特開 2024-4654 搬送機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024004654

(43)【公開日】2024-01-17

(54)【発明の名称】搬送機構

(51)【国際特許分類】

   C30B 15/00 20060101AFI20240110BHJP

【ＦＩ】

C30B15/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022104369

(22)【出願日】2022-06-29

(71)【出願人】

【識別番号】000183303

【氏名又は名称】住友金属鉱山株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100145872

【弁理士】

【氏名又は名称】福岡 昌浩

(74)【代理人】

【識別番号】100091362

【弁理士】

【氏名又は名称】阿仁屋 節雄

(72)【発明者】

【氏名】三沢 宏

【テーマコード（参考）】

4G077

【Ｆターム（参考）】

4G077AA02

4G077BC32

4G077BC37

4G077CF10

4G077EG27

(57)【要約】

【課題】育成炉から結晶インゴットを安全に取り出す技術を提供する。
【解決手段】結晶インゴットを支持するパレットと、パレットを移動させるパレット移動装置と、を備え、パレットは、所定の方向に沿って配置される中空の管部材を複数有し、パレット移動装置は、管部材に対して、その一端側から挿抜可能な保持部材を複数有し、保持部材は、管部材への挿入後において、管部材を保持可能に構成されており、保持部材は、管部材を保持する保持状態における管部材からの抜けを防止する抜け防止部を有している、搬送機構。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

結晶インゴットを支持するパレットと、
前記パレットを移動させるパレット移動装置と、を備え、
前記パレットは、所定の方向に沿って配置される中空の管部材を複数有し、
前記パレット移動装置は、前記管部材に対して、その一端側から挿抜可能な保持部材を複数有し、
前記保持部材は、前記管部材への挿入後において、前記管部材を保持可能に構成されており、
前記保持部材は、前記管部材を保持する保持状態における前記管部材からの抜けを防止する抜け防止部を有している、
搬送機構。

【請求項2】

前記抜け防止部は、前記保持部材の先端部から鉛直上方に突出し、前記保持部材の前記管部材への挿抜時において、前記保持部材の挿抜を阻害しないように構成されている、
請求項１に記載の搬送機構。

【請求項3】

前記保持部材は、前記保持状態において水平姿勢を維持するように構成されている、
請求項１または２に記載の搬送機構。

【請求項4】

前記パレットは、前記管部材を２つ有しており、
前記パレットは、一の管部材と他の管部材との間で前記結晶インゴットを支持するように構成されている、
請求項１または２に記載の搬送機構。

【請求項5】

前記パレット移動装置は、前記保持部材の位置を移動させるアーム部と、前記アーム部を支持する台座部と、を備える、
請求項１または２に記載の搬送機構。

【請求項6】

前記台座部には、複数のキャスターが備えられており、
前記キャスターは、ロック可能に構成されている、
請求項５に記載の搬送機構。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送機構に関する。

【背景技術】

【0002】

育成炉内で育成された結晶インゴットを作業者により育成炉から取り出す際に、結晶インゴットが落下等することにより作業者の安全を確保できない場合があった（例えば特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平３－２１８９３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の目的は、結晶インゴットを育成炉から安全に取り出すことのできる搬送機構を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の一態様によれば、
結晶インゴットを支持するパレットと、
前記パレットを移動させるパレット移動装置と、を備え、
前記パレットは、所定の方向に沿って配置される中空の管部材を複数有し、
前記パレット移動装置は、前記管部材に対して、その一端側から挿抜可能な保持部材を複数有し、
前記保持部材は、前記管部材への挿入後において、前記管部材を保持可能に構成されており、
前記保持部材は、前記管部材を保持する保持状態における前記管部材からの抜けを防止する抜け防止部を有している、
搬送機構が提供される。

【発明の効果】

【0006】

本発明によれば、結晶インゴットを育成炉から安全に取り出すことのできる搬送機構を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係る結晶インゴット２００の概略正面図である。

