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特開2024-43203液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドユニット及び液滴吐出装置
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024043203
(43)【公開日】2024-03-29
(54)【発明の名称】液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドユニット及び液滴吐出装置
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20240322BHJP
B41J 2/16 20060101ALI20240322BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 605
B41J2/16 503
B41J2/14 301
B41J2/16 301
【審査請求】未請求
【請求項の数】17
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022148254
(22)【出願日】2022-09-16
(71)【出願人】
【識別番号】000006747
【氏名又は名称】株式会社リコー
(74)【代理人】
【識別番号】100107423
【弁理士】
【氏名又は名称】城村 邦彦
(74)【代理人】
【識別番号】100120949
【弁理士】
【氏名又は名称】熊野 剛
(74)【代理人】
【識別番号】100093997
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 秀佳
(72)【発明者】
【氏名】三輪 圭史
(72)【発明者】
【氏名】平林 拓磨
【テーマコード（参考）】
2C057
【Ｆターム（参考）】
2C057AF21
2C057AG12
2C057AG29
2C057AG44
2C057AG81
2C057AP02
2C057AP25
(57)【要約】 （修正有）
【課題】クロストークを防止しつつ、保持部材の接着面への異物混入による歩留まり低下を防止する。
【解決手段】ノズル板と振動板３０との間に形成され複数のノズル孔に個別に接続する複数の個別液室と、個別液室と反対側の振動板３０上に各個別液室と対応して配設された複数のアクチュエータ（圧電素子４０）と、アクチュエータ及び振動板３０と対向して配設されノズル板の周縁部に第１接合部７を介して接合された保持部材１２と、保持部材１２と振動板３０との間に形成されアクチュエータを個々に収容する複数の収容空間とを有し、第１接合部７の内側であって収容空間を除く領域に、振動板３０と保持部材１２が接合されない非接合空間ＮＡを形成すると共に、複数の収容空間相互間に、振動板３０と保持部材１２を接合する第２接合部２を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【選択図】図４
【解決手段】ノズル板と振動板３０との間に形成され複数のノズル孔に個別に接続する複数の個別液室と、個別液室と反対側の振動板３０上に各個別液室と対応して配設された複数のアクチュエータ（圧電素子４０）と、アクチュエータ及び振動板３０と対向して配設されノズル板の周縁部に第１接合部７を介して接合された保持部材１２と、保持部材１２と振動板３０との間に形成されアクチュエータを個々に収容する複数の収容空間とを有し、第１接合部７の内側であって収容空間を除く領域に、振動板３０と保持部材１２が接合されない非接合空間ＮＡを形成すると共に、複数の収容空間相互間に、振動板３０と保持部材１２を接合する第２接合部２を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数のノズル孔を有するノズル板と、当該ノズル板の内側面と対向して配設された振動板と、前記ノズル板と前記振動板との間に形成され前記複数のノズル孔に個別に接続する複数の個別液室と、当該個別液室と反対側の前記振動板上に各個別液室と対応して配設された複数のアクチュエータと、当該アクチュエータ及び前記振動板と対向して配設され前記振動板の周縁部に第１接合部を介して接合された保持部材と、当該保持部材と前記振動板との間に形成され前記アクチュエータを個々に収容する複数の収容空間とを有し、前記アクチュエータを駆動して前記振動板を振動させることで前記個別液室に生じた圧力で前記ノズル孔から液滴を吐出するようにした液滴吐出ヘッドにおいて、
前記第１接合部の内側であって前記収容空間を除く領域に、前記振動板と前記保持部材が接合されない非接合空間を形成すると共に、前記複数の収容空間相互間に、前記振動板と前記保持部材を接合する第２接合部を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
前記第１接合部の内側であって前記収容空間を除く領域に、前記振動板と前記保持部材が接合されない非接合空間を形成すると共に、前記複数の収容空間相互間に、前記振動板と前記保持部材を接合する第２接合部を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項2】
前記第２接合部が、前記保持部材側に形成された保持部材側接合部と、前記振動板上に形成され前記保持部材側接合部に接着剤を介して接合する振動板側接合パターンを有することを特徴とする請求項１の液滴吐出ヘッド。
【請求項3】
前記第２接合部が、前記複数のノズル孔の配列方向を横断する方向に延びる１本の線状に形成されていることを特徴とする請求項２の液滴吐出ヘッド。
【請求項4】
前記第２接合部が、前記複数のノズル孔の配列方向を横断する方向に延びる２本の線状に形成されていることを特徴とする請求項２の液滴吐出ヘッド。
【請求項5】
前記線状の第２接合部の線幅が２０～５０μｍであることを特徴とする請求項３又は４の液滴吐出ヘッド。
【請求項6】
請求項３又は４の前記第２接合部が、前記保持部材側に形成された１本又は２本の線状の保持部材側接合部と、前記振動板上に形成され前記保持部材側接合部に接着剤を介して接合する２本の線状の振動板側接合パターンを有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項7】
前記第２接合部が、前記収容空間を包囲する形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２の液滴吐出ヘッド。
