特開 2024-49369 ウエハ処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024049369

(43)【公開日】2024-04-09

(54)【発明の名称】ウエハ処理装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20240402BHJP

   H01L 21/02 20060101ALI20240402BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

H01L21/02 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2023160238

(22)【出願日】2023-09-25

(31)【優先権主張番号】63/410,687

(32)【優先日】2022-09-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(71)【出願人】

【識別番号】519237203

【氏名又は名称】エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー

(74)【代理人】

【識別番号】100108453

【弁理士】

【氏名又は名称】村山 靖彦

(74)【代理人】

【識別番号】100110364

【弁理士】

【氏名又は名称】実広 信哉

(74)【代理人】

【識別番号】100133400

【弁理士】

【氏名又は名称】阿部 達彦

(72)【発明者】

【氏名】梅岡 良行

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131AA21

5F131AA22

5F131AA23

5F131BB04

5F131BB05

5F131CA32

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA36

5F131DB03

5F131DB52

5F131DB57

5F131DB62

5F131DB76

5F131DD03

5F131DD29

5F131DD33

5F131DD46

5F131DD53

5F131DD63

5F131DD65

5F131DD73

5F131DD83

5F131DD84

5F131DD85

5F131GB03

5F131GB12

(57)【要約】      （修正有）

【課題】チャンバ間のより効率的なウエハ移動スケジューリングを可能にする装置及び方法を提供する。
【解決手段】ウエハ処理装置は、第一のロードロック１３１及び第二のロードロック１３２と、ウエハを前処理又は後処理するための、少なくとも１つの追加のチャンバ１４１、１４２と、ウエハを処理する少なくとも１つの反応チャンバ１４３～１４６と、第一のウエハハンドリングチャンバ１８１と、第二のロボット１７２が、反応チャンバとパススルーチャンバ１６１の間でウエハを移動させる第二のウエハハンドリングチャンバ１７１と、第一のウエハハンドリングチャンバと第二のウエハハンドリングチャンバの両方から、ウエハを積み重ねるパススルーチャンバと、第一のロボット及び第二のロボットによる複数のウエハの移動をスケジューリングするスケジューリングユニット１９０と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウエハ処理装置であって、
第一のロードロックおよび第二のロードロックであって、前記第一および第二のロードロックが、複数のウエハを積み重ねるように構成され、前記ウエハが、前記第一および第二のロードロックに挿入されてもよく、前記ウエハが、前記第一および第二のロードロックから除去されてもよい、第一のロードロックおよび第二のロードロックと、
前記ウエハを前処理または後処理するための、少なくとも１つの追加のチャンバと、
前記ウエハを処理するように構成された、少なくとも１つの反応チャンバと、
第一のロボットおよび第二のロボットから受け取ったウエハを積み重ねるように構成された、パススルーチャンバと、
第一のロボットを備える第一のウエハハンドリングチャンバであって、前記第一のロボットが、前記第一および第二のロードロック、前記追加のチャンバ、および前記パススルーチャンバの間でウエハを移動させるように構成される、第一のウエハハンドリングチャンバと、
第二のロボットを備える第二のウエハハンドリングチャンバであって、前記第二のロボットが、前記反応チャンバと前記パススルーチャンバの間でウエハを移動させるように構成される、第二のウエハハンドリングチャンバと、
前記第一のロボットおよび前記第二のロボットによる前記複数のウエハの移動をスケジューリングするように構成された、スケジューリングユニットとを備える、ウエハ処理装置。

【請求項2】

前記スケジューリングユニットが、プロセッサ、メモリ、およびＩＯインターフェースを備え、
前記メモリが待機キューを備える、請求項１に記載のウエハ処理装置。

【請求項3】

前記スケジューリングユニットが、前記第一のロボットおよび前記第二のロボットによる前記複数のウエハの移動を、互いに独立して、かつ非同期的にスケジューリングするように構成される、請求項１に記載のウエハ処理装置。

【請求項4】

前記パススルーチャンバが、ウエハを積み重ねるための、少なくとも１つの上部チャンバ、および少なくとも１つの下部チャンバをさらに備える、請求項１に記載のウエハ処理装置。

