特開 2024-48472 吸着装置、搬送装置および搬送方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024048472

(43)【公開日】2024-04-09

(54)【発明の名称】吸着装置、搬送装置および搬送方法

(51)【国際特許分類】

   B66C 1/02 20060101AFI20240402BHJP

   B25J 15/06 20060101ALI20240402BHJP

【ＦＩ】

B66C1/02 B

B25J15/06 M

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022154401

(22)【出願日】2022-09-28

(71)【出願人】

【識別番号】000183303

【氏名又は名称】住友金属鉱山株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001704

【氏名又は名称】弁理士法人山内特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】後呂 有哉

【テーマコード（参考）】

3C707

3F004

【Ｆターム（参考）】

3C707AS01

3C707DS02

3C707DS07

3C707FS01

3C707FT02

3C707FT13

3C707FT17

3C707FU01

3C707FU02

3F004FA02

3F004FA03

3F004FA08

3F004HA00

(57)【要約】

【課題】被搬送物の吸着性に優れた吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着装置は、フレームと、フレームに固定され、中心軸が鉛直方向に沿った円筒形のブッシュ２１と、ブッシュ２１に挿入された円柱形のロッド２２と、ロッド２２の下端に自在継手を介して取り付けられた吸着パッド２３と、ブッシュ２１とロッド２２との間に介在し、鉛直方向の弾性力を生じる弾性部材とを有する。ブッシュ２１の長さをＬ１、内径をＤ１、ロッド２２の外径をＤ２としたときに、Ｔ＝（Ｄ１－Ｄ２）÷Ｌ１で表される最大傾き係数Ｔが０．０１～０．０３である。ブッシュ２１とロッド２２との隙間に遊びがあるので、ロッド２２に角度の自由度が生まれる。これにより、被搬送物の表面が傾斜していても、吸着パッド２３が被搬送物の表面に対して滑ることなく密着するので、吸着力が向上する。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

フレームと、
前記フレームに固定され、中心軸が鉛直方向に沿った円筒形のブッシュと、
前記ブッシュに挿入された円柱形のロッドと、
前記ロッドの下端に自在継手を介して取り付けられた吸着パッドと、
前記ブッシュと前記ロッドとの間に介在し、鉛直方向の弾性力を生じる弾性部材と、を備え、
前記ブッシュの長さをＬ１、内径をＤ１、前記ロッドの外径をＤ２としたときに、Ｔ＝（Ｄ１－Ｄ２）÷Ｌ１で表される最大傾き係数Ｔが０．０１～０．０３である
ことを特徴とする吸着装置。

【請求項2】

前記ブッシュの内径Ｄ１と前記ロッドの外径Ｄ２との差が１～３ｍｍである
ことを特徴とする請求項１記載の吸着装置。

【請求項3】

前記ブッシュの長さＬ１が８０～１４０ｍｍである
ことを特徴とする請求項１記載の吸着装置。

【請求項4】

前記ロッドおよび前記吸着パッドに自重以外の外力が働いていない状態における、前記ブッシュの下端から前記吸着パッドの吸着面までの長さＬ２が１６０～２３０ｍｍである
ことを特徴とする請求項１記載の吸着装置。

【請求項5】

請求項１～４のいずれかに記載の吸着装置と、
前記吸着装置を移動させる移動機構と、
前記吸着パッドの内部空間を減圧する真空ポンプと、を備える
ことを特徴とする搬送装置。

【請求項6】

請求項５記載の搬送装置を用いて板状の電着物を搬送する
ことを特徴とする搬送方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、吸着装置、搬送装置および搬送方法に関する。さらに詳しくは、本発明は、被搬送物を真空吸着する吸着装置、ならびに被搬送物を搬送する装置および方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、被搬送物を真空吸着して持ち上げて搬送する搬送設備が開示されている。この搬送設備は吸着装置を有する。吸着装置は、軸部材と、軸部材の下端に取り付けられた吸着部材とを有する。吸着部材を被搬送物の表面に密着させ、真空ポンプで吸着部材の内部空間の空気を吸引すれば、吸着部材が被搬送物を真空吸着する。この状態で、吸着装置を支持するロボットアームにより被搬送物を搬送する。

【0003】

例えば、ニッケルの電解採取では、板状の電着物（電気ニッケル板）を得た後に、所定の大きさに切断することが行われる。この際、電気ニッケル板を切断装置に搬送するのに、この種の搬送設備が用いられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２０－０８２２４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

