特開 2024-34658 検査システムおよび検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024034658

(43)【公開日】2024-03-13

(54)【発明の名称】検査システムおよび検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/84 20060101AFI20240306BHJP

   G01N 21/89 20060101ALI20240306BHJP

【ＦＩ】

G01N21/84 E

G01N21/89 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022139051

(22)【出願日】2022-09-01

(71)【出願人】

【識別番号】000183303

【氏名又は名称】住友金属鉱山株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100145872

【弁理士】

【氏名又は名称】福岡 昌浩

(74)【代理人】

【識別番号】100091362

【弁理士】

【氏名又は名称】阿仁屋 節雄

(72)【発明者】

【氏名】吉田 裕太

【テーマコード（参考）】

2G051

【Ｆターム（参考）】

2G051AA01

2G051BA01

2G051BC01

2G051CA04

2G051CB01

2G051DA01

2G051DA06

(57)【要約】

【課題】本発明は、複数の照明を用いた場合にも、作業員の力量に寄らず、簡易かつ短時間に、カメラの撮像範囲を同一の明るさに調整できる検査システムを提供する。
【解決手段】本発明は、対象物が搬送される経路に設置されたカメラと、カメラの撮像領域に対して光を照射するように配置された複数の照明と、照明の光量を照明ごとに調整可能に設置された光量制御装置と、予め設定された基準照射量で照明ごとに照射した光を、前記カメラの視野に対する受光量でグラフ化した個別グラフを作成する個別グラフ作成部と、複数の照明の個別グラフを全て統合した仮想合計グラフを作成する仮想合計グラフ作成部と、光量制御装置による照明の光量の調整結果を個別グラフに反映させる個別グラフ変更部と、個別グラフまたは仮想合計グラフの少なくともいずれかを画面表示する表示装置と、を備える検査システムに関する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送方向に搬送される対象物の画像を撮像し、前記画像を画像処理して検査する検査システムであって、
前記対象物が搬送される経路に設置されたカメラと、
前記カメラの撮像領域に対して光を照射するように配置された複数の照明と、
前記照明の光量を照明ごとに調整可能に設置された光量制御装置と、
予め設定された基準照射量で前記照明ごとに照射した光を、前記カメラの視野に対する受光量でグラフ化した個別グラフを作成する個別グラフ作成部と、
前記複数の照明の前記個別グラフを全て統合した仮想合計グラフを作成する仮想合計グラフ作成部と、
前記光量制御装置による前記照明の光量の調整結果を前記個別グラフに反映させる個別グラフ変更部と、
前記個別グラフまたは前記仮想合計グラフの少なくともいずれかを画面表示する表示装置と、を備える検査システム。

【請求項2】

前記照明をすべて照射した光を、前記カメラの視野に対する前記受光量でグラフ化した全照射グラフ作成部をさらに備える請求項１に記載の検査システム。

【請求項3】

前記複数の照明は、前記対象物の搬送される方向に対して垂直方向に列状に配置されており、
前記光量制御装置は、前記複数の照明のうち、前記列状の端部に配置された前記照明から順に、光量を変更するように構成された請求項１または請求項２に記載の検査システム。

【請求項4】

前記複数の照明は、前記対象物の搬送される方向に対して垂直方向に列状に配置されており、
前記光量制御装置は、前記列状に配置された前記複数の照明について、１つ置きに光量を変更するように構成された請求項１または請求項２に記載の検査システム。

【請求項5】

搬送方向に搬送される対象物の画像をカメラで撮像し、前記画像を画像処理して検査する検査方法であって、
前記カメラの撮像領域に対して光を照射するように配置された複数の照明を、照明ごとに基準とする照射量である基準照射量で照射し、前記カメラによる受光量をグラフ化した個別グラフを作成する工程と、
前記複数の照明の前記個別グラフを全て統合したグラフである仮想合計グラフを作成する工程と、
前記個別グラフまたは前記仮想合計グラフの少なくともいずれかを表示装置に画面表示する工程と、
前記照明ごとの光量を光量制御装置により調整する工程と、
前記光量制御装置による前記照明の光量の調整結果を前記個別グラフに反映させる工程と、を有する検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査システムおよび検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