【請求項5】

前記上部チャンバが、前記追加のチャンバからウエハを受け取り、前記ウエハを前記反応チャンバに送るように構成され、および
前記下部チャンバが、前記反応チャンバからウエハを受け取り、前記ウエハを前記第一または第二のロードロックに送るように構成される、請求項４に記載のウエハ処理装置。

【請求項6】

ウエハ処理装置のスケジューリングユニット内で、ウエハの移動をスケジューリングする方法であって、前記方法が、
計算された作動時間に基づいてウエハ移動時間データを調製することであって、前記ウエハ移動時間データが、ウエハが前記チャンバおよびロードロックの間を移動するのに要する時間である、調製することと、
前記ウエハ移動時間コンピュータデータを、前記スケジューリングユニットのメモリ内の待機キューに保存することであって、前記待機キューが第二のウエハ移動時間データを保存する、保存することと、
前記保存されたウエハ移動時間データ、および前記待機キュー内の前記第二のウエハ移動時間データの間に、任意の時間重複があるかどうかを判定することと、
重複が存在する場合、現在のタイムスタンプに従って、前記保存されたウエハ移動時間データを更新して、重複がなくなるまで判定を繰り返すことと、
重複が存在しない場合、前記待機キューに保存された前記ウエハ移動時間データを実行することと、
前記調製された時間データと前記実際の所要時間との間の差を計算し、前記キューに残存する前記ウエハ移動時間データに、前記時間差を反映することと、
前記待機キューから移動時間データを削除することとを含む、方法。

【請求項7】

前記計算が、
前記調製された時間データと前記実際の所要時間の平均時間との間の前記差を計算し、前記キューに残存する前記ウエハ移動時間データに、前記時間差を反映することを含む、請求項６に記載の方法。

【請求項8】

ウエハの移動に使用されるチャンバが現在使用中であるかを判定することと、
使用される前記チャンバが現在使用中でない場合に、プレチャンバプロセスの前記開始時間を設定することと、および
プレチャンバプロセスを実行することとを含む、請求項６～７のいずれか一項に記載の方法。

【請求項9】

コンピュータシステムのプロセッサによって実行可能な命令のセットをその上に保存して、請求項６～７のいずれか一項に記載の方法を実施する、非一時的、コンピュータ可読、および有形の媒体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ウエハを処理するための装置および方法、特に、チャンバ間のより効率的なウエハ移動スケジューリングを可能にする、装置および方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ウエハ処理装置内のウエハに関して、ウエハを適切なタイミングで正確に反応チャンバに挿入することが、不可欠である場合がある。また、ウエハが処理完了後直ちに反応チャンバから排出されることが、重要である場合がある。

【0003】

したがって、ウエハ処理装置内のＥＰＩチャンバへの、およびそこからの、ウエハの挿入および排出のタイミングは、処理後のウエハの品質にとって、重要な問題でありうる。

【0004】

さらに、チャンバにおける、あらゆる種類のボトルネック効果は、生産性の低下をもたらす。したがって、チャンバ間のウエハの移動を容易にする、装置および方法が、必要とされうる。

【0005】

また、ＥＰＩ製品の処理時間は長いため、効果的な移送方法が必要となる。

【0006】

このセクションに記載の、問題および解決策の考察を含むいずれの考察も、本開示の背景を提供する目的でのみこの開示に含まれており、考察のいずれかまたは全てが、本発明がなされた時点において既知であったこと、またはそれらが他に先行技術を構成することを、認めるものと、考えられるべきではない。

【発明の概要】

【0007】

この「発明の概要」は、選択された複数の概念を簡略化した形態で紹介するために、提供されている。これらの概念は、下記の開示の例示の実施形態の「発明を実施するための形態」において、さらに詳細に記述される。この「発明の概要」は、特許請求される主題の主要な特徴、または本質的な特徴を特定することを意図せず、特許請求される主題の範囲を限定するために使用されることも意図しない。

