ホーム > 特許ランキング > ボンドテック株式会社
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024053360
(43)【公開日】2024-04-15
(54)【発明の名称】アライメント装置およびアライメント方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/68 20060101AFI20240408BHJP
H01L 21/603 20060101ALI20240408BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 K
H01L21/603 C
【審査請求】有
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022159574
(22)【出願日】2022-10-03
(71)【出願人】
【識別番号】304019355
【氏名又は名称】ボンドテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100095407
【弁理士】
【氏名又は名称】木村 満
(74)【代理人】
【識別番号】100132883
【弁理士】
【氏名又は名称】森川 泰司
(74)【代理人】
【識別番号】100174388
【弁理士】
【氏名又は名称】龍竹 史朗
(74)【代理人】
【識別番号】100165489
【弁理士】
【氏名又は名称】榊原 靖
(72)【発明者】
【氏名】山内 朗
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA02
5F131BA41
5F131BA51
5F131BA60
5F131CA18
5F131DA22
5F131EA02
5F131EA14
5F131EA22
5F131EA23
5F131EA24
5F131KA03
5F131KA12
5F131KA13
5F131KA16
5F131KA54
5F131KB12
5F131KB58
(57)【要約】
【課題】対象物同士を高い位置精度で位置合わせすることができるアライメント装置およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】接合装置１は、ステージ４０１と、ヘッド４０２と、ステージ４０１をヘッド４０２に対して水平方向に移動自在に支持する支持部材４０３９と、ステージ４０１を一方向へ付勢するエアシリンダ４０３４と、ステージ４０１の一方向における位置を調整するリニアアクチュエータ４０３１と、テーブル部材４０５の周囲に配置されテーブル部材４０５との間の距離を計測する距離測定部５２１、５２４と、基板Ｗ１、Ｗ２の位置決めが暫定的に完了した後、位置決めの暫定的な完了時における距離が一定で維持されるようにリニアアクチュエータ４０３１を制御する制御部９と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】接合装置１は、ステージ４０１と、ヘッド４０２と、ステージ４０１をヘッド４０２に対して水平方向に移動自在に支持する支持部材４０３９と、ステージ４０１を一方向へ付勢するエアシリンダ４０３４と、ステージ４０１の一方向における位置を調整するリニアアクチュエータ４０３１と、テーブル部材４０５の周囲に配置されテーブル部材４０５との間の距離を計測する距離測定部５２１、５２４と、基板Ｗ１、Ｗ２の位置決めが暫定的に完了した後、位置決めの暫定的な完了時における距離が一定で維持されるようにリニアアクチュエータ４０３１を制御する制御部９と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント装置であって、
前記第１対象物を保持する第１対象物保持部と、
前記第２対象物を保持する第２対象物保持部と、
前記第１対象物保持部を前記第２対象物保持部に対して水平方向に移動自在に支持する支持部材と、
前記第１対象物保持部を第１方向へ付勢する少なくとも１つの付勢部と、
前記第１対象物保持部の前記第１方向における位置を調整するリニアアクチュエータと、
前記第１対象物保持部の周囲に配置され前記第１対象物保持部との間の距離を計測する距離測定部と、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記リニアアクチュエータを制御する制御部と、を備える、
アライメント装置。
前記第１対象物を保持する第１対象物保持部と、
前記第２対象物を保持する第２対象物保持部と、
前記第１対象物保持部を前記第２対象物保持部に対して水平方向に移動自在に支持する支持部材と、
前記第１対象物保持部を第１方向へ付勢する少なくとも１つの付勢部と、
前記第１対象物保持部の前記第１方向における位置を調整するリニアアクチュエータと、
前記第１対象物保持部の周囲に配置され前記第１対象物保持部との間の距離を計測する距離測定部と、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記リニアアクチュエータを制御する制御部と、を備える、
アライメント装置。
【請求項2】
前記距離測定部は、前記リニアアクチュエータ毎に１つずつ設けられている、
請求項１に記載のアライメント装置。
請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項3】
前記付勢部と、前記付勢部と前記第１対象物保持部を介して対向するように配置された前記リニアアクチュエータと、からなる組を３組備え、
前記３組のうちの２組の前記付勢部と前記リニアアクチュエータとの対向方向は同一であり、他の１組の前記付勢部と前記リニアアクチュエータとの対向方向と前記２組との前記付勢部と前記リニアアクチュエータとの対向方向とは互いに交差している、
請求項１または２に記載のアライメント装置。
前記３組のうちの２組の前記付勢部と前記リニアアクチュエータとの対向方向は同一であり、他の１組の前記付勢部と前記リニアアクチュエータとの対向方向と前記２組との前記付勢部と前記リニアアクチュエータとの対向方向とは互いに交差している、
請求項１または２に記載のアライメント装置。
【請求項4】
前記第１対象物は、第１アライメントマークを有し、
前記第２対象物は、第２アライメントマークを有し、
前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとを撮像する撮像部を更に備え、
前記制御部は、前記位置決めの完了時において前記撮像部により撮像された前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像とに基づいて、前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置を決定する、
請求項１または２に記載のアライメント装置。
前記第２対象物は、第２アライメントマークを有し、
前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとを撮像する撮像部を更に備え、
前記制御部は、前記位置決めの完了時において前記撮像部により撮像された前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像とに基づいて、前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置を決定する、
請求項１または２に記載のアライメント装置。
【請求項5】
前記第１対象物は、第１アライメントマークを有し、
前記第２対象物は、第２アライメントマークを有し、
前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとを撮像する撮像部を更に備え、
前記リニアアクチュエータは、前記リニアアクチュエータによる前記第１対象物保持部の位置調整量を検出するリニアエンコーダを有し、
前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量に基づいて、前記第１対象物保持部の補正移動量を算出し、算出した前記補正移動量だけ前記第１対象物保持部を移動させるように、前記リニアアクチュエータを前記リニアエンコーダにより検出される前記位置調整量に基づいて制御する第１工程を実行した後、前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量が予め設定された位置ずれ量閾値以下となり前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した場合、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記リニアアクチュエータを制御する第２工程を実行する、
請求項１または２に記載のアライメント装置。
前記第２対象物は、第２アライメントマークを有し、
前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとを撮像する撮像部を更に備え、
前記リニアアクチュエータは、前記リニアアクチュエータによる前記第１対象物保持部の位置調整量を検出するリニアエンコーダを有し、
前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量に基づいて、前記第１対象物保持部の補正移動量を算出し、算出した前記補正移動量だけ前記第１対象物保持部を移動させるように、前記リニアアクチュエータを前記リニアエンコーダにより検出される前記位置調整量に基づいて制御する第１工程を実行した後、前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量が予め設定された位置ずれ量閾値以下となり前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した場合、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記リニアアクチュエータを制御する第２工程を実行する、
請求項１または２に記載のアライメント装置。
【請求項6】
前記第１工程および前記第２工程を実行した後において、前記撮像部により前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像とを撮像し、撮像された前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量を算出し、算出した前記位置ずれ量が前記位置ずれ量閾値を超えると、再び、前記第１工程および前記第２工程を実行する、
請求項５に記載のアライメント装置。
請求項５に記載のアライメント装置。
【請求項7】
前記リニアアクチュエータは、
前記第１対象物保持部へ押圧力を伝達するための第１伝達部材と、
前記伝達部材の一部に螺合する送り螺子と、
前記第１伝達部材を前記第１方向または前記第１方向とは反対方向の第２方向へ駆動する伝達部材駆動部と、
前記第１伝達部材に設けられ、前記第１方向および前記第２方向に沿った方向における長さを伸縮させる第１ピエゾアクチュエータと、を更に有し、
前記リニアエンコーダは、前記第１伝達部材の移動量を検出し、
前記付勢部は、
前記第１対象物保持部へ押圧力を伝達するための第２伝達部材と、
前記第２伝達部材に設けられ、前記第１方向および前記第２方向に沿った方向における長さを伸縮させる第２ピエゾアクチュエータと、を有し、
前記制御部は、前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した場合、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記第１ピエゾアクチュエータおよび前記第２ピエゾアクチュエータが連動して伸縮するように制御する、
請求項６に記載のアライメント装置。
前記第１対象物保持部へ押圧力を伝達するための第１伝達部材と、
前記伝達部材の一部に螺合する送り螺子と、
前記第１伝達部材を前記第１方向または前記第１方向とは反対方向の第２方向へ駆動する伝達部材駆動部と、
前記第１伝達部材に設けられ、前記第１方向および前記第２方向に沿った方向における長さを伸縮させる第１ピエゾアクチュエータと、を更に有し、
前記リニアエンコーダは、前記第１伝達部材の移動量を検出し、
前記付勢部は、
前記第１対象物保持部へ押圧力を伝達するための第２伝達部材と、
前記第２伝達部材に設けられ、前記第１方向および前記第２方向に沿った方向における長さを伸縮させる第２ピエゾアクチュエータと、を有し、
前記制御部は、前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した場合、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記第１ピエゾアクチュエータおよび前記第２ピエゾアクチュエータが連動して伸縮するように制御する、
請求項６に記載のアライメント装置。
【請求項8】
前記距離測定部は、レーザ変位センサを有する、
請求項１または２に記載のアライメント装置。
請求項１または２に記載のアライメント装置。
【請求項9】
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント方法であって、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めを行うステップと、
前記位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物を保持する第１対象物保持部の周囲に配置された距離測定部により、前記距離測定部と、前記位置決めの暫定的な完了時における前記第１対象物保持部と、の間の距離を計測するステップと、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが完了した後、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記第１対象物保持部を移動させるステップと、を含む、
アライメント方法。
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めを行うステップと、
前記位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物を保持する第１対象物保持部の周囲に配置された距離測定部により、前記距離測定部と、前記位置決めの暫定的な完了時における前記第１対象物保持部と、の間の距離を計測するステップと、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが完了した後、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記第１対象物保持部を移動させるステップと、を含む、
アライメント方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、アライメント装置およびアライメント方法に関する。
【背景技術】
【0002】
互いに接合する２つの被接合物同士の位置合わせを行うアライメント装置であって、被接合物を保持するステージおよびヘッドと、ステージを支持するテーブル部材と、テーブル部材を摺動可能に支持する複数の支持部材と、ステージとステージを挟持する複数の押圧力付与部と弾性支持部との組それぞれの接触位置を、各組に対応する挟持方向において変更することによって、ステージを水平平面に平行な方向に移動する押圧力付与部と、を備えるアライメント装置が提案されている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１１－１１９２９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、特許文献１に記載されたアライメント装置では、テーブル部材を支持する支持部材とテーブル部材との間での摺動抵抗、付勢部のシリンダ部分の摺動抵抗等に起因して、ステージが微小な距離だけ動かそうとする駆動力が加わっても動かない場合がある。この場合、テーブル部材が撓んだり、押圧力付与部および弾性支持部に設けられたベアリングの支持部材が撓んだり或いはベアリングの球状の転動体が潰れて楕円体状に変形したりしてしまう。そうすると、駆動力が加わった後時間が経過すると、テーブル部材、ベアリングが撓んだ状態或いは変形した状態から復元することに起因して、テーブル部材が更に移動してしまい位置ずれの原因となる虞がある。
【0005】
