特開 2024-47565 リフトピンアセンブリ用のシステムおよび装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024047565

(43)【公開日】2024-04-05

(54)【発明の名称】リフトピンアセンブリ用のシステムおよび装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20240329BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】20

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2023155660

(22)【出願日】2023-09-21

(31)【優先権主張番号】63/409,867

(32)【優先日】2022-09-26

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】519237203

【氏名又は名称】エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー

(74)【代理人】

【識別番号】100108453

【弁理士】

【氏名又は名称】村山 靖彦

(74)【代理人】

【識別番号】100110364

【弁理士】

【氏名又は名称】実広 信哉

(74)【代理人】

【識別番号】100133400

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 達彦

(72)【発明者】

【氏名】マシュー・リケッツ

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA19

5F131EA03

5F131EA23

5F131EB72

5F131EB78

5F131EB79

5F131EB84

(57)【要約】

【課題】リフトピンアセンブリ用のシステムおよび装置を提供する。
【解決手段】本技術の様々な実施形態は、リフトピンアセンブリ用のシステムおよび装置を提供しうる。リフトピンアセンブリは、リフトピンと、リフトピンの一部分に取り付けられた、かつそれを囲む重りとを含みうる。重りは、ねじによって互いに取り付けられる第一の部材および第二の部材を含みうる。各部材はチャネルを有しうる。各部材のチャネルは、リフトピンを受容するための貫通穴を形成しうる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

リフトピンアセンブリであって、
リフトピンであって、
シャフトであって、
第一の直径を有する、かつ第一の端および第二の端を備える第一のセクションと、
前記第一のセクションの前記第二の端に直接連結された、かつ第二の直径を有する第二のセクションと、
前記第二のセクションに直接連結された、かつ第三の直径を有する第三のセクションと、を備える、シャフトと、
前記第一のセクションの前記第一の端に連結されたピンヘッドと、を備える、リフトピンと、
前記シャフトの前記第二のセクションに取り付けられた、かつ第一の部材および第二の部材を備える重りであって、前記第一および第二の部材の各々が、
第一の距離だけ前記シャフトの前記第二のセクションから離れて延在する第一の縁を有する頂端と、
第二の距離だけ前記シャフトの前記第二のセクションから離れて延在する第二の縁を有する、前記頂端の反対側の、底端であって、前記第二の距離が前記第一の距離よりも小さい、底端と、を備える、重りと、を備える、リフトピンアセンブリ。

【請求項2】

前記第一および第二の部材の各々が、前記頂端から前記底端まで延在する貫通穴を形成するチャネルをさらに備える、請求項１に記載のリフトピンアセンブリ。

【請求項3】

前記シャフトの前記第二のセクションが、前記貫通穴によって拘束されている、請求項２に記載のリフトピンアセンブリ。

【請求項4】

前記第一の部材の前記頂端を通って、かつ前記第二の部材の前記頂端の中に延在するねじによって、前記第一の部材が前記第二の部材に取り付けられている、請求項１に記載のリフトピンアセンブリ。

【請求項5】

前記第一の縁が、アーチ形セクションを備える、請求項１に記載のリフトピンアセンブリ。

【請求項6】

前記第一の直径が前記第三の直径に等しく、前記第二の直径が前記第一の直径よりも小さい、請求項１に記載のリフトピンアセンブリ。

【請求項7】

前記第一の直径が前記第三の直径よりも大きく、前記第二の直径が前記第一および第三の直径よりも小さい、請求項１に記載のリフトピンアセンブリ。

【請求項8】

前記第一の直径が前記第三の直径よりも小さく、前記第二の直径が前記第一および第三の直径よりも小さい、請求項１に記載のリフトピンアセンブリ。

【請求項9】

リフトピンアセンブリであって、
リフトピンであって、
シャフトであって、
第一の直径を有する、かつ第一の端および第二の端を備える第一のセクションと、
前記第一のセクションの前記第二の端に直接接続された、かつ第二の直径を有する第二のセクションと、
前記第二のセクションに直接連結された、かつ第三の直径を有する第三のセクションと、を備える、シャフトと、
前記第一のセクションの前記第一の端に接続されたピンヘッドと、を備える、リフトピンと、
前記シャフトの前記第二のセクションを囲む、かつ第二の部材に結合された第一の部材を備える重りであって、前記第一および第二の部材の各々が、前記重りの頂端から前記重りの底端まで延在する貫通穴を形成するチャネルを備え、前記シャフトの前記第二のセクションが、前記貫通穴を通って延在する、かつ前記貫通穴によって拘束されている、重りと、を備える、リフトピンアセンブリ。

