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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024048621
(43)【公開日】2024-04-09
(54)【発明の名称】基板搬送トレイ及び基板搬送装置
(51)【国際特許分類】
C23C 14/56 20060101AFI20240402BHJP
H01L 21/673 20060101ALI20240402BHJP
B65D 85/86 20060101ALI20240402BHJP
【ＦＩ】
C23C14/56 G
H01L21/68 U
B65D85/86 400
【審査請求】未請求
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022154639
(22)【出願日】2022-09-28
(71)【出願人】
【識別番号】000231464
【氏名又は名称】株式会社アルバック
(74)【代理人】
【識別番号】110003339
【氏名又は名称】弁理士法人南青山国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】鈴木 傑之
(72)【発明者】
【氏名】吉田 雄一
(72)【発明者】
【氏名】関原 将行
(72)【発明者】
【氏名】武者 和博
【テーマコード（参考）】
3E096
4K029
5F131
【Ｆターム（参考）】
3E096AA01
3E096BA15
3E096BB05
3E096CA06
3E096CB03
3E096EA06X
3E096FA20
3E096GA01
4K029KA01
4K029KA02
5F131AA12
5F131CA09
5F131CA12
5F131DA03
5F131GA05
5F131GA32
5F131GA52
5F131GA68
(57)【要約】
【課題】軽量かつ剛性に優れ、洗浄を行いやすい基板搬送トレイ及び基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る基板搬送トレイは、矩形形状の基板主面を有する基板が載置される開口を囲み、上記基板の４辺にそれぞれ対向する４つのフレームユニットが互いに着脱可能に接合されて構成されている。上記フレームユニットは、上記４辺のうち1辺と対向し、上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記１辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長いフレームと、上記フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行なパネルとを具備する。
【選択図】図１
【解決手段】本発明に係る基板搬送トレイは、矩形形状の基板主面を有する基板が載置される開口を囲み、上記基板の４辺にそれぞれ対向する４つのフレームユニットが互いに着脱可能に接合されて構成されている。上記フレームユニットは、上記４辺のうち1辺と対向し、上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記１辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長いフレームと、上記フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行なパネルとを具備する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
矩形形状の基板主面を有する基板が載置される開口を囲み、前記基板の４辺にそれぞれ対向する４つのフレームユニットが互いに着脱可能に接合されて構成され、
前記フレームユニットは、
前記４辺のうち1辺と対向し、前記基板主面に垂直な主面と前記基板主面に平行な側面を有する板状であり、前記１辺の延伸方向に沿った長さが前記1辺より長いフレームと、
前記フレームの前記側面に接合され、前記基板主面に平行なパネルと
を具備する基板搬送トレイ。
前記フレームユニットは、
前記４辺のうち1辺と対向し、前記基板主面に垂直な主面と前記基板主面に平行な側面を有する板状であり、前記１辺の延伸方向に沿った長さが前記1辺より長いフレームと、
前記フレームの前記側面に接合され、前記基板主面に平行なパネルと
を具備する基板搬送トレイ。
【請求項2】
請求項１に記載の基板搬送トレイであって、
前記フレームユニットは、
前記４辺のうち1辺と対向し、前記基板主面に垂直な主面と前記基板主面に平行な側面を有する板状であり、前記１辺の延伸方向に沿った長さが前記1辺より長い第１フレームと、
前記第１フレームと対向し、前前記基板主面に垂直な主面と前記基板主面に平行な側面を有する板状であり、前記１辺の延伸方向に沿った長さが前記1辺より長い第２フレームと、
前記第１フレーム及び前記第２フレームの前記側面に接合され、前記基板主面に平行な第１パネルと、
前記第１フレーム及び前記第２フレームの前記側面に接合され、前記基板主面に平行であり、前記第１フレーム及び前記第２フレームを挟んで前記第１パネルと対向する第２パネルと
を具備する基板搬送トレイ。
前記フレームユニットは、
前記４辺のうち1辺と対向し、前記基板主面に垂直な主面と前記基板主面に平行な側面を有する板状であり、前記１辺の延伸方向に沿った長さが前記1辺より長い第１フレームと、
前記第１フレームと対向し、前前記基板主面に垂直な主面と前記基板主面に平行な側面を有する板状であり、前記１辺の延伸方向に沿った長さが前記1辺より長い第２フレームと、
前記第１フレーム及び前記第２フレームの前記側面に接合され、前記基板主面に平行な第１パネルと、
前記第１フレーム及び前記第２フレームの前記側面に接合され、前記基板主面に平行であり、前記第１フレーム及び前記第２フレームを挟んで前記第１パネルと対向する第２パネルと
を具備する基板搬送トレイ。
【請求項3】
請求項２に記載の基板搬送トレイであって、
前記フレームユニットは、
前記第１フレーム及び前記第２フレームの主面に垂直な主面と、前記基板主面に平行な側面を有し、前記第１フレームと前記第２フレームを接続する第３フレームと、
前記第３フレームと対向し、前記第１フレーム及び前記第２フレームの主面に垂直な主面と、前記基板主面に平行な側面を有し、前記第１フレームと前記第２フレームを接続する第４フレームと、
をさらに具備し、
前記第１パネルはさらに、前記第３フレーム及び前記第４フレームの前記側面に接合され、
前記第２パネルはさらに、前記第３フレーム及び前記第４フレームの前記側面に接合されている
基板搬送トレイ。
前記フレームユニットは、
前記第１フレーム及び前記第２フレームの主面に垂直な主面と、前記基板主面に平行な側面を有し、前記第１フレームと前記第２フレームを接続する第３フレームと、
前記第３フレームと対向し、前記第１フレーム及び前記第２フレームの主面に垂直な主面と、前記基板主面に平行な側面を有し、前記第１フレームと前記第２フレームを接続する第４フレームと、