【請求項8】
前記第１接合部の内側であって前記収容空間を除く領域に、前記保持部材と前記振動板を貫通して前記個別液室に液体を供給する液体供給通路が形成され、当該液体供給通路の周囲に前記振動板と前記保持部材を接合する第３接合部が設けられていることを特徴とする請求項１の液滴吐出ヘッド。
【請求項9】
前記第３接合部の断面形状を前記液体供給通路の断面形状と同一形状にしたことを特徴とする請求項８の液滴吐出ヘッド。
【請求項10】
前記第３接合部が、前記保持部材側に形成された通路接合部と、前記振動板上に形成された通路接合パターンを有することを特徴とする請求項８の液滴吐出ヘッド。
【請求項11】
前記第１接合部と前記第２接合部の間に、前記振動板と前記保持部材を接合する第４接合部が設けられていることを特徴とする請求項１の液滴吐出ヘッド。
【請求項12】
前記第４接合部が、前記保持部材側に形成された島状接合部と、前記振動板上に形成され前記島状接合部に接着剤を介して接合する島状接合パターンを有することを特徴とする請求項１１の液滴吐出ヘッド。
【請求項13】
前記島状接合パターンに複数の凹部が形成されていることを特徴とする請求項１２の液滴吐出ヘッド。
【請求項14】
前記接着剤のヤング率が２ＧＰａ以上であることを特徴とする請求項２の液滴吐出ヘッド。
【請求項15】
前記保持部材の厚みが３００～５００μｍであることを特徴とする請求項１の液滴吐出ヘッド。
【請求項16】
請求項１から４、８から１５のいずれか１項の液滴吐出ヘッドが複数搭載されていることを特徴とする液滴吐出ヘッドユニット。
【請求項17】
請求項１６の液滴吐出ヘッドユニットが搭載されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドユニット及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【0002】
液滴吐出装置は、例えば特許文献１（特許第６０６４６８８号公報）のインクジェット方式のように、振動板をアクチュエータ（圧電素子）で振動させることで個別液室に圧力を発生させ、この圧力でノズル板に形成された微細なノズル孔から液滴を吐出する。液滴吐出装置は様々な分野で使用され、例えば自動車の車体に図形等を高画質で描画したり、あるいは液体レジストやＤＮＡ試料を液滴として吐出したりするのに使用される。
【0003】
特許文献１には、振動板、圧電素子及び個別液室をシリコン基板上に一体形成したアクチュエータ基板と、このアクチュエータ基板を片側から補強する保持部材（サブフレーム）と、保持部材とは反対側で個別液室に対向するノズル板とを貼り合わせた液滴吐出ヘッドが開示されている。近年、ノズル間ピッチの狭ピッチ化で描画解像度を向上した液滴吐出ヘッドが使用されつつある。これに伴い、アクチュエータ基板上の圧電素子間ピッチも狭ピッチ化が進行している。この狭ピッチ化には、半導体プロセスを応用したＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術などが応用されている。
【0004】
従来、アクチュエータ基板と保持部材は、狭ピッチ化された圧電素子間のクロストーク（相互干渉）発生を防止するため、圧電素子を収容する収容空間を除いてほぼ全面が接着剤（ベタ膜）で貼り合わされていた。ＭＥＭＳ工程はクリーンルームで行われるが、アクチュエータ基板と保持部材との貼り合わせ接着面（ベタ膜）に、１０μｍ未満の微細な異物が混入して閉じ込められることがある。そうすると、アクチュエータ基板の割れや基板特性の不良などが発生し、基板の歩留まりが低下する。
【0005】
また、ベタ膜面積が大きいと圧電素子側への接着剤のはみ出しが発生しやすく、接着剤がはみ出すと液滴吐出性能が影響を受ける。また、接着剤の塗布条件がばらついた場合、アクチュエータ基板全体の接着剤使用量に差が出やすく、ベタ膜の残留応力のバラつきで基板ごとに液滴吐出特性の差が生じやすい。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
そこで本発明の目的は、クロストークを防止しつつ、保持部材の接着面への異物混入による歩留まり低下を防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記課題を解決するため、本発明の液滴吐出ヘッドは、複数のノズル孔を有するノズル板と、当該ノズル板の内側面と対向して配設された振動板と、前記ノズル板と前記振動板との間に形成され前記複数のノズル孔に個別に接続する複数の個別液室と、当該個別液室と反対側の前記振動板上に各個別液室と対応して配設された複数のアクチュエータと、当該アクチュエータ及び前記振動板と対向して配設され前記振動板の周縁部に第１接合部を介して接合された保持部材と、当該保持部材と前記振動板との間に形成され前記アクチュエータを個々に収容する複数の収容空間とを有し、前記アクチュエータを駆動して前記振動板を振動させることで前記個別液室に生じた圧力で前記ノズル孔から液滴を吐出するようにした液滴吐出ヘッドにおいて、前記第１接合部の内側であって前記収容空間を除く領域に、前記振動板と前記保持部材が接合されない非接合空間を形成すると共に、前記複数の収容空間相互間に、前記振動板と前記保持部材を接合する第２接合部を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【0008】
本発明により、クロストークを防止しつつ保持部材の接着面への異物混入による歩留まり低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1A】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の概略図である。
【図1B】液滴吐出装置のヘッドユニットの平面図である。
【図2A】本発明の実施形態に係るヘッドユニットの分解斜視図である。
【図2B】ヘッドユニットのノズル面側から見た分解斜視図である。
【図3】ヘッドユニットの短手方向に沿った断面図である。
【図4】第１実施形態の液滴吐出ヘッドの（ａ）保持部材のアクチュエータ基板側接合面と（ｂ）アクチュエータ基板の保持部材側接合面である。
【図4A】アクチュエータ基板の（ａ）平面図と（ｂ）Ａ－Ａ'断面図である。
【図4B】アクチュエータ基板のＢ－Ｂ'断面図である。
【図4C】アクチュエータ基板のＣ－Ｃ'断面図である。
【図4D】アクチュエータ基板のＤ－Ｄ'断面図である。
【図5】従来の保持部材のアクチュエータ基板側接合面である。
