特開 2024-37538 貼付装置及び貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024037538

(43)【公開日】2024-03-19

(54)【発明の名称】貼付装置及び貼付方法

(51)【国際特許分類】

   B32B 37/00 20060101AFI20240312BHJP

【ＦＩ】

B32B37/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】15

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022142457

(22)【出願日】2022-09-07

(71)【出願人】

【識別番号】306037311

【氏名又は名称】富士フイルム株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002505

【氏名又は名称】弁理士法人航栄事務所

(72)【発明者】

【氏名】坂▲崎▼ 良樹

【テーマコード（参考）】

4F100

【Ｆターム（参考）】

4F100AB11A

4F100AG00A

4F100AK42B

4F100AT00A

4F100AT00B

4F100BA02

4F100BA07

4F100CB00B

4F100CB05B

4F100EJ42

4F100EK03A

4F100EK04B

4F100EK06

4F100GB41

4F100JL13B

(57)【要約】

【課題】基板の他方の面の機能の低下を防ぎながら、基板の一方の面に貼付部材を貼付けることができる貼付装置及び貼付方法を提供する。
【解決手段】貼付装置１００は、第１搬送部１０とローラ３０とを備え、ローラ３０の回転軸３０Ａの延びる方向に見た状態にて、回転軸３０Ａを通り且つ第１搬送部１０の第１搬送面１０Ｓに垂直な仮想線Ｌ１とローラ３０の外周縁との交点のうち上側のものを天頂部３０Ｕとし、第１搬送面１０Ｓの延長線１０ＳＬが、天頂部３０Ｕと回転軸３０Ａを結ぶ線分における天頂部３０Ｕと回転軸３０Ａを除く部分と交差し、貼付部材２が第１搬送部１０とローラ３０の間を通ってローラ３０に載置された状態で、第１搬送部１０による基板１の搬送が行われ、基板１の裏面１Ｂが貼付部材２及びローラ３０に接触して、裏面１Ｂに貼付部材２が貼付けられる。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板の一方の面に貼付部材を貼り付ける貼付装置であって、
前記基板を搬送する第１搬送部と、
前記第１搬送部に対して前記基板の搬送方向の下流側に配置された、前記搬送方向に交差する方向に延びる回転軸を有する回転体と、を備え、
前記回転体の回転軸の延びる方向に見た状態にて、前記回転軸を通り且つ前記第１搬送部の第１搬送面に垂直な仮想線と、前記回転体の外周縁との交点のうち、前記回転軸よりも鉛直方向側とは反対側にあるものを第１天頂部とし、
前記回転体の回転軸の延びる方向に見た状態にて、前記第１搬送面の延長線が、前記第１天頂部と前記回転軸を結ぶ線分における前記第１天頂部と前記回転軸を除く部分と交差し、
前記貼付部材が前記第１搬送部と前記回転体の間を通って前記回転体の外周面上に載置された状態で、前記第１搬送部による前記基板の搬送が行われ、前記基板の前記一方の面が前記貼付部材及び前記回転体に接触して、前記一方の面に前記貼付部材が貼付けられる、貼付装置。

【請求項2】

請求項１に記載の貼付装置であって、
前記第１搬送部は、前記基板の前記一方の面と当接した状態で前記基板を搬送する、貼付装置。

【請求項3】

請求項１に記載の貼付装置であって、
前記貼付部材の一端部は、前記基板が前記貼付部材及び前記回転体に接触する前の状態において、前記第１搬送面の延長線と前記回転体との交点のうちの前記第１搬送部側の交点、よりも前記第１搬送部の搬送方向の下流側に配置され、
前記第１搬送部により搬送された前記基板の搬送方向下流側の端部が、前記貼付部材及び前記回転体に接触したことを契機として、前記貼付部材の前記一端部を、前記第１搬送部の搬送方向の下流側に引っ張って前記貼付部材を移動させる駆動部を更に備える、貼付装置。

【請求項4】

請求項３に記載の貼付装置であって、
前記第１搬送部は、前記基板における搬送方向の上流側の端部を押して、前記基板を搬送する、貼付装置。

【請求項5】

請求項１に記載の貼付装置であって、
前記貼付部材が前記回転体の外周面上に載置された状態にて、前記回転軸の延びる方向における前記貼付部材の中央部が、前記方向における前記貼付部材の両端部よりも前記回転体の外周面から離れる状態を形成する、形状制御部を更に備える、貼付装置。

【請求項6】

請求項１に記載の貼付装置であって、
前記基板が前記貼付部材及び前記回転体に接触している状態において、前記基板の他方の面には前記貼付装置を構成する物体が非接触となっている、貼付装置。

【請求項7】

請求項１に記載の貼付装置であって、
前記回転体の前記第１搬送部側と反対側の隣に配置された、前記基板を搬送する第２搬送部を更に備える、貼付装置。

【請求項8】

請求項７に記載の貼付装置であって、
前記回転体の回転軸の延びる方向に見た状態にて、前記回転軸を通り且つ前記第２搬送部の第２搬送面に垂直な仮想線と、前記回転体の外周縁との交点のうち、前記回転軸よりも鉛直方向側とは反対側にあるものを第２天頂部とし、前記回転軸よりも鉛直方向側にあるものを天底部とし、
前記回転体の回転軸の延びる方向に見た状態にて、前記第２搬送面の延長線は、前記第２天頂部と交差する又は前記第２天頂部よりも前記天底部側に位置する、貼付装置。