【図2】図２は、本発明の一実施形態に係る搬送機構５００の構成例を示す斜視図である。

【図3】図３は、本発明の一実施形態に係る搬送機構５００の構成要素であるパレット１００の構成例を示す斜視図である。

【図4】図４は、本発明の一実施形態に係る搬送機構５００の構成要素であるパレット移動装置３００の構成例を示す斜視図である。

【図5】図５は、本発明の一実施形態に係るパレット移動装置３００の保持部材３８０の位置が変化した例を示す斜視図である。

【図6】図６は、本発明の一実施形態に係るパレット１００に結晶インゴット２００を載置した例を示す模式図である。

【図7】図７（ａ）は、本発明の一実施形態に係る保持部材３８０が、管部材１６０に挿入される前の状態を示す側面図である。図７（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る保持部材３８０が、管部材１６０に挿入された後の状態を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

本発明の一実施形態に係る搬送機構５００について図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【0009】

以下、本発明の一実施形態について図面を参照しつつ説明する。以下の各図において、矢印Ｘ、矢印Ｙおよび矢印Ｚが相互に直交する三軸の直交座標系（ＸＹＺ座標系）を用いて図中の方向を説明する。一例として、このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向（Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面を水平方向）とする。また、Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のそれぞれについて、矢印の先端側を＋方向と称し、その反対側（原点側）を－方向と称す。本実施形態では、Ｘ方向を左右方向、＋Ｘ方向を右方向、－Ｘ方向を左方向と称し、Ｙ方向を前後方向、＋Ｙ方向を後方向、－Ｙ方向を前方向と称し、Ｚ方向を上下方向、＋Ｚ方向を上方向、－Ｚ方向を下方向と称することもある。

【0010】

なお、以下の説明において用いられる図面は、いずれも模式的なものであり、図面に示される、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は、現実のものとは必ずしも一致していない。また、複数の図面の相互間においても、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は必ずしも一致していない。

【0011】

＜結晶インゴットの構成例＞
本実施形態の結晶インゴット２００は、例えば、融解した原料融液に種結晶を浸し、種結晶を回転させながら上方に引き上げるチョクラルスキー法（Ｃｚ法）により形成される。結晶インゴット２００は、例えば、タンタル酸リチウム（ＬＴ）、または、ニオブ酸リチウム（ＬＮ）等の単結晶により構成されており、図１に示すように、例えば、直胴部２００ａと、その下方が徐々に縮径するテーパ部２００ｂと、を有して構成されている。

【0012】

このようにして形成される結晶インゴット２００は、熱膨張係数の異方性により割れやすく、また、局所的な温度変化があるとクラックが発生しやすい性質を有している。本実施形態の搬送機構５００は、結晶インゴット２００に割れ等が生じないよう育成炉から取り出し可能に構成されている。

【0013】

＜本発明の一実施形態＞
以下に、本発明の一実施形態について、図面を用いて説明する。

【0014】

（１）搬送機構５００の構成例
本発明の一実施形態にかかる搬送機構５００の構成例について説明する。搬送機構５００は、育成炉内で育成された結晶インゴット２００を炉外に取り出すように構成されたものである。図２に示すように、搬送機構５００は、パレット１００と、パレット移動装置３００と、を有している。以下、パレット１００とパレット移動装置３００との構成例について説明する。

【0015】

Ａ．パレット１００の構成例
パレット１００は、育成炉内で育成された結晶インゴット２００を支持するように構成されている。パレット１００は、主として、枠体１０５と、支持部材１１０と、管部材１６０と、を有している。

【0016】

図３に示すように、枠体１０５は、略矩形に形成されている。枠体１０５は、例えば、それぞれ直方体に構成された４つの枠部材１０５ａを備えており、これらの枠部材１０５ａは、枠体１０５をなす略矩形の４辺を構成している。枠体１０５（枠部材１０５ａ）は、例えば、アルミ、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属材料により構成されている。

【0017】

枠部材１０５ａには、結晶インゴット２００を支持する複数の支持部材１１０が配置されている。具体的には、例えば、互いに対向する２組の枠部材１０５ａのうちの一方の組の枠部材１０５ａの上面には、支持部材１１０が配置されている。より具体的には、例えば、図３に示すように、前後方向に延び、左右方向において互いに対向する枠部材１０５ａの上面には、それぞれ２つずつ、合計４つの支持部材１１０が、鉛直上方に突出するように配置されている。支持部材１１０は、例えばゴムや合成樹脂等の弾性材料により構成されている。