本発明は、上記事由に鑑みてなされたものであり、対象物同士を高い位置精度で位置合わせすることができるアライメント装置およびアライメント方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するため、本発明に係るアライメント装置は、
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント装置であって、
前記第１対象物を保持する第１対象物保持部と、
前記第２対象物を保持する第２対象物保持部と、
前記第１対象物保持部を前記第２対象物保持部に対して水平方向に移動自在に支持する支持部材と、
前記第１対象物保持部を第１方向へ付勢する少なくとも１つの付勢部と、
前記第１対象物保持部の前記第１方向における位置を調整するリニアアクチュエータと、
前記第１対象物保持部の周囲に配置され前記第１対象物保持部との間の距離を計測する距離測定部と、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記リニアアクチュエータを制御する制御部と、を備える。
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント装置であって、
前記第１対象物を保持する第１対象物保持部と、
前記第２対象物を保持する第２対象物保持部と、
前記第１対象物保持部を前記第２対象物保持部に対して水平方向に移動自在に支持する支持部材と、
前記第１対象物保持部を第１方向へ付勢する少なくとも１つの付勢部と、
前記第１対象物保持部の前記第１方向における位置を調整するリニアアクチュエータと、
前記第１対象物保持部の周囲に配置され前記第１対象物保持部との間の距離を計測する距離測定部と、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記リニアアクチュエータを制御する制御部と、を備える。
【0007】
他の観点から見た本発明に係るアライメント方法は、
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント方法であって、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めを行うステップと、
前記位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物を保持する第１対象物保持部の周囲に配置された距離測定部により、前記距離測定部と、前記位置決めの暫定的な完了時における前記第１対象物保持部と、の間の距離を計測するステップと、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが完了した後、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記第１対象物保持部を移動させるステップと、を含む。
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント方法であって、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めを行うステップと、
前記位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物を保持する第１対象物保持部の周囲に配置された距離測定部により、前記距離測定部と、前記位置決めの暫定的な完了時における前記第１対象物保持部と、の間の距離を計測するステップと、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが完了した後、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記第１対象物保持部を移動させるステップと、を含む。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、制御部が、第１対象物の第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、位置決めの完了時における距離測定部により計測された距離測定部と第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるようにリニアアクチュエータを制御する。これにより、第１対象物の第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、第１対象物保持部の歪み、付勢部の摺動抵抗等に起因して、第１対象物が第２対象物に対して更に移動しても、第１対象物を第２対象物に対して高い位置精度でアライメントできる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】本発明の実施の形態に係る接合装置の概略構成図である。
【図2】実施の形態に係るステージおよびヘッド付近を示す概略斜視図である。
【図3】実施の形態に係るステージおよびヘッドの周囲の概略側面図である。
【図4】（Ａ）は実施の形態に係るステージの周囲の平面図であり、（Ｂ）は実施の形態に係るベアリングを示す図である。
【図5】実施の形態に係るステージの周囲の概略側面図である。
【図6】（Ａ）実施の形態に係るステージが＋Ｘ方向へ移動する様子を示す平面図であり、（Ｂ）は実施の形態に係るステージが－Ｙ方向へ移動する様子を示す平面図である。
【図7】実施の形態に係るステージが回転する様子を示す平面図である。
【図8】（Ａ）は接合する２つの基板の一方に設けられた２つのアライメントマークを示す図であり、（Ｂ）は接合する２つの基板の他方に設けられた２つのアライメントマークを示す図である。
【図9】（Ａ）はアライメントマークの撮影画像を示す概略図であり、（Ｂ）はアライメントマークが互いにずれている状態を示す概略図である。
【図10】（Ａ）は実施の形態に係るピエゾアクチュエータによりテーブル部材を一方向へ移動させる様子を示す概略図であり、（Ｂ）は実施の形態に係るピエゾアクチュエータによりテーブル部材を（Ａ）とは異なる他方向へ移動させる様子を示す概略図である。
【図11】実施の形態に係る接合装置が実行する接合方法の流れを示すフローチャートである。
【図12】実施の形態に係る接合装置を示し、（Ａ）はステージおよびヘッドに基板が保持された状態を示す概略側面図であり、（Ｂ）は基板同士が接触した状態を示す概略側面図である。
【図13】実施の形態に接合装置が基板同士を接合する様子を示す概略側面である。
【図14】実施の形態に接合装置の動作説明図である。
【図15】（Ａ）比較例１に係る接合装置において摺動抵抗が発生する部分を示す図であり、（Ｂ）は比較例１に係るベアリングが撓む様子を示す図である。
【図16】比較例２に係る接合装置のステージの周囲の概略側面図である。
【図17】変形例に係るステージの周囲の平面図である。
【図18】変形例に係る接合装置が実行する接合方法の流れを示すフローチャートである。
【図19】実施の形態に係るステージおよびヘッドの周囲の概略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明の実施の形態に係る接合装置について、図を参照しながら説明する。本実施の形態に係る接合装置は、接合面が活性化された基板の接合面同士を接触させることにより基板Ｗ１、Ｗ２同士を接合する。図１に示すように、本実施の形態に係る接合装置１は、チャンバ１２０とステージ４０１とヘッド４０２とステージ駆動部４０３とヘッド駆動部４０４と基板加熱部４８１、４８２と撮像ユニット５００とを備える。基板Ｗ１、Ｗ２としては、Ｓｉ基板、ガラス基板、サファイヤ基板等が挙げられる。また、接合装置１は、ステージ４０１とヘッド４０２との間の距離を測定する距離測定部４９０と、ステージ４０１の周囲に配置された距離測定部５２１、５２４と、を備える。なお、以下の説明において、適宜図１の±Ｚ方向を上下方向、ＸＹ方向を水平方向として説明する。
【0011】
チャンバ１２０は、基板Ｗ１、Ｗ２が配置される領域を予め設定された基準真空度以上の真空度で維持する。チャンバ１２０は、排気管１２１ｂと排気弁１２１ｃとを介して真空ポンプ１２１ａに接続されている。排気弁１２１ｃを開状態にして真空ポンプ１２１ａを作動させると、チャンバ１２０内の気体が、排気管１２１ｂを通してチャンバ１２０外へ排出され、チャンバ１２０内が減圧雰囲気で維持される。また、排気弁１２１ｃの開閉量を変動させて排気量を調節することにより、チャンバ１２０内の気圧（真空度）を調節することができる。なお、チャンバ１２０内の気圧は、１Ｐａ以上１０００Ｐａ以下の範囲内に設定することができる。
【0012】
ヘッド駆動部４０４は、ヘッド４０２を鉛直上方または鉛直下向（図１の矢印ＡＲ１参照）へ昇降させる昇降駆動部４０４２と、ヘッド４０２をＸＹ方向へ移動させるＸＹ方向駆動部４０４１と、ヘッド４０２をＺ軸周りの回転方向（図１の矢印ＡＲ２参照）に回転させる回転駆動部４０４３と、を有する。ＸＹ方向駆動部４０４１と回転駆動部４０４３とから、ヘッド４０２を鉛直方向に直交する方向（ＸＹ方向、Ｚ軸周りの回転方向）へ移動させる保持部駆動部を構成する。また、ヘッド駆動部４０４は、ヘッド４０２のステージ４０１に対する傾きを調整するためのピエゾアクチュエータ４１１と、ヘッド４０２に加わる圧力を測定するための圧力センサ４１２と、を有する。ＸＹ方向駆動部４０４２および回転駆動部４０４３が、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ軸周りの回転方向において、ヘッド４０２をステージ４０１に対して相対的に移動させることにより、ステージ４０１に保持された基板Ｗ１とヘッド４０２に保持された基板Ｗ２とのアライメントが可能となる。
【0013】
昇降駆動部４０４２は、ヘッド４０２を鉛直方向へ移動させることにより、ステージ４０１とヘッド４０２とを互いに近づけたり、ヘッド４０２をステージ４０１から遠ざけたりする。昇降駆動部４０４２がヘッド４０２を鉛直下方へ移動させることにより、ステージ４０１に保持された基板Ｗ１とヘッド４０２に保持された基板Ｗ２とが接触する。そして、基板Ｗ１、Ｗ２同士が接触した状態において昇降駆動部４０４２がヘッド４０２に対してステージ４０１に近づく方向への駆動力を作用させると、基板Ｗ２が基板Ｗ１に押し付けられる。また、昇降駆動部４０４２には、昇降駆動部４０４２がヘッド４０２に対してステージ４０１に近づく方向へ作用させる駆動力を測定する圧力センサ４０８が設けられている。圧力センサ４０８の測定値から、昇降駆動部４０４２により基板Ｗ２が基板Ｗ１に押し付けられたときに基板Ｗ１、Ｗ２の接合面に作用する圧力が検出できる。圧力センサ４０８は、例えばロードセルから構成される。
【0014】
ピエゾアクチュエータ４１１、圧力センサ４１２は、それぞれ図２に示すように、３つずつ存在する。３つのピエゾアクチュエータ４１１と３つの圧力センサ４１２とは、ヘッド４０２とＸＹ方向駆動部４０４１との間に配置されている。３つのピエゾアクチュエータ４１１は、ヘッド４０２の上面における同一直線上ではない３つの位置、平面視略円形のヘッド４０２の上面の周部においてヘッド４０２の周方向に沿って略等間隔に並んだ３つの位置に固定された姿勢調整部である。３つの圧力センサ４１２は、それぞれピエゾアクチュエータ４１１の上端部とＸＹ方向駆動部４０４１の下面とを接続している。３つのピエゾアクチュエータ４１１は、各別に上下方向に伸縮可能である。そして、３つのピエゾアクチュエータ４１１が伸縮することにより、ヘッド４０２のＸ軸周りおよびＹ軸周りの傾きとヘッド４０２の上下方向の位置とが微調整される。ヘッド４０２がステージ４０１に対して傾いている場合、３つのピエゾアクチュエータ４１１のうちの１つを伸長させてヘッド４０２の姿勢を微調整することにより、ヘッド４０２の下面とステージ４０１の上面とが略平行な状態にすることができる。また、３つの圧力センサ４１２は、ヘッド４０２の下面における３つの位置での加圧力を測定する。そして、３つの圧力センサ４１２で測定された加圧力が等しくなるように３つのピエゾアクチュエータ４１１それぞれを駆動することにより、ヘッド４０２の下面とステージ４０１の上面とを略平行に維持しつつ基板Ｗ１、Ｗ２同士を接触させることができる。
【0015】
ステージ４０１とヘッド４０２とは、図１に示すように、チャンバ１２０内において、鉛直方向で互いに対向し且つステージ４０１がヘッド４０２よりも鉛直下方に位置するように配置されている。ステージ４０１は、その上面で基板Ｗ１を支持し、ヘッド４０２は、その下面で基板Ｗ２を支持する。ここで、ステージ４０１は、その上面が基板Ｗ１全体に面接触した状態で基板Ｗ１を支持し、ヘッド４０２は、その下面が基板Ｗ２全体に面接触した状態で基板Ｗ２を支持する。ステージ４０１とヘッド４０２とは、例えば透光性を有するガラスのような透光性材料から形成されている。ステージ４０１およびヘッド４０２には、基板Ｗ１、Ｗ２を保持する静電チャック（図示せず）が設けられている。静電チャックは、例えばＩＴＯのような透明な導電性材料を含む透明導電膜から形成されている。静電チャックは、チャック駆動部（図示せず）により電圧が印加された状態で、基板Ｗ１、Ｗ２を吸着保持する。また、ステージ４０１は、図２に示すように、矩形板状のテーブル部材４０５の厚さ方向における一面側の中央部に固定されている。テーブル部材４０５は、その中央部において撮像ユニット５００から放射される光を厚さ方向に透過させる透光部４０５ａを有する。
【0016】
また、テーブル部材４０５は、その底面側に配置された３つの支持部材４０３９により支持されている。３つの支持部材４０３９は、テーブル部材４０５の底面側における、互いに離間し且つ非同一直線上に位置する３箇所ＰＴ１、ＰＴ２、ＰＴ３でテーブル部材４０５を支持している。また、３つの支持部材４０３９は、それらの上端部が略半球状部分を有しており、テーブル部材４０５の底面における３箇所ＰＴ１、ＰＴ２、ＰＴ３においてテーブル部材４０５と点接触している。これにより、各支持部材４０３９の上端部とテーブル部材４０５との間の摺動抵抗を小さくすることができ、その分、テーブル部材４０５を滑らかに摺動させることができる。また、支持部材４０３９は、それぞれ、Ｚ軸方向へ伸縮するピエゾアクチュエータ（図示せず）を有し、各支持部材４０３９のピエゾアクチュエータが同期してＺ軸方向へ伸縮することによりテーブル部材４０５を昇降させることができる。
【0017】
また、接合装置１は、図３に示すように、テーブル部材４０５の透光部４０５ａの鉛直下方に配置された支持台４０６を備えている。３つの支持部材４０３９が降下することにより、テーブル部材４０５の底面が支持台４０６の上面に面接触し、テーブル部材４０５が支持台４０６に支持された状態となる。この支持台４０６は、基板Ｗ１、Ｗ２を加圧する際の圧力に耐えられる程度の十分に高い剛性を有する材料から形成されている。このため、テーブル部材４０５に撓み等が生じにくく、テーブル部材４０５並びにステージ４０１に保持された基板Ｗ１の平坦度を高精度に維持しつつ基板Ｗ１、Ｗ２同士を接合することができる。
【0018】
