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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024048622
(43)【公開日】2024-04-09
(54)【発明の名称】基板クランプ、基板搬送トレイ及び基板搬送装置
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20240402BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022154640
(22)【出願日】2022-09-28
(71)【出願人】
【識別番号】000231464
【氏名又は名称】株式会社アルバック
(74)【代理人】
【識別番号】110003339
【氏名又は名称】弁理士法人南青山国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】鈴木 傑之
(72)【発明者】
【氏名】吉田 雄一
(72)【発明者】
【氏名】関原 将行
(72)【発明者】
【氏名】武者 和博
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA03
5F131BA03
5F131BA04
5F131BA19
5F131CA38
5F131CA39
5F131DA02
5F131DA22
5F131DB13
5F131DB15
(57)【要約】
【課題】小型軽量化が可能であり、動作不具合リスクが小さい基板クランプ、基板搬送トレイ及び基板搬送装置を提供すること
【解決手段】本発明に係る基板クランプは、基体と、クランプ機構と、衝撃緩和機構とを具備する。クランプ機構は、第１回転部材と、第１回転部材に固定された基板把持部と、基体に支持された第１回転軸と、基体と第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、外力が印加されると第１回転部材が第１回転軸の周りに回転して閉状態から開状態に遷移すると共に第１弾性体が変形して第１回転部材に反力を印加する。衝撃緩和機構は、第２回転部材と、第２回転部材に固定された基板接触部と、基体に支持された第２回転軸と、基体と第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、基板接触部が側面から押圧されると第２回転部材が第２回転軸の周りに回転すると共に第２弾性体が変形して第２回転部材に反力を印加する。
【選択図】図７
【解決手段】本発明に係る基板クランプは、基体と、クランプ機構と、衝撃緩和機構とを具備する。クランプ機構は、第１回転部材と、第１回転部材に固定された基板把持部と、基体に支持された第１回転軸と、基体と第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、外力が印加されると第１回転部材が第１回転軸の周りに回転して閉状態から開状態に遷移すると共に第１弾性体が変形して第１回転部材に反力を印加する。衝撃緩和機構は、第２回転部材と、第２回転部材に固定された基板接触部と、基体に支持された第２回転軸と、基体と第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、基板接触部が側面から押圧されると第２回転部材が第２回転軸の周りに回転すると共に第２弾性体が変形して第２回転部材に反力を印加する。
【選択図】図７
【特許請求の範囲】
【請求項1】
表面、裏面及び側面を有する基板の前記裏面と接触する基板支持部を備える基体と、
第１回転部材と、前記第１回転部材に固定された基板把持部と、前記基体に支持された第１回転軸と、前記基体と前記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、前記基板把持部が前記表面に接触又は近接し、前記基板支持部と共に前記基板を挟む閉状態と、前記基板把持部が前記表面と離間し、前記基板支持部と共に前記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると前記第１回転部材が前記第１回転軸の周りに回転して前記閉状態から前記開状態に遷移すると共に前記第１弾性体が変形して前記第１回転部材に反力を印加するクランプ機構と、
第２回転部材と、前記第２回転部材に固定された基板接触部と、前記基体に支持された第２回転軸と、前記基体と前記第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、前記基板接触部が前記側面から押圧されると前記第２回転部材が前記第２回転軸の周りに回転すると共に前記第２弾性体が変形して前記第２回転部材に反力を印加する衝撃緩和機構と
を具備する基板クランプ。
第１回転部材と、前記第１回転部材に固定された基板把持部と、前記基体に支持された第１回転軸と、前記基体と前記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、前記基板把持部が前記表面に接触又は近接し、前記基板支持部と共に前記基板を挟む閉状態と、前記基板把持部が前記表面と離間し、前記基板支持部と共に前記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると前記第１回転部材が前記第１回転軸の周りに回転して前記閉状態から前記開状態に遷移すると共に前記第１弾性体が変形して前記第１回転部材に反力を印加するクランプ機構と、
第２回転部材と、前記第２回転部材に固定された基板接触部と、前記基体に支持された第２回転軸と、前記基体と前記第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、前記基板接触部が前記側面から押圧されると前記第２回転部材が前記第２回転軸の周りに回転すると共に前記第２弾性体が変形して前記第２回転部材に反力を印加する衝撃緩和機構と
を具備する基板クランプ。
【請求項2】
請求項１に記載の基板クランプであって、
前記クランプ機構は、前記基体に支持され、前記第１回転軸に平行な第３回転軸と、前記第１回転部材に支持され、前記第１回転軸に平行な第４回転軸をさらに有し、
前記第１弾性体は前記第３回転軸と前記第４回転軸を接続する
基板クランプ。
前記クランプ機構は、前記基体に支持され、前記第１回転軸に平行な第３回転軸と、前記第１回転部材に支持され、前記第１回転軸に平行な第４回転軸をさらに有し、
前記第１弾性体は前記第３回転軸と前記第４回転軸を接続する
基板クランプ。
【請求項3】
請求項１に記載の基板クランプであって、