【0018】

４つの支持部材１１０は、それぞれ、例えば円錐台状に構成されており、結晶インゴット２００のテーパ部２００ｂに接触して結晶インゴット２００を支持するように構成されている。

【0019】

枠部材１０５ａの上面には、２つの管部材１６０が備えられている。具体的には、例えば、図３に示すように、左右方向に延びる２つの枠部材１０５ａの左右両端部に、それぞれ前後方向に延び、左右方向において互いに対向する管部材１６０が備えられている。管部材１６０は、例えば固定金具１６５を介して枠部材１０５ａに取り付けられている。管部材１６０は、例えば、中空の円筒状に構成されており、前後方向（軸方向）に貫通する貫通孔１６０ａを有している。なお、図２に示すように、結晶インゴット２００は、一の管部材１６０と他の管部材１６０との間で支持部材１１０により支持される。

【0020】

枠部材１０５ａの上面には、ストッパ１７０が備えられている。具体的には、例えば、図３に示すように、左右方向に延びる２つの枠部材１０５ａのうちの後方に配置されている枠部材１０５ａの上面に、ストッパ１７０が備えられている。ストッパ１７０は、パレット１００上に載置された結晶インゴット２００が落下することを防止する部材である。

【0021】

Ｂ．パレット移動装置３００の構成例
パレット移動装置３００は、結晶インゴット２００を支持するパレット１００を育成炉外へ移動させるように構成されている。パレット移動装置３００は、例えば、主として、台車３１０と、アーム部３２０と、保持部材３８０と、を有している。本実施形態では、アーム部３２０として、第１アーム部３２１と、第２アーム部３２２と、を有する場合について説明する。

【0022】

図４に示すように、台車３１０は、略直方体に構成されており、台座部３１１と、取手部３１２と、台座部３１１を支持する側面部３１３と、側面部３１３の下部に設けられる複数のキャスター３１４と、を有している。より具体的には、台車３１０は、例えば、平面視において略矩形状の板状部材である台座部３１１と、台座部３１１上面の端部に、作業者により把持、操作される取手部３１２と、台座部３１１の各辺から鉛直下方に延びる略矩形状の板状部材である側面部３１３と、側面部３１３の下部に設けられた４つのキャスター３１４と、を有している。

【0023】

台座部３１１と側面部３１３は、いずれも、例えば鉄等の金属材料により構成されている。

【0024】

台車３１０の台座部３１１上面には、第１ベース部３１５が配置されている。第１ベース部３１５には、第１アーム部３２１の一端部３２１ａが取り付けられており、例えば略直方体状の第１アーム部３２１は、第１ベース部３１５から延伸するように構成されている。

【0025】

第１アーム部３２１の他端部３２１ｂには、例えば鉛直方向に延びる略直方体状の第１接続部材３２５が接続されている。第１接続部材３２５の上面部には、例えば鉛直方向に延びる円筒状の第１回転台３３０が載置されている。

【0026】

第１回転台３３０の下面部には、第１ハンドル３３５が備えられており、上面部には、第２ベース部３４０が載置されている。第２ベース部３４０には、第２アーム部３２２の一端部３２２ａが取り付けられており、例えば略直方体状の第２アーム部３２２は、第２ベース部３４０から延伸するように構成されている。

【0027】

第２アーム部３２２の他端部３２２ｂには、例えば鉛直方向に延びる略直方体状の第２接続部材３５５が接続されている。第２接続部材３５５の上面部には、例えば鉛直方向に延びる円筒状の第２回転台３６０が載置されている。

【0028】

第２回転台３６０の下面部には、第２ハンドル３６５が備えられており、上面部には、例えば直方体状の操作部３７０が載置されている。操作部３７０の一側面部には、保持部材３８０が取り付けられており、他の２側面には、それぞれ操作ハンドル３７０ａが備えられている。以下、本明細書において、第１ハンドル３３５、第２ハンドル３６５、および操作ハンドル３７０ａをまとめてハンドル部と称する場合がある。

【0029】

保持部材３８０は、例えば、２つの棒状部材３８０ａと、２つの抜け防止部３８０ｂと、を有している。２つの棒状部材３８０ａは、例えば円筒棒状に構成されており、図４に示すように、それぞれ前後方向に延び、左右方向において互いに対向するように配置されている。抜け防止部３８０ｂは、例えば、扁平の楕円形状に構成されており、棒状部材３８０ａの先端部（後端部）から鉛直上方に突出するように取り付けられている。