【請求項9】

基板を搬送可能な第１搬送部に対して前記基板の搬送方向の下流側に配置された前記搬送方向に交差する方向に延びる回転軸を有する回転体の外周面に、前記第１搬送部と前記回転体の間を通して、貼付部材の一部を載置する第１工程と、
前記第１搬送部によって前記基板を搬送して、前記基板を、前記貼付部材及び前記回転体に接触させて、前記基板を前記回転体に乗り上げさせ、前記基板の自重により、前記基板の一方の面に前記貼付部材を貼付ける第２工程と、を備える、貼付方法。

【請求項10】

請求項９に記載の貼付方法であって、
前記回転体の回転軸の延びる方向に見た状態にて、前記回転軸を通り且つ前記第１搬送部の第１搬送面に垂直な仮想線と、前記回転体の外周縁との交点のうち、前記回転軸よりも鉛直方向側とは反対側にあるものを第１天頂部とし、
前記回転体の回転軸の延びる方向に見た状態にて、前記第１搬送面の延長線が、前記第１天頂部と前記回転軸を結ぶ線分における前記第１天頂部と前記回転軸を除く部分と交差する位置に、前記回転体を配置する、貼付方法。

【請求項11】

請求項９に記載の貼付方法であって、
前記第１工程では、前記第１搬送部の第１搬送面の延長線と前記回転体との交点のうちの前記第１搬送部側の交点よりも、前記第１搬送部の搬送方向の下流側に、前記貼付部材の一端部を配置する、貼付方法。

【請求項12】

請求項１１に記載の貼付方法であって、
前記基板の搬送方向の下流側の端部が前記貼付部材及び前記回転体に接触したことを契機として、前記貼付部材の前記一端部を、前記第１搬送部による搬送方向の下流側に引っ張る第３工程を更に備える、貼付方法。

【請求項13】

請求項１２に記載の貼付方法であって、
前記第３工程を開始した後に、前記第１搬送部による前記基板の搬送を停止する、貼付方法。

【請求項14】

請求項９に記載の貼付方法であって、
前記第１工程では、前記基板の前記搬送方向に直交する方向の幅よりも狭い幅を持つ前記貼付部材を前記回転体の外周面に載置する、貼付方法。

【請求項15】

請求項１４に記載の貼付方法であって、
前記第２工程では、前記基板の搬送方向の上流側の端部を押して、前記基板を搬送する、貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、貼付装置及び貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、柔軟性及び通気性を有する多孔質性シートと、真空吸引により多孔質性シートを介して機能性フイルムを保持する保持面を有する保持装置と、多孔質性シート上から機能性フイルムを被貼付面に対して押圧しつつ移動するローラとを用い、粘着剤層を一方の面に有する機能性フイルムを粘着剤層によって被貼付面の一端から他端にまで貼付けする方法が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平１１－２０１１０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

基板の一方の面と他方の面のうちの一方の面に貼付部材を貼り付ける際、他方の面の機能の低下を防ぎながら、この作業を行う状況が発生し得る。特許文献１では、このような状況を考慮していない。

【0005】

本開示の目的は、基板の一方の面と他方の面のうち他方の面の機能の低下を防ぎながら、一方の面に貼付部材を貼付けることができる貼付装置及び貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の技術は以下に示すものである。

【0007】

（１）
基板の一方の面に貼付部材を貼り付ける貼付装置であって、
上記基板を搬送する第１搬送部と、
上記第１搬送部に対して上記基板の搬送方向の下流側に配置された、上記搬送方向に交差する方向に延びる回転軸を有する回転体と、を備え、
上記回転体の回転軸の延びる方向に見た状態にて、上記回転軸を通り且つ上記第１搬送部の第１搬送面に垂直な仮想線と、上記回転体の外周縁との交点のうち、上記回転軸よりも鉛直方向側とは反対側にあるものを第１天頂部とし、
上記回転体の回転軸の延びる方向に見た状態にて、上記第１搬送面の延長線が、上記第１天頂部と上記回転軸を結ぶ線分における上記第１天頂部と上記回転軸を除く部分と交差し、
上記貼付部材が上記第１搬送部と上記回転体の間を通って上記回転体の外周面上に載置された状態で、上記第１搬送部による上記基板の搬送が行われ、上記基板の上記一方の面が上記貼付部材及び上記回転体に接触して、上記一方の面に上記貼付部材が貼付けられる、貼付装置。

【0008】

（２）
（１）に記載の貼付装置であって、
上記第１搬送部は、上記基板の上記一方の面と当接した状態で上記基板を搬送する、貼付装置。

【0009】

（３）
（１）又は（２）に記載の貼付装置であって、
上記貼付部材の一端部は、上記基板が上記貼付部材及び上記回転体に接触する前の状態において、上記第１搬送面の延長線と上記回転体との交点のうちの上記第１搬送部側の交点、よりも上記第１搬送部の搬送方向の下流側に配置され、
上記第１搬送部により搬送された上記基板の搬送方向下流側の端部が、上記貼付部材及び上記回転体に接触したことを契機として、上記貼付部材の上記一端部を、上記第１搬送部の搬送方向の下流側に引っ張って上記貼付部材を移動させる駆動部を更に備える、貼付装置。

【0010】

（４）
（１）から（３）のいずれかに記載の貼付装置であって、
上記第１搬送部は、上記基板における搬送方向の上流側の端部を押して、上記基板を搬送する、貼付装置。

【0011】

（５）
（１）から（４）のいずれかに記載の貼付装置であって、
上記貼付部材が上記回転体の外周面上に載置された状態にて、上記回転軸の延びる方向における上記貼付部材の中央部が、上記方向における上記貼付部材の両端部よりも上記回転体の外周面から離れる状態を形成する、形状制御部を更に備える、貼付装置。