前記第１弾性体は、前記第１回転部材の回転に伴って引張される引張バネである
基板クランプ。
前記第１弾性体は、前記第１回転部材の回転に伴って引張される引張バネである
基板クランプ。
【請求項4】
請求項１に記載の基板クランプであって、
前記第２弾性体は、前記第２回転部材の回転に伴って圧縮される圧縮バネである
基板クランプ。
前記第２弾性体は、前記第２回転部材の回転に伴って圧縮される圧縮バネである
基板クランプ。
【請求項5】
請求項１から４のうちいずれか一項に記載の基板クランプであって、
前記第２弾性体は、前記基板接触部に前記基板の重量に相当する力が印加されても変形せず、前記基板接触部に前記基板の重量に相当する力を超える力が印加されると変形する
基板クランプ。
前記第２弾性体は、前記基板接触部に前記基板の重量に相当する力が印加されても変形せず、前記基板接触部に前記基板の重量に相当する力を超える力が印加されると変形する
基板クランプ。
【請求項6】
請求項１から４のうちいずれか一項に記載の基板クランプであって、
前記基板支持部及び前記基板接触部はポリイミド樹脂からなる
基板クランプ。
前記基板支持部及び前記基板接触部はポリイミド樹脂からなる
基板クランプ。
【請求項7】
表面、裏面及び側面を有する基板が載置される開口を囲むトレイフレームと、
前記トレイフレームの前記開口周縁に配置される第１基板クランプと
を具備し、
前記第１基板クランプは、
前記裏面と接触する基板支持部を備える基体と、
第１回転部材と、前記第１回転部材に固定された基板把持部と、前記基体に支持された第１回転軸と、前記基体と前記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、前記基板把持部が前記表面に接触又は近接し、前記基板支持部と共に前記基板を挟む閉状態と、前記基板把持部が前記表面と離間し、前記基板支持部と共に前記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると前記第１回転部材が前記第１回転軸の周りに回転して前記閉状態から前記開状態に遷移すると共に前記第１弾性体が変形して前記第１回転部材に反力を印加するクランプ機構と、
第２回転部材と、前記第２回転部材に固定された基板接触部と、前記基体に支持された第２回転軸と、前記基体と前記第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、前記基板接触部が前記側面から押圧されると前記第２回転部材が前記第２回転軸の周りに回転すると共に前記第２弾性体が変形して前記第２回転部材に反力を印加する衝撃緩和機構と
を備える
基板搬送トレイ。
前記トレイフレームの前記開口周縁に配置される第１基板クランプと
を具備し、
前記第１基板クランプは、
前記裏面と接触する基板支持部を備える基体と、
第１回転部材と、前記第１回転部材に固定された基板把持部と、前記基体に支持された第１回転軸と、前記基体と前記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、前記基板把持部が前記表面に接触又は近接し、前記基板支持部と共に前記基板を挟む閉状態と、前記基板把持部が前記表面と離間し、前記基板支持部と共に前記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると前記第１回転部材が前記第１回転軸の周りに回転して前記閉状態から前記開状態に遷移すると共に前記第１弾性体が変形して前記第１回転部材に反力を印加するクランプ機構と、
第２回転部材と、前記第２回転部材に固定された基板接触部と、前記基体に支持された第２回転軸と、前記基体と前記第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、前記基板接触部が前記側面から押圧されると前記第２回転部材が前記第２回転軸の周りに回転すると共に前記第２弾性体が変形して前記第２回転部材に反力を印加する衝撃緩和機構と
を備える
基板搬送トレイ。
【請求項8】
請求項７に記載の基板搬送トレイであって、
前記トレイフレームの前記開口周縁に配置される第２基板クランプ
をさらに具備し、
前記第２基板クランプは、
前記裏面と接触する基板支持部を備える基体と、
第１回転部材と、前記第１回転部材に固定された基板把持部と、前記基体に支持された第１回転軸と、前記基体と前記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、前記基板把持部が前記表面に接触又は近接し、前記基板支持部と共に前記基板を挟む閉状態と、前記基板把持部が前記表面と離間し、前記基板支持部と共に前記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると前記第１回転部材が前記第１回転軸の周りに回転して前記閉状態から前記開状態に遷移すると共に前記第１弾性体が変形して前記第１回転部材に反力を印加するクランプ機構と
を備える
基板搬送トレイ。
前記トレイフレームの前記開口周縁に配置される第２基板クランプ
をさらに具備し、
前記第２基板クランプは、
前記裏面と接触する基板支持部を備える基体と、
第１回転部材と、前記第１回転部材に固定された基板把持部と、前記基体に支持された第１回転軸と、前記基体と前記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、前記基板把持部が前記表面に接触又は近接し、前記基板支持部と共に前記基板を挟む閉状態と、前記基板把持部が前記表面と離間し、前記基板支持部と共に前記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると前記第１回転部材が前記第１回転軸の周りに回転して前記閉状態から前記開状態に遷移すると共に前記第１弾性体が変形して前記第１回転部材に反力を印加するクランプ機構と
を備える
基板搬送トレイ。
【請求項9】
請求項８に記載の基板搬送トレイであって、
前記第１基板クランプは前記開口周縁のうち鉛直下方側に配置され、
前記第２基板クランプは前記開口周縁のうち鉛直上方側に配置されている
基板搬送トレイ。
前記第１基板クランプは前記開口周縁のうち鉛直下方側に配置され、
前記第２基板クランプは前記開口周縁のうち鉛直上方側に配置されている
基板搬送トレイ。
【請求項10】
基板搬送トレイと、
前記基板搬送トレイを移動させる基板搬送機構と
を具備し、
前記基板搬送トレイは、
表面、裏面及び側面を有する基板が載置される開口を囲むトレイフレームと、
前記トレイフレームの前記開口周縁に配置される第１基板クランプと
を具備し、
前記第１基板クランプは、