製造ラインで搬送される製品等の対象物を撮像し、画像処理をして所定の検査を実施するための検査システムでは、画像処理精度の向上のために、照明による照射量を調整し、撮像範囲の明るさを均一に維持できることが求められている。このため、搬送路の大きさ等により、カメラを複数台利用する検査システムとしては、カメラと同数の照明を利用して、一つのカメラに対し一つの照明より光を照射することで、撮像範囲の明るさを均一に維持した装置等が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１９－１５８３９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

複数の照明を備える検査システムにおいて、撮像範囲内における明るさを均一に保つには、熟練の職人による光量の調整作業等が行われている。また、検査システムを連続運転する場合、各照明に汚れや経時劣化が発生することにより、定期的に光量を再調整する必要もあり、明るさの調整に時間を要している。

【0005】

そこで本発明は、複数の照明を用いた場合にも作業員の熟練度に寄らず、簡易な手順によりカメラの撮像範囲を均一な明るさに調整できる検査システムを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の第１の態様は、搬送方向に搬送される対象物の画像を撮像し、前記画像を画像処理して検査する検査システムであって、
前記対象物が搬送される経路に設置されたカメラと、
前記カメラの撮像領域に対して光を照射するように配置された複数の照明と、
前記照明の光量を照明ごとに調整可能に設置された光量制御装置と、
予め設定された基準照射量で前記照明ごとに照射した光を、前記カメラの視野に対する受光量でグラフ化した個別グラフを作成する個別グラフ作成部と、
前記複数の照明の前記個別グラフを全て統合した仮想合計グラフを作成する仮想合計グラフ作成部と、
前記光量制御装置による前記照明の光量の調整結果を前記個別グラフに反映させる個別グラフ変更部と、
前記個別グラフまたは前記仮想合計グラフの少なくともいずれかを画面表示する表示装置と、を備える検査システムである。

【0007】

本発明の第２の態様は、前記照明をすべて照射した光を、前記カメラの視野に対する前記受光量でグラフ化した全照射グラフ作成部をさらに備える第１の態様に記載の検査システムである。

【0008】

本発明の第３の態様は、前記複数の照明は、前記対象物の搬送される方向に対して垂直方向に列状に配置されており、
前記光量制御装置は、前記複数の照明のうち、前記列状の端部に配置された前記照明から順に、光量を変更するように構成された第１の態様または第２の態様に記載の検査システムである。

【0009】

本発明の第４の態様は、前記複数の照明は、前記対象物の搬送される方向に対して垂直方向に列状に配置されており、
前記光量制御装置は、前記列状に配置された前記複数の照明について、１つ置きに光量を変更するように構成された第１の態様または第２の態様に記載の検査システムである。

【0010】

本発明の第５の態様は、搬送方向に搬送される対象物の画像をカメラで撮像し、前記画像を画像処理して検査する検査方法であって、
前記カメラの撮像領域に対して光を照射するように配置された複数の照明を、照明ごとに基準とする照射量である基準照射量で照射し、前記カメラによる受光量をグラフ化した個別グラフを作成する工程と、
前記複数の照明の前記個別グラフを全て統合したグラフである仮想合計グラフを作成する工程と、
前記個別グラフまたは前記仮想合計グラフの少なくともいずれかを表示装置に画面表示する工程と、
前記照明ごとの光量を光量制御装置により調整する工程と、
前記光量制御装置による前記照明の前記基準照射量の調整結果を前記個別グラフに反映させる工程と、を有する検査方法である。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、複数の照明を備えた検査システムにおいて、簡易な手順によりカメラの撮像範囲内を均一な明るさに調整できる検査システムが提供される。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本開示の一態様にかかる検査システムの概略図である。

【図2】本開示の一態様にかかる検査システムの複数の照明を示す図である。

【図3】本態様の検査システムにおける機能部の構成の例である。

【図4】本態様の検査システムにおける個別グラフの例である。

【図5】本態様の検査システムにおける仮想合計グラフの例である。

【図6】照明の光量の調整結果を反映した個別グラフの例である。

【図7】本開示の一態様にかかる検査方法のフロー図である。

【図8】本態様の検査システムにおける基準照射量の設定用アプリの例である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