被搬送物の表面が吸着装置に対して傾斜している場合には、吸着部材が被搬送物の表面に密着しにくい。そのため、必要な吸着力が得られず、被搬送物が落下することがある。例えば、電気ニッケル板は曲がりや反りを有することが多い。そのため、電気ニッケル板の表面のうち吸着部材が接触する領域が傾斜していることがある。また、曲がりや反りを有する電気ニッケル板を複数枚積み上げると、一番上の電気ニッケル板が全体として斜めに配置されやすくなる。このような場合に必要な吸着力が得られにくくなる。

【0006】

本発明は上記事情に鑑み、被搬送物の吸着性に優れた吸着装置を提供することを目的とする。
または、本発明は、被搬送物の落下を抑制した搬送装置および搬送方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

第１発明の吸着装置は、フレームと、前記フレームに固定され、中心軸が鉛直方向に沿った円筒形のブッシュと、前記ブッシュに挿入された円柱形のロッドと、前記ロッドの下端に自在継手を介して取り付けられた吸着パッドと、前記ブッシュと前記ロッドとの間に介在し、鉛直方向の弾性力を生じる弾性部材と、を備え、前記ブッシュの長さをＬ１、内径をＤ１、前記ロッドの外径をＤ２としたときに、Ｔ＝（Ｄ１－Ｄ２）÷Ｌ１で表される最大傾き係数Ｔが０．０１～０．０３であることを特徴とする。
第２発明の吸着装置は、第１発明において、前記ブッシュの内径Ｄ１と前記ロッドの外径Ｄ２との差が１～３ｍｍであることを特徴とする。
第３発明の吸着装置は、第１発明において、前記ブッシュの長さＬ１が８０～１４０ｍｍであることを特徴とする。
第４発明の吸着装置は、第１発明において、前記ロッドおよび前記吸着パッドに自重以外の外力が働いていない状態における、前記ブッシュの下端から前記吸着パッドの吸着面までの長さＬ２が１６０～２３０ｍｍであることを特徴とする。
第５発明の搬送装置は、第１～第４発明のいずれかの吸着装置と、前記吸着装置を移動させる移動機構と、前記吸着パッドの内部空間を減圧する真空ポンプと、を備えることを特徴とする。
第６発明の搬送方法は、第５発明の搬送装置を用いて板状の電着物を搬送することを特徴とする。

【発明の効果】

【0008】

本発明の吸着装置によれば、ブッシュとロッドとの隙間に遊びがあるので、ロッドに角度の自由度が生まれる。これにより、被搬送物の表面が傾斜していても、吸着パッドが被搬送物の表面に対して滑ることなく密着するので、吸着力が向上する。
本発明の搬送装置または搬送方法によれば、被搬送物の落下を抑制できるため、搬送効率を高くできる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】一実施形態に係る搬送装置の正面図である。

【図2】一実施形態に係る吸着装置の平面図である。

【図3】被搬送物の搬送過程の説明図である。

【図4】一実施形態に係る真空吸着器の縦断面図である。

【図5】真空吸着器の各部の寸法の説明図である。

【図6】図（Ａ）は、ブッシュとロッドとの隙間に遊びがない場合に、吸着パッドを傾斜面に押し付けた際の状態を示す図である。図（Ｂ）は、ブッシュとロッドとの隙間に遊びがある場合に、吸着パッドを傾斜面に押し付けた際の状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

つぎに、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
（搬送装置）
図１に示すように、本発明の一実施形態に係る搬送装置ＡＡは、吸着装置１、移動機構２、および真空ポンプ３を有する。吸着装置１は被搬送物Ｗを吸着する装置である。吸着装置１は少なくとも真空吸着器２０を有する。真空ポンプ３は真空吸着器２０に接続されており、真空吸着器２０が真空吸着力を発生するのに用いられる。移動機構２は吸着装置１を支持し、移動させる装置である。移動機構２は、被搬送物Ｗを吸着した吸着装置１を移動させることで、被搬送物Ｗを搬送する。移動機構２としてロボットアーム、リニアガイド、ブーム式クレーンなどを用いることができる。

【0011】

被搬送物Ｗは、特に限定されず、板状の物体でもよいし、ブロック状の物体でもよい。ただし、吸着装置１の吸着に適した平坦面を有するものが好ましい。この平坦面は厳密に平坦である必要はなく、湾曲や凹凸があってもよい。被搬送物Ｗとして、電解採取で得られる板状の電着物が挙げられる。電解採取の目的金属がニッケルである場合、電着物は電気ニッケル板と称される。電解採取の目的金属はニッケルに限定されず、コバルトなどでもよい。この種の電着物は曲がりや反りを有することが多い。