をさらに具備し、
前記第１パネルはさらに、前記第３フレーム及び前記第４フレームの前記側面に接合され、
前記第２パネルはさらに、前記第３フレーム及び前記第４フレームの前記側面に接合されている
基板搬送トレイ。
【請求項4】
請求項１から３のうちいずれか1項に記載の基板搬送トレイであって、
４つの前記フレームユニットは、他の前記フレームユニットとの間で前記フレームの間が螺子によって締結されることにより互いに着脱可能に接合され、
前記パネルには、前記螺子を着脱するための開口が設けられている
基板搬送トレイ。
４つの前記フレームユニットは、他の前記フレームユニットとの間で前記フレームの間が螺子によって締結されることにより互いに着脱可能に接合され、
前記パネルには、前記螺子を着脱するための開口が設けられている
基板搬送トレイ。
【請求項5】
請求項１から３のうちいずれか1項に記載の基板搬送トレイであって、
前記パネルには、洗浄液を排出するための排液口が設けられている
基板搬送トレイ。
前記パネルには、洗浄液を排出するための排液口が設けられている
基板搬送トレイ。
【請求項6】
請求項１から３のうちいずれか1項に記載の基板搬送トレイであって、
前記基板を支持する基板支持ピンと
前記開口を介して対向する２つの前記フレームユニットの間を接続し、前記基板支持ピンが設けられる基板支持ステーと
をさらに具備し、
前記基板支持ステーを前記フレームユニットに支持する支持部には、前記基板支持ステーの熱線膨張を許容する軸受けが設けられている
基板搬送トレイ。
前記基板を支持する基板支持ピンと
前記開口を介して対向する２つの前記フレームユニットの間を接続し、前記基板支持ピンが設けられる基板支持ステーと
をさらに具備し、
前記基板支持ステーを前記フレームユニットに支持する支持部には、前記基板支持ステーの熱線膨張を許容する軸受けが設けられている
基板搬送トレイ。
【請求項7】
請求項６に記載の基板搬送トレイであって、
前記軸受けは、前記開口を介して対向する２つの前記フレームユニットのうち鉛直下方側に位置する前記フレームユニット側の前記支持部に設けられている
基板搬送トレイ。
前記軸受けは、前記開口を介して対向する２つの前記フレームユニットのうち鉛直下方側に位置する前記フレームユニット側の前記支持部に設けられている
基板搬送トレイ。
【請求項8】
請求項１から３のうちいずれか1項に記載の基板搬送トレイであって、
前記開口の４つ角のそれぞれにおいて、２つずつの前記フレームユニットの間を接続するリブ
をさらに具備する基板搬送トレイ。
前記開口の４つ角のそれぞれにおいて、２つずつの前記フレームユニットの間を接続するリブ
をさらに具備する基板搬送トレイ。
【請求項9】
請求項１から３のうちいずれか1項に記載の基板搬送トレイであって、
前記フレームユニットはチタンからなる
基板搬送トレイ。
前記フレームユニットはチタンからなる
基板搬送トレイ。
【請求項10】
請求項６に記載の基板搬送トレイであって、
前記フレームユニットはチタンからなり、
前記基板支持ステーはアルミニウムからなる
基板搬送トレイ。
前記フレームユニットはチタンからなり、
前記基板支持ステーはアルミニウムからなる
基板搬送トレイ。
【請求項11】
矩形形状の基板主面を有する基板が載置される開口を囲み、前記基板の４辺にそれぞれ対向する４つのフレームユニットが互いに着脱可能に接合されて構成され、
前記フレームユニットは、
前記４辺のうち1辺と対向し、前記基板主面に垂直な主面と前記基板主面に平行な側面を有する板状であり、前記１辺の延伸方向に沿った長さが前記1辺より長いフレームと、
前記フレームの前記側面に接合され、前記基板主面に平行なパネルと
を備える基板搬送トレイと、
前記基板搬送トレイを移動させる基板搬送機構と
を具備する基板搬送装置。
前記フレームユニットは、
前記４辺のうち1辺と対向し、前記基板主面に垂直な主面と前記基板主面に平行な側面を有する板状であり、前記１辺の延伸方向に沿った長さが前記1辺より長いフレームと、
前記フレームの前記側面に接合され、前記基板主面に平行なパネルと
を備える基板搬送トレイと、
前記基板搬送トレイを移動させる基板搬送機構と
を具備する基板搬送装置。
【請求項12】
請求項１１に記載の基板搬送装置であって、
前記基板搬送トレイは、前記基板搬送トレイの鉛直上方側及び鉛直下方側の少なくとも一方に設けられ、外部に設けられた磁石に吸着されることにより、前記基板搬送トレイの重量を相殺する磁石
をさらに具備する基板搬送装置。
前記基板搬送トレイは、前記基板搬送トレイの鉛直上方側及び鉛直下方側の少なくとも一方に設けられ、外部に設けられた磁石に吸着されることにより、前記基板搬送トレイの重量を相殺する磁石
をさらに具備する基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板搬送に利用される基板搬送トレイ及び基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【0002】
基板搬送に用いられる基板搬送トレイ（例えば、特許文献１参照）は、基板が設置される開口を枠状のフレームが囲むように構成されている。基板搬送トレイは質量が軽く、かつ高剛性で変形や歪みが小さいことが求められる。
【0003】
基板搬送トレイに基板を設置する際に開口と基板との隙間を大きくすると、基板とフレームの間のガタツキによる基板割れが起きるため、開口と基板との隙間を一定値以下とする必要があり、そのためには基板搬送トレイに剛性が必要である。また、剛性が低いと搬送制御の性能悪化の原因となる。基板搬送トレイの質量は小さいほど、搬送アクチュエータの小型化や搬送時のガタツキ等による基板への衝撃緩和が期待され、好適である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１４－７８６００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、従来では基板搬送トレイを構成するフレームは一体の削り出し構造であり、質量が大きい。削り出し構造の基板搬送トレイの製造コストには材質の費用が大きく反映されるため、アルミニウム材が多く利用される。しかしながらアルミニウム材は熱線膨張係数が大きく、基板搬送トレイの推進に用いられるガイド磁石や自重キャンセル磁石の位置関係が影響を受けるため、高温の成膜プロセスには適さない。
【0006】
また、溶接構造の基板搬送トレイも利用されているが、溶接による内部歪みに起因する変形が問題となる。また溶接接合部は分厚い構造とする必要があるため質量も大きくなる。さらに、基板搬送トレイは運用により着膜を生じるため、定期的に洗浄が必要となるが、大型基板の場合、基板搬送トレイの全体で洗浄できないため、洗浄できるサイズまで分解する必要がある。さらに洗浄方法はウェット洗浄が一般的であるが、溶接構造では洗浄液が除去しきれずに真空汚染の問題がある。