【0012】

（６）
（１）から（５）のいずれかに記載の貼付装置であって、
上記基板が上記貼付部材及び上記回転体に接触している状態において、上記基板の他方の面には上記貼付装置を構成する物体が非接触となっている、貼付装置。

【0013】

（７）
（１）から（６）のいずれかに記載の貼付装置であって、
上記回転体の上記第１搬送部側と反対側の隣に配置された、上記基板を搬送する第２搬送部を更に備える、貼付装置。

【0014】

（８）
（７）に記載の貼付装置であって、
上記回転体の回転軸の延びる方向に見た状態にて、上記回転軸を通り且つ上記第２搬送部の第２搬送面に垂直な仮想線と、上記回転体の外周縁との交点のうち、上記回転軸よりも鉛直方向側とは反対側にあるものを第２天頂部とし、上記回転軸よりも鉛直方向側にあるものを天底部とし、
上記回転体の回転軸の延びる方向に見た状態にて、上記第２搬送面の延長線は、上記第２天頂部と交差する又は上記第２天頂部よりも上記天底部側に位置する、貼付装置。

【0015】

（９）
基板を搬送可能な第１搬送部に対して上記基板の搬送方向の下流側に配置された上記搬送方向に交差する方向に延びる回転軸を有する回転体の外周面に、上記第１搬送部と上記回転体の間を通して、貼付部材の一部を載置する第１工程と、
上記第１搬送部によって上記基板を搬送して、上記基板を、上記貼付部材及び上記回転体に接触させて、上記基板を上記回転体に乗り上げさせ、上記基板の自重により、上記基板の一方の面に上記貼付部材を貼付ける第２工程と、を備える、貼付方法。

【0016】

（１０）
（９）に記載の貼付方法であって、
上記回転体の回転軸の延びる方向に見た状態にて、上記回転軸を通り且つ上記第１搬送部の第１搬送面に垂直な仮想線と、上記回転体の外周縁との交点のうち、上記回転軸よりも鉛直方向側とは反対側にあるものを第１天頂部とし、
上記回転体の回転軸の延びる方向に見た状態にて、上記第１搬送面の延長線が、上記第１天頂部と上記回転軸を結ぶ線分における上記第１天頂部と上記回転軸を除く部分と交差する位置に、上記回転体を配置する、貼付方法。

【0017】

（１１）
（９）又は（１０）に記載の貼付方法であって、
上記第１工程では、上記第１搬送部の第１搬送面の延長線と上記回転体との交点のうちの上記第１搬送部側の交点よりも、上記第１搬送部の搬送方向の下流側に、上記貼付部材の一端部を配置する、貼付方法。

【0018】

（１２）
（１１）に記載の貼付方法であって、
上記基板の搬送方向の下流側の端部が上記貼付部材及び上記回転体に接触したことを契機として、上記貼付部材の上記一端部を、上記第１搬送部による搬送方向の下流側に引っ張る第３工程を更に備える、貼付方法。

【0019】

（１３）
（１２）に記載の貼付方法であって、
上記第３工程を開始した後に、上記第１搬送部による上記基板の搬送を停止する、貼付方法。

【0020】

（１４）
（９）から（１３）のいずれかに記載の貼付方法であって、
上記第１工程では、上記基板の上記搬送方向に直交する方向の幅よりも狭い幅を持つ上記貼付部材を上記回転体の外周面に載置する、貼付方法。

【0021】

（１５）
（９）から（１４）のいずれかに記載の貼付方法であって、
上記第２工程では、上記基板の搬送方向の上流側の端部を押して、上記基板を搬送する、貼付方法。

【発明の効果】

【0022】

本開示の技術によれば、基板の他方の面の機能の低下を防ぎながら、基板の一方の面に貼付部材を貼付けることができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本開示の技術に係る貼付装置１００を鉛直方向（重力のかかる方向）に見た状態を示す平面模式図である。

【図2】図１に示す貼付装置１００の側面図である。

【図3】図１に示す貼付装置１００による貼付け動作の開始時の状態を示す模式図である。

【図4】図２の部分拡大図であり、第１搬送面１０Ｓと第２搬送面２０Ｓとローラ３０との位置関係を説明するための図である。

【図5】貼付装置１００の動作を説明するための状態遷移図である。

【図6】貼付装置１００の好ましい構成を示す平面模式図である。

【図7】貼付装置１００の第一変形例である貼付装置１００Ａの平面模式図である。

【図8】図７に示す貼付装置１００Ａを左右方向Ｙに見た側面図である。

【図9】図７及び図８に示す貼付装置１００Ａの動作を説明するための状態遷移図である。

【図10】貼付装置１００の第二変形例である貼付装置１００Ｂの平面模式図である。

【図11】図１０のＡ－Ａ矢視の断面模式図である。

【図12】図１０のＢ－Ｂ矢視の断面模式図である。

【図13】第１搬送面１０Ｓと第２搬送面２０Ｓとローラ３０との位置関係の第一変形例を説明するための図であり、図４に対応する図である。

【図14】第１搬送面１０Ｓと第２搬送面２０Ｓとローラ３０との位置関係の第二変形例を説明するための図であり、図４に対応する図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

図１は、本開示の技術に係る貼付装置１００を鉛直方向（重力のかかる方向）に見た状態を示す平面模式図である。図２は、図１に示す貼付装置１００の側面図である。図３は、図１に示す貼付装置１００による貼付け動作の開始時の状態を示す模式図である。

