と共に撮影するカメラをそれぞれ設置し、前記ワイヤ列の一方の端部寄りの第１撮影領域で前記基準部材が写り込んだ第１画像を撮影し、前記ワイヤ列の他方の端部寄りの第２撮影領域で前記基準部材が写り込んだ第２画像を撮影し、前記第１画像を処理して前記基準線から直近のワイヤまでの第１線間距離を算出し、前記第２画像を処理して前記基準線から直近のワイヤまでの第２線間距離を算出し、前記第１線間距離と前記第２線間距離との差である線間距離差を前記ワイヤソーの平行度指標として求めることを特徴とする。

【0017】

本発明によれば、カメラの撮影画像に写る基準部材とワイヤとの位置関係からワイヤ列の平行度を簡単かつ高精度に計測してその適否を判断することができる。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、カメラの撮影画像を用いてワイヤ列の平行度を簡単かつ高精度に計測してその適否を判断することが可能なワイヤソーの測定装置及び測定方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】図１は、本発明の実施の形態によるワイヤソーの構成の一例を示す略斜視図である。

【図2】図２は、ワークとワークプレートとの関係を示す略斜視図である。

【図3】図３（ａ）及び（ｂ）は、ワイヤ列の平行度を説明するための模式図である。

【図4】図４は、測定装置が取り付けられたワイヤソーの構成を示す略側面図である。

【図5】図５は、測定装置が取り付けられたワイヤソーの構成を示す略正面図である。

【図6】図６（ａ）及び（ｂ）は、ワイヤ列の平行度を測定する際のカメラの位置を説明するための図であって、図６（ａ）は第１撮影領域を撮影する際のカメラの位置、図６（ｂ）は第２撮影領域を撮影する際のカメラの位置をそれぞれ示している。

【図7】図７（ａ）及び（ｂ）は、ワイヤ列の平行度の測定方法を説明するための模式図であって、図７（ａ）は第１撮影領域の撮影画像、図７（ｂ）は第２撮影領域の撮影画像をそれぞれ示している。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施の形態について詳細に説明する。

【0021】

図１は、本発明の実施の形態によるワイヤソーの構成の一例を示す略斜視図である。

【0022】

図１に示すように、ワイヤソー１は、２つの溝付きガイドローラ２ａ，２ｂと、ガイドローラ２ａ，２ｂに多重に巻き掛けられた１本のワイヤ３と、走行するワイヤ３に加工液（スラリー）を供給するノズルユニット４ａ，４ｂと、被加工物であるワーク１０を昇降させる昇降装置７とを備えている。

【0023】

ワーク１０は例えば単結晶シリコンであり、シリコンインゴットを所定の長さに分割して得られる円柱状のシリコンブロックである。単結晶シリコンは大口径インゴットの量産が可能であり、大口径インゴットのスライス加工にはワイヤソーが特に好適である。単結晶シリコンインゴットの直径は２００ｍｍ以上であることが好ましく、３００ｍｍ以上であることが特に好ましい。

【0024】

本実施形態におけるワイヤソー１は遊離砥粒方式であり、高速走行するワイヤ３に対して砥粒を分散させた加工液（スラリー）を供給しながら切削する。一方のワイヤリール５ａに巻回されたワイヤ３は、繰り出しローラ６ａを経由してガイドローラ２ａ，２ｂの順に繰り返し巻き掛けられた後、巻き取りローラ６ｂを経由して他方のワイヤリール５ｂに巻き取られる。

【0025】

遊離砥粒方式では、ワイヤ３の走行方向を途中で反転（交播運動）させながら少しずつワイヤ３を繰り出すバック・アンド・フォース方式が採られる。そのため、ガイドローラ２ａ，２ｂを交互に正転及び逆転させることによりワイヤ３を走行させる。なお、ダイヤモンド砥粒が固着されたダイヤモンド砥粒ワイヤで切削する固定砥粒方式を採用してもよい。

【0026】

ノズルユニット４ａ，４ｂはガイドローラ２ａ，２ｂの回転軸方向に沿って配置されており、ガイドローラ２ａ，２ｂ間に架け渡されたワイヤ列３Ａに対して加工液（スラリー）がかかるように複数のノズル孔を有している。ノズルユニット４ａ，４ｂは、ワーク１０から見てワイヤ３の進行方向の手前に配置される必要があるが、ワイヤ３は双方向に進行することから、２つのノズルユニット４ａ，４ｂがワーク１０の両側にそれぞれ配置されている。

【0027】

ワーク１０はガイドローラ２ａ，２ｂ間に架け渡されたワイヤ列３Ａの上方に配置されており、スライス台９及びワークプレート８を介して昇降装置７に固定されている。昇降装置７を降下させることによってワーク１０は走行するワイヤ列３Ａに押し当てられて切断される。