【請求項10】

前記頂端が、第一の距離だけ前記チャネルから離れて延在する第一の縁を備える、請求項９に記載のリフトピンアセンブリ。

【請求項11】

前記第一の縁が、アーチ形セクションを備える、請求項１０に記載のリフトピンアセンブリ。

【請求項12】

前記底端が、第二の距離だけ前記チャネルから離れて延在する第二の縁を備え、前記第二の距離が前記第一の距離よりも小さい、請求項１０に記載のリフトピンアセンブリ。

【請求項13】

前記第二の直径が前記第一および第三の直径よりも小さい、請求項９に記載のリフトピンアセンブリ。

【請求項14】

前記第一および第二の部材の各々の前記頂端が、ねじ山付き穴をさらに備え、前記第一の部材が、前記ねじ山付き穴と嵌合するねじ山付きねじによって前記第二の部材に結合されている、請求項９に記載のリフトピンアセンブリ。

【請求項15】

前記嵌合されたねじ山付きねじが、前記リフトピンの前記シャフトに垂直である、請求項１４に記載のリフトピンアセンブリ。

【請求項16】

リフトピンに取り付けられることができる重りであって、
第二の部材に取り付けられた第一の部材を備え、前記第一および第二の部材の各々が、
内向き面と、
頂端および底端と、
前記頂端から前記底端まで延在する前記内向き面に沿ったチャネルと、を備え、
前記頂端が、第一の距離だけ前記チャネルから離れて延在する第一の縁を有し、
前記頂端の反対側の前記底端が、第二の距離だけ前記チャネルから離れて延在する第二の縁を有し、前記第二の距離が、前記第一の距離よりも小さく、
前記第一の部材の前記内向き面が、前記第二の部材の前記内向き面に当接し、
前記第一および第二の部材の前記チャネルが、前記リフトピンの一部分を取り囲むことができる貫通穴を形成する、重り。

【請求項17】

前記第一および第二の部材の各々の前記頂端が、ねじ山付き穴およびねじ山付き貫通穴をさらに備え、前記第一の部材が、一方の部材の前記ねじ山付き穴および他方の部材の前記ねじ山付き貫通穴と嵌合するねじ山付きねじによって前記第二の部材に結合されている、請求項１６に記載の重り。

【請求項18】

前記頂端が、
アーチ形縁と、
直線状縁によって画定されたノッチ領域と、を備える、請求項１６に記載の重り。

【請求項19】

前記重りが、前記アーチ形縁の近くに位置するねじ山付き穴と、前記直線状縁から前記内向き面まで延在するねじ山付き貫通穴とをさらに備える、請求項１８に記載の重り。

【請求項20】

前記第一の部材の前記ねじ山付き穴が、前記第二の部材の前記ねじ山付き貫通穴と整列する、請求項１９に記載の重り。

【発明の詳細な説明】

【背景技術】

【0001】

半導体製造プロセス中、リフトピンを使用して、ウエハのサセプターへの装填およびサセプターからの取り出しを容易にしうる。大半の場合、リフトピンは、サセプターの穴を通って延在する。ウエハは、静止したサセプターを通してリフトピンを作動させることによってサセプターの表面から持ち上げられてもよい。使用中、リフトピンは、サセプター内の望ましくない位置に固着しうる。従って、固着を防止または低減する設計が、望ましい場合がある。

【発明の概要】

【0002】

本技術の様々な実施形態は、リフトピンアセンブリ用のシステムおよび装置を提供しうる。リフトピンアセンブリは、リフトピンと、リフトピンの一部分に取り付けられた、かつそれを囲む重りとを含みうる。重りは、ねじによって互いに取り付けられる第一の部材および第二の部材を含みうる。各部材はチャネルを有しうる。各部材のチャネルは、リフトピンを受容するための貫通穴を形成しうる。