＜本開示の一態様＞
本開示の一態様は、図面を参照しつつ、以下のように説明される。

【0014】

（１）検査システムの構成
図１は、本態様における検査システム１０の概略図である。検査システム１０は、搬送方向Ｘに搬送される対象物Ｐの画像を撮像し、画像処理して検査するシステムである。本態様における検査システム１０は、カメラ２００、複数の照明１００、光量制御装置１１０、情報処理装置２２０、表示装置２３０を備える。なお、検査システム１０は、これら以外の構成要素を備えていてもよい。

【0015】

カメラ２００は、対象物Ｐの検査に要する画像を撮像するように構成されたものである。カメラ２００の種類は特に限定されず、検査のために処理可能な画像が撮像できればよい。また、カメラ２００は任意の位置に配置してよい。例えば、図１のように、対象物Ｐが搬送される搬送路Ｒにおいて、（搬送方向Ｘと垂直な方向Ｙで示される）搬送路Ｒの幅全域について画像を撮像することにより、搬送される対象物Ｐを漏れなく検査できる。搬送路Ｒの幅全域を撮像範囲とするカメラ２００としては、複数の撮像素子を一列に並べたラインカメラを用いることができる。なお、検査システム１０は、ラインカメラに代えて複数のカメラ２００を列状に設置し、搬送路Ｒの幅全域を撮像するものとしてもよい。複数のカメラ２００を設置する場合、カメラ２００の数と照明１００の数は同数である場合に限られず、互いに任意の数としてよい。

【0016】

複数の照明１００は、カメラ２００の撮像領域に対して光を照射するように構成されたものである。照明１００による光は、カメラ２００の撮像領域の全域に照射することが好ましいが、例えば上記した搬送路Ｒの幅等によっては、単一の照明１００のみで撮像領域の全域に対し均一に光を照射することは困難な場合がある。そこで、本態様の検査システム１０は、撮像領域の延伸方向に沿って複数の照明１００を配置することにより、撮像領域の全域に対して均一な光の照射を実現すべく、照明１００を複数設置するものとしている。ここで、照明１００の発光手段は特に限定されず、例えば蛍光灯、有機または無機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）、発光ダイオード等を使用できる。照明１００を配置する数は複数であればよく、特に限定されない。

【0017】

照明１００の配置は、カメラ２００の撮像領域を含んだ範囲に光を照射できる配置であればよく、撮像範囲よりも広い範囲に光を照射する配置であってもよい。複数の照明１００の配置は、上記したカメラ２００の撮像素子の並び方向または複数のカメラ２００の並び方向に対して、同方向または同方向とみなせる方向で配置することが好ましい。本態様の検査システム１０は、図２のように、搬送路Ｒの搬送方向Ｘに対し、搬送路Ｒの平面内において垂直方向Ｙに列状に照明１００を配置した場合として説明する。

【0018】

光量制御装置１１０は、各照明１００の光量を調整できるように構成されたものである。光量制御装置１１０は、後述する情報処理装置２２０からの指示に従い、照明の光量を調整するものであればよい。照明の光量は、一つ一つの照明１００について個別に、独立して調整可能な構成とする。光量制御装置１１０は、例えば照明１００への供給電圧を可変させる方法等で照明１００の光量を調整するように構成してよい。

【0019】

情報処理装置２２０は、図３に示すように、個別グラフ作成部２２１と、仮想合計グラフ作成部２２２と、個別グラフ変更部２２３とを有するように構成してよい。個別グラフ作成部２２１は、図４のように、一つの照明１００を照射した際のカメラ視野Ｖ（横軸）に対する受光量Ａ（縦軸）をグラフ化した個別グラフを作成するように構成される。仮想合計グラフ作成部２２２は、図５のように全ての照明１００に対応する個別グラフを統合した仮想合計グラフを作成するように構成される。仮想合計グラフも個別グラフと同様に、カメラ視野Ｖ（横軸）に対する受光量Ａ（縦軸）としてグラフ化できる。個別グラフ変更部２２３は、図６のように、光量制御装置１１０による照明１００の光量の調整結果を個別グラフに反映させるように構成される。