【図5A】アクチュエータ基板と保持部材のＡ''－Ａ'''断面図である。
【図5B】アクチュエータ基板と保持部材のＢ''－Ｂ'''断面図である。
【図5C】アクチュエータ基板と保持部材のＣ''－Ｃ'''断面図である。
【図5D】アクチュエータ基板と保持部材のＤ''－Ｄ'''断面図である。
【図6】本発明の第２実施形態の液滴吐出ヘッドの（ａ）保持部材のアクチュエータ基板側接合面と（ｂ）Ｅ－Ｅ'断面図である。
【図7】本発明の第３実施形態の液滴吐出ヘッドの（ａ）保持部材のアクチュエータ基板側接合面と（ｂ）Ｆ－Ｆ'断面図である。
【図8】本発明の第４実施形態の（ａ）アクチュエータ基板の保持部材側接合面の平面図、（ｂ）第４接合部の島状接合パターンの拡大平面図、（ｃ）Ｇ－Ｇ'断面図、及び（ｄ）島状接合パターンの平面図である。
【図9】（ａ）変型例１に係る第１～第４接合部を示すアクチュエータ基板の平面図と（ｂ）変型例２に係る第３接合部の変型例の平面図である。
【図10】本発明の（ａ）変型例３に係る第１実施形態の変型例と、（ｂ）変型例４に係る第３実施形態の変型例を示す平面図である。
【図11】変型例５に係る第２実施形態の変型例を示す平面図である。
【図12】変型例６に係る保持部材とアクチュエータ基板の接合部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、実施形態について、図面を参照しながら説明する。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略または簡略化がなされている。各図面において同一の構成または機能を有する構成要素及び相当部分には、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【0011】
（●印刷装置）
次に、本発明に係る液滴吐出装置の一例について図１Ａと図１Ｂを参照して説明する。図１Ａは液滴吐出装置を使用する印刷装置５００の概略図、図１Ｂは印刷装置５００に使用するヘッドユニット１００の平面図である。
次に、本発明に係る液滴吐出装置の一例について図１Ａと図１Ｂを参照して説明する。図１Ａは液滴吐出装置を使用する印刷装置５００の概略図、図１Ｂは印刷装置５００に使用するヘッドユニット１００の平面図である。
【0012】
この印刷装置５００は、連帳紙５１０を搬入する搬入手段５０１と、搬入手段５０１から搬入された連帳紙５１０を印刷手段５０５に案内搬送する案内搬送手段５０３と、連帳紙５１０に対して液滴を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５０５と、連帳紙５１０を乾燥する乾燥手段５０７と、連帳紙５１０を搬出する搬出手段５０９などを備えている。
【0013】
連帳紙５１０は搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、搬出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。この連帳紙５１０は、印刷手段５０５において、搬送ガイド部材５５９上をヘッドユニット５５０に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が印刷される。
【0014】
ここで、ヘッドユニット５５０には、図１Ｂに示すように、本発明に係る二つのヘッドユニット１００Ａ、１００Ｂを共通ベース部材５５２に備えている。そして、ヘッドユニット１００の搬送方向と直交する方向におけるヘッド１０１の並び方向をヘッド配列方向とするとき、ヘッドユニット１００Ａのヘッド列１Ａ１，１Ａ２で同じ色の液滴を吐出する。同様に、ヘッドユニット１００Ａのヘッド列１Ｂ１、１Ｂ２を組とし、ヘッドユニット１００Ｂのヘッド列１Ｃ１、１Ｃ２を組とし、ヘッド列１Ｄ１、１Ｄ２を組として、それぞれ所要の色の液滴を吐出する。
【0015】
なお、本発明に係るヘッドユニットは、機能部品、機構と一体化して液体吐出ユニットを構成することができる。例えば、ヘッドユニットと、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを組み合わせることができる。
【0016】
ここで、一体化とは、例えば、ヘッドユニットと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、ヘッドユニットと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【0017】
また、本発明における「液滴吐出装置」には、ヘッドユニット又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液滴を吐出させる装置が含まれる。液滴吐出装置には、液体が付着可能なものに対して液滴を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【0018】
この「液滴吐出装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。例えば、「液滴吐出装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【0019】
また、「液滴吐出装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【0020】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【0021】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。また、「液滴吐出装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【0022】
また、「液滴吐出装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。
【0023】
より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどである。これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【0024】
液滴を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【0025】
（●ヘッドユニット）