ステージ駆動部４０３は、図４（Ａ）に示すように、３つのリニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３と、３つのエアシリンダ４０３４、４０３５、４０３６と、を有する。ここで、リニアアクチュエータ４０３１とエアシリンダ４０３４とが、テーブル部材４０５をＹ軸方向において挟持している。また、リニアアクチュエータ４０３２とエアシリンダ４０３６とが、テーブル部材４０５のＹ軸方向における中央部よりも＋Ｙ方向側の部分をＸ軸方向において挟持し、リニアアクチュエータ４０３３とエアシリンダ４０３５とが、テーブル部材４０５のＹ軸方向における中央部よりも－Ｙ方向側の部分をＸ軸方向において挟持している。即ち、３つのエアシリンダ４０３４、４０３５、４０３６と、３つのエアシリンダ４０３４、４０３５、４０３６それぞれとテーブル部材４０５およびステージ４０１を介して対向するように配置されたリニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３と、からなる組が、３組存在する。そして、３組のうちの２組のエアシリンダ４０３５、４０３６とリニアアクチュエータ４０３３、４０３２との対向方向は、Ｘ軸方向で同一であり、他の１組のエアシリンダ４０３４とリニアアクチュエータ４０３１との対向方向は、Ｙ軸方向であり、２組のエアシリンダ４０３５、４０３６とリニアアクチュエータ４０３３、４０３２との対向方向であるＸ軸方向とは互いに交差している。また、リニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３、エアシリンダ４０３４、４０３５、４０３６は、それぞれ、テーブル部材４０５の周面に当接するベアリング４０３１ｃ、４０３２ｃ、４０３３ｃ、４０３４ｃ、４０３５ｃ、４０３６ｃを有する。各ベアリング４０３１ｃ、４０３２ｃ、４０３３ｃ、４０３４ｃ、４０３５ｃ、４０３６ｃは、図４（Ｂ）に示すように、外輪４０３１ｃ１、４０３２ｃ１、４０３３ｃ１、４０３４ｃ１、４０３５ｃ１、４０３６ｃ１と、外輪４０３１ｃ１、４０３２ｃ１、４０３３ｃ１、４０３４ｃ１、４０３５ｃ１、４０３６ｃ１の内側に配置された内輪４０３１ｃ３、４０３２ｃ３、４０３３ｃ３、４０３４ｃ３、４０３５ｃ３、４０３６ｃ３と、外輪４０３１ｃ１、４０３２ｃ１、４０３３ｃ１、４０３４ｃ１、４０３５ｃ１、４０３６ｃ１と内輪４０３１ｃ３、４０３２ｃ３、４０３３ｃ３、４０３４ｃ３、４０３５ｃ３、４０３６ｃ３との間に介在するボール、ころ等の転動体４０３１ｃ２、４０３２ｃ２、４０３３ｃ２、４０３４ｃ２、４０３５ｃ２、４０３６ｃ２と、を有する。また、内輪４０３１ｃ３、４０３２ｃ３、４０３３ｃ３、４０３４ｃ３、４０３５ｃ３、４０３６ｃ３は、支持部材４０３１ｃ４、４０３２ｃ４、４０３３ｃ４、４０３４ｃ４、４０３５ｃ４、４０３６ｃ４を介して、後述のピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄ、４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄに固定されている。ベアリング４０３１ｃ、４０３２ｃ、４０３３ｃ、４０３４ｃ、４０３５ｃ、４０３６ｃは、外輪４０３１ｃ１、４０３２ｃ１、４０３３ｃ１、４０３４ｃ１、４０３５ｃ１、４０３６ｃ１の回転軸がＺ軸方向に沿う姿勢で配置され、各外輪４０３１ｃ１、４０３２ｃ１、４０３３ｃ１、４０３４ｃ１、４０３５ｃ１、４０３６ｃ１がテーブル部材４０５の周面に当接している。このベアリング４０３１ｃ、４０３２ｃ、４０３３ｃ、４０３４ｃ、４０３５ｃ、４０３６ｃは、テーブル部材４０５の周面に押し付けられたときに外輪４０３１ｃ１、４０３２ｃ１、４０３３ｃ１、４０３４ｃ１、４０３５ｃ１、４０３６ｃ１の撓みが発生する。
【0019】
また、３つのリニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３と、３つのエアシリンダ４０３４、４０３５、４０３６と、のそれぞれに隣接した位置に、テーブル部材４０５の周面との間の距離を測定する６つの距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６が配設されている。ここで、距離測定部５２１、５２２、５２３は、それぞれ、リニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３毎に１つずつ設けられている。
【0020】
リニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３は、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂと、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを駆動する伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａと、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂの先端側に設けられたベアリング４０３１ｃ、４０３２ｃ、４０３３ｃと、を有する。伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂは、長尺の有底筒状であり、テーブル部材４０５へ押圧力を伝達するための第１伝達部材であり、長手方向における底壁側の端部に後述するピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄが固定され、長手方向における底壁側とは反対側の端部にナット部４０３１ｈ、４０３２ｈ、４０３３ｈが設けられている。リニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３は、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂに転動体４０３１ｇ、４０３２ｇ、４０３３ｇを介して当接し伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを一方向に沿って摺動自在に支持するリニアガイド４０３１ｆ、４０３２ｆ、４０３３ｆと、ボール螺子、滑り螺子等の送り螺子４０３１ｅ、４０３２ｅ、４０３３ｅと、を有する。送り螺子４０３１ｅ、４０３２ｅ、４０３３ｅは、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂに設けられたナット部４０３１ｈ、４０３２ｈ、４０３３ｈに螺合している。そして、伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａは、送り螺子４０３１ｅ、４０３２ｅ、４０３３ｅをその長手方向に沿った中心軸周りに回転させることにより、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを移動させる。更に、リニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３は、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂの移動量を検出するリニアエンコーダ５３１、５３２、５３３と、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂとベアリング４０３１ｃ、４０３２ｃ、４０３３ｃとの間に介在し、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂの移動方向に沿った方向における伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂ全体の長さを伸縮させるピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄと、を有する。
【0021】
伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａは、サーボモータ（図示せず）を有し、送り螺子４０３１ｅ、４０３２ｅ、４０３３ｅを回転させることにより、図４（Ａ）に示す矢印ＡＲ３１、ＡＲ３２、ＡＲ３３に示すように、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを突出させたり没入させたりする。伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａは、チャンバ１２０の周壁における予め設定された位置に固定されている。伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａは、ピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄの伸縮範囲に比べて大きい可動範囲で伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを移動させることができるので、テーブル部材４０５の比較的大きな範囲の位置決め動作を行うことができる。ベアリング４０３１ｃ、４０３２ｃ、４０３３ｃの外輪は、テーブル部材４０５の周面に接触しながら回転する。
【0022】
リニアエンコーダ５３１、５３２、５３３は、図５に示すように、伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａに対する相対位置が固定されており、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂの長手方向に沿うように伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂの外壁に設けられたメインスケール（図示せず）と、メインスケール上における位置を検出する検出ヘッドと、を有する。リニアエンコーダ５３１、５３２、５３３としては、電磁式検出器型、光学式検出器型等を採用することができる。
【0023】
ピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄは、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂの長手方向へ伸縮する。このピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄを駆動することにより、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂのテーブル部材４０５との接触位置を細かく調節することができる。そして、リニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３は、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂの先端部をテーブル部材４０５に押し付けることでテーブル部材４０５に対して押圧力を付与する。
【0024】
エアシリンダ４０３４、４０３５、４０３６は、伝達部材４０３４ｂ、４０３５ｂ、４０３６ｂと、伝達部材４０３４ｂ、４０３５ｂ、４０３６ｂが先端部に固定されたピストン４０３４ｅ、４０３５ｅ、４０３６ｅを保持するシリンダ本体４０３４ａ、４０３５ａ、４０３６ａと、伝達部材４０３４ｂ、４０３５ｂ、４０３６ｂの先端側に設けられたベアリング４０３４ｃ、４０３５ｃ、４０３６ｃと、を有する付勢部である。伝達部材４０３４ｂ、４０３５ｂ、４０３６ｂは、長尺でありテーブル部材４０５へ押圧力を伝達するための第２伝達部材である。ベアリング４０３４ｃ、４０３５ｃ、４０３６ｃは、外輪の回転軸がＺ軸方向に沿う姿勢で配置され、各外輪がテーブル部材４０５の周面に当接している。また、エアシリンダ４０３４、４０３５、４０３６は、伝達部材４０３４ｂ、４０３５ｂ、４０３６ｂに転動体４０３４ｇ、４０３５ｇ、４０３６ｇを介して当接し伝達部材４０３４ｂ、４０３５ｂ、４０３６ｂを一方向に沿って摺動自在に支持するリニアガイド４０３４ｆ、４０３５ｆ、４０３６ｆと、伝達部材４０３４ｂ、４０３５ｂ、４０３６ｂとベアリング４０３４ｃ、４０３５ｃ、４０３６ｃとの間に介在し、伝達部材４０３４ｂ、４０３５ｂ、４０３６ｂの移動方向に沿った方向の長さを伸縮させるピエゾアクチュエータ４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄと、を有する。シリンダ本体４０３４ａ、４０３５ａ、４０３６ａは、矢印ＡＲ３４、ＡＲ３５、ＡＲ３６に示すように伝達部材４０３４ｂ、４０３５ｂ、４０３６ｂおよびピストン４０３４ｅ、４０３５ｅ、４０３６ｅを移動自在に保持し、ピストン４０３４ｅ、４０３５ｅ、４０３６ｅが押し込まれると、ピストン４０３４ｅ、４０３５ｅ、４０３６ｅをそれらが突出する方向へ付勢する。シリンダ４０３４ａ、４０３５ａ、４０３６ａは、それぞれ、チャンバ１２０の周壁における伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａに対向する位置に固定されている。ベアリング４０３４ｃ、４０３５ｃ、４０３６ｃの外輪は、テーブル部材４０５の周面に接触しながら回転する。ピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３４ｄのうちいずれか一方が伸張すると、同じ量だけ他方が収縮するように動作する。また、ピエゾアクチュエータ４０３２ｄ、４０３５ｄのうちいずれか一方が伸張すると、同じ量だけ他方が収縮するように動作する。更に、ピエゾアクチュエータ４０３３ｄ、４０３６ｄのうちいずれか一方が伸張すると、同じ量だけ他方が収縮するように動作する。
【0025】
距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６は、例えば半導体レーザのような投光素子と、リニアイメージセンサと、を有し、投光素子から放射されテーブル部材４０５の周面で反射した光をリニアイメージセンサで受光するような配置で、三角測量の原理を利用した方式で測距を実行するレーザ変位センサである。距離測定部５２１は、Ｘ軸方向においてリニアアクチュエータ４０３１に隣接して配置され、距離測定部５２１とテーブル部材４０５の＋Ｙ方向側の周面との間の距離Ｌ１１を測定する。距離測定部５２２は、Ｙ軸方向においてリニアアクチュエータ４０３２に隣接して配置され、距離測定部５２２とテーブル部材４０５の－Ｘ方向側の周面との間の距離Ｌ１２を測定する。距離測定部５２２は、Ｙ軸方向においてリニアアクチュエータ４０３３に隣接して配置され、距離測定部５２３とテーブル部材４０５の－Ｘ方向側の周面との間の距離Ｌ１３を測定する。距離測定部５２４は、Ｘ軸方向においてエアシリンダ４０３４に隣接して配置され、距離測定部５２４とテーブル部材４０５の－Ｙ方向側の周面との間の距離Ｌ１４を測定する。距離測定部５２５は、Ｙ軸方向においてエアシリンダ４０３５に隣接して配置され、距離測定部５２５とテーブル部材４０５の＋Ｘ方向側の周面との間の距離Ｌ１５を測定する。距離測定部５２６は、Ｙ軸方向においてエアシリンダ４０３６に隣接して配置され、距離測定部５２６とテーブル部材４０５の＋Ｘ方向側の周面との間の距離Ｌ１６を測定する。距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６は、それぞれ、測定した距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６を反映した計測信号を生成して制御部９へ出力する。
【0026】
ここで、図６（Ａ）に示すように、リニアアクチュエータ４０３２、４０３３が、それぞれ、テーブル部材４０５の－Ｘ方向側の周面にベアリング４０３２ｃ、４０３３ｃが当接した状態で、伝達部材４０３２ｂ、４０３３ｂを矢印ＡＲ３２１に示す方向へ移動させると、これに応じて、テーブル部材４０５が＋Ｘ方向へ移動する。このとき、エアシリンダ４０３５、４０３６は、それぞれ、テーブル部材４０５の＋Ｘ方向側の周面にベアリング４０３５ｃ、４０３６ｃが当接した状態で、伝達部材４０３５ｂ、４０３６ｂが矢印ＡＲ３２２に示す方向へ押し込まれる。そして、リニアアクチュエータ４０３２、４０３３によるベアリング４０３２ｃ、４０３３ｃを介してテーブル部材４０５を＋Ｘ方向側へ押圧する押圧力とエアシリンダ４０３５，４０３６によるベアリング４０３５ｃ、４０３６ｃを介してテーブル部材４０５を－Ｘ方向側へ付勢する付勢力とが釣り合うことによって、テーブル部材４０５のＸ軸方向における位置が定まる。一方、リニアアクチュエータ４０３２、４０３３が、それぞれ、テーブル部材４０５の－Ｘ方向側の周面にベアリング４０３２ｃ、４０３３ｃが当接した状態で、伝達部材４０３２ｂ、４０３３ｂを矢印ＡＲ３２１に示す方向とは逆方向へ移動させると、これに応じて、テーブル部材４０５が－Ｘ方向へ移動する。このとき、エアシリンダ４０３５、４０３６は、それぞれ、伝達部材４０３５ｂ、４０３６ｂを－Ｘ方向側へ付勢する付勢力によりテーブル部材４０５の＋Ｘ方向側の周面にベアリング４０３５ｃ、４０３６ｃが当接した状態を維持する。また、テーブル部材４０５がＸ軸方向に沿って移動する場合、リニアアクチュエータ４０３１のベアリング４０３１ｃとエアシリンダ４０３４のベアリング４０３４ｃとが、それぞれ、テーブル部材４０５のＹ軸方向における両側の周面に当接した状態で回転する。このため、テーブル部材４０５をＸ軸方向へ移動させる際の接触抵抗を低減することができ、テーブル部材４０５をＸ軸方向に沿って滑らかに移動させることができる。
【0027】