【0003】

一つの態様によると、リフトピンアセンブリは、リフトピンであって、シャフトであって、第一の直径を有する、かつ第一の端および第二の端を備える第一のセクションと、第一のセクションの第二の端に直接連結された、かつ第二の直径を有する第二のセクションと、第二のセクションに直接連結された、かつ第三の直径を有する第三のセクションとを備えるシャフトと、第一のセクションの第一の端に連結されたピンヘッドとを備えるリフトピンと、シャフトの第二のセクションに取り付けられた、かつ第一の部材および第二の部材を備える重りであって、第一および第二の部材の各々が、第一の距離だけシャフトの第二のセクションから離れて延在する第一の縁を有する頂端と、第二の距離だけシャフトの第二のセクションから離れて延在する第二の縁を有する、頂端の反対側の底端であって、第二の距離が第一の距離よりも小さい、底端とを備える、重りと、を備える。

【0004】

別の態様によると、リフトピンアセンブリは、リフトピンであって、シャフトであって、第一の直径を有する、かつ第一の端および第二の端を備える第一のセクションと、第一のセクションの第二の端に直接接続された、かつ第二の直径を有する第二のセクションと、第二のセクションに直接連結された、かつ第三の直径を有する第三のセクションとを備えるシャフトと、第一のセクションの第一の端に接続されたピンヘッドとを備えるリフトピンと、シャフトの第二のセクションを囲む、かつ第二の部材に結合された第一の部材を備える重りであって、第一および第二の部材の各々が、重りの頂端から重りの底端まで延在する貫通穴を形成するチャネルを備え、シャフトの第二のセクションが、貫通穴を通って延在する、かつ貫通穴によって拘束されている、重りと、を備える。

【0005】

さらに別の態様によると、リフトピンに取り付けられることができる重りは、第二の部材に取り付けられた第一の部材を備え、第一および第二の部材の各々は、内向き面と、頂端および底端と、頂端から底端まで延在する内向き面に沿ったチャネルとを備え、頂端は、第一の距離だけチャネルから離れて延在する第一の縁を有し、頂端の反対側の底端は、第二の距離だけチャネルから離れて延在する第二の縁を有し、第二の距離は第一の距離よりも小さく、第一の部材の内向き面は、第二の部材の内向き面に当接し、第一および第二の部材のチャネルは、リフトピンの一部分を取り囲むことができる貫通穴を形成する。

【0006】

本技術のより完全な理解は、以下の例示的な図に関連して考慮される場合、詳細な説明を参照することによって得られる場合がある。以下の図において、同様の参照番号は、図全体を通して同様の要素および工程を指す。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】図１は、本技術の例示的な一実施形態によるシステムを典型的に図示する。

【図2】図２は、本技術の例示的な一実施形態によるリフトピンアセンブリの斜視図である。

【図3】図３は、本技術の例示的な一実施形態によるリフトピンアセンブリの斜視図である。

【図4】図４は、本技術の例示的な一実施形態による重りの斜視図である。

【図5】図５は、本技術の例示的な一実施形態によるリフトピンアセンブリの一部分の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

本技術は、機能ブロックの構成要素および様々な処理工程に関して記述されうる。こうした機能ブロックは、特定された機能を実施するように、かつ様々な結果を達成するように構成された、任意の数の構成要素によって実現されてもよい。例えば、本技術は、様々な締め具および材料を採用して、リフトピンおよび重りを形成しうる。さらに、本技術は、リフトピンおよび重りを製造するための任意の数の技法を採用しうる。

【0009】

図１を参照すると、例示的なシステム１００は、ウエハ１２５などの基材を処理するための反応チャンバ１０５およびシャワーヘッド１１０を備えてもよい。反応チャンバ１０３は、垂直に配向された側壁と、水平に配向された底面と、シャワーヘッド１１０とによって画定された内部空間１０２を備えてもよい。システム１００は、様々な前駆体をシャワーヘッド１１０を介して反応チャンバ１０５に送達するための入口１８０をさらに備えてもよい。

【0010】

シャワーヘッド１１０は、入口１８０からウエハ１２５に向かって前駆体を流すように構成された複数の貫通穴１３５を備えてもよい。シャワーヘッド１１０は、反応チャンバ１０５の側壁に隣接して位置付けられ、かつそれによって支持されてもよい。