【0008】

一実施形態に従い、ウエハ処理装置であって、第一のロードロックおよび第二のロードロックであって、第一および第二のロードロックが、複数のウエハを積み重ねるように構成され、ウエハが、第一および第二のロードロックに挿入されてもよく、ウエハが、第一および第二のロードロックから除去されてもよい、第一のロードロックおよび第二のロードロックと、ウエハを前処理または後処理するための、少なくとも１つの追加のチャンバと、ウエハを処理するように構成された、少なくとも１つの反応チャンバと、第一のロボットおよび第二のロボットから受け取ったウエハを積み重ねるように構成された、パススルーチャンバと、第一のロボットを備える第一のウエハハンドリングチャンバであって、第一のロボットが、第一および第二のロードロック、追加のチャンバ、およびパススルーチャンバの間でウエハを移動させるように構成される、第一のウエハハンドリングチャンバと、第二のロボットを備える第二のウエハハンドリングチャンバであって、第二のロボットが、反応チャンバとパススルーチャンバの間でウエハを移動させるように構成される、第二のウエハハンドリングチャンバと、第一のロボットおよび第二のロボットによる複数のウエハの移動をスケジューリングするように構成された、スケジューリングユニットとを備える、ウエハ処理装置が提供される。

【0009】

少なくとも１つの態様では、スケジューリングユニットは、第一のロボットと第二のロボットによる複数のウエハの移動を、互いに独立して、かつ非同期的にスケジューリングするように、構成される。

【0010】

少なくとも１つの態様では、スケジューリングユニットは、プロセッサ、メモリ、およびＩＯインターフェースを備え、メモリは待機キューを備える。

【0011】

少なくとも１つの態様では、パススルーチャンバは、ウエハを積み重ねるための、少なくとも１つの上部チャンバ、および少なくとも１つの下部チャンバを、さらに備える。

【0012】

少なくとも１つの態様では、上部チャンバは、追加のチャンバからウエハを受け取り、ウエハを反応チャンバに送るように構成され、下部チャンバは、反応チャンバからウエハ受け取り、ウエハを第一または第二のロードロックに送るように、構成される。

【0013】

別の実施形態によると、ウエハ処理装置のスケジューリングユニット内で、ウエハの移動をスケジューリングする方法が提供されており、方法は、計算された作動時間に基づいてウエハ移動時間データを調製することであって、ウエハ移動時間データが、ウエハがチャンバおよびロードロックの間を移動するのに要する時間である、調製することと、ウエハ移動時間コンピュータデータを、スケジューリングユニットのメモリ内の待機キューに保存することであって、待機キューが第二のウエハ移動時間データを保存する、保存することと、保存されたウエハ移動時間データ、および待機キュー内の第二のウエハ移動時間データの間に、任意の時間重複があるかを判定することと、重複が存在する場合、現在のタイムスタンプに従って、保存されたウエハ移動時間データを更新して、重複がなくなるまで判定を繰り返すことと、重複が存在しない場合、待機キューに保存されたウエハ移動時間データを実行することと、調製された時間データと実際の所要時間との間の差を計算し、キューに残存するウエハ移動時間データに、時間差を反映することと、待機キューから移動時間データを削除することとを含む。

【0014】

少なくとも１つの態様では、計算は、準備した時間データと実際の所要時間の平均時間との間の差を計算し、キューに残存するウエハ移動時間データに、その時間差を反映することである。

【0015】

少なくとも１つの態様では、方法は、実行する前に、ウエハの移動に使用されるチャンバが現在使用中であるかを判定することと、使用されるチャンバが現在使用中でない場合に、プレチャンバプロセスの開始時間を設定することと、およびプレチャンバプロセスを実行することとを、さらに含む。

【0016】

別の実施形態によれば、非一時的、コンピュータ可読、および有形媒体は、それ上に、上述の方法を実施するコンピュータシステムのプロセッサによって実行可能な命令のセットが保存される。

【図面の簡単な説明】

【0017】

当然のことながら、図内の要素は単純化および明瞭化のために例示されており、必ずしも原寸に比例して描かれていない。例えば、図内の要素のうちの一部の寸法は、本開示の例示された実施形態の理解の向上を助けるために、他の要素に対して、誇張されている場合がある。