【0007】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、軽量かつ剛性に優れ、洗浄を行いやすい基板搬送トレイ及び基板搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る基板搬送トレイは、矩形形状の基板主面を有する基板が載置される開口を囲み、上記基板の４辺にそれぞれ対向する４つのフレームユニットが互いに着脱可能に接合されて構成されている。
上記フレームユニットは、上記４辺のうち1辺と対向し、上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記１辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長いフレームと、上記フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行なパネルとを具備する。
上記フレームユニットは、上記４辺のうち1辺と対向し、上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記１辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長いフレームと、上記フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行なパネルとを具備する。
【0009】
上記フレームユニットは、
上記４辺のうち1辺と対向し、上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記１辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長い第１フレームと、
上記第１フレームと対向し、前上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記１辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長い第２フレームと、
上記第１フレーム及び上記第２フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行な第１パネルと、
上記第１フレーム及び上記第２フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行であり、上記第１フレーム及び上記第２フレームを挟んで上記第１パネルと対向する第２パネルと
を具備してもよい。
上記４辺のうち1辺と対向し、上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記１辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長い第１フレームと、
上記第１フレームと対向し、前上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記１辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長い第２フレームと、
上記第１フレーム及び上記第２フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行な第１パネルと、
上記第１フレーム及び上記第２フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行であり、上記第１フレーム及び上記第２フレームを挟んで上記第１パネルと対向する第２パネルと
を具備してもよい。
【0010】
上記フレームユニットは、
上記第１フレーム及び上記第２フレームの主面に垂直な主面と、上記基板主面に平行な側面を有し、上記第１フレームと上記第２フレームを接続する第３フレームと、
上記第３フレームと対向し、上記第１フレーム及び上記第２フレームの主面に垂直な主面と、上記基板主面に平行な側面を有し、上記第１フレームと上記第２フレームを接続する第４フレームと、
をさらに具備し、
上記第１パネルはさらに、上記第３フレーム及び上記第４フレームの上記側面に接合され、
上記第２パネルはさらに、上記第３フレーム及び上記第４フレームの上記側面に接合されていてもよい。
上記第１フレーム及び上記第２フレームの主面に垂直な主面と、上記基板主面に平行な側面を有し、上記第１フレームと上記第２フレームを接続する第３フレームと、
上記第３フレームと対向し、上記第１フレーム及び上記第２フレームの主面に垂直な主面と、上記基板主面に平行な側面を有し、上記第１フレームと上記第２フレームを接続する第４フレームと、
をさらに具備し、
上記第１パネルはさらに、上記第３フレーム及び上記第４フレームの上記側面に接合され、
上記第２パネルはさらに、上記第３フレーム及び上記第４フレームの上記側面に接合されていてもよい。
【0011】
４つの上記フレームユニットは、他の上記フレームユニットとの間で上記フレームの間が螺子によって締結されることにより互いに着脱可能に接合され、
上記パネルには、上記螺子を着脱するための開口が設けられていてもよい。
上記パネルには、上記螺子を着脱するための開口が設けられていてもよい。
【0012】
上記パネルには、洗浄液を排出するための排液口が設けられていてもよい。
【0013】
上記基板搬送トレイは、
上記基板を支持する基板支持ピンと
上記開口を介して対向する２つの上記フレームユニットの間を接続し、上記基板支持ピンが設けられる基板支持ステーと
をさらに具備し、
上記基板支持ステーを上記フレームユニットに支持する支持部には、上記基板支持ステーの熱線膨張を許容する軸受けが設けられていてもよい。
上記基板を支持する基板支持ピンと
上記開口を介して対向する２つの上記フレームユニットの間を接続し、上記基板支持ピンが設けられる基板支持ステーと
をさらに具備し、
上記基板支持ステーを上記フレームユニットに支持する支持部には、上記基板支持ステーの熱線膨張を許容する軸受けが設けられていてもよい。
【0014】
上記軸受けは、上記開口を介して対向する２つの上記フレームユニットのうち鉛直下方側に位置する上記フレームユニット側の上記支持部に設けられていてもよい。
【0015】
上記基板搬送トレイは、
上記開口の４つ角のそれぞれにおいて、２つずつの上記フレームユニットの間を接続するリブ
をさらに具備してもよい。
上記開口の４つ角のそれぞれにおいて、２つずつの上記フレームユニットの間を接続するリブ
をさらに具備してもよい。
【0016】
上記フレームユニットはチタンからなるものであってもよい。
【0017】
上記フレームユニットはチタンからなり、
上記基板支持ステーはアルミニウムからなるものであってもよい。
上記基板支持ステーはアルミニウムからなるものであってもよい。
【0018】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る基板搬送装置は、基板搬送トレイと、基板搬送機構とを具備する。
上記基板基板搬送トレイは、矩形形状の基板主面を有する基板が載置される開口を囲み、上記基板の４辺にそれぞれ対向する４つのフレームユニットが互いに着脱可能に接合されて構成され、