【0025】

図１及び図２では、鉛直方向を下方向Ｚ１と記載し、下方向Ｚ１の反対方向を上方向Ｚ２と記載し、下方向Ｚ１と上方向Ｚ２を合わせて上下方向Ｚと記載している。また、上下方向Ｚに垂直な平面に沿う２方向であって、互いに交差する２方向のうちの一方を前後方向Ｘと記載し、その２方向のうちの他方を左右方向Ｙと記載している。図１及び図２の例では、前後方向Ｘと左右方向Ｙは直交している。また、前後方向Ｘの一方の方向を前方向Ｘ１と記載し、前方向Ｘ１の反対方向を後方向Ｘ２と記載している。

【0026】

貼付装置１００は、図２に示すような表面１Ａと表面１Ａの反対面である裏面１Ｂとを有する基板１の裏面１Ｂに、貼付部材２を貼付ける処理を行う装置である。基板１は、例えば半導体基板又はガラス基板等で構成されており、表面１Ａに、配線パターン、半導体素子、又はカラーフィルタ等の光学部材、等の各種部材が形成されるものである。

【0027】

このような各種部材を表面１Ａに形成する過程では、裏面１Ｂ側から加熱を行いながら表面１Ａに機能膜を成膜したり、チャンバー等で基板１を減圧しながら表面１Ａに機能膜を成膜したり、といった処理が行われる。これらの処理を行う際には、裏面１Ｂを保護したり、裏面１Ｂに遮光性能を付与したりすることが求められる場合がある。貼付装置１００は、裏面１Ｂを保護したり、裏面１Ｂに光学性能を付与したりするために、保護シート又は遮光シート等の貼付部材を裏面１Ｂに貼付ける際に用いられる。このような貼付部材の裏面１Ｂへの貼付けは、表面１Ａに形成された機能膜に物理的に接触することなく（機能膜の機能品質を低下させることなく）行うことが求められる。貼付装置１００では、表面１Ａに形成された機能膜の機能低下を防ぎながら、裏面１Ｂに貼付部材を貼付けることができるように構成されている。

【0028】

貼付装置１００は、基板１を前方向Ｘ１に搬送する第１搬送部１０と、第１搬送部１０に対して前方向Ｘ１側（第１搬送部１０による基板１の搬送方向の下流側）に配置されたローラ３０と、ローラ３０の第１搬送部１０側とは反対側の隣に配置され、裏面１Ｂに貼付部材２が貼付けられた状態の基板１を前方向Ｘ１に搬送する第２搬送部２０と、貼付部材２を待機させるための待機部４０と、を備える。

【0029】

第１搬送部１０は、前後方向Ｘに配列された複数（本形態では３つ）の搬送ローラ１１を備える。搬送ローラ１１は、その軸方向が左右方向Ｙと一致する状態で配置されている。第１搬送部１０を構成する各搬送ローラ１１の上端縁を含む平面が、第１搬送部１０の第１搬送面１０Ｓ（図２参照）を構成している。図２の例では、第１搬送面１０Ｓは、上下方向Ｚに垂直となっている。基板１は、裏面１Ｂが第１搬送面１０Ｓと対面する状態で各搬送ローラ１１の上に載置されて、第１搬送部１０によって前方向Ｘ１へと搬送される。換言すると、第１搬送部１０は、基板１の裏面１Ｂと当接した状態で基板１を搬送する。

【0030】

各搬送ローラ１１は、図示省略のモータ等のアクチュエータによって回転駆動される駆動ローラであってもよいし、従動ローラであってもよい。なお、第１搬送部１０は、ベルトコンベヤで構成されていてもよい。第１搬送部１０がベルトコンベヤで構成される場合には、ベルトの上端面が第１搬送面１０Ｓを構成する。

【0031】

第２搬送部２０は、前後方向Ｘに配列された複数（本形態では３つ）の搬送ローラ２１を備える。搬送ローラ２１は、その軸方向が左右方向Ｙと一致する状態で配置されている。第２搬送部２０を構成する各搬送ローラ２１の上端縁を含む平面が、第２搬送部２０の第２搬送面２０Ｓ（図２参照）を構成している。図２の例では、第２搬送面２０Ｓは、上下方向Ｚに垂直となっている。基板１は、裏面１Ｂが第２搬送面２０Ｓと対面する状態で各搬送ローラ２１の上に載置されて、第２搬送部２０によって前方向Ｘ１へと搬送される。換言すると、第２搬送部２０は、貼付部材２が貼付けられた裏面１Ｂと当接した状態で基板１を搬送する。

【0032】

各搬送ローラ２１は、駆動ローラであってもよいし、従動ローラであってもよい。なお、第２搬送部２０は、ベルトコンベヤで構成されていてもよい。第２搬送部２０がベルトコンベヤで構成される場合には、ベルトの上端面が第２搬送面２０Ｓを構成する。図２の例では、第１搬送面１０Ｓは、第２搬送面２０Ｓよりも下側（下方向Ｚ１側）に位置している。

【0033】

ローラ３０は、第１搬送部１０と第２搬送部２０の間に配置されており、第１搬送部１０による基板１の搬送方向に交差する方向に延びる回転軸３０Ａを有する円柱状又は円筒状の回転体である。本形態では、回転軸３０Ａの延びる方向（ローラ３０の軸方向）は、左右方向Ｙと一致している。すなわち、図２は、回転軸３０Ａの延びる方向に貼付装置１００を見た状態を示している。