【0018】

【図1】図１は、本開示の実施形態による、システムレイアウト全体を図示する。

【図2】図２は、本開示の実施形態による、スケジューリングユニットのダイアグラムを図示する。

【図3】図３は、本開示の実施形態による、ウエハスケジューリング方法のフローチャートダイアグラムを図示する。

【図4】図４はまた、本開示の実施形態による、プレチャンバ処理方法のフローチャートダイアグラムを図示する。

【図5】図５は、本開示の実施形態による、チャンバおよびロボット間の、概略的なウエハ移動の例を図示する。

【図6】図６は、本開示の実施形態による、ウエハ移動時間データを更新する例を図示する。

【図7】図７は、待機キュー内の時間データが実行される（ウエハが移動している）際に、時間データと実際の所要時間との間の差が計算され、補正のために他のウエハ移動時間データに反映される例を示す。

【発明を実施するための形態】

【0019】

ある特定の実施形態、および実施例を以下に開示するが、本発明の具体的に開示された実施形態、および／または本発明の使用、ならびにその明白な修正および均等物を超えて、本発明が拡張されることは、当業者によって理解されるであろう。それ故に、開示された本発明の範囲は、後述する特定の開示された実施形態によって限定されるべきではないことが、意図される。

【0020】

本明細書で使用される場合、「基材」という用語は、修飾されてもよい、または装置、回路、もしくは薄膜がその上に形成されてもよい、任意の下地材料（複数可）を含む、任意の下地材料（複数可）を指す場合がある。「基材」は、連続的または非連続的、剛直または可撓性、固体または多孔質、およびそれらの組み合わせであってもよい。基材は、粉末、プレート、またはワークピースなどの、任意の形態であってもよい。プレートの形態の基材は、様々な形状、およびサイズのウエハを含んでもよい。基材は、例えば、ケイ素、シリコンゲルマニウム、酸化ケイ素、ヒ化ガリウム、窒化ガリウム、および炭化ケイ素を含む、半導体材料から作製されてもよい。

【0021】

例として、粉末の形態の基材は、医薬品製造のための用途を有する場合がある。多孔質基材は、ポリマーを含んでもよい。ワークピースの例としては、医療機器（例えば、ステントおよびシリンジ）、宝石類、ツーリング装置、電池製造のための構成要素（例えば、アノード、カソード、もしくはセパレータ）、または光起電力電池の構成要素などが、挙げられてもよい。

【0022】

連続基材は、堆積プロセスが生じるプロセスチャンバの境界を越えて、延在してもよい。一部のプロセスでは、連続基材は、プロセスチャンバを通して移動してもよく、これによりプロセスは基材の端部に達するまで継続される。連続基材は、任意の適切な形態で、連続基材の製造および出力を可能にするために、連続基材供給システムから供給されてもよい。

【0023】

連続基材の非限定的な例としては、シート、不織布薄膜、ロール、箔、ウェブ、可撓性材料、連続フィラメントまたは繊維（例えば、セラミック繊維もしくはポリマー繊維）の束が、挙げられてもよい。連続基材はまた、非連続基材がその上へと取り付けられる、担体、またはシートを備えてもよい。

【0024】

本明細書に提示された例示は、任意の特定の材料、構造、または装置の実際の外観であることを意味せず、本開示の実施形態を記述するために使用される、単に理想化された表現にすぎない。

【0025】

示された、かつ記述された特定の実装は、本発明のおよび最良の形態の例示であり、態様および実装の範囲を、いかなる方法でも、他に限定することを、意図していない。実際に、簡潔のために、従来の製造、接続、調製、およびシステムの他の機能的態様を詳細に記述していない場合がある。さらに、様々な図に示された接続線は、様々な要素間の、例示的な機能的関係、および／または物理的連結を表すことが、意図されている。多くの代替的もしくは追加的な機能的関係、または物理的接続が、実際のシステムにおいて存在してもよく、および／または一部の実施形態では存在しなくてもよい。

【0026】

数多くの変形が可能であるため、本明細書に記載の構成、および／または手法は本質的に例示的であること、ならびにこれらの特定の実施形態または実施例は、限定的な意味で考慮されるべきではないことが、理解されるべきである。本明細書に記載の特定のルーチンまたは方法は、任意の数の処理方策のうちの１つ以上を、代表する場合がある。それ故に、例示された様々な動作は、例示される順序で実施されてもよく、他の順序で実施されてもよく、または一部の事例では省略されてもよい。