前記裏面と接触する基板支持部を備える基体と、
第１回転部材と、前記第１回転部材に固定された基板把持部と、前記基体に支持された第１回転軸と、前記基体と前記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、前記基板把持部が前記表面に接触又は近接し、前記基板支持部と共に前記基板を挟む閉状態と、前記基板把持部が前記表面と離間し、前記基板支持部と共に前記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると前記第１回転部材が前記第１回転軸の周りに回転して前記閉状態から前記開状態に遷移すると共に前記第１弾性体が変形して前記第１回転部材に反力を印加するクランプ機構と、
第２回転部材と、前記第２回転部材に固定された基板接触部と、前記基体に支持された第２回転軸と、前記基体と前記第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、前記基板接触部が前記側面から押圧されると前記第２回転部材が前記第２回転軸の周りに回転すると共に前記第２弾性体が変形して前記第２回転部材に反力を印加する衝撃緩和機構と
を備える
基板搬送装置。
前記基板搬送トレイを移動させる基板搬送機構と
を具備し、
前記基板搬送トレイは、
表面、裏面及び側面を有する基板が載置される開口を囲むトレイフレームと、
前記トレイフレームの前記開口周縁に配置される第１基板クランプと
を具備し、
前記第１基板クランプは、
前記裏面と接触する基板支持部を備える基体と、
第１回転部材と、前記第１回転部材に固定された基板把持部と、前記基体に支持された第１回転軸と、前記基体と前記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、前記基板把持部が前記表面に接触又は近接し、前記基板支持部と共に前記基板を挟む閉状態と、前記基板把持部が前記表面と離間し、前記基板支持部と共に前記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると前記第１回転部材が前記第１回転軸の周りに回転して前記閉状態から前記開状態に遷移すると共に前記第１弾性体が変形して前記第１回転部材に反力を印加するクランプ機構と、
第２回転部材と、前記第２回転部材に固定された基板接触部と、前記基体に支持された第２回転軸と、前記基体と前記第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、前記基板接触部が前記側面から押圧されると前記第２回転部材が前記第２回転軸の周りに回転すると共に前記第２弾性体が変形して前記第２回転部材に反力を印加する衝撃緩和機構と
を備える
基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、基板搬送に利用される基板クランプ、基板搬送トレイ及び基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【0002】
基板搬送に用いられる基板搬送トレイは、基板を把持する基板クランプを備える。基板搬送トレイは軽量であると、搬送速度の向上や搬送機構の低コスト化が可能であるが、基板搬送トレイの軽量化のためには基板クランプの小型軽量化が求められている。従来、基板搬送トレイは、基板の衝撃吸収のための直動ガイドと基板クランプのための回転機構を備えたものが一般的である（例えば、特許文献1参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１０－１６５７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献1に記載のような構成では直動ガイドと回転機構を別々に設計しなくてはならないため、小型化に課題があった。また、直動ガイドは小型化のために摩擦係数が小さい樹脂材の滑り軸受が使用されるが、摩耗により滑り軸受の摩擦係数が大きくなり、動作不具合を生じる問題があった。
【0005】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、小型軽量化が可能であり、動作不具合リスクが小さい基板クランプ、基板搬送トレイ及び基板搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る基板クランプは、基体と、クランプ機構と、衝撃緩和機構とを具備する。
上記基体は、表面、裏面及び側面を有する基板の上記裏面と接触する基板支持部を備える。
上記クランプ機構は、第１回転部材と、上記第１回転部材に固定された基板把持部と、上記基体に支持された第１回転軸と、上記基体と上記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、上記基板把持部が上記表面に接触又は近接し、上記基板支持部と共に上記基板を挟む閉状態と、上記基板把持部が上記表面と離間し、上記基板支持部と共に上記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると上記第１回転部材が上記第１回転軸の周りに回転して上記閉状態から上記開状態に遷移すると共に上記第１弾性体が変形して上記第１回転部材に反力を印加する。
上記衝撃緩和機構は、第２回転部材と、上記第２回転部材に固定された基板接触部と、上記基体に支持された第２回転軸と、上記基体と上記第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、上記基板接触部が上記側面から押圧されると上記第２回転部材が上記第２回転軸の周りに回転すると共に上記第２弾性体が変形して上記第２回転部材に反力を印加する。
上記基体は、表面、裏面及び側面を有する基板の上記裏面と接触する基板支持部を備える。
上記クランプ機構は、第１回転部材と、上記第１回転部材に固定された基板把持部と、上記基体に支持された第１回転軸と、上記基体と上記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、上記基板把持部が上記表面に接触又は近接し、上記基板支持部と共に上記基板を挟む閉状態と、上記基板把持部が上記表面と離間し、上記基板支持部と共に上記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると上記第１回転部材が上記第１回転軸の周りに回転して上記閉状態から上記開状態に遷移すると共に上記第１弾性体が変形して上記第１回転部材に反力を印加する。