【0012】

（搬送方法）
図３は、被搬送物Ｗとして板状の電着物を例に、被搬送物Ｗを第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に搬送する過程を示したものである。なお、図３中の（１）～（３）は、以下の説明における（１）～（３）に対応する。

【0013】

（１）第１位置Ｐ１には複数枚の被搬送物Ｗが積み上げられている。被搬送物Ｗに曲がりや反りが生じていると、被搬送物Ｗの表面が局所的に斜めになる。また、曲がりや反りを有する被搬送物Ｗを積み上げると、一番上の被搬送物Ｗが全体として斜めに配置されやすくなる。

【0014】

一番上の被搬送物Ｗに対して吸着装置１を上から押し付ける。そして、真空ポンプ３が作動し、真空吸着器２０に真空吸着力が発生する。これにより、一番上の被搬送物Ｗのみが吸着装置１に吸着される。

【0015】

（２）移動機構２は、被搬送物Ｗを吸着した吸着装置１を上昇させ、被搬送物Ｗを吊り下げた状態にする。また、移動機構２は、被搬送物Ｗを吸着した吸着装置１を第２位置Ｐ２に向かって移動させる。

【0016】

（３）被搬送物Ｗが第２位置Ｐ２に到達すると、真空ポンプ３が停止し、吸着装置１の吸着を解除する。そうすると、被搬送物Ｗを第２位置Ｐ２に配置できる。

【0017】

以上の手順で、搬送装置ＡＡを用いて被搬送物Ｗを搬送できる。

【0018】

（吸着装置）
つぎに、吸着装置１を説明する。
図１および図２に示すように、吸着装置１はフレーム１０を有する。フレーム１０は移動機構２に連結されている。フレーム１０は平板状の部材である。フレーム１０は複数の梁を格子状に組み合わせたものでもよい。使用状態において、フレーム１０の主面は水平に維持される。換言すれば、移動機構２はフレーム１０を水平に維持しつつ、上下動および水平移動させる。なお、ここでいう「水平」とは厳密な意味で水平である必要はなく、フレーム１０は多少傾いてもよい。

【0019】

フレーム１０には一または複数の真空吸着器２０が設けられている。図４に示すように、真空吸着器２０は円筒形のブッシュ２１を有する。ブッシュ２１の上部にはフランジ２１ｆが形成されている。ブッシュ２１はフレーム１０に形成された孔に上から挿入されており、フランジ２１ｆがフレーム１０の上面に係止している。また、フランジ２１ｆはボルトなどでフレーム１０に固定されている。これにより、ブッシュ２１はフレーム１０に固定されている。ブッシュ２１の中心軸はフレーム１０の主面に対して垂直である。したがって、使用状態において、ブッシュ２１はその中心軸が鉛直方向に沿って配置される。なお、ここでいう「鉛直」とは厳密な意味で鉛直である必要はなく、ブッシュ２１は多少傾いてもよい。

【0020】

特に限定されないが、ブッシュ２１はインナー２１ａとアウター２１ｂとで構成されてもよい。インナー２１ａおよびアウター２１ｂは、それぞれ、円筒形の部材である。アウター２１ｂの内部にインナー２１ａが挿入される。インナー２１ａによって、アウター２１ｂとロッド２２を保護することができる。また、インナー２１ａは摩耗しやすい部分なので、摩耗が進行すればインナー２１ａのみを交換すれば良い。インナー２１ａとアウター２１ｂとをそれぞれ別の適した素材で形成してもよい。例えば、インナー２１ａの素材を砲金とし、アウター２１ｂの素材を高炭素クロム軸受鋼鋼材とすればよい。

【0021】

ブッシュ２１にはロッド２２が挿入されている。ロッド２２は中空の円柱形、すなわち丸パイプ状である。使用状態において、ブッシュ２１は鉛直方向に沿って配置されることから、ロッド２２も鉛直方向に沿って配置される。ロッド２２はブッシュ２１よりも長く、上端および下端がブッシュ２１の外部に配置されている。また、ロッド２２はブッシュ２１に対して上下動可能である。