【0020】

以上の情報処理装置２２０は、例えば、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）等のハードウエア資源を組み合わせて構成してよい。また、情報処理装置２２０は、予めインストールされている所定プログラム（ソフトウエア）の実行により、そのソフトウエアによる情報処理がハードウエア資源を用いて具体的に実現されるものとしてよい。以上により、情報処理装置２２０は、個別グラフ作成部２２１、仮想合計グラフ作成部２２２、および、個別グラフ変更部２２３における処理動作を制御するように構成できる。

【0021】

表示装置２３０は、上記で作成された個別グラフまたは仮想合計グラフの少なくともいずれかを画面表示するように構成する。表示装置２３０は、例えば、情報処理装置２２０に接続したディスプレイにより構成してもよく、情報処理装置２２０と一体の構成としてもよい。

【0022】

（２）検査方法の手順
本態様の検査方法は、図７を参照しつつ、以下のように説明される。

【0023】

本態様の検査方法では、
照明１００ごとの光量をカメラ２００の受光量Ａでグラフ化する「個別グラフ作成工程（工程Ａ）」と、
全ての個別グラフを統合する「仮想合計グラフ作成工程（工程Ｂ）」と、
個別グラフまたは仮想合計グラフの少なくともいずれかを画面表示する「グラフ表示工程（工程Ｃ）」と、
照明１００ごとの光量を光量制御装置１１０により調整する「光量調整工程（工程Ｄ）」と、
光量制御装置１１０による照明１００の光量の調整結果を個別グラフに反映させる「グラフ反映工程（工程Ｅ）」と、を行う。

【0024】

個別グラフ作成工程（工程Ａ）
工程Ａでは、カメラ２００の撮像領域に対して光を照射するように配置された複数の照明１００を、照明１００ごとに基準とする照射量である基準照射量Ｃで照射し、カメラ２００による受光量Ａをグラフ化した個別グラフを作成する。

【0025】

工程Ａでは、上記した照明１００による光を、予め設定された基準照射量Ｃで照射する。基準照射量Ｃは、後述するカメラ２００による受光量Ａの目標値Ｔ（目標光量）に応じて、照明１００において設定する光量（照射量）の値である。基準照射量Ｃは、複数の照明１００について、いずれも同じ値にしてもよく、照明１００ごとに異なる基準照射量Ｃを設定してもよい。例えば、事前に各照明１００の照射特性を確認した場合には、照明１００ごとの照射特性に応じて基準照射量Ｃを設定しておくことも好ましい。

【0026】

照明１００による光の照射は、カメラの視野Ｖに対する受光量Ａとして検出する。例えば、照明１００による光が撮像領域である搬送路Ｒに照射されると、カメラ２００では搬送路Ｒで反射した光を反射光として受光する。このときカメラ２００が受光で得られた撮像データの明度に基づいて、受光した光の光量を認識したものを受光量Ａとすることができる。この受光量Ａは、例えば、カメラ２００と接続した検出装置２１０等を設置して検出してよい。意図しない受光量Ａの変動を防ぐために、検査システム１０は照明１００以外のシステム外部からの光の侵入を低減し、または、遮断した構成にしておくことが好ましい。

【0027】

そして工程Ａでは、複数の照明１００のうち、一つの照明１００を照射した際に、カメラ２００の撮像データに基づいて認識した光の光量である受光量Ａがグラフ化される。個別グラフは、例えば図４のように、カメラ視野Ｖを横軸とし、受光量Ａを縦軸とするグラフにおいて、単一照明のスペクトルＯを示す構成としてよい。図４のように、個別グラフは、目標値Ｔに対応する目標光量ラインＳを表示することが好ましい。工程Ａでは、複数の照明１００の設置数に応じて、一つずつ全ての照明１００について光を照射して、全ての照明１００についての個別グラフが作成される。作成された各個別グラフは、各照明による光の照射の個体差や、設置位置による相対関係等が反映されたグラフとなる。