上記衝撃緩和機構は、第２回転部材と、上記第２回転部材に固定された基板接触部と、上記基体に支持された第２回転軸と、上記基体と上記第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、上記基板接触部が上記側面から押圧されると上記第２回転部材が上記第２回転軸の周りに回転すると共に上記第２弾性体が変形して上記第２回転部材に反力を印加する。
【0007】
上記クランプ機構は、上記基体に支持され、上記第１回転軸に平行な第３回転軸と、上記第１回転部材に支持され、上記第１回転軸に平行な第４回転軸をさらに有し、
上記第１弾性体は上記第３回転軸と上記第４回転軸を接続してもよい。
上記第１弾性体は上記第３回転軸と上記第４回転軸を接続してもよい。
【0008】
上記第１弾性体は、上記第１回転部材の回転に伴って引張される引張バネであってもよい。
【0009】
上記第２弾性体は、上記第２回転部材の回転に伴って圧縮される圧縮バネであってもよい。
【0010】
上記第２弾性体は、上記基板接触部に上記基板の重量に相当する力が印加されても変形せず、上記基板接触部に上記基板の重量に相当する力を超える力が印加されると変形してもよい。
【0011】
上記基板支持部及び上記基板接触部はポリイミド樹脂からなるものであってもよい。
【0012】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る基板搬送トレイは、トレイフレームと、第１基板クランプとを具備する。
上記トレイフレームは、表面、裏面及び側面を有する基板が載置される開口を囲む。
上記第１基板クランプは、上記トレイフレームの上記開口周縁に配置され、基体と、クランプ機構と、衝撃緩和機構とを具備する。
上記基体は、上記裏面と接触する基板支持部を備える。
上記クランプ機構は、第１回転部材と、上記第１回転部材に固定された基板把持部と、上記基体に支持された第１回転軸と、上記基体と上記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、上記基板把持部が上記表面に接触又は近接し、上記基板支持部と共に上記基板を挟む閉状態と、上記基板把持部が上記表面と離間し、上記基板支持部と共に上記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると上記第１回転部材が上記第１回転軸の周りに回転して上記閉状態から上記開状態に遷移すると共に上記第１弾性体が変形して上記第１回転部材に反力を印加する。
上記衝撃緩和機構は、第２回転部材と、上記第２回転部材に固定された基板接触部と、上記基体に支持された第２回転軸と、上記基体と上記第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、上記基板接触部が上記側面から押圧されると上記第２回転部材が上記第２回転軸の周りに回転すると共に上記第２弾性体が変形して上記第２回転部材に反力を印加する。
上記トレイフレームは、表面、裏面及び側面を有する基板が載置される開口を囲む。
上記第１基板クランプは、上記トレイフレームの上記開口周縁に配置され、基体と、クランプ機構と、衝撃緩和機構とを具備する。
上記基体は、上記裏面と接触する基板支持部を備える。
上記クランプ機構は、第１回転部材と、上記第１回転部材に固定された基板把持部と、上記基体に支持された第１回転軸と、上記基体と上記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、上記基板把持部が上記表面に接触又は近接し、上記基板支持部と共に上記基板を挟む閉状態と、上記基板把持部が上記表面と離間し、上記基板支持部と共に上記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると上記第１回転部材が上記第１回転軸の周りに回転して上記閉状態から上記開状態に遷移すると共に上記第１弾性体が変形して上記第１回転部材に反力を印加する。
上記衝撃緩和機構は、第２回転部材と、上記第２回転部材に固定された基板接触部と、上記基体に支持された第２回転軸と、上記基体と上記第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、上記基板接触部が上記側面から押圧されると上記第２回転部材が上記第２回転軸の周りに回転すると共に上記第２弾性体が変形して上記第２回転部材に反力を印加する。
【0013】
上記基板搬送トレイは、上記トレイフレームの上記開口周縁に配置される第２基板クランプをさらに具備してもよい。上記第２基板クランプは、基体と、クランプ機構とを具備する。
上記基体は、上記裏面と接触する基板支持部を備える。
上記クランプ機構は、第１回転部材と、上記第１回転部材に固定された基板把持部と、上記基体に支持された第１回転軸と、上記基体と上記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、上記基板把持部が上記表面に接触又は近接し、上記基板支持部と共に上記基板を挟む閉状態と、上記基板把持部が上記表面と離間し、上記基板支持部と共に上記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると上記第１回転部材が上記第１回転軸の周りに回転して上記閉状態から上記開状態に遷移すると共に上記第１弾性体が変形して上記第１回転部材に反力を印加する。
上記基体は、上記裏面と接触する基板支持部を備える。
上記クランプ機構は、第１回転部材と、上記第１回転部材に固定された基板把持部と、上記基体に支持された第１回転軸と、上記基体と上記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、上記基板把持部が上記表面に接触又は近接し、上記基板支持部と共に上記基板を挟む閉状態と、上記基板把持部が上記表面と離間し、上記基板支持部と共に上記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると上記第１回転部材が上記第１回転軸の周りに回転して上記閉状態から上記開状態に遷移すると共に上記第１弾性体が変形して上記第１回転部材に反力を印加する。
【0014】
上記第１基板クランプは上記開口周縁のうち鉛直下方側に配置され、
上記第２基板クランプは上記開口周縁のうち鉛直上方側に配置されていてもよい。
上記第２基板クランプは上記開口周縁のうち鉛直上方側に配置されていてもよい。
【0015】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る基板搬送装置は、基板搬送トレイと、基板搬送機構とを具備する。