【0030】

一方の棒状部材３８０ａの中心軸から他方の棒状部材３８０ａの中心軸までの距離は、パレット１００の一方の管部材１６０の中心軸から他方の管部材１６０の中心軸までの距離と同等の距離となるように構成されている。棒状部材３８０ａの軸方向（前後方向）の長さは、管部材１６０の軸方向（前後方向）の長さよりも長くなるように構成されており、棒状部材３８０ａの直径は、管部材１６０の内径（貫通孔１６０ａの直径）よりも小さくなるように構成されている。また、棒状部材３８０ａの直径と、抜け防止部３８０ｂにおける棒状部材３８０ａから鉛直上方へ突出した部分の長さと、を合わせた長さは、貫通孔１６０ａの直径よりも小さくなるように構成されている。このように、保持部材３８０は、管部材１６０に対して、その一端側から前後方向に挿抜可能に構成されており、抜け防止部３８０ｂは、保持部材３８０の管部材１６０への挿抜時において、保持部材３８０の挿抜を阻害しないように構成されている。

【0031】

台座部３１１の下面には、保持部材３８０等を制御する制御部３８５が取り付けられている。

【0032】

台車３１０の前左右部と後左右部のそれぞれにキャスター３１４が設けられている。キャスター３１４は、車輪支持部３１４ａと車輪３１４ｂとを有している。車輪支持部３１４ａは、車輪３１４ｂを回転自在かつ旋回可能に支持している。キャスター３１４には、車輪３１４ｂの回転を停止させる車輪停止部３９０が取り付けられている。また、台座部３１１の下面には、走行可能状態と走行不能状態との切り替えを行う台車停止機構３９５が設けられている。

【0033】

（２）パレット移動装置３００の動作例
本発明の一実施形態にかかるパレット移動装置３００の動作例について説明する。

【0034】

作業者が第１ハンドル３３５を上方または下方に移動させることにより、一端部３２１ａを支点として第１アーム部３２１を傾斜させ、第１アーム部３２１の高さ位置を変化させることができる（図５参照）。作業者が第１ハンドル３３５の操作を停止したときに、第１アーム部３２１の高さ位置が確定するようになっている。

【0035】

作業者が第２ハンドル３６５を上方または下方に移動させることにより、一端部３２２ａを支点として第２アーム部３２２を傾斜させ、第２アーム部３２２の高さ位置が変化させることができる（図５参照）。作業者が第２ハンドル３６５の操作を停止したときに、第２アーム部３２２の高さ位置が確定するようになっている。第１アーム部３２１や第２アーム部３２２の高さ位置を調整することにより、これらと間接的に接続する保持部材３８０を所望の高さ位置に配置することができる。

【0036】

作業者が第１ハンドル３３５を、第１回転台３３０の周方向に沿って操作することにより、第１回転台３３０を同方向に回動させることができる。

【0037】

作業者が操作ハンドル３７０ａを、第２回転台３６０の周方向に沿って操作することにより、第２回転台３６０を同方向に回動させることができる。第１回転台３３０や操作ハンドル３７０ａを回動させることにより、これらと間接的に接続する保持部材３８０を所望の向きに回動させることができる。なお、保持部材３８０（棒状部材３８０ａ）は、その高さ位置や向きが変化する場合にも、水平姿勢を維持するように制御されている。

【0038】

（３）搬送機構５００を用いた育成炉からの結晶インゴットの取り出し方法例
本実施形態の搬送機構５００を用いて結晶インゴット２００を育成炉から取り出す方法の一例について説明する。

【0039】

本実施形態の結晶インゴット２００は、例えば、円筒状の育成炉７００を用いて坩堝（不図示）内の原料融液に種結晶を浸し、種結晶を引上げ軸（シード棒）４００により回転させながら上方に引上げるＣｚ法により育成される。結晶インゴット２００の育成後、坩堝を降下させ、所定時間が経過したら、育成炉７００を左右方向に開く。これにより、育成炉７００内の結晶インゴット２００が開放された状態となる（図６参照）。