【0034】

待機部４０は、第１搬送部１０の下方に配置されており、貼付部材２が載置可能な板状の載置部４１と、貼付部材２が下方に落下するのを防ぐために載置部４１の後端から上側に突出した板状の突出部４２と、を備える。図３に示すように、貼付部材２は、その一端部がローラ３０の外表面に載置され、その他端部が載置部４１に載置されることで、待機部４０に待機した待機状態となる。この待機状態では、貼付部材２の一部（前端部）は、第１搬送部１０とローラ３０の間を通って、この間を下側から上側に引き出された状態で、ローラ３０の外表面に載置される。

【0035】

貼付部材２は、基板１の裏面１Ｂと同等の平面積又は裏面１Ｂよりも小さな平面積を有したシート状の部材である。貼付部材２は、一例として、自己粘着性を持つシートで構成されており、一方の面が粘着面２Ａを構成している。貼付部材２は、粘着面２Ａがローラ３０の外表面側とは反対側に向く状態で待機部４０にて待機する。貼付部材２を、自己粘着性を持つシートとすることで、基板１に対する必要な処理を行った後に、基板１から貼付部材２を容易に剥がすことができる。なお、貼付部材２の粘着面２Ａは、接着剤が塗布された接着面に置き換えられてもよい。貼付部材２は、一例として、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）を基材とするものを用いることができる。

【0036】

図４は、図２の部分拡大図であり、第１搬送面１０Ｓと第２搬送面２０Ｓとローラ３０との位置関係を説明するための図である。図４には、第１搬送面１０Ｓの延長線１０ＳＬと、第２搬送面２０Ｓの延長線２０ＳＬと、回転軸３０Ａを通り且つ第１搬送面１０Ｓに垂直な仮想線Ｌ１と、が示されている。仮想線Ｌ１は、回転軸３０Ａを通り且つ第２搬送面２０Ｓに垂直な仮想線ということもできる。

【0037】

図４には、仮想線Ｌ１とローラ３０の外周縁との交点のうち、回転軸３０Ａよりも上側にあるものが天頂部３０Ｕとして示され、回転軸３０Ａよりも下側にあるものが天底部３０Ｄとして示されている。また、図４には、延長線１０ＳＬとローラ３０の外周縁との交点のうち、第１搬送部１０側のものが交点Ｐ１として示されている。

【0038】

天頂部３０Ｕは、第１天頂部を構成している。なお、天頂部３０Ｕは、回転軸３０Ａを通り且つ第２搬送面２０Ｓに垂直な仮想線とローラ３０の外周縁との交点のうち、回転軸３０Ａよりも上側にある第２天頂部を構成してもいる。

【0039】

天底部３０Ｄは、回転軸３０Ａを通り且つ第２搬送面２０Ｓに垂直な仮想線とローラ３０の外周縁との交点のうち、回転軸３０Ａよりも下側にある天底部を構成してもいる。

【0040】

第１搬送部１０とローラ３０は、延長線１０ＳＬが、天頂部３０Ｕと回転軸３０Ａを結ぶ線分（仮想線Ｌ１のうちの天頂部３０Ｕから回転軸３０Ａまでの部分）における天頂部３０Ｕと回転軸３０Ａを除く部分と交差する状態にて、配置されている。図４の例では、第１搬送部１０とローラ３０は、延長線１０ＳＬが天頂部３０Ｕと回転軸３０Ａとの中間付近にて交差する状態にて配置されている。また、第２搬送部２０とローラ３０は、延長線２０ＳＬが、天頂部３０Ｕと交差する状態にて配置されている。

【0041】

なお、第２搬送部２０とローラ３０は、延長線２０ＳＬが、天頂部３０Ｕよりも天底部３０Ｄ側に位置する状態にて配置されていてもよい。例えば、延長線２０ＳＬが、天頂部３０Ｕと回転軸３０Ａの間に位置したり、天底部３０Ｄと回転軸３０Ａの間に位置していたり、してもよい。

【0042】

図３に示した待機状態にある貼付部材２の前端部は、第１搬送面１０Ｓの延長線１０ＳＬとローラ３０との交点Ｐ１よりも、前方向Ｘ１側（第１搬送部１０の搬送方向の下流側）に配置される。例えば、図４において破線で示した貼付部材２のように、待機状態にある貼付部材２の前端部は、ローラ３０の外表面のうち、天頂部３０Ｕと交点Ｐ１の間の領域に配置される。待機状態にある貼付部材２の前端部は、ローラ３０の外表面のうち、図４に示した天頂部３０Ｕよりも前側の領域に配置されてもよい。

【0043】

次に、以上のように構成された貼付装置１００の動作について説明する。図５は、貼付装置１００の動作を説明するための状態遷移図である。

【0044】

まず、図３に示すように、貼付部材２が待機部４０にて待機している状態で、第１搬送部１０の各搬送ローラ１１の上に基板１が載置される。そして、第１搬送部１０によって基板１の搬送が開始される。第１搬送部１０による基板１の搬送は、各搬送ローラ１１を駆動することで行ってもよいし、各搬送ローラ１１を従動ローラとし、基板１の後端部１Ｒの後端面を図示省略の押圧部材等で前方向Ｘ１に向かって押し出すことで行ってもよい。

【0045】

第１搬送部１０による基板１の搬送が進むと、図５の状態ＳＴ１にて示されるように、基板１の裏面１Ｂのうちの前端縁が、ローラ３０の外周面上に載置されている貼付部材２及びローラ３０に接触する。この接触位置は、回転軸３０Ａよりも上側である。このため、この接触により、基板１からの力を受けたローラ３０は図中の時計回りに回転する。本形態では、第１搬送面１０Ｓの延長線１０ＳＬよりも上側にローラ３０の一部が存在するため、上記の接触の後も搬送が継続されることで、図５の状態ＳＴ２にて示されるように、基板１は、貼付部材２越しにローラ３０に乗り上げた状態となる。状態ＳＴ２では、基板１の前端部１Ｆとローラ３０とで貼付部材２が挟まれた形となり、基板１の自重によって、前端部１Ｆの裏面１Ｂが貼付部材２の粘着面２Ａに押圧されて、裏面１Ｂに貼付部材２が貼付けられる。