上記フレームユニットは、
上記４辺のうち1辺と対向し、上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記１辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長いフレームと、
上記フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行なパネルと
を備える。
上記基板搬送機構は、上記基板搬送トレイを移動させる。
上記基板基板搬送トレイは、矩形形状の基板主面を有する基板が載置される開口を囲み、上記基板の４辺にそれぞれ対向する４つのフレームユニットが互いに着脱可能に接合されて構成され、
上記フレームユニットは、
上記４辺のうち1辺と対向し、上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記１辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長いフレームと、
上記フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行なパネルと
を備える。
上記基板搬送機構は、上記基板搬送トレイを移動させる。
【0019】
上記基板搬送トレイは、上記基板搬送トレイの鉛直上方側及び鉛直下方側の少なくとも一方に設けられ、外部に設けられた磁石に吸着されることにより、上記基板搬送トレイの重量を相殺する磁石をさらに具備してもよい。
【発明の効果】
【0020】
以上のように、本発明によれば、軽量かつ剛性に優れ、洗浄を行いやすい基板搬送トレイ及び基板搬送装置を提供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】本発明の実施形態に係る基板搬送トレイの斜視図である。
【図2】上記基板搬送トレイの平面図である。
【図3】基板を搭載した上記基板搬送トレイの斜視図である。
【図4】基板を搭載した上記基板搬送トレイの平面図である。
【図5】上記基板搬送トレイが備えるトレイフレームを分解して示す模式図である。
【図6】上記トレイフレームを構成する第１フレームユニットの一端の斜視図（正面側）である。
【図7】上記第１フレームユニットの一端の斜視図（背面側）である。
【図8】上記第１フレームユニットの他端の斜視図（正面側）である。
【図9】上記第１フレームユニットの他端の斜視図（背面側）である。
【図10】第１パネル及び第２パネルを除く、上記第１フレームユニットの平面図である。
【図13】上記第１フレームユニットの平面図（正面側）である。
【図14】上記第１フレームユニットの平面図（背面側）である。
【図16】上記トレイフレームを構成する第２フレームユニットの平面図（正面側）である。
【図17】上記第２フレームユニットの平面図（背面側）である。
【図19】第１パネル及び第２パネルを除く、上記第２フレームユニットの平面図である
【図22】第１パネル及び第２パネルを除く、上記トレイフレームの平面図である。
【図23】第１パネル及び第２パネルを除く、上記トレイフレームの斜視図である。
【図24】上記トレイフレームの斜視図である。
【図25】上記基板搬送トレイが備える基板支持ステーの平面図である。
【図26】上記基板支持ステーの断面図である。
【図27】上記基板支持ステー及びクランプの斜視図である。
【図28】上記基板支持ステーが備える基板支持ピンの斜視図である。
【図29】上記基板支持ステーの第１支持部と軸部の接続箇所の断面図である。
【図30】本発明の実施形態に係る基板搬送装置の斜視図である。
【図31】上記基板搬送装置が備える基板搬送機構の斜視図である。
【図32】上記基板搬送装置の模式図である。
【図33】上記基板搬送装置が備える基板搬送トレイの底部の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
【0023】
［基板搬送トレイの構成]
本実施形態に係る基板搬送トレイについて説明する。図１は本実施形態に係る基板搬送トレイ１００の斜視図であり、図２は基板搬送トレイ１００の平面図である。図３は基板Ｓが載置された状態の基板搬送トレイ１００の斜視図であり、図４は同状態の基板搬送トレイ１００の平面図である。図３及び図４に示すように基板Ｓが載置される側の面を基板搬送トレイ１００の正面とし、その反対側の面を背面とする。図１乃至図４はいずれも基板搬送トレイ１００を正面側から見た図である。
本実施形態に係る基板搬送トレイについて説明する。図１は本実施形態に係る基板搬送トレイ１００の斜視図であり、図２は基板搬送トレイ１００の平面図である。図３は基板Ｓが載置された状態の基板搬送トレイ１００の斜視図であり、図４は同状態の基板搬送トレイ１００の平面図である。図３及び図４に示すように基板Ｓが載置される側の面を基板搬送トレイ１００の正面とし、その反対側の面を背面とする。図１乃至図４はいずれも基板搬送トレイ１００を正面側から見た図である。
【0024】
図３及び図４に示すように基板Ｓは主面が矩形形状を有する基板である。以下、基板Ｓ
の主面を基板主面Ｐとし、基板Ｓの４辺をそれぞれ辺Ｈとする。基板主面ＰはＸ－Ｚ平面に平行であり、辺Ｈは２つがＸ方向に平行、他の２つがＺ方向に平行とする。図１及び図２に示すように基板搬送トレイ１００は、トレイフレーム１０１、クランプ１０２及び基板支持ステー１０３を備える。
の主面を基板主面Ｐとし、基板Ｓの４辺をそれぞれ辺Ｈとする。基板主面ＰはＸ－Ｚ平面に平行であり、辺Ｈは２つがＸ方向に平行、他の２つがＺ方向に平行とする。図１及び図２に示すように基板搬送トレイ１００は、トレイフレーム１０１、クランプ１０２及び基板支持ステー１０３を備える。
【0025】
トレイフレーム１０１は枠状であり、基板Ｓが載置される開口１０５を形成する。図４に示すように開口１０５は基板Ｓの外形よりわずかに大きい形状を有する。基板Ｓは矩形形状の主面を有するため、開口１０５も基板Ｓの主面に垂直な方向（Ｙ方向）から見て矩形形状を有する。トレイフレーム１０１と各辺Ｈの距離は例えば３３ｍｍある。
【0026】
図５はトレイフレーム１０１を分解して示す模式図である。同図に示すようにトレイフレーム１０１は、２つの第１フレームユニット１１０と２つの第２フレームユニット１２０が接合されて構成されており、各フレームユニットは互いに着脱可能である。各フレームユニットは基板Ｓの各辺Ｈ（図４参照）にそれぞれ対向する。
【0027】
第１フレームユニット１１０は第２フレームユニット１２０と共にトレイフレーム１０１を構成する。図６は第１フレームユニット１１０の一端を正面側から見た斜視図であり、図５の範囲Ａの拡大図である。図７は図６に示す第１フレームユニット１１０の一端を背面側から見た斜視図である。図８は第１フレームユニット１１０の他端を正面側から見た斜視図であり、図５の範囲Ｂの拡大図である。図９は図８に示す第１フレームユニット１１０の一端を背面側から見た斜視図である。
【0028】