【0028】

仮想合計グラフ作成工程（工程Ｂ）
工程Ｂでは、工程Ａで作成した個別グラフを全て統合した仮想合計グラフを作成する。仮想合計グラフは、例えば、図５のように、カメラ視野Ｖに対する受光量Ａのグラフにおいて、全ての照明１００の個別スペクトルを統合したスペクトルＦを示す構成としてよい。仮想合計グラフは、目標値Ｔに対応する目標光量ラインＳを表示することが好ましい。仮想合計グラフ作成部２２２による個別グラフの統合は、カメラ視野Ｖを横軸として、各個別グラフの受光量Ａを積算して作成してもよい。

【0029】

また、個別グラフの統合は、各個別グラフの受光量Ａを積算した後に、図２のように照射光１０１の重複する部分１０１Ｄについて、掃き出し法等で重みづけをした受光量Ａを表示するものとしてもよい。照射光１０１の重複する部分１０１Ｄでは、関係する各個別グラフを合計した光量よりも、実際に検出される光量の方が少なくなる場合等があり、受光量Ａを単純に積算した場合では実際の光量とは異なる仮想合計グラフが示される傾向があるためである。なお、掃き出し法は、行列を用いて連立方程式を解く方法として知られており、掃き出し法で重みづけをするための具体的な手順は公知技術を用いて実現すればよく、ここでは詳細な説明を省略する。

【0030】

グラフ表示工程（工程Ｃ）
工程Ｃでは、個別グラフまたは仮想合計グラフの少なくともいずれかを表示装置２３０に画面表示する。個別グラフと仮想合計グラフは、一度に画面表示してもよく、任意のタイミングで選択して画面表示するように構成してもよい。個別グラフと仮想合計グラフには、受光量Ａの目標値Ｔに基づく目標光量ラインＳを表示することが好ましい。

【0031】

工程Ｃにおける画面表示は、原則として仮想合計グラフを表示することも好ましい。作業者が、表示内容の目標光量ラインＳを目安として、横軸のカメラ視野Ｖの全域で受光量Ａが目標光量ラインＳに沿って均一になるように、各照明１００の光量を調整できるためである。作業者による光量調整において、必要に応じて、各照明１００の個別グラフを表示することにより、一つ一つの照明１００による光の照射特性（光量がどのように分布しているかの特性）を把握することができる。このため、任意のタイミングで個別グラフを表示することにより、作業者は、どの照明１００の光量をどう調整すればよいか、把握しやすくなる。

【0032】

光量調整工程（工程Ｄ）
工程Ｄでは、工程Ｃにおいて表示された個別グラフと仮想合計グラフに基づいて、照明１００の光量を光量制御装置１１０により調整する。複数の照明１００の光量は、照明１００ごとに任意の順で調整するものとしてよい。例えば、本態様のように、複数の照明１００が、対象物Ｐの搬送される方向Ｘに対して、搬送路Ｒにおける垂直方向Ｙに列状に配置されている場合（図２）において、列の端部に配置された照明１００より順に光量を変更するように構成してもよい。端部に配置された照明１００より光量を変更した場合、カメラ視野Ｖの全域について受光量Ａを均一にするに際して、作業者が各照明１００の光量をどの程度調整したら良いかを決定しやすいためである。具体的には、カメラ視野Ｖにおいて、端部に配置された照明１００は、内側に配置された照明１００よりも、光の拡散等により光量が低めになる傾向があり、光量の調整が困難な場合がある。そこで、かかる端部の照明１００について優先的に光量を調整することで、カメラ視野Ｖ全域の光量調整に要する手間と時間を効率化し、光量調整の精度も高めることが可能になる。