【0022】

ロッド２２の下端には吸着パッド２３が設けられている。吸着パッド２３は略円盤形の基部２３ａと、基部２３ａの下面に嵌め込まれたリング状の接触部２３ｂとからなる。基部２３ａはステンレス鋼などの剛性を有する素材で形成されている。一方、接触部２３ｂはゴムなどの柔軟性を有する素材で形成されている。接触部２３ｂは被搬送物Ｗの表面に接触する部材である。接触部２３ｂが柔軟性を有することから、被搬送物Ｗの表面に凹凸があったとしても、その形状に添って変形し、隙間なく密着させることができる。なお、接触部２３ｂの下端で構成される面を「吸着面」と称する。

【0023】

吸着パッド２３は下方に開口した内部空間を有する。また、ロッド２２の中空部は吸着パッド２３の内部空間と連接している。ロッド２２の上端は配管を介して真空ポンプ３に接続されている（図１参照）。真空ポンプ３により吸着パッド２３の内部空間の空気を吸引し、減圧する。そうすると、吸着パッド２３に真空吸着力が発生し、被搬送物Ｗを吸着できる。

【0024】

なお、吸着パッド２３と真空ポンプ３とを接続するにあたり、ロッド２２を介する必要はない。ロッド２２を介さずに、吸着パッド２３と真空ポンプ３とを直接柔軟性を有する配管で接続してもよい。

【0025】

吸着パッド２３は自在継手を介してロッド２２に取り付けられている。したがって、吸着パッド２３は水平面に対する角度が自由に変化する。自在継手として種々の継手を採用できる。例えば、ロッド２２の下端に形成された球状部２２ａを基部２３ａに形成された球面凹部２３ｈに嵌め込んで、球面継手とすればよい。カルダンジョイントなど、その他の自在継手を採用してもよい。吸着パッド２３の可動範囲は、特に限定されないが、水平面に対して±２０°程度でよい。

【0026】

ロッド２２の上端部は雄ネジが形成されており、ナット２４がねじ込まれている。ナット２４の下端とブッシュ２１の上端との間に第１コイルバネ２５Ａが配置されている。また、ブッシュ２１の下端と吸着パッド２３（基部２３ａ）の上面との間に第２コイルバネ２５Ｂが配置されている。第１、第２コイルバネ２５Ａ、２５Ｂの内部にロッド２２が挿入されている。必要に応じて、ナット２４と第１コイルバネ２５Ａとの間、第１コイルバネ２５Ａとブッシュ２１との間、ブッシュ２１と第２コイルバネ２５Ｂとの間、および第２コイルバネ２５Ｂと吸着パッド２３との間にはワッシャーが設けられる。

【0027】

第１、第２コイルバネ２５Ａ、２５Ｂは、鉛直方向の弾性力を生じる。具体的には、第１コイルバネ２５Ａはナット２４とブッシュ２１とを引き離す方向に弾性力が生じる。第２コイルバネ２５Ｂは吸着パッド２３とブッシュ２１とを引き離す方向に弾性力が生じる。したがって、第１、第２コイルバネ２５Ａ、２５Ｂに弾性力により、ロッド２２はその略中央にブッシュ２１が位置するように支持されている。

【0028】

被搬送物Ｗに対して吸着装置１を上から押し付けると（図３（１）参照）、吸着パッド２３が被搬送物Ｗに押し付けられることになる。そうすると、被搬送物Ｗから受ける反力によりロッド２２がブッシュ２１に対して上昇し、第２コイルバネ２５Ｂが圧縮される。換言すれば、第２コイルバネ２５Ｂの圧縮により生じた弾性力が吸着パッド２３を被搬送物Ｗに押し付ける力となる。

【0029】

被搬送物Ｗを吸着した吸着装置１を上昇させると（図３（２）参照）、吸着パッド２３が被搬送物Ｗを吊り下げることになる。そうすると、被搬送物Ｗの重量によりロッド２２がブッシュ２１に対して下降し、第１コイルバネ２５Ａが圧縮される。第１コイルバネ２５Ａの弾性により被搬送物Ｗを吊り下げたときの衝撃（ブッシュ２１とナット２４との衝突）が緩和される。

【0030】

なお、第１、第２コイルバネ２５Ａ、２５Ｂは、それぞれ、特許請求の範囲に記載の「弾性部材」に相当する。弾性部材はブッシュ２１とロッド２２との間に介在し、上記機能を有するものであればよく、コイルバネに限定されない。