また、図６（Ｂ）に示すように、リニアアクチュエータ４０３１が、テーブル部材４０５の＋Ｙ方向側の周面にベアリング４０３１ｃが当接した状態で、伝達部材４０３１ｂを矢印ＡＲ３２３に示す方向へ移動させると、これに応じて、テーブル部材４０５が－Ｘ方向へ移動する。このとき、エアシリンダ４０３４は、テーブル部材４０５の－Ｙ方向側の周面にベアリング４０３４ｃが当接した状態で、伝達部材４０３４ｂが矢印ＡＲ３２４に示す方向へ押し込まれる。そして、リニアアクチュエータ４０３１によるベアリング４０３１ｃを介してテーブル部材４０５を－Ｙ方向側へ押圧する押圧力とエアシリンダ４０３４によるベアリング４０３４ｃを介してテーブル部材４０５を＋Ｘ方向側へ付勢する付勢力とが釣り合うことによって、テーブル部材４０５のＹ軸方向における位置が定まる。一方、リニアアクチュエータ４０３１が、テーブル部材４０５の＋Ｙ方向側の周面にベアリング４０３１ｃが当接した状態で、伝達部材４０３１ｂを矢印ＡＲ３２３に示す方向とは逆方向へ移動させると、これに応じて、テーブル部材４０５が＋Ｙ方向へ移動する。このとき、エアシリンダ４０３４は、それぞれ、伝達部材４０３４ｂを＋Ｙ方向側へ付勢する付勢力によりテーブル部材４０５の－Ｙ方向側の周面にベアリング４０３４ｃが当接した状態を維持する。また、テーブル部材４０５がＹ軸方向に沿って移動する場合、リニアアクチュエータ４０３２、４０３３それぞれのベアリング４０３２ｃ、４０３３ｃとエアシリンダ４０３５、４０３６それぞれのベアリング４０３５ｃ、４０３６ｃとが、それぞれ、テーブル部材４０５のＸ軸方向における両側の周面に当接した状態で回転する。このため、テーブル部材４０５をＹ軸方向へ移動させる際の接触抵抗を低減することができ、テーブル部材４０５をＹ軸方向に沿って滑らかに移動させることができる。
【0028】
更に、図７に示すように、リニアアクチュエータ４０３２が、テーブル部材４０５の－Ｘ方向側の周面にベアリング４０３２ｃが当接した状態で、伝達部材４０３２ｂを矢印ＡＲ３２５に示す方向へ移動させるとともに、リニアアクチュエータ４０３３が、テーブル部材４０５の－Ｘ方向側の周面にベアリング４０３３ｃが当接した状態で、伝達部材４０３３ｂを矢印ＡＲ３２６に示す方向へ移動させたとする。この場合、エアシリンダ４０３６は、テーブル部材４０５の＋Ｘ方向側の周面にベアリング４０３６ｃが当接した状態で、伝達部材４０３６ｂが矢印ＡＲ３２７に示す方向へ押し込まれる。また、エアシリンダ４０３５は、伝達部材４０３５ｂを－Ｘ方向側へ付勢する付勢力によりテーブル部材４０５の＋Ｘ方向側の周面にベアリング４０３５ｃが当接した状態を維持する。このように、リニアアクチュエータ４０３２、４０３３が、それぞれ、ビストン４０３２ｂ、４０３３ｂを互いに異なる方向へ移動させることにより、矢印ＡＲ３２９に示すように、テーブル部材４０５およびステージ４０１を回転させる。
【0029】
図１に戻って、距離測定部４９０は、例えばレーザ距離計であり、ステージ４０１およびヘッド４０２に接触せずにステージ４０１とヘッド４０２との間の距離を測定する。距離測定部４９０は、透光性を有する透光性材料から形成されたヘッド４０２の上方からステージ４０１に向かってレーザ光を照射したときのステージ４０１の上面での反射光とヘッド４０２の下面での反射光との差分からステージ４０１とヘッド４０２との間の距離を測定する。距離測定部４９０は、図２に示すように、ステージ４０１の上面における３箇所の部位Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ１３と、ヘッド４０２の下面における、Ｚ方向において部位Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ１３に対向する３箇所の部位Ｐ２１、Ｐ２２、Ｐ２３との間の距離を測定する。前述のようにヘッド４０２またはステージ４０１が、透光性材料から形成されていることにより、レーザをヘッド４０２またはステージ４０１を透過させて距離を測定することができる。従って、距離測定部４９０が、ヘッド４０２、ステージ４０１における基板Ｗ１、Ｗ２側とは反対側に配置された構成とすることができるという利点がある。
【0030】
撮像ユニット５００は、図３に示すように、撮像部５０１、５０２と、ミラー５０４、５０５と、を有する。撮像部５０１と撮像部５０２とは、ステージ４０１における基板Ｗ１を保持する側とは反対側に配置されている。撮像部５０１および撮像部５０２は、それぞれ、撮像素子（図示せず）と同軸照明系（図示せず）とを有している。同軸照明系の光源としては、基板Ｗ１、Ｗ２およびステージ４０１、テーブル部材４０５の透光部４０５ａを透過する光（例えば赤外光）を出射する光源が用いられる。
【0031】
例えば図８（Ａ）および（Ｂ）に示すように、基板Ｗ１には、２つのアライメントマーク（第１アライメントマーク）ＭＫ１ａ、ＭＫ１ｂが設けられ、基板Ｗ２には、２つのアライメントマーク（第２アライメントマーク）ＭＫ２ａ、ＭＫ２ｂが設けられている。接合装置１は、撮像ユニットにより撮像された基板Ｗ１、Ｗ２に設けられた各アライメントマークＭＫ１ａ、ＭＫ１ｂ、ＭＫ２ａ、ＭＫ２ｂの位置を認識しながら、両基板Ｗ１、Ｗ２の位置合わせ動作（アライメント動作）を実行する。より詳細には、接合装置１は、まず、撮像ユニット５００により撮像された基板Ｗ１、Ｗ２に設けられたアライメントマークＭＫ１ａ、ＭＫ１ｂ、ＭＫ２ａ、ＭＫ２ｂを認識しながら、基板Ｗ１、Ｗ２の大まかなアライメント動作（ラフアライメント動作）を実行して、２つの基板Ｗ１、Ｗ２を対向させる。その後、接合装置１は、撮像ユニット５００により撮像された２つの基板Ｗ１、Ｗ２に設けられたアライメントマークＭＫ１ａ、ＭＫ２ａ、ＭＫ１ｂ、ＭＫ２ｂを同時に認識しながら、更に精緻なアライメント動作（ファインアライメント動作）を実行する。
【0032】
ここで、図３の破線矢印ＳＣ１、ＳＣ２に示すように、撮像部５０１の同軸照明系の光源から出射された光は、ミラー５０４で反射されて上方に進行し、支持台４０６、テーブル部材４０５の透光部４０５ａおよび基板Ｗ１、Ｗ２の一部あるいは全部を透過する。基板Ｗ１、Ｗ２の一部あるいは全部を透過した光は、基板Ｗ１、Ｗ２のアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａで反射され、下向きに進行し、テーブル部材４０５の透光部４０５ａおよび支持台４０６を透過してミラー５０４で反射されて撮像部５０１の撮像素子に入射する。また、撮像部５０２の同軸照明系の光源から出射された光は、ミラー５０５で反射されて上方に進行し、支持台４０６、テーブル部材４０５の透光部４０５ａおよび基板Ｗ１、Ｗ２の一部あるいは全部を透過する。基板Ｗ１、Ｗ２の一部あるいは全部を透過した光は、基板Ｗ１、Ｗ２のアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａで反射され、下向きに進行し、テーブル部材４０５の透光部４０５ａおよび支持台４０６を透過してミラー５０５で反射されて撮像部５０２の撮像素子に入射する。そして、撮像ユニット５００の撮像部５０１、５０２は、それぞれ、撮像素子に入射する光を用いて、図９（Ａ）および（Ｂ）に示すように、２つの基板Ｗ１、Ｗ２のアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａを含む撮影画像ＧＡａと、２つの基板Ｗ１、Ｗ２のアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂを含む撮影画像ＧＡｂと、を１つの視野内で同時に撮像する。また、撮像部５０１による撮影画像ＧＡａの撮影動作と撮像部５０２による撮影画像ＧＡｂの撮影動作とは、同時に実行される。
【0033】
図１に戻って、基板加熱部４８１、４８２は、例えば電熱ヒータであり、それぞれステージ４０１、ヘッド４０２に設けられている。基板加熱部４８１、４８２は、ステージ４０１およびヘッド４０２に保持されている基板Ｗ１，Ｗ２に熱を伝達することにより基板Ｗ１、Ｗ２を加熱する。また、基板加熱部４８１、４８２の発熱量を調節することにより、基板Ｗ１，Ｗ２やそれらの接合面の温度を調節できる。また、基板加熱部４８１、４８２は、加熱部駆動部（図示せず）に接続されており、加熱部駆動部は、図１に示す制御部９から入力される制御信号に基づいて、基板加熱部４８１、４８２へ電流を供給することにより基板加熱部４８１、４８２を発熱させる。
【0034】
制御部９は、例えばパーソナルコンピュータを有する制御システムであり、ＣＰＵ（Central Processing Unit）とメモリとを有する。メモリは、ＣＰＵが実行するプログラムを記憶する。また、メモリには、後述する基板Ｗ１、Ｗ２の相対的な算出した位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθに対して予め設定された位置ずれ量閾値Δｘｔｈ、Δｙｔｈ、Δθｔｈが記憶されている。制御部９は、圧力センサ４１２、圧力センサ４０８および距離測定部４９０、５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６から入力される計測信号を計測情報に変換して取得する。また、制御部９は、撮像部５０１および撮像部５０２から入力される撮影画像信号を撮影画像情報に変換して取得する。更に、制御部９は、保持部駆動部、ピエゾアクチュエータ４１１、加熱部駆動部、ステージ駆動部４０３およびヘッド駆動部４０４それぞれへ制御信号を出力することによりこれらの動作を制御する。
【0035】
制御部９は、図９（Ｂ）に示すように、撮像部５０１から取得した撮影画像ＧＡａに基づいて、基板Ｗ１、Ｗ２に設けられた１組のアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａ相互間の位置ずれ量Δｘａ、Δｙａを算出する。なお、図９（Ｂ）は、１組のアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａが互いにずれている状態を示している。同様に、制御部９は、撮像部５０２から取得した撮影画像ＧＡｂに基づいて、基板Ｗ１、Ｗ２に設けられた他の１組のアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂ相互間の位置ずれ量Δｘｂ、Δｙｂを算出する。その後、制御部９は、これら２組のアライメントマークの位置ずれ量Δｘａ、Δｙａ、Δｘｂ、Δｙｂと２組のマークの幾何学的関係とに基づいて、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ軸周りの回転方向における２つの基板Ｗ１、Ｗ２の相対的な位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθを算出する。そして、制御部９は、算出した位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθが低減されるようにステージ４０１の補正移動量を算出し、リニアエンコーダ５３１、５３２、５３３により検出される伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂの移動量が、算出した補正移動量となるように伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを駆動させるよう伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａを制御して、ステージ４０１をＸ方向およびＹ方向へ移動させたり、Ｚ軸周りに回転させたりする。これにより、２つの基板Ｗ１、Ｗ２の相対的な位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθが低減される。このようにして、接合装置１は、２つの基板Ｗ１、Ｗ２の水平方向における位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθを補正するアライメント動作を実行する。また、アライメント動作の結果、２つの基板Ｗ１、Ｗ２の水平方向における位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθが予め設定された位置ずれ量閾値以下となり２つの基板Ｗ１、Ｗ２同士の位置決めが暫定的に完了したとする。この場合、制御部９は、当該位置決めの暫定的な完了時における距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６により計測されたテーブル部材４０５との間の距離が一定で維持されるように、伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａおよびピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄ、４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄを制御する。ここで、制御部９は、まず、位置決めの暫定的な完了時における距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６により計測された距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６とテーブル部材４０５との間の距離が一定で維持されるようにピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄ、４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄが連動して伸縮するように制御する。ここで、制御部９は、例えば図１０（Ａ）に示すように、ピエゾアクチュエータ４０３１ｄ（４０３２ｄ、４０３３ｄ）を長さΔｐ１だけ伸張させた場合、これにテーブル部材４０５を介して対向するピエゾアクチュエータ４０３４ｄ（４０３５ｄ、４０３６ｄ）を長さΔｐ１だけ収縮させるように制御する。これにより、テーブル部材４０５が矢印ＡＲ４０５１に示す方向へ移動する。一方、制御部９は、例えば図１０（Ｂ）に示すように、ピエゾアクチュエータ４０３１ｄ（４０３２ｄ、４０３３ｄ）を長さΔｐ２だけ収縮させた場合、これにテーブル部材４０５を介して対向するピエゾアクチュエータ４０３４ｄ（４０３５ｄ、４０３６ｄ）を長さΔｐ２だけ伸張させるように制御する。これにより、テーブル部材４０５が矢印ＡＲ４０５２に示す方向へ移動する。このように、ピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄ、４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄによりテーブル部材４０５を移動させる場合、摺動抵抗が生じないため、摺動抵抗の影響を低減する観点から好ましい。なお、制御部９は、基板Ｗ１、Ｗ２同士のアライメント時にテーブル部材４０５を繰り返し微小移動させる場合もピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄ、４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄを連動して伸縮するように制御してもよく、好ましい。そして、制御部９は、ピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄ、４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄを連動して伸縮するだけでは距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６とテーブル部材４０５との間の距離が一定で維持できない場合、距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６とテーブル部材４０５との間の距離が一定で維持されるように伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａを制御する。
【0036】
更に、制御部９は、距離測定部４９０を制御して、ステージ４０１の３箇所の部位Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ１３における、ヘッド４０２における部位Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ１３それぞれに対応する部位Ｐ２１、Ｐ２２、Ｐ２３との間の距離を測定する。そして、制御部９は、距離測定部４９０により測定された距離に基づいて、ヘッド４０２に保持された基板Ｗ２のステージ４０１に保持された基板Ｗ１に対して平行となるように、前述の３つのピエゾアクチュエータ４１１を制御する。
【0037】
次に、本実施の形態に係る接合装置１が実行する接合方法について図１１から図１３を参照しながら説明する。なお、図１１において、接合装置１は、距離測定部４９０により、ステージ４０１およびヘッド４０２に基板Ｗ１、Ｗ２が保持されていない状態で、ステージ４０１の上面とヘッド４０２の下面との間の距離の測定を完了しその結果をメモリに記憶しているものとする。更に、基板Ｗ１、Ｗ２の厚さの測定結果が既にメモリに記憶されているものとする。