上記基板搬送トレイは、表面、裏面及び側面を有する基板が載置される開口を囲むトレイフレームと、上記トレイフレームの上記開口周縁に配置される第１基板クランプとを具備する。
上記基板搬送機構は、上記基板搬送トレイを移動させる。
上記第１基板クランプは、基体と、クランプ機構と、衝撃緩和機構とを具備する。
上記基体は、上記裏面と接触する基板支持部を備える。
上記クランプ機構は、第１回転部材と、上記第１回転部材に固定された基板把持部と、上記基体に支持された第１回転軸と、上記基体と上記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、上記基板把持部が上記表面に接触又は近接し、上記基板支持部と共に上記基板を挟む閉状態と、上記基板把持部が上記表面と離間し、上記基板支持部と共に上記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると上記第１回転部材が上記第１回転軸の周りに回転して上記閉状態から上記開状態に遷移すると共に上記第１弾性体が変形して上記第１回転部材に反力を印加する。
上記衝撃緩和機構は、第２回転部材と、上記第２回転部材に固定された基板接触部と、上記基体に支持された第２回転軸と、上記基体と上記第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、上記基板接触部が上記側面から押圧されると上記第２回転部材が上記第２回転軸の周りに回転すると共に上記第２弾性体が変形して上記第２回転部材に反力を印加する。
上記基板搬送トレイは、表面、裏面及び側面を有する基板が載置される開口を囲むトレイフレームと、上記トレイフレームの上記開口周縁に配置される第１基板クランプとを具備する。
上記基板搬送機構は、上記基板搬送トレイを移動させる。
上記第１基板クランプは、基体と、クランプ機構と、衝撃緩和機構とを具備する。
上記基体は、上記裏面と接触する基板支持部を備える。
上記クランプ機構は、第１回転部材と、上記第１回転部材に固定された基板把持部と、上記基体に支持された第１回転軸と、上記基体と上記第１回転部材を接続する第１弾性体とを有し、上記基板把持部が上記表面に接触又は近接し、上記基板支持部と共に上記基板を挟む閉状態と、上記基板把持部が上記表面と離間し、上記基板支持部と共に上記基板を挟まない開状態をとり、外力が印加されると上記第１回転部材が上記第１回転軸の周りに回転して上記閉状態から上記開状態に遷移すると共に上記第１弾性体が変形して上記第１回転部材に反力を印加する。
上記衝撃緩和機構は、第２回転部材と、上記第２回転部材に固定された基板接触部と、上記基体に支持された第２回転軸と、上記基体と上記第２回転部材を接続する第２弾性体とを有し、上記基板接触部が上記側面から押圧されると上記第２回転部材が上記第２回転軸の周りに回転すると共に上記第２弾性体が変形して上記第２回転部材に反力を印加する。
【発明の効果】
【0016】
以上のように、本発明によれば、小型軽量化が可能であり、動作不具合リスクが小さい基板クランプ、基板搬送トレイ及び基板搬送装置を提供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】本発明の実施形態に係る基板搬送トレイの斜視図である。
【図2】上記基板搬送トレイの平面図である。
【図3】基板を搭載した上記基板搬送トレイの斜視図である。
【図4】基板を搭載した上記基板搬送トレイの平面図である。
【図5】上記基板の平面図である。
【図6】上記基板搬送トレイが備える基板クランプの斜視図である。
【図7】上記基板クランプの斜視図である。
【図8】上記基板クランプの一部構成の斜視図である。
【図9】上記基板クランプの一部構成の分解斜視図である。
【図10】上記基板クランプの平面図である。
【図11】上記基板クランプの断面図である。
【図12】上記基板クランプが備えるクランプ機構の閉状態を示す模式図である。
【図13】上記基板クランプが備えるクランプ機構の開状態を示す模式図である。
【図14】上記基板クランプが備えるクランプ機構の開状態及び基板を示す模式図である。
【図15】上記基板クランプが備えるクランプ機構の閉状態及び基板を示す模式図である。
【図16】上記基板クランプが備えるクランプ機構の閉状態を示す模式図である。
【図17】上記基板クランプが備えるクランプ機構の開く状態を示す模式図である。
【図18】上記基板クランプが備える衝撃緩和機構による衝撃緩和を示す模式図である。
【図19】上記基板搬送トレイが備える基板支持ステーの平面図である。
【図20】本発明の実施形態に係る基板搬送装置の斜視図である。
【図21】上記基板搬送装置が備える基板搬送機構の斜視図である。
【図22】上記基板搬送装置の模式図である。
【図23】上記基板搬送装置が備える基板搬送トレイの底部の斜視図である。
【図24】本発明の変形例に係る基板搬送装置の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
【0019】
［基板搬送トレイの構成]
本実施形態に係る基板搬送トレイについて説明する。図１は本実施形態に係る基板搬送トレイ１００の斜視図であり、図２は基板搬送トレイ１００の平面図である。図３は基板Ｓが載置された状態の基板搬送トレイ１００の斜視図であり、図４は同状態の基板搬送トレイ１００の平面図である。図３及び図４に示すように基板Ｓが載置される側の面を基板搬送トレイ１００の正面とし、その反対側の面を背面とする。図１乃至図４はいずれも基板搬送トレイ１００を正面側から見た図である。
本実施形態に係る基板搬送トレイについて説明する。図１は本実施形態に係る基板搬送トレイ１００の斜視図であり、図２は基板搬送トレイ１００の平面図である。図３は基板Ｓが載置された状態の基板搬送トレイ１００の斜視図であり、図４は同状態の基板搬送トレイ１００の平面図である。図３及び図４に示すように基板Ｓが載置される側の面を基板搬送トレイ１００の正面とし、その反対側の面を背面とする。図１乃至図４はいずれも基板搬送トレイ１００を正面側から見た図である。
【0020】
図３及び図４に示すように基板Ｓは主面が矩形形状を有する基板である。図５は基板Ｓの各面を示す平面図である。同図に示すように基板Ｓの正面側を基板表面Ｐ１、基板Ｓの背面側の主面を基板裏面Ｐ２、基板表面Ｐ１と基板裏面Ｐ２の周縁を接続する側面を基板側面Ｐ３とする。また、図４に示すように基板Ｓの４辺をそれぞれ辺Ｈとする。基板表面Ｐ１及び基板裏面Ｐ２はＸ－Ｚ平面に平行であり、基板側面Ｐ３はＸ－Ｙ平面又はＹ－Ｚ平面に平行である。辺Ｈは２つがＸ方向に平行、他の２つがＺ方向に平行である。
【0021】
【0022】