【0011】

システム１００は、反応チャンバ１０５の内部空間１０２内に配置された、かつウエハ１２５を支持するように構成されたサセプター１１７をさらに備えてもよい。サセプター１１７は、台座１３０によって支持されたプレート１２０を備えてもよい。様々な実施形態において、サセプター１１７は、ｚ軸（Ｚ）に沿って上下に移動するように構成されてもよい。しかしながら、他の実施形態において、サセプター１１７は静止したままであってもよい。様々な実施形態において、プレート１２０は、セラミック（アルミナ、ＡｌＯｘ）、または金属（例えば、ステンレス鋼、ハステロイなど）から形成されてもよい。プレート１２０は、水平に配向されている、かつシャワーヘッド１１０の直下に位置付けられている頂面を備えてもよい。ウエハ１２５（または他の基材）は、処理中にプレート１２０の頂面上に置かれてもよい。プレート１２０は、処理中にウエハ１２５を加熱するように構成された加熱要素（図示せず）を含んでもよい。加熱要素は、任意の適切な加熱要素を含んでもよく、任意の所望の形状またはパターンで配置されてもよい。様々な実施形態において、プレート１２０は、貫通穴１４０をさらに備えてもよい。

【0012】

様々な実施形態において、システム１００は、プレート１２０からウエハ１２５を持ち上げるように構成されたリフトピンアセンブリ１１５をさらに備えてもよい。様々な実施形態において、システム１００は、複数（３つ以上など）のリフトピンアセンブリ１１５を備えてもよい。リフトピンアセンブリ１１５は、プレート１２０の貫通穴１４０を通って延在する。様々な実施形態において、リフトピンアセンブリ１１５はプレート１２０に対して静止したままである一方、プレート１２０はｚ軸に沿って移動する。他の実施形態において、リフトピンアセンブリ１１５はｚ軸に沿って移動する一方、プレート１２０はリフトピンアセンブリ１１５に対して静止したままである。

【0013】

図２～図５を参照すると、例示的な一実施形態において、リフトピンアセンブリ１１５はプレート１２０からウエハ１２５を持ち上げるために、かつまたプレート１２０上にウエハ１２５を配置するのを容易にするために、互いに関連して動作するリフトピン２００および重り２２５を備えてもよい。重り２２５は、リフトピン２００に下向きの力を加えるように構成されてもよい。例えば、重り２２５は、１５～３０グラム、例えば２４グラムの重量であってもよい。様々な実施形態において、重り２２５は、リフトピン１１５の一部分を囲んでもよく、重りは、プレート１２０の頂面の反対側の底面に重り２２５が隣接するように、リフトピン１１５の底部の近くに位置付けられてもよい（図１）。様々な実施形態において、リフトピン２００は、金属材料（例えば、ステンレス鋼、チタン、またはアルミニウム）またはセラミック材料（例えば、アルミナ、ＡｌＯｘ）を含んでもよい。様々な実施形態において、重り２２５は、金属材料（例えば、ステンレス鋼、チタン、またはアルミニウム）を含んでもよい。

【0014】

様々な実施形態において、リフトピン２００は、リフトピン２００の軸に沿って第一のセクション２０５、第二のセクション２１０、および第三のセクション２１５を有するシャフトを備えてもよい。軸は、リフトピン２００の長さに沿って延在する。第一のセクション２０５は、第一の端２７０および第二の端２７５を備えてもよい。第二のセクション２１０は、第一の端５００および第二の端５０５を備えてもよい。第三のセクション２１５は、第一の端５１０および第二の端５１５を備えてもよい。様々な実施形態において、第二のセクション２１０は、第一のセクション２０５と第三のセクション２１５との間に位置してもよい。例えば、第二のセクション２１０の第一の端５００は、第一のセクション２０５の第二の端に直接接続されてもよく、第二のセクション２１０の第二の端５０５は、第三のセクション２１５の第一の端５１０に直接接続されてもよい。各セクション２０５、２１０、２１５は、円筒形状を有してもよい。

【0015】

様々な実施形態において、第一のセクション２０５は第一の直径Ｄ１を有し、第二のセクション２１０は第二の直径Ｄ２を有し、第三のセクション２１５は第三の直径Ｄ３を有する。例示的な一実施形態において、第三の直径Ｄ３は、第二の直径Ｄ２よりも大きい。例えば、第三の直径Ｄ３は、３．５ｍｍ～４．５ｍｍの範囲であってもよく、第二の直径Ｄ２は、２．０ｍｍ～２．５ｍｍの範囲であってもよい。さらに、第一の直径Ｄ１は、第二の直径Ｄ２よりも大きくてもよい。例えば、第一の直径Ｄ１は、３．５０ｍｍ～４．００ｍｍの範囲であってもよい。さらに、第一の直径Ｄ１および第三の直径Ｄ３は、実質的に等しくてもよい（例えば、５％の公差）。