【0046】

状態ＳＴ２から更に基板１の搬送が進むことで、ローラ３０は時計回りに回転し、基板１及び貼付部材２が前方向Ｘ１に送られることで、裏面１Ｂには、順次、貼付部材２が貼付けられていく。最終的には、図５の状態ＳＴ３にて示されるように、裏面１Ｂの必要範囲の全てに貼付部材２が貼り付けられる。

【0047】

なお、ローラ３０を駆動ローラとし、状態ＳＴ１にて示されるように、基板１がローラ３０及び貼付部材２に接触したタイミングで、ローラ３０を回転駆動してもよい。このようにすることで、第１搬送部１０から第２搬送部２０への基板１の受け渡しを補助できる。

【0048】

ローラ３０を乗り越えた後の基板１は、裏面１Ｂに貼付部材２が貼付けられた状態で、搬送ローラ２１の上に載置されて、第２搬送部２０によって所望の位置まで搬送される。第２搬送部２０による基板１の搬送は、各搬送ローラ２１を駆動することで行ってもよいし、各搬送ローラ２１を従動ローラとし、基板１の後端部１Ｒを図示省略の押圧部材等で前方向Ｘ１に向かって押し出すことで行ってもよい。

【0049】

貼付装置１００では、図３に示す状態で基板１の搬送が開始されてから、図５に示す状態ＳＴ３に至るまでの過程において、貼付装置１００を構成する物体が基板１の表面１Ａに非接触の状態が維持される。例えば、ローラ３０の上方には、基板１に圧力を加えるための対向ローラ等の物体は存在していない。これは、貼付装置１００では、前述したように、基板１の自重を利用して、基板１の裏面１Ｂに貼付部材２を貼付けることができるためである。

【0050】

このように、貼付装置１００によれば、基板１の表面１Ａに物体を接触させることなく、基板１の裏面１Ｂに貼付部材２を貼付けることができる。したがって、基板１の表面１Ａに形成された機能膜の機能低下を防ぎつつ、保護シート又は遮光シート等の必要な機能を持つ貼付部材２を、基板１の裏面１Ｂに貼付けることができる。貼付装置１００によれば、第１搬送部１０とローラ３０と第２搬送部２０だけで、基板１に貼付部材２の貼付けが可能なため、装置の製造コストを下げることができる。また、対向ローラ等は不要なため、貼付装置１００の上下方向の高さを低くできる。

【0051】

また、本形態の貼付装置１００では、延長線２０ＳＬが天頂部３０Ｕと交差しているため、基板１がローラ３０を乗り越えて第２搬送部２０の第２搬送面２０Ｓに移動する際に、基板１に加わる衝撃を最小限とすることができる。これにより、基板１の表面１Ａの機能低下をより防ぐことができる。なお、延長線２０ＳＬは、天頂部３０Ｕと同じ位置かそれよりも下にあればよいが、上記の衝撃緩和の観点からは、延長線２０ＳＬが、天頂部３０Ｕから回転軸３０Ａまでの間に位置していることが好ましい。

【0052】

ローラ３０は、基板１と接触した際の基板１への衝撃を緩和するために、少なくとも外周面がゴム等の弾性体で構成されていることが好ましい。また、第１搬送部１０による基板１の搬送は、基板１をローラ３０にスムーズに乗り上げさせることを考慮すると、基板１の後端を押圧部材によって前方向Ｘ１に押し出す方法を採用することが好ましい。

【0053】

一例として、貼付部材２を厚み２０μｍ以上（好ましくは１００μｍ以上）のＰＥＴ基材を持つ自己粘着シートとし、基板１を厚み０．５ｍｍ以上１．１ｍｍの無アルカリガラス基板とし、上下方向Ｚにおける延長線１０ＳＬと天頂部３０Ｕとの距離を２ｍｍ以上且つローラ３０の半径未満とし、ローラ３０の径をφ１０ｍｍ以上８０ｍｍ以下とし、ローラ３０をショア硬度９０Ａ以下の弾性体で構成し、基板１の後端を押圧部材によって前方向Ｘ１に押し出して基板１を搬送する構成で検証した。この結果、基板１の裏面１Ｂに貼付部材２を問題なく貼付けることができた。この検証からは、特に、ローラ３０の径をφ８０ｍｍとし、上記距離を４ｍｍとするのが好ましいことが分かった。

【0054】

図６は、貼付装置１００の好ましい構成を示す平面模式図である。図６に示す貼付装置１００は、第１搬送部１０及び第２搬送部２０の構成要素として、押圧部材１２が追加された点を除いては、貼付装置１００と同じ構成である。

【0055】

押圧部材１２は、図示省略のアクチュエータによって、第１搬送面１０Ｓとローラ３０と第２搬送面２０Ｓの上方を前後方向Ｘに移動可能に構成されている。押圧部材１２は、搬送ローラ１１上に載置された基板１の後端部１Ｒの後端面に当接した状態で前方向Ｘ１に移動して、基板１を前方向Ｘ１に押し出して搬送する。

【0056】

図６に示す構成の貼付装置１００においては、基板１の左右方向Ｙ（搬送方向に直交する方向）の幅よりも狭い幅を持つ貼付部材２を、待機部４０及びローラ３０に載置することが好ましい。