トレイフレーム１０１は枠状であり、基板Ｓが載置される開口１０４を形成する。図４に示すように開口１０４は基板Ｓの外形よりわずかに大きい形状を有する。基板Ｓは矩形形状の基板表面Ｐ１及び基板裏面Ｐ２を有するため、開口１０４も基板Ｓの基板表面Ｐ１及び基板裏面Ｐ２に垂直な方向（Ｙ方向）から見て矩形形状を有する。トレイフレーム１０１と各辺Ｈの距離は例えば３３ｍｍである。
【0023】
基板クランプ１０２は、基板Ｓをトレイフレーム１０１に固定する。図６は基板クランプ１０２の斜視図である。図２及び図６に示すように基板クランプ１０２はトレイフレーム１０１において開口１０４の周縁に複数が設けられている。図２に示すように、基板クランプ１０２の数は開口１０４の鉛直下方（図中、下方）側に１９個、左右側にそれぞれ９個、鉛直上方（図中、上方）側に１０個とすることができる。また、基板クランプ１０２の数は適宜変更可能である。
【0024】
図７は基板クランプ１０２の斜視図であり、図６とは異なる方向から見た斜視図である。図８は基板クランプ１０２の一部構成の斜視図であり、図９は基板クランプ１０２の一部構成の分解斜視図である。図１０は基板クランプ１０２の平面図である。図１１は基板クランプ１０２の断面図であり、図１０のＡ－Ａ線での断面図である。これらの図に示すように基板クランプ１０２は、基体１１１、クランプ機構１１２及び衝撃緩和機構１１３を備える。
【0025】
基体１１１は、トレイフレーム１０１に固定され、クランプ機構１１２及び衝撃緩和機構１１３を支持する。図７乃至図１１に示すように基体１１１は、第１固定部材１２１（図８参照）、第２固定部材１２２（図８参照）、第３固定部材１２３（図１１参照）、基板支持部１２４（図７参照）及びカバー１２５（図７参照）を備える。
【0026】
図８に示すように第１固定部材１２１と第２固定部材１２２はクランプ機構１１２及び衝撃緩和機構１１３を挟んで設けられている。第３固定部材１２３（図１１参照）は第１固定部材１２１と第２固定部材１２２の間において衝撃緩和機構１１３の近傍に設けられている。基板支持部１２４（図７参照）は基板裏面Ｐ２（図５参照）に接触し、基板Ｓを支持する。基板支持部１２４は、第１固定部材１２１と第２固定部材１２２に１つずつ設けられている。
【0027】
図８に示すように第１固定部材１２１には孔１２１ａが設けられ、第２固定部材１２２には孔１２２ａが設けられている。基板支持部１２４は孔１２１ａ及び孔１２２ａにそれぞれ挿入されることにより、第１固定部材１２１と第２固定部材１２２に固定される。図９に示すように第１固定部材１２１には軸穴１２１ｂ、軸穴１２１ｃ及び軸穴１２１ｄが設けられている。また、図９に示すように第２固定部材１２２には軸穴１２２ｂ、軸穴１２２ｃ及び軸穴１２２ｄが設けられている。このうち軸穴１２１ｃは第１固定部材１２１を貫通し、軸穴１２２ｄは第２固定部材１２２を貫通する。
【0028】
カバー１２５は図７に示すように基体１１１、クランプ機構１１２及び衝撃緩和機構１１３を被覆し、これらへの成膜材料の付着を防止する。カバー１２５は孔１２１ｅ及び孔１２２ｅ（図８参照）に挿通された螺子１８２により第１固定部材１２１及び第２固定部材１２２に固定されている。
【0029】
クランプ機構１１２は基板Ｓを把持する。図７乃至図１１に示すようにクランプ機構１１２は、第１回転部材１３１（図９参照）、基板把持部１３２（図７参照）、第１回転軸１３３（図９参照）、第３回転軸１３４（図９参照）、第４回転軸１３５（図９参照）、開閉部１３６（図９参照）及び第１弾性体１３７（図９参照）を備える。
【0030】
第１回転部材１３１は、図９に示すように同一方向に延伸する第１アーム１３１ａ及び第２アーム１３１ｂを備える。第１アーム１３１ａの先端には軸穴１３１ｃが設けられ、第２アーム１３１ｂの先端には軸穴１３１ｄが設けられている。軸穴１３１ｃは第１アーム１３１ａを貫通し、軸穴１３１ｄは第２アーム１３１ｂを貫通する。第１回転部材１３１の軸穴１３１ｃとは反対側の端部には２つの孔１３１ｅが設けられている。
【0031】
【0032】
第１回転軸１３３は第１回転部材１３１の回転軸である。第１回転軸１３３は図９に示すように、一端がベアリング１４１及びスペーサー１４２を介して軸穴１２１ｂに挿入され、第１固定部材１２１に対して回転可能に支持されている。また、第１回転軸１３３は図９に示すように、他端がベアリング１４１及びスペーサー１４２を介して軸穴１２２ｂに挿入され、第２固定部材１２２に対して回転可能に支持されている。
【0033】
第３回転軸１３４は第１弾性体１３７の回転軸であり、第１回転軸１３３に平行である。第３回転軸１３４は図９に示すように、一端がベアリング１４１を介して軸穴１２１ｃに挿入され、第１固定部材１２１に対して回転可能に支持されている。この第３回転軸１３４の一端は、軸穴１２１ｃを貫通して第１固定部材１２１の外側に突出する。また、第３回転軸１３４は図９に示すように、他端がベアリング１４１を介して軸穴１２２ｃに挿入され、第２固定部材１２２に対して回転可能に支持されている。この第３回転軸１３４の他端は、軸穴１２２ｃを貫通して第２固定部材１２２の外側に突出する。
【0034】
第４回転軸１３５は第１弾性体１３７の回転軸であり、第１回転軸１３３に平行である。第４回転軸１３５は、図９に示すように、ベアリング１４１を介して軸穴１３１ｃ及び軸穴１３１ｄに挿入され、第１回転部材１３１に対して回転可能に支持されている。第４回転軸１３５の両端は、軸穴１３１ｃ及び軸穴１３１ｄを貫通し、第１アーム１３１ａ及び第２アーム１３１ｂの外側に突出する。
【0035】
開閉部１３６は外部から押圧されることで第１回転部材１３１を回転させる。開閉部１３６は図９に示すように円板形状を有し、中心部に第４回転軸１３５が挿通されている。開閉部１３６は、図７に示すように第１アーム１３１ａ及と第２アーム１３１ｂの間に配置されている。
【0036】
第１弾性体１３７は、第１回転部材１３１に反力を印加する。第１弾性体１３７は図９に示すように２つが設けられ、クランプ機構１１２の両側で第３回転軸１３４と第４回転軸１３５を接続する。第１弾性体１３７は引張バネとすることができるが、他の弾性体であってもよい。
【0037】
図１２乃至図１７はクランプ機構１１２による基板Ｓの把持を示す模式図である。図１２では基板支持部１２４と基板把持部１３２が近接しており、以下この状態を「閉状態」とする。ここで、図１３に示すように、押圧機構Ｒにより外力を印加し、開閉部１３６を押圧する（図中、矢印Ａ１）。これにより第１回転部材１３１が第１回転軸１３３の周りに回転し（図中、矢印Ａ２）、基板支持部１２４と基板把持部１３２が離間する。以下、この状態を「開状態」とする。図１６及び図１７に示すように、第１弾性体１３７は第１回転部材１３１の回転に伴って引張され、図１７に示すように第４回転軸１３５に反力Ｆ１を印加する。なお、第３回転軸１３４及び第4回転軸１３５が回転可能であるため、第１回転部材１３１の回転による第１弾性体１３７の断線が防止されている。