【0027】

本開示の主題は、本明細書に開示の様々なプロセス、システム、および構成、ならびに他の特徴、機能、動作、および／または特性の、全ての新規かつ自明でない組み合わせおよび部分的組み合わせだけでなく、そのありとあらゆる均等物も含む。

【0028】

図１では、ウエハ処理装置を示す。

【0029】

第一のウエハハンドリングチャンバ１８１は、第一のロボット１８２を備えてもよい。第一のロボット１８２は、複数のロードロック１３１、１３２、複数の追加のチャンバ１４１、１４２、およびパススルーチャンバ１６１の間でウエハを移動させうる。

【0030】

第一のロードロック１３１、および第二のロードロック１３２は、第一のウエハハンドリングチャンバ１８１の横に配置されてもよい。第一の／第二のロードロック１３１、１３２は、ウエハを積み重ねて保持することができ、これは、第一の／第二のロードロック１３１、１３２に積み重ねられたウエハが、互いに接触しない場合があることを意味する。

【0031】

追加のチャンバ１４１、１４２は、第一のウエハハンドリングチャンバ１８１に接続されて位置してもよい。追加のチャンバ１４１、１４２は、反応チャンバ１４３、１４４、１４５、１４６に入る前に、ウエハを保持および前処理するために、使用されうる。追加のチャンバは、反応チャンバ内の処理後にウエハを保持するためにも使用されうる（後処理の目的）。

【0032】

前処理および後処理には、ウエハの洗浄、および／または冷却が含まれうる。

【0033】

追加チャンバ１４１、１４２の数は、１～８とすることができ、２つの追加チャンバのみが、図１に示される。パススルーチャンバ（ＰＴＣ）１６１は、第一のウエハハンドリングチャンバ１８１に接続されてもよい。

【0034】

ＰＴＣ１６１は、上部チャンバ１６２、および下部チャンバ１６３を含んでもよい。それは、少なくとも１つの上部チャンバ１６２、および少なくとも１つの下部チャンバ１６３である。説明を容易にするために、４つの上部チャンバ、および２つの下部チャンバを、図１に示す。

【0035】

上部チャンバ１６２は、第一／第二のロードロック１３１、１３２から、ウエハを保持してもよい。また、上部チャンバ１６２からのウエハは、反応チャンバ１４３、１４４、１４５、１４６に入ることができる。下部チャンバ１６３は、ウエハ処理後に、反応チャンバ１４３、１４４、１４５、１４６からのウエハを保持してもよく、下部チャンバ１６３からのウエハは、第一または第二のロードロック１３１、１３２に入ることができる。

【0036】

ウエハは、反応チャンバ１４３、１４４、１４５、１４６に挿入されるまで、上部チャンバ１６２で待機しうる。処理後、ウエハは、反応チャンバ１４３、１４４、１４５、１４６から排出され、下部チャンバ１６３に留まり、反応チャンバ１４３、１４４、１４５、１４６における反応からの熱を冷却することができる。

【0037】

第二のウエハハンドリングチャンバ１７１は、第二のロボット１７２を含む。第二のロボット１７２は、反応チャンバ１４３、１４４、１４５、１４６、およびパススルーチャンバ１６１の間で、ウエハを移動することができる。

【0038】

ウエハは、反応チャンバ１４３、１４４、１４５、１４６で処理されてもよい。処理工程で反応が行われるため、反応チャンバ１４３、１４４、１４５、１４６から排出された際、ウエハは高温になり得、高温のウエハは、下部チャンバ１６３で冷却され得る。

【0039】

スケジューリングユニット１９０は、第一のウエハハンドリングチャンバ１８１、第一のロボット１８２、第二のウエハハンドリングチャンバ１７１、および第二のロボット１７２に、接続されてもよい。スケジューリングユニット１９０は、ウエハの移動をスケジューリングする。

【0040】

図２は、スケジューリングユニット１９０を図示する。スケジューリングユニット１９０は、ウエハの移動時間を計算するように構成されたプロセッサ１９１、第一のロボット１８２および第二のロボット１７２によって、ロードロックおよびチャンバ間のウエハの移動時間を保存するように構成された、二つの待機キュー１９４および１９５を備えるメモリ１９２、ならびに信号を受信および送信するよう構成された、ＩＯインターフェースを備え得る。