これらの図に示すように第１フレームユニット１１０は、第１フレーム１１１、第２フレーム１１２、第３フレーム１１３、第４フレーム１１４、第５フレーム１１５、第６フレーム１１６、第１パネル１１７及び第２パネル１１８を備える。図１０は、第１パネル１１７及び第２パネル１１８を除いた第１フレームユニット１１０を正面側から見た平面図であり、図１１は図１０の両端部の拡大図である。図１２は図１０の構成を背面側から見た平面図である。
【0029】
第１フレーム１１１は基板Ｓの辺Ｈと対向する板状部材である。図１１及び図１２に示すように第１フレーム１１１は第１主面１１１ａ、第２主面１１１ｂ、第１側面１１１ｃ及び第２側面１１１ｄを有する。第１主面１１１ａ及び第２主面１１１ｂは共に基板主面Ｐ（Ｘ－Ｚ平面）に垂直な面（Ｘ－Ｙ平面）であり、第１主面１１１ａは辺Ｈと対向する面、第２主面１１１ｂは第１主面１１１ａとは反対側の面である。第１側面１１１ｃ及び第２側面１１１ｄは共に基板主面Ｐに平行な面（Ｘ－Ｚ平面）であり、第１側面１１１ｃは正面側の面、第２側面１１１ｄは背面側の面である。第１フレーム１１１の辺Ｈに沿った長さ（Ｘ方向）は辺Ｈの長さより長く、例えば４ｍである。第１フレーム１１１の厚み（Ｚ方向）は例えば８ｍｍ、幅（Ｙ方向）は例えば３２ｍｍである。
【0030】
第２フレーム１１２は第１フレーム１１１と対向する対向する板状部材である。図１１及び図１２に示すように第２フレーム１１２は第１主面１１２ａ、第２主面１１２ｂ、第１側面１１２ｃ及び第２側面１１２ｄを有する。第１主面１１２ａ及び第２主面１１２ｂは共に基板主面Ｐ（Ｘ－Ｚ平面）に垂直な面（Ｘ－Ｙ平面）であり、第１主面１１２ａは第１フレーム１１１と対向する面、第２主面１１２ｂは第１主面１１２ａとは反対側の面である。第１側面１１２ｃ及び第２側面１１２ｄは共に基板主面Ｐに平行な面（Ｘ－Ｚ平面）であり、第１側面１１２ｃは正面側の面、第２側面１１２ｄは背面側の面である。第２フレーム１１２の辺Ｈに沿った長さ（Ｘ方向）は第１フレーム１１１の長さと同一であり、例えば４ｍである。第２フレーム１１２の厚み（Ｚ方向）は例えば８ｍｍ、幅（Ｙ方向）は例えば３２ｍｍである。
【0031】
第３フレーム１１３は第１フレーム１１１と第２フレーム１１２を接続する板状部材である。図１１及び図１２に示すように第３フレーム１１３は、第１主面１１３ａ、第２主面１１３ｂ、第１側面１１３ｃ及び第２側面１１３ｄを有する。第１主面１１３ａ及び第２主面１１３ｂは共に第１フレーム１１１及び第２フレーム１１２の各主面（Ｘ－Ｙ平面）に垂直な面（Ｙ－Ｚ平面）であり、第１主面１１３ａはフレームユニット１１０の外周側の面、第２主面１１３ｂは第１主面１１３ａとは反対側の面である。第１側面１１３ｃ及び第２側面１１３ｄは共に基板主面Ｐに平行な面（Ｘ－Ｚ平面）であり、第１側面１１３ｃは正面側の面、第２側面１１３ｄは背面側の面である。第３フレーム１１３の長さ（Ｚ方向）は特に限定されない。第３フレーム１１３の厚み（Ｚ方向）は例えば８ｍｍ、幅（Ｙ方向）は例えば３２ｍｍである。
【0032】
第４フレーム１１４は第１フレーム１１１と第２フレーム１１２を接続し、第３フレーム１１３と対向する板状部材である。図１１及び図１２に示すように第４フレーム１１４は、第１主面１１４ａ、第２主面１１４ｂ、第１側面１１４ｃ及び第２側面１１４ｄを有する。第１主面１１４ａ及び第２主面１１４ｂは共に第１フレーム１１１及び第２フレーム１１２の各主面（Ｘ－Ｙ平面）に垂直な面（Ｙ－Ｚ平面）であり、第１主面１１４ａはフレームユニット１１０の外周側の面、第２主面１１４ｂは第１主面１１４ａとは反対側の面である。第１側面１１４ｃ及び第２側面１１４ｄは共に基板主面Ｐに平行な面（Ｘ－Ｚ平面）であり、第１側面１１４ｃは正面側の面、第２側面１１４ｄは背面側の面である。第４フレーム１１４の長さ（Ｚ方向）は第３フレームの長さと同一であり、特に限定されない。第４フレーム１１４の厚み（Ｚ方向）は例えば８ｍｍ、幅（Ｙ方向）は例えば３２ｍｍである。
【0033】
第５フレーム１１５は第１フレーム１１１と第２フレーム１１２の間において第３フレーム１１３の近傍に配置され、第１フレーム１１１と第２フレーム１１２を接続する板状部材である。図１１及び図１２に示すように第５フレーム１１５は、第１主面１１５ａ、第２主面１１５ｂ、第１側面１１５ｃ及び第２側面１１５ｄを有する。第１主面１１５ａ及び第２主面１１５ｂは共に第１フレーム１１１及び第２フレーム１１２の各主面（Ｘ－Ｙ平面）に垂直な面（Ｙ－Ｚ平面）であり、第１主面１１５ａはフレームユニット１１０の外周側の面、第２主面１１５ｂは第１主面１１５ａとは反対側の面である。第１側面１１５ｃ及び第２側面１１５ｄは共に基板主面Ｐに平行な面（Ｘ－Ｚ平面）であり、第１側面１１５ｃは正面側の面、第２側面１１５ｄは背面側の面である。第５フレーム１１５の長さ（Ｚ方向）は第３フレーム１１３の長さ同一であり、特に限定されない。第５フレーム１１５の厚み（Ｚ方向）は例えば８ｍｍ、幅（Ｙ方向）は例えば３２ｍｍである。
【0034】
第６フレーム１１６は第１フレーム１１１と第２フレーム１１２の間において第４フレーム１１４の近傍に配置され、第１フレーム１１１と第２フレーム１１２を接続する板状部材である。図１１及び図１２に示すように第６フレーム１１６は、第１主面１１６ａ、第２主面１１６ｂ、第１側面１１６ｃ及び第２側面１１６ｄを有する。第１主面１１６ａ及び第２主面１１６ｂは共に第１フレーム１１１及び第２フレーム１１２の各主面（Ｘ－Ｙ平面）に垂直な面（Ｙ－Ｚ平面）であり、第１主面１１６ａはフレームユニット１１０の外周側の面、第２主面１１６ｂは第１主面１１６ａとは反対側の面である。第１側面１１６ｃ及び第２側面１１６ｄは共に基板主面Ｐに平行な面（Ｘ－Ｚ平面）であり、第１側面１１６ｃは正面側の面、第２側面１１６ｄは背面側の面である。第６フレーム１１６の長さ（Ｚ方向）は第３フレーム１１３の長さ同一であり、特に限定されない。第６フレーム１１６の厚み（Ｚ方向）は例えば８ｍｍ、幅（Ｙ方向）は例えば３２ｍｍである。
【0035】
第１フレーム１１１、第２フレーム１１２、第３フレーム１１３、第４フレーム１１４第５フレーム１１５及び第６フレーム１１６は互いに接合され、図１０に示すようにフレームユニット１１０の正面側及び背面側から見て四角形形状のフレーム構造を形成する。これらの接合方法は特に限定されず、螺子による締結や溶接を用いることができる。
【0036】
第１パネル１１７は第１側面１１１ｃ、第１側面１１２ｃ、第１側面１１３ｃ、第１側面１１４ｃ、第１側面１１５ｃ及び第１側面１１６ｃ（図１１参照）に接合され、基板主面Ｐに平行なパネル（Ｘ－Ｚ平面）である。図１３は正面側から見た第１フレームユニット１１０の平面図である。同図に示すように第１フレームユニット１１０は３枚の第１パネル１１７を備える。また、第１フレームユニット１１０が備える第１パネル１１７の数は特に限定されず、２枚以下又は４枚以上であってもよい。第1パネル１１７は図６及び図８に示すように螺子１５１によって上記各側面に接合されている。また、第１パネル１１７は他の接合方法によって接合されてもよい。
【0037】