次に、本発明の一実施形態に係るヘッドユニットついて図２Ａ、図２Ｂ、図３を参照して説明する。図２Ａはヘッドユニットの保持部材側から見た分解斜視図であり、図２Ｂはノズル板側から見た分解斜視図である。また図３は、ヘッドユニットの短手方向に沿う断面図である。
次に、本発明の一実施形態に係るヘッドユニットついて図２Ａ、図２Ｂ、図３を参照して説明する。図２Ａはヘッドユニットの保持部材側から見た分解斜視図であり、図２Ｂはノズル板側から見た分解斜視図である。また図３は、ヘッドユニットの短手方向に沿う断面図である。
【0026】
ヘッドユニット１００は、液滴を吐出する液体吐出ヘッドである複数のヘッド１０１と、ベース部材１０２と、カバー部材１０３と、放熱部材１０４と、マニホールド１０５と、プリント基板（ＰＣＢ）１０６と、モジュールケース１０７とを備えている。
【0027】
複数のヘッド１０１は、ノズル孔１１を形成したノズル板１０と、ノズル孔１１に通じる個別液室２１などを形成する個別流路板２０と、圧電素子４０を含む振動板３０と、振動板３０に積層した振動板３０の保持部材としての中間流路板５０と、中間流路板５０に積層した共通流路部材７０などを備えている。
【0028】
個別流路板２０は、個別液室２１とともに、個別液室２１に通じる供給側個別流路２２、個別液室２１に通じる回収側個別流路２４を形成している。中間流路板５０は、供給側個別流路２２に振動板３０の開口３１を介して通じる供給側中間個別流路５１と、回収側個別流路２４に振動板３０の開口３２を介して通じる回収側中間個別流路５２とを形成している。
【0029】
共通流路部材７０は、供給側中間個別流路５１に通じる供給側共通流路７１と、回収側中間個別流路５２に通じる回収側共通流路７２を形成している。供給側共通流路７１はマニホールド１０５の流路１５１を介して供給ポート８１に通じている。回収側共通流路７２はマニホールド１０５の流路１５２を介して回収ポート８２に通じている。
【0030】
プリント基板１０６とヘッド１０１の圧電素子４０とは、フレキシブル配線部材９０を介して接続されている。フレキシブル配線部材９０には、ドライバＩＣ（駆動回路）９１が実装されている。
【0031】
本実施形態では、複数のヘッド１０１が間隔を空けてベース部材１０２に取付けられている。ヘッド１０１のベース部材１０２への取付けは、ベース部材１０２に設けた開口部１２１にヘッド１０１を挿入し、ベース部材１０２に接合固定したカバー部材１０３に、ヘッド１０１のノズル板１０の周縁部を接合して固定している。
【0032】
また、ヘッド１０１の共通流路部材７０の外部に設けたフランジ部７０ａを、ベース部材１０２に接合して固定している。なお、ヘッド１０１とベース部材１０２に固定構造は限定されるものではなく、接着、カシメ、ねじ固定などで行うことができる。
【0033】
ここで、ベース部材１０２は線膨張係数が低い材料で形成されていることが好ましい。例えば、鉄にニッケルを添加した４２ａｌｌｏｙ（アロイ）や、インバー材などを挙げることができる。
【0034】
本実施形態では、インバー材を使用している。これにより、ヘッド１０１が発熱して、ベース部材１０２の温度が上昇しても、ベース部材１０２の膨張量が少ないため、所定のノズル位置からのノズルのずれが生じにくくなり、着弾位置ずれを抑制できる。
【0035】
同様に、ノズル板１０及び個別流路板２０、振動板３０はシリコン単結晶基板で形成し、ベース部材１０２の線膨張係数を略同じにしている。これにより、熱膨張によるノズル位置ずれを低減することができる。
【0036】
（●第１実施形態）
次に、前述した振動板３０と中間流路板５０の接合構造を説明する。以下の説明と参照する図面では、前述した中間流路板５０を、振動板３０の保持部材１２として説明する。
次に、前述した振動板３０と中間流路板５０の接合構造を説明する。以下の説明と参照する図面では、前述した中間流路板５０を、振動板３０の保持部材１２として説明する。
【0037】
【0038】
振動板３０上には前述したように圧電素子４０が配設されている。圧電素子４０は機能配線部４によって外部に接続されている。圧電素子４０が配設された振動板３０は、アクチュエータ基板ともいう。図４Ａに示すように、振動板３０の下側の複数の個別液室２１は、隔壁２６によって相互独立に仕切られている。
【0039】
（●第１接合部、第２接合部）
保持部材１２は横長矩形状であり、保持部材１２の四辺に沿って第１接合部７が所定幅で形成されている。この矩形枠状の第１接合部７が、振動板３０の四辺に接着剤を介して接合される。
保持部材１２は横長矩形状であり、保持部材１２の四辺に沿って第１接合部７が所定幅で形成されている。この矩形枠状の第１接合部７が、振動板３０の四辺に接着剤を介して接合される。
【0040】
接着剤は例えば樹脂材料を使用することができ、詳しくは例えばエポキシ系の熱硬化型接着剤を使用することができる。接着剤のヤング率は、好ましくは２ＧＰａ以上とすることができる。接着剤の塗布厚は、例えば１．０～３．０μｍとすることができる。
【0041】
保持部材１２の長手方向に、複数の第２接合部２が２列で形成されている。各第２接合部２は１本の線状に形成されている。第２接合部２は、保持部材１２の短手方向に対して所定角度で傾斜して形成されている。振動板３０上のスペースを有効利用して狭ピッチ化対応にするためである。
【0042】
第２接合部２相互間に、振動板３０上の圧電素子４０を収容する収容空間１４が形成されている。第２接合部２の長さは、隣接する第２接合部２の両端同士を結ぶ２本の平行な直線の間に収容空間１４が収まる長さである。
【0043】
ここでいう収容空間１４は、その周囲を区画する部材を必ずしも必要としない。収容空間１４は圧電素子４０を収容可能なスペースがあればよい。
【0044】
第２接合部２は、好ましくは、幅２０μｍ～５０μｍ、高さ１５μｍ～５０μｍとすることができる。保持部材１２は、好ましくは厚み３００μｍ～５００μｍとすることができる。
【0045】
第２接合部２は、図４Ａ（ａ）（ｂ）と図１２に示すように、非機能配線部３と接着剤ＡＤを介して振動板３０に接合されている。この第２接合部２によって、圧電素子４０相互間のクロストークを抑制するようにしている。
【0046】
非機能配線部３は一対で構成されている。一対の非機能配線部３は第２接合部２とほぼ同じ幅Ｗ１で配設され、非機能配線部３相互間に隙間を形成している。この隙間の機能については図１２で後述する。
【0047】
接着剤ＡＤは、例えばエポキシ系の熱硬化型接着剤を使用することができる。接着剤ＡＤのヤング率は、好ましくは２ＧＰａ以上とすることができる。接着剤ＡＤの塗布厚は、例えば１．０～３．０μｍとすることができる。
【0048】