【0041】

本開示の装置は、２つのウエハハンドリングチャンバ（ＷＨＣ）、すなわち、２つのロボット（第一１８２、および第二１７２）を有する。第一および第二のロボットの移動は、本開示では、独立してスケジューリングされている。

【0042】

ウエハが、第一または第二のロードロック１３１、１３２にある場合、これは第一のロボットのスケジューリングの開始時間である。各モジュール（ロードロック、チャンバ、ロボットなど）の実際の作動時間（処理時間、および移動時間）を、スケジューリングに使用してもよい。

【0043】

各モジュールの作動時間は、信号化され、および記録されてもよく、それらは、各モジュールのウエハ移動の平均作動時間を計算するために、使用されてもよい。

【0044】

第一のロボット１８２、すなわち第一のＷＨＣ１８１、および第二のロボット１７２、すなわち第二のＷＨＣ１７１は、それぞれ独立したスケジューリングを有し、各スケジューリングスキームを第一の待機キュー１９４、および第二の待機キュー１９５に、それぞれ挿入することができる。しかしながら、第一のＷＨＣ１８１の、および第二のＷＨＣ１７１の、スケジューリング時間データは、１つの共通の待機キューに保存されうる。

【0045】

本開示のスケジューリング方法を、図３に図示する。

【0046】

以前に記録された作動時間に基づいて、スケジューリングユニット１９０は、ウエハが第一のロボットによって（追加のチャンバ、ロードロック、およびＰＴＣの間で）輸送される時間を計算し、ウエハ移動時間データ（３１０）として、ウエハ輸送時間を調製しうる。第一のＷＨＣ１８１の、すなわち第一のロボット１８２の、スケジューリングは、ウエハが第一／第二のロードロックにある時に、開始される。また、調製されたウエハ移動時間データは、第一の待機キュー１９４（３２０）に入力されうる。

【0047】

第二のＷＨＣ１７１については、すなわち第二のロボット１７２のスケジューリングは、ウエハがＰＴＣ１６１に存在するときに開始されてもよく、スケジューリングユニット１９０は、第二のロボットによって（反応チャンバおよびＰＴＣの間で）ウエハが輸送される時間を計算し、これをウエハ移動時間データ（３１０）として調製してもよい。そして、これらの調製されたウエハ移動時間データは、第二の待機キュー１９５（３２０）に保存されうる。

【0048】

待機キュー（第一１９４、または第二１９５）には、以前に保存された別の時間データが存在しうる。新しく保存された時間データは、既存の時間データ（３３０）と比較され、任意の時間競合（時間重複）が存在するかどうかをチェックする。

【0049】

競合（時間重複）がない場合、新しく保存された時間データは、変化せずキュー内に残存し、ウエハ処理に使用される（３４０）。

【0050】

競合（時間重複）がある場合、新しく保存されたウエハ移動時間データは、現在の時間（おそらくは、場所における局所的時間）に基づいて更新され、比較が再び再開される（３４５）。

【0051】

ウエハ移動時間データの更新方法を、図６に図示する。

【0052】

新しく調製された時間データが「ＲＭ５→ＰＴＣ １５：００：００→１５：００：０２」である場合（ウエハが、第二のロボットによって反応チャンバ５からＰＴＣへ輸送される、すなわち、第二のＷＨＣが１５：００：００に開始され、１５：００：００：０２に終了することを意味する）、ウエハの輸送には２秒かかる。しかしながら、既存の時間データは、「ＲＭ６→ＰＴＣ １４：５９：５９→１５：００：０１」である（繰り返しになるが、ウエハが、第二のロボットによって反応チャンバ６からＰＴＣへ輸送される、すなわち、第二のＷＨＣが１４：５９：５９に開始され、１５：００：０１に終了することを意味する）。