第２パネル１１８は第１側面１１１ｄ、第２側面１１２ｄ、第２側面１１３ｄ、第２側面１１４ｄ、第２側面１１５ｄ及び第２側面１１６ｄ（図１２参照）に接合され、基板主面Ｐに平行なパネル（Ｘ－Ｚ平面）である。図１４は背面側から見た第１フレームユニット１１０の平面図であり、図１５はその両端部の拡大図である。図１４に示すように第１フレームユニット１１０は３枚の第２パネル１１８を備える。また、第１フレームユニット１１０が備える第２パネル１１８の数は特に限定されず、２枚以下又は４枚以上であってもよい。第２パネル１１８は図７及び図９に示すように螺子１５１によって上記各側面に接合されている。また、第２パネル１１８は他の接合方法によって接合されてもよい。
【0038】
図７、図９および図１５に示すように、第２パネル１１８にはメンテナンスポート１１８ａと排液口１１８ｂが設けられている。メンテナンスポート１１８ａ及び排液口１１８ｂは共に第２パネル１１８を貫通する貫通孔である。なお、メンテナンスポート１１８ａ及び排液口１１８ｂは基板主面Ｐに対して背面側となる第２パネル１１８に設けることにより、基板Ｓに対する成膜時に成膜材料の入り込みを防止することができる。排液口１１８ｂは、例えば、フレーム同士の接合部の近傍に配置されてもよい。これにより、フレームユニットの乾燥時に洗浄液が溜まりやすい場所でも、洗浄液の残留が防止される。
【0039】
第１フレームユニット１１０を構成する各部材の材料は特に限定されないが、熱により変形を生じにくい材料が好適であり、例えばチタン（Ｔｉ）からなるものとすることができる。
【0040】
第１フレームユニット１１０は以上のような構成を有する。上述のようにフレームユニット１１０は各フレームが接合され、第１フレームユニット１１０の正面側及び背面側から見て四角形形状のフレーム構造（図１０参照）が形成される。そして、このフレーム構造の両側に第１パネル１１７及び第２パネル１１８が接合されることにより６面体が形成される。第１フレーム１１１及び第２フレーム１１２は対向する基板Ｓの辺Ｈより長いため強度が高く、第１パネル１１７及び第２パネル１１８も強度部材として機能するため、第１フレームユニット１１０は高い剛性を有する。
【0041】
第２フレームユニット１２０は第１フレームユニット１１０と共にトレイフレーム１０１を構成する。図１６は正面側から見た第２フレームユニット１２０の平面図である。図１７は背面側から見た第２フレームユニット１２０の平面図であり、図１８はその両端部の拡大図である。これらの図に示すように第２フレームユニット１２０は、第１フレーム１２１、第２フレーム１２２、第３フレーム１２３、第４フレーム１２４、第１パネル１２７及び第２パネル１２８を備える。図１９は、第１パネル１２７及び第２パネル１２８を除いた第２フレームユニット１２０を正面側から見た平面図であり、図２０は図１９の両端部の拡大図である。図２１は図２０の構成を背面側から見た平面図である。
【0042】
第１フレーム１２１は基板Ｓの辺Ｈと対向する板状部材である。図２０及び図２１に示すように第１フレーム１２１は第１主面１２１ａ、第２主面１２１ｂ、第１側面１２１ｃ及び第２側面１２１ｄを有する。第１主面１２１ａ及び第２主面１２１ｂは共に基板主面Ｐ（Ｘ－Ｚ平面）に垂直な面（Ｙ－Ｚ平面）であり、第１主面１２１ａは辺Ｈと対向する面、第２主面１２１ｂは第１主面１２１ａとは反対側の面である。第１側面１２１ｃ及び第２側面１２１ｄは共に基板主面Ｐに平行な面（Ｘ－Ｚ平面）であり、第１側面１２１ｃは正面側の面、第２側面１２１ｄは背面側の面である。第１フレーム１１１の辺Ｈに沿った長さ（Ｚ方向）は辺Ｈの長さより長く、例えば４ｍである。第１フレーム１１１の厚み（Ｘ方向）は例えば８ｍｍ、幅（Ｙ方向）は例えば３２ｍｍである。
【0043】
第２フレーム１２２は第１フレーム１２１と対向する対向する板状部材である。図２０及び図２１に示すように第２フレーム１２２は第１主面１２２ａ、第２主面１２２ｂ、第１側面１２２ｃ及び第２側面１２２ｄを有する。第１主面１２２ａ及び第２主面１２２ｂは共に基板主面Ｐ（Ｘ－Ｚ平面）に垂直な面（Ｙ－Ｚ平面）であり、第１主面１２２ａは第１フレーム１２１と対向する面、第２主面１２２ｂは第１主面１２２ａとは反対側の面である。第１側面１２２ｃ及び第２側面１２２ｄは共に基板主面Ｐに平行な面（Ｘ－Ｚ平面）であり、第１側面１２２ｃは正面側の面、第２側面１２２ｄは背面側の面である。第２フレーム１２２の辺Ｈに沿った長さ（Ｚ方向）は第１フレーム１１１の長さと同一であり、例えば４ｍである。第２フレーム１１２の厚み（Ｘ方向）は例えば８ｍｍ、幅（Ｙ方向）は例えば３２ｍｍである。
【0044】
第３フレーム１２３は第１フレーム１２１と第２フレーム１２２を接続する板状部材である。図２０及び図２１に示すように第３フレーム１２３は、第１主面１２３ａ、第２主面１２３ｂ、第１側面１２３ｃ及び第２側面１２３ｄを有する。第１主面１２３ａ及び第２主面１２３ｂは共に第１フレーム１２１及び第２フレーム１２２の各主面（Ｙ－Ｚ平面）に垂直な面（Ｘ－Ｙ平面）であり、第１主面１２３ａは第２フレームユニット１２０の外周側の面、第２主面１２３ｂは第１主面１２３ａとは反対側の面である。第１側面１２３ｃ及び第２側面１２３ｄは共に基板主面Ｐに平行な面（Ｘ－Ｚ平面）であり、第１側面１２３ｃは正面側の面、第２側面１２３ｄは背面側の面である。第３フレーム１１３の長さ（Ｘ方向）は特に限定されない。第３フレーム１１３の厚み（Ｚ方向）は例えば８ｍｍ、幅（Ｙ方向）は例えば３２ｍｍである。
【0045】
第４フレーム１２４は第１フレーム１２１と第２フレーム１２２を接続し、第３フレーム１２３と対向する板状部材である。図２０及び図２１に示すように第４フレーム１２４は、第１主面１２４ａ、第２主面１２４ｂ、第１側面１２４ｃ及び第２側面１２４ｄを有する。第１主面１２４ａ及び第２主面１２４ｂは共に第１フレーム１２１及び第２フレーム１２２の各主面（Ｙ－Ｚ平面）に垂直な面（Ｘ－Ｙ平面）であり、第１主面１２４ａは第２フレームユニット１２０の外周側の面、第２主面１２４ｂは第１主面１２４ａとは反対側の面である。第１側面１２４ｃ及び第２側面１２４ｄは共に基板主面Ｐに平行な面（Ｘ－Ｚ平面）であり、第１側面１２４ｃは正面側の面、第２側面１２４ｄは背面側の面である。第４フレーム１１４の長さ（Ｘ方向）は第３フレームの長さと同一であり、特に限定されない。第４フレーム１１４の厚み（Ｚ方向）は例えば８ｍｍ、幅（Ｙ方向）は例えば３２ｍｍである。
【0046】
第１フレーム１２１、第２フレーム１２２、第３フレーム１２３及び第４フレーム１２４は互いに接合され、図１９に示すように第２フレームユニット１２０の正面側及び背面側から見て四角形形状のフレーム構造を形成する。これらの接合方法は特に限定されず、螺子による締結や溶接を用いることができる。
【0047】
第１パネル１２７は第１側面１２１ｃ、第１側面１２２ｃ、第１側面１２３ｃ及び第１側面１２４ｃ（図２０参照）に接合され、基板主面Ｐに平行なパネル（Ｘ－Ｚ平面）である。図１６に示すように第２フレームユニット１２０は３枚の第１パネル１２７を備える。また、第２フレームユニット１２０が備える第１パネル１２７の数は特に限定されず、２枚以下又は４枚以上であってもよい。第1パネル１２７は螺子によって上記各側面に接合されている。また、第１パネル１２７は他の接合方法によって接合されてもよい。