２列の第２接合部２相互間に、各収容空間１４に対応して、２つ一組の液体供給通路８が形成されている。この液体供給通路８は、図４Ｂのように振動板３０に形成された２つ一組の液体供給通路９に接続されている。そして振動板３０の液体供給通路９は、各個別液室２１に接続されている。一方、液体供給通路８の上流側は、複数の圧力室にそれぞれ繋がる複数の液体供給通路に接続する本流（共通共通路）に接続する。
【0049】
（●第３接合部）
保持部材１２の液体供給通路８の周囲には、図４Ｂのように、保持部材１２と一体の第３接合部５が形成されている。この第３接合部５は、好ましくは高さ１５μｍ～５０μｍとすることができる。
保持部材１２の液体供給通路８の周囲には、図４Ｂのように、保持部材１２と一体の第３接合部５が形成されている。この第３接合部５は、好ましくは高さ１５μｍ～５０μｍとすることができる。
【0050】
第３接合部５は、２つの液体供給通路８を包囲するように矩形状に形成され、接着剤ＡＤを介して振動板３０の液体供給通路９の周囲に接合されている。接着剤ＡＤは、例えばエポキシ系の熱硬化型接着剤を使用することができる。接着剤ＡＤのヤング率は、好ましくは２ＧＰａ以上とすることができる。接着剤の塗布厚は、例えば１．０～３．０μｍとすることができる。
【0051】
従来は、後述する図５のように、液体供給通路８の周囲を含めて、第１接合部７の内側領域と振動板３０がベタ膜１２ａにより全面的に接合されていた。本実施形態では、第２接合部２、第３接合部５及び第４接合部６を限定的に形成することで、ベタ膜を大幅低減して液滴吐出ヘッドの歩留まりを向上することができる。
【0052】
（●第４接合部）
矩形枠状の第１接合部７と、その内側の線状の第２接合部２との間に、第４接合部６が形成されている。この第４接合部６は、好ましくは高さ１５μｍ～５０μｍとすることができる。
矩形枠状の第１接合部７と、その内側の線状の第２接合部２との間に、第４接合部６が形成されている。この第４接合部６は、好ましくは高さ１５μｍ～５０μｍとすることができる。
【0053】
第４接合部６は三角形の島状に形成され、図４Ｄのように振動板３０側の島状接合パターン１３と接着剤を介して接合されている。接着剤は、例えばエポキシ系の熱硬化型接着剤を使用することができる。接着剤のヤング率は、好ましくは２ＧＰａ以上とすることができる。接着剤の塗布厚は、例えば１．０～３．０μｍとすることができる。
【0054】
この第４接合部６によって、保持部材１２と振動板３０の周縁部接合力を高めることができる。また、第４接合部６によって第１接合部７を外側に迂回したクロストークの伝播を抑制することができる。第４接合部６は、第１接合部７を部分的に内側に突出させることで省略することも可能である。
【0055】
（●従来技術との比較）
本実施形態では、前述したように、保持部材１２の枠状の第１接合部７の内側領域は、最小限必要な第２接合部２、第３接合部５及び第４接合部６を除いて、全面が振動板３０と接合されない非接合空間ＮＡ（Non-contact Area）とされている。圧電素子４０の収容空間１４は非接合空間ＮＡに含まれる。
本実施形態では、前述したように、保持部材１２の枠状の第１接合部７の内側領域は、最小限必要な第２接合部２、第３接合部５及び第４接合部６を除いて、全面が振動板３０と接合されない非接合空間ＮＡ（Non-contact Area）とされている。圧電素子４０の収容空間１４は非接合空間ＮＡに含まれる。
【0056】
従来は図５に示すように、枠状の第１接合部７の内側領域は、圧電素子４０の収容空間１４を除きほぼ全面が接着剤ＡＤのベタ膜１２ａを介して図５Ａ－図５Ｄのように振動板３０に接合されていた。圧電素子４０相互間も、ベタ膜１２ａが幅Ｗ２で非機能配線部３を介して振動板３０に接合されていた（図４ＡのＷ１＜Ｗ２）。このため、前述したようにベタ膜１２ａに異物が混入する可能性があり、液滴吐出ヘッドの歩留まりが低下するという課題があった。
【0057】
これに対して本実施形態では、枠状の第１接合部７の内側領域は、基本的に、圧電素子４０相互間のクロストーク抑制に必要な第２接合部２を除いて、保持部材１２と振動板３０が互いに接合されない非接合空間ＮＡ（Non-contact Area）とされている。このため、接着剤ＡＤの接着面が従来に比べて大幅に低減され、接着面の異物混入による液滴吐出ヘッドの歩留まり低下を大きく改善することができる。
【0058】
（●第２実施形態）
図６（ａ）（ｂ）は本発明の第２実施形態を示すもので、この第２実施形態では第２接合部２が平行な線状２本で構成されている。第１実施形態に比べると第２接合部の接着面積がやや増加するが、圧電素子４０相互間に２本の第２接合部２を配設することができるので、圧電素子４０相互間のクロストーク抑制効果を高めることができる。
図６（ａ）（ｂ）は本発明の第２実施形態を示すもので、この第２実施形態では第２接合部２が平行な線状２本で構成されている。第１実施形態に比べると第２接合部の接着面積がやや増加するが、圧電素子４０相互間に２本の第２接合部２を配設することができるので、圧電素子４０相互間のクロストーク抑制効果を高めることができる。
【0059】
（●第３実施形態）
図７（ａ）（ｂ）は本発明の第３実施形態を示すもので、この第３実施形態では第２接合部２ｂを閉じた形状で構成している。すなわち、第２接合部２ｂによって圧電素子４０の収容空間１４を包囲するように、第２接合部２ｂを矩形枠状に形成している。
図７（ａ）（ｂ）は本発明の第３実施形態を示すもので、この第３実施形態では第２接合部２ｂを閉じた形状で構成している。すなわち、第２接合部２ｂによって圧電素子４０の収容空間１４を包囲するように、第２接合部２ｂを矩形枠状に形成している。
【0060】
このように圧電素子４０の収容空間１４を第２接合部２ｂで矩形枠状に包囲することで、第１実施形態に比べると第２接合部２ｂの接着面積がやや増加するが、圧電素子４０相互間のクロストーク抑制効果を高めることができる。
【0061】
（●第４実施形態）
図８は、図４Ｄで前述した島状接合パターン１３の変形例を示すものである。前述したように第４接合部６と島状接合パターン１３による接合で保持部材１２と振動板３０の周縁部接合力を高めることができるが、島状接合パターン１３のベタ膜に異物が混入する可能性もある。
図８は、図４Ｄで前述した島状接合パターン１３の変形例を示すものである。前述したように第４接合部６と島状接合パターン１３による接合で保持部材１２と振動板３０の周縁部接合力を高めることができるが、島状接合パターン１３のベタ膜に異物が混入する可能性もある。