【0038】
図１４に示すように「開状態」において基板Ｓを配置し、基板裏面Ｐ２を基板支持部１２４に当接させる。さらに、押圧機構Ｒを開閉部１３６から離間させる（図中、矢印Ａ３）と、第１弾性体１３７からの反力Ｆ１によって第１回転部材１３１の回転が元に戻る（図中、矢印Ａ４）。これにより図１５に示すように、クランプ機構１１２が「閉状態」となり、基板Ｓが基板支持部１２４と基板把持部１３２によって挟まれる。このようにして基板Ｓはクランプ機構１１２によって把持される。なお、基板把持部１３２は「閉状態」において基板Ｓの基板表面Ｐ１に接触してもよく、わずかな隙間を空けて基板表面Ｐ１から離間してもよい。
【0039】
衝撃緩和機構１１３は基板Ｓから受ける衝撃を緩和する。図７乃至図１１に示すように衝撃緩和機構１１３は、第２回転部材１５１（図９参照）、基板接触部１５２（図１１参照）、第２回転軸１５３（図９参照）及び第２弾性体１５４（図１１参照）を備える。
【0040】
第２回転部材１５１は、図９に示すようにＬ字型形状を有し、第１部分１５１ａと第２部分１５１ｂを有する。第１部分１５１ａには孔１５１ｃが設けられている。基板接触部１５２（図１１参照）は基板側面Ｐ３に接触する。基板接触部１５２は孔１５１ｃに挿通された螺子１８３により第２回転部材１５１に固定されている。
【0041】
第２回転軸１５３は第２回転部材１５１の回転軸である。第２回転軸１５３は図９に示すように、一端がベアリング１４１及びスペーサー１４２を介して軸穴１２１ｄに挿入され、第１固定部材１２１に対して回転可能に支持されている。また、第２回転軸１５３は図９に示すように、他端がベアリング１４１及びスペーサー１４２を介して軸穴１２２ｄに挿入され、第２固定部材１２２に対して回転可能に支持されている。
【0042】
第２弾性体１５４は、第２回転部材１５１に反力を印加する。第２弾性体１５４は図１１に示すように第２部分１５１ｂと第３固定部材１２３の間に配置される。第２弾性体１５４は圧縮バネとすることができるが、他の弾性体であってもよい。
【0043】
図１８は衝撃緩和機構１１３による衝撃緩和を示す模式図である。上述のように基板Ｓはクランプ機構１１２によって把持されるが、基板Ｓの配置時に基板Ｓに位置ズレが生じ、図１８に示すように基板Ｓの基板側面Ｐ３が基板接触部１５２に衝突する場合がある。また、基板Ｓの把持後、基板搬送トレイ１００の搬送中に基板搬送トレイ１００になんらかかの衝撃が加わった場合も、基板Ｓが基板接触部１５２に衝突する場合がある。
【0044】
この場合、基板接触部１５２が基板Ｓから押圧され、第２回転部材１５１は第２回転軸１５３の周りに回転する（図中、矢印Ａ５）。第２弾性体１５４は第２回転部材１５１の回転に伴って圧縮され、図１８に示すように第２回転部材１５１に反力Ｆ２を印加する。これにより基板Ｓは本来の位置に戻る。基板Ｓの基板接触部１５２に対する衝突の衝撃は、第２弾性体１５４の圧縮によって吸収され、緩和される。
【0045】
なお、第２弾性体１５４は、基板接触部１５２に基板Ｓの重量に相当する力が印加されても変形せず、基板接触部１５２に基板Ｓの重量に相当する力を超える力が印加されると変形するように構成されていてもよい。基板クランプ１０２は上述のように開口１０４の鉛直下方（図２参照）側にも配置されるが、その場合、基板接触部１５２に基板Ｓの重量に相当する力が印加される。
【0046】
なお、基板Ｓの「重量に相当する力」は、基板Ｓの重量を、開口１０４の鉛直下方側に配置される基板クランプ１０２の数で除した力である。第２弾性体１５４を上記構成とすることにより、基板クランプ１０２に基板Ｓが静置された場合には第２回転部材１５１は回転せず、衝撃が加わった場合のみ第２回転部材１５１を回転させて衝撃を緩和させることができる。具体的には第２弾性体１５４が圧縮バネの場合、そのバネ定数の調整によって上記構成を実現することができる。
【0047】
基板クランプ１０２は以上のような構成を有する。基板クランプ１０２の材料は特に限定されないが、基板支持部１２４及び基板接触部１５２はポリイミド等の樹脂からなるものとすることができる。それ以外の各部はアルミニウム等の金属からなるものとすることができる。
【0048】
基板支持ステー１０３は、図２に示すように開口１０４を介してトレイフレーム１０１の間を接続し、基板Ｓを支持する。図１９は基板支持ステー１０３の平面図である。同図図に示すように基板支持ステー１０３は第１支持部１６１、第２支持部１６２、軸部１６３及び基板支持ピン１６４を備える。
【0049】
第１支持部１６１は、トレイフレーム１０１と軸部１６３を接続する。第１支持部１６１は基板クランプ１０２との干渉を避けるため、Ｕ字型形状を有する。第２支持部１６２は、第１支持部１６１とは反対側においてトレイフレーム１０１と軸部１６３を接続する。第２支持部１６２は第１支持部１６１と同様にＵ字型形状を有する。
【0050】
軸部１６３は、一方向（Ｚ方向）に延伸する棒状であり、第１支持部１６１と第２支持部１６２を接続する。基板支持ピン１６４は軸部１６３において所定間隔で複数が設けられ、基板Ｓの裏面に当接する。基板支持ピン１６４の先端は樹脂等からなるものとすることができる。第１支持部１６１、第２支持部１６２及び軸部１６３はアルミニウム等の金属からなるものとすることができる。
【0051】
［基板搬送トレイの効果]
基板搬送トレイ１００では上述のように、基板クランプ１０２はクランプ機構１１２と衝撃緩和機構１１３を備えるため、基板Ｓの把持と基板Ｓへの衝撃緩和を基板クランプ１０２によって実現することができる。このため、基板搬送トレイにクランプ機構と衝撃緩和機構を別々に設ける場合に比べて基板搬送トレイの小型軽量化が可能である。また、基板クランプ１０２は滑り軸受け等の摩擦係数変化を生じる構成を備えるものではなく、動作不具合リスクが小さい。
基板搬送トレイ１００では上述のように、基板クランプ１０２はクランプ機構１１２と衝撃緩和機構１１３を備えるため、基板Ｓの把持と基板Ｓへの衝撃緩和を基板クランプ１０２によって実現することができる。このため、基板搬送トレイにクランプ機構と衝撃緩和機構を別々に設ける場合に比べて基板搬送トレイの小型軽量化が可能である。また、基板クランプ１０２は滑り軸受け等の摩擦係数変化を生じる構成を備えるものではなく、動作不具合リスクが小さい。
【0052】
［基板搬送装置について]