【0053】

この場合、輸送は第二のロボットによって実行されるが、そのため、ＲＭ５とＲＭ６のタイミングは競合する。この競合により、新しく調製して保存した時間データを、現在のタイムスタンプで更新し、開始時間として使用する。すなわち、「ＲＭ５→ＰＴＣ｜｜１５：００：００→１５：００：０２」が、「ＲＭ５→ＰＴＣ｜｜１５：００：０２→１５：００：０４」に更新される（現在の時刻を１５：００：０２と仮定）。

【0054】

更新は、競合が発生しなくなるまで繰り返される（３４５）。

【0055】

待機キューの時間データが実行される（ウエハが移動している）と、時間データと実際の所要時間との間の差が計算され、補正のために、他のウエハ移動時間データに反映される（３５０）。図７は、この状況の例を図示する。

【0056】

図７（ａ）の、ＲＭ５からＰＴＣへの時間データは、１５：００：０４、および１５：０２：００から開始する２秒である。しかしながら、１５：００：０４での、実際の所要時間は、２秒ではなく３秒である。したがって、この実際の時間差を計算し、残りのキューの移動時間データに反映する。

【0057】

別の方法でデータを反映することが、可能である。例えば、実際の所要時間の平均を使用できる。累積データを使用して平均時間を導き出すことができ、このデータを使用して、そのモジュールに対する、残りのキューの移動時間データを更新することができる。これが使用される場合、図７（ｂ）のデータの変化は、３秒以外の何らかの異なる値でありうる。

【0058】

最後に、ウエハが処理されると、待機キューに保存された時間データが削除される（３６０）。

【0059】

本開示のスケジューリング方法は、滞在時間、およびチャンバ間の移動（移送）時間の情報、ならびに以前の所要時間を反映することによって移送スケジュールを更新することを使用するため、予測的スケジューリング方法とみなされる。

【0060】

ウエハ処理装置がウエハを処理し始める際、最初は、装置の反応チャンバが完全には準備されないため、最初の処理済みウエハの品質は、後の処理済みウエハの品質と比較して、それほど良好ではない場合がある。

【0061】

したがって、チャンバに実際のウエハを挿入する前に、チャンバの状態を準備する、「プレチャンバプロセス」が必要である。

【0062】

この「プレチャンバプロセス」では、サセプターおよびゲート弁は、チャンバ内のウエハなしに、チャンバへのウエハ輸送の通常の処理と同じ方法で操作されうる。しかしながら、ロボットの動作（ウエハの移動）は、プレチャンバプロセスと関連付けられていない。

【0063】

図４は、プレチャンバプロセスのフローチャートを図示する。

【0064】

第一に、処理されるチャンバについては、それが現在使用中であるかどうか判定しうる（４１０）。チャンバが使用中でない場合、プレチャンバプロセスの開始時間を設定する（４２０）。

【0065】

その後、実際のウエハの挿入の準備が完了するまで、プレチャンバプロセスが複数回実行される可能性がある（４３０）。

【0066】

１つのチャンバについて、ウエハ挿入前に、１回または２回プレチャンバプロセスを実行することが好ましい。このプレチャンバプロセスは、ウエハ移動時間データ（３１０）を調製する前に実行されうる。

【0067】

図５は、本開示によるウエハ移動を図示する。

【0068】

エリアＡでは、第一のロードロックのウエハは、（第一のロボットにより）ＰＭ３に移動し、ＰＴＣの別のウエハは、（第二のロボットにより）ＰＭ５に移動する。また、エリアＢでは、ウエハは、ＰＭ７からＰＴＣへ（第二のロボットによって）降ろされ、ＰＭ３内の別のウエハは、（第一のロボットによって）ＰＴＶに移動する。

【0069】

図５のＡおよびＢは、本開示の装置およびスケジューリング方法は、第一のロボットおよび第二のロボットによって、ウエハを移動させることができ、その移動が、互いに独立して、非同期的であることを示す。

【0070】

上述の装置の配置は、本発明の原理の適用の単なる例示であり、また特許請求の範囲において定義されるように、本発明の趣旨および範囲から逸脱することなく、数多くの他の実施形態、および修正がなされてもよい。したがって、本発明の範囲は、上記の説明を参照して決定されるべきではなく、その代わりに、その均等物の全範囲とともに添付の特許請求の範囲を参照して決定されるべきである。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【外国語明細書】