【0016】

様々な実施形態において、リフトピン２００は、第一のセクション２０５の第一の端２７０に接続されたピンヘッド２２０をさらに備えてもよい。ピンヘッド２２０は、任意の適切な形状およびサイズを有してもよい。

【0017】

様々な実施形態において、重り２２５は、リフトピン２００の第二のセクション２１０の少なくとも一部分を囲んでもよい。例示的な一実施形態において、重り２２５は、第一のセクション２０５または第三のセクション２１５を囲まなくてもよい。様々な実施形態において、重り２２５は、第一の部材２３０および第二の部材２３５を備えてもよい。各部材２３０、２３５は、頂面２４０を有する頂端２３０、および底端２５０を備えてもよい。さらに、各部材２３０、２３５は、内向き面４００を備えてもよい。各部材２３０、２３５の内向き面は、互いに当接するように構成されてもよい。例えば、第一の部材２３０の頂端２３０は、第二の部材２３５の頂端２３０と整列してもよく、第一の部材２３０の底端は、第二の部材２３５の底端２５０と整列してもよい。特に、第一および第二の部材２３０、２３５は、同じ形状および寸法を有する。

【0018】

様々な実施形態において、頂端２３０は、第一の距離Ｘ１だけチャネル４１０から離れて延在する第一の縁２４５を有してもよい。様々な実施形態において、第一の距離Ｘ１は、１．５ｍｍ～２．５ｍｍの範囲であってもよい。例示的な一実施形態において、第一の距離Ｘ１は２．０ｍｍである。様々な実施形態において、第一の縁２４５は、アーチ形部分を備えてもよい。

【0019】

様々な実施形態において、底端２５０は、第二の距離Ｘ２だけチャネル４１０から離れて延在する第二の縁２５５を有してもよい。様々な実施形態において、第二の距離Ｘ２は、４．０ｍｍ～６．５ｍｍの範囲であってもよい。例示的な一実施形態において、第二の距離Ｘ２は５．０ｍｍである。様々な実施形態において、第二の距離Ｘ２は、第一の距離Ｘ１よりも小さい。様々な実施形態において、第二の縁２５５は、半円形形状を形成してもよい。

【0020】

例示的な一実施形態において、第一および第二の部材２３０、２３５の各々は、各部材２３０、２３５に沿って垂直に延在する、かつ長さＬを有するチャネル４１０（例えば、半円形カットアウト）を備えてもよい。様々な実施形態において、長さは１０ｍｍ～２０ｍｍの範囲であってもよい。例示的な一実施形態において、長さは１５ｍｍである。チャネル４１０は、各部材２３０、２３５の内向き面４００内に形成されてもよい。合わせて、各部材２３０、２３５のチャネル４１０は、頂面２４０から底端２５５まで延在する貫通穴４０５を形成してもよい。第一および第二の部材２３０、２３５は、リフトピンの一部分を囲むか、または他の方法で取り囲んでもよい。例えば、第一および第二の部材２３０、２３５は、リフトピン２００の第二のセクション２１０の少なくとも一部分を囲んでもよい。例示的な一実施形態において、第二のセクション２１０の一部分は露出されていて、リフトピンアセンブリ１１５がウエハ処理中に高温（例えば、４５０℃）に供される時に、重り２３０がリフトピン２００の長さに沿って膨張することを可能にする。第二のセクション２１０の一部分が露出されていない場合、重り２３０の膨張は、リフトピン２００に望ましくないストレスを加える場合があり、これはリフトピン２００を破損または破断させうる。

【0021】

様々な実施形態において、各部材２３０、２３５の頂端２３０は、第一の直線状縁４２０と、第一の直線状縁４２０に垂直な第二の直線状縁４２５とによって画定されたノッチ領域４１５をさらに備えてもよい。第一の直線状縁４２０は、第一の縁２４５に続いていて、第二の直線状縁４２５は、第一の直線状縁４２０に続いている。

【0022】

様々な実施形態において、各部材２３０、２３５は、ねじ山付き貫通穴５２０をさらに備えてもよい。例示的な一実施形態において、ねじ山付き貫通穴５２０は、頂面２３０上に位置してもよく、第二の直線状縁４２５から内向き面４００まで延在してもよい。ねじ山付き貫通穴５２０は、外側縁２４５の近くに位置してもよい。