【0062】
そこで、ベタ膜面積を低減するために図８（ｂ）（ｃ）のように凹部１３ａを有する島状接合パターン１３を形成することにした。凹部１３ａの分だけ島状接合パターン１３のベタ膜の面積を低減することができるので、当該ベタ膜に対する異物混入の可能性を低減することができる。
【0063】
また、ベタ膜に使用する接着剤量も低減することができる。さらに、凹部１３ａに接着剤が侵入するので、アンカー効果により接合強度を高める作用も得られる。
【0064】
図８（ｄ）は、島状接合パターン１３を外部に対する電気接続を持たない非機能配線部で構成した例である。島状接合パターン１３を非機能配線部とすることで、電気的な不具合発生を抑制することができる。島状接合パターン１３を外部に対する電気接続を有する機能配線部で構成することも可能であり、また複数の島状接合パターン１３を機能配線部と非機能配線部で交互に配列してもよい。
【0065】
（●変型例１）
図９（ａ）は、図４、図４Ｂで前述した液体供給通路８を包囲する第３接合部５の変形例１を示すものである。図４、図４Ｂでは第３接合部５を矩形状として説明したが、図９（ａ）では第３接合部５を線状に連続した８の字形状に形成している。
図９（ａ）は、図４、図４Ｂで前述した液体供給通路８を包囲する第３接合部５の変形例１を示すものである。図４、図４Ｂでは第３接合部５を矩形状として説明したが、図９（ａ）では第３接合部５を線状に連続した８の字形状に形成している。
【0066】
このように第３接合部５を線状に連続形成することで、液体供給通路８周りの接着面積と接着剤使用量を低減してベタ膜に対する異物混入の可能性を低減することができる。
【0067】
（●変型例２）
図９（ｂ）は第３接合部５の変形例２を示すもので、２つの液体供給通路８の周囲に独立して２つの第３接合部５を形成している。この場合、各第３接合部５は液体供給通路８と同形状の円環状にすることができる。これにより、液体供給通路８周りの接着面積と接着剤使用量をさらに低減してベタ膜に対する異物混入の可能性をさらに低減することができる。
図９（ｂ）は第３接合部５の変形例２を示すもので、２つの液体供給通路８の周囲に独立して２つの第３接合部５を形成している。この場合、各第３接合部５は液体供給通路８と同形状の円環状にすることができる。これにより、液体供給通路８周りの接着面積と接着剤使用量をさらに低減してベタ膜に対する異物混入の可能性をさらに低減することができる。
【0068】
【0069】
これに対して図１０の第２接合部２は線状の連結部２ａによって相互接合されている。連結部２ａによって圧電素子４０の収容空間１４の片側が閉じられるので、第２接合部２を外側に迂回する形での隣接圧電素子４０に対するクロストーク伝播を抑制することができる。
【0070】
【0071】
これに対して図１０（ｂ）の第２接合部２ｂは線状の連結部２ａによって相互接合されている。連結部２ａによって隣接圧電素子４０に対するクロストーク伝播を抑制することができる。
【0072】
（●変型例５）
図１１は、図６で前述した第２接合部２の変形例５を示すものである。図６の第２接合部２は平行な線状２本で構成してクロストーク抑制効果を高めている。これに対して図１１の第２接合部２は、平行な線状２本であるが第２接合部２の長さが図６よりも短い。
図１１は、図６で前述した第２接合部２の変形例５を示すものである。図６の第２接合部２は平行な線状２本で構成してクロストーク抑制効果を高めている。これに対して図１１の第２接合部２は、平行な線状２本であるが第２接合部２の長さが図６よりも短い。
【0073】
そして、２本の第２接合部２の端部同士を圧電素子４０の収容空間１４の長手方向中央部付近でオーバーラップさせている。収容空間１４の長手方向中央部付近は最もクロストーク伝播しやすい部分である。この部分で２本の第２接合部２の端部同士をオーバーラップさせることで、クロストーク抑制効果を高めつつ、第２接合部２の接着面積と接着剤使用量を低減してベタ膜に対する異物混入の可能性を低減することができる。
【0074】
（●変型例６）
図１２は、前述した第２接合部２と非機能配線部３で保持部材１２と振動板３０を接合する構造の変形例６である。非機能配線部３は電気的に機能しない配線部であって、ＭＥＭＳ工程においてパターニングされる。非機能配線部３を外部電極に接続して機能配線化することも可能であるが、電気的不具合発生を予防するために非機能配線部３とするのがよい。
図１２は、前述した第２接合部２と非機能配線部３で保持部材１２と振動板３０を接合する構造の変形例６である。非機能配線部３は電気的に機能しない配線部であって、ＭＥＭＳ工程においてパターニングされる。非機能配線部３を外部電極に接続して機能配線化することも可能であるが、電気的不具合発生を予防するために非機能配線部３とするのがよい。
【0075】
非機能配線部３は、１本の第２接合部２に対して平行２本で配設されている。すなわち、１本の非機能配線部３の幅は、１本の第２接合部２の幅よりも小さい。これにより、２本の非機能配線部３相互間に接着剤ＡＤを侵入させる空間を形成することができる。
【0076】
この空間に接着剤ＡＤが侵入することで、アンカー効果によって振動板３０に対する第２接合部２の接合力を向上させることができる。この場合の接着剤ＡＤのヤング率は、好ましくは２ＧＰａ以上とすることができる。
【0077】
以上、本発明者によってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。例えば接着剤としてエポキシ系の熱硬化型接着剤の使用を例示したが、接着剤として他の種類の接着剤を使用することも勿論可能である。また、接着剤に代えて熱溶着フィルム等を使用することも可能である。
【0078】
＜付記＞
以下、本発明の好ましい態様について付記する。
＜第１態様＞
複数のノズル孔を有するノズル板と、当該ノズル板の内側面と対向して配設された振動板と、前記ノズル板と前記振動板との間に形成され前記複数のノズル孔に個別に接続する複数の個別液室と、当該個別液室と反対側の前記振動板上に各個別液室と対応して配設された複数のアクチュエータと、当該アクチュエータ及び前記振動板と対向して配設され前記振動板の周縁部に第１接合部を介して接合された保持部材と、当該保持部材と前記振動板との間に形成され前記アクチュエータを個々に収容する複数の収容空間とを有し、前記アクチュエータを駆動して前記振動板を振動させることで前記個別液室に生じた圧力で前記ノズル孔から液滴を吐出するようにした液滴吐出ヘッドにおいて、