【0057】

例えば、図６に示したように、基板１の左右方向Ｙの略中央に貼付部材２が位置するように貼付部材２を待機させておく。そして、基板１の左右方向Ｙの両端部を押圧部材１２によって押して搬送する構成とする。このようにすることで、例えば押圧部材１２が、第１搬送部１０とローラ３０の間を通過する際に、押圧部材１２と貼付部材２が干渉するのを防いで、基板１の搬送を良好に行うことができる。

【0058】

図７は、貼付装置１００の第一変形例である貼付装置１００Ａの平面模式図である。図８は、図７に示す貼付装置１００Ａを左右方向Ｙに見た側面図である。貼付装置１００Ａは、貼付部材２を把持可能な把持装置５０が追加された点を除いては、図６に示す貼付装置１００と同じ構成である。

【0059】

把持装置５０は、図７及び図８の例では、ローラ３０と第２搬送部２０との間の上方に配置されている。貼付装置１００Ａでは、待機状態にある貼付部材２の前端部が把持装置５０の位置まで到達する。把持装置５０は、待機状態にある貼付部材２の前端部を把持する。

【0060】

図９は、図７及び図８に示す貼付装置１００Ａの動作を説明するための状態遷移図である。図９に示す状態ＳＴ５は、図８と同じである。貼付装置１００Ａでは、この状態ＳＴ５から、押圧部材１２が前方向Ｘ１に移動して基板１の搬送が開始される。

【0061】

そして、状態ＳＴ６に示すように、基板１が貼付部材２及びローラ３０に接触すると、この接触を契機として、例えば、この接触と同時又はそれよりも少し後のタイミングにて、図示省略のアクチュエータによって把持装置５０が駆動されて、把持装置５０は前方向Ｘ１へと移動を開始する。つまり、上記の接触を契機として、貼付部材２の前端部は、把持装置５０によって前側に引っ張られて、貼付部材２は前方向Ｘ１に移動する。把持装置５０とこれを駆動する図示省略のアクチュエータは、駆動部を構成する。

【0062】

上記の接触によって基板１の裏面１Ｂの前端には貼付部材２が貼付いた状態となる。このため、把持装置５０が前方向Ｘ１に移動することで、基板１もそれに連動して前方向Ｘ１に移動し、その移動の過程で、基板１の自重によって、裏面１Ｂには貼付部材２が貼付けられていく。そして、最終的には、状態ＳＴ７のように、裏面１Ｂの必要範囲の全てに貼付部材２が貼付けられた状態となる。

【0063】

第１搬送部１０は、状態ＳＴ６にて、把持装置５０の移動が開始されると、押圧部材１２の移動を停止させる。つまり、貼付部材２の前端部を前方向Ｘ１に引っ張る工程が開始されると、第１搬送部１０による基板１の搬送は停止される。第１搬送部１０は、基板１の搬送を停止した後に、押圧部材１２を初期位置（図８に示した位置）まで移動させる（状態ＳＴ７）。この押圧部材１２の初期位置までの移動は、基板１への貼付部材２の貼付け処理と並行して行うことができる。このため、次の貼付対象の基板１を第１搬送面１０Ｓに載置する処理を早く行うことができ、多数の基板１に対して貼付部材２を貼付ける際の作業効率を高めることができる。

【0064】

図１０は、貼付装置１００の第二変形例である貼付装置１００Ｂの平面模式図である。図１０では、待機部４０に貼付部材２が待機している状態を示している。図１１は、図１０のＡ－Ａ矢視の断面模式図である。図１２は、図１０のＢ－Ｂ矢視の断面模式図である。

【0065】

貼付装置１００Ｂは、貼付部材２の形状を制御する形状制御装置６０が追加された点を除いては、図１に示す貼付装置１００と同じ構成である。形状制御装置６０は、第１搬送部１０とローラ３０との間において、待機される貼付部材２よりも下方に配置されている。

【0066】

図１１に示すように、形状制御装置６０は、上下方向Ｚに沿って延びた棒状部材で構成されている。形状制御装置６０は、貼付部材２における左右方向Ｙの中央部２Ｃの移動経路と図１０の平面視で重なる位置に設けられている。形状制御装置６０の上端面は、形状制御装置６０が存在しない場合における貼付部材２の通過経路よりも上方向Ｚ２に突出している。したがって、貼付部材２が前方向Ｘ１に移動していくと、貼付部材２の中央部２Ｃは、形状制御装置６０を通過することで、貼付部材２の左右の端部２Ｅよりも上方向Ｚ２に突き出る状態となり、その状態のまま、図１２に示すように、ローラ３０の外表面に載置される。このように、形状制御装置６０は、貼付部材２がローラ３０の外周面上に載置された状態にて、貼付部材２の中央部２Ｃが端部２Ｅよりもローラ３０の外周面から離れる状態を形成する。

【0067】

なお、形状制御装置６０は、図１１に示した構成に限らない。例えば、図１１に示した棒状部材の位置にエアー噴出機構を設け、ここからエアーを貼付部材２の中央部２Ｃに向かって吹き付けることで、貼付部材２の中央部２Ｃが端部２Ｅよりも盛り上がる状態を形成してもよい。

【0068】

貼付部材２が自己粘着シートである場合には、基板１と貼付部材２の間に気泡が入るのを抑制することが望ましい。貼付装置１００Ｂによれば、基板１の裏面１Ｂと貼付部材２とが接触するときに、まず、基板１の裏面１Ｂの左右方向Ｙの中央部において貼付部材２との接触がなされ、その後、基板１の自重によって、裏面１Ｂの左右方向Ｙの両端部に向かって、貼付部材２が接触していくことになる。このため、基板１と貼付部材２との間に発生した気泡は、基板１の左右方向Ｙの中央部から両端部に向かって押し出されていくことになり、気泡を適切に無くした状態で、貼付部材２の貼付けが可能となる。