【0031】

図５は、真空吸着器２０の各部の寸法を説明するために一部を誇張して示した図である。図５に示すように、ブッシュ２１の長さをＬ１、内径をＤ１とする。また、ロッド２２の外径をＤ２とする。そして、式（１）で表されるＴを最大傾き係数とする。本実施形態では、最大傾き係数Ｔが０．０１～０．０３となるように、Ｌ１、Ｄ１およびＤ２が設定されている。
Ｔ＝（Ｄ１－Ｄ２）÷Ｌ１ ・・・（１）

【0032】

最大傾き係数Ｔが０．０１～０．０３の範囲内である限りにおいて、ブッシュ２１の内径Ｄ１は２５～２９ｍｍが好ましく、ロッド２２の外径Ｄ２は２３～２７ｍｍが好ましい。ブッシュ２１の内径Ｄ１とロッド２２の外径Ｄ２との差（Ｄ１－Ｄ２）は１～３ｍｍが好ましい。また、ブッシュ２１の長さＬ１は８０～１４０ｍｍが好ましい。

【0033】

通常、直線運動軸受であるブッシュ２１は、ロッド２２のガタツキを抑制するため、ロッド２２が滑動可能な範囲でロッド２２の外周面との隙間をできる限り小さくする。具体的には、ブッシュ２１の内径Ｄ１とロッド２２の外径Ｄ２との差（Ｄ１－Ｄ２）は０～２０μｍが通常である。これに対し、本実施形態ではブッシュ２１の内周面とロッド２２の外周面との隙間（Ｄ１－Ｄ２）が通常よりも大きく設定されている。これにより、図５に一点鎖線で示すとおり、ロッド２２がブッシュ２１に対して傾斜可能となっている。すなわち、ブッシュ２１とロッド２２との隙間に遊びがあるので、ロッド２２に角度の自由度が生まれる。ロッド２２が傾斜可能な範囲の最大値を示すのが最大傾き係数Ｔである。

【0034】

ロッド２２および吸着パッド２３に自重以外の外力が働いていない状態（吸着パッド２３が被搬送物Ｗに押し付けられておらず、被搬送物Ｗを吊り下げてもいない状態）における、ブッシュ２１の下端から吸着パッド２３の吸着面までの長さをＬ２とする。長さＬ２は１６０～２３０ｍｍが好ましい。

【0035】

ロッド２２がブッシュ２１に対して傾斜すると、吸着パッド２３が水平移動する。吸着パッド２３の水平方向の最大移動量Ｍは、概ね式（２）で得られる。例えば、Ｔ＝０．０２、Ｌ１＝１１０ｍｍ、Ｌ２＝１８０ｍｍと仮定すると、最大移動量Ｍは５．８ｍｍとなる。
Ｍ＝Ｔ×（Ｌ１＋Ｌ２） ・・・（２）

【0036】

図６（Ａ）は、ブッシュ２１とロッド２２との隙間に遊びがない場合に、吸着パッド２３を傾斜面Ｓに押し付けた際の状態を示す。吸着パッド２３が上から傾斜面Ｓに接近すると、最初に接触部２３ｂの角部Ｅ１が傾斜面Ｓに接触する（図６（Ａ）における実線）。吸着パッド２３は自在継手を介してロッド２２に取り付けられていることから、吸着パッド２３がさらに下降すると、傾斜面Ｓの傾きに沿って吸着パッド２３が傾斜する（図６（Ａ）における一点鎖線）。

【0037】

吸着パッド２３の角度変化に伴い、最初に傾斜面Ｓと接触した角部Ｅ１の位置にズレが生じる（図６（Ａ）における矢印）。すなわち、接触部２３ｂの角部Ｅ１は傾斜面Ｓに沿って滑る。しかし、接触部２３ｂはゴムなど摩擦係数が大きい素材で形成されているため、傾斜面Ｓに対して滑りにくい。特に、電気ニッケル板などの電着物の表面には凹凸が存在するため、接触部２３ｂが滑りにくい。そのため、角部Ｅ１が引っ掛かって、吸着パッド２３が傾斜面Ｓの傾きと一致するまで傾斜しないことがある。そうすると、接触部２３ｂ、特に、最初に傾斜面Ｓと接触した角部Ｅ１とは反対側の角部Ｅ２と、傾斜面Ｓとの間に小さな隙間が生じる。この隙間から外気が流入するため、吸着パッド２３の内部空間を十分に減圧できず、必要な吸着力が得られなくなる。