前記第１接合部の内側であって前記収容空間を除く領域に、前記振動板と前記保持部材が接合されない非接合空間を形成すると共に、前記複数の収容空間相互間に、前記振動板と前記保持部材を接合する第２接合部を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
＜第２態様＞
前記第２接合部が、前記保持部材側に形成された保持部材側接合部と、前記振動板上に形成され前記保持部材側接合部に接着剤を介して接合する振動板側接合パターンを有することを特徴とする第１態様の液滴吐出ヘッド。
＜第３態様＞
前記第２接合部が、前記複数のノズル孔の配列方向を横断する方向に延びる１本の線状に形成されていることを特徴とする第２態様の液滴吐出ヘッド。
＜第４態様＞
前記第２接合部が、前記複数のノズル孔の配列方向を横断する方向に延びる２本の線状に形成されていることを特徴とする第２態様の液滴吐出ヘッド。
＜第５態様＞
前記線状の第２接合部の線幅が２０～５０μｍであることを特徴とする第３態様又は第４態様の液滴吐出ヘッド。
＜第６態様＞
第３態様又は第４態様の前記第２接合部が、前記保持部材側に形成された１本又は２本の線状の保持部材側接合部と、前記振動板上に形成され前記保持部材側接合部に接着剤を介して接合する２本の線状の振動板側接合パターンを有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
＜第７態様＞
前記第２接合部が、前記収容空間を包囲する形状に形成されていることを特徴とする第１態様から第６態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッド。
＜第８態様＞
前記第１接合部の内側であって前記収容空間を除く領域に、前記保持部材と前記振動板を貫通して前記個別液室に液体を供給する液体供給通路が形成され、当該液体供給通路の周囲に前記振動板と前記保持部材を接合する第３接合部が設けられていることを特徴とする第１態様から第７態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッド。
＜第９態様＞
前記第３接合部の断面形状を前記液体供給通路の断面形状と同一形状にしたことを特徴とする第８態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１０態様＞
前記第３接合部が、前記保持部材側に形成された通路接合部と、前記振動板上に形成された通路接合パターンを有することを特徴とする第８態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１１態様＞
前記第１接合部と前記第２接合部の間に、前記振動板と前記保持部材を接合する第４接合部が設けられていることを特徴とする第１態様から第１０態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１２態様＞
前記第４接合部が、前記保持部材側に形成された島状接合部と、前記振動板上に形成され前記島状接合部に接着剤を介して接合する島状接合パターンを有することを特徴とする第１１態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１３態様＞
前記島状接合パターンに複数の凹部が形成されていることを特徴とする第１２態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１４態様＞
前記接着剤のヤング率が２ＧＰａ以上であることを特徴とする第２態様から第１３態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１５態様＞
前記保持部材の厚みが３００～５００μｍであることを特徴とする第１態様から第１４態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１６態様＞
第１態様から第１５態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドが複数搭載されていることを特徴とする液滴吐出ヘッドユニット。
＜第１７態様＞
第１態様から第１５態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッド又は第１６態様の液滴吐出ヘッドユニットが搭載されていることを特徴とする液滴吐出装置。
以下、本発明の好ましい態様について付記する。
＜第１態様＞
複数のノズル孔を有するノズル板と、当該ノズル板の内側面と対向して配設された振動板と、前記ノズル板と前記振動板との間に形成され前記複数のノズル孔に個別に接続する複数の個別液室と、当該個別液室と反対側の前記振動板上に各個別液室と対応して配設された複数のアクチュエータと、当該アクチュエータ及び前記振動板と対向して配設され前記振動板の周縁部に第１接合部を介して接合された保持部材と、当該保持部材と前記振動板との間に形成され前記アクチュエータを個々に収容する複数の収容空間とを有し、前記アクチュエータを駆動して前記振動板を振動させることで前記個別液室に生じた圧力で前記ノズル孔から液滴を吐出するようにした液滴吐出ヘッドにおいて、
前記第１接合部の内側であって前記収容空間を除く領域に、前記振動板と前記保持部材が接合されない非接合空間を形成すると共に、前記複数の収容空間相互間に、前記振動板と前記保持部材を接合する第２接合部を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
＜第２態様＞
前記第２接合部が、前記保持部材側に形成された保持部材側接合部と、前記振動板上に形成され前記保持部材側接合部に接着剤を介して接合する振動板側接合パターンを有することを特徴とする第１態様の液滴吐出ヘッド。
＜第３態様＞
前記第２接合部が、前記複数のノズル孔の配列方向を横断する方向に延びる１本の線状に形成されていることを特徴とする第２態様の液滴吐出ヘッド。
＜第４態様＞
前記第２接合部が、前記複数のノズル孔の配列方向を横断する方向に延びる２本の線状に形成されていることを特徴とする第２態様の液滴吐出ヘッド。
＜第５態様＞
前記線状の第２接合部の線幅が２０～５０μｍであることを特徴とする第３態様又は第４態様の液滴吐出ヘッド。
＜第６態様＞
第３態様又は第４態様の前記第２接合部が、前記保持部材側に形成された１本又は２本の線状の保持部材側接合部と、前記振動板上に形成され前記保持部材側接合部に接着剤を介して接合する２本の線状の振動板側接合パターンを有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