【0038】
まず、接合装置１は、図１１に示すように、ステージ４０１に基板Ｗ１の周部のみを保持させるとともに、ヘッド４０２に基板Ｗ１、Ｗ２の接合面が互いに対向した状態で基板Ｗ２の周部のみを保持させる（ステップＳ１０１）。ここで、制御部９は、例えば基板Ｗ１がステージ４０１に載置された状態で、ステージ４０１に配設された静電チャックを駆動してステージ４０１に基板Ｗ１を保持させる。また、制御部９は、例えばヘッド４０２の鉛直下方に配置された基板Ｗ２の接合面側とは反対側にヘッド４０２を接触させた状態で、ヘッド４０２に配設された静電チャックを駆動してヘッド４０２に基板Ｗ２を保持させる。
【0039】
次に、接合装置１は、ステージ４０１およびヘッド４０２に基板Ｗ１、Ｗ２が保持されていない状態でのステージ４０１の上面とヘッド４０２の下面との間の距離と基板Ｗ１、Ｗ２の厚さとに基づいて、基板Ｗ１の接合面と基板Ｗ２の接合面との間の距離を算出する。そして、接合装置１は、算出した距離に基づいて、ヘッド４０２を鉛直下方へ移動させて基板Ｗ１、Ｗ２同士を近づける（ステップＳ１０２）。
【0040】
続いて、接合装置１は、基板Ｗ１、Ｗ２同士が離間した状態で、基板Ｗ１の基板Ｗ２に対する位置ずれ量を計測する（ステップＳ１０３）。ここにおいて、制御部９は、まず、撮像ユニット５００の撮像部５０１および撮像部５０２から、非接触状態における２つの基板Ｗ１、Ｗ２の撮影画像ＧＡａ，ＧＡｂ（図９（Ａ）参照）を撮像する。そして、制御部９は、２つの撮影画像ＧＡａ，ＧＡｂに基づいて、２つの基板Ｗ１、Ｗ２のＸ方向、Ｙ方向およびＺ軸周りの回転方向の位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθそれぞれを算出する。具体的には、制御部９は、例えばＺ方向に離間したアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａを同時に読み取った撮影画像ＧＡａに基づき、ベクトル相関法を用いて位置ずれ量Δｘａ、Δｙａ（図９（Ｂ）参照）を算出する。同様に、Ｚ方向に離間したアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂを同時に読み取った撮影画像ＧＡｂに基づき、ベクトル相関法を用いて位置ずれ量Δｘｂ、Δｙｂを算出する。そして、制御部９は、位置ずれ量Δｘａ、Δｙａ、Δｘｂ、Δｙｂに基づいて、２つの基板Ｗ１、Ｗ２の水平方向における位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθを算出する。
【0041】
図１１に戻って、その後、接合装置１は、算出した位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθを補正するように基板Ｗ２を基板Ｗ１に対して相対的に移動させる（ステップＳ１０４）。ここにおいて、接合装置１は、ステージ４０１を固定した状態で、位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθが解消するように、ヘッド４０２をＸ方向、Ｙ方向およびＺ軸周りの回転方向へ移動させる。また、このとき、接合装置１は、ステージ４０１の３箇所の部位Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ１３における、ヘッド４０２における部位Ｐ１１、Ｐ１２、Ｐ１３それぞれに対応する部位Ｐ２１、Ｐ２２、Ｐ２３との間の距離を測定し、測定した距離に基づいて、ヘッド４０２に保持された基板Ｗ２のステージ４０１に保持された基板Ｗ１に対する姿勢を調整する。ここで、接合装置１は、算出した位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθに基づいて、ステージ４０１の補正移動量を算出し、リニアエンコーダ５３１、５３２、５３３により検出される伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂの移動量が、算出した補正移動量となるように伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを駆動させる。
【0042】
次に、接合装置１は、基板Ｗ１、Ｗ２が互いに離間した状態で、基板Ｗ２の基板Ｗ１に対する位置ずれ量を計測する（ステップＳ１０５）。ここで、接合装置１において、アライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａとアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂとのそれぞれが撮像部５０１、撮像部５０２の被写界深度の範囲内に収まる距離だけ離間し、撮像部５０１、撮像部５０２が、それぞれ、アライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａの組とアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂの組を撮像できる位置それぞれに配置された状態となっている。そして、接合装置１は、撮像部５０１、撮像部５０２が、同じタイミングで、対応するアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａの組とアライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂの組を１回の画像取り込みで同時に撮像するように撮像部５０１、撮像部５０２を制御する。これにより、撮像部５０１、５０２それぞれが、１つで一対のアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａの組、アライメントマークＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂの組を同時に撮像するので、一対のアライメントマークＭＫ１ａ，ＭＫ２ａ（ＭＫ１ｂ，ＭＫ２ｂ）を各別に撮像する場合における撮像タイミングのずれに起因した誤差並びに撮像部５０１、５０２の振動に起因した誤差の影響を低減できる。そして、接合装置１は、撮像部５０１、５０２により撮像された撮影画像に基づいて、基板Ｗ２の基板Ｗ１に対する位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθを算出する。
【0043】
続いて、接合装置１は、計測した基板Ｗ２の基板Ｗ１に対する位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθの全てが予め設定された位置ずれ量閾値Δｘｔｈ、Δｙｔｈ、Δθｔｈ以下であるか否かを判定する（ステップＳ１０６）。ここで、接合装置１により、計測した位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθのいずれかが位置ずれ量閾値Δｘｔｈ、Δｙｔｈ、Δθｔｈよりも大きいと判定されたとする（ステップＳ１０６：Ｎｏ）。この場合、接合装置１は、計測した位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθを全て位置ずれ量閾値Δｘｔｈ、Δｙｔｈ、Δθｔｈ以下にするための基板Ｗ２の基板Ｗ１に対する補正移動量を算出する（ステップＳ１０７）。ここにおいて、制御部９は、計測した位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθだけ位置ずれ方向とは反対方向へ移動させるような補正移動量を算出する。次に、接合装置１は、リニアエンコーダ５３１、５３２、５３３により検出される伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂの移動量が、算出した補正移動量となるように伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを駆動させて、基板Ｗ２を基板Ｗ１に対して相対的に移動させる（ステップＳ１０８）。ここにおいて、接合装置１は、ステージ４０１が固定された状態で、ヘッド４０２をステップＳ１０８で算出された補正移動量だけＸ方向、Ｙ方向およびＺ軸周りの回転方向に移動させる。このようにして、接合装置１は、基板Ｗ１、Ｗ２が互いに離間した状態で、位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθが小さくなるように基板Ｗ２の基板Ｗ１に対する相対位置を調整する。そして、接合装置１は、再びステップＳ１０６の処理を実行する。
【0044】
一方、接合装置１が、計測した位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθの全てが位置ずれ量閾値Δｘｔｈ、Δｙｔｈ、Δθｔｈ以下であると判定したとする（ステップＳ１０６：Ｙｅｓ）。この場合、接合装置１は、距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６により図４（Ａ）に示す距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６を測定する。そして、接合装置１は、距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６から入力される距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６を反映した計測信号を、距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６を示す距離情報に変換してメモリに記憶させる（ステップＳ１０９）。
【0045】
その後、接合装置１は、予め設定された時間だけ待機してから（ステップＳ１１０）、再び距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６により距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６（図４（Ａ）参照）を測定する（ステップＳ１１１）。次に、接合装置１は、ステップＳ１１１の前後において、計測した距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６の少なくとも１つが予め設定された距離閾値以上変化したか否かを判定する（ステップＳ１１２）。ここで、接合装置１が、距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６の少なくとも１つが前述の距離閾値以上変化したと判定したとする（ステップＳ１１２：Ｙｅｓ）。この場合、接合装置１は、距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６が距離閾値以上変化した距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６に隣接するリニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３、エアシリンダ４０３４、４０３５、４０３６のピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄ、４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄを、距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６の変化分を打ち消すように連動して伸縮させる（ステップＳ１１３）。ここで、ピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３４ｄのうちいずれか一方が伸張すると、同じ量だけ他方が収縮するように動作する。また、ピエゾアクチュエータ４０３２ｄ、４０３５ｄのうちいずれか一方が伸張すると、同じ量だけ他方が収縮するように動作する。更に、ピエゾアクチュエータ４０３３ｄ、４０３６ｄのうちいずれか一方が伸張すると、同じ量だけ他方が収縮するように動作する。このとき、リニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３の伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂと、エアシリンダ４０３４、４０３５、４０３６の伝達部材４０３４ｂ、４０３５ｂ、４０３６ｂと、は動かない。このため、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂ、４０３４ｂ、４０３５ｂ、４０３６ｂについて発生する摺動抵抗による影響を抑制できる。
【0046】
続いて、接合装置１は、ピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄ、４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄを連動して伸縮するだけでは距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６の変化分を打ち消すことが不可能であるか否かを判定する（ステップＳ１１４）。ここで、接合装置１が、ピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄ、４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄを連動して伸縮するだけで距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６の変化分を打ち消すことができたと判定すると（ステップＳ１１４：Ｎｏ）、再びステップＳ１１０の工程が実行される。一方、接合装置１が、ピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄ、４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄを連動して伸縮するだけでは距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６の変化分を打ち消すことが不可能であると判定したとする（ステップＳ１１４：Ｙｅｓ）。この場合、接合装置１は、伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａにより距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６の変化分を打ち消すように伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを移動させる（ステップＳ１１５）。その後、再びステップＳ１１０の処理が実行される。つまり、接合装置１は、ピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄ、４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄを連動して伸縮するだけでは距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６が一定で維持できない場合、距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６が一定で維持されるように伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａを制御する。このように、接合装置１は、前述のステップＳ１１０乃至Ｓ１１５の一連の処理を繰り返し実行することにより、２つの基板Ｗ１、Ｗ２同士の位置決めの暫定的な完了時における距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６により計測されたテーブル部材４０５との間の距離が一定で維持されるようにピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄ、４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄを伸縮動作させるとともに、４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを適宜移動させる。