【0040】

結晶インゴット２００が開放された状態となったら、作業者によりパレット１００を作業者の手前から結晶インゴット２００下方の所定位置まで差し込む。その後、結晶インゴット２００を支持部材１１０上に載置し、シード棒４００を所定箇所で切断する。

【0041】

結晶インゴット２００が支持部材１１０上に載置された場合には、例えば円錐台状の支持部材１１０の一部、例えば天面（上面）の円周部の一部が、結晶インゴット２００のテーパ部２００ｂの一部に接触（点接触）し、結晶インゴット２００を支持する。

【0042】

結晶インゴット２００を支持部材１１０上に載置させたら、作業者が台車３１０を操作してパレット移動装置３００を育成炉７００の前方に停止させる。

【0043】

その後、保持部材３８０の抜け防止部３８０ｂが、管部材１６０の前端部近傍に位置するように、ハンドル部を操作する。具体的には、保持部材３８０の棒状部材３８０ａの高さ位置が、パレット１００の管部材１６０の内径（貫通孔１６０ａ）の高さ位置と同等となり、棒状部材３８０ａの軸方向の向きが、貫通孔１６０ａの軸方向の向きと同方向となるようにハンドル部を操作する。このとき、抜け防止部３８０ｂの上方端部の高さ位置が、管部材１６０の内周面における上方端部の高さ位置よりも低くなるようにする（図７（ａ）参照）。このようすることにより、後述する保持部材３８０の管部材１６０への挿入時に、抜け防止部３８０ｂが、保持部材３８０の挿入を阻害することを回避することができる。

【0044】

その後、ハンドル部を操作して、保持部材３８０を前方に移動させ、保持部材３８０を管部材１６０の前端側から貫通孔１６０ａ内に挿入する。

【0045】

抜け防止部３８０ｂが管部材１６０の後端部よりも後方に位置したら、すなわち、棒状部材３８０ａが貫通孔１６０ａを貫通したら、ハンドル部を操作して、保持部材３８０を鉛直上方に移動させ、保持部材３８０により管部材１６０を持ち上げ保持させる（図７（ｂ）参照）。本明細書では、保持部材３８０により管部材１６０を持ち上げて保持する状態を保持状態と称する。

【0046】

その後、ハンドル部を操作して、保持部材３８０を移動させ、パレット１００を育成炉７００内から取り出し、移動用台車（不図示）上の所定の場所に配置する。このとき（保持状態において）保持部材３８０（棒状部材３８０ａ）は、水平姿勢を維持するので、パレット１００上に載置された結晶インゴット２００を安定させ、安全に搬送することができる。さらに、保持状態において、保持部材３８０が管部材１６０から抜け落ちそうになった場合でも、抜け防止部３８０ｂにより阻止することができる。また、ストッパ１７０により、パレット１００上に載置された結晶インゴット２００の落下を防止するできる。

【0047】

その後、ハンドル部を操作して、保持部材３８０を鉛直下方に移動させる。このとき、抜け防止部３８０ｂの上方端部の高さ位置が、管部材１６０の内周面における上方端部の高さ位置よりも低くなるようにする。このようすることにより、後述する保持部材３８０の管部材１６０からの抜去時に、抜け防止部３８０ｂが、保持部材３８０の抜去を阻害することを回避することができる。

【0048】

その後、ハンドル部を操作して、保持部材３８０を移動させ、保持部材３８０を管部材１６０の貫通孔１６０ａ外へ抜去する。

【0049】

（４）本実施形態に係る効果
本実施形態によれば、以下に示す１つまたは複数の効果を奏する。

【0050】

（ａ）本実施形態において、搬送機構５００は、結晶インゴット２００を支持するパレット１００に加えて、パレット１００を移動させるパレット移動装置３００を備えているので、結晶インゴット２００を育成炉７００から安全に取り出すことができ、作業者の安全の確保が可能となる。

【0051】

本実施形態において、搬送機構５００は、保持部材３８０を管部材１６０に挿入し保持することにより結晶インゴット２００を搬送可能に構成されている。このような簡素な搬送機構５００を用いた作業者による簡便な操作で結晶インゴット２００を安全に搬送することができる。