＜第７態様＞
前記第２接合部が、前記収容空間を包囲する形状に形成されていることを特徴とする第１態様から第６態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッド。
＜第８態様＞
前記第１接合部の内側であって前記収容空間を除く領域に、前記保持部材と前記振動板を貫通して前記個別液室に液体を供給する液体供給通路が形成され、当該液体供給通路の周囲に前記振動板と前記保持部材を接合する第３接合部が設けられていることを特徴とする第１態様から第７態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッド。
＜第９態様＞
前記第３接合部の断面形状を前記液体供給通路の断面形状と同一形状にしたことを特徴とする第８態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１０態様＞
前記第３接合部が、前記保持部材側に形成された通路接合部と、前記振動板上に形成された通路接合パターンを有することを特徴とする第８態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１１態様＞
前記第１接合部と前記第２接合部の間に、前記振動板と前記保持部材を接合する第４接合部が設けられていることを特徴とする第１態様から第１０態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１２態様＞
前記第４接合部が、前記保持部材側に形成された島状接合部と、前記振動板上に形成され前記島状接合部に接着剤を介して接合する島状接合パターンを有することを特徴とする第１１態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１３態様＞
前記島状接合パターンに複数の凹部が形成されていることを特徴とする第１２態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１４態様＞
前記接着剤のヤング率が２ＧＰａ以上であることを特徴とする第２態様から第１３態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１５態様＞
前記保持部材の厚みが３００～５００μｍであることを特徴とする第１態様から第１４態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッド。
＜第１６態様＞
第１態様から第１５態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドが複数搭載されていることを特徴とする液滴吐出ヘッドユニット。
＜第１７態様＞
第１態様から第１５態様のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッド又は第１６態様の液滴吐出ヘッドユニットが搭載されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【符号の説明】
【0079】
１Ａ１，１Ａ２：ヘッド列 １Ｂ１、１Ｂ２：ヘッド列
１Ｃ１、１Ｃ２：ヘッド列 １Ｄ１、１Ｄ２：ヘッド列
２、２ｂ：第２接合部 ２ａ：連結部
３：非機能配線部 ４：機能配線部
５：第３接合部 ６：第４接合部
８：液体供給通路 ９：液体供給通路
１０：ノズル板 １１：ノズル孔
１２：保持部材 １２ａ：ベタ膜
１３：島状接合パターン １３ａ：凹部
１４：収容空間 ２０：個別流路板
２１：個別液室 ２２：供給側個別流路
２４：回収側個別流路 ２６：隔壁
３０：振動板 ３１、３２：開口
４０：圧電素子（アクチュエータ） ５０：中間流路板
５１：供給側中間個別流路 ５２：回収側中間個別流路
７０：共通流路部材 ７０ａ：フランジ部
７１：供給側共通流路 ７２：回収側共通流路
８１：供給ポート ８２：回収ポート
９０：フレキシブル配線部材 ９１：ドライバＩＣ（駆動回路）
１００：ヘッドユニット １００Ａ、１００Ｂ：ヘッドユニット
１０１：ヘッド １０２：ベース部材
１０３：カバー部材 １０４：放熱部材
１０５：マニホールド １０６：プリント基板
１０７：モジュールケース １２１：開口部
１５１、１５２：流路 ５００：印刷装置
５０１：搬入手段 ５０３：案内搬送手段
５０５：印刷手段 ５０７：乾燥手段
５０９：搬出手段 ５１０：連帳紙
５１１：元巻きローラ ５５０：ヘッドユニット
５５２：共通ベース部材 ５５９：搬送ガイド部材
５９１：巻取りローラ ＡＤ：接着剤
ＮＡ：非接合空間
１Ｃ１、１Ｃ２：ヘッド列 １Ｄ１、１Ｄ２：ヘッド列
２、２ｂ：第２接合部 ２ａ：連結部
３：非機能配線部 ４：機能配線部
５：第３接合部 ６：第４接合部
８：液体供給通路 ９：液体供給通路
１０：ノズル板 １１：ノズル孔
１２：保持部材 １２ａ：ベタ膜
１３：島状接合パターン １３ａ：凹部
１４：収容空間 ２０：個別流路板
２１：個別液室 ２２：供給側個別流路
２４：回収側個別流路 ２６：隔壁
３０：振動板 ３１、３２：開口
４０：圧電素子（アクチュエータ） ５０：中間流路板
５１：供給側中間個別流路 ５２：回収側中間個別流路
７０：共通流路部材 ７０ａ：フランジ部
７１：供給側共通流路 ７２：回収側共通流路
８１：供給ポート ８２：回収ポート
９０：フレキシブル配線部材 ９１：ドライバＩＣ（駆動回路）
１００：ヘッドユニット １００Ａ、１００Ｂ：ヘッドユニット
１０１：ヘッド １０２：ベース部材
１０３：カバー部材 １０４：放熱部材
１０５：マニホールド １０６：プリント基板
１０７：モジュールケース １２１：開口部
１５１、１５２：流路 ５００：印刷装置
５０１：搬入手段 ５０３：案内搬送手段
５０５：印刷手段 ５０７：乾燥手段
５０９：搬出手段 ５１０：連帳紙
５１１：元巻きローラ ５５０：ヘッドユニット
５５２：共通ベース部材 ５５９：搬送ガイド部材
５９１：巻取りローラ ＡＤ：接着剤
ＮＡ：非接合空間
【先行技術文献】
【特許文献】
【0080】
【特許文献1】特許第６０６４６８８号公報
【図1A】
【図1B】
【図2A】
【図2B】
【図3】
【図4】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図4D】
【図5】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図5D】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】