【0047】
一方、接合装置１が、距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６の全てが前述の距離閾値以上変化していないと判定したとする（ステップＳ１１２：Ｎｏ）。この場合、接合装置１は、再び、基板Ｗ２の基板Ｗ１に対する位置ずれ量を計測する（ステップＳ１１６）。その後、接合装置１は、再び、計測した基板Ｗ２の基板Ｗ１に対する位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθの全てが前述の位置ずれ量閾値Δｘｔｈ、Δｙｔｈ、Δθｔｈ以下であるか否かを判定する（ステップＳ１１７）。ここで、接合装置１により、計測した位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθのいずれかが位置ずれ量閾値Δｘｔｈ、Δｙｔｈ、Δθｔｈよりも大きいと判定したとする（ステップＳ１１７：Ｎｏ）。この場合、接合装置１は、算出した位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθに基づいて、ステージ４０１の補正移動量を算出し（ステップＳ１０７）、リニアエンコーダ５３１、５３２、５３３により検出される伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂの移動量が、算出した補正移動量となるように伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを駆動させてステージ４０１を移動させる（ステップＳ１０８）。その後、再びステップＳ１０５の処理が実行される。
【0048】
一方、接合装置１が、計測した位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθの全てが位置ずれ量閾値Δｘｔｈ、Δｙｔｈ、Δθｔｈ以下であると判定したとする（ステップＳ１１７：Ｙｅｓ）。この場合、接合装置１は、基板Ｗ２を基板Ｗ１に接触させる（ステップＳ１１８）。このとき、接合装置１は、図１２（Ａ）の矢印ＡＲ１０１に示すように、ヘッド４０２を下降させることにより、図１２（Ｂ）に示すように、基板Ｗ１、Ｗ２同士を接触させる。次に、接合装置１は、基板Ｗ２を基板Ｗ１に押し付けて加圧することにより基板Ｗ１、Ｗ２同士を接合する（ステップＳ１１９）。ここで、接合装置１は、まず、基板Ｗ１、Ｗ２が互い接触した状態で、図１２（Ｂ）の矢印ＡＲ４０１に示すように、支持部材４０３９を降下させる。これにより、図１３に示すように、テーブル部材４０５の底面が支持台４０６の上面に面接触した状態となる。このため、加圧接合時においてもテーブル部材４０５に撓み等が生じにくく、テーブル部材４０５（ひいては基板Ｗ１）の平坦度を高精度に維持しつつ基板Ｗ１、Ｗ２を接合することが可能である。なお、テーブル部材４０５の底面のうち面支持される面積は大きいことが好ましい。例えば、テーブル部材４０５の底面のうち、基板Ｗ１に対応する全領域が支持台４０６に面接触することが好ましい。そして、接合装置１は、ヘッド４０２に対して矢印ＡＲ１０３に示す方向へ駆動力を与えることにより基板Ｗ２を基板Ｗ１に押し付ける。このとき、基板加熱部４８１、４８２が、それぞれ、基板Ｗ１、Ｗ２を加熱してもよい。このようにして、基板Ｗ１、Ｗ２同士が接合される。
【0049】
その後、接合装置１は、ヘッド４０２の静電チャックを停止させることにより基板Ｗ２の保持を解除する（ステップＳ１２０）。次に、接合装置１は、ヘッド４０２を上昇させることによりヘッド４０２を基板Ｗ２から離脱させる。
【0050】
ところで、一般的な接合装置では、ステージ４０１のＸＹ方向の移動機構と回転方向の移動機構とが分かれており、各移動方向における移動量を検知できるエンコーダ、距離検知部を配置することができる。これに対して、本実施の形態に係る接合装置１では、伝達部材４０３１ｂのＹ軸方向への移動量、伝達部材４０３２ｂ、４０３３ｂそれぞれのＸ軸方向への移動量を調整することにより、テーブル部材４０５に固定されたステージ４０１の±Ｘ方向、±Ｙ方向およびＺ軸周りの回転方向における位置決めを行う。このため、ステージ４０１のＺ軸周りの回転方向における基板Ｗ１、Ｗ２同士の位置ずれ量をレーザ変位センサで測定することはできない。また、テーブル部材４０５をＺ軸周りに回転させた場合、距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６の投光素子から放射されたレーザ光のテーブル部材４０５の周面への入射角が変化する。このため、距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６のリニアイメージセンサで受光する光の光量が、テーブル部材４０５をＺ軸周りの回転角度によって変化してしまい、テーブル部材４０５と距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６との間の距離に基づいて、ステージ４０１の±Ｘ方向、±Ｙ方向の位置ずれ量を精度良く算出することが難しい。
【0051】
これに対して、本実施の形態に係る接合装置１では、前述のステップＳ１０３およびＳ１０４の処理を実行した後に、ステップＳ１０５乃至Ｓ１０８の一連の処理を繰り返すことにより基板Ｗ１、Ｗ２同士の暫定的な位置決めをする１次動作を実行した後、ステップＳ１１０乃至ステップＳ１１３の一連の処理を繰り返すことによりステージ４０１を暫定的な位置決め完了時の位置で維持する２次動作を行う。その後、接合装置１は、ステップＳ１１４およびＳ１１５の処理を実行し、基板Ｗ１、Ｗ２同士の位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθのいずれかが位置ずれ量閾値Δｘｔｈ、Δｙｔｈ、Δθｔｈよりも大きいと判定した場合、再び、ステップＳ１０５乃至Ｓ１０８の一連の処理を繰り返すことにより基板Ｗ１、Ｗ２同士の位置決めをする３次動作を実行する。ここで、接合装置１は、図１４に示すように、１次動作および３次動作において、撮像部５０１、５０２により撮像された２つの基板Ｗ１、Ｗ２のアライメントマークＭＫ１ａ、ＭＫ１ｂ、ＭＫ２ａ、ＭＫ２ｂの撮影画像ＧＡａ，ＧＡｂに基づいて、２つの基板Ｗ１、Ｗ２同士の位置ずれ量Δｘ、Δｙ、Δθを算出し、算出した位置ずれ量に基づいて、基板Ｗ１の基板Ｗ２に対する補正移動量を算出する。そして、接合装置１は、リニアエンコーダ５３１、５３２、５３３により検出される伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂの移動量が、算出した補正移動量となるように伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを駆動させてステージ４０１を移動させる。また、接合装置１は、２つの基板Ｗ１、Ｗ２同士の位置決めの暫定的な完了時における距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６により計測されたテーブル部材４０５との間の距離が一定で維持されるようにピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄ、４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄを伸縮させたり、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを移動させたりする。このとき、リニアエンコーダ５３１、５３２、５３３により検出される伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂの移動量は無視する。
【0052】
つまり、接合装置１は、撮像部５０１、５０２により撮像されたアライメントマークＭＫ１ａ、ＭＫ２ａの画像とアライメントマークＭＫ１ｂ、ＭＫ２ｂの画像との位置ずれ量に基づいて、ステージ４０１の補正移動量を算出し、算出した補正移動量だけステージ４０１を移動させるように、リニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３をリニアエンコーダ５３１、５３２、５３３により検出される位置調整量に基づいて制御する第１工程を実行する。その後、接合装置１は、アライメントマークＭＫ１ａ、ＭＫ２ａとアライメントマークＭＫ１ｂ、ＭＫ２ｂの画像との位置ずれ量が前述の位置ずれ量閾値以下となり基板Ｗ１、Ｗ２の位置決めが暫定的に完了した場合、位置決めの暫定的な完了時における距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６が一定で維持されるようにリニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３を制御する第２工程を実行する。この第２工程では、接合装置１は、リニアエンコーダ５３１、５３２、５３３で検出される位置調整量を使用してリニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３を制御してもよい。但し、接合装置１は、リニアエンコーダ５３１、５３２、５３３で検出される位置調整量を使用せずに、距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６により測定された距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６を用いてリニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３を制御するのが好ましい。そして、接合装置１は、前述の第１工程および第２工程を実行した後において、撮像部５０１、５０２によりアライメントマークＭＫ１ａ、ＭＫ２ａとアライメントマークＭＫ１ｂ、ＭＫ２ｂの画像とを撮像し、撮像されたアライメントマークＭＫ１ａ、ＭＫ２ａとアライメントマークＭＫ１ｂ、ＭＫ２ｂの画像との位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量が位置ずれ量閾値を超えると、再び、前述の第１工程および第２工程を実行する。このようにして、接合装置１は、２つの基板Ｗ１、Ｗ２のアライメントマークＭＫ１ａ、ＭＫ１ｂ、ＭＫ２ａ、ＭＫ２ｂの撮影画像ＧＡａ，ＧＡｂと、距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６により計測されたテーブル部材４０５との間の距離と、を用いて、基板Ｗ１の基板Ｗ２に対する±Ｘ方向、±Ｙ方向の位置ずれ量、並びに、Ｚ軸周りに回転する方向への位置ずれ量を精度良く算出することができる。
【0053】
ここで、本実施の形態に係る接合装置１について比較例１、２に係る接合装置と比較しながらその特徴について説明する。比較例１に係る接合装置は、図１５（Ａ）に示すように、テーブル部材９４０５および支持部材９４０３９における互いに対向する側には、潤滑部材９４０５ａ、９４０３９ａが設けられ、テーブル部材９４０５と支持部材９４０３９とが潤滑部材９４０５ａ、９４０３９ａを介して面接触している構成である。なお、図１５（Ａ）において実施の形態と同様の構成については図５と同一の符号を付している。この比較例１に係る接合装置では、テーブル部材９４０５を支持する支持部材９４０３９とテーブル部材９４０５との間の部分Ｐｏ２と、ピストン４０３４ｅ、４０３５ｅ、４０３６ｅとシリンダ本体４０３４ａ、４０３５ａ、４０３６ａとの間の部分Ｐｏ１とに摺動抵抗が発生する。このため、テーブル部材９４０５を微小な距離だけ動かそうとする駆動力が加わっても動かないことがある。この場合、テーブル部材９４０５が撓んだり、図１５（Ｂ）に示すようにベアリング４０３１ｃ、４０３２ｃ、４０３３ｃ、４０３４ｃ、４０３５ｃ、４０３６ｃの支持部材４０３１ｃ４、４０３２ｃ４、４０３３ｃ４、４０３４ｃ４、４０３５ｃ４、４０３６ｃ４が撓んだり或いは球状の転動体４０３１ｃ２、４０３２ｃ２、４０３３ｃ２、４０３４ｃ２、４０３５ｃ２、４０３６ｃ２が潰れて楕円体状に変形したりしてしまう。そうすると、駆動力が加わった後時間が経過すると、テーブル部材９４０５、ベアリング４０３１ｃ、４０３２ｃ、４０３３ｃ、４０３４ｃ、４０３５ｃ、４０３６ｃが撓んだ状態或いは変形した状態から復元することに起因して、テーブル部材９４０５が更に移動してしまい位置ずれの原因となる虞がある。
【0054】
これに対して、本実施の形態に係る接合装置１によれば、制御部９が、基板Ｗ１に対する基板Ｗ２の位置決めが完了した後、位置決めの完了時における距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６により計測された距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６が一定で維持されるようにリニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３を制御する。これにより、基板Ｗ１に対する基板Ｗ２の位置決めが完了した後、ステージ４０１の歪み、エアシリンダ４０３４、４０３５、４０３６の摺動抵抗等に起因して、基板Ｗ２が基板Ｗ１に対して更に移動しても、基板Ｗ２を基板Ｗ１に高い位置精度で接合できる。
【0055】
また、比較例２に係る接合装置は、図１６に示すように、ステージ４０１の鉛直下方にステージ４０１を矢印ＡＲ９０１に示すようにＸ軸方向へ移動させるＸ方向駆動部９４０３１と、Ｘ方向駆動部９４０３１と鉛直方向で重なるように配置されステージ４０１を矢印ＡＲ９０２に示すようにＹ軸方向へ移動させるＹ方向駆動部９４０３２と、ステージ４０１を矢印ＡＲ９０３に示すように回転させる回転駆動部９４０３３と、を備える。ここで、Ｙ方向駆動部９４０３２は、Ｙ軸方向へ延在するレール９４０３２ｂと、ステージ４０１を支持し且つレール９４０３２ｂ上を移動するスライド部材９４０３２ａと、を有する。この場合、矢印ＡＲ９００に示すように、基板Ｗ１、Ｗ２を加圧する時に、Ｘ軸方向およびＹ軸方向それぞれにおけるステージ４０１の位置によっては、Ｘ方向駆動部９４０３１、Ｙ方向駆動部９４０３２に対して加わる力が不均一になり、ステージ４０１の姿勢が傾いてしまう虞がある。また、ステージ４０１の鉛直下方にＸ方向駆動部９４０３１、Ｙ方向駆動部９４０３２および回転駆動部９４０３３が配置されているため、基板Ｗ１、Ｗ２を加圧する際にステージ４０１に加えることができる力の大きさが制限されてしまう。また、回転駆動部９４０３３が、例えばステージ４０１を鉛直下方から支持する内輪をスライド部材９４０３２ａの鉛直上側に固定された外輪により転動体を介して支持するベアリングを備える構成である場合、ステージ４０１の中央部に圧力が加わると、ステージ４０１における内輪の中央部に対向する部分が鉛直下方へ窪むように撓んでしまう虞がある。
【0056】
これに対して、本実施の形態に係る接合装置１では、図１３に示すように、ステージ４０１およびテーブル部材４０５の鉛直下方に支持台４０６が配置された構成であり、ステージ４０１の水平方向への移動をテーブル部材４０５の側方からリニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３により力を作用させることにより行う。このため、基板Ｗ１、Ｗ２の加圧時においてステージ４０１およびテーブル部材４０５が、位置が固定され且つ上面が平坦な支持台４０６により支持されるので、ステージ４０１の傾き、撓みの発生が抑制される。従って、基板Ｗ１、Ｗ２同士を例えば１ｋＮ以上の高い圧力で加圧する場合に好ましい。
【0057】
更に、本実施の形態に係る接合装置１では、ステージ４０１を水平方向へ移動させるためのリニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３がステージ４０１の周囲に配置された構成を有する。このため、例えば基板Ｗ１、Ｗ２に紫外光を照射する構成等をステージ４０１の鉛直下方に配置することができる。
【0058】
また，図１６に示す接合装置では、Ｘ方向駆動部９４０３１、Ｙ方向駆動部９４０３２および回転駆動部９４０３３それぞれに移動方向の変位を検出するエンコーダ、レーザ変位計等を設けることができる。しかしながら、図１６に示す構成では、特に基板Ｗ１、Ｗ２を加圧する必要があり且つ高精度な位置合わせを要求される場合、前述のような課題が生じるため、本実施の形態に係る接合装置１のような構成を採用せざるを得ない。この場合、本実施の形態に係る接合装置１のように、リニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３およびエアシリンダ４０３４、４０３５、４０３６を用いた構成を採用する必要がある。