【0048】
第２パネル１２８は第１側面１２１ｄ、第２側面１２２ｄ、第２側面１２３ｄ及び第２側面１２４ｄ（図２１参照）に接合され、基板主面Ｐに平行なパネル（Ｘ－Ｚ平面）である。図１７に示すように第２フレームユニット１２０は３枚の第２パネル１２８を備える。また、第２フレームユニット１２０が備える第２パネル１２８の数は特に限定されず、２枚以下又は４枚以上であってもよい。第２パネル１２８は螺子によって上記各側面に接合されている。また、第２パネル１２８は他の接合方法によって接合されてもよい。図１８に示すように、第２パネル１２８には第２パネル１２８を貫通する貫通孔である排液口１２８ｂが設けられている。
【0049】
第２フレームユニット１２０を構成する各部材の材料は特に限定されないが、熱により変形を生じにくい材料が好適であり、例えばチタン（Ｔｉ）からなるものとすることができる。
【0050】
第２フレームユニット１２０は以上のような構成を有する。上述のように第２フレームユニット１２０は各フレームが接合され、第２フレームユニット１２０の正面側及び背面側から見て四角形形状のフレーム構造（図１９参照）が形成される。そして、このフレーム構造の両側に第１パネル１２７及び第２パネル１２８が接合されることにより６面体が形成される。第１フレーム１２１及び第２フレーム１２２は対向する基板Ｓの辺Ｈより長いため強度が高く、第１パネル１２７及び第２パネル１２８も強度部材として機能するため、第２フレームユニット１２０は高い剛性を有する。
【0051】
上記のように２つの第１フレームユニット１１０と２つの第２フレームユニット１２０は互いに着脱可能に接合され、トレイフレーム１０１を形成する（図５参照）。図２２は２つの第１フレームユニット１１０と２つの第２フレームユニット１２０が接合されたトレイフレーム１０１の模式図であり、各パネルは図示を省略している。同図に示すように第１フレームユニット１１０の第１フレーム１１１と第２フレームユニット１２０の第３フレーム１２３又は第４フレーム１２４が接合され、トレイフレーム１０１が形成されている。
【0052】
図２３及び図２４は第１フレームユニット１１０と第２フレームユニット１２０の接合部を示す斜視図であり、図２２の範囲Ｃを背面側から見た図である。図２３では各パネルの図示を省略している。これらの図に示すように、トレイフレーム１０１は第１フレームユニット１１０と第２フレームユニット１２０が螺子１５２によって互いに接合されている。ここで図２４に示すように第２パネル１１８にはメンテナンスポート１１８ａが設けられているため、メンテナンスポート１１８ａを介して螺子１５２の着脱が可能である。なお、フレームユニット１１０の接合方法な螺子による締結に限られず、着脱可能な他の接合方法であってもよい。
【0053】
さらに、トレイフレーム１０１は、図２に示すようにリブ１３０を備える。リブ１３０は開口１５０の４つ角のそれぞれにおいて、第１フレームユニット１１０の長手方向（Ｘ方向）及び第２フレームユニット１２０の長手方向（Ｚ方向）に対して傾斜した方向に延伸し、第１フレームユニット１１０と第２フレームユニット１２０をそれぞれ接続する。リブ１３０により、トレイフレーム１０１の剛性をさらに向上させることが可能となる。リブ１３０の材料は特に限定されないが、熱により変形を生じにくい材料が好適であり、例えばチタン（Ｔｉ）からなるものとすることができる。なお、トレイフレーム１０１はリブ１３０を備えないものであってもよい。
【0054】
クランプ１０２は、図２に示すようにトレイフレーム１０１において開口１０５の内周に複数が設けられ、基板Ｓを把持する。クランプ１０２の構成は特に限定されず、基板Ｓの把持が可能なものであればよい。
【0055】
基板支持ステー１０３は、図２に示すように開口１０５を介してトレイフレーム１０１の間を接続し、基板Ｓを支持する。図２５は基板支持ステー１０３の平面図である。図２６は基板支持ステー１０３の断面図であり、図２５のＡ－Ａ線での断面図である。これらの図に示すように基板支持ステー１０３は第１支持部１３１、第２支持部１３２、軸部１３３及び基板支持ピン１３４を備える。
【0056】
第１支持部１３１は、第１フレームユニット１１０と軸部１３３を接続する。図２７は第１支持部１３１及びクランプ１０２の斜視図である。同図に示すように第１支持部１３１はクランプ１０２との干渉を避けるため、Ｕ字型形状を有する。第２支持部１３２は、第１支持部１３１とは反対側において第１フレームユニット１１０と軸部１３３を接続する。第２支持部１３２は第１支持部１３１と同様にＵ字型形状を有する。
【0057】
軸部１３３は、一方向（Ｚ方向）に延伸する棒状であり、第１支持部１３１と第２支持部１３２を接続する。軸部１３３は図２６に示すように螺子１５３によって第１支持部１３１及び第２支持部１３２と接続されている。基板支持ピン１３４は軸部１３３において所定間隔で複数が設けられ、基板主面Ｐに対して背面側に当接する。図２８は基板支持ピン１３４の斜視図である。同図に示すように基板支持ピン１３４は軸部１３３から突出する。突出した基板支持ピン１３４の先端（基板に当接する部分）は樹脂等からなる。
【0058】
第１支持部１３１と軸部１３３の接続には、軸部１３３の延伸方向（Ｚ方向）において自由度を持つ軸受けが用いられる。図２９は第１支持部１３１と軸部１３３の接続箇所の断面図である。滑り軸受け１６１は環状形状を有し、同図に示すように第１支持部１３１に固定されている。滑り軸受け１６１はポリイミド樹脂等の摺動性に優れた材料からなる。
【0059】
第１支持部１３１には軸部１３３の延伸方向（Ｚ方向）に沿って突出する突起部１５１ａが設けられている。軸部１３３には摺動軸１６２が設けられ、摺動軸１６２には突起部１５１ａが挿入される凹部１６２ａが設けられている。摺動軸１６２の外周は滑り軸受け１６１内に挿入されている。これにより、軸部１３３は軸部１３３の延伸方向（Ｚ方向）において第１支持部１３１に対して摺動可能であり、同方向において自由度を有する。
【0060】
この構成により、基板支持ステー１０３において熱線膨張が生じ、トレイフレーム１０１との間に膨張率の差異が生じても、滑り軸受け１６１によって解消される。したがって、トレイフレーム１０１をチタン等の熱線膨張を生じにくい材料からなるものとし、基板支持ステー１０３をアルミニウム等の熱線膨張を生じやすい材料からなるものとすることも可能であり、基板支持ステー１０３の製造コストの低減が可能となる。
【0061】
なお、基板搬送トレイ１００は後述するように基板主面Ｐ（図３参照）が鉛直面となる向きで基板Ｓを搬送する。ここで、基板支持ステー１０３は、第１支持部１３１が鉛直下方、第２支持部１３２が鉛直上方となり、軸部１３３が鉛直方向に沿って延伸するように設けられと好適である。滑り軸受け１６１では摺動によりパーティクルが生じるおそれがあるが、第１支持部１３１が鉛直下方であるとパーティクルが基板Ｓに到達しないためである。