【0023】

様々な実施形態において、各部材２３０、２３５は、ねじ山付き穴５１５をさらに備えてもよい。例示的な一実施形態において、ねじ山付き穴５１５は、ねじ山付き貫通穴５２０から反対側の縁にて頂面２３０上に位置してもよい。一つの部材（例えば、第一の部材２３０）のねじ山付き穴５１５は、他の部材（例えば、第二の部材２３５）のねじ山付き貫通穴５２０と整列するように位置付けられてもよい。

【0024】

様々な実施形態において、リフトピンアセンブリ１１５は、第一の部材２３０を第二の部材２３５に固定するように構成されたねじをさらに備えてもよい。例示的な一実施形態において、リフトピンアセンブリ１１５は、第一のねじ２６０および第二のねじ２６５を備えてもよい。第一および第二のねじ２６０、２６５の各々は、ねじ山付き貫通穴５１５およびねじ山付き穴５２０のねじ山と嵌合するように、ねじ山付きであってもよい。例えば、第一のねじ２６０は、ねじ山付き貫通穴５２０と嵌合するように構成されてもよく、第二のねじ２６５は、ねじ山付き穴５１５と嵌合するように構成されてもよい。各ねじ２６０、２６５は、ねじの長さに沿った軸を有してもよい。取り付けられる時、ねじ２６０、２６５の軸は、リフトピン２００の軸に垂直であってもよい。

【0025】

前述の説明において、本技術は特定の例示的な実施形態を参照して説明されている。示された、かつ記述された特定の実装は、本技術およびその最良の形態の例示であり、本技術の範囲をいかなるやり方でも、別の方法で限定することを意図していない。実際、簡潔のために、方法およびシステムの従来の製造、関連、調製、および他の機能的態様を詳細に記述していない場合がある。さらに、様々な図に示された接続線は、様々な要素間の例示的な機能的関係および／または工程を表すことが意図されている。多くの代替的もしくは追加の機能的関係、もしくは物理的接続が実際のシステムにおいて存在してもよい。

【0026】

本技術については、具体的な例示的な実施形態を参照して説明してきた。しかしながら、本技術の範囲から逸脱することなく、様々な修正および変更がなされてもよい。説明および図面は、制限的な態様というよりは例示的な態様として見なされ、そのような修正はすべて、本技術の範囲内に含まれることが意図されている。従って、本技術の範囲は、上述の特定の実施例のみによってではなく、記載の一般的な実施形態およびその法的等価物によって決定されるべきである。例えば、任意の方法またはプロセスの実施形態に列挙された工程は、別段の明示的な指定がない限り、任意の順序で実行されてもよく、特定の実施例に提示された明示的な順序に限定されない。さらに、任意の装置の実施形態に列挙された構成要素および／または要素は、本技術と実質的に同じ結果を生成するために、様々な順列で組み立てられてもよく、または別の方法で動作可能に構成されてもよく、従って特定の実施例に列挙された特定の構成に限定されない。

【0027】

恩恵、他の利点、および問題に対する解決策が、特定の実施形態に関して上述されている。特定の恩恵、利点、問題に対する解決策、または何らかの特定の恩恵、利点、もしくは解決策を生じさせる場合がある、またはより顕著にさせる場合がある何らかの要素は、しかしながら、重要な、必要とされる、または必須の特徴もしくは要素であると解釈されない。

【0028】

「含む、備える（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ）」、「含んでいる、備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」という用語、またはその任意の変形語は、要素のリストを含むプロセス、方法、物品、組成物、または装置が、それらの要素のみを含むだけでなく、明示的に列挙されていない、またはそのようなプロセス、方法、物品、組成物、または装置に固有の他の要素を含んでもよいように、非限定的包含を指すことが意図されている。本技術の実践において使用される上述の構造、配置、用途、割合、要素、材料、または構成要素の他の組み合わせおよび／または修正は、具体的に列挙されていないものに加えて、それらの一般原理から逸脱することなく、様々であってもよく、または別の方法で特定の環境、製造仕様、設計パラメータ、または他の動作要件に具体的に適合されてもよい。

【0029】

本技術については、例示的な一実施形態を参照して上述されている。しかしながら、本技術の範囲から逸脱することなく、その例示的な実施形態に変更および修正がなされてもよい。これらおよび他の変更または修正は、以下の特許請求の範囲で表される通り、本技術の範囲内に含まれることが意図されている。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【外国語明細書】