【0069】

貼付装置１００、１００Ａ、１００Ｂでは、第１搬送面１０Ｓと第２搬送面２０Ｓが、いずれも、鉛直方向に垂直であるものとした。しかし、この構成に限定されるものではない。

【0070】

図１３は、第１搬送面１０Ｓと第２搬送面２０Ｓとローラ３０との位置関係の第一変形例を説明するための図であり、図４に対応する図である。図１３に示す例では、第１搬送面１０Ｓは、鉛直方向に交差し且つ鉛直方向に非垂直となっている。具体的には、第１搬送面１０Ｓは、搬送方向の上流側の端部が搬送方向の下流側の端部よりも鉛直方向側に位置している。つまり、第１搬送面１０Ｓは、左右方向Ｙに見た状態で、後下方向から前上方向に向かって延びる構成である。

【0071】

図１３の例では、回転軸３０Ａを通り且つ第１搬送面１０Ｓに垂直な仮想線Ｌ２と、回転軸３０Ａを通り且つ第２搬送面２０Ｓに垂直な仮想線Ｌ１とが一致しておらず、別々に存在する。この場合、第１搬送面１０Ｓの延長線１０ＳＬは、仮想線Ｌ２とローラ３０の外周縁との交点のうちの上方向Ｚ２側にあるものを第１天頂部Ｐ２として、第１天頂部Ｐ２と回転軸３０Ａを結ぶ線分における第１天頂部Ｐ２及び回転軸３０Ａを除く部分と交差する構成となっていればよい。この構成により、基板１が貼付部材２及びローラ３０に接触した後、基板１がローラ３０を乗り越えることができるようになる。

【0072】

図１４は、第１搬送面１０Ｓと第２搬送面２０Ｓとローラ３０との位置関係の第二変形例を説明するための図であり、図４に対応する図である。図１４では、図１３に示す例に対し、第２搬送面２０Ｓが鉛直方向に交差し且つ鉛直方向に非垂直なものに変更されている。具体的には、第２搬送面２０Ｓは、搬送方向の上流側の端部が搬送方向の下流側の端部よりも鉛直方向側に位置している。つまり、第２搬送面２０Ｓは、左右方向Ｙに見た状態で、後下方向から前上方向に向かって延びる構成である。

【0073】

また、図１４には、鉛直方向に垂直な平面ＰＬに対する第１搬送面１０Ｓの傾斜角θ１と、平面ＰＬに対する第２搬送面２０Ｓの傾斜角θ２が示されている。これら２つの角度の関係は、基板１と貼付部材２との貼付けを良好に行うために、傾斜角θ１が傾斜角θ２よりも大きいことが好ましい。

【0074】

図１４の例では、第２搬送面２０Ｓの延長線２０ＳＬは、回転軸３０Ａを通り且つ第２搬送面２０Ｓに垂直な仮想線Ｌ３とローラ３０の外周縁との交点のうちの上方向Ｚ２側にあるものを第２天頂部Ｐ３とし、下方向Ｚ１側にあるものを天底部Ｐ４として、第２天頂部Ｐ３と交差する又は第２天頂部Ｐ３よりも天底部Ｐ４側に位置する構成とすればよい。

【0075】

貼付装置１００、１００Ａ、１００Ｂに含まれる待機部４０の構成は、図２に示したものに限らず、様々な構成を採用可能である。例えば、載置部４１に吸引装置を設け、載置部４１に載置された貼付部材２を粘着面２Ａとは反対面側から吸引することで、貼付部材２を保持するようにしてもよい。この場合、突出部４２は必須ではない。また、載置部４１をベルトコンベアとして、貼付部材２の搬送を補助するようにしてもよい。

【0076】

また、待機部４０の代わりに、貼付部材２の後端部を把持する把持装置（チャックや対向する２つのローラ）を設け、基板１がローラ３０に接触したことを契機として、その把持装置による把持を解除する構成としてもよい。また、待機部４０の代わりに、サクションローラを設けて、ローラ３０とサクションローラに貼付部材２を掛け渡すことで、貼付部材２を保持してもよい。また、ローラ３０と第２搬送部２０の間に、貼付部材２の前端部を吸着する吸着装置を設け、基板１がローラ３０に接触したことを契機として、その吸着装置による吸着を解除する構成としてもよい。

【符号の説明】

【0077】

１Ａ 表面
１Ｂ 裏面
１Ｆ 前端部
１Ｒ 後端部
１ 基板
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３ 仮想線
Ｐ１ 交点
ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３，ＳＴ５，ＳＴ６，ＳＴ７ 状態
２Ａ 粘着面
２Ｃ 中央部
２Ｅ 端部
２ 貼付部材
Ｐ２ 第１天頂部
Ｐ３ 第２天頂部
Ｐ４ 天底部
１０ＳＬ，２０ＳＬ 延長線
１０Ｓ 第１搬送面
１０ 第１搬送部
１１，２１ 搬送ローラ
１２ 押圧部材
２０Ｓ 第２搬送面
２０ 第２搬送部
３０Ａ 回転軸
３０Ｄ 天底部
３０Ｕ 天頂部
３０ ローラ
４０ 待機部
４１ 載置部
４２ 突出部
５０ 把持装置
６０ 形状制御装置
１００Ａ，１００Ｂ，１００ 貼付装置
１，２，３ 仮想線Ｌ
θ１，θ２ 傾斜角

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】