【0059】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は前述の実施の形態の構成に限定されるものではない。例えば、距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６が、レーザ測距計以外の測距計により距離を計測するものであってもよい。
【0060】
実施の形態では、リニアアクチュエータ４０３１、４０３２、４０３３が、それぞれ、ピエゾアクチュエータ４０３１ｄ、４０３２ｄ、４０３３ｄを有し、エアシリンダ４０３４、４０３５、４０３６が、それぞれ、ピエゾアクチュエータ４０３４ｄ、４０３５ｄ、４０３６ｄを有する例について説明した。但し、これに限定されるものではなく、例えば図１７に示すように、リニアアクチュエータ２４０３１、２４０３２、２４０３３が、それぞれ、ピエゾアクチュエータを備えておらず、エアシリンダ２４０３４、２４０３５、２４０３６も、それぞれ、ピエゾアクチュエータを備えていないものであってもよい。なお、図１７において、実施の形態と同様の構成については図４（Ａ）と同一の符号を付している。この場合、制御部９は、位置決めの暫定的な完了時における距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６により計測された距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６とテーブル部材４０５との間の距離が一定で維持されるように伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａを制御する。
【0061】
ここで、本変形例に係る接合装置が実行する接合方法について図１８を参照しながら説明する。なお、図１８において、実施の形態１と同様の工程については図１１と同一の符号を付している。接合装置は、ステップＳ１０９の工程が実行された後、予め設定された時間だけ待機してから（ステップＳ１１０）、再び距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６により距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６を測定する（ステップＳ１１１）。次に、接合装置は、ステップＳ１１１の前後において、計測した距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６の少なくとも１つが前述の距離閾値以上変化したか否かを判定する（ステップＳ１１２）。ここで、接合装置が、距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６の少なくとも１つが前述の距離閾値以上変化したと判定したとする（ステップＳ１１２：Ｙｅｓ）。この場合、接合装置は、伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａを制御して、距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６の変化分を打ち消すように伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを移動させる（ステップＳ２１１１）。その後、再びステップＳ１１０の処理が実行される。 一方、接合装置が、距離Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４、Ｌ１５、Ｌ１６の全てが前述の距離閾値以上変化していないと判定すると（ステップＳ１１２：Ｎｏ）、ステップＳ１１６以降の処理が実行される。
【0062】
本構成によれば、リニアアクチュエータ２４０３１、２４０３２、２４０３３、エアシリンダ２４０３４、２４０３５、２４０３６それぞれの構成を簡素化することができる。
【0063】
実施の形態では、テーブル部材４０５が、その底面側に配置された３つの支持部材４０３９により支持されている例について説明した。但し、これに限らず、例えば図１９に示すように、鉛直上側にテフロン（登録商標）シート等の潤滑部材３４０６ａが貼り付けられた支持台３４０６を備えるものであってもよい。なお、図１９において実施の形態と同様の構成については図３と同一の符号を付している。
【0064】
実施の形態では、伝達部材駆動部４０３１ａ、４０３２ａ、４０３３ａは、送り螺子４０３１ｅ、４０３２ｅ、４０３３ｅを回転させることにより、伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを突出させたり没入させたりする例について説明した。但し、これに限らず、例えば伝達部材駆動部が、一次側ユニットが長尺の二次側ユニットの長手方向に沿って移動するリニアサーボモータを有し、一次側ユニットに固定された伝達部材４０３１ｂ、４０３２ｂ、４０３３ｂを直接突出させたり没入させたりするものであってもよい。
【0065】
実施の形態において、ステージ４０１、ヘッド４０２が、基板Ｗ１、Ｗ２の中央部を押圧する押圧機構を有するものであってもよい。
【0066】
実施の形態では、距離測定部４９０が、ステージ４０１とヘッド４０２との間の距離を測定する例について説明した。但し、これに限らず、距離測定部が、ステージ４０１に保持された基板Ｗ１とヘッド４０２との間の距離、或いは、ステージ４０１とヘッド４０２の保持された基板Ｗ２との間の距離を測定するものであってもよい。或いは、距離測定部が、ステージ４０１に保持された基板Ｗ１と、ヘッド４０２に保持された基板Ｗ２と、の間の距離を測定するものであってもよい。
【0067】
実施の形態では、基板Ｗ１、Ｗ２同士を減圧下で接合する例について説明したが、これに限定されるものではなく、基板Ｗ１、Ｗ２同士を大気圧下で接合するものであってもよい。
【0068】
実施の形態では、距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６が、レーザ変位センサである例について説明したがこれに限定されるものではない。例えば距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６が、投光素子と受光素子またはイメージセンサとを有し、受光素子で受光する光量またはイメージセンサで検出される像の大きさに基づいて距離を測定する側長センサであってもよい。或いは、距離測定部５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６が、高周波磁界を発生させるコイルが内蔵されたセンサヘッドを有し、コイルのインピーダンスの変化量に基づいて距離を測定する渦電流式変位センサであってもよい。
【0069】
本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施の形態及び変形が可能とされるものである。また、上述した実施の形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。つまり、本発明の範囲は、実施の形態ではなく、請求の範囲によって示される。そして、請求の範囲内及びそれと同等の発明の意義の範囲内で施される様々な変形が、本発明の範囲内とみなされる。
【産業上の利用可能性】
【0070】
本発明は、例えばＣＭＯＳイメージセンサやメモリ、演算素子、ＭＥＭＳの製造に好適である。
【符号の説明】
【0071】
１：接合装置、９：制御部、１２０：チャンバ、１２１ａ：真空ポンプ、１２１ｂ：排気管、１２１ｃ：排気弁、４０１：ステージ、４０２：ヘッド、４０３：ステージ駆動部、４０４：ヘッド駆動部、４０５：テーブル部材、４０６，３４０６：支持台、４０８，４１２：圧力センサ、４１１，４０３１ｄ，４０３２ｄ，４０３３ｄ，４０３４ｄ，４０３５ｄ，４０３６ｄ：ピエゾアクチュエータ、４８１，４８２：基板加熱部、４９０，５２１、５２２、５２３、５２４、５２５、５２６：距離測定部、５００：撮像ユニット、５０１，５０２：撮像部、５０４，５０５：ミラー、５３１，５３２，５３３：リニアエンコーダ、３４０６ａ：潤滑部材、４０３１，４０３２，４０３３，２４０３１、２４０３２、２４０３３：リニアアクチュエータ、４０３１ｂ，４０３２ｂ，４０３３ｂ，４０３４ｂ，４０３５ｂ，４０３６ｂ：伝達部材、４０３１ａ，４０３２ａ，４０３３ａ：伝達部材駆動部、４０３１ｃ，４０３２ｃ，４０３３ｃ，４０３４ｃ，４０３５ｃ，４０３６ｃ：ベアリング、４０３１ｃ１，４０３２ｃ１，４０３３ｃ１，４０３４ｃ１，４０３５ｃ１，４０３６ｃ１：外輪、４０３１ｃ２，４０３２ｃ２，４０３３ｃ２，４０３４ｃ２，４０３５ｃ２，４０３６ｃ２，４０３１ｇ、４０３２ｇ、４０３３ｇ：転動体、４０３１ｃ３，４０３２ｃ３，４０３３ｃ３，４０３４ｃ３，４０３５ｃ３，４０３６ｃ３：内輪、４０３１ｃ４，４０３２ｃ４，４０３３ｃ４，４０３４ｃ４，４０３５ｃ４，４０３６ｃ４，４０３９：支持部材、４０３１ｅ、４０３２ｅ、４０３３ｅ：送り螺子、４０３１ｆ、４０３２ｆ、４０３３ｆ：リニアガイド、４０３１ｈ、４０３２ｈ、４０３３ｈ：ナット部、４０３４，４０３５，４０３６：エアシリンダ、４０３４ａ，４０３５ａ，４０３６ａ：シリンダ本体、４０３４ｅ、４０３５ｅ、４０３６ｅ：ピストン、４０４１：ＸＹ方向駆動部、４０４２：昇降駆動部、４０４３：回転駆動部、Ｇａ，Ｇｂ：撮影画像、ＭＫ１ａ，ＭＫ１ｂ，ＭＫ２ａ，ＭＫ２ｂ：アライメントマーク、Ｗ１，Ｗ２：基板
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【手続補正書】
【提出日】2024-02-13
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0006】
上記目的を達成するため、本発明に係るアライメント装置は、
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント装置であって、
前記第１対象物を保持する第１対象物保持部と、
前記第２対象物を保持する第２対象物保持部と、
前記第１対象物保持部の第１方向における位置を調整するリニアアクチュエータと、
前記第１対象物保持部の周囲に配置され前記第１対象物保持部との間の距離を計測する距離測定部と、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物保持部の位置が変動することにより前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置が変動し、前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が変化した場合、前記距離測定部により計測される前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離と等しくなるように前記リニアアクチュエータを制御する制御部と、を備える。
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント装置であって、
前記第１対象物を保持する第１対象物保持部と、
前記第２対象物を保持する第２対象物保持部と、
前記第１対象物保持部の第１方向における位置を調整するリニアアクチュエータと、
前記第１対象物保持部の周囲に配置され前記第１対象物保持部との間の距離を計測する距離測定部と、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物保持部の位置が変動することにより前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置が変動し、前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が変化した場合、前記距離測定部により計測される前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離と等しくなるように前記リニアアクチュエータを制御する制御部と、を備える。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0007】
他の観点から見た本発明に係るアライメント方法は、
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント方法であって、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めを行うステップと、
前記位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物を保持する第１対象物保持部の周囲に配置された距離測定部により、前記距離測定部と、前記位置決めの暫定的な完了時における前記第１対象物保持部と、の間の距離を計測するステップと、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物保持部の位置が変動することにより前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置が変動し、前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が変化した場合、前記距離測定部により計測される前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離と等しくなるように前記第１対象物保持部を移動させるステップと、を含む。
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント方法であって、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めを行うステップと、
前記位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物を保持する第１対象物保持部の周囲に配置された距離測定部により、前記距離測定部と、前記位置決めの暫定的な完了時における前記第１対象物保持部と、の間の距離を計測するステップと、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物保持部の位置が変動することにより前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置が変動し、前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が変化した場合、前記距離測定部により計測される前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離と等しくなるように前記第１対象物保持部を移動させるステップと、を含む。
【手続補正3】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント装置であって、
前記第１対象物を保持する第１対象物保持部と、
前記第２対象物を保持する第２対象物保持部と、
前記第１対象物保持部の第１方向における位置を調整するリニアアクチュエータと、
前記第１対象物保持部の周囲に配置され前記第１対象物保持部との間の距離を計測する距離測定部と、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物保持部の位置が変動することにより前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置が変動し、前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が変化した場合、前記距離測定部により計測される前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離と等しくなるように前記リニアアクチュエータを制御する制御部と、を備える、
アライメント装置。
前記第１対象物を保持する第１対象物保持部と、
前記第２対象物を保持する第２対象物保持部と、
前記第１対象物保持部の第１方向における位置を調整するリニアアクチュエータと、