【0033】

工程Ｄにおける照明１００の光量の調整は、列状に配置された１つ置きの照明１００の光量を変更するように構成してもよい。１つ置きに配置された照明１００から順に光量を変更した場合も、カメラ視野Ｖの全域について受光量Ａを均一にするに際し、各照明１００の光量をどの程度調整したら良いかを決定しやすくなる。具体的には、隣り合う照明１００において光量を調整するには、光が重複して照射される部分（図２における１０１Ｄ）について、光の重複による影響を考慮して光量をどの程度調整するかを決定する必要がある。この点、１つ置きに配置された照明１００から順に光量を調整する場合、作業者は光の重複による影響を考慮せずに、どれくらい光量を調整すべきかを決定しやすくなる。このため、カメラ視野Ｖ全域の光量調整に要する手間と時間を効率化し、光量調整の精度も高めることが可能になる。

【0034】

また、工程Ｄにおいて、照明１００の光量の調整を、作業者が行うためのアプリケーションを利用して行うものとしてもよい。アプリケーション画面は、例えば、図８に示す画面例のように、複数の照明１００を列状に配置した検査システム１０を例に、カメラ２００の受光量スペクトルＬを示すものとしてよい。画面例の横軸はカメラ視野Ｖであり、縦軸はカメラ２００の受光量Ａである。このアプリケーションでは、作業者が受光量Ａの目標値Ｔを入力すると、目標値Ｔに対応する目標光量ラインＳが示される例となっている。画面例の横軸には、各照明１００の機器名Ｍ、受光量Ａの現在値Ｎ、および受光量Ａの設定値Ｉの入力欄が示されている。
アプリケーション画面は、例えば、情報処理装置２２０にインストールされたソフトウエアにより表示装置２３０に表示されるように構成してよい。作業者が上記画面例のアプリケーションに設定値Ｉを入力した場合、情報処理装置２２０が光量制御装置１１０に照明１００の光量を調整するための指示を送付するものとしてよい。

【0035】

グラフ反映工程（工程Ｅ）
工程Ｅでは、工程Ｄによる照明１００の光量の調整結果を、個別グラフに反映させる。個別グラフ変更部２２３は、例えば、図６に示すように、個別グラフの受光量スペクトルＬが、スペクトルＬ１やＬ２となるように照明１００の光量の調整結果を反映するよう構成できる。例えば、基準照射量Ｃで照射した個別グラフのプロファイルについて、情報処理装置２２０が所定の演算処理を実施する構成としてよい。具体的には、個別グラフ変更部２２３は光量を調整した度合いに応じて個別グラフのプロファイルを変更し、受光量Ａを増大または減少させることにより、当該個別グラフに光量の調整結果を反映させるものとしてよい。所定の演算処理により光量の調整結果を反映させるのは、個別グラフにおいて、光量を調整した際のグラフの変化が線形的なものになると考えられるためである。このように個別グラフの光量調整結果を反映すると、光量調整後の光量を改めてカメラ２００で検出しなくとも仮想合計グラフのシミュレーションを行うことができ、効率的に撮像範囲の光量を均一に調整可能になる。なお、光量の調整結果の反映は例えば、個別グラフの蓄積データを元に決定した内容のデータを反映するものとしてもよい。

【0036】

以上で光量の調整結果を反映した個別グラフは、再度、仮想合計グラフ作成部２２２により仮想合計グラフを作成することにより、照明１００の光量の調整結果を反映した仮想合計グラフを作成することができる。

【0037】

図７に示すように、工程Ｅの後、作業者は、光量の調整結果を反映した仮想合計グラフ等を確認し、カメラ視野内が目標値Ｔで均一になっているかどうかを確認することが好ましい。作業者は、目標受光量をチェックした後、照明１００を全て照射した全照射グラフを確認し、カメラ視野内が目標値Ｔで均一になっているかどうかを確認することが好ましい。全照射グラフは、照明１００をすべて照射した際の光を、カメラ視野Ｖに対する受光量Ａでグラフ化して作成することができ、例えば情報処理装置２２０により作成するものとしてよい。

【0038】

（３）効果
本態様によれば、以下に示す１つまたは複数の効果が得られる。

【0039】

（ａ）個別グラフおよび個別グラフを統合した仮想合計グラフが画面表示されることにより、作業者は、複数の照明１００のうち、いずれの照明１００について光量の調整が必要かの目安を得ることができる。また、個別グラフおよび仮想合計グラフに目標光量ラインＳを表示した場合、作業者は光量の調整をどの程度要するかの指標を得やすい。