【0028】

ワーク１０を正しく切断するためにはワーク１０の中心軸線を水平に維持する必要がある。また、ウェーハの切断面が所定の結晶格子面を有するためには、ワーク１０の結晶方位がワイヤ列３Ａと直交する方向を向くように結晶方位合わせを行う必要がある。結晶方位合わせは、ワーク１０を円周方向に所定角度回転させて結晶方位を水平にすること、及びワーク１０を水平方向に所定角度回転させて結晶方位をワイヤ列３Ａと直交させることにより行われる。結晶位置合わせは、インゴットをワークプレートへスライス台を介して接着固定する際に、スライス台上でインゴットをインゴットの中心軸回りに回転させて結晶方位を調整し、次いでインゴットのワークプレートへの貼り付け角度を変えることで結晶方位を調整する方法である外段取り方式が一般的である。

【0029】

図２は、ワーク１０とワークプレート８との関係を示す略斜視図である。

【0030】

図２に示すように、中心軸線が水平となるように置かれた円柱状のワーク１０の上部の円周面には、スライス台９が接着剤により取り付けられる。スライス台９はワーク１０と一緒に切断可能なカーボン等の材料からなる。スライス台９の下面にはワーク１０の円周面にはまり合う湾曲面が形成され、ワーク１０との密着性が高められている。さらに、スライス台９の上面にはワークプレート８が取り付けられる。

【0031】

図示のように、ワーク１０の結晶格子面の法線、つまり結晶方位１２はワーク１０の中心軸線１３に対して傾斜している。通常、ワーク１０の中心軸線１３に対する結晶方位１２の傾斜角度βは最大で±３°程度である。また、任意の向きで置かれたワーク１０の結晶方位１２は必ずしも水平ではなく、水平面に対して傾斜角度γを有している。

【0032】

本実施形態の接着方法は、ワークプレート８の取付軸線８ａをワーク１０の結晶方位１２と平行に設定して接着するものである。ここで、ワークプレート８の取付軸線８ａとは、ワークプレート８の長手方向に延びる仮想軸線を言い、ワークプレート８の長手方向と平行な左右両側の側面８ｂ，８ｃは取付軸線８ａと平行である。ワークプレート８の取付面８ｄは取付軸線８ａを含む平面であり、通常は水平に設定される。ワイヤソー１においては、この取付軸線８ａがワイヤ列３Ａと直交するようにワーク１０が設置される。ワーク１０の結晶方位１２をワークプレート８の取付軸線８ａと平行にするためには、結晶方位１２が水平となるようにワーク１０を回転角度αで回転させた後、さらに水平方向に角度βで回転させる必要がある。回転角度αは、ｓｉｎα＝ｓｉｎγ／ｓｉｎβの関係から求めることができる。

【0033】

このようにして、ワーク１０は、スライス台９を介してワークプレート８の下面に接着固定される。ワークプレート８は、ワイヤ列３Ａの上方に配置された昇降装置７のクランプユニット７Ａに取り付けられる。したがって、ワーク１０はワイヤ列３Ａの上方に設置される。

【0034】

ガイドローラ２ａ，２ｂはワイヤ３と共に消耗品であり、適宜交換される。ガイドローラ２ａ，２ｂを交換してワイヤ３を張り直したときには、ワイヤ列３Ａの平行度の測定が行われる。ワイヤ列３Ａは、ワーク１０のスライス方向（Ｘ方向）と平行に張り渡される。

【0035】

図３（ａ）及び（ｂ）は、ワイヤ列３Ａの平行度を説明するための模式図である。

【0036】

図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、ワイヤ列３Ａは、Ｙ軸と平行な回転軸を有するガイドローラ２ａ，２ｂ間に架け渡されており、Ｘ軸方向に延在している。ここで、図３（ａ）に示すように、Ｘ軸に対するワイヤ列３Ａの平行度が高い場合には、ワーク１０を正確にスライスできる。しかし、図３（ｂ）に示すように、Ｘ軸に対するワイヤ列３Ａの平行度が悪い（傾斜角θが大きい）場合には、ワーク１０を正確にスライスできず、ウェーハの面方位に傾斜が発生する。そのため、ワイヤ列３Ａの平行度を正確に測定して誤差を調整する必要があり、平行度の測定時にはワーク１０の代わりに測定装置が昇降装置７に取り付けられる。