前記第１対象物保持部の周囲に配置され前記第１対象物保持部との間の距離を計測する距離測定部と、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物保持部の位置が変動することにより前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置が変動し、前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が変化した場合、前記距離測定部により計測される前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離と等しくなるように前記リニアアクチュエータを制御する制御部と、を備える、
アライメント装置。
【請求項2】
前記距離測定部は、前記リニアアクチュエータ毎に１つずつ設けられている、
請求項１に記載のアライメント装置。
請求項１に記載のアライメント装置。
【請求項3】
前記第１対象物保持部を前記第２対象物保持部に対して水平方向に移動自在に支持する支持部材と、
前記第１対象物保持部を前記第１方向へ付勢する少なくとも１つの付勢部と、を更に備える、
請求項１または２に記載のアライメント装置。
前記第１対象物保持部を前記第１方向へ付勢する少なくとも１つの付勢部と、を更に備える、
請求項１または２に記載のアライメント装置。
【請求項4】
前記付勢部と、前記付勢部と前記第１対象物保持部を介して対向するように配置された前記リニアアクチュエータと、からなる組を３組備え、
前記３組のうちの２組の前記付勢部と前記リニアアクチュエータとの対向方向は同一であり、他の１組の前記付勢部と前記リニアアクチュエータとの対向方向と前記２組との前記付勢部と前記リニアアクチュエータとの対向方向とは互いに交差している、
請求項３に記載のアライメント装置。
前記３組のうちの２組の前記付勢部と前記リニアアクチュエータとの対向方向は同一であり、他の１組の前記付勢部と前記リニアアクチュエータとの対向方向と前記２組との前記付勢部と前記リニアアクチュエータとの対向方向とは互いに交差している、
請求項３に記載のアライメント装置。
【請求項5】
前記第１対象物は、第１アライメントマークを有し、
前記第２対象物は、第２アライメントマークを有し、
前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとを撮像する撮像部を更に備え、
前記制御部は、前記位置決めの暫定的な完了時において前記撮像部により撮像された前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像とに基づいて、前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置を決定する、
請求項１または２に記載のアライメント装置。
前記第２対象物は、第２アライメントマークを有し、
前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとを撮像する撮像部を更に備え、
前記制御部は、前記位置決めの暫定的な完了時において前記撮像部により撮像された前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像とに基づいて、前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置を決定する、
請求項１または２に記載のアライメント装置。
【請求項6】
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント装置であって、
前記第１対象物を保持する第１対象物保持部と、
前記第２対象物を保持する第２対象物保持部と、
前記第１対象物保持部を前記第２対象物保持部に対して水平方向に移動自在に支持する支持部材と、
前記第１対象物保持部を第１方向へ付勢する少なくとも１つの付勢部と、
前記第１対象物保持部の前記第１方向における位置を調整するリニアアクチュエータと、
前記第１対象物保持部の周囲に配置され前記第１対象物保持部との間の距離を計測する距離測定部と、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記リニアアクチュエータを制御する制御部と、を備え、
前記第１対象物は、第１アライメントマークを有し、
前記第２対象物は、第２アライメントマークを有し、
前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとを撮像する撮像部を更に備え、
前記リニアアクチュエータは、前記リニアアクチュエータによる前記第１対象物保持部の位置調整量を検出するリニアエンコーダを有し、
前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量に基づいて、前記第１対象物保持部の補正移動量を算出し、算出した前記補正移動量だけ前記第１対象物保持部を移動させるように、前記リニアアクチュエータを前記リニアエンコーダにより検出される前記位置調整量に基づいて制御する第１工程を実行した後、前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量が予め設定された位置ずれ量閾値以下となり前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した場合、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記リニアアクチュエータを制御する第２工程を実行する、
アライメント装置。
前記第１対象物を保持する第１対象物保持部と、
前記第２対象物を保持する第２対象物保持部と、
前記第１対象物保持部を前記第２対象物保持部に対して水平方向に移動自在に支持する支持部材と、
前記第１対象物保持部を第１方向へ付勢する少なくとも１つの付勢部と、
前記第１対象物保持部の前記第１方向における位置を調整するリニアアクチュエータと、
前記第１対象物保持部の周囲に配置され前記第１対象物保持部との間の距離を計測する距離測定部と、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記リニアアクチュエータを制御する制御部と、を備え、
前記第１対象物は、第１アライメントマークを有し、
前記第２対象物は、第２アライメントマークを有し、
前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとを撮像する撮像部を更に備え、
前記リニアアクチュエータは、前記リニアアクチュエータによる前記第１対象物保持部の位置調整量を検出するリニアエンコーダを有し、
前記制御部は、前記撮像部により撮像された前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量に基づいて、前記第１対象物保持部の補正移動量を算出し、算出した前記補正移動量だけ前記第１対象物保持部を移動させるように、前記リニアアクチュエータを前記リニアエンコーダにより検出される前記位置調整量に基づいて制御する第１工程を実行した後、前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量が予め設定された位置ずれ量閾値以下となり前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した場合、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記リニアアクチュエータを制御する第２工程を実行する、
アライメント装置。
【請求項7】
前記第１工程および前記第２工程を実行した後において、前記撮像部により前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像とを撮像し、撮像された前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量を算出し、算出した前記位置ずれ量が前記位置ずれ量閾値を超えると、再び、前記第１工程および前記第２工程を実行する、
請求項６に記載のアライメント装置。
請求項６に記載のアライメント装置。
【請求項8】
前記リニアアクチュエータは、
前記第１対象物保持部へ押圧力を伝達するための第１伝達部材と、
前記第１伝達部材の一部に螺合する送り螺子と、
前記第１伝達部材を前記第１方向または前記第１方向とは反対方向の第２方向へ駆動する伝達部材駆動部と、
前記第１伝達部材に設けられ、前記第１方向および前記第２方向に沿った方向における長さを伸縮させる第１ピエゾアクチュエータと、を更に有し、
前記リニアエンコーダは、前記第１伝達部材の移動量を検出し、
前記付勢部は、
前記第１対象物保持部へ押圧力を伝達するための第２伝達部材と、
前記第２伝達部材に設けられ、前記第１方向および前記第２方向に沿った方向における長さを伸縮させる第２ピエゾアクチュエータと、を有し、
前記制御部は、前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した場合、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記第１ピエゾアクチュエータおよび前記第２ピエゾアクチュエータが連動して伸縮するように制御する、
請求項６または７に記載のアライメント装置。
前記第１対象物保持部へ押圧力を伝達するための第１伝達部材と、
前記第１伝達部材の一部に螺合する送り螺子と、
前記第１伝達部材を前記第１方向または前記第１方向とは反対方向の第２方向へ駆動する伝達部材駆動部と、
前記第１伝達部材に設けられ、前記第１方向および前記第２方向に沿った方向における長さを伸縮させる第１ピエゾアクチュエータと、を更に有し、
前記リニアエンコーダは、前記第１伝達部材の移動量を検出し、
前記付勢部は、
前記第１対象物保持部へ押圧力を伝達するための第２伝達部材と、
前記第２伝達部材に設けられ、前記第１方向および前記第２方向に沿った方向における長さを伸縮させる第２ピエゾアクチュエータと、を有し、
前記制御部は、前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した場合、前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記第１ピエゾアクチュエータおよび前記第２ピエゾアクチュエータが連動して伸縮するように制御する、
請求項６または７に記載のアライメント装置。
【請求項9】
前記距離測定部は、レーザ変位センサを有する、
請求項１、２、６、７のいずれか１項に記載のアライメント装置。
請求項１、２、６、７のいずれか１項に記載のアライメント装置。
【請求項10】
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント方法であって、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めを行うステップと、
前記位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物を保持する第１対象物保持部の周囲に配置された距離測定部により、前記距離測定部と、前記位置決めの暫定的な完了時における前記第１対象物保持部と、の間の距離を計測するステップと、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物保持部の位置が変動することにより前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置が変動し、前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が変化した場合、前記距離測定部により計測される前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離と等しくなるように前記第１対象物保持部を移動させるステップと、を含む、
アライメント方法。
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めを行うステップと、
前記位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物を保持する第１対象物保持部の周囲に配置された距離測定部により、前記距離測定部と、前記位置決めの暫定的な完了時における前記第１対象物保持部と、の間の距離を計測するステップと、
前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した後、前記第１対象物保持部の位置が変動することにより前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置が変動し、前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が変化した場合、前記距離測定部により計測される前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が前記位置決めの暫定的な完了時における前記距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離と等しくなるように前記第１対象物保持部を移動させるステップと、を含む、
アライメント方法。
【請求項11】
第１対象物の第２対象物に対する位置合わせを行うアライメント方法であって、
前記第１対象物は、第１アライメントマークを有し、
前記第２対象物は、第２アライメントマークを有し、
前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとを撮像する撮像部により撮像された前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量に基づいて、前記第１対象物を保持する第１対象物保持部の補正移動量を算出し、算出した前記補正移動量だけ前記第１対象物保持部を移動させるように、前記第１対象物保持部の第１方向における位置を調整するリニアアクチュエータを、前記リニアアクチュエータによる前記第１対象物保持部の位置調整量を検出するリニアエンコーダにより検出される前記位置調整量に基づいて制御する第１工程と、
前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量が予め設定された位置ずれ量閾値以下となり前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した場合、前記位置決めの暫定的な完了時における、前記第１対象物保持部の周囲に配置され前記第１対象物保持部との間の距離を計測する距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記リニアアクチュエータを制御する第２工程と、を含む、
アライメント方法。
前記第１対象物は、第１アライメントマークを有し、
前記第２対象物は、第２アライメントマークを有し、
前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとを撮像する撮像部により撮像された前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量に基づいて、前記第１対象物を保持する第１対象物保持部の補正移動量を算出し、算出した前記補正移動量だけ前記第１対象物保持部を移動させるように、前記第１対象物保持部の第１方向における位置を調整するリニアアクチュエータを、前記リニアアクチュエータによる前記第１対象物保持部の位置調整量を検出するリニアエンコーダにより検出される前記位置調整量に基づいて制御する第１工程と、
前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量が予め設定された位置ずれ量閾値以下となり前記第１対象物の前記第２対象物に対する位置決めが暫定的に完了した場合、前記位置決めの暫定的な完了時における、前記第１対象物保持部の周囲に配置され前記第１対象物保持部との間の距離を計測する距離測定部により計測された前記距離測定部と前記第１対象物保持部との間の距離が一定で維持されるように前記リニアアクチュエータを制御する第２工程と、を含む、
アライメント方法。
【請求項12】
前記第１工程および前記第２工程を行った後において、前記撮像部により前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像とを撮像し、撮像された前記第１アライメントマークの画像と前記第２アライメントマークの画像との位置ずれ量を算出し、算出した前記位置ずれ量が前記位置ずれ量閾値を超えると、再び、前記第１工程および前記第２工程を行う、
請求項１１に記載のアライメント方法。
請求項１１に記載のアライメント方法。