【0040】

（ｂ）照明１００の光量の調整結果を反映した個別グラフを用いて、光量の調整結果を反映した仮想合計グラフを作成できるため、作業者が光量を調整した際の受光量Ａを模擬的に察知できる。よって、どの照明１００の光量をどの程度調整したらよいか、作業者が事前に検討しやすくなり、複数の照明１００の光量の調整が容易になる。また、アプリケーション画面を用いた場合、カメラ視野Ｖに対する受光量Ａのグラフを見ながら光量の均一化を図ることができ、視覚的に調整しやすくなる。

【0041】

ここで、検査システム１０は、仮想合計グラフに代えて、照明１００をすべて照射した際の光量をカメラ２００で検出して受光量Ａのプロファイルを全照射グラフとして作成する構成としてもよい。この場合、全照射グラフを元に作業者が各照明１００の光量を調整することも可能であるが、実際に照明１００の光量を調整し、調整した都度、全照射グラフを作成し、受光量Ａのグラフを確認する必要が生じる。これに対し、上記のように個別グラフに基づいて仮想合計グラフを作成する場合、作業者が光量を調整する際の利便性に優れる。実際に光量調整を行う前の段階で調整後の受光量Ａのプロファイルを仮想合計グラフとして把握でき、光量調整のシミュレーションが可能になるためである。また、個別グラフは各照明１００の光量の実測に基づくものであり、実際に各照明１００の光量を個別に調整した際の光量変化は線形的なものと考えられることから、仮想合計グラフには、光量調整による変化を適切に反映しやすい。

【0042】

（ｃ）照明１００をすべて照射した全照射グラフを作成した場合、仮想合計グラフと比較して差分を抽出することで、差分に基づき仮想合計グラフを補正し、仮想合計グラフの特定精度を向上することが可能になる。すなわち、全照射グラフと仮想合計グラフとの差分を、補正係数としてデータ蓄積することにより、検査システム１０が仮想合計グラフ作成の精度を向上する構成としてもよい。

【0043】

（ｄ）列状に配置された複数の照明１００は、端部に配置された照明１００から順に光量を変更することとした場合、光量の調整に要する時間を短縮しやすい。図２に示されるように、他の部分よりも光量が低くなりやすい端部の照射光１０１Ｅを優先して調整するからである。

【0044】

＜他の態様＞
以上、本開示の態様を具体的に説明した。但し、本開示は上述の態様に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。

【0045】

例えば、本態様では、搬送路Ｒにおいて、搬送方向Ｘに対し、垂直方向に列状にカメラ２００を配置した場合について説明したが、カメラ２００の配置はこれに限定されない。

【0046】

個別グラフ作成部２２１、仮想合計グラフ作成部２２２、および個別グラフ変更部２２３を、情報処理装置２２０に構成した例について説明したが、各部は検査システム１０内に有していればよく、例えば、検出装置２１０や光量制御装置等に構成してもよい。

【0047】

本態様では、検出装置２１０がカメラ２００と別の構成として設置された場合について説明したが、検出装置２１０が情報処理装置２２０と、一体として構成されてもよい。カメラ２００または検出装置２１０は、撮像した画像を画像処理するための画像処理装置（図示せず）と接続した構成としてもよく、画像処理装置は情報処理装置２２０や検出装置２１０等と一体の構成にしてもよい。

【0048】

情報処理装置２２０は、全照射グラフを作成する構成を追加で有してもよく、全照射グラフと仮想合計グラフとを比較して差分を抽出し、差分に基づき仮想合計グラフが補正される構成としてもよい。

【符号の説明】

【0049】

１０ 検査システム
１００ 照明
１１０ 光量制御装置
２００ カメラ
２１０ 検出装置
２２０ 情報処理装置
２３０ 表示装置
１０１ 照射光
１０１Ｄ 重複部の照射光
１０１Ｅ 端部の照射光
Ｐ 対象物
Ｒ 搬送路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】