【0038】

一方、図６（Ｂ）は、ブッシュ２１とロッド２２との隙間に遊びがある場合に、吸着パッド２３を傾斜面Ｓに押し付けた際の状態を示す。吸着パッド２３が上から傾斜面Ｓに接近すると、最初に接触部２３ｂの角部Ｅ１が傾斜面Ｓに接触する（図６（Ｂ）における実線）。吸着パッド２３がさらに下降すると、傾斜面Ｓの傾きに沿って吸着パッド２３が傾斜する（図６（Ｂ）における一点鎖線）。

【0039】

ここで、吸着パッド２３は角部Ｅ１を中心に旋回して角度が変化する。すなわち、接触部２３ｂの角部Ｅ１は傾斜面Ｓに対して滑らない。これは、ロッド２２に角度の自由度があり、吸着パッド２３の回転中心（自在継手の回転中心）が水平移動可能であるからである。傾斜面Ｓに対する接触部２３ｂの無理な滑りが生じないので、吸着パッド２３が傾斜面Ｓの傾きと一致するまで傾斜する。そのため、接触部２３ｂと傾斜面Ｓとが隙間なく密着し、必要な吸着力が得られる。

【0040】

このように、本実施形態の真空吸着器２０は、ロッド２２に角度の自由度があるので、被搬送物Ｗの表面が傾斜していても、吸着パッド２３が被搬送物Ｗの表面に対して滑ることなく密着する。そのため、吸着力が向上する。また、被搬送物Ｗの吸着力が高いため、被搬送物Ｗの落下を抑制でき、搬送効率を高くできる。

【0041】

図１に示すように、被搬送物Ｗがニッケル、コバルトなどの磁性体によって形成された物体（磁石に吸着される物体）の場合、吸着装置１は一または複数の磁力吸着器３０を有してもよい。

【0042】

磁力吸着器３０は、基本的に、真空吸着器２０の吸着パッド２３を磁石に代えた構成である。すなわち、磁力吸着器３０は、フレーム１０に固定されたブッシュと、ブッシュに挿入されたロッドと、ロッドの下端に設けられた磁石とを有する。磁石は永久磁石でもよいし、電磁石でもよい。磁力吸着器３０に設けられた磁石の磁力により、被搬送物Ｗを補助的に磁着できる。

【0043】

被搬送物Ｗが板状の物体の場合、吸着装置１は被搬送物Ｗの角部を保護する保護器４０を有してもよい。保護器４０は、フレーム１０にピンで連結されたアーム４１と、アーム４１の先端部に設けられたカバー４２とを有する。また、保護器４０は、アーム４１を上下に旋回する駆動部（図示せず）を有する。駆動部はシリンダ、リンク機構などからなる。

【0044】

アーム４１を下方に旋回すると、真空吸着器２０に吸着された被搬送物Ｗの角部がカバー４２で覆われる。アーム４１を上方に旋回すると、被搬送物Ｗの角部からカバー４２が外れる。

【0045】

図３に示すように、（１）被搬送物Ｗの吸着時、および（３）被搬送物Ｗの離脱時は、カバー４２が上方に退避しており、被搬送物Ｗの吸着、離脱の邪魔にならない。（２）被搬送物Ｗを吊り下げている間、カバー４２が被搬送物Ｗの角部を覆う。そのため、移動機構２が吸着装置１を高速旋回させた時などに、被搬送物Ｗの角部が周辺設備に接触して、損傷することを防止できる。

【0046】

図２に示すように、被搬送物Ｗが板状の物体など大面積の被吸着面を有する場合、吸着装置１は複数の真空吸着器２０を有することが好ましい。真空吸着器２０の数は特に限定されない。真空吸着器２０の配置は、特に限定されないが、格子状でよい。

【0047】

吸着装置１は複数の磁力吸着器３０を有してもよい。磁力吸着器３０の数は特に限定されない。磁力吸着器３０は隣接する真空吸着器２０の間に配置すればよい。

【0048】

被搬送物Ｗが矩形の板状の物体の場合、被搬送物Ｗの四隅を保護できるよう、４つの保護器４０を吸着装置１に設けることが好ましい。

【符号の説明】

【0049】

ＡＡ 搬送装置
１ 吸着装置
２ 移動機構
３ 真空ポンプ
１０ フレーム
２０ 真空吸着器
２１ ブッシュ
２２ ロッド
２３ 吸着パッド
２４ ナット
２５Ａ 第１コイルバネ
２５Ｂ 第２コイルバネ
３０ 磁力吸着器
４０ 保護器

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】