【0037】

図４及び図５は、測定装置が取り付けられたワイヤソー１の構成を示す概略図であって、図４は側面図、図５は正面図である。

【0038】

図４及び図５に示すように、測定装置２０は、昇降装置７のクランプユニット７Ａに取り付け可能なベースプレート２１と、ベースプレート２１に取り付けられワイヤ列３Ａを撮影するカメラ２２と、水平方向を向いたカメラ２２の撮影方向を下向きに変更するミラー２３と、カメラ２２をワイヤ列３Ａの走行方向（Ｘ方向）にスライドさせるスライド機構２４と、カメラ２２の撮影領域内に設置され、ワイヤ列３Ａの平行度の基準となるＸ方向の基準線をカメラ２２の撮影画像内に定義する基準部材２５とを備えている。

【0039】

カメラ２２は画像処理装置としてのコンピュータ３０に接続されており、ワイヤ列３Ａ及び基準部材２５が映り込んだカメラ２２の撮影画像はコンピュータ３０に送られる。コンピュータ３０は例えばパーソナルコンピュータであり、ＰＣ本体、ディスプレイ３１、キーボード、マウスなどの周知の構成を有する。コンピュータ３０は、ワイヤソー１の動作を制御するコンピュータと同じものであってもよく、別のものであってもよい。

【0040】

スライド機構２４はベースプレート２１に固定されており、カメラ２２はスライド機構２４を介してベースプレート２１に取り付けられている。図５中の矢印Ｄ２で示すように、カメラ２２はスライド機構２４によってＸ方向に移動可能である。そのため、Ｘ方向の任意の位置でワイヤ列３Ａを撮影することができ、ワイヤ列３Ａの長さ（ガイドローラ２ａ，２ｂ間の距離）が異なる様々なタイプ（サイズ）のワイヤソーに適用することができる。

【0041】

基準部材２５はＸ方向に細長い略長方形の平板であり、ベースプレート２１から下方に伸びるアーム２６の下端部に固定されている。基準部材２５の長辺はＸ方向と平行であり、長辺のエッジライン２５ｅ（図６（ａ）及び（ｂ）参照）がワイヤ列３Ａの平行度の基準線として使用される。基準部材２５の変形を防止して基準線の信頼性を高めるため、基準部材２５の材料はタングステン等を主成分とした超硬合金であることが好ましい。これにより、基準部材２５の変形を防止して基準線の信頼性を高めることができる。

【0042】

図６（ａ）及び（ｂ）は、ワイヤ列３Ａの平行度を測定する際のカメラ２２の位置を説明するための図であって、図６（ａ）は第１撮影領域を撮影する際のカメラ２２の位置、図６（ｂ）は第２撮影領域を撮影する際のカメラ２２の位置をそれぞれ示している。

【0043】

図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、ワイヤ列３Ａの平行度の測定時には、測定装置２０を用いて、ワイヤ列３Ａの一方の端部寄りに設定された第１撮影領域Ｒ１と、他方の端部寄りに設定された第２撮影領域Ｒ２をそれぞれ撮影する。例えば、図６（ａ）に示すように、一方のガイドローラ２ａの近くまでカメラ２２を移動させた後、第１撮影領域Ｒ１の撮影を行う。その後、図６（ｂ）に示すように、他方のガイドローラ２ｂの近くまでカメラ２２を移動させた後、第２撮影領域Ｒ２の撮影を行う。

【0044】

図７（ａ）及び（ｂ）は、ワイヤ列３Ａの平行度の測定方法を説明するための模式図であって、図７（ａ）は第１撮影領域Ｒ１の撮影画像（第１画像）、図７（ｂ）は第２撮影領域Ｒ２の撮影画像（第２画像）をそれぞれ示している。

【0045】

図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、ワイヤ列３Ａの平行度の評価では、第１撮影領域Ｒ１と第２撮影領域Ｒ２の各々において、基準部材２５によって定義される基準線Ｌから直近のワイヤ３までの線間距離ｄ１、ｄ２をそれぞれ求める。平行度が悪いワイヤ列３Ａであってもそれを拡大して見たときには、ワイヤ列３Ａは基準線Ｌと平行であるが、線間距離ｄ１と線間距離ｄ２が異なる。そこで、第１撮影領域Ｒ１における第１線間距離ｄ１と第２撮影領域Ｒ２における第２線間距離ｄ２との差Δｄ＝｜ｄ１－ｄ２｜を求め、この線間距離差Δｄをワイヤ列３Ａの平行度の評価指標とする。そして、得られた線間距離差Δｄが例えば６０μｍ以下（Δｄ≦６０μｍ）の場合には再調整が不要、６０μｍよりも大きい（Δｄ＞６０μｍ）場合には再調整が必要と判定する。