上述した基板搬送トレイ１００を利用した基板搬送装置について説明する。図２０は基板搬送トレイ１００を備える基板搬送装置２００の模式図であり、図２１は基板搬送装置２００の一部構成の拡大図、図２２は基板搬送装置２００の模式図である。これらの図に示すように基板搬送装置２００は、基板搬送トレイ１００及び基板搬送機構２１０を備える。
上述した基板搬送トレイ１００を利用した基板搬送装置について説明する。図２０は基板搬送トレイ１００を備える基板搬送装置２００の模式図であり、図２１は基板搬送装置２００の一部構成の拡大図、図２２は基板搬送装置２００の模式図である。これらの図に示すように基板搬送装置２００は、基板搬送トレイ１００及び基板搬送機構２１０を備える。
【0053】
基板搬送機構２１０はリニアモータユニット２１１、ガイドローラ２１２、下部ガイドレール２１３及び上部ガイドレール２１４を備え、基板搬送トレイ１００を移動させる。図２１は基板搬送機構２１０のうちリニアモータユニット２１１、ガイドローラ２１２及び下部ガイドレール２１３を拡大して示す。
【0054】
リニアモータユニット２１１は基板搬送トレイ１００の搬送ラインに沿って配設され、同ラインに沿って基板搬送トレイ１００を推進させる。リニアモータユニット２１１には電磁石２１５が配置されている。図２３は、基板搬送トレイ１００の底面を示す斜視図である。同図に示すように基板搬送トレイ１００の底面には磁石２１６が配置されている。電磁石２１５と磁石２１６の間で磁力が作用することにより、基板搬送トレイ１００に推力が印加される。
【0055】
ガイドローラ２１２はリニアモータユニット２１１の前後に配置され、基板搬送トレイ１００に当接する。ガイドローラ２１２は回転することにより基板搬送トレイ１００の移動をガイドする。
【0056】
下部ガイドレール２１３は基板搬送トレイ１００の搬送ラインに沿って配設され、基板搬送トレイ１００の移動をガイドする。図２１及び図２２に示すように下部ガイドレール２１３には磁石２１７が配列されており、基板搬送トレイ１００の底部に配列された磁石２１８と磁石２１７が吸引し合う（図２２中、矢印Ｂ）ことにより基板搬送トレイ１００の重量の一部が相殺される。
【0057】
上部ガイドレール２１４は基板搬送トレイ１００の搬送ラインに沿って配設され、基板搬送トレイ１００の移動をガイドする。図２２に示すように上部ガイドレール２１４には磁石２１９が配列されており、基板搬送トレイ１００の上部に配列された磁石２２０と磁石２１９が吸引し合う（図２２中、矢印Ｃ）ことにより基板搬送トレイ１００の重量の一部が相殺される。
【0058】
基板搬送装置２００は以上のような構成を有する。基板搬送装置２００では、基板搬送トレイ１００が軽量であるため、基板搬送トレイ１００の迅速な搬送が可能である。なお、基板搬送機構２１０はリニアモータ以外の機構により基板搬送トレイ１００を推進させるものであってもよく、例えば磁気螺子を用いたものであってもよい。また、基板搬送機構２１０はガイドローラ２１２をモータによって回転させることによって基板搬送トレイ１００を推進させるものであってもよい。
【0059】
［変形例]
基板搬送トレイ１００の変形例について説明する。図２４は本発明の変形例に係る基板搬送トレイ３００の平面図である。同図に示すように基板搬送トレイ３００ではトレイフレーム１０１、基板クランプ１０２、基板支持ステー１０３及び基板クランプ３０１を備える。トレイフレーム１０１、基板クランプ１０２、基板支持ステー１０３は上述の構成を有する。基板クランプ３０１は基板クランプ１０２のうち衝撃緩和機構１１３（図９参照）を備えない構成を有する。
基板搬送トレイ１００の変形例について説明する。図２４は本発明の変形例に係る基板搬送トレイ３００の平面図である。同図に示すように基板搬送トレイ３００ではトレイフレーム１０１、基板クランプ１０２、基板支持ステー１０３及び基板クランプ３０１を備える。トレイフレーム１０１、基板クランプ１０２、基板支持ステー１０３は上述の構成を有する。基板クランプ３０１は基板クランプ１０２のうち衝撃緩和機構１１３（図９参照）を備えない構成を有する。
【0060】
図２４に示すように、開口１０４の鉛直下方（図中、下方）側には基板クランプ１０２が配置され、開口１０４の鉛直上方（図中、上方）側には基板クランプ３０１が配置されるものとすることができる。さらに、開口１０４の左右側には基板クランプ１０２と基板クランプ３０１が交互に配置されるものとすることができる。基板搬送トレイ３００の鉛直上方側には基板Ｓの重量が掛からないため衝撃緩和機構１１３を備えない基板クランプ３０１を用いることが可能である。なお、開口１０４の鉛直上方側において基板クランプ３０１と基板クランプ１０２の両方を配置してもよい。また、開口１０４の左右側では基板クランプ３０１のみを配置してもよく、基板クランプ１０２のみを配置してもよい。
【0061】
[本発明の実施形態について]
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。上述の実施形態において説明した特徴部分のうち、少なくとも２つの特徴部分を任意に組み合わせることも可能である。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。上述の実施形態において説明した特徴部分のうち、少なくとも２つの特徴部分を任意に組み合わせることも可能である。
【符号の説明】
【0062】
１００、３００…基板搬送トレイ
１０１…トレイフレーム
１０２…基板クランプ
１０３…基板支持ステー
１０４…開口
１１１…基体
１１２…クランプ機構
１１３…衝撃緩和機構
１２１…第１固定部材
１２２…第２固定部材
１２３…第３固定部材
１２４…基板支持部
１３１…第１回転部材
１３２…基板把持部
１３３…第１回転軸
１３４…第３回転軸
１３５…第４回転軸
１３６…開閉部
１３７…第１弾性体
１５１…第２回転部材
１５２…基板接触部
１５３…第２回転軸
１５４…第２弾性体
２００…基板搬送装置
２１０…基板搬送機構
３０１…基板クランプ
１０１…トレイフレーム
１０２…基板クランプ
１０３…基板支持ステー
１０４…開口
１１１…基体
１１２…クランプ機構
１１３…衝撃緩和機構
１２１…第１固定部材
１２２…第２固定部材
１２３…第３固定部材
１２４…基板支持部
１３１…第１回転部材
１３２…基板把持部
１３３…第１回転軸
１３４…第３回転軸
１３５…第４回転軸
１３６…開閉部
１３７…第１弾性体
１５１…第２回転部材
１５２…基板接触部
１５３…第２回転軸
１５４…第２弾性体
２００…基板搬送装置
２１０…基板搬送機構
３０１…基板クランプ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】