【0052】

本実施形態において、保持部材３８０は、抜け防止部３８０ｂを有しているので、保持状態において、保持部材３８０の管部材１６０からの抜け落ちを防止できる。これにより、搬送機構５００は、結晶インゴット２００を育成炉７００から安全に取り出し搬送することができる。

【0053】

（ｂ）本実施形態において、抜け防止部３８０ｂは、管部材１６０への挿抜を阻害しないように構成されているので、保持部材３８０の管部材１６０に対する挿抜を可能にしつつ、保持部材３８０の管部材１６０からの抜けを防止できる。これにより、保持部材３８０が管部材１６０を確実に保持できるので、搬送機構５００は、結晶インゴット２００を育成炉７００から安全に取り出し搬送することができる。

【0054】

（ｃ）本実施形態において、保持部材３８０は、保持状態において、水平姿勢を維持するように構成されているので、搬送機構５００は、パレット１００上の結晶インゴット２００の安定性を確保し、さらに安全に搬送することができる。

【0055】

（ｄ）本実施形態では、一の管部材１６０と他の管部材１６０との間で結晶インゴット２００を支持するので、保持部材３８０は結晶インゴット２００を安定に保持し、安全に搬送することができる。

【0056】

（ｅ）本実施形態では、キャスター３１４に、車輪３１４ｂの回転を停止（ロック）させる車輪停止部３９０が取り付けられているので、台車３１０を固定して、保持部材３８０等を安定して操作することができる。これにより、結晶インゴット２００の安定性を確実に確保し、さらに安全に搬送することができる。

【0057】

＜本発明の他の実施形態＞
以上、本発明の実施形態について具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。

【0058】

上述の実施形態では、抜け防止部３８０ｂが扁平の楕円形状に構成されている場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。抜け防止部３８０ｂは、棒状部材３８０ａから鉛直上方に突出するように構成されていれば、例えば、扁平の正円形状や矩形状、球体、直方体形状、立方体形状に構成されていてもよい。このような形状でも、上述の態様と同様の効果を得ることができる。なお、抜け防止部３８０ｂは、鉛直上方に加えて、棒状部材３８０ａの左右方向や鉛直下方にも突出するものを排除するものではない。しかし、抜け防止部３８０ｂが鉛直上方にのみ突出している場合は、保持部材３８０の管部材１６０への挿抜時に、例えば、管部材１６０の内周面の下方端部に、棒状部材３８０ａの外周面の下方端部を接触させる、という簡単な動作で足りるためより好ましい。

【0059】

上述の実施態様では、管部材１６０が中空の円筒状に、棒状部材３８０ａが円筒棒状に構成されている場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。管部材１６０は、その軸方向に貫通する貫通孔１６０ａを有していれば、例えば、直方体状や多角柱状に構成されていてもよい。棒状部材３８０ａも、貫通孔１６０ａに挿入可能であれば、例えば、直方体状や多角柱状に構成されていてもよい。

【0060】

上述の実施形態では、作業者により保持部材３８０等の高さ位置や向きを操作する場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、アーム部３２０をエアシリンダ等の駆動源によって動作可能にし、その動作をコンピュータ装置としての機能を有する制御部３８５により制御してもよい。

【0061】

上述の実施態様では説明しなかったが、育成炉７００とパレット移動装置３００とに、それぞれを連結させる連結機構、例えば、公知のスナッチロックが設けられていることが好ましい。これにより、育成炉７００からの結晶インゴット２００を取り出す際に、パレット移動装置３００の位置を固定（位置決め）することができ、より安全に結晶インゴット２００を搬送することができる。

【0062】

上述の態様では説明しなかったが、パレット１００は、鉛直上方に突出する支持部材１１０の他に、例えば、２つの枠部材１０５ａの内側面に、それぞれ２つずつ水平方向（左右方向）に突出する支持部材を有してもよい。これにより、１つのパレット１００で、サイズの異なる結晶インゴット２００に対応することができる。

【符号の説明】

【0063】

１００ パレット
１１０ 支持部材
１６０ 管状部材
１６０ａ 貫通孔
２００ 結晶インゴット
３００ パレット移動装置
３８０ 保持部材
３８０ａ 棒状部材
３８０ｂ 抜け防止部
５００ 搬送機構
７００ 育成炉

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】