【0046】

カメラ２２の撮影画像はコンピュータ３０に送られる。コンピュータ３０にはカメラ２２の撮影画像を処理するアプリケーションプログラムがインストールされており、当該アプリケーションプログラムは第１撮影領域Ｒ１及び第２撮影領域Ｒ２で撮影された画像を処理して線間距離差Δｄを自動計算し、計算結果は撮影画像と共にディスプレイ３１に表示される。すなわち、コンピュータ３０のディスプレイ３１には、第１撮影領域Ｒ１の撮影画像（第１画像６１）及び第２撮影領域Ｒ２の撮影画像（第２画像６２）と共に、第１線間距離ｄ１、第２線間距離ｄ２、線間距離差Δｄの各値が表示される。

【0047】

ワイヤ列３Ａの平行度の再調整は、ガイドローラ２ａ，２ｂのどちらか一方の軸方向（Ｙ方向）の位置をずらすことにより行うことができる。例えば図３（ｂ）に示すように、ガイドローラ２ｂを矢印Ｄ１の方向にオフセットすることにより、ワイヤ列３Ａの平行度が高められる。図４に示すように、ガイドローラ２ａ，２ｂの各々はスピンドル軸４０に軸支されており、スピンドル軸４０は固定ナット（不図示）によってワイヤソーの装置筐体５０に固定されている。そのため、ガイドローラ２ａ又は２ｂの軸方向の位置を調整する場合には、まずワイヤソーのカバーを取り外した後、スピンドル軸４０の固定ナットを緩め、スピンドル軸４０の前側に設けられた回転調整機構を調整する。回転調整機構を回転させるとスピンドル軸４０が軸方向にわずかに移動するので、線間距離差Δｄが例えば±６０μｍ以内に収まるように、計測結果に基づいてスピンドル軸４０を調整する。その後、固定ナットを締めてスピンドル軸４０を再び固定する。

【0048】

以上説明したように、本実施形態によるワイヤソー１の測定装置２０は、ワイヤ列３Ａを真上から撮影するカメラ２２と、カメラ２２をワイヤ列３Ａの延在方向（Ｘ方向）に沿って移動させるスライド機構２４と、カメラ２２の撮影画像に写り込む位置に設けられ、ワイヤ列３Ａの平行度の基準となる基準線Ｌを撮影画像内に定義する基準部材２５とを備え、カメラ２２は、ワイヤ列３Ａの一方の端部寄りの第１撮影領域Ｒ１でワイヤ列３Ａ及び基準部材２５を含む第１画像６１を撮影すると共に、ワイヤ列３Ａの他方の端部寄りの第２撮影領域Ｒ２でワイヤ列３Ａ及び基準部材２５を含む第２画像６２を撮影し、第１画像６１を処理して基準線Ｌから直近のワイヤまでの第１線間距離ｄ１を算出し、第２画像６２を処理して基準線Ｌから直近のワイヤまでの第２線間距離ｄ２し、線間距離差Δｄ＝｜ｄ１－ｄ２｜をワイヤ列３Ａの平行度指標として算出するので、ワイヤ列３Ａの平行度を簡単かつ高精度に計測してその適否を判断することができる。

【0049】

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能であり、それらも本発明の範囲に包含されるものであることは言うまでもない。

【0050】

例えば、上記実施形態においては、ワーク１０が単結晶シリコンである場合を例に挙げたが、本発明は単結晶シリコンに限定されず、ワイヤソーを用いてスライス加工される種々のワークを対象とすることができる。

【0051】

また上記実施形態においては、３つのガイドローラ２ａ，２ｂにワイヤ３を掛け渡す２軸タイプのワイヤソーを例に挙げたが、本発明はこのような構成に限定されず、３つのガイドローラ間にワイヤ３を掛け渡す３軸タイプであってもよく、あるいは４つ以上のガイドローラ間にワイヤ３を掛け渡す構成であってもよい。

【符号の説明】

【0052】

１ ワイヤソー
２ａ，２ｂ ガイドローラ
３ ワイヤ
３Ａ ワイヤ列
４ａ，４ｂ ノズルユニット
５ａ，５ｂ ワイヤリール
６ａ 繰り出しローラ
６ｂ 巻き取りローラ
７ 昇降装置
７Ａ クランプユニット
８ ワークプレート
８ａ 取付軸線
８ｂ，８ｃ ワークプレートの側面
８ｄ ワークプレートの取付面
９ スライス台
１０ ワーク
１２ 結晶方位
１３ 中心軸線
２０ 測定装置
２１ ベースプレート
２２ カメラ
２３ ミラー
２４ スライド機構
２５ 基準部材
２５ｅ エッジライン
２６ アーム
３０ コンピュータ
３１ ディスプレイ
４０ スピンドル軸
５０ 装置筐体
６１ 第１画像
６２ 第２画像
Ｌ 基準線
ｄ１ 線間距離（第１線間距離）
ｄ１ 線間距離（第２線間距離）
Δｄ 線間距離差
α 回転角度
β 傾斜角度
γ 傾斜角度
θ 傾斜角

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】