【0062】
［基板搬送トレイの効果]
基板搬送トレイ１００は上述のように、２つの第１フレームユニット１１０と２つの第２フレームユニット１２０が着脱可能に接合されたトレイフレーム１０１を備える。第１フレームユニット１１０と第２フレームユニット１２０はそれぞれ、フレームとパネルが組み立てられて構成されている。従来の基板搬送トレイは削り出し構造又は溶接構造であり、質量が大きいが、基板搬送トレイ１００はフレームとパネルによる組み立て構造とすることにより、軽量かつ高剛性とすることが可能である。
基板搬送トレイ１００は上述のように、２つの第１フレームユニット１１０と２つの第２フレームユニット１２０が着脱可能に接合されたトレイフレーム１０１を備える。第１フレームユニット１１０と第２フレームユニット１２０はそれぞれ、フレームとパネルが組み立てられて構成されている。従来の基板搬送トレイは削り出し構造又は溶接構造であり、質量が大きいが、基板搬送トレイ１００はフレームとパネルによる組み立て構造とすることにより、軽量かつ高剛性とすることが可能である。
【0063】
また、基板に対する成膜プロセス等では基板搬送トレイ１００に着膜が生じるため、定期的にウェット洗浄を行う必要がある。基板搬送トレイ１００では２つの第１フレームユニット１１０と２つの第２フレームユニット１２０を分割することにより、フレームユニット毎に洗浄槽に浸漬させ、洗浄することが可能となる。削り出し構造又は溶接構造の基板搬送トレイでは、大型基板の場合には全体を洗浄槽に浸漬させて洗浄させることが困難となる。
【0064】
さらにウェット洗浄では洗浄液が除去しきれないと真空汚染が生じるおそれがある。基板搬送トレイ１００では、第２パネル１１８及び第２パネル１２８に排液口１１８ｂ及び排液口１２８ｂが設けられており、洗浄液の残留が防止されている。
【0065】
［基板搬送装置について]
上述した基板搬送トレイ１００を利用した基板搬送装置について説明する。図３０は基板搬送トレイ１００を備える基板搬送装置２００の模式図であり、図３１は基板搬送装置２００の一部構成の拡大図、図３２は基板搬送装置２００の模式図である。これらの図に示すように基板搬送装置２００は、基板搬送トレイ１００及び基板搬送機構２１０を備える。
上述した基板搬送トレイ１００を利用した基板搬送装置について説明する。図３０は基板搬送トレイ１００を備える基板搬送装置２００の模式図であり、図３１は基板搬送装置２００の一部構成の拡大図、図３２は基板搬送装置２００の模式図である。これらの図に示すように基板搬送装置２００は、基板搬送トレイ１００及び基板搬送機構２１０を備える。
【0066】
基板搬送機構２１０はリニアモータユニット２１１、ガイドローラ２１２、下部ガイドレール２１３及び上部ガイドレール２１４を備え、基板搬送トレイ１０を移動させる。図３１は基板搬送機構２１０のうちリニアモータユニット２１１、ガイドローラ２１２及び下部ガイドレール２１３を拡大して示す。
【0067】
リニアモータユニット２１１は基板搬送トレイ１００の搬送ラインに沿って配設され、同ラインに沿って基板搬送トレイ１００を推進させる。リニアモータユニット２１１には電磁石２１５が配置されている。図３３は、基板搬送トレイ１００の底面を示す斜視図である。同図に示すように基板搬送トレイ１００の底面には磁石２１６が配置されている。電磁石２１５と磁石２１６の間で磁力が作用することにより、基板搬送トレイ１００に推力が印加される。
【0068】
ガイドローラ２１２はリニアモータユニット２１１の前後に配置され、基板搬送トレイ１００に当接する。ガイドローラ２１２は回転することにより基板搬送トレイ１００の移動をガイドする。
【0069】
下部ガイドレール２１３は基板搬送トレイ１００の搬送ラインに沿って配設され、基板搬送トレイ１００の移動をガイドする。図３１及び図３２に示すように下部ガイドレール２１３には磁石２１７が配列されており、基板搬送トレイ１００の底部に配列された磁石２１８と磁石２１７が吸引し合う（図３２中、矢印Ａ）ことにより基板搬送トレイ１００の重量の一部が相殺される。
【0070】
上部ガイドレール２１４は基板搬送トレイ１００の搬送ラインに沿って配設され、基板搬送トレイ１００の移動をガイドする。図３２に示すように上部ガイドレール２１４には磁石２１９が配列されており、基板搬送トレイ１００の上部に配列された磁石２２０と磁石２１９が吸引し合う（図３２中、矢印Ｂ）ことにより基板搬送トレイ１００の重量の一部が相殺される。
【0071】
基板搬送装置２００は以上のような構成を有する。基板搬送装置２００では、基板搬送トレイ１００が軽量かつ高剛性であるため、基板搬送トレイ１００の迅速な搬送が可能である。また、基板搬送トレイ１００の剛性が高く、熱変形も生じにくいため、各磁石の位置ズレが生じにくく、このような基板搬送機構２１０に適している。なお、基板搬送機構２１０はリニアモータ以外の機構により基板搬送トレイ１００を推進させるものであってもよく、例えば磁気螺子を用いたものであってもよい。また、基板搬送機構２１０はガイドローラ２１２をモータによって回転させることによって基板搬送トレイ１００を推進させるものであってもよい。
【0072】
[本発明の実施形態について]
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。上述の実施形態において説明した特徴部分のうち、少なくとも２つの特徴部分を任意に組み合わせることも可能である。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。上述の実施形態において説明した特徴部分のうち、少なくとも２つの特徴部分を任意に組み合わせることも可能である。
【符号の説明】
【0073】
１００…基板搬送トレイ
１０１…トレイフレーム
１０２…クランプ
１０３…基板支持ステー
１０５…開口
１１０…第１フレームユニット
１１１…第１フレーム
１１２…第２フレーム
１１３…第３フレーム
１１４…第４フレーム
１１５…第５フレーム
１１６…第６フレーム
１１７…第１パネル
１１８…第２パネル
１２０…第２フレームユニット
１２１…第１フレーム
１２２…第２フレーム
１２３…第３フレーム
１２４…第４フレーム
１２７…第１パネル
１２８…第２パネル
１３０…リブ
２００…基板搬送装置
２１０…基板搬送機構
１０１…トレイフレーム
１０２…クランプ
１０３…基板支持ステー
１０５…開口
１１０…第１フレームユニット
１１１…第１フレーム
１１２…第２フレーム
１１３…第３フレーム
１１４…第４フレーム
１１５…第５フレーム
１１６…第６フレーム
１１７…第１パネル
１１８…第２パネル
１２０…第２フレームユニット
１２１…第１フレーム
１２２…第２フレーム
１２３…第３フレーム
１２４…第４フレーム
１２７…第１パネル
１２８…第２パネル
１３０…リブ
２００…基板搬送装置
２１０…